JP2001230461A - Piezoelectric actuator - Google Patents
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 52
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 23
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 5
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- LFYJSSARVMHQJB-QIXNEVBVSA-N bakuchiol Chemical compound CC(C)=CCC[C@@](C)(C=C)\C=C\C1=CC=C(O)C=C1 LFYJSSARVMHQJB-QIXNEVBVSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、光ファイバ用接
合装置、磁気ヘッド加工用ダイシング装置、半導体用露
光装置などのＸＹステージに装着される圧電アクチュエ
ータに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric actuator mounted on an XY stage such as an optical fiber bonding apparatus, a magnetic head processing dicing apparatus, and a semiconductor exposure apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の圧電アクチュエータには、圧電素
子を密封するための金属ケースが設けられている。この
金属ケースは、基台の先端面に固定されて圧電素子を覆
い、その下端面は基台の段状嵌合部に溶接されている。2. Description of the Related Art A conventional piezoelectric actuator is provided with a metal case for sealing a piezoelectric element. The metal case is fixed to the front end surface of the base and covers the piezoelectric element, and the lower end surface is welded to the step-like fitting portion of the base.
【０００３】図８に示すように、この基台１００の段状
嵌合部１０１は鍔１０２の上方に位置する先端部１０３
外周に段状に形成されており、ケース摺動面１０５と底
面１０６とを備えている。そして、金属ケース１１０
は、該ケース摺動面１０５に案内されながら嵌合され、
その下端面１１１と前記底面１０６との間に溶接隙間１
１５が形成される。この溶接隙間１１５にレーザＬ等を
照射して前記下端面１１１と前記底面１０６とを溶接し
両者を固定する。[0003] As shown in FIG. 8, a step-like fitting portion 101 of a base 100 has a tip portion 103 located above a flange 102.
It is formed in a stepped shape on the outer periphery, and has a case sliding surface 105 and a bottom surface 106. Then, the metal case 110
Are fitted while being guided by the case sliding surface 105,
Weld gap 1 between the lower end face 111 and the bottom face 106
15 are formed. The lower end face 111 and the bottom face 106 are welded by irradiating a laser L or the like to the welding gap 115 to fix them.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来例の嵌合部１０１
の隅１０１ａは、Ｃ面形状になっており、底面１０６と
ケース摺動面１０５とが直交していない。そのため、金
属ケース１１０をケース摺動面１０５に沿って挿入する
と、該ケース摺動面１０５の下端面１１１が前記Ｃ面形
状に当接し進行できなくなる。The conventional fitting portion 101
Corner 101a has a C-plane shape, and the bottom surface 106 and the case sliding surface 105 are not orthogonal to each other. Therefore, when the metal case 110 is inserted along the case sliding surface 105, the lower end surface 111 of the case sliding surface 105 comes into contact with the C-plane shape and cannot proceed.
【０００５】基台１００の底面１０６と前記下端面１１
１との間の溶接隙間１１５が設計以上に大きくなり、溶
接で溶けだした金属がその隙間に取られて結果的に金属
ケースに穴があいてしまうことがある。The bottom surface 106 of the base 100 and the lower end surface 11
1, the welding gap 115 becomes larger than designed, and the metal melted out by welding is taken in the gap, resulting in a hole in the metal case.
【０００６】そこで、前記Ｃ面形状が発生しないよう
に、両面１０５、１０６が直交するように精度良く加工
することが考えられるが、この様な精密加工は費用が嵩
み製品のコストアップの問題が発生するので、技術的に
は可能であっても実際上無理である。In order to avoid the occurrence of the C-plane shape, it is conceivable to perform the processing with high precision so that both surfaces 105 and 106 are perpendicular to each other. Occurs, so that it is technically possible but practically impossible.
【０００７】又、金属ケース１１０を基台１００のケー
ス摺動面１０５に沿って挿入するとき、円滑に挿入でき
ず位置ずれが発生し、設計位置で溶接することができな
いことがある。Further, when the metal case 110 is inserted along the case sliding surface 105 of the base 100, the metal case 110 cannot be inserted smoothly, resulting in a positional shift and welding at the designed position.
【０００８】この発明は、上記事情に鑑み、基台と金属
ケースとを設計位置で溶接できる様にすることを目的と
する。In view of the above circumstances, an object of the present invention is to enable a base and a metal case to be welded at a design position.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】この発明は、基台の先端
面に固定された圧電素子と、該基台の先端部外周に形成
され、底面とケース摺動面とを有する段状嵌合部と、該
段状嵌合部に嵌着され、前記圧電素子を密封する金属ケ
ースと、該金属ケースの下端面と前記段状嵌合部の底面
との間に形成される溶接隙間と、該溶接隙間に形成され
る溶接部と、を備えた圧電アクチュエータであって：前
記段状嵌合部の隅側に逃げ部が設けられていることを特
徴とする。According to the present invention, there is provided a piezoelectric element fixed to a front end face of a base, and a step-shaped fitting formed on the outer periphery of the front end of the base and having a bottom surface and a case sliding surface. Part, a metal case fitted to the step-shaped fitting portion, and sealing the piezoelectric element, a welding gap formed between a lower end surface of the metal case and a bottom surface of the step-shaped fitting portion, And a welding portion formed in the welding gap, wherein a relief portion is provided on a corner side of the step-shaped fitting portion.
【００１０】この発明は、基台の先端面に固定された圧
電素子と、該基台の先端部外周に形成され、底面とケー
ス摺動面とを有する段状嵌合部と、該段状嵌合部に嵌着
され、前記圧電素子を密封する金属ケースと、該金属ケ
ースの下端面と前記段状嵌合部の底面との間に形成され
る溶接隙間と、該溶接隙間に形成される溶接部と、を備
えた圧電アクチュエータであって：前記段状嵌合部の底
面背後側に溶融バランス溝が形成されていることを特徴
とする。According to the present invention, there is provided a piezoelectric element fixed to a front end surface of a base, a step-shaped fitting portion formed on an outer periphery of a front end portion of the base and having a bottom surface and a case sliding surface; A metal case fitted to the fitting portion and sealing the piezoelectric element; a welding gap formed between a lower end surface of the metal case and a bottom surface of the step-like fitting portion; And a welded portion having: a molten balance groove formed on the back side of the bottom surface of the step-shaped fitting portion.
【００１１】この発明は、基台の先端面に固定された圧
電素子と、該基台の先端部外周に形成されたケ−ス摺動
面と、該基台の先端部に嵌着され、前記圧電素子を密封
する金属ケースと、該金属ケースの下端面と前記ケース
摺動面とを固着する溶接部と、を備えた圧電アクチュエ
ータであって：前記ケース摺動面が、先端面中央部側に
向かって傾斜するテーパ面であることを特徴とする。According to the present invention, there is provided a piezoelectric element fixed to a front end surface of a base, a case sliding surface formed on an outer periphery of a front end of the base, and fitted to the front end of the base. A piezoelectric actuator comprising: a metal case for sealing the piezoelectric element; and a welded portion for fixing a lower end surface of the metal case and the case sliding surface: the case sliding surface is located at a center of a front end surface. The tapered surface is inclined toward the side.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】この発明は、基台の段状嵌合部を
精密加工する代わりに、該段状嵌合部の隅側に逃げ部を
形成してＣ面形状を除去し、この段状嵌合部に金属ケー
スを所定位置まで挿入し溶接隙間し溶接する。この逃げ
部は、例えば、ケース摺動面側に形成されるが、ケース
摺動面と底面とにわたって形成しても良い。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS According to the present invention, instead of precision machining of a stepped fitting portion of a base, a relief portion is formed at a corner side of the stepped fitting portion to remove a C-plane shape. The metal case is inserted into the step-like fitting portion to a predetermined position, and a gap is welded. The relief portion is formed, for example, on the case sliding surface side, but may be formed over the case sliding surface and the bottom surface.
【００１３】この発明は、基台の先端部に段状嵌合部を
設け、該段状嵌合部の底面背後側に溶融バランス溝を形
成し、基台と金属ケースの溶け込み量がほぼ等しくなる
ようにするものである。According to the present invention, a stepped fitting portion is provided at the tip of the base, and a molten balance groove is formed at the back side of the bottom surface of the stepped fitting portion, so that the base and the metal case have substantially equal penetration amounts. It is to become.
【００１４】この発明は、ケース摺動面を先端面中央部
に向かって傾斜するテーパ面に形成し、金属ケースを嵌
合しやすくすると共に、その下端面を所定位置に精度良
く位置決めし溶接する。According to the present invention, the case sliding surface is formed as a tapered surface inclined toward the center of the front end surface, so that the metal case is easily fitted, and the lower end surface is accurately positioned and welded at a predetermined position. .
【００１５】[0015]
【実施例】この発明の第１実施例を図１、図２により説
明する。圧電アクチュエータＳは、密封式であり、基台
１の先端面１Ａには、内部リード電極１０を有する圧電
素子２が固定されている。この電極１０は、ガラス１２
により密封されたリード線１３に接続されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The piezoelectric actuator S is of a sealed type, and a piezoelectric element 2 having an internal lead electrode 10 is fixed to a distal end surface 1A of the base 1. This electrode 10 is made of glass 12
Is connected to the lead wire 13 sealed.
【００１６】この圧電素子２には予圧ばね３により圧縮
力が加えられており、又、この圧電素子２及び予圧ばね
３は金属ケース５により密封されている。この金属ケー
ス５はボール受部５ｒを有する頭部５ａと円筒状の胴部
５ｂとから構成されている。A compressive force is applied to the piezoelectric element 2 by a preload spring 3, and the piezoelectric element 2 and the preload spring 3 are sealed by a metal case 5. The metal case 5 includes a head 5a having a ball receiving portion 5r and a cylindrical body 5b.
【００１７】前記頭部５ａのボール受部５ｒの外側は、
出力部材１１に当接し、又、その内側は半球体７を介し
て予圧ばね３の頭部に接続している。The outside of the ball receiving portion 5r of the head 5a is
The output member 11 abuts, and the inside thereof is connected to the head of the preload spring 3 via the hemisphere 7.
【００１８】金属ケース５の下端部５Ｃは、基台１の段
状嵌合部１５に嵌着されている。この段状嵌合部１５
は、基台１の鍔部１６より上方に位置する先端部１ａ外
周に段状に形成され、基台１の中心線１Ｃと垂直状の底
面１ｄと、該中心線１Ｃに平行状のケース摺動面１ｅ
と、を備えている。The lower end 5 C of the metal case 5 is fitted to the step-like fitting portion 15 of the base 1. This step-shaped fitting portion 15
Is formed stepwise on the outer periphery of the distal end portion 1a located above the flange portion 16 of the base 1, and a bottom surface 1d perpendicular to the center line 1C of the base 1 and a case slide parallel to the center line 1C. Moving surface 1e
And
【００１９】段状嵌合部１５の隅１７側、例えば、ケー
ス摺動面１ｅには、逃げ部２０が設けられている。この
逃げ部２０は、例えば、断面円弧状の凹部であるが、隅
１７に発生するＣ面形状を除去できるものであれば、そ
の形状などはとくに限定されるものではない。この逃げ
部２０を形成することによりＣ面形状が無くなるので、
金属ケース５を円滑に所定位置に嵌着することができ
る。An escape portion 20 is provided on the corner 17 side of the step-like fitting portion 15, for example, on the case sliding surface 1e. The relief portion 20 is, for example, a concave portion having an arc-shaped cross section. However, the shape and the like are not particularly limited as long as the C-plane shape generated at the corner 17 can be removed. Since the C-plane shape is lost by forming the escape portion 20,
The metal case 5 can be smoothly fitted at a predetermined position.
【００２０】この実施例では、例えば、段状嵌合部１５
の底面１dと鍔部１６との間隔Ｌ1は0.5mm、該底面１ｄ
と基台１の先端面１Ａとの間隔Ｌ2は0.5mm、該底面１ｄ
と金属ケース５の下端面５ｄとの間に形成される溶接隙
間ｔは0.05mm、に形成されている。なお、この溶接隙間
tは、0.０5mm以下にするのが好ましい。In this embodiment, for example, the step-like fitting portion 15
Distance L 1 between the bottom surface 1d and the flange portion 16 of 0.5 mm, bottom surface 1d
The spacing L 2 between the tip end surface 1A of the base 1 is 0.5 mm, bottom surface 1d
And a lower end surface 5d of the metal case 5 has a welding gap t of 0.05 mm. In addition, this welding gap
t is preferably set to 0.05 mm or less.
【００２１】溶接隙間ｔに向かってレーザなどを照射し
金属ケース５の下端部５ｃと段状嵌合部１５とを溶接し
溶接部Ｍを形成する。この時、溶接隙間ｔは従来例に比
べて大幅に小さいので、溶接で溶けでた金属がその隙間
に取られて金属ケース５に穴があく様なことはない。The lower end 5c of the metal case 5 is welded to the step fitting portion 15 by irradiating a laser or the like toward the welding gap t to form a welded portion M. At this time, since the welding gap t is much smaller than in the conventional example, there is no possibility that the metal melted by welding is taken in the gap and a hole is formed in the metal case 5.
【００２２】この発明の第２実施例を図３により説明す
るが、この実施例と第１実施例との相違点は、逃げ部２
２が段状嵌合部１５の隅１７側の底面１ｄとケース摺動
面１ｅとわたって形成されていることである。A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 3. The difference between this embodiment and the first embodiment is that
2 is formed across the bottom surface 1d on the corner 17 side of the step-shaped fitting portion 15 and the case sliding surface 1e.
【００２３】この発明の第３実施例を図４により説明す
るが、この実施例と第１実施例との相違点は、底面２５
ｄとケース摺動面２５ｅとを備えた段状嵌合部２５にお
いて、ケース摺動面２５ｅが先端面１Ａ中央部に向かっ
て傾斜するテーパ面であることである。このテーパ面の
基台１の中心線１ｃに対する傾斜角度は、必要に応じて
適宜選択されるが、例えば、その傾斜角度は、先端面１
Ａの外縁１ｓと金属ケース５の下端部５ｃ内周面５ｎと
の間隔wが、０．５〜０．０５mm以下になるような角度
が選ばれる。この様なテーパ面にすると、嵌合が円滑に
なるので嵌め合い精度を向上させることができる。A third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 4. The difference between this embodiment and the first embodiment is that
In the step-like fitting portion 25 provided with d and the case sliding surface 25e, the case sliding surface 25e is a tapered surface inclined toward the center of the distal end surface 1A. The inclination angle of the tapered surface with respect to the center line 1c of the base 1 is appropriately selected as needed.
The angle is selected such that the distance w between the outer edge 1s of A and the inner peripheral surface 5n of the lower end 5c of the metal case 5 is 0.5 to 0.05 mm or less. With such a tapered surface, the fitting becomes smooth, so that the fitting accuracy can be improved.
【００２４】この発明の第４実施例を図５により説明す
るが、この実施例と前記第１〜第３実施例との相違点
は、段状嵌合部１５と鍔部１６との間、即ち、段状嵌合
部１５の底面１d背後側に、溶融バランス溝３０が形成
されていることである。この溶融バランス溝３０は、レ
ーザなどによる溶接時に、基台１と金属ケース５の溶け
込み量がほぼ等しくなる様にするためのものである。こ
の溝３０により溶接時に金属ケース５に穴があくのを防
止できる。この溝３０は、例えば、段状嵌合部１５の底
面１ｄから０．５ｍｍ離れた位置に、断面三角形状に形
成され、その深さは０．５ｍｍであるが、その位置、形
状、深さなどは、必要に応じて適宜選択される。A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 5. The difference between this embodiment and the first to third embodiments is that a step-like fitting portion 15 and a flange portion 16 are provided. That is, the molten balance groove 30 is formed behind the bottom surface 1d of the step-like fitting portion 15. The molten balance groove 30 is used to make the penetration amounts of the base 1 and the metal case 5 substantially equal during welding by laser or the like. The groove 30 prevents the metal case 5 from being pierced during welding. The groove 30 is formed in a triangular cross section at a position 0.5 mm away from the bottom surface 1d of the step-like fitting portion 15 and has a depth of 0.5 mm, for example. Are appropriately selected as needed.
【００２５】この発明の第５実施例を図６により説明す
るが、この実施例と第１実施例との相違点は次のとおり
である。基台１の先端部３１ａ、即ち、鍔１６から先端
面３１Ａに至るまでの部分は基端部３１ｇ側の径が金属
ケース５の下端部５ｃの内径より大きく、また、先端部
３１ａ側の径がそれより小さい円錐台状に形成され、其
の外周面であるケース摺動面３１ｅは、先細のテーパ面
となっている。A fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 6. The difference between this embodiment and the first embodiment is as follows. The distal end portion 31a of the base 1, that is, the portion from the flange 16 to the distal end surface 31A, has a diameter on the base end portion 31g side larger than the inner diameter of the lower end portion 5c of the metal case 5, and a diameter on the distal end portion 31a side. Is formed in a smaller truncated cone shape, and a case sliding surface 31e which is an outer peripheral surface thereof is a tapered tapered surface.
【００２６】このテーパ面の基台１の中心線１ｃに対す
る傾斜角度は、必要に応じて適宜選択されるが、例え
ば、その角度は、先端面３１Ａの外縁３１ｓと金属ケー
ス５の下端部５ｃ内周面５ｎとの間隔wが、０．5〜０．
０５mm以下になるような値が選ばれる。この実施例で
は、金属ケース５の下端部５ｃをケース摺動面３１ｅに
沿って距離Ｌ3挿入すると、その下端５ｆがケース摺動
面３１ｅに圧接し、それ以上進まなくなる。この時、前
記下端５ｆと鍔１６との距離はＬ4であるが、前記距離
Ｌ3、Ｌ4は、例えば、各々０．５〜1mmである。The angle of inclination of the tapered surface with respect to the center line 1c of the base 1 is appropriately selected as necessary. For example, the angle is set between the outer edge 31s of the distal end surface 31A and the lower end 5c of the metal case 5. The distance w from the peripheral surface 5n is 0.5 to 0.5.
The value is selected so as to be equal to or less than 05 mm. In this embodiment, when the distance L 3 inserted along the lower end portion 5c of the metal case 5 to the case sliding surface 31e, and pressed the lower end 5f is the case sliding surface 31e, it stops. At this time, the distance between the lower end 5f and the flange 16 is L 4, the distance L 3, L 4, for example, are each 0.5 to 1 mm.
【００２７】この金属ケース５は、ケース摺動面３１ｅ
に案内されセンタリングされながら挿入されるので、円
滑に嵌合され、金属ケースの下端５ｆとケース摺動面３
１ｅとは設計位置で密着する。この状態に於いてレーザ
を照射して前記下端面５ｄとケース摺動面３１ｅとを溶
接し溶接部Ｍを形成する。The metal case 5 has a case sliding surface 31e.
Is inserted while being guided and centered, so that it fits smoothly and the lower end 5f of the metal case and the case sliding surface 3
1e is in close contact with the design position. In this state, laser is irradiated to weld the lower end surface 5d and the case sliding surface 31e to form a weld M.
【００２８】この発明の第６実施例を図７により説明す
るが、この実施例と第４実施例との相違点は、ケース摺
動面３１ｅの先端部３１ａ側にガイド突起５Ｔを設けた
ことである。このガイド突起５Ｔは金属ケース５の挿入
時のがイドとなり、又、該金属ケース５をケース摺動面
３１ｅに溶接した後には該金属ケース５の支持部材とし
て機能する。A sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 7. The difference between this embodiment and the fourth embodiment is that a guide projection 5T is provided on the tip end 31a of the case sliding surface 31e. It is. The guide projection 5T serves as a guide when the metal case 5 is inserted, and functions as a support member for the metal case 5 after the metal case 5 is welded to the case sliding surface 31e.
【００２９】[0029]
【発明の効果】この発明は、次のような効果を奏する。 (1)段状嵌合部の隅側に逃げ部が設けられているので、
金属ケースの嵌合の支障となるＣ面形状が存在しない。
そのため、該金属ケースの下端を所定位置にすることが
出来るので、設計通りの小さな溶接隙間を形成すること
ができる。又、逃げ部を形成すことにより簡単にＣ面形
状を除去できるので、経費の嵩む精密加工をする必要も
ない。The present invention has the following effects. (1) Since a relief is provided on the corner side of the step-shaped fitting part,
There is no C-plane shape that hinders the fitting of the metal case.
Therefore, since the lower end of the metal case can be set at a predetermined position, a small welding gap as designed can be formed. Further, since the C-plane shape can be easily removed by forming the escape portion, it is not necessary to perform expensive precision machining.
【００３０】(2)段状嵌合部の底面背後側に、溶融バラ
ンス溝を形成したので、溶接時において基台と金属ケー
スの溶け込み量はほぼ均一になる。そのため、従来例と
異なり、金属ケースに穴があくことはない。(2) Since the molten balance groove is formed on the rear side of the bottom surface of the step-shaped fitting portion, the penetration amount between the base and the metal case during welding is substantially uniform. Therefore, unlike the conventional example, there is no hole in the metal case.
【００３１】(3)ケース摺動面が先端面中央部側に向か
って傾斜するテーパ面であるので、金属ケースを円滑に
基台に嵌着し所定位置に固定できる。そのため、嵌め合
い精度の向上を図ることができる。(3) Since the case sliding surface is a tapered surface inclined toward the center of the front end surface, the metal case can be smoothly fitted to the base and fixed at a predetermined position. Therefore, the fitting accuracy can be improved.
【図１】本発明の第１実施例を示す縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a first embodiment of the present invention.
【図２】図１の腰部拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged sectional view of a waist portion of FIG.
【図３】本発明の第２実施例を示す拡大断面図の一部を
示す図で、図２に相当する図である。FIG. 3 is a view showing a part of an enlarged sectional view showing a second embodiment of the present invention, and is a view corresponding to FIG. 2;
【図４】本発明の第３実施例を示す拡大断面図で、図２
に対応する図である。FIG. 4 is an enlarged sectional view showing a third embodiment of the present invention, and FIG.
FIG.
【図５】本発明の第４実施例を示す拡大断面図で、図２
に対応する図である。FIG. 5 is an enlarged sectional view showing a fourth embodiment of the present invention, and FIG.
FIG.
【図６】本発明の第５実施例を示す拡大断面図で、図２
に対応する図である。FIG. 6 is an enlarged sectional view showing a fifth embodiment of the present invention, and FIG.
FIG.
【図７】本発明の第６実施例を示す拡大断面図の一部を
示す図で、図５に相当する図である。FIG. 7 is a view showing a part of an enlarged sectional view showing a sixth embodiment of the present invention, and is a view corresponding to FIG. 5;
【図８】従来例を示す拡大断面図の一部を示す図であ
る。FIG. 8 is a diagram showing a part of an enlarged sectional view showing a conventional example.
１ 基台 １Ａ 先端面 １ａ 先端部 １ｄ 底面 １ｅ ケース摺動面 ２ 圧電素子 ５ 金属ケース １５ 段状嵌合部 ２０ 逃げ部 ３０ 溶融バランス溝 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base 1A Tip surface 1a Tip portion 1d Bottom surface 1e Case sliding surface 2 Piezoelectric element 5 Metal case 15 Stepwise fitting portion 20 Escape portion 30 Melt balance groove
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 稲田 豊 千葉県東金市小沼田1568−４ 太平洋セメ ント株式会社研究本部内 (72)発明者 上野 保 東京都西多摩郡瑞穂町高根651−６ 東成 エレクトロビーム株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Yutaka Inada 1568-4 Onumada, Togane-shi, Chiba Pref. Research Center, Pacific Cement Co., Ltd. (72) Inventor Tamotsu Ueno 651-6 Takane, Mizuho-cho, Nishitama-gun, Tokyo Tosei Electro Beam Co., Ltd.
Claims (6)
基台の先端部外周に形成され、底面とケース摺動面とを
有する段状嵌合部と、該段状嵌合部に嵌着され、前記圧
電素子を密封する金属ケースと、該金属ケースの下端面
と前記段状嵌合部の底面との間に形成される溶接隙間
と、該溶接隙間に形成される溶接部と、を備えた圧電ア
クチュエータであって：前記段状嵌合部の隅側に逃げ部
が設けられていることを特徴とする圧電アクチュエー
タ。A stepped fitting portion formed on an outer periphery of a distal end portion of the base and having a bottom surface and a case sliding surface; A metal case that is fitted to the portion and seals the piezoelectric element; a welding gap formed between a lower end surface of the metal case and a bottom surface of the step-shaped fitting portion; and a weld formed in the welding gap. A piezoelectric actuator, comprising: a relief portion provided at a corner of the step-shaped fitting portion.
設けられていることを特徴とする請求項１記載の圧電ア
クチュエータ。2. The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein the relief portion is provided on the case sliding surface side of the step-shaped fitting portion.
面とに亘って設けられていることを特徴とする請求項１
記載の圧電アクチュエータ。3. The relief according to claim 1, wherein the relief portion is provided over the lower surface of the step-shaped fitting portion and the sliding surface of the case.
A piezoelectric actuator as described.
基台の先端部外周に形成され、底面とケース摺動面とを
有する段状嵌合部と、該段状嵌合部に嵌着され、前記圧
電素子を密封する金属ケースと、該金属ケースの下端面
と前記段状嵌合部の底面との間に形成される溶接隙間
と、該溶接隙間に形成される溶接部と、を備えた圧電ア
クチュエータであって：前記段状嵌合部の底面背後側に
溶融バランス溝が形成されていることを特徴とする圧電
アクチュエータ。4. A stepped fitting portion formed on an outer periphery of a tip end of the base, fixed to a tip end surface of the base, and having a bottom surface and a case sliding surface. A metal case that is fitted to the portion and seals the piezoelectric element; a welding gap formed between a lower end surface of the metal case and a bottom surface of the step-shaped fitting portion; and a weld formed in the welding gap. And a melt balance groove is formed on the back side of the bottom surface of the step-shaped fitting portion.
基台の先端部外周に形成され、底面とケース摺動面とを
有する段状嵌合部と、該段状嵌合部に嵌着され、前記圧
電素子を密封する金属ケースと、該金属ケースの下端面
と前記段状嵌合部の底面との間に形成される溶接隙間
と、該溶接隙間に形成される溶接部と、を備えた圧電ア
クチュエータであって：前記段状嵌合部の隅側に逃げ部
が設けられており、 前記段状嵌合部の底面背後側に溶融バランス溝が形成さ
れていることを特徴とする圧電アクチュエータ。5. A step-shaped fitting portion formed on an outer periphery of a tip portion of the base, fixed to a front end surface of the base, and having a bottom surface and a case sliding surface. A metal case that is fitted to the portion and seals the piezoelectric element; a welding gap formed between a lower end surface of the metal case and a bottom surface of the step-shaped fitting portion; and a weld formed in the welding gap. And a relief portion is provided at a corner side of the step-shaped fitting portion, and a molten balance groove is formed behind the bottom surface of the step-shaped fitting portion. A piezoelectric actuator characterized in that:
基台の先端部外周に形成されたケ−ス摺動面と、該基台
の先端部に嵌着され、前記圧電素子を密封する金属ケー
スと、該金属ケースの下端面と前記ケース摺動面とを固
着する溶接部と、を備えた圧電アクチュエータであっ
て：前記ケース摺動面が、先端面中央部側に向かって傾
斜するテーパ面であることを特徴とする圧電アクチュエ
ータ。6. A piezoelectric element fixed to a distal end surface of a base, a case sliding surface formed on an outer periphery of a distal end of the base, and a piezoelectric element fitted to the distal end of the base. What is claimed is: 1. A piezoelectric actuator comprising: a metal case for sealing an element; and a welded portion for fixing a lower end surface of the metal case to the case sliding surface. A piezoelectric actuator having a tapered surface inclined toward the surface.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000036000A JP4430774B2 (en) | 2000-02-15 | 2000-02-15 | Piezoelectric actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2000036000A JP4430774B2 (en) | 2000-02-15 | 2000-02-15 | Piezoelectric actuator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001230461A true JP2001230461A (en) | 2001-08-24 |
| JP4430774B2 JP4430774B2 (en) | 2010-03-10 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2000036000A Expired - Fee Related JP4430774B2 (en) | 2000-02-15 | 2000-02-15 | Piezoelectric actuator |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012026564A1 (en) * | 2010-08-26 | 2012-03-01 | 京セラ株式会社 | Piezoelectric actuator |
| JP2015012085A (en) * | 2013-06-27 | 2015-01-19 | 太平洋セメント株式会社 | Piezoelectric actuator |
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| WO2012026564A1 (en) * | 2010-08-26 | 2012-03-01 | 京セラ株式会社 | Piezoelectric actuator |
| JPWO2012026564A1 (en) * | 2010-08-26 | 2013-10-28 | 京セラ株式会社 | Piezoelectric actuator |
| JP5496341B2 (en) * | 2010-08-26 | 2014-05-21 | 京セラ株式会社 | Piezoelectric actuator |
| US9130149B2 (en) | 2010-08-26 | 2015-09-08 | Kyocera Corporation | Piezoelectric actuator for suppressing disconnection |
| JP2015012085A (en) * | 2013-06-27 | 2015-01-19 | 太平洋セメント株式会社 | Piezoelectric actuator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4430774B2 (en) | 2010-03-10 |
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