JP2001255204A - Pyroelectric infrared sensor - Google Patents

Pyroelectric infrared sensor

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JP2001255204A
JP2001255204A JP2000069580A JP2000069580A JP2001255204A JP 2001255204 A JP2001255204 A JP 2001255204A JP 2000069580 A JP2000069580 A JP 2000069580A JP 2000069580 A JP2000069580 A JP 2000069580A JP 2001255204 A JP2001255204 A JP 2001255204A
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circuit board
element support
sensor
pyroelectric infrared
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Tomoo Namiki
智雄 並木
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Miyota KK
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pyroelectric infrared sensor with satisfactory characteristics by eliminating problems such as variations in sensitivity caused by positional displacement among a sensor element, sensor element support bodies, and a circuit board. SOLUTION: This pyroelectric infrared sensor is equipped with, at least, the sensor element, the support bodies for severally supporting both ends of the sensor element, and the circuit board, with the sensor element fixed to the circuit board by means of the support bodies. The support bodies for severally supporting both ends of the sensor element are formed in one body with each other out of a resin material.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は人体等物体から輻射
される赤外線を検知する小型の赤外線センサ素子を有す
る焦電型赤外線センサに関するものである。
The present invention relates to a pyroelectric infrared sensor having a small infrared sensor element for detecting infrared rays radiated from an object such as a human body.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、焦電型赤外線センサは人体検知セ
ンサ等として広く使用されている。
2. Description of the Related Art In recent years, pyroelectric infrared sensors have been widely used as human body detection sensors and the like.

【0003】図1は従来の焦電型赤外線センサを示す断
面図である。図1の焦電型赤外線センサは、センサ素子
1がセンサ素子支持体2により回路基板3に支持されて
いる構造である。センサ素子1の表裏面には表面電極と
裏面電極(共に不図示)が蒸着もしくはスパッタリング
により形成されている。センサ素子支持体2は導通材料
又は導通メッキ等により導通性を持たせてあり、センサ
素子1とセンサ素子支持体2と回路基板3は導電性接着
剤等により導通が確保されている。
FIG. 1 is a sectional view showing a conventional pyroelectric infrared sensor. The pyroelectric infrared sensor of FIG. 1 has a structure in which a sensor element 1 is supported on a circuit board 3 by a sensor element support 2. A front surface electrode and a back surface electrode (both not shown) are formed on the front and back surfaces of the sensor element 1 by vapor deposition or sputtering. The sensor element support 2 is made conductive by a conductive material or conductive plating, and the sensor element 1, the sensor element support 2 and the circuit board 3 are electrically connected by a conductive adhesive or the like.

【0004】4は赤外線フィルタであり、赤外線フィル
タ4を通過した一定の波長の赤外線がセンサ素子1に投
射されることにより、センサ素子1の焦電効果により赤
外線受光量に比例した電荷が発生し、この電荷によって
生じた電圧を回路基板3を通じ、ベース5に取り付けら
れたリード6から取り出す構造になっている。ベース5
とリード6はハーメチックシール等により絶縁されてい
る。尚、7はキャップである。
[0004] Reference numeral 4 denotes an infrared filter, which emits infrared light of a certain wavelength that has passed through the infrared filter 4 onto the sensor element 1, thereby generating a charge proportional to the amount of received infrared light due to the pyroelectric effect of the sensor element 1. The voltage generated by the charge is taken out from the lead 6 attached to the base 5 through the circuit board 3. Base 5
The leads 6 are insulated by a hermetic seal or the like. In addition, 7 is a cap.

【0005】図2は図1の焦電型赤外線センサのセンサ
素子支持部を示す図で、(a)は上面図、(b)は
(a)の正面図である。センサ素子支持体2は回路基板
3の所定の位置に固定され、前記センサ素子支持体2の
上面にはセンサ素子1が搭載される。センサ素子1はそ
の両端部をセンサ素子支持体2によって支持されてお
り、センサ素子1に設けられた裏面電極1bと導電性接
着剤を介して導通がとられる構造である。1aはセンサ
素子に設けられた表面電極である。
FIGS. 2A and 2B are views showing a sensor element supporting portion of the pyroelectric infrared sensor of FIG. 1, wherein FIG. 2A is a top view and FIG. 2B is a front view of FIG. The sensor element support 2 is fixed to a predetermined position on the circuit board 3, and the sensor element 1 is mounted on the upper surface of the sensor element support 2. The sensor element 1 has both ends supported by a sensor element support 2, and has a structure in which conduction is established via a conductive adhesive to a back electrode 1 b provided on the sensor element 1. 1a is a surface electrode provided on the sensor element.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】センサ素子支持体は、
通常、回路基板上に導電性接着剤又はハンダを使って固
定される。センサ素子支持体と回路基板の位置決めは、
専用の位置決め治具を用いて行っている。さらにセンサ
素子はそのセンサ素子支持体の上面に導電性接着剤を用
いて固着させている。しかしながら、別体であるセンサ
素子支持体とセンサ素子をそれぞれ固定した場合、例え
ば図3に示す様な回路基板3とセンサ素子支持体2の位
置ずれ、図4に示す様なセンサ素子支持体2とセンサ素
子1との位置ずれ等が発生しやすい。さらに、図示しな
いが図3と図4の複合的な位置ずれも発生する。そし
て、接着面積にバラツキが生じやすくなり、センサ素子
から支持台への熱拡散により製品間でバラツキが生じ
る。これは感度バラツキとして特性上の大きな問題点と
なる。また、この位置ずれによりフィルター窓とセンサ
素子の表面電極との位置ずれが生じ、視野角のバラツキ
として特性上問題となる。
SUMMARY OF THE INVENTION The sensor element support is
Usually, it is fixed on the circuit board using a conductive adhesive or solder. The positioning of the sensor element support and the circuit board
This is performed using a dedicated positioning jig. Further, the sensor element is fixed to the upper surface of the sensor element support using a conductive adhesive. However, when the sensor element support and the sensor element, which are separate bodies, are fixed respectively, for example, the positional displacement between the circuit board 3 and the sensor element support 2 as shown in FIG. 3, the sensor element support 2 as shown in FIG. And the sensor element 1 are likely to be misaligned. Further, although not shown, a composite displacement between FIGS. 3 and 4 also occurs. Then, the bonding area is likely to vary, and thermal diffusion from the sensor element to the support base causes variation between products. This is a significant problem in characteristics as a variation in sensitivity. In addition, the displacement causes a displacement between the filter window and the surface electrode of the sensor element, which causes a problem in characteristics as a variation in a viewing angle.

【0007】製造工程においては、センサ素子の評価を
量産時のインラインで行っている。この場合、センサ素
子、センサ素子支持体を回路基板と接合してから赤外線
を投射しなければならない。センサ素子評価において、
センサ素子の原因で不良になった場合には回路基板から
その都度取り外し、再生させなければならず大変面倒な
作業となっている。また、回路基板ごと不良扱いにしな
ければならない場合もある。これは部材費、工数の大き
なロスとなりコストアップの原因となっていた。上記問
題点に鑑み、センサ素子、センサ素子支持体、回路基板
の位置ずれにより生じる感度バラツキ等の問題を無く
し、特性の良い焦電型赤外線センサを得ようとするもで
ある。
[0007] In the manufacturing process, evaluation of the sensor element is performed in-line during mass production. In this case, infrared rays must be projected after the sensor element and the sensor element support are joined to the circuit board. In sensor element evaluation,
Each time a sensor element becomes defective, it must be removed from the circuit board and regenerated, which is a very troublesome operation. In some cases, the entire circuit board must be treated as defective. This results in a large loss of material costs and man-hours, leading to an increase in cost. In view of the above problems, an object is to provide a pyroelectric infrared sensor with good characteristics by eliminating problems such as sensitivity variations caused by displacement of a sensor element, a sensor element support, and a circuit board.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】少なくともセンサ素子と
センサ素子の両端をそれぞれ支持するセンサ素子支持体
と回路基板を備え、センサ素子をセンサ素子支持体を介
して回路基板に固定する焦電型赤外線センサにおいて、
前記センサ素子の両端をそれぞれ支持する支持体が樹脂
材料で一体形成されて成る焦電型赤外線センサとする。
According to the present invention, there is provided a pyroelectric infrared sensor comprising at least a sensor element and a sensor element support for supporting both ends of the sensor element, and a circuit board, wherein the sensor element is fixed to the circuit board via the sensor element support. In the sensor,
A pyroelectric infrared sensor in which supports for supporting both ends of the sensor element are integrally formed of a resin material.

【0009】前記一体形成されたセンサ素子支持体に、
前記センサ素子に形成された電極と回路基板との導通を
とるための電極パターンを金属メッキにより形成した焦
電型赤外線センサとする。
[0009] The sensor element support body integrally formed is:
A pyroelectric infrared sensor is provided in which an electrode pattern for establishing conduction between an electrode formed on the sensor element and a circuit board is formed by metal plating.

【0010】前記一体形成されたセンサ素子支持体に、
前記センサ素子に形成された電極と回路基板との導通を
とるための電極端子を樹脂内にインサートモールドして
形成した焦電型赤外線センサとする。
[0010] The integrally formed sensor element support includes:
The pyroelectric infrared sensor is formed by insert-molding an electrode terminal for conducting between the electrode formed on the sensor element and the circuit board in a resin.

【0011】前記一体形成されたセンサ素子支持体の底
面に少なくとも2つ以上の突起部を設け、前記回路基板
にはセンサ素子支持体の底面に設けられる突起部に対応
する挿入部を設け、センサ素子支持体に設けられた突起
部を前記回路基板に設けられた挿入部に挿入して位置決
め固定した焦電型赤外線センサとする。
[0011] At least two or more projections are provided on the bottom surface of the integrally formed sensor element support, and the circuit board is provided with an insertion portion corresponding to the projection provided on the bottom surface of the sensor element support. A pyroelectric infrared sensor in which a projection provided on the element support is inserted into an insertion portion provided on the circuit board and positioned and fixed.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】図5は本発明の第一実施形態を示
す焦電型赤外線センサのセンサ素子支持体を示す図であ
る。(a)は上面図で(b)は正面断面図である。
FIG. 5 is a view showing a sensor element support of a pyroelectric infrared sensor according to a first embodiment of the present invention. (A) is a top view and (b) is a front sectional view.

【0013】8はセンサ素子支持体であり、センサ素子
(不図示)を位置決め固定するための段差部8a、8b
を有している。前記センサ素子支持体8は樹脂材料によ
り一体形成してなるものである。9はパターンで、前記
センサ素子支持体8の段差部8a、8bからセンサ素子
支持体8の側面部にかけて形成されており、段差部8
a、8bに固定されるセンサ素子の電極と接続されて焦
電効果により発生した電荷により生じた電圧が外部へ取
り出されるものである。パターン9は例えば銅材料をメ
ッキによりパターニングして形成している。10はセン
サ素子支持体8の底面部に設けられる突起部で、後述す
る回路基板との位置決めに利用するものである。
Reference numeral 8 denotes a sensor element support, and step portions 8a and 8b for positioning and fixing a sensor element (not shown).
have. The sensor element support 8 is formed integrally with a resin material. Reference numeral 9 denotes a pattern which is formed from the steps 8a and 8b of the sensor element support 8 to the side surface of the sensor element support 8,
The voltage generated by the electric charge generated by the pyroelectric effect by being connected to the electrodes of the sensor element fixed to a and 8b is taken out. The pattern 9 is formed by patterning a copper material by plating, for example. Reference numeral 10 denotes a protrusion provided on the bottom surface of the sensor element support 8, which is used for positioning with a circuit board described later.

【0014】図6は本発明の第一実施形態を示す焦電型
赤外線センサの断面図である。11はセンサ素子で、セ
ンサ素子支持体8の段差部8a、8bに位置決め固定さ
れている。センサ素子支持体8は回路基板12に搭載さ
れるが、この時、回路基板12に設けられた挿入部12
aに支持体8の底面に設けられた突起部10を挿入する
ことにより正確な位置決めがされ、固定される。突起部
10は少なくとも2つ以上設けてあれば良く、挿入部は
貫通穴でも凹部でもよい。
FIG. 6 is a sectional view of a pyroelectric infrared sensor according to the first embodiment of the present invention. Reference numeral 11 denotes a sensor element which is positioned and fixed to the steps 8a and 8b of the sensor element support 8. The sensor element support 8 is mounted on the circuit board 12, and at this time, the insertion section 12 provided on the circuit board 12 is provided.
By inserting the protruding portion 10 provided on the bottom surface of the support 8 into a, accurate positioning and fixation are achieved. It is sufficient that at least two or more projections 10 are provided, and the insertion portion may be a through hole or a recess.

【0015】回路基板12に位置決め固定されたセンサ
素子支持体8はその表面に形成されたパターン9と回路
基板12に形成されたパターン12bが導電性接着剤1
2cを介して電気的接続が成され、焦電型赤外線センサ
が完成する。
The sensor element support 8 positioned and fixed on the circuit board 12 has a pattern 9 formed on the surface thereof and a pattern 12b formed on the circuit board 12 formed of the conductive adhesive 1.
Electrical connection is made via 2c, and the pyroelectric infrared sensor is completed.

【0016】図7は本発明の第二実施形態を示す焦電型
赤外線センサのセンサ素子支持体を示す図で、(a)は
上面図、(b)は正面断面図である。
FIGS. 7A and 7B show a sensor element support of a pyroelectric infrared sensor according to a second embodiment of the present invention. FIG. 7A is a top view and FIG. 7B is a front sectional view.

【0017】13はセンサ素子支持体であり、センサ素
子(不図示)を位置決め固定するための段差部13a、
13bを有している。前記センサ素子支持体13は樹脂
材料により一体形成してなるものである。14は金属製
の電極端子で、センサ素子支持体13を一体形成する際
にインサートモールドされている。前記電極端子14は
前記センサ素子支持体13のセンサ素子搭載部となる段
差部13a、13bからセンサ素子支持体13の側面部
にかけて形成されており、段差部13a、13bに搭載
されるセンサ素子の電極(不図示)と接続され、発生し
た電圧が外部へ取り出される。
Reference numeral 13 denotes a sensor element support, which is a step portion 13a for positioning and fixing a sensor element (not shown).
13b. The sensor element support 13 is formed integrally with a resin material. Reference numeral 14 denotes a metal electrode terminal, which is insert-molded when the sensor element support 13 is integrally formed. The electrode terminals 14 are formed from the step portions 13a and 13b serving as the sensor element mounting portions of the sensor element support 13 to the side surface portions of the sensor element support 13, and the electrode terminals 14 of the sensor elements mounted on the step portions 13a and 13b are formed. Connected to an electrode (not shown), the generated voltage is taken out.

【0018】センサ素子支持体13の段差部13a、1
3bにはセンサ素子(不図示)が位置決め固定される。
また、センサ素子支持体13には突起部15が設けられ
ており、第一実施形態同様、回路基板に設けられた挿入
部に突起部15を挿入することにより正確に位置決め固
定され、焦電型赤外線センサが完成する。
The steps 13a, 1a of the sensor element support 13
A sensor element (not shown) is positioned and fixed to 3b.
Further, the sensor element support 13 is provided with a protrusion 15, which is accurately positioned and fixed by inserting the protrusion 15 into an insertion portion provided on the circuit board, similarly to the first embodiment, and the pyroelectric type is provided. The infrared sensor is completed.

【0019】[0019]

【発明の効果】センサ素子支持体を一体形成し、センサ
素子を位置決め固定するための段差部を設けたのでセン
サ素子支持体とセンサ素子との位置決めが容易になり位
置ずれがなくなる。また、センサ素子支持体底面に突起
部を設け、回路基板側に設けた挿入部に挿入して位置決
め固定する構造としたので位置決めが容易になり回路基
板とセンサ素子支持体の位置ずれもなくなる。よって、
センサ素子とセンサ素子支持体の位置ずれから生じる熱
拡散の違いによる製品間のバラツキや、フィルター窓と
センサ素子表面電極との位置ずれがなくなり特性の良い
焦電型赤外線センサが得られる。
According to the present invention, the sensor element support is integrally formed, and a step portion for positioning and fixing the sensor element is provided. Therefore, the positioning between the sensor element support and the sensor element is facilitated and the displacement is eliminated. In addition, since a projection is provided on the bottom surface of the sensor element support and inserted into an insertion portion provided on the circuit board and is positioned and fixed, positioning is facilitated, and there is no displacement between the circuit board and the sensor element support. Therefore,
Variations between products due to differences in thermal diffusion caused by a displacement between the sensor element and the sensor element support, and a displacement between the filter window and the sensor element surface electrode are eliminated, and a pyroelectric infrared sensor with good characteristics can be obtained.

【0020】センサ素子、センサ素子支持体、回路基板
が正確に位置決めされるため、工数のロスを防ぐことが
できる。
Since the sensor element, the sensor element support, and the circuit board are accurately positioned, loss of man-hour can be prevented.

【0021】一体形成したセンサ素子支持体に金属メッ
キをパターニングするため、パターンの厚みを薄くでき
るので断面積を小さくでき、熱伝導が小さく(熱を逃げ
にくく)できる。また、MID技術により立体的なパタ
ーニングができるので設計の自由度が増す。
Since the metal plating is patterned on the integrally formed sensor element support, the thickness of the pattern can be reduced, so that the cross-sectional area can be reduced and the heat conduction can be reduced (the heat can hardly escape). In addition, since three-dimensional patterning can be performed by the MID technology, the degree of freedom in design increases.

【0022】電極端子をインサートモールドしてセンサ
素子支持体を形成することで、安価なセンサ素子支持体
が得られる。
By forming the sensor element support by insert molding the electrode terminals, an inexpensive sensor element support can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来の焦電型赤外線センサを示す断面図FIG. 1 is a cross-sectional view showing a conventional pyroelectric infrared sensor.

【図2】図1の焦電型赤外線センサのセンサ素子支持部
を示す図で、(a)は上面図、(b)は(a)の正面図
FIGS. 2A and 2B are diagrams showing a sensor element support portion of the pyroelectric infrared sensor of FIG. 1, wherein FIG. 2A is a top view and FIG. 2B is a front view of FIG.

【図3】回路基板とセンサ素子支持体の位置ずれを示す
FIG. 3 is a diagram showing a displacement between a circuit board and a sensor element support.

【図4】センサ支持支持体とセンサ素子との位置ずれを
示す図
FIG. 4 is a diagram showing a displacement between a sensor support and a sensor element.

【図5】本発明の第一実施形態を示す焦電型赤外線セン
サのセンサ素子支持体を示す図で、(a)は上面図、
(b)は(a)の正面図
5A and 5B are diagrams showing a sensor element support of the pyroelectric infrared sensor according to the first embodiment of the present invention, wherein FIG.
(B) is a front view of (a).

【図6】本発明の第一実施形態を示す焦電型赤外線セン
サの断面図
FIG. 6 is a cross-sectional view of a pyroelectric infrared sensor according to the first embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第二実施形態を示す焦電型赤外線セン
サのセンサ素子支持体を示す図で、(a)は上面図、
(b)は(a)の正面図
FIGS. 7A and 7B are views showing a sensor element support of a pyroelectric infrared sensor according to a second embodiment of the present invention, wherein FIG.
(B) is a front view of (a).

【符号の説明】 1 センサ素子 1a 表面電極 1b 裏面電極 2 センサ素子支持体 3 回路基板 4 赤外線フィルタ 5 ベース 6 リード 7 キャップ 8 センサ素子支持体 8a 段差部 8b 段差部 9 電極パターン 10 突起部 11 センサ素子 12 回路基板 12a 挿入部 12b パターン 12c 導電性接着剤 13 センサ素子支持体 14 電極端子 15 突起部DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS 1 sensor element 1a front electrode 1b back electrode 2 sensor element support 3 circuit board 4 infrared filter 5 base 6 lead 7 cap 8 sensor element support 8a step 8b step 9 electrode pattern 10 protrusion 11 sensor Element 12 Circuit board 12a Insertion section 12b Pattern 12c Conductive adhesive 13 Sensor element support 14 Electrode terminal 15 Projection

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくともセンサ素子とセンサ素子の両
端をそれぞれ支持するセンサ素子支持体と回路基板を備
え、センサ素子をセンサ素子支持体を介して回路基板に
固定する焦電型赤外線センサにおいて、前記センサ素子
の両端をそれぞれ支持する支持体が樹脂材料で一体形成
されて成ることを特徴とする焦電型赤外線センサ。
1. A pyroelectric infrared sensor comprising a sensor element and a circuit board for supporting at least both ends of the sensor element and the sensor element, wherein the sensor element is fixed to the circuit board via the sensor element support. A pyroelectric infrared sensor, wherein support members for supporting both ends of the sensor element are formed integrally with a resin material.
【請求項2】 前記一体形成されたセンサ素子支持体
に、前記センサ素子に形成された電極と回路基板との導
通をとるための電極パターンを金属メッキにより形成し
たことを特徴とする請求項1記載の焦電型赤外線セン
サ。
2. An electrode pattern for establishing electrical connection between an electrode formed on the sensor element and a circuit board is formed on the integrally formed sensor element support body by metal plating. The pyroelectric infrared sensor as described in the above.
【請求項3】 前記一体形成されたセンサ素子支持体
に、前記センサ素子に形成された電極と回路基板との導
通をとるための電極端子を樹脂内にインサートモールド
して形成したことを特徴とする請求項1記載の焦電型赤
外線センサ。
3. An electrode terminal for establishing conduction between an electrode formed on the sensor element and a circuit board is insert-molded in a resin on the integrally formed sensor element support. The pyroelectric infrared sensor according to claim 1.
【請求項4】 前記一体形成されたセンサ素子支持体の
底面に少なくとも2つ以上の突起部を設け、前記回路基
板にはセンサ素子支持体の底面に設けられる突起部に対
応する挿入部を設け、センサ素子支持体に設けられた突
起部を前記回路基板に設けられた挿入部に挿入して位置
決め固定したことを特徴とする請求項1、2又は3記載
の焦電型赤外線センサ。
4. At least two or more projections are provided on the bottom surface of the integrally formed sensor element support, and an insertion portion corresponding to the projection provided on the bottom surface of the sensor element support is provided on the circuit board. 4. The pyroelectric infrared sensor according to claim 1, wherein a protrusion provided on the sensor element support is inserted into an insertion portion provided on the circuit board and is positioned and fixed.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012013584A (en) * 2010-07-02 2012-01-19 Nec Tokin Corp Pyroelectric infrared sensor
JP2022502837A (en) * 2018-10-10 2022-01-11 ヒュモット カンパニー リミテッド Bulk type thermoelectric element manufacturing method

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012013584A (en) * 2010-07-02 2012-01-19 Nec Tokin Corp Pyroelectric infrared sensor
JP2022502837A (en) * 2018-10-10 2022-01-11 ヒュモット カンパニー リミテッド Bulk type thermoelectric element manufacturing method
JP7158077B2 (en) 2018-10-10 2022-10-21 ヒュモット カンパニー リミテッド Bulk-type thermoelectric element manufacturing method

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