JP2001229529A - Method for quantitative analysis of surface lubricant on magnetic recording medium - Google Patents

Method for quantitative analysis of surface lubricant on magnetic recording medium

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JP2001229529A
JP2001229529A JP2000036855A JP2000036855A JP2001229529A JP 2001229529 A JP2001229529 A JP 2001229529A JP 2000036855 A JP2000036855 A JP 2000036855A JP 2000036855 A JP2000036855 A JP 2000036855A JP 2001229529 A JP2001229529 A JP 2001229529A
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JP
Japan
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recording medium
lubricant
magnetic recording
magnetic
sample
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Application number
JP2000036855A
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Japanese (ja)
Inventor
Nobuyuki Nagaoka
信之 長岡
Kazuo Hoshi
一男 星
Noriyuki Kishii
典之 岸井
Takahiro Kamei
隆広 亀井
Kenichi Kurihara
研一 栗原
Takeshi Kobayashi
健 小林
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To carry out accurate, easy and rapid quantitative analysis of a surface lubricant on the surface of a magnetic recording medium. SOLUTION: The lubricant 105 on the surface of a magnetic recording medium 100 is quantitatively analyzed. Then the lubricant 105 is removed from the surface of the magnetic recording medium after the quantitative analysis of the lubricant so as to prepare a reference sample. The surface of the reference sample is quantitatively analyzed. Both analyses are compared to each other to determine the quantity of the lubricant on the surface of the magnetic recording medium 100.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、減衰全反射プリズ
ム(以下、単にATRプリズムとする)を備えた減衰全
反射フ−リエ変換赤外分光計(以下、単に、ATR−F
T−IRとする)による磁気記録媒体の表面の潤滑剤の
定量分析方法に係わる。
The present invention relates to an attenuated total reflection Fourier transform infrared spectrometer (hereinafter simply referred to as ATR-F) provided with an attenuated total reflection prism (hereinafter simply referred to as ATR prism).
T-IR) for quantitative analysis of lubricant on the surface of a magnetic recording medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、磁気記録媒体としては、磁性金属
の酸化物の粉末や、磁性合金の粉末等の強磁性粉末と、
塩化ビニル−酢酸ビニル系共重合体、ポリエステル樹
脂、ウレタン樹脂およびポリウレタン等の結合剤と、有
機溶剤とからなる磁性塗料を、非磁性支持体上に塗布す
ることで、磁性層が形成される、いわゆる塗布型の磁気
記録媒体が広く使用されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a magnetic recording medium, a ferromagnetic powder such as a magnetic metal oxide powder or a magnetic alloy powder has been used.
A magnetic layer composed of a binder such as a vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, a polyester resin, a urethane resin and a polyurethane, and an organic solvent is coated on a non-magnetic support to form a magnetic layer. So-called coating type magnetic recording media are widely used.

【0003】一方、高密度記録化への要求の高まりとと
もに、磁性層に非磁性の結合剤を含まないため、高い飽
和磁化が得られる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が提案
されている。金属磁性薄膜型の磁気記録媒体では、例え
ばCo、Co−Ni合金、Co−Cr合金およびCo−
O等の金属磁性材料を、例えばポリエチレンテレフタレ
ートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルムおよ
びアラミドフィルム等の非磁性支持体上に、メッキや真
空薄膜形成技術(真空蒸着法、スパッタリング法、イオ
ンプレーティング法等)を用いて、直接被着させること
で、磁性層が形成される。
On the other hand, as the demand for high-density recording has increased, there has been proposed a metal magnetic thin film type magnetic recording medium capable of obtaining high saturation magnetization since a magnetic layer does not contain a non-magnetic binder. In a magnetic recording medium of a metal magnetic thin film type, for example, Co, Co—Ni alloy, Co—Cr alloy, and Co—
A metal magnetic material such as O is applied to a non-magnetic support such as a polyethylene terephthalate film, a polyethylene naphthalate film and an aramid film by plating or vacuum thin film forming technology (vacuum deposition, sputtering, ion plating, etc.). When used, the magnetic layer is formed by direct deposition.

【0004】この金属磁性薄膜型の磁気記録媒体は、塗
布型の磁気記録媒体に比べて、種々の利点を有してい
る。例えば、保磁力や角形比等の磁気特性、短波長領域
での電磁変換特性に優れている。また、磁性層の厚さ
を、極めて薄く形成することが可能であるので、記録減
磁および再生時における厚み損失が著しく小さくなる。
さらに、磁性層中に非磁性材料である結合剤を混入する
必要がないので、磁性層において、磁性材料の充填度を
高めることが可能である。
The metal magnetic thin film type magnetic recording medium has various advantages as compared with the coating type magnetic recording medium. For example, it is excellent in magnetic characteristics such as coercive force and squareness ratio, and electromagnetic conversion characteristics in a short wavelength region. Further, since the thickness of the magnetic layer can be made extremely thin, the thickness loss during recording demagnetization and reproduction is significantly reduced.
Further, since it is not necessary to mix a binder, which is a non-magnetic material, in the magnetic layer, it is possible to increase the filling degree of the magnetic material in the magnetic layer.

【0005】上述したような、金属磁性薄膜型の磁気記
録媒体において、電磁変換特性をさらに向上させて、よ
り大きな出力を得る磁性層を形成するために、非磁性支
持体に対し、金属磁性材料を斜めに蒸着する斜方蒸着が
提案されている。金属磁性材料を斜方蒸着した金属磁性
薄膜型の磁気記録媒体は、記録減磁がより少なく、磁性
層の構造によりリングヘッドで記録しやすいため、8ミ
リビデオテープレコーダー用やデジタルビデオカセット
用の磁気記録媒体として実用化されている。
[0005] In the magnetic recording medium of the metal magnetic thin film type as described above, in order to further improve the electromagnetic conversion characteristics and form a magnetic layer capable of obtaining a larger output, a metal magnetic material is formed on a nonmagnetic support. Has been proposed. The magnetic recording medium of the metal magnetic thin film type obliquely deposited with a metal magnetic material has less recording demagnetization and is easy to record with a ring head due to the structure of the magnetic layer, so it is used for 8 mm video tape recorders and digital video cassettes. It has been put to practical use as a magnetic recording medium.

【0006】しかし、斜方蒸着法により形成される金属
薄膜型の磁気記録媒体においては、磁性層の表面が、鏡
面に近い状態になり、磁気ヘッドに対して張り付きを起
こしやすい。そのため、磁性層表面に突起部が存在する
ように非磁性支持体の表面に微小な突起を設け、磁性層
表面と磁気ヘッドとの実質的な接触面積を低減するよう
にすることで、磁性層の耐久性の確保を図る工夫がなさ
れている。
However, in a metal thin film type magnetic recording medium formed by the oblique evaporation method, the surface of the magnetic layer becomes close to a mirror surface, and tends to stick to the magnetic head. Therefore, by providing minute projections on the surface of the non-magnetic support so that the projections are present on the surface of the magnetic layer, the substantial contact area between the surface of the magnetic layer and the magnetic head is reduced. Innovative measures have been taken to ensure durability.

【0007】また、デジタルビデオテープレコーダーで
は、高記録密度とともにデータの転送レートも高速にな
る。デジタル記録の場合における磁気ヘッドと磁気記録
媒体表面との相対速度は、アナログ記録の場合と比較す
ると、2倍以上の速度である。また、業務用の磁気記録
媒体には、編集モード等の過酷な使用状況に対応可能な
仕様が要求される。このように、磁気ヘッドが高速回転
する分野で使用される磁気記録媒体では、磁気記録媒体
の磁性層表面に受ける損傷が大きく、走行耐久製、ステ
ィル耐久性等の更なる向上が求められている。そこで、
磁性層表面にカーボン等の保護膜を形成する技術の検討
がなされている。
[0007] In a digital video tape recorder, the data transfer rate is increased along with the high recording density. The relative speed between the magnetic head and the surface of the magnetic recording medium in digital recording is twice as fast as that in analog recording. Further, a magnetic recording medium for business use is required to have specifications capable of coping with severe use conditions such as an edit mode. As described above, in the magnetic recording medium used in the field where the magnetic head rotates at high speed, the surface of the magnetic layer of the magnetic recording medium is greatly damaged, and further improvement in running durability, still durability and the like is required. . Therefore,
Techniques for forming a protective film such as carbon on the surface of a magnetic layer have been studied.

【0008】また、金属磁性薄膜型の磁気記録媒体で
は、磁性層表面もしくは保護膜表面に潤滑剤を塗布する
ことで、磁気ヘッドと磁気記録媒体表面との間に生じる
摩擦係数を低下させ、磁気ヘッドに対する磁気記録媒体
の張り付きを防止し、磁気記録媒体の走行性、耐久性を
向上させる試みがなされている。
Further, in a magnetic recording medium of the metal magnetic thin film type, a lubricant is applied to the surface of the magnetic layer or the surface of the protective film to reduce the friction coefficient generated between the magnetic head and the surface of the magnetic recording medium, thereby reducing the magnetic field. Attempts have been made to prevent the magnetic recording medium from sticking to the head and to improve the running properties and durability of the magnetic recording medium.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】磁気記録媒体の表面に
塗布する潤滑剤の量は、磁気記録媒体の耐久性を大きく
左右するので、高精度に制御する必要がある。従来、減
衰全反射フーリエ赤外分光計により潤滑剤の定量分析の
測定を行う方法が提案されており、その際のリファレン
ス試料として、磁気記録媒体試料と同一ロットの潤滑剤
未塗布部分を用いる方法を提案した。
The amount of the lubricant to be applied to the surface of the magnetic recording medium greatly affects the durability of the magnetic recording medium, and therefore needs to be controlled with high precision. Conventionally, there has been proposed a method of measuring a quantitative analysis of a lubricant using an attenuated total reflection Fourier infrared spectrometer. In this case, a method using a lubricant-uncoated portion of the same lot as a magnetic recording medium sample as a reference sample is proposed. Suggested.

【0010】しかし、ある一つのロットの磁気記録媒体
において、潤滑剤塗布部分と、潤滑剤未塗布部分とは、
磁気記録媒体の製造工程において分離されて、製品とし
て無用な部分は廃棄されてしまうので、その後の検査段
階において潤滑剤未塗布部分を入手することが困難であ
る場合が多い。
However, in one magnetic recording medium of one lot, the lubricant-applied portion and the lubricant-unapplied portion are:
Since parts that are separated in the manufacturing process of the magnetic recording medium and are no longer necessary as products are discarded, it is often difficult to obtain a lubricant-uncoated part in a subsequent inspection stage.

【0011】また、潤滑剤未塗布部分を入手して、これ
をリファレンス試料として用いる場合においては、この
潤滑剤未塗布部分の磁性層の厚さが、比較する潤滑剤を
塗布した磁気記録媒体の測定箇所における磁性層の厚さ
と大きく異なる場合があり、測定精度の低下を招くこと
などから、新たな測定方法の開発が望まれていた。
In the case where a lubricant-uncoated portion is obtained and used as a reference sample, the thickness of the magnetic layer of the lubricant-uncoated portion is determined by comparing the thickness of the magnetic recording medium coated with the lubricant to be compared. The thickness of the magnetic layer at the measurement point may be significantly different from that of the magnetic layer, which causes a decrease in measurement accuracy. Therefore, development of a new measurement method has been desired.

【0012】本発明は、従来の実情に基づいて提案され
たものであり、正確かつ容易で、迅速な、磁気記録媒体
の表面の潤滑剤の定量分析方法を提案するものである。
The present invention has been proposed based on the conventional situation, and proposes an accurate, easy, and quick method for quantitatively analyzing the lubricant on the surface of a magnetic recording medium.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
表面潤滑剤の定量分析方法は、平滑な平面の底面をもつ
半球状の減衰全反射プリズムと、試料表面を上記減衰全
反射プリズムの底面に密着させる金属素子を有し、上記
試料表面と上記減衰全反射プリズムの底面との密着圧力
を微調整する接圧制御装置とを備え、上記金属圧子と上
記磁気記録媒体試料との間に、緩衝材を設置した減衰全
反射フーリエ変換赤外分光計により潤滑剤の定量分析の
測定を行うときに、磁気記録媒体の表面の潤滑剤の定量
分析を行う工程と、定量分析後の上記磁気記録媒体の表
面から、潤滑剤を除去してリファレンス試料を作製して
このリファレンス試料の表面の定量分析を行う工程とを
有するものである。
According to the present invention, there is provided a method for quantitatively analyzing a surface lubricant of a magnetic recording medium, comprising: a hemispherical attenuated total reflection prism having a smooth flat bottom surface; A metal element to be in close contact with the bottom surface, comprising a contact pressure control device for finely adjusting the contact pressure between the sample surface and the bottom surface of the attenuated total reflection prism, between the metal indenter and the magnetic recording medium sample A step of performing quantitative analysis of the lubricant on the surface of the magnetic recording medium when measuring the quantitative analysis of the lubricant by an attenuated total reflection Fourier transform infrared spectrometer provided with a cushioning material; and Removing a lubricant from the surface of the recording medium to produce a reference sample and performing a quantitative analysis of the surface of the reference sample.

【0014】本発明の磁気記録媒体の表面潤滑剤の定量
分析方法においては、同一ロットの磁気記録媒体の潤滑
剤塗布部分と潤滑剤未塗布部分とを、検査段階において
入手する必要をなくし、検査段階において磁気記録媒体
の表面潤滑剤を除去したリファレンス試料を作製するこ
ととたため、製造工程後の磁気記録媒体の検査工程が簡
易化される。
In the method for quantitatively analyzing the surface lubricant of a magnetic recording medium according to the present invention, it is not necessary to obtain a lubricant-coated portion and a lubricant-uncoated portion of a magnetic recording medium of the same lot at an inspection stage. Since the reference sample from which the surface lubricant of the magnetic recording medium has been removed is prepared in the step, the inspection step of the magnetic recording medium after the manufacturing process is simplified.

【0015】また、潤滑剤未塗布部分を入手して、これ
をリファレンス試料として用いた従来の検査方法におい
ては、この潤滑剤未塗布部分の磁性層の厚さが、比較す
る潤滑剤を塗布した磁気記録媒体の測定箇所における磁
性層の厚さと大きく異なる場合があり、測定精度の低下
を招いたが、本発明の磁気記録媒体の表面潤滑剤の定量
分析方法においては、検査段階において磁気記録媒体の
表面潤滑剤を除去したリファレンス試料を作製すること
とたため、測定精度の低下が回避され、正確かつ容易
で、迅速な、磁気記録媒体の表面の潤滑剤の定量分析を
行われてるようになる。
In a conventional inspection method in which a lubricant-uncoated portion is obtained and used as a reference sample, a lubricant in which the thickness of the magnetic layer in the lubricant-uncoated portion is compared is applied. Although the thickness of the magnetic layer may be significantly different from the thickness of the magnetic layer at the measurement point of the magnetic recording medium, the measurement accuracy may be reduced. Since a reference sample with the surface lubricant removed has been prepared, a decrease in measurement accuracy is avoided, and accurate, easy, and rapid quantitative analysis of lubricant on the surface of a magnetic recording medium is performed. .

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】本発明の、磁気記録媒体の表面潤
滑剤の定量分析方法は、平滑な平面の底面をもつ半球状
の減衰全反射プリズム(半球状ATRプリズムと略記す
る)と、試料表面を半球状ATRプリズムの底面に密着
させる金属素子を有し、試料表面と半球状ATRプリズ
ムの底面との密着圧力を微調整する接圧制御装置とを備
え、金属圧子と磁気記録媒体試料との間に、緩衝材を設
置した減衰全反射フーリエ変換赤外分光計により潤滑剤
の定量分析の測定を行うときに、磁気記録媒体の表面の
潤滑剤の定量分析を行う工程と、定量分析後の磁気記録
媒体の表面から、潤滑剤を除去してリファレンス試料を
作製して、このリファレンス試料の表面の、定量分析を
行う工程とを有するものである。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The method for quantitatively analyzing the surface lubricant of a magnetic recording medium according to the present invention comprises a hemispherical attenuated total reflection prism (abbreviated as a hemispherical ATR prism) having a flat bottom surface and a sample. A metal element for bringing the surface into close contact with the bottom surface of the hemispherical ATR prism; a contact pressure control device for finely adjusting the contact pressure between the sample surface and the bottom surface of the hemispherical ATR prism; During the measurement of the quantitative analysis of the lubricant by an attenuated total reflection Fourier transform infrared spectrometer equipped with a cushioning material, during the quantitative analysis of the lubricant on the surface of the magnetic recording medium, after the quantitative analysis Removing a lubricant from the surface of the magnetic recording medium to produce a reference sample, and performing a quantitative analysis of the surface of the reference sample.

【0017】以下、本発明の磁気記録媒体の表面潤滑剤
の定量分析方法について、その一例を挙げて説明する
が、本発明方法は以下に示す例に限定されるものではな
い。
Hereinafter, the method for quantitatively analyzing the surface lubricant of a magnetic recording medium according to the present invention will be described by way of an example, but the method of the present invention is not limited to the following examples.

【0018】本発明方法において、潤滑剤の定量分析を
するために適用する磁気記録媒体としては、非磁性支
持体上に磁性金属材料を蒸着することで、金属磁性薄膜
型の磁性層の形成がなされ、この磁性層上に有機性の潤
滑剤を付した金属磁性薄膜型の磁気記録媒体、非磁性
支持体上に磁性金属材料を蒸着することで、金属磁性薄
膜型の磁性層の形成がなされ、この磁性層上にダイヤモ
ンドライクカーボン膜等の保護膜が形成され、この保護
膜上に有機性の潤滑剤が付された金属磁性薄膜型の磁気
記録媒体のいずれも適用することができる。
In the method of the present invention, as a magnetic recording medium applied for quantitative analysis of a lubricant, a magnetic metal material is deposited on a non-magnetic support to form a metal magnetic thin film type magnetic layer. The metal magnetic thin film type magnetic layer is formed by depositing a magnetic metal material on a non-magnetic support and a metal magnetic thin film type magnetic recording medium having an organic lubricant applied on the magnetic layer. A protective film such as a diamond-like carbon film is formed on the magnetic layer, and any of magnetic metal thin film type magnetic recording media in which an organic lubricant is provided on the protective film can be applied.

【0019】そこで、以下の例においては、ディジタル
ビデオカセットのような、長尺テープ状の金属磁性薄膜
型の磁気記録媒体を測定用の試料として、磁気記録媒体
の表面の潤滑剤の定量分析を行う場合について説明す
る。
Therefore, in the following example, a quantitative analysis of the lubricant on the surface of the magnetic recording medium is performed by using a long magnetic tape-shaped metal magnetic thin film type magnetic recording medium such as a digital video cassette as a sample for measurement. The case of performing the operation will be described.

【0020】図1に、本発明方法において適用する磁気
記録媒体100の一例の概略断面図を示す。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing an example of a magnetic recording medium 100 applied in the method of the present invention.

【0021】図1に示した磁気記録媒体100は、例え
ばポリエチレンテレフタレートフィルムよりなる非磁性
支持体101と、磁性層102と、例えばダイヤモンド
ライクカーボンよりなる保護膜103と、潤滑剤層10
5より形成されている。
The magnetic recording medium 100 shown in FIG. 1 has a nonmagnetic support 101 made of, for example, a polyethylene terephthalate film, a magnetic layer 102, a protective film 103 made of, for example, diamond-like carbon, and a lubricant layer 10
5 is formed.

【0022】磁性層102は、非磁性支持体101上に
金属磁性材料を蒸着することにより形成されるものと
し、例えばCoXNi(100−X)という組成(但
し、X=100〜80で、Xは各元素の含有量を重量%
で表すものである)を有する金属磁性薄膜とする。図2
に長尺状の磁気記録媒体100の磁性層102を形成す
るために用いる真空蒸着装置11の一例の概略断面図を
示す。この真空蒸着装置11は、内部が約10-3〔P
a〕程度の真空状態となされた真空室12内に、−20
℃程度に冷却されて反時計回り方向(図2中、矢印A方
向)に回転する冷却キャン13と、冷却キャン13に対
向するように配置された金属磁性薄膜形成用の蒸着源1
4により構成されている。
The magnetic layer 102 is formed by depositing a metallic magnetic material on the non-magnetic support 101, and has a composition of, for example, CoXNi (100-X) (where X = 100-80 and X is Weight% of each element
(Represented by the following). FIG.
1 shows a schematic cross-sectional view of an example of a vacuum evaporation apparatus 11 used for forming a magnetic layer 102 of a long magnetic recording medium 100. The inside of this vacuum evaporation apparatus 11 is about 10 -3 [P
a) in the vacuum chamber 12 in a vacuum state of about
A cooling can 13 cooled to about ° C. and rotating in a counterclockwise direction (the direction of arrow A in FIG. 2), and a vapor deposition source 1 arranged to face the cooling can 13 for forming a metal magnetic thin film
4.

【0023】蒸着源14は、るつぼ等の容器に、Co等
の金属磁性材料が収容されたものである。この蒸着源1
4に対し、電子ビーム発生源15から電子ビーム16を
加速照射して蒸着源14を加熱し、金属磁性材料を蒸発
させる。そして、反時計回り方向に回転する供給ロール
17から図中の矢印B方向に繰り出されて冷却キャン1
3の周面に沿って走行する非磁性支持体23上に、金属
磁性材料を蒸着させることによって金属磁性薄膜、すな
わち磁性層102を形成する。金属磁性薄膜が形成され
た後、巻き取りロール18に巻き取られる。
The vapor deposition source 14 is one in which a metal magnetic material such as Co is accommodated in a container such as a crucible. This evaporation source 1
4, the electron beam generator 15 accelerates and irradiates an electron beam 16 to heat the evaporation source 14, thereby evaporating the metal magnetic material. Then, the cooling can 1 is fed out from the supply roll 17 rotating in the counterclockwise direction in the direction of arrow B in the drawing.
A metal magnetic thin film, that is, a magnetic layer 102 is formed by depositing a metal magnetic material on the non-magnetic support 23 running along the peripheral surface of No. 3. After the metal magnetic thin film is formed, it is taken up on a take-up roll 18.

【0024】このとき、蒸着源14と冷却キャン13と
の間に防着板19を設け、この防着板19に位置調整可
能なシャッタ20を設け、非磁性支持体23に対して所
定の角度で入射する蒸着粒子のみを通過させるようにす
ることで、金属磁性材料が非磁性支持体の斜めに蒸着す
るようにしている。このような蒸着方法を斜方蒸着方と
いう。
At this time, a deposition-preventing plate 19 is provided between the evaporation source 14 and the cooling can 13, a shutter 20 whose position can be adjusted is provided on the deposition-preventing plate 19, and a predetermined angle with respect to the nonmagnetic support 23. In this case, the metal magnetic material is deposited obliquely on the non-magnetic support by allowing only the vapor deposition particles incident thereon to pass therethrough. Such an evaporation method is called an oblique evaporation method.

【0025】なお、供給ロール17と冷却キャン13と
の間、および冷却キャン13と巻き取りロール18との
間には、それぞれガイドロール21、22が配置され、
供給ロール17から冷却キャン13、およびこの冷却キ
ャン13から巻き取りロール18の従って走行する非磁
性支持体23に所定のテンションをかけ、非磁性支持体
23が円滑に走行するようになされている。
It should be noted that guide rolls 21 and 22 are disposed between the supply roll 17 and the cooling can 13 and between the cooling can 13 and the take-up roll 18, respectively.
A predetermined tension is applied to the non-magnetic support 23 running from the supply roll 17 to the cooling can 13 and from the cooling can 13 to the take-up roll 18 so that the non-magnetic support 23 runs smoothly.

【0026】さらに、このような金属磁性薄膜の蒸着に
際し、酸素ガス導入口(図示せず)を介して非磁性支持
体23の表面に、酸素ガスが供給され、これによって金
属磁性薄膜、すなわち磁性層102の磁気特性、耐久性
及び耐候性の向上が図られている。また、蒸着源14を
加熱するためには、上述のような電子ビーム16による
加熱手段の他、例えば、抵抗加熱手段、高周波加熱手
段、レーザー加熱手段等の従来公知の方法を適宜使用す
ることができる。金属磁性材料を用いて金属磁性薄膜を
成膜する方法としては、斜方蒸着法の他、垂直蒸着法や
スパッタリング法等の従来公知の薄膜形成法も適宜使用
することができる。また、金属磁性材料としては、C
o,Ni、Fe等の磁性金属や、これらの合金を単独
で、あるいは複数組み合わせて適用することができる。
Further, at the time of depositing such a metal magnetic thin film, oxygen gas is supplied to the surface of the nonmagnetic support 23 through an oxygen gas inlet (not shown), whereby the metal magnetic thin film, The magnetic properties, durability and weather resistance of the layer 102 are improved. In addition, in order to heat the evaporation source 14, in addition to the heating means using the electron beam 16 as described above, for example, a conventionally known method such as a resistance heating means, a high-frequency heating means, and a laser heating means may be appropriately used. it can. As a method for forming a metal magnetic thin film using a metal magnetic material, a conventionally known thin film forming method such as a vertical evaporation method or a sputtering method can be appropriately used in addition to the oblique evaporation method. Further, as the metal magnetic material, C
Magnetic metals such as o, Ni, and Fe, and alloys thereof can be used alone or in combination.

【0027】但し、非磁性支持体23と金属磁性材料と
の付着強度を改善させ、あるいは金属磁性薄膜自体の耐
候性、耐磨耗性等の耐久性を向上させるため、蒸着時の
雰囲気として、酸素ガスを含む雰囲気としたとき得られ
る金属磁性薄膜を使用することが望ましい。また、金属
磁性薄膜の厚さは、0.01〜0.2〔μm〕程度が望
ましく、0.1〜0.2〔μm〕程度であることが最も
望ましい。
However, in order to improve the adhesion strength between the non-magnetic support member 23 and the metal magnetic material, or to improve the durability of the metal magnetic thin film itself such as weather resistance and abrasion resistance, the atmosphere at the time of vapor deposition is as follows: It is desirable to use a metal magnetic thin film obtained when the atmosphere contains oxygen gas. Further, the thickness of the metal magnetic thin film is preferably about 0.01 to 0.2 [μm], and most preferably about 0.1 to 0.2 [μm].

【0028】図1に示した保護膜103は、磁性層10
2上に形成され、例えば、比較的硬度の高いダイヤモン
ドライクカーボン等よりなる。この保護膜103を形成
することにより、磁気記録媒体を走行させたとき、磁性
層102の磨耗を効果的に回避することができる。
The protective film 103 shown in FIG.
2 made of, for example, diamond-like carbon having relatively high hardness. By forming this protective film 103, abrasion of the magnetic layer 102 can be effectively avoided when the magnetic recording medium is run.

【0029】図3に、図1に示した磁気記録媒体100
を構成する保護膜103を形成するための、マグネトロ
ンスパッタ装置30の一例の概略構成図を示す。図3に
示すマグネトロンスパッタ装置30は、チャンバー31
によって外側を覆われており、チャンバー31内には、
−40℃程度に冷却されてなり、反時計方向(図中矢印
A方向)に回転するようになされている冷却キャン35
と、この冷却キャン35と対向配置されるターゲット3
6とが配置されている。
FIG. 3 shows the magnetic recording medium 100 shown in FIG.
FIG. 1 shows a schematic configuration diagram of an example of a magnetron sputtering apparatus 30 for forming a protective film 103 constituting the same. The magnetron sputtering apparatus 30 shown in FIG.
The outside of the chamber 31 is covered by
A cooling can 35 cooled to about −40 ° C. and rotated in a counterclockwise direction (the direction of arrow A in the figure).
And a target 3 disposed opposite to the cooling can 35
6 are arranged.

【0030】このチャンバー31内は、真空ポンプ32
によって約10-4〔Pa〕程度にまで減圧された後、真
空ポンプ32側へ空気を排気するバルブ33の角度を、
全開状態から10度まで絞ることによって排気速度を落
とし、ガス導入管34からArガスを導入して、真空度
が約0.8〔Pa〕とされる。
The chamber 31 has a vacuum pump 32
After the pressure is reduced to about 10 −4 [Pa], the angle of the valve 33 that exhausts air to the vacuum pump 32 side is
The exhaust speed is reduced by narrowing down from the fully opened state to 10 degrees, Ar gas is introduced from the gas introduction pipe 34, and the degree of vacuum is set to about 0.8 [Pa].

【0031】ターゲット36は、カーボン保護膜103
の材料となるものであり、カソード電極を構成するバッ
キングプレート37に支持されている。そして、バッキ
ングプレート37の裏側には、磁場を形成するマグネッ
ト38が配設されている。
The target 36 is a carbon protective film 103
And is supported by a backing plate 37 constituting a cathode electrode. On the back side of the backing plate 37, a magnet 38 for forming a magnetic field is provided.

【0032】図3に示すマグネトロンスパッタ装置30
により、カーボン保護膜103を形成する際には、ガス
導入管34から、Arガスを導入するとともに、冷却キ
ャン35をアノードとし、バッキングプレート37をカ
ソードとして約3000〔V〕の電圧を印加し、1.4
〔A〕の電流が流れる状態を保つようにする。この電圧
の印加により、Arガスがプラズマ化し、電離されたA
rイオンがターゲット36に衝突することで、ターゲッ
ト36の原子がはじき出される。このとき、バッキング
プレート37の裏側に配設されているマグネット38に
より、ターゲット36の近傍には磁場が形成されるの
で、電離されたイオンはターゲット36の近傍の集中す
る。
The magnetron sputtering apparatus 30 shown in FIG.
When forming the carbon protective film 103, Ar gas is introduced from the gas introduction pipe 34, and a voltage of about 3000 [V] is applied using the cooling can 35 as an anode and the backing plate 37 as a cathode. 1.4
The state where the current [A] flows is maintained. By the application of this voltage, Ar gas is turned into plasma and ionized A
When the r ions collide with the target 36, the atoms of the target 36 are repelled. At this time, a magnetic field is formed near the target 36 by the magnet 38 provided on the back side of the backing plate 37, so that the ionized ions are concentrated near the target 36.

【0033】金属磁性薄膜が成膜された非磁性支持体2
5は、反時計回り方向に回転する供給ロール39から矢
印B方向に送り出され、冷却キャン35の周面に沿って
走行する。そして、ターゲット36からはじき出された
原子が金属磁性薄膜上に付着することで、カーボン保護
膜103が形成される。カーボン保護膜103が形成さ
れた非磁性支持体は、巻き取りロール40に巻き取られ
る。
Nonmagnetic support 2 on which magnetic metal thin film is formed
5 is fed in the direction of arrow B from the supply roll 39 rotating counterclockwise, and travels along the peripheral surface of the cooling can 35. Then, the atoms ejected from the target 36 adhere to the metal magnetic thin film, whereby the carbon protective film 103 is formed. The non-magnetic support on which the carbon protective film 103 is formed is taken up by a take-up roll 40.

【0034】カーボン保護膜103の厚さは、磁気記録
媒体100のスペーシングロスを小さくし、かつ金属磁
性薄膜の磨耗を防止するために有効であるように、3〜
15〔nm〕程度とすることが望ましく、さらには5〜
10〔nm〕程度とすることが好ましい。
The thickness of the carbon protective film 103 is 3 to 3 so as to be effective for reducing the spacing loss of the magnetic recording medium 100 and for preventing the metal magnetic thin film from being worn.
It is desirable to set it to about 15 [nm],
It is preferable to set it to about 10 [nm].

【0035】上述においては、マグネトロンスパッタ装
置30を用いて、カーボン保護膜103を形成した例に
ついて説明したが、カーボン保護膜103を形成する方
法としては、この例の他、イオンビームスパッタ法、イ
オンビームプレーティング法およびCVD法等の従来公
知のいかなる薄膜形成方法も同様に適用することができ
る。
In the above description, an example in which the carbon protective film 103 is formed using the magnetron sputtering apparatus 30 has been described. Any conventionally known thin film forming method such as a beam plating method and a CVD method can be similarly applied.

【0036】次に、図1に示した潤滑剤層105につい
て説明する。この潤滑剤層105は、磁気記録媒体10
0の表面の微細突起の形状に起因する走行性を改善させ
るため、保護膜103あるいは磁性層102上に塗布す
る。この例においては、図1の磁気記録媒体における保
護膜103上に、例えばパーフルオロポリエーテル等よ
りなる潤滑剤層105を形成する。
Next, the lubricant layer 105 shown in FIG. 1 will be described. The lubricant layer 105 is formed on the magnetic recording medium 10.
The coating is applied on the protective film 103 or the magnetic layer 102 in order to improve the running property due to the shape of the fine projections on the surface of the zero. In this example, a lubricant layer 105 made of, for example, perfluoropolyether is formed on the protective film 103 in the magnetic recording medium of FIG.

【0037】潤滑剤層105を形成するために用いられ
る潤滑剤としては、シリコンオイル、フッ素アルコー
ル、ポリエチレンワックス等のポリオレフィン、ポリエ
チレンオキシドワックス等のポリグリコール、アルキル
燐酸エステル、ポリフェニルエーテル、炭素数10〜2
0個の一塩基性脂肪酸と炭素数3〜12個の1価のアル
コールもしくは2価のアルコール、3価のアルコール、
4価のアルコール、6価のアルコールのいずれか1つも
しくは2つ以上とから成る脂肪酸エステル類、炭素数1
0個以上の一塩基性脂肪酸と当該脂肪酸の炭素数とを合
計して、炭素数が11〜28個となる1〜6価のアルコ
ールとから成る脂肪酸エステル等が使用できる。また、
炭素数8〜22の脂肪酸あるいは脂肪酸アミド、脂肪酸
アルコールも使用できる。
The lubricant used to form the lubricant layer 105 includes silicone oil, fluoroalcohol, polyolefins such as polyethylene wax, polyglycols such as polyethylene oxide wax, alkyl phosphates, polyphenyl ether, and C10 carbon atoms. ~ 2
0 monobasic fatty acids and a monohydric or dihydric alcohol having 3 to 12 carbon atoms, a trihydric alcohol,
Fatty acid esters comprising one or more of a tetrahydric alcohol and a hexahydric alcohol, having 1 carbon atom
Fatty acid esters composed of a monohydric fatty acid and a mono- to hexahydric alcohol having 11 to 28 carbon atoms by adding 0 or more monobasic fatty acids and the carbon number of the fatty acid can be used. Also,
Fatty acids having 8 to 22 carbon atoms, fatty acid amides, and fatty acid alcohols can also be used.

【0038】これら有機化合物潤滑剤の具体的な例とし
ては、カプリル酸ブチル、カプリル酸オクチル、ラウリ
ン酸エチル、ラウリン酸オクチル、ミリスチン酸エチ
ル、ミリスチン酸ブチル、ミリスチン酸オクチル、パル
ミチン酸エチル、パルミチン酸ブチル、パルミチン酸オ
クチル、ステアリン酸エチル、ステアリン酸ブチル、ス
テアリン酸オクチル、ステアリン酸アミル、アンヒドロ
ソルビタンモノステアレート、アンヒドロソルビタンジ
ステアレート、アンヒドロソルビタントリステアレー
ト、アンヒドロソルビタンテトラステアレート、オレイ
ルオレート、オレイルアルコール、ラウリルアルコール
等がある。
Specific examples of these organic compound lubricants include butyl caprylate, octyl caprylate, ethyl laurate, octyl laurate, ethyl myristate, butyl myristate, octyl myristate, ethyl palmitate, and palmitate. Butyl, octyl palmitate, ethyl stearate, butyl stearate, octyl stearate, amyl stearate, anhydrosorbitan monostearate, anhydrosorbitan distearate, anhydrosorbitan tristearate, anhydrosorbitan tetrastearate, Oleyl oleate, oleyl alcohol, lauryl alcohol and the like.

【0039】さらに、図1に示す磁気記録媒体100の
表面、裏面、またはそれらの近傍あるいはカーボン保護
膜103、金属磁性薄膜すなわち磁性層102内に空
隙、カーボン保護膜103と磁性層102との界面、磁
性層102と非磁性支持体101との界面、非磁性支持
体101等に、必要に応じて従来公知の手段で、防錆
剤、帯電防止剤、防カビ剤等の各種の添加剤を添加する
ことが可能である。
Further, the front and back surfaces of the magnetic recording medium 100 shown in FIG. 1, or the vicinity thereof, or the carbon protective film 103, a void in the metal magnetic thin film, ie, the magnetic layer 102, the interface between the carbon protective film 103 and the magnetic layer 102. Various additives such as a rust inhibitor, an antistatic agent, and a fungicide may be added to the interface between the magnetic layer 102 and the non-magnetic support 101, the non-magnetic support 101, and the like, if necessary, using conventionally known means. It is possible to add.

【0040】次に、図1に示した磁気記録媒体100を
構成するバックコート層104について説明する。この
バックコート層104は、非磁性支持体101上であっ
て、に磁性層102が形成される側の面の反対側である
非磁性支持体101上に形成されるものとし、カーボン
を主体とするものである。このバックコート層104
は、結合剤とカーボンブラックと、無機質粉末とから成
る。
Next, the back coat layer 104 constituting the magnetic recording medium 100 shown in FIG. 1 will be described. The back coat layer 104 is formed on the non-magnetic support 101 and on the non-magnetic support 101 opposite to the surface on which the magnetic layer 102 is formed. Is what you do. This back coat layer 104
Comprises a binder, carbon black, and an inorganic powder.

【0041】バックコート層104に含有させる結合剤
としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、反応型樹脂や
これらの混合物を挙げることができる。熱可塑性樹脂の
例としては、塩化ビニル、酢酸ビニル、ビニルアルコー
ル、マレイン酸、アクリル酸、アクリル酸エステル、ス
チレン、ブタジエン、エチレン、ビニルブチラール、ビ
ニルアセタール、およびビニルエーテルを構成単位とし
て含む重合体、あるいは共重合体を挙げることができ
る。共重合体としては、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合
体、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニル
−アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル−ア
クリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル−塩化ビ
ニリデン共重合体、アクリル酸エステル−スチレン共重
合体、メタアクリル酸エステル−アクリロニトリル共重
合体、メタアクリル酸エステル−塩化ビニリデン共重合
体、メタアクリル酸エステル−スチレン共重合体、塩化
ビニリデン−アクリロニトリル共重合体、ブタジエン−
アクリロニトリル共重合体、スチレン−ブタジエン共重
合体、クロロビニルエーテル−アクリル酸エステル共重
合体などを挙げることができる。
Examples of the binder contained in the back coat layer 104 include a thermoplastic resin, a thermosetting resin, a reactive resin, and a mixture thereof. Examples of the thermoplastic resin include vinyl chloride, vinyl acetate, vinyl alcohol, maleic acid, acrylic acid, acrylate, styrene, butadiene, ethylene, vinyl butyral, vinyl acetal, and a polymer containing vinyl ether as a structural unit, or Copolymers can be mentioned. As the copolymer, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, vinyl chloride-acrylonitrile copolymer, acrylate-acrylonitrile copolymer, acrylate-vinylidene chloride copolymer Acrylate-styrene copolymer, methacrylate-acrylonitrile copolymer, methacrylate-vinylidene chloride copolymer, methacrylate-styrene copolymer, vinylidene chloride-acrylonitrile copolymer, butadiene −
An acrylonitrile copolymer, a styrene-butadiene copolymer, a chlorovinyl ether-acrylate copolymer, and the like can be given.

【0042】上記の重合体の他、ポリアミド樹脂や、セ
ルロースアセテートブチレート、セルロースダイアセテ
ート、セルロースプロピオネート、ニトロセルロース等
の繊維素系樹脂、ポリフッ化ビニル、ポリエステル樹
脂、ポリウレタン樹脂、各種ゴム系樹脂も適用すること
ができる。
In addition to the above polymers, polyamide resins, cellulose resins such as cellulose acetate butyrate, cellulose diacetate, cellulose propionate, nitrocellulose, polyvinyl fluoride, polyester resins, polyurethane resins, and various rubber resins Resins can also be applied.

【0043】熱硬化性樹脂又は反応型樹脂としては、フ
ェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン硬化型樹
脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アルキド樹脂、アクリル
系反応樹脂、ホルムアルデヒド樹脂、シリコーン樹脂、
エポキシ−ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂とポリイ
ソシアネートプレポリマーの混合物、ポリエステルポリ
オールとポリイソシアネートの混合物等も挙げられる。
Examples of the thermosetting resin or the reactive resin include a phenol resin, an epoxy resin, a polyurethane curing resin, a urea resin, a melamine resin, an alkyd resin, an acrylic reaction resin, a formaldehyde resin, a silicone resin,
Epoxy-polyamide resins, mixtures of polyester resins and polyisocyanate prepolymers, mixtures of polyester polyols and polyisocyanates, and the like are also included.

【0044】一方、結合剤には、分散性と耐久性を向上
させるために、必要に応じて、−COOM、−SO
3 M、−OSO3 M、−P=(OM)2 、−O−P=O
(OM) 2 (Mは水素原子、またはアルカリ金属塩基を
表す。)、−OH、−NR2 、−NR3 (Rは炭化水素
基を表す。)、エポキシ基、−SH、−CN、等から選
ばれる少なくともひとつの極性基を、共重合または付加
反応で導入することが好ましい。このような極性基は、
10-1〜10-8〔mol/g〕の量で導入されているこ
とが好ましく、10-2〜10-6〔mol/g〕の量で導
入されていることがより好ましい。
On the other hand, the binder has improved dispersibility and durability.
In order to achieve this, -COOM, -SO
ThreeM, -OSOThreeM, -P = (OM)Two, -OP = O
(OM) Two(M is a hydrogen atom or an alkali metal base
Represent. ), -OH, -NRTwo, -NRThree(R is hydrocarbon
Represents a group. ), Epoxy group, -SH, -CN, etc.
At least one polar group is copolymerized or added
It is preferably introduced by a reaction. Such a polar group is
10-1-10-8[Mol / g]
And preferably 10-2-10-6Guided by [mol / g]
More preferably, it is inserted.

【0045】バックコート層104に含有させる結合剤
は、非磁性粉末(後述する、カーボンブラック等の非磁
性である粉末成分全て)100〔重量部〕に対して、5
〜100〔重量部〕の範囲で用いられることが好まし
く、10〜80〔重量部〕の範囲で用いられることがよ
り好ましい。
The binder contained in the back coat layer 104 is 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of non-magnetic powder (all non-magnetic powder components such as carbon black, which will be described later).
It is preferably used in the range of 100 to 100 parts by weight, and more preferably in the range of 10 to 80 parts by weight.

【0046】また、バックコート層104に含有させる
結合剤を架橋硬化させるポリイソシアネートを、併用す
ることが可能である。このポリイソシアネートとして
は、トリレンジイソシアネート、4−4' −ジフェニル
メタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネ
ート、キシリレンジイソシアネート、ナフチレン−1,
5−ジイソシアネート、o−トルイジンジイソシアネー
ト、イソホロンジイソシアネート、トリフェニルメタン
トリイソシアネートなどのイソシアネート類、これらの
イソシアネート類とポリアルコールとの生成物、および
イソシアネート類の縮合によって生成したポリイソシア
ネート等を挙げることができる。
A polyisocyanate for crosslinking and curing the binder contained in the back coat layer 104 can be used in combination. As the polyisocyanate, tolylene diisocyanate, 4-4 '- diphenylmethane diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, xylylene diisocyanate, naphthylene-1,
Examples thereof include isocyanates such as 5-diisocyanate, o-toluidine diisocyanate, isophorone diisocyanate, and triphenylmethane triisocyanate, products of these isocyanates and polyalcohols, and polyisocyanates formed by condensation of isocyanates. .

【0047】バックコート層104に含有させるカーボ
ンブラックには、平均粒子サイズが、10〜20〔μ
m〕の微粒子状のカーボンブラック、または平均粒子サ
イズが230〜300〔μm〕の粗粒子状カーボンブラ
ックを使用することが好ましい。
The carbon black contained in the back coat layer 104 has an average particle size of 10 to 20 μm.
m], or coarse carbon black having an average particle size of 230 to 300 [μm].

【0048】微粒子状カーボンブラックをバックコート
層104に添加すると、バックコート層104の表面電
気抵抗および光透過率を低く設定できる。磁気記録の装
置には、テープの光透過率を利用し、記録動作の信号に
使用しているものが多くある。このような場合には、微
粒子状カーボンブラックの添加が有効になる。また、微
粒子状カーボンブラックは潤滑剤に対する保持力に優れ
ているので、バックコート層に潤滑剤を併用し、磁気記
録再生装置内においてバックテンションポスト等の摩擦
係数を低減することが可能になる。
When the particulate carbon black is added to the back coat layer 104, the surface electric resistance and the light transmittance of the back coat layer 104 can be set low. Many magnetic recording devices use the light transmittance of a tape and use it as a signal for a recording operation. In such a case, the addition of fine carbon black is effective. Further, since the particulate carbon black has excellent holding power to a lubricant, it is possible to reduce the coefficient of friction of a back tension post or the like in a magnetic recording / reproducing apparatus by using a lubricant together with a back coat layer.

【0049】微粒子状のカーボンブラックの具体例とし
ては、RAVEN2000B(18nm)、RAVEN
1500B(17nm)(以上、コロンビアカーボン社
製)、BP800(17nm)(キャボット社製)、P
RINTEX90(14nm)、PRINTEX95
(15nm)、PRINTEX85(16nm)、PR
INTEX75(17nm)(以上、デグサ社製)、#
3950(16nm)(三菱化成工業(株)製)等を挙
げることができる。
Specific examples of the particulate carbon black include RAVEN2000B (18 nm) and RAVEN
1500B (17 nm) (all manufactured by Columbia Carbon), BP800 (17 nm) (Cabot), P
RINTEX90 (14 nm), PRINTEX95
(15 nm), PRINTEX85 (16 nm), PR
INTEX75 (17 nm) (all manufactured by Degussa), #
3950 (16 nm) (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) and the like.

【0050】一方、粗粒子状カーボンブラックをバック
コート層104に添加すると、バックコート層104の
表面に、微小突起が形成される。この微小突起により、
磁気記録再生装置内において、バックコート層104と
バックテンションポスト等との接触面積を低減化し、摩
擦係数を低減することが可能となる。つまり、粗粒子状
カーボンブラックは、固体潤滑剤としての機能を有して
いる。
On the other hand, when the coarse-grained carbon black is added to the back coat layer 104, fine projections are formed on the surface of the back coat layer 104. With these small protrusions,
In the magnetic recording / reproducing apparatus, the contact area between the back coat layer 104 and the back tension post or the like can be reduced, and the friction coefficient can be reduced. That is, the coarse carbon black has a function as a solid lubricant.

【0051】粗粒子状カーボンブラックの具体例として
は、サーマルブラック(270nm)(カーンカルプ社
製)、RAVEN MTP(275nm)(コロンビア
カーボン社製)を挙げることができる。
Specific examples of the coarse-grained carbon black include thermal black (270 nm) (manufactured by Kahn Calp) and RAVEN MTP (275 nm) (manufactured by Columbia Carbon).

【0052】バックコート層104には、平均粒子サイ
ズの異なる2種類以上のカーボンブラックを使用するこ
とが特に好ましい。バックコート層104において、平
均粒子サイズの異なる2種類以上のカーボンブラックを
使用する場合、微粒子状カーボンブラックと粗粒子状カ
ーボンブラックの含有比率(重量比)は、微粒子状カー
ボンブラック:粗粒子状カーボンブラック=98:2か
ら75:25の範囲が好ましく、95:5から85:1
5の範囲であるとより好ましい。
It is particularly preferable to use two or more types of carbon black having different average particle sizes for the back coat layer 104. When two or more types of carbon blacks having different average particle sizes are used in the back coat layer 104, the content ratio (weight ratio) between the fine particle carbon black and the coarse particle carbon black is determined as follows: fine particle carbon black: coarse particle carbon Black = 98: 2 to 75:25 is preferred, 95: 5 to 85: 1
More preferably, it is in the range of 5.

【0053】また、バックコート層104におけるカー
ボンブラックの総含有量は、結合剤100〔重量部〕に
対して、通常30〜80〔重量部〕であることが好まし
く、45〜65〔重量部〕であることがより好ましい。
The total content of carbon black in the back coat layer 104 is usually preferably 30 to 80 parts by weight, and more preferably 45 to 65 parts by weight, based on 100 parts by weight of the binder. Is more preferable.

【0054】バックコート層104に含有させる無機質
粉末としては、α−酸化鉄、α−アルミナ、および酸化
クロム(Cr2 3 )等が挙げられる。これらの無機質
粉末は、単独で用いてもよいし、複数併用してもよい。
特に、α−酸化鉄またはα−アルミナが、無機質粉末と
して好ましい。バックコート層104に含有させる無機
質粉末においては、モース硬度が5〜9であることが好
ましい。また、バックコート層104に含有させる無機
質粉末では、平均粒子サイズが80〜250〔nm〕で
あることが好ましく、100〜210〔nm〕であるこ
とがより好ましい。
Examples of the inorganic powder contained in the back coat layer 104 include α-iron oxide, α-alumina, and chromium oxide (Cr 2 O 3 ). These inorganic powders may be used alone or in combination of two or more.
In particular, α-iron oxide or α-alumina is preferable as the inorganic powder. The inorganic powder contained in the back coat layer 104 preferably has a Mohs hardness of 5 to 9. The average particle size of the inorganic powder contained in the back coat layer 104 is preferably 80 to 250 [nm], and more preferably 100 to 210 [nm].

【0055】また、上記無機質粉末に炭酸カルシウムを
併用することも可能である。この炭酸カルシウムの平均
粒子サイズは、80〜250〔nm〕であることが好ま
しく、100〜210〔nm〕であることがより好まし
い。
It is also possible to use calcium carbonate in combination with the above inorganic powder. The average particle size of the calcium carbonate is preferably from 80 to 250 [nm], and more preferably from 100 to 210 [nm].

【0056】モース硬度が5〜9の無機質粉末を用いる
ことにより、磁気記録媒体100に走行耐久性を付与
し、バックコート層104を強化することができる。ま
た、無機質粉末をカーボンブラックや炭酸カルシウムと
共に、バックコート層104に使用すると、フィラー効
果により繰り返し摺動に対しても、劣化が少なく、強い
バックコート層104となる。
By using an inorganic powder having a Mohs hardness of 5 to 9, the running durability of the magnetic recording medium 100 can be imparted, and the back coat layer 104 can be strengthened. In addition, when the inorganic powder is used for the back coat layer 104 together with carbon black and calcium carbonate, the back coat layer 104 is less deteriorated even by repeated sliding due to a filler effect, and becomes strong.

【0057】さらに、モース硬度が5〜9の無機質粉末
を用いることにより、バックコート層104の表面に適
度の研磨力が生じ、ガイドポール等への付着が低減す
る。さらに、上記無機質粉末と炭酸カルシウムとを併用
すると、表面の粗いガイドポール等に対しての摺動特性
が向上し、バックコート層104の摩擦係数の安定化も
図ることができる。
Further, by using an inorganic powder having a Moh's hardness of 5 to 9, an appropriate polishing force is generated on the surface of the back coat layer 104, and adhesion to a guide pole or the like is reduced. Further, when the inorganic powder and calcium carbonate are used in combination, the sliding characteristics with respect to a guide pole having a rough surface are improved, and the friction coefficient of the back coat layer 104 can be stabilized.

【0058】無機質粉末の含有量は、カーボンブラック
100〔重量部〕に対して3〜30〔重量部〕であるこ
とが好ましく、3〜20〔重量部〕であることがより好
ましい。
The content of the inorganic powder is preferably 3 to 30 parts by weight, more preferably 3 to 20 parts by weight, based on 100 parts by weight of carbon black.

【0059】また、バックコート層104に含有させる
カーボンブラックや非磁性粉末を結合剤中に良好に分散
させるために、バックコート層104には、分散剤を添
加することが好ましい。バックコート層104に含有さ
せる分散剤としては、例えば、カプリル酸、カプリン
酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステア
リン酸、ベヘン酸、オレイン酸、エライジン酸、リノー
ル酸、リノレン酸、ステアロール酸、等の炭素数12〜
18個の脂肪酸(RCOOH、Rは炭素数11〜17個
のアルキル基、またはアルケニル基)、前記脂肪酸のア
ルカリ金属、またはアルカリ土類金属からなる金属石け
ん、前記脂肪酸エステルのフッ素を含有した化合物、前
記脂肪酸のアミド、ポリアルキレンオキサイドアルキル
リン酸エステル、レシチン、トリアルキルポリオレフィ
ンオキシ第四級アンモニウム塩(アルキルは炭素数1〜
5個、オレフィンは、エチレン、プロピレンなど)、硫
酸塩、および銅フタロシアニン等を挙げることができ
る。これらは単独で使用してもよいし、組み合わせて使
用してもよい。特に、オレイン酸銅、銅フタロシアニ
ン、および硫酸バリウムを組み合わせてバックコート層
に分散剤として使用することが好ましい。
It is preferable to add a dispersant to the back coat layer 104 in order to disperse the carbon black and the non-magnetic powder contained in the back coat layer 104 well in the binder. Examples of the dispersant to be contained in the back coat layer 104 include caprylic acid, capric acid, lauric acid, myristic acid, palmitic acid, stearic acid, behenic acid, oleic acid, elaidic acid, linoleic acid, linolenic acid, and stearolic acid. , Etc. having 12 or more carbon atoms
18 fatty acids (RCOOH, R is an alkyl group or alkenyl group having 11 to 17 carbon atoms), a metal soap of an alkali metal or an alkaline earth metal of the fatty acid, a fluorine-containing compound of the fatty acid ester, Amides of the above fatty acids, polyalkylene oxide alkyl phosphates, lecithin, trialkyl polyolefinoxy quaternary ammonium salts (alkyl has 1 to 1 carbon atoms)
5, olefins such as ethylene and propylene), sulfates, and copper phthalocyanine. These may be used alone or in combination. In particular, it is preferable to use a combination of copper oleate, copper phthalocyanine, and barium sulfate as a dispersant in the back coat layer.

【0060】なお、バックコート層104に含有させる
分散剤は、バックコート層104に含有させる結合剤樹
脂100〔重量部〕に対して、0.5〜20〔重量部〕
の範囲で添加することが好ましい。また、バックコート
層104には、必要に応じて、可塑剤、帯電防止剤とし
てカーボンブラック以外の導電性粒子、防塵剤等を添加
することが可能である。
The dispersant contained in the back coat layer 104 is 0.5 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the binder resin contained in the back coat layer 104.
It is preferable to add in the range of. The back coat layer 104 may further contain, as necessary, conductive particles other than carbon black, a dustproofing agent, and the like as a plasticizer and an antistatic agent.

【0061】さらに、バックコート層104には、潤滑
剤を含有させることができる。バックコート層104に
含有させる潤滑剤としては、脂肪酸または脂肪酸エステ
ル等を挙げることができる。
Further, the back coat layer 104 can contain a lubricant. As the lubricant contained in the back coat layer 104, a fatty acid or a fatty acid ester can be used.

【0062】脂肪酸としては、酢酸、プロピオン酸、オ
クタン酸、2−エチルヘキサン酸、ラウリン酸、ミリス
チン酸、ステアリン酸、パルミチン酸、ベヘン酸、アラ
キン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸、エライ
ジン酸、およびパルミトレイン酸、等の脂肪族カルボン
酸またはこれら脂肪族カルボン酸の混合物を挙げること
ができる。
As fatty acids, acetic acid, propionic acid, octanoic acid, 2-ethylhexanoic acid, lauric acid, myristic acid, stearic acid, palmitic acid, behenic acid, arachinic acid, oleic acid, linoleic acid, linolenic acid, elaidic acid And aliphatic carboxylic acids such as palmitoleic acid or mixtures of these aliphatic carboxylic acids.

【0063】脂肪酸エステルとしては、ブチルステアレ
ート、sec−ブチルステアレート、イソプロピルステ
アレート、ブチルオレエート、アミルステアレート、3
−メチルブチルステアレート、2−エチルヘキシルステ
アレート、2−ヘキシルデシルステアレート、ブチルパ
ルミテート、2−エチルヘキシルミリステート、ブチル
ステアレートとブチルパルミテートの混合物、オレイル
オレエート、ブトキシエチルステアレート、2−ブトキ
シ−1−プロピルステアレート、ジプロピレングリコー
ルモノブチルエーテルをステアリン酸でアシル化したも
の、ジエチレングリコールジパルミテート、ヘキサメチ
レンジオールをミリスチン酸でアシル化してジオールと
したもの、そして、グリセリンのオレエート等のエステ
ル化合物を挙げることができる。これら脂肪酸エステル
は、単独で用いてもよいし、複数個組み合わせて用いて
もよい。
The fatty acid esters include butyl stearate, sec-butyl stearate, isopropyl stearate, butyl oleate, amyl stearate,
-Methylbutyl stearate, 2-ethylhexyl stearate, 2-hexyldecyl stearate, butyl palmitate, 2-ethylhexyl myristate, a mixture of butyl stearate and butyl palmitate, oleyl oleate, butoxyethyl stearate, 2- Butoxy-1-propyl stearate, dipropylene glycol monobutyl ether acylated with stearic acid, diethylene glycol dipalmitate, hexamethylene diol acylated with myristic acid to form a diol, and esters such as oleate of glycerin Compounds can be mentioned. These fatty acid esters may be used alone or in combination.

【0064】バックコート層104に含有させる潤滑剤
としては、バックコート層104に含有させる結合剤1
00〔重量部〕に対して、1〜5〔重量部〕の範囲で添
加することが好ましい。
As the lubricant to be contained in the back coat layer 104, the binder 1 contained in the back coat layer 104
It is preferable to add 1 to 5 parts by weight to 00 parts by weight.

【0065】上述したような構成の磁気記録媒体100
の、磁気記録媒体表面の潤滑剤の定量分析方法につい
て、以下に例を挙げて説明する。
The magnetic recording medium 100 having the above configuration
The method of quantitatively analyzing the lubricant on the surface of the magnetic recording medium will be described below with reference to examples.

【0066】先ず、図4に、減衰全反射フ−リエ変換赤
外分光装置(以下、単に、ATR−FT−IR装置とす
る)の、シングルビーム測定装置110の概略構成図を
示す。このシングルビーム測定装置110は、干渉光源
部41と、測定部50と、信号処理部60とから構成さ
れている。干渉光源部41は、赤外光源42と、可動ミ
ラー43と、ハーフミラー44とにより構成されてい
る。測定部50においては、半球状ATRプリズム51
と、入射角度可変装置55と、ディテクタ56とが、試
料室(図示せず)内に設けられている。信号処理部60
においては、信号アンプ61と、フーリエ変換器62
と、メモリ63と、表示部64とが設けられており、こ
れらが順に接続されている。
First, FIG. 4 shows a schematic configuration diagram of a single beam measuring device 110 of an attenuated total reflection Fourier transform infrared spectrometer (hereinafter simply referred to as an ATR-FT-IR device). The single beam measuring device 110 includes an interference light source unit 41, a measuring unit 50, and a signal processing unit 60. The interference light source unit 41 includes an infrared light source 42, a movable mirror 43, and a half mirror 44. In the measuring section 50, the hemispherical ATR prism 51
, An incident angle varying device 55 and a detector 56 are provided in a sample chamber (not shown). Signal processing unit 60
, A signal amplifier 61 and a Fourier transformer 62
, A memory 63, and a display unit 64, which are connected in order.

【0067】測定部50の試料室の内部について、図5
にその概略構成を示す。この試料室は、半球状ATRプ
リズム51と接圧制御装置52と、緩衝材53とにより
構成されている。半球状ATRプリズム51は、ゲルマ
ニウム又はシリコンから成り、底面が平滑な平面の半球
形状のプリズムである。接圧制御装置52は、金属圧子
と、金属圧子を試料54の表面に密着させるための押圧
機構と、試料54の表面と半球状ATRプリズム51と
の密着圧力を検出する圧力検出機構と、圧力検出機構に
よる検出データに基づいて押圧機構により金属圧子を適
宜移動させて密着圧力を所定範囲内に制御する制御機構
とを備えているものとする。具体的には、金属圧子をス
プリングまたは油圧機構により、試料54の表面に密着
させて、制御機構に連絡された金属圧子等のセンサー
で、上記密着圧力を感知し、この密着圧力が所定の範囲
から外れているときには、上記制御機構により油圧機構
を作動させて金属圧子を適宜移動させる。
The inside of the sample chamber of the measuring section 50 is shown in FIG.
The schematic configuration is shown in FIG. The sample chamber includes a hemispherical ATR prism 51, a contact pressure control device 52, and a buffer 53. The hemispherical ATR prism 51 is a hemispherical prism made of germanium or silicon and having a flat bottom surface. The contact pressure control device 52 includes a metal indenter, a pressing mechanism for bringing the metal indenter into close contact with the surface of the sample 54, a pressure detecting mechanism for detecting a contact pressure between the surface of the sample 54 and the hemispherical ATR prism 51, And a control mechanism for appropriately moving the metal indenter by the pressing mechanism based on data detected by the detection mechanism to control the contact pressure within a predetermined range. Specifically, a metal indenter is brought into close contact with the surface of the sample 54 by a spring or a hydraulic mechanism, and the above-mentioned adhesion pressure is sensed by a sensor such as a metal indenter connected to a control mechanism. When it is out of the range, the hydraulic mechanism is operated by the control mechanism to move the metal indenter appropriately.

【0068】測定対象である試料54としては、サンプ
ルと、リファレンスとの、2種類を用意するものとす
る。本発明の測定方法のこの例において、サンプルに
は、図1に示した磁気記録媒体100のように、磁性層
102上に潤滑剤層105が形成された金属薄膜型の磁
気記録媒体を用いる。一方、リファレンスとしては、上
記サンプルから潤滑剤層105が除去され、潤滑剤層1
05を有しない構成のものを用いるものとする。このリ
ファレンスは、サンプルから潤滑剤層105を除去した
ものであるが、この除去においては、例えば、払拭布や
払拭紙を用いることができるが、この払拭布や払拭紙に
溶剤をしみ込ませたものでサンプル表面から潤滑剤層1
05を除去したり、測定済みのサンプルを溶剤中で超音
波洗浄してサンプル表面から潤滑剤層105を除去した
りすることができる。
As the sample 54 to be measured, two types, a sample and a reference, are prepared. In this example of the measuring method of the present invention, a metal thin film type magnetic recording medium in which a lubricant layer 105 is formed on a magnetic layer 102, such as the magnetic recording medium 100 shown in FIG. 1, is used as a sample. On the other hand, as a reference, the lubricant layer 105 was removed from the sample, and the lubricant layer 1 was removed.
05 shall not be used. This reference is obtained by removing the lubricant layer 105 from the sample. In this removal, for example, a wiping cloth or a wiping paper can be used, but the wiping cloth or the wiping paper is impregnated with a solvent. The lubricant layer 1 from the sample surface
05 can be removed, or the lubricant layer 105 can be removed from the sample surface by ultrasonic cleaning of the measured sample in a solvent.

【0069】潤滑剤層105の除去のため払拭布や払拭
紙に溶剤をしみ込ませたもので潤滑剤を拭き取る方法に
おいて使用する溶剤としては、水、常温において液体で
ある各種有機溶剤が挙げられる。例えば、炭化水素類と
しては、ペンタン、イソペンタン、ヘキサン、イソヘキ
サン、メチルペンタン、ヘプタン、イソヘプタン、オク
タン、イソオクタン、イソオクテン、ノナン、デカン、
ドデカン、ドデセン、シクロペンタン、メチルシクロペ
ンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、フェ
ニルシクロヘキサン、ビシクロヘキシル、ベンゼン、ト
ルエン、キシレン、アミルベンゼン、ジアミルベンゼ
ン、アミルトルエン、ジフェニルエタン、テトラリン、
デカリン、エチルベンゼン、ジエチルベンゼン、トリエ
チルベンゼン、クメン、第2ブチルベンゼン、サイメ
ン、テレビン油、ジペンテン等が挙げられる。
As the solvent used in the method of wiping the lubricant with a wiping cloth or wiping paper impregnated with a solvent to remove the lubricant layer 105, there are water and various organic solvents which are liquid at room temperature. For example, as hydrocarbons, pentane, isopentane, hexane, isohexane, methylpentane, heptane, isoheptane, octane, isooctane, isooctene, nonane, decane,
Dodecane, dodecene, cyclopentane, methylcyclopentane, cyclohexane, methylcyclohexane, phenylcyclohexane, bicyclohexyl, benzene, toluene, xylene, amylbenzene, diamylbenzene, amyltoluene, diphenylethane, tetralin,
Examples include decalin, ethylbenzene, diethylbenzene, triethylbenzene, cumene, secondary butylbenzene, cymen, turpentine, dipentene, and the like.

【0070】ハロゲン化炭化水素類としては、塩化メチ
レン、クロロホルム、ブロモホルム、塩化エチリデン、
トリクロルエタン、トリクロルエチレン、パークロルエ
チレン、ブロモクロルエタン、塩化イソプロピル、トリ
クロルプロパン、ジクロルブタン、ヘキサクロルプロピ
レン、ヘキサクロルブタジエン、塩化アミル、ジクロル
ペンタン、クロルベンゼン、クロルトルエン、ジクロル
トルエン等が挙げられる。
Examples of the halogenated hydrocarbons include methylene chloride, chloroform, bromoform, ethylidene chloride,
Trichloroethane, trichloroethylene, perchlorethylene, bromochloroethane, isopropyl chloride, trichloropropane, dichlorobutane, hexachloropropylene, hexachlorobutadiene, amyl chloride, dichloropentane, chlorobenzene, chlorotoluene, dichlorotoluene and the like. .

【0071】アルコール類としては、メチルアルコー
ル、エチルアルコール、プロピルアルコール、イソプロ
ピルアルコール、ブチルアルコール、イソブチルアルコ
ール、第2ブチルアルコール、第3ブチルアルコール、
アミルアルコール、イソアミルアルコール、第2アミル
アルコール、第3アミルアルコール、ヘキシルアルコー
ル、メチルアミルアルコール、エチルブチルアルコー
ル、ヘプチルアルコール、オクチルアルコール、第2オ
クチルアルコール、エチルヘキシルアルコール、イソオ
クチルアルコール、ノニルアルコール、ベンジルアルコ
ール等が挙げられる。
As alcohols, methyl alcohol, ethyl alcohol, propyl alcohol, isopropyl alcohol, butyl alcohol, isobutyl alcohol, secondary butyl alcohol, tertiary butyl alcohol,
Amyl alcohol, isoamyl alcohol, secondary amyl alcohol, tertiary amyl alcohol, hexyl alcohol, methyl amyl alcohol, ethyl butyl alcohol, heptyl alcohol, octyl alcohol, secondary octyl alcohol, ethylhexyl alcohol, isooctyl alcohol, nonyl alcohol, benzyl alcohol And the like.

【0072】エーテル類としては、エチルエーテル、イ
ソプロピルエーテル、エチルブチルエーテル、ブチルエ
ーテル、アミルエーテル、ヘキシルエーテル、メチルセ
ロソルブ、セロソルブ、ジエチルセロソルブ、テトラヒ
ドロフラン等が挙げられる。
Examples of the ethers include ethyl ether, isopropyl ether, ethyl butyl ether, butyl ether, amyl ether, hexyl ether, methyl cellosolve, cellosolve, diethyl cellosolve, tetrahydrofuran and the like.

【0073】ケトン類としては、アセトン、メチルアセ
トン、メチルエチルケトン、メチルプロピルケトン、ジ
エチルケトン、メチルブチルケトン、メチルイソブチル
ケトン、エチルブチルケトン、ブチロン、メチルアミル
ケトン、メチルヘキシルケトン、バレロン、ジアセトン
アルコール等が挙げられる。
Examples of ketones include acetone, methyl acetone, methyl ethyl ketone, methyl propyl ketone, diethyl ketone, methyl butyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethyl butyl ketone, butyrone, methyl amyl ketone, methyl hexyl ketone, valerone, diacetone alcohol and the like. Is mentioned.

【0074】超音波洗浄により、潤滑剤層105の除去
を行う方法としては、例えば、潤滑剤が塗布されている
試料を、例えば、100〔ml〕程度のビーカーに入れ
た約50〔ml〕程度の上記溶剤中に浸し、水を満たし
た40〔kHz〕程度の超音波洗浄器中に、上記ビーカ
ーを入れ、約1〔分〕程度、超音波洗浄を行い、潤滑剤
を洗い流す。
As a method of removing the lubricant layer 105 by ultrasonic cleaning, for example, a sample to which a lubricant is applied is placed in a beaker of about 100 [ml] for about 50 [ml]. The beaker is placed in an ultrasonic cleaner of about 40 [kHz] filled with water and filled with water, and ultrasonic cleaning is performed for about 1 [minute] to wash away the lubricant.

【0075】なお、図1に示す磁気記録媒体100は、
磁性層102上に保護膜103を有し、この保護膜10
3上に潤滑剤層105が形成された構成の有するもので
あるが、本発明の測定方法においては、この例の他、従
来公知の構成を有する金属薄膜型磁気記録媒体のいずれ
にも適用することができる。
The magnetic recording medium 100 shown in FIG.
A protective film 103 is provided on the magnetic layer 102.
3 has a configuration in which a lubricant layer 105 is formed thereon. In the measurement method of the present invention, in addition to this example, the present invention is applied to any metal thin-film magnetic recording medium having a conventionally known configuration. be able to.

【0076】また、磁気記録媒体の表面の潤滑剤の定量
分析のために、赤外吸収スペクトルを測定する際には、
試料54の分析対象面を、半球状ATRプリズム51の
底面に、接圧制御装置52を用いて、適当な圧力で密着
させる。なお、本発明方法においての試料54の分析対
象面とは、磁気記録媒体を構成する構成する磁性層10
2形成側の面であるとする。
When measuring the infrared absorption spectrum for quantitative analysis of the lubricant on the surface of the magnetic recording medium,
The surface to be analyzed of the sample 54 is brought into close contact with the bottom surface of the hemispherical ATR prism 51 with an appropriate pressure using the contact pressure control device 52. The surface to be analyzed of the sample 54 in the method of the present invention is defined as the magnetic layer 10 constituting the magnetic recording medium.
It is assumed that the surface is on the formation side.

【0077】また、接圧制御装置52を構成する金属圧
子と試料との間に、緩衝材53が挟み込まれてなるもの
とする。この緩衝材53の材質は、衝撃を充分に吸収す
ることができるので、弾性ゴムであることが望ましい。
緩衝材53の材質の具体例としては、シリコンゴム、ネ
オプレンゴム、天然ゴム、クロロプレンゴム、ブタジエ
ンスチレンゴム、ブチルゴム、ウレタンゴム等が挙げら
れる。また、緩衝材の材質には、コルク材、和紙、布等
を適用することも可能である。なお、緩衝材53とし
て、弾性ゴムを使用するときには、厚さが2〔mm〕以
下程度の薄いシート状のものを用いることが好ましい。
Further, it is assumed that a cushioning material 53 is sandwiched between the sample and the metal indenter constituting the contact pressure control device 52. The material of the cushioning member 53 is preferably an elastic rubber because it can sufficiently absorb impact.
Specific examples of the material of the buffer material 53 include silicone rubber, neoprene rubber, natural rubber, chloroprene rubber, butadiene styrene rubber, butyl rubber, urethane rubber, and the like. Further, as a material of the cushioning material, a cork material, Japanese paper, cloth, or the like can be applied. When elastic rubber is used as the cushioning material 53, it is preferable to use a thin sheet having a thickness of about 2 [mm] or less.

【0078】また、試料54を、半球状ATRプリズム
51に密着させるときの圧力は、2〔kgf/cm2
以下であることが望ましい。2〔kgf/cm2 〕より
も強い圧力で試料54を半球状ATRプリズム51に密
着させると、試料54として金属薄膜型の磁気記録媒体
を適用した場合には、試料54が破壊されるおそれがあ
るからである。さらに、サンプル、および比較対象であ
るリファレンスとして、複数個の試料を分析し、この分
析結果を相互に比較する場合には、接圧制御装置52に
より半球状ATRプリズム51に対するリファレンス試
料の密着圧力Prと、サンプル試料の場合の密着圧力P
sとを、可能な限り同一の値に調整することが望まし
い。比較対象する試料の、測定条件の同一性の精度を上
げることにより、赤外吸収スペクトルの分析の精度が向
上する。なお、PrとPsとの差の絶対値は、0.05
〔kgf/cm2 〕以下とすることが、測定精度を上げ
るためには望ましい。
The pressure at which the sample 54 is brought into close contact with the hemispherical ATR prism 51 is 2 [kgf / cm 2 ].
It is desirable that: When the sample 54 is brought into close contact with the hemispherical ATR prism 51 at a pressure higher than 2 [kgf / cm 2 ], when the metal thin-film type magnetic recording medium is used as the sample 54, the sample 54 may be broken. Because there is. Further, when a plurality of samples are analyzed as a sample and a reference to be compared, and the analysis results are compared with each other, the contact pressure control device 52 causes the contact pressure Pr of the reference sample to the hemispherical ATR prism 51 to change. And the contact pressure P for a sample sample
It is desirable to adjust s and the same value as much as possible. By increasing the accuracy of the identity of the measurement conditions of the sample to be compared, the accuracy of the analysis of the infrared absorption spectrum is improved. The absolute value of the difference between Pr and Ps is 0.05
[Kgf / cm 2 ] or less is desirable to increase the measurement accuracy.

【0079】測定サンプルおよび比較対象であるリファ
レンスである試料の赤外吸収スペクトルの分析操作につ
いて、図4を参照して説明する。まず、赤外光源42か
らの赤外光(波数範囲は、例えば400cm-1〜500
0cm-1)を、半球状のATRプリズム51へ入射角θ
(例えばθ=45°)で入射して、試料からの反射光を
ディテクタ56で検出した後、信号処理部60の信号ア
ンプ61およびフーリエ変換器62で処理することによ
り、赤外吸収スペクトルを得る。そして、赤外吸収スペ
クトルの結果が、メモリ63に記録されるとともに、表
示部64にも表示される。
The operation of analyzing the infrared absorption spectrum of the measurement sample and the reference sample to be compared will be described with reference to FIG. First, infrared light from the infrared light source 42 (wave number range is, for example, 400 cm -1 to 500
0 cm -1 ) to the hemispherical ATR prism 51
(For example, θ = 45 °), the reflected light from the sample is detected by the detector 56, and then processed by the signal amplifier 61 and the Fourier transformer 62 of the signal processing unit 60 to obtain an infrared absorption spectrum. . Then, the result of the infrared absorption spectrum is recorded in the memory 63 and also displayed on the display unit 64.

【0080】上述したような測定操作を、複数の測定サ
ンプルやリファレンスの試料のそれぞれについて行う。
そして、そのサンプルについての分析結果と、リファレ
ンスについての分析結果とを相互に比較し、サンプル試
料についての定量分析の結果を得る。これにより、正確
で容易に迅速な分析結果を得ることができる。
The measurement operation as described above is performed for each of a plurality of measurement samples and reference samples.
Then, the analysis result of the sample and the analysis result of the reference are compared with each other, and the result of the quantitative analysis of the sample is obtained. As a result, accurate, easy, and quick analysis results can be obtained.

【0081】次に、本発明の磁気記録媒体の表面潤滑剤
の定量分析方法の一実施例について説明するが、本発明
方法は以下に示す例に限定されるものではない。
Next, an embodiment of the method for quantitatively analyzing the surface lubricant of the magnetic recording medium of the present invention will be described. However, the method of the present invention is not limited to the following examples.

【0082】(実施例)先ず、例えばポリエチレンテレ
フタレートフィルムよりなる非磁性支持体上に、下記の
蒸着条件により磁性層を形成する。次に、磁性層層に、
マグネトロンスパッタ装置によりカーボン保護膜を形成
する。なお、スパッタリングには、ターゲットとしてカ
ーボンを使用し、ガス導入管より圧力を0.5〔Pa〕
としてアルゴンガスを導入し、パワーを6.8〔W/c
2 〕として行った。 〔蒸着条件〕 金属磁性材料:Co 入射角 :45° 磁性層膜厚 :0.2〔μm〕 蒸着速度 :25〔m/min〕
(Example) First, a magnetic layer is formed on a non-magnetic support made of, for example, a polyethylene terephthalate film under the following evaporation conditions. Next, in the magnetic layer,
A carbon protective film is formed by a magnetron sputtering device. For sputtering, carbon was used as a target, and the pressure was 0.5 [Pa] from a gas introduction pipe.
, An argon gas is introduced, and the power is 6.8 [W / c].
m 2 ]. [Evaporation conditions] Metallic magnetic material: Co Incident angle: 45 ° Magnetic layer thickness: 0.2 [μm] Evaporation rate: 25 [m / min]

【0083】さらに、非磁性支持体上に、磁性層が形成
される面の反対側である非磁性支持体上の面に、カーボ
ンを主体とするバックコート層を厚さ0.5〔μm〕に
塗布形成する。次に、潤滑剤として、溶剤中のパーフル
オロエーテルの含有量を0.1〔重量%〕〜0.6〔重
量%〕まで変化させた複数の潤滑剤を用意した。これら
の潤滑剤をカーボン保護膜上に塗布し、複数の磁気記録
媒体のサンプル試料を作製した。
Further, on the non-magnetic support, on the surface on the non-magnetic support opposite to the surface on which the magnetic layer is formed, a back coat layer mainly composed of carbon is formed to a thickness of 0.5 [μm]. To form a coating. Next, as the lubricant, a plurality of lubricants in which the content of perfluoroether in the solvent was changed from 0.1 [% by weight] to 0.6 [% by weight] were prepared. These lubricants were applied on the carbon protective film to prepare a plurality of sample samples of the magnetic recording medium.

【0084】次に、上記サンプル試料と比較対象するリ
ファレンス試料を作製する。上記のようにして作製した
サンプル試料について赤外吸収スペクトルにより分析し
た後にこの潤滑剤層を除去したものをリファレンス試料
とする。具体的には、有機溶剤としてエチルアルコール
を適用して、払拭紙にしみ込ませて、潤滑剤を払拭し除
去することにより作製することができる。
Next, a reference sample to be compared with the sample sample is prepared. The sample prepared as described above is analyzed by an infrared absorption spectrum, and then the lubricant layer is removed to obtain a reference sample. Specifically, it can be manufactured by applying ethyl alcohol as an organic solvent, soaking it into a wiping paper, and wiping and removing a lubricant.

【0085】上述のようにして作製したサンプル試料お
よびリファレンス試料のそれぞれについて、図4に示す
シングルビーム測定装置110により、潤滑剤、すなわ
ち例えばパーフルオロポリエーテル分子の赤外吸収スペ
クトルを測定した。この測定をする際には、緩衝材53
として、厚さが例えば1〔mm〕程度のシート状の弾性
ゴム材を、接圧制御装置52を構成する金属圧子(図示
せず)と試料54との間に挟み込む。そして、サンプル
試料の磁気記録媒体表面の潤滑剤の定量分析を、パーフ
ルオロポリエーテル分子中の、C−F結合伸縮振動ピー
クの面積値を用いて行った。
For each of the sample sample and the reference sample prepared as described above, the infrared absorption spectrum of a lubricant, for example, a perfluoropolyether molecule was measured by a single beam measuring device 110 shown in FIG. When performing this measurement, the cushioning material 53
For example, a sheet-like elastic rubber material having a thickness of, for example, about 1 [mm] is sandwiched between a sample 54 and a metal indenter (not shown) constituting the contact pressure control device 52. Then, the quantitative analysis of the lubricant on the surface of the magnetic recording medium of the sample sample was performed using the area value of the CF bond stretching vibration peak in the perfluoropolyether molecule.

【0086】図6に、シングルビーム測定装置により得
られたサンプル試料の潤滑剤のパーフルオロポリエーテ
ル分子の赤外吸収スペクトルの一例について示す。この
図6に示す赤外吸収スペクトルによれば、大きく分けて
3個のピークが現れている。すなわち、第1のピーク7
1は、C−H結合の伸縮振動ピークであり、第2のピー
ク72はC−O結合の伸縮振動ピークであり、第3のピ
ーク73がC−F結合伸縮振動ピークである。
FIG. 6 shows an example of the infrared absorption spectrum of the perfluoropolyether molecule of the lubricant of the sample sample obtained by the single beam measuring device. According to the infrared absorption spectrum shown in FIG. 6, three peaks appear roughly. That is, the first peak 7
1 is a stretching vibration peak of a CH bond, a second peak 72 is a stretching vibration peak of a CO bond, and a third peak 73 is a CF bonding stretching vibration peak.

【0087】同様にして、リファレンス試料についても
シングルビーム測定装置により、赤外吸収スペクトルを
測定すると、リファレンス試料は潤滑剤が除去されてい
るため、図6に示した赤外吸収スペクトルは得られな
い。よって、両者の赤外吸収ススペクトルを比較するこ
とにより、磁気記録媒体表面の潤滑剤量を、正確かつ容
易に定量することができる。
Similarly, when the infrared absorption spectrum of the reference sample is measured by the single beam measuring apparatus, the infrared absorption spectrum shown in FIG. 6 cannot be obtained because the lubricant has been removed from the reference sample. . Therefore, the amount of the lubricant on the surface of the magnetic recording medium can be accurately and easily determined by comparing the infrared absorption spectra of the two.

【0088】また、XPSによっても磁気記録媒体表面
の潤滑剤の定量分析を行った。そして、上記ATR−F
T−IRによる磁気記録媒体表面の潤滑剤の定量分析結
果と、XPSによる磁気記録媒体の表面の潤滑剤の定量
分析結果とを比較した。
Further, the quantitative analysis of the lubricant on the surface of the magnetic recording medium was also performed by XPS. And the above ATR-F
The results of the quantitative analysis of the lubricant on the surface of the magnetic recording medium by T-IR and the results of the quantitative analysis of the lubricant on the surface of the magnetic recording medium by XPS were compared.

【0089】なお、XPSによる磁気記録媒体表面の潤
滑剤の定量分析方法としては、例えば磁気記録媒体の潤
滑剤として一般的に用いられているパーフルオロポリエ
ーテルを用いた場合には、このパーフルオロポリエーテ
ルの分子の含まれるフッ素の1s軌道の炭素−フッ素結
合の結合エネルギーに相当する700〜680〔eV〕
の範囲について、スペクトルの取り込みを行い、そのス
ペクトルの積分値〔cps〕((カウント/sec)以
下単に〔cps〕とする。)を定量分析結果とした。
As a method of quantitatively analyzing a lubricant on the surface of a magnetic recording medium by XPS, for example, when perfluoropolyether generally used as a lubricant for a magnetic recording medium is used, this perfluoropolyether is used. 700 to 680 [eV] corresponding to the binding energy of the carbon-fluorine bond in the 1s orbit of fluorine contained in the polyether molecule.
In the range, the spectrum was captured, and the integrated value [cps] of the spectrum (hereinafter simply referred to as [cps] below (count / sec)) was taken as the quantitative analysis result.

【0090】XPSによる磁気記録媒体表面の潤滑剤の
定量分析を行った結果を、図7に示す。この図7に示さ
れているように、ATR−FT−IRによる磁気記録媒
体表面の潤滑剤の定量分析結果とXPSによる磁気記録
媒体表面の潤滑剤の定量分析結果とは、良好な相関を有
する。
FIG. 7 shows the result of quantitative analysis of the lubricant on the surface of the magnetic recording medium by XPS. As shown in FIG. 7, the quantitative analysis result of the lubricant on the magnetic recording medium surface by ATR-FT-IR and the quantitative analysis result of the lubricant on the magnetic recording medium surface by XPS have a good correlation. .

【0091】上述した実施例においては、磁気記録媒体
のサンプル試料から潤滑剤を除去する方法として、有機
溶剤としてエチルアルコールを適用して、払拭紙にしみ
込ませて、潤滑剤を払拭する方法を適用したが、本発明
は、この例に限定されるものではない。すなわち、潤滑
剤を除去するために好適な各種有機溶剤についても同様
に適用することができ、また、超音波洗浄方法によって
潤滑剤を除去する方法を適用しても、上述の実施例と同
様に、潤滑剤の定量測定を、簡易で確実かつ迅速に行う
ことができるという効果を奏することができた。
In the above-described embodiment, as a method for removing the lubricant from the sample sample of the magnetic recording medium, a method of applying ethyl alcohol as an organic solvent, soaking it into a wiping paper, and wiping the lubricant is applied. However, the present invention is not limited to this example. That is, various organic solvents suitable for removing the lubricant can be similarly applied, and even when the method for removing the lubricant by the ultrasonic cleaning method is applied, similar to the above-described embodiment, Thus, the effect that the quantitative measurement of the lubricant can be performed simply, reliably and quickly can be obtained.

【0092】[0092]

【発明の効果】本発明の磁気記録媒体の表面潤滑剤の定
量分析方法によれば、同一ロットの磁気記録媒体の潤滑
剤塗布部分と潤滑剤未塗布部分とを、検査段階において
入手する必要をなくし、検査段階において磁気記録媒体
の表面潤滑剤を除去したリファレンス試料を作製するこ
ととたため、製造工程後に行う磁気記録媒体表面の潤滑
剤の定量測定工程が簡易化された。
According to the method for quantitatively analyzing the surface lubricant of a magnetic recording medium according to the present invention, it is necessary to obtain a lubricant-coated portion and a lubricant-uncoated portion of a magnetic recording medium of the same lot in an inspection stage. Since the reference sample in which the surface lubricant of the magnetic recording medium was removed at the inspection stage was prepared, the quantitative measurement step of the lubricant on the surface of the magnetic recording medium performed after the manufacturing process was simplified.

【0093】また、磁気記録媒体製造後の検査段階にお
いて、同一ロットの潤滑剤未塗布部分を入手して、これ
をリファレンス試料として用いた従来の検査方法におい
ては、この潤滑剤未塗布部分の磁性層の厚さが、比較す
る潤滑剤を塗布した磁気記録媒体の測定箇所における磁
性層の厚さと異なる場合があり、測定精度の低下を招来
していたが、本発明の磁気記録媒体の表面潤滑剤の定量
分析方法においては、磁気記録媒体の表面潤滑剤の測定
段階において、磁気記録媒体の表面潤滑剤の測定後の磁
気記録媒体サンプル試料から、潤滑剤を除去したリファ
レンス試料を作製して、これら両者の測定結果を比較す
ることとしたため、両者の測定条件を均一ならしめるこ
とができ、これにより正確かつ容易で、迅速な、磁気記
録媒体の表面の潤滑剤の定量分析を行うことができた。
In the inspection stage after the manufacture of the magnetic recording medium, a lubricant-uncoated portion of the same lot is obtained and used as a reference sample in the conventional inspection method. The thickness of the layer may be different from the thickness of the magnetic layer at the measurement location of the magnetic recording medium coated with the lubricant to be compared, which has led to a decrease in measurement accuracy. In the quantitative analysis method of the agent, in the measurement step of the surface lubricant of the magnetic recording medium, from the magnetic recording medium sample sample after measurement of the surface lubricant of the magnetic recording medium, to produce a reference sample from which the lubricant was removed, Since the measurement results of the two are compared, the measurement conditions of the two can be equalized, and thereby the accurate, easy, and quick lubrication of the surface of the magnetic recording medium can be achieved. I was able to perform a quantitative analysis of the agent.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の磁気記録媒体表面の潤滑剤の定量分析
方法において適用する磁気記録媒体の一例の概略断面図
を示す。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an example of a magnetic recording medium applied in a method for quantitatively analyzing a lubricant on the surface of a magnetic recording medium according to the present invention.

【図2】磁性層形成のための真空蒸着装置の一例の概略
構成図を示す。
FIG. 2 shows a schematic configuration diagram of an example of a vacuum evaporation apparatus for forming a magnetic layer.

【図3】カーボン保護膜形成のための、マグネトロンス
パッタ装置の一例の概略構成図を示す。
FIG. 3 shows a schematic configuration diagram of an example of a magnetron sputtering apparatus for forming a carbon protective film.

【図4】本発明の磁気記録媒体表面の潤滑剤の定量分析
方法において用いるシングルビーム測定装置の一例の概
略構成図を示す。
FIG. 4 is a schematic configuration diagram of an example of a single beam measuring device used in the method for quantitatively analyzing a lubricant on the surface of a magnetic recording medium according to the present invention.

【図5】シングルビーム測定装置を構成する測定部内部
の概略構成図を示す。
FIG. 5 is a schematic configuration diagram illustrating the inside of a measurement unit included in the single beam measurement device.

【図6】シングルビーム測定装置により得られたサンプ
ル試料の潤滑剤のパーフルオロポリエーテル分子の赤外
吸収スペクトルの一例を示す。
FIG. 6 shows an example of an infrared absorption spectrum of a perfluoropolyether molecule of a lubricant of a sample sample obtained by a single beam measurement device.

【図7】XPSによる磁気記録媒体の表面の潤滑剤の定
量分析結果を示す。
FIG. 7 shows the results of quantitative analysis of lubricant on the surface of a magnetic recording medium by XPS.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 真空蒸着装置、12 真空室、13 冷却キャ
ン、14 蒸着源、15電子ビーム発生源、16 電子
ビーム、17 供給ロール、18 巻き取りロール、1
9 防着板、20 シャッタ、21,22 ガイドロー
ル、23 非磁性支持体、25 金属磁性薄膜が成膜さ
れた非磁性支持体、30 マグネトロンスパッタ装置、
31 チャンバー、32 真空ポンプ、33 バルブ、
34 ガス導入管、35 冷却キャン、36 ターゲッ
ト、37 バッキングプレート、38 マグネット、3
9 供給ロール、40 巻き取りロール、41 干渉光
源部、42 赤外光源、43 可動ミラー、44 ハー
フミラー、50 測定部、51 半球状ATRプリズ
ム、52 接圧制御装置、53 緩衝材、54 試料、
55 入射角度可変装置、60 信号処理部、61 信
号アンプ、62 フーリエ変換器、63 メモリ、64
表示部、100 磁気記録媒体、101 非磁性支持
体、102 磁性層、103 保護膜、104 バック
コート層、105潤滑剤層
Reference Signs List 11 vacuum evaporation apparatus, 12 vacuum chamber, 13 cooling can, 14 evaporation source, 15 electron beam generation source, 16 electron beam, 17 supply roll, 18 take-up roll, 1
9 non-magnetic support, 20 shutter, 21 and 22 guide rolls, 23 non-magnetic support, 25 non-magnetic support on which metal magnetic thin film is formed, 30 magnetron sputtering apparatus,
31 chamber, 32 vacuum pump, 33 valve,
34 gas inlet pipe, 35 cooling can, 36 target, 37 backing plate, 38 magnet, 3
9 supply roll, 40 take-up roll, 41 interference light source unit, 42 infrared light source, 43 movable mirror, 44 half mirror, 50 measuring unit, 51 hemispherical ATR prism, 52 contact pressure control device, 53 buffer material, 54 sample,
55 variable incident angle device, 60 signal processing unit, 61 signal amplifier, 62 Fourier transformer, 63 memory, 64
Display unit, 100 magnetic recording medium, 101 non-magnetic support, 102 magnetic layer, 103 protective film, 104 back coat layer, 105 lubricant layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C10M 105/38 C10M 105/38 105/74 105/74 107/02 107/02 107/34 107/34 107/38 107/38 C10N 40:18 C10N 40:18 (72)発明者 岸井 典之 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 亀井 隆広 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 栗原 研一 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 小林 健 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 Fターム(参考) 4H104 BB03A BB08A BB17A BB32A BB34A BE11A BH03A CA01A CB14A CD04A CJ02A PA16 5D112 AA07 BC01 JJ06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI theme coat ゛ (Reference) C10M 105/38 C10M 105/38 105/74 105/74 107/02 107/02 107/34 107/34 107 / 38 107/38 C10N 40:18 C10N 40:18 (72) Inventor Noriyuki Kishi 6-35, Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Sony Corporation (72) Inventor Takahiro Kamei Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo 6-7-35 Inside Sony Corporation (72) Kenichi Kurihara, the inventor 6-7-35 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo 7-35 Inside Sony Corporation (72) Ken, Kobayashi 6-chome Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo No. 7-35 Sony Corporation F term (reference) 4H104 BB03A BB08A BB17A BB32A BB34A BE11A BH03A CA01A CB14A CD04A CJ02A PA16 5D112 AA07 BC01 JJ06

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 平滑な平面の底面をもつ半球状の減衰全
反射プリズムと、試料表面を上記減衰全反射プリズムの
底面に密着させる金属圧子を有し、 上記試料表面と上記減衰全反射プリズムの底面との密着
圧力を微調整する接圧制御装置とを備え、 上記金属圧子と上記磁気記録媒体試料との間に、緩衝材
を設置した減衰全反射フーリエ変換赤外分光計により、
磁気記録媒体の表面の潤滑剤の定量分析の測定を行うと
き、 磁気記録媒体の表面の潤滑剤の定量分析を行う工程と、 上記定量分析後の上記磁気記録媒体の表面から、潤滑剤
を除去してリファレンス試料を作製する工程と、 上記リファレンス試料の表面の、定量分析を行う工程と
を有することを特徴とする磁気記録媒体の表面潤滑剤の
定量分析方法。
1. A hemispherical attenuated total reflection prism having a smooth flat bottom surface, and a metal indenter for bringing a sample surface into close contact with the bottom surface of the attenuated total reflection prism. A contact pressure control device for finely adjusting the contact pressure with the bottom surface, between the metal indenter and the magnetic recording medium sample, by an attenuated total reflection Fourier transform infrared spectrometer provided with a buffer material,
When performing quantitative analysis of the lubricant on the surface of the magnetic recording medium, performing a quantitative analysis of the lubricant on the surface of the magnetic recording medium; and removing the lubricant from the surface of the magnetic recording medium after the quantitative analysis. A method for quantitatively analyzing a surface lubricant of a magnetic recording medium, comprising: a step of preparing a reference sample by performing the method; and a step of performing quantitative analysis of the surface of the reference sample.
【請求項2】 上記磁気記録媒体の表面から、潤滑剤を
除去してリファレンス試料を作製する工程において、有
機溶剤を用いて上記磁気記録媒体の表面から、潤滑剤を
除去することを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒
体の表面潤滑剤の定量分析方法。
2. The step of removing a lubricant from the surface of the magnetic recording medium to produce a reference sample, wherein the lubricant is removed from the surface of the magnetic recording medium using an organic solvent. A method for quantitatively analyzing a surface lubricant of a magnetic recording medium according to claim 1.
【請求項3】 上記磁気記録媒体の表面から、潤滑剤を
除去してリファレンス試料を作製する工程において、超
音波洗浄により、上記磁気記録媒体の表面から、潤滑剤
を除去することを特徴とする請求項1に記載の磁気記録
媒体の表面潤滑剤の定量分析方法。
3. The step of removing a lubricant from the surface of the magnetic recording medium to produce a reference sample, wherein the lubricant is removed from the surface of the magnetic recording medium by ultrasonic cleaning. A method for quantitatively analyzing a surface lubricant of a magnetic recording medium according to claim 1.
【請求項4】 上記接圧制御装置は、金属圧子と、該金
属圧子を試料表面に密着させるための押圧機構と、試料
表面と減衰全反射プリズムとの密着圧力を検出する圧力
検出機構と、該圧力検出機構による検出データに基づい
て押圧機構により金属圧子を適宜移動させて密着圧力を
所定範囲内に制御する制御機構とを備えることを特徴と
する請求項1に記載の磁気記録媒体の表面潤滑剤の定量
分析方法。
4. A contact pressure control device, comprising: a metal indenter, a pressing mechanism for bringing the metal indenter into close contact with the sample surface, a pressure detecting mechanism for detecting a contact pressure between the sample surface and the attenuated total reflection prism, 2. The surface of a magnetic recording medium according to claim 1, further comprising: a control mechanism for controlling a contact pressure within a predetermined range by appropriately moving a metal indenter by a pressing mechanism based on data detected by the pressure detecting mechanism. Quantitative analysis method for lubricants.
【請求項5】 上記緩衝材の材質は、弾性ゴムであるこ
とを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体の表面潤
滑剤の定量分析方法。
5. The method according to claim 1, wherein the material of the buffer is an elastic rubber.
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