JP2001248560A - 流体非接触ポンプ - Google Patents
流体非接触ポンプInfo
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ポンプ側のピストンやダイアフラムが送給流
体と接触することがない流体非接触ポンプを得る。 【構成】 送給流体を送給するための隔膜ポンプ半体
と、この隔膜ポンプ半体にポンプ作用を及ぼす駆動ポン
プ半体とを結合するという着想によるもので、隔膜ポン
プ半体は、隔膜によって画成され、該隔膜の弾性変形に
よって容積を変化させる流体吸排室と、この流体吸排室
に該流体吸排室に向かう方向の流体流のみを許す逆止弁
を介して接続された入口流路と、流体吸排室から出る方
向の流体流のみを許す逆止弁を介して接続された出口流
路とを有する。一方、駆動ポンプ半体は、隔膜ポンプ半
体の隔膜を挟んで流体吸排室の反対側に位置する隔膜変
形室を有する圧力室と、この圧力室内の圧力を周期的に
増減させ上記隔膜を変形させて流体吸排室の容積を大小
に変化させるポンプとを有する。
体と接触することがない流体非接触ポンプを得る。 【構成】 送給流体を送給するための隔膜ポンプ半体
と、この隔膜ポンプ半体にポンプ作用を及ぼす駆動ポン
プ半体とを結合するという着想によるもので、隔膜ポン
プ半体は、隔膜によって画成され、該隔膜の弾性変形に
よって容積を変化させる流体吸排室と、この流体吸排室
に該流体吸排室に向かう方向の流体流のみを許す逆止弁
を介して接続された入口流路と、流体吸排室から出る方
向の流体流のみを許す逆止弁を介して接続された出口流
路とを有する。一方、駆動ポンプ半体は、隔膜ポンプ半
体の隔膜を挟んで流体吸排室の反対側に位置する隔膜変
形室を有する圧力室と、この圧力室内の圧力を周期的に
増減させ上記隔膜を変形させて流体吸排室の容積を大小
に変化させるポンプとを有する。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、閉じられた系内の流体を送給す
るのに適した流体非接触ポンプに関する。
るのに適した流体非接触ポンプに関する。
【０００２】
【従来技術およびその問題点】通常のポンプは、流体に
送給力を与えるピストンやダイアフラムが、送給流体に
接触する。しかし、医薬、食品、半導体工業、化学工業
等においては、送給流体に不純物の混入を嫌う場合が多
々あり、ポンプ側のピストンやダイアフラムが送給流体
に接触する通常のポンプは、不純物の混入の可能性が高
いため、これらの用途には適していない。
送給力を与えるピストンやダイアフラムが、送給流体に
接触する。しかし、医薬、食品、半導体工業、化学工業
等においては、送給流体に不純物の混入を嫌う場合が多
々あり、ポンプ側のピストンやダイアフラムが送給流体
に接触する通常のポンプは、不純物の混入の可能性が高
いため、これらの用途には適していない。
【０００３】
【発明の目的】本発明は、ポンプ側のピストンやダイア
フラムが送給流体と接触することがない流体非接触ポン
プを得ることを目的とする。
フラムが送給流体と接触することがない流体非接触ポン
プを得ることを目的とする。
【０００４】
【発明の概要】本発明は、送給流体を送給するための隔
膜ポンプ半体と、この隔膜ポンプ半体にポンプ作用を及
ぼす駆動ポンプ半体とを結合するという着想に基づいて
なされたものであり、隔膜ポンプ半体は、隔膜によって
画成され、該隔膜の弾性変形によって容積を変化させる
流体吸排室と、この流体吸排室に該流体吸排室に向かう
方向の流体流のみを許す逆止弁を介して接続された入口
流路と、流体吸排室から出る方向の流体流のみを許す逆
止弁を介して接続された出口流路とを有し、一方、駆動
ポンプ半体は、隔膜ポンプ半体の隔膜を挟んで流体吸排
室の反対側に位置する隔膜変形室を有する圧力室と、こ
の圧力室内の圧力を周期的に増減させ上記隔膜を変形さ
せて上記流体吸排室の容積を大小に変化させるポンプと
を有することを特徴としている。このポンプによると、
隔膜ポンプ半体に流れる流体を、駆動ポンプ半体側の駆
動部分と接触させることなく、送給することができる。
膜ポンプ半体と、この隔膜ポンプ半体にポンプ作用を及
ぼす駆動ポンプ半体とを結合するという着想に基づいて
なされたものであり、隔膜ポンプ半体は、隔膜によって
画成され、該隔膜の弾性変形によって容積を変化させる
流体吸排室と、この流体吸排室に該流体吸排室に向かう
方向の流体流のみを許す逆止弁を介して接続された入口
流路と、流体吸排室から出る方向の流体流のみを許す逆
止弁を介して接続された出口流路とを有し、一方、駆動
ポンプ半体は、隔膜ポンプ半体の隔膜を挟んで流体吸排
室の反対側に位置する隔膜変形室を有する圧力室と、こ
の圧力室内の圧力を周期的に増減させ上記隔膜を変形さ
せて上記流体吸排室の容積を大小に変化させるポンプと
を有することを特徴としている。このポンプによると、
隔膜ポンプ半体に流れる流体を、駆動ポンプ半体側の駆
動部分と接触させることなく、送給することができる。
【０００５】駆動ポンプ半体には、その圧力室に、該圧
力室に向かう方向の流体流のみを許す逆止弁を介して吸
入口を連通させ、該圧力室から出る方向の流体流のみを
許す逆止弁を介して排出口を連通させることが望まし
い。この吸入口の逆止弁は、流体吸排室の容積が拡大す
る過程で圧力室の圧力が所定値以下となったときに開
き、排出口の逆止弁は、流体吸排室の容積が縮小する過
程で圧力室の圧力が所定値以上となったときに開くもの
とする。
力室に向かう方向の流体流のみを許す逆止弁を介して吸
入口を連通させ、該圧力室から出る方向の流体流のみを
許す逆止弁を介して排出口を連通させることが望まし
い。この吸入口の逆止弁は、流体吸排室の容積が拡大す
る過程で圧力室の圧力が所定値以下となったときに開
き、排出口の逆止弁は、流体吸排室の容積が縮小する過
程で圧力室の圧力が所定値以上となったときに開くもの
とする。
【０００６】また、駆動ポンプ半体には、流体吸排室の
容積が略最小となるときに圧力室の圧力をリリーフする
リリーフ弁を設けることも可能である。
容積が略最小となるときに圧力室の圧力をリリーフする
リリーフ弁を設けることも可能である。
【０００７】本発明の流体非接触ポンプは、駆動ポンプ
半体のポンプの形態を問わないが、例えば、隔膜ポンプ
半体の隔膜と略平行をなし往復駆動されるダイアフラム
を有するダイアフラムポンプから構成することができ
る。
半体のポンプの形態を問わないが、例えば、隔膜ポンプ
半体の隔膜と略平行をなし往復駆動されるダイアフラム
を有するダイアフラムポンプから構成することができ
る。
【０００８】異なる閉じられた系の流体用の隔膜ポンプ
半体に対して使用可能にするため、隔膜ポンプ半体と駆
動ポンプ半体とは着脱可能とすることが好ましい。
半体に対して使用可能にするため、隔膜ポンプ半体と駆
動ポンプ半体とは着脱可能とすることが好ましい。
【０００９】
【発明の実施形態】図１ないし図４は、本発明による流
体非接触ポンプの第一の実施形態を示すもので、図１
は、隔膜ポンプ半体１０と駆動ポンプ半体２０を分離状
態で示し、図２ないし図４は結合状態で示している。隔
膜ポンプ半体１０の隔膜ブロック１１には、隔膜１２に
よって流体吸排室１３が画成されている。流体吸排室１
３は、凹球面の一部からなっていて、その周縁に凹球面
の一部を切り取る形の隔膜１２の周縁が液密に接着され
ている。この流体吸排室１３には、入口流路１４と出口
流路１５とが接続されており、この入口流路１４には流
体吸排室１３へ向かう方向の流体流のみを許す逆止弁１
６が設けられ、出口流路１５には流体吸排室１３から出
る方向の流体流のみを許す逆止弁１７が設けられてい
る。逆止弁１６、１７は、図示例ではダックビルからな
っている。入口流路１４、流体吸排室１３、出口流路１
５には、不純物の混入を嫌う流体（例えば薬液）が供給
される。流体吸排室１３は、この流体によって侵される
ことも流体を侵すこともなく、流体吸排室１３の容積を
大小に変化させることができる弾性を有する材料からな
っている。
体非接触ポンプの第一の実施形態を示すもので、図１
は、隔膜ポンプ半体１０と駆動ポンプ半体２０を分離状
態で示し、図２ないし図４は結合状態で示している。隔
膜ポンプ半体１０の隔膜ブロック１１には、隔膜１２に
よって流体吸排室１３が画成されている。流体吸排室１
３は、凹球面の一部からなっていて、その周縁に凹球面
の一部を切り取る形の隔膜１２の周縁が液密に接着され
ている。この流体吸排室１３には、入口流路１４と出口
流路１５とが接続されており、この入口流路１４には流
体吸排室１３へ向かう方向の流体流のみを許す逆止弁１
６が設けられ、出口流路１５には流体吸排室１３から出
る方向の流体流のみを許す逆止弁１７が設けられてい
る。逆止弁１６、１７は、図示例ではダックビルからな
っている。入口流路１４、流体吸排室１３、出口流路１
５には、不純物の混入を嫌う流体（例えば薬液）が供給
される。流体吸排室１３は、この流体によって侵される
ことも流体を侵すこともなく、流体吸排室１３の容積を
大小に変化させることができる弾性を有する材料からな
っている。
【００１０】駆動ポンプ半体２０は、アッパブロック２
１とロワブロック２２を有し、アッパブロック２１に
は、隔膜ポンプ半体１０と結合されたとき、流体吸排室
１３の反対側に位置する隔膜変形室２３ａが形成されて
いる。隔膜変形室２３ａは、隔膜１２を挟んで、流体吸
排室１３と対称形状をしている。アッパブロック２１と
ロワブロック２２の間には、ダイアフラム（ダイアフラ
ムアッセンブリ）２４の周縁部が挟着されており、この
ダイアフラム２４の中心部には、往復摺動ロッド２５の
図の上端部が気密に結合されている。ダイアフラム２４
の図の上側の容積変化室２３ｂは連通路２３ｃを介して
隔膜変形室２３ａと連通し、これら隔膜変形室２３ａ、
容積変化室２３ｂ、連通路２３ｃが、隔膜１２によって
閉じられる圧力室２３を構成している。ダイアフラム２
４は、隔膜ポンプ半体１０と駆動ポンプ半体２０が結合
されたとき、隔膜１２と平行をなすように設けられてい
る。
１とロワブロック２２を有し、アッパブロック２１に
は、隔膜ポンプ半体１０と結合されたとき、流体吸排室
１３の反対側に位置する隔膜変形室２３ａが形成されて
いる。隔膜変形室２３ａは、隔膜１２を挟んで、流体吸
排室１３と対称形状をしている。アッパブロック２１と
ロワブロック２２の間には、ダイアフラム（ダイアフラ
ムアッセンブリ）２４の周縁部が挟着されており、この
ダイアフラム２４の中心部には、往復摺動ロッド２５の
図の上端部が気密に結合されている。ダイアフラム２４
の図の上側の容積変化室２３ｂは連通路２３ｃを介して
隔膜変形室２３ａと連通し、これら隔膜変形室２３ａ、
容積変化室２３ｂ、連通路２３ｃが、隔膜１２によって
閉じられる圧力室２３を構成している。ダイアフラム２
４は、隔膜ポンプ半体１０と駆動ポンプ半体２０が結合
されたとき、隔膜１２と平行をなすように設けられてい
る。
【００１１】往復摺動ロッド２５は、ダイアフラム２４
の平面方向と直交する方向に摺動自在にしてロワブロッ
ク２２に支持されており、その図の下端部は、コンロッ
ド２６の上端部に軸２６ａで枢着されている。コンロッ
ド２６は、その下端部に円形穴２６ｂを有し、この円形
穴２６ｂ内に偏心カム２６ｃが回転自在に挿入されてい
る。偏心カム２６ｃは、円形穴２６ｂの中心とは偏心し
た偏心穴２６ｄを有し、この偏心穴２６ｄに減速機付き
モータ２７によって一方向に回転駆動される円板２７ａ
が回転自在に挿入されている。
の平面方向と直交する方向に摺動自在にしてロワブロッ
ク２２に支持されており、その図の下端部は、コンロッ
ド２６の上端部に軸２６ａで枢着されている。コンロッ
ド２６は、その下端部に円形穴２６ｂを有し、この円形
穴２６ｂ内に偏心カム２６ｃが回転自在に挿入されてい
る。偏心カム２６ｃは、円形穴２６ｂの中心とは偏心し
た偏心穴２６ｄを有し、この偏心穴２６ｄに減速機付き
モータ２７によって一方向に回転駆動される円板２７ａ
が回転自在に挿入されている。
【００１２】以上のダイアフラム２４、往復摺動ロッド
２５、コンロッド２６及び減速機付きモータ２７は、ダ
イアフラムポンプを構成する。すなわち、減速機付きモ
ータ２７により円板２７ａが連続回転すると、往復摺動
ロッド２５とともにダイアフラム２４が昇降運動し、ダ
イアフラム２４が昇降運動すると、圧力室２３の容積が
変化し、圧力が変化する。
２５、コンロッド２６及び減速機付きモータ２７は、ダ
イアフラムポンプを構成する。すなわち、減速機付きモ
ータ２７により円板２７ａが連続回転すると、往復摺動
ロッド２５とともにダイアフラム２４が昇降運動し、ダ
イアフラム２４が昇降運動すると、圧力室２３の容積が
変化し、圧力が変化する。
【００１３】以上の隔膜ポンプ半体１０と駆動ポンプ半
体２０とは、アッパブロック２１の隔膜変形室２３ａの
外周縁に位置させたＯリングＯを介し、圧力室２３を気
密にして結合される。図２は、結合時の状態（中立状
態）を示すもので、隔膜１２が中立位置にあり、ダイア
フラム２４も中立位置にある。隔膜１２の中立位置とは
流体吸排室１３と隔膜変形室２３ａの容積が同一になる
位置であり、ダイアフラム２４の中立位置とは、ダイア
フラム２４の位置変化によって容積が変化する圧力室２
３の容積が最大値と最小値の中間値になる位置である。
体２０とは、アッパブロック２１の隔膜変形室２３ａの
外周縁に位置させたＯリングＯを介し、圧力室２３を気
密にして結合される。図２は、結合時の状態（中立状
態）を示すもので、隔膜１２が中立位置にあり、ダイア
フラム２４も中立位置にある。隔膜１２の中立位置とは
流体吸排室１３と隔膜変形室２３ａの容積が同一になる
位置であり、ダイアフラム２４の中立位置とは、ダイア
フラム２４の位置変化によって容積が変化する圧力室２
３の容積が最大値と最小値の中間値になる位置である。
【００１４】図２のセッティング状態において、減速機
付きモータ２７を介して円板２７ａを適当な速度で駆動
すると、ダイアフラム２４の図における下降過程では圧
力室２３と隔膜１２によって構成される室の圧力が下降
（減少）し、同上昇過程では、同室の圧力が上昇（増
加）する。すると、圧力室２３の圧力上昇過程では、隔
膜１２が流体吸排室１３側に変形して流体吸排室１３の
容積が縮小する。このとき、入口流路１４を介しての流
体の吐出は逆止弁１６が阻止するため、流体吸排室１３
内の流体が出口流路１５から逆止弁１７を介して排出さ
れる。一方、圧力室２３の圧力下降過程では、出口流路
１５を介しての流体の吸入は逆止弁１７が阻止するた
め、隔膜１２が圧力室２３側に変形して入口流路１４か
ら逆止弁１６を介して流体吸排室１３内に流体が供給さ
れる（図３、図４参照）。この動作が繰り返される結
果、入口流路１４から出口流路１５へ流体が送給される
ことになる。なお、実際の動作では、ダイアフラム２４
の昇降動作と、隔膜１２の昇降動作には若干の時間遅れ
が生じるが、以上の説明ではこの時間遅れを無視してい
る。この送給流体は、隔膜１２（隔膜ブロック１１）内
に閉じられていて駆動ポンプ半体２０側に接触すること
がないため、不純物が混入するおそれがない。
付きモータ２７を介して円板２７ａを適当な速度で駆動
すると、ダイアフラム２４の図における下降過程では圧
力室２３と隔膜１２によって構成される室の圧力が下降
（減少）し、同上昇過程では、同室の圧力が上昇（増
加）する。すると、圧力室２３の圧力上昇過程では、隔
膜１２が流体吸排室１３側に変形して流体吸排室１３の
容積が縮小する。このとき、入口流路１４を介しての流
体の吐出は逆止弁１６が阻止するため、流体吸排室１３
内の流体が出口流路１５から逆止弁１７を介して排出さ
れる。一方、圧力室２３の圧力下降過程では、出口流路
１５を介しての流体の吸入は逆止弁１７が阻止するた
め、隔膜１２が圧力室２３側に変形して入口流路１４か
ら逆止弁１６を介して流体吸排室１３内に流体が供給さ
れる（図３、図４参照）。この動作が繰り返される結
果、入口流路１４から出口流路１５へ流体が送給される
ことになる。なお、実際の動作では、ダイアフラム２４
の昇降動作と、隔膜１２の昇降動作には若干の時間遅れ
が生じるが、以上の説明ではこの時間遅れを無視してい
る。この送給流体は、隔膜１２（隔膜ブロック１１）内
に閉じられていて駆動ポンプ半体２０側に接触すること
がないため、不純物が混入するおそれがない。
【００１５】図５ないし図８は、本発明の第二の実施形
態を示す。第一の実施形態では、圧力室２３が閉じられ
ていたのに対し、この実施形態は、圧力室２３に、吸入
口２８と排出口２９を連通させ、吸入口２８には圧力室
２３へ向かう方向の流体流のみを許す逆止弁２８ａを設
け、排出口２９には圧力室２３から出る方向の流体流の
みを許す逆止弁２９ａを設けている。この他の構成は、
図１ないし図４の第一の実施形態と同一であり、同一部
分には同一の符号を付している。図５、６、７、８はそ
れぞれ、図１、２、３、４に対応している。
態を示す。第一の実施形態では、圧力室２３が閉じられ
ていたのに対し、この実施形態は、圧力室２３に、吸入
口２８と排出口２９を連通させ、吸入口２８には圧力室
２３へ向かう方向の流体流のみを許す逆止弁２８ａを設
け、排出口２９には圧力室２３から出る方向の流体流の
みを許す逆止弁２９ａを設けている。この他の構成は、
図１ないし図４の第一の実施形態と同一であり、同一部
分には同一の符号を付している。図５、６、７、８はそ
れぞれ、図１、２、３、４に対応している。
【００１６】この実施形態では、吸入口２８に設けた逆
止弁２８ａは、ダイアフラム２４の昇降動作により圧力
室２３の圧力が所定値以下となったときに開いて空気を
圧力室２３内に吸い込み、排出口２９の逆止弁２９ａ
は、同圧力室２３の圧力が所定値以上となったときに開
いて圧力室２３内の空気を排出する。したがって、その
開閉の臨界圧力を適当に設定することで、隔膜１２の位
置と入口流路１４の位置とを自動的に同期させることが
できる。すなわち、第一の実施形態のように、隔膜１２
とダイアフラム２４の中立位置を厳密に一致（同期）さ
せなくても、運転中に自動的に隔膜１２とダイアフラム
２４の中立位置を一致させ、第一の実施形態で説明した
のと同様の作用効果を得ることができる。
止弁２８ａは、ダイアフラム２４の昇降動作により圧力
室２３の圧力が所定値以下となったときに開いて空気を
圧力室２３内に吸い込み、排出口２９の逆止弁２９ａ
は、同圧力室２３の圧力が所定値以上となったときに開
いて圧力室２３内の空気を排出する。したがって、その
開閉の臨界圧力を適当に設定することで、隔膜１２の位
置と入口流路１４の位置とを自動的に同期させることが
できる。すなわち、第一の実施形態のように、隔膜１２
とダイアフラム２４の中立位置を厳密に一致（同期）さ
せなくても、運転中に自動的に隔膜１２とダイアフラム
２４の中立位置を一致させ、第一の実施形態で説明した
のと同様の作用効果を得ることができる。
【００１７】図９、図１０は、本発明の第三の実施形態
を示している。この実施形態は、圧力室２３に吸入口２
８（逆止弁２８ａ）、排出口２９（逆止弁２９ａ）を設
ける代わりに、ダイアフラム２４に、圧力室２３の容積
が最小となるときに該圧力室２３の圧力をリリーフする
リリーフ弁３０を設けた実施形態である。リリーフ弁３
０は、ダイアフラム２４に、圧力室２３を大気室３１に
連通させる貫通穴３２と、この貫通穴３２を開閉する弁
ステム３３と、この弁ステム３３を閉じる方向に付勢す
る圧縮ばね３４とを備えている。弁ステム３３は、ダイ
アフラム２４が上昇して圧力室２３の容積が最小となる
とき（つまりダイアフラム２４が図の上死点に達すると
き）またはその近傍において、アッパブロック２１の壁
面に押されて貫通穴３２を開き、圧力室２３内の圧力を
大気室３１に逃がす。
を示している。この実施形態は、圧力室２３に吸入口２
８（逆止弁２８ａ）、排出口２９（逆止弁２９ａ）を設
ける代わりに、ダイアフラム２４に、圧力室２３の容積
が最小となるときに該圧力室２３の圧力をリリーフする
リリーフ弁３０を設けた実施形態である。リリーフ弁３
０は、ダイアフラム２４に、圧力室２３を大気室３１に
連通させる貫通穴３２と、この貫通穴３２を開閉する弁
ステム３３と、この弁ステム３３を閉じる方向に付勢す
る圧縮ばね３４とを備えている。弁ステム３３は、ダイ
アフラム２４が上昇して圧力室２３の容積が最小となる
とき（つまりダイアフラム２４が図の上死点に達すると
き）またはその近傍において、アッパブロック２１の壁
面に押されて貫通穴３２を開き、圧力室２３内の圧力を
大気室３１に逃がす。
【００１８】この実施形態によると、ダイアフラム２４
が上死点に達する度に、圧力室２３内の圧力が最小（大
気圧）となるようにリセットされる。従って、これに続
くダイアフラム２４の下降過程で圧力室２３内の圧力を
確実に減少させて隔膜１２を隔膜変形室２３ａ側に変形
させ、ポンプ作用を行わせることができる。
が上死点に達する度に、圧力室２３内の圧力が最小（大
気圧）となるようにリセットされる。従って、これに続
くダイアフラム２４の下降過程で圧力室２３内の圧力を
確実に減少させて隔膜１２を隔膜変形室２３ａ側に変形
させ、ポンプ作用を行わせることができる。
【００１９】図９、図１０では、リリーフ弁３０をダイ
アフラム２４に設けたが、アッパブロック２１またはロ
ワブロック２２に設けてもよいことは明らかである。ま
た、以上の実施形態では、駆動ポンプ半体２０に設ける
ポンプとしてダイアフラムポンプを示したが、圧力室２
３内の圧力を周期的に増減させるものであれば、ピスト
ンポンプその他、ポンプの形式を問わない。
アフラム２４に設けたが、アッパブロック２１またはロ
ワブロック２２に設けてもよいことは明らかである。ま
た、以上の実施形態では、駆動ポンプ半体２０に設ける
ポンプとしてダイアフラムポンプを示したが、圧力室２
３内の圧力を周期的に増減させるものであれば、ピスト
ンポンプその他、ポンプの形式を問わない。
【００２０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、駆動ポン
プ半体側のピストンやダイアフラムが隔膜ポンプ半体側
の送給流体と接触することがない流体非接触ポンプを得
ることができる。
プ半体側のピストンやダイアフラムが隔膜ポンプ半体側
の送給流体と接触することがない流体非接触ポンプを得
ることができる。
【図１】本発明によるポンプの一実施形態を示す、隔膜
ポンプ半体と駆動ポンプ半体の分離状態の断面図であ
る。
ポンプ半体と駆動ポンプ半体の分離状態の断面図であ
る。
【図２】同結合状態の中立位置における断面図である。
【図３】同結合状態の吐出位置における断面図である。
【図４】同結合状態の吸入位置における断面図である。
【図５】本発明によるポンプの別の実施形態を示す、隔
膜ポンプ半体と駆動ポンプ半体の分離状態の断面図であ
る。
膜ポンプ半体と駆動ポンプ半体の分離状態の断面図であ
る。
【図６】同結合状態の中立位置における断面図である。
【図７】同結合状態の吐出位置における断面図である。
【図８】同結合状態の吸入位置における断面図である。
【図９】本発明によるポンプのさらに別の実施形態を示
す要部の中立位置における拡大断面図である。
す要部の中立位置における拡大断面図である。
【図１０】図９のポンプの吐出位置における拡大断面図
である。
である。
１０ 隔膜ポンプ半体 １１ 隔膜ブロック １２ 隔膜 １３ 流体吸排室 １４ 入口流路 １５ 出口流路 １６ １７ 逆止弁 ２０ 駆動ポンプ半体 ２１ アッパブロック ２２ ロワブロック ２３ 圧力室 ２３ａ 隔膜変形室 ２３ｂ 容積変化室 ２３ｃ 連通路 ２４ ダイアフラム ２５ 往復摺動ロッド ２６ コンロッド ２７ 減速機付きモータ ２８ 吸入口 ２９ 排出口 ３０ リリーフ弁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H077 AA01 AA12 BB05 CC01 CC02 CC07 CC09 CC14 CC18 DD02 DD12 EE01 EE31 EE40 FF03 FF04 FF07 FF08 FF12 FF47 FF48 FF54 FF60
Claims (5)
- 【請求項１】 隔膜によって画成され、該隔膜の弾性変
形によって容積を変化させる流体吸排室と、 この流体吸排室に該流体吸排室に向かう方向の流体流の
みを許す逆止弁を介して接続された入口流路と、 上記流体吸排室から出る方向の流体流のみを許す逆止弁
を介して接続された出口流路と、 を有する隔膜ポンプ半体；及び上記隔膜ポンプ半体の隔
膜を挟んで上記流体吸排室の反対側に位置する隔膜変形
室を含む圧力室と、 この圧力室内の圧力を周期的に増減させ上記隔膜を変形
させて上記流体吸排室の容積を大小に変化させるポンプ
と、を有する駆動ポンプ半体；の結合体からなることを
特徴とする流体非接触ポンプ。 - 【請求項２】 請求項１記載の流体非接触ポンプにおい
て、駆動ポンプ半体には、その圧力室に吸入口と排出口
が連通し、この吸入口に、上記圧力室の圧力が所定値以
下となったときに開いて該圧力室に向かう方向の流体流
のみを許す逆止弁が設けられ、排出口に、上記圧力室の
圧力が所定値以上となったときに開いて該圧力室から出
る方向の流体流のみを許す逆止弁が設けられている流体
非接触ポンプ。 - 【請求項３】 請求項１記載の流体非接触ポンプにおい
て、駆動ポンプ半体には、圧力室の容積が略最小となる
ときに該圧力室の圧力をリリーフするリリーフ弁が設け
られている流体非接触ポンプ。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれか１項記載の
流体非接触ポンプにおいて、駆動ポンプ半体のポンプ
は、隔膜ポンプ半体の隔膜と略平行をなし往復駆動され
るダイアフラムを有するダイアフラムポンプからなって
いる流体非接触ポンプ。 - 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれか１項記載の
流体非接触ポンプにおいて、隔膜ポンプ半体と駆動ポン
プ半体とは着脱可能である流体非接触ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000060468A JP2001248560A (ja) | 2000-03-06 | 2000-03-06 | 流体非接触ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000060468A JP2001248560A (ja) | 2000-03-06 | 2000-03-06 | 流体非接触ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001248560A true JP2001248560A (ja) | 2001-09-14 |
Family
ID=18580780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000060468A Pending JP2001248560A (ja) | 2000-03-06 | 2000-03-06 | 流体非接触ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001248560A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101746830B1 (ko) | 2016-03-11 | 2017-06-15 | 주식회사 나래나노텍 | 개선된 약액 가압 장치, 및 이를 구비한 약액 공급 장치 |
| US10173434B2 (en) | 2016-08-23 | 2019-01-08 | Seiko Epson Corporation | Check valve, diaphragm pump, and printing apparatus |
| WO2019117028A1 (ja) | 2017-12-11 | 2019-06-20 | セイコーエプソン株式会社 | ダックビル弁、ダイアフラムポンプ、及び印刷装置 |
| JP2019105368A (ja) * | 2017-12-11 | 2019-06-27 | セイコーエプソン株式会社 | ダックビル弁、ダイアフラムポンプ、及び印刷装置 |
-
2000
- 2000-03-06 JP JP2000060468A patent/JP2001248560A/ja active Pending
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| WO2019117028A1 (ja) | 2017-12-11 | 2019-06-20 | セイコーエプソン株式会社 | ダックビル弁、ダイアフラムポンプ、及び印刷装置 |
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| CN111433497A (zh) * | 2017-12-11 | 2020-07-17 | 精工爱普生株式会社 | 鸭嘴阀、隔膜泵以及印刷装置 |
| JP7155874B2 (ja) | 2017-12-11 | 2022-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 印刷装置 |
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