JP2001243793A - Test pattern generator - Google Patents

Test pattern generator

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JP2001243793A
JP2001243793A JP2000050589A JP2000050589A JP2001243793A JP 2001243793 A JP2001243793 A JP 2001243793A JP 2000050589 A JP2000050589 A JP 2000050589A JP 2000050589 A JP2000050589 A JP 2000050589A JP 2001243793 A JP2001243793 A JP 2001243793A
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test
pattern
under test
address
logic
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Japanese (ja)
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Koichiro Kurihara
孝一郎 栗原
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Kyushu Ando Electric Co Ltd
Original Assignee
Kyushu Ando Electric Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor test device being compact and having high test efficiency. SOLUTION: A scrambler 12 is formed by a logic circuit being programmable such as FPGA. When a semiconductor memory 50 is tested, the prescribed conversion regulation in converting logic address to a physical address is read out from a conversion program storage device 14, the conversion regulation is converted to HDL data forming a logic circuit in the scrambler 12 by a write data generating circuit 16. The HDL data is written in the scrambler 12 by a write-in circuit 18, and the logic circuit is structured. Thereby, a logic address from an ALPG 10 is converted to a physical address by the scrambler 12 and is supplied to a semiconductor memory 50 to be tested, and a test is performed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、試験パターン発生
器に係り、特に、たとえばDRAM(Dynamic random ac
cess memory)などの半導体メモリを試験する半導体試験
装置に用いて好適な試験パターン発生器に関するもので
ある。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a test pattern generator, and more particularly to, for example, a DRAM (Dynamic random ac).
The present invention relates to a test pattern generator suitable for use in a semiconductor test apparatus for testing a semiconductor memory such as a cess memory.

【0002】[0002]

【従来の技術】たとえば、DRAMなどの半導体メモリ
を試験する半導体試験装置では、半導体メモリのそれぞ
れのメモリセルの物理的配置において、ひとつのセルの
値が周囲のセルの値に影響されないことを確認するため
に、それぞれのメモリセルに所定のデータを書き込みお
よび読み出して、その読み出したデータが正常であるか
否かを検査する。この場合、たとえば被試験半導体メモ
リとなるDRAMは、そのメーカあるいは種類に応じ
て、メモリ共通に使用される論理アドレスに対して、そ
れぞれのメモリ毎のセル配置に応じた固有の物理アドレ
スを有する。このため、各種の半導体メモリを試験する
半導体試験装置は、共通の論理アドレスをそれぞれの被
試験半導体メモリに応じた物理アドレスに変換して供給
する試験パターン発生器が必要であった。
2. Description of the Related Art For example, in a semiconductor test apparatus for testing a semiconductor memory such as a DRAM, it has been confirmed that the value of one cell is not affected by the value of the surrounding cells in the physical arrangement of each memory cell of the semiconductor memory. For this purpose, predetermined data is written to and read from each memory cell, and whether or not the read data is normal is checked. In this case, for example, a DRAM serving as a semiconductor memory to be tested has a unique physical address corresponding to a cell arrangement for each memory, with respect to a logical address commonly used for the memories according to the manufacturer or type. For this reason, a semiconductor test apparatus that tests various semiconductor memories requires a test pattern generator that converts a common logical address into a physical address corresponding to each semiconductor memory under test and supplies the physical address.

【0003】従来、上記のような半導体試験装置に適用
される試験パターン発生器として、たとえば、図7また
は図8に示すようなものがあった。図7に示す試験パタ
ーン発生器は、試験順序に応じた規則的な論理アドレス
AXおよび被試験半導体メモリに書き込む所定のデータ
を発生するALPG(algorithmic logic patern genera
tor)100と、ALPG100からの論理アドレスAX
を対応の被試験半導体メモリの物理アドレスBXに変換
するアドレススクランブルテーブルを記憶するスクラン
ブルRAM(random access memory)(SCRAM)10
2と、被試験半導体メモリに応じた所定の変換則があら
かじめ記憶された変換プログラム記憶装置104と、そ
の変換則に基づいてスクランブルRAM102に記憶す
るアドレススクランブルテーブルを生成する論理演算回
路を含む制御回路106であって、その生成したスクラ
ンブルテーブルのスクランブルRAM102への書込み
およびそのデータの入出力を制御する制御回路106と
を有していた。
Conventionally, as a test pattern generator applied to the above-described semiconductor test apparatus, for example, there has been one shown in FIG. 7 or FIG. The test pattern generator shown in FIG. 7 generates an ALPG (algorithmic logic pattern generator) that generates a regular logical address AX according to the test order and predetermined data to be written to the semiconductor memory under test.
tor) 100 and the logical address AX from the ALPG 100
RAM (random access memory) (SCRAM) 10 for storing an address scramble table for converting the data into a physical address BX of the corresponding semiconductor memory under test.
2, a conversion program storage device 104 in which a predetermined conversion rule corresponding to the semiconductor memory under test is stored in advance, and a control circuit including a logical operation circuit for generating an address scramble table to be stored in the scramble RAM 102 based on the conversion rule And a control circuit 106 for controlling writing of the generated scramble table to the scramble RAM 102 and input / output of the data.

【0004】このような構成において、まず、試験開始
前に、試験対象となる半導体メモリ500の論理アドレ
スを物理アドレスに変換する際の所定の変換則を表わす
変換プログラムを生成して、変換プログラム記憶装置1
04にあらかじめ格納しておく。次に、試験に際して、
制御回路106にて変換プログラム記憶装置104に格
納された変換プログラムを読み出して、その変換プログ
ラムに基づいて論理演算回路を起動してアドレススクラ
ンブルテーブルを生成する。生成したアドレススクラン
ブルテーブルは、制御回路106からスクランブルRA
M102に順次書き込まれて、試験開始可能な状態とす
る。
In such a configuration, first, before starting the test, a conversion program representing a predetermined conversion rule for converting a logical address of the semiconductor memory 500 to be tested into a physical address is generated, and the conversion program is stored. Apparatus 1
04 in advance. Next, when testing
The control circuit 106 reads the conversion program stored in the conversion program storage device 104, activates the logical operation circuit based on the conversion program, and generates an address scramble table. The generated address scramble table is transmitted from the control circuit 106 to the scramble RA.
The data is sequentially written to M102, so that the test can be started.

【0005】次に、試験が開始されると、ALPG10
0が起動されて、試験順序に応じた論理アドレスAXが
順次生成されて、スクランブルRAM102に供給され
る。次いで、論理アドレスAXを受けたスクランブルR
AM102は、その値に基づいてアドレススクランブル
テーブルから対応の物理アドレスBXを読み出して、被
試験半導体メモリ500に供給する。この結果、被試験
半導体メモリ500の所定の物理アドレスが順次アクセ
スされて、ALPG100からのデータの書き込みまた
は読み出しが実行されて、被試験半導体メモリ500の
それぞれのメモリセルの正常性が試験される。
Next, when the test is started, ALPG10
0 is activated, and logical addresses AX corresponding to the test order are sequentially generated and supplied to the scramble RAM 102. Next, the scramble R receiving the logical address AX
The AM 102 reads the corresponding physical address BX from the address scramble table based on the value and supplies the read physical address BX to the semiconductor memory under test 500. As a result, predetermined physical addresses of the semiconductor memory under test 500 are sequentially accessed, and data writing or reading from the ALPG 100 is executed, and the normality of each memory cell of the semiconductor memory under test 500 is tested.

【0006】ところで、図7に示す試験パターン発生器
では、被試験半導体メモリがその容量が大きなものにな
ると、スクランブルRAM102の容量も大きなものが
必要となる。たとえば、(16M×4)ビットの半導体
メモリを試験する場合に、24ビットの論理アドレスA
Xから24ビットの物理アドレスBXに変換するアドレ
ススクランブルデータ(16M×24ビット)を格納す
るRAMが必要となる。この場合、スクランブルRAM
104に使用されるRAMは、リフレッシュの必要がな
いSRAM(static RAM)またはフラッシュEEPROM(elect
rically erasable and programmable ROM)などが適用さ
れる。たとえば、512K×16ビットのSRAMを適
用すると、スクランブルRAM104には、64個のS
RAMを必要としていた。
In the test pattern generator shown in FIG. 7, if the semiconductor memory under test has a large capacity, a large capacity of the scramble RAM 102 is required. For example, when testing a (16M × 4) -bit semiconductor memory, a 24-bit logical address A
A RAM for storing address scramble data (16M × 24 bits) for converting X to a 24-bit physical address BX is required. In this case, scramble RAM
The RAM used for the RAM 104 is a static RAM (SRAM) or a flash EEPROM (electr
rically erasable and programmable ROM). For example, when a 512K × 16-bit SRAM is applied, 64 scrambling RAMs 104
RAM was needed.

【0007】そこで、図8に示す試験パターン発生器で
は、セレクタ200,202を用いて、RAMの個数を
少なくした構成のものであった。第1のセレクタ200
は、24ビット入力1ビット出力のロジックを12個用
いた選択回路であり、24ビットの論理アドレスAXか
ら12ビット(RX)を選択して、ロウアドレス用のス
クランブルRAM204に供給する。同様に、第2のセ
レクタ202は、24to1のロジックを12個用いた
選択回路であり、論理アドレスAXから12ビット(C
X)を選択してカラムアドレス発生用のスクランブルR
AM206に供給する。それぞれのスクランブルRAM
204,206は、たとえば、512K×16ビットの
SRAMにて形成されている。
Therefore, the test pattern generator shown in FIG. 8 has a configuration in which selectors 200 and 202 are used to reduce the number of RAMs. First selector 200
Is a selection circuit using 12 logics of 24-bit input and 1-bit output, selects 12 bits (RX) from a 24-bit logical address AX, and supplies the selected address to the scrambling RAM 204 for row address. Similarly, the second selector 202 is a selection circuit using 12 pieces of 24to1 logic, and 12 bits (C
X) to select a scramble R for column address generation
Supply to AM206. Each scramble RAM
204 and 206 are formed of, for example, 512K × 16-bit SRAM.

【0008】この場合、制御回路208は、変換プログ
ラムに基づいてセレクタ200,202をそれぞれ切り
替えて、ロウアドレスの変換に用いるビットRXと、カ
ラムアドレスに用いるビットCXを論理アドレスAXか
らそれぞれ選択させる。ロウアドレス用のスクランブル
メモリ204には、第1のセレクタ200からの選択ビ
ットRXからロウアドレスの物理アドレスRBXに変換
するスクランブルテーブルを記憶させ、カラムアドレス
用のスクランブルメモリ206には、第2のセレクタ2
02からの選択ビットCXからカラムアドレスの物理ア
ドレスCBXに変換するスクランブルテーブルをそれぞ
れ記憶させるものであった。
In this case, the control circuit 208 switches the selectors 200 and 202 based on the conversion program to select the bit RX used for the row address conversion and the bit CX used for the column address from the logical address AX. The scrambling table 204 for converting the selection bit RX from the first selector 200 into the physical address RBX of the row address is stored in the row address scrambling memory 204, and the second selector is stored in the column address scrambling memory 206. 2
A scramble table for converting a selection bit CX from 02 into a physical address CBX of a column address is stored.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、図6
に示す従来の技術では、被試験半導体メモリの容量が大
となると、スクランブルRAM102に記憶するアドレ
ススクランブルテーブルのデータ量が増大して、使用さ
れるSRAMの個数が多くなり、装置が大型化するとい
う問題があった。また、スクランブルテーブルのデータ
量が多くなると、その演算およびデータの書込みに時間
がかかり、試験効率が悪くなるという問題があった。
As described above, FIG.
According to the conventional technique shown in the above, when the capacity of the semiconductor memory under test increases, the data amount of the address scramble table stored in the scramble RAM 102 increases, the number of SRAMs used increases, and the device becomes larger. There was a problem. Further, when the data amount of the scramble table increases, it takes a long time to perform the calculation and write the data, and there is a problem that the test efficiency is deteriorated.

【0010】一方、図8に示すものでは、制御回路20
8にてセレクタ200,202の切替制御と、スクラン
ブルRAM204,206のデータ制御の双方を実行し
なければならず、それらの制御が複雑となるという問題
があった。また、スクランブルRAM204,206で
の論理アドレスから物理アドレスへの変換則が制限され
て、複雑な変換パターンの際に適用できない場合がある
という問題があった。さらに、被試験半導体メモリの容
量が大となると、セレクタ200,202のロジックの
個数が増えて、装置が大型化するなどの問題があった。
On the other hand, in the circuit shown in FIG.
8 has to execute both the switching control of the selectors 200 and 202 and the data control of the scramble RAMs 204 and 206, and there is a problem in that the control thereof is complicated. In addition, there is a problem that the conversion rule from the logical address to the physical address in the scramble RAMs 204 and 206 is restricted, so that it may not be applicable to a complicated conversion pattern. Furthermore, when the capacity of the semiconductor memory under test becomes large, the number of logics of the selectors 200 and 202 increases, and there is a problem that the device becomes large.

【0011】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、被試験半導体メモリの容量が大きくなった場合
であっても、装置を大型化する必要がなく、かつ試験を
効率よく実行することができる試験パターン発生器を提
供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances. Even when the capacity of a semiconductor memory under test is increased, it is not necessary to increase the size of the apparatus and the test can be efficiently executed. It is an object to provide a test pattern generator that can perform the test.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明による試験パター
ン発生器は上記課題を解決するために、被試験デバイス
を試験する際にそれぞれの被試験デバイスに応じた所定
の試験パターンを発生する試験パターン発生器におい
て、所定のアルゴリズムに従って各被試験デバイスに共
通の規則的な論理パターンを発生する論理パターン発生
手段と、論理パターン発生手段からの論理パターンをそ
れぞれの被試験デバイスに応じた所定の試験パターンに
変換するパターン変換手段であって、複数の論理ゲート
の組み合わせを自在に組み替え可能な論理回路にて形成
されたパターン変換手段と、論理パターン発生手段から
の各被試験デバイスに共通の論理パターンをそれぞれの
被試験デバイスに応じた所定の試験パターンに変換する
際の所定の変換則が記憶された変換則記憶手段と、変換
則記憶手段から被試験デバイスに応じた変換則を読み出
して、その変換則に基づいてパターン変換手段の論理ゲ
ートの組み合わせを構築するための構築データを生成す
るデータ生成手段と、データ生成手段からの構築データ
をパターン変換手段に供給して被試験デバイスに応じた
論理ゲートの組み替えを実行するデータ書換手段とを含
むことを特徴とする。
According to the present invention, there is provided a test pattern generator for generating a predetermined test pattern corresponding to each device under test when testing the device under test. In the generator, a logic pattern generating means for generating a regular logic pattern common to each device under test in accordance with a predetermined algorithm; Pattern conversion means for converting a combination of a plurality of logic gates into a logic circuit which can be freely rearranged, and a logic pattern common to each device under test from the logic pattern generation means. The prescribed conversion rule when converting to the prescribed test pattern corresponding to each device under test is The conversion rule storage means and the conversion rule corresponding to the device under test are read from the conversion rule storage means, and construction data for constructing a combination of logic gates of the pattern conversion means is generated based on the conversion rule. It is characterized by including data generating means and data rewriting means for supplying construction data from the data generating means to the pattern converting means to execute rearrangement of logic gates according to the device under test.

【0013】この場合、本発明による試験パターン発生
器は、被試験デバイスとしてそれぞれ所定のアドレス空
間を有する半導体メモリのそれぞれのアドレスをアクセ
スして試験するためのアドレス信号を発生するアドレス
発生器として用いられ、その試験パターン発生手段は、
被試験デバイスとなる半導体メモリに共通の論理アドレ
スを所定の順序にて発生し、パターン変換手段は、試験
パターン発生手段からの論理アドレスを被試験デバイス
となるそれぞれの半導体メモリに応じた物理アドレスに
変換するとよい。
In this case, the test pattern generator according to the present invention is used as an address generator for generating an address signal for accessing and testing each address of a semiconductor memory having a predetermined address space as a device under test. And the test pattern generating means includes:
A logical address common to the semiconductor memory to be the device under test is generated in a predetermined order, and the pattern conversion means converts the logical address from the test pattern generation means to a physical address corresponding to each semiconductor memory to be the device under test. Convert it.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
による試験パターン発生器の一実施形態を詳細に説明す
る。図1には、本発明による試験パターン発生器の一実
施形態が示されている。本実施形態による試験パターン
発生器は、たとえばDRAM(dynamicrandom access me
mory)などの半導体メモリを試験する半導体試験装置に
適用されたパターン発生器であり、特に、本実施形態で
は、ALPG10からの論理アドレスAXを被試験半導
体メモリに応じた物理アドレスBXに変換するスクラン
ブラ12として、複数の論理ゲートの組み合わせを自在
に組み替え可能な論理回路にて形成した点が主な特徴点
である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, an embodiment of a test pattern generator according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows an embodiment of a test pattern generator according to the present invention. The test pattern generator according to the present embodiment is, for example, a dynamic random access memory (DRAM).
and a pattern generator applied to a semiconductor test apparatus for testing a semiconductor memory such as a semiconductor memory under test. In particular, in this embodiment, a scrambler for converting a logical address AX from the ALPG 10 into a physical address BX corresponding to the semiconductor memory under test. The main feature of the bra 12 is that it is formed by a logic circuit that can freely rearrange a combination of a plurality of logic gates.

【0015】より詳細には、本実施形態の試験パターン
発生器は、図1に示すように、ALPG(algoritymic l
ogic patern generator)10と、スクランブラ12と、
変換プログラム記憶装置14と、書込みデータ生成回路
16と、データ書込み制御回路18とを含む。
More specifically, as shown in FIG. 1, the test pattern generator according to the present embodiment has an ALPG (algorithmic logic unit).
ogic patern generator) 10, a scrambler 12,
It includes a conversion program storage device 14, a write data generation circuit 16, and a data write control circuit 18.

【0016】ALPG10は、所定のアルゴリズムに従
って所定の論理パターンを規則的に生成する論理パター
ン発生回路であり、本実施形態では、たとえばNビット
の半導体メモリに共通の論理アドレスAXを所定のビッ
ト数にて表わす0番地からN番地まで順次発生する論理
アドレス発生回路である。また、後述するように被試験
半導体メモリに書き込むデータを論理アドレスAXとと
もに発生し、データ読出しの際にそのデータを被試験半
導体メモリから取り込むデータ線を含む。論理アドレス
AXを供給するアドレス線は、スクランブラ12に接続
されている。
The ALPG 10 is a logic pattern generation circuit for regularly generating a predetermined logic pattern according to a predetermined algorithm. In this embodiment, for example, a logic address AX common to an N-bit semiconductor memory is reduced to a predetermined number of bits. Is a logical address generation circuit sequentially generated from address 0 to address N. Further, as described later, the data line includes a data line which generates data to be written to the semiconductor memory under test together with the logical address AX and takes in the data from the semiconductor memory under test when reading data. An address line for supplying the logical address AX is connected to the scrambler 12.

【0017】スクランブラ12は、ALPG10からの
論理アドレスAXを対象となる被試験半導体メモリ50
に応じた物理アドレスBXに変換するアドレス変換回路
であり、本実施形態では、複数の論理ゲートの組み合わ
せを自在に組み替え可能な論理回路、たとえばFPGA
(field programmable gate array) あるいはPLD(pro
grammable logic device) などのプログラミング可能な
論理回路が有利に適用されている。
The scrambler 12 uses the logical address AX from the ALPG 10 as the target semiconductor memory 50 to be tested.
Is a logic circuit that converts a combination of a plurality of logic gates freely, for example, an FPGA.
(field programmable gate array) or PLD (pro
A programmable logic circuit such as a grammable logic device is advantageously applied.

【0018】より具体的には、本実施形態のスクランブ
ラ12は、たとえば、図2に示すように、2入力1出力
の論理ゲートLGと、フリップフロップFFと、複数の
セレクタSEとを含む論理ブロックLBを最小単位とし
て、複数の論理ブロックLBを含む論理モジュールLM
が複数形成され、それらモジュール間およびブロック間
の接続およびデータの入出力を制御する制御データが記
憶されるSRAMなどの記憶回路MMが搭載された集積
回路である。ブロック間およびモジュール間の接続を規
定して論理ゲートの組み合わせをプログラミングする制
御データとして、たとえばHDL(hardware descriptio
n language) データなどが有利に適用される。
More specifically, as shown in FIG. 2, for example, the scrambler 12 of this embodiment has a logic circuit including a logic gate LG having two inputs and one output, a flip-flop FF, and a plurality of selectors SE. Logical module LM including a plurality of logical blocks LB with block LB as a minimum unit
Are integrated circuits mounted with a storage circuit MM such as an SRAM in which control data for controlling connection between modules and blocks and input / output of data is stored. As control data for programming a combination of logic gates by defining connections between blocks and between modules, for example, HDL (hardware descriptor)
n language) data etc. are advantageously applied.

【0019】図1に戻って、変換プログラム記憶装置1
4は、スクランブラ12にて論理アドレスAXを物理ア
ドレスBXに変換する際の所定の変換則があらかじめ記
憶された変換則記憶回路であり、本実施形態では、スク
ランブラ12での論理ゲートの組み合わせを構築する際
のたとえば、HDLデータを生成するソースプログラム
が記憶されている。変換則を表わすソースプログラム
は、試験に際して書込みデータ生成回路16に読み出さ
れる。
Returning to FIG. 1, the conversion program storage device 1
Reference numeral 4 denotes a conversion rule storage circuit in which a predetermined conversion rule for converting the logical address AX into the physical address BX by the scrambler 12 is stored in advance. In the present embodiment, a combination of logic gates in the scrambler 12 is used. For example, a source program for generating HDL data at the time of constructing is stored. The source program representing the conversion rule is read out by the write data generation circuit 16 during the test.

【0020】書込みデータ生成回路16は、変換プログ
ラム記憶回路14からの変換則に基づいてスクランブラ
12での論理ゲートの組み合わせを構築するための構築
データを生成するデータ生成回路であり、本実施形態で
は、変換プログラム記憶回路14から読み出したソース
プログラムにて、論理ゲートの組み合わせを構築するた
とえばHDLデータを生成する。生成されたHDLデー
タは、書込み制御回路18に供給される。
The write data generation circuit 16 is a data generation circuit that generates construction data for constructing a combination of logic gates in the scrambler 12 based on the conversion rule from the conversion program storage circuit 14. Then, for example, HDL data for constructing a combination of logic gates is generated by a source program read from the conversion program storage circuit 14. The generated HDL data is supplied to the write control circuit 18.

【0021】書込み制御回路18は、試験に際して書込
みデータ生成回路16にて生成した、たとえばHDLデ
ータをスクランブラ12の記憶回路MMに書き込んで、
その論理ゲートの組み替えを実行するデータ書換回路で
ある。
The write control circuit 18 writes, for example, HDL data generated by the write data generation circuit 16 at the time of the test into the storage circuit MM of the scrambler 12, and
This is a data rewriting circuit that executes the rearrangement of the logic gate.

【0022】次に、図3ないし図5を参照して本実施形
態による試験パターン発生器の動作を説明する。なお、
図3ないし図5では、本実施形態による試験パターン発
生器の動作をその理解を容易にするため、被試験半導体
メモリ50が(4×4)ビットのアドレス空間を有する
場合を例に挙げて説明する。
Next, the operation of the test pattern generator according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. In addition,
3 to 5, in order to facilitate understanding of the operation of the test pattern generator according to the present embodiment, a case where the semiconductor memory under test 50 has a (4 × 4) bit address space will be described as an example. I do.

【0023】まず、試験開始前に、試験対象となる半導
体メモリ50への論理アドレスAXを物理アドレスBX
に変換する際の所定の変換則を表わす変換プログラムを
生成して、変換プログラム記憶装置14にあらかじめ格
納しておく。この場合、論理アドレスAXは、図4に示
すように、(X0,X1,Y0,Y1)の4ビットにて
表わされ、0番地から16番地までのアドレスが順次規
則的に出力される。物理アドレスBXは、図5に示すよ
うに、(BX0,BX1,BY0,BY1)の4ビット
にて表わされ、論理アドレスAXのX0ビットに対して
9番目以降のBX0ビットの部分が異なる値となってい
る。
First, before starting the test, the logical address AX to the semiconductor memory 50 to be tested is changed to the physical address BX.
A conversion program representing a predetermined conversion rule when converting to is generated and stored in the conversion program storage device 14 in advance. In this case, the logical address AX is represented by four bits (X0, X1, Y0, Y1) as shown in FIG. 4, and the addresses from address 0 to address 16 are sequentially and regularly output. As shown in FIG. 5, the physical address BX is represented by four bits (BX0, BX1, BY0, BY1), and the value of the ninth and subsequent BX0 bits differs from the X0 bit of the logical address AX. It has become.

【0024】つまり、物理アドレスBXのBX0ビット
は、論理アドレスAXのY1ビットの値が”1”となっ
た場合にX0ビットを反転させた値となっている。物理
アドレスBXの他のBX1,BY0およびBY1ビット
は、論理アドレスAXの対応のX1,Y0およびY1ビ
ットと同じ値となっている。これにより、論理アドレス
AXの各ビットから物理アドレスBXのそれぞれのビッ
トBX0,BX1,BY0,BY1への変換式は、図6
のように表わされる。この図6において、Exorは、
排他的論理和を表わす。
That is, the BX0 bit of the physical address BX is a value obtained by inverting the X0 bit when the value of the Y1 bit of the logical address AX becomes "1". The other bits BX1, BY0 and BY1 of the physical address BX have the same values as the corresponding X1, Y0 and Y1 bits of the logical address AX. Thus, the conversion equation from each bit of the logical address AX to each bit BX0, BX1, BY0, BY1 of the physical address BX is as shown in FIG.
It is represented as In this FIG. 6, Exor is:
Indicates exclusive OR.

【0025】次に、上記のような変換則を表わす変換プ
ログラムは、試験に際して、変換プログラム記憶装置1
4から書込みデータ生成回路16に読み出される。これ
により、書込みデータ生成回路16では、論理アドレス
AXのX0ビットとY1ビットを入力として排他的論理
和をとる第1の論理ゲートと、それぞれ論理アドレスA
XのX1,Y0,Y1ビットをそのままの値にて出力す
る第2ないし第4の論理ゲートを構築するHDLデータ
を生成して、その結果を書込み制御回路18に供給す
る。
Next, the conversion program representing the above conversion rule is stored in the conversion program storage device 1 at the time of testing.
4 to the write data generation circuit 16. As a result, the write data generation circuit 16 performs the exclusive OR operation on the X0 bit and the Y1 bit of the logical address AX and inputs the logical address A
It generates HDL data for constructing the second to fourth logic gates that output the X1, Y0, and Y1 bits of X as they are, and supplies the result to the write control circuit 18.

【0026】次に、HDLデータを受けた書込み制御回
路18は、そのHDLデータをスクランブラ12の記憶
回路MMに書き込む。これにより、図3に示すように、
スクランブラ12に、論理アドレスAXのX0ビットと
Y1ビットを入力としてその排他的論理和をとって物理
アドレスBXのBX0ビットとして出力する第1の論理
ゲートG1と、それぞれ論理アドレスAXのX1,Y
0,Y1ビットをそのままの値にてそれぞれ物理アドレ
スBXのBX1,BY0,BY1ビットとして出力する
第2ないし第4の論理ゲートG2,G3,G4が構築さ
れる。この場合、第2ないし第4の論理ゲートG2,G
3,G4は、入力データをそのままの値にて出力するそ
れぞれトランスファゲートである。
Next, the write control circuit 18 having received the HDL data writes the HDL data into the storage circuit MM of the scrambler 12. Thereby, as shown in FIG.
A first logic gate G1 which inputs the X0 bit and Y1 bit of the logical address AX to the scrambler 12 and takes an exclusive OR thereof and outputs the result as the BX0 bit of the physical address BX;
The second to fourth logic gates G2, G3, and G4 that output the BX1, BY0, and BY1 bits of the physical address BX with the 0 and Y1 bits as they are are constructed. In this case, the second to fourth logic gates G2, G
Transfer gates 3 and G4 output the input data as they are.

【0027】以上のようにしてスクランブラ12の論理
回路が構築されると、試験開始可能な状態となる。次い
で、試験が開始されると、ALPG10が起動されて、
図4に示すように、論理アドレスAXが順次生成されて
スクランブラ12に供給され、それぞれのアドレスAX
とともにデータD1〜D16が生成されて被試験半導体
メモリ50に順次供給される。
When the logic circuit of the scrambler 12 is constructed as described above, the test can be started. Next, when the test is started, the ALPG 10 is activated,
As shown in FIG. 4, the logical addresses AX are sequentially generated and supplied to the scrambler 12, and the respective addresses AX
At the same time, data D1 to D16 are generated and sequentially supplied to the semiconductor memory under test 50.

【0028】次に、論理アドレスAXを入力したスクラ
ンブラ12では、第1の論理ゲートG1にて論理アドレ
スAXのX0ビットとY1ビットとの排他的論理和をと
ってその値を物理アドレスBXのBX0ビットとして被
試験半導体メモリ50に供給し、第2の論理ゲートG2
にて論理アドレスAXのX1ビットを物理アドレスBX
のBX1ビットとして被試験半導体メモリ50に供給す
る。同様に、第3の論理ゲートG3では、論理アドレス
AXのY0ビットを物理アドレスBXのBY0ビットと
し、第4の論理ゲートG4では、論理アドレスAXのY
1ビットを物理アドレスBXのBY1ビットとして、そ
れぞれ被試験半導体メモリ50に供給する。
Next, in the scrambler 12 to which the logical address AX has been input, the first logical gate G1 performs an exclusive OR operation on the X0 bit and the Y1 bit of the logical address AX, and converts the value to the physical address BX. The BX0 bit is supplied to the semiconductor memory under test 50, and the second logic gate G2
The X1 bit of the logical address AX to the physical address BX
Is supplied to the semiconductor memory under test 50 as the BX1 bit of Similarly, in the third logical gate G3, the Y0 bit of the logical address AX is set to the BY0 bit of the physical address BX, and in the fourth logical gate G4, the Y0 of the logical address AX is set.
One bit is supplied to the semiconductor memory under test 50 as the BY1 bit of the physical address BX.

【0029】これにより、論理アドレスAXが被試験半
導体メモリ50に対応した図5に示す物理アドレスBX
に変換されて、被試験半導体メモリ50に順次供給され
る。物理アドレスBXを受けた被試験半導体メモリ50
では、BX0ビットとBX1ビットがカラムアドレスデ
コーダ500にて解読されて、その結果にて表わされる
列アドレスを活性化する制御信号がメモリセル504に
供給され、BY0ビットとBY1ビットがロウアドレス
デコーダ502にて解読されて、その結果にて表わされ
る行アドレスを活性化する制御信号がメモリセル504
に順次供給される。この結果、列および行アドレスにて
指定されたセルが順次アクセスされて、それぞれのセル
にALPG10から供給されたデータD1〜D16が書
き込まれる。
As a result, the logical address AX corresponds to the physical address BX shown in FIG.
And are sequentially supplied to the semiconductor memory 50 under test. The semiconductor memory under test 50 receiving the physical address BX
In this case, the BX0 and BX1 bits are decoded by the column address decoder 500, a control signal for activating the column address represented by the result is supplied to the memory cell 504, and the BY0 and BY1 bits are converted to the row address decoder 502. And a control signal for activating the row address represented by the result is applied to memory cell 504.
Are supplied sequentially. As a result, the cells specified by the column and row addresses are sequentially accessed, and the data D1 to D16 supplied from the ALPG 10 are written in the respective cells.

【0030】次いで、被試験半導体メモリ50のメモリ
セル504のそれぞれのセルにデータD1〜D16が書
き込まれると、ALPG10からデータ読出しのための
論理アドレスAXが上記と同様に発生される。次いで、
上記と同様に、論理アドレスAXは、スクランブラ12
にて物理アドレスBXに変換されて、被試験半導体メモ
リ50に供給されて、メモリセル504のそれぞれのセ
ルがアクセスされる。これにより、アクセスされたセル
からデータD1〜D16が順次読み出されてALPG1
0に取り込まれ、書き込んだデータと読み出したデータ
とが比較されて被試験半導体メモリ50のそれぞれのセ
ルが正常か否かが検査される。
Next, when data D1 to D16 are written in each of the memory cells 504 of the semiconductor memory under test 50, a logical address AX for reading data from the ALPG 10 is generated in the same manner as described above. Then
As described above, the logical address AX is stored in the scrambler 12.
Is converted into a physical address BX and supplied to the semiconductor memory under test 50 to access each of the memory cells 504. As a result, data D1 to D16 are sequentially read from the accessed cell and
0, the written data and the read data are compared to check whether each cell of the semiconductor memory under test 50 is normal.

【0031】以降、被試験半導体メモリの物理アドレス
が同様のものであれば、上記と同様に形成したスクラン
ブラ12にてALPG10からの論理アドレスAXをそ
の物理アドレスBXに変換して、被試験半導体メモリを
試験する。一方、物理アドレスが異なる他の被試験半導
体メモリを試験する場合は、上記と同様に、変換プログ
ラム記憶装置14にその変換則を表わす変換プログラム
を書き込み、その変換プログラムに基づいて書込みデー
タ生成回路16にてその変換則にて表わされる構築デー
タを生成して、その構築データを書込み制御回路18を
介してスクランブラ12に書き込む。これにより、スク
ランブラ12にALPG10からの論理アドレスAXを
被試験半導体メモリに応じた物理アドレスBXに変換す
るそれぞれの論理ゲートを構築して、被試験半導体メモ
リに応じた試験を実施する。
Thereafter, if the physical address of the semiconductor memory under test is the same, the logical address AX from the ALPG 10 is converted into the physical address BX by the scrambler 12 formed in the same manner as described above, and Test the memory. On the other hand, when testing another semiconductor memory under test having a different physical address, a conversion program representing the conversion rule is written in the conversion program storage device 14 as described above, and the write data generation circuit 16 is written based on the conversion program. Generates the construction data represented by the conversion rule, and writes the construction data to the scrambler 12 via the write control circuit 18. Thereby, each logic gate for converting the logical address AX from the ALPG 10 into the physical address BX corresponding to the semiconductor memory under test is constructed in the scrambler 12, and the test according to the semiconductor memory under test is performed.

【0032】以上のように本実施形態の試験パターン発
生器によれば、複数の論理ゲートの組み合わせを自在に
組み替え可能な論理回路にて形成されたスクランブラ1
2にてALPG10からの論理アドレスAXを被試験半
導体メモリ50に応じた物理アドレスBXに変換するの
で、その変換を自在に、かつ高速に実行することができ
る。また、被試験半導体メモリに応じてスクランブラ1
2の論理ゲートの組み替えを実行する場合に、その変換
則に応じた構築データを1回の書き換えにより短時間に
実行することができ、各種の被試験半導体メモリを試験
する際に効率よく試験を実行することができる。さら
に、被試験半導体メモリの容量が大きいものを試験する
場合に、スクランブラ12に高集積化した、たとえばF
PGAを適用することにより、装置を小型化して、かつ
低消費電力にて効率よく試験を実行することができる。
As described above, according to the test pattern generator of the present embodiment, the scrambler 1 formed of a logic circuit in which a combination of a plurality of logic gates can be freely rearranged.
Since the logical address AX from the ALPG 10 is converted into the physical address BX corresponding to the semiconductor memory 50 under test in 2, the conversion can be performed freely and at high speed. Further, a scrambler 1 according to the semiconductor memory under test is used.
When the rearrangement of the two logic gates is performed, the construction data according to the conversion rule can be executed in a short time by one rewriting, and the test can be efficiently performed when testing various semiconductor memories under test. Can be performed. Further, when testing a large-capacity semiconductor memory under test, it is highly integrated in the scrambler 12, for example, F
By applying PGA, it is possible to reduce the size of the device and efficiently execute the test with low power consumption.

【0033】なお、上記実施形態では、被試験デバイス
としてDRAMなどの半導体メモリへの論理アドレスを
物理アドレスに変換する場合を例に挙げて説明したが、
本発明においては、他の半導体デバイス、たとえば論理
LSIなどを試験する場合の試験パターン発生器に適用
してもよい。
In the above embodiment, the case where a logical address to a semiconductor memory such as a DRAM as a device under test is converted into a physical address has been described as an example.
The present invention may be applied to a test pattern generator for testing another semiconductor device, for example, a logic LSI or the like.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上説明したように本発明の試験パター
ン発生器によれば、複数の論理ゲートの組み合わせを自
在に組み替え可能な論理回路にて形成されたパターン変
換手段にて、論理パターン発生手段からの論理パターン
をそれぞれの被試験デバイスに応じた所定の試験パター
ンに変換するので、その変換を自在に、かつ高速に実行
することができる。また、被試験デバイスに応じてパタ
ーン変換手段の論理ゲートの組み替えを実行する場合
に、その変換則に応じた構築データを1回の書き換えに
より短時間に実行することができ、各種の被試験デバイ
スを試験する際に効率よく試験を実行することができ
る。さらに、パターン変換手段として高集積化した、た
とえばFPGAを適用することにより、装置を小型化し
て、かつ低消費電力にて効率よく試験を実行することが
できるなどの優れた効果を奏する。
As described above, according to the test pattern generator of the present invention, the logic pattern generation means is formed by the pattern conversion means formed by a logic circuit capable of freely changing the combination of a plurality of logic gates. Is converted into a predetermined test pattern corresponding to each device under test, so that the conversion can be performed freely and at high speed. Further, when the logic gates of the pattern conversion means are rearranged in accordance with the device under test, the construction data according to the conversion rule can be executed in a short time by one rewriting, and various devices under test can be executed. The test can be executed efficiently when testing. Further, by applying a highly integrated, for example, FPGA as the pattern conversion means, it is possible to obtain excellent effects such as downsizing of the device and efficient execution of the test with low power consumption.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による試験パターン発生器の一実施形態
を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a test pattern generator according to the present invention.

【図2】図1の実施形態による試験パターン発生器の要
部を示す回路構成図である。
FIG. 2 is a circuit configuration diagram showing a main part of the test pattern generator according to the embodiment of FIG.

【図3】図1の実施形態による試験パターン発生器の動
作を説明するためのブロック図である。
FIG. 3 is a block diagram for explaining an operation of the test pattern generator according to the embodiment of FIG. 1;

【図4】図1の実施形態による試験パターン発生器の動
作を説明するための図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining an operation of the test pattern generator according to the embodiment of FIG. 1;

【図5】図1の実施形態による試験パターン発生器の動
作を説明するための図である。
FIG. 5 is a diagram for explaining an operation of the test pattern generator according to the embodiment of FIG. 1;

【図6】図1の実施形態の試験パターン発生器の論理ア
ドレスから物理アドレスへの変換式を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a conversion formula from a logical address to a physical address of the test pattern generator of the embodiment of FIG. 1;

【図7】従来の試験パターン発生器の一例を示すブロッ
ク図である。
FIG. 7 is a block diagram showing an example of a conventional test pattern generator.

【図8】従来の試験パターン発生器の一例を示すブロッ
ク図である。
FIG. 8 is a block diagram showing an example of a conventional test pattern generator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ALPG 12 スクランブラ 14 変換プログラム記憶装置 16 書込みデータ生成回路 18 データ書込み制御回路 Reference Signs List 10 ALPG 12 Scrambler 14 Conversion program storage device 16 Write data generation circuit 18 Data write control circuit

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被試験デバイスを試験する際にそれぞれ
の被試験デバイスに応じた所定の試験パターンを発生す
る試験パターン発生器において、 所定のアルゴリズムに従って各被試験デバイスに共通の
規則的な論理パターンを発生する論理パターン発生手段
(10)と、 該論理パターン発生手段からの論理パターンをそれぞれ
の被試験デバイスに応じた所定の試験パターンに変換す
るパターン変換手段であって、複数の論理ゲートの組み
合わせを自在に組み替え可能な論理回路にて形成された
パターン変換手段(12)と、 前記論理パターン発生手段からの各被試験デバイスに共
通の論理パターンをそれぞれの被試験デバイスに応じた
所定の試験パターンに変換する際の所定の変換則が記憶
された変換則記憶手段(14)と、 該変換則記憶手段から被試験デバイスに応じた変換則を
読み出して、該変換則に基づいて前記パターン変換手段
の論理ゲートの組み合わせを構築するための構築データ
を生成するデータ生成手段(16)と、 該データ生成手段からの構築データを前記パターン変換
手段に供給して被試験デバイスに応じた論理ゲートの組
み替えを実行するデータ書換手段(18)とを含むこと
を特徴とする試験パターン発生器。
1. A test pattern generator for generating a predetermined test pattern corresponding to each device under test when testing the device under test, comprising: a regular logic pattern common to each device under test according to a predetermined algorithm. And a pattern conversion means for converting the logic pattern from the logic pattern generation means into a predetermined test pattern corresponding to each device under test, comprising a combination of a plurality of logic gates. A pattern conversion means (12) formed of a logic circuit capable of freely re-arranging the logic patterns, and a predetermined test pattern corresponding to each device under test by converting a logic pattern common to each device under test from the logic pattern generation means. Conversion rule storage means (14) in which a predetermined conversion rule for converting to a conversion rule is stored; Data generating means (16) for reading a conversion rule corresponding to a device under test from the stage and generating construction data for constructing a combination of logic gates of the pattern conversion means based on the conversion rule; A data rewriting means (18) for supplying construction data from the means to the pattern conversion means and executing rearrangement of logic gates according to a device under test.
【請求項2】 請求項1に記載の試験パターン発生器に
おいて、該試験パターン発生器は、被試験デバイスとし
てそれぞれ所定のアドレス空間を有する半導体メモリの
それぞれのアドレスをアクセスして試験するためのアド
レス信号を発生するアドレス発生器であり、前記論理パ
ターン発生手段は、被試験デバイスとなる半導体メモリ
に共通の論理アドレスを試験に応じた所定の順序にて発
生し、前記パターン変換手段は、前記論理パターン発生
手段からの論理アドレスを被試験デバイスとなるそれぞ
れの半導体メモリに応じた物理アドレスに変換すること
を特徴とする試験パターン発生器。
2. The test pattern generator according to claim 1, wherein said test pattern generator accesses each address of a semiconductor memory having a predetermined address space as a device under test to test. An address generator for generating a signal, wherein the logical pattern generating means generates a logical address common to a semiconductor memory to be a device under test in a predetermined order according to a test; A test pattern generator for converting a logical address from a pattern generating means into a physical address corresponding to each semiconductor memory to be a device under test.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007287213A (en) * 2006-04-14 2007-11-01 Advantest Corp Testing apparatus, program, and testing method
US9190173B2 (en) 2012-03-30 2015-11-17 Intel Corporation Generic data scrambler for memory circuit test engine
US9236143B2 (en) 2011-12-28 2016-01-12 Intel Corporation Generic address scrambler for memory circuit test engine

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