JP2001308127A - Solder bump printing method and electronic component mounting method - Google Patents

Solder bump printing method and electronic component mounting method

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JP2001308127A
JP2001308127A JP2000122049A JP2000122049A JP2001308127A JP 2001308127 A JP2001308127 A JP 2001308127A JP 2000122049 A JP2000122049 A JP 2000122049A JP 2000122049 A JP2000122049 A JP 2000122049A JP 2001308127 A JP2001308127 A JP 2001308127A
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solder
electronic component
substrate
solder paste
printing method
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JP2000122049A
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Japanese (ja)
Inventor
Eiji Moriyama
英二 森山
Kazuyuki Hatamoto
和之 畑本
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Ricoh Microelectronics Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Microelectronics Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a solder bump printing method which can reduce the print quantity shortage of solder bumps. SOLUTION: Solder paste in holes 10a of a screen mask 10 is heated at a lower temperature than the melting point of its solder particles by hot air flow 8 and then the screen mask 10 is peeled off from a CSP 4.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半田ペースト印刷
法によって基板又は電子部品上に複数の半田突起を印刷
する半田突起印刷方法及びこれを用いる電子部品実装方
法に関するものである。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a solder projection printing method for printing a plurality of solder projections on a substrate or an electronic component by a solder paste printing method, and an electronic component mounting method using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、電子部品である半導体装置には、
例えばQFP(Quad FlatPack)のよう
に、パッケージ周囲にガルウイング状に広がるリード端
子を接合電極として備えるものが知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, semiconductor devices that are electronic components include:
For example, there is known a device such as a QFP (Quad Flat Pack) which has lead terminals extending in a gull wing shape around a package as bonding electrodes.

【0003】しかしながら、この種の半導体装置では、
パッケージ周囲に広がるリード端子の強度をある程度維
持しながらリード端子数(I/O数)を増加させるため
には、パッケージサイズを大型化せざるを得ない。
However, in this type of semiconductor device,
In order to increase the number of lead terminals (the number of I / Os) while maintaining the strength of the lead terminals extending around the package to some extent, the size of the package must be increased.

【0004】このため、近年では、例えばLGA(La
nd Grid Array)、BGA(Ball G
rid Array)、CSP(Chip Size
Package)のように、パッケージ下面にアレイ状
に設けられた複数の微小電極を接合電極として備える半
導体装置が主流になりつつなる。これらの半導体装置で
は、接合電極をパッケージ下面に設けることにより、こ
れにガルウイング構造のような複雑な立体構造を採用す
る必要がなくなるため、接合電極を微小電極にすること
が可能になる。そして、このことにより、パッケージを
大型化することなく、I/O数を増加させることができ
る。
For this reason, in recent years, for example, LGA (La
nd Grid Array), BGA (Ball G
ride Array), CSP (Chip Size)
Semiconductor devices that include a plurality of microelectrodes provided in an array on the lower surface of a package as bonding electrodes, such as a package, are becoming mainstream. In these semiconductor devices, by providing the bonding electrode on the lower surface of the package, it is not necessary to employ a complicated three-dimensional structure such as a gull wing structure, so that the bonding electrode can be a minute electrode. As a result, the number of I / Os can be increased without increasing the size of the package.

【0005】このような微小電極を有する半導体装置を
マザー基板に実装する工程において、半田ペースト印刷
法を用いる場合がある。例えば、微小電極として扁平電
極を有するLGAでは、半田ペースト印刷法によってそ
の各微小電極上に半田突起を印刷するか、あるいはマザ
ー基板の電極パターンであるパッド上に複数の半田突起
を印刷する。そして、これら半田突起とパッドとを重ね
合わせるようにLGAをマザー基板上にマウントした
後、これら半田突起中の半田粒をリフロー炉法、熱風照
射、レーザー照射などによって溶融させる。更に、溶融
させた半田を硬化させて上記扁平電極とマザー基板のパ
ッドとを半田接続する。また例えば、各接合電極がパッ
ケージ下面から突出する突出電極(バンプ電極)となっ
ており、この突出電極が半田ボールで形成されているB
GAやCSPでも、マウント後におけるマザー基板上で
の位置ズレを軽減したり、より確実な半田接続を発揮さ
せたりするなどの目的で、各突出電極に対応する半田突
起をマザー基板のパッド上に印刷しておくことがある。
[0005] In a process of mounting a semiconductor device having such minute electrodes on a mother board, a solder paste printing method may be used. For example, in an LGA having flat electrodes as microelectrodes, solder projections are printed on each of the microelectrodes by a solder paste printing method, or a plurality of solder projections are printed on a pad which is an electrode pattern of a mother board. Then, after mounting the LGA on the motherboard so that the solder projections and the pads are overlapped, the solder particles in the solder projections are melted by a reflow furnace method, hot air irradiation, laser irradiation, or the like. Further, the flattened electrode and the pad of the motherboard are connected by soldering by curing the melted solder. Further, for example, each bonding electrode is a protruding electrode (bump electrode) protruding from the lower surface of the package, and the protruding electrode is formed of a solder ball.
For GA and CSP, solder projections corresponding to each protruding electrode are placed on the mother board pads to reduce the positional deviation on the mother board after mounting and to make more reliable solder connection. Sometimes printed.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の半田
ペースト印刷法では、例えば、マザー基板に密着せしめ
た孔版マスクの各孔に半田ペーストを充填した後、この
孔版マスクをマザー基板から剥がす際に、孔内の半田ペ
ーストの一部を孔内壁で引きずってしまうため、どうし
ても各孔内に未転写の半田ペーストを残してしまう。そ
して、このことにより、半田突起の印刷量不足を生ずる
場合があった。更に、このような印刷量不足を生ずる結
果、マザー基板のパッドと半導体装置の接合電極との半
田接合が不十分になって導通不良を引き起こす場合もあ
った。
However, in the conventional solder paste printing method, for example, after filling each hole of a stencil mask closely adhered to a mother substrate with a solder paste, the stencil mask is peeled off from the mother substrate. Since a part of the solder paste in the hole is dragged by the inner wall of the hole, untransferred solder paste is left in each hole. As a result, the printed amount of the solder protrusion may be insufficient. Further, as a result of such a shortage of the printing amount, the soldering between the pad of the mother board and the bonding electrode of the semiconductor device may be insufficient, causing a conduction failure.

【0007】なお、これらは半田ペースト印刷法に孔版
マスクを用いた場合の問題であるが、凹版マスクを用い
ても同様の問題が生じ得る。また、半導体装置をマザー
基板に実装する場合に限らず、本体下面に接合電極を備
える他の電子部品を実装する場合にも同様の問題が生じ
得る。
[0007] These are problems when a stencil mask is used in the solder paste printing method, but the same problem may occur even when an intaglio mask is used. A similar problem may occur not only when the semiconductor device is mounted on the motherboard but also when other electronic components having a bonding electrode on the lower surface of the main body are mounted.

【0008】本発明は以上の問題に鑑みなされたもので
あり、その第1の目的とするところは、半田突起の印刷
量不足を軽減することができる半田突起印刷方法を提供
することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and a first object of the present invention is to provide a solder projection printing method capable of reducing the shortage of the solder projection printing amount.

【0009】また、その第2の目的とするところは、半
田突起の印刷量不足に起因して生ずる基板と電子部品と
の導通不良を低減することができる電子部品実装方法を
提供することである。
A second object of the present invention is to provide an electronic component mounting method capable of reducing a conduction failure between a substrate and an electronic component caused by a shortage of a printed amount of a solder projection. .

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記第1の目的を達成す
るために、請求項1の発明は、孔版を用いた半田ペース
ト印刷法によって基板又は電子部品上に複数の半田突起
を印刷する半田突起印刷方法において、該孔版を該基板
又は電子部品に密着せしめる密着工程と、密着せしめた
該孔版の各孔に半田ペーストを充填する充填工程と、充
填した半田ペーストをその半田粒の融点よりも低い温度
で加熱して該半田ペースト中の溶剤を揮発させる加熱工
程と、該孔版を該基板又は電子部品から剥がす剥離工程
とを実施することを特徴とするものである。
In order to achieve the first object, a first aspect of the present invention is a solder for printing a plurality of solder projections on a substrate or an electronic component by a solder paste printing method using a stencil. In the projection printing method, a contacting step of bringing the stencil into close contact with the substrate or the electronic component, a filling step of filling each of the holes of the stencil with the solder paste, and filling the filled solder paste with a melting point of the solder particles. A heating step of heating at a low temperature to volatilize a solvent in the solder paste and a peeling step of peeling the stencil from the substrate or the electronic component are performed.

【0011】この半田突起印刷方法においては、充填工
程の後に直ちに剥離工程を実施する従来の半田ペースト
印刷法とは異なり、該剥離工程を実施するのに先立ち、
孔版の各孔に充填した半田ペーストをその内部の半田粒
の融点よりも低い温度で加熱して該半田ペースト中の溶
剤を揮発させる。そして、この揮発により、半田ペース
トの少なくとも外側部分を固化させる。本発明者らは鋭
意研究により、このように半田ペーストを固化させる
と、孔内からの該半田ペーストの抜け性を向上せしめ、
基板又は電子部品への半田突起の印刷量不足を軽減し得
ることを見出した。なお、本半田突起印刷方法において
半田ペーストの抜け性を向上せしめ得る原因には、半田
ペーストの少なくとも外側部分を固化させることによ
り、該外側部分と孔内壁との粘着性を低下させることが
関与していると考えられる。また、本発明者らの鋭意研
究によれば、このように固化させた半田ペーストは、上
記加熱工程で上記融点を超える温度で加熱されて半田ペ
ーストから半田固形物に変化してしまったものよりも、
電子部品と基板との導通不良を引き起こし難くなること
を見出した。この原因は次のように考えられる。即ち、
本半田突起印刷方法の加熱工程で固化した半田ペースト
は、溶融して半田固形物になったものとは異なり、個々
の半田粒同士を融合させていない。一方、半田固形物は
半田粒の融合の際に生ずる表面張力等によって半田ペー
ストの状態のときよりも丸みを帯びた形状となる。よっ
て、固化した半田ペーストと半田粒を融合させた半田固
形物とでは、後者の方が丸みを帯び、印刷後の半田突起
と基板又は電子部品との接触面積を小さくする。換言す
れば、前者に由来する半田突起の方が基板又は電子部品
との接触面積が大きくなる。かかる半田突起は、実装工
程において、後者に由来する半田突起よりも確実に基板
又は電子部品に接触せしめられながらその半田粒が溶融
・硬化せしめられるため、該基板と電子部品とをより確
実に半田接続すると考えられる。
In this solder projection printing method, unlike the conventional solder paste printing method in which the peeling step is performed immediately after the filling step, prior to performing the peeling step,
The solder paste filled in each hole of the stencil is heated at a temperature lower than the melting point of the solder particles inside the stencil to volatilize the solvent in the solder paste. Then, by this volatilization, at least the outer portion of the solder paste is solidified. The present inventors have intensively studied and, by solidifying the solder paste in this way, improve the removability of the solder paste from inside the hole,
It has been found that the shortage of the printed amount of the solder protrusion on the substrate or the electronic component can be reduced. In addition, a cause that can improve the removability of the solder paste in the present solder projection printing method involves lowering the adhesiveness between the outer portion and the inner wall of the hole by solidifying at least the outer portion of the solder paste. It is thought that it is. According to the inventor's intensive research, the solder paste thus solidified is heated at a temperature exceeding the melting point in the heating step, and is changed from a solder paste to a solder solid. Also,
It has been found that poor conduction between the electronic component and the substrate is unlikely to occur. The cause is considered as follows. That is,
The solder paste solidified in the heating step of the present solder projection printing method does not fuse individual solder particles, unlike the solder paste that is melted to become a solder solid. On the other hand, the solid solder has a more rounded shape than in the solder paste state due to surface tension or the like generated when the solder particles are fused. Therefore, the solidified solder paste and the solder solid material obtained by fusing the solder particles are more rounded, and the contact area between the printed solder projection and the substrate or electronic component is reduced. In other words, the solder protrusions derived from the former have a larger contact area with the substrate or the electronic component. In the mounting step, the solder particles are melted and hardened while being brought into contact with the substrate or the electronic component more reliably than the solder projection derived from the latter in the mounting process, so that the substrate and the electronic component are more securely soldered. It is thought to connect.

【0012】請求項2の発明は、凹版を用いた半田ペー
スト印刷法によって基板又は電子部品上に複数の半田突
起を印刷する半田突起印刷方法において、該凹版の各凹
部に半田ペーストを充填する充填工程と、各凹部の開口
と該基板又は電子部品とを合わせるように該凹版を該基
板又は電子部品に密着させる密着工程と、各凹部内の半
田ペーストをその半田粒の融点よりも低い温度で加熱し
て該半田ペースト中の溶剤を揮発させる加熱工程と、該
凹版を該基板又は電子部品から剥がす剥離工程とを実施
することを特徴とするものである。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a solder projection printing method for printing a plurality of solder projections on a substrate or an electronic component by a solder paste printing method using an intaglio, wherein each recess of the intaglio is filled with a solder paste. A step of bringing the intaglio plate into close contact with the substrate or the electronic component so that the opening of each concave portion and the substrate or the electronic component are aligned with each other, and applying a solder paste in each concave portion at a temperature lower than the melting point of the solder particles. A heating step of heating to evaporate the solvent in the solder paste and a peeling step of peeling the intaglio from the substrate or the electronic component are performed.

【0013】この半田突起印刷方法においては、請求項
1の半田突起印刷方法と同様の作用により、凹版におけ
る凹部内からの半田ペーストの抜け性を向上せしめ、基
板又は電子部品への半田突起の印刷量不足を軽減する。
[0013] In this solder projection printing method, the same effect as the solder projection printing method of the first aspect is used to improve the releasability of the solder paste from inside the concave portion of the intaglio plate, and to print the solder projection on the substrate or electronic component. Reduce shortages.

【0014】請求項3の発明は、請求項1又は2の半田
突起印刷方法において、上記孔版又は凹版として、樹脂
材料に上記孔又は凹部をアブレーション加工した樹脂製
のものを用いることを特徴とするものである。
According to a third aspect of the present invention, in the solder projection printing method of the first or second aspect, the stencil plate or the intaglio plate is made of a resin obtained by ablating a hole or a recess in a resin material. Things.

【0015】この半田突起印刷方法においては、いわゆ
るプラスチックマスクなど、アブレーション加工によっ
て孔や凹部を形成した樹脂製の孔版や凹版を用いる。か
かる孔版や凹版においては、例えばメタルマスクなど、
フォトリソグラフィー法やエッチング法によって加工さ
れた孔や凹部を有するものよりも、孔内壁や凹部内壁の
平滑性が遥かに優れている。よって、メタルマスク等よ
りも、孔内や凹部内で固化した半田ペーストと、孔内壁
や凹部内壁との摩擦力が少なくなる。そして、このこと
により、孔内や凹部内からの半田ペーストの抜け性が更
に向上して半田突起の印刷量不足が更に軽減される。但
し、樹脂製の孔版や凹版は金属製のものよりも加熱によ
る変形を生じ易いため、この変形に起因する半田突起の
印刷位置不良などを引き起こすという新たな問題を生ず
るおそれがある。
In this solder projection printing method, a resin stencil or intaglio having holes and recesses formed by ablation processing, such as a so-called plastic mask, is used. In such a stencil or intaglio, for example, a metal mask
The inner wall of the hole and the inner wall of the recess are much more excellent in smoothness than those having the hole and the recess processed by the photolithography method or the etching method. Therefore, the frictional force between the solder paste solidified in the hole or the recess and the inner wall of the hole or the recess becomes smaller than that of a metal mask or the like. As a result, the removability of the solder paste from the inside of the hole or the concave portion is further improved, and the shortage of the printed amount of the solder protrusion is further reduced. However, resin stencils and intaglios are more liable to be deformed by heating than metal stencils, and this deformation may cause a new problem of causing defective printing positions of solder projections.

【0016】そこで、請求項4の発明は、請求項3の半
田突起印刷方法において、上記樹脂材料としてポリイミ
ド樹脂を用いたことを特徴とするものである。
Therefore, a fourth aspect of the present invention is the solder projection printing method according to the third aspect, wherein a polyimide resin is used as the resin material.

【0017】この半田突起印刷方法においては、耐熱性
を有するポリイミド樹脂製の孔版や凹版を用いる。かか
る構成の孔版や凹版は、他の樹脂製のものに比べて加熱
に伴う変形が少ない。特に、半田粒の融点である200
[℃]程度の加熱では殆ど変形しない。このため、加熱に
伴う孔版や凹版の変形に起因する半田突起の印刷位置不
良を低減することができる。
In this solder projection printing method, a stencil or intaglio made of polyimide resin having heat resistance is used. The stencils and intaglios having such a configuration have less deformation due to heating than those made of other resins. In particular, the melting point of solder particles, 200
It is hardly deformed by heating at about [° C]. For this reason, it is possible to reduce the defective printing position of the solder projection due to the deformation of the stencil or the intaglio caused by the heating.

【0018】請求項5の発明は、半田突起印刷方法によ
って基板又は電子部品上に複数の半田突起を印刷する印
刷工程と、該基板上に該電子部品を載置する載置工程
と、該半田突起を加熱によって溶融させる溶融工程と、
溶融させた半田突起を冷却によって硬化させて該基板の
電極パターンと該電子部品の接合電極とを半田接続する
硬化工程とを実施して、該電子部品を該基板上に実装す
る電子部品実装方法において、該半田突起印刷方法とし
て、請求項1、2、3又は4のものを用いることを特徴
とするものである。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a printing step of printing a plurality of solder projections on a substrate or an electronic component by a solder projection printing method, a mounting step of mounting the electronic component on the substrate, A melting step of melting the projections by heating,
An electronic component mounting method for mounting the electronic component on the substrate by performing a hardening step of hardening the melted solder protrusion by cooling and solder-connecting the electrode pattern of the substrate and the joining electrode of the electronic component by soldering; Wherein the method of claim 1, 2, 3 or 4 is used as the solder projection printing method.

【0019】この電子部品実装方法においては、印刷工
程で請求項1、2、3又は4の半田突起印刷方法を用い
ることにより、基板又は電子部品への半田突起の印刷量
不足を軽減する。よって、硬化工程においてこの印刷量
不足に起因して生ずる基板と電子部品との導通不良を低
減することができる。
In this electronic component mounting method, by using the solder projection printing method of the first, second, third, or fourth aspect in the printing process, the shortage of the printed amount of the solder projection on the substrate or the electronic component is reduced. Therefore, it is possible to reduce the conduction failure between the substrate and the electronic component caused by the insufficient printing amount in the curing step.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した実施形態
として、マザー基板上にCSPを実装する電子回路実装
方法(以下、実装方法という)について説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, as an embodiment to which the present invention is applied, an electronic circuit mounting method for mounting a CSP on a motherboard (hereinafter referred to as a mounting method) will be described.

【0021】本実装方法では、まず、孔版としてのスク
リーンマスクをCSPに密着せしめる密着工程と、密着
せしめたスクリーンマスクの各孔に半田ペーストを充填
する充填工程と、充填した半田ペーストを加熱する加熱
工程と、スクリーンマスクをCSPから剥がす剥離工程
とを実施する半田ペースト印刷工程を行う。そして次
に、この半田ペースト印刷工程を経たCSPをマザー基
板上に載置する載置工程であるマウント工程と、上記半
田ペースト印刷工程によって得た半田突起を加熱によっ
て溶融させる溶融工程であるリフロー工程と、溶融させ
た半田突起を冷却によって硬化させる硬化工程とを実施
する。
In this mounting method, first, a contact step of bringing a screen mask as a stencil into close contact with the CSP, a filling step of filling each hole of the contacted screen mask with a solder paste, and a heating step of heating the filled solder paste. A solder paste printing step of performing a step and a peeling step of peeling the screen mask from the CSP is performed. Next, a mounting step of placing the CSP that has passed through the solder paste printing step on the motherboard, and a reflow step of melting the solder protrusions obtained by the solder paste printing step by heating. And a hardening step of hardening the melted solder protrusion by cooling.

【0022】図1(a)から(c)、及び、図2(a)
から(c)は、それぞれ上記半田ペースト印刷工程の作
業フローを示す説明図である。図1(a)において、符
号4はCSP4を示し、このCSPの下面には、パッド
4aと、これに溶着された半田ボール4cとからなる接
合電極としての突起電極(バンプ電極)がアレイ状に配
設されている。上記半田ペースト印刷工程においては、
このようなCSP4を、まず、その下面が上側を向くよ
うに位置決め冶具9上にセットする。そして、図1
(b)に示すように、スクリーンマスク10をCSP4
に密着せしめた後(密着工程)、このスクリーンマスク
10の上側から、図1(c)に示すようなスキージ11
を用いてスクリーンマスク10の各孔10aに半田ペー
スト12を充填する(充填工程)。この半田ペースト1
2には、無数の半田微粒子と、半田溶融の際にこの半田
微粒子の酸化膜を除去するフラックスとを含有させてお
り、更に、このフラックスには樹脂成分と溶剤とを含有
させている。
FIGS. 1A to 1C and FIG. 2A
(C) is an explanatory diagram showing a work flow of the solder paste printing step. In FIG. 1A, reference numeral 4 denotes a CSP 4. On the lower surface of the CSP, projecting electrodes (bump electrodes) as bonding electrodes composed of a pad 4a and a solder ball 4c welded thereto are arranged in an array. It is arranged. In the solder paste printing step,
First, such a CSP 4 is set on the positioning jig 9 such that its lower surface faces upward. And FIG.
As shown in (b), the screen mask 10 is
After that, the squeegee 11 as shown in FIG.
Is filled with the solder paste 12 in each hole 10a of the screen mask 10 (filling step). This solder paste 1
2 contains a myriad of solder particles and a flux that removes an oxide film of the solder particles when the solder is melted, and further contains a resin component and a solvent in the flux.

【0023】なお、本発明者らの実験によれば、上記密
着工程でスクリーンマスク10をCSP4に密着せしめ
るのに先立ち、このCSP4の半田ボール4c上に予め
フラックスを塗布しておくことで、半田ペースト12の
滲み出しに起因して生ずる電極間のショートを大幅に低
減することができた。従って、CSP4の半田バール4
上に予めフラックスを塗布してから、スクリーンマスク
10をCSP4に密着せしめることが望ましい。
According to the experiments of the present inventors, prior to bringing the screen mask 10 into close contact with the CSP 4 in the above-mentioned contact step, a flux is applied to the solder balls 4c of the CSP 4 in advance, so that the solder is applied. The short circuit between the electrodes caused by the oozing of the paste 12 was significantly reduced. Therefore, solder bar 4 of CSP4
It is desirable that the screen mask 10 be brought into close contact with the CSP 4 after applying a flux on the upper surface in advance.

【0024】図1(c)の作業を終えると、次に、図2
(a)に示すように、スクリーンマスク10の上側に熱
風ノズル7を配備し、ここからスクリーンマスク10に
向けて熱風8を吹き付けて半田ペースト12を加熱し、
半田ペースト12中の溶剤を揮発させる(加熱工程)。
このとき、半田ペースト12をその内部の半田微粒子の
融点よりも高く加熱しないように注意する。そして、溶
剤の揮発により、半田ペースト12の少なくとも外側部
分(孔10aの開口から露出している部分、及び孔内壁
との接触部分)を固化させる。更に、図2(b)に示す
ように、熱風ノズル7を撤去した後、図示しない送風手
段によってスクリーンマスク10に向けて送風して半田
ペースト12を冷却する。そして、図2(c)に示すよ
うに、スクリーンマスク10をCSP4から剥がしてC
SP4の半田ボール4c上に外側部分が固化した半田ペ
ースト12からなる半田突起を転写・印刷する。
After completing the operation shown in FIG. 1C, next, FIG.
As shown in (a), a hot air nozzle 7 is provided on the upper side of the screen mask 10, and hot air 8 is blown toward the screen mask 10 to heat the solder paste 12.
The solvent in the solder paste 12 is volatilized (heating step).
At this time, care should be taken not to heat the solder paste 12 higher than the melting point of the solder fine particles therein. Then, at least the outer portion (the portion exposed from the opening of the hole 10a and the contact portion with the inner wall of the hole) of the solder paste 12 is solidified by volatilization of the solvent. Further, as shown in FIG. 2B, after removing the hot air nozzle 7, air is blown toward the screen mask 10 by a blowing means (not shown) to cool the solder paste 12. Then, as shown in FIG. 2C, the screen mask 10 is removed from the CSP 4
The solder projections made of the solder paste 12 whose outer portion is solidified are transferred and printed on the solder balls 4c of the SP4.

【0025】なお、半田ペースト12を加熱する方法と
して、CSP4を炉内に入れる方法や、レーザー照射す
る方法などを用いてもよい。また、半田ペースト12の
冷却については、上記送風手段などを用いずに自然冷却
を行ってもかまわないし、省略してもよい。
As a method of heating the solder paste 12, a method of placing the CSP 4 in a furnace, a method of irradiating a laser, or the like may be used. As for the cooling of the solder paste 12, natural cooling may be performed without using the above-mentioned blowing means or the like, or may be omitted.

【0026】上記加熱工程で、半田ペースト12中の溶
剤を揮発させると、図3(a)に示すように、半田ペー
スト12が僅かに収縮する。このように収縮した状態で
スクリーンマスク10をCSP4から剥がすと、図3
(b)に示すように、半田ペースト12を孔10aから
スムーズに離脱させて半田ボール4c上に転写・印刷す
ることができる。よって、本実装方法の半田ペースト印
刷工程では、孔10a内の半田ペースト12をそのまま
の状態で転写・印刷する従来の半田ペースト印刷法とは
異なり、孔10aからの半田ペースト12の抜け性を向
上せしめて半田ボール4cへの半田突起の印刷量不足を
軽減することができる。このように半田ペースト12の
抜け性を向上せしめ得る原因は次のように考えられる。
即ち、半田ペースト12の少なくとも外側部分を固化さ
せることにより、該外側部分と孔内壁との粘着性を低下
させていることが関与していると考えられる。
When the solvent in the solder paste 12 is volatilized in the heating step, the solder paste 12 slightly shrinks as shown in FIG. When the screen mask 10 is peeled from the CSP 4 in such a contracted state, FIG.
As shown in (b), the solder paste 12 can be smoothly separated from the holes 10a and transferred and printed on the solder balls 4c. Therefore, in the solder paste printing step of this mounting method, unlike the conventional solder paste printing method in which the solder paste 12 in the hole 10a is transferred and printed as it is, the removability of the solder paste 12 from the hole 10a is improved. At the very least, it is possible to reduce the shortage of the printed amount of the solder protrusion on the solder ball 4c. The cause that can improve the removability of the solder paste 12 as described above is considered as follows.
That is, it is considered that the solidification of at least the outer portion of the solder paste 12 reduces the adhesiveness between the outer portion and the inner wall of the hole.

【0027】参考のため、従来の半田ペースト印刷法に
おける半田ペースト12の挙動を図4に示す。図4に示
すように、従来の半田ペースト印刷法では、孔10aに
粘性の高い半田ペースト12が充填されたスクリーンマ
スクをそのままの状態でCSP4から剥がすことで、半
田ペースト12を孔内壁で引きずって孔10a内に多量
の半田ペースト12を残留させていた。
For reference, the behavior of the solder paste 12 in the conventional solder paste printing method is shown in FIG. As shown in FIG. 4, in the conventional solder paste printing method, the screen mask in which the hole 10a is filled with the highly viscous solder paste 12 is peeled off from the CSP 4 as it is, so that the solder paste 12 is dragged on the inner wall of the hole. A large amount of the solder paste 12 remains in the hole 10a.

【0028】なお、本実装方法で、図3に示したように
半田ボール4c上に半田突起を印刷する場合には、半田
ボール4cよりも融点の低い半田微粒子を含有する半田
ペースト12を用いることが望ましい。このような半田
ペースト12を用いることで、上記加熱工程で誤って半
田ボールを溶融させてしまうようなことがなくなるから
である。
When solder projections are printed on the solder balls 4c as shown in FIG. 3 in the present mounting method, a solder paste 12 containing solder fine particles having a lower melting point than the solder balls 4c must be used. Is desirable. By using such a solder paste 12, it is possible to prevent the solder balls from being erroneously melted in the heating step.

【0029】図5は、上記加熱工程において過剰な加熱
によって半田ペースト12の半田微粒子を誤って溶融さ
せてしまった状態を示す断面図である。図示のように、
半田微粒子を溶融させるような過剰な加熱では、半田ペ
ースト12を半田5に変性させる。この半田5は殆ど全
ての溶剤を揮発させて半田ペースト12の状態のときよ
り大幅に収縮し、且つ、個々の半田微粒子が融合する際
に生ずる表面張力によって先端部分に丸みを帯びる。こ
のように丸みを帯びた半田5からなる半田突起は、後述
するマウント工程において、図6(a)に示すようにマ
ザー基板1の基板電極1aと点接触することになる。一
方、半田微粒子を溶融させておらず、良好な弾力性を発
揮し得る固化済みの半田ペースト12aからなる半田突
起は、図6(b)に示すように、基板電極1aと面接触
することになる。このため、後述のリフロー工程及び硬
化工程において、より確実に基板電極1aに接触しなが
ら溶融・硬化して、基板電極1aとパッド4bとの半田
接続不良(導通不良)を良好に抑えることができる。
FIG. 5 is a sectional view showing a state in which the solder fine particles of the solder paste 12 are erroneously melted due to excessive heating in the heating step. As shown,
Excessive heating that melts the solder particles causes the solder paste 12 to be transformed into the solder 5. The solder 5 volatilizes almost all the solvent and shrinks greatly compared to the state of the solder paste 12, and the tip portion is rounded due to the surface tension generated when the individual solder fine particles are fused. The solder protrusion made of the solder 5 having a round shape as described above comes into point contact with the substrate electrode 1a of the mother substrate 1 in a mounting step described later, as shown in FIG. On the other hand, as shown in FIG. 6B, the solder projection made of the solidified solder paste 12a which does not melt the solder fine particles and can exhibit good elasticity is brought into surface contact with the substrate electrode 1a. Become. For this reason, in a reflow process and a curing process described later, the substrate electrode 1a is more reliably melted and cured while being in contact with the substrate electrode 1a, so that poor solder connection (defective conduction) between the substrate electrode 1a and the pad 4b can be favorably suppressed. .

【0030】図7(a)から(c)、及び図8は、それ
ぞれ上記マウント工程の作業フローを示す説明図であ
る。このマウント工程では、まず、図7(a)に示すよ
うに、上記位置決め冶具9の上に別の位置決め冶具16
をその開口が下側を向くようにして重ねた後、これら冶
具の上下を反転させる。すると、図7(b)に示すよう
に、CSP4がこの別の位置決め冶具16上に、下面
(半田ボール面)を下側に向けてセットされる。このよ
うにしてCSP4を別の位置決め冶具16上にセットし
た後には、図7(c)に示すように、部品吸着ノズル1
7をこのCSP4の上面に当てて引き上げる。そして、
これによってCSPを吸着ノズル17にセットする。次
いで、図8に示すように、図中左右方向にスライド移動
するXテーブル20上で、図中奥行き方向にスライド移
動するYテーブル21上に、先に上記取外し工程を済ま
せておいたマザー基板1を固定する。そして、部品吸着
ノズル17にセットしたCSP4と、マザー基板1との
間に光学監視装置18を介在させ、この光学監視装置1
8のモニタ19に映し出される映像を見ながら、上記X
テーブル20やYテーブル21をスライド移動させて、
CSP4の各半田ボール4cの直下にマザー基板1の各
基板電極1aをポジショニングさせるように位置合わせ
する。なお、上記光学監視装置18は、その上側にある
CSP4の平面像と、その直下にあるマザー基板1の平
面像とを、これらの平面的な相対位置が現実のものと同
一になるように合成して上記モニタ19に映し出すよう
になっている。このようにして映し出される映像を見な
がら位置合わせを行った後には、光学監視装置18を撤
去して部品吸着ノズル17をゆっくりと垂直に降下さ
せ、CSP4をマザー基板1にソフトタッチさせる。そ
して、バキューム機能の停止によって部品吸着ノズル1
7からCSP4を離してマザー基板1上にマウントす
る。
FIGS. 7A to 7C and FIG. 8 are explanatory diagrams showing the work flow of the mounting step. In this mounting step, first, as shown in FIG. 7A, another positioning jig 16 is placed on the positioning jig 9.
Then, the jigs are turned upside down, with the openings facing downward. Then, as shown in FIG. 7B, the CSP 4 is set on this other positioning jig 16 with the lower surface (solder ball surface) facing downward. After the CSP 4 is set on another positioning jig 16 in this way, as shown in FIG.
7 is brought up against the upper surface of the CSP 4. And
Thus, the CSP is set on the suction nozzle 17. Next, as shown in FIG. 8, on the X table 20 which slides in the left and right direction in the figure, and on the Y table 21 which slides in the depth direction in the figure, the mother substrate 1 which has been subjected to the above-mentioned removal step is completed. Is fixed. Then, an optical monitoring device 18 is interposed between the CSP 4 set on the component suction nozzle 17 and the mother board 1, and the optical monitoring device 1
8 while watching the image projected on the monitor 19 of the X.
By sliding the table 20 and the Y table 21,
Each board electrode 1a of the mother board 1 is positioned just below each solder ball 4c of the CSP 4 so as to be positioned. The optical monitoring device 18 combines the two-dimensional image of the CSP 4 on the upper side and the two-dimensional image of the mother board 1 directly below the CSP 4 so that their planar relative positions are the same as the real ones. The image is displayed on the monitor 19. After the positioning is performed while viewing the image projected in this manner, the optical monitoring device 18 is removed, the component suction nozzle 17 is slowly lowered vertically, and the CSP 4 is soft-touched to the mother substrate 1. When the vacuum function is stopped, the component suction nozzle 1 is stopped.
The CSP 4 is separated from 7 and mounted on the motherboard 1.

【0031】なお、このマウント工程においては、マウ
ントに先立ち、ハケやノズル等によって半田突起あるい
は基板電極1aの少なくとも一方にフラックスを塗布し
ておくことが望ましい(後述の変形例も同様)。このよ
うにフラックスを塗布することで半田突起と基板電極1
aとの摩擦力を高め、マウント後の両者の位置ズレを軽
減することができるからである。また、フラックスの代
わりに半田ペースト12を塗布することは、不本意なシ
ョートを生ずるおそれがあるので避けた方がよい。
In this mounting step, it is desirable to apply a flux to at least one of the solder protrusions and the substrate electrode 1a by a brush, a nozzle, or the like before mounting (the same applies to a modified example described later). By applying the flux in this manner, the solder protrusions and the substrate electrodes 1 are formed.
This is because it is possible to increase the frictional force with respect to “a” and reduce the positional deviation between the two after mounting. In addition, it is better to avoid applying the solder paste 12 instead of the flux because an undesired short circuit may occur.

【0032】このようにしてCSP4をマザー基板1上
にマウントした後には、上記リフロー工程を実施して、
マザー基板1の基板電極1aとCSP4のパッド4bと
の間に介在する半田ボール4c及び半田ペースト12a
を溶融・融合させる。次いで、硬化工程の実施によって
溶融半田を硬化させて、マザー基板1の基板電極1aと
CSP4のパッド4bとを半田接続する。この半田接続
により、CSP4がマザー基板1に電気的及び機械的に
接続されて実装される。なお、上記リフロー工程におけ
る作業は図2(a)に示した作業と同様であり、上記硬
化工程における作業は図2(b)に示した作業と同様で
あるので、それぞれ説明を省略する。
After the CSP 4 is mounted on the motherboard 1 in this manner, the above-described reflow step is performed.
Solder ball 4c and solder paste 12a interposed between board electrode 1a of mother board 1 and pad 4b of CSP 4
Is melted and fused. Next, the molten solder is cured by performing a curing step, and the board electrode 1a of the mother board 1 and the pad 4b of the CSP 4 are connected by soldering. By this solder connection, the CSP 4 is electrically and mechanically connected to the mother board 1 and mounted. The operation in the reflow step is the same as the operation shown in FIG. 2A, and the operation in the curing step is the same as the operation shown in FIG.

【0033】なお、本実装方法の半田ペースト印刷工程
には、エキシマレーザー等を用いたアブレーション加工
によって孔10aを形成したいわゆるプラスチックマス
クを用いることが望ましい。かかるプラスチックマスク
では、フォトリソグラフィー法やエッチング法によって
加工された孔10aを有するメタルマスク等よりも、孔
内壁の平滑性が遥かに優れており、孔10a内からの半
田5の抜け性をより向上せしめることができるからであ
る。
In the solder paste printing step of this mounting method, it is desirable to use a so-called plastic mask having holes 10a formed by ablation using an excimer laser or the like. In such a plastic mask, the smoothness of the inner wall of the hole is far superior to that of a metal mask having the hole 10a processed by the photolithography method or the etching method, and the removability of the solder 5 from the inside of the hole 10a is further improved. This is because it can be done.

【0034】また、このプラスチックマスクに用いる樹
脂材料としては、ポリイミド樹脂を用いることが望まし
い。耐熱性のポリイミド樹脂からなるプラスチックマス
クは、他の樹脂製のものに比べて加熱に伴う変形が少な
く、加熱による変形に起因する半田突起の印刷位置不良
を低減することができるからである。
As the resin material used for the plastic mask, it is desirable to use a polyimide resin. This is because a plastic mask made of a heat-resistant polyimide resin has less deformation due to heating than a resin mask made of another resin, and can reduce defective printing positions of solder protrusions due to deformation due to heating.

【0035】次に、本第1実施形態の実装方法の変形例
について説明する。図9(a)から(c)は、それぞれ
この変形例の実装方法における作業フローの一部を示す
断面図である。本実装方法では、半田突起をCSP4の
半田ボール4c上にではなく、マザー基板1の電極パタ
ーン(基板電極1a)上に印刷する。具体的には、図9
(a)に示すように、マザー基板1にスクリーンマスク
10を密着させた後(密着工程)、スキージ11によっ
てこのスクリーンマスク10の各孔10aに半田ペース
ト12を充填する(充填工程)。そして、図2(a)及
び(b)に示した作業と同様の作業によって各孔10a
内の半田ペースト12に加熱処理及び冷却処理を施した
後、スクリーンマスク10をマザー基板1から剥がして
図9(b)に示すような固化済みの半田ペースト12a
からなる半田突起を印刷する。このような印刷において
も、未硬化の半田ペースト12ではなく固化変性した半
田ペースト12aを転写・印刷することで、基板電極1
aへの半田突起の印刷量不足を軽減することができる。
Next, a modification of the mounting method of the first embodiment will be described. FIGS. 9A to 9C are cross-sectional views each showing a part of a work flow in the mounting method of this modified example. In this mounting method, the solder protrusion is printed not on the solder ball 4c of the CSP 4 but on the electrode pattern (board electrode 1a) of the mother board 1. Specifically, FIG.
As shown in (a), after the screen mask 10 is brought into close contact with the mother substrate 1 (adhesion step), a solder paste 12 is filled into each hole 10a of the screen mask 10 with a squeegee 11 (filling step). Then, each hole 10a is formed by the same operation as that shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b).
After subjecting the solder paste 12 inside to heat treatment and cooling treatment, the screen mask 10 is peeled off from the mother substrate 1 and a solidified solder paste 12a as shown in FIG.
Are printed with solder protrusions made of In such printing as well, the substrate electrode 1 is formed by transferring and printing the solidified and modified solder paste 12a instead of the uncured solder paste 12.
It is possible to reduce the shortage of the print amount of the solder protrusion on the “a”.

【0036】なお、本発明者らの実験によれば、本変形
例の実装方法においても、上記密着工程でスクリーンマ
スク10をマザー基板1に密着せしめるのに先立ち、こ
のマザー基板1の基板電極1a上に予めフラックスを塗
布しておくことで、半田ペースト12の滲み出しに起因
して生ずる電極間のショートを大幅に低減することがで
きた。従って、マザー基板1の基板電極1a上に予めフ
ラックスを塗布してから、スクリーンマスク10をマザ
ー基板1に密着せしめることが望ましい。
According to the experiments performed by the present inventors, even in the mounting method of the present modification, the substrate electrode 1a of the mother substrate 1 is preceded by bringing the screen mask 10 into close contact with the mother substrate 1 in the above-mentioned contact step. By applying the flux on the upper surface in advance, a short circuit between the electrodes caused by seepage of the solder paste 12 could be significantly reduced. Therefore, it is desirable that the screen mask 10 be brought into close contact with the mother substrate 1 after applying a flux on the substrate electrode 1a of the mother substrate 1 in advance.

【0037】半田突起を印刷した後には、図9(c)に
示すように、マザー基板1上にCSP4をマウントした
後、上記リフロー工程と上記硬化工程とを実施すればよ
い。
After printing the solder protrusions, as shown in FIG. 9C, after mounting the CSP 4 on the mother substrate 1, the reflow step and the curing step may be performed.

【0038】以上、実施形態及び変形例において、CS
P4をマザー基板1に実装する実装方法について説明し
たが、BGA、LGA、QFP、LSI、ベアチップな
ど、他の電子部品を実装する実装方法にも本発明の適用
が可能であることは言うまでもない。
As described above, in the embodiment and the modification, the CS
Although the mounting method for mounting P4 on the motherboard 1 has been described, it is needless to say that the present invention can be applied to a mounting method for mounting other electronic components such as BGA, LGA, QFP, LSI, and bare chip.

【0039】また、印刷工程でスクリーンマスクを用い
る実装方法について説明したが、各凹部に半田ペースト
を充填した凹版をマザー基板や電子部品に密着させる印
刷工程を実施する実装方法にも本発明の適用が可能であ
る。
Although the mounting method using a screen mask in the printing process has been described, the present invention is also applied to a mounting method in which a printing process is performed in which an intaglio in which each recess is filled with a solder paste is closely attached to a mother board or an electronic component. Is possible.

【発明の効果】請求項1、2、3又は4の発明によれ
ば、基板又は電子部品への半田突起の印刷量不足を軽減
することができるという優れた効果がある。
According to the first, second, third or fourth aspect of the present invention, there is an excellent effect that it is possible to reduce the shortage of the printed amount of the solder projection on the substrate or the electronic component.

【0040】特に、請求項3の発明によれば、孔内や凹
部内からの半田ペーストの抜け性を更に向上せしめて半
田突起の印刷量不足を更に軽減することができるという
優れた効果がある。
In particular, according to the third aspect of the present invention, there is an excellent effect that the releasability of the solder paste from the inside of the hole or the concave portion can be further improved, and the shortage of the printed amount of the solder protrusion can be further reduced. .

【0041】また特に、請求項4の発明によれば、加熱
に伴う孔版や凹版の変形に起因する半田突起の印刷位置
不良を低減することができるという優れた効果がある。
In particular, according to the fourth aspect of the present invention, there is an excellent effect that it is possible to reduce a printing position defect of a solder projection due to deformation of a stencil or an intaglio caused by heating.

【0042】請求項5の発明によれば、基板又は電子部
品への半田突起の印刷量不足に起因して生ずる該基板と
該電子部品との導通不良を低減することができるという
優れた効果がある。
According to the fifth aspect of the present invention, there is provided an excellent effect that it is possible to reduce poor conduction between the substrate and the electronic component due to insufficient printing of the solder projection on the substrate or the electronic component. is there.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)から(c)は、それぞれ実施形態に係る
実装方法の半田ペースト印刷工程の作業フローを示す説
明図。
FIGS. 1A to 1C are explanatory diagrams each showing a work flow of a solder paste printing step of a mounting method according to an embodiment.

【図2】(a)から(c)は、それぞれ同作業フローの
続きのフローを示す説明図。
FIGS. 2A to 2C are explanatory diagrams each showing a continuation of the same work flow.

【図3】(a)及び(b)は、同半田ペースト印刷工程
における半田ペースト12の挙動を示す断面図。
FIGS. 3A and 3B are cross-sectional views showing the behavior of a solder paste 12 in the solder paste printing step.

【図4】従来の半田ペースト印刷法における半田ペース
トの挙動を示す断面図。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing the behavior of a solder paste in a conventional solder paste printing method.

【図5】同半田ペースト印刷工程の加熱工程において、
過剰な加熱によって半田ペースト12の半田微粒子を誤
って溶融させてしまった状態を示す断面図。
FIG. 5 shows a heating step in the solder paste printing step.
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state in which solder particles of the solder paste 12 are erroneously melted by excessive heating.

【図6】(a)は、このような溶融の後に得られた半田
突起と基板電極との接触状態を示す断面図。(b)は、
半田微粒子を溶融させないで得た半田突起と基板電極と
の接触状態を示す断面図。
FIG. 6A is a cross-sectional view showing a contact state between a solder projection and a substrate electrode obtained after such melting. (B)
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a contact state between a solder protrusion and a substrate electrode obtained without melting solder fine particles.

【図7】(a)から(c)は、それぞれ同実装方法のマ
ウント工程の作業フローを示す説明図。
FIGS. 7A to 7C are explanatory diagrams each showing a work flow of a mounting step of the mounting method.

【図8】同作業フローの続きのフローを示す説明図。FIG. 8 is an explanatory diagram showing a continuation of the work flow.

【図9】(a)から(c)は、それぞれ同実施形態の変
形例の実装方法における作業フローの一部を示す断面
図。
FIGS. 9A to 9C are cross-sectional views each showing a part of a work flow in a mounting method according to a modified example of the embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 マザー基板 1a 基板電極 4 CSP 4a パッケージ 4b パッド 4c 半田ボール 5 半田 6 ステージ 7 熱風ノズル 8 熱風 9 位置決め冶具 10 スクリーンマスク 11 スキージ 12 半田ペースト 12a 半田ペースト(固化済み) 16 位置決め冶具 17 部品吸着ノズル 18 光学監視装置 19 モニタ 20 Xテーブル 21 Yテーブル Reference Signs List 1 mother board 1a substrate electrode 4 CSP 4a package 4b pad 4c solder ball 5 solder 6 stage 7 hot air nozzle 8 hot air 9 positioning jig 10 screen mask 11 squeegee 12 solder paste 12a solder paste (solidified) 16 positioning jig 17 component suction nozzle 18 Optical monitoring device 19 Monitor 20 X table 21 Y table

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 3/34 505 H01L 21/92 604H Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat II (reference) H05K 3/34 505 H01L 21/92 604H

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】孔版を用いた半田ペースト印刷法によって
基板又は電子部品上に複数の半田突起を印刷する半田突
起印刷方法において、該孔版を該基板又は電子部品に密
着せしめる密着工程と、密着せしめた該孔版の各孔に半
田ペーストを充填する充填工程と、充填した半田ペース
トをその半田粒の融点よりも低い温度で加熱して該半田
ペースト中の溶剤を揮発させる加熱工程と、該孔版を該
基板又は電子部品から剥がす剥離工程とを実施すること
を特徴とする半田突起印刷方法。
1. A solder projection printing method for printing a plurality of solder projections on a substrate or an electronic component by a solder paste printing method using a stencil, comprising: a step of bringing the stencil into close contact with the substrate or the electronic component; A filling step of filling each hole of the stencil with a solder paste, a heating step of heating the filled solder paste at a temperature lower than the melting point of the solder particles to volatilize a solvent in the solder paste, And a peeling step of peeling off from the substrate or the electronic component.
【請求項2】凹版を用いた半田ペースト印刷法によって
基板又は電子部品上に複数の半田突起を印刷する半田突
起印刷方法において、該凹版の各凹部に半田ペーストを
充填する充填工程と、各凹部の開口と該基板又は電子部
品とを合わせるように該凹版を該基板又は電子部品に密
着させる密着工程と、各凹部内の半田ペーストをその半
田粒の融点よりも低い温度で加熱して該半田ペースト中
の溶剤を揮発させる加熱工程と、該凹版を該基板又は電
子部品から剥がす剥離工程とを実施することを特徴とす
る半田突起印刷方法。
2. A solder projection printing method for printing a plurality of solder projections on a substrate or an electronic component by a solder paste printing method using an intaglio, wherein a filling step of filling each recess of the intaglio with a solder paste; A step of bringing the intaglio plate into close contact with the substrate or the electronic component so that the opening of the substrate or the electronic component is brought into contact with the substrate, and heating the solder paste in each concave portion at a temperature lower than the melting point of the solder particles to form the solder. A solder projection printing method, comprising: a heating step of volatilizing a solvent in a paste; and a peeling step of peeling the intaglio from the substrate or the electronic component.
【請求項3】請求項1又は2の半田突起印刷方法におい
て、上記孔版又は凹版として、樹脂材料に上記孔又は凹
部をアブレーション加工した樹脂製のものを用いること
を特徴とする半田突起印刷方法。
3. A solder projection printing method according to claim 1, wherein said stencil or intaglio is made of resin obtained by ablating said holes or recesses in a resin material.
【請求項4】請求項3の半田突起印刷方法において、上
記樹脂材料としてポリイミド樹脂を用いたことを特徴と
する半田突起印刷方法。
4. The solder projection printing method according to claim 3, wherein a polyimide resin is used as the resin material.
【請求項5】半田突起印刷方法によって基板又は電子部
品上に複数の半田突起を印刷する印刷工程と、該基板上
に該電子部品を載置する載置工程と、該半田突起を加熱
によって溶融させる溶融工程と、溶融させた半田突起を
冷却によって硬化させて該基板の電極パターンと該電子
部品の接合電極とを半田接続する硬化工程とを実施し
て、該電子部品を該基板上に実装する電子部品実装方法
において、該半田突起印刷方法として、請求項1、2、
3又は4のものを用いることを特徴とする電子部品実装
方法。
5. A printing step of printing a plurality of solder projections on a substrate or an electronic component by a solder projection printing method, a mounting step of mounting the electronic component on the substrate, and melting the solder projections by heating. Mounting the electronic component on the substrate by performing a melting step of causing the electronic component to be solder-bonded to the electrode pattern of the substrate and a bonding electrode of the electronic component by hardening the molten solder protrusion by cooling. The electronic component mounting method according to claim 1, wherein the solder protrusion printing method is used.
An electronic component mounting method, characterized in that a method of mounting an electronic component is used.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008235751A (en) * 2007-03-23 2008-10-02 Seiko Epson Corp Connection method of electronic device
KR101193981B1 (en) 2010-10-12 2012-10-24 주식회사 엠에스프린텍 Pad printer

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