JP2001235388A - Released gas measuring device - Google Patents
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- JP2001235388A JP2001235388A JP2000047504A JP2000047504A JP2001235388A JP 2001235388 A JP2001235388 A JP 2001235388A JP 2000047504 A JP2000047504 A JP 2000047504A JP 2000047504 A JP2000047504 A JP 2000047504A JP 2001235388 A JP2001235388 A JP 2001235388A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は容器のリーク量が規
格値以下であるかを検査するリーク検査装置に使用する
検査時に容器より放出される放出ガス量を測定する放出
ガス測定装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an emission gas measuring device for measuring the amount of gas released from a container at the time of an inspection used in a leak inspection device for inspecting whether or not the amount of leakage of the container is below a standard value.
【０００２】[0002]
【従来の技術】今日では部品等の信頼性を向上させるた
めに容器に密封することがある。この場合、容器に部品
を密封しても容器にリークがある場合は信頼性が向上で
きず、容器のリークが規格値以下であるかを検査する必
要がある。2. Description of the Related Art At present, parts are sometimes hermetically sealed in order to improve the reliability of parts and the like. In this case, even if the parts are sealed in the container, if there is a leak in the container, the reliability cannot be improved, and it is necessary to check whether or not the leak of the container is below a standard value.
【０００３】また、自動車等においてはエアコンディシ
ョニング用の機器が搭載され、これらの機器にリークが
あった場合はガス漏れが発生するため、リーク量が規定
値以下であるかを検査する必要がある。[0003] In addition, vehicles and the like are equipped with air conditioning equipment, and if there is a leak in these devices, gas leakage occurs. Therefore, it is necessary to check whether the amount of leak is below a specified value. .
【０００４】本願と同一出願人は、低リーク量の検査を
短時間で正確に検査できるリーク検査装置の出願を行っ
た。このリーク検査装置はマスタチャンバと入出力孔を
密封した検査物を収納するチャンバとを備え、空気を排
気した後で密封し、両者の差圧の変化よりリーク量が規
格値以下であるか否かを検査するものである。[0004] The same applicant as the present application has filed an application for a leak inspection apparatus capable of accurately inspecting a low leak amount in a short time. This leak inspection apparatus includes a master chamber and a chamber for storing an inspection object in which the input / output holes are sealed. The air is evacuated and then sealed. It is to inspect whether or not.
【０００５】流れ作業で出来上がった製品には多くの水
蒸気が封着されており、１０-5Pa・cc/sec以下のリーク
量を検査する場合は、低気圧になると気化してガスが放
出され、測定されたリーク量に多くの誤差が含まれる。[0005] A lot of water vapor is sealed in the product obtained by the flow operation. When a leak amount of 10 -5 Pa · cc / sec or less is to be inspected, gas is released by evaporating at low pressure. In addition, the measured leak amount includes many errors.
【０００６】このため予め放出ガス量を測定して記録し
ておき、記録されている放出ガス量に対応する気体と検
査時にマスタチャンバに放出して検査物より放出される
放出ガスを打消すようにしている。For this reason, the amount of released gas is measured and recorded in advance, and the gas corresponding to the recorded amount of released gas is released to the master chamber at the time of inspection to cancel the released gas released from the inspection object. I have to.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】本発明は前述した放出
ガス量を短時間で正確に測定できるようにした放出ガス
測定装置を提供することを課題とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an emission gas measuring apparatus capable of accurately measuring the above-mentioned emission gas amount in a short time.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めに本発明が採用した手段を説明する。第１の発明にお
いては、マスタチャンバと、検査物を収納するチャンバ
と、前記マスタチャンバに気体を放出する気体放出手段
と、前記マスタチャンバと前記チャンバとの差圧を測定
する差圧計と、前記検査物の入出力孔の密封を開放して
前記チャンバに収納し、前記マスタチャンバおよび前記
チャンバの空気を排気して密封し、前記差圧計の差圧値
が０になるよう前記気体放出手段より放出させ、放出さ
れた気体量に前記検査物の全表面積に対する外表面積の
比を乗算した値を放出ガス量として記録する制御部と、
を備える。Means adopted by the present invention to solve the above-mentioned problems will be described. In the first invention, a master chamber, a chamber for storing an inspection object, gas releasing means for releasing gas to the master chamber, a differential pressure gauge for measuring a differential pressure between the master chamber and the chamber, The seal of the input / output hole of the inspection object is opened and housed in the chamber, the air in the master chamber and the chamber is exhausted and sealed, and the gas discharge means is set so that the differential pressure value of the differential pressure gauge becomes zero. A control unit that records a value obtained by multiplying a released gas amount by a ratio of an outer surface area to a total surface area of the test object as a released gas amount,
Is provided.
【０００９】第２の発明においては、放出ガスが発生し
た物質を前記検査物の内面に塗布または満たしてリーク
の発生を防ぎ、前記制御部が前記気体放出手段より放出
された気体量を放出ガス量として記録する。[0009] In the second aspect of the present invention, the substance in which the released gas is generated is applied or filled on the inner surface of the inspection object to prevent the occurrence of a leak, and the control unit reduces the amount of the gas released from the gas releasing means to the released gas. Record as quantity.
【００１０】第３の発明においては、前記気体放出手段
を、気体を設定した圧力に調圧するレギュレータと、該
レギュレータで調圧された気体を前記マスタチャンバに
放出するノズルと、で構成する。In a third aspect of the present invention, the gas discharging means comprises a regulator for adjusting the pressure of the gas to a set pressure, and a nozzle for discharging the gas adjusted by the regulator to the master chamber.
【００１１】第４の発明においては、前記制御部が記録
する放出ガス量に代えて前記レギュレータの圧力を記録
する。第５の発明においては、前記ノズルより前記マス
タチャンバに放出する気体を空気とする。According to a fourth aspect of the present invention, the pressure of the regulator is recorded in place of the released gas amount recorded by the control section. In a fifth aspect, the gas released from the nozzle to the master chamber is air.
【００１２】第６の発明においては、前記マスタチャン
バおよび前記チャンバが前記検査物のリーク検査時に使
用するマスタチャンバおよびチャンバと同じものとす
る。第７の発明においては、前記チャンバに前記検査物
を収納して求めた前記放出ガス量より、前記チャンバに
前記検査物を収納しないで求めた前記放出ガス量を減じ
た量を前記検査物よりの放出ガス量とする。In a sixth aspect of the present invention, the master chamber and the chamber are the same as the master chamber and the chamber used at the time of leak inspection of the inspection object. In a seventh aspect, an amount obtained by subtracting the released gas amount obtained without storing the inspection object in the chamber from the released gas amount obtained by storing the inspection object in the chamber is calculated from the inspection object. Released gas amount.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１〜図
３を参照して説明する。図１は本発明の実施例の構成
図、図２および図３は同実施例の動作フローチャートで
ある。なお図１で示す実施例の構成図は、本発明によっ
て測定した放出ガス量を使用して検査物のリークを検査
するリーク検査装置と同一装置としている。このように
リーク検査装置と共用することによってコストを低くす
ることができる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are operation flowcharts of the embodiment. Note that the configuration diagram of the embodiment shown in FIG. 1 is the same as a leak inspection device that inspects a leak of an inspection object using the amount of released gas measured according to the present invention. As described above, the cost can be reduced by sharing with the leak inspection device.
【００１４】図１において、１はマスタチャンバ、２は
検査物３を収納するチャンバ、４は差圧計、５は排気ポ
ンプ、６は空気圧を調整するレギュレータ、７はレギュ
レータで調圧された空気をマスタチャンバ１に放出する
ノズル、８および９は圧力計、Ｖ1 〜Ｖ8 はバルブであ
る。In FIG. 1, 1 is a master chamber, 2 is a chamber for storing an inspection object 3, 4 is a differential pressure gauge, 5 is an exhaust pump, 6 is a regulator for adjusting air pressure, and 7 is air regulated by the regulator. nozzles that release the master chamber 1, 8 and 9 a pressure gauge, V 1 ~V 8 is a valve.
【００１５】また、１１はマスタチャンバに放出する放
出流量を記録する放出流量記録部、１２は放出流量とレ
ギュレータ６の圧力との変換を行う流量圧力変換部、１
３はレギュレータ６の圧力を指定した圧力になるよう制
御するレギュレータ制御部、１４は判定圧力記録部、１
５は計時部、１６は制御部、１７はインタフェース（Ｉ
／Ｏ）、１８は処理を実行するプロセッサ（ＣＰＵ）で
ある。Reference numeral 11 denotes a discharge flow rate recording unit for recording the discharge flow rate discharged to the master chamber, and 12 denotes a flow rate pressure conversion unit for converting the discharge flow rate and the pressure of the regulator 6.
Reference numeral 3 denotes a regulator control unit that controls the pressure of the regulator 6 to a specified pressure, 14 denotes a judgment pressure recording unit,
5 is a timing unit, 16 is a control unit, and 17 is an interface (I
/ O) and 18 are processors (CPU) that execute processing.
【００１６】また３ａは検査物３の入出力孔を密封する
蓋、２ａはチャンバ２の蓋、および２ｂはパッキンであ
る。Reference numeral 3a denotes a lid for sealing the input / output hole of the inspection object 3, reference numeral 2a denotes a lid of the chamber 2, and reference numeral 2b denotes a packing.
【００１７】まず流量圧力変換部１２について説明す
る。ノズル７の孔の直径およびマスタチャンバ１の真空
圧が決まれば、レギュレータ６で調圧する圧力とマスタ
チャンバ１に放出される放出流量の関係を求めることが
できる。First, the flow rate pressure converter 12 will be described. If the diameter of the hole of the nozzle 7 and the vacuum pressure of the master chamber 1 are determined, the relationship between the pressure regulated by the regulator 6 and the discharge flow discharged to the master chamber 1 can be obtained.
【００１８】そこで、予めレギュレータ６の圧力とノズ
ル７を介してマスタチャンバ１に放出される放出流量と
の関係を流量圧力変換部１２に記録しておく。Therefore, the relationship between the pressure of the regulator 6 and the discharge flow discharged to the master chamber 1 via the nozzle 7 is recorded in the flow pressure converter 12 in advance.
【００１９】先ず本発明の実施例を説明する前に検査物
３のリーク量が規格値以下であるかを検査するリーク検
査装置について説明する。検査物３の入出力孔を蓋３ａ
で密封してチャンバ２に収納し、チャンバ２を蓋２ａで
密封する。First, before describing the embodiment of the present invention, a leak inspection apparatus for inspecting whether the amount of leak of the inspection object 3 is equal to or less than a standard value will be described. Cover the input / output hole of the inspection object 3 with the lid 3a.
And housed in the chamber 2, and the chamber 2 is sealed with the lid 2a.
【００２０】バルブＶ1 およびＶ2 を開にしてマスタチ
ャンバ１およびチャンバ２内の空気を排気ポンプ５で排
気する。The valves V 1 and V 2 are opened, and the air in the master chamber 1 and the chamber 2 is exhausted by the exhaust pump 5.
【００２１】放出流量記録部１１には検査時の検査物３
よりチャンバ２内に放出される放出ガス流量が記録され
ており、記録されている放出ガス流量が流量圧力変換部
１２で圧力に変換され、レギュレータ制御部１３は変換
された圧力になるようレギュレータ６の圧力を制御す
る。したがって、検査物２より放出される放出ガス量に
対応する空気がマスタチャンバ１内に放出される。The discharge flow rate recording unit 11 stores an inspection object 3 at the time of inspection.
The flow rate of the released gas discharged into the chamber 2 is recorded. The recorded flow rate of the released gas is converted into a pressure by the flow rate pressure converter 12, and the regulator controller 13 controls the regulator 6 so that the converted pressure becomes the converted pressure. To control the pressure. Therefore, air corresponding to the amount of gas released from the inspection object 2 is discharged into the master chamber 1.
【００２２】圧力計９の圧力が検査圧力となるとバルブ
Ｖ1 およびＶ2 を閉じて密封すると共にバルブＶ3 およ
びＶ4 を開にして差圧計４による差圧の測定を開始す
る。差圧の測定を開始して時間Ｔを計時部１５で計時さ
せ、時間Ｔ計時されたときの差圧計４の差圧値が判定圧
力記録部１４に記録されている判定圧力より小のときリ
ーク検査結果を合格としている。When the pressure of the pressure gauge 9 reaches the inspection pressure, the valves V 1 and V 2 are closed and sealed, and the valves V 3 and V 4 are opened to start measuring the differential pressure by the differential pressure gauge 4. The measurement of the differential pressure is started, and the time T is measured by the timer 15. When the differential pressure value of the differential pressure gauge 4 when the time T is measured is smaller than the judgment pressure recorded in the judgment pressure recording unit 14, the leak is performed. Inspection results are accepted.
【００２３】本発明は放出流量記録部１１に記録されて
いる放出流量を求めるものである。つぎに、図２および
図３を参照して本発明の実施例の動作を説明する。ステ
ップＳ１では、操作者は検査物３に対して蓋３ａをルー
ズに取付けてチャンバ２内に収納し、チャンバ２に蓋を
して密封する。In the present invention, the discharge flow rate recorded in the discharge flow rate recording section 11 is obtained. Next, the operation of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In step S1, the operator loosely attaches the lid 3a to the inspection object 3, accommodates the lid 3a in the chamber 2, and covers and seals the chamber 2.
【００２４】検査物３に対して蓋３ａをルーズにする理
由は、後述するステップＳ３以後でチャンバ２内を排気
したとき、蓋３ａで検査物３を密封した場合はチャンバ
２内に放出するガスに検査物３の内部の空気がリークす
る分も含まれるもので、このリーク分を無くすため蓋３
ａをルーズにしている。The reason why the lid 3a is loosened with respect to the inspection object 3 is that when the interior of the chamber 2 is evacuated after step S3 described later, when the inspection object 3 is sealed with the lid 3a, the gas released into the chamber 2 is exhausted. Includes the leak of the air inside the inspection object 3.
a is loose.
【００２５】ステップＳ２では、制御部１６は、先ず各
バルブＶ1 〜Ｖ8 の初期設定を行う。すなわち、バルブ
Ｖ8 （以後バルブは略しＶn とする）を閉じてチャンバ
２に空気が吸気されるのを防止する。[0025] In step S2, the control unit 16 first performs initial setting of each valve V 1 ~V 8. That is, the air in the chamber 2 closes the valve V 8 (hereinafter valve and short V n) is prevented from being intake.
【００２６】またＶ3 およびＶ4 を閉じ、Ｖ1 ，Ｖ2 ，
Ｖ5 ，Ｖ6 およびＶ7 を開とする。ステップＳ３では、
ステップＳ２でＶ1 およびＶ2 が開となると排気ポンプ
５によりマスタチャンバ１およびチャンバ２内にある空
気が排気される。Further, V 3 and V 4 are closed, and V 1 , V 2 ,
The V 5, V 6 and V 7 to open. In step S3,
V 1 and V 2 in step S2 is air in the master chamber 1 and the chamber 2 is exhausted by an exhaust pump 5 is opened.
【００２７】ステップＳ４では、制御部１６は、圧力計
９の指示する圧力をＩ／Ｏ１７を介して読込み、測定開
始準備圧力になったか否かを判定し、準備圧力になるま
で待機する。すなわち、リーク検査時の圧力（設定圧
力）に達するまでに設けられた準備圧力になるまで待機
する。In step S4, the control unit 16 reads the pressure indicated by the pressure gauge 9 via the I / O 17, determines whether or not the pressure has reached the measurement start preparatory pressure, and waits until the preparatory pressure is reached. That is, the process waits until the pressure reaches the preparatory pressure provided until the pressure at the time of the leak test (set pressure) is reached.
【００２８】ステップＳ５では、制御部１６は、準備圧
力になるとＶ3 およびＶ4 を開とし、その後Ｖ5 および
Ｖ6 を閉じるよう指示する。このように、先ずＶ5 およ
びＶ6 を開にした状態でＶ3 およびＶ4 を開にしＶ 5 お
よびＶ6 を閉じる理由は、短時間で差圧計４の振れを停
止させるためである。In step S5, the control unit 16 sets the preparatory pressure
V when it comes to strengthThreeAnd VFourAnd then VFiveand
V6To close. Thus, first, VFiveAnd
And V6With V openThreeAnd VFourOpen and V FiveYou
And V6The reason for closing is that the swing of differential pressure gauge 4 stops in a short time.
It is to stop.
【００２９】高感度の差圧計は振動の周期が長く、最初
に大きな差圧があるものを入力した場合は大きく振動
し、その振動が停止するまでには長時間を要する。そこ
で、先ず同じＶ5 およびＶ6 を開状態として同じ圧力の
ものを入力し、次にＶ3 およびＶ4 を開いても、その差
圧による影響は無視できるようになり、Ｖ5 およびＶ6
を閉じて差圧の測定を開始させるようにしている。この
ように短時間で差圧の測定を開始できるようにすること
により正確なリーク量を測定することができる。A high-sensitivity differential pressure gauge has a long oscillation cycle, and when a signal having a large differential pressure is input first, it vibrates greatly, and it takes a long time to stop the oscillation. Therefore, first type having the same pressure the same V 5 and V 6 is opened condition, then even open V 3 and V 4, the influence due to the pressure difference becomes negligible, V 5 and V 6
Is closed to start measuring the differential pressure. By enabling the measurement of the differential pressure to be started in a short time, an accurate leak amount can be measured.
【００３０】つぎに、また動作にもどって、ステップＳ
６では、制御部１６は、圧力計９の指示する圧力が設定
圧力になったか否かを判定し、設定圧力となるまで待機
する。ステップＳ７では、制御部１６は、Ｖ1 およびＶ
2 を閉じて排気を停止させる。Next, returning to the operation, step S
At 6, the control unit 16 determines whether the pressure indicated by the pressure gauge 9 has reached the set pressure, and waits until the pressure reaches the set pressure. In step S7, the control unit 16 determines that V 1 and V
Close 2 to stop evacuation.
【００３１】ステップＳ８では、制御部１６は、Ｉ／Ｏ
１７を介して差圧計４の差圧値を読込み、レギュレータ
制御部１３に対して差圧値が０になるよう制御するよう
指令する。差圧値が０となるよう制御する方法として
は、例えば差圧値が＋の場合は所定値圧力を減じよと制
御部１６よりレギュレータ制御部１３に指令し、また差
圧値が−の場合は所定値圧力を増加せよと制御部１６よ
りレギュレータ制御部１３に指令し、差圧値が０となる
まで指令を続行する。In step S8, the control unit 16 controls the I / O
The controller reads the differential pressure value of the differential pressure gauge 4 via the controller 17 and instructs the regulator controller 13 to control the differential pressure value to be zero. As a method of controlling the differential pressure value to be 0, for example, when the differential pressure value is +, the control unit 16 instructs the regulator control unit 13 to reduce the predetermined value pressure, and when the differential pressure value is-, The controller 16 instructs the regulator controller 13 to increase the predetermined value pressure, and continues the instruction until the differential pressure value becomes zero.
【００３２】ステップＳ９では、制御部１６は、Ｉ／Ｏ
１７を介してレギュレータ６の出力する圧力を圧力計８
より読込む。ステップＳ１０では、制御部１６は、ステ
ップＳ９で読込んだ圧力を流量圧力変換部１２で流量に
変換する。ステップＳ１１では、制御部１６は、ステッ
プＳ１０で変換された流量の検査物３の外表面積分を算
出する。In step S9, the control unit 16 controls the I / O
The pressure output from the regulator 6 via the
Read more. In step S10, the control unit 16 converts the pressure read in step S9 into a flow rate in the flow rate pressure conversion unit 12. In step S11, the control unit 16 calculates the outer surface integral of the inspection object 3 of the flow rate converted in step S10.
【００３３】すなわち、ステップＳ１０で変換された流
量は検査物３の外表面および内表面の全表面に封着して
いる水蒸気等が気化して放出されたガスの流量である。
前述したようにリーク検査装置において放出流量記録部
１１に記録されている放出流量は検査物３の外表面より
放出されるガスの放出流量を記録させている。That is, the flow rate converted in step S10 is the flow rate of the gas released from the vaporization of water vapor or the like that is sealed on the entire outer surface and inner surface of the inspection object 3.
As described above, the emission flow rate recorded in the emission flow rate recording unit 11 in the leak inspection apparatus records the emission flow rate of the gas emitted from the outer surface of the inspection object 3.
【００３４】したがって、予め検査物３の全表面積に対
する外表面積の比を求めておき、ステップＳ１１ではス
テップＳ１０で変換された流量に前記比を乗算して放出
流量を算出する。ステップＳ１２では、ステップＳ１１
で算出された放出流量を放出流量記録部１１に記録して
処理を終了する。Accordingly, the ratio of the outer surface area to the total surface area of the inspection object 3 is determined in advance, and in step S11, the flow rate converted in step S10 is multiplied by the ratio to calculate the discharge flow rate. In step S12, step S11
The discharge flow rate calculated in step (1) is recorded in the discharge flow rate recording unit 11, and the process is terminated.
【００３５】なお実施例ではステップＳ１で検査物３の
蓋３ａをルーズにしていたが、硬化剤を混合した例えば
プラスティク剤を検査物３の内表面に塗布または満たし
て硬化させ、検査物３内の空気がリークするのを防止さ
せたものを蓋３ａで密封し、チャンバ２に収納するよう
にしてもよい。このようにした場合はステップＳ１１で
説明した外表面積分の算出は削除される。In the embodiment, the lid 3a of the inspection object 3 is loosened in step S1, but, for example, a plasticizer mixed with a curing agent is applied or filled on the inner surface of the inspection object 3 to be cured, and the inspection object 3 is hardened. A structure in which the air inside is prevented from leaking may be sealed with the lid 3 a and housed in the chamber 2. In such a case, the calculation of the outer surface area described in step S11 is deleted.
【００３６】また実施例では放出流量記録部１２にステ
ップＳ９で読込んだ圧力をステップＳ１０で圧力を流量
に変換していたが、ステップＳ１０での流量への変換を
削除して圧力を放出流量記録部１２に記録させ、リーク
検査装置がリークの検査を行うときは放出流量記録部１
２に記録した圧力をレギュレータ制御部１３が読出し
て、読出した圧力になるようレギュレータ６を制御する
ようにしてもよい。In the embodiment, the pressure read into the discharge flow rate recording unit 12 at step S9 is converted into the flow rate at step S10. However, the conversion into the flow rate at step S10 is deleted to reduce the pressure to the discharge flow rate. The recording is performed by the recording unit 12, and when the leak inspection device performs the leakage inspection, the release flow rate recording unit 1 is used.
2 may be read by the regulator control unit 13 and the regulator 6 may be controlled so that the pressure becomes the read pressure.
【００３７】また実施例で検査物３を収納するチャンバ
２よりガスが放出されないものとしていたが、チャンバ
２よりガスが放出される場合は、検査物３をチャンバ２
に収納しないで前述した方法でチャンバ２より放出され
るガス量を求め、チャンバ２に検査物３を収納した状態
で求めた放出ガス量より減じることにより、検査物３よ
り放出されるガス量を求めることができる。Further, in the embodiment, the gas is not released from the chamber 2 in which the test object 3 is stored.
The amount of gas released from the inspection object 3 is obtained by obtaining the amount of gas released from the chamber 2 by the above-described method without storing the inspection object 3 and reducing the amount of gas released from the inspection object 3 when the inspection object 3 is stored in the chamber 2. You can ask.
【００３８】[0038]
【発明の効果】マスタチャンバと検査物を収納したチャ
ンバの空気を排気して密封し、両者の差圧が０になるよ
うマスタチャンバに気体を放出する気体放出手段を制御
し、気体放出手段より放出される気体量の検査物の外表
面分の値を記録させるようにしたので、短時間で正確に
放出ガス量を測定記録することができる。The air in the master chamber and the chamber containing the inspection object are evacuated and hermetically sealed, and the gas discharging means for discharging gas to the master chamber is controlled so that the pressure difference between the two becomes zero. Since the value of the amount of released gas on the outer surface of the inspection object is recorded, the amount of released gas can be accurately measured and recorded in a short time.
【図１】本発明の実施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施例の動作フローチャートである。FIG. 2 is an operation flowchart of the embodiment of the present invention.
【図３】本発明の実施例の動作フローチャートである。FIG. 3 is an operation flowchart of the embodiment of the present invention.
１ マスタチャンバ ２ チャンバ ２ａ 蓋 ３ 検査物 ３ａ 蓋 ４ 差圧計 ５ 排気ポンプ ６ レギュレータ ７ ノズル ８，９ 圧力計 Ｖ1 〜Ｖ8 バルブ １１ 放出流量記録部 １２ 流量圧力変換部 １３ レギュレータ制御部 １４ 判定圧力記録部 １５ 計時部 １６ 制御部 １７ インタフェース（Ｉ／Ｏ） １８ プロセッサ（ＣＰＵ）DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Master chamber 2 Chamber 2a lid 3 Inspection object 3a lid 4 Differential pressure gauge 5 Exhaust pump 6 Regulator 7 Nozzle 8,9 Pressure gauge V 1 -V 8 Valve 11 Emission flow recording part 12 Flow pressure conversion part 13 Regulator control part 14 Judgment pressure Recording unit 15 Clock unit 16 Control unit 17 Interface (I / O) 18 Processor (CPU)
Claims (7)
差圧計と、 前記検査物の入出力孔の密封を開放して前記チャンバに
収納し、前記マスタチャンバおよび前記チャンバの空気
を排気して密封し、前記差圧計の差圧値が０になるよう
前記気体放出手段より放出させ、放出された気体量に前
記検査物の全表面積に対する外表面積の比を乗算した値
を放出ガス量として記録する制御部と、を備えたことを
特徴とする放出ガス測定装置。1. A master chamber, a chamber for storing an object to be inspected, gas releasing means for releasing gas to the master chamber, a differential pressure gauge for measuring a pressure difference between the master chamber and the chamber, and the object to be inspected. The master chamber and the chamber are evacuated and hermetically sealed by releasing the sealing of the input / output holes of the above, and the gas is released from the gas discharging means so that the differential pressure value of the differential pressure gauge becomes zero. A controller configured to record a value obtained by multiplying the amount of released gas by the ratio of the outer surface area to the total surface area of the test object as the amount of released gas.
内面に塗布または満たしてリークの発生を防ぎ、前記制
御部が前記気体放出手段より放出された気体量を放出ガ
ス量として記録するようにしたことを特徴とする請求項
１記載の放出ガス測定装置。2. The method according to claim 1, wherein a substance in which the released gas is generated is applied or filled on an inner surface of the inspection object to prevent a leak, and the control unit records the amount of gas released from the gas releasing means as a released gas amount. 2. The emission gas measuring device according to claim 1, wherein:
力に調圧するレギュレータと、該レギュレータで調圧さ
れた気体を前記マスタチャンバに放出するノズルと、で
構成するようにしたことを特徴とする請求項１または２
記載の放出ガス測定装置。3. A gas discharging means comprising: a regulator for regulating the pressure of a gas to a set pressure; and a nozzle for discharging the gas regulated by the regulator to the master chamber. Claim 1 or 2
An emission gas measuring device as described in the above.
て前記レギュレータの圧力を記録するようにしたことを
特徴とする請求項３記載の放出ガス測定装置。4. The emission gas measuring apparatus according to claim 3, wherein the pressure of the regulator is recorded in place of the emission gas amount recorded by the control unit.
出する気体を空気としたことを特徴とする請求項１，
２，３または４記載の放出ガス測定装置。5. The air discharged from the nozzle to the master chamber is air.
5. The emission gas measuring device according to 2, 3, or 4.
が前記検査物のリーク検査時に使用するマスタチャンバ
およびチャンバと同じものであることを特徴とする請求
項１，２，３，４または５記載の放出ガス測定装置。6. The released gas according to claim 1, wherein the master chamber and the chamber are the same as the master chamber and the chamber used for a leak inspection of the inspection object. measuring device.
めた前記放出ガス量より、前記チャンバに前記検査物を
収納しないで求めた前記放出ガス量を減じた量を前記検
査物よりの放出ガス量としたことを特徴とする請求項１
乃至６のいずれかに記載の放出ガス測定装置。7. An amount of released gas from the inspection object, which is obtained by subtracting the amount of released gas obtained without storing the inspection object in the chamber from the amount of released gas obtained by storing the inspection object in the chamber. 2. The gas amount is defined as a gas amount.
7. The released gas measuring device according to any one of claims 1 to 6.
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