JP2001312818A - Method for manufacturing master information carrier - Google Patents
Method for manufacturing master information carrierInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ディジタル情報信
号を磁気記録媒体に静的一括記録するために用いられる
マスター情報担体に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a master information carrier used for statically recording digital information signals on a magnetic recording medium.
【０００２】[0002]
【従来の技術】現在、磁気記録再生装置は、小型でかつ
大容量のものを実現するために、高記録密度化の傾向に
ある。代表的な磁気記録再生装置であるハードディスク
ドライブの分野においては、すでに面記録密度が３Ｇｂ
ｉｔ／ｉｎ2（４．６５Ｍｂｉｔ／ｍｍ2）を超える装置
が商品化されており、数年後には、面記録密度が１０Ｇ
ｂｉｔ／ｉｎ2（１５．５Ｍｂｉｔ／ｍｍ2）の装置の実
用化が予測されるほどの急峻な技術の進歩が認められ
る。2. Description of the Related Art At present, a magnetic recording / reproducing apparatus has a tendency to have a high recording density in order to realize a small-sized and large-capacity apparatus. In the field of hard disk drives, which are typical magnetic recording / reproducing devices, the areal recording density is already 3 Gb.
A device exceeding it / in 2 (4.65 Mbit / mm 2 ) has been commercialized.
A steep technological advancement is expected such that practical application of a device of bit / in 2 (15.5 Mbit / mm 2 ) is expected.
【０００３】このような高記録密度化が可能になった技
術的背景として、磁気記録媒体およびヘッド・ディスク
インターフェースの性能の向上やパーシャルレスポンス
等の新規な信号処理方式の出現による線記録密度の向上
があげられる。しかし、近年では、トラック密度の増加
傾向が線記録密度の増加傾向を大きく上回り、面記録密
度の向上の主な要因となっている。これは、従来の誘導
型磁気ヘッドに比べて再生出力性能がはるかに優れた磁
気抵抗素子型ヘッドの実用化によるものである。現在、
磁気抵抗素子型ヘッドの実用化により、数μｍ以下のト
ラック幅信号を高いＳ／Ｎ比をもって再生することが可
能となっている。一方、今後のさらなるヘッド性能の向
上に伴い、近い将来には、トラックピッチがサブミクロ
ン領域に達するものと予想されている。[0003] The technical background that has enabled such a high recording density is to improve the performance of the magnetic recording medium and the head-disk interface and to improve the linear recording density by the emergence of a new signal processing method such as a partial response. Is raised. However, in recent years, the increasing trend of the track density has greatly exceeded the increasing trend of the linear recording density, which is a major factor in improving the areal recording density. This is due to the practical use of a magnetoresistive element type head which has much better reproduction output performance than a conventional induction type magnetic head. Current,
With the practical use of the magnetoresistive element type head, it is possible to reproduce a track width signal of several μm or less with a high S / N ratio. On the other hand, it is expected that the track pitch will reach the submicron region in the near future with further improvement in head performance in the future.
【０００４】さて、ヘッドがこのような狭トラックを正
確に走査し、信号をＳ／Ｎ良く再生するためには、ヘッ
ドのトラッキングサーボ技術が重要な役割を果たしてい
る。このようなトラッキングサーボ技術に関しては、例
えば、「山口：磁気ディスク装置の高精度サーボ技術、
日本応用磁気学会誌、Ｖｏｌ．２０，Ｎｏ．３，ｐｐ．
７７１，（１９９６）」に詳細な内容が示されている。
この文献によれば、現在のハードディスクドライブで
は、ディスクの１周、すなわち角度にして３６０度中に
おいて、一定の角度間隔でトラッキング用サーボ信号や
アドレス情報信号、再生クロック信号等が記録された領
域を設けている（以下、プリフォーマットと称する）。
磁気ヘッドは、一定間隔でこれらの信号を再生すること
により、ヘッドの位置を確認、修正しながら正確にトラ
ック上を走査することができるのである。In order for the head to accurately scan such a narrow track and reproduce a signal with good S / N, the tracking servo technique of the head plays an important role. Regarding such tracking servo technology, for example, “Yamaguchi: High-precision servo technology for magnetic disk devices,
Journal of the Japan Society of Applied Magnetics, Vol. 20, no. 3, pp.
771, (1996) ".
According to this document, in a current hard disk drive, an area in which a tracking servo signal, an address information signal, a reproduction clock signal, and the like are recorded at regular angular intervals in one round of the disk, that is, within 360 degrees in angle. (Hereinafter, referred to as a preformat).
By reproducing these signals at regular intervals, the magnetic head can accurately scan the track while confirming and correcting the position of the head.
【０００５】既述のトラッキング用サーボ信号やアドレ
ス情報信号、再生クロック信号等は、ヘッドが正確にト
ラック上を走査するための基準信号となるものであるの
で、その記録時には、正確な位置決め精度が要求され
る。例えば、「植松、他：メカ・サーボ、ＨＤＩ技術の
現状と展望、日本応用磁気学会第９３回研究会資料、９
３−５，ｐｐ．３５（１９９６）」に記載された内容に
よれば、現在のハードディスクドライブでは、ディスク
をドライブに組み込んだ後、専用のサーボ記録装置を用
いて厳密に位置制御された磁気ヘッドによりプリフォー
マット記録が行われている。The above-described tracking servo signal, address information signal, reproduction clock signal, and the like serve as reference signals for the head to accurately scan the track. Required. For example, "Uematsu, et al .: Current Status and Prospects of Mechanical Servo, HDI Technology, 93rd Meeting of the Japan Society of Applied Magnetics, 9
3-5, pp. 35 (1996)], in a current hard disk drive, after a disk is incorporated in the drive, preformat recording is performed by a magnetic head whose position is strictly controlled using a dedicated servo recording device. Have been done.
【０００６】従来より、上記のような専用のサーボ記録
装置を用いた磁気ヘッドによるサーボ信号やアドレス情
報信号、再生クロック信号のプリフォーマット記録にお
いては、以下のような問題点があった。Conventionally, there have been the following problems in preformat recording of a servo signal, an address information signal, and a reproduced clock signal by a magnetic head using a dedicated servo recording device as described above.
【０００７】まず第１に、磁気ヘッドによる記録は、基
本的にヘッドと媒体との相対移動に基づく線記録であ
る。このため、専用のサーボ記録装置を用いて磁気ヘッ
ドを厳密に位置制御しながら記録を行う上記の方法で
は、プリフォーマット記録に多くの時間を要するととも
に、専用のサーボ記録装置が相当に高価であることにも
起因して、非常にコスト高となる。First, recording by a magnetic head is basically line recording based on the relative movement between the head and the medium. Therefore, in the above-described method of performing recording while strictly controlling the position of the magnetic head using a dedicated servo recording device, preformat recording requires a lot of time, and the dedicated servo recording device is considerably expensive. This results in a very high cost.
【０００８】第２に、ヘッド・媒体間スペーシングや記
録ヘッドのポール形状による記録磁界の広がりのため、
プリフォーマット記録されたトラック端部の磁化遷移が
急峻性にかけるという点がある。現在のトラッキングサ
ーボ技術は、ヘッドがトラックをはずれて走査した際の
再生出力の変化量によって、ヘッドの位置検出を行うも
のである。従って、プリフォーマット記録された信号ト
ラックには、サーボ領域間に記録されたデータ情報信号
を再生する際のようにヘッドがトラック上を正確に走査
した際のＳ／Ｎに優れるだけではなく、ヘッドがトラッ
クをはずれて走査した際の再生出力変化量、すなわちオ
フトラック特性が急峻であることが要求される。上記の
課題はこの要求に反するものであり、今後のサブミクロ
ントラック記録における正確なトラッキングサーボ技術
の実現を困難なものとしている。Second, because of the spread of the recording magnetic field due to the spacing between the head and the medium and the pole shape of the recording head,
There is a point that the transition of the magnetization at the end of the track on which the preformat recording is performed affects the steepness. Current tracking servo technology detects the position of the head based on the amount of change in the reproduction output when the head scans off the track. Therefore, the signal track recorded in the preformat is not only excellent in the S / N when the head accurately scans the track, such as when reproducing the data information signal recorded in the servo area, but also in the head. Is required to have a steep reproduction output change amount when scanning is performed off the track, that is, the off-track characteristic. The above-mentioned problem is contrary to this requirement, and makes it difficult to realize an accurate tracking servo technique in future submicron track recording.
【０００９】さて、上記のような磁気ヘッドによるプリ
フォーマット記録の課題を解決する手段として、基体の
表面にプリフォーマット情報信号に対応する強磁性薄膜
パターンが形成されているマスター情報担体の表面を、
磁気記録媒体の表面に接触させた後に、マスター情報担
体に形成された強磁性薄膜パターンを磁化させることに
より、強磁性薄膜パターンに対応する磁化パターンを磁
気記録媒体に記録する技術が提案されている（特開平１
０−４０５４４号公報）。このプリフォーマット記録技
術によれば、記録媒体のＳ／Ｎ比、インターフェース性
能等の他の重要性能を犠牲にすることなく、良好なプリ
フォーマット記録を効率的に行うことができる。As a means for solving the problem of the preformat recording by the magnetic head as described above, a surface of a master information carrier having a ferromagnetic thin film pattern corresponding to a preformat information signal formed on a surface of a base,
There has been proposed a technique of recording a magnetization pattern corresponding to a ferromagnetic thin film pattern on a magnetic recording medium by magnetizing a ferromagnetic thin film pattern formed on a master information carrier after being brought into contact with a surface of a magnetic recording medium. (Japanese Unexamined Patent Publication No.
0-40544). According to this preformat recording technique, good preformat recording can be efficiently performed without sacrificing other important performances such as the S / N ratio of the recording medium and interface performance.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】特開平１０−４０５４
４号公報に開示されたマスター情報担体の表面には、フ
ォトリソグラフィー技術を用いて基体の表面に情報信号
に対応する凹凸形状が精度よく加工、形成されこの凹凸
形状の少なくとも凸部が強磁性材料で形成された構成、
あるいは凹部に強磁性材料が充填された構成になってい
る。Problems to be Solved by the Invention
On the surface of the master information carrier disclosed in Japanese Patent Publication No. 4 (1999) -1994, the surface of the substrate is processed and formed with high precision using photolithography technology, the surface corresponding to the information signal. A configuration formed of
Alternatively, the recess is filled with a ferromagnetic material.
【００１１】また、記録過程において、特開平１０−２
６９５６６号公報で提案されたように、マスター情報担
体と磁気ディスクとの間の空気を吸引するとともに周辺
の大気圧による押圧を利用して良好な密着性を実現する
ことにより、ハードディスクにプリフォーマット記録を
行う。In the recording process, Japanese Patent Laid-Open No. 10-2
As proposed in JP-A-69566, air between the master information carrier and the magnetic disk is sucked, and good adhesion is realized by utilizing the pressure of the surrounding atmospheric pressure, thereby preformat recording on the hard disk. I do.
【００１２】すなわち、プリフォーマット記録された信
号品質は、良好な密着性とともにマスター情報担体に形
成されたディジタル信号に対応するパターン品質に依る
ことになる。良好な信号品質を得るためには、マスター
情報担体の作製プロセスを確立することが重要である。That is, the quality of the preformat recorded signal depends on the pattern quality corresponding to the digital signal formed on the master information carrier together with good adhesion. In order to obtain good signal quality, it is important to establish a process for producing a master information carrier.
【００１３】上記の観点から本発明は、ハードディスク
等にプリフォーマット記録するための品質安定性に優れ
たマスター情報担体の製造方法を提供することを目的と
する。In view of the above, an object of the present invention is to provide a method for producing a master information carrier having excellent quality stability for preformat recording on a hard disk or the like.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係るマスター情報担体の製造方法は、ディ
ジタル情報信号に対応する形状パターンが非磁性基体の
表面に強磁性体薄膜の配列により形成された領域と、前
記形状パターンが形成されていない領域とが設けられ、
磁気記録媒体の表面に接触させることにより前記ディジ
タル情報信号を記録するためのマスター情報担体の製造
方法であって、前記非磁性基体を洗浄し、前記非磁性基
体にディジタル情報信号に対応する形状パターンをレジ
ストにより形成し、前記非磁性基体の表面に反応性エッ
チングを用いてディジタル情報信号に対応する凹部形状
パターンを形成し、前記凹部に強磁性体薄膜を成膜し、
前記強磁性体薄膜の前記凹部に埋め込まれた部分以外を
除去することを特徴とする。In order to achieve the above object, a method for manufacturing a master information carrier according to the present invention is characterized in that a shape pattern corresponding to a digital information signal is formed by arranging a ferromagnetic thin film on the surface of a nonmagnetic substrate. A formed region and a region where the shape pattern is not formed are provided,
A method for manufacturing a master information carrier for recording said digital information signal by contacting the surface of a magnetic recording medium, wherein said non-magnetic substrate is washed and a shape pattern corresponding to the digital information signal is formed on said non-magnetic substrate. Is formed by a resist, a concave shape pattern corresponding to a digital information signal is formed on the surface of the non-magnetic substrate using reactive etching, a ferromagnetic thin film is formed in the concave portion,
The present invention is characterized in that a portion of the ferromagnetic thin film other than a portion embedded in the concave portion is removed.
【００１５】本発明に係る前記製造方法において、前記
形状パターンが形成された前記非磁性基体を洗浄し、少
なくとも前記形状パターンが形成されている領域表面を
覆うレジストパターンを形成し、前記形状パターンが形
成されていない領域を反応性エッチングにより凹形状と
することが好ましい。In the manufacturing method according to the present invention, the non-magnetic substrate on which the shape pattern is formed is washed, and a resist pattern covering at least a surface of a region where the shape pattern is formed is formed. It is preferable that an unformed region is formed into a concave shape by reactive etching.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態例に
ついて、図面を参照して詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００１７】図１は、本発明の実施の形態による製造方
法で製作されたマスター情報担体の構成を示す模式図で
ある。図１において、１は、ディジタル情報信号に対応
する形状パターンであり、強磁性薄膜からなる。２は非
磁性基体である。 （実施の形態１）次に、かかる構成のマスター情報担体
を製造するプロセスについて、図２を参照して説明す
る。FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a master information carrier manufactured by a manufacturing method according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a shape pattern corresponding to a digital information signal, which is made of a ferromagnetic thin film. 2 is a non-magnetic substrate. (Embodiment 1) Next, a process of manufacturing a master information carrier having such a configuration will be described with reference to FIG.
【００１８】図２は、本発明の実施の形態１によるマス
ター情報担体の製造方法を示す工程図である。FIG. 2 is a process chart showing a method for manufacturing a master information carrier according to the first embodiment of the present invention.
【００１９】図２において、まず、平面状の非磁性基体
２に対してプロセス前洗浄を行う（図２（ａ））。非磁
性基体２には片面を鏡面研磨したシリコンウェーハを用
いる。洗浄には、第１に、アンモニア過水により有機物
および金属汚染物を除去する。第２に、フッ酸により表
面酸化膜を溶解除去するとともに表面に付着したゴミも
同時に除去する。第３に、スピン乾燥を行う。In FIG. 2, first, pre-process cleaning is performed on the planar non-magnetic substrate 2 (FIG. 2A). As the non-magnetic substrate 2, a silicon wafer whose one surface is mirror-polished is used. In the cleaning, first, organic substances and metal contaminants are removed by ammonia peroxide. Second, the surface oxide film is dissolved and removed with hydrofluoric acid, and the dust attached to the surface is also removed at the same time. Third, spin drying is performed.
【００２０】次に、非磁性基体２の鏡面研磨面にレジス
ト膜３をスピンコーターにより所望の厚さに塗布した
後、露光、現像することにより、ディジタル情報信号に
対応する形状パターンをパターニングする（図２
（ｂ））。パターン形成方法には、フォトマスクを用い
て一括露光行う。Next, after a resist film 3 is applied to a desired thickness on the mirror-polished surface of the non-magnetic substrate 2 by a spin coater, the resist film 3 is exposed and developed to pattern a shape pattern corresponding to a digital information signal. FIG.
(B)). In the pattern formation method, batch exposure is performed using a photomask.
【００２１】その後、ＣＨＦ3とＳＦ6の混合ガスを用い
ることにより反応性イオンエッチングを行うことによっ
て、非磁性基体２に微細な凹形状パターンを形成する
（図２（ｃ））。ここで、反応性イオンエッチングを用
いるのは、エッチングの異方性制御の容易さ、およびエ
ッチング速度において格段に優れるため、高速かつ精度
の良いエッチングを行うことができるためである。After that, reactive ion etching is performed by using a mixed gas of CHF 3 and SF 6 to form a fine concave pattern on the non-magnetic substrate 2 (FIG. 2C). Here, the reason why the reactive ion etching is used is that the anisotropy of the etching can be easily controlled and the etching rate is remarkably excellent, so that high-speed and accurate etching can be performed.
【００２２】なお、この時のエッチング深さは、強磁性
薄膜１をスパッタ成膜する膜厚と同じとすることが好ま
しい。The etching depth at this time is preferably the same as the film thickness for forming the ferromagnetic thin film 1 by sputtering.
【００２３】次に、残留するレジスト膜３を取り除く前
に、スパッタリング法によって、非磁性基体２に形成し
た微細な凹形状パターンに強磁性薄膜１を堆積せしめる
（図２（ｄ））。Next, before removing the remaining resist film 3, the ferromagnetic thin film 1 is deposited on the fine concave pattern formed on the nonmagnetic substrate 2 by a sputtering method (FIG. 2D).
【００２４】最後に、残留レジスト膜３とその上に形成
した不要な強磁性薄膜１を、リムーバ等の薬液を用いて
リフトオフ処理によって除去する（図２（ｅ））。Finally, the residual resist film 3 and the unnecessary ferromagnetic thin film 1 formed thereon are removed by a lift-off process using a chemical such as a remover (FIG. 2E).
【００２５】このようにして、非磁性基体２表面にディ
ジタル信号に対応するパターンを形成することができ
る。 （実施の形態２）次に、本発明の実施の形態２によるマ
スター情報担体を製造するプロセスについて、図３を参
照して説明する。In this manner, a pattern corresponding to a digital signal can be formed on the surface of the non-magnetic substrate 2. (Embodiment 2) Next, a process of manufacturing a master information carrier according to Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to FIG.
【００２６】図３は、本発明の実施の形態２によるマス
ター情報担体の製造プロセスを示す工程図である。FIG. 3 is a process chart showing a manufacturing process of the master information carrier according to the second embodiment of the present invention.
【００２７】図３において、まず、図２（ｅ）に示す工
程でディジタル情報信号に対応するパターンが形成され
た非磁性基体２の洗浄を行う（図３（ａ））。洗浄方法
としては、第１にブラシ洗浄を行い、第２にイソプロピ
ルアルコール中に浸漬して超音波洗浄を行い、第３に、
基板を回転させながら、ノズルよりイソプロピルアルコ
ールを吹きかける。In FIG. 3, first, the non-magnetic substrate 2 on which the pattern corresponding to the digital information signal is formed in the step shown in FIG. 2E is washed (FIG. 3A). As a cleaning method, first, brush cleaning is performed, second, ultrasonic cleaning is performed by dipping in isopropyl alcohol, and third,
While rotating the substrate, isopropyl alcohol is sprayed from the nozzle.
【００２８】次に、ディジタル情報信号に対応するパタ
ーンが形成された非磁性基体２の表面にレジスト膜３を
塗布した後、露光、現像して形状パターンが形成されて
いない領域に凹形状を形成するための形状をパターニン
グする（図３（ｂ））。この時、フォトマスクを用いて
一括にパターン形成を行う。フォトマスクを用いること
により、短時間で大量に作製することができる。Next, after a resist film 3 is applied to the surface of the non-magnetic substrate 2 on which a pattern corresponding to the digital information signal is formed, the resist film 3 is exposed and developed to form a concave shape in a region where the shape pattern is not formed. The pattern to be formed is patterned (FIG. 3B). At this time, a pattern is formed collectively using a photomask. By using a photomask, a large amount can be manufactured in a short time.
【００２９】その後、エッチングすることによって非磁
性基体２に凹形状パターンを形成する（図３（ｃ））。
エッチングには、反応性イオンエッチングを用いること
ができる。反応性イオンエッチングを用いるのは、エッ
チングの異方性制御の容易さ、およびエッチング速度に
おいて格段に優れるため、高速かつ精度の良いエッチン
グを行うことができためである。Thereafter, a concave pattern is formed on the non-magnetic substrate 2 by etching (FIG. 3C).
Reactive ion etching can be used for the etching. Reactive ion etching is used because etching can be performed at high speed and with high accuracy because the anisotropy of etching is easily controlled and the etching rate is extremely excellent.
【００３０】なお、この時のエッチング深さは２μｍ以
上が好ましい。The etching depth at this time is preferably 2 μm or more.
【００３１】次に、残留するレジスト膜３をリムーバ等
の薬液を用いて除去した後、再度洗浄を行う（図３
（ｄ））。この時の洗浄方法としては、第１にブラシ洗
浄を行い、第２に、イソプロピルアルコール中に浸漬し
て超音波洗浄を行い、第３に、基板を回転させながら、
ノズルよりイソプロピルアルコールを吹きかける。Next, after the remaining resist film 3 is removed using a chemical solution such as a remover, cleaning is performed again (FIG. 3).
(D)). As a cleaning method at this time, first, brush cleaning is performed, second, ultrasonic cleaning is performed by immersion in isopropyl alcohol, and third, while rotating the substrate,
Spray isopropyl alcohol from the nozzle.
【００３２】上記実施の形態１、２の方法で作製したマ
スター情報担体上のパターンを、特開平１０−２６９５
６６号に開示されている記録装置を用いて磁気記録媒体
にプリフォーマット記録した後、磁気記録媒体に記録さ
れた信号を磁気ヘッドにより読みとることで、記録信号
の品質に関わる評価を行った。その結果、本発明の実施
の形態１、２による製造方法で作成したマスター情報担
体では、プリフォーマット記録した磁気記録媒体の記録
信号についてレベル差は認められなかった。The pattern on the master information carrier produced by the method of the first or second embodiment is described in Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-2695.
After performing preformat recording on a magnetic recording medium using the recording apparatus disclosed in No. 66, a signal recorded on the magnetic recording medium was read by a magnetic head to evaluate the quality of the recording signal. As a result, in the master information carrier prepared by the manufacturing method according to the first and second embodiments of the present invention, no level difference was recognized in the recording signal of the preformat-recorded magnetic recording medium.
【００３３】また、非磁性基体２に凹形状パターンを形
成していないマスター情報担体を用いて、プリフォーマ
ット記録した磁気記録媒体の記録信号品質を評価した結
果、十分な信号品質を保証できるものではなかった。こ
のことにより、非磁性基体２に凹形状パターンを形成す
る必要があることがわかった。Further, as a result of evaluating the recording signal quality of a magnetic recording medium on which preformat recording has been performed using a master information carrier having no concave pattern formed on the non-magnetic substrate 2, a sufficient signal quality cannot be guaranteed. Did not. This proved that it was necessary to form a concave pattern on the non-magnetic substrate 2.
【００３４】すなわち、本発明の方法を用いることによ
り、信号品質が安定した均質なマスター情報担体を容易
に作製することが可能になることが確認された。That is, it has been confirmed that the use of the method of the present invention makes it possible to easily produce a homogeneous master information carrier having a stable signal quality.
【００３５】以上、本発明の実施の形態例について説明
したが、本発明の構成は、様々な実施形態への応用が可
能である。例えば、本願明細書では、主にハードディス
クドライブ等に搭載される磁気ディスク媒体に応用する
ことに主眼をおいて説明を行ったが、本発明はこれに限
られるものではなく、フレキシブル磁気ディスク、磁気
カードおよび磁気テープ等の磁気記録媒体においても応
用可能であり、上記と同様の効果を得ることができる。Although the embodiments of the present invention have been described above, the configuration of the present invention can be applied to various embodiments. For example, in the specification of the present application, the description has been made mainly on application to a magnetic disk medium mounted on a hard disk drive or the like, but the present invention is not limited to this, and a flexible magnetic disk, The present invention can be applied to a magnetic recording medium such as a card and a magnetic tape, and the same effects as described above can be obtained.
【００３６】また、磁気記録媒体に記録される情報信号
に関しては、トラッキング用サーボ信号やアドレス情報
信号、再生クロック信号等のプリフォーマット信号に主
眼をおいて説明を行ったが、本発明の構成が応用可能な
情報信号も上記に限られたものではない。例えば、本発
明の構成を用いて様々なデータ信号やオーディオ、ビデ
オ信号の記録を行うことも原理的に可能である。この場
合には、本発明のマスター情報担体とこれを用いた磁気
記録媒体への記録技術によって、ソフトディスク媒体の
大量複写生産を行うことができ、それらを安価に提供す
ることが可能となる。The information signal recorded on the magnetic recording medium has been mainly described with respect to the tracking servo signal, the address information signal, and the preformat signal such as the reproduction clock signal. The applicable information signal is not limited to the above. For example, it is possible in principle to record various data signals, audio and video signals using the configuration of the present invention. In this case, the master information carrier of the present invention and the technique of recording on the magnetic recording medium using the master information carrier enable mass-production of soft disk media and provide them at low cost.
【００３７】[0037]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
磁気記録媒体にトラッキング用サーボ信号やアドレス情
報信号、再生クロック信号等のプリフォーマット信号を
静的一括で面記録するためのマスター情報担体の製造方
法において、品質に関わる信頼性を向上して、プリフォ
ーマット記録された磁気記録媒体の記録信号品質の安定
化を図ることが可能となる。As described above, according to the present invention,
In a method of manufacturing a master information carrier for statically collectively recording preformat signals such as a servo signal for tracking, an address information signal, and a reproduction clock signal on a magnetic recording medium, reliability in quality is improved. It is possible to stabilize the recording signal quality of the magnetic recording medium on which the format recording has been performed.
【図１】 本発明の実施の形態による製造方法で製作さ
れたマスター情報担体の構成を示す模式図FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a master information carrier manufactured by a manufacturing method according to an embodiment of the present invention.
【図２】 本発明の実施の形態１によるマスター情報担
体の製造プロセスを示す工程図FIG. 2 is a process chart showing a manufacturing process of the master information carrier according to the first embodiment of the present invention.
【図３】 本発明の実施の形態２によるマスター情報担
体の製造プロセスを示す工程図FIG. 3 is a process chart showing a manufacturing process of a master information carrier according to a second embodiment of the present invention.
１ ディジタル情報信号に対応する形状パターン（強磁
性薄膜） ２ 非磁性基体 ３ レジスト1 Shape pattern (ferromagnetic thin film) corresponding to digital information signal 2 Non-magnetic substrate 3 Resist
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮田 敬三 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5D112 AA18 AA21 GA00 GA08 GA20 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Keizo Miyata 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. F-term (reference) 5D112 AA18 AA21 GA00 GA08 GA20
Claims (2)
ーンが非磁性基体の表面に強磁性体薄膜の配列により形
成された領域と、前記形状パターンが形成されていない
領域とが設けられ、磁気記録媒体の表面に接触させるこ
とにより前記ディジタル情報信号を記録するためのマス
ター情報担体の製造方法であって、 前記非磁性基体を洗浄し、 前記非磁性基体にディジタル情報信号に対応する形状パ
ターンをレジストにより形成し、 前記非磁性基体の表面に反応性エッチングを用いてディ
ジタル情報信号に対応する凹部形状パターンを形成し、 前記凹部に強磁性体薄膜を成膜し、 前記強磁性体薄膜の前記凹部に埋め込まれた部分以外を
除去することを特徴とするマスター情報担体の製造方
法。1. A magnetic recording medium comprising: a region where a shape pattern corresponding to a digital information signal is formed on a surface of a non-magnetic substrate by arranging ferromagnetic thin films; and a region where the shape pattern is not formed. A method for manufacturing a master information carrier for recording the digital information signal by contacting the surface of the non-magnetic substrate, wherein the non-magnetic substrate is washed, and a shape pattern corresponding to the digital information signal is formed on the non-magnetic substrate by a resist. Forming a concave shape pattern corresponding to a digital information signal using reactive etching on the surface of the non-magnetic substrate; forming a ferromagnetic thin film in the concave portion; and forming a ferromagnetic thin film in the concave portion of the ferromagnetic thin film. A method for manufacturing a master information carrier, comprising removing portions other than the embedded portion.
性基体を洗浄し、 少なくとも前記形状パターンが形成されている領域表面
を覆うレジストパターンを形成し、 前記形状パターンが形成されていない領域を反応性エッ
チングにより凹形状とすることを特徴とする請求項１記
載のマスター情報担体の製造方法。2. The method according to claim 1, further comprising: cleaning the non-magnetic substrate on which the shape pattern is formed, forming a resist pattern covering at least a surface of the region on which the shape pattern is formed, and reacting a region on which the shape pattern is not formed. 2. The method for producing a master information carrier according to claim 1, wherein the concave shape is formed by reactive etching.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000131576A JP2001312818A (en) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | Method for manufacturing master information carrier |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000131576A JP2001312818A (en) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | Method for manufacturing master information carrier |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001312818A true JP2001312818A (en) | 2001-11-09 |
Family
ID=18640447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2000131576A Pending JP2001312818A (en) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | Method for manufacturing master information carrier |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001312818A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6031159B1 (en) * | 2015-06-15 | 2016-11-24 | 株式会社Ｎｓｃ | Production method of recycled glass substrate for magnetic recording medium |
-
2000
- 2000-04-28 JP JP2000131576A patent/JP2001312818A/en active Pending
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