JP2001257225A - 端子のリペア方法及びリペア装置 - Google Patents

端子のリペア方法及びリペア装置

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    • H01L2224/11Manufacturing methods

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 部分的に端子をリペアする方法及びそのため
のリペア装置を提供することにある。 【解決手段】 端子のリペア方法は、不良品の端子14
を溶融させる工程と、良品の端子14を残したままで溶
融した不良品の端子14を除去する工程と、不良品の端
子14が設けられていた位置にろう材16を設ける工程
と、ろう材16を溶融させて端子を形成する工程と、を
含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、端子のリペア方法
及びリペア装置に関する。
【0002】
【発明の背景】外部との接続用の端子として多数のハン
ダボールが設けられた半導体装置が知られている。ハン
ダボールは、フラックスの不足などにより、好ましい球
状にならない場合がある。その場合、多数のハンダボー
ルのうち、例えば1つだけを交換したり修正することは
難しかった。
【0003】本発明は、この問題点を解決するものであ
り、その目的は、部分的に端子をリペアする方法及びそ
のためのリペア装置を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】(1)本発明に係る端子
のリペア方法は、ろう材からなり、良品及び不良品を含
む複数の端子のうち、少なくとも前記不良品の端子を溶
融させる工程と、前記良品の端子を残した状態で、溶融
した前記不良品の端子を除去する工程と、前記不良品の
端子が設けられていた位置に、前記ろう材を設ける工程
と、前記ろう材を溶融させて端子を形成する工程と、を
含む。
【0005】本発明によれば、良品の端子を残して、不
良品の端子を溶融して除去し、その代わりにろう材を設
けてこれを溶融させて端子を形成する。こうすること
で、端子の部分的な交換が可能になる。
【0006】(2)この端子のリペア方法において、前
記不良品の端子を溶融させる工程では、前記良品の端子
を溶融させずに、前記不良品の端子を溶融させてもよ
い。
【0007】これによれば、良品の端子の品質を変えず
に、不良品の端子の交換が可能になる。
【0008】(3)この端子のリペア方法において、前
記不良品の端子を溶融させる工程の前に、前記良品の端
子にフラックスを塗布し、前記不良品の端子を溶融させ
る工程では、前記良品の端子も溶融させてもよい。
【0009】これによれば、良品の端子も溶融するが、
予めフラックスが塗られているので、良品の端子が再度
形成される。
【0010】(4)この端子のリペア方法において、前
記ろう材を設ける工程の前に、前記不良品の端子が設け
られていた位置に、フラックスを塗っておいてもよい。
【0011】これによれば、必要な量のフラックスを設
けておくことができる。
【0012】(5)この端子のリペア方法において、前
記ろう材を設ける工程の前に、前記ろう材にフラックス
を塗っておいてもよい。
【0013】これによれば、簡単にフラックスを供給す
ることができる。
【0014】(6)本発明に係る端子のリペア方法は、
ろう材からなり、良品及び不良品を含む複数の端子のう
ち、少なくとも前記不良品の端子にフラックスを塗布す
る工程と、前記不良品の端子を溶融して形成しなおす工
程と、を含む。
【0015】本発明によれば、端子を溶融して形成しな
おすことで、不良品の端子を修正することができる。
【0016】(7)本発明に係る端子のリペア装置は、
ろう材からなり、良品及び不良品を含む複数の端子のう
ち不良品の端子のみを加熱して溶融させる部分的加熱器
と、前記良品の端子を残した状態で、溶融した前記不良
品の端子を除去する部分的除去器と、前記不良品の端子
が設けられていた位置に、前記ろう材を設ける部分的供
給器と、を含む。
【0017】本発明によれば、部分的加熱器は、不良品
の端子のみを加熱するので、良品の端子の品質を変えず
に、不良品の端子を溶融させることができる。そして、
部分的除去器によって、溶融した不良品の端子を除去
し、ろう材を設けることができる。その後、リフロー法
を適用して、ろう材から端子を形成することができる。
こうして、端子を部分的に交換することができる。
【0018】(8)この端子のリペア装置において、前
記部分的加熱器及び前記部分的除去器は、一体的に形成
されていてもよい。
【0019】(9)この端子のリペア装置において、前
記部分的除去器は、溶融した前記一部の端子を吸引して
除去するための吸引部を有し、前記部分的加熱器は、前
記吸引部内でエネルギーを照射するレーザを含んでもよ
い。
【0020】(10)この端子のリペア装置において、
前記部分的除去器及び前記部分的供給器は、一体的に形
成されてなり、前記吸引部によって、前記ろう材を吸着
して設けてもよい。
【0021】(11)本発明に係る端子のリペア装置
は、ろう材からなり、良品及び不良品を含む複数の端子
の全部を加熱して溶融させる全体的加熱器と、溶融した
前記端子のうち、不良品の端子のみを除去する部分的除
去器と、前記不良品の端子が設けられていた位置に、前
記ろう材を設ける部分的供給器と、を含む。
【0022】本発明によれば、全体的加熱器は、複数の
端子の全部を加熱するが、部分的除去器によって、不良
品の端子のみを除去することができる。そして、部分的
供給器によってろう材を設け、リフロー法を適用して、
ろう材から端子を形成することができる。こうして、端
子を部分的に交換することができる。
【0023】(12)この端子のリペア装置において、
前記部分的除去器は、溶融した前記一部の端子を吸引し
て除去するための吸引部を有し、前記部分的除去器及び
前記部分的供給器は、一体的に形成されてなり、前記吸
引部によって、前記ろう材を吸着して設けてもよい。
【0024】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について図面を参照して説明する。
【0025】(第1の実施の形態)図1〜図4は、本発
明を適用した第1の実施の形態に係る端子のリペア方法
及びリペア装置を説明する図である。図1において、電
子部品10には、複数の端子12、14が設けられてい
る。本実施の形態では、しわが形成されるなどの不良品
の端子14をリペアする。
【0026】電子部品10は、例えば、半導体装置、光
素子、抵抗器、コンデンサ、コイル、発振器、フィル
タ、温度センサ、サーミスタ、バリスタ、ボリューム又
はヒューズなどである。配線パターンなどの導電体上に
端子12、14が設けられていることが多い。また、配
線パターンのランドに端子12、14を設けることがあ
る。
【0027】端子12、14は、ハンダなどのろう材か
ら形成されてなる。図1に示す例では、端子12、14
はハンダボールである。端子12は、良好な球状をなし
ており良品として使用することができる。少なくとも1
つの端子14は、好ましい球状をなしておらず、このま
までは不具合が生じる。その原因として、例えば、リフ
ローソルダリング法を適用した場合に、フラックスが不
足していたことが挙げられる。
【0028】本実施の形態では、図1に示すように、良
品の端子12を溶融させずに、不良品の端子14を溶融
させる。そのために、部分的加熱器20が使用される。
図1に示す例では、部分的加熱器20は、レーザー(例
えばYAGレーザやCO2レーザ)であり、レーザーエ
ネルギーによって部分的な加熱を行う。あるいは、部分
的加熱器20は、熱風を供給する手段や、赤外線加熱を
行う手段であってもよい。
【0029】不良品の端子14を溶融させると、図2に
示すように、溶融した端子14を除去する。そのため
に、部分的除去器30を使用する。部分的除去器30
は、パイプ32及び吸引ポンプ34(両者を併せたもの
が吸引部)を含む。パイプ32から、溶融した端子14
を吸引する。なお、図1に示すように、部分的除去器3
0内に、部分的加熱器20が設けられており、パイプ3
2内でレーザーエネルギーを供給できるようになってい
る。
【0030】次に、除去された端子14があった位置に
端子を形成するために、図3に示すように、ろう材16
を用意する。ろう材16は、ペースト状又は固形のいず
れの形態で用意してもよい。図3に示す例では、ろう材
16として、固形のハンダボールを用意する。ろう材
(ハンダボール)16は、部分的供給器40によって、
もとの端子14があった位置に供給される。部分的供給
器40は、部分的除去器30が兼ねてもよい。すなわ
ち、部分的除去器30(部分的供給器40)によって、
ろう材(ハンダボール)16を吸着して保持する。
【0031】本実施の形態では、図3に示すように、ろ
う材(ハンダボール)16にフラックス18を付着させ
ておく。詳しくは、容器に溜めたフラックス18に、ろ
う材(ハンダボール)16をディッピングしてもよい。
【0032】そして、図4に示すように、もとの端子1
4があった位置に、ろう材(ハンダボール)16を供給
する。続いて、図4に示すように、元々良品であった端
子12とともに、ろう材16を加熱し、溶融させて端子
を形成する。加熱には、ホットプレート50を使用して
もよい。ここで、元々良品であった端子12には、予め
フラックス18を塗布しておくことが好ましい。こうす
ることで、端子12が加熱によって溶融しても、不良が
生じることを防止できる。
【0033】本実施の形態によれば、良品の端子12を
残して、不良品の端子14を交換することができる。な
お、その後、電子部品10を洗浄し、外観検査を行う。
【0034】本実施の形態に係るリペア装置は、上述し
た部分的加熱器20、部分的除去器30及び部分的供給
器40を含み、さらにホットプレート50を含んでもよ
い。部分的加熱器20及び部分的除去器30は、上述し
たように、一体化することができる。部分的除去器30
は、吸引部(例えばパイプ32及び吸引ポンプ34)を
有してもよい。その場合、部分的加熱器20は、吸引部
(例えばパイプ32)内でエネルギーを供給してもよ
い。部分的除去器30及び部分的供給器40は、一体的
に形成されていてもよく、一方が他方を兼ねてもよい。
例えば、部分的除去器30の吸引部によって、ろう材1
6を吸着して、部分的供給器40として機能してもよ
い。
【0035】(第2の実施の形態)図5(A)及び図5
(B)は、本発明を適用した第2の実施の形態に係る端
子のリペア方法を示す図である。本実施の形態は、第1
の実施の形態の図1及び図2に示す工程の後に行われる
ものである。不良品の端子14を除去するまでの工程に
は、第1の実施の形態で説明した内容を適用することが
できる。
【0036】本実施の形態では、図5(A)に示すよう
に、除去された不良品の端子14があった位置に、筆な
どのジグ60を使ってフラックス18を塗布し、図5
(B)に示すように、フラックス18上にろう材(ハン
ダボール)16を設ける。そのために、第1の実施の形
態で説明した部分的供給器40を使用してもよい。そし
て、図4に示す工程と同様に、良品の端子12ととも
に、ろう材18を加熱して溶融させて端子を形成する。
【0037】本実施の形態でも、ろう材18から端子を
形成するときに良品の端子12が加熱されるので、その
加熱前に、端子12にもフラックス18を塗布しておく
ことが好ましい。例えば、図5(A)に示すように、不
良品の端子14があった位置にフラックス18を塗布す
るときに、端子12にもフラックス18を塗布してもよ
い。
【0038】本実施の形態でも、第1の実施の形態で説
明したのと同様に、複数の端子12、14のうちの一部
を交換することができる。
【0039】(第3の実施の形態)図6(A)及び図6
(B)は、本発明を適用した第3の実施の形態に係る端
子のリペア方法及びリペア装置を説明する図である。
【0040】本実施の形態では、図6(A)に示すよう
に、良品の端子12にフラックス18を塗布する。この
とき、不良品14にもフラックス18が塗布されてもよ
い。そして、全体的加熱器70(例えばリフロー炉)に
よって、良品の端子12とともに不良品の端子14を溶
融させる。ここで、良品の端子12も溶融されるが、こ
の端子12は、フラックス18が塗布されているので、
表面張力によって好ましい球状になる。
【0041】続いて、図6(B)に示すように、不良品
の端子14のみを除去する。そのために、第1の実施の
形態で説明した部分的除去器30を使用してもよい。そ
の後、不良品の端子14があった位置に、ろう材16を
設けて端子を形成する。その詳細は、第1又は第2の実
施の形態に説明した通りである。
【0042】本実施の形態に係るリペア装置は、第1の
実施の形態で説明したリペア装置において、部分的加熱
器20を全体的加熱器70に替えたものである。本実施
の形態でも第1の実施の形態で説明した効果を達成する
ことができる。
【0043】(第4の実施の形態)図7は、本発明を適
用した第4の実施の形態に係る端子のリペア方法を説明
する図である。上述した第1〜第3の実施の形態では、
不良品の端子14を除去して、新たな端子を形成した
が、本実施の形態では、不良品の端子14を修正する。
【0044】詳しくは、図7に示すように、不良品の端
子14にフラックス18を塗布し、この不良品の端子1
4を加熱して溶融させ、その形状を再形成する。ここ
で、フラックス18は、良品の端子12に付着してもよ
い。また、不良品の端子14を加熱するときに、良品の
端子12を加熱しないことが好ましい。少なくとも、フ
ラックス18が塗布されていない端子12は溶融させな
い。部分的な加熱を可能にするために、第1の実施の形
態で説明した部分的加熱器20を使用してもよい。
【0045】本実施の形態によれば、不良品の端子14
を除去せずに、好ましい球状に形成しなおすことができ
る。
【0046】(第5の実施の形態)図8は、本発明を適
用した第5の実施の形態に係る端子のリペア方法を説明
する図である。上述した第1〜第3の実施の形態では、
不良品の端子14を除去して、新たな端子を形成した
が、本実施の形態では、不良品の端子14を修正する。
【0047】詳しくは、図8に示すように、良品及び不
良品の端子12、14にフラックス18を塗布し、良品
及び不良品の端子12、14を加熱して溶融させ、その
形状を再形成する。加熱には、第3の実施の形態で説明
した全体的加熱器70を使用してもよい。
【0048】本実施の形態によれば、不良品の端子14
を、除去せずに、好ましい球状に形成しなおすことがで
きる。また、良品の端子12も溶融されるが、フラック
ス18が塗布されているので、再度、良品の端子12を
形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明を適用した第1の実施の形態に
係る端子のリペア方法及びリペア装置を示す図である。
【図2】図2は、本発明を適用した第1の実施の形態に
係る端子のリペア方法及びリペア装置を示す図である。
【図3】図3は、本発明を適用した第1の実施の形態に
係る端子のリペア方法及びリペア装置を示す図である。
【図4】図4は、本発明を適用した第1の実施の形態に
係る端子のリペア方法及びリペア装置を示す図である。
【図5】図5(A)及び図5(B)は、本発明を適用し
た第2の実施の形態に係る端子のリペア方法及びリペア
装置を示す図である。
【図6】図6(A)及び図6(B)は、本発明を適用し
た第3の実施の形態に係る端子のリペア方法及びリペア
装置を示す図である。
【図7】図7は、本発明を適用した第4の実施の形態に
係る端子のリペア方法及びリペア装置を示す図である。
【図8】図8は、本発明を適用した第5の実施の形態に
係る端子のリペア方法及びリペア装置を示す図である。
【符号の説明】
12 良品の端子 14 不良品の端子 16 ろう材 18 フラックス 20 部分的加熱器 30 部分的除去器 32 パイプ(吸引部) 34 吸引ポンプ(吸引部) 40 部分的供給器 70 全体的加熱器

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ろう材からなり、良品及び不良品を含む
    複数の端子のうち、少なくとも前記不良品の端子を溶融
    させる工程と、 前記良品の端子を残した状態で、溶融した前記不良品の
    端子を除去する工程と、 前記不良品の端子が設けられていた位置に、前記ろう材
    を設ける工程と、 前記ろう材を溶融させて端子を形成する工程と、 を含む端子のリペア方法。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の端子のリペア方法におい
    て、 前記不良品の端子を溶融させる工程では、前記良品の端
    子を溶融させずに、前記不良品の端子を溶融させる端子
    のリペア方法。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の端子のリペア方法におい
    て、 前記不良品の端子を溶融させる工程の前に、前記良品の
    端子にフラックスを塗布し、 前記不良品の端子を溶融させる工程では、前記良品の端
    子も溶融させる端子のリペア方法。
  4. 【請求項4】 請求項1から請求項3のいずれかに記載
    の端子のリペア方法において、 前記ろう材を設ける工程の前に、前記不良品の端子が設
    けられていた位置に、フラックスを塗っておく端子のリ
    ペア方法。
  5. 【請求項5】 請求項1から請求項3のいずれかに記載
    の端子のリペア方法において、 前記ろう材を設ける工程の前に、前記ろう材にフラック
    スを塗っておく端子のリペア方法。
  6. 【請求項6】 ろう材からなり、良品及び不良品を含む
    複数の端子のうち、少なくとも前記不良品の端子にフラ
    ックスを塗布する工程と、 前記不良品の端子を溶融して形成しなおす工程と、 を含む端子のリペア方法。
  7. 【請求項7】 ろう材からなり、良品及び不良品を含む
    複数の端子のうち不良品の端子のみを加熱して溶融させ
    る部分的加熱器と、 前記良品の端子を残した状態で、溶融した前記不良品の
    端子を除去する部分的除去器と、 前記不良品の端子が設けられていた位置に、前記ろう材
    を設ける部分的供給器と、 を含む端子のリペア装置。
  8. 【請求項8】 請求項7記載の端子のリペア装置におい
    て、 前記部分的加熱器及び前記部分的除去器は、一体的に形
    成されてなる端子のリペア装置。
  9. 【請求項9】 請求項8記載の端子のリペア装置におい
    て、 前記部分的除去器は、溶融した前記一部の端子を吸引し
    て除去するための吸引部を有し、 前記部分的加熱器は、前記吸引部内でエネルギーを照射
    するレーザを含む端子のリペア装置。
  10. 【請求項10】 請求項9記載の端子のリペア装置にお
    いて、 前記部分的除去器及び前記部分的供給器は、一体的に形
    成されてなり、前記吸引部によって、前記ろう材を吸着
    して設ける端子のリペア装置。
  11. 【請求項11】 ろう材からなり、良品及び不良品を含
    む複数の端子の全部を加熱して溶融させる全体的加熱器
    と、 溶融した前記端子のうち、不良品の端子のみを除去する
    部分的除去器と、 前記不良品の端子が設けられていた位置に、前記ろう材
    を設ける部分的供給器と、 を含む端子のリペア装置。
  12. 【請求項12】 請求項11記載の端子のリペア装置に
    おいて、 前記部分的除去器は、溶融した前記一部の端子を吸引し
    て除去するための吸引部を有し、 前記部分的除去器及び前記部分的供給器は、一体的に形
    成されてなり、前記吸引部によって、前記ろう材を吸着
    して設ける端子のリペア装置。
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