JP2001312820A - Method for magnetic recording of master information, master information carrier, magnetic recording and reproducing device and hard disk drive - Google Patents
Method for magnetic recording of master information, master information carrier, magnetic recording and reproducing device and hard disk driveInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に情
報信号をプリフォーマット記録するためのマスター情報
記録方法およびマスター情報担体、およびマスター情報
記録方法によりプ情報信号をプリフォーマット記録した
磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置に関し、特に、
予めマスター情報担体を用いて情報信号をプリフォーマ
ット記録したディスク状磁気記録媒体を組み込んだハー
ドディスクドライブに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a master information recording method and a master information carrier for preformat recording an information signal on a magnetic recording medium, and a magnetic recording medium on which a preinformation signal is preformatted by the master information recording method. With respect to a magnetic recording and reproducing apparatus using
The present invention relates to a hard disk drive incorporating a disk-shaped magnetic recording medium in which an information signal is preformat-recorded using a master information carrier in advance.
【０００２】[0002]
【従来の技術】現在、磁気記録再生装置は、小型でかつ
大容量のものを実現するために、高記録密度化の傾向に
ある。代表的な磁気記録再生装置であるハードディスク
ドライブの分野においては、すでに面記録密度が３Ｇｂ
ｉｔ／ｉｎ2（４．６５Ｍｂｉｔ／ｍｍ2）を超える装置
が商品化されており、数年後には、面記録密度が１０Ｇ
ｂｉｔ／ｉｎ2（１５．５Ｍｂｉｔ／ｍｍ2）の装置の実
用化が予測されるほどの急峻な技術の進歩が認められ
る。2. Description of the Related Art At present, a magnetic recording / reproducing apparatus has a tendency to have a high recording density in order to realize a small-sized and large-capacity apparatus. In the field of hard disk drives, which are typical magnetic recording / reproducing devices, the areal recording density is already 3 Gb.
A device exceeding it / in 2 (4.65 Mbit / mm 2 ) has been commercialized.
A steep technological advancement is expected such that practical application of a device of bit / in 2 (15.5 Mbit / mm 2 ) is expected.
【０００３】このような高記録密度化が可能になった技
術的背景として、磁気記録媒体およびヘッド・ディスク
インターフェースの性能の向上やパーシャルレスポンス
等の新規な信号処理方式の出現による線記録密度の向上
が挙げられる。しかし、近年では、トラック密度の増加
傾向が線記録密度の増加傾向を大きく上回り、面記録密
度の向上の主な要因となっている。これは、従来の誘導
型磁気ヘッドに比べて再生出力性能がはるかに優れた磁
気抵抗素子型ヘッドの実用化によるものである。現在、
磁気抵抗素子型ヘッドの実用化により、数μｍ以下のト
ラック幅信号を高いＳ／Ｎ比をもって再生することが可
能となっている。一方、今後のさらなるヘッド性能の向
上に伴い、近い将来には、トラックピッチがサブミクロ
ン領域に達するものと予想されている。[0003] The technical background that has enabled such a high recording density is to improve the performance of the magnetic recording medium and the head-disk interface and to improve the linear recording density by the emergence of a new signal processing method such as a partial response. Is mentioned. However, in recent years, the increasing trend of the track density has greatly exceeded the increasing trend of the linear recording density, which is a major factor in improving the areal recording density. This is due to the practical use of a magnetoresistive element type head which has much better reproduction output performance than a conventional induction type magnetic head. Current,
With the practical use of the magnetoresistive element type head, it is possible to reproduce a track width signal of several μm or less with a high S / N ratio. On the other hand, it is expected that the track pitch will reach the submicron region in the near future with further improvement in head performance in the future.
【０００４】さて、ヘッドがこのような狭トラックを正
確に走査し、信号をＳ／Ｎ良く再生するためには、ヘッ
ドのトラッキングサーボ技術が重要な役割を果たしてい
る。このようなトラッキングサーボ技術に関しては、例
えば、「山口：磁気ディスク装置の高精度サーボ技術、
日本応用磁気学会誌、Ｖｏｌ．２０，Ｎｏ．３，ｐｐ．
７７１，（１９９６）」に詳細な内容が示されている。
上記の文献によれば、現在のハードディスクドライブで
は、ディスクの１周、すなわち角度にして３６０度中に
おいて、一定の角度間隔でトラッキング用サーボ信号や
アドレス情報信号、再生クロック信号等が記録された領
域を設けている（以下、プリフォーマットと称する）。
磁気ヘッドは、一定間隔でこれらの信号を再生すること
により、ヘッドの位置を確認、修正しながら正確にトラ
ック上を走査することができるのである。In order for the head to accurately scan such a narrow track and reproduce a signal with good S / N, the tracking servo technique of the head plays an important role. Regarding such tracking servo technology, for example, “Yamaguchi: High-precision servo technology for magnetic disk devices,
Journal of the Japan Society of Applied Magnetics, Vol. 20, no. 3, pp.
771, (1996) ".
According to the above-mentioned literature, in the current hard disk drive, an area in which a tracking servo signal, an address information signal, a reproduction clock signal, and the like are recorded at a constant angular interval in one round of the disk, that is, in 360 degrees. (Hereinafter, referred to as preformat).
By reproducing these signals at regular intervals, the magnetic head can accurately scan the track while confirming and correcting the position of the head.
【０００５】既述のトラッキング用サーボ信号やアドレ
ス情報信号、再生クロック信号等は、ヘッドが正確にト
ラック上を走査するための基準信号となるものであるの
で、その記録時には、正確な位置決め精度が要求され
る。例えば、「植松、他：メカ・サーボ、ＨＤＩ技術の
現状と展望、日本応用磁気学会第９３回研究会資料、９
３−５，ｐｐ．３５（１９９６）」に記載された内容に
よれば、現在のハードディスクドライブでは、ディスク
をドライブに組み込んだ後、専用のサーボ記録装置を用
いて厳密に位置制御された磁気ヘッドによりプリフォー
マット記録が行われている。The above-described tracking servo signal, address information signal, reproduction clock signal, and the like serve as reference signals for the head to accurately scan the track. Required. For example, "Uematsu, et al .: Current Status and Prospects of Mechanical Servo, HDI Technology, 93rd Meeting of the Japan Society of Applied Magnetics, 9
3-5, pp. 35 (1996)], in a current hard disk drive, after a disk is incorporated in the drive, preformat recording is performed by a magnetic head whose position is strictly controlled using a dedicated servo recording device. Have been done.
【０００６】従来より、上記のような専用のサーボ記録
装置を用いた磁気ヘッドによるサーボ信号やアドレス情
報信号、再生クロック信号のプリフォーマット記録にお
いては、以下のような問題点があった。Conventionally, there have been the following problems in preformat recording of a servo signal, an address information signal, and a reproduced clock signal by a magnetic head using a dedicated servo recording device as described above.
【０００７】まず第１に、磁気ヘッドによる記録は、基
本的にヘッドと媒体との相対移動に基づく線記録であ
る。このため、専用のサーボ記録装置を用いて磁気ヘッ
ドを厳密に位置制御しながら記録を行う上記の方法で
は、プリフォーマット記録に多くの時間を要するととも
に、専用のサーボ記録装置が相当に高価であることにも
起因して、非常にコスト高となる。First, recording by a magnetic head is basically line recording based on the relative movement between the head and the medium. Therefore, in the above-described method of performing recording while strictly controlling the position of the magnetic head using a dedicated servo recording device, preformat recording requires a lot of time, and the dedicated servo recording device is considerably expensive. This results in a very high cost.
【０００８】第２に、ヘッド・媒体間スペーシングや記
録ヘッドのポール形状による記録磁界の広がりのため、
プリフォーマット記録されたトラック端部の磁化遷移が
急峻性に欠けるという点がある。現在のトラッキングサ
ーボ技術は、ヘッドがトラックをはずれて走査した際の
再生出力の変化量によって、ヘッドの位置検出を行うも
のである。従って、プリフォーマット記録された信号ト
ラックには、サーボ領域間に記録されたデータ情報信号
を再生する際のように、ヘッドがトラック上を正確に走
査した際のＳ／Ｎ比に優れるだけではなく、ヘッドがト
ラックをはずれて走査した際の再生出力変化量、すなわ
ちオフトラック特性が急峻であることが要求される。上
記の問題はこの要求に反するものであり、今後のサブミ
クロントラック記録における正確なトラッキングサーボ
技術の実現を困難なものとしている。Second, because of the spread of the recording magnetic field due to the spacing between the head and the medium and the pole shape of the recording head,
There is a point that the magnetization transition at the end of the track on which the preformat recording is performed lacks sharpness. Current tracking servo technology detects the position of the head based on the amount of change in the reproduction output when the head scans off the track. Therefore, the signal track recorded in the preformat has not only an excellent S / N ratio when the head accurately scans the track as in reproducing the data information signal recorded between the servo areas, but also has It is required that the amount of change in the reproduction output when the head scans off the track, that is, the off-track characteristic is steep. The above problem is contrary to this requirement, and makes it difficult to realize an accurate tracking servo technique in the future submicron track recording.
【０００９】さて、上記のような磁気ヘッドによるプリ
フォーマット記録の課題を解決する手段として、基体の
表面にプリフォーマット情報信号に対応する強磁性薄膜
パターンが形成されているマスター情報担体の表面を、
磁気記録媒体の表面に接触させた後に、マスター情報担
体に形成された強磁性薄膜パターンを磁化させることに
より、強磁性薄膜パターンに対応する磁化パターンを磁
気記録媒体に記録する技術が提案されている（特開平１
０−４０５４４号公報）。このプリフォーマット記録技
術によれば、記録媒体のＳ／Ｎ比、インターフェース性
能等の他の重要性能を犠牲にすることなく、良好なプリ
フォーマット記録を効率的に行うことができる。As a means for solving the problem of the preformat recording by the magnetic head as described above, a surface of a master information carrier having a ferromagnetic thin film pattern corresponding to a preformat information signal formed on a surface of a base,
There has been proposed a technique of recording a magnetization pattern corresponding to a ferromagnetic thin film pattern on a magnetic recording medium by magnetizing a ferromagnetic thin film pattern formed on a master information carrier after being brought into contact with a surface of a magnetic recording medium. (Japanese Unexamined Patent Publication No.
0-40544). According to this preformat recording technique, good preformat recording can be efficiently performed without sacrificing other important performances such as the S / N ratio of the recording medium and interface performance.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】また、上記従来の技術
では、信号記録の過程において、マスター情報担体と磁
気記録媒体の間に、大面積にわたって均一かつ良好な密
着性を実現することが必要である。In the above conventional technique, it is necessary to realize uniform and good adhesion over a large area between a master information carrier and a magnetic recording medium in a signal recording process. is there.
【００１１】例えば、記録過程において、特開平１０−
２６９５６６号公報に開示されているように、マスター
情報担体と磁気ディスクとの間の空気を吸引することに
より周辺の大気圧による押圧を利用して密着をおこなっ
ている。For example, in the recording process, Japanese Patent Application Laid-Open
As disclosed in Japanese Patent Publication No. 269566, the air is sucked between the master information carrier and the magnetic disk to make close contact by utilizing the pressure by the surrounding atmospheric pressure.
【００１２】一般的に、磁気ディスクには「スキージャ
ンプ」と呼ばれるディスク端部に凸状部分がある。この
様な凸状部分が存在することにより、外周部においてマ
スター情報担体と磁気ディスクとの良好な密着性が得ら
れないことになり、外周部において記録信号の劣化をお
こすことになる。Generally, a magnetic disk has a convex portion at the end of the disk called "ski jump". Due to the presence of such a convex portion, good adhesion between the master information carrier and the magnetic disk cannot be obtained in the outer peripheral portion, and the recording signal is deteriorated in the outer peripheral portion.
【００１３】上記の観点から、本発明は、マスター情報
担体とハードディスクの全面均一な密着性を可能にする
ことにより、マスター情報担体からハードディスクにプ
リフォーマット記録された情報信号の高品質化および均
質化を図ることを目的とする。In view of the above, the present invention is to improve the quality and homogenization of information signals preformat recorded on a hard disk from a master information carrier by enabling uniform adhesion over the entire surface of the master information carrier and the hard disk. The purpose is to plan.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明に係る第１のマスター情報記録方法は、非磁
性基体上に強磁性薄膜からなる磁性部を所定の情報信号
に対応する配列パターン形状になるように形成してマス
ター情報担体とし、前記マスター情報担体の磁性部側が
磁気記録媒体に対向するように、前記マスター情報担体
を前記磁気記録媒体に重ね合わせるとともに、前記マス
ター情報担体の磁性部を磁化することにより、マスター
情報担体に形成された情報信号の配列パターンを情報信
号側の磁化パターンとして磁気記録媒体に転写記録する
マスター情報磁気記録方法であって、前記磁気記録媒体
の外縁部に対向する前記非磁性基体の外縁部に凹状部を
有する前記マスター情報担体を用いることを特徴とす
る。In order to achieve the above-mentioned object, a first master information recording method according to the present invention is to provide a magnetic section made of a ferromagnetic thin film on a non-magnetic substrate to correspond to a predetermined information signal. The master information carrier is superposed on the magnetic recording medium such that the master information carrier is formed so as to have an array pattern shape, and the magnetic information side of the master information carrier faces the magnetic recording medium. By magnetizing the magnetic part of the master information carrier, a master information magnetic recording method for transferring and recording an array pattern of information signals formed on the master information carrier as a magnetization pattern on the information signal side to a magnetic recording medium, comprising: It is characterized in that the master information carrier having a concave portion at the outer edge of the non-magnetic substrate facing the outer edge is used.
【００１５】前記の目的を達成するため、本発明に係る
第２のマスター情報記録方法は、非磁性基体上に強磁性
薄膜からなる磁性部を所定の情報信号に対応する配列パ
ターン形状になるように形成してマスター情報担体と
し、前記マスター情報担体の磁性部側が磁気記録媒体に
対向するように、前記マスター情報担体を前記磁気記録
媒体に重ね合わせるとともに、前記マスター情報担体の
磁性部を磁化することにより、マスター情報担体に形成
された情報信号の配列パターンを情報信号側の磁化パタ
ーンとして磁気記録媒体に転写記録するマスター情報磁
気記録方法であって、前記磁気記録媒体に対向する全表
面が前記磁気記録媒体の外縁部より内側で前記磁気記録
媒体と接触する寸法形状を有する前記マスター情報担体
を用いることを特徴とする。In order to achieve the above object, a second master information recording method according to the present invention is arranged such that a magnetic portion formed of a ferromagnetic thin film on a non-magnetic substrate has an array pattern shape corresponding to a predetermined information signal. The master information carrier is superposed on the magnetic recording medium such that the magnetic part side of the master information carrier faces the magnetic recording medium, and the magnetic part of the master information carrier is magnetized. Thereby, a master information magnetic recording method in which an array pattern of information signals formed on a master information carrier is transferred and recorded on a magnetic recording medium as a magnetization pattern on the information signal side, wherein the entire surface facing the magnetic recording medium is Using the master information carrier having a dimension and shape that comes into contact with the magnetic recording medium inside the outer edge of the magnetic recording medium. To.
【００１６】前記の目的を達成するため、本発明に係る
第３のマスター情報記録方法は、非磁性基体上に強磁性
薄膜からなる磁性部を所定の情報信号に対応する配列パ
ターン形状になるように形成してマスター情報担体と
し、前記マスター情報担体の磁性部側が磁気記録媒体に
対向するように、前記マスター情報担体を前記磁気記録
媒体に重ね合わせるとともに、前記マスター情報担体の
磁性部を磁化することにより、マスター情報担体に形成
された情報信号の配列パターンを情報信号側の磁化パタ
ーンとして磁気記録媒体に転写記録するためのマスター
情報磁気記録方法であって、前記情報信号に対応する形
状パターンを形成している外縁部より内側の表面部分
が、前記情報信号に対応する形状パターンを形成してい
ない外縁部の表面部分よりも凸状に構成された前記マス
ター情報担体を用いることを特徴とするマスター情報記
録方法。In order to achieve the above object, a third master information recording method according to the present invention is such that a magnetic portion formed of a ferromagnetic thin film on a non-magnetic substrate has an array pattern shape corresponding to a predetermined information signal. The master information carrier is superposed on the magnetic recording medium such that the magnetic part side of the master information carrier faces the magnetic recording medium, and the magnetic part of the master information carrier is magnetized. Thereby, a master information magnetic recording method for transferring and recording an array pattern of information signals formed on the master information carrier as a magnetization pattern on the information signal side on a magnetic recording medium, wherein a shape pattern corresponding to the information signal is formed. The surface portion inside the formed outer edge portion is the surface portion of the outer edge portion where the shape pattern corresponding to the information signal is not formed. Master information recording method which comprises using the master information carrier that is configured to Rimototsu shape.
【００１７】前記の目的を達成するため、本発明に係る
第４のマスター情報記録方法は、非磁性基体上に強磁性
薄膜からなる磁性部を所定の情報信号に対応する配列パ
ターン形状になるように形成してマスター情報担体と
し、前記マスター情報担体の磁性部側が磁気記録媒体に
対向するように、前記マスター情報担体を前記磁気記録
媒体に重ね合わせるとともに、前記マスター情報担体の
磁性部を磁化することにより、マスター情報担体に形成
された情報信号の配列パターンを情報信号側の磁化パタ
ーンとして磁気記録媒体に転写記録するためのマスター
情報磁気記録方法であって、前記強磁性薄膜が前記非磁
性基体の表面より突出して構成された前記マスター情報
担体を用いることを特徴とする。In order to achieve the above object, in a fourth master information recording method according to the present invention, a magnetic portion formed of a ferromagnetic thin film on a non-magnetic substrate has an arrangement pattern shape corresponding to a predetermined information signal. The master information carrier is superposed on the magnetic recording medium such that the magnetic part side of the master information carrier faces the magnetic recording medium, and the magnetic part of the master information carrier is magnetized. A master information magnetic recording method for transferring and recording an array pattern of information signals formed on a master information carrier on a magnetic recording medium as a magnetization pattern on the information signal side, wherein the ferromagnetic thin film is formed on the nonmagnetic substrate. Wherein the master information carrier is configured to protrude from the surface of the master information carrier.
【００１８】前記の目的を達成するため、本発明に係る
第１のマスター情報担体は、所定の情報信号の磁化パタ
ーンを磁気記録媒体に転写するためのマスター情報担体
であって、非磁性基体と、所定の情報信号に対応する配
列パターン形状になるように、前記非磁性基体上に強磁
性薄膜により形成された磁性部とを備え、前記非磁性基
体は、前記磁気記録媒体の外縁部に対向した凹状部を有
することを特徴とする。In order to achieve the above object, a first master information carrier according to the present invention is a master information carrier for transferring a magnetization pattern of a predetermined information signal onto a magnetic recording medium. A magnetic portion formed of a ferromagnetic thin film on the non-magnetic base so as to have an array pattern shape corresponding to a predetermined information signal, wherein the non-magnetic base is opposed to an outer edge of the magnetic recording medium. It is characterized by having a concave portion.
【００１９】前記の目的を達成するため、本発明に係る
第２のマスター情報担体は、所定の情報信号の磁化パタ
ーンを磁気記録媒体に転写するためのマスター情報担体
であって、非磁性基体と、所定の情報信号に対応する配
列パターン形状になるように、前記非磁性基体上に強磁
性薄膜により形成された磁性部とを備え、前記磁気記録
媒体に対向する前記非磁性基体と前記磁性部の全表面が
前記磁気記録媒体の外縁部より内側で前記磁気記録媒体
と接触するように構成したことを特徴とする。In order to achieve the above object, a second master information carrier according to the present invention is a master information carrier for transferring a magnetization pattern of a predetermined information signal onto a magnetic recording medium, and comprises a non-magnetic base and A magnetic portion formed of a ferromagnetic thin film on the nonmagnetic substrate so as to have an array pattern shape corresponding to a predetermined information signal, wherein the nonmagnetic substrate and the magnetic portion oppose the magnetic recording medium. Is characterized in that the entire surface thereof contacts the magnetic recording medium inside the outer edge of the magnetic recording medium.
【００２０】前記の目的を達成するため、本発明に係る
第３のマスター情報担体は、所定の情報信号の磁化パタ
ーンを磁気記録媒体に転写するためのマスター情報担体
であって、非磁性基体と、所定の情報信号に対応する配
列パターン形状になるように、前記非磁性基体上に強磁
性薄膜により形成された磁性部とを備え、前記磁性部が
形成された前記非磁性基体の外縁部より内側の表面部分
が、前記磁性部が形成されていない前記非磁性基体の外
縁部の表面部分よりも凸状に構成されていることを特徴
とする。In order to achieve the above object, a third master information carrier according to the present invention is a master information carrier for transferring a magnetization pattern of a predetermined information signal onto a magnetic recording medium, comprising a non-magnetic base and A magnetic portion formed of a ferromagnetic thin film on the non-magnetic substrate so as to have an array pattern shape corresponding to a predetermined information signal, wherein the outer peripheral portion of the non-magnetic substrate on which the magnetic portion is formed An inner surface portion is configured to be more convex than a surface portion of an outer edge portion of the nonmagnetic base on which the magnetic portion is not formed.
【００２１】前記の目的を達成するため、本発明に係る
第４のマスター情報担体は、所定の情報信号の磁化パタ
ーンを磁気記録媒体に転写するためのマスター情報担体
であって、非磁性基体と、所定の情報信号に対応する配
列パターン形状になるように、前記非磁性基体上に強磁
性薄膜により形成された磁性部とを備え、前記強磁性薄
膜が前記非磁性基体の表面より突出して構成されている
ことを特徴とする。In order to achieve the above object, a fourth master information carrier according to the present invention is a master information carrier for transferring a magnetization pattern of a predetermined information signal onto a magnetic recording medium. A magnetic portion formed of a ferromagnetic thin film on the nonmagnetic substrate so as to have an array pattern shape corresponding to a predetermined information signal, wherein the ferromagnetic thin film protrudes from the surface of the nonmagnetic substrate. It is characterized by having been done.
【００２２】前記の目的を達成するため、本発明に係る
磁気記録再生装置は、前記第１から第４のマスター情報
記録方法を用いてプリフォーマット記録した磁気記録媒
体を用いたことを特徴とする。In order to achieve the above object, a magnetic recording / reproducing apparatus according to the present invention uses a magnetic recording medium which has been preformat-recorded using the first to fourth master information recording methods. .
【００２３】前記の目的を達成するため、本発明に係る
ハードディスクドライブは、ディスク状磁気記録媒体を
有するハードディスクドライブであって、前記第１から
第４のマスター情報担体を用いて、あらかじめ磁性膜に
プリフォーマット記録に用いる磁化パターンを転写記録
してなるディスク状磁気記録媒体を組み込んだ構成とし
たことを特徴とする。In order to achieve the above object, a hard disk drive according to the present invention is a hard disk drive having a disk-shaped magnetic recording medium, wherein a magnetic film is previously formed on the magnetic film by using the first to fourth master information carriers. The present invention is characterized in that a disk-shaped magnetic recording medium obtained by transferring and recording a magnetization pattern used for preformat recording is incorporated.
【００２４】上記方法および構成によれば、マスター情
報担体と磁気記録媒体との間で良好な接触状態が得ら
れ、マスター情報担体に設けられた配列パターン形状に
よる情報信号を磁化パターンによる情報信号として、磁
気記録媒体全面に亘って均一にかつ安定して転写記録で
きることになる。これにより、プリフォーマット記録さ
れた記録信号の高品質化および均質化を実現した磁気記
録再生装置、特にハードディスクドライブを提供するこ
とが可能になる。According to the above method and configuration, a good contact state is obtained between the master information carrier and the magnetic recording medium, and the information signal based on the arrangement pattern provided on the master information carrier is converted into the information signal based on the magnetization pattern. Thus, the transfer recording can be performed uniformly and stably over the entire surface of the magnetic recording medium. As a result, it is possible to provide a magnetic recording / reproducing apparatus, in particular, a hard disk drive, which achieves high quality and homogenization of a preformat recorded recording signal.
【００２５】[0025]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２６】図１は、本発明の一実施形態に係るマスタ
ー情報記録方法が適用される記録装置の概略構成を一部
断面で示す模式図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing a schematic configuration of a recording apparatus to which a master information recording method according to an embodiment of the present invention is applied.
【００２７】図１において、ディスク状磁気記録媒体と
しての円盤状のハードディスク１は、中心孔１ａを有す
るドーナツ円盤状のアルミニウム基板の表面に、Ｃｏ等
からなる強磁性薄膜をスパッタリング法によって成膜す
ることにより構成されている。In FIG. 1, a disk-shaped hard disk 1 as a disk-shaped magnetic recording medium has a ferromagnetic thin film made of Co or the like formed by a sputtering method on the surface of a donut disk-shaped aluminum substrate having a center hole 1a. It is constituted by.
【００２８】２は、ハードディスク１の強磁性薄膜など
からなる磁性膜表面に接触するように重ね合わせて配置
された円盤状のマスター情報担体である。このマスター
情報担体２は、ハードディスク１に接触する側の表面に
は、ハードディスク１に磁気転写すべき情報信号に対応
した微細な配列パターン形状の強磁性薄膜からなる磁性
部として信号領域２ａが設けられている。Numeral 2 denotes a disk-shaped master information carrier which is arranged so as to be in contact with the surface of a magnetic film made of a ferromagnetic thin film or the like of the hard disk 1. The master information carrier 2 has a signal area 2a as a magnetic portion made of a ferromagnetic thin film having a fine array pattern corresponding to an information signal to be magnetically transferred to the hard disk 1 on a surface in contact with the hard disk 1. ing.
【００２９】３は、ハードディスク１を保持するディス
ク保持体であり、このディスク保持体３の先端部には、
ハードディスク１を位置決めする保持チャック部３ａが
設けられている。また、ディスク保持体３内部には、ハ
ードディスク１の中心孔１ａに連通し、かつ一端が排気
ダクト４に接続される吸引孔３ｂが設けられている。Numeral 3 denotes a disk holder for holding the hard disk 1.
A holding chuck 3a for positioning the hard disk 1 is provided. Further, a suction hole 3 b communicating with the center hole 1 a of the hard disk 1 and having one end connected to the exhaust duct 4 is provided inside the disk holder 3.
【００３０】また、排気ダクト４の端部には排気装置５
が装着されており、この排気装置５を始動させることに
より、排気ダクト４、ディスク保持体３の吸引孔３ｂを
通して、ハードディスク１とマスター情報担体２との間
の空間が負圧状態となり、この結果、マスター情報担体
２がハードディスク１の方向に吸引され、マスター情報
担体２にハードディスク１が位置決めされた状態で重ね
合わされる。なお、この時、ハードディスク１とマスタ
ー情報担体２の間には若干隙間があり、その隙間を通し
て、図１の矢印で示すように外部から空気が吸引され
る。An exhaust device 5 is provided at the end of the exhaust duct 4.
When the exhaust device 5 is started, the space between the hard disk 1 and the master information carrier 2 is brought into a negative pressure state through the exhaust duct 4 and the suction hole 3b of the disk holder 3, and as a result, Then, the master information carrier 2 is sucked in the direction of the hard disk 1 and is superposed on the master information carrier 2 with the hard disk 1 positioned. At this time, there is a slight gap between the hard disk 1 and the master information carrier 2, and air is sucked from the outside through the gap as shown by the arrow in FIG.
【００３１】着磁用ヘッド６は、マスター情報担体２か
らハードディスク１に転写記録するためのもので、この
着磁用ヘッド６が発生する磁界により、マスター情報担
体２に形成された情報信号に対応した磁化パターンでハ
ードディスク１に情報信号が記録される。The magnetizing head 6 is for transferring and recording from the master information carrier 2 to the hard disk 1. The magnetic field generated by the magnetizing head 6 corresponds to the information signal formed on the master information carrier 2. An information signal is recorded on the hard disk 1 with the set magnetization pattern.
【００３２】この着磁用ヘッド６は、図２に示すよう
に、コイル６ａを具備した磁気コア半体６ｂ、および磁
気コア半体６ｃとを対向させてギャップ６ｄを形成した
ものであり、コイル６ａに電流を印加することによっ
て、ギャップ６ｄには、矢印で示すように磁気コア半体
６ｂから磁気コア半体６ｃに向かう磁界が発生し、また
印加する電流の向きを変えることによってギャップ６ｄ
に発生する磁界の方向を変えることができる。As shown in FIG. 2, the magnetizing head 6 has a magnetic core half 6b having a coil 6a and a magnetic core half 6c opposed to each other to form a gap 6d. When a current is applied to the gap 6d, a magnetic field is generated in the gap 6d from the magnetic core half 6b toward the magnetic core half 6c as indicated by an arrow, and the gap 6d is changed by changing the direction of the applied current.
The direction of the magnetic field generated can be changed.
【００３３】また、着磁用ヘッド６のギャップ６ｄの形
状は、マスター情報担体２に対向する面において、記録
再生用磁気ヘッドのトラッキング走査軌道と同じ円弧に
なっている。また、磁気コア半体６ｂ、６ｃにおけるマ
スター情報担体２に対向する面は扇形状であり、その一
辺が、記録再生用磁気ヘッドのトラッキング走査軌道と
同じ円弧になっている。従って、ギャップ６ｄに発生す
る磁界の方向は、トラッキング走査軌道と常に垂直とな
り、マスター情報担体２の強磁性薄膜は、全てのトラッ
クにおいて、記録再生磁気ヘッドのトラッキング走査方
向と垂直な方向に磁化される。すなわち、記録再生磁気
ヘッドのヘッドギャップ長方向と同じ方向に磁化される
のである。The shape of the gap 6d of the magnetizing head 6 is the same arc on the surface facing the master information carrier 2 as the tracking scanning orbit of the recording / reproducing magnetic head. The surfaces of the magnetic core halves 6b and 6c facing the master information carrier 2 are fan-shaped, and one side thereof has the same arc as the tracking scanning trajectory of the recording / reproducing magnetic head. Therefore, the direction of the magnetic field generated in the gap 6d is always perpendicular to the tracking scanning trajectory, and the ferromagnetic thin film of the master information carrier 2 is magnetized in all the tracks in the direction perpendicular to the tracking scanning direction of the recording / reproducing magnetic head. You. That is, it is magnetized in the same direction as the head gap length direction of the recording / reproducing magnetic head.
【００３４】次に、本実施形態によるマスター情報記録
方法において用いるマスター情報担体の一例について説
明する。Next, an example of the master information carrier used in the master information recording method according to the present embodiment will be described.
【００３５】図３は、マスター情報担体２の一構成を模
式的に示す平面図である。FIG. 3 is a plan view schematically showing one configuration of the master information carrier 2.
【００３６】図３に示すように、マスター情報担体２の
一主面、すなわちハードディスク１の強磁性薄膜表面に
接触する側の表面には、略放射状に信号領域２ａが形成
されている。As shown in FIG. 3, a signal area 2a is formed substantially radially on one main surface of the master information carrier 2, that is, on the surface in contact with the ferromagnetic thin film surface of the hard disk 1.
【００３７】図３の点線で囲んだ部分Ａの拡大図を、図
４に模式的に示す。図４に示すように、信号領域２ａに
は、例えばプリフォーマット記録に対応する位置に、磁
気記録媒体に記録すべき情報信号に対応したパターン形
状で強磁性薄膜からなる磁性部によるマスター情報パタ
ーンが形成されている。図４において、ハッチングを施
した部分が強磁性薄膜によって構成された磁性部であ
る。この図４に示すマスター情報パターンは、クロック
信号、トラッキング用サーボ信号、アドレス信号等の各
々の領域をトラック方向に順次配列したものである。な
お、図４に示すマスター情報パターンは一例であり、磁
気記録媒体に記録されるディジタル情報信号に応じて、
マスター情報パターンの構成や配置等が適宜決定される
ことになる。FIG. 4 is an enlarged view of a portion A surrounded by a dotted line in FIG. As shown in FIG. 4, in the signal area 2a, for example, at a position corresponding to preformat recording, a master information pattern formed by a magnetic portion made of a ferromagnetic thin film in a pattern shape corresponding to an information signal to be recorded on a magnetic recording medium. Is formed. In FIG. 4, a hatched portion is a magnetic portion composed of a ferromagnetic thin film. The master information pattern shown in FIG. 4 is obtained by sequentially arranging respective areas of a clock signal, a tracking servo signal, an address signal, and the like in the track direction. It should be noted that the master information pattern shown in FIG. 4 is an example, and the master information pattern shown in FIG.
The configuration and arrangement of the master information pattern are determined as appropriate.
【００３８】例えば、ハードディスクドライブのよう
に、ハードディスクの磁性膜に、まずリファレンス信号
を記録し、そのリファレンス信号に基づきトラッキング
用サーボ信号などのプリフォーマット記録を行う場合に
は、本実施形態におけるマスター情報担体を用いてハー
ドディスクの磁性膜に、あらかじめプリフォーマット記
録に用いるリファレンス信号のみを転写記録し、そして
そのハードディスクをドライブの筐体内に組み込み、ト
ラッキング用サーボ信号などのプリフォーマット記録
は、ハードディスクドライブの磁気ヘッドを使用して行
うようにしてもよい。For example, when a reference signal is first recorded on a magnetic film of a hard disk as in a hard disk drive and preformat recording such as a servo signal for tracking is performed based on the reference signal, the master information in this embodiment is used. Only the reference signal used for preformat recording is transferred and recorded in advance on the magnetic film of the hard disk using a carrier, and the hard disk is incorporated in the drive housing.Preformat recording such as servo signals for tracking is performed by the magnetic recording of the hard disk drive. You may make it perform using a head.
【００３９】次に、マスター情報担体２に形成したパタ
ーン形状に対応した情報信号を、ディスク状磁気記録媒
体であるハードディスク１に記録する手順について説明
する。Next, a procedure for recording an information signal corresponding to the pattern shape formed on the master information carrier 2 on the hard disk 1, which is a disk-shaped magnetic recording medium, will be described.
【００４０】まず、図５に示すように、着磁ヘッド６を
ハードディスク１に近づけた状態で、ハードディスク１
の中心軸を回転軸としてハードディスク１と平行に回転
させることにより、図６の矢印で示すように、ハードデ
ィスク１を予め一方向に磁化する（初期磁化）。First, as shown in FIG. 5, with the magnetized head 6 close to the hard disk 1,
The hard disk 1 is magnetized in one direction in advance (initial magnetization) as shown by an arrow in FIG.
【００４１】次に、図１に示すように、ハードディスク
１にマスター情報担体２を位置決めして重ね合わせた状
態で、排気装置５を始動させることにより、ハードディ
スク１の中心孔１ａを通してマスター情報担体２が吸引
され、マスター情報担体２の強磁性薄膜が形成されてい
る信号領域２ａ面とハードディスク１の対向面とが均一
に密着するように重ね合わされる。Next, as shown in FIG. 1, the exhaust device 5 is started in a state where the master information carrier 2 is positioned and superimposed on the hard disk 1 so that the master information carrier 2 passes through the center hole 1a of the hard disk 1. Is sucked, and the surface of the signal area 2a of the master information carrier 2 where the ferromagnetic thin film is formed and the opposing surface of the hard disk 1 are superimposed so as to be in close contact with each other.
【００４２】その後、図７に示す状態で、着磁ヘッド６
による磁界の方向を初期磁化とは逆方向に発生するよう
に電流の向きを逆にし、かつディスク保持体３に保持さ
れているハードディスク１の中心を回転中心として、マ
スター情報担体２と平行に回転させることにより、マス
ター情報担体２に直流励磁磁界を印加する。これによ
り、マスター情報担体２の強磁性薄膜が磁化され、そし
てマスター情報担体２に重ね合わせたハードディスク１
の所定の領域１ｂに、図８に示すように、強磁性薄膜に
よる磁性部のパターン形状に対応した情報信号が記録さ
れる。なお、図９に示す矢印は、この時、ハードディス
ク１に転写記録される磁化パターンの磁界の方向を示し
ている。Thereafter, in the state shown in FIG.
The direction of the current is reversed so that the direction of the magnetic field generated by the magnetic field is generated in the direction opposite to the initial magnetization, and the magnetic field rotates in parallel with the master information carrier 2 around the center of the hard disk 1 held in the disk holder 3 as the center of rotation. As a result, a DC excitation magnetic field is applied to the master information carrier 2. As a result, the ferromagnetic thin film of the master information carrier 2 is magnetized, and the hard disk 1
As shown in FIG. 8, an information signal corresponding to the pattern shape of the magnetic portion made of the ferromagnetic thin film is recorded in the predetermined area 1b. The arrow shown in FIG. 9 indicates the direction of the magnetic field of the magnetization pattern transferred and recorded on the hard disk 1 at this time.
【００４３】図９は、ハードディスク１とマスター情報
担体２の上記磁化処理時における磁化パターンを模式的
に示す断面図である。図９に示すように、マスター情報
担体２を磁気記録媒体であるハードディスク１に密着さ
せた状態で、マスター情報担体２に外部から磁化を印加
して強磁性薄膜２１を磁化することによって、ハードデ
ィスク１の強磁性薄膜からなる磁気記録層１ｃに情報信
号を記録することができる。すなわち、非磁性基体２０
に所定のパターン形状で強磁性薄膜２１を形成して構成
したマスター情報担体２を用いることにより、マスター
情報パターンを磁気記録媒体であるハードディスク１に
磁気的に転写記録することができる。FIG. 9 is a sectional view schematically showing a magnetization pattern of the hard disk 1 and the master information carrier 2 during the above-described magnetization processing. As shown in FIG. 9, in a state where the master information carrier 2 is in close contact with the hard disk 1 which is a magnetic recording medium, magnetization is applied to the master information carrier 2 from the outside to magnetize the ferromagnetic thin film 21, thereby obtaining the hard disk 1. The information signal can be recorded on the magnetic recording layer 1c composed of the ferromagnetic thin film of the above. That is, the non-magnetic substrate 20
By using the master information carrier 2 formed by forming the ferromagnetic thin film 21 in a predetermined pattern shape, the master information pattern can be magnetically transferred and recorded on the hard disk 1, which is a magnetic recording medium.
【００４４】なお、マスター情報担体２のパターンをハ
ードディスク１に転写記録する際の方法として、上述の
ようにマスター情報担体２をハードディスク１に接触さ
せた状態で外部磁界を印加する方法以外に、マスター情
報担体２の強磁性膜２１をあらかじめ磁化させておき、
その状態でマスター情報担体２をハードディスク１に密
着させるように接触させる方法であってもディジタル信
号を記録することができる。As a method for transferring and recording the pattern of the master information carrier 2 on the hard disk 1, other than the method of applying an external magnetic field while the master information carrier 2 is in contact with the hard disk 1 as described above, The ferromagnetic film 21 of the information carrier 2 is magnetized in advance,
In this state, a digital signal can be recorded even by a method in which the master information carrier 2 is brought into close contact with the hard disk 1.
【００４５】ところで、本実施形態によるマスター情報
担体から磁気記録媒体に転写記録する方法においては、
マスター情報担体に、磁気記録媒体に記録させたい所定
のディジタル情報信号に対応するような配列パターン形
状で強磁性薄膜による磁性部をあらかじめ形成してお
き、そしてそのマスター情報担体に磁気記録媒体を接触
させ、マスター情報担体に形成された配列パターン形状
を磁化パターンとして転写記録するため、マスター情報
担体に形成した磁性部の配列パターンに対応する磁化パ
ターンとしていかに信頼性良く正確に転写できるかが重
要である。By the way, in the method of transferring and recording from the master information carrier to the magnetic recording medium according to the present embodiment,
A magnetic section made of a ferromagnetic thin film is previously formed on the master information carrier in an array pattern shape corresponding to a predetermined digital information signal to be recorded on the magnetic recording medium, and the magnetic recording medium is brought into contact with the master information carrier. In order to transfer and record the arrangement pattern shape formed on the master information carrier as a magnetization pattern, it is important how reliable and accurate the transfer can be made as a magnetization pattern corresponding to the arrangement pattern of the magnetic parts formed on the master information carrier. is there.
【００４６】ところが、マスター情報担体からディジタ
ル情報信号を磁気記録媒体に転写記録した後、その磁気
記録媒体に転写記録された磁化パターンによる信号を再
生すると、磁気記録媒体外周部からの再生信号に出力の
低下がみられ、再生信号のノイズ特性が悪くなる現象が
生じてしまうことが判明した。However, after transferring a digital information signal from the master information carrier onto a magnetic recording medium and reproducing the signal based on the magnetization pattern transferred and recorded on the magnetic recording medium, the reproduced signal from the outer peripheral portion of the magnetic recording medium is output. It has been found that a phenomenon occurs in which the noise characteristic of the reproduced signal deteriorates.
【００４７】特に、磁気記録媒体がハードディスクの場
合、ハードディスク基板は、金属、ガラス、シリコンあ
るいは炭素といった高強度の剛体であるので、マスター
情報担体、特にマスター情報担体の強磁性薄膜を、ハー
ドディスク全面に亘って均一にかつ安定に接触させるこ
とが必要となる。In particular, when the magnetic recording medium is a hard disk, since the hard disk substrate is a high-strength rigid body such as metal, glass, silicon or carbon, the master information carrier, especially the ferromagnetic thin film of the master information carrier, is coated on the entire surface of the hard disk. It is necessary to make uniform and stable contact over the entire surface.
【００４８】本発明者らはこの課題に対して、種々の実
験と検討を繰り返し行った結果、転写記録時におけるマ
スター情報担体と磁気記録媒体との接触状態が、磁気記
録媒体外周部からの再生信号に影響を与えることを見い
出した。The present inventors have repeatedly conducted various experiments and studies on this problem. As a result, the contact state between the master information carrier and the magnetic recording medium at the time of transfer recording is determined by the reproduction from the outer periphery of the magnetic recording medium. Was found to affect the signal.
【００４９】すなわち、磁気記録媒体を製造した際に、
その外周端部にスキージャンプと呼ばれる突起部分が残
っているため、その突起部により、マスター情報担体と
の接触状態が悪くなり、再生信号のノイズ特性が悪くな
ってしまう。That is, when a magnetic recording medium is manufactured,
Since a protruding portion called a ski jump remains on the outer peripheral end portion, the protruding portion deteriorates a contact state with the master information carrier and deteriorates noise characteristics of a reproduced signal.
【００５０】そこで、本発明においては、マスター情報
担体２の表面と磁気記録媒体の端部表面とが接触しない
構成にしており、これによって、マスター情報担体２に
形状パターンとして形成した情報信号を信頼性良くハー
ドディスク１などの磁気記録媒体に転写記録することを
可能にしている。Therefore, in the present invention, the surface of the master information carrier 2 and the end surface of the magnetic recording medium are not in contact with each other, whereby the information signal formed as a shape pattern on the master information carrier 2 can be reliably used. This makes it possible to transfer and record data on a magnetic recording medium such as the hard disk 1 with good performance.
【００５１】以下では、本発明の実施形態によるマスタ
ー情報担体の様々な構成について説明する。Hereinafter, various configurations of the master information carrier according to the embodiment of the present invention will be described.
【００５２】まず、第一の例によるマスター情報担体２
の構成について、図１０を参照しながら説明する。First, the master information carrier 2 according to the first example
Will be described with reference to FIG.
【００５３】図１０は、マスター情報担体２の第一構成
例を示す断面図である。なお、図１０の紙面右側が外周
部に紙面左側が内周部に相当する。FIG. 10 is a sectional view showing a first configuration example of the master information carrier 2. In addition, the right side of the paper of FIG. 10 corresponds to the outer peripheral portion, and the left side of the paper corresponds to the inner peripheral portion.
【００５４】図１０に示すように、マスター情報担体２
には、非磁性基体２０外周部でハードディスク１の外周
端部と対向する場所に凹部２２が形成されている。ハー
ドディスク１をマスター情報担体２に接触させた際に、
マスター情報担体２の凹部２２にハードディスク１外周
端部の突起部１１が落ち込む構成となっているため、マ
スター情報担体２の強磁性薄膜２１が形成された磁性部
とハードディスク１外縁部より内側との良好な密着性が
得られることになる。これによって、マスター情報担体
２に形状パターンとして形成した情報信号を信頼性良く
ハードディスク１などの磁気記録媒体に転写することが
できる。As shown in FIG. 10, the master information carrier 2
A concave portion 22 is formed at a position on the outer peripheral portion of the non-magnetic base 20 opposite to the outer peripheral end of the hard disk 1. When the hard disk 1 is brought into contact with the master information carrier 2,
Since the protrusion 11 at the outer peripheral end of the hard disk 1 is configured to fall into the concave portion 22 of the master information carrier 2, the magnetic portion on which the ferromagnetic thin film 21 of the master information carrier 2 is formed and the inner side of the outer edge of the hard disk 1 are formed. Good adhesion will be obtained. Thereby, the information signal formed as a shape pattern on the master information carrier 2 can be transferred to the magnetic recording medium such as the hard disk 1 with high reliability.
【００５５】次に、第二の例によるマスター情報担体２
の構成について、図１１を参照しながら説明する。Next, the master information carrier 2 according to the second example
Will be described with reference to FIG.
【００５６】図１１は、マスター情報担体２の第二構成
例を示す断面図である。なお、図１１の紙面右側が外周
部に紙面左側が内周部に相当する。FIG. 11 is a sectional view showing a second configuration example of the master information carrier 2. In addition, the right side of the paper of FIG. 11 corresponds to the outer peripheral portion, and the left side of the paper corresponds to the inner peripheral portion.
【００５７】図１１に示すように、ハードディスク１に
対向するマスター情報担体２の全表面がハードディスク
１の外縁部より内側表面と接触するように、マスター情
報担体２をハードディスク１よりも小さい形状にするこ
とにより、マスター情報担体２表面とハードディスク１
外周端部の突起部１１とが接触しない構成としているた
め、良好な密着性が得られることになる。これによっ
て、マスター情報担体２に形状パターンとして形成した
情報信号を信頼性良くハードディスク１などの磁気記録
媒体に転写することができる。As shown in FIG. 11, the master information carrier 2 is made smaller than the hard disk 1 so that the entire surface of the master information carrier 2 facing the hard disk 1 is in contact with the inner surface of the outer edge of the hard disk 1. The master information carrier 2 and the hard disk 1
Since the configuration is such that the projection 11 at the outer peripheral end is not in contact, good adhesion can be obtained. Thereby, the information signal formed as a shape pattern on the master information carrier 2 can be transferred to the magnetic recording medium such as the hard disk 1 with high reliability.
【００５８】次に、第三の例によるマスター情報担体２
の構成について、図１２を参照しながら説明する。Next, the master information carrier 2 according to the third example
Will be described with reference to FIG.
【００５９】図１２は、マスター情報担体２の第三構成
例を示す断面図である。なお、図１２の紙面右側が外周
部に紙面左側が内周部に相当する。FIG. 12 is a sectional view showing a third configuration example of the master information carrier 2. In FIG. 12, the right side of the paper corresponds to the outer peripheral portion, and the left side of the paper corresponds to the inner peripheral portion.
【００６０】図１２に示すように、マスター情報担体２
は、マスター情報パターンが強磁性薄膜２１で形成され
ている外縁部より内側の表面部分が、マスター情報パタ
ーンが形成されていない外縁部の表面部分から隆起した
凸状となるように構成されている。強磁性薄膜２１でマ
スター情報パターンが形成されているマスター情報担体
２の表面部分とハードディスク１の外縁部より内側表面
とを接触させて、ハードディスク１外周端部の突起部１
１はマスター情報担体２と接触しない構成としているた
め、良好な密着性が得られることになる。これによっ
て、マスター情報担体２に形状パターンとして形成した
情報信号を信頼性良くハードディスク１などの磁気記録
媒体に転写することができる。As shown in FIG. 12, the master information carrier 2
Is configured such that the surface portion inside the outer edge portion where the master information pattern is formed of the ferromagnetic thin film 21 has a convex shape protruding from the surface portion of the outer edge portion where the master information pattern is not formed. . The surface of the master information carrier 2 on which the master information pattern is formed by the ferromagnetic thin film 21 and the inner surface of the outer periphery of the hard disk 1 are brought into contact with each other, so that the protrusion 1
1 is configured so as not to contact the master information carrier 2, so that good adhesion can be obtained. Thereby, the information signal formed as a shape pattern on the master information carrier 2 can be transferred to the magnetic recording medium such as the hard disk 1 with high reliability.
【００６１】次に、第四の例によるマスター情報担体２
の構成について、図１３を参照しながら説明する。Next, the master information carrier 2 according to the fourth example
Will be described with reference to FIG.
【００６２】図１３は、マスター情報担体２の第四構成
例を示す断面図である。なお、図１３の紙面右側が外周
部に紙面左側が内周部に相当する。FIG. 13 is a sectional view showing a fourth configuration example of the master information carrier 2. Note that the right side of FIG. 13 corresponds to the outer peripheral portion, and the left side of the paper corresponds to the inner peripheral portion.
【００６３】図１３に示すように、非磁性基体２０の表
面から突出している強磁性薄膜２１面とハードディスク
１の外縁部より内側表面とを接触させて、ハードディス
ク１外周端部の突起部１１はマスター情報担体２と接触
しない構成としているため、良好な密着性が得られるこ
とになる。これによって、マスター情報担体２に形状パ
ターンとして形成した情報信号を信頼性良くハードディ
スク１などの磁気記録媒体に転写することができる。As shown in FIG. 13, the surface of the ferromagnetic thin film 21 projecting from the surface of the non-magnetic substrate 20 is brought into contact with the inner surface from the outer edge of the hard disk 1 so that the protrusion 11 at the outer peripheral end of the hard disk 1 Since the configuration is such that the master information carrier 2 is not in contact, good adhesion can be obtained. Thereby, the information signal formed as a shape pattern on the master information carrier 2 can be transferred to the magnetic recording medium such as the hard disk 1 with high reliability.
【００６４】このように、マスター情報担体２を構成す
ることにより、高密度の情報信号を磁気記録媒体に転写
記録することが可能になる。By configuring the master information carrier 2 as described above, it is possible to transfer and record a high-density information signal on a magnetic recording medium.
【００６５】次に、様々なマスター情報担体２を製造す
る方法について、図１４から図２２を参照して説明す
る。Next, a method of manufacturing various master information carriers 2 will be described with reference to FIGS.
【００６６】図１４は、マスター情報担体２を製造する
プロセスの一例を模式的に示す工程図である。なお、図
１４は、図１５から図２２に示す様々なマスター情報担
体２を製造する際に共通の工程のみを示しており、その
構成上の違いについては各工程において説明する。FIG. 14 is a process diagram schematically showing an example of a process for manufacturing the master information carrier 2. FIG. 14 shows only steps common to the production of the various master information carriers 2 shown in FIGS. 15 to 22, and differences in the configuration will be described in each step.
【００６７】図１５は、図１４に示す工程に従って製造
した第一構成例によるマスター情報担体２の部分構成を
示す斜視図である。FIG. 15 is a perspective view showing a partial configuration of the master information carrier 2 according to the first configuration example manufactured according to the process shown in FIG.
【００６８】図１６は、図１５に示すマスター情報担体
２をビット長さ方向（トラック長さ方向）の線分Ｂ−
Ｂ’に沿って切断した断面図である。FIG. 16 shows the master information carrier 2 shown in FIG. 15 as a line segment B- in the bit length direction (track length direction).
It is sectional drawing cut | disconnected along B '.
【００６９】図１５および図１６に示す第一構成例によ
るマスター情報担体２は、次のようにして製造される。
まず、平面状の非磁性基体２０の表面に塗布した第１レ
ジスト膜２３を露光、現像してディジタル情報信号に対
応する凹凸形状をパターニングする（図１４（ａ））。
次に、イオンエッチング等のドライエッチング技術によ
って、非磁性基体２０に微細な凹凸形状パターンを形成
する（図１４（ｂ））。次に、残留する第１レジスト膜
２３を取り除く前に、強磁性薄膜２１をスパッタリング
や蒸着などの気相堆積法、めっき法によって堆積させる
（図１４（ｃ））。この後に、残留する第１レジスト膜
２３とその上に堆積した不要な強磁性薄膜２１を、リム
ーバ等の薬液処理によって除去する（図１４（ｄ））。
なお、薬液処理に際して、物理的な研磨処理を併用する
こともできる。The master information carrier 2 according to the first configuration example shown in FIGS. 15 and 16 is manufactured as follows.
First, the first resist film 23 applied to the surface of the planar non-magnetic substrate 20 is exposed and developed to pattern an uneven shape corresponding to a digital information signal (FIG. 14A).
Next, a fine concavo-convex pattern is formed on the non-magnetic substrate 20 by a dry etching technique such as ion etching (FIG. 14B). Next, before removing the remaining first resist film 23, the ferromagnetic thin film 21 is deposited by a vapor deposition method such as sputtering or evaporation, or a plating method (FIG. 14C). Thereafter, the remaining first resist film 23 and the unnecessary ferromagnetic thin film 21 deposited thereon are removed by a chemical treatment such as a remover (FIG. 14D).
In addition, at the time of chemical solution treatment, physical polishing treatment can be used together.
【００７０】この様にして、ディジタル信号に対応する
配列パターンを強磁性薄膜２１で非磁性基体２０に形成
した後、再度、非磁性基体２０表面上に塗布した第２レ
ジスト膜２４を露光、現像し、磁気記録媒体としてのハ
ードディスク１と密着させるための空気吸引用溝形状を
パターニングするが、その際に、非磁性基体２０の外周
部に凹部を形成するための形状パターンも同時にパター
ニングする（図１４（ｅ））。次に、イオンエッチング
等のドライエッチング技術によって、非磁性基体２０に
空気吸引用溝形状パターンと外周部凹形状パターンを形
成する（図１４（ｆ））。その後、残留する第２レジス
ト膜２４を除去する（図１４（ｇ））。After the array pattern corresponding to the digital signal is formed on the non-magnetic substrate 20 with the ferromagnetic thin film 21 in this way, the second resist film 24 applied on the surface of the non-magnetic substrate 20 is exposed and developed again. Then, the shape of the groove for air suction for making close contact with the hard disk 1 as the magnetic recording medium is patterned, and at this time, the shape pattern for forming the concave portion on the outer peripheral portion of the non-magnetic substrate 20 is also patterned (FIG. 14 (e)). Next, a groove pattern for air suction and a concave pattern at the outer peripheral portion are formed on the non-magnetic substrate 20 by a dry etching technique such as ion etching (FIG. 14F). After that, the remaining second resist film 24 is removed (FIG. 14G).
【００７１】なお、上記製造工程では、空気吸引用溝形
状パターンと外周部凹形状パターンを同時に形成した
が、空気吸引用溝形状パターンを形成した後、外周部凹
形状パターンをパターニングし、エッチングを施すこと
により形成することも可能である。In the above manufacturing process, the groove pattern for air suction and the concave pattern at the outer peripheral portion were formed simultaneously. However, after the groove pattern for air suction was formed, the concave pattern at the outer peripheral portion was patterned and etched. It is also possible to form by applying.
【００７２】また、上記した基体材料を用いる場合に
は、ドライエッチング技術を用いて非磁性基体２０の表
面に凹凸形状パターンを形成する際に、適切な反応性ガ
スを導入して反応性イオンエッチングによる形状加工を
施すことが可能である。このような反応性イオンエッチ
ングは、反応性ガスを用いない通常のイオンエッチング
技術に比べて、エッチングの異方性制御の容易さ、およ
びエッチング速度において格段に優れるため、高速かつ
精度の良いパターニングが行われ易いという付加的な効
果をもたらす。例えば、非磁性基体２０の材料がＳｉで
ある場合にはＣＦ 4ガスなどを、反応性ガスとして用い
ることができる。In the case where the above-described base material is used,
Shows the surface of the non-magnetic substrate 20 using a dry etching technique.
When forming an uneven pattern on the surface, use an appropriate reactive gas.
Shape processing by reactive ion etching
Can be applied. Such a reactive ion etch
Normal ion etching without reactive gas
Easier control of etching anisotropy than technology, and
Speed and etching rate
The additional effect that accurate patterning is easily performed
Bring fruit. For example, the material of the non-magnetic substrate 20 is Si
In some cases CF FourGas as a reactive gas
Can be
【００７３】図１７は、図１４に示す工程に従って製造
した第二構成例によるマスター情報担体２の部分構成を
示す斜視図である。FIG. 17 is a perspective view showing a partial configuration of the master information carrier 2 according to the second configuration example manufactured according to the process shown in FIG.
【００７４】図１８は、図１７に示すマスター情報担体
２をビット長さ方向（トラック長さ方向）の線分Ｂ−
Ｂ’に沿って切断した断面図である。FIG. 18 shows the master information carrier 2 shown in FIG. 17 as a line segment B- in the bit length direction (track length direction).
It is sectional drawing cut | disconnected along B '.
【００７５】図１７および図１８に示す第二構成例によ
るマスター情報担体２は、次のようにして製造される。
まず、平面状の非磁性基体２０の表面に塗布した第１レ
ジスト膜２３を露光、現像してディジタル情報信号に対
応する凹凸形状をパターニングする（図１４（ａ））。
次に、イオンエッチング等のドライエッチング技術によ
って、非磁性基体２０に微細な凹凸形状パターンを形成
する（図１４（ｂ））。その後、残留する第１レジスト
膜２３を取り除く前に、強磁性薄膜２１をスパッタリン
グや蒸着などの気相堆積法、めっき法によって堆積させ
る（図１４（ｃ））。この後に、残留する第１レジスト
膜２３とその上に堆積した不要な強磁性薄膜２１を、リ
ムーバ等の薬液処理によって除去する（図１４
（ｄ））。なお、薬液処理に際して、物理的な研磨処理
を併用することもできる。The master information carrier 2 according to the second configuration example shown in FIGS. 17 and 18 is manufactured as follows.
First, the first resist film 23 applied to the surface of the planar non-magnetic substrate 20 is exposed and developed to pattern an uneven shape corresponding to a digital information signal (FIG. 14A).
Next, a fine concavo-convex pattern is formed on the non-magnetic substrate 20 by a dry etching technique such as ion etching (FIG. 14B). Thereafter, before removing the remaining first resist film 23, the ferromagnetic thin film 21 is deposited by a vapor deposition method such as sputtering or vapor deposition, or a plating method (FIG. 14C). Thereafter, the remaining first resist film 23 and the unnecessary ferromagnetic thin film 21 deposited thereon are removed by a chemical treatment such as a remover (FIG. 14).
(D)). In addition, at the time of chemical solution treatment, physical polishing treatment can be used together.
【００７６】この様にして、ディジタル信号に対応する
配列パターンを形成した後、再度、非磁性基体２０の表
面上に塗布した第２レジスト膜２４を露光、現像し、ハ
ードディスク１と密着させるための空気吸引用溝形状を
パターニングする（図１４（ｅ））。その後、イオンエ
ッチング等のドライエッチング技術によって、非磁性基
体２０に空気吸引用溝形状パターンを形成する（図１４
（ｆ））。その後、残留する第２レジスト膜２４を除去
する（図１４（ｇ））。After the array pattern corresponding to the digital signal is formed in this way, the second resist film 24 applied on the surface of the non-magnetic substrate 20 is again exposed and developed to adhere to the hard disk 1. The air suction groove shape is patterned (FIG. 14E). Thereafter, a groove pattern for air suction is formed in the non-magnetic substrate 20 by a dry etching technique such as ion etching (FIG. 14).
(F)). After that, the remaining second resist film 24 is removed (FIG. 14G).
【００７７】また、上記した基体材料を用いる場合に
は、ドライエッチング技術を用いて非磁性基２０の表面
に凹凸形状パターンを形成する際に、適切な反応性ガス
を導入して反応性イオンエッチングによる形状加工を施
すことが可能である。このような反応性イオンエッチン
グは、反応性ガスを用いない通常のイオンエッチング技
術に比べて、エッチングの異方性制御の容易さ、および
エッチング速度において格段に優れるため、高速かつ精
度の良いパターニングが行われ易いという付加的な効果
をもたらす。例えば、非磁性基体２０の材料がＳｉであ
る場合にはＣＦ4ガスなどを、反応性ガスとして用いる
ことができる。When the above-mentioned base material is used, when forming a concavo-convex pattern on the surface of the non-magnetic group 20 using the dry etching technique, reactive ion etching is performed by introducing an appropriate reactive gas. Can be applied. Such reactive ion etching is much easier to control the anisotropy of etching and the etching rate is much better than ordinary ion etching technology that does not use a reactive gas. This has the additional effect of being easy to perform. For example, when the material of the nonmagnetic substrate 20 is Si, CF 4 gas or the like can be used as the reactive gas.
【００７８】なお、マスター情報担体２の径の大きさ
は、プリフォーマット記録の対象となるハードディスク
１の径よりも小さく、その９９％以下９７％以上が好ま
しい。The size of the diameter of the master information carrier 2 is smaller than the diameter of the hard disk 1 to be subjected to preformat recording, and is preferably 99% or less and 97% or more.
【００７９】図１９は、図１４に示す工程に従って製造
した第三構成例によるマスター情報担体２の部分構成を
示す斜視図である。FIG. 19 is a perspective view showing a partial configuration of the master information carrier 2 according to the third configuration example manufactured according to the process shown in FIG.
【００８０】図２０は、図１９に示すマスター情報担体
２をビット長さ方向（トラック長さ方向）の線分Ｂ−
Ｂ’に沿って切断した断面図である。FIG. 20 shows the master information carrier 2 shown in FIG. 19 as a line segment B- in the bit length direction (track length direction).
It is sectional drawing cut | disconnected along B '.
【００８１】図１９および図２０に示す第三構成例によ
るマスター情報担体２は、次のようにして製造される。
まず、平面状の非磁性基体２０表面に塗布した第１レジ
スト膜２３を露光、現像してディジタル情報信号に対応
する凹凸形状をパターニングする（図１４（ａ））。次
に、イオンエッチング等のドライエッチング技術によっ
て、非磁性基体２０に微細な凹凸形状パターンを形成す
る（図１４（ｂ））。その後、残留する第１レジスト膜
２３を取り除く前に、強磁性薄膜２１をスパッタリング
や蒸着などの気相堆積法、めっき法によって堆積させる
（図１４（ｃ））。この後に、残留する第１レジスト膜
２３とその上に堆積した不要な強磁性薄膜２１を、リム
ーバ等の薬液処理によって除去する（図１４（ｄ））。
なお、薬液処理に際して、物理的な研磨処理を併用する
こともできる。The master information carrier 2 according to the third configuration example shown in FIGS. 19 and 20 is manufactured as follows.
First, the first resist film 23 applied to the surface of the planar nonmagnetic substrate 20 is exposed and developed to pattern an uneven shape corresponding to a digital information signal (FIG. 14A). Next, a fine concavo-convex pattern is formed on the non-magnetic substrate 20 by a dry etching technique such as ion etching (FIG. 14B). Thereafter, before removing the remaining first resist film 23, the ferromagnetic thin film 21 is deposited by a vapor deposition method such as sputtering or vapor deposition, or a plating method (FIG. 14C). Thereafter, the remaining first resist film 23 and the unnecessary ferromagnetic thin film 21 deposited thereon are removed by a chemical treatment such as a remover (FIG. 14D).
In addition, at the time of chemical solution treatment, physical polishing treatment can be used together.
【００８２】この様にして、ディジタル信号に対応する
配列パターンを形成した後、再度、非磁性基体２０の表
面上に塗布した第２レジスト膜２４を露光、現像し、ハ
ードディスク１と密着させるための空気吸引用溝形状を
パターニングする（図１４（ｅ））。この時のパターニ
ングとして、強磁性薄膜２１でディジタル情報信号に対
応する配列パターンを形成した部分２１’のみを第２レ
ジスト膜２４で覆い、その後、イオンエッチング等のド
ライエッチング技術によってエッチングを行うことによ
り、強磁性体薄膜２１で配列パターンが形成された非磁
性基体２０の外縁部より内側の表面部分２１’を凸状に
形成することができる（図１４（ｆ））。その後、残留
する第２レジスト膜２４を除去する（図１４（ｇ））。After the array pattern corresponding to the digital signal is formed in this manner, the second resist film 24 applied on the surface of the non-magnetic substrate 20 is again exposed and developed to make it adhere to the hard disk 1. The air suction groove shape is patterned (FIG. 14E). At this time, the patterning is performed by covering only the portion 21 'where the array pattern corresponding to the digital information signal is formed with the ferromagnetic thin film 21 with the second resist film 24, and thereafter performing etching by a dry etching technique such as ion etching. On the other hand, the surface portion 21 'inside the outer edge of the non-magnetic substrate 20 on which the array pattern is formed by the ferromagnetic thin film 21 can be formed in a convex shape (FIG. 14F). After that, the remaining second resist film 24 is removed (FIG. 14G).
【００８３】また、上記した基体材料を用いる場合に
は、ドライエッチング技術を用いて非磁性基体２０の表
面に凹凸形状パターンを形成する際に、適切な反応性ガ
スを導入して反応性イオンエッチングによる形状加工を
施すことが可能である。このような反応性イオンエッチ
ングは、反応性ガスを用いない通常のイオンエッチング
技術に比べて、エッチングの異方性制御の容易さ、およ
びエッチング速度において格段に優れるため、高速かつ
精度の良いパターニングが行われ易いという付加的な効
果をもたらす。例えば、非磁性基体２０の材料がＳｉで
ある場合にはＣＦ 4ガスなどを、反応性ガスとして用い
ることができる。Further, when the above-mentioned base material is used,
Shows the surface of the non-magnetic substrate 20 using a dry etching technique.
When forming an uneven pattern on the surface, use an appropriate reactive gas.
Shape processing by reactive ion etching
Can be applied. Such a reactive ion etch
Normal ion etching without reactive gas
Easier control of etching anisotropy than technology, and
Speed and etching rate
The additional effect that accurate patterning is easily performed
Bring fruit. For example, the material of the non-magnetic substrate 20 is Si
In some cases CF FourGas as a reactive gas
Can be
【００８４】図２１は、図１４に示す工程に従って製造
した第四構成例によるマスター情報担体２の部分構成を
示す斜視図である。FIG. 21 is a perspective view showing a partial configuration of the master information carrier 2 according to the fourth configuration example manufactured according to the process shown in FIG.
【００８５】図２２は、図２１に示すマスター情報担体
２をビット長さ方向（トラック長さ方向）の線分Ｂ−
Ｂ’に沿って切断した断面図である。FIG. 22 shows the master information carrier 2 shown in FIG. 21 as a line segment B- in the bit length direction (track length direction).
It is sectional drawing cut | disconnected along B '.
【００８６】図２１および図２２に示す第四構成例によ
るマスター情報担体２は、次のようにして製造される。
まず、平面状の非磁性基体２０の表面に塗布した第１レ
ジスト膜２３を露光、現像してディジタル情報信号に対
応する凹凸形状をパターニングする（図１４（ａ））。
次に、イオンエッチング等のドライエッチング技術によ
って、非磁性基体２０に微細な凹凸形状パターンを形成
する（図１４（ｂ））。その後、残留する第１レジスト
膜２３を取り除く前に、強磁性薄膜２１をスパッタリン
グや蒸着などの気相堆積法、めっき法によって堆積させ
る（図１４（ｃ））。ここで、第１から第３構成例に比
べて成膜時間を長くすることにより、強磁性薄膜２１を
非磁性基体２０より突出させる。この後に、残留する第
１レジスト膜２３とその上に堆積した不要な強磁性薄膜
２１を、リムーバ等の薬液処理によって除去する（図１
４（ｄ））。なお、薬液処理に際して、物理的な研磨処
理を併用することもできる。The master information carrier 2 according to the fourth configuration example shown in FIGS. 21 and 22 is manufactured as follows.
First, the first resist film 23 applied to the surface of the planar non-magnetic substrate 20 is exposed and developed to pattern an uneven shape corresponding to a digital information signal (FIG. 14A).
Next, a fine concavo-convex pattern is formed on the non-magnetic substrate 20 by a dry etching technique such as ion etching (FIG. 14B). Thereafter, before removing the remaining first resist film 23, the ferromagnetic thin film 21 is deposited by a vapor deposition method such as sputtering or vapor deposition, or a plating method (FIG. 14C). Here, the ferromagnetic thin film 21 is made to protrude from the non-magnetic substrate 20 by making the deposition time longer than in the first to third configuration examples. Thereafter, the remaining first resist film 23 and the unnecessary ferromagnetic thin film 21 deposited thereon are removed by a chemical treatment such as a remover (FIG. 1).
4 (d)). In addition, at the time of chemical solution treatment, physical polishing treatment can be used together.
【００８７】また、上記した基体材料を用いる場合に
は、ドライエッチング技術を用いて非磁性基体２０の表
面に凹凸形状パターンを形成する際に、適切な反応性ガ
スを導入して反応性イオンエッチングによる形状加工を
施すことが可能である。このような反応性イオンエッチ
ングは、反応性ガスを用いない通常のイオンエッチング
技術に比べて、エッチングの異方性制御の容易さ、およ
びエッチング速度において格段に優れるため、高速かつ
精度の良いパターニングが行われ易いという付加的な効
果をもたらす。例えば、非磁性基体２０の材料がＳｉで
ある場合にはＣＦ 4ガスなどを、反応性ガスとして用い
ることができる。When the above-mentioned base material is used,
Shows the surface of the non-magnetic substrate 20 using a dry etching technique.
When forming an uneven pattern on the surface, use an appropriate reactive gas.
Shape processing by reactive ion etching
Can be applied. Such a reactive ion etch
Normal ion etching without reactive gas
Easier control of etching anisotropy than technology, and
Speed and etching rate
The additional effect that accurate patterning is easily performed
Bring fruit. For example, the material of the non-magnetic substrate 20 is Si
In some cases CF FourGas as a reactive gas
Can be
【００８８】この第４構成例では、非磁性基体２０中に
強磁性薄膜２１の一部が埋め込まれた構造について説明
を行ったが、強磁性薄膜２１が非磁性基体２０に埋め込
まれていない構成でもよい。In the fourth configuration example, the structure in which a part of the ferromagnetic thin film 21 is embedded in the nonmagnetic substrate 20 has been described. However, the configuration in which the ferromagnetic thin film 21 is not embedded in the nonmagnetic substrate 20 is described. May be.
【００８９】以上、本発明の実施の形態について例を挙
げて説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、
本発明の技術的思想に基づいて他の実施形態に適用する
ことも可能である。Although the embodiments of the present invention have been described with reference to the examples, the present invention is not limited to the above embodiments.
It is also possible to apply to other embodiments based on the technical idea of the present invention.
【００９０】[0090]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
磁気記録媒体、特に固定ハードディスク媒体、リムーバ
ブルハードディスク媒体、大容量フレキシブル媒体等の
ディスク状磁気記録媒体に、マスター情報担体から短時
間に生産性良く、しかも磁気記録媒体全面に亘ってかつ
安定して高密度の情報信号を転写記録することが可能に
なるという格別の効果を奏する。As described above, according to the present invention,
A magnetic recording medium, in particular, a disk-shaped magnetic recording medium such as a fixed hard disk medium, a removable hard disk medium, and a large-capacity flexible medium, has a high productivity in a short time from the master information carrier, and has high stability over the entire surface of the magnetic recording medium. This provides a special effect that the information signal of the density can be transferred and recorded.
【図１】 本発明の一実施形態によるマスター情報記録
方法が適用される記録装置の概略構成を一部断面で示す
模式図FIG. 1 is a schematic sectional view showing a schematic configuration of a recording apparatus to which a master information recording method according to an embodiment of the present invention is applied;
【図２】 図１の着磁用ヘッド６周辺を部分的に示す斜
視図FIG. 2 is a perspective view partially showing the vicinity of a magnetizing head 6 of FIG. 1;
【図３】 本発明の一実施形態によるマスター情報記録
方法で用いるマスター情報担体２の一構成を模式的に示
す平面図FIG. 3 is a plan view schematically showing one configuration of a master information carrier 2 used in a master information recording method according to one embodiment of the present invention.
【図４】 図３のＡで示す部分の拡大図FIG. 4 is an enlarged view of a portion indicated by A in FIG. 3;
【図５】 本発明の一実施形態によるマスター情報記録
方法において、ハードディスク１に一方向磁界を印加し
ている様子を一部断面で示す斜視図FIG. 5 is a perspective view showing, in partial cross section, a state in which a unidirectional magnetic field is applied to the hard disk 1 in the master information recording method according to one embodiment of the present invention.
【図６】 図５に示す工程により一方向に着磁されたハ
ードディスク１の初期磁化状態を模式的に示す斜視図6 is a perspective view schematically showing an initial magnetization state of the hard disk 1 magnetized in one direction by the process shown in FIG.
【図７】 本発明の一実施形態によるマスター情報記録
方法により、マスター情報担体２からハードディスク１
に情報信号を転写記録している様子を一部断面で示す斜
視図FIG. 7 shows a method for recording a master information carrier 2 to a hard disk 1 according to a master information recording method according to an embodiment of the present invention.
Perspective view showing a partial cross section of a state where an information signal is transferred and recorded on
【図８】 図７に示す工程により情報信号が記録された
ハードディスク１の磁化状態を模式的に示す斜視図8 is a perspective view schematically showing a magnetization state of the hard disk 1 on which an information signal is recorded by the process shown in FIG.
【図９】 図７に示す工程によりハードディスク１に情
報信号を転写記録した場合の磁化パターンの様子を示す
部分断面図9 is a partial cross-sectional view showing a state of a magnetization pattern when an information signal is transferred and recorded on the hard disk 1 by the process shown in FIG. 7;
【図１０】 図７に示す工程によりハードディスク１と
本発明の第一構成例によるマスター情報担体２との密着
状況を模式的に示す断面図FIG. 10 is a cross-sectional view schematically showing a state of close contact between the hard disk 1 and the master information carrier 2 according to the first configuration example of the present invention by the process shown in FIG.
【図１１】 図７に示す工程によりハードディスク１と
本発明の第二構成例によるマスター情報担体２との密着
状況を模式的に示す断面図11 is a cross-sectional view schematically showing the state of close contact between the hard disk 1 and the master information carrier 2 according to the second configuration example of the present invention by the process shown in FIG.
【図１２】 図７に示す工程によりハードディスク１と
本発明の第三構成例によるマスター情報担体２との密着
状況を模式的に示す断面図12 is a cross-sectional view schematically showing the state of close contact between the hard disk 1 and the master information carrier 2 according to the third configuration example of the present invention by the process shown in FIG.
【図１３】 図７に示す工程によりハードディスク１と
本発明の第四構成例によるマスター情報担体２との密着
状況を模式的に示す断面図13 is a cross-sectional view schematically showing the state of adhesion between the hard disk 1 and the master information carrier 2 according to the fourth configuration example of the present invention by the process shown in FIG.
【図１４】 本発明の一実施形態によるマスター情報記
録方法に用いるマスター情報担体２の製造方法の一例を
模式的に示す工程図FIG. 14 is a process chart schematically showing an example of a method for manufacturing the master information carrier 2 used in the master information recording method according to one embodiment of the present invention.
【図１５】 図１４に示す工程に従って製造した第一構
成例によるマスター情報担体２の部分構成を示す斜視図FIG. 15 is a perspective view showing a partial configuration of a master information carrier 2 according to a first configuration example manufactured according to the process shown in FIG. 14;
【図１６】 図１５に示すマスター情報担体２をビット
長さ方向（トラック長さ方向）の線分Ｂ−Ｂ’に沿って
切断した断面図16 is a cross-sectional view of the master information carrier 2 shown in FIG. 15 taken along a line BB ′ in the bit length direction (track length direction).
【図１７】 図１４に示す工程に従って製造した第二構
成例によるマスター情報担体２の部分構成を示す斜視図17 is a perspective view showing a partial configuration of a master information carrier 2 according to a second configuration example manufactured according to the process shown in FIG.
【図１８】 図１７に示すマスター情報担体２をビット
長さ方向（トラック長さ方向）の線分Ｂ−Ｂ’に沿って
切断した断面図18 is a sectional view of the master information carrier 2 shown in FIG. 17 cut along a line BB ′ in the bit length direction (track length direction).
【図１９】 図１４に示す工程に従って製造した第三構
成例によるマスター情報担体２の部分構成を示す斜視図19 is a perspective view showing a partial configuration of a master information carrier 2 according to a third configuration example manufactured according to the process shown in FIG.
【図２０】 図１９に示すマスター情報担体２をビット
長さ方向（トラック長さ方向）の線分Ｂ−Ｂ’に沿って
切断した断面図20 is a cross-sectional view of the master information carrier 2 shown in FIG. 19, taken along a line BB ′ in the bit length direction (track length direction).
【図２１】 図１４に示す工程に従って製造した第四構
成例によるマスター情報担体２の部分構成を示す斜視図21 is a perspective view showing a partial configuration of a master information carrier 2 according to a fourth configuration example manufactured according to the process shown in FIG. 14;
【図２２】 図２１に示すマスター情報担体２をビット
長さ方向（トラック長さ方向）の線分Ｂ−Ｂ’に沿って
切断した断面図22 is a cross-sectional view of the master information carrier 2 shown in FIG. 21 cut along a line BB ′ in the bit length direction (track length direction).
１ ハードディスク １１ ハードディスク１外周端の突出部 ２ マスター情報担体 ２ａ 信号領域 ２０ 非磁性基体 ２１ 強磁性薄膜 ２２ マスター情報担体２外縁部の凹部 ６ 着磁用ヘッド DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Hard disk 11 Projection part of outer peripheral end of hard disk 1 2 Master information carrier 2a Signal area 20 Nonmagnetic substrate 21 Ferromagnetic thin film 22 Depression of outer edge of master information carrier 2 6 Head for magnetization
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 東間 清和 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5D096 AA02 DD08 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Seiwa Higashima 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. F-term (reference) 5D096 AA02 DD08
Claims (10)
部を所定の情報信号に対応する配列パターン形状になる
ように形成してマスター情報担体とし、前記マスター情
報担体の磁性部側が磁気記録媒体に対向するように、前
記マスター情報担体を前記磁気記録媒体に重ね合わせる
とともに、前記マスター情報担体の磁性部を磁化するこ
とにより、マスター情報担体に形成された情報信号の配
列パターンを情報信号側の磁化パターンとして磁気記録
媒体に転写記録するマスター情報磁気記録方法であっ
て、 前記磁気記録媒体の外縁部に対向する前記非磁性基体の
外縁部に凹状部を有する前記マスター情報担体を用いる
ことを特徴とするマスター情報磁気記録方法。1. A master information carrier in which a magnetic portion made of a ferromagnetic thin film is formed on a non-magnetic substrate so as to have an array pattern shape corresponding to a predetermined information signal, and the magnetic portion side of the master information carrier is magnetically recorded. The master information carrier is superimposed on the magnetic recording medium so as to face the medium, and the magnetic part of the master information carrier is magnetized, so that the arrangement pattern of the information signals formed on the master information carrier is changed to the information signal side. A master information magnetic recording method for transferring and recording on a magnetic recording medium as a magnetization pattern, wherein the master information carrier having a concave portion at an outer edge of the non-magnetic substrate facing an outer edge of the magnetic recording medium is used. Characteristic master information magnetic recording method.
部を所定の情報信号に対応する配列パターン形状になる
ように形成してマスター情報担体とし、前記マスター情
報担体の磁性部側が磁気記録媒体に対向するように、前
記マスター情報担体を前記磁気記録媒体に重ね合わせる
とともに、前記マスター情報担体の磁性部を磁化するこ
とにより、マスター情報担体に形成された情報信号の配
列パターンを情報信号側の磁化パターンとして磁気記録
媒体に転写記録するマスター情報磁気記録方法であっ
て、 前記磁気記録媒体に対向する全表面が前記磁気記録媒体
の外縁部より内側で前記磁気記録媒体と接触する寸法形
状を有する前記マスター情報担体を用いることを特徴と
するマスター情報磁気記録装置。2. A magnetic information recording medium comprising: a magnetic portion made of a ferromagnetic thin film formed on a non-magnetic substrate so as to have an array pattern shape corresponding to a predetermined information signal to form a master information carrier; The master information carrier is superimposed on the magnetic recording medium so as to face the medium, and the magnetic part of the master information carrier is magnetized, so that the arrangement pattern of the information signals formed on the master information carrier is changed to the information signal side. A master information magnetic recording method in which a magnetic pattern is transferred and recorded on a magnetic recording medium as a magnetization pattern, wherein the entire surface facing the magnetic recording medium has a dimensional shape in contact with the magnetic recording medium inside an outer edge of the magnetic recording medium. A master information magnetic recording device using the master information carrier having the above.
部を所定の情報信号に対応する配列パターン形状になる
ように形成してマスター情報担体とし、前記マスター情
報担体の磁性部側が磁気記録媒体に対向するように、前
記マスター情報担体を前記磁気記録媒体に重ね合わせる
とともに、前記マスター情報担体の磁性部を磁化するこ
とにより、マスター情報担体に形成された情報信号の配
列パターンを情報信号側の磁化パターンとして磁気記録
媒体に転写記録するためのマスター情報磁気記録方法で
あって、 前記情報信号に対応する形状パターンを形成している、
外縁部より内側の表面部分が、前記情報信号に対応する
形状パターンを形成していない外縁部の表面部分よりも
凸状に構成された前記マスター情報担体を用いることを
特徴とするマスター情報記録方法。3. A master information carrier in which a magnetic portion made of a ferromagnetic thin film is formed on a non-magnetic substrate so as to have an array pattern shape corresponding to a predetermined information signal, and the magnetic portion side of the master information carrier is magnetically recorded. The master information carrier is superimposed on the magnetic recording medium so as to face the medium, and the magnetic part of the master information carrier is magnetized, so that the arrangement pattern of the information signals formed on the master information carrier is changed to the information signal side. A master information magnetic recording method for transferring and recording a magnetic pattern on a magnetic recording medium, wherein a shape pattern corresponding to the information signal is formed.
A master information recording method comprising: using the master information carrier in which a surface portion inside an outer edge portion is formed to be more convex than a surface portion of the outer edge portion that does not form a shape pattern corresponding to the information signal. .
部を所定の情報信号に対応する配列パターン形状になる
ように形成してマスター情報担体とし、前記マスター情
報担体の磁性部側が磁気記録媒体に対向するように、前
記マスター情報担体を前記磁気記録媒体に重ね合わせる
とともに、前記マスター情報担体の磁性部を磁化するこ
とにより、マスター情報担体に形成された情報信号の配
列パターンを情報信号側の磁化パターンとして磁気記録
媒体に転写記録するためのマスター情報磁気記録方法で
あって、 前記強磁性薄膜が前記非磁性基体の表面より突出して構
成された前記マスター情報担体を用いることを特徴とす
るマスター情報磁気記録方法。4. A master information carrier in which a magnetic portion made of a ferromagnetic thin film is formed on a non-magnetic substrate so as to have an array pattern shape corresponding to a predetermined information signal, and the magnetic portion side of the master information carrier is magnetically recorded. The master information carrier is superimposed on the magnetic recording medium so as to face the medium, and the magnetic part of the master information carrier is magnetized, so that the arrangement pattern of the information signals formed on the master information carrier is changed to the information signal side. A master information magnetic recording method for transferring and recording on a magnetic recording medium as a magnetization pattern, wherein the ferromagnetic thin film uses the master information carrier formed so as to protrude from the surface of the nonmagnetic substrate. Master information magnetic recording method.
録媒体に転写するためのマスター情報担体であって、 非磁性基体と、 所定の情報信号に対応する配列パターン形状になるよう
に、前記非磁性基体上に強磁性薄膜により形成された磁
性部とを備え、 前記非磁性基体は、前記磁気記録媒体の外縁部に対向し
た凹状部を有することを特徴とするマスター情報担体。5. A master information carrier for transferring a magnetization pattern of a predetermined information signal onto a magnetic recording medium, comprising: a non-magnetic base; and a non-magnetic substrate, wherein the non-magnetic substrate has an array pattern shape corresponding to the predetermined information signal. A master information carrier, comprising: a magnetic portion formed of a ferromagnetic thin film on a magnetic substrate; wherein the non-magnetic substrate has a concave portion facing an outer edge of the magnetic recording medium.
録媒体に転写するためのマスター情報担体であって、 非磁性基体と、 所定の情報信号に対応する配列パターン形状になるよう
に、前記非磁性基体上に強磁性薄膜により形成された磁
性部とを備え、 前記磁気記録媒体に対向する前記非磁性基体と前記磁性
部の全表面が前記磁気記録媒体の外縁部より内側で前記
磁気記録媒体と接触するように構成したことを特徴とす
るマスター情報担体。6. A master information carrier for transferring a magnetization pattern of a predetermined information signal onto a magnetic recording medium, comprising: a non-magnetic substrate; and a non-magnetic substrate, wherein the non-magnetic substrate has an array pattern shape corresponding to the predetermined information signal. A magnetic portion formed of a ferromagnetic thin film on a magnetic substrate, wherein the entire surface of the non-magnetic substrate and the magnetic portion facing the magnetic recording medium is inside an outer edge of the magnetic recording medium; A master information carrier, which is configured to be in contact with a master information carrier.
録媒体に転写するためのマスター情報担体であって、 非磁性基体と、 所定の情報信号に対応する配列パターン形状になるよう
に、前記非磁性基体上に強磁性薄膜により形成された磁
性部とを備え、 前記磁性部が形成された、前記非磁性基体の外縁部より
内側の表面部分が、前記磁性部が形成されていない、前
記非磁性基体の外縁部の表面部分よりも凸状に構成され
ていることを特徴とするマスター情報担体。7. A master information carrier for transferring a magnetization pattern of a predetermined information signal onto a magnetic recording medium, comprising: a non-magnetic base; and a non-magnetic substrate, wherein the non-magnetic base has an array pattern shape corresponding to the predetermined information signal. A magnetic portion formed of a ferromagnetic thin film on a magnetic substrate, wherein a surface portion inside the outer edge portion of the non-magnetic substrate, on which the magnetic portion is formed, is not formed with the magnetic portion; A master information carrier, wherein the master information carrier is configured to be more convex than the surface portion of the outer edge of the magnetic base.
録媒体に転写するためのマスター情報担体であって、 非磁性基体と、 所定の情報信号に対応する配列パターン形状になるよう
に、前記非磁性基体上に強磁性薄膜により形成された磁
性部とを備え、 前記強磁性薄膜が前記非磁性基体の表面より突出して構
成されていることを特徴とするマスター情報担体。8. A master information carrier for transferring a magnetization pattern of a predetermined information signal onto a magnetic recording medium, comprising: a non-magnetic base; and a non-magnetic substrate, wherein the non-magnetic base has an array pattern shape corresponding to the predetermined information signal. A master information carrier, comprising: a magnetic portion formed on a magnetic substrate by a ferromagnetic thin film, wherein the ferromagnetic thin film is configured to protrude from a surface of the nonmagnetic substrate.
スター情報記録方法を用いてプリフォーマット記録した
磁気記録媒体を用いたことを特徴とする磁気記録再生装
置。9. A magnetic recording / reproducing apparatus using a magnetic recording medium preformat-recorded by using the master information recording method according to claim 1.
ドディスクドライブにおいて、請求項５から８のいずれ
か一項記載のマスター情報担体を用いて、あらかじめ磁
性膜にプリフォーマット記録に用いる磁化パターンを転
写記録してなるディスク状磁気記録媒体を組み込んだ構
成としたことを特徴とするハードディスクドライブ。10. A hard disk drive having a disk-shaped magnetic recording medium, wherein a master information carrier according to claim 5 is used to transfer and record in advance a magnetization pattern to be used for preformat recording on a magnetic film. A hard disk drive comprising a disk-shaped magnetic recording medium.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000131577A JP2001312820A (en) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | Method for magnetic recording of master information, master information carrier, magnetic recording and reproducing device and hard disk drive |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000131577A JP2001312820A (en) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | Method for magnetic recording of master information, master information carrier, magnetic recording and reproducing device and hard disk drive |
Publications (1)
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| JP2001312820A true JP2001312820A (en) | 2001-11-09 |
Family
ID=18640448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2000131577A Pending JP2001312820A (en) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | Method for magnetic recording of master information, master information carrier, magnetic recording and reproducing device and hard disk drive |
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|---|---|
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- 2000-04-28 JP JP2000131577A patent/JP2001312820A/en active Pending
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