JP2001228049A - Apparatus and method for detection of point defect - Google Patents
Apparatus and method for detection of point defectInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光変調装置の点欠
陥を検出する点欠陥検出装置及びその方法に関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a point defect detecting device for detecting a point defect of an optical modulator and a method thereof.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、光変調装置である液晶パネル上の
輝点や黒点などの点欠陥を検出する方法としては、検査
対象の液晶パネルを液晶プロジェクタにセットし、暗室
内において実際に投影し、その投影されたものを検査員
の目視検査により検出していた。その検査方法として
は、液晶プロジェクタにセットした液晶パネルにパター
ンジェネレータを接続し、そのパターンジェネレータか
ら、全白、全黒、中間調、横線、斜線、白黒、黒白等の
各種検査パターンを切り替えて出力して、プロジェクタ
によりその検査パターンを投影し、その投影された検査
パターンにより、黒点、輝点、中間調輝点などの欠陥、
また、隣接する画素間のショートによる欠陥を検出する
ものであった。2. Description of the Related Art Conventionally, as a method of detecting a point defect such as a bright spot or a black spot on a liquid crystal panel which is a light modulation device, a liquid crystal panel to be inspected is set in a liquid crystal projector and projected in a dark room. The projection was detected by visual inspection of the inspector. As the inspection method, a pattern generator is connected to the liquid crystal panel set in the liquid crystal projector, and the pattern generator outputs various inspection patterns such as all white, all black, halftone, horizontal line, diagonal line, black and white, black and white, etc. Then, the inspection pattern is projected by a projector, and defects such as black spots, bright spots, halftone bright spots, etc.
Further, a defect due to a short circuit between adjacent pixels is detected.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
点欠陥の検出では、検査員の目視検査で点欠陥の検出を
行うため、検査対象の液晶パネルが液晶プロジェクタに
おいてどの色に使用されるかにより検査基準が異なり、
さらに微少な欠陥や微妙な輝度変化を見分けなければな
らないことから、検査員による検査レベルのばらつきが
生じることがあり、検査員になるためのトレーニング期
間が数ヶ月程度必要であり、すぐには検査を行う事がで
きないないなど問題点があり、また、暗室内において各
種検査パターンを切り替えて目視検査するという作業を
繰り返し行うため、作業員にはストレスの多い作業とな
るなど問題点があった。However, in the conventional point defect detection, since the point defect is detected by visual inspection by an inspector, it depends on which color the liquid crystal panel to be inspected is used in the liquid crystal projector. Inspection criteria are different,
In addition, since it is necessary to distinguish between minute defects and subtle changes in brightness, the inspection level may vary depending on the inspector, requiring a training period of several months to become an inspector. In addition, there is a problem that the operation cannot be performed, and the work of switching the various inspection patterns and performing the visual inspection in the dark room is repeated, so that the work becomes a lot of stress for the operator.
【０００４】本発明はこのような問題点を解決するため
になされたものであり、検査員などによる目視検査を行
うことなく、光変調装置の点欠陥を検出できる点欠陥検
出装置及びその方法を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a point defect detecting apparatus and method capable of detecting a point defect of a light modulator without performing a visual inspection by an inspector or the like. The purpose is to provide.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明に係る点欠陥検出
装置は、光変調装置と、光変調装置に表示された画像パ
ターンを撮り込む画像撮り込み装置と、画像撮り込み装
置により撮り込まれた画像データを演算する処理装置
と、を備えた点欠陥検出装置において、処理装置は、画
像撮り込み装置により撮り込まれた画像データに含まれ
る、画像撮り込み装置のノイズを除去するノイズ除去機
能と、ノイズ除去機能によりノイズ除去された画像デー
タに対し点欠陥強調処理を行う点欠陥強調機能と、点欠
陥強調機能により点欠陥部が強調された画像データに基
づいて、点欠陥を検出し、点欠陥情報を出力する点欠陥
検出機能と、を含むものである。SUMMARY OF THE INVENTION A point defect detection apparatus according to the present invention includes a light modulator, an image capturing device for capturing an image pattern displayed on the light modulator, and an image capturing device. And a processing device for calculating the image data obtained by the image capturing device, wherein the processing device has a noise removing function for removing noise of the image capturing device included in the image data captured by the image capturing device. A point defect enhancement function of performing point defect enhancement processing on image data from which noise has been removed by the noise removal function, and a point defect based on the image data in which the point defect portion has been enhanced by the point defect enhancement function, And a point defect detection function for outputting point defect information.
【０００６】また、本発明に係る点欠陥検出装置は、光
変調装置と、光変調装置に出力する信号を生成するパタ
ーン生成装置と、表示されたパターンを撮り込む画像撮
り込み装置と、画像撮り込み装置により撮り込まれた画
像データを演算する処理装置と、を備えた点欠陥検出装
置において、処理装置は、画像撮り込み装置により撮り
込まれた画像データに含まれる、画像撮り込み装置のノ
イズを除去するノイズ除去機能と、ノイズ除去機能によ
りノイズ除去された画像データに対し点欠陥強調処理を
行う点欠陥強調機能と、点欠陥強調機能により点欠陥部
が強調された画像データに基づいて、点欠陥を検出し、
点欠陥情報を出力する点欠陥検出機能とを含むものであ
る。Further, a point defect detection device according to the present invention comprises a light modulation device, a pattern generation device for generating a signal to be output to the light modulation device, an image capture device for capturing a displayed pattern, and an image capture device. A processing device for calculating image data captured by the image capturing device, wherein the processing device includes a noise of the image capturing device included in the image data captured by the image capturing device. Based on the image data in which the point defect is emphasized by the point defect emphasizing function and the point defect emphasizing function of performing the point defect emphasizing process on the image data from which the noise has been eliminated by the noise elimination function, Detect point defects,
And a point defect detection function for outputting point defect information.
【０００７】また、本発明に係る点欠陥検出装置は、光
変調装置と、光変調装置に出力する信号を生成するパタ
ーン生成装置と、光変調装置がセットされ、光変調装置
の表示に基づいた画像を投影する画像投影装置と、投影
されたパターンを撮り込む画像撮り込み装置と、画像撮
り込み装置により撮り込まれた画像データを演算する処
理装置と、を備えた点欠陥検出装置において、処理装置
は、画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データに
含まれる、画像撮り込み装置のノイズを除去するノイズ
除去機能と、ノイズ除去機能によりノイズ除去された画
像データに対し点欠陥強調処理を行う点欠陥強調機能
と、点欠陥強調機能により点欠陥部が強調された画像デ
ータ基づいて、点欠陥を検出し、点欠陥情報を出力する
点欠陥検出機能とを含むものである。Further, a point defect detection device according to the present invention is based on a display of a light modulation device, a pattern generation device for generating a signal to be output to the light modulation device, and the light modulation device. A point defect detection device including an image projection device that projects an image, an image capturing device that captures a projected pattern, and a processing device that calculates image data captured by the image capturing device. The apparatus performs a noise removal function for removing noise of the image capturing apparatus included in the image data captured by the image capturing apparatus, and performs a point defect enhancement process on the image data on which the noise has been removed by the noise removing function. A point defect enhancement function and a point defect detection function that detects a point defect based on image data in which a point defect is enhanced by the point defect enhancement function and outputs point defect information. Is Dressings.
【０００８】また、本発明に係る点欠陥検出装置は、光
変調装置と、光変調装置に光を照射する光源と、光変調
装置にパターンを表示させるパターン生成装置と、光源
からの光が光変調装置によって変調され、光変調装置か
ら出射する光を撮り込む画像撮り込み装置と、画像撮り
込み装置により撮り込まれた画像データを演算する処理
装置と、を備えた点欠陥検出装置において、処理装置
は、画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データに
含まれる、画像撮り込み装置のノイズを除去するノイズ
除去機能と、ノイズ除去機能によりノイズ除去された画
像データに対し点欠陥強調処理を行う点欠陥強調機能
と、点欠陥強調機能により点欠陥部が強調された画像デ
ータ基づいて、点欠陥情報を検出し、点欠陥情報を出力
する点欠陥検出機能とを含むものである。Further, a point defect detection device according to the present invention comprises a light modulator, a light source for irradiating light to the light modulator, a pattern generation device for displaying a pattern on the light modulator, and light from the light source. A point defect detection device comprising: an image capturing device that captures light emitted from the light modulation device, which is modulated by the modulation device; and a processing device that calculates image data captured by the image capturing device. The apparatus performs a noise removal function for removing noise of the image capturing apparatus included in the image data captured by the image capturing apparatus, and performs a point defect enhancement process on the image data on which the noise has been removed by the noise removing function. A point defect enhancement function, and a point defect detection function that detects point defect information based on the image data in which the point defect portion is enhanced by the point defect enhancement function and outputs the point defect information. It is intended to include.
【０００９】また、本発明に係る点欠陥検出装置は、画
像撮り込み装置は、光変調装置の表示に基づいた画像
を、光を減衰させる減衰手段を介して撮り込むものであ
る。また、本発明に係る点欠陥検出装置の処理装置は、
さらに、画像撮り込み装置により撮り込まれた画像デー
タの輝度むらを補正する機能を含むものである。また、
本発明に係る点欠陥検出装置は、輝度むらを補正する機
能は、光学的に場所による透過率を変化させたグラディ
エントフィルタを使用して補正を行うものである。ま
た、本発明に係る点欠陥検出装置は、輝度むらを補正す
る機能は、空間フィルタを使用した演算処理により補正
を行うものである。Further, in the point defect detecting device according to the present invention, the image capturing device captures an image based on the display of the light modulation device via attenuating means for attenuating light. Further, the processing device of the point defect detection device according to the present invention,
Further, it has a function of correcting luminance unevenness of image data captured by the image capturing device. Also,
In the point defect detection device according to the present invention, the function of correcting uneven brightness is to perform correction using a gradient filter in which transmittance is optically changed depending on a place. Further, in the point defect detection device according to the present invention, the function of correcting luminance unevenness is to perform correction by arithmetic processing using a spatial filter.
【００１０】また、本発明に係る点欠陥検出装置は、ノ
イズ除去機能は、空間フィルタを使用した演算処理によ
り画像撮り込み装置のノイズの除去を行う物である。ま
た、本発明に係る点欠陥検出装置は、点欠陥強調機能
は、空間フィルタを使用した演算処理により点欠陥部の
強調を行うものである。Further, in the point defect detecting device according to the present invention, the noise removing function removes noise of the image capturing device by an arithmetic process using a spatial filter. Further, in the point defect detection device according to the present invention, the point defect emphasizing function is to emphasize a point defect portion by an arithmetic process using a spatial filter.
【００１１】また、本発明に係る点欠陥検出装置は、点
欠陥検出機能から出力された点欠陥情報を表示する表示
装置を備えるものである。また、本発明に係る点欠陥検
出装置は、表示装置は、点欠陥情報を点欠陥の種類別に
分類した情報として表示するものである。また、本発明
に係る点欠陥検出装置は、表示装置は、点欠陥情報をそ
の点欠陥の種類と欠陥位置の情報として表示するもので
ある。Further, the point defect detecting device according to the present invention includes a display device for displaying the point defect information output from the point defect detecting function. Further, in the point defect detection device according to the present invention, the display device displays the point defect information as information classified according to the type of the point defect. Further, in the point defect detection device according to the present invention, the display device displays the point defect information as information of a type and a defect position of the point defect.
【００１２】また、本発明に係る点欠陥検出装置は、画
像取り込み装置は、光変調装置の１００％付近の輝点は
飽和させる条件で画像を取り込むものである。また、本
発明に係る点欠陥検出装置の、ノイズ除去機能、点欠陥
強調機能及び点欠陥検出機能は、コンピュータ装置によ
る演算処理により実行されるものである。また、本発明
に係る点欠陥検出装置の光変調装置は、液晶パネルであ
る。Further, in the point defect detecting device according to the present invention, the image capturing device captures an image under a condition that a bright spot near 100% of the light modulator is saturated. Further, the noise elimination function, the point defect enhancement function, and the point defect detection function of the point defect detection device according to the present invention are executed by arithmetic processing by a computer device. Further, the light modulation device of the point defect detection device according to the present invention is a liquid crystal panel.
【００１３】また、本発明に係る点欠陥検出方法は、光
変調装置の点欠陥検出方法において、光変調装置によっ
て変調された光に基づく画像パターンを撮り込む工程
と、撮り込まれた画像データから点欠陥部以外のノイズ
を除去する工程と、点欠陥部以外のノイズが除去された
画像データに対し、点欠陥を強調する工程と、点欠陥部
が強調された画像データ基づいて、点欠陥情報を検出す
る工程と、からなるものである。Further, in the point defect detection method according to the present invention, in the point defect detection method for a light modulation device, a step of capturing an image pattern based on light modulated by the light modulation device, and A step of removing noise other than the point defect portion; a step of enhancing the point defect with respect to the image data from which the noise other than the point defect portion has been removed; The step of detecting
【００１４】また、本発明に係る点欠陥検出方法は、光
変調装置の点欠陥検出方法において、光変調装置にパタ
ーンを表示させる工程と、光変調装置によって変調され
た光に基づく画像パターンを撮り込む工程と、撮り込ま
れた画像データから点欠陥部以外のノイズを除去する工
程と、点欠陥部以外のノイズが除去された画像データに
対し、点欠陥を強調する工程と、点欠陥部が強調された
画像データに基づいて、点欠陥情報を検出する工程と、
からなるものである。Further, according to the point defect detecting method of the present invention, in the point defect detecting method of the light modulation device, a step of displaying a pattern on the light modulation device and capturing an image pattern based on the light modulated by the light modulation device. A process of removing noise other than point defect portions from captured image data; a process of emphasizing point defects on image data from which noise other than point defect portions has been removed; Detecting point defect information based on the emphasized image data;
It consists of
【００１５】また、本発明に係る点欠陥検出方法は、光
変調装置の点欠陥検出方法において、光変調装置にパタ
ーンを表示させる工程と、光変調装置によって変調され
た光に基づいた画像を投影する工程と、投影された画像
パターンを撮り込む工程と、撮り込まれた画像データか
ら点欠陥部以外のノイズを除去する工程と、点欠陥部以
外のノイズが除去された画像データに対し、点欠陥を強
調する工程と、点欠陥部が強調された画像データに基づ
いて、点欠陥情報を検出する工程と、からなるものであ
る。Further, in the method of detecting a point defect according to the present invention, in the method of detecting a point defect of a light modulator, a step of displaying a pattern on the light modulator and projecting an image based on light modulated by the light modulator. Performing a step of taking a projected image pattern, a step of removing noise other than a point defect portion from the captured image data, and a step of removing noise from the image data from which the noise other than the point defect portion has been removed. The method includes a step of emphasizing a defect and a step of detecting point defect information based on image data in which a point defect is emphasized.
【００１６】また、本発明に係る点欠陥検出方法は、光
変調装置の点欠陥検出方法において、光変調装置に光を
照射する工程と、光変調装置にパターンを表示させる工
程と、光変調装置によって変調された光を撮り込む工程
と、撮り込まれた画像データから点欠陥部以外のノイズ
を除去する工程と、点欠陥部以外のノイズが除去された
画像データに対し、点欠陥を強調する工程と、点欠陥部
が強調された画像データに基づいて、点欠陥情報を検出
する工程と、からなるものである。Further, in the point defect detecting method according to the present invention, in the point defect detecting method of the light modulation device, a step of irradiating the light modulation device with light, a step of displaying a pattern on the light modulation device, Capturing light modulated by the method, removing noise other than point defect portions from the captured image data, and emphasizing point defects on the image data from which noise other than point defect portions has been removed. And a step of detecting point defect information based on the image data in which the point defect portion is emphasized.
【００１７】また、本発明に係る点欠陥検出方法は、光
変調装置によって変調された光を取り込む際、光を減衰
させる減衰手段を介して撮り込むものである。また、本
発明に係る点欠陥検出方法は、撮り込まれた画像データ
の輝度むらを補正する工程からなるものである。また、
本発明に係る点欠陥検出方法は、輝度むらを補正する工
程は、光学的に場所による透過率を変化させたグラディ
エントフィルタを使用して補正を行うものである。ま
た、本発明に係る点欠陥検出方法は、輝度むらを補正す
る工程は、空間フィルタを使用した演算処理により補正
を行うものである。Further, in the point defect detection method according to the present invention, when taking in the light modulated by the light modulation device, the light is taken through an attenuation means for attenuating the light. Further, a point defect detection method according to the present invention includes a step of correcting uneven brightness of captured image data. Also,
In the point defect detection method according to the present invention, the step of correcting uneven luminance is performed by using a gradient filter in which transmittance is optically changed depending on a place. Further, in the point defect detection method according to the present invention, the step of correcting luminance unevenness is performed by performing an arithmetic process using a spatial filter.
【００１８】また、本発明に係る点欠陥検出方法は、点
欠陥部を強調する際、空間フィルタを使用した演算処理
により点欠陥部の強調処理を行うものである。また、本
発明に係る点欠陥検出方法は、点欠陥部を強調する際、
空間フィルタを使用した演算処理により点欠陥部の強調
処理を行うものである。また、本発明に係る点欠陥検出
方法は、光変調装置によって変調された光を撮り込む
際、光変調装置の１００％付近の輝点は飽和させる条件
で画像を撮り込むものである。また、本発明に係る点欠
陥検出方法において、光変調装置は液晶パネルである。Further, in the point defect detection method according to the present invention, when a point defect is emphasized, the point defect is emphasized by an arithmetic processing using a spatial filter. Further, the point defect detection method according to the present invention, when emphasizing a point defect portion,
The point defect portion is emphasized by an arithmetic process using a spatial filter. Further, in the point defect detection method according to the present invention, when capturing light modulated by the light modulator, an image is captured under the condition that a bright spot near 100% of the light modulator is saturated. In the point defect detection method according to the present invention, the light modulation device is a liquid crystal panel.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は本発明の一
実施の形態に係る点欠陥検出装置の構成を示す図であ
る。図において、１は検査対象の光変調装置である液晶
パネル、２は画像投影装置であるプロジェクタであり、
液晶パネル１を外部からセットできるようになってい
る。３は液晶パネル１に各種パターンを出力するパター
ン生成装置であるパターンジェネレータ、４はスクリー
ン、５はスクリーンに投影された画像を撮影する画像撮
り込み装置であるＣＣＤカメラであり、液晶パネル１の
解像度以上の解像度を有するＣＣＤを搭載している。６
はパターンジェネレータ３及びＣＣＤカメラ５を制御
し、液晶パネル１の点欠陥を検出するコンピュータ装置
であり、ＣＣＤノイズ除去機能１０、点欠陥強調機能１
１及び点欠陥検出機能１２を含んでいる。７はコンピュ
ータ装置６に接続された表示装置である。また、ＣＣＤ
ノイズ除去機能１０、点欠陥強調機能１１及び点欠陥検
出機能１２の動作はコンピュータ装置６上で実行される
プログラムにより実現されているものである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a point defect detection device according to one embodiment of the present invention. In the figure, 1 is a liquid crystal panel which is a light modulation device to be inspected, 2 is a projector which is an image projection device,
The liquid crystal panel 1 can be set from outside. Reference numeral 3 denotes a pattern generator which is a pattern generating device for outputting various patterns to the liquid crystal panel 1, 4 denotes a screen, 5 denotes a CCD camera which is an image capturing device for capturing an image projected on the screen, and a resolution of the liquid crystal panel 1. A CCD having the above resolution is mounted. 6
Is a computer device that controls the pattern generator 3 and the CCD camera 5 to detect a point defect of the liquid crystal panel 1, and includes a CCD noise elimination function 10, a point defect enhancement function 1
1 and a point defect detection function 12. Reference numeral 7 denotes a display device connected to the computer device 6. Also, CCD
The operations of the noise removal function 10, the point defect emphasis function 11, and the point defect detection function 12 are realized by a program executed on the computer device 6.
【００２０】次に、この実施の形態の点欠陥検出動作に
ついて説明する。まず、プロジェクタ２に検査対象の液
晶パネル１をセットし、コンピュータ装置６によりパタ
ーンジェネレータ３を制御し液晶パネル１上に特定のパ
ターンを表示させ、それをプロジェクタ２によりスクリ
ーン４に投影する。そして、スクリーン４上に投影され
た画像をＣＣＤカメラ５で撮影し、その撮影データの画
像をコンピュータ装置６に出力し、コンピュータ装置６
内のＣＣＤノイズ除去機能１０、点欠陥強調機能１１及
び点欠陥検出機能１２などの処理により点欠陥検出処理
を行い液晶パネル１の点欠陥の検出結果を表示装置７な
どに表示するなどして出力する。Next, a description will be given of the point defect detection operation of this embodiment. First, the liquid crystal panel 1 to be inspected is set on the projector 2, the pattern generator 3 is controlled by the computer 6, a specific pattern is displayed on the liquid crystal panel 1, and the specific pattern is projected on the screen 4 by the projector 2. Then, the image projected on the screen 4 is photographed by the CCD camera 5, and an image of the photographed data is output to the computer device 6,
A point defect detection process is performed by processing such as a CCD noise removing function 10, a point defect emphasizing function 11, and a point defect detecting function 12, and the detection result of the point defect of the liquid crystal panel 1 is displayed on a display device 7 or the like. I do.
【００２１】ここで、コンピュータ装置６による点欠陥
検出の動作について説明する。まず、ＣＣＤカメラ５に
も素子特性のばらつきなどにより隣接する素子よりも著
しく明るい又は暗い画素が存在している。そして、この
ようなＣＣＤカメラ５でスクリーン４上に投影された画
像を撮影した撮影データの画像としては、図２に示すよ
うに、ＣＣＤカメラ５の素子特性のばらつきなどによる
ＣＣＤノイズ（図２のａ部）と液晶パネル１の輝点の点
欠陥による欠陥部（図２のｂ部）の両方が混在した画像
となっている。なお、ここでは、投影された画像の光学
的な輝度むらを、プロジェクタ２に光学的に場所による
透過率を変化させたグラディエントフィルタを用いる
か、コンピュータ装置６側でシェーディング処理を施す
などして改善しているものとして説明する。Here, the operation of the computer device 6 for detecting a point defect will be described. First, the CCD camera 5 also has pixels that are significantly brighter or darker than adjacent elements due to variations in element characteristics. As shown in FIG. 2, as an image of photographing data obtained by photographing the image projected on the screen 4 by the CCD camera 5, as shown in FIG. This is an image in which both the “a” portion and the defective portion (the “b” portion in FIG. 2) due to the point defect of the bright spot of the liquid crystal panel 1 are mixed. Here, the optical luminance unevenness of the projected image is improved by using a gradient filter in which the transmittance is optically changed depending on the place in the projector 2 or by performing shading processing on the computer device 6 side. It will be described as if it is done.
【００２２】この図２に示すような画像に基づいて、液
晶パネル１の点欠陥の検出を行うと、液晶パネル１の点
欠陥による欠陥部の情報だけではなく、ＣＣＤカメラ５
の素子特性のばらつきなどによるＣＣＤノイズの情報も
液晶パネル１の点欠陥として検出してしまうことにな
る。そこで、ＣＣＤノイズ除去機能１０では、図２に示
すように、ＣＣＤカメラ５のＣＣＤノイズはＣＣＤ素子
１画素分として現れ、液晶パネル１の点欠陥は、ＣＣＤ
カメラ５の解像度を液晶パネル１の解像度以上にしてい
るので、ＣＣＤ素子の数画素分として現れるため、これ
を利用してＣＣＤカメラ５で撮影した画像に対して空間
フィルタを使用しＣＣＤノイズの除去を行っている。When the point defect of the liquid crystal panel 1 is detected based on the image as shown in FIG. 2, not only the information of the defective portion due to the point defect of the liquid crystal panel 1 but also the CCD camera 5 is detected.
The information of the CCD noise due to the variation of the element characteristics is also detected as the point defect of the liquid crystal panel 1. Therefore, in the CCD noise removing function 10, as shown in FIG. 2, the CCD noise of the CCD camera 5 appears as one pixel of the CCD element, and the point defect of the liquid crystal panel 1
Since the resolution of the camera 5 is equal to or higher than the resolution of the liquid crystal panel 1, it appears as a few pixels of the CCD element. It is carried out.
【００２３】この実施の形態では、空間フィルタとし
て、２×２Ｏｐｅｎ（収縮＋膨張）フィルタを使用して
ＣＣＤノイズの除去処理を行っている。２×２Ｏｐｅｎ
フィルタは、収縮と膨張を実行するフィルタで、暗い背
景に明るいオブジェクトのある画像では小さな点を消す
作用がある。この２×２Ｏｐｅｎ（収縮＋膨張）フィル
タにより図２に示す画像を処理した結果は、図３に示す
ように、ＣＣＤカメラ５の素子特性のばらつきなどによ
るＣＣＤノイズが除去され、液晶パネル１の点欠陥のみ
の情報を持つ画像となる。In this embodiment, CCD noise removal processing is performed using a 2 × 2 Open (shrinkage + expansion) filter as a spatial filter. 2 × 2Open
The filter is a filter that performs erosion and dilation, and has an effect of eliminating small dots in an image having a bright object on a dark background. As a result of processing the image shown in FIG. 2 by this 2 × 2 Open (shrinkage + expansion) filter, as shown in FIG. 3, CCD noise due to variations in element characteristics of the CCD camera 5 and the like is removed. The image has information on only the defect.
【００２４】そして、図３に示すＣＣＤノイズを除去し
た画像では、微少なレベルの輝点欠陥などの検出が難し
いため、点欠陥強調機能１１により、空間フィルタを使
用して点欠陥の強調処理を行っている。この実施の形態
では、空間フィルタとして輝点欠陥の強調には７×７Ｔ
ｏｐｈａｔフィルタ、黒点欠陥の強調には７×７Ｗｅｌ
ｌフィルタを使用して、点欠陥の強調処理を行ってい
る。In the image shown in FIG. 3 from which the CCD noise has been removed, it is difficult to detect a minute level of bright spot defect or the like. Is going. In this embodiment, 7 × 7T is used as a spatial filter to emphasize a bright spot defect.
Ophat filter, 7x7Wel for emphasizing black spot defects
The point defect is emphasized using an l filter.
【００２５】７×７Ｔｏｐｈａｔフィルタ及び７×７Ｗ
ｅｌｌフィルタは共に、周囲に対して孤立しているかを
検出するため、着目する画素の値を、その周囲の画素の
値との差がより強調されるされるように重み付けをして
畳み込み演算するためのフィルタであり、例えば図４に
示すような空間フィルタである。図４において、図４の
（ａ）は７×７Ｔｏｐｈａｔフィルタ、図４の（ｂ）は
７×７Ｗｅｌｌフィルタの一例を示している。7 × 7 Tophat filter and 7 × 7 W
In order to detect whether or not the cell is isolated from the surroundings, the convolution operation is performed by weighting the value of the pixel of interest so that the difference from the value of the surrounding pixels is more emphasized. For example, a spatial filter as shown in FIG. 4A shows an example of a 7 × 7 Tophat filter, and FIG. 4B shows an example of a 7 × 7 Well filter.
【００２６】この７×７Ｔｏｐｈａｔフィルタにより図
３に示す画像を処理した結果は、図５に示すように輝度
の小さい輝点欠陥が強調され点欠陥が検出しやすい画像
となっている。なお、この７×７Ｔｏｐｈａｔフィルタ
による点欠陥の強調処理では、ＣＣＤカメラ５で撮影さ
れた画像のエッジ部の処理が正確にできないため、この
実施の形態では背景画像を膨張させ、実際の投影範囲よ
り大きい画像として演算している。従って、強調処理後
の画像から実際の投影範囲のみのデータを取り出すこと
により、図６に示すように投影範囲のエッジ部の点欠陥
の強調も正確に処理され、点欠陥を容易に検出する事が
できるようになっている。As a result of processing the image shown in FIG. 3 by the 7 × 7 Tophat filter, as shown in FIG. 5, a bright spot defect having a small luminance is emphasized, and the point defect is easily detected. In the point defect enhancement processing using the 7 × 7 Tophat filter, the processing of the edge portion of the image captured by the CCD camera 5 cannot be performed accurately. Therefore, in this embodiment, the background image is expanded and the The calculation is performed as a large image. Therefore, by extracting only the data of the actual projection range from the image after the enhancement processing, the enhancement of the point defect at the edge portion of the projection range is also accurately performed as shown in FIG. 6, and the point defect can be easily detected. Is available.
【００２７】また、点欠陥が、図７に示すように黒点欠
陥の場合は、７×７Ｗｅｌｌフィルタにより点欠陥の強
調処理を行い、図８に示すような画像とし、さらに、強
調処理後の画像から実際の投影範囲のみのデータを取り
出すことにより、図９に示すように投影範囲のエッジ部
の点欠陥の強調も正確に処理され、点欠陥を容易に検出
する事ができるようになっている。When the point defect is a black point defect as shown in FIG. 7, the point defect is enhanced by a 7 × 7 Well filter to obtain an image as shown in FIG. By extracting the data of only the actual projection range from, the emphasis of the point defect at the edge of the projection range is also accurately processed as shown in FIG. 9, and the point defect can be easily detected. .
【００２８】そして、点欠陥検出機能１２では、これら
の強調処理された画像や元画像などに基づいて、点欠陥
の種類や位置や個数を検出し、例えば、図１０や図１１
に示すような検出結果を表示装置７などに表示する。The point defect detection function 12 detects the type, position and number of point defects based on the emphasized image and the original image.
Are displayed on the display device 7 or the like.
【００２９】この実施の形態では、検査対象の液晶パネ
ル１がセットされたプロジェクタ２によりスクリーンに
投影し、その投影された画像をＣＣＤカメラ５で撮影
し、その撮影した画像を、コンピュータ装置６により空
間フィルタを用いて処理して点欠陥の検出を行うように
したので、検査員などによる目視検査を行うことなく、
液晶パネルの点欠陥を検出することが可能となり、点欠
陥検出の自動化により欠陥の判定レベルの統一が図れ、
検査員をストレスの多い作業から解放することが可能と
なる。また、空間フィルタを用いて画像を処理するの
で、ＣＣＤノイズが除去でき、点欠陥を強調して、より
正確な点欠陥の検出を行うことが可能となる。In this embodiment, a projector 2 on which a liquid crystal panel 1 to be inspected is set is projected on a screen, the projected image is photographed by a CCD camera 5, and the photographed image is processed by a computer device 6. Since processing is performed using a spatial filter to detect point defects, without performing a visual inspection by an inspector or the like,
It is possible to detect point defects on the liquid crystal panel, and the unification of defect judgment levels can be achieved by automating point defect detection.
It is possible to relieve the inspector from stressful work. Further, since the image is processed using the spatial filter, the CCD noise can be removed, and the point defect can be emphasized and the point defect can be detected more accurately.
【００３０】実施の形態２．この実施の形態は、実施の
形態１において、プロジェクタ２によりスクリーンに投
影した画像をＣＣＤカメラ５で撮影するのではなく、検
査対象の液晶パネル１に光を照射し、その光源の光の照
射による液晶パネル上の表示画像を直接ＣＣＤカメラ５
で撮影するようにしたものである。図１２は本発明の他
の実施の形態に係る点欠陥検出装置の構成を示す図であ
る。図において、１は検査対象の液晶パネル、３は液晶
パネル１に各種パターンを出力するパターンジェネレー
タ、５は液晶パネル上の表示画像を撮影するＣＣＤカメ
ラであり、液晶パネル１の解像度以上の解像度を有する
ＣＣＤを搭載している。６はパターンジェネレータ３及
びＣＣＤカメラ５を制御し、液晶パネル１の点欠陥を検
出するコンピュータ装置であり、ＣＣＤノイズ除去機能
１１、点欠陥強調機能１１及び点欠陥検出機能１２を含
んでいる。７はコンピュータ装置６に接続された表示装
置、８は液晶パネル１に光を照射する光源、９は液晶パ
ネル１を透過する光を減衰させる高速シャッターや減光
フィルタなどの減衰手段である。Embodiment 2 FIG. This embodiment is different from the first embodiment in that the image projected on the screen by the projector 2 is not photographed by the CCD camera 5 but is radiated to the liquid crystal panel 1 to be inspected, and the light from the light source is radiated. Directly display images on the liquid crystal panel with a CCD camera 5
It is intended to be taken with. FIG. 12 is a diagram showing a configuration of a point defect detection device according to another embodiment of the present invention. In the figure, 1 is a liquid crystal panel to be inspected, 3 is a pattern generator for outputting various patterns to the liquid crystal panel 1, 5 is a CCD camera for photographing a display image on the liquid crystal panel, and has a resolution higher than the resolution of the liquid crystal panel 1. Equipped with a CCD. Reference numeral 6 denotes a computer device which controls the pattern generator 3 and the CCD camera 5 and detects a point defect of the liquid crystal panel 1, and includes a CCD noise removal function 11, a point defect enhancement function 11, and a point defect detection function 12. Reference numeral 7 denotes a display device connected to the computer device 6, reference numeral 8 denotes a light source for irradiating the liquid crystal panel 1 with light, and reference numeral 9 denotes attenuating means such as a high-speed shutter or a neutral density filter for attenuating light transmitted through the liquid crystal panel 1.
【００３１】次に、この実施の形態の動作について説明
する。まず、検査対象の液晶パネル１に光源から光を照
射し、コンピュータ装置６によりパターンジェネレータ
３を制御し液晶パネル１上に特定のパターンを表示さ
せ、光源８の光の照射による液晶パネル１上の表示画像
を減衰手段９を介してＣＣＤカメラ５で撮影し、その撮
影データの画像をコンピュータ装置６に出力し、コンピ
ュータ装置６により点欠陥検出処理を行い液晶パネル１
の点欠陥の検出結果を表示装置７などに表示するなどし
て出力する。Next, the operation of this embodiment will be described. First, the liquid crystal panel 1 to be inspected is irradiated with light from a light source, and the computer 6 controls the pattern generator 3 to display a specific pattern on the liquid crystal panel 1. The display image is photographed by the CCD camera 5 via the attenuation means 9, the image of the photographed data is output to the computer device 6, and point defect detection processing is performed by the computer device 6 so that
The result of the point defect detection is displayed on the display device 7 or the like and output.
【００３２】コンピュータ装置６による点欠陥検出の動
作については、実施の形態１と同様であり、コンピュー
タ装置６のＣＣＤノイズ除去機能１１、点欠陥強調機能
１１及び点欠陥検出機能１２により各種空間フィルタを
使用して、ＣＣＤカメラ５で撮影した画像を処理し、点
欠陥の検出を行う。The operation of the point defect detection by the computer device 6 is the same as that of the first embodiment, and various spatial filters are applied by the CCD noise removal function 11, the point defect enhancement function 11, and the point defect detection function 12 of the computer device 6. The image processing device processes an image captured by the CCD camera 5 to detect a point defect.
【００３３】この実施の形態では、検査対象の液晶パネ
ル１に光源８から光を照射し、光源８の光の照射による
液晶パネル１上の表示画像を減衰手段９を介して、ＣＣ
Ｄカメラ５で撮影し、その撮影した画像を、コンピュー
タ装置６により空間フィルタを用いて処理して点欠陥の
検出を行うようにしたので、検査員などによる目視検査
を行うことなく、液晶パネルの点欠陥を検出することが
可能となり、点欠陥検出の自動化により欠陥の判定レベ
ルの統一が図れ、検査員をストレスの多い作業から解放
することが可能となる。また、空間フィルタを用いて画
像を処理するので、ＣＣＤノイズが除去でき、点欠陥を
強調して、より正確な点欠陥の検出を行うことが可能と
なる。In this embodiment, light is radiated from the light source 8 to the liquid crystal panel 1 to be inspected, and the display image on the liquid crystal panel 1 by the irradiation of the light from the light source 8 is transmitted through the attenuating means 9 to the CC.
The image taken by the D camera 5 is processed by the computer device 6 using a spatial filter to detect a point defect, so that a visual inspection by an inspector or the like can be performed without any visual inspection by an inspector or the like. Point defects can be detected, and the defect determination levels can be unified by automating the point defect detection, so that the inspector can be released from stressful work. Further, since the image is processed using the spatial filter, the CCD noise can be removed, and the point defect can be emphasized and the point defect can be detected more accurately.
【００３４】なお、実施の形態１，２では、検査対象の
液晶パネル１を透過型の液晶パネルとして説明したが、
反射型の液晶パネルでもよく、また、ＤＭＤ（デジタル
ミラーデバイス）などの検査にも適用することができ
る。In the first and second embodiments, the liquid crystal panel 1 to be inspected has been described as a transmissive liquid crystal panel.
A reflective liquid crystal panel may be used, and the present invention can be applied to inspection of a DMD (digital mirror device) and the like.
【００３５】また、実施の形態１，２では、点欠陥を強
調する空間フィルタとして、７×７Ｔｏｐｈａｔフィル
タ及び７×７Ｗｅｌｌフィルタを使用したが、図１３に
示すような５×５Ｔｏｐｈａｔフィルタ及び５×５Ｗｅ
ｌｌフィルタなどの他のＴｏｐｈａｔフィルタ及びＷｅ
ｌｌフィルタを空間フィルタとして使用してもよい。図
１３において、図１３の（ａ）は５×５Ｔｏｐｈａｔフ
ィルタ、図１３の（ｂ）は５×５Ｗｅｌｌフィルタの一
例を示している。なお、Ｔｏｐｈａｔフィルタ及びＷｅ
ｌｌフィルタによる重み付けは、図４及び図１３に示す
ものに限定されるものではなく、他の重み付けを有する
Ｔｏｐｈａｔフィルタ及びＷｅｌｌフィルタを使用して
もよい。In the first and second embodiments, the 7 × 7 Tophat filter and the 7 × 7 Well filter are used as the spatial filters for enhancing the point defect. However, the 5 × 5 Tophat filter and the 5 × 5 Wet filter as shown in FIG.
Other Tophat filters such as the ll filter and We
An 11 filter may be used as a spatial filter. 13A illustrates an example of a 5 × 5 Tophat filter, and FIG. 13B illustrates an example of a 5 × 5 Well filter. In addition, Topat filter and We
The weighting by the ll filter is not limited to those shown in FIGS. 4 and 13, and a Tophat filter and a Well filter having other weights may be used.
【００３６】また、実施の形態１では、コンピュータ装
置６を使用して点欠陥の検出処理を行っているが、これ
に限らずＣＣＤノイズ除去機能１０、点欠陥強調機能１
１及び点欠陥検出機能１２による点欠陥検出処理の動作
を行うものであれば、ＣＰＵボードや専用ＬＳＩなどを
使用してもよい。この場合、プロジェクタ２内に、パタ
ーンジェネレータ３とＣＣＤカメラ５を内蔵させ、さら
に、ＣＣＤノイズ除去機能１０、点欠陥強調機能１１及
び点欠陥検出機能１２による点欠陥検出処理の動作を行
うＣＰＵボードや専用ＬＳＩなどを組み込むことによ
り、１筐体で点欠陥検出装置を構成すれば、設置場所を
とらず、簡単に液晶パネルの点欠陥の検出を行うことが
可能となる。In the first embodiment, the point defect detection processing is performed by using the computer device 6. However, the present invention is not limited to this.
A CPU board, a dedicated LSI, or the like may be used as long as it performs the point defect detection processing by the point defect detection function 12. In this case, the projector 2 incorporates the pattern generator 3 and the CCD camera 5, and further includes a CPU board for performing an operation of a point defect detection process by the CCD noise removal function 10, the point defect enhancement function 11, and the point defect detection function 12. If a point defect detection device is constituted by one housing by incorporating a dedicated LSI or the like, it is possible to easily detect a point defect of a liquid crystal panel without taking up an installation place.
【００３７】また、実施の形態２でも同様に、コンピュ
ータ装置６を使用して点欠陥の検出処理を行っている
が、これに限らずＣＣＤノイズ除去機能１０、点欠陥強
調機能１１及び点欠陥検出機能１２による点欠陥検出処
理の動作を行うものであれば、ＣＰＵボードや専用ＬＳ
Ｉなどを使用してもよい。この場合も、１筐体内にパタ
ーンジェネレータ３、ＣＣＤカメラ５、光源８及び減衰
手段９を内蔵させ、さらに、ＣＣＤノイズ除去機能１
０、点欠陥強調機能１１及び点欠陥検出機能１２による
点欠陥検出処理の動作を行うＣＰＵボードや専用ＬＳＩ
などを組み込むことにより、１筐体で点欠陥検出装置を
構成することができ、設置場所をとらず、また、その筐
体を完全密封の状態にすれば、暗室内で作業する必要も
なく、作業員のストレスを軽減でき、簡単に液晶パネル
の点欠陥の検出を行うことが可能となる。Similarly, in the second embodiment, the point defect detection processing is performed using the computer device 6, but the present invention is not limited to this, and the CCD noise removal function 10, the point defect enhancement function 11, the point defect detection If the operation of the point defect detection processing by the function 12 is performed, a CPU board or a dedicated LS
I or the like may be used. Also in this case, the pattern generator 3, the CCD camera 5, the light source 8 and the attenuating means 9 are incorporated in one housing, and the CCD noise removing function 1 is also provided.
0, a CPU board or dedicated LSI for performing point defect detection processing by the point defect enhancement function 11 and the point defect detection function 12
By incorporating such a device, a point defect detection device can be configured with one housing, and it does not require an installation space, and if the housing is completely sealed, there is no need to work in a dark room. The stress of the worker can be reduced, and the point defect of the liquid crystal panel can be easily detected.
【００３８】また、実施の形態１，２では、投影された
画像の光学的な輝度むらを改善しているものとして説明
しているが、ここで、この光学的な輝度むらを改善する
シェーディング処理について説明する。まず、ＣＣＤカ
メラ５で撮影した画像から、液晶パネルの点欠陥やＣＣ
Ｄノイズを除去した輝度むらの情報のみの画像を生成す
る。そして、元画像から輝度むらの情報のみの画像を減
算または除算することにより、輝度むらのない画像を生
成する。ここでは、輝度むらの情報のみの画像を、１１
×１１のＯｐｅｎフィルタを作用させた後、１１×１１
の膨張処理を施すことにより生成させている。Further, in the first and second embodiments, the description has been made assuming that the optical brightness unevenness of the projected image is improved. Here, a shading process for improving the optical brightness unevenness is described. Will be described. First, from the image captured by the CCD camera 5, the point defect of the liquid crystal panel and the CC
An image including only information on luminance unevenness from which D noise has been removed is generated. Then, an image without luminance unevenness is generated by subtracting or dividing an image including only information on luminance unevenness from the original image. Here, an image containing only information on luminance unevenness is represented by 11
After applying a × 11 Open filter, 11 × 11
Is generated by performing the expansion processing.
【００３９】また、実施の形態１，２ではＣＣＤカメラ
５での画像の取り込みは、ＣＣＤカメラ５のカメラ絞り
やシャッター速度などの調整により、通常の取り込みを
行い１００％輝点でもＣＣＤカメラ５のＣＣＤが飽和し
ないようにしているが、微弱な輝点欠陥をより検出でき
るように、ＣＣＤカメラ５のカメラ絞りやシャッター速
度などの調整により、１００％付近の輝点は飽和させる
ようにして、微弱な輝点欠陥をより正確に検出できるよ
うにしてもよい。この場合、１００％付近の輝点欠陥
は、通常の取り込みで検出し、微弱な輝点欠陥の検出
は、１００％付近の輝点を飽和させるようにＣＣＤカメ
ラを調整する取り込みで検出するようにしてもよい。In the first and second embodiments, the image is captured by the CCD camera 5 by adjusting the camera aperture and the shutter speed of the CCD camera 5 to perform normal capturing. Although the CCD is not saturated, the bright spot near 100% is saturated by adjusting the camera aperture and shutter speed of the CCD camera 5 so that a weak bright spot defect can be more detected. A bright spot defect may be detected more accurately. In this case, a bright spot defect near 100% is detected by normal capture, and a weak bright spot defect is detected by capture that adjusts a CCD camera to saturate a bright spot near 100%. You may.
【００４０】また、実施の形態１，２ではＣＣＤカメラ
５での画像を取り込んでいるが、液晶パネルの表示に基
づいた表示画像を取り込むことのできるものであれば、
他の装置などで取り込むようにしてもよい。In the first and second embodiments, the image captured by the CCD camera 5 is captured. However, if it is possible to capture a display image based on the display on the liquid crystal panel,
You may make it take in by another apparatus etc.
【００４１】[0041]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、処理装置
により、画像撮り込み装置により撮り込まれた画像デー
タに含まれる、画像撮り込み装置のノイズを除去し、ノ
イズ除去された画像データに対し点欠陥強調処理を行
い、点欠陥部が強調された画像データに基づいて、点欠
陥を検出し、点欠陥情報を出力するようにしたので、検
査員などによる目視検査を行うことなく、光変調装置の
点欠陥を検出することができ、点欠陥検出の自動化によ
り欠陥の判定レベルの統一が図れ、検査員をストレスの
多い作業から解放することができるという効果を有す
る。As described above, according to the present invention, the processing device removes noise of the image capturing device included in the image data captured by the image capturing device, and removes the noise-removed image data. The point defect emphasis processing is performed on the basis of the image data in which the point defect portion is emphasized, so that the point defect is detected and the point defect information is output, so that a visual inspection by an inspector or the like is not performed, It is possible to detect a point defect of the light modulation device, to unify the defect determination levels by automating the point defect detection, and to release an inspector from a stressful operation.
【図１】本発明の一実施の形態に係る点欠陥検出装置の
構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a point defect detection device according to an embodiment of the present invention.
【図２】ＣＣＤカメラ５で撮影した画像の一例を示す図
である。FIG. 2 is a diagram illustrating an example of an image captured by a CCD camera 5;
【図３】２×２Ｏｐｅｎフィルタによる処理後の画像を
示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an image after processing by a 2 × 2 Open filter.
【図４】７×７Ｔｏｐｈａｔフィルタ及び７×７Ｗｅｌ
ｌフィルタの一例を示す図である。FIG. 4 shows a 7 × 7 Tophat filter and a 7 × 7 Well
It is a figure showing an example of an l filter.
【図５】７×７Ｔｏｐｈａｔフィルタによる処理後の画
像を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an image after processing by a 7 × 7 Tophat filter.
【図６】７×７Ｔｏｐｈａｔフィルタによる強調処理後
の画像から実際の投影範囲のみのデータを取り出した画
像を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating an image obtained by extracting only data of an actual projection range from an image after an enhancement process using a 7 × 7 Tophat filter.
【図７】黒点欠陥のの点欠陥を有する画像の一例を示す
図である。FIG. 7 is a diagram illustrating an example of an image having a black point defect;
【図８】７×７Ｗｅｌｌフィルタによる処理後の画像を
示す図である。FIG. 8 is a diagram showing an image after processing by a 7 × 7 Well filter.
【図９】７×７Ｗｅｌｌフィルタによる強調処理後の画
像から実際の投影範囲のみのデータを取り出した画像を
示す図である。FIG. 9 is a diagram showing an image obtained by extracting data of only the actual projection range from the image after the enhancement processing by the 7 × 7 Well filter.
【図１０】検出結果を表示例を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a display example of a detection result.
【図１１】検出結果を表示例を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing a display example of a detection result.
【図１２】本発明の他の実施の形態に係る点欠陥検出装
置の構成を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing a configuration of a point defect detection device according to another embodiment of the present invention.
【図１３】Ｔｏｐｈａｔフィルタ及びＷｅｌｌフィルタ
の他の例を示す図である。FIG. 13 is a diagram illustrating another example of the Tophat filter and the Well filter.
１ 検査対象の液晶パネル ２ プロジェクタ ３ パターンジェネレータ ４ スクリーン ５ ＣＣＤカメラ ６ コンピュータ装置 ７ 表示装置 ８ 光源 ９ 減衰手段 １０ ＣＣＤノイズ除去機能 １１ 点欠陥強調機能 １２ 点欠陥検出機能 Reference Signs List 1 LCD panel to be inspected 2 Projector 3 Pattern generator 4 Screen 5 CCD camera 6 Computer device 7 Display device 8 Light source 9 Attenuation means 10 CCD noise removal function 11 Point defect enhancement function 12 point defect detection function
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 齋藤 雅夫 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 Ｆターム(参考） 2G086 EE10 2H088 EA15 FA13 FA30 HA06 HA14 MA20 5B057 AA01 BA02 CE02 CE03 DA03 5G435 AA19 BB12 BB17 DD04 KK10 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing from the front page (72) Inventor Masao Saito 3-3-5 Yamato, Suwa-shi, Nagano F-term in Seiko Epson Corporation (reference) 2G086 EE10 2H088 EA15 FA13 FA30 HA06 HA14 MA20 5B057 AA01 BA02 CE02 CE03 DA03 5G435 AA19 BB12 BB17 DD04 KK10
Claims (28)
像撮り込み装置と、 前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データを
演算する処理装置と、を備えた点欠陥検出装置におい
て、 前記処理装置は、 前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データに
含まれる、前記画像撮り込み装置のノイズを除去するノ
イズ除去機能と、 前記ノイズ除去機能によりノイズ除去された画像データ
に対し点欠陥強調処理を行う点欠陥強調機能と、 前記点欠陥強調機能により点欠陥部が強調された画像デ
ータに基づいて、点欠陥を検出し、点欠陥情報を出力す
る点欠陥検出機能とを含むことを特徴とする点欠陥検出
装置。A light modulation device, an image capturing device that captures an image pattern displayed on the light modulation device, and a processing device that calculates image data captured by the image capturing device. In the point defect detection device, the processing device includes: a noise removal function for removing noise of the image capturing device, which is included in image data captured by the image capturing device; and a noise removal function by the noise removal function. A point defect emphasizing function of performing a point defect emphasizing process on the obtained image data; and a point of detecting a point defect and outputting point defect information based on the image data in which the point defect portion is emphasized by the point defect emphasizing function. A point defect detection device comprising a defect detection function.
装置と、 表示されたパターンを撮り込む画像撮り込み装置と、 前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データを
演算する処理装置と、を備えた点欠陥検出装置におい
て、 前記処理装置は、 前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データに
含まれる、前記画像撮り込み装置のノイズを除去するノ
イズ除去機能と、 前記ノイズ除去機能によりノイズ除去された画像データ
に対し点欠陥強調処理を行う点欠陥強調機能と、 前記点欠陥強調機能により点欠陥部が強調された画像デ
ータに基づいて、点欠陥を検出し、点欠陥情報を出力す
る点欠陥検出機能とを含むことを特徴とする点欠陥検出
装置。2. A light modulating device, a pattern generating device for generating a signal to be output to the light modulating device, an image capturing device for capturing a displayed pattern, and an image captured by the image capturing device. A processing device for calculating data, wherein the processing device comprises: a noise removal device that removes noise of the image capturing device, which is included in image data captured by the image capturing device. A point defect enhancement function for performing a point defect enhancement process on the image data from which noise has been removed by the noise removal function, and a point defect based on the image data in which the point defect portion has been enhanced by the point defect enhancement function. A point defect detection function for detecting and outputting point defect information.
装置と、 前記光変調装置がセットされ、前記光変調装置の表示に
基づいた画像を投影する画像投影装置と、 投影されたパターンを撮り込む画像撮り込み装置と、 前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データを
演算する処理装置と、を備えた点欠陥検出装置におい
て、 前記処理装置は、 前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データに
含まれる、前記画像撮り込み装置のノイズを除去するノ
イズ除去機能と、 前記ノイズ除去機能によりノイズ除去された画像データ
に対し点欠陥強調処理を行う点欠陥強調機能と、 前記点欠陥強調機能により点欠陥部が強調された画像デ
ータ基づいて、点欠陥を検出し、点欠陥情報を出力する
点欠陥検出機能とを含むことを特徴とする点欠陥検出装
置。3. A light modulation device, a pattern generation device for generating a signal to be output to the light modulation device, and an image projection device on which the light modulation device is set and projects an image based on a display of the light modulation device A point defect detection device comprising: an image capturing device that captures a projected pattern; and a processing device that calculates image data captured by the image capturing device. A noise removal function for removing noise of the image capturing device, which is included in image data captured by the capturing device, and a point defect for performing a point defect enhancement process on the image data from which noise has been removed by the noise removing function. A point defect detector that detects a point defect and outputs point defect information based on the image data in which the point defect portion is enhanced by the point defect enhancement function. Defect detection apparatus that is characterized in that it comprises and.
置と、 前記光源からの光が前記光変調装置によって変調され、
前記光変調装置から出射する光を撮り込む画像撮り込み
装置と、 前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データを
演算する処理装置と、を備えた点欠陥検出装置におい
て、 前記処理装置は、 前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データに
含まれる、前記画像撮り込み装置のノイズを除去するノ
イズ除去機能と、 前記ノイズ除去機能によりノイズ除去された画像データ
に対し点欠陥強調処理を行う点欠陥強調機能と、 前記点欠陥強調機能により点欠陥部が強調された画像デ
ータ基づいて、点欠陥情報を検出し、点欠陥情報を出力
する点欠陥検出機能とを含むことを特徴とする点欠陥検
出装置。4. A light modulator, a light source for irradiating the light modulator with light, a pattern generator for displaying a pattern on the light modulator, light from the light source is modulated by the light modulator,
An image capturing device that captures light emitted from the light modulation device, and a processing device that calculates image data captured by the image capturing device, a point defect detection device including: A noise removal function for removing noise of the image capturing device included in the image data captured by the image capturing device; and performing a point defect enhancement process on the image data from which the noise has been removed by the noise removing function. A point defect enhancement function, and a point defect detection function of detecting point defect information based on the image data in which the point defect portion is enhanced by the point defect enhancement function and outputting the point defect information. Defect detection device.
置の表示に基づいた画像を、光を減衰させる減衰手段を
介して撮り込むことを特徴とする請求項４記載の点欠陥
検出装置。5. The point defect detecting device according to claim 4, wherein the image capturing device captures an image based on the display of the light modulation device via an attenuation unit that attenuates light.
データの輝度むらを補正する機能を含むことを特徴とす
る請求項１から請求項５のいずれかに記載の点欠陥検出
装置。6. The image processing apparatus according to claim 1, wherein the processing device further includes a function of correcting uneven brightness of image data captured by the image capturing device. Point defect detection device.
に場所による透過率を変化させたグラディエントフィル
タを使用して補正を行うことを特徴とする請求項６記載
の点欠陥検出装置。7. The point defect detection apparatus according to claim 6, wherein the function of correcting the uneven brightness is performed by using a gradient filter in which transmittance is optically changed according to a place.
ィルタを使用した演算処理により補正を行うことを特徴
とする請求項６記載の点欠陥検出装置。8. The point defect detection apparatus according to claim 6, wherein the function of correcting the uneven brightness performs the correction by an arithmetic processing using a spatial filter.
使用した演算処理により前記画像撮り込み装置のノイズ
の除去を行うことを特徴とする請求項１から請求項８の
いずれかに記載の点欠陥検出装置。9. The point defect according to claim 1, wherein the noise removing function removes noise of the image capturing device by an arithmetic process using a spatial filter. Detection device.
を使用した演算処理により点欠陥部の強調を行うことを
特徴とする請求項１から請求項９のいずれかに記載の点
欠陥検出装置。10. The point defect detection apparatus according to claim 1, wherein the point defect enhancement function emphasizes the point defect portion by an arithmetic process using a spatial filter.
欠陥情報を表示する表示装置を備えることを特徴とする
請求項１から請求項１０のいずれかに記載の点欠陥検出
装置。11. The point defect detection device according to claim 1, further comprising a display device that displays the point defect information output from the point defect detection function.
欠陥の種類別に分類した情報として表示することを特徴
とする請求項１１記載の点欠陥検出装置。12. The point defect detection device according to claim 11, wherein the display device displays the point defect information as information classified by type of point defect.
欠陥の種類と欠陥位置の情報として表示することを特徴
とする請求項１１又は１２記載の点欠陥検出装置。13. The point defect detection device according to claim 11, wherein the display device displays the point defect information as information on the type and position of the point defect.
装置の１００％付近の輝点は飽和させる条件で画像を取
り込むことを特徴とする請求項１から請求項１３のいず
れかに記載の点欠陥検出装置。14. The point defect according to claim 1, wherein the image capturing device captures an image under a condition that a bright spot near 100% of the light modulation device is saturated. Detection device.
及び点欠陥検出機能は、コンピュータ装置による演算処
理により実行されることを特徴とする請求項１から請求
項１４のいずれかに記載の点欠陥検出装置。15. The point defect according to claim 1, wherein the noise elimination function, the point defect enhancement function, and the point defect detection function are executed by an arithmetic processing by a computer device. Detection device.
ことを特徴とする請求項１から請求項１５のいずれかに
記載の点欠陥検出装置。16. The point defect detection device according to claim 1, wherein the light modulation device is a liquid crystal panel.
て、 光変調装置によって変調された光に基づく画像パターン
を撮り込む工程と、 撮り込まれた画像データから点欠陥部以外のノイズを除
去する工程と、 点欠陥部以外のノイズが除去された画像データに対し、
点欠陥を強調する工程と、 点欠陥部が強調された画像データ基づいて、点欠陥情報
を検出する工程と、からなる点欠陥検出方法。17. A method for detecting a point defect in a light modulation device, comprising: capturing an image pattern based on light modulated by the light modulation device; and removing noise other than point defect portions from the captured image data. And the image data from which noise other than point defect
A point defect detection method comprising: a step of emphasizing a point defect; and a step of detecting point defect information based on image data in which a point defect portion is emphasized.
て、 前記光変調装置にパターンを表示させる工程と、 前記光変調装置によって変調された光に基づく画像パタ
ーンを撮り込む工程と、 撮り込まれた画像データから点欠陥部以外のノイズを除
去する工程と、 点欠陥部以外のノイズが除去された画像データに対し、
点欠陥を強調する工程と、 点欠陥部が強調された画像データに基づいて、点欠陥情
報を検出する工程と、からなる点欠陥検出方法。18. A method for detecting a point defect in a light modulation device, the method comprising: displaying a pattern on the light modulation device; and capturing an image pattern based on light modulated by the light modulation device. A step of removing noise other than point defect parts from the image data; and a step of removing noise other than point defect parts from the image data.
A point defect detection method comprising: a step of emphasizing a point defect; and a step of detecting point defect information based on image data in which a point defect is emphasized.
て、 前記光変調装置にパターンを表示させる工程と、 前記光変調装置によって変調された光に基づいた画像を
投影する工程と、 投影された画像パターンを撮り込む工程と、 撮り込まれた画像データから点欠陥部以外のノイズを除
去する工程と、 点欠陥部以外のノイズが除去された画像データに対し、
点欠陥を強調する工程と、 点欠陥部が強調された画像データに基づいて、点欠陥情
報を検出する工程と、からなる点欠陥検出方法。19. A method for detecting a point defect in a light modulation device, comprising: displaying a pattern on the light modulation device; projecting an image based on light modulated by the light modulation device; A step of capturing a pattern, a step of removing noise other than point defect parts from the captured image data, and a step of removing noise other than point defect parts from the image data.
A point defect detection method comprising: a step of emphasizing a point defect; and a step of detecting point defect information based on image data in which a point defect is emphasized.
て、 前記光変調装置に光を照射する工程と、 前記光変調装置にパターンを表示させる工程と、 前記光変調装置によって変調された光を撮り込む工程
と、 撮り込まれた画像データから点欠陥部以外のノイズを除
去する工程と、 点欠陥部以外のノイズが除去された画像データに対し、
点欠陥を強調する工程と、 点欠陥部が強調された画像データに基づいて、点欠陥情
報を検出する工程と、からなる点欠陥検出方法。20. A method for detecting a point defect in a light modulation device, comprising: irradiating the light modulation device with light; displaying the light modulation device with a pattern; and capturing the light modulated by the light modulation device. And removing noise other than point defect portions from the captured image data; and removing noise other than point defect portions from the image data.
A point defect detection method comprising: a step of emphasizing a point defect; and a step of detecting point defect information based on image data in which a point defect is emphasized.
を取り込む際、光を減衰させる減衰手段を介して撮り込
むことを特徴とする請求項２０記載の点欠陥検出方法。21. The point defect detecting method according to claim 20, wherein when the light modulated by the light modulation device is taken in, the image is taken through an attenuation means for attenuating the light.
補正する工程からなる請求項１７から請求項２１のいず
れか記載の点欠陥検出方法。22. The point defect detection method according to claim 17, further comprising the step of correcting uneven brightness of captured image data.
的に場所による透過率を変化させたグラディエントフィ
ルタを使用して補正を行うことを特徴とする請求項２２
記載の点欠陥検出方法。23. The method according to claim 22, wherein in the step of correcting the uneven brightness, the correction is performed by using a gradient filter in which transmittance is optically changed depending on a place.
The point defect detection method described.
フィルタを使用した演算処理により補正を行うことを特
徴とする請求項２２記載の点欠陥検出方法。24. The point defect detection method according to claim 22, wherein in the step of correcting the uneven brightness, the correction is performed by an arithmetic processing using a spatial filter.
以外のノイズを除去する際、空間フィルタを使用した演
算処理によりノイズの除去処理を行うことを特徴とする
請求項１７から請求項２４のいずれかに記載の点欠陥検
出方法。25. The method according to claim 17, wherein when removing noise other than a point defect portion from the captured image data, noise removal processing is performed by arithmetic processing using a spatial filter. The point defect detection method according to any one of the above.
を使用した演算処理により点欠陥部の強調処理を行うこ
とを特徴とする請求項１７から請求項２５のいずれかに
記載の点欠陥検出方法。26. The point defect detection device according to claim 17, wherein when the point defect portion is emphasized, the point defect portion is emphasized by an arithmetic process using a spatial filter. Method.
を撮り込む際、前記光変調装置の１００％付近の輝点は
飽和させる条件で画像を撮り込むことを特徴とする請求
項１７から請求項２６のいずれかに記載の点欠陥検出方
法。27. The apparatus according to claim 17, wherein, when capturing the light modulated by the light modulator, an image is captured under a condition that a bright spot near 100% of the light modulator is saturated. 27. The point defect detection method according to any one of items 26 to 26.
とを特徴とする請求項１７から請求項２７のいずれかに
記載の点欠陥検出方法。28. The point defect detection method according to claim 17, wherein the light modulation device is a liquid crystal panel.
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