JP2001143244A - Magnetic recording medium - Google Patents

Magnetic recording medium

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JP2001143244A
JP2001143244A JP2000256429A JP2000256429A JP2001143244A JP 2001143244 A JP2001143244 A JP 2001143244A JP 2000256429 A JP2000256429 A JP 2000256429A JP 2000256429 A JP2000256429 A JP 2000256429A JP 2001143244 A JP2001143244 A JP 2001143244A
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Japan
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sample
lubricant
recording medium
magnetic recording
adhesive force
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Withdrawn
Application number
JP2000256429A
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Japanese (ja)
Inventor
Kenichi Kurihara
研一 栗原
Noriyuki Kishii
典之 岸井
Takahiro Kamei
隆広 亀井
Takeshi Kobayashi
健 小林
Hiroshi Iwamoto
岩本  浩
Hisanori Tsuboi
寿憲 坪井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To decrease a friction coefficient and to improve a traveling property and durability. SOLUTION: The standard deviation of the adhesive force between a lubricating layer 5 and a probe of the magnetic recording medium 1, which is deposited with at least a magnetic metallic film 3 on one main surface of a nonmagnetic base 2 and has the lubricating layer 5 of the outermost layer on the one main surface on the side formed with the magnetic metallic film 3, is specified to >=0.06.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に関
し、特に金属磁性膜が形成された側の一主面の最外層上
に潤滑剤層を有する磁気記録媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium, and more particularly to a magnetic recording medium having a lubricant layer on an outermost layer on one main surface on which a metal magnetic film is formed.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気記録媒体は、オーディオ用テープ、
ビデオテープ、バックアップ用データカートリッジ、ハ
ードディスク等として広く利用されている。この磁気記
録媒体としては、非常に微細な強磁性粉末及び結合剤を
含有する磁性塗料を非磁性支持体上に塗布し乾燥するこ
とで磁性層が形成される、いわゆる塗布型の磁気記録媒
体、或いは強磁性金属材料を蒸着等の手法により非磁性
支持体上に被着形成することで磁性層が形成される、い
わゆる薄膜型の磁気記録媒体が用いられている。
2. Description of the Related Art Magnetic recording media include audio tapes,
It is widely used as video tapes, backup data cartridges, hard disks and the like. As this magnetic recording medium, a so-called coating type magnetic recording medium in which a magnetic layer containing a very fine ferromagnetic powder and a binder containing a binder is coated on a non-magnetic support and dried to form a magnetic layer, Alternatively, a so-called thin-film type magnetic recording medium in which a magnetic layer is formed by applying a ferromagnetic metal material on a nonmagnetic support by a method such as evaporation is used.

【0003】特に最近では、記録波長の短波長化、或い
はデジタル記録方式など高密度記録の検討が盛んに行わ
れており、電磁変換特性の優れた磁気記録媒体の開発が
要求されている。
In particular, recently, studies on shortening the recording wavelength or high-density recording such as a digital recording method have been actively conducted, and the development of a magnetic recording medium having excellent electromagnetic conversion characteristics has been demanded.

【0004】例えば、現在主流となっている塗布型磁気
記録媒体においては、電磁変換特性を向上させるために
磁性層の薄膜化が検討されている。これは、記録時の自
己減磁損失を低減することにより電磁変検特性を向上さ
せる方法であり、近年種々の塗布方式が提案されてい
る。
For example, in a coating type magnetic recording medium which is currently mainstream, thinning of a magnetic layer is being studied in order to improve electromagnetic conversion characteristics. This is a method for improving the electromagnetic inspection characteristics by reducing the self-demagnetization loss at the time of recording. In recent years, various coating methods have been proposed.

【0005】これら磁気記録媒体においては、スペーシ
ングロスを最小限にするために、磁性層表面の平滑化が
図られている。高密度記録においては、使用する記録波
長が短いため、表面粗さの影響を受け易く、表面粗さの
制御が特に重要である。
[0005] In these magnetic recording media, the surface of the magnetic layer is smoothed in order to minimize spacing loss. In high-density recording, since the recording wavelength used is short, it is easily affected by the surface roughness, and control of the surface roughness is particularly important.

【0006】このように、高密度記録が進むにつれ、磁
気記録媒体の磁性層表面の平滑性を極めて良好にする必
要がある。
As described above, as the high-density recording progresses, it is necessary to make the surface of the magnetic layer of the magnetic recording medium extremely smooth.

【0007】しかし、磁性層表面の平滑性が良好であれ
ばあるほど、磁気ヘッドやガイドローラ等の摺動部材に
対する実質的な接触面積が大きくなる。したがって、磁
性層表面の平滑性が良好である磁気記録媒体は、摩擦係
数が大きくなり、走行途中で摺動部材と凝着現象(いわ
ゆる貼り付き)を起こし易くなり、走行性、耐久性に欠
ける等の問題が多くなる。
However, the better the smoothness of the surface of the magnetic layer, the larger the substantial contact area with a sliding member such as a magnetic head or a guide roller. Therefore, a magnetic recording medium having a good magnetic layer surface smoothness has a large friction coefficient, is likely to cause an adhesion phenomenon (so-called sticking) with a sliding member during running, and lacks running properties and durability. And more problems.

【0008】そこで、これらの問題点を改善するために
各種の潤滑剤を使用することが検討されており、従来よ
り高級脂肪酸やそのエステル等を上記磁気記録媒体の磁
性層内に内添、或いは磁性層上にトップコートすること
等により摩擦係数を低く抑えようとする試みがされてい
る。
In order to solve these problems, use of various lubricants has been studied. Conventionally, higher fatty acids and esters thereof have been added internally to the magnetic layer of the magnetic recording medium, or Attempts have been made to reduce the coefficient of friction by, for example, topcoating the magnetic layer.

【0009】一方、ハードディスクに代表される磁気記
録媒体と記録及び/又は再生用の磁気ヘッドとを主要構
成要素とする磁気記録装置においては、磁気記録媒体と
磁気ヘッドとの間に摩擦力が発生し、これが磁気記録媒
体及び磁気ヘッドの摩耗損傷の原因となる。摩耗損傷が
磁気記録媒体の磁性層まで達すると、磁性層に記録され
ている情報が破壊される、いわゆるヘッドクラッシュ現
象が発生し、磁気記録媒体の耐久性を劣化させる原因と
なる。このため、ヘッドクラッシュを防止することは、
磁気記録装置の信頼性を確保する上で重要である。
On the other hand, in a magnetic recording device having a magnetic recording medium represented by a hard disk and a recording and / or reproducing magnetic head as main components, a frictional force is generated between the magnetic recording medium and the magnetic head. However, this causes wear damage to the magnetic recording medium and the magnetic head. When the wear damage reaches the magnetic layer of the magnetic recording medium, the information recorded on the magnetic layer is destroyed, that is, a so-called head crash phenomenon occurs, which causes the durability of the magnetic recording medium to deteriorate. Therefore, to prevent head crash,
This is important for ensuring the reliability of the magnetic recording device.

【0010】ヘッドクラッシュを防ぐためには、磁気記
録媒体自体の耐摩耗性を向上させる必要があり、このた
め磁性層は通常、炭素、酸化物、炭化物、窒化物等から
なる保護層で被覆され、さらに保護層上には潤滑膜が形
成される。このような潤滑膜には一般的に、低表面エネ
ルギー、耐熱性、化学的安定性、及び潤滑性等の特性が
要求され、潤滑膜形成用の化合物として、米国特許第
3,778,308号明細書に記載されているパーフル
オロアルキルポリエーテル系またはパーフルオロアルキ
ル化合物が、現在最も多く使用されている。
In order to prevent head crash, it is necessary to improve the wear resistance of the magnetic recording medium itself. For this reason, the magnetic layer is usually covered with a protective layer made of carbon, oxide, carbide, nitride, etc. Further, a lubricating film is formed on the protective layer. Such a lubricating film generally requires characteristics such as low surface energy, heat resistance, chemical stability, and lubricity. US Pat. No. 3,778,308 discloses a compound for forming a lubricating film. The perfluoroalkyl polyether-based or perfluoroalkyl compounds described in the specification are currently most frequently used.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気記録媒
体上における潤滑剤の表面存在量は、摩擦係数を含む実
用特性に大きく影響を及ぼすと考えられている。潤滑剤
の表面存在量が少ない場合には、磁気記録媒体と磁気ヘ
ッド等の摺動部材との間に存在する潤滑剤が少ないため
潤滑剤の機能が十分に発揮されない。また、潤滑剤の表
面存在量が多い場合には、潤滑剤の材質にかかわらず磁
気記録媒体と磁気ヘッド等の摺動部材との間に張り付き
が生じる、すなわち摩擦係数が大きくなる傾向がある。
この傾向は、特に常温液体系の潤滑剤において顕著に現
れ、磁気記録媒体と磁気ヘッド等の摺動部材との間に生
じるメニスカス力に起因している。
By the way, it is considered that the surface abundance of the lubricant on the magnetic recording medium greatly affects the practical characteristics including the friction coefficient. When the amount of the lubricant present on the surface is small, the lubricant existing between the magnetic recording medium and the sliding member such as the magnetic head is small, so that the function of the lubricant cannot be sufficiently exhibited. When the amount of the lubricant present on the surface is large, sticking occurs between the magnetic recording medium and a sliding member such as a magnetic head regardless of the material of the lubricant, that is, the friction coefficient tends to increase.
This tendency is particularly noticeable in a room temperature liquid lubricant, and is caused by a meniscus force generated between a magnetic recording medium and a sliding member such as a magnetic head.

【0012】しかしながら、潤滑剤量が多すぎる場合に
は摩擦係数が大きくなる傾向があるが、磁気記録媒体走
行時においては、脱離、分解等による潤滑剤の減少が予
想されるため、磁気記録媒体の寿命を考慮すると、張り
付きが生じない範囲において極力多くの潤滑剤が存在す
ることが望ましい。
However, when the amount of the lubricant is too large, the coefficient of friction tends to increase. However, during running of the magnetic recording medium, the lubricant is expected to decrease due to detachment, decomposition, and the like. In consideration of the life of the medium, it is desirable that as much lubricant as possible exists within a range where sticking does not occur.

【0013】したがって、磁気記録媒体上には、磁気記
録媒体の走行性を良好に保ちつつも、耐久性を向上させ
るために極力多くの潤滑剤が存在することが好ましい。
Therefore, it is preferable that as much lubricant as possible exists on the magnetic recording medium in order to improve durability while maintaining good running properties of the magnetic recording medium.

【0014】そして、潤滑剤の表面存在量には、適正範
囲が存在することは言うまでもないが、この適正範囲は
使用される目的により異なることが最近の研究で明らか
になってきた。すなわち、スチル耐久性等を必要とする
AV(Audio-Visual)用途、いわゆるヘリカルスキャン
方式用では、同じ場所を磁気ヘッドが繰り返し摺動する
ため、磁気ヘッドが貼り付かない範囲で可能な限り潤滑
剤存在量を多くすることが好ましい。一方、データの保
存、バックアップ等、いわゆるデータストレージ用に使
用される場合には、磁気ヘッドが同じ場所を繰り返し摺
動することは無く、シャトル走行が中心となるため、必
ずしも多量の潤滑剤は必要とされず、逆に、磁気ヘッド
の付着物抑制という観点から、AV用途の場合よりも少
ないことが好ましい。このように、磁気記録媒体表面に
存在する潤滑剤は、使用される目的に応じて、表面設
計、すなわち、潤滑剤の表面存在量及び分布状態が最適
な範囲にコントロールされている必要がある。
Needless to say, there is an appropriate range for the surface abundance of the lubricant, but recent studies have revealed that the appropriate range varies depending on the purpose of use. That is, in AV (Audio-Visual) applications requiring still durability, etc., the so-called helical scan method, the magnetic head repeatedly slides in the same place, so that the lubricant is used as much as possible without sticking to the magnetic head. It is preferable to increase the abundance. On the other hand, when used for so-called data storage, such as data storage and backup, the magnetic head does not slide repeatedly in the same place and mainly runs on the shuttle, so a large amount of lubricant is necessarily required. On the contrary, from the viewpoint of suppressing deposits on the magnetic head, it is preferable that the number is smaller than that in the case of AV applications. As described above, the lubricant existing on the surface of the magnetic recording medium needs to have its surface design, that is, the surface abundance and distribution of the lubricant controlled to an optimum range according to the purpose of use.

【0015】ここで、潤滑剤の最適形成条件、すなわ
ち、最適存在量は、潤滑剤を構成する材料の融点、極性
基、分子量等により異なるため、使用する潤滑剤により
異なる。しかしながら、磁気記録媒体表面における潤滑
剤の最適形成条件は、確立されていないのが実情であ
る。
Here, the optimum conditions for forming the lubricant, that is, the optimum abundance, differ depending on the melting point, the polar group, the molecular weight and the like of the material constituting the lubricant, and therefore differ depending on the lubricant used. However, the optimum condition for forming the lubricant on the surface of the magnetic recording medium has not been established.

【0016】したがって、本発明は従来の実情に鑑みて
提案されたものであり、潤滑剤の材質にかかわらず、低
摩擦係数を有し、走行性、耐久性に優れた磁気記録媒体
を提供することを目的とする。
Accordingly, the present invention has been proposed in view of the conventional circumstances, and provides a magnetic recording medium having a low coefficient of friction, excellent in running properties and durability, regardless of the material of the lubricant. The purpose is to:

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気記録媒
体は、非磁性支持体の一主面上に少なくとも金属磁性膜
が成膜されてなるとともに上記金属磁性膜が形成された
側の一主面の最外層上に潤滑剤層を有する磁気記録媒体
において、上記潤滑剤と探針との間の付着力の標準偏差
が0.06以上であることを特徴とするものである。
According to the present invention, there is provided a magnetic recording medium comprising at least a metal magnetic film formed on one main surface of a non-magnetic support and one of the non-magnetic support having the metal magnetic film formed thereon. In a magnetic recording medium having a lubricant layer on the outermost layer of the main surface, the standard deviation of the adhesive force between the lubricant and the probe is 0.06 or more.

【0018】本発明に係る磁気記録媒体は、潤滑剤と探
針との間の付着力の標準偏差が0.06以上とされる。
したがって、磁気記録媒体と摺動部材との間の摩擦係数
が低く抑えられる。その結果、磁気記録媒体は、走行
性、耐久性に優れたものとされる。
In the magnetic recording medium according to the present invention, the standard deviation of the adhesive force between the lubricant and the probe is 0.06 or more.
Therefore, the coefficient of friction between the magnetic recording medium and the sliding member can be kept low. As a result, the magnetic recording medium has excellent running properties and durability.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した磁気記録
媒体について図面を参照して説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a magnetic recording medium to which the present invention is applied will be described with reference to the drawings.

【0020】本発明を適用した磁気記録媒体1は、図1
に示すように、非磁性支持体2と、この非磁性支持体2
の一主面上に形成された金属磁性膜3と、金属磁性膜3
上に形成された保護膜4と、保護膜4上に形成された潤
滑剤層5とを備えて構成されるものである。ここで、潤
滑剤層5は、金属磁性膜3上一面に形成されている必要
はなく、例えば金属磁性膜3上においてアイランド状に
形成されていても良い。
A magnetic recording medium 1 to which the present invention is applied has a structure shown in FIG.
As shown in the figure, the non-magnetic support 2 and the non-magnetic support 2
A metal magnetic film 3 formed on one principal surface of
It comprises a protective film 4 formed thereon and a lubricant layer 5 formed on the protective film 4. Here, the lubricant layer 5 does not need to be formed on the entire surface of the metal magnetic film 3, and may be formed in an island shape on the metal magnetic film 3, for example.

【0021】以下、非磁性支持体2、金属磁性膜3、保
護膜4及び潤滑剤層5について順に詳述する。
Hereinafter, the nonmagnetic support 2, the metal magnetic film 3, the protective film 4, and the lubricant layer 5 will be described in order.

【0022】非磁性支持体2 磁気記録媒体1が、塗布型磁気記録媒体である場合に
は、非磁性支持体2としては、ポリエチレンテレフタレ
ート、ポリエチレン−2,6−ナフタレート等のポリエ
ステル類、ポリプロピレン等のポリオレフィン類、セル
ローストリアセテート、セルロースジアセテート等のセ
ルロース類、ビニル系樹脂、ポリイミド類、ポリアミド
類、ポリカーボネート類、ポリフェニレンサルファイド
等に代表される高分子材料を好適に用いることができ
る。
Non-magnetic support 2 When the magnetic recording medium 1 is a coating type magnetic recording medium, the non-magnetic support 2 is made of polyesters such as polyethylene terephthalate and polyethylene-2,6-naphthalate, polypropylene and the like. Polymer materials such as polyolefins, celluloses such as cellulose triacetate and cellulose diacetate, vinyl resins, polyimides, polyamides, polycarbonates, and polyphenylene sulfide can be suitably used.

【0023】また、磁気記録媒体1が、薄膜型磁気記録
媒体である場合には、非磁性支持体2としては、塗布型
磁気記録媒体の場合と同様のものを用いることができ
る。そして、その他に、アルミニウム合金、チタン合金
等の軽金属、アルミナガラス等のセラミックス等も用い
ることができる。非磁性支持体2にアルミニウム合金板
やガラス板等の剛性を有する基板を使用した場合には、
基板表面にアルマイト処理等の酸化被膜やNi−P被膜
等を形成してその表面を硬くするようにしても良い。
When the magnetic recording medium 1 is a thin-film type magnetic recording medium, the same non-magnetic support 2 as in the case of a coating type magnetic recording medium can be used. In addition, light metals such as aluminum alloys and titanium alloys, and ceramics such as alumina glass can also be used. When a rigid substrate such as an aluminum alloy plate or a glass plate is used for the nonmagnetic support 2,
An oxide film such as alumite treatment or a Ni-P film may be formed on the surface of the substrate to harden the surface.

【0024】また、非磁性支持体の厚みは、1.0〜2
00μmであることが好ましく、より好ましくは、2.
0〜100μmである。
The thickness of the non-magnetic support is 1.0 to 2
00 μm, more preferably 2.
0 to 100 μm.

【0025】金属磁性膜3 磁気記録媒体1が、塗布型磁気記録媒体である場合に
は、金属磁性膜3は、強磁性粉末及び結合剤を主体とす
る層であり、強磁性粉末及び結合剤を溶剤とともに混練
してなる磁性塗料を非磁性支持体上に塗布することによ
り形成される。ここで、磁性粉末としては、γ−Fe2
3、Fe34、γ−Fe23とFe34とのベルトラ
イド化合物、Co含有γ−Fe23、Co含有Fe
34、Coを含有するγ−Fe23とFe34とのベル
トライド化合物、CrO2に1種以上の金属元素、例え
ばTe、Sb、Fe、Bi等を含有させた酸化物が挙げ
られる。
Metallic Magnetic Film 3 When the magnetic recording medium 1 is a coating type magnetic recording medium, the metallic magnetic film 3 is a layer mainly composed of a ferromagnetic powder and a binder. Is formed by applying a magnetic paint obtained by kneading the compound with a solvent onto a non-magnetic support. Here, as the magnetic powder, γ-Fe 2
O 3 , Fe 3 O 4 , a beltride compound of γ-Fe 2 O 3 and Fe 3 O 4 , Co-containing γ-Fe 2 O 3 , Co-containing Fe
Belt compound of γ-Fe 2 O 3 containing Fe 3 O 4 and Co and Fe 3 O 4 , CrO 2 containing one or more metal elements, for example, Te, Sb, Fe, Bi, etc. Is mentioned.

【0026】さらに、Fe、Co、Ni等の金属、Fe
−Co、Fe−Ni、Fe−Co−Ni、Fe−Co−
B、Fe−Co−Cr−B、Mn−Bi、Mn−Al、
Fe−Co−V、Fe−Al、Fe−Ni−Al、Fe
−Al−P、Fe−Ni−Si−Al、Fe−Ni−S
i−Al−Mn、Fe−Mn−Zn、Fe−Ni−Z
n、Co−Ni、Co−P、Fe−Co−Ni−Cr、
Fe−Co−Ni−P等の合金、炭化鉄、窒化鉄等の強
磁性金属粉末が挙げられる。
Further, metals such as Fe, Co and Ni, Fe
-Co, Fe-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-Co-
B, Fe-Co-Cr-B, Mn-Bi, Mn-Al,
Fe-Co-V, Fe-Al, Fe-Ni-Al, Fe
-Al-P, Fe-Ni-Si-Al, Fe-Ni-S
i-Al-Mn, Fe-Mn-Zn, Fe-Ni-Z
n, Co-Ni, Co-P, Fe-Co-Ni-Cr,
Examples include alloys such as Fe-Co-Ni-P and ferromagnetic metal powders such as iron carbide and iron nitride.

【0027】このような強磁性金属粉末は、上述した金
属元素の酸化物、含水酸化物、無機塩、有機酸塩等を還
元性気体により気相中還元する方法や、湿式還元する方
法により得ることができる。なお、強磁性金属粉末の生
成においては、還元時の焼結防止又は形状維持等の目的
でAl、Si、P、B等の軽金属元素を適当量添加する
ようにしても良い。
Such a ferromagnetic metal powder is obtained by a method of reducing the above-mentioned metal element oxides, hydrated oxides, inorganic salts, organic acid salts and the like in a gas phase with a reducing gas or by a method of wet reduction. be able to. In producing the ferromagnetic metal powder, an appropriate amount of a light metal element such as Al, Si, P, or B may be added for the purpose of preventing sintering during reduction or maintaining the shape.

【0028】また、還元後には、有機溶剤を含浸させ乾
燥させる方法、有機溶剤に浸漬させ酸化性ガスを吹き込
み乾燥させる方法、有機溶剤を用いずに分圧を調製した
酸化性ガスを吹き込む方法等により、表面に薄い酸化膜
を形成して、酸化安定性を付与する。表面に形成される
酸化膜は、上述した金属或いは合金の構成元素のみなら
ず、Al、Si、Ca、Mg、Sr、Ba、B、S、T
i、Zn、Na、Zr、K、Y、La、Ce、Pr、N
d、Sm、Gb、Ge、Sn、Ga等を含有していても
良い。
Also, after reduction, a method of impregnating and drying with an organic solvent, a method of immersing in an organic solvent and blowing and drying an oxidizing gas, a method of blowing an oxidizing gas having a partial pressure adjusted without using an organic solvent, and the like. Thereby, a thin oxide film is formed on the surface to impart oxidation stability. The oxide film formed on the surface includes not only the constituent elements of the metal or alloy described above, but also Al, Si, Ca, Mg, Sr, Ba, B, S, and T.
i, Zn, Na, Zr, K, Y, La, Ce, Pr, N
It may contain d, Sm, Gb, Ge, Sn, Ga and the like.

【0029】さらに、磁性粉末としては、上述した酸化
物や強磁性金属粉末の他に、六方晶系板状フェライトを
用いることができる。この六方晶系板状フェライトとし
ては、M型、W型、Y型、Z型のバリウムフェライト、
ストロンチウムフェライト、カルシウムフェライト、鉛
フェライト等が挙げられる。そして、これらの六方晶系
板状フェライトの保持力を制御する目的で、Co−T
i、Co−Ti−Zn、Co−Ti−Nb、Co−Ti
−Zn−Nb、Cu−Zr、Ni−Ti等を添加したも
のも用いることができる。
Further, as the magnetic powder, besides the above-mentioned oxides and ferromagnetic metal powders, hexagonal plate-like ferrite can be used. As the hexagonal plate-like ferrite, M-type, W-type, Y-type, Z-type barium ferrite,
Examples include strontium ferrite, calcium ferrite, and lead ferrite. In order to control the holding power of these hexagonal plate-like ferrites, Co-T
i, Co-Ti-Zn, Co-Ti-Nb, Co-Ti
A material to which -Zn-Nb, Cu-Zr, Ni-Ti, or the like is added can also be used.

【0030】なお、これらの磁性粉末は、1種類単独で
用いても良く、また、複数種を組み合わせて用いても良
い。
These magnetic powders may be used alone or in a combination of two or more.

【0031】磁性粉末のサイズは、以下のようにされる
ことが好ましい。
The size of the magnetic powder is preferably set as follows.

【0032】磁性粉末の比表面積は、35m2/g以上
であることが好ましい。比表面積をこの範囲とすること
により、磁性粉末は、非常に微細な粒子とされる。そし
て微細な磁性粉末を用いて金属磁性膜を形成することに
より高密度記録が可能となり、ノイズを低減することが
できる。
The specific surface area of the magnetic powder is preferably 35 m 2 / g or more. By setting the specific surface area to this range, the magnetic powder is made into very fine particles. By forming a metal magnetic film using fine magnetic powder, high-density recording becomes possible and noise can be reduced.

【0033】また、特に磁性粉末が針状粒子である場合
には、長軸長が0.05〜0.50μm、軸比が2〜1
5であることが好ましい。長軸長が0.05μm未満で
ある場合には、磁性粉末の塗料への分散が困難となる。
そして、長軸長が0.50μmよりも大きい場合には、
ノイズが増大する虞がある。また、軸比が2未満である
場合には、磁性粉末の配向性が低下し、出力の低下を招
来する。そして、軸比が15よりも大きい場合には、短
波長信号出力が低下する。
In particular, when the magnetic powder is acicular particles, the major axis length is 0.05 to 0.50 μm and the axial ratio is 2 to 1.
It is preferably 5. When the major axis length is less than 0.05 μm, it becomes difficult to disperse the magnetic powder in the coating material.
And when the major axis length is larger than 0.50 μm,
Noise may increase. On the other hand, when the axial ratio is less than 2, the orientation of the magnetic powder is reduced, and the output is reduced. When the axial ratio is larger than 15, the short-wavelength signal output decreases.

【0034】また、磁性粉末が板状フェライトである場
合には、板径が0.01〜0.5μm、板厚が0.00
1〜0.2μmであることが好ましい。
When the magnetic powder is plate-like ferrite, the plate diameter is 0.01 to 0.5 μm and the plate thickness is 0.00.
It is preferably from 1 to 0.2 μm.

【0035】金属磁性膜に使用される結合剤としては、
例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、反応型樹脂やこ
れらの混合物等、従来より公知のものを用いることがで
き、数平均分子量が5000〜100000のものを好
適に用いることができる。
As the binder used for the metal magnetic film,
For example, conventionally known resins such as a thermoplastic resin, a thermosetting resin, a reactive resin, and a mixture thereof can be used, and those having a number average molecular weight of 5,000 to 100,000 can be suitably used.

【0036】熱可塑性樹脂の例としては、塩化ビニル、
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、ビニルアルコ−ル、
マレイン酸、アクリル酸、アクリル酸エステル、メタク
リル酸、メタクリル酸エステル、塩化ビニリデン、アク
リロニトリル、メタアクリロニトリル、スチレン、メチ
ルスチレン、ブタジエン、エチレン、ビニルブチラー
ル、ビニルアセタール、ビニルエーテル、ビニルピロリ
ドン等を構成単位として含む重合体、或いは共重合体を
挙げることができる。共重合体としては、例えば、塩化
ビニル−酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル−塩化ビニリ
デン共重合体、塩化ビニル−アクリロニトリル共重合
体、アクリル酸エステル−アクリロニトリル共重合体、
アクリル酸エステル−塩化ビニル−塩化ビニリデン共重
合体、塩化ビニル−アクリロニトリル共重合体、アクリ
ル酸エステル−塩化ビニリデン共重合体、メタクリル酸
エステル−塩化ビニリデン共重合体、メタクリル酸エス
テル−塩化ビニル共重合体、メタクリル酸エステル−エ
チレン共重合体、アクリル酸エステル−スチレン共重合
体、メタクリル酸エステル−アクリロニトリル共重合
体、メタクリル酸エステル−塩化ビニリデン共重合体、
メタクリル酸エステル−スチレン共重合体、塩化ビニリ
デン−アクリロニトリル共重合体、アクリロニトリル−
ブタジエン共重合体、ポリビニルブチラール、スチレン
ブタジエン共重合体、スチレン−ブタジエン共重合体、
クロロビニルエーテル−アクリル酸エステル共重合体等
を挙げることができる。上記の他に、ポリフッ化ビニ
ル、ポリアミド樹脂、セルロースアセテートブチレー
ト、セルロースダイアセテート、セルローストリアセテ
ート、セルロースプロピオネート、ニトロセルロース等
のセルロース誘導体、ポリエステル樹脂、ポリウレタン
樹脂、アミノ樹脂、各種ゴム系樹脂等も例示することが
できる。
Examples of the thermoplastic resin include vinyl chloride,
Vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl alcohol,
Maleic acid, acrylic acid, acrylic acid ester, methacrylic acid, methacrylic acid ester, vinylidene chloride, acrylonitrile, methacrylonitrile, styrene, methylstyrene, butadiene, ethylene, vinyl butyral, vinyl acetal, vinyl ether, vinyl pyrrolidone, etc. A polymer or a copolymer can be used. As the copolymer, for example, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, vinyl chloride-acrylonitrile copolymer, acrylate-acrylonitrile copolymer,
Acrylate-vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, vinyl chloride-acrylonitrile copolymer, acrylate-vinylidene chloride copolymer, methacrylate-vinylidene chloride copolymer, methacrylate-vinyl chloride copolymer , Methacrylate-ethylene copolymer, acrylate-styrene copolymer, methacrylate-acrylonitrile copolymer, methacrylate-vinylidene chloride copolymer,
Methacrylic acid ester-styrene copolymer, vinylidene chloride-acrylonitrile copolymer, acrylonitrile-
Butadiene copolymer, polyvinyl butyral, styrene butadiene copolymer, styrene-butadiene copolymer,
Chlorovinyl ether-acrylate copolymers and the like can be mentioned. In addition to the above, polyvinyl fluoride, polyamide resin, cellulose acetate butyrate, cellulose diacetate, cellulose triacetate, cellulose propionate, cellulose derivatives such as nitrocellulose, polyester resin, polyurethane resin, amino resin, various rubber resins, etc. Can also be exemplified.

【0037】また、熱硬化性樹脂又は反応型樹脂として
は、例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレ
タン硬化型樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アルキド樹
脂、アクリル系反応樹脂、ホルムアルデヒド樹脂、シリ
コン樹脂、ポリアミン樹脂、尿素ホルムアルデヒド樹
脂、エポキシ−ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂とポ
リイソシアネートプレポリマーの混合物、ポリエステル
ポリオールとポリイソシアネートの混合物、ポリウレタ
ンとポリイソシアネートの混合物を挙げることができ
る。
The thermosetting resin or the reactive resin includes, for example, phenol resin, epoxy resin, polyurethane curable resin, urea resin, melamine resin, alkyd resin, acrylic reaction resin, formaldehyde resin, silicone resin, polyamine Resins, urea-formaldehyde resins, epoxy-polyamide resins, mixtures of polyester resins and polyisocyanate prepolymers, mixtures of polyester polyols and polyisocyanates, and mixtures of polyurethanes and polyisocyanates.

【0038】また、これら全ての結合材には、顔料成分
の分散性を向上させる目的で極性官能基が導入されてい
ても良い。極性官能基としては、−SO3M、−OSO3
M、−COOM、P=O(OM)2等が挙げられる。こ
こで、Mは、水素原子或いはリチウム、カリウム、ナト
リウム等のアルカリ金属である。また、−NR1R2、
−NR1R2R3+-の末端基を有する側鎖型アミン、
或いは>NR1R2+-で表される主鎖型アミンも用い
ることができる。ここで、R1、R2、R3は、水素原
子或いは炭化水素基を表し、X-は、フッ素、塩素、臭
素、ヨウ素等のハロゲン元素イオン、無機イオン、有機
イオンである。さらに、極性官能基としては、−OH、
−SH、−CN、エポキシ基等が挙げられる。これらの
極性官能基は、10-8〜10-1mol/gの範囲で結合
在中に含有されることが好ましく、より好ましくは、1
-6〜10-2mol/gである。
Further, a polar functional group may be introduced into all of these binders for the purpose of improving the dispersibility of the pigment component. The polar functional group, -SO 3 M, -OSO 3
M, -COOM, P = O (OM) 2 and the like. Here, M is a hydrogen atom or an alkali metal such as lithium, potassium, and sodium. Also, -NR1R2,
-NR1R2R3 + X - side chain amine having terminal groups,
Alternatively, a main chain amine represented by> NR1R2 + X can be used. Here, R1, R2, and R3 represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group, and X - is a halogen element ion such as fluorine, chlorine, bromine, and iodine, an inorganic ion, and an organic ion. Further, as the polar functional group, -OH,
—SH, —CN, an epoxy group and the like. These polar functional groups are preferably contained in the bond in the range of 10 -8 to 10 -1 mol / g, more preferably 1 to 10 -1 mol / g.
0 -6 to 10 -2 mol / g.

【0039】そして、上述した結合材は、1種単独で用
いても良く、また、複数種を組み合わせて用いても良
い。
The above-mentioned binders may be used alone or in combination of two or more.

【0040】上述した磁性粉末や結合材は、溶媒中に分
散されて磁性塗料とされるが、この溶媒としては、アセ
トン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、
ジイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶
剤、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノー
ル、イソプロパノール等のアルコール系溶剤、酢酸メチ
ル、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、乳酸エチ
ル、エチレングリコールアセテート等のエステル系溶
剤、ジエチレングリコールジメチルエーテル、2−エト
キシエタノール、テトラヒドロフラン、ジオキサン等の
エーテル系溶媒、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳
香族炭化水素系溶剤、メチレンクロライド、エチレンク
ロライド、四塩化炭素、クロロホルム、クロロベンゼン
等のハロゲン化炭化水素系溶媒或いは水等が挙げられ
る。
The magnetic powder and the binder described above are dispersed in a solvent to form a magnetic coating material. Examples of the solvent include acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and the like.
Ketone solvents such as diisobutyl ketone and cyclohexanone; alcohol solvents such as methanol, ethanol, propanol, butanol and isopropanol; ester solvents such as methyl acetate, ethyl acetate, butyl acetate, propyl acetate, ethyl lactate and ethylene glycol acetate; diethylene glycol Ether solvents such as dimethyl ether, 2-ethoxyethanol, tetrahydrofuran and dioxane; aromatic hydrocarbon solvents such as benzene, toluene and xylene; and halogenated hydrocarbon solvents such as methylene chloride, ethylene chloride, carbon tetrachloride, chloroform and chlorobenzene. Solvents, water and the like can be mentioned.

【0041】なお、磁性塗料中には必要に応じて潤滑
剤、研磨材、硬化剤、分散剤、帯電防止剤、防錆剤等が
添加されても良い。これらは、何れも従来公知の材料を
用いることができ、特に限定されるものではない。
Incidentally, a lubricant, an abrasive, a hardener, a dispersant, an antistatic agent, a rust inhibitor and the like may be added to the magnetic paint as needed. Any of these can be made of conventionally known materials, and is not particularly limited.

【0042】研磨剤としては、酸化アルミニウム(α、
β、γ)、炭化珪素、酸化クロム、酸化鉄、コランダ
ム、ダイヤモンド、窒化珪素、炭化チタン、ルチルやア
ナターゼ等の酸化チタン、ガーネット、エメリー、窒化
ホウ素等が挙げられる。
As an abrasive, aluminum oxide (α,
β, γ), silicon carbide, chromium oxide, iron oxide, corundum, diamond, silicon nitride, titanium carbide, titanium oxide such as rutile and anatase, garnet, emery, boron nitride and the like.

【0043】研磨剤は、モース硬度が4以上であること
が好ましく、より好ましくは、5以上である。また、比
重が2〜6であることが好ましく、より好ましくは3〜
5である。また、平均粒径は、0.5μm以下であるこ
とが好ましく、より好ましくは、0.3μm以下であ
る。そして、研磨剤の添加量は、磁性粉末100重量部
に対して20重量部以下であることが好ましく、より好
ましくは10重量部以下である。
The abrasive preferably has a Mohs hardness of 4 or more, more preferably 5 or more. The specific gravity is preferably 2 to 6, more preferably 3 to 6.
5 Further, the average particle size is preferably 0.5 μm or less, more preferably 0.3 μm or less. The amount of the abrasive added is preferably not more than 20 parts by weight, more preferably not more than 10 parts by weight, based on 100 parts by weight of the magnetic powder.

【0044】帯電防止剤としては、カーボンブラックを
好適に用いることができる。そして、帯電防止剤を添加
することにより、塗膜強度を向上させる効果も得ること
ができる。
As the antistatic agent, carbon black can be suitably used. By adding an antistatic agent, an effect of improving the strength of the coating film can be obtained.

【0045】分散剤としては、各種界面活性剤或いは各
種カップリング剤を用いることができる。
As the dispersant, various surfactants or various coupling agents can be used.

【0046】硬化剤としては、トルエンジイソシアネー
ト、ジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレ
ンジイソシアネート等のアルキレンジイソシアネート、
キシレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネー
ト、イソホロンジイソシアネート等の2官能イソシアネ
ート化合物、或いは、これらジイソシアネートの重合体
や多価アルコールとの反応物が挙げられる。そして、硬
化剤の添加量は、結合剤100重量部に対して5〜80
重量部であることが好ましく、より好ましくは10〜5
0重量部である。防錆剤としては、従来公知の材料を用
いることができ、例えばフェノール類、ナフトール類、
キノン類、窒素原子を含む複素環化合物、硫黄原子を含
む複素環化合物等を用いることができる。
Examples of the curing agent include alkylene diisocyanates such as toluene diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, and hexamethylene diisocyanate;
Examples thereof include bifunctional isocyanate compounds such as xylene diisocyanate, naphthalene diisocyanate, and isophorone diisocyanate, or a polymer of these diisocyanates and a reaction product thereof with a polyhydric alcohol. The amount of the curing agent added is 5 to 80 parts per 100 parts by weight of the binder.
Parts by weight, more preferably 10 to 5 parts by weight.
0 parts by weight. As the rust inhibitor, conventionally known materials can be used, for example, phenols, naphthols,
Quinones, heterocyclic compounds containing a nitrogen atom, heterocyclic compounds containing a sulfur atom, and the like can be used.

【0047】磁性塗料は、上述したような材料を混練工
程、混合工程、分散工程を経て、塗料化される。混練装
置及び分散装置としては、ロールミル、ボールミル、サ
ンドミル、アジター、ニーダー、エクストルーダー、ホ
モジナイザー、超音波分散機等を用いることができる。
The magnetic coating material is formed into a coating material through the above-described material kneading step, mixing step, and dispersion step. As a kneading device and a dispersing device, a roll mill, a ball mill, a sand mill, an agitator, a kneader, an extruder, a homogenizer, an ultrasonic disperser, and the like can be used.

【0048】そして、このようにして調製された磁性塗
料を、非磁性支持体2上に吹き付ける、或いはロール塗
布する等の従来公知の手法により塗布し、乾燥すること
で金属磁性膜3が形成される。なお、金属磁性膜3形成
後、カレンダー装置により、金属磁性膜3に対して表面
平滑化処理を施しても良い。
The magnetic coating material thus prepared is applied to the non-magnetic support 2 by a conventionally known method such as spraying or roll application, and dried to form the metal magnetic film 3. You. After the metal magnetic film 3 is formed, the surface of the metal magnetic film 3 may be smoothed by a calender.

【0049】ここで、金属磁性膜3は、乾燥時の厚さが
0.1〜50μmであることが好ましく、より好ましく
は1.0〜30μmである。また、結合剤と磁性粉末と
の混合比は、結合剤1重量部に対して、磁性粉末1〜1
0重量部であることが好ましく、より好ましくは3〜9
重量部である。結合剤の量が多い場合には金属磁性膜3
における磁性粉末の占める割合が相対的に小さくなり、
出力が低下する。また、ドライブ上において磁気ヘッド
や各種摺動部材に対して繰り返し摺動したとき、金属磁
性膜3に塑性流動が生じ易く、磁気テープの耐久性が低
下する。結合剤の量が少ない場合には、金属磁性膜3が
脆くなり、磁気テープの耐久性が低下する。
Here, the metal magnetic film 3 preferably has a dry thickness of 0.1 to 50 μm, more preferably 1.0 to 30 μm. The mixing ratio of the binder and the magnetic powder was such that the magnetic powder was 1 to 1 part by weight with respect to 1 part by weight of the binder.
0 parts by weight, more preferably 3 to 9 parts by weight.
Parts by weight. When the amount of the binder is large, the metal magnetic film 3
The proportion of the magnetic powder in becomes relatively small,
Output drops. Further, when the magnetic head and the various sliding members are repeatedly slid on the drive, plastic flow easily occurs in the metal magnetic film 3, and the durability of the magnetic tape is reduced. If the amount of the binder is small, the metal magnetic film 3 becomes brittle, and the durability of the magnetic tape decreases.

【0050】また、磁気記録媒体1が、薄膜型磁気記録
媒体である場合には、金属磁性膜3としては、Fe、C
o、Ni等の金属やCo−Ni系合金、Co−Pt系合
金、Co−Pt−Ni系合金、Fe−Co系合金、Fe
−Ni系合金、Fe−Co−Ni系合金、Fe−Ni−
B系合金、Fe−Co−B系合金、Fe−Co−Ni−
B系合金等からなる面内磁化記録金属磁性膜やCo−C
r系合金膜を挙げることができる。
When the magnetic recording medium 1 is a thin film type magnetic recording medium, the metal magnetic film 3 may be made of Fe, C
o, Ni and other metals, Co-Ni-based alloys, Co-Pt-based alloys, Co-Pt-Ni-based alloys, Fe-Co-based alloys, Fe
-Ni alloy, Fe-Co-Ni alloy, Fe-Ni-
B-based alloy, Fe-Co-B-based alloy, Fe-Co-Ni-
In-plane magnetization recording metal magnetic film made of B-based alloy or Co-C
An r-based alloy film can be used.

【0051】また、金属磁性膜3を成膜する方法として
は、鍍金やスパッタリング、真空蒸着等の物理蒸着法
(PVD)等を用いることができ、金属磁性膜3は、連
続膜として形成される。
As a method for forming the metal magnetic film 3, a physical vapor deposition method (PVD) such as plating, sputtering, or vacuum vapor deposition can be used. The metal magnetic film 3 is formed as a continuous film. .

【0052】例えば、金属磁性膜3は、図2に示すよう
な連続巻き取り式の真空蒸着装置等を用いて形成するこ
とができる。
For example, the metal magnetic film 3 can be formed by using a continuous winding type vacuum evaporation apparatus as shown in FIG.

【0053】この連続巻き取り式蒸着装置11は、いわ
ゆる斜方蒸着用として構成され、内部が例えば約10-3
(Pa)程度の真空状態とされた真空室12内に、例え
ば−20℃程度に冷却され、図中の反時計回り方向(矢
印A方向)に回転する冷却キャン13と対向するように
金属磁性膜3用の蒸着源14とが配置されている。
The continuous winding type vapor deposition apparatus 11 is configured for so-called oblique vapor deposition, and the inside thereof is, for example, about 10 -3.
In the vacuum chamber 12 in a vacuum state of about (Pa), the metal magnet is cooled to, for example, about −20 ° C. and opposed to the cooling can 13 rotating in the counterclockwise direction (direction of arrow A) in the figure. An evaporation source 14 for the film 3 is provided.

【0054】蒸着源14は坩堝等の容器にCo等の強磁
性金属材料が収容されたものであり、この蒸着源14
(強磁性金属材料)に対し、電子ビーム発生源15から
電子ビーム16を加速照射して強磁性金属材料を加熱、
蒸発させ、これを図中の反時計回り方向に回転する供給
ロール18から図中の矢印B方向に繰り出され、冷却キ
ャン13の周面に沿って走行する非磁性支持体2上に付
着(蒸着)させることによって金属磁性膜3を形成す
る。そして、金属磁性膜3が形成された非磁性支持体2
は、巻き取りロール19に巻き取られる。
The evaporation source 14 is a container such as a crucible containing a ferromagnetic metal material such as Co.
(Ferromagnetic metal material) is heated with an electron beam 16 accelerated from an electron beam source 15 to heat the ferromagnetic metal material.
It is evaporated in the direction of arrow B in the figure from the supply roll 18 rotating in the counterclockwise direction in the figure and adheres to the non-magnetic support 2 running along the peripheral surface of the cooling can 13 (evaporation). ) To form the metal magnetic film 3. Then, the nonmagnetic support 2 on which the metal magnetic film 3 is formed
Is taken up by a take-up roll 19.

【0055】このとき、蒸着源14と冷却キャン13と
の間には防着板20を設け、この防着板20にシャッタ
21を位置調整可能に設けて、非磁性支持体2に対して
所定の角度で入射する蒸着粒子のみを通過させる。こう
して斜め蒸着法によって金属磁性膜3が形成されるよう
になされている。
At this time, a deposition-preventing plate 20 is provided between the vapor deposition source 14 and the cooling can 13, and a shutter 21 is provided on the deposition-preventing plate 20 so that the position of the shutter 21 can be adjusted. Only vapor particles incident at an angle of. Thus, the metal magnetic film 3 is formed by the oblique deposition method.

【0056】なお、供給ロール18と冷却キャン13と
の間、及び冷却キャン13と巻き取りロール19との間
にはそれぞれガイドローラ22、23が配置され、供給
ロール18から冷却キャン13、及びこの冷却キャン1
3から巻き取りロール19に従って走行する非磁性支持
体2に所定のテンションをかけ、非磁性支持体2が円滑
に走行するようになされている。
Note that guide rollers 22 and 23 are disposed between the supply roll 18 and the cooling can 13 and between the cooling can 13 and the take-up roll 19, respectively. Cooling can 1
A predetermined tension is applied to the non-magnetic support 2 running from 3 to the take-up roll 19 so that the non-magnetic support 2 runs smoothly.

【0057】さらに、このような金属磁性膜3の蒸着に
際し、図示しない酸素ガス導入口を介して非磁性支持体
2の表面に酸素ガスが供給され、これによって金属磁性
膜3の磁気特性、耐久性及び耐候性の向上が図られてい
る。また、蒸着源14を加熱するためには、上述のよう
な電子ビームによる加熱手段の他、例えば、抵抗加熱手
段、高周波加熱手段、レーザ加熱手段等の公知の手段を
使用できる。
Further, during the deposition of the metal magnetic film 3, oxygen gas is supplied to the surface of the non-magnetic support 2 through an oxygen gas inlet (not shown). The improvement of the property and weather resistance is aimed at. In addition, in order to heat the evaporation source 14, in addition to the above-described heating means using an electron beam, known means such as a resistance heating means, a high-frequency heating means, and a laser heating means can be used.

【0058】また、金属磁性膜3が面内磁化記録金属磁
性膜である場合には、予め非磁性支持体1上にBi、S
b、Pb、Sn、Ga、In、Ge、Si、Tl等の低
融点非磁性材料の下地層を形成しておき、金属磁性材料
を垂直方向から蒸着或いはスパッタリングし、金属磁性
膜3中にこれら低融点非磁性材料を拡散させて配向性を
解消することにより面内等方性を確保するとともに、抗
磁性を向上するようにしても良い。
When the metal magnetic film 3 is an in-plane magnetization recording metal magnetic film, Bi, S
A base layer of a low melting point non-magnetic material such as b, Pb, Sn, Ga, In, Ge, Si, Tl is formed in advance, and a metal magnetic material is deposited or sputtered from a vertical direction, and these are formed in the metal magnetic film 3. The in-plane isotropy may be secured by improving the coercivity by dispersing the low-melting non-magnetic material to eliminate the orientation.

【0059】保護膜4 保護膜4は、金属磁性膜3の摩耗を防止して摺動耐久性
を付与するとともに外部の湿気などから金属磁性膜3を
保護するために、金属磁性膜3上に設けられる。また、
保護膜4の材料としては、カーボンを好適に用いること
ができる。また、硬度の高いダイヤモンドライクカーボ
ン(DLC)、窒化カーボン、SiO2等を用いても良
い。そして、カーボン保護膜の膜厚は、スペーシングロ
スを小さくし、且つ、金属磁性膜4の摩耗防止の効果を
得ることができるように、2〜100nmであることが
好ましく、より好ましくは5〜30nmである。
Protective Film 4 The protective film 4 is provided on the metal magnetic film 3 to prevent abrasion of the metal magnetic film 3 and to provide sliding durability and to protect the metal magnetic film 3 from external moisture. Provided. Also,
As a material of the protective film 4, carbon can be suitably used. Alternatively, diamond-like carbon (DLC), carbon nitride, SiO 2 or the like having high hardness may be used. The thickness of the carbon protective film is preferably 2 to 100 nm, more preferably 5 to 100 nm, so as to reduce the spacing loss and obtain the effect of preventing the metal magnetic film 4 from being worn. 30 nm.

【0060】保護膜4を形成する手法としては、スパッ
タリングが一般的であるが、特に限定されるものではな
く、イオンビームプレーティング法、CVD法等の公知
の薄膜形成方法を用いることができる。
The method of forming the protective film 4 is generally sputtering, but is not particularly limited, and a known thin film forming method such as an ion beam plating method or a CVD method can be used.

【0061】保護膜4は、例えばカーボン保護膜を形成
する場合、図3に示すようなマグネトロンスパッタ装置
30等を用いて形成することができる。
For example, when a carbon protective film is formed, the protective film 4 can be formed using a magnetron sputtering apparatus 30 as shown in FIG.

【0062】このマグネトロンスパッタ装置30は、外
側がチャンバ31にて覆われている。そして、チャンバ
31内は、真空ポンプ32にて約10-4(Pa)まで減
圧された後、真空ポンプ32側へ廃棄するバルブ33の
角度を全開状態から10度まで絞ることにより排気速度
を落とし、ガス導入管34からArガスを導入して、真
空度が約0.8Paとされる。
The outside of the magnetron sputtering apparatus 30 is covered with a chamber 31. After the pressure in the chamber 31 is reduced to about 10 -4 (Pa) by the vacuum pump 32, the exhaust speed is reduced by reducing the angle of the valve 33 to be discarded to the vacuum pump 32 side from the fully opened state to 10 degrees. Ar gas is introduced from the gas introduction pipe 34, and the degree of vacuum is set to about 0.8 Pa.

【0063】マグネトロンスパッタ装置30は、このチ
ャンバ31内に、例えば−40℃程度に冷却され、図中
の反時計回り方向(矢印A方向)に回転する冷却キャン
35と、この冷却キャン35と対向配置されるターゲッ
ト36とがそれぞれ設けられている。
The magnetron sputtering apparatus 30 has a cooling can 35 which is cooled to about −40 ° C. and rotates in a counterclockwise direction (direction of arrow A) in FIG. A target 36 to be arranged is provided.

【0064】ターゲット36は、カーボン保護膜の材料
となるものであり、カソード電極を構成するバッキング
プレート37に支持されている。そして、バッキングプ
レート37の裏側には、磁場を形成するマグネット38
が配設されている。このマグネトロンスパッタ装置30
によりカーボン保護膜を形成する際は、ガス導入管34
からArガスを導入するとともに、冷却キャン35をア
ノード、バッキングプレート37をカソードとして約3
000(V)の電圧を印加し、1.4Aの電流が流れる
状態を保つようにする。
The target 36 is a material for the carbon protective film, and is supported by a backing plate 37 constituting a cathode electrode. On the back side of the backing plate 37, a magnet 38 for forming a magnetic field is provided.
Are arranged. This magnetron sputtering apparatus 30
When the carbon protective film is formed by the gas introduction pipe 34,
From the cooling can 35 as an anode and the backing plate 37 as a cathode.
A voltage of 000 (V) is applied so that a current of 1.4 A flows.

【0065】この電圧の印加により、Arガスがプラズ
マ化し、電離されたイオンがターゲット36に衝突する
ことにより、ターゲット36の原子がはじき出される。
このとき、バッキングプレート37の裏側にはマグネッ
ト38が配設されており、ターゲット36の近傍に磁場
が形成されるので、電離されたイオンはターゲット36
の近傍に集中されることになる。
By the application of this voltage, Ar gas is turned into plasma, and the ions of the target 36 are repelled by the ionized ions colliding with the target 36.
At this time, a magnet 38 is provided on the back side of the backing plate 37, and a magnetic field is formed near the target 36.
Will be concentrated near.

【0066】ターゲット36からはじき出された原子
は、図中の反時計回り方向に回転する供給ロール39か
ら図中の矢印B方向に繰り出され、冷却キャン35の周
面に沿って走行する金属磁性膜3が成膜された非磁性支
持体2上に付着し、カーボン保護膜が形成される。そし
て、カーボン保護膜が形成された非磁性支持体2は、巻
き取りロール41に巻き取られる。
The atoms ejected from the target 36 are fed in the direction of arrow B in the figure from the supply roll 39 rotating counterclockwise in the figure, and travel along the peripheral surface of the cooling can 35. 3 adheres on the nonmagnetic support 2 on which the film is formed, and a carbon protective film is formed. Then, the non-magnetic support 2 on which the carbon protective film is formed is taken up by a take-up roll 41.

【0067】潤滑剤層5 潤滑剤層5を形成する潤滑剤としては、従来公知の材料
を用いることができる。具体的には、例えば炭化水素系
材料では、炭素数10〜22の脂肪酸及び炭素数10〜
22の脂肪酸と炭素数2〜26のアルコールとからなる
脂肪酸エステルが代表的なものとして挙げられる。ま
た、フッ素含有系材料では、パーフルオロポリエーテル
(PFPE)系の含フッ素高分子が代表的なものとして
挙げられる。また、低分子炭化フッ素系材料、或いは、
一部炭化水素材料等を用いることもできる。
Lubricant Layer 5 As a lubricant for forming the lubricant layer 5, a conventionally known material can be used. Specifically, for example, in a hydrocarbon material, a fatty acid having 10 to 22 carbon atoms and a fatty acid having 10 to 22 carbon atoms are used.
A typical example is a fatty acid ester comprising a 22 fatty acid and an alcohol having 2 to 26 carbon atoms. In addition, as the fluorine-containing material, a perfluoropolyether (PFPE) -based fluorine-containing polymer is representative. In addition, low molecular fluorine-based materials, or
Some hydrocarbon materials and the like can also be used.

【0068】また、潤滑剤層5は、例えばディッピング
法、スピンコート法等、従来公知の手法により形成する
ことができる。
The lubricant layer 5 can be formed by a conventionally known method such as a dipping method and a spin coating method.

【0069】ここで、潤滑剤の塗布量としては、0.5
〜100mg/m2の範囲とすることが好ましく、1〜
20mg/m2の範囲とすることがより好ましい。
Here, the amount of the lubricant to be applied is 0.5
-100 mg / m 2 , preferably 1-100 mg / m 2 .
More preferably, it is in the range of 20 mg / m 2 .

【0070】そして、潤滑剤層5では、磁気記録媒体上
における潤滑剤の分布状態が分析され、潤滑剤の最適存
在量が規定される。磁気記録媒体上における潤滑剤の分
布状態及び最適存在量は、以下に述べる磁気記録媒体の
分析方法を用いて分析、規定することができる。
In the lubricant layer 5, the distribution of the lubricant on the magnetic recording medium is analyzed, and the optimum amount of the lubricant is determined. The distribution state and the optimum abundance of the lubricant on the magnetic recording medium can be analyzed and specified by using the magnetic recording medium analysis method described below.

【0071】ここで用いる磁気記録媒体の分析方法は、
試料表面すなわち磁気記録媒体1の潤滑剤層5に微細な
探針を接触させ、当該探針を引き離すときの潤滑剤層5
と探針との間に生じる付着力を測定するものである。そ
して、試料表面上の異なる複数の位置において付着力を
測定し、その測定値を統計処理して標準偏差を求めるこ
とを特徴とするものである。
The analysis method of the magnetic recording medium used here is as follows.
A fine probe is brought into contact with the sample surface, that is, the lubricant layer 5 of the magnetic recording medium 1, and the lubricant layer 5 is separated when the probe is separated.
It measures the adhesive force generated between the probe and the probe. Then, the adhesive force is measured at a plurality of different positions on the sample surface, and the measured value is statistically processed to obtain a standard deviation.

【0072】ここで、本発明における付着力とは、微細
な探針と高感度な検出器を有する測定装置により得られ
る潤滑剤層と探針との間に働く力と定義する。例えば、
原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope、以下、
AFMと呼ぶ)により測定した場合には、付着力は、磁
気記録媒体1上における探針の高さ方向における移動距
離を横軸にとり、各位置でカンチレバーが探針に加えて
いる力を縦軸に示したフォースカーブ図4におけるDか
らEまでの値と定義される。そして、付着力の標準偏差
を求め、さらに付着力の平均値で割ることにより無次元
化した値を本発明における付着力の標準偏差と定義す
る。そして、付着力の測定は、例えば図5に示すように
磁気記録媒体1上に配したAFMカンチレバー51を、
図6に示すように磁気記録媒体1表面に形成された潤滑
剤層に接触させる。その後、図7に示すようにAFMカ
ンチレバー51を潤滑剤層から引き離し、AFMにより
潤滑剤層とAFMカンチレバー51との間に生じる付着
力を測定する。
Here, the adhesive force in the present invention is defined as a force acting between the lubricant layer and the probe obtained by a measuring device having a fine probe and a highly sensitive detector. For example,
Atomic Force Microscope
When measured by AFM), the abscissa indicates the adhesion force of the probe on the magnetic recording medium 1 in the height direction, and the ordinate indicates the force applied to the probe by the cantilever at each position. Are defined as values from D to E in the force curve shown in FIG. Then, the standard deviation of the adhesive force is obtained, and the value obtained by dividing the standard deviation by the average value of the adhesive force is defined as the standard deviation of the adhesive force in the present invention. Then, the measurement of the adhesive force is performed by, for example, using an AFM cantilever 51 disposed on the magnetic recording medium 1 as shown in FIG.
As shown in FIG. 6, the magnetic recording medium 1 is brought into contact with a lubricant layer formed on the surface. Thereafter, as shown in FIG. 7, the AFM cantilever 51 is separated from the lubricant layer, and the adhesive force generated between the lubricant layer and the AFM cantilever 51 is measured by AFM.

【0073】なお、付着力を測定する手法は、AFMに
限定されることはなく、上述した付着力を高精度に測定
できるものであれば、何れのものも用いることができ
る。
The method for measuring the adhesive force is not limited to the AFM, and any method can be used as long as the adhesive force can be measured with high accuracy.

【0074】上記において得られる付着力は、磁気記録
媒体1上に存在する潤滑剤の有無によりその絶対値が変
化し、潤滑剤量が多い場合には、形成されるメニスカス
力が大きくなるため付着力も大きくなる。一方、潤滑剤
が存在しない、或いは、潤滑剤量が少ない場合には、メ
ニスカス力が小さくなるため付着力も小さくなる。した
がって、磁気記録媒体における潤滑剤の存在量により付
着力に差が生じる。また、潤滑剤の分布状態、すなわち
潤滑剤の被覆具合により場所による付着力のばらつきに
差が生じる。
The absolute value of the adhesive force obtained as described above changes depending on the presence or absence of the lubricant present on the magnetic recording medium 1. When the amount of the lubricant is large, the meniscus force to be formed becomes large. Strength increases. On the other hand, when no lubricant is present or when the amount of the lubricant is small, the meniscus force is reduced and the adhesion is also reduced. Therefore, the adhesive force differs depending on the amount of the lubricant in the magnetic recording medium. In addition, the distribution of the lubricant, that is, the degree of coating of the lubricant causes a difference in the variation in the adhesive force depending on the location.

【0075】また、付着力の絶対値は、潤滑剤の粘性等
の影響を受ける。そのため、潤滑剤の材質が異なる場合
には、付着力の絶対値は変化する。したがって、付着力
の絶対値では、潤滑剤の分布状態を評価することはでき
ない。
The absolute value of the adhesive force is affected by the viscosity of the lubricant. Therefore, when the material of the lubricant is different, the absolute value of the adhesive force changes. Therefore, the distribution of the lubricant cannot be evaluated based on the absolute value of the adhesive force.

【0076】また、付着力は、磁気記録媒体表面上に存
在する表面吸着水の影響を受けるため、同一材料、或い
は同一環境下においてその絶対値の大小を比較すること
ができる。例えば、同一サンプルを異なる湿度環境下に
保持した場合、磁気記録媒体表面に表面吸着水が吸着す
るため、高湿環境下に保持されたサンプルでは高い付着
力を示すこととなる。
Further, since the adhesive force is affected by surface adsorbed water existing on the surface of the magnetic recording medium, the magnitude of the absolute value can be compared under the same material or under the same environment. For example, when the same sample is held in different humidity environments, the surface adsorbed water is adsorbed on the surface of the magnetic recording medium, so that the sample held in a high humidity environment shows a high adhesive force.

【0077】一方、付着力のばらつきは潤滑剤の材質に
は依存せず、潤滑剤の分布状態、すなわち潤滑剤の被覆
具合にのみ依存する。そのため、付着力のばらつきを評
価することにより、潤滑剤の材質にかかわらず、潤滑剤
の分布状態、被覆具合を直接的に把握することができ
る。例えば、標準偏差の異なるサンプルがある場合、よ
り小さな値を示すサンプルが潤滑剤の被覆率の高いサン
プルであるといえる。
On the other hand, the variation in the adhesive force does not depend on the material of the lubricant, but only on the distribution state of the lubricant, that is, the degree of covering of the lubricant. Therefore, by evaluating the variation in the adhesive force, the distribution state of the lubricant and the degree of covering can be directly grasped regardless of the material of the lubricant. For example, when there are samples having different standard deviations, a sample showing a smaller value can be said to be a sample having a higher lubricant coverage.

【0078】また、付着力のばらつきと磁気記録媒体の
初期摩擦係数との間には相関関係があり、使用する潤滑
剤の材質によらず、付着力のばらつきを評価することに
より磁気記録媒体における潤滑剤の最適存在量を規定す
ることができる。
Further, there is a correlation between the variation in the adhesive force and the initial friction coefficient of the magnetic recording medium, and the variation in the adhesive force is evaluated by evaluating the variation in the adhesive force regardless of the material of the lubricant used. An optimum amount of lubricant can be defined.

【0079】また、上述した磁気記録媒体の分析方法に
より分析可能な磁気記録媒体としては、非磁性支持体上
に金属薄膜と、該金属薄膜上にカーボン保護膜、有機性
潤滑剤を含有する磁性層とが形成された薄膜型磁気記録
媒体が挙げられ、具体的には薄膜金属型磁気記録テー
プ、いわゆる蒸着テープやフロッピー(登録商標)ディ
スク或いはハードディスク等が挙げられる。この磁気記
録媒体の分析方法は、僅かな付着力の差を検出して潤滑
剤の有無を調べるため、潤滑剤以外の下地は同一組成、
同一材料のものを用いることが好ましい。
The magnetic recording medium which can be analyzed by the above-described magnetic recording medium analysis method includes a metal thin film on a non-magnetic support, a carbon protective film on the metal thin film, and a magnetic recording medium containing an organic lubricant. And a thin-film magnetic recording medium having a layer formed thereon. Specific examples thereof include a thin-film metal magnetic recording tape, a so-called vapor-deposited tape, a floppy (registered trademark) disk, and a hard disk. In this method of analyzing a magnetic recording medium, a slight difference in adhesion is detected to check for the presence of a lubricant.
It is preferable to use the same material.

【0080】そして、この磁気記録媒体の分析方法によ
り分析可能なその他の磁気記録媒体として、塗布型磁気
記録媒体等が挙げられる。ただし、表面材質の均一性と
いう観点からは、この磁気記録媒体の分析方法は、薄膜
型磁気記録媒体に適用した場合に、その効果を大いに発
揮するものである。
Further, as other magnetic recording media which can be analyzed by the method for analyzing a magnetic recording medium, there are a coating type magnetic recording medium and the like. However, from the viewpoint of the uniformity of the surface material, this method of analyzing a magnetic recording medium is very effective when applied to a thin-film magnetic recording medium.

【0081】また、測定対象物、すなわち磁気記録媒体
の表面粗度(Ra)は、5nm以下であることが好まし
い。これは、付着力測定の誤差を低減させ、高精度での
付着力測定を行うためである。磁気記録媒体の表面粗度
が5nmよりも粗い場合においても付着力の測定は可能
であるが、磁気記録媒体の表面の凹凸が大きすぎると高
精度での付着力測定ができなくなる虞がある。すなわ
ち、この磁気記録媒体の分析方法では、極僅かな付着力
の差を検出するため、磁気記録媒体の表面性等の測定精
度の低下につながる虞のある要因は極力除去することが
好ましい。したがって、磁気記録媒体の表面粗度(R
a)を、5nm以下とすることで、高精度での付着力測
定が可能となる。
The surface roughness (Ra) of the measurement object, that is, the magnetic recording medium, is preferably 5 nm or less. This is to reduce the error of the adhesive force measurement and perform the adhesive force measurement with high accuracy. The adhesion can be measured even when the surface roughness of the magnetic recording medium is rougher than 5 nm. However, if the roughness of the surface of the magnetic recording medium is too large, the adhesion may not be measured with high accuracy. That is, in this magnetic recording medium analysis method, it is preferable to remove as little as possible a factor that may lead to a decrease in measurement accuracy such as the surface properties of the magnetic recording medium in order to detect a very small difference in adhesion. Therefore, the surface roughness (R
By setting a) to 5 nm or less, it is possible to measure the adhesive force with high accuracy.

【0082】したがって、この磁気記録媒体の分析方法
においては、上述したように例えばAFM等の装置によ
り付着力を測定し、付着力の標準偏差を算出する。そし
て、付着力のばらつきを上述した付着力の標準偏差によ
り評価する。標準偏差が大きいということは、付着力の
ばらつきが大きいということを示しており、すなわち潤
滑剤が不均一に分布していることを示している。この場
合には、磁気記録媒体と磁気ヘッド等の摺動部材との間
に生じるメニスカス力が小さく抑えられ、磁気記録媒体
と磁気ヘッド等の摺動部材との間の摩擦係数が小さくな
る。一方、標準偏差が小さいということは、付着力のば
らつきが小さいということを示しており、すなわち潤滑
剤が均一に分布していることを示している。この場合に
は、磁気記録媒体と磁気ヘッド等の摺動部材との間のメ
ニスカス力が大きくなり、磁気記録媒体と磁気ヘッド等
の摺動部材との間の摩擦係数が大きくなる。したがっ
て、付着力の標準偏差を評価することにより、磁気記録
媒体上の潤滑剤の分布状態を把握することができ、さら
に付着力の標準偏差を規定することにより、磁気記録媒
体と磁気ヘッドとの間の摩擦係数を制御することが可能
となる。
Therefore, in this method of analyzing a magnetic recording medium, as described above, the adhesive force is measured by, for example, an AFM or the like, and the standard deviation of the adhesive force is calculated. Then, the variation in the adhesive force is evaluated based on the standard deviation of the adhesive force. A large standard deviation indicates that the adhesion varies widely, that is, that the lubricant is unevenly distributed. In this case, the meniscus force generated between the magnetic recording medium and a sliding member such as a magnetic head is suppressed to be small, and the coefficient of friction between the magnetic recording medium and the sliding member such as a magnetic head is reduced. On the other hand, a small standard deviation indicates that the dispersion of the adhesive force is small, that is, that the lubricant is uniformly distributed. In this case, the meniscus force between the magnetic recording medium and a sliding member such as a magnetic head increases, and the coefficient of friction between the magnetic recording medium and the sliding member such as a magnetic head increases. Therefore, by evaluating the standard deviation of the adhesive force, it is possible to grasp the distribution state of the lubricant on the magnetic recording medium. Further, by defining the standard deviation of the adhesive force, the difference between the magnetic recording medium and the magnetic head is determined. It is possible to control the friction coefficient between them.

【0083】また、この磁気記録媒体の分析方法は、水
中で行っても良い。上述した磁気記録媒体の分析方法で
は、通常の場合、大気中において付着力の測定が行われ
る。しかしながら、この場合には、磁気記録媒体上に表
面吸着水が存在し、この表面吸着水が付着力の増加を引
き起こし、潤滑剤に起因する付着力との識別が困難にな
る場合がある。これは、特に大気の湿度が高い場合に顕
著になる傾向がある。このような場合、付着力の測定を
水中において行うことにより、上述した表面吸着水の影
響を完全に無視することができるため、微量の潤滑剤の
みを高精度で検出することが可能となる。すなわち、付
着力の測定を水中において行うことにより、付着力の測
定をさらに高精度で行うことが可能となり、より信頼性
の高い付着力の測定が可能となる。図9に、水中におけ
る付着力測定の状態を示した模式図を示す。水中におい
て付着力を測定する場合には、図9に示すように、試料
となる磁気記録媒体1を、潤滑剤52が水面側に位置す
るように水53を満たした容器54中に配する。そし
て、付着力の測定装置の微細な探針、例えばAFMカン
チレバー51を水中の磁気記録媒体1表面、すなわち潤
滑剤層表面に接触させ、さらに引き離す。以上の操作を
行うことにより大気中において測定する場合と同様に付
着力を測定することができる。
The method of analyzing a magnetic recording medium may be performed in water. In the above-described method of analyzing a magnetic recording medium, the adhesive force is usually measured in the air. However, in this case, water adsorbed on the surface exists on the magnetic recording medium, and the water adsorbed on the surface causes an increase in the adhesive force, which may make it difficult to distinguish the adhesive force due to the lubricant. This tends to be particularly pronounced when the humidity of the atmosphere is high. In such a case, by performing the measurement of the adhesive force in water, the influence of the above-mentioned surface adsorbed water can be completely ignored, so that only a small amount of the lubricant can be detected with high accuracy. That is, by measuring the adhesive force in water, the adhesive force can be measured with higher accuracy, and the adhesive force can be measured with higher reliability. FIG. 9 is a schematic diagram showing a state of measuring the adhesive force in water. When measuring the adhesive force in water, as shown in FIG. 9, the magnetic recording medium 1 serving as a sample is placed in a container 54 filled with water 53 so that the lubricant 52 is located on the water surface side. Then, a fine probe of the adhesive force measuring device, for example, the AFM cantilever 51 is brought into contact with the surface of the magnetic recording medium 1 in water, that is, the surface of the lubricant layer, and further separated. By performing the above operations, the adhesive force can be measured in the same manner as when measuring in the atmosphere.

【0084】そして、本発明を適用した磁気記録媒体1
は、上述した磁気記録媒体の分析方法により分析した潤
滑剤層と探針との付着力の標準偏差が0.06以上とな
るように形成されることを特徴とするものである。上述
した付着力の標準偏差が0.06未満である場合には、
磁気記録媒体と磁気ヘッド等の摺動部材との間のメニス
カス力が大きくなり、磁気記録媒体と磁気ヘッド等の摺
動部材との間の摩擦係数が大きくなってしまう。その結
果、磁気記録媒体は、良好な摺動性を得ることができ
ず、磁気記録媒体の耐久性も低下してしまう。
Then, the magnetic recording medium 1 to which the present invention is applied
Is characterized by being formed such that the standard deviation of the adhesive force between the lubricant layer and the probe analyzed by the method for analyzing a magnetic recording medium described above is 0.06 or more. When the standard deviation of the adhesive force described above is less than 0.06,
The meniscus force between the magnetic recording medium and a sliding member such as a magnetic head increases, and the coefficient of friction between the magnetic recording medium and a sliding member such as a magnetic head increases. As a result, the magnetic recording medium cannot obtain good slidability, and the durability of the magnetic recording medium also decreases.

【0085】したがって、潤滑剤層と探針との付着力の
標準偏差を0.06以上とすることにより、最適な量の
潤滑剤が磁気記録媒体上に形成されることとなり、磁気
記録媒体と磁気ヘッド等の摺動部材との間の摩擦係数が
低く抑えられる。その結果、磁気記録媒体と摺動部材と
の摺動性が良好となり、磁気記録媒体の耐久性を向上さ
せることができる。ここで、潤滑剤層と探針との付着力
の標準偏差は、潤滑剤層における潤滑剤の濃度、すなわ
ち潤滑剤の塗布濃度を調製することにより適宜所望の値
とすることができる。
Therefore, by setting the standard deviation of the adhesive force between the lubricant layer and the probe to 0.06 or more, an optimal amount of lubricant is formed on the magnetic recording medium, and The coefficient of friction with a sliding member such as a magnetic head is kept low. As a result, the slidability between the magnetic recording medium and the sliding member is improved, and the durability of the magnetic recording medium can be improved. Here, the standard deviation of the adhesive force between the lubricant layer and the probe can be appropriately set to a desired value by adjusting the concentration of the lubricant in the lubricant layer, that is, the application concentration of the lubricant.

【0086】また、スチル耐久性等を必要とするAV用
途、いわゆるヘリカルスキャン方式を用いたAV用に使
用される磁気記録媒体では、同じ場所を磁気ヘッドが繰
り返し摺動するため、磁気ヘッドが貼り付かない範囲で
可能な限り潤滑剤存在量を多くすることが好ましい。そ
して、AV用途の使用される磁気記録媒体の使用環境
は、必ずしも恒温恒湿環境下でなく、例えば、ビデオレ
コーダー等では、種々の環境での使用が予想される。特
に高湿環境下では、磁気記録媒体表面への表面吸着水の
吸着が予想され、この表面吸着水に起因するメニスカス
により磁気記録媒体が磁気ヘッドに貼り付き、磁気ヘッ
ドの走行を妨げるのみならず、磁気記録媒体或いはデッ
キ自体の破損に至る虞もある。このように、高湿環境下
での使用が予想される磁気記録媒体の場合には、磁気記
録媒体における潤滑剤の表面存在量のみならず、表面吸
着水を考慮した磁気記録媒体の表面設計、すなわち潤滑
剤の表面存在量、潤滑剤の分布状態を最適な状態に設定
することが必要である。
In a magnetic recording medium used for AV applications requiring still durability or the like, that is, an AV using the so-called helical scan method, the magnetic head repeatedly slides in the same place. It is preferable to increase the amount of the lubricant present as much as possible without sticking. The environment in which the magnetic recording medium used for AV is used is not necessarily a constant temperature and humidity environment. For example, a video recorder or the like is expected to be used in various environments. Particularly in a high-humidity environment, adsorption of surface adsorbed water to the surface of the magnetic recording medium is expected, and the meniscus caused by the surface adsorbed water causes the magnetic recording medium to stick to the magnetic head, not only hindering the movement of the magnetic head, The magnetic recording medium or the deck itself may be damaged. Thus, in the case of a magnetic recording medium expected to be used in a high humidity environment, not only the surface abundance of the lubricant in the magnetic recording medium, but also the surface design of the magnetic recording medium in consideration of the surface adsorbed water, That is, it is necessary to set the surface abundance of the lubricant and the distribution state of the lubricant to optimal conditions.

【0087】そこで、本発明に係る磁気記録媒体は、薄
膜型磁気記録媒体において、潤滑剤層と探針との付着力
の標準偏差が0.15以下とされることを特徴とするも
のである。薄膜型磁気記録媒体において、潤滑剤層と探
針との付着力の標準偏差が0.15以下とされる潤滑剤
層を形成することにより、薄膜型磁気記録媒体は、高湿
環境下において安定した走行が可能で、ヘリカルスキャ
ン方式を用いたAV用途に好適な磁気記録媒体とされ
る。
Therefore, the magnetic recording medium according to the present invention is characterized in that the standard deviation of the adhesive force between the lubricant layer and the probe is 0.15 or less in the thin film type magnetic recording medium. . By forming a lubricant layer in the thin-film magnetic recording medium in which the standard deviation of the adhesive force between the lubricant layer and the probe is 0.15 or less, the thin-film magnetic recording medium is stable in a high humidity environment. It is a magnetic recording medium suitable for AV applications using the helical scan method, which can run in a suitable manner.

【0088】一方、データの保存、バックアップ等、い
わゆるデータストレージ用に使用される磁気記録媒体で
は、磁気ヘッドが同じ場所を繰り返し摺動することは無
く、且つ磁気記録媒体のシャトル走行が中心となるた
め、必ずしも多量の潤滑剤は必要とされない。逆に、磁
気ヘッドの付着物抑制という観点から、磁気記録媒体に
おける潤滑剤の表面存在量は、AV用途の磁気記録媒体
よりも少ないことが好ましいといえる。
On the other hand, in a magnetic recording medium used for so-called data storage such as data storage and backup, the magnetic head does not repeatedly slide in the same place, and the magnetic recording medium is mainly driven by a shuttle. Therefore, a large amount of lubricant is not necessarily required. Conversely, it can be said that the amount of the lubricant present on the surface of the magnetic recording medium is preferably smaller than that of the magnetic recording medium for AV use, from the viewpoint of suppressing deposits on the magnetic head.

【0089】そこで、本発明に係る磁気記録媒体は、薄
膜型磁気記録媒体において、潤滑剤層と探針との付着力
の標準偏差が0.15〜0.35であるということを特
徴とするものである。薄膜型磁気記録媒体において、潤
滑剤層と探針との付着力の標準偏差が0.15〜0.3
5とされる潤滑剤層を形成することにより、薄膜型磁気
記録媒体は、安定した走行が可能で、データの保存、バ
ックアップ等、いわゆるデータストレージ用の用途に好
適な磁気記録媒体とされる。
Therefore, the magnetic recording medium according to the present invention is characterized in that the standard deviation of the adhesive force between the lubricant layer and the probe is 0.15 to 0.35 in the thin film type magnetic recording medium. Things. In a thin-film magnetic recording medium, the standard deviation of the adhesive force between the lubricant layer and the probe is 0.15 to 0.3.
By forming the lubricant layer designated as No. 5, the thin-film magnetic recording medium can run stably and is a magnetic recording medium suitable for so-called data storage applications such as data storage and backup.

【0090】以上、詳細に説明したが、本発明は上記の
説明に限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱し
ない範囲において、適宜変更可能である。
Although the present invention has been described in detail, the present invention is not limited to the above description, and can be appropriately modified without departing from the gist of the present invention.

【0091】[0091]

【実施例】以下、本発明を適用した薄膜型磁気記録媒体
について説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a thin-film magnetic recording medium to which the present invention is applied will be described.

【0092】〔実験1〕実験1では、サンプル1乃至サ
ンプル12及びサンプル13乃至サンプル18のサンプ
ルテープを作製し、以下に示す特性評価を行った。ま
ず、以下のようにしてサンプル1乃至サンプル12及び
サンプル13乃至サンプル18のサンプルテープを作製
した。
[Experiment 1] In Experiment 1, sample tapes of Samples 1 to 12 and Samples 13 to 18 were prepared, and the following characteristic evaluation was performed. First, sample tapes of samples 1 to 12 and samples 13 to 18 were prepared as follows.

【0093】サンプル1 サンプル1においては、ポリエチレンテレフタレートか
らなる非磁性支持体上に、連続巻き取り式蒸着装置によ
りCoの金属磁性膜を成膜し、次いで、マグネトロンス
パッタリング装置を用いて金属磁性膜上にカーボン保護
膜を成膜した。さらに、非磁性支持体の金属磁性膜4が
成膜された面とは反対側の面にバックコート層を形成
し、最後に、カーボン保護膜上に潤滑剤層を形成して磁
気記録媒体を作製した。
Sample 1 In sample 1, a Co metal magnetic film was formed on a non-magnetic support made of polyethylene terephthalate by a continuous take-up evaporator, and then formed on the metal magnetic film using a magnetron sputtering apparatus. Then, a carbon protective film was formed. Further, a back coat layer is formed on the surface of the non-magnetic support opposite to the surface on which the metal magnetic film 4 is formed, and finally, a lubricant layer is formed on the carbon protective film to form a magnetic recording medium. Produced.

【0094】具体的には、以下のようにして磁気記録媒
体を作製した。
Specifically, a magnetic recording medium was manufactured as follows.

【0095】まず、非磁性支持体として厚み7.0μm
のポリエチレンテレフタレートフィルムを準備した。
First, a nonmagnetic support having a thickness of 7.0 μm was used.
Of polyethylene terephthalate film was prepared.

【0096】次に、図2に示したような連続巻き取り式
の蒸着装置を、その内部が10-3(Pa)程度の真空状
態となるように排気し、上記の非磁性支持体を、この蒸
着装置にセッティングした。そして、連続真空斜め蒸着
法により、微量の酸素存在下において、非磁性支持体の
一主面1a上にCoからなる金属磁性膜を形成した。蒸
着の入射角は、非磁性支持体の法線方向が90〜45度
までであり、非磁性支持体の走行速度が50m/分で、
金属磁性膜の膜厚が180nmとなるように、電子ビー
ムの強さを調節して作製した。
Next, the continuous winding type vapor deposition apparatus as shown in FIG. 2 was evacuated so that the inside thereof became a vacuum state of about 10 −3 (Pa), and the above-mentioned nonmagnetic support was This was set in this vapor deposition apparatus. Then, a metal magnetic film made of Co was formed on one main surface 1a of the nonmagnetic support in the presence of a small amount of oxygen by a continuous vacuum oblique deposition method. The incident angle of vapor deposition is 90 to 45 degrees in the normal direction of the nonmagnetic support, and the traveling speed of the nonmagnetic support is 50 m / min.
It was manufactured by adjusting the intensity of the electron beam so that the thickness of the metal magnetic film became 180 nm.

【0097】次に、図3に示したようなマグネトロンス
パッタリング装置を、その内部が10-4(Pa)程度に
なるまで減圧した後、Arガスを導入し、0.8Pa程
度にした。そして、このマグネトロンスパッタリング装
置に金属磁性膜が形成された非磁性支持体をセッティン
グし、−40℃に冷却した冷却キャン上を5m/分の速
度で走行させて金属磁性膜上に約8nmの膜厚のカーボ
ン保護膜を形成した。
Next, the pressure of the magnetron sputtering apparatus as shown in FIG. 3 was reduced to about 10 −4 (Pa), and then Ar gas was introduced to about 0.8 Pa. Then, the non-magnetic support having the metal magnetic film formed thereon is set in this magnetron sputtering apparatus, and is run at a speed of 5 m / min on a cooling can cooled to −40 ° C. to form a film of about 8 nm on the metal magnetic film. A thick carbon protective film was formed.

【0098】次に、下記の組成に準じてバック塗料を調
製した。 <バック塗料組成> カーボンブラック(旭社製,#50) 100重量部 ポリエステルポリウレタン 100重量部 (日本ポリウレタン(株)製、 商品名N−2304) 溶剤:メチルエチルケトン 500重量部 トルエン 500重量部 そして、調製されたバック塗料を、非磁性支持体の金属
磁性膜が成膜された面とは反対側の面に塗布、乾燥する
ことで厚さ0.5μmのバックコート層を形成した。
Next, a back coating was prepared according to the following composition. <Back coating composition> 100 parts by weight of carbon black (# 50, manufactured by Asahi Corporation) 100 parts by weight of polyester polyurethane (N-2304, manufactured by Nippon Polyurethane Co., Ltd.) Solvent: 500 parts by weight of methyl ethyl ketone 500 parts by weight of toluene The back coating thus applied was applied to the surface of the nonmagnetic support opposite to the surface on which the metal magnetic film was formed, and dried to form a 0.5 μm thick back coat layer.

【0099】次に、バックコート層を形成した後、20
0℃に加熱されたロールに金属磁性膜を接触させなが
ら、100m/minの速度で走行させた。
Next, after forming the back coat layer,
While the metal magnetic film was in contact with the roll heated to 0 ° C., it was run at a speed of 100 m / min.

【0100】その後、カーボン保護膜上に、パーフルオ
ロポリエーテル(以下、PFPEと呼ぶ。)系潤滑剤で
あるZ−dol(商品名、アウジモント社製)を含有す
る潤滑剤溶液を調製し、上記カーボン保護膜上にトップ
コーティングにより潤滑剤層を設けた。
Thereafter, a lubricant solution containing Z-dol (trade name, manufactured by Ausimont), which is a perfluoropolyether (hereinafter, referred to as PFPE) -based lubricant, was prepared on the carbon protective film. A lubricant layer was provided on the carbon protective film by top coating.

【0101】ここで、潤滑剤溶液の溶媒としては、フッ
素系溶媒であるHFE−7200(商品名、3M社製)
を用い、潤滑剤の濃度は、0.05重量%とした。
Here, the solvent for the lubricant solution is HFE-7200 (trade name, manufactured by 3M Company) which is a fluorine-based solvent.
And the concentration of the lubricant was 0.05% by weight.

【0102】このようにして非磁性支持体上に金属磁性
膜、カーボン保護膜、バックコート層及び潤滑剤層が形
成されてなる磁気テープ原反を、8mm幅に裁断してサ
ンプルテープとした。
[0102] The raw magnetic tape in which the metal magnetic film, the carbon protective film, the back coat layer and the lubricant layer were formed on the non-magnetic support in this manner was cut into a width of 8 mm to obtain a sample tape.

【0103】サンプル2 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.1重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 2 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.1% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0104】サンプル3 潤滑剤溶液を調製する際、PFPE系潤滑剤としてZ−
diac(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑剤
の濃度を0.05重量%としたこと以外は、サンプル1
と同様にしてサンプルテープを作製した。
Sample 3 When preparing a lubricant solution, Z-
sample 1 except that diac (trade name, manufactured by Ausimont) was used and the concentration of the lubricant was 0.05% by weight.
A sample tape was produced in the same manner as described above.

【0105】サンプル4 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.1重量%
としたこと以外は、サンプル3と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 4 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.1% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 3, except that

【0106】サンプル5 潤滑剤溶液を調製する際、PFPE系潤滑剤としてAM
−2001(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑
剤の濃度を0.05重量%としたこと以外は、サンプル
1と同様にしてサンプルテープを作製した。
Sample 5 When preparing a lubricant solution, AM was used as a PFPE-based lubricant.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that -2001 (trade name, manufactured by Ausimont) was used, and the concentration of the lubricant was 0.05% by weight.

【0107】サンプル6 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.1重量%
としたこと以外は、サンプル5と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 6 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.1% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 5, except that

【0108】サンプル7 潤滑剤溶液を調製する際、PFPE系潤滑剤としてZ−
deal(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑剤
の濃度を0.05重量%としたこと以外は、サンプル1
と同様にしてサンプルテープを作製した。
Sample 7 When preparing a lubricant solution, Z-
sample 1 (trade name, manufactured by Audimont Co.) except that the concentration of the lubricant was 0.05% by weight.
A sample tape was produced in the same manner as described above.

【0109】サンプル8 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.1重量%
としたこと以外は、サンプル7と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 8 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.1% by weight.
A sample tape was produced in the same manner as in Sample 7, except that

【0110】サンプル9 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤としてヘプチルステア
レートを用い、潤滑剤の濃度を0.05重量%としたこ
と以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテープを作
製した。
Sample 9 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that heptyl stearate was used as the lubricant and the concentration of the lubricant was 0.05% by weight.

【0111】サンプル10 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.1重量%
としたこと以外は、サンプル9と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 10 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.1% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 9, except that

【0112】サンプル11 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤としてステアリン酸を
用い、潤滑剤の濃度を0.05重量%としたこと以外
は、サンプル1と同様にしてサンプルテープを作製し
た。
Sample 11 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that stearic acid was used as the lubricant and the concentration of the lubricant was 0.05% by weight.

【0113】サンプル12 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.1重量%
としたこと以外は、サンプル11と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 12 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.1% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 11, except that

【0114】サンプル13 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤としてZ−dol(商
品名、アウジモント社製)を用い、潤滑剤の濃度を0.
3重量%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサ
ンプルテープを作製した。
Sample 13 When preparing a lubricant solution, Z-dol (trade name, manufactured by Ausimont) was used as a lubricant, and the lubricant concentration was adjusted to 0.1.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the content was 3% by weight.

【0115】サンプル14 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤としてZ−diac
(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑剤の濃度を
0.3重量%としたこと以外は、サンプル1と同様にし
てサンプルテープを作製した。
Sample 14 When preparing a lubricant solution, Z-diac was used as a lubricant.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1 except that the lubricant concentration was 0.3% by weight (trade name, manufactured by Audimont Co., Ltd.).

【0116】サンプル15 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤としてAM−2001
(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑剤の濃度を
0.3重量%としたこと以外は、サンプル1と同様にし
てサンプルテープを作製した。
Sample 15 When preparing a lubricant solution, AM-2001 was used as a lubricant.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1 except that the lubricant concentration was 0.3% by weight (trade name, manufactured by Audimont Co., Ltd.).

【0117】サンプル16 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤としてZ−deal
(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑剤の濃度を
0.3重量%としたこと以外は、サンプル1と同様にし
てサンプルテープを作製した。
Sample 16 When preparing a lubricant solution, Z-deal was used as a lubricant.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1 except that the lubricant concentration was 0.3% by weight (trade name, manufactured by Audimont Co., Ltd.).

【0118】サンプル17 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤としてヘプチルステア
レートを用い、潤滑剤の濃度を0.3重量%としたこと
以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテープを作製
した。
Sample 17 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that heptyl stearate was used as the lubricant and the concentration of the lubricant was 0.3% by weight.

【0119】サンプル18 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤としてステアリン酸を
用い、潤滑剤の濃度を0.3重量%としたこと以外は、
サンプル1と同様にしてサンプルテープを作製した。
Sample 18 When preparing the lubricant solution, except that stearic acid was used as the lubricant and the concentration of the lubricant was 0.3% by weight.
A sample tape was produced in the same manner as in Sample 1.

【0120】サンプル1乃至サンプル12及びサンプル
13乃至サンプル18で作製したサンプルテープについ
て以下の特性評価を行った。
The following characteristics were evaluated for the sample tapes manufactured from Samples 1 to 12 and Samples 13 to 18.

【0121】<特性評価>付着力測定 付着力の測定は、原子間力顕微鏡SPM−9500(商
品名、島津製作所製)及びSPM−9500用Force C
urveソフトウエアを用い、常温、常湿において下記の条
件で測定し、その平均値を付着力とした。
<Characteristics Evaluation> Adhesion Measurement Adhesion was measured using an atomic force microscope SPM-9500 (trade name, manufactured by Shimadzu Corporation) and Force C for SPM-9500.
Using urve software, the measurement was carried out at normal temperature and normal humidity under the following conditions, and the average value was defined as the adhesive force.

【0122】測定範囲:6×6μm 分解能(サンプリング数):64×64(4096ポイ
ント) ここで、付着力とは、サンプルテープ上における探針の
高さ方向における移動距離を横軸にとり、各位置でカン
チレバーが探針に加えている力を縦軸に示したフォース
カーブ図4におけるDからEまでの値と定義する。
Measuring range: 6 × 6 μm Resolution (number of samplings): 64 × 64 (4096 points) Here, the term “adhesive force” means that the horizontal axis indicates the moving distance of the probe on the sample tape in the height direction, The force applied to the probe by the cantilever is defined as a value from D to E in the force curve diagram 4 shown on the vertical axis.

【0123】そして、付着力の標準偏差を求め、さらに
付着力の平均値で割ることにより無次元化した値を本実
験における付着力標準偏差と定義した。その結果を表1
に示す。
Then, the standard deviation of the adhesive force was obtained, and the value obtained by dividing the standard deviation by the average value of the adhesive force was defined as the adhesive force standard deviation in this experiment. Table 1 shows the results.
Shown in

【0124】摩擦係数測定 温度25℃、湿度50%RHの恒温槽中でサンプルテー
プを走行させ、摺動摩擦試験機を用いて摩擦係数の測定
を行い、走行10パス目の数値を初期摩擦係数とした。
その結果を表1に示す。
Measurement of Friction Coefficient The sample tape was run in a constant temperature bath at a temperature of 25 ° C. and a humidity of 50% RH, and the friction coefficient was measured using a sliding friction tester. did.
Table 1 shows the results.

【0125】また、付着力標準偏差と初期摩擦係数との
関係を図8に示す。なお、図8においては、付着力標準
偏差と初期摩擦係数との関係をより明確に示すためにサ
ンプル数を増やして作成した。
FIG. 8 shows the relationship between the standard deviation of the adhesive force and the initial coefficient of friction. In FIG. 8, in order to more clearly show the relationship between the adhesive force standard deviation and the initial coefficient of friction, the number of samples was increased.

【0126】[0126]

【表1】 [Table 1]

【0127】表1より、サンプル1乃至サンプル12で
は、潤滑剤の材質にかかわらず、何れのサンプルテープ
においても付着力標準偏差が0.06以上となってお
り、且つ、初期摩擦係数が0.25以下となっている。
ここで、付着力標準偏差が大きいということは、付着力
のばらつきが大きいということを表しており、すなわ
ち、潤滑剤が不均一に分布していることを表している。
したがって、付着力の標準偏差が0.06以上であるサ
ンプル1のサンプル12では、潤滑剤量が多すぎるとい
うことがなく、サンプルテープとガイドピン等の摺動部
材との間に生じるメニスカス力は低く抑えられるため摩
擦係数も低く抑えられていることがわかった。
From Table 1, it can be seen that in Samples 1 to 12, the adhesive force standard deviation was 0.06 or more and the initial coefficient of friction was 0.1 in all of the sample tapes, regardless of the lubricant material. 25 or less.
Here, a large adhesion standard deviation indicates that the dispersion of the adhesion is large, that is, that the lubricant is unevenly distributed.
Therefore, in Sample 12 of Sample 1 in which the standard deviation of the adhesive force is 0.06 or more, the amount of the lubricant is not too large, and the meniscus force generated between the sample tape and the sliding member such as the guide pin is small. It was found that the coefficient of friction was also kept low because it was kept low.

【0128】一方、サンプル13乃至サンプル18で
は、潤滑剤の材質にかかわらず、何れのサンプルテープ
においても付着力標準偏差が0.06以下となってお
り、且つ、初期摩擦係数が0.7以上と高くなってい
る。ここで、付着力標準偏差が小さいということは、付
着力のばらつきが小さいということを表しており、すな
わち、潤滑剤が均一に分布していることを表している。
したがって、サンプル13乃至サンプル18では、潤滑
剤量が多いため、サンプルテープとガイドピン等の摺動
部材との間に生じるメニスカス力が増大し、その結果摩
擦係数が大きくなっていることがわかった。そして、こ
れは、潤滑剤の濃度を高くしていることに起因している
と考えられる。
On the other hand, in Samples 13 to 18, the adhesive standard deviation was 0.06 or less and the initial coefficient of friction was 0.7 or more in any of the sample tapes regardless of the lubricant material. And is higher. Here, a small adhesive force standard deviation means that the dispersion of the adhesive force is small, that is, that the lubricant is uniformly distributed.
Therefore, in Samples 13 to 18, since the amount of the lubricant was large, the meniscus force generated between the sample tape and the sliding member such as the guide pin increased, and as a result, the coefficient of friction was increased. . It is considered that this is caused by increasing the concentration of the lubricant.

【0129】また、図8から、潤滑剤の材質にかかわら
ず、標準偏差が0.06未満である場合には、摩擦係数
が大きくなることが確認できる。一方、標準偏差が0.
06以上である場合には、摩擦係数が低減していること
が確認できる。そして、付着力の標準偏差と摩擦係数と
の間に相関関係が認められ、図8の測定結果のマスター
カーブより、潤滑剤の材質にかかわらず摩擦係数低く抑
えられる条件を設定するできることがわかった。
Further, from FIG. 8, it can be confirmed that the coefficient of friction increases when the standard deviation is less than 0.06 regardless of the material of the lubricant. On the other hand, the standard deviation is 0.
When it is 06 or more, it can be confirmed that the friction coefficient is reduced. A correlation was found between the standard deviation of the adhesive force and the coefficient of friction, and it was found from the master curve of the measurement results in FIG. 8 that the conditions for suppressing the coefficient of friction could be set low irrespective of the material of the lubricant. .

【0130】〔実験2〕実験2では、サンプル19乃至
サンプル32のサンプルテープを作製し、以下に示す特
性評価を行った。まず、以下のようにしてサンプル19
乃至サンプル25のサンプルテープを作製した。
[Experiment 2] In Experiment 2, sample tapes of Samples 19 to 32 were prepared, and the following characteristic evaluation was performed. First, sample 19 was prepared as follows.
In addition, a sample tape of Sample 25 was prepared.

【0131】サンプル19 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.01重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 19 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.01% by weight when preparing the lubricant solution.

【0132】サンプル20 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.03重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 20 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.03% by weight when preparing the lubricant solution.

【0133】サンプル21 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.05重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 21 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.05% by weight when preparing the lubricant solution.

【0134】サンプル22 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.07重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 22 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.07% by weight when preparing the lubricant solution.

【0135】サンプル23 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.1重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 23 When preparing the lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.1% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0136】サンプル24 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.2重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 24 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.2% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0137】サンプル25 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.3重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 25 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.3% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0138】上記のようにして作製したサンプル19乃
至サンプル25のサンプルテープについて以下に示す特
性評価を行った。
The characteristics of the sample tapes of Samples 19 to 25 produced as described above were evaluated as follows.

【0139】<特性評価>付着力測定 付着力の測定は、カンチレバーとしてMicro ca
ntilever OMCL−RC800PB(オリン
パス社製)を用い、これを無水クロロホルムで調製した
1835SiC13溶液で表面処理した。そして、常温、
常湿において下記の条件で測定し、その平均値を付着力
とした。
<Characteristics Evaluation> Adhesive force measurement Adhesive force was measured using a Micro ca as a cantilever.
using ntilever OMCL-RC800PB (Olympus), which was surface-treated with C 18 H 35 SiC 13 solution prepared in anhydrous chloroform. And at room temperature,
The measurement was carried out at normal humidity under the following conditions, and the average value was defined as the adhesive force.

【0140】測定範囲:6×6μm 分解能(サンプリング数):64×64(4096ポイ
ント) ここで、付着力とは、サンプルテープ上における探針の
高さ方向における移動距離を横軸にとり、各位置でカン
チレバーが探針に加えている力を縦軸に示したフォース
カーブ図4におけるDからEまでの値と定義する。
Measuring range: 6 × 6 μm Resolution (number of samplings): 64 × 64 (4096 points) Here, the adhesive force refers to the position of the probe on the sample tape in the height direction along the horizontal axis, and The force applied to the probe by the cantilever is defined as a value from D to E in the force curve diagram 4 shown on the vertical axis.

【0141】そして、付着力の標準偏差を求め、さらに
付着力の平均値で割ることにより無次元化した値を本実
験における付着力標準偏差と定義した。その結果を図1
0に示す。
Then, the standard deviation of the adhesive force was obtained, and the value obtained by dividing the standard deviation by the average value of the adhesive force was defined as the standard deviation of the adhesive force in this experiment. Figure 1 shows the results.
0 is shown.

【0142】また、以下のようにしてサンプル26乃至
サンプル32のサンプルテープを作製した。
Further, sample tapes of Samples 26 to 32 were produced as follows.

【0143】サンプル26 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.01重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 26 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.01% by weight when preparing the lubricant solution.

【0144】サンプル27 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.03重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 27 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.03% by weight when preparing the lubricant solution.

【0145】サンプル28 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.05重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 28 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.05% by weight when preparing the lubricant solution.

【0146】サンプル29 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.1重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 29 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.1% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0147】サンプル30 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.2重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 30 When preparing the lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.2% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0148】サンプル31 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.3重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 31 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.3% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0149】サンプル32 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.5重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 32 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.5% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0150】上記のようにして作製したサンプル26乃
至サンプル32のサンプルテープについて以下に示す特
性評価を行った。
The sample tapes of Samples 26 to 32 produced as described above were evaluated for the following characteristics.

【0151】<特性評価>吸光度測定 サンプルテープにおける潤滑剤層の吸光度をFT−IR
(Fourier TransformInfrared Spectroscopy)測定法
により測定した。FT−IR反射吸収スペクトルは、N
icolet社のMAGANA−IR550を用い、ア
クセサリーとしてHarrick社のSpritPea
(赤外光入射角:45度)を使用して測定した。バック
グラウンドには潤滑剤未塗布メタルテープを用い、潤滑
剤に起因する特定のピークを測定した。各サンプルテー
プにおけるFT−IRスペクトルを図11に示す。
<Characteristics Evaluation> The absorbance of the lubricant layer in the sample tape for measuring absorbance was measured by FT-IR
(Fourier Transform Infrared Spectroscopy). The FT-IR reflection absorption spectrum is N
Haricot's SplitPea as accessory using MAGANA-IR550 from icolet
(Infrared light incident angle: 45 degrees). A non-lubricated metal tape was used as a background, and a specific peak due to the lubricant was measured. FIG. 11 shows the FT-IR spectrum of each sample tape.

【0152】図10より、潤滑剤であるZ−dolの塗
布濃度、すなわちサンプルテープにおけるZ−dolの
表面存在量が多くなるにつれて、付着力標準偏差は減少
する傾向にあることが判る。ここで、付着力標準偏差の
減少とは、付着力のサンプルテープ上の位置によるばら
つきが小さくなることを示しており、潤滑剤がサンプル
テープ上により均一に存在していることを示している。
つまり、極低濃度、すなわち潤滑剤が非常に少ない領域
においても統計処理した付着力標準偏差に差異が認めら
れる。また、この標準偏差の大きさを比較することでサ
ンプルテープ表面における潤滑剤の存在量及び分布状態
を評価することが可能であり、サンプルテープ間での相
対比較も可能である。
FIG. 10 shows that the standard deviation of the adhesive force tends to decrease as the coating concentration of the lubricant Z-dol, that is, the surface abundance of Z-dol in the sample tape increases. Here, a decrease in the adhesive force standard deviation indicates that the variation in the adhesive force depending on the position on the sample tape is small, and indicates that the lubricant is more uniformly present on the sample tape.
That is, even in the extremely low concentration, that is, in the region where the amount of the lubricant is very small, a difference is observed in the statistically processed adhesion standard deviation. Further, by comparing the magnitude of the standard deviation, it is possible to evaluate the amount and distribution of the lubricant on the surface of the sample tape, and it is also possible to make a relative comparison between the sample tapes.

【0153】一方、図11より、波数1200〜130
0cm-1付近に観測されるピークは、サンプルテープ上
に存在する潤滑剤であるZ−dolに起因するC−F伸
縮振動の吸収である。そして、このピークにより囲われ
る面積(以下、ピーク面積と呼ぶ。)が大きいほど、Z
−dolのサンプルテープ表面における存在量が多いこ
とを示している。図11から明らかなように、潤滑剤の
塗布濃度が増加するにつれて、ピーク面積が大きくな
り、サンプルテープ表面における潤滑剤すなわちZ−d
olの存在量が多くなっている。しかしながら、潤滑剤
の塗布濃度が0.03重量%以下においては、ピーク
は、ほとんど検出されない。すなわち、測定条件にもよ
るが、この領域がFT−IRの測定限界である。したが
って、潤滑剤の塗布濃度が高い領域、すなわちサンプル
テープ表面における潤滑剤の存在量が多い領域であれ
ば、FT−IRを使用することによりサンプルテープ間
での相対比較も可能であるが、潤滑剤の塗布濃度が非常
に低い領域、すなわちサンプルテープ表面における潤滑
剤の存在量が極微量である領域においては、サンプルテ
ープ表面における潤滑剤の存在量の検出は困難であるこ
とが判る。
On the other hand, from FIG.
The peak observed near 0 cm -1 is absorption of CF stretching vibration caused by Z-dol which is a lubricant existing on the sample tape. The larger the area surrounded by the peak (hereinafter, referred to as the peak area), the larger the Z
This indicates that -dol is abundant on the surface of the sample tape. As is clear from FIG. 11, as the application concentration of the lubricant increases, the peak area increases, and the lubricant on the sample tape surface, that is, Zd
The amount of ol is increasing. However, when the lubricant concentration is 0.03% by weight or less, almost no peak is detected. In other words, this region is the FT-IR measurement limit, depending on the measurement conditions. Therefore, in a region where the lubricant concentration is high, that is, in a region where the amount of the lubricant present on the surface of the sample tape is large, the relative comparison between the sample tapes can be performed by using the FT-IR. It can be seen that it is difficult to detect the amount of the lubricant present on the surface of the sample tape in a region where the application concentration of the agent is extremely low, that is, in the region where the amount of the lubricant present on the surface of the sample tape is extremely small.

【0154】また、FT−IRの他にもXPSや、ES
CA等の元素分析による潤滑剤量の測定も可能である
が、これらには真空中での潤滑剤の揮発、或いは測定に
時間を有する等の問題がある。このため、これらの元素
分析による潤滑剤量の測定は、一般分析は可能であって
も、生産管理などの高精度且つ短時間での測定が要求さ
れる場合には不適である。
In addition to the FT-IR, XPS and ES
Although it is possible to measure the amount of the lubricant by elemental analysis such as CA, there are problems such as volatilization of the lubricant in a vacuum or a long time for the measurement. For this reason, the measurement of the amount of the lubricant by the elemental analysis is not suitable for a case where a general analysis is possible but a high-accuracy and short-time measurement such as production control is required.

【0155】したがって、これらのことより、本実験で
用いた例えばAFM等を用いた付着力測定法が、精度及
び測定時間の観点からもサンプルテープ表面の潤滑剤の
存在量を測定、管理するに際して、非常に有効な手法で
あることが判る。 〔実験3〕実験3では、サンプル33乃至サンプル41
のサンプルテープを作製し、以下に示す特性評価を行っ
た。まず、以下のようにしてサンプル33乃至サンプル
41のサンプルテープを作製した。
Therefore, from these facts, the adhesive force measuring method using, for example, the AFM used in this experiment is not suitable for measuring and managing the amount of lubricant present on the surface of the sample tape from the viewpoint of accuracy and measurement time. It turns out that this is a very effective technique. [Experiment 3] In Experiment 3, samples 33 to 41 were used.
Was prepared, and the following property evaluation was performed. First, sample tapes of Samples 33 to 41 were produced as follows.

【0156】サンプル33 潤滑剤層を形成しないこと以外は、サンプル1と同様に
してサンプルテープを作製した。
Sample 33 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant layer was not formed.

【0157】サンプル34 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.01重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 34 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.01% by weight when preparing the lubricant solution.

【0158】サンプル35 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.03重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 35 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.03% by weight when preparing the lubricant solution.

【0159】サンプル36 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.05重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 36 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.05% by weight when preparing the lubricant solution.

【0160】サンプル37 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.075重
量%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプ
ルテープを作製した。
Sample 37 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.075% by weight when preparing the lubricant solution.

【0161】サンプル38 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.1重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 38 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.1% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0162】サンプル39 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.15重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 39 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.15% by weight when preparing the lubricant solution.

【0163】サンプル40 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.2重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 40 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.2% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0164】サンプル41 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.3重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 41 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.3% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0165】上記のようにして作製したサンプル33乃
至サンプル41のサンプルテープについて以下の特性評
価を行った。
The sample tapes of Samples 33 to 41 manufactured as described above were evaluated for the following characteristics.

【0166】<特性評価>付着力測定 付着力の測定は、カンチレバーとしてMicro ca
ntilever OMCL−RC800PB(オリン
パス社製)を用いた。そして、サンプルテープを、潤滑
剤が水面側に位置するように水を満たした容器中に配
し、水中において下記の条件で測定し、その平均値を付
着力とした。
<Characteristic evaluation> Adhesion force measurement Adhesion force was measured using a Micro ca as a cantilever.
nilever OMCL-RC800PB (Olympus) was used. Then, the sample tape was placed in a container filled with water so that the lubricant was located on the water surface side, measured in water under the following conditions, and the average value was defined as the adhesive force.

【0167】測定範囲:6×6μm 分解能(サンプリング数):64×64(4096ポイ
ント) ここで、付着力とは、サンプルテープ上における探針の
高さ方向における移動距離を横軸にとり、各位置でカン
チレバーが探針に加えている力を縦軸に示したフォース
カーブ図4におけるDからEまでの値と定義する。
Measuring range: 6 × 6 μm Resolution (number of samplings): 64 × 64 (4096 points) Here, the term “adhesive force” means that the moving distance in the height direction of the probe on the sample tape is plotted on the horizontal axis and each position is measured. The force applied to the probe by the cantilever is defined as a value from D to E in the force curve diagram 4 shown on the vertical axis.

【0168】そして、付着力の標準偏差を求め、さらに
付着力の平均値で割ることにより無次元化した値を本実
験における付着力標準偏差と定義した。その結果を図1
2に示す。
Then, the standard deviation of the adhesive force was obtained, and the value obtained by dividing the standard deviation by the average value of the adhesive force was defined as the adhesive force standard deviation in this experiment. Figure 1 shows the results.
It is shown in FIG.

【0169】図12より、潤滑剤であるZ−dolの塗
布濃度、すなわちZ−dolの表面存在量が多くなるに
つれて、付着力平均値は増加する傾向にあることが判
る。ここで、付着力平均値の増加とは、サンプルテープ
上における潤滑剤の被覆が増えていることを示してい
る。つまり、極低濃度、すなわち潤滑剤が非常に少ない
領域においても付着力平均値に差異が認められる。ま
た、付着力平均値の大きさを比較することでサンプルテ
ープ表面における潤滑剤の存在量及び分布状態を評価す
ることが可能であり、サンプルテープ間での相対比較も
可能である。
FIG. 12 shows that the average adhesive force tends to increase as the application concentration of Z-dol, which is a lubricant, that is, the amount of Z-dol present on the surface increases. Here, the increase in the average value of the adhesive force indicates that the coating of the lubricant on the sample tape is increasing. That is, even in the extremely low concentration, that is, in the region where the amount of the lubricant is very small, a difference is observed in the average adhesive force. Further, by comparing the average values of the adhesive forces, it is possible to evaluate the amount and distribution of the lubricant on the sample tape surface, and it is also possible to make a relative comparison between the sample tapes.

【0170】したがって、以上の結果と上述した図11
の結果より、本実験で用いた例えばAFMを用いた水中
における付着力測定法が、精度及び測定時間の観点から
もサンプルテープ表面の潤滑剤の存在量を測定、管理す
るに際して、非常に有効な手法であることが判る。
Therefore, the above results and the above-described FIG.
From the results of the above, the adhesive force measurement method in water using, for example, AFM used in this experiment is very effective in measuring and managing the amount of lubricant present on the sample tape surface from the viewpoint of accuracy and measurement time. It turns out that it is a technique.

【0171】〔実験4〕実験4では、サンプル42乃至
サンプル73のサンプルテープを作製し、以下に示す特
性評価を行った。まず、以下のようにしてサンプル42
乃至サンプル49のサンプルテープを作製した。
[Experiment 4] In Experiment 4, sample tapes of Samples 42 to 73 were prepared, and the following characteristic evaluation was performed. First, the sample 42 was prepared as follows.
In addition, a sample tape of Sample 49 was manufactured.

【0172】サンプル42 潤滑剤層を形成しないこと以外は、サンプル1と同様に
してサンプルテープを作製した。
Sample 42 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant layer was not formed.

【0173】サンプル43 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.01重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 43 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.01% by weight when preparing the lubricant solution.

【0174】サンプル44 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.03重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 44 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.03% by weight when preparing the lubricant solution.

【0175】サンプル45 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.05重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 45 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.05% by weight when preparing the lubricant solution.

【0176】サンプル46 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.07重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 46 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.07% by weight when preparing the lubricant solution.

【0177】サンプル47 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.1重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 47 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.1% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0178】サンプル48 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.3重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 48 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.3% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0179】サンプル49 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.5重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 49 In preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.5% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0180】上記のようにして作製したサンプル42乃
至サンプル49のサンプルテープについて以下の特性評
価を行った。
The following properties were evaluated for the sample tapes of Samples 42 to 49 produced as described above.

【0181】付着力測定 付着力の測定は、原子間力顕微鏡(AFM)SPM−9
500(商品名、島津製作所製)及びSPM−9500
用Force Curveソフトウエアを用いた。また、カンチレ
バーとしてMicro cantilever OMC
L−RC800PB(オリンパス社製)を用い、これを
無水クロロホルムで調製したC1835SiC13溶液で表
面処理した。そして、常温において、湿度を1%RH以
下、20%RH、50%RH、80%RHの各条件に制
御して下記の条件で測定し、その平均値を付着力とし
た。
Adhesion Measurement Adhesion was measured using an atomic force microscope (AFM) SPM-9.
500 (trade name, manufactured by Shimadzu Corporation) and SPM-9500
Force Curve software was used. In addition, Micro cantilever OMC as a cantilever
Using L-RC800PB (Olympus), which was surface-treated with C 18 H 35 SiC 13 solution prepared in anhydrous chloroform. Then, at normal temperature, the humidity was controlled to each condition of 1% RH or less, 20% RH, 50% RH, and 80% RH, and measured under the following conditions, and the average value was defined as the adhesive force.

【0182】測定範囲:6×6μm 分解能(サンプリング数):64×64(4096ポイ
ント) ここで、付着力とは、サンプルテープ上における探針の
高さ方向における移動距離を横軸にとり、各位置でカン
チレバーが探針に加えている力を縦軸に示したフォース
カーブ図4におけるDからEまでの値と定義する。
Measuring range: 6 × 6 μm Resolution (number of samplings): 64 × 64 (4096 points) Here, the term “adhesive force” means that the horizontal axis indicates the moving distance of the probe on the sample tape in the height direction, The force applied to the probe by the cantilever is defined as a value from D to E in the force curve diagram 4 shown on the vertical axis.

【0183】そして、付着力の標準偏差を求め、さらに
付着力の平均値で割ることにより無次元化した値を本実
験における付着力標準偏差と定義した。このときの各湿
度での付着力平均値の増加量を図13に示す。なお、付
着力変化とは、所定の湿度での付着力平均値から湿度1
%RH以下での付着力平均値を差し引いたのものであ
る。
Then, the standard deviation of the adhesive force was obtained, and the value obtained by dividing the standard deviation by the average value of the adhesive force was defined as the standard deviation of the adhesive force in this experiment. FIG. 13 shows the amount of increase in the average value of the adhesive force at each humidity at this time. The change in the adhesive force is defined as the average value of the adhesive force at a predetermined humidity,
It is the value obtained by subtracting the average value of the adhesive force at% RH or less.

【0184】摩擦係数測定 摩擦係数の測定は、温度25℃の恒温槽中において、湿
度を1%RH以下、20%RH、50%RH、80%R
Hの各条件に制御してサンプルテープを走行させ、摺動
摩擦試験機を用いて行った。ここで、走行10パス目の
摩擦係数を初期摩擦係数とし、300パス目の摩擦係数
を走行後摩擦係数とした。このときの各湿度での初期摩
擦係数の増加量を図14に示す。また、各湿度での走行
後摩擦係数の増加量を図15に示す。なお、摩擦係数の
増加量とは、所定の湿度での摩擦係数から湿度1%RH
以下での摩擦係数を差し引いたものである。
Measurement of Friction Coefficient The friction coefficient was measured in a thermostat at a temperature of 25 ° C. by adjusting the humidity to 1% RH or less, 20% RH, 50% RH, and 80% RH.
The sample tape was run under the control of each condition of H, and the test was performed using a sliding friction tester. Here, the friction coefficient of the 10th pass was defined as the initial friction coefficient, and the friction coefficient of the 300th pass was defined as the post-travel friction coefficient. FIG. 14 shows the amount of increase in the initial friction coefficient at each humidity at this time. FIG. 15 shows the amount of increase in the coefficient of friction after traveling at each humidity. The increase in the coefficient of friction refers to the coefficient of friction at a predetermined humidity of 1% RH
The friction coefficient below is subtracted.

【0185】図13より、潤滑剤であるZ−dolの塗
布濃度、すなわちZ−dolのサンプルテープ表面にお
ける表面存在量が少ない低塗布濃度時には、高湿環境に
なるほど付着力変化が大きくなることが判る。これは、
潤滑剤のサンプルテープにおける表面存在量が少ないほ
ど、高湿環境時にサンプルテープ表面へ水が吸着しやす
い傾向があることを示している。この傾向は、Z−do
l塗布濃度が増加する、すなわち潤滑剤のサンプルテー
プ表面における存在量が増加するにつれて緩和され、Z
−dol塗布濃度が0.25重量%以上、すなわち付着
力標準偏差が0.15以下においては、付着力平均値の
増加量は、2nm以下である。この結果は、この領域で
は、サンプルテープ表面に水が吸着しにくいことを示し
ており、これはサンプルテープ表面の潤滑剤による被覆
がある程度満たされているからであると考えられる。
FIG. 13 shows that when the coating concentration of Z-dol as a lubricant, that is, when the amount of Z-dol present on the surface of the sample tape is low and the coating concentration is low, the change in the adhesive force becomes larger in a higher humidity environment. I understand. this is,
This indicates that the smaller the amount of the lubricant present on the surface of the sample tape, the more the water tends to be adsorbed to the surface of the sample tape in a high humidity environment. This tendency is due to Z-do
1) As the coating concentration increases, ie, as the amount of lubricant present on the sample tape surface increases,
When the dol application concentration is 0.25% by weight or more, that is, when the adhesive force standard deviation is 0.15 or less, the amount of increase in the adhesive force average value is 2 nm or less. This result indicates that water does not easily adsorb to the surface of the sample tape in this region, which is considered to be because the surface of the sample tape is covered with the lubricant to some extent.

【0186】また、図14及び図15より、潤滑剤であ
るZ−dolの塗布濃度、すなわちZ−dolのサンプ
ルテープ表面における表面存在量が少ない低塗布濃度時
には、高湿環境になるほど初期摩擦係数の増加量及び走
行後摩擦係数の増加量が大きくなることが判る。この結
果は、図13で示した付着力平均値の増加量と対応して
おり、サンプルテープ表面へ表面吸着水の吸着に起因し
ている。すなわち、サンプルテープ表面の潤滑剤による
被覆がある程度満たされていなければ、サンプルテープ
表面に表面吸着水が吸着し、この表面吸着水が摩擦係数
の上昇を引き起こすといえる。
Further, from FIGS. 14 and 15, it can be seen from FIG. 14 that when the coating concentration of Z-dol, which is a lubricant, is low and the amount of Z-dol present on the surface of the sample tape is low, the higher the humidity, the higher the initial friction coefficient. It can be seen that the amount of increase in the coefficient of friction and the amount of increase in the coefficient of friction after traveling increase. This result corresponds to the increase in the average value of the adhesive force shown in FIG. 13 and is caused by the adsorption of the surface adsorbed water to the sample tape surface. That is, if the surface of the sample tape is not covered with the lubricant to some extent, the surface adsorbed water is adsorbed on the surface of the sample tape, and the surface adsorbed water causes an increase in the coefficient of friction.

【0187】次に、以下のようにしてサンプル50乃至
サンプル73のサンプルテープを作製した。
Next, sample tapes of samples 50 to 73 were prepared as follows.

【0188】サンプル50 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.25重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 50 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.25% by weight when preparing the lubricant solution.

【0189】サンプル51 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.3重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 51 In preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.3% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0190】サンプル52 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.4重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 52 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.4% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0191】サンプル53 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.5重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 53 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.5% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0192】サンプル54 潤滑剤溶液を調製する際、PFPE系潤滑剤としてZ−
diac(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑剤
の濃度を0.3重量%としたこと以外は、サンプル1と
同様にしてサンプルテープを作製した。
When preparing a lubricant solution for Sample 54 , Z-
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that diac (trade name, manufactured by Ausimont) was used and the concentration of the lubricant was 0.3% by weight.

【0193】サンプル55 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.4重量%
としたこと以外は、サンプル54と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 55 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.4% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 54, except that

【0194】サンプル56 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.5重量%
としたこと以外は、サンプル54と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 56 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.5% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 54, except that

【0195】サンプル57 潤滑剤溶液を調製する際、PFPE系潤滑剤としてAM
−2001(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑
剤の濃度を0.3重量%としたこと以外は、サンプル1
と同様にしてサンプルテープを作製した。
Sample 57 When preparing a lubricant solution, AM was used as a PFPE-based lubricant.
-2001 (trade name, manufactured by Ausimont Co.), except that the concentration of the lubricant was 0.3% by weight.
A sample tape was produced in the same manner as described above.

【0196】サンプル58 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.4重量%
としたこと以外は、サンプル57と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 58 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.4% by weight.
A sample tape was produced in the same manner as in Sample 57, except that

【0197】サンプル59 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.5重量%
としたこと以外は、サンプル57と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 59 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.5% by weight.
A sample tape was produced in the same manner as in Sample 57, except that

【0198】サンプル60 潤滑剤溶液を調製する際、PFPE系潤滑剤としてZ−
deal(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑剤
の濃度を0.3重量%としたこと以外は、サンプル1と
同様にしてサンプルテープを作製した。
When preparing a sample 60 lubricant solution, Z-
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1 except that the concentration of the lubricant was 0.3% by weight using "deal" (trade name, manufactured by Audimont Co.).

【0199】サンプル61 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.5重量%
としたこと以外は、サンプル60と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 61 In preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.5% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 60, except that

【0200】サンプル62 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.01重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 62 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.01% by weight when preparing the lubricant solution.

【0201】サンプル63 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.03重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 63 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.03% by weight when preparing the lubricant solution.

【0202】サンプル64 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.05重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 64 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.05% by weight when preparing the lubricant solution.

【0203】サンプル65 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.1重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 65 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.1% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0204】サンプル66 潤滑剤溶液を調製する際、PFPE系潤滑剤としてZ−
diac(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑剤
の濃度を0.01重量%としたこと以外は、サンプル1
と同様にしてサンプルテープを作製した。
When preparing a lubricant solution for Sample 66 , Z-
sample 1 except that diac (trade name, manufactured by Ausimont) was used and the concentration of the lubricant was 0.01% by weight.
A sample tape was produced in the same manner as described above.

【0205】サンプル67 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.05重量
%としたこと以外は、サンプル66と同様にしてサンプ
ルテープを作製した。
Sample 67 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 66, except that the lubricant concentration was 0.05% by weight when preparing the lubricant solution.

【0206】サンプル68 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.1重量%
としたこと以外は、サンプル66と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 68 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.1% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 66, except that

【0207】サンプル69 潤滑剤溶液を調製する際、PFPE系潤滑剤としてAM
−2001(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑
剤の濃度を0.01重量%としたこと以外は、サンプル
1と同様にしてサンプルテープを作製した。
Sample 69 When preparing a lubricant solution, AM was used as a PFPE-based lubricant.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that -2001 (trade name, manufactured by Ausimont) was used and the concentration of the lubricant was set to 0.01% by weight.

【0208】サンプル70 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.05重量
%としたこと以外は、サンプル69と同様にしてサンプ
ルテープを作製した。
Sample 70 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 69, except that the lubricant concentration was 0.05% by weight when preparing the lubricant solution.

【0209】サンプル71 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.1重量%
としたこと以外は、サンプル69と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 71 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.1% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 69, except that

【0210】サンプル72 潤滑剤溶液を調製する際、PFPE系潤滑剤としてZ−
deal(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑剤
の濃度を0.05重量%としたこと以外は、サンプル1
と同様にしてサンプルテープを作製した。
When preparing a sample 72 lubricant solution, Z-
sample 1 (trade name, manufactured by Audimont Co.) except that the concentration of the lubricant was 0.05% by weight.
A sample tape was produced in the same manner as described above.

【0211】サンプル73 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.1重量%
としたこと以外は、サンプル72と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 73 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.1% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 72, except that

【0212】上記のようにして作製したサンプル50乃
至サンプル73のサンプルテープについて上記と同様に
して特性評価を行い、付着力標準偏差、付着力平均値増
加量、初期摩擦係数増加量、走行後摩擦係数増加量を求
めた。その結果を表2及び表3に示す。なお、各増加量
は、80%RHでの値から1%RH以下での値を差し引
いたものである。
The characteristics of the sample tapes of Samples 50 to 73 produced as described above were evaluated in the same manner as described above, and the standard deviation of the adhesive force, the increase in the average value of the adhesive force, the increase in the initial friction coefficient, and the friction after running were measured. The coefficient increase was determined. The results are shown in Tables 2 and 3. Each increase is obtained by subtracting the value at 1% RH or less from the value at 80% RH.

【0213】[0213]

【表2】 [Table 2]

【0214】[0214]

【表3】 [Table 3]

【0215】表2より、サンプル50乃至サンプル61
では、潤滑剤の種類に依らず、何れの付着力標準偏差も
0.15以下であり、付着力平均値の増加量が2nN以
下となっていることが判る。これは、付着力標準偏差が
0.15以下であるサンプルテープは、高湿環境下に保
持してもサンプルテープ表面に表面吸着水が付きにくい
ことを示している。したがって、付着力標準偏差が0.
15以下であるサンプル50乃至サンプル61では、初
期摩擦係数増加量及び走行後摩擦係数増加量は、低い値
におさまっており、高湿環境下においても低湿環境下と
変わらず、サンプルテープは安定した走行が可能となる
といえる。
From Table 2, it is found that Samples 50 to 61
It can be seen that, regardless of the type of the lubricant, the standard deviation of any adhesive force is 0.15 or less, and the increase in the average adhesive force is 2 nN or less. This indicates that a sample tape having an adhesive force standard deviation of 0.15 or less is less likely to have surface adsorbed water on the surface of the sample tape even when the sample tape is held in a high humidity environment. Therefore, when the adhesive force standard deviation is 0.
In Samples 50 to 61 of 15 or less, the initial friction coefficient increase amount and the post-running friction coefficient increase amount fell to low values, and the sample tape was stable even in a high-humidity environment as in a low-humidity environment. It can be said that traveling is possible.

【0216】一方、表3より、付着力標準偏差が0.1
5以上を越えているサンプル62乃至サンプル73で
は、潤滑剤の種類に依らず、何れも付着力平均値の増加
量が3nN以上となっていることが判る。また、付着力
平均値の増加は、付着力標準偏差の値が大きいほど顕著
である。この結果は、サンプルテープ表面の潤滑剤の被
覆率が低いほど、サンプルテープ表面に表面吸着水が吸
着しやすいことを示している。したがって、サンプル6
2乃至サンプル73では、初期摩擦係数増加量及び走行
後摩擦係数増加量が大きく、この増加が表面吸着水の吸
着に関与していることが判る。
On the other hand, from Table 3, the standard deviation of the adhesive force was 0.1
In samples 62 to 73 exceeding 5 or more, the increase in the average value of the adhesive force is 3 nN or more regardless of the type of the lubricant. The increase in the adhesive force average value is more remarkable as the value of the adhesive force standard deviation is larger. This result indicates that the lower the coverage of the lubricant on the sample tape surface, the more easily the surface adsorbed water is adsorbed on the sample tape surface. Therefore, sample 6
In samples 2 to 73, the initial friction coefficient increase amount and the post-running friction coefficient increase amount are large, and it can be seen that these increases are involved in the adsorption of surface adsorbed water.

【0217】以上の結果より、付着力標準偏差が0.1
5以下とされた潤滑剤層が形成された磁気テープは、高
湿環境下のおいて磁気テープ表面への表面吸着水の吸着
が抑制され、その結果、高湿環境下においても安定した
走行が可能となるといえる。
From the above results, the standard deviation of the adhesive force was 0.1.
The magnetic tape on which the lubricant layer having a thickness of 5 or less is formed suppresses the adsorption of surface adsorbed water to the surface of the magnetic tape under a high humidity environment, and as a result, a stable running even in a high humidity environment. It can be said that it becomes possible.

【0218】〔実験5〕実験5では、サンプル74乃至
サンプル97のサンプルテープを作製し、以下に示す特
性評価を行った。まず、以下のようにしてサンプル74
乃至サンプル97のサンプルテープを作製した。
[Experiment 5] In Experiment 5, sample tapes of Samples 74 to 97 were prepared, and the following characteristics were evaluated. First, a sample 74 was prepared as follows.
In addition, a sample tape of Sample 97 was prepared.

【0219】サンプル74 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.05重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 74 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.05% by weight when preparing the lubricant solution.

【0220】サンプル75 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.1重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 75 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.1% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0221】サンプル76 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.15重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 76 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.15% by weight when preparing the lubricant solution.

【0222】サンプル77 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.2重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
When preparing a sample 77 lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.2% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0223】サンプル78 潤滑剤溶液を調製する際、PFPE系潤滑剤としてZ−
diac(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑剤
の濃度を0.1重量%としたこと以外は、サンプル1と
同様にしてサンプルテープを作製した。
Sample 78 When preparing a lubricant solution, Z-
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that diac (trade name, manufactured by Ausimont) was used and the concentration of the lubricant was 0.1% by weight.

【0224】サンプル79 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.2重量%
としたこと以外は、サンプル78と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 79 In preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.2% by weight.
A sample tape was produced in the same manner as in Sample 78, except that

【0225】サンプル80 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.25重量
%としたこと以外は、サンプル78と同様にしてサンプ
ルテープを作製した。
Sample 80 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 78, except that the lubricant concentration was 0.25% by weight when preparing the lubricant solution.

【0226】サンプル81 潤滑剤溶液を調製する際、PFPE系潤滑剤としてAM
−2001(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑
剤の濃度を0.05重量%としたこと以外は、サンプル
1と同様にしてサンプルテープを作製した。
Sample 81 In preparing a lubricant solution, AM was used as a PFPE-based lubricant.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that -2001 (trade name, manufactured by Ausimont) was used, and the concentration of the lubricant was 0.05% by weight.

【0227】サンプル82 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.1重量%
としたこと以外は、サンプル81と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 82 In preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.1% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 81, except that

【0228】サンプル83 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.15重量
%としたこと以外は、サンプル81と同様にしてサンプ
ルテープを作製した。
Sample 83 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 81, except that the lubricant concentration was 0.15% by weight when preparing the lubricant solution.

【0229】サンプル84 潤滑剤溶液を調製する際、PFPE系潤滑剤としてZ−
deal(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑剤
の濃度を0.05重量%としたこと以外は、サンプル1
と同様にしてサンプルテープを作製した。
When preparing a lubricant solution for Sample 84 , Z-
sample 1 (trade name, manufactured by Audimont Co.) except that the concentration of the lubricant was 0.05% by weight.
A sample tape was produced in the same manner as described above.

【0230】サンプル85 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.1重量%
としたこと以外は、サンプル84と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 85 In preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.1% by weight.
A sample tape was produced in the same manner as in Sample 84, except that

【0231】サンプル86 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.01重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 86 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.01% by weight when preparing the lubricant solution.

【0232】サンプル87 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.03重量
%としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 87 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that the lubricant concentration was 0.03% by weight when preparing the lubricant solution.

【0233】サンプル88 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.3重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 88 When preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.3% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0234】サンプル89 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.5重量%
としたこと以外は、サンプル1と同様にしてサンプルテ
ープを作製した。
Sample 89 In preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.5% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that

【0235】サンプル90 潤滑剤溶液を調製する際、PFPE系潤滑剤としてZ−
diac(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑剤
の濃度を0.01重量%としたこと以外は、サンプル1
と同様にしてサンプルテープを作製した。
When preparing a sample 90 lubricant solution, Z-
sample 1 except that diac (trade name, manufactured by Ausimont) was used and the concentration of the lubricant was 0.01% by weight.
A sample tape was produced in the same manner as described above.

【0236】サンプル91 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.03重量
%としたこと以外は、サンプル90と同様にしてサンプ
ルテープを作製した。
Sample 91 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 90, except that the lubricant concentration was 0.03% by weight when preparing the lubricant solution.

【0237】サンプル92 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.4重量%
としたこと以外は、サンプル90と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 92 In preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.4% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 90, except that

【0238】サンプル93 潤滑剤溶液を調製する際、PFPE系潤滑剤としてAM
−2001(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑
剤の濃度を0.01重量%としたこと以外は、サンプル
1と同様にしてサンプルテープを作製した。
Sample 93 When preparing a lubricant solution, AM was used as a PFPE-based lubricant.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 1, except that -2001 (trade name, manufactured by Ausimont) was used and the concentration of the lubricant was set to 0.01% by weight.

【0239】サンプル94 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.03重量
%としたこと以外は、サンプル93と同様にしてサンプ
ルテープを作製した。
Sample 94 A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 93, except that the lubricant concentration was 0.03% by weight when preparing the lubricant solution.

【0240】サンプル95 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.3重量%
としたこと以外は、サンプル93と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 95 In preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.3% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 93, except that

【0241】サンプル96 潤滑剤溶液を調製する際、PFPE系潤滑剤としてZ−
deal(商品名、アウジモント社製)を用い、潤滑剤
の濃度を0.03重量%としたこと以外は、サンプル1
と同様にしてサンプルテープを作製した。
Sample 96 When preparing a lubricant solution, Z-
sample 1 (except for Ausimont Co., Ltd.) and the concentration of the lubricant was 0.03% by weight.
A sample tape was produced in the same manner as described above.

【0242】サンプル97 潤滑剤溶液を調製する際、潤滑剤の濃度を0.3重量%
としたこと以外は、サンプル96と同様にしてサンプル
テープを作製した。
Sample 97 In preparing a lubricant solution, the concentration of the lubricant was adjusted to 0.3% by weight.
A sample tape was prepared in the same manner as in Sample 96, except that

【0243】上記のようにして作製したサンプル74乃
至サンプル97のサンプルテープについて以下の特性評
価を行った。
The following characteristics were evaluated for the sample tapes of Samples 74 to 97 manufactured as described above.

【0244】付着力測定 付着力の測定は、原子間力顕微鏡(AFM)SPM−9
500(商品名、島津製作所製)及びSPM−9500
用Force Curveソフトウエアを用いた。また、カンチレ
バーとしてMicro cantilever OMC
L−RC800PB(オリンパス社製)を用い、これを
無水クロロホルムで調製したC1835SiC13溶液で表
面処理した。そして、常温、常湿において、下記の条件
で測定し、その平均値を付着力とした。
Adhesion Measurement Adhesion was measured by using an atomic force microscope (AFM) SPM-9.
500 (trade name, manufactured by Shimadzu Corporation) and SPM-9500
Force Curve software was used. In addition, Micro cantilever OMC as a cantilever
Using L-RC800PB (Olympus), which was surface-treated with C 18 H 35 SiC 13 solution prepared in anhydrous chloroform. And it measured on condition of the following at normal temperature and normal humidity, and made the average value the adhesive force.

【0245】測定範囲:6×6μm 分解能(サンプリング数):64×64(4096ポイ
ント) ここで、付着力とは、サンプルテープ上における探針の
高さ方向における移動距離を横軸に取り、各位置でカン
チレバーが探針に加えている力を縦軸に示したフォース
カーブ図4におけるDからEまでの値と定義する。
Measuring range: 6 × 6 μm Resolution (number of samplings): 64 × 64 (4096 points) Here, the term “adhesive force” means that the moving distance in the height direction of the probe on the sample tape is plotted on the horizontal axis. The force applied to the probe by the cantilever at the position is defined as a value from D to E in the force curve diagram 4 shown on the vertical axis.

【0246】そして、付着力の標準偏差を求め、さらに
付着力の平均値で割ることにより無次元化した値を本実
験における付着力標準偏差と定義した。
Then, the standard deviation of the adhesive force was obtained, and the value obtained by dividing the standard deviation by the average value of the adhesive force was defined as the adhesive force standard deviation in this experiment.

【0247】摩擦係数測定 摩擦係数の測定は、温度25℃、湿度25%RHに制御
された恒温槽中において、サンプルテープを走行させ、
摺動摩擦試験機を用いて行った。ここで、走行10パス
目の摩擦係数を初期摩擦係数とし、300パス目の摩擦
係数を走行後摩擦係数とした。
Measurement of Friction Coefficient The friction coefficient was measured by running a sample tape in a thermostat controlled at a temperature of 25 ° C. and a humidity of 25% RH.
This was performed using a sliding friction tester. Here, the friction coefficient of the 10th pass was defined as the initial friction coefficient, and the friction coefficient of the 300th pass was defined as the post-travel friction coefficient.

【0248】摩擦係数測定エラーレート測定法 エラーレートの測定は、温度25℃、湿度25%RHに
制御された恒温槽内において、サンプルテープを測定デ
ッキ:SDX−S500C(商品名、ソニー社製)を用
いて走行させて行った。具体的には、最初にサンプルテ
ープに所定の信号を記録した後、5秒間の読み込みのみ
を繰り返し行いながらエラーレートを測定した。そし
て、エラーレートが1×10-2以上になるまでの走行回
数、すなわち読み込み回数を測定した。読み込みは最大
2万回まで行い、本測定条件において、1万パス以下の
ものは不適とした。
Measurement of Friction Coefficient Error Rate Measurement Method The error rate is measured by measuring a sample tape in a thermostat controlled at a temperature of 25 ° C. and a humidity of 25% RH. Deck: SDX-S500C (trade name, manufactured by Sony Corporation) The test was run by using Specifically, after a predetermined signal was first recorded on the sample tape, the error rate was measured while repeatedly reading only for 5 seconds. Then, the number of runs until the error rate became 1 × 10 −2 or more, that is, the number of readings was measured. Reading was performed up to 20,000 times, and under this measurement condition, those with 10,000 passes or less were unsuitable.

【0249】以上の結果を表4及び表5に示す。The above results are shown in Tables 4 and 5.

【0250】[0250]

【表4】 [Table 4]

【0251】[0251]

【表5】 [Table 5]

【0252】表4より、サンプル74乃至サンプル85
では、潤滑剤の種類に依らず、何れの付着力標準偏差も
0.15〜0.35の範囲内であり、初期摩擦係数、走
行後摩擦係数及びエラーレートも問題が認められない。
これは、サンプルテープ表面上の潤滑剤の付着力標準偏
差が0.15〜0.35という適正な付着分布、すなわ
ち潤滑剤分布を示しているためであると考えられる。
As shown in Table 4, Samples 74 to 85
Does not depend on the type of the lubricant, the standard deviation of any adhesive force is in the range of 0.15 to 0.35, and no problem is recognized in the initial friction coefficient, the friction coefficient after running, and the error rate.
It is considered that this is because the adhesion standard deviation of the lubricant on the sample tape surface shows an appropriate adhesion distribution of 0.15 to 0.35, that is, the lubricant distribution.

【0253】一方、サンプル86、サンプル87、サン
プル90、サンプル91、サンプル93、サンプル94
及びサンプル96のように、付着力標準偏差が0.35
を越えているサンプルは、走行後の摩擦係数が大きい。
これは、付着力標準偏差が0.35よりも大きなサンプ
ルは、サンプルテープ表面に潤滑剤が点在している、す
なわち潤滑剤が非常に少ない状態であるため、十分な潤
滑効果が発揮されなかったと考えられる。また、サンプ
ル88、サンプル89、サンプル92、サンプル95及
びサンプル97のように、付着力標準偏差が0.15未
満であるサンプルは、サンプルテープ表面に存在する潤
滑剤が多すぎるため、ヘッドへの付着物が発生した可能
性があり、良好なエラーレートは得られていない。
On the other hand, Sample 86, Sample 87, Sample 90, Sample 91, Sample 93, Sample 94
And the sample standard 96 has an adhesive force standard deviation of 0.35
The sample having a value exceeding the above has a large coefficient of friction after running.
This is because a sample having an adhesive force standard deviation larger than 0.35 is not sufficiently lubricated because the lubricant is scattered on the surface of the sample tape, that is, the lubricant is very little. It is considered that Samples having an adhesive force standard deviation of less than 0.15, such as Sample 88, Sample 89, Sample 92, Sample 95, and Sample 97, have too much lubricant on the surface of the sample tape, and thus have a large amount of lubricant. A deposit may have occurred, and a good error rate has not been obtained.

【0254】以上の結果より、データの保存及びバック
アップ用等、いわゆるデータストレージ用に使用される
磁気テープには、テープ表面における潤滑剤の付着力標
準偏差に適正な範囲が存在し、この範囲でのみ、良好な
走行耐久性が得られるといえる。すなわち、付着力標準
偏差が0.15〜0.35とされた潤滑剤層が形成され
た磁気テープは、良好な走行耐久性を得られるといえ
る。
From the above results, there is an appropriate range for the standard deviation of the adhesive force of the lubricant on the tape surface in a magnetic tape used for so-called data storage such as data storage and backup. It can be said that only good running durability can be obtained. That is, it can be said that the magnetic tape on which the lubricant layer having the adhesive force standard deviation of 0.15 to 0.35 is formed can obtain good running durability.

【0255】[0255]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る磁気記録媒体は、非磁性支持体の一主面上に少なくと
も金属磁性膜が成膜されてなるとともに上記金属磁性膜
が形成された側の一主面の最外層上に潤滑剤層を有する
磁気記録媒体において、上記潤滑剤と探針との間の付着
力の標準偏差が0.06以上とされる。
As described in detail above, the magnetic recording medium according to the present invention has at least a metal magnetic film formed on one main surface of a non-magnetic support and the above-described metal magnetic film is formed. In a magnetic recording medium having a lubricant layer on the outermost layer of one main surface on the other side, the standard deviation of the adhesive force between the lubricant and the probe is 0.06 or more.

【0256】本発明に係る磁気記録媒体は、上記潤滑剤
と探針との間の付着力の標準偏差が0.06以上とされ
ることにより、磁気記録媒体表面における潤滑剤の存在
量が潤滑性及び耐久性をともに良好に保つ最適量に設定
される。
In the magnetic recording medium according to the present invention, since the standard deviation of the adhesive force between the lubricant and the probe is 0.06 or more, the amount of the lubricant present on the surface of the magnetic recording medium is reduced. It is set to an optimum amount for maintaining good properties and durability.

【0257】したがって、本発明によれば、低摩擦係数
を有し、走行性、耐久性に優れた磁気記録媒体を提供す
ることができる。
Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a magnetic recording medium having a low coefficient of friction, excellent running properties and durability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る磁気記録媒体の一構成例を模式的
に示す概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram schematically illustrating a configuration example of a magnetic recording medium according to the present invention.

【図2】連続巻き取り式蒸着装置の概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a continuous winding type vapor deposition apparatus.

【図3】マグネトロンスパッタ装置の概略構成図であ
る。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a magnetron sputtering apparatus.

【図4】原子間力顕微鏡による測定におけるフォースカ
ーブの模式図である。
FIG. 4 is a schematic diagram of a force curve in measurement by an atomic force microscope.

【図5】付着力を測定方法を説明する図であり、AFM
カンチレバーを磁気記録媒体上に配した状態を示す図で
ある。
FIG. 5 is a view for explaining a method for measuring an adhesive force,
FIG. 3 is a diagram showing a state in which a cantilever is arranged on a magnetic recording medium.

【図6】付着力を測定方法を説明する図であり、AFM
カンチレバーを磁気記録媒体表面の潤滑剤層に接触させ
た状態を示す図である。
FIG. 6 is a diagram for explaining a method of measuring an adhesive force, and shows AFM.
FIG. 4 is a diagram showing a state in which the cantilever is brought into contact with a lubricant layer on the surface of the magnetic recording medium.

【図7】付着力を測定方法を説明する図であり、AFM
カンチレバーを磁気記録媒体上から引き離す状態を示す
図である。
FIG. 7 is a view for explaining a method of measuring an adhesive force,
FIG. 4 is a diagram illustrating a state in which the cantilever is separated from above the magnetic recording medium.

【図8】付着力標準偏差と初期摩擦係数との関係を示し
た特性図である。
FIG. 8 is a characteristic diagram showing a relationship between an adhesion standard deviation and an initial friction coefficient.

【図9】水中における付着力測定の状態を示した図であ
る。
FIG. 9 is a diagram showing a state of measuring an adhesive force in water.

【図10】Z−dol塗布濃度と付着力標準偏差との関
係を示した特性図である。
FIG. 10 is a characteristic diagram showing a relationship between a Z-dol coating concentration and an adhesive force standard deviation.

【図11】各サンプルテープの波数と吸光度との関係を
示した特性図である。
FIG. 11 is a characteristic diagram showing the relationship between the wave number and the absorbance of each sample tape.

【図12】Z−dol塗布濃度と付着力平均値との関係
を示した特性図である。
FIG. 12 is a characteristic diagram showing a relationship between a Z-dol application concentration and an average adhesive force.

【図13】Z−dol塗布濃度と付着力平均値の増加量
との関係を示した特性図である。
FIG. 13 is a characteristic diagram showing a relationship between a Z-dol coating concentration and an increase in an average value of an adhesive force.

【図14】Z−dol塗布濃度と初期摩擦係数の増加量
との関係を示した特性図である。
FIG. 14 is a characteristic diagram showing a relationship between a Z-dol application concentration and an increase amount of an initial friction coefficient.

【図15】Z−dol塗布濃度と走行後摩擦係数の増加
量との関係を示した特性図である。
FIG. 15 is a characteristic diagram showing a relationship between a Z-dol application concentration and an increase amount of a friction coefficient after running.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 磁気記録媒体、2 非磁性支持体、3 金属磁性
膜、4 保護膜、5 潤滑剤層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetic recording medium, 2 Non-magnetic support, 3 Metal magnetic film, 4 Protective film, 5 Lubricant layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 亀井 隆広 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 小林 健 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 岩本 浩 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 坪井 寿憲 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Takahiro Kamei 6-35, Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Sony Corporation (72) Inventor Takeshi Takeshi 6-35, Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Sony Corporation (72) Inventor Hiroshi Iwamoto 6-7-35 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Sony Corporation (72) Inventor Toshinori Tsuboi 6-35, Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Inside the corporation

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 非磁性支持体の一主面上に少なくとも金
属磁性膜が成膜されてなるとともに上記金属磁性膜が形
成された側の一主面の最外層に潤滑剤層を有する磁気記
録媒体において、 上記潤滑剤層と探針との間の付着力の標準偏差が0.0
6以上であることを特徴とする磁気記録媒体。
1. A magnetic recording system comprising: a metal magnetic film formed on at least one main surface of a nonmagnetic support; and a lubricant layer on an outermost layer on one main surface on which the metal magnetic film is formed. In the medium, the standard deviation of the adhesive force between the lubricant layer and the probe is 0.0
6. A magnetic recording medium, wherein the number is 6 or more.
【請求項2】 上記磁気記録媒体が、塗布型磁気記録媒
体であることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒
体。
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein said magnetic recording medium is a coating type magnetic recording medium.
【請求項3】 上記磁気記録媒体が、薄膜型磁気記録媒
体であることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒
体。
3. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein said magnetic recording medium is a thin-film magnetic recording medium.
【請求項4】 ヘリカルスキャン方式を用いたAV用の
磁気記録媒体であり、上記潤滑剤層と探針との間の付着
力の標準偏差が0.06以上0.15以下であることを
特徴とする請求項3記載の磁気記録媒体。
4. A magnetic recording medium for AV using a helical scan method, wherein a standard deviation of an adhesive force between the lubricant layer and the probe is 0.06 or more and 0.15 or less. The magnetic recording medium according to claim 3, wherein
【請求項5】 データストレージ用の磁気記録媒体であ
り、上記潤滑剤層と探針との間の付着力の標準偏差が
0.15以上0.35以下であることを特徴とする請求
項3記載の磁気記録媒体。
5. A magnetic recording medium for data storage, wherein a standard deviation of an adhesive force between the lubricant layer and the probe is 0.15 or more and 0.35 or less. The magnetic recording medium according to the above.
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