JP2001281550A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2000094262A JP2001281550A (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | 共焦点走査型顕微鏡および画像情報構築方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000094262A JP2001281550A (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | 共焦点走査型顕微鏡および画像情報構築方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001281550A JP2001281550A (ja) | 2001-10-10 |
JP2001281550A5 true JP2001281550A5 (ja) | 2007-04-05 |
Family
ID=18609333
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000094262A Pending JP2001281550A (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | 共焦点走査型顕微鏡および画像情報構築方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001281550A (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4533766B2 (ja) * | 2005-02-04 | 2010-09-01 | 日本電子株式会社 | 電子ビーム描画装置における高さ測定方法 |
JP4865271B2 (ja) * | 2005-08-01 | 2012-02-01 | 株式会社キーエンス | 共焦点走査型顕微鏡 |
JP4847295B2 (ja) * | 2006-11-20 | 2011-12-28 | オリンパス株式会社 | 共焦点顕微鏡 |
JP2008170973A (ja) * | 2006-12-13 | 2008-07-24 | Olympus Corp | 共焦点レーザ顕微鏡 |
JP5293733B2 (ja) * | 2008-02-28 | 2013-09-18 | 株式会社ニコン | 顕微鏡装置および細胞培養装置 |
JP2009222399A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-01 | Nikon Corp | 画像ゲイン調整装置およびその方法、並びに三次元形状測定装置 |
JP5809325B2 (ja) * | 2014-06-13 | 2015-11-10 | 株式会社キーエンス | 顕微鏡システム |
CN111610197B (zh) * | 2020-06-01 | 2023-09-12 | 上海御微半导体技术有限公司 | 一种缺陷检测装置及缺陷检测方法 |
-
2000
- 2000-03-30 JP JP2000094262A patent/JP2001281550A/ja active Pending