JP2001293589A - レーザ加工装置 - Google Patents

レーザ加工装置

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JP2001293589A JP2000109636A JP2000109636A JP2001293589A JP 2001293589 A JP2001293589 A JP 2001293589A JP 2000109636 A JP2000109636 A JP 2000109636A JP 2000109636 A JP2000109636 A JP 2000109636A JP 2001293589 A JP2001293589 A JP 2001293589A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザ加工装置におけるレーザ光伝送ネット
ワークの簡素化。 【解決手段】 グループG1、G2にグループ分けされ
たレーザ発生装置LS#11〜LS#25の各出力光は
合流装置FC1、FC2で削減された本数の光ファイバ
H1、H2で最上流のレーザ光取出し口OP1まで伝送
される。レーザ光取出し口OP1以降は光ファイバH3
による伝送が行なわれる一方、支線ファイバFF1、F
F8他へのレーザ光分配がレーザ光取出し口OP2〜O
P8を使って行なわれる。各支線ファイバから供給され
るレーザ光は、各ロボットRB1〜RB8に支持された
加工ツールTL1、TL8他で集光され、加工に使用さ
れる。レーザ発生装置として発振波長や偏光特性の異な
るものを用意し、各レーザ発生装置の出力レベルを制御
すれば、ブレンド比率を可変調整することが出来る。レ
ーザ光取出し口OP1他における分配率を調整すること
も出来る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、加工ツールから出
力されるレーザビームを用いて例えば自動車の製造ライ
ンにおける溶接、切断等の加工を行なうレーザ加工装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、特に自動車の溶接ラインにおい
て、YAGレーザを光エネルギ供給源とするレーザ加工
が適用されるケースが増えている。これは、車体の設計
上、レーザ溶接はスポット溶接に比べて高剛性化、軽量
化を容易にするという利点があることによる。
【0003】レーザ光をワークに向けて放射する加工ツ
ールの位置決めについては、既に、専用の位置決め装置
や移動軌跡のプログラミングが可能なロボットを用いる
ことが提案されている。また、複数のレーザ発生装置を
用意し、複数の溶接を行なう場所へレーザ光を光学式分
配装置を利用して分配供給するライン構成をも考慮した
例(特開平4−238689号公報)も報告されてい
る。
【0004】しかし、例えば実際の自動車車体の加工ラ
インで使用する場合に、光ファイバのネットワークを簡
略化し、効率的にレーザ出力をラインに提供出来るよう
に自動化されたレーザ加工装置を得るには至っていな
い。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明の主た
る目的は、例えば実際の自動車車体の加工ラインで使用
する場合に、光ファイバのネットワークを簡略化し、効
率的にレーザ出力をラインに提供出来るように自動化さ
れたレーザ加工装置を得ることにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ発生装
置と、レーザ光を集光する加工ツールと、該加工ツール
を所望の軌跡で移動させるツール移動手段と、前記レー
ザ発生装置と前記加工ツールを結び前記レーザ発生装置
から出射されたレーザ光を加工ツールに導く光ファイバ
を備えたレーザ加工装置について、以下の態様で改良を
施すことによって上記課題を達成するものである。
【0007】本発明に従ったレーザ加工装置において
は、レーザ加工装置を構成するために、複数のレーザ発
生装置が配置され、1つ以上の加工ツールと該加工ツー
ルを支持する加工ツール移動手段が設けれられる。
【0008】そして、更に、複数のレーザ発生装置から
出射されたレーザ光の全部または一部を合流させること
により、前記レーザ発生装置よりも少ない数の光ファイ
バに入射させる手段と、該少ない数の光ファイバにより
導かれたレーザ光を複数のレーザ光取出し口に分配する
手段とが設けられ、レーザ光取出し口に分配されたレー
ザ光が前記加工ツールで集光され加工が行われるように
なっている。
【0009】複数のレーザ発生装置を複数のグループに
分けて、各グループ毎にレーザ光の全部または一部を合
流させて、グループ毎にそのグループのレーザ発生装置
より少ない数の光ファイバに入射させ、その光ファイバ
により導かれたレーザ光を複数のレーザ光取出し口に分
配するようにしても良い。
【0010】複数のレーザ発生装置から射出するレーザ
光をレーザ発生装置よりも少ない数の光ファイバに入射
させるに際しては、レーザ光の偏光方向の差異及びレー
ザ光波長の差異の内の少なくとも一方を利用したレーザ
光重畳用光学素子を利用することが出来る。
【0011】また、レーザ加工を行なう複数の加工ツー
ルにおけるレーザ出力の総量に応じて各レーザ発生装置
の出力量を増減させるようになっていることも好まし
い。更に、ツール移動手段は、レーザ光取出し口に分配
されているレーザ光出力に応じてレーザ加工速度を変更
する手段を備えていることも好ましい。
【0012】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の1つの実施形態
について説明するための概観図である。同図に示したよ
うに、本実施形態のレーザ加工装置は、5台のレーザ発
生装置LS#1〜LS#5と、各レーザ発生装置から供
給されるレーザ光を集光して加工を行なう8個の加工ツ
ールTL1〜TL8(TL2〜TL7は符号描示を省
略)と、それぞれ1つの加工ツールを取り付けたロボッ
トRB1〜RB8と、レーザ光合流装置FC1を備えて
いる。
【0013】レーザ発生装置には、いわゆるYAGレー
ザ発振器が多く利用されるが、場合によっては他種のレ
ーザ発振器も使用され得る。また、各レーザ発生装置L
S#1〜LS#5の発振波長、偏光特性、最大出力等
は、同一の場合、異なる場合の合いずれも有り得る(後
述の図3の例を参照)。
【0014】ロボットRB1〜RB8は、各ロボットに
接続されたロボットコントローラ(図1では不図示:後
述図6参照)で制御される通常のものである。各ロボッ
トはそれぞれ教示された加工プログラムに従って、加工
ツールTL1〜TL8を所望の軌跡に沿って移動させ
る。加工プログラムデータには、移動命令の他に、加工
開始/終了、加工開始/終了、加工速度指定/変更等の
命令及び関連パラメータが含まれている。
【0015】加工ツールTL1〜TL8は、ワークW上
の所要の加工個所についてレーザビームを用いた加工を
行なう。加工の種類としては、溶接、切断等がある。ワ
ークWは、典型的には製造ライン上で位置決めされた車
体であるが、用途に応じて他のワークWが加工対象物と
されることは言うまでもない。
【0016】加工ツールTL1〜TL8と、それらの移
動手段であるロボットRB1〜RB8は、ワークWの周
辺に配置される。これらのものが配置される場所を加工
ステーションPSTと呼ぶ。
【0017】これに対して、加工ツールTL1〜TL8
に対するレーザ光の供給源となるレーザ発生装置LS#
1〜LS#5は、加工ステーションPSTとは別の場所
にまとめて設置されている。この場所をレーザステーシ
ョンLSSと呼ぶ。レーザステーションLSS内に設置
されたレーザ発生装置LS#1〜LS#5の各出力光は
短尺の光ファイバGにより、レーザ光合流装置FC1の
入力側に導かれる。レーザ光合流装置FC1の出力側に
は、1本の光ファイバ(母線光ファイバ)F1が接続さ
れ、この光ファイバF1によりレーザ発生装置LS#1
〜LS#5の出力光がまとめて伝送される。
【0018】更に、光ファイバF1の適所には、レーザ
光取出し口OP1〜OP8が設けられている。各レーザ
光取出し口OP1〜OP8は、支線ファイバFF1〜F
F8(FF2〜FF7は符号描示を省略)を介して各加
工ツールTL1〜TL8にレーザ光を分配供給する。
【0019】図1に示した配置に代えて、複数のレーザ
を2つ以上のグループに分けて使用することも出来る。
その場合、各グループ毎に合流装置と1本のファイバ
(準母線光ファイバ)を設け、それらファイバの出力光
を更に1本の光ファイバ(母線光ファイバ)に合流させ
る。そして、この母線ファイバの適所に必要数(加工ツ
ール数)のレーザ光取出し口を設け、そこから各支線光
ファイバを経て各加工ツールに光を分配、供給すること
が出来る。
【0020】図2に、そのようなグループ分けを行なっ
た1つの実施形態を示した。なお、符号については適宜
図1の例で用いたものを共用する。図2を参照すると、
レーザ加工装置は、レーザステーションLSTに設置さ
れた10台のレーザ発生装置LS#11〜LS#15、
LS#21〜LS#25と、各レーザ発生装置から供給
されるレーザ光を集光して加工ステーションPSSで加
工を行なう8個の加工ツールTL1〜TL8(TL2〜
TL7は符号描示を省略)と、それぞれ1つの加工ツー
ルを取り付けたロボットRB1〜RB8と、レーザ光合
流装置FC1、FC2を備えている。
【0021】図1に示した実施形態の場合と同様、レー
ザ発生装置にはいわゆるYAGレーザ発振器が多く利用
されるが、場合によっては他種のレーザ発振器も使用さ
れ得る。また、各レーザ発生装置LS#11〜LS#1
4、LS#21〜LS#25の発振波長、偏光特性、最
大出力等は、同一の場合、異なる場合いずれも有り得
る。
【0022】また、ロボットRB1〜RB8は、各ロボ
ットに接続されたロボットコントローラ(図2では不図
示:後述図6参照)で制御される通常のものである。各
ロボットはそれぞれ教示された加工プログラムに従っ
て、加工ツールTL1〜TL8を所望の軌跡に沿って移
動させる。加工プログラムデータには、移動命令の他
に、加工開始/終了、加工速度指定/変更等の命令及び
関連パラメータが含まれている。
【0023】加工ツールTL1〜TL8は、ワークW上
の所要の加工個所についてレーザビームを用いた加工を
行なう。加工の種類としては、溶接、切断等がある。ワ
ークWは、典型的には製造ライン上で位置決めされた車
体であるが、用途に応じて他のワークWが加工対象物と
されることは言うまでもない。
【0024】図中に符号G1、G2で示したように、計
10台のレーザ発生装置は、第1グループG1に属する
LS#11〜LS#14と、第2グループG2に属する
LS#21〜LS#25に分けられている。各レーザ発
生装置の発振波長、偏光特性、最大出力等は、同一の場
合、異なる場合のいずれも有り得る。
【0025】グループG1に属するレーザ発生装置LS
#11〜LS#15の各出力光はレーザ光合流装置FC
1の入力側に導かれる。同様に、グループG2に属する
レーザ発生装置LS#21〜LS#25の各出力光はレ
ーザ光合流装置FC2の入力側に導かれる。
【0026】そして、レーザ光合流装置HC1の出力側
には1本の光ファイバ(準母線光ファイバ)H1が接続
される一方、レーザ光合流装置HC2の出力側には別の
1本の光ファイバ(準母線光ファイバ)H2が接続され
ている。
【0027】光ファイバH1、H2でそれぞれ伝送され
たグループG1、G2の出力光は、合流装置を介しても
う1本の光ファイバ(母線光ファイバ)H3に渡され
る。図1に示した実施形態では、最上流のレーザ光取出
し口OP1が合流装置を兼ねている。
【0028】この最上流のレーザ光取出し口OP1以
下、計8個のレーザ光取出し口が設けられている。各レ
ーザ光取出し口OP1〜OP8は、支線ファイバFF1
〜FF8(FF2〜FF7は符号描示を省略)を介して
各加工ツールTL1〜TL8にレーザ光を分配供給す
る。
【0029】レーザ光の合流装置については、例えば図
3に示した構成を持つものが本発明で使用可能である。
ここでは、特性の異なる3台のレーザ発生装置LS#1
〜LS#3の出力光を合流させ、1本の光ファイバ50
に入射させる場合について説明する。
【0030】図中に記したように、本例で使用されてい
るレーザ発生装置LS#1〜LS#3の出力レーザ光L
B1〜LB3は、互いに異なる特性を有している。即
ち、出力レーザ光LB1は発振波長1.06μmのP偏
光、出力レーザ光LB2は発振波長1.06μmのS偏
光、出力レーザ光LB3は発振波長1.03μmのP偏
光である。
【0031】これに対応して、上下方向に整列配置され
た光学素子10、20、30は、以下のように設計され
ている。先ず光学素子10は45度傾斜した反射面11
を持つ反射器で、反射面11は出力レーザ光LB1
(1.06μm:P偏光)に対して高反射率を示す鏡面
である。
【0032】また、光学素子20は2個の3角プリズム
の斜面同士を接合した形態を持つ素子で、接合部には出
力レーザ光LB1(1.06μm:P偏光)に対して高
透過率を示す一方、出力レーザ光LB2(1.06μ
m:S偏光)に対しては高反射率を示す多層膜21が形
成されている。
【0033】更に、光学素子30も2個の3角プリズム
の斜面同士を接合した形態を持つ素子で、接合部には出
力レーザ光LB1、LB2(1.06μm)に対して高
透過率を示す一方、出力レーザ光LB3(1.03μ
m)に対しては高反射率を示す多層膜31が形成されて
いる。
【0034】レーザ発生装置LS#1の出力レーザ光L
B1は、光学素子10の反射面11で反射され、光学素
子20の多層膜21に背面側から入射する。膜21を透
過した成分は更に光学素子30の多層膜31に背面側か
ら入射し、同膜31を透過した成分が集光レンズ40で
集光され、出力側に配置された光ファイバ50の一端に
入射する。
【0035】レーザ発生装置LS#2の出力レーザ光L
B2は、光学素子20の多層膜21に正面側から入射す
る。膜21で反射した成分は更に光学素子30の多層膜
31に背面側から入射し、同膜31を透過した成分が集
光レンズ40で集光され、出力側に配置された光ファイ
バ50の一端に入射する。
【0036】更に、レーザ発生装置LS#3の出力レー
ザ光LB3は、光学素子30の多層膜31に正面側から
入射する。同膜31で反射した成分は集光レンズ40で
集光され、出力側に配置された光ファイバ50の一端に
入射する。
【0037】入力側のレーザ発生装置び台数が4台、5
台・・と増えた場合には、光学素子20、30と同様の
素子を追加した構成を採用すれば、同様の態様でレーザ
光を合流させ、1本の光ファイバに入射させすることが
可能となる。なお、各光学素子10〜30において、一
部の成分は若干のロスとなる。
【0038】このようにして、光ファイバ50の一端に
は、複数台(ここでは3台)のレーザ発生装置LS#1
〜LS#3の出力レーザ光LB1〜LB3がブレンドさ
れて入射する。ブレンド割合及び合計出力レベルは、各
レーザ発生装置LS#1〜LS#3の出力レベルを調整
することで変更可能である。例えば、ワークWの種類
(車種など)に応じて、各レーザ発生装置LS#1〜L
S#3の出力レベルを切り替えることで、適正な特性に
調整されたレーザ光を供給することが可能になる。
【0039】次に、レーザ光取出し口におけるレーザ光
の支線光ファイバへの分配について図4、図5を参照し
て説明する。図4は、レーザ光の支線光ファイバへの分
配率を調整可能とする場合に使用される光学素子60を
表わしている。
【0040】光学素子60は1種のビームスプリッタ
で、2個の3角プリズム61、62の斜面同士を接合し
た形態を有し、その接合部にはレーザ光LB1〜LB3
に対して一部を透過し、残りを反射する透過/反射膜6
3が形成されている。膜63は、連続的あるいは段階的
に透過率/反射率が変化するように形成されている。例
えば図4中で上方から下方に向かって透過率が漸減し、
反射率が漸増する。図示した例では、P点では透過率5
0%、反射率50%、Q点では透過率40%、反射率6
0%となっている。
【0041】そこで、このような素子60を可動に設け
れば、透過率/反射率が可変(制御可能)な可調整ビー
ムスプリッタを構成することが出来る。図5にその例を
示した。同図に示したように、図4に示した光学素子6
0をモータ等で駆動される適当な可動機構上に支持し、
その一方側から入力側の光ファイバ70の出射ビームを
入射させる。光ファイバ70の出射ビームは、上述した
ようにスプリットされ、光学素子60の他方側に配置さ
れた光ファイバ80と側方に配置された光ファイバ90
に分配される。
【0042】上述した原理により、光学素子60の位置
を調整(矢印MV参照)することで、光ファイバ70、
80の分配割合を所定レンジ内で制御することが出来
る。例えば、図1、図2の配置におけるレーザ光取出し
口OP1〜OP7に図5の構成を適用した場合、光ファ
イバF1は光ファイバ70、80に対応し、光ファイバ
90は支線光ファイバFF11、FF8他に対応する。
そして、一般的に言えば、上流側に位置するレーザ光取
出し口では比較的高い透過率が得られるように光学素子
60の位置が調整され、下流に位置するレーザ光取出し
口ほど低い透過率が得られるように光学素子60の位置
が調整される。
【0043】なお、最下流のレーザ光取出し口OP8に
ついては、透過光は不要であるから、図3に示した素子
10のように高反射率の反射面を持つものが使用されて
良い。
【0044】また、図2の配置における最上流のレーザ
光取出し口OP1については、前述したように合流装置
(図3参照)を兼ねているので、図5における光ファイ
バ70が、光ファイバH1、H2の合流出力を受け取る
光ファイバ(図3における光ファイバ50に対応)とな
る。そして、光ファイバ80が光ファイバH3に対応
し、光ファイバ90が支線光ファイバHH1に対応する
ことになる。
【0045】以上の説明の中で言及したレーザ発生装置
の出力レベルの制御、及び光学素子60の位置(透過率
/反射率)の制御は、ライン集中制御盤からの指令によ
って実行される。図6に、ライン集中制御盤を含むシス
テム構成例を示した、また、処理フローをブロック図で
図7に示した。なお、本例ではレーザ発生装置の設置数
等に関連して図2に示した配置に対応した要部構成を記
載したが、適宜図1に示した配置に対応した要部構成に
修正されて良いことは言うまでもない。
【0046】図6において符号CRはライン集中制御盤
で、CPU、メモリ、各種外部信号のための入出力装置
I/Oをなどを備えている。メモリには、図7のフロー
に従った制御動作(前述したレーザ発生装置の出力レベ
ル調整及び/または可調整ビームスプリッタの調整)を
実行するためのプログラムデータが格納されている。ラ
イン集中制御盤CRは、先ずロボットRB1〜RB8を
制御するロボットコントローラRC1〜RC8に接続さ
れている。各ロボットコントローラRC1〜RC8に
は、加工ツールTL1〜TL8を所定の経路に従って移
動させながら、加工の開始/停止、加工速度の指定、加
工種別(溶接/切断の別)の指定、切替等を指定する命
令、並びに関連パラメータを含む加工プログラムデータ
が教示されている。各加工プログラムは、ライン集中制
御盤CRからの指令で起動される。
【0047】次に、ライン集中制御盤CRはレーザステ
ーションLSSの各レーザ発生装置LS#11〜LS#
25に接続されている。各レーザ発生装置LS#11〜
LS#25の出力レベルは、ライン集中制御盤CRから
の指令により、個別に調整出来るようになっている。
【0048】レーザステーションLSSの各レーザ発生
装置LS#11〜LS#25の出力光は、前述したよう
な構成と機能を持つ光ファイバネットワークFNで、各
加工ツールTL1〜TL8に分配・供給される。光ファ
イバネットワークFNには図4、図5を参照して説明し
た可調整ビームスプリッタ60の透過率/反射率を調整
する駆動部BSDが含まれ、この駆動部BSDはライン
集中制御盤CRに接続され、そこからの制御指令を受け
るようになっている。
【0049】図7のブロック図は、加工作業実行時の制
御のフローの概要を表わしている。ライン集中制御盤
は、先ず加工対象の車種情報(ワークWの種別情報)を
得る一方、ロボットコントローラRC1〜RC8に教示
されている加工プログラムを起動する。車種情報は例え
ば製造ラインの上流側の機器からライン集中制御盤に伝
えられる。ライン集中制御盤は、同車種情報に基づいて
各レーザ発生装置に必要な出力を算出する。
【0050】また、レーザ光取出し量指令をレーザ光取
出し口(可調整ビームスプリッタの駆動部)に送り、必
要に応じてレーザ光取出し素子(可調整ビームスプリッ
タ)の位置変更を行なう。更に、加工速度指令を作成し
て各ロボットコントローラRC1〜RC8に伝え、必要
に応じて加工速度(ロボット移動速度)を変更する。そ
して、上記の算出された各レーザ発生装置出力値(出力
レベル)が、現状の出力設定値と異なる場合には、これ
を変更するレーザ出力値変更指令を作成して所要のレー
ザ発生装置に送り、レーザ発生装置の出力値(出力レベ
ル)を変更する。
【0051】なお、上述した実施形態では、全てのレー
ザ発生装置の出力光(図1の場合)あるいは各グループ
に属する全レーザ発生装置の出力光(図2の場合)を1
本の光ファイバに合流させているが、これは例示であっ
て本発明を限定する趣旨のものではない。一般には、合
流後、全レーザ発生装置あるいは1つのグループに属す
る全レーザ発生装置よりも少数の光ファイバへの入射が
行なわれれば、それに応じて光伝送のネットワークの簡
素化が可能になる。
【0052】一例として、5台のレーザ発生装置の出力
光を3本の光ファイバへ渡すケースを図8に示した。図
示されているように、5台のレーザ発生装置LS#31
〜LS#35がレーザステーションLSSに配備され、
それらの出力光はそれぞれ短尺の光ファイバによりレー
ザ光合流装置JCの入力側へ導かれる。レーザ光合流装
置JCの出力側には、3本の光ファイバJ1〜J3が接
続されており、レーザ発生装置LS#31〜LS#35
の出力光がこれら3本の光ファイバJ1〜J3に集約さ
れ、加工ステーションに伝送される。
【0053】5台のレーザ発生装置LS#31〜LS#
35の内、いずれの出力光を合流させてどの光ファイバ
JC1〜JC3に入射させるかは設計的に選択される。
【0054】例えば、図3に示したような構造の合流光
学系を用いて、レーザ発生装置LS#31〜LS#33
の出力光を合流させて光ファイバJC1に入射させ、レ
ーザ発生装置LS#34、LS#35の出力光は合流さ
せずに光ファイバJ2、J3にそのまま渡すようにして
も良い。
【0055】また、別の設計では、レーザ発生装置LS
#31、LS#32の出力光を合流させて光ファイバJ
1へ渡し、レーザ発生装置LS#33、LS#34の出
力光を合流させて光ファイバJ2へ渡し、レーザ発生装
置LS#35の出力光は合流させずに光ファイバJ3に
そのまま渡すようにすることも考えられる。
【0056】なお、ここでは加工ステーションの図示を
省略したが、例えば図1に示したものと同様のものであ
る。但し、母線の役割を果たす光ファイバが1本でなく
3本となっているので、図1のケースのようにレーザ光
取出し口が8個(OP1〜OP8)ある場合には、光フ
ァイバJ1〜J3を振り分けて、例えばレーザ光取出し
口OP1〜OP3は光ファイバJ1から、レーザ光取出
し口OP4〜OP6は光ファイバJ2から、レーザ光取
出し口OP7、OP8は光ファイバJ3から光の取入れ
を行うようにネットワークが構成される。
【0057】一般には、各レーザ発生装置のパワー、母
線の役割を果たす光ファイバの熱的な伝送容量(熱によ
り、破壊、変形等の問題を生じない最大光伝送量)、各
加工ツールで必要となる光量(加工ビームの強度、例え
ば溶接個所に応じて相異する)などの諸ファクタを考慮
して、母線ファイバの本数、レーザ光取出し口の分担な
どが設計的に定められる。但し、いずれの設計において
も、複数のレーザ発生装置から出射されたレーザ光の全
部または一部を合流させ、レーザ発生装置よりも少ない
数の光ファイバに入射させる点に変わりはない。このレ
ーザ発生装置よりも少ない数の光ファイバで伝送された
レーザ光は、複数のレーザ光取出し口に分配された後、
各加工ツールで加工に使われる。
【0058】
【発明の効果】本発明によれば、複数のレーザ発生装置
から各加工ツールへ至る加工用のレーザ光伝送を、簡素
なネットワークによって行なえるようになる。また、レ
ーザ光の合流と分配を組み合わせ、各レーザ発生装置の
出力や分配率の調整を柔軟に行なうネットワークを容易
に構成出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1つの実施形態について説明するため
の概観図である。
【図2】本発明の別の実施形態について説明するための
概観図である。
【図3】レーザ光の合流装置について説明する図であ
る。
【図4】レーザ光の支線光ファイバへの分配率を調整可
能とする場合に使用される光学素子について説明する図
である。
【図5】図4に示した素子を利用した可調整ビームスプ
リッタについて説明する図である。
【図6】システム構成の全体を表わす要部ブロック図で
ある。
【図7】処理フローの概要を説明するためのブロック図
である。
【図8】複数のレーザ発生装置の光をそれより少数の複
数本の光ファイバへ渡して伝送を行なう例を示した図で
ある。
【符号の説明】
10〜30 光学素子(合流装置内) 11 反射面 21、31 多層膜 40 集光レンズ部 60 可調整ビームスプリッタ 61、62 三角プリズム 63 透過/反射膜 50、70、80、90、F1、H1〜H3、H11、
FF1、FF8、HH1、HH8、J1〜J3 光ファ
イバ FCL、FC1、FC2、HC1、HC2、JC レー
ザ光合流装置 LB1〜LB3 レーザ出力光 LSS レーザステーション LS#1〜LS#5、LS#11〜LS#25、LS#
31〜LS#35 レーザ発生装置 OP1〜OP8 レーザ光取出し口 PSS 加工ステーション RB1〜RB8 ロボット TL1〜TL8 加工ツール W ワーク
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成13年4月10日(2001.4.1
0)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0006
【補正方法】変更
【補正内容】
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数のレーザ
発生装置と、レーザ光を集光する複数の加工ツールと、
それらの加工ツールのそれぞれを所望の軌跡で移動させ
るツール移動手段と、前記レーザ発生装置と前記加工ツ
ールを結び前記レーザ発生装置から出射されたレーザ光
を加工ツールに導く光ファイバを備えたレーザ加工装置
について、以下の態様で改良を施すことによって上記課
題を達成するものである。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0007
【補正方法】変更
【補正内容】
【0007】本発明に従ったレーザ加工装置において
は、レーザ加工装置を構成するために、複数のレーザ発
生装置が配置され、複数の加工ツールと前記各加工ツー
を支持する加工ツール移動手段が設けれられる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 家久 信明 山梨県南都留郡忍野村忍草字古馬場3580番 地 ファナック株式会社内 (72)発明者 寺田 彰弘 山梨県南都留郡忍野村忍草字古馬場3580番 地 ファナック株式会社内 (72)発明者 奥田 満廣 山梨県南都留郡忍野村忍草字古馬場3580番 地 ファナック株式会社内 Fターム(参考) 4E068 CA02 CD02 CD03 CD16 CE08 5F072 AB01 HH03 JJ02 KK15 KK30 MM07 MM09 RR01 YY06

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のレーザ発生装置と、レーザ光を集
    光する1つ以上の加工ツールと、前記加工ツールを所望
    の軌跡で移動させるツール移動手段と、前記レーザ発生
    装置と前記加工ツールを結び前記レーザ発生装置から出
    射されたレーザ光を加工ツールに導く光ファイバを備え
    たレーザ加工装置において、 前記複数のレーザ発生装置から出射されたレーザ光の全
    部または一部を合流させることにより、前記レーザ発生
    装置よりも少ない数の光ファイバに入射させる手段と、 前記光ファイバにより導かれたレーザ光を複数のレーザ
    光取出し口に分配する手段とを備え、 前記レーザ光取出し口に分配されたレーザ光が前記加工
    ツールで集光され加工が行われるようになっている、レ
    ーザ加工装置。
  2. 【請求項2】 前記複数のレーザ発生装置を複数のグル
    ープに分けて、各グループ毎にそのグループ内のレーザ
    発生装置から出射されたレーザ光の全部または一部を合
    流させることにより、そのグループ内のレーザ発生装置
    よりも少ない数の光ファイバに入射させる手段と、 前記全グループの光ファイバにより導かれたレーザ光を
    複数のレーザ光取出し口に分配する手段とを備えた、請
    求項1に記載のレーザ加工装置。
  3. 【請求項3】 前記複数のレーザ発生装置から射出する
    レーザ光を偏光方向の差異及びレーザ光波長の差異の内
    の少なくとも一方を利用したレーザ光重畳用光学素子を
    用いて、前記レーザ発生装置よりも少ない数の光ファイ
    バに入射させる機構を備えた、請求項1または請求項2
    に記載のレーザ加工装置。
  4. 【請求項4】 レーザ加工を行なう前記複数の加工ツー
    ルにおけるレーザ出力の総量に応じて前記各レーザ発生
    装置の出力量を増減させるようになっている、請求項1
    または請求項2に記載のレーザ加工装置。
  5. 【請求項5】 前記ツール移動手段は、前記レーザ光取
    出し口に分配されているレーザ光出力に応じてレーザ加
    工速度を変更する手段を備えている、請求項1または請
    求項2に記載のレーザ加工装置。
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