JP2001264741A - Method for manufacturing liquid crystal display device - Google Patents

Method for manufacturing liquid crystal display device

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JP2001264741A
JP2001264741A JP2000074484A JP2000074484A JP2001264741A JP 2001264741 A JP2001264741 A JP 2001264741A JP 2000074484 A JP2000074484 A JP 2000074484A JP 2000074484 A JP2000074484 A JP 2000074484A JP 2001264741 A JP2001264741 A JP 2001264741A
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JP
Japan
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thin film
liquid crystal
thermosetting
film pattern
color filter
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JP2000074484A
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Japanese (ja)
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Norihiro Yoshida
典弘 吉田
Hitoshi Hado
仁 羽藤
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To shorten the thermosetting time in forming a plurality of thin film patterns containing a photosensitive resin on a substrate in the manufacturing process of a liquid crystal display device. SOLUTION: The method for manufacturing the liquid crystal display device is provided with a step to form a first thin film pattern containing the photosensitive resin on one out of a pair of substrates 6, 13, a step to imperfectly thermoset the first thin film pattern, a step to form a second thin film pattern containing the photosensitive resin on the surface of the one substrate on which the imperfectly thermoset first thin film is formed and a step to perfectly thermoset both the imperfectly thermoset first thin film pattern and the second thin film pattern simultaneously. The method is characterized by constructing one out of a color filter layer 9 and a peripheral light shielding layer with the perfectly thermoset first thin film pattern and by constructing at least the other out of the color filter layer 9 and the peripheral light shielding slayer or a spacer 12 with the perfectly thermoset second thin film pattern.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置の製
造方法に係り、特にはカラーフィルタ層を有する液晶表
示装置及びその製造方法に関する。
The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display, and more particularly, to a liquid crystal display having a color filter layer and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、コンピュータを中心とする情報機
器分野やテレビなどを中心とする映像機器分野において
は、小型・軽量であり高精細な表示が可能な液晶表示装
置の開発が盛んに進められている。
2. Description of the Related Art In recent years, in the field of information equipment centering on computers and the field of video equipment centering on televisions, etc., the development of small and lightweight liquid crystal display devices capable of high-definition display has been actively pursued. ing.

【0003】現在、一般に使用されている液晶表示装置
の多くは、それぞれの対向面に電極を有する一対のガラ
ス基板間に液晶層を挟持させた構造を有している。例え
ば、カラー表示可能なアクティブマトリクス型の液晶表
示装置においては、通常、それらガラス基板の一方とし
て、一方の主面にアモルファスシリコンやポリシリコン
を半導体層とした薄膜トランジスタやそれに接続された
画素電極、走査線、及び信号線が形成されたアレイ基板
が使用され、それらガラス基板の他方としては、一方の
主面に三原色の着色層を並置してなるカラーフィルタ層
及び対向電極が順次形成された対向基板が使用されてい
る。
At present, most of the liquid crystal display devices generally used have a structure in which a liquid crystal layer is sandwiched between a pair of glass substrates having electrodes on respective opposite surfaces. For example, in an active matrix type liquid crystal display device capable of color display, usually, as one of those glass substrates, a thin film transistor having amorphous silicon or polysilicon as a semiconductor layer on one main surface, a pixel electrode connected to the thin film transistor, and a scanning electrode. An array substrate on which lines and signal lines are formed is used. As the other of the glass substrates, a counter substrate in which a color filter layer in which three primary color layers are juxtaposed on one main surface and a counter electrode are sequentially formed Is used.

【0004】ところで、最近では、上述した構造の液晶
表示装置の他に、アレイ基板上にスペーサや周縁遮光層
を形成し、そのガラス基板と画素電極との間にカラーフ
ィルタ層を設けた液晶表示装置が注目されている。この
ような構造を採用した場合、基板の貼り合わせ精度への
要求を低減することや開口率を向上させることができる
という利点がある。
Meanwhile, recently, in addition to the liquid crystal display device having the above-described structure, a liquid crystal display device in which a spacer or a peripheral light-shielding layer is formed on an array substrate and a color filter layer is provided between the glass substrate and the pixel electrode. The device is receiving attention. When such a structure is employed, there is an advantage that the demand for the bonding accuracy of the substrates can be reduced and the aperture ratio can be improved.

【0005】しかしながら、カラーフィルタ層、スペー
サ、及び周縁遮光層などはいずれも感光性樹脂を用いて
形成するため、それぞれの熱硬化に長時間を要する。そ
のため、それら全てをアレイ基板に形成する場合、生産
能力が低下するという問題を生ずる。
However, since the color filter layer, the spacer, the peripheral light-shielding layer, and the like are all formed by using a photosensitive resin, it takes a long time for each of the heat curing. Therefore, when all of them are formed on the array substrate, there is a problem that the production capacity is reduced.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
に鑑みてなされたものであり、液晶表示装置の製造プロ
セスにおいて、一枚の基板に感光性樹脂を含有する複数
の薄膜パターンを形成するに際し、それらの熱硬化に要
する時間を短縮することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and a plurality of thin film patterns containing a photosensitive resin are formed on one substrate in a manufacturing process of a liquid crystal display device. In doing so, the object is to reduce the time required for thermosetting them.

【0007】また、本発明は、基板の貼り合わせ精度へ
の要求を低減させ且つ開口率を向上させ得る液晶表示装
置を高い生産能力で製造することが可能な液晶表示装置
の製造方法を提供することを目的とする。
Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a liquid crystal display device capable of manufacturing a liquid crystal display device capable of reducing the demand for the accuracy of bonding substrates and improving the aperture ratio with a high production capacity. The purpose is to:

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、対向して配置された一対の基板と、前記
一対の基板の一方の対向面に設けられたカラーフィルタ
層と、前記一対の基板間に配置され前記一対の基板間の
間隔を一定に保つスペーサと、前記一対の基板間の周縁
部に設けられた周縁遮光層と、前記一対の基板間に挟持
された液晶層とを備えた液晶表示装置の製造方法であっ
て、前記一対の基板の一方に感光性樹脂を含有する第1
の薄膜パターンを形成する工程と、前記第1の薄膜パタ
ーンを不完全に熱硬化させる工程と、前記一方の基板の
前記不完全に熱硬化させた第1の薄膜を形成した面に感
光性樹脂を含有する第2の薄膜パターンを形成する工程
と、前記不完全に熱硬化させた第1の薄膜パターン及び
前記第2の薄膜パターンの双方を同時に及び完全に熱硬
化させる工程とを具備し、前記完全に熱硬化させた第1
の薄膜パターンで前記カラーフィルタ層及び前記周縁遮
光層のいずれか一方を構成し、前記完全に熱硬化させた
第2の薄膜パターンで少なくとも前記カラーフィルタ層
及び前記周縁遮光層の他方若しくは前記スペーサを構成
することを特徴とする液晶表示装置の製造方法を提供す
る。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention comprises a pair of substrates arranged to face each other, and a color filter layer provided on one of the opposing surfaces of the pair of substrates. A spacer disposed between the pair of substrates to maintain a constant distance between the pair of substrates, a peripheral light-shielding layer provided at a peripheral portion between the pair of substrates, and a liquid crystal layer sandwiched between the pair of substrates A method of manufacturing a liquid crystal display device, comprising: a first substrate containing a photosensitive resin in one of the pair of substrates.
Forming the first thin film pattern, incompletely thermosetting the first thin film pattern, and forming a photosensitive resin on the surface of the one substrate on which the incompletely thermoset first thin film is formed. Forming a second thin film pattern containing: and a step of simultaneously and completely thermosetting both the incompletely thermoset first thin film pattern and the second thin film pattern, The fully thermoset first
One of the color filter layer and the peripheral light-shielding layer is constituted by the thin film pattern of at least the other of the color filter layer and the peripheral light-shielding layer or the spacer is constituted by the completely thermally cured second thin film pattern. Provided is a method for manufacturing a liquid crystal display device characterized by comprising.

【0009】上述のように、本発明では、第1の薄膜パ
ターンを不完全に熱硬化させた状態で第2の薄膜パター
ンを形成し、その後、第1の薄膜パターン及び第2の薄
膜パターンの双方を同時に及び完全に熱硬化させてい
る。すなわち、本発明では、第1の薄膜パターンの熱硬
化の一部を第2の薄膜パターンの熱硬化の際に同時に行
うことにより実質的に省略している。したがって、本発
明によると、熱硬化に要する時間を短縮することができ
る。
As described above, according to the present invention, a second thin film pattern is formed in a state where the first thin film pattern is incompletely thermoset, and thereafter, the first thin film pattern and the second thin film pattern are formed. Both are simultaneously and completely thermoset. That is, in the present invention, a part of the thermosetting of the first thin film pattern is substantially omitted by simultaneously performing the thermosetting of the second thin film pattern. Therefore, according to the present invention, the time required for thermosetting can be reduced.

【0010】本発明において、第1の薄膜パターンの不
完全な熱硬化は、第2の薄膜パターンを形成する際に用
いる溶剤等に対して十分な耐性が得られる程度まで行え
ばよい。すなわち、第1の薄膜パターンの不完全な熱硬
化は、第2の薄膜パターンを形成することによる膜減り
量が十分に低いレベルに維持される程度まで行えばよ
い。
In the present invention, incomplete thermal curing of the first thin film pattern may be performed to such an extent that sufficient resistance to a solvent or the like used for forming the second thin film pattern can be obtained. That is, the incomplete thermosetting of the first thin film pattern may be performed to such an extent that the amount of film reduction caused by forming the second thin film pattern is maintained at a sufficiently low level.

【0011】また、本発明において、第2の薄膜の熱硬
化温度は第1の薄膜の熱硬化温度と比べてより高いか、
第2の薄膜の熱硬化時間は第1の薄膜の熱硬化時間と比
べてより長いか、或いはそれら両方を満足することが好
ましい。この場合、第2の薄膜の熱硬化の際に、第1の
薄膜の熱硬化を確実に行うことができる。
In the present invention, the thermosetting temperature of the second thin film is higher than the thermosetting temperature of the first thin film,
It is preferable that the heat setting time of the second thin film is longer than the heat setting time of the first thin film, or both are satisfied. In this case, when the second thin film is thermally cured, the first thin film can be surely thermally cured.

【0012】本発明において、カラーフィルタ層、周縁
遮光層、及びスペーサは、一対の基板のいずれに形成し
てもよい。例えば、一方の基板が薄膜トランジスタのよ
うなスイッチング素子や走査線及び信号線などの配線を
有するアレイ基板であり、他方の基板が共通電極を有す
る対向基板である場合、アレイ基板上にカラーフィルタ
層、周縁遮光層、及びスペーサを形成してもよく、対向
基板上にそれらを形成してもよい。特に前者の場合、基
板の貼り合わせ精度への要求を低減することや開口率を
向上させることに有効である。
In the present invention, the color filter layer, the peripheral light-shielding layer, and the spacer may be formed on any of the pair of substrates. For example, when one substrate is an array substrate having a wiring such as a switching element or a scanning line and a signal line such as a thin film transistor, and the other substrate is a counter substrate having a common electrode, a color filter layer is formed on the array substrate. A peripheral light-shielding layer and a spacer may be formed, or they may be formed on a counter substrate. In the former case, in particular, it is effective to reduce the demand for the bonding accuracy of the substrates and to improve the aperture ratio.

【0013】一方の基板上にカラーフィルタ層、周縁遮
光層、及びスペーサを全て形成する場合、第1の薄膜パ
ターンで周縁遮光層を構成し、第2の薄膜パターンでカ
ラーフィルタ層或いはスペーサを構成することができ
る。また、第1の薄膜パターンでカラーフィルタ層を構
成し、第2の薄膜パターンで周縁遮光層或いはスペーサ
を構成することもできる。さらに、第1の薄膜パターン
でカラーフィルタ層を構成し、第2の薄膜パターンで周
縁遮光層及びスペーサの双方を構成することもできる。
このように第2の薄膜パターンで周縁遮光層及びスペー
サの双方を構成した場合、工程数を削減することができ
る。
When the color filter layer, the peripheral light-shielding layer, and the spacer are all formed on one substrate, the first thin-film pattern constitutes the peripheral light-shielding layer, and the second thin-film pattern constitutes the color filter layer or the spacer. can do. Further, the color filter layer can be constituted by the first thin film pattern, and the peripheral light-shielding layer or the spacer can be constituted by the second thin film pattern. Further, the color filter layer may be constituted by the first thin film pattern, and both the peripheral light-shielding layer and the spacer may be constituted by the second thin film pattern.
When both the peripheral light-shielding layer and the spacer are formed by the second thin film pattern as described above, the number of steps can be reduced.

【0014】本発明において、これらカラーフィルタ
層、周縁遮光層、及びスペーサは、必ずしも同一基板上
に形成しなくともよい。また、スペーサは、好ましくは
基板上に形成する柱状スペーサであるが、基板上に散布
する粒状スペーサであってもよい。
In the present invention, the color filter layer, the peripheral light-shielding layer, and the spacer need not always be formed on the same substrate. Further, the spacer is preferably a columnar spacer formed on the substrate, but may be a granular spacer dispersed on the substrate.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、本発明について、図面を参
照しながらより詳細に説明する。なお、各図において同
様の構成部材には同一の参照符号を付し、重複する説明
は省略する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. In each of the drawings, the same components are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.

【0016】図1は、本発明の第1の実施形態に係る液
晶表示装置を概略的に示す断面図である。図1に示す液
晶表示装置1は、TN型のカラー表示可能な液晶表示装
置であって、アレイ基板2と対向基板3との間に液晶層
4を挟持させた構造を有している。また、この液晶表示
装置1は一対の偏光板5で挟持されており、その背面側
には図示しない光源が配置されている。
FIG. 1 is a sectional view schematically showing a liquid crystal display according to a first embodiment of the present invention. The liquid crystal display device 1 shown in FIG. 1 is a TN type liquid crystal display device capable of color display, and has a structure in which a liquid crystal layer 4 is sandwiched between an array substrate 2 and a counter substrate 3. Further, the liquid crystal display device 1 is sandwiched between a pair of polarizing plates 5, and a light source (not shown) is disposed on the back side thereof.

【0017】図1に示す液晶表示装置1において、アレ
イ基板2は、ガラス基板のような透明基板6を有してい
る。透明基板6の一方の主面上には配線7及びスイッチ
ング素子8が形成されており、その上に、カラーフィル
タ層9及び周縁遮光層(図示せず)が積層されている。
カラーフィルタ層9上には画素電極10が形成されてお
り、その上に配向膜11及び柱状スペーサ12が形成さ
れている。
In the liquid crystal display device 1 shown in FIG. 1, the array substrate 2 has a transparent substrate 6 such as a glass substrate. On one main surface of the transparent substrate 6, a wiring 7 and a switching element 8 are formed, on which a color filter layer 9 and a peripheral light-shielding layer (not shown) are laminated.
A pixel electrode 10 is formed on the color filter layer 9, and an alignment film 11 and a columnar spacer 12 are formed thereon.

【0018】配線7は、透明基板6の一方の主面上で格
子状に配列された走査線及び信号線などで構成されてい
る。スイッチング素子8は、例えば、アモルファスシリ
コンやポリシリコンを半導体層とした薄膜トランジスタ
(以下、TFTという)である。このスイッチング素子
8は、走査線及び信号線などの配線7並びに画素電極1
0と接続されており、それにより、所望の画素電極10
に対して選択的に電圧を印加することが可能とされてい
る。
The wiring 7 is composed of scanning lines and signal lines arranged in a grid on one main surface of the transparent substrate 6. The switching element 8 is, for example, a thin film transistor (hereinafter, referred to as a TFT) using amorphous silicon or polysilicon as a semiconductor layer. The switching element 8 includes a wiring 7 such as a scanning line and a signal line and the pixel electrode 1.
0 so that the desired pixel electrode 10
It is possible to selectively apply a voltage to

【0019】カラーフィルタ層9は、例えば、画素電極
10に対応して設けられた青色の着色層と緑色の着色層
と赤色の着色層とで構成され得る。これら着色層は、感
光性樹脂とそれぞれの色に対応した着色顔料或いは着色
染料とを含有する混合物を用いて形成することができ
る。
The color filter layer 9 can be composed of, for example, a blue coloring layer, a green coloring layer, and a red coloring layer provided corresponding to the pixel electrode 10. These colored layers can be formed using a mixture containing a photosensitive resin and a coloring pigment or coloring dye corresponding to each color.

【0020】画素電極10は、ITOのような透明導電
材料で構成されている。画素電極10は、例えばスパッ
タリング方などにより形成することができる。また、配
向膜11は、ポリイミドなどの透明樹脂からなる薄膜に
ラビング処理等の配向処理を施すことにより形成され得
る。
The pixel electrode 10 is made of a transparent conductive material such as ITO. The pixel electrode 10 can be formed by, for example, a sputtering method. The alignment film 11 can be formed by performing an alignment process such as a rubbing process on a thin film made of a transparent resin such as polyimide.

【0021】柱状スペーサ12は、感光性樹脂を用いて
形成することができる。柱状スペーサ12は、好ましく
は、画素電極10間の領域のように表示に直接的には関
与しない領域に形成される。周縁遮光層は、一般には額
縁と呼ばれ、透明基板6の柱状スペーサ12を形成した
面の周縁部に形成される。周縁遮光層は、例えば、カー
ボン微粒子のような黒色顔料や黒色染料と感光性樹脂と
の混合物を用いて形成することができる。
The columnar spacer 12 can be formed using a photosensitive resin. The columnar spacer 12 is preferably formed in a region that is not directly involved in display, such as a region between the pixel electrodes 10. The peripheral light-shielding layer is generally called a frame, and is formed on the peripheral portion of the surface of the transparent substrate 6 where the columnar spacers 12 are formed. The peripheral light-shielding layer can be formed, for example, by using a black pigment such as carbon fine particles or a mixture of a black dye and a photosensitive resin.

【0022】対向基板3は、ガラス基板のような透明基
板13上に共通電極14及び配向膜15を順次形成した
構造を有している。これら共通電極14及び配向膜15
は、上述した画素電極10及び配向膜11と同様の材料
で形成され得る。
The counter substrate 3 has a structure in which a common electrode 14 and an alignment film 15 are sequentially formed on a transparent substrate 13 such as a glass substrate. These common electrode 14 and alignment film 15
Can be formed of the same material as the pixel electrode 10 and the alignment film 11 described above.

【0023】さて、上述のように、本発明では、第1の
薄膜パターンを不完全に熱硬化させた状態で第2の薄膜
パターンを形成し、その後、第1の薄膜パターン及び第
2の薄膜パターンの双方を同時に及び完全に熱硬化させ
ることにより、熱硬化に要する時間の短縮を可能として
いる。換言すれば、本発明では、第1の薄膜パターンの
本焼成の一部を行った後に第2の薄膜パターンを形成
し、その後、第2の薄膜パターンの本焼成を行って第1
及び第2のパターンを完全に熱硬化させることにより、
焼成時間を短縮しているのである。このような焼成時間
の短縮は、第1及び第2の薄膜パターンに要求される特
性を殆ど損なうことなく実現可能である。これについて
は、図2を参照しながら説明する。
As described above, according to the present invention, a second thin film pattern is formed in a state where the first thin film pattern is incompletely thermoset, and thereafter, the first thin film pattern and the second thin film pattern are formed. By simultaneously and completely thermosetting both of the patterns, the time required for thermosetting can be reduced. In other words, in the present invention, after performing a part of the main firing of the first thin film pattern, the second thin film pattern is formed, and thereafter, the main firing of the second thin film pattern is performed to perform the first firing.
And by completely thermosetting the second pattern,
The firing time is shortened. Such a reduction in the firing time can be realized without substantially impairing the characteristics required for the first and second thin film patterns. This will be described with reference to FIG.

【0024】図2は、熱硬化時間と膜減り量との関係を
示すグラフである。図中、横軸は第2の薄膜パターンを
形成する前に行う第1の薄膜パターンの熱硬化の時間を
示し、縦軸は第2の薄膜パターン形成後の第1の薄膜パ
ターンの膜厚を示している。なお、縦軸の値は、第2の
薄膜パターン形成前の第1の薄膜の熱硬化時間t1を無
限大とした場合を100とした相対値で示されている。
FIG. 2 is a graph showing the relationship between the heat curing time and the amount of film reduction. In the figure, the horizontal axis indicates the time of thermosetting of the first thin film pattern performed before forming the second thin film pattern, and the vertical axis indicates the film thickness of the first thin film pattern after forming the second thin film pattern. Is shown. The values on the vertical axis are shown as relative values when the thermosetting time t 1 of the first thin film before forming the second thin film pattern is set to infinity, which is set to 100.

【0025】図2に示すように、熱硬化時間t2が短い
場合には膜減り量が大きいが、熱硬化時間t2が増加す
るのに応じて膜減り量が減少する。すなわち、第1の薄
膜パターンの熱硬化時間t2が短い場合、第2の薄膜パ
ターンを形成する際に用いる溶剤などにより第1の薄膜
パターンの膜厚xは減少するものの、熱硬化時間t2
より長くすることにより膜厚xの減少を抑制することが
できる。また、熱硬化時間t2が十分に長い場合には、
熱硬化時間t2に対する膜厚xの変化量は殆どゼロとな
る。したがって、熱硬化時間t2を短縮する場合、膜厚
xが十分な値に維持されるのであれば、第1の薄膜パタ
ーンに要求される特性を殆ど損なうことがない。
As shown in FIG. 2, when the thermosetting time t 2 is short, the amount of film reduction is large, but the amount of film reduction decreases as the thermosetting time t 2 increases. That is, when the thermosetting time t 2 of the first thin film pattern is short, the thickness x of the first thin film pattern is reduced by the solvent used when forming the second thin film pattern, but the thermosetting time t 2 Is made longer, the decrease in the film thickness x can be suppressed. Also, if the thermosetting time t 2 is sufficiently long,
Variation of thickness x to thermal curing time t 2 becomes almost zero. Therefore, if shortening the thermosetting time t 2, if the thickness x is maintained at a sufficient value, it is not damaging the characteristics required for the first thin film pattern most.

【0026】第1の薄膜パターンに要求される特性を実
現するには、通常、膜厚xは30%以上であれば十分で
あり、50%以上であることがより好ましい。したがっ
て、熱硬化時間t2は、少なくともそのような膜厚xを
維持可能な程度に長いことが好ましい。なお、熱硬化時
間t2が長いほど膜減り量をより減少させることができ
るが、その半面で生産能力が低下する。したがって、熱
硬化時間t2は、膜厚xが98%以下となるように設定
することが望ましい。
In order to realize the characteristics required for the first thin film pattern, it is usually sufficient if the film thickness x is 30% or more, more preferably 50% or more. Therefore, the thermosetting time t 2 is preferably long enough to maintain at least such a film thickness x. The longer the heat curing time t 2 , the more the amount of film reduction can be reduced, but on the other hand, the production capacity is reduced. Therefore, it is desirable to set the thermosetting time t 2 so that the film thickness x is 98% or less.

【0027】第2の薄膜の熱硬化処理は、第1の薄膜の
熱硬化に要求される温度と比べてより高い温度で行うこ
とが好ましい。また、第2の薄膜の熱硬化処理は、第1
の薄膜の熱硬化に要求される時間と比べてより長い時間
行うことが好ましい。特には、それら両方を満足するこ
とが好ましい。この場合、第2の薄膜の熱硬化処理の際
に、第1の薄膜の熱硬化を確実に行うことができ、十分
に高い信頼性を実現することができる。
The heat curing of the second thin film is preferably performed at a higher temperature than that required for the heat curing of the first thin film. Further, the thermosetting treatment of the second thin film is performed in the first thin film.
It is preferable that the heat treatment is performed for a longer time than the time required for heat curing of the thin film. In particular, it is preferable to satisfy both of them. In this case, at the time of the heat curing treatment of the second thin film, the heat curing of the first thin film can be reliably performed, and sufficiently high reliability can be realized.

【0028】上述した原理は、図1に示す液晶表示装置
1の製造プロセスに様々な形態で適用することができ
る。例えば、第1の薄膜パターンで周縁遮光層を構成
し、第2の薄膜パターンでカラーフィルタ層9の少なく
とも一部或いはスペーサ12を構成した場合、周縁遮光
層の熱硬化に要する時間を短縮することができる。ま
た、第1の薄膜パターンでカラーフィルタ層9を構成
し、第2の薄膜パターンで周縁遮光層或いはスペーサ1
2を構成した場合、カラーフィルタ層9の熱硬化に要す
る時間を短縮することもできる。さらに、第1の薄膜パ
ターンでカラーフィルタ層9を構成し、第2の薄膜パタ
ーンで周縁遮光層及びスペーサ12の双方を構成した場
合、カラーフィルタ層9の熱硬化に要する時間を短縮す
ることができるのに加え、工程数を削減することができ
る。
The principle described above can be applied in various forms to the manufacturing process of the liquid crystal display device 1 shown in FIG. For example, when the peripheral light-shielding layer is constituted by the first thin-film pattern and at least a part of the color filter layer 9 or the spacer 12 is constituted by the second thin-film pattern, the time required for thermosetting the peripheral light-shielding layer is reduced. Can be. Further, the color filter layer 9 is constituted by the first thin film pattern, and the peripheral light-shielding layer or the spacer 1 is constituted by the second thin film pattern.
In the case of the configuration 2, the time required for the thermosetting of the color filter layer 9 can be reduced. Further, when the color filter layer 9 is formed by the first thin film pattern and both the peripheral light-shielding layer and the spacer 12 are formed by the second thin film pattern, the time required for thermosetting the color filter layer 9 can be reduced. In addition to the above, the number of steps can be reduced.

【0029】なお、通常、カラーフィルタ層9は吸収色
の異なる複数の着色層を並置した構造を有している。し
たがって、第1の薄膜パターンでカラーフィルタ層9を
構成する場合は、各着色層を形成する毎に仮焼成を行
い、全ての着色層を形成した後に本焼成の一部を行い、
その後、周縁遮光層及び/またはスペーサ12を焼成す
る際に全ての着色層を完全に熱硬化させればよい。ま
た、第2の薄膜パターンでカラーフィルタ層9を構成す
る場合は、周縁遮光層を不完全に熱硬化させ、各着色層
の形成と仮焼成とを繰り返した後にそれらの本焼成を一
括的に行えばよい。
The color filter layer 9 usually has a structure in which a plurality of colored layers having different absorption colors are juxtaposed. Therefore, when forming the color filter layer 9 with the first thin film pattern, a temporary firing is performed every time each colored layer is formed, and a part of the final firing is performed after forming all the colored layers.
Thereafter, when the peripheral light-shielding layer and / or the spacer 12 are fired, all the colored layers may be completely cured by heat. When the color filter layer 9 is constituted by the second thin film pattern, the peripheral light-shielding layer is incompletely thermoset, and the formation of each colored layer and the preliminary firing are repeated. Just do it.

【0030】上述した第1の実施形態では、カラーフィ
ルタ層9と周縁遮光層と柱状スペーサ12とをアレイ基
板2に形成したが、以下に説明するように、これらは対
向基板3に形成することができる。
In the above-described first embodiment, the color filter layer 9, the peripheral light-shielding layer, and the columnar spacers 12 are formed on the array substrate 2, but they are formed on the opposing substrate 3 as described below. Can be.

【0031】図3は、本発明の第2の実施形態に係る液
晶表示装置1を概略的に示す断面図である。図3に示す
液晶表示装置1も図1に示す液晶表示装置1と同様に、
TN型のカラー表示可能な液晶表示装置であって、アレ
イ基板2と対向基板3との間に液晶層4を挟持させた構
造を有している。また、この液晶表示装置1は一対の偏
光板5で挟持されており、その背面側には図示しない光
源が配置されている。
FIG. 3 is a sectional view schematically showing a liquid crystal display device 1 according to a second embodiment of the present invention. The liquid crystal display device 1 shown in FIG. 3 is similar to the liquid crystal display device 1 shown in FIG.
This is a TN type liquid crystal display device capable of color display, and has a structure in which a liquid crystal layer 4 is sandwiched between an array substrate 2 and a counter substrate 3. Further, the liquid crystal display device 1 is sandwiched between a pair of polarizing plates 5, and a light source (not shown) is disposed on the back side thereof.

【0032】図3に示す液晶表示装置1において、アレ
イ基板2は、ガラス基板のような透明基板6を有してい
る。透明基板6の一方の主面上には配線7及びスイッチ
ング素子8が形成されており、その上に、透明絶縁膜1
6及び周縁遮光層(図示せず)が積層されている。透明
絶縁膜16上には画素電極10が形成されており、その
上に配向膜11が形成されている。
In the liquid crystal display device 1 shown in FIG. 3, the array substrate 2 has a transparent substrate 6 such as a glass substrate. The wiring 7 and the switching element 8 are formed on one main surface of the transparent substrate 6, and the transparent insulating film 1 is formed thereon.
6 and a peripheral light shielding layer (not shown). The pixel electrode 10 is formed on the transparent insulating film 16, and the alignment film 11 is formed thereon.

【0033】また、図3に示す液晶表示装置1におい
て、対向基板3は、ガラス基板のような透明基板13を
有している。この透明基板13の一方の主面上には、カ
ラーフィルタ層及び共通電極14が順次形成されてお
り、その上に、スペーサ12及び配向膜15が形成され
た構造を有している。
In the liquid crystal display device 1 shown in FIG. 3, the counter substrate 3 has a transparent substrate 13 such as a glass substrate. On one main surface of the transparent substrate 13, a color filter layer and a common electrode 14 are sequentially formed, and a structure in which a spacer 12 and an alignment film 15 are formed thereon is provided.

【0034】すなわち、図3に示す液晶表示装置1は、
カラーフィルタ層9及び柱状スペーサ12が対向基板3
に形成され、アレイ基板の透明基板6と画素電極10と
の間に感光性樹脂からなる透明絶縁層16が設けられて
いる点で図1に示す液晶表示装置1とは異なっている。
このような構造の液晶表示装置1においても、第1の実
施形態で説明したのと同様の方法により焼成時間を短縮
することができる。なお、図3に示す液晶表示装置1で
は、カラーフィルタ層9や柱状スペーサ12が対向基板
3に形成されているため、図1に示す液晶表示装置1に
比べて、アレイ基板2と対向基板3との貼り合わせによ
り高い精度が要求される。
That is, the liquid crystal display device 1 shown in FIG.
The color filter layer 9 and the columnar spacer 12 are
The liquid crystal display device 1 differs from the liquid crystal display device 1 shown in FIG. 1 in that a transparent insulating layer 16 made of a photosensitive resin is provided between the transparent substrate 6 of the array substrate and the pixel electrode 10.
Also in the liquid crystal display device 1 having such a structure, the firing time can be reduced by the same method as described in the first embodiment. In the liquid crystal display device 1 shown in FIG. 3, since the color filter layer 9 and the columnar spacer 12 are formed on the counter substrate 3, the array substrate 2 and the counter substrate 3 are different from the liquid crystal display device 1 shown in FIG. High accuracy is required by laminating.

【0035】[0035]

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。Embodiments of the present invention will be described below.

【0036】(実施例1)図1に示す液晶表示装置1を
以下に示す方法により製造した。まず、ガラス基板6の
一方の主面に、スパッタリング法によりモリブデンから
なる厚さ約0.3μmの薄膜を形成し、この薄膜をフォ
トリソグラフィー技術を用いてパターニングすることに
よりゲート線を形成した。次に、ガラス基板6のゲート
線を形成した面にゲート絶縁膜として用いられる厚さ
0.15μmの二酸化珪素からなる絶縁膜を形成し、こ
の絶縁膜上にTFTの半導体層を形成した。なお、ゲー
ト絶縁膜は窒化珪素を用いて形成することもできる。次
に、半導体層の上に厚さ0.3μmのAlからなる信号
線及びソース電極を形成した。以上のようにして、ガラ
ス基板6上に配線7及びTFT8を形成した。
Example 1 The liquid crystal display device 1 shown in FIG. 1 was manufactured by the following method. First, a thin film of molybdenum having a thickness of about 0.3 μm was formed on one main surface of the glass substrate 6 by a sputtering method, and the thin film was patterned by photolithography to form a gate line. Next, an insulating film made of silicon dioxide having a thickness of 0.15 μm and used as a gate insulating film was formed on the surface of the glass substrate 6 where the gate lines were formed, and a semiconductor layer of the TFT was formed on the insulating film. Note that the gate insulating film can be formed using silicon nitride. Next, a signal line and a source electrode made of Al having a thickness of 0.3 μm were formed on the semiconductor layer. As described above, the wiring 7 and the TFT 8 were formed on the glass substrate 6.

【0037】次に、ガラス基板6のTFT8等を形成し
た面全体に、赤色の顔料を分散させた紫外線硬化型アク
リル樹脂レジストCR−2000(富士ハントエレクト
ロニクステクノロジー社製)をスピナー等を用いて塗布
した。このようにして形成した塗膜の上方にフォトマス
クを配置し、このフォトマスクを介して上記塗膜に紫外
線を露光量が200mJ/cm2となるように照射し
た。なお、ここで使用したフォトマスクは、赤色の着色
層を形成する部分のみに紫外線が照射され且つガラス基
板6の外周部が10μmの幅で遮光されるように及びコ
ンタクトホールに対応する領域が20μm×20μmの
サイズで遮光されるように形成されたものである。上述
した条件で露光を終えた後、1%のKOH水溶液を用い
て上記塗膜を20秒間現像し、さらに、100℃で5分
間の仮焼成を行うことにより赤色の着色層を形成した。
Next, a UV-curable acrylic resin resist CR-2000 (manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) in which a red pigment is dispersed is applied to the entire surface of the glass substrate 6 on which the TFT 8 and the like are formed using a spinner or the like. did. A photomask was arranged above the coating film thus formed, and the coating film was irradiated with ultraviolet rays through this photomask so that the exposure amount became 200 mJ / cm 2 . The photomask used here was irradiated with ultraviolet rays only on the portion where the red coloring layer was to be formed, and the outer periphery of the glass substrate 6 was shielded from light with a width of 10 μm, and the area corresponding to the contact hole was 20 μm. It is formed to be shielded from light at a size of × 20 μm. After completion of the exposure under the above conditions, the coating film was developed with a 1% KOH aqueous solution for 20 seconds, and further calcined at 100 ° C. for 5 minutes to form a red colored layer.

【0038】次に、緑色の顔料を分散させた紫外線硬化
型アクリル樹脂レジストCG−2000(富士ハントエ
レクトロニクステクノロジー社製)及び青色の顔料を分
散させた紫外線硬化型アクリル樹脂レジストCB−20
00(富士ハントエレクトロニクステクノロジー社製)
を用いて、赤色の着色層に関して説明したのと同様の方
法により、緑色の着色層及び青色の着色層を順次形成し
た。以上のようにして、カラーフィルタ層10を形成し
た。その後、通常は200℃で60分間の本焼成を、2
00℃で10分間に短縮して行った。以上のようにし
て、各着色層の膜厚が1.5μmであるRGBカラーフ
ィルタ層9を形成した。
Next, a UV-curable acrylic resin resist CG-2000 (manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology) in which a green pigment is dispersed and a UV-curable acrylic resin resist CB-20 in which a blue pigment is dispersed
00 (manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology)
Was used to form a green colored layer and a blue colored layer sequentially in the same manner as described for the red colored layer. The color filter layer 10 was formed as described above. Thereafter, the main firing is usually performed at 200 ° C. for 60 minutes.
It was performed at 00 ° C. for 10 minutes. As described above, the RGB color filter layer 9 having the thickness of each colored layer of 1.5 μm was formed.

【0039】次に、ガラス基板6のカラーフィルタ層9
を形成した面に、スパッタリング法を用いて厚さ約0.
1μmのITO膜を形成した。これをフォトリソグラフ
ィ技術とエッチング技術とを用いてパターニングするこ
とにより画素電極10を得た。なお、これら画素電極1
0は、それぞれコンタクトホールを介してソース電極と
接続されるように形成した。
Next, the color filter layer 9 of the glass substrate 6
Is formed to a thickness of about 0.
A 1 μm ITO film was formed. The pixel electrode 10 was obtained by patterning this using a photolithography technique and an etching technique. Note that these pixel electrodes 1
0 was formed so as to be connected to the source electrode via the contact hole.

【0040】その後、ガラス基板6の画素電極10を形
成した面の全面に、黒色の紫外線硬化樹脂をスピナーを
用いて塗布した。このようにして形成した塗膜を90℃
で10分間乾燥させた後、その上方にフォトマスクを配
置し、このフォトマスクを介して上記塗膜に紫外線を露
光量が300mJ/cm2となるように照射した。な
お、ここで使用したフォトマスクは、スペーサ12に対
応する領域が7μm×7μmのサイズで露光されるよう
に及び表示エリアの外周部が3mmの幅で露光されるよ
うに形成されたものである。上述した条件で露光を終え
た後、pH11.5のアルカリ水溶液を用いて上記塗膜
を現像することによりスペーサ12及び周縁遮光層を形
成した。さらに200℃で1時間焼成することによりス
ペーサ12及び周縁遮光層を完全に熱硬化させるのとと
もに、RGBカラーフィルタ層9を完全に熱硬化させ
た。
Thereafter, a black ultraviolet curable resin was applied to the entire surface of the glass substrate 6 on which the pixel electrodes 10 were formed, using a spinner. 90 ° C.
After drying for 10 minutes, a photomask was placed above the film, and the coating film was irradiated with ultraviolet rays through the photomask so that the exposure amount was 300 mJ / cm 2 . The photomask used here is formed so that the area corresponding to the spacer 12 is exposed with a size of 7 μm × 7 μm and the outer peripheral portion of the display area is exposed with a width of 3 mm. . After completion of the exposure under the above-described conditions, the coating film was developed using an alkaline aqueous solution having a pH of 11.5 to form the spacer 12 and the peripheral light-shielding layer. Further, the spacer 12 and the peripheral light-shielding layer were completely cured by baking at 200 ° C. for 1 hour, and the RGB color filter layer 9 was completely cured by heat.

【0041】次に、ガラス基板6のスペーサ12等を形
成した面の全面に、配向膜材料であるAL−1051
(日本合成ゴム社製)を用いて薄膜を形成した。さら
に、この薄膜にラビング処理を施すことにより配向膜1
1を得た。以上のようにして、アレイ基板2を作製し
た。
Next, the entire surface of the glass substrate 6 on which the spacers 12 and the like are formed is coated with an alignment film material, AL-1051.
(Manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.) to form a thin film. Further, by subjecting this thin film to a rubbing treatment, an alignment film 1 is formed.
1 was obtained. As described above, the array substrate 2 was manufactured.

【0042】次に、別途用意したガラス基板13の一方
の主面上に、共通電極14として、スパッタリング法を
用いてITO膜を形成した。この共通電極14上にも、
上述したのと同様の方法により配向膜15を形成した。
以上のようにして、対向基板3を作製した。
Next, an ITO film was formed as a common electrode 14 on one main surface of a separately prepared glass substrate 13 by using a sputtering method. Also on this common electrode 14,
The alignment film 15 was formed by the same method as described above.
As described above, the counter substrate 3 was manufactured.

【0043】次に、アレイ基板2と対向基板3とを、エ
ポキシ系の熱硬化樹脂からなる接着剤XN−215(三
井東圧化学社製)を用いて、それぞれのラビング方向が
直交するように貼り合わせることによりセルを形成し
た。このセル中に液晶材料としてZLI−4792
(E.メルク社製)を通常の方法により注入して液晶層
4を形成した。さらに、注入口を紫外線硬化樹脂で封止
することにより液晶表示装置1を得た。その後、この液
晶表示装置1の両面に、偏光板5としてLLC2−92
18S(サンリッツ社製)を貼り付けることにより液晶
モジュールとした。
Next, the array substrate 2 and the opposing substrate 3 are bonded using an adhesive XN-215 (manufactured by Mitsui Toatsu Chemicals, Inc.) made of an epoxy-based thermosetting resin so that the rubbing directions are orthogonal to each other. A cell was formed by bonding. In this cell, ZLI-4792 is used as a liquid crystal material.
(E. Merck) was injected by a usual method to form a liquid crystal layer 4. Further, the liquid crystal display device 1 was obtained by sealing the injection port with an ultraviolet curable resin. Thereafter, on both sides of the liquid crystal display device 1, LLC2-92 is used as a polarizing plate 5.
18S (manufactured by Sanritz) was attached to obtain a liquid crystal module.

【0044】本実施例に係る製造プロセスでは、従来の
プロセスに比べて熱硬化時間が短縮されているのに加
え、スペーサ12と周縁遮光層とが同一の材料を用いて
同時に形成されている。そのため、液晶表示装置1の製
造に要する時間を大幅に短縮することができた。また、
上述した方法で作製したモジュールと従来の方法で作製
したモジュールとで表示性能及び信頼性の比較を行った
ところ、本実施例に係る方法で作製したモジュールは、
従来の方法で作製したモジュールと同等の表示性能及び
信頼性を有していることを確認した。
In the manufacturing process according to the present embodiment, in addition to the shortening of the thermosetting time as compared with the conventional process, the spacer 12 and the peripheral light-shielding layer are simultaneously formed using the same material. As a result, the time required for manufacturing the liquid crystal display device 1 was significantly reduced. Also,
The display performance and reliability were compared between the module manufactured by the above-described method and the module manufactured by the conventional method.
It was confirmed that the module had the same display performance and reliability as the module manufactured by the conventional method.

【0045】(実施例2)図3に示す液晶表示装置1を
以下に示す方法により製造した。まず、ガラス基板6の
一方の主面に、実施例1で説明したのと同様の方法によ
り配線7及びTFT8を形成した。次に、ガラス基板6
のTFT8等を形成した面に、紫外線硬化型樹脂を用い
てフォトリソグラフィー技術とエッチング技術とにより
透明絶縁膜16を形成した。その後、ガラス基板6の透
明絶縁膜16を形成した面に、実施例1で説明したのと
同様の方法により画素電極10及び配向膜11を順次形
成した。以上のようにしてアレイ基板2を作製した。
Example 2 The liquid crystal display device 1 shown in FIG. 3 was manufactured by the following method. First, the wiring 7 and the TFT 8 were formed on one main surface of the glass substrate 6 by the same method as described in the first embodiment. Next, the glass substrate 6
The transparent insulating film 16 was formed on the surface on which the TFT 8 and the like were formed by a photolithography technique and an etching technique using an ultraviolet curable resin. After that, the pixel electrode 10 and the alignment film 11 were sequentially formed on the surface of the glass substrate 6 on which the transparent insulating film 16 was formed by the same method as described in the first embodiment. The array substrate 2 was manufactured as described above.

【0046】次に、別途用意したガラス基板13の一方
の主面全体に、黒色の紫外線硬化樹脂をスピナーを用い
て塗布した。このようにして形成した塗膜を90℃で1
0分間乾燥させた後、その上方にフォトマスクを配置
し、このフォトマスクを介して上記塗膜に紫外線を露光
量が300mJ/cm2となるように照射した。なお、
ここで使用したフォトマスクは、表示エリアの外周部が
3mmの幅で露光されるように形成したものである。上
述した条件で露光を終えた後、pH11.5のアルカリ
水溶液を用いて上記塗膜を現像することにより周縁遮光
層を形成した。その後、通常は220℃で60分間の本
焼成を、200℃で10分間に短縮して行った。
Next, a black ultraviolet curable resin was applied to the entire one main surface of the separately prepared glass substrate 13 using a spinner. The coating film thus formed is heated at 90 ° C. for 1 hour.
After drying for 0 minutes, a photomask was placed above the coating, and the coating film was irradiated with ultraviolet rays through the photomask so that the exposure amount was 300 mJ / cm 2 . In addition,
The photomask used here was formed such that the outer peripheral portion of the display area was exposed with a width of 3 mm. After the exposure under the above-mentioned conditions, the coating film was developed using an alkaline aqueous solution having a pH of 11.5 to form a peripheral light-shielding layer. Thereafter, the main firing at 220 ° C. for 60 minutes was shortened to 200 ° C. for 10 minutes.

【0047】次に、ガラス基板13の周縁遮光層を形成
した面に、実施例1で説明したのと同様に成膜・パター
ニング・仮焼成を繰り返すことにより、赤色の着色層及
び緑色の着色層を形成した。さらに、ガラス基板13の
赤色の着色層及び緑色の着色層を形成した面に、実施例
1で説明したのと同様の方法により、青色の顔料を分散
させた紫外線硬化型アクリル樹脂レジストを塗布して塗
膜を形成し、この塗膜をパターニングした。その後、2
20℃で1時間焼成することにより各着色層を完全に熱
硬化させてRGBカラーフィルタ層9を得るのととも
に、周縁遮光層を完全に熱硬化させた。
Next, on the surface on which the peripheral light-shielding layer of the glass substrate 13 is formed, film formation, patterning, and calcination are repeated in the same manner as described in Embodiment 1, so that a red colored layer and a green colored layer are formed. Was formed. Further, on the surface of the glass substrate 13 on which the red coloring layer and the green coloring layer are formed, an ultraviolet curable acrylic resin resist in which a blue pigment is dispersed is applied in the same manner as described in Example 1. To form a coating film, and this coating film was patterned. Then 2
By baking at 20 ° C. for 1 hour, each colored layer was completely thermoset to obtain the RGB color filter layer 9 and the peripheral light-shielding layer was completely thermoset.

【0048】次に、ガラス基板13のRGBカラーフィ
ルタ層9等を形成した面に、実施例1で説明したのと同
様の方法により共通電極14を形成した。さらに、この
共通電極14上に、紫外線硬化型樹脂を用いてフォトリ
ソグラフィー技術とエッチング技術とにより柱状スペー
サ12を形成した。その後、ガラス基板13のスペーサ
12等を形成した面の全面に、実施例1で説明したのと
同様の方法により配向膜11を形成した。以上のように
して、対向基板3を作製した。
Next, the common electrode 14 was formed on the surface of the glass substrate 13 on which the RGB color filter layer 9 and the like were formed by the same method as described in the first embodiment. Further, the columnar spacers 12 were formed on the common electrode 14 by using a photolithography technique and an etching technique using an ultraviolet curing resin. Thereafter, an alignment film 11 was formed on the entire surface of the glass substrate 13 on which the spacers 12 and the like were formed by the same method as described in Example 1. As described above, the counter substrate 3 was manufactured.

【0049】このようにして作製したアレイ基板2と対
向基板3とを用いて、実施例1で説明したのと同様の方
法により液晶表示装置1を作製し、さらにこの液晶表示
装置1を用いて液晶モジュールを得た。
Using the array substrate 2 and the opposing substrate 3 thus manufactured, a liquid crystal display device 1 is manufactured in the same manner as described in Embodiment 1, and further using this liquid crystal display device 1 A liquid crystal module was obtained.

【0050】本実施例に係る製造プロセスでは、従来の
プロセスに比べて熱硬化時間が短縮されているため、液
晶表示装置1の製造に要する時間を大幅に短縮すること
ができた。また、上述した方法で作製したモジュールと
従来の方法で作製したモジュールとで表示性能及び信頼
性の比較を行ったところ、本実施例に係る方法で作製し
たモジュールは、従来の方法で作製したモジュールと同
等の表示性能及び信頼性を有していることを確認した。
In the manufacturing process according to the present embodiment, the time required for manufacturing the liquid crystal display device 1 can be greatly reduced because the thermosetting time is shorter than that of the conventional process. Further, when the display performance and the reliability of the module manufactured by the above-described method and the module manufactured by the conventional method were compared, the module manufactured by the method according to the present embodiment was the module manufactured by the conventional method. It was confirmed that it had the same display performance and reliability as.

【0051】[0051]

【発明の効果】以上説明したように、本発明では、第1
の薄膜パターンを不完全に熱硬化させた状態で第2の薄
膜パターンを形成し、その後、第1の薄膜パターン及び
第2の薄膜パターンの双方を同時に及び完全に熱硬化さ
せている。すなわち、本発明では、第1の薄膜パターン
の熱硬化の一部を第2の薄膜パターンの熱硬化の際に同
時に行うことにより実質的に省略している。それゆえ、
基板の貼り合わせ精度への要求を低減させ且つ開口率を
向上させることを目的としてアレイ基板にカラーフィル
タ層、周縁遮光層、及びスペーサの全てを形成する場合
であっても、十分に高い生産能力を実現することができ
る。
As described above, according to the present invention, the first
A second thin film pattern is formed in a state where the thin film pattern of the above is incompletely thermoset, and thereafter both the first thin film pattern and the second thin film pattern are thermoset simultaneously and completely. That is, in the present invention, a part of the thermosetting of the first thin film pattern is substantially omitted by simultaneously performing the thermosetting of the second thin film pattern. therefore,
Sufficiently high production capacity even if all of the color filter layer, peripheral light-shielding layer, and spacer are formed on the array substrate for the purpose of reducing the requirement for substrate bonding accuracy and improving the aperture ratio Can be realized.

【0052】すなわち、本発明によると、液晶表示装置
の製造プロセスにおいて、一枚の基板に感光性樹脂を含
有する複数の薄膜パターンを形成するに際し、それらの
熱硬化に要する時間を短縮することが可能となる。した
がって、本発明によると、基板の貼り合わせ精度への要
求を低減させ且つ開口率を向上させ得る液晶表示装置を
高い生産能力で製造することが可能な液晶表示装置の製
造方法が提供される。
That is, according to the present invention, in forming a plurality of thin film patterns containing a photosensitive resin on a single substrate in a manufacturing process of a liquid crystal display device, it is possible to reduce the time required for thermosetting them. It becomes possible. Therefore, according to the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal display device capable of manufacturing a liquid crystal display device capable of reducing the requirement for the bonding accuracy of the substrates and improving the aperture ratio with a high production capacity.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態に係る液晶表示装置を
概略的に示す断面図。
FIG. 1 is a sectional view schematically showing a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】熱硬化時間と膜減り量との関係を示すグラフ。FIG. 2 is a graph showing a relationship between a thermosetting time and a film reduction amount.

【図3】本発明の第2の実施形態に係る液晶表示装置を
概略的に示す断面図。
FIG. 3 is a sectional view schematically showing a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…液晶表示装置 2…アレイ基板 3…対向基板 4…液晶層 5…偏光板 6,13…透明基板 7…配線 8…スイッチング素子 9…カラーフィルタ層 10…画素電極 11,15…配向膜 12…スペーサ 14…共通電極 16…透明樹脂層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid crystal display device 2 ... Array substrate 3 ... Counter substrate 4 ... Liquid crystal layer 5 ... Polarizing plate 6, 13 ... Transparent substrate 7 ... Wiring 8 ... Switching element 9 ... Color filter layer 10 ... Pixel electrode 11, 15 ... Alignment film 12 ... spacer 14 ... common electrode 16 ... transparent resin layer

フロントページの続き Fターム(参考) 2H089 LA01 LA09 LA12 NA01 QA12 QA16 RA05 TA01 TA04 TA09 TA12 2H090 JB02 KA05 LA01 LA02 LA04 LA15 2H091 FA02Y FA08X FA08Z FB03 FB04 GA01 GA06 GA08 GA13 HA07 LA12 LA16 LA30 Continued on front page F term (reference) 2H089 LA01 LA09 LA12 NA01 QA12 QA16 RA05 TA01 TA04 TA09 TA12 2H090 JB02 KA05 LA01 LA02 LA04 LA15 2H091 FA02Y FA08X FA08Z FB03 FB04 GA01 GA06 GA08 GA13 HA07 LA12 LA16 LA30

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 対向して配置された一対の基板と、前記
一対の基板の一方の対向面に設けられたカラーフィルタ
層と、前記一対の基板間に配置され前記一対の基板間の
間隔を一定に保つスペーサと、前記一対の基板間の周縁
部に設けられた周縁遮光層と、前記一対の基板間に挟持
された液晶層とを備えた液晶表示装置の製造方法であっ
て、 前記一対の基板の一方に感光性樹脂を含有する第1の薄
膜パターンを形成する工程と、 前記第1の薄膜パターンを不完全に熱硬化させる工程
と、 前記一方の基板の前記不完全に熱硬化させた第1の薄膜
を形成した面に感光性樹脂を含有する第2の薄膜パター
ンを形成する工程と、 前記不完全に熱硬化させた第1の薄膜パターン及び前記
第2の薄膜パターンの双方を同時に及び完全に熱硬化さ
せる工程とを具備し、 前記完全に熱硬化させた第1の薄膜パターンで前記カラ
ーフィルタ層及び前記周縁遮光層のいずれか一方を構成
し、前記完全に熱硬化させた第2の薄膜パターンで少な
くとも前記カラーフィルタ層及び前記周縁遮光層の他方
若しくは前記スペーサを構成することを特徴とする液晶
表示装置の製造方法。
A pair of substrates arranged opposite to each other, a color filter layer provided on one of the opposing surfaces of the pair of substrates, and a space between the pair of substrates arranged between the pair of substrates. A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: a spacer that keeps constant; a peripheral light-shielding layer provided at a peripheral portion between the pair of substrates; and a liquid crystal layer sandwiched between the pair of substrates. Forming a first thin film pattern containing a photosensitive resin on one of the substrates; and incompletely thermosetting the first thin film pattern; and incompletely thermosetting the one substrate. Forming a second thin film pattern containing a photosensitive resin on the surface on which the first thin film has been formed; and forming both the incompletely thermally cured first thin film pattern and the second thin film pattern. Simultaneous and complete thermosetting process and Comprising one of the color filter layer and the peripheral light-shielding layer with the first thermosetting first thin film pattern, and at least the color filter with the completely thermosetting second thin film pattern. A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising forming the other of the layer and the peripheral light-shielding layer or the spacer.
【請求項2】 前記第2の薄膜の熱硬化温度は前記第1
の薄膜の熱硬化温度と比べてより高いこと及び前記第2
の薄膜の熱硬化時間は前記第1の薄膜の熱硬化時間と比
べてより長いことの少なくとも一方を満足することを特
徴とする請求項1に記載の液晶表示装置の製造方法。
2. The thermosetting temperature of the second thin film is equal to the first thermosetting temperature.
Higher than the thermosetting temperature of the thin film of
2. The method according to claim 1, wherein the thermosetting time of the thin film is longer than the thermosetting time of the first thin film.
【請求項3】 前記完全に熱硬化した第1の薄膜は前記
カラーフィルタ層を構成し、前記完全に熱硬化した第2
の薄膜は前記周縁遮光層及び前記スペーサの少なくとも
一方を構成することを特徴とする請求項1または請求項
2に記載の液晶表示装置の製造方法。
3. The completely heat-cured first thin film constitutes the color filter layer, and wherein the completely thermosetting second thin film is formed.
3. The method according to claim 1, wherein the thin film forms at least one of the peripheral light-shielding layer and the spacer. 4.
【請求項4】 前記完全に熱硬化した第2の薄膜は前記
周縁遮光層及び前記スペーサの双方を構成することを特
徴とする請求項3に記載の液晶表示装置の製造方法。
4. The method according to claim 3, wherein the completely thinned second thin film constitutes both the peripheral light-shielding layer and the spacer.
【請求項5】 前記完全に熱硬化した第1の薄膜は前記
周縁遮光層を構成し、前記完全に熱硬化した第2の薄膜
は前記カラーフィルタ層及び前記スペーサのいずれか一
方を構成することを特徴とする請求項1または請求項2
に記載の液晶表示装置の製造方法。
5. The method according to claim 1, wherein the first thermally cured first thin film constitutes the peripheral light-shielding layer, and the completely thermally cured second thin film constitutes one of the color filter layer and the spacer. The method according to claim 1 or 2, wherein
3. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to item 1.
【請求項6】 前記一対の基板の一方はその対向面に走
査線と信号線とスイッチング素子と画素電極とを備えた
アレイ基板であり、前記一対の基板の他方はその対向面
に共通電極を備えた対向基板であることを特徴とする請
求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の液晶表示
装置の製造方法。
6. One of the pair of substrates is an array substrate having a scanning line, a signal line, a switching element, and a pixel electrode on its opposing surface, and the other of the pair of substrates has a common electrode on its opposing surface. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to any one of claims 1 to 5, wherein the counter substrate is provided.
【請求項7】 前記アレイ基板上に前記カラーフィルタ
層、前記周縁遮光層、及び前記スペーサを形成すること
を特徴とする請求項6に記載の液晶表示装置の製造方
法。
7. The method according to claim 6, wherein the color filter layer, the peripheral light-shielding layer, and the spacer are formed on the array substrate.
【請求項8】 前記対向基板上に前記カラーフィルタ
層、前記周縁遮光層、及び前記スペーサを形成すること
を特徴とする請求項6に記載の液晶表示装置の製造方
法。
8. The method according to claim 6, wherein the color filter layer, the peripheral light shielding layer, and the spacer are formed on the counter substrate.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006195096A (en) * 2005-01-12 2006-07-27 Dainippon Printing Co Ltd Method for forming spacer, exposure mask used therefor, and color filter substrate

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