JP2001253042A - Mask device for printing cream solder and method for printing cream solder - Google Patents

Mask device for printing cream solder and method for printing cream solder

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JP2001253042A
JP2001253042A JP2000065989A JP2000065989A JP2001253042A JP 2001253042 A JP2001253042 A JP 2001253042A JP 2000065989 A JP2000065989 A JP 2000065989A JP 2000065989 A JP2000065989 A JP 2000065989A JP 2001253042 A JP2001253042 A JP 2001253042A
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JP
Japan
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mask plate
mask
substrate
cream solder
plate
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Application number
JP2000065989A
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Japanese (ja)
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Tomio Shimizu
富夫 清水
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve a printing deviation of a cream solder due to elongation and contraction of a base plate. SOLUTION: A mask device 40 comprises a mask plate 50, a frame 60 and a tensile force variably giving means 70. In this case, the means 70 couples the plate 50 to the frame 60 and gives a tensile force to the plate 50. The plate 50 is variably elongated or contracted by the means 70 to adapt itself to a deformation of the base plate.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はプリント配線板(以
下、基板と呼ぶ)のランド上にクリームはんだ印刷(塗
布とも呼ばれる)して電子部品を実装する、いわゆる高
密度実装技術の分野において、特に、基板の伸縮に対し
て、位置ずれを生じることなく、クリームはんだを印刷
するための技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a so-called high-density mounting technique in which electronic components are mounted on a land of a printed wiring board (hereinafter, referred to as a substrate) by cream solder printing (also referred to as coating). In addition, the present invention relates to a technique for printing cream solder without causing a positional shift with respect to expansion and contraction of a substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子部品を基板に実装するための工程と
して、主に、クリームはんだを基板上に印刷する印刷工
程と、印刷したクリームはんだ上に電子部品を搭載する
部品搭載工程と、リフロー装置(リフロー炉)によりは
んだを溶融し凝固するリフロー工程がある。
2. Description of the Related Art As a process for mounting an electronic component on a substrate, a printing process for printing cream solder on the substrate, a component mounting process for mounting the electronic component on the printed cream solder, and a reflow device There is a reflow step in which the solder is melted and solidified by a (reflow furnace).

【0003】クリームはんだの印刷工程では、一般に、
印刷用マスクプレートとスキージを用いて、基板にクリ
ームはんだを印刷することが行われる。マスクプレート
には、基板上の各クリームはんだ印刷対象部位(ランド
など)に対応して、多くの貫通孔が形成されている。基
板にマスクプレートを重ね、スキージによりクリームは
んだを貫通孔に充填し、基板からマスクプレートを離す
ことにより、貫通孔内のクリームはんだが基板上に転写
されて、クリームはんだが印刷される。
In the printing process of cream solder, generally,
Using a printing mask plate and a squeegee, cream solder is printed on a substrate. A large number of through holes are formed in the mask plate corresponding to each cream solder printing target portion (land or the like) on the substrate. The mask plate is placed on the substrate, the cream solder is filled in the through hole with a squeegee, and the mask plate is separated from the substrate, whereby the cream solder in the through hole is transferred onto the substrate, and the cream solder is printed.

【0004】基板の基材には一般にガラスエポキシ樹脂
材料が用いられ、ポリイミドやポリアミド等の他の樹脂
材料が用いられることもある。
[0004] A glass epoxy resin material is generally used for the substrate of the substrate, and other resin materials such as polyimide and polyamide are sometimes used.

【0005】基板の表面には、マスクプレートの位置合
わせ用に、2〜4個のターゲットマークが形成される。
[0005] Two to four target marks are formed on the surface of the substrate for positioning the mask plate.

【0006】マスクプレートには一般にステンレス(S
US)材料の薄板が用いられ、印刷対象基板の設計寸法
に従って貫通孔が形成される。
[0006] Generally, stainless steel (S
A thin plate of US) material is used, and through holes are formed according to the design dimensions of the substrate to be printed.

【0007】マスクプレートは、基板上のターゲットマ
ークに、マスクプレートに形成した2〜4個のターゲッ
トマーク、あるいは、マスクプレートの2〜4個所の角
部を合わせて、基板に重ねられる。
The mask plate is overlaid on the substrate such that two to four target marks formed on the mask plate or two to four corners of the mask plate are aligned with target marks on the substrate.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、実際の印刷工
程では、基板の変形により、クリームはんだが基板上の
ランドからずれて印刷されるという「印刷ずれ」が発生
している。
However, in an actual printing process, a "print shift" occurs in which the cream solder is printed while being shifted from a land on the board due to deformation of the board.

【0009】これは、基板は、印刷工程前に受ける以下
に例示するような熱履歴により変形しているのに対し、
マスクプレートは変形せず一定寸法であるためであり、
変形した基板上の1つのターゲットマークにマスクプレ
ートを合わせても、他のターゲットマークには合わなく
なる。なお、基板の変形には伸長が多いが、収縮もあ
る。 (1) 基板の製造段階で、熱を加えたプレスや、導体箔の
エッチングにより、熱を受け、これにより変形し設計寸
法からずれる。 (2) 基板の両面に電子部品を実装する場合は、第1面に
てクリームはんだ印刷、部品搭載及びリフロー処理を行
った後、第2面にクリームはんだを印刷するので、第1
面でのリフロー処理により熱を受け、これにより更に変
形する。
[0009] This is because the substrate is deformed due to the thermal history received before the printing process as exemplified below,
This is because the mask plate has a fixed size without deformation.
Even if the mask plate is aligned with one target mark on the deformed substrate, it will not be aligned with another target mark. In addition, the deformation of the substrate includes many elongations, but also includes shrinkage. (1) During the manufacturing process of the board, the board is heated by the press or the etching of the conductive foil. (2) When mounting electronic components on both sides of the board, cream solder printing, component mounting and reflow processing are performed on the first surface, and then cream solder is printed on the second surface.
The surface receives heat due to the reflow process, which causes further deformation.

【0010】クリームはんだの印刷ずれがあると、部品
搭載時に、印刷されたクリームはんだの上に載らない電
子部品があり、部品の搭載精度が低下する。
[0010] If there is a misregistration of the cream solder, some electronic components may not be placed on the printed cream solder when the components are mounted, and the mounting accuracy of the components may be reduced.

【0011】部品搭載精度が低下すると、リフロー後
に、部品立ち(チップ部品が立った状態で一端のみがは
んだ付けされること)、部品のずれ、欠品(部品がクリ
ームはんだに接着されず、基板から落ちるなど、はんだ
付けされないこと)、はんだブリッジ、及び、足浮き等
の、実装不良が生じる。
[0011] When the component mounting accuracy is reduced, after reflow, the component is erected (only one end is soldered while the chip component is standing), the component is misaligned, or the component is missing (the component is not adhered to the cream solder, and Mounting failures, such as falling off from the solder), solder bridges, and floating feet.

【0012】そこで、本発明は、クリームはんだの印刷
ずれを改善することが可能な、クリームはんだ印刷用マ
スク装置及びクリームはんだ印刷方法を提供することを
課題とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a cream solder printing mask device and a cream solder printing method capable of improving cream solder printing misalignment.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
上記課題を解決するクリームはんだ印刷用マスク装置で
あり、印刷対象の基板に対応するクリームはんだ印刷用
マスクプレートと、枠体と、前記マスクプレートと前記
枠体とを連結すると共に該マスクプレートに引張力を可
変に付与する引張力可変付与手段を具備することを特徴
とする。請求項2に係る発明は、請求項1に係る発明の
マスク装置において、前記マスクプレートは(1)SUS(ス
テンレス)材等の金属材料、 (2)ポリ塩化ビニルやポリ
エチレン、ポリイミド、ポリアミド等の樹脂材料、及び
(3)ポリウレタン等のゴム系弾性材料のうち、いづれか
の材料で形成されていることを特徴とするものである。
請求項3に係る発明は、請求項1に係る発明のマスク装
置において、前記マスクプレートは前記基板が含む基材
と同じ材料で形成されていることを特徴とするものであ
る。請求項4に係る発明は、請求項1に係る発明のマス
ク装置において、前記マスクプレートは前記基板の設計
寸法に対して縮小して作製され、その変化率は、同基板
に予想される縮み方向の最大変化率よりも大きいことを
特徴とするものである。請求項5に係る発明は、請求項
1に係る発明のマスク装置において、前記引張力可変付
与手段として、前記マスクプレートの隣接2辺と前記枠
体の隣接2辺をそれぞれ連結する第1、第2の連結部材
と、前記マスクプレートの他の隣接2辺にそれぞれ一端
部が固定された第3、第4の連結部材と、前記枠体の他
の隣接2辺にそれぞれ設けられ、第3、第4の連結部材
の他端部を移動量可変に引っ張る第1、第2の可変引張
手段を具備することを特徴とするものである。請求項6
に係る発明は、請求項5に係る発明のマスク装置におい
て、第1の可変引張手段として、前記枠体に回転可能に
設けられ、第3の連結部材の他端部が固定され、同第3
の連結部材を巻き取る第1の巻取ローラと、この第1の
巻取ローラを回転駆動する第1のアクチュエータを具備
し、第2の可変引張手段として、前記枠体に回転可能に
設けられ、第4の連結部材の他端部が固定され、同第4
の連結部材を巻とる第2の巻取ローラと、この第2の巻
取ローラを回転駆動する第2のアクチュエータを具備す
ることを特徴とするものである。請求項7に係る発明
は、請求項5に係る発明のマスク装置において、第1の
可変引張手段として、前記枠体に移動可能に設けられ、
第3の連結部材の他端部が固定された第1のスライダ
と、この第1のスライダを移動させる第1のアクチュエ
ータを具備し、第2の可変引張手段として、前記枠体に
移動可能に設けられ、第4の連結部材の他端部が固定さ
れた第2のスライダと、この第2のスライダを移動させ
る第2のアクチュエータを具備することを特徴とするも
のである。
The invention according to claim 1 is
A mask device for cream solder printing which solves the above-mentioned problem, comprising: a mask plate for cream solder printing corresponding to a substrate to be printed; a frame; connecting the mask plate and the frame, and pulling the mask plate. It is characterized by comprising a variable tension applying means for variably applying a force. The invention according to claim 2 is the mask device according to claim 1, wherein the mask plate is made of a metal material such as (1) a SUS (stainless steel) material, or (2) a polyvinyl chloride, polyethylene, polyimide, polyamide, or the like. Resin material, and
(3) It is characterized by being formed of any one of rubber-based elastic materials such as polyurethane.
According to a third aspect of the present invention, in the mask device of the first aspect, the mask plate is formed of the same material as a base material included in the substrate. According to a fourth aspect of the present invention, in the mask device according to the first aspect of the present invention, the mask plate is manufactured to be reduced with respect to a design dimension of the substrate, and a change rate of the mask plate is estimated in a shrinking direction expected for the substrate. Is larger than the maximum rate of change. According to a fifth aspect of the present invention, in the mask device of the first aspect of the present invention, the first and second side connecting the adjacent two sides of the mask plate and the adjacent two sides of the frame body as the tensile force variable applying means, respectively. A second connecting member, third and fourth connecting members having one ends fixed to the other two adjacent sides of the mask plate, and third and fourth connecting members provided at the other two adjacent sides of the frame, respectively. It is characterized by comprising first and second variable tension means for variably moving the other end of the fourth connecting member. Claim 6
In the mask device according to the fifth aspect of the present invention, the first variable tension means is rotatably provided on the frame, and the other end of the third connecting member is fixed.
A first winding roller for winding the connecting member, and a first actuator for driving the first winding roller to rotate. The second actuator is rotatably provided on the frame as second variable tension means. , The other end of the fourth connecting member is fixed,
And a second actuator that drives the second winding roller to rotate. The invention according to claim 7 is the mask device according to claim 5, wherein the first variable tension means is movably provided on the frame.
A first slider to which the other end of the third connecting member is fixed, and a first actuator for moving the first slider, wherein the first slider is movable to the frame as second variable tension means. It is provided with a second slider provided and the other end of the fourth connecting member is fixed, and a second actuator for moving the second slider.

【0014】請求項8に係る発明は、上記課題を解決す
る他のクリームはんだ印刷用マスク装置であり、印刷対
象の基板に対応するクリームはんだ印刷用マスクプレー
トと、枠体と、前記マスクプレートと前記枠体とを連結
すると共に該マスクプレートに圧縮力を可変に付与する
圧縮力可変付与手段を具備することを特徴とする。請求
項9に係る発明は、請求項8に係る発明のマスク装置に
おいて、前記マスクプレートは(1)SUS(ステンレス)材
等の金属材料、 (2)ポリ塩化ビニルやポリエチレン、ポ
リイミド、ポリアミド等の樹脂材料、及び (3)ポリウレ
タン等のゴム系弾性材料のうち、いづれかの材料で形成
されていることを特徴とするものである。請求項10に
係る発明は、請求項8に係る発明のマスク装置におい
て、前記マスクプレートは前記基板が含む基材と同じ材
料で形成されていることを特徴とするものである。請求
項11に係る発明は、請求項8に係る発明のマスク装置
において、前記マスクプレートは前記基板の設計寸法に
対して拡大して作成され、その変化率は、同基板に予想
される伸び方向の最大変化率よりも大きいことを特徴と
するものである。請求項12に係る発明は、請求項8に
係る発明のマスク装置において、前記圧縮力可変付与手
段として、前記マスクプレートの隣接2辺と前記枠体の
隣接2辺をそれぞれ連結する第1、第2の連結手段と、
前記マスクプレートの他の隣接2辺にそれぞれ一端部が
固定された第3、第4の連結部材と、前記枠体の他の隣
接2辺にそれぞれ設けられ、第3、第4の連結部材の他
端部を移動量可変に押圧する第1、第2の可変圧縮手段
を具備することを特徴とするものである。請求項13に
係る発明は、請求項12に係る発明のマスク装置におい
て、第1の可変圧縮手段として、前記枠体に移動可能に
設けられ、第3の連結部材の他端部が固定された第1の
スライダと、この第1のスライダを移動させる第1のア
クチュエータを具備し、第2の可変圧縮手段として、前
記枠体に移動可能に設けられ、第4の連結部材の他端部
が固定された第2のスライダと、この第2のスライダを
移動させる第2のアクチュエータを具備することを特徴
とするものである。
The invention according to claim 8 is another mask device for cream solder printing which solves the above-mentioned problem, wherein the mask plate for cream solder printing corresponding to a substrate to be printed, a frame, and the mask plate are provided. It is characterized by comprising a compression force variable applying means for connecting the frame and the mask plate to variably apply a compression force to the mask plate. According to a ninth aspect of the present invention, in the mask apparatus according to the eighth aspect, the mask plate is made of a metal material such as (1) a SUS (stainless steel) material, or (2) a polyvinyl chloride, polyethylene, polyimide, polyamide, or the like. It is characterized by being formed of any one of a resin material and (3) a rubber-based elastic material such as polyurethane. According to a tenth aspect of the present invention, in the mask device of the eighth aspect, the mask plate is formed of the same material as a base material included in the substrate. According to an eleventh aspect of the present invention, in the mask apparatus according to the eighth aspect, the mask plate is formed so as to be enlarged with respect to a design dimension of the substrate, and a change rate of the mask plate is estimated in an elongation direction expected for the substrate. Is larger than the maximum rate of change. According to a twelfth aspect of the present invention, in the mask device according to the eighth aspect, the first and second sides of the mask plate connecting the two adjacent sides of the mask plate and the two adjacent sides of the frame body as the variable compressive force applying means. 2 connecting means;
Third and fourth connecting members, one ends of which are fixed to the other two adjacent sides of the mask plate, and the third and fourth connecting members provided on the other two adjacent sides of the frame, respectively. It is characterized by comprising first and second variable compression means for pressing the other end variably. According to a thirteenth aspect of the present invention, in the mask device of the twelfth aspect, the first variable compression means is movably provided on the frame, and the other end of the third connecting member is fixed. A first slider and a first actuator for moving the first slider are provided. The second slider is movably provided on the frame as second variable compression means. It is characterized by including a fixed second slider and a second actuator for moving the second slider.

【0015】請求項14に係る発明は、上記課題を解決
するクリームはんだ印刷方法であり、マスクプレートに
より基板にクリームはんだを印刷する方法において、前
記マスクプレートの位置合わせ用に前記基板に設けられ
たターゲットマーク間の寸法を実測し、このターゲット
マーク間実測寸法に実質的に一致するように前記マスク
プレートを変形させ、この変形したマスクプレートを用
いてクリームはんだを印刷することを特徴とする。
According to a fourteenth aspect of the present invention, there is provided a cream solder printing method for solving the above-mentioned problems. In the method of printing cream solder on a substrate using a mask plate, the method is provided on the substrate for positioning the mask plate. The size between the target marks is measured, the mask plate is deformed so as to substantially match the measured size between the target marks, and cream solder is printed using the deformed mask plate.

【0016】請求項15に係る発明は、請求項14に係
る発明のクリームはんだ印刷方法において、前記マスク
プレートとして請求項1から7いずれかに係る発明のマ
スク装置を用い、同マスク装置の引張力可変付与手段に
よりマスクプレートを変形させることを特徴とするもの
である。請求項16に係る発明は、請求項14に係る発
明のクリームはんだ印刷方法において、前記マスクプレ
ートとして請求項8から13いずれかに係る発明のマス
ク装置を用い、同マスク装置の圧縮力可変付与手段によ
りマスクプレートを変形させることを特徴とするもので
ある。請求項17に係る発明は、請求項14から16い
ずれかに係る発明のクリームはんだ印刷方法において、
前記変形したマスクプレートの寸法を実測し、このマス
クプレート実測寸法と前記ターゲットマーク間実測寸法
との差がなくなるように、前記マスクプレートを変形さ
せることを特徴とするものである。
According to a fifteenth aspect, in the cream solder printing method according to the fourteenth aspect, the mask device according to any one of the first to seventh aspects is used as the mask plate, and the tensile force of the mask device is used. The mask plate is deformed by the variable applying means. According to a sixteenth aspect of the present invention, in the cream solder printing method according to the fourteenth aspect, the mask device according to any one of the eighth to thirteenth aspects is used as the mask plate, and the compressive force variable imparting means of the mask device is provided. The mask plate is deformed by the method. The invention according to claim 17 is the cream solder printing method according to any one of claims 14 to 16,
The dimensions of the deformed mask plate are measured, and the mask plate is deformed so as to eliminate the difference between the measured dimension of the mask plate and the measured dimension between the target marks.

【0017】請求項18に係る発明は、請求項14に係
る発明のクリームはんだ印刷方法において、前記ターゲ
ットマーク間実測寸法に応じて前記マスクプレートを加
熱により変形させることを特徴とするものである。請求
項19に係る発明は、請求項14に係る発明のクリーム
はんだ印刷方法において、前記ターゲットマーク間実測
寸法に応じて前記マスクプレートを冷却により変形させ
ることを特徴とするものである。請求項20に係る発明
は、請求項14に係る発明のクリームはんだ印刷方法に
おいて、クリームはんだ印刷の作業環境よりも高い温度
の高温蓄熱槽と低い温度の低温蓄熱槽を用い、前記ター
ゲットマーク間実測寸法に基づいていずれか1つの蓄熱
槽を選択し、この選択した蓄熱槽に前記マスクプレート
を入れることにより、前記マスクプレートを変形させる
ことを特徴とするものである。請求項21に係る発明
は、請求項20に係る発明のクリームはんだ印刷方法に
おいて、前記マスクプレートを蓄熱槽に入れておく時間
を、前記ターゲットマーク間実測寸法に基づいて設定す
ることを特徴とするものである。請求項22に係る発明
は、請求項20に係る発明のクリームはんだ印刷方法に
おいて、前記高温蓄熱槽及び低温蓄熱槽として、それぞ
れ、互いに温度が異なる蓄熱槽を複数用いることを特徴
とするものである。
The invention according to claim 18 is the cream solder printing method according to claim 14, wherein the mask plate is deformed by heating according to the measured size between the target marks. According to a nineteenth aspect of the present invention, in the cream solder printing method according to the fourteenth aspect, the mask plate is deformed by cooling according to the measured size between the target marks. According to a twentieth aspect of the present invention, in the cream solder printing method according to the fourteenth aspect, the measurement between the target marks is performed by using a high-temperature heat storage tank having a higher temperature and a low-temperature heat storage tank having a lower temperature than the work environment of the cream solder printing. One of the heat storage tanks is selected based on the dimensions, and the mask plate is inserted into the selected heat storage tank to deform the mask plate. According to a twenty-first aspect of the present invention, in the cream solder printing method according to the twentieth aspect, a time for keeping the mask plate in the heat storage tank is set based on the measured dimension between the target marks. Things. The invention according to claim 22 is the cream solder printing method according to claim 20, wherein a plurality of heat storage tanks having different temperatures are used as the high-temperature heat storage tank and the low-temperature heat storage tank, respectively. .

【0018】請求項23に係る発明は、上記課題を解決
する他のクリームはんだ印刷方法であり、マスクプレー
トにより基板にクリームはんだを印刷する方法におい
て、前記マスクプレートとして、前記基板が含む基材と
同じ材料で作成され、かつ、前記基板と同じ熱履歴が与
えられたマスクプレートを用いることを特徴とするもの
である。
According to a twenty-third aspect of the present invention, there is provided another cream solder printing method for solving the above-mentioned problems. In the method of printing cream solder on a substrate by using a mask plate, the base material contained in the substrate may be used as the mask plate. A mask plate made of the same material and given the same thermal history as the substrate is used.

【0019】請求項24に係る発明は、上記課題を解決
する更に他のクリームはんだ印刷方法であり、マスクプ
レートにより基板にクリームはんだを印刷する方法にお
いて、前記基板の設計寸法に対し僅かにずれ、かつ、互
いに異なる寸法で作成した複数のマスクプレートを用意
しておき、前記マスクプレートの位置合わせ用に前記基
板に設けられたターゲットマーク間の寸法を実測し、こ
のターゲットマーク間実測寸法に応じて前記複数のマス
クプレートから1つを選択し、この選択したマスクプレ
ートを用いてクリームはんだを印刷することを特徴とす
るものである。
According to a twenty-fourth aspect of the present invention, there is provided another cream solder printing method for solving the above-mentioned problems. In the method of printing cream solder on a substrate using a mask plate, the method is slightly shifted from a design dimension of the substrate. In addition, a plurality of mask plates prepared with different sizes from each other are prepared, and dimensions between target marks provided on the substrate for alignment of the mask plates are measured, and according to the measured dimensions between the target marks. One of the plurality of mask plates is selected, and cream solder is printed using the selected mask plate.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて、本発明の
実施形態例を説明する。図1はクリームはんだ印刷の概
略と、マスク装置の外観を示す図、図2は引張力可変付
与手段を有するマスク装置の構成例を示す平面図、図3
は寸法実測の例を説明する図、図4は引張力可変付与手
段を有するマスク装置の他の構成例を示す平面図、図5
は圧縮力可変付与手段を有するマスク装置の構成例を示
す平面図、図6は温度でマスクプレートを変形する例を
示す図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing an outline of cream solder printing and an external view of a mask device. FIG. 2 is a plan view showing an example of the configuration of a mask device having a variable tensile force applying means.
FIG. 4 is a view for explaining an example of actual measurement of a dimension, FIG. 4 is a plan view showing another configuration example of a mask device having a variable tensile force applying means, and FIG.
Is a plan view showing a configuration example of a mask device having a variable compression force applying means, and FIG. 6 is a view showing an example in which a mask plate is deformed by temperature.

【0021】[第1実施形態例]図1〜図3を参照し
て、本発明の第1実施形態例を説明する。本例では、図
1に示すように、印刷対象の基板10にクリームはんだ
20を、スキージ30と、マスク装置40を用いて印刷
する。このマスク装置40はマスクプレート50、枠体
60及び引張力可変付与手段70を有するものである。
[First Embodiment] A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In this example, as shown in FIG. 1, cream solder 20 is printed on a substrate 10 to be printed using a squeegee 30 and a mask device 40. The mask device 40 includes a mask plate 50, a frame body 60, and a variable tensile force applying means 70.

【0022】基板10の部品搭載面には、図3に示すよ
うに、マスクプレート50の位置合わせ用に4つのター
ゲットマーク11、12、13、14を形成してある。
As shown in FIG. 3, four target marks 11, 12, 13, and 14 for positioning the mask plate 50 are formed on the component mounting surface of the substrate 10.

【0023】マスクプレート50には、基板10の印刷
対象部位(ランド)に対応して多くの貫通孔を形成して
ある。マスクプレート50の外形は基板10の外形より
大きくても小さくても良いが、本例では小さくし、ま
た、矩形(長方形又は正方形)に形成してある。
The mask plate 50 has a large number of through holes corresponding to the print target portions (lands) of the substrate 10. The outer shape of the mask plate 50 may be larger or smaller than the outer shape of the substrate 10, but in this example, it is made smaller and is formed in a rectangular shape (rectangle or square).

【0024】また、マスクプレート50には、基板10
のターゲットマーク11、12、13、14に対応させ
て、図2に示すように、基板10との位置合わせ用に4
つのターゲットマーク51、52、53、54を形成し
てある。
The mask plate 50 has a substrate 10
As shown in FIG. 2, four target marks 11, 12, 13, and 14 are used for alignment with the substrate 10.
One target mark 51, 52, 53, 54 is formed.

【0025】基板10の変形は通常、伸び方向の場合が
多いので、基板10の設計寸法に従ってマスクプレート
50を作製しておけば、多くの場合、マスクプレート5
0を伸長して基板10の変形に合わせることができる。
Since the deformation of the substrate 10 is usually in the elongation direction in many cases, if the mask plate 50 is manufactured according to the design dimensions of the substrate 10, the mask plate 5
0 can be extended to match the deformation of the substrate 10.

【0026】ただし、本例では、基板10には製造誤差
も含め、縮み方向の変形があることも考慮して、マスク
プレート50は基板10の設計寸法に対して縮小して作
製してある。このとき、変化率は、基板10に予想され
る縮み方向の最大変化率よりも大きくしてある。
However, in the present embodiment, the mask plate 50 is made smaller than the design size of the substrate 10 in consideration of the deformation of the substrate 10 in the shrinking direction including the manufacturing error. At this time, the rate of change is greater than the maximum rate of change in the shrinkage direction expected for the substrate 10.

【0027】マスクプレート50は薄く、その材料は、
通常用いられている SUS(ステンレス)材等の金属材料
でも良いが、引っ張りにより変形を与えることから、基
板が含む基材と同じ材料、あるいは、ポリ塩化ビニルや
ポリエチレン、ポリイミド、ポリアミド等の樹脂材料、
あるいは、ポリウレタン等のゴム系弾性材料で形成する
ことが可能である。
The mask plate 50 is thin, and its material is
A metal material such as SUS (stainless steel) that is usually used may be used, but since it is deformed by tension, the same material as the base material included in the substrate, or a resin material such as polyvinyl chloride, polyethylene, polyimide, polyamide, etc. ,
Alternatively, it can be formed of a rubber-based elastic material such as polyurethane.

【0028】枠体60には基板10及びマスクプレート
50の外形より大きい開口部61を形成してある。本例
では、枠体60の内形も外形も矩形にしてある。
The frame body 60 has an opening 61 larger than the outer shapes of the substrate 10 and the mask plate 50. In this example, both the inner shape and the outer shape of the frame body 60 are rectangular.

【0029】引張力可変付与手段70はマスクプレート
50と枠体60を連結すると共に、マスクプレート50
に引張力を可変に付与するものであり、以下に、図2を
参照してその構造例を説明する。
The variable tensile force applying means 70 connects the mask plate 50 and the frame 60, and
, And a structural example thereof will be described below with reference to FIG.

【0030】図2において、引張力可変付与手段70は
4つの連結部材71、72、73、74と、2つの巻取
ローラ75、76と、2つのモータ(例えば、ステッピ
ングモータ)77、78と、減速用の4つのギヤ79、
80、81、82を備えたものである。
In FIG. 2, the variable pulling force applying means 70 includes four connecting members 71, 72, 73, 74, two winding rollers 75, 76, and two motors (for example, stepping motors) 77, 78. , Four gears 79 for reduction,
80, 81, and 82.

【0031】4つの連結部材71、72、73、74は
それぞれ連結板71a、72a、73a、74a及び接
着材71b、72b、73b、74bからなる。そのう
ち、2つの連結板71a、73aは図中のX方向に沿っ
て配置され、これに直交するY方向に沿って、他の2つ
の連結板72a、74aが配置される。
The four connecting members 71, 72, 73, 74 are respectively composed of connecting plates 71a, 72a, 73a, 74a and adhesives 71b, 72b, 73b, 74b. The two connecting plates 71a and 73a are arranged along the X direction in the figure, and the other two connecting plates 72a and 74a are arranged along the Y direction orthogonal to the two connecting plates.

【0032】2つの連結部材71、72はマスクプレー
ト50の隣接する直交2辺と枠体60の隣接する直交2
辺をそれぞれ連結する。このとき、連結板71aはマス
クプレート50及び枠体60に対し直角にし、両端部を
それらに接着材71bで貼り付け固定してある。連結板
72aは連結板71aに対して直角にし、両端部をマス
クプレート50及び枠体60に接着材72bで貼り付け
固定してある。
The two connecting members 71 and 72 are connected to two adjacent orthogonal sides of the mask plate 50 and the adjacent orthogonal two sides of the frame 60.
Connect the sides. At this time, the connecting plate 71a is perpendicular to the mask plate 50 and the frame body 60, and both ends are adhered and fixed to them with an adhesive 71b. The connecting plate 72a is perpendicular to the connecting plate 71a, and both ends are fixed to the mask plate 50 and the frame 60 with an adhesive 72b.

【0033】他の2つの連結部材73、74はマスクプ
レート50の他の隣接する直交2辺と2つの巻取ローラ
75、76をそれぞれ連結する。このとき、2つの巻取
ローラ75、76は枠体60の他の隣接する直交2辺上
にそれぞれ適宜な軸受手段により回転可能に、かつ互い
に直交して設置してある。また、連結板73aは連結板
71aと平行であり、マスクプレート50及び巻取ロー
ラ75に対し直角にし、両端部をそれらに接着材73b
で貼り付け固定してある。連結板74aは連結板73a
に対して直角にし、両端部をマスクプレート50及び巻
取ローラ76に接着材74bで貼り付け固定してある。
The other two connecting members 73 and 74 connect the two adjacent orthogonal sides of the mask plate 50 and the two winding rollers 75 and 76, respectively. At this time, the two take-up rollers 75, 76 are rotatably mounted on other adjacent two orthogonal sides of the frame body 60 by appropriate bearing means, and are orthogonal to each other. Also, the connecting plate 73a is parallel to the connecting plate 71a, is perpendicular to the mask plate 50 and the take-up roller 75, and has both ends attached to the adhesive 73b.
It is pasted and fixed. The connecting plate 74a is connected to the connecting plate 73a.
, And both ends are adhered and fixed to the mask plate 50 and the take-up roller 76 with an adhesive 74b.

【0034】各巻取ローラ75、76にはギヤ79、8
0を取り付け、これらにかみ合うギヤ81、82を各モ
ータ77、78に取り付けてある。
Gears 79, 8 are provided on each of the winding rollers 75, 76.
0 are attached, and gears 81 and 82 meshing with these are attached to the respective motors 77 and 78.

【0035】モータ77でギヤ79、81を介して巻取
ローラ75を巻取方向に減速回転させると、巻取ローラ
75が連結板73aを巻き取り、その他端部を移動量可
変に引っ張る。これにより、モータ77の回転量又は回
転角に応じて、マスクプレート50に加わるX方向の引
張力が変化し、マスクプレート50がその方向に可変に
変形(伸長)する。従って、モータ77とギヤ79、8
0は巻取ローラ75に対する回転式のアクチュエータを
構成し、このアクチュエータと連結部材71、73がマ
スクプレート50に対するX方向の可変引張手段を構成
する。
When the take-up roller 75 is rotated at a reduced speed in the take-up direction by the motor 77 via the gears 79 and 81, the take-up roller 75 takes up the connecting plate 73a and pulls the other end variably. Accordingly, the tensile force in the X direction applied to the mask plate 50 changes according to the rotation amount or the rotation angle of the motor 77, and the mask plate 50 is variably deformed (extended) in that direction. Therefore, the motor 77 and the gears 79, 8
Numeral 0 designates a rotary actuator for the take-up roller 75, and this actuator and the connecting members 71 and 73 constitute variable tension means for the mask plate 50 in the X direction.

【0036】また、モータ78でギヤ80、82を介し
て巻取ローラ76を巻取方向に減速回転させると、巻取
ローラ76が連結板74aを巻き取り、その他端部を移
動量可変に引っ張る。これにより、モータ78の回転量
又は回転角に応じて、マスクプレート50に加わるY方
向の引張力が変化し、マスクプレート50がその方向に
可変に変形(伸長)する。従って、モータ78とギヤ8
1、82は巻取ローラ76に対する回転式のアクチュエ
ータを構成し、このアクチュエータと連結部材72、7
4がマスクプレート50に対するY方向の可変引張手段
を構成する。
When the take-up roller 76 is decelerated and rotated in the take-up direction by the motor 78 via the gears 80 and 82, the take-up roller 76 takes up the connecting plate 74a and pulls the other end variably. . Accordingly, the tensile force in the Y direction applied to the mask plate 50 changes according to the rotation amount or the rotation angle of the motor 78, and the mask plate 50 is variably deformed (extended) in that direction. Therefore, the motor 78 and the gear 8
Numerals 1 and 82 constitute a rotary actuator for the take-up roller 76, and this actuator and the connecting members 72 and 7
4 constitutes a variable tension means for the mask plate 50 in the Y direction.

【0037】上述したマスク装置40を用いる場合、以
下のようにして、基板10にクリームはんだ20を印刷
する。 (1) まず、クリームはんだ印刷機に用いられている適宜
な認識装置、例えば図3に示すようなカメラ91と制御
装置92を備える認識装置90により、基板10のター
ゲットマーク11、12、13、14の位置情報を取得
し、同時に、ターゲットマーク間の寸法を実測する。例
えば、ターゲットマーク11、12間の寸法(X方向寸
法)とターゲットマーク11、14間の寸法(Y方向寸
法)を実測する。この時の実測値をLp12、Lp14とす
る。基板の変形量は通常、100mm当たり0.2mm程度
である。 (2) 次に、制御装置92によりモータ77、78の回転
を制御して、マスクプレート50に対するXY各方向の
引張力を変え、ターゲットマーク間寸法実測値Lp12
Lp14に、マスクプレート50のターゲットマーク5
1、52間の寸法及びターゲットマーク51、54間の
寸法がそれぞれ実質的に一致するように、マスクプレー
ト50を変形させる。 (3) このようにして変形したマスクプレート50のター
ゲットマーク51、52、53、54の位置情報を認識
装置90により取得し、先に取得した基板10のターゲ
ットマーク11、12、13、14の位置情報とを用い
て、マスクプレート50を基板10に位置合わせし、ク
リームはんだ20を印刷する。位置合わせ手段は現存の
手段であり、マスク枠体移動手段及び基板移動手段等で
位置合わせを行う。 (4) この結果、基板10の変形に合わせてマスクプレー
ト50も変形しているので、印刷ずれは殆ど起こらな
い。
When the above-described mask device 40 is used, the cream solder 20 is printed on the substrate 10 as follows. (1) First, the target marks 11, 12, 13, 13 on the substrate 10 are recognized by an appropriate recognition device used in the cream solder printing machine, for example, a recognition device 90 having a camera 91 and a control device 92 as shown in FIG. Fourteen pieces of position information are acquired, and at the same time, the size between target marks is actually measured. For example, a dimension between the target marks 11 and 12 (dimension in the X direction) and a dimension between the target marks 11 and 14 (dimension in the Y direction) are actually measured. The measured values at this time are Lp 12 and Lp 14 . The deformation of the substrate is usually about 0.2 mm per 100 mm. (2) Next, the rotation of the motors 77 and 78 is controlled by the control device 92 to change the tensile force in each of the X and Y directions with respect to the mask plate 50, and the actual measured value Lp 12 between target marks is calculated.
Lp 14 , target mark 5 of mask plate 50
The mask plate 50 is deformed so that the dimension between the target marks 1 and 52 and the dimension between the target marks 51 and 54 substantially match each other. (3) The position information of the target marks 51, 52, 53, 54 of the mask plate 50 thus deformed is acquired by the recognition device 90, and the target marks 11, 12, 13, 14 of the substrate 10 acquired earlier are acquired. Using the positional information, the mask plate 50 is positioned on the substrate 10 and the cream solder 20 is printed. The positioning means is an existing means, and the positioning is performed by the mask frame moving means and the substrate moving means. (4) As a result, since the mask plate 50 is also deformed in accordance with the deformation of the substrate 10, printing misregistration hardly occurs.

【0038】ターゲットマーク間寸法実測値Lp12、L
14に一致させるようにマスクプレート50を変形する
には任意の方法を採用することができるが、ここでは下
記4つの方法1〜4を例示する。 (i) 方法1:モータ77、78の回転量(又は回転角)
とマスクプレート50の寸法との関係を予め求めておく
ことができるので、この関係から、基板10のターゲッ
トマーク間寸法実測値Lp12、Lp14に相当する回転量
を制御装置92で求め、その分、モータ77、78を回
転制御する。 (ii)方法2:モータ77、78の回転量(又は回転角)
とマスクプレート50の寸法変化量との関係を予め求め
ておき、基板10のターゲットマーク間の設計寸法Lpo
12、Lpo14と寸法実測値Lp12、Lp14との変化量ΔL
12、ΔLp14を制御装置92で求め、上記の関係か
ら、基板10の寸法変化量ΔLp12、ΔLp 14に相当す
る回転量を制御装置92で求め、その分、モータ77、
78を回転制御する。 (iii) 方法3:モータ77、78の回転量(又は回転
角)とマスクプレート50の寸法変化率との関係を予め
求めておき、基板10のターゲットマーク間の設計寸法
Lpo12、Lpo14に対する寸法実測値Lp12、Lp14の変
化率Lp12/Lpo12、Lp14/Lpo14を制御装置92で
求め、上記の関係から、基板10の寸法変化率Lp12
Lpo12、Lp14/Lpo14に相当する回転量を制御装置9
2で求め、その分、モータ77、78を回転制御する。
この方法3はマスクプレート50を基板10の設計寸法
通りに作製した場合に有効である。 (iv)方法4:上記方法1〜3いずれかでマスクプレート
50を変形させた後、変形したマスクプレート50の寸
法を、ターゲットマーク51、52、53、54を利用
して実測する。具体的には、ターゲットマーク51、5
2間の寸法及びターゲットマーク51、54間の寸法実
測する。そして、これらのマスクプレート寸法実測値L
12、Lm14と基板10のターゲットマーク間実測寸法
Lp12、Lp14との差がなくなるまで、モータ77、7
8を回転制御してマスクプレート50を変形させる。
Actual measured value Lp between target marks12, L
p14The mask plate 50 so as to match
Can take any method, but here
The following four methods 1 to 4 will be exemplified. (i) Method 1: Rotation amount (or rotation angle) of motors 77 and 78
The relationship between the mask plate 50 and the dimensions of the mask plate 50 is determined in advance.
Because of this relationship, the target of the substrate 10 can be
Actual measured value between marks Lp12, Lp14Rotation equivalent to
Is obtained by the control device 92, and the motors 77 and 78 are
Control rolling. (ii) Method 2: Rotation amount (or rotation angle) of motors 77 and 78
And the relationship between the dimensional change amount of the mask plate 50 and
In advance, the design dimension Lpo between the target marks on the substrate 10
12, Lpo14And actual measured value Lp12, Lp14ΔL
p12, ΔLp14Is obtained by the control device 92, and whether
The dimensional change ΔLp of the substrate 1012, ΔLp 14Equivalent to
The amount of rotation is determined by the control device 92, and the motor 77,
78 is rotationally controlled. (iii) Method 3: The amount of rotation (or rotation) of the motors 77 and 78
Angle) and the dimensional change rate of the mask plate 50 in advance.
Determine the design dimensions between target marks on the substrate 10
Lpo12, Lpo14Actual measured value Lp for12, Lp14Strange
Conversion rate Lp12/ Lpo12, Lp14/ Lpo14With the control device 92
From the above relationship, the dimensional change rate Lp12/
Lpo12, Lp14/ Lpo14The amount of rotation corresponding to
2 and the rotation of the motors 77 and 78 is controlled accordingly.
In this method 3, the mask plate 50 is designed to have the design dimensions of the substrate 10.
It is effective when manufactured as follows. (iv) Method 4: Mask plate by any of the above methods 1 to 3
After deforming 50, the dimensions of the deformed mask plate 50
Method using target marks 51, 52, 53, 54
And measure it. Specifically, the target marks 51, 5
2 and the actual size between the target marks 51 and 54
Measure. Then, these mask plate dimension actual measurement values L
m12, Lm14Dimension between the target mark and the substrate 10
Lp12, Lp14Motors 77 and 7 until the difference with
The rotation of 8 is controlled to deform the mask plate 50.

【0039】[第2実施形態例]次に、図4を参照し
て、本発明の第2実施形態例を説明する。本例では、図
2に示したマスク装置40の代わりに、図4に示すマス
ク装置40Aを用いる。このマスク装置40Aは、巻取
ローラに代えて、スライダ93、94を用いて引張力可
変付与手段70Aを構成した点で、マスク装置40と異
なる。
[Second Embodiment] Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In this example, a mask device 40A shown in FIG. 4 is used instead of the mask device 40 shown in FIG. The mask device 40A is different from the mask device 40 in that a variable pulling force applying unit 70A is configured using sliders 93 and 94 instead of the winding roller.

【0040】本例のマスク装置40Aは、図4に示すよ
うに、マスクプレート50と、枠体60と、引張力可変
付与手段70Aを有するものであり、引張力可変付与手
段70Aはマスクプレート50と枠体60を連結すると
共に、マスクプレート50に引張力を可変に付与する。
As shown in FIG. 4, the mask device 40A of this embodiment has a mask plate 50, a frame 60, and a variable tension applying means 70A. And the frame body 60, and a tensile force is variably applied to the mask plate 50.

【0041】引張力可変付与手段70Aは4つの連結部
材71、72、73、74と、2つのスライダ93、9
4と、2つの直線駆動式のアクチュエータ95、96を
備えたものである。アクチュエータ95、96は、例え
ば、ステッピングモータと送りねじ機構で構成すること
ができる。
The variable tensile force applying means 70A includes four connecting members 71, 72, 73, 74 and two sliders 93, 9
4 and two linearly driven actuators 95 and 96. The actuators 95 and 96 can be composed of, for example, a stepping motor and a feed screw mechanism.

【0042】4つの連結部材71、72、73、74は
図2と同様、それぞれ連結板71a、72a、73a、
74a及び接着材71b、72b、73b、74bから
なる。2つの連結板71a、73aは図中のX方向に沿
って配置され、これに直交するY方向に沿って、他の2
つの連結板72a、74aが配置される。
The four connecting members 71, 72, 73, 74 are connected to connecting plates 71a, 72a, 73a,
74a and adhesives 71b, 72b, 73b, 74b. The two connecting plates 71a and 73a are arranged along the X direction in the figure, and the other two
Two connecting plates 72a and 74a are arranged.

【0043】そのうち、2つの連結部材71、72は図
2と同様、マスクプレート50の隣接する直交2辺と枠
体60の隣接する直交2辺をそれぞれ連結する。このと
き、連結板71aはマスクプレート50及び枠体60に
対し直角にし、両端部をそれらに接着材71bで貼り付
け固定してある。連結板72aは連結板71aに対して
直角にし、両端部をマスクプレート50及び枠体60に
接着材72bで貼り付け固定してある。
The two connecting members 71 and 72 connect two adjacent orthogonal sides of the mask plate 50 and two adjacent orthogonal sides of the frame body 60 as in FIG. At this time, the connecting plate 71a is perpendicular to the mask plate 50 and the frame body 60, and both ends are adhered and fixed to them with an adhesive 71b. The connecting plate 72a is perpendicular to the connecting plate 71a, and both ends are fixed to the mask plate 50 and the frame 60 with an adhesive 72b.

【0044】他の2つの連結部材73、74はマスクプ
レート50の他の隣接する直交2辺と2つのスライダ9
3、94をそれぞれ連結する。このとき、2つのスライ
ダ93、94は枠体60の他の隣接する直交2辺上にそ
れぞれ適宜な案内手段によりスライド可能に、かつ互い
に直交して設置してある。また、連結板73aは連結板
71aと平行であり、マスクプレート50及びスライダ
93に対し直角にし、両端部をそれらに接着材73bで
貼り付け固定してある。連結板74aは連結板73aに
対して直角にし、両端部をマスクプレート50及びスラ
イダ94に接着材74bで貼り付け固定してある。
The other two connecting members 73 and 74 are connected to the other adjacent two sides of the mask plate 50 and the two sliders 9.
3 and 94 are respectively connected. At this time, the two sliders 93 and 94 are slidable by appropriate guide means on the other adjacent two orthogonal sides of the frame body 60, respectively, and are installed orthogonal to each other. The connecting plate 73a is parallel to the connecting plate 71a, is perpendicular to the mask plate 50 and the slider 93, and is fixed to both ends thereof with an adhesive 73b. The connecting plate 74a is perpendicular to the connecting plate 73a, and both ends are fixed to the mask plate 50 and the slider 94 with an adhesive 74b.

【0045】各スライダ93、94にはアクチュエータ
95、96を結合してある。
Actuators 95 and 96 are connected to the sliders 93 and 94, respectively.

【0046】アクチュエータ95によりスライダ93を
反マスクプレート50側に移動させると、スライダ93
が連結板73aを移動量可変に引っ張る。これにより、
アクチュエータ95の駆動量に応じて、マスクプレート
50に加わるX方向の引張力が変化し、マスクプレート
50がその方向に可変に変形(伸長)する。従って、こ
のアクチュエータ95と連結部材71、73がマスクプ
レート50に対するX方向の可変引張手段を構成する。
When the slider 93 is moved toward the mask plate 50 side by the actuator 95, the slider 93 is moved.
Pulls the connecting plate 73a variably. This allows
The tensile force applied to the mask plate 50 in the X direction changes according to the amount of driving of the actuator 95, and the mask plate 50 variably deforms (extends) in that direction. Therefore, the actuator 95 and the connecting members 71 and 73 constitute variable tension means in the X direction with respect to the mask plate 50.

【0047】同様に、アクチュエータ96によりスライ
ダ94を反マスクプレート50側に移動させると、スラ
イダ94が連結板74aを移動量可変に引っ張る。これ
により、アクチュエータ96の移動量に応じて、マスク
プレート50に加わるY方向の引張力が変化し、マスク
プレート50がその方向に可変に変形(伸長)する。従
って、このアクチュエータ96と連結部材72、74が
マスクプレート50に対するY方向の可変引張手段を構
成する。
Similarly, when the actuator 94 moves the slider 94 toward the mask plate 50 side, the slider 94 pulls the connecting plate 74a variably. Accordingly, the tensile force in the Y direction applied to the mask plate 50 changes according to the amount of movement of the actuator 96, and the mask plate 50 is variably deformed (extended) in that direction. Therefore, the actuator 96 and the connecting members 72 and 74 constitute a variable tension means for the mask plate 50 in the Y direction.

【0048】上述したマスク装置40Aを用いる場合、
以下のようにして、基板10にクリームはんだ20を印
刷する。 (1) まず、クリームはんだ印刷機に用いられている適宜
な認識装置、例えば図3に示すようなカメラ91と制御
装置92を備える認識装置90により、基板10のター
ゲットマーク11、12、13、14の位置情報を取得
し、同時に、ターゲットマーク間の寸法を実測する。例
えば、ターゲットマーク11、12間の寸法(X方向寸
法)とターゲットマーク11、14間の寸法(Y方向寸
法)を実測する。この時の実測値をLp12、Lp14とす
る。基板の変形量は通常、100mm当たり0.2mm程度
である。 (2) 次に、制御装置92によりアクチュエータ95、9
6を制御して、マスクプレート50に対するXY各方向
の引張力を変え、ターゲットマーク間寸法実測値L
12、Lp14に、マスクプレート50のターゲットマー
ク51、52間の寸法及びターゲットマーク51、54
間の寸法がそれぞれ実質的に一致するように、マスクプ
レート50を変形させる。 (3) このようにして変形したマスクプレート50のター
ゲットマーク51、52、53、54の位置情報を認識
装置90により取得し、先に取得した基板10のターゲ
ットマーク11、12、13、14の位置情報とを用い
て、マスクプレート50を基板10に位置合わせし、ク
リームはんだ20を印刷する。位置合わせ手段は現存の
手段であり、マスク枠体移動手段及び基板移動手段等で
位置合わせを行う。 (4) この結果、基板10の変形に合わせてマスクプレー
ト50も変形しているので、印刷ずれは殆ど起こらな
い。
When using the mask device 40A described above,
The cream solder 20 is printed on the substrate 10 as follows. (1) First, the target marks 11, 12, 13, 13 on the substrate 10 are recognized by an appropriate recognition device used in the cream solder printing machine, for example, a recognition device 90 having a camera 91 and a control device 92 as shown in FIG. Fourteen pieces of position information are acquired, and at the same time, the size between target marks is actually measured. For example, a dimension between the target marks 11 and 12 (dimension in the X direction) and a dimension between the target marks 11 and 14 (dimension in the Y direction) are actually measured. The measured values at this time are Lp 12 and Lp 14 . The deformation of the substrate is usually about 0.2 mm per 100 mm. (2) Next, the actuators 95 and 9 are
6 is changed to change the tensile force in each of the X and Y directions with respect to the mask plate 50, and the actual measured value L between the target marks is changed.
The dimensions between the target marks 51 and 52 of the mask plate 50 and the target marks 51 and 54 are added to p 12 and Lp 14.
The mask plate 50 is deformed such that the dimensions therebetween substantially match. (3) The position information of the target marks 51, 52, 53, 54 of the mask plate 50 thus deformed is acquired by the recognition device 90, and the target marks 11, 12, 13, 14 of the substrate 10 acquired earlier are acquired. Using the positional information, the mask plate 50 is positioned on the substrate 10 and the cream solder 20 is printed. The positioning means is an existing means, and the positioning is performed by the mask frame moving means and the substrate moving means. (4) As a result, since the mask plate 50 is also deformed in accordance with the deformation of the substrate 10, printing misregistration hardly occurs.

【0049】ターゲットマーク間寸法実測値Lp12、L
14に一致させるようにマスクプレート50を変形する
には、第1実施形態例で説明した4つの方法1〜4な
ど、任意の方法を採用することができる。
Actual measured values between target marks Lp 12 , Lp
To deform the mask plate 50 to match the p 14, including four methods 1 to 4 described in the first embodiment, it is possible to employ any method.

【0050】[第3実施形態例]次に、図5を参照し
て、本発明の第3実施形態例を説明する。本例では、図
4に示したマスク装置40Aの代わりに、図5に示すマ
スク装置40Bを用いる。このマスク装置40Bは、引
張力可変付与手段70Aではスライダ93、94を引っ
張る構成であったのに対し、スライダ93、94を押圧
する圧縮力可変付与手段70Bを用いた点で、マスク装
置40Aと異なる。
[Third Embodiment] Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In this example, a mask device 40B shown in FIG. 5 is used instead of the mask device 40A shown in FIG. The mask device 40B has a structure in which the variable tension applying means 70A pulls the sliders 93 and 94, whereas the variable masking device 40A uses the variable compressing force applying means 70B for pressing the sliders 93 and 94. different.

【0051】本例のマスク装置40Bは、図5に示すよ
うに、マスクプレート50と、枠体60と、圧縮力可変
付与手段70Bを有するものであり、圧縮力可変付与手
段70Bはマスクプレート50と枠体60を連結すると
共に、マスクプレート50に圧縮力を可変に付与する。
As shown in FIG. 5, the mask device 40B of this embodiment includes a mask plate 50, a frame body 60, and a variable compression force applying means 70B. And the frame body 60 and variably apply a compressive force to the mask plate 50.

【0052】圧縮力可変付与手段70Bは、図4に示し
た引張力可変付与手段70Aと同様の構成であり、4つ
の連結部材71、72、73、74と、2つのスライダ
93、94と、2つの直線駆動式のアクチュエータ9
5、96を備えたものである。アクチュエータ95、9
6は、例えば、ステッピングモータと送りねじ機構で構
成することができる。
The variable compression force applying means 70B has the same configuration as the variable tension force applying means 70A shown in FIG. 4, and includes four connecting members 71, 72, 73, 74, two sliders 93, 94, Two linear drive actuators 9
5, 96 are provided. Actuators 95, 9
6 can be composed of, for example, a stepping motor and a feed screw mechanism.

【0053】4つの連結部材71、72、73、74は
図2、図4と同様、それぞれ連結板71a、72a、7
3a、74a及び接着材71b、72b、73b、74
bからなる。2つの連結板71a、73aは図中のX方
向に沿って配置され、これに直交するY方向に沿って、
他の2つの連結板72a、74aが配置される。
The four connecting members 71, 72, 73, 74 are connected to connecting plates 71a, 72a, 7
3a, 74a and adhesives 71b, 72b, 73b, 74
b. The two connecting plates 71a and 73a are arranged along the X direction in the figure, and along the Y direction
The other two connecting plates 72a and 74a are arranged.

【0054】そのうち、2つの連結部材71、72は図
2、図4と同様、マスクプレート50の隣接する直交2
辺と枠体60の隣接する直交2辺をそれぞれ連結する。
このとき、連結板71aはマスクプレート50及び枠体
60に対し直角にし、両端部をそれらに接着材71bで
貼り付け固定してある。連結板72aは連結板71aに
対して直角にし、両端部をマスクプレート50及び枠体
60に接着材72bで貼り付け固定してある。
The two connecting members 71 and 72 are adjacent to each other at the right angle of the mask plate 50 as in FIGS.
The side and two adjacent orthogonal sides of the frame body 60 are connected.
At this time, the connecting plate 71a is perpendicular to the mask plate 50 and the frame body 60, and both ends are adhered and fixed to them with an adhesive 71b. The connecting plate 72a is perpendicular to the connecting plate 71a, and both ends are fixed to the mask plate 50 and the frame 60 with an adhesive 72b.

【0055】他の2つの連結部材73、74は、図4と
同様、マスクプレート50の他の隣接する直交2辺と2
つのスライダ93、94をそれぞれ連結する。このと
き、2つのスライダ93、94は枠体60の他の隣接す
る直交2辺上にそれぞれ適宜な案内手段によりスライド
可能に、かつ互いに直交して設置してある。また、連結
板73aは連結板71aと平行であり、マスクプレート
50及びスライダ93に対し直角にし、両端部をそれら
に接着材73bで貼り付け固定してある。連結板74a
は連結板73aに対して直角にし、両端部をマスクプレ
ート50及びスライダ94に接着材74bで貼り付け固
定してある。
The other two connecting members 73 and 74 are connected to the other two adjacent orthogonal sides of the mask plate 50 as in FIG.
The two sliders 93 and 94 are respectively connected. At this time, the two sliders 93 and 94 are slidable by appropriate guide means on the other adjacent two orthogonal sides of the frame body 60, respectively, and are installed orthogonal to each other. The connecting plate 73a is parallel to the connecting plate 71a, is perpendicular to the mask plate 50 and the slider 93, and is fixed to both ends thereof with an adhesive 73b. Connecting plate 74a
Are perpendicular to the connecting plate 73a, and are fixed at both ends to the mask plate 50 and the slider 94 with an adhesive 74b.

【0056】各スライダ93、94にはアクチュエータ
95、96を結合してある。
Actuators 95 and 96 are connected to the sliders 93 and 94, respectively.

【0057】アクチュエータ95によりスライダ93を
マスクプレート50側に移動させると、スライダ93が
連結板73aを移動量可変に押圧する。これにより、ア
クチュエータ95の駆動量に応じて、マスクプレート5
0に加わるX方向の圧縮力が変化し、マスクプレート5
0がその方向に可変に変形(収縮)する。従って、この
アクチュエータ95と連結部材71、73がマスクプレ
ート50に対するX方向の可変圧縮手段を構成する。
When the slider 93 is moved toward the mask plate 50 by the actuator 95, the slider 93 urges the connecting plate 73a variably. This allows the mask plate 5 to be driven in accordance with the driving amount of the actuator 95.
0, the compressive force in the X direction changes, and the mask plate 5
0 variably deforms (shrinks) in that direction. Therefore, the actuator 95 and the connecting members 71 and 73 constitute variable compression means in the X direction with respect to the mask plate 50.

【0058】同様に、アクチュエータ96によりスライ
ダ94を移動させると、スライダ94が連結板74aを
移動量可変に押圧する。これにより、アクチュエータ9
6の駆動量に応じて、マスクプレート50に加わるY方
向の圧縮力が変化し、マスクプレート50がその方向に
可変に変形(収縮)する。従って、このアクチュエータ
96と連結部材72、74がマスクプレート50に対す
るY方向の可変圧縮手段を構成する。
Similarly, when the slider 94 is moved by the actuator 96, the slider 94 urges the connecting plate 74a variably. Thereby, the actuator 9
The compressive force in the Y direction applied to the mask plate 50 changes according to the drive amount of 6, and the mask plate 50 variably deforms (shrinks) in that direction. Therefore, the actuator 96 and the connecting members 72 and 74 constitute variable compression means for the mask plate 50 in the Y direction.

【0059】上述したマスク装置40Bを用いる場合、
以下のようにして、基板10にクリームはんだ20を印
刷する。 (1) まず、クリームはんだ印刷機に用いられている適宜
な認識装置、例えば図3に示すようなカメラ91と制御
装置92を備える認識装置90により、基板10のター
ゲットマーク11、12、13、14の位置情報を取得
し、同時に、ターゲットマーク間の寸法を実測する。例
えば、ターゲットマーク11、12間の寸法(X方向寸
法)とターゲットマーク11、14間の寸法(Y方向寸
法)を実測する。この時の実測値をLp12、Lp14とす
る。基板の変形量は例えば、100mm当たり0.2mm程
度である。 (2) 次に、制御装置92によりアクチュエータ95、9
6を制御して、マスクプレート50に対するXY各方向
の圧縮力を変え、ターゲットマーク間寸法実測値L
12、Lp14に、マスクプレート50のターゲットマー
ク51、52間の寸法及びターゲットマーク51、54
間の寸法がそれぞれ実質的に一致するように、マスクプ
レート50を変形させる。 (3) このようにして変形したマスクプレート50のター
ゲットマーク51、52、53、54の位置情報を認識
装置90により取得し、先に取得した基板10のターゲ
ットマーク11、12、13、14の位置情報とを用い
て、マスクプレート50を基板10に位置合わせし、ク
リームはんだ20を印刷する。位置合わせ手段は現存の
手段であり、マスク枠体移動手段及び基板移動手段等で
位置合わせを行う。 (4) この結果、基板10の変形に合わせてマスクプレー
ト50も変形しているので、印刷ずれは殆ど起こらな
い。
When using the above-described mask device 40B,
The cream solder 20 is printed on the substrate 10 as follows. (1) First, the target marks 11, 12, 13, 13 on the substrate 10 are recognized by an appropriate recognition device used in the cream solder printing machine, for example, a recognition device 90 having a camera 91 and a control device 92 as shown in FIG. Fourteen pieces of position information are acquired, and at the same time, the size between target marks is actually measured. For example, a dimension between the target marks 11 and 12 (dimension in the X direction) and a dimension between the target marks 11 and 14 (dimension in the Y direction) are actually measured. The measured values at this time are Lp 12 and Lp 14 . The amount of deformation of the substrate is, for example, about 0.2 mm per 100 mm. (2) Next, the actuators 95 and 9 are
6 to change the compressive force in each of the X and Y directions on the mask plate 50 to obtain the actual measured value L between the target marks.
The dimensions between the target marks 51 and 52 of the mask plate 50 and the target marks 51 and 54 are added to p 12 and Lp 14.
The mask plate 50 is deformed such that the dimensions therebetween substantially match. (3) The position information of the target marks 51, 52, 53, 54 of the mask plate 50 thus deformed is acquired by the recognition device 90, and the target marks 11, 12, 13, 14 of the substrate 10 acquired earlier are acquired. Using the positional information, the mask plate 50 is positioned on the substrate 10 and the cream solder 20 is printed. The positioning means is an existing means, and the positioning is performed by the mask frame moving means and the substrate moving means. (4) As a result, since the mask plate 50 is also deformed in accordance with the deformation of the substrate 10, printing misregistration hardly occurs.

【0060】ターゲットマーク間寸法実測値Lp12、L
14に一致させるようにマスクプレート50を変形する
には任意の方法を採用することができるが、ここでは下
記4つの方法1〜4が例示する。 (i) 方法1:アクチュエータ95、96の駆動量とマス
クプレート50の寸法との関係を予め求めておくことが
できるので、この関係から、基板10のターゲットマー
ク間寸法実測値Lp12、Lp14に相当する駆動量を制御
装置92で求め、その分、アクチュエータ95、96を
制御する。 (ii)方法2:アクチュエータ95、96の駆動量とマス
クプレート50の寸法変化量との関係を予め求めてお
き、基板10のターゲットマーク間の設計寸法Lpo 12
Lpo14と寸法実測値Lp12、Lp14との変化量ΔL
12、ΔLp14を制御装置92で求め、上記の関係か
ら、基板10の寸法変化量ΔLp12、ΔLp14に相当す
る駆動量を制御装置92で求め、その分、アクチュエー
タ95、96を制御する。 (iii) 方法3:アクチュエータ95、96の駆動量とマ
スクプレート50の寸法変化率との関係を予め求めてお
き、基板10のターゲットマーク間の設計寸法Lpo12
Lpo14に対する寸法実測値Lp12、Lp14の変化率Lp
12/Lpo12、Lp 14/Lpo14を制御装置92で求め、上
記の関係から、基板10の寸法変化率Lp 12/Lpo12
Lp14/Lpo14に相当する駆動量を制御装置92で求
め、その分、アクチュエータ95、96を制御する。こ
の方法3はマスクプレート50を基板10の設計寸法通
りに作製した場合に有効である。 (iv)方法4:上記方法1〜3いずれかでマスクプレート
50を変形させた後、変形したマスクプレート50の寸
法を、ターゲットマーク51、52、53、54を利用
して実測する。具体的には、ターゲットマーク51、5
2間の寸法及びターゲットマーク51、54間の寸法実
測する。そして、これらのマスクプレート寸法実測値L
12、Lm14と基板10のターゲットマーク間実測寸法
Lp12、Lp14との差がなくなるまで、アクチュエータ
95、96を制御してマスクプレート50を変形させ
る。
Actual measured value Lp between target marks12, L
p14The mask plate 50 so as to match
Can take any method, but here
The four methods 1 to 4 are exemplified. (i) Method 1: Driving amount and mass of actuators 95 and 96
It is necessary to determine the relationship with the dimensions of the plate 50 in advance.
From this relationship, the target marker of the substrate 10 can be obtained.
Actual dimension Lp12, Lp14Drive amount equivalent to
With the device 92, the actuators 95 and 96 are
Control. (ii) Method 2: Driving amount and mass of actuators 95 and 96
The relationship with the dimensional change of the plate 50 is determined in advance.
The design dimension Lpo between the target marks on the substrate 10 12,
Lpo14And actual measured value Lp12, Lp14ΔL
p12, ΔLp14Is obtained by the control device 92, and whether
The dimensional change ΔLp of the substrate 1012, ΔLp14Equivalent to
Controller 92 determines the amount of drive to be performed, and the actuator
Control the data 95 and 96. (iii) Method 3: Driving amounts of actuators 95 and 96 and
The relationship with the dimensional change rate of the plate 50 is determined in advance.
The design dimension Lpo between the target marks on the substrate 1012,
Lpo14Actual measured value Lp for12, Lp14Of change Lp
12/ Lpo12, Lp 14/ Lpo14Is obtained by the controller 92, and
From the above relationship, the dimensional change rate Lp of the substrate 10 12/ Lpo12,
Lp14/ Lpo14Is calculated by the control device 92.
Therefore, the actuators 95 and 96 are controlled accordingly. This
Method 3 is to pass the mask plate 50 through the design dimensions of the substrate 10.
It is effective when it is manufactured in advance. (iv) Method 4: Mask plate by any of the above methods 1 to 3
After deforming 50, the dimensions of the deformed mask plate 50
Method using target marks 51, 52, 53, 54
And measure it. Specifically, the target marks 51, 5
2 and the actual size between the target marks 51 and 54
Measure. Then, these mask plate dimension actual measurement values L
m12, Lm14Dimension between the target mark and the substrate 10
Lp12, Lp14Until the difference with
By controlling 95 and 96, the mask plate 50 is deformed.
You.

【0061】基板10の変形は通常、伸び方向の場合が
多いので、基板10の製造誤差も含め、本例ではマスク
プレート50は基板10の設計寸法に対して拡大して作
製してある。このとき、変化率は、基板10に予想され
る伸び方向の最大変化率よりも大きくしてある。
Since the deformation of the substrate 10 is usually in the elongation direction, the mask plate 50 is made larger than the design size of the substrate 10 in this embodiment, including the manufacturing error of the substrate 10. At this time, the change rate is larger than the maximum change rate in the elongation direction expected for the substrate 10.

【0062】マスクプレート50の材料は圧縮により変
形させるので、薄板でも圧縮を受けて座屈が生じないよ
うなものであれば良く、通常用いられている SUS(ステ
ンレス)材等の金属材料、あるいは、基板が含む基材と
同じ材料、あるいは、ポリ塩化ビニルやポリエチレン、
ポリイミド、ポリアミド等の樹脂材料、あるいは、ポリ
ウレタン等のゴム系弾性材料で形成することが可能であ
る。ポリイミド樹脂材あるいはポリアミド樹脂材を用い
て形成したマスクプレート50は、このマスクプレート
50と同じ材料(ポリイミド樹脂材あるいはポリアミド
樹脂材)を基材に含む基板を対象とする場合のクリーム
はんだ印刷方法に特に適する。
Since the material of the mask plate 50 is deformed by compression, any material may be used as long as it does not buckle under compression even if it is a thin plate, and a metal material such as a commonly used SUS (stainless) material, or , The same material as the substrate that the substrate contains, or polyvinyl chloride or polyethylene,
It can be formed of a resin material such as polyimide or polyamide, or a rubber-based elastic material such as polyurethane. A mask plate 50 formed using a polyimide resin material or a polyamide resin material can be applied to a cream solder printing method when a substrate including the same material as the mask plate 50 (polyimide resin material or polyamide resin material) as a base material is used. Particularly suitable.

【0063】[第4実施形態例]次に、図6を参照し
て、本発明の第4実施形態例を説明する。本例では、マ
スクプレート50により基板にクリームはんだを印刷す
る際に、マスクプレート50の位置合わせ用に基板に設
けられたターゲットマーク(図3等の11〜14参照)
間の寸法を実測し、このターゲットマーク間実測寸法に
実質的に一致するようにマスクプレート50を加熱ある
いは冷却により変形させ、この変形したマスクプレート
を用いてクリームはんだを印刷する。この結果、基板の
変形に合わせてマスクプレート50も変形しているの
で、印刷ずれは殆ど起こらない。
[Fourth Embodiment] Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In this example, when cream solder is printed on the substrate by the mask plate 50, target marks provided on the substrate for positioning the mask plate 50 (see 11 to 14 in FIG. 3 and the like)
The dimension between the target marks is measured, the mask plate 50 is deformed by heating or cooling so as to substantially match the measured dimension between the target marks, and cream solder is printed using the deformed mask plate. As a result, since the mask plate 50 is also deformed in accordance with the deformation of the substrate, printing misregistration hardly occurs.

【0064】必要があれば、変形したマスクプレートの
寸法を実測し、このマスクプレート実測寸法と上記ター
ゲットマーク間実測寸法との差がなくなるように、マス
クプレートを加熱あるいは冷却により変形させる。
If necessary, the dimensions of the deformed mask plate are measured, and the mask plate is deformed by heating or cooling so that there is no difference between the measured dimensions of the mask plate and the measured dimensions between the target marks.

【0065】マスクプレート50には、基板の印刷対象
部位(ランド)に対応して多くの貫通孔を形成してあ
る。また、マスクプレート50には、基板の複数のター
ゲットマークに対応させて、基板との位置合わせ用に複
数のターゲットマーク(図2等の51〜54参照)を形
成してある。
A large number of through holes are formed in the mask plate 50 so as to correspond to portions (lands) to be printed on the substrate. In addition, a plurality of target marks (see 51 to 54 in FIG. 2 and the like) are formed on the mask plate 50 so as to correspond to the plurality of target marks on the substrate.

【0066】基板の変形は通常、伸び方向の場合が多い
が、製造誤差も含めて縮み方向の変形があることも考慮
し、マスクプレート50を基板の設計寸法に従って作製
してある。
Usually, the deformation of the substrate is often in the elongation direction, but the mask plate 50 is manufactured according to the design dimensions of the substrate in consideration of the deformation in the contraction direction including the manufacturing error.

【0067】マスクプレート50は薄く、その材料は、
通常用いられている SUS(ステンレス)材等の金属材料
でも良いが、基板が含むガラスエポキシ樹脂やポリイミ
ド樹脂、ポリアミド樹脂等、基材と同じ材料、あるい
は、ポリ塩化ビニルやポリエチレン等の樹脂材料で形成
することが可能である。
The mask plate 50 is thin, and its material is
A metal material such as SUS (stainless steel) which is usually used may be used, but the same material as the base material such as glass epoxy resin, polyimide resin, polyamide resin or the like contained in the substrate, or a resin material such as polyvinyl chloride or polyethylene is used. It is possible to form.

【0068】図6に示す例では、基板の変形が通常10
0mm当たり0.2mm程度であることを考慮して20°C
と25°Cとの間で0.4%程度伸縮するマスクプレー
ト50を用い、クリームはんだ印刷を22.5°Cの室
温で作業する場合を想定している。そこで、この作業環
境温度よりも高い25°Cの高温蓄熱槽100Aと低い
20°Cの低温蓄熱槽100Bを用い、図3に示した認
識装置90(カメラ91と制御装置92)により基板の
ターゲットマークの位置情報を取得し、同時に、ターゲ
ットマーク間の寸法を実測する。例えば、1組のターゲ
ットマーク間の寸法(X方向寸法)を実測する。この時
の実測値をLp12とする。
In the example shown in FIG.
20 ° C considering that it is about 0.2mm per 0mm
It is assumed that cream solder printing is performed at a room temperature of 22.5 ° C. using a mask plate 50 that expands and contracts by about 0.4% between the temperature and 25 ° C. Therefore, using a high-temperature heat storage tank 100A at 25 ° C. higher than the working environment temperature and a low-temperature heat storage tank 100B at 20 ° C. lower than the working environment temperature, the target of the substrate is recognized by the recognition device 90 (camera 91 and control device 92) shown in FIG. The position information of the mark is acquired, and at the same time, the dimension between the target marks is actually measured. For example, a dimension (dimension in the X direction) between a pair of target marks is actually measured. The measured value at this time is Lp 12.

【0069】このターゲットマーク間寸法実測値Lp12
に基づいて一方の蓄熱槽を選択し、選択した方の蓄熱槽
にマスクプレート50を入れて加熱または冷却により変
形させ、次いで取り出してクリームはんだ印刷に用い
る。
The actual measured value Lp 12 of the dimension between target marks
, One of the heat storage tanks is selected, the mask plate 50 is put in the selected heat storage tank, deformed by heating or cooling, and then taken out and used for cream solder printing.

【0070】例えば、ターゲットマーク間寸法実測値L
12を基板のターゲットマーク間の設計寸法Lpo12と比
較し、Lp12−Lpo12>δであればマスクプレート50
を高温蓄熱槽100Aに予め定めた一定時間入れて加熱
して伸長させ、Lpo12−Lp 12>δであれば低温蓄熱槽
100Bに予め定めた一定時間入れて冷却して収縮さ
せ、その後取り出し、この変形したマスクプレートを用
いてクリームはんだを印刷する。ここで、δは予め設定
した許容限界値であり、−δ<Lp12−Lpo12<δであ
れば、加熱も冷却も必要ない。
For example, the actual measured value L between the target marks L
p12Is the design dimension Lpo between the target marks on the substrate.12And ratio
Compare, Lp12-Lpo12If> δ, mask plate 50
Into a high-temperature heat storage tank 100A for a predetermined period of time
To extend the Lpo12-Lp 12If δ, low temperature heat storage tank
100B for a predetermined period of time, cool and shrink
Then remove it and use this deformed mask plate.
And print cream solder. Here, δ is set in advance
-Δ <Lp12-Lpo12
No heating or cooling is required.

【0071】あるいは、ターゲットマーク間寸法実測値
Lp12に応じて、例えば、ターゲットマーク間寸法実測
値Lp12とその設計寸法Lpo12との差|Lp12−Lpo12
|に応じて、高温蓄熱槽100Aまたは低温蓄熱槽10
0Bに入れておく時間を調整あるいは制御することによ
り、基板の変形により合致するようにマスクプレート5
0を細かく変形させることができる。
[0071] Alternatively, depending on the target mark dimension between measured values Lp 12, for example, the difference between the target mark dimension between the measured value Lp 12 and its design dimensions Lpo 12 | Lp 12 -Lpo 12
| Or high-temperature storage tank 100A or low-temperature storage tank 10
By adjusting or controlling the time for which the mask plate 5 is kept in the mask plate 5B, the mask plate 5 can be adjusted so as to conform to the deformation of the substrate.
0 can be finely transformed.

【0072】あるいは、互いに異なる温度の高温蓄熱槽
を複数用意し、また、互いに異なる温度の低温蓄熱槽を
複数用意し、ターゲットマーク間寸法実測値Lp12に応
じて、または、ターゲットマーク間寸法実測値Lp12
その設計寸法Lpo12との差Lp12−Lpo12に応じて、い
ずれか1つの蓄熱槽を選択し、予め定めた一定時間入れ
て加熱または冷却により伸縮させることにより、基板の
変形により合致するようにマスクプレート50を細かく
変形させることができる。
[0072] Alternatively, different temperatures of the hot thermal storage tank together preparing a plurality also prepared a plurality cold heat storage tank of different temperatures, depending on the target mark dimension between measured values Lp 12, or the dimension measured between the target mark Depending on the difference Lp 12 −Lpo 12 between the value Lp 12 and its design dimension Lpo 12 , one of the heat storage tanks is selected and inserted for a predetermined period of time to expand and contract by heating or cooling, thereby deforming the substrate. The mask plate 50 can be finely deformed so as to more closely match.

【0073】なお、クリームはんだの特性に悪影響を及
ぼすような極端な高温や低温を避ける限り、高温蓄熱槽
と低温蓄熱槽の温度は特に限定されるものではない。
The temperatures of the high-temperature heat storage tank and the low-temperature heat storage tank are not particularly limited as long as extremely high or low temperatures that adversely affect the properties of the cream solder are avoided.

【0074】[他の実施形態例:その1]図示しない
が、マスクプレートとして、基板が含む基材と同じ材料
で作成し、更に、基板と同じ熱履歴を与えたものを用い
て、クリームはんだを印刷する。例えば、両面実装基板
の場合、先に部品搭載及びリフロー処理を行う第1面用
のマスクプレートには、熱プレスやエッチング等、基板
がその製造段階で受けると同様の熱履歴を与えておく。
第1面のリフロー処理後にクリームはんだ印刷を行う第
2面用のマスクプレートには、基板製造段階の熱履歴に
加えて、リフロー炉に通す等、第1面のリフロー処理と
同じ熱履歴を与えておく。この場合、第1面用のマスク
プレートも第2面用のマスクプレートも、基板の設計寸
法に合わせて作製すれば、十分である。
[Other Embodiment: Part 1] Although not shown, a mask plate made of the same material as the base material included in the substrate and further given the same heat history as the substrate is used for cream soldering. Print. For example, in the case of a double-sided mounting substrate, the same heat history as the substrate is received in the manufacturing stage, such as hot pressing or etching, is given to the first surface mask plate on which the component mounting and reflow processing are performed first.
A mask plate for the second surface on which cream solder printing is performed after the reflow process on the first surface is given the same heat history as the reflow process on the first surface, such as through a reflow furnace, in addition to the heat history in the substrate manufacturing stage. Keep it. In this case, it is sufficient if both the mask plate for the first surface and the mask plate for the second surface are manufactured according to the design dimensions of the substrate.

【0075】このように基板と同じ材料で同じ熱履歴が
与えたマスクプレートを用いることにより、基板のター
ゲットマーク間寸法の変化とマスクプレートのターゲッ
トマーク間寸法の変化は常に略一致するから、印刷ずれ
は殆ど起こらない。この場合、第1面用のマスクプレー
トも第2面用のマスクプレートも、基板の設計寸法に合
わせて作製すれば、十分である。
By using the mask plate having the same material and the same thermal history as the substrate as described above, the change in the dimension between the target marks on the substrate and the variation in the dimension between the target marks on the mask plate always substantially match. Little deviation occurs. In this case, it is sufficient if both the mask plate for the first surface and the mask plate for the second surface are manufactured according to the design dimensions of the substrate.

【0076】[他の実施形態例:その2]図示しない
が、マスクプレートとして、予想される基板の伸び方向
及び縮み方向の最大変形範囲内で、基板の設計寸法に対
し僅かに縮小あるいは拡大して作製し、かつ、寸法が互
いに異なる複数のマスクプレートを用意しておく。マス
クプレートの位置合わせ用に基板に設けられたターゲッ
トマーク間の寸法を実測し、複数のマスクプレートか
ら、このターゲットマーク間実測寸法に一番近い寸法の
ものを1つ選択し、この選択したマスクプレートを用い
てクリームはんだを印刷する。
[Other Embodiments: Part 2] Although not shown, the mask plate is slightly reduced or enlarged relative to the design dimension of the substrate within the expected maximum deformation range in the direction of extension and contraction of the substrate. A plurality of mask plates having different dimensions are prepared. The dimensions between the target marks provided on the substrate for mask plate alignment are measured, and one of the plurality of mask plates having the dimension closest to the measured dimension between the target marks is selected. Print cream solder using plate.

【0077】これによっても、印刷対象基板のターゲッ
トマーク間寸法と選択したマスクプレートのターゲット
マーク間寸法が常に略一致するから、印刷ずれは殆ど起
こらない。
In this case, since the dimension between target marks on the substrate to be printed and the dimension between target marks on the selected mask plate always substantially coincide with each other, printing deviation hardly occurs.

【0078】[0078]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
変形した基板の寸法にマスクプレートの寸法が実質的に
一致するので、クリームはんだの印刷ずれは殆ど起こら
ない。従って、クリームはんだ印刷後の部品搭載時にお
ける搭載精度の低下を防ぐことができる。更に、リフロ
ー後の実装不良(部品立ち、部品のずれ、欠品、はんだ
ブリッジ、及び、足浮き等)を回避することができる。
As described above, according to the present invention,
Since the size of the mask plate substantially matches the size of the deformed substrate, printing displacement of the cream solder hardly occurs. Therefore, it is possible to prevent a decrease in mounting accuracy at the time of mounting components after printing the cream solder. Further, mounting defects after reflow (part standing, part displacement, missing parts, solder bridges, foot lifting, etc.) can be avoided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施形態例として、クリームはん
だ印刷の概略と、マスク装置の外観を示す図。
FIG. 1 is a diagram showing an outline of cream solder printing and an appearance of a mask device as a first embodiment of the present invention.

【図2】引張力可変付与手段を有するマスク装置の構成
例を示す平面図。
FIG. 2 is a plan view showing a configuration example of a mask device having a variable tensile force applying means.

【図3】寸法実測の例を説明する図。FIG. 3 is a view for explaining an example of actual measurement of dimensions.

【図4】本発明の第2実施形態例として、引張力可変付
与手段を有するマスク装置の他の構成例を示す平面図。
FIG. 4 is a plan view showing another configuration example of a mask device having a variable tensile force applying means as a second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第3実施形態例として、圧縮力可変付
与手段を有するマスク装置の構成例を示す平面図。
FIG. 5 is a plan view showing a configuration example of a mask device having a variable compression force applying means as a third embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第4実施形態例として、温度でマスク
プレートを変形する例を示す図。
FIG. 6 is a view showing an example in which a mask plate is deformed at a temperature as a fourth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 基板 11〜14 ターゲットマーク 20 クリームはんだ 30 スキージ 40、40A マスク装置(引張力可変付与手段付き) 40B マスク装置(圧縮力可変付与手段付き) 50 マスクプレート 51〜54 ターゲットマーク 60 枠体 61 開口部 70、70A 引張力可変付与手段 70B 圧縮力可変付与手段 71〜74 連結部材 71a〜74a 連結板 71b〜74b 接着材 75、76 巻取ローラ 77、78 モータ 79〜82 ギヤ 90 認識装置 91 カメラ 92 制御装置 93、94 スライダ 95、96 アクチュエータ 100A 高温蓄熱槽 100B 低温蓄熱槽 REFERENCE SIGNS LIST 10 substrate 11 to 14 target mark 20 cream solder 30 squeegee 40, 40A mask device (with variable tensile force applying means) 40B mask device (with variable compressive force applying device) 50 mask plate 51 to 54 target mark 60 frame 61 opening 70, 70A Variable tensile force applying means 70B Variable compressive force applying means 71-74 Connecting member 71a-74a Connecting plate 71b-74b Adhesive 75, 76 Take-up roller 77, 78 Motor 79-82 Gear 90 Recognition device 91 Camera 92 Control Apparatus 93, 94 Slider 95, 96 Actuator 100A High-temperature heat storage tank 100B Low-temperature heat storage tank

Claims (24)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 印刷対象の基板に対応するクリームはん
だ印刷用マスクプレートと、枠体と、前記マスクプレー
トと前記枠体とを連結すると共に該マスクプレートに引
張力を可変に付与する引張力可変付与手段を具備するマ
スク装置。
1. A mask plate for cream solder printing corresponding to a substrate to be printed, a frame, and a variable pulling force for connecting the mask plate and the frame and variably applying a pulling force to the mask plate. A mask device comprising an application means.
【請求項2】 請求項1に記載のマスク装置において、
前記マスクプレートは(1)SUS(ステンレス)材等の金属
材料、 (2)ポリ塩化ビニルやポリエチレン、ポリイミ
ド、ポリアミド等の樹脂材料、及び (3)ポリウレタン等
のゴム系弾性材料のうち、いづれかの材料で形成されて
いることを特徴とするマスク装置。
2. The mask device according to claim 1, wherein
The mask plate may be made of any one of (1) a metal material such as SUS (stainless steel), (2) a resin material such as polyvinyl chloride, polyethylene, polyimide, and polyamide, and (3) a rubber-based elastic material such as polyurethane. A mask device characterized by being formed of a material.
【請求項3】 請求項1に記載のマスク装置において、
前記マスクプレートは前記基板が含む基材と同じ材料で
形成されていることを特徴とするマスク装置。
3. The mask apparatus according to claim 1, wherein
The mask device, wherein the mask plate is formed of the same material as a base material included in the substrate.
【請求項4】 請求項1に記載のマスク装置において、
前記マスクプレートは前記基板の設計寸法に対して縮小
して作製され、その変化率は、同基板に予想される縮み
方向の最大変化率よりも大きいことを特徴とするマスク
装置。
4. The mask device according to claim 1, wherein
The mask apparatus according to claim 1, wherein the mask plate is manufactured to be smaller than a design dimension of the substrate, and a rate of change thereof is larger than a maximum rate of change in a shrinking direction expected for the substrate.
【請求項5】 請求項1に記載のマスク装置において、
前記引張力可変付与手段として、前記マスクプレートの
隣接2辺と前記枠体の隣接2辺をそれぞれ連結する第
1、第2の連結部材と、前記マスクプレートの他の隣接
2辺にそれぞれ一端部が固定された第3、第4の連結部
材と、前記枠体の他の隣接2辺にそれぞれ設けられ、第
3、第4の連結部材の他端部を移動量可変に引っ張る第
1、第2の可変引張手段を具備することを特徴とするマ
スク装置。
5. The mask device according to claim 1, wherein
First and second connecting members for connecting the adjacent two sides of the mask plate and the adjacent two sides of the frame body respectively as the tensile force variable applying means, and one end portions on the other adjacent two sides of the mask plate, respectively. Are fixed to the third and fourth connecting members, respectively, and the first and second connecting members are provided on the other two adjacent sides of the frame, respectively, and the other ends of the third and fourth connecting members are movably pulled. A mask device comprising: two variable tension means.
【請求項6】 請求項5に記載のマスク装置において、
第1の可変引張手段として、前記枠体に回転可能に設け
られ、第3の連結部材の他端部が固定され、同第3の連
結部材を巻き取る第1の巻取ローラと、この第1の巻取
ローラを回転駆動する第1のアクチュエータを具備し、
第2の可変引張手段として、前記枠体に回転可能に設け
られ、第4の連結部材の他端部が固定され、同第4の連
結部材を巻とる第2の巻取ローラと、この第2の巻取ロ
ーラを回転駆動する第2のアクチュエータを具備するこ
とを特徴とするマスク装置。
6. The mask device according to claim 5, wherein
A first take-up roller that is rotatably provided on the frame body, the other end of the third connection member is fixed, and takes up the third connection member, as first variable tension means; A first actuator that rotationally drives one take-up roller;
As a second variable tension means, a second winding roller rotatably provided on the frame body, the other end of the fourth connecting member being fixed, and winding the fourth connecting member; A mask device comprising: a second actuator that rotationally drives the second winding roller.
【請求項7】 請求項5に記載のマスク装置において、
第1の可変引張手段として、前記枠体に移動可能に設け
られ、第3の連結部材の他端部が固定された第1のスラ
イダと、この第1のスライダを移動させる第1のアクチ
ュエータを具備し、第2の可変引張手段として、前記枠
体に移動可能に設けられ、第4の連結部材の他端部が固
定された第2のスライダと、この第2のスライダを移動
させる第2のアクチュエータを具備することを特徴とす
るマスク装置。
7. The mask device according to claim 5, wherein
As a first variable tension means, a first slider movably provided on the frame body and having the other end of the third connecting member fixed thereto, and a first actuator for moving the first slider A second slider provided movably on the frame as a second variable tension means, the other end of the fourth connecting member being fixed, and a second slider for moving the second slider. A mask device comprising the above-mentioned actuator.
【請求項8】 印刷対象の基板に対応するクリームはん
だ印刷用マスクプレートと、枠体と、前記マスクプレー
トと前記枠体とを連結すると共に該マスクプレートに圧
縮力を可変に付与する圧縮力可変付与手段を具備するマ
スク装置。
8. A mask plate for cream solder printing corresponding to a substrate to be printed, a frame, and a variable compression force for connecting the mask plate and the frame and variably applying a compression force to the mask plate. A mask device comprising an application means.
【請求項9】 請求項8に記載のマスク装置において、
前記マスクプレートは(1)SUS(ステンレス)材等の金属
材料、 (2)ポリ塩化ビニルやポリエチレン、ポリイミ
ド、ポリアミド等の樹脂材料、及び (3)ポリウレタン等
のゴム系弾性材料のうち、いづれかの材料で形成されて
いることを特徴とするマスク装置。
9. The mask device according to claim 8, wherein
The mask plate may be made of any one of (1) a metal material such as SUS (stainless steel), (2) a resin material such as polyvinyl chloride, polyethylene, polyimide, and polyamide, and (3) a rubber-based elastic material such as polyurethane. A mask device characterized by being formed of a material.
【請求項10】 請求項8に記載のマスク装置におい
て、前記マスクプレートは前記基板が含む基材と同じ材
料で形成されていることを特徴とするマスク装置。
10. The mask apparatus according to claim 8, wherein the mask plate is formed of the same material as a base material included in the substrate.
【請求項11】 請求項8に記載のマスク装置におい
て、前記マスクプレートは前記基板の設計寸法に対して
拡大して作製され、その変化率は、同基板に予想される
伸び方向の最大変化率よりも大きいことを特徴とするマ
スク装置。
11. The mask apparatus according to claim 8, wherein the mask plate is manufactured by enlarging with respect to a design dimension of the substrate, and a change rate of the mask plate is a maximum change rate in an elongation direction expected for the substrate. A mask device characterized by being larger than the mask device.
【請求項12】 請求項8に記載のマスク装置におい
て、前記圧縮力可変付与手段として、前記マスクプレー
トの隣接2辺と前記枠体の隣接2辺をそれぞれ連結する
第1、第2の連結手段と、前記マスクプレートの他の隣
接2辺にそれぞれ一端部が固定された第3、第4の連結
部材と、前記枠体の他の隣接2辺にそれぞれ設けられ、
第3、第4の連結部材の他端部を移動量可変に押圧する
第1、第2の可変圧縮手段を具備することを特徴とする
マスク装置。
12. The mask device according to claim 8, wherein the first and second connecting means connect the adjacent two sides of the mask plate and the adjacent two sides of the frame, respectively, as the compressive force variable applying means. And third and fourth connecting members having one ends fixed to the other two adjacent sides of the mask plate, respectively, and provided on the other two adjacent sides of the frame,
A mask apparatus comprising first and second variable compression means for variably moving the other end of the third and fourth connecting members.
【請求項13】 請求項12に記載のマスク装置におい
て、第1の可変圧縮手段として、前記枠体に移動可能に
設けられ、第3の連結部材の他端部が固定された第1の
スライダと、この第1のスライダを移動させる第1のア
クチュエータを具備し、第2の可変圧縮手段として、前
記枠体に移動可能に設けられ、第4の連結部材の他端部
が固定された第2のスライダと、この第2のスライダを
移動させる第2のアクチュエータを具備することを特徴
とするマスク装置。
13. The mask device according to claim 12, wherein the first variable compression means is provided movably on the frame, and the other end of the third connecting member is fixed to the first slider. A first actuator for moving the first slider, a second variable compression means movably provided on the frame, and a fourth connecting member to which the other end is fixed. A mask apparatus comprising: a second slider; and a second actuator that moves the second slider.
【請求項14】 マスクプレートにより基板にクリーム
はんだを印刷する方法において、前記マスクプレートの
位置合わせ用に前記基板に設けられたターゲットマーク
間の寸法を実測し、このターゲットマーク間実測寸法に
実質的に一致するように前記マスクプレートを変形さ
せ、この変形したマスクプレートを用いてクリームはん
だを印刷することを特徴とするクリームはんだ印刷方
法。
14. A method of printing cream solder on a substrate using a mask plate, wherein dimensions between target marks provided on the substrate for alignment of the mask plate are measured, and the measured dimensions between the target marks are substantially measured. A cream solder printing method, wherein the mask plate is deformed so as to conform to the above, and cream solder is printed using the deformed mask plate.
【請求項15】 請求項14に記載のクリームはんだ印
刷方法において、前記マスクプレートとして請求項1か
ら7いずれかに記載のマスク装置を用い、同マスク装置
の引張力可変付与手段によりマスクプレートを変形させ
ることを特徴とするクリームはんだ印刷方法。
15. The cream solder printing method according to claim 14, wherein the mask plate according to any one of claims 1 to 7 is used as the mask plate, and the mask plate is deformed by a variable tensioning means of the mask device. A cream solder printing method characterized by being performed.
【請求項16】 請求項14に記載のクリームはんだ印
刷方法において、前記マスクプレートとして請求項8か
ら13いずれかに記載のマスク装置を用い、同マスク装
置の圧縮力可変付与手段によりマスクプレートを変形さ
せることを特徴とするクリームはんだ印刷方法。
16. The cream solder printing method according to claim 14, wherein the mask device according to any one of claims 8 to 13 is used as the mask plate, and the mask plate is deformed by a compression force variably applying means of the mask device. A cream solder printing method characterized by being performed.
【請求項17】 請求項14から16いずれかに記載の
クリームはんだ印刷方法において、前記変形したマスク
プレートの寸法を実測し、このマスクプレート実測寸法
と前記ターゲットマーク間実測寸法との差がなくなるよ
うに、前記マスクプレートを変形させることを特徴とす
るクリームはんだ印刷方法。
17. The cream solder printing method according to claim 14, wherein the dimension of the deformed mask plate is measured, and the difference between the measured dimension of the mask plate and the measured dimension between the target marks is eliminated. And a mask solder printing method, wherein the mask plate is deformed.
【請求項18】 請求項14に記載のクリームはんだ印
刷方法において、前記ターゲットマーク間実測寸法に応
じて前記マスクプレートを加熱により変形させることを
特徴とするクリームはんだ印刷方法。
18. The cream solder printing method according to claim 14, wherein the mask plate is deformed by heating according to the measured size between the target marks.
【請求項19】 請求項14に記載のクリームはんだ印
刷方法において、前記ターゲットマーク間実測寸法に応
じて前記マスクプレートを冷却により変形させることを
特徴とするクリームはんだ印刷方法。
19. The cream solder printing method according to claim 14, wherein the mask plate is deformed by cooling according to the measured size between the target marks.
【請求項20】 請求項14に記載のクリームはんだ印
刷方法において、クリームはんだ印刷の作業環境よりも
高い温度の高温蓄熱槽と低い温度の低温蓄熱槽を用い、
前記ターゲットマーク間実測寸法に基づいていずれか1
つの蓄熱槽を選択し、この選択した蓄熱槽に前記マスク
プレートを入れることにより、前記マスクプレートを変
形させることを特徴とするクリームはんだ印刷方法。
20. The cream solder printing method according to claim 14, wherein a high-temperature heat storage tank having a higher temperature and a low-temperature heat storage tank having a lower temperature than the working environment of the cream solder printing are used.
Any one based on the measured dimension between the target marks
A cream solder printing method, wherein one of the heat storage tanks is selected, and the mask plate is deformed by placing the mask plate in the selected heat storage tank.
【請求項21】 請求項20に記載のクリームはんだ印
刷方法において、前記マスクプレートを蓄熱槽に入れて
おく時間を、前記ターゲットマーク間実測寸法に基づい
て設定することを特徴とするクリームはんだ印刷方法。
21. The cream solder printing method according to claim 20, wherein a time for keeping the mask plate in the heat storage tank is set based on the actually measured dimension between the target marks. .
【請求項22】 請求項20に記載のクリームはんだ印
刷方法において、前記高温蓄熱槽及び低温蓄熱槽とし
て、それぞれ、互いに温度が異なる蓄熱槽を複数用いる
ことを特徴とするクリームはんだ印刷方法。
22. The cream solder printing method according to claim 20, wherein a plurality of heat storage tanks having different temperatures are used as the high-temperature heat storage tank and the low-temperature heat storage tank, respectively.
【請求項23】 マスクプレートにより基板にクリーム
はんだを印刷する方法において、前記マスクプレートと
して、前記基板が含む基材と同じ材料で作成され、か
つ、前記基板と同じ熱履歴が与えられたマスクプレート
を用いることを特徴とするクリームはんだ印刷方法。
23. A method of printing cream solder on a substrate by using a mask plate, wherein the mask plate is made of the same material as a base material included in the substrate and has the same thermal history as the substrate. A cream solder printing method characterized by using:
【請求項24】 マスクプレートにより基板にクリーム
はんだを印刷する方法において、前記基板の設計寸法に
対し僅かにずれ、かつ、互いに異なる寸法で作成した複
数のマスクプレートを用意しておき、前記マスクプレー
トの位置合わせ用に前記基板に設けられたターゲットマ
ーク間の寸法を実測し、このターゲットマーク間実測寸
法に応じて前記複数のマスクプレートから1つを選択
し、この選択したマスクプレートを用いてクリームはん
だを印刷することを特徴とするクリームはんだ印刷方
法。
24. A method of printing cream solder on a substrate by using a mask plate, wherein a plurality of mask plates are prepared which are slightly shifted from a design size of the substrate and have different sizes from each other. The dimensions between target marks provided on the substrate for alignment of the target marks are measured, one of the plurality of mask plates is selected according to the measured dimensions between the target marks, and the cream is selected using the selected mask plate. A cream solder printing method characterized by printing solder.
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