JP2001221897A - 電子線分布測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子線照射装置の電子線照射領域において電
子線強度が空間的にゆらぐと被処理物の照射量が局所的
にばらつく。電子線照射量の空間分布を、広い電流範囲
で、より正確に、より長時間測定すること。 【解決手段】 電子線の照射窓の直下に電流測定子を多
数置き、電流測定子を抵抗を介して接地し各電流測定子
に流れる電流を測定する。照射領域での電子線電流の空
間分布がこれから分かる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、電子線照射装置
において照射幅方向に電子線分布を測定するための装置
に関する。電子線照射装置は真空中でフィラメントから
熱電子を発生させ加速し照射窓から大気中に取り出して
被照射物に電子線を照射する装置である。熱電子を発生
するためのフィラメントは真空中にあり加速管や走査管
も真空中にある。被照射物は大気中を搬送されるから間
に照射窓が必要である。照射窓にはＴｉ、Ａｌなど金属
窓箔が貼ってある。これは電子線を通し空気を通さない
から真空を維持できるのである。

【０００２】加速電圧は電子線に運動エネルギーを与え
るものである。フィラメントと引出電極の間に高電圧を
掛けて電子ビ−ムを引き出し、これを加速する。加速電
圧は被処理物や目的によって異なる。加速エネルギーは
数百ｋＶ〜数ＭＶの程度である。

【０００３】電子線照射装置はビーム走査を行う走査型
のものと、ビーム非走査のエリア型のものがある。加速
エネルギーが高いものは走査型にするものが多い。高電
圧を分割して掛けるために、複数枚の電極板が経路に沿
って並んでいる。高速で走行するビームは広がりが狭く
細いビームとすることができる。これをコイルによって
ｘ方向とｙ方向に走査する。被処理物の上でビームがｘ
方向ｙ方向に動くから被処理物の全体に一様に電子線を
照射できる。しかし、走査型のものは装置が大規模で複
雑であり高価である。

【０００４】エリア型のものはビーム走査をしない。実
効面積が広い蛇行した形状のフィラメントから熱電子を
発生させカソードとの間で加速する。１段階加速である
から低いエネルギーしか得られない。広い実効面積のフ
ィラメントから電子ビ−ムが出るから走査装置は不要で
ある。

【０００５】いずれにしても照射窓の直下にはコンベヤ
など搬送装置を設けて被照射物を搬送させる。照射窓の
直下を通過する時被照射物は電子線照射を受ける。電子
線の作用は、高分子、ゴムの架橋、医療材料の滅菌など
である。

【０００６】電子ビ−ムの進行方向をｚ方向とする。被
照射物の搬送方向をｘ方向とする。搬送方向とビーム方
向の両方に直交する方向をｙ方向とする。ビームのｙ方
向への広がりは被処理物の幅を全部覆うものでなければ
ならない。被処理物の単位面積あたりの電子線照射量は
一様であることが要求される。ｘ方向は搬送方向である
から電子線強度と搬送速度が時間的に一様なら、ｘ方向
の照射量は一様になる。

【０００７】ところがｙ方向の電子線照射量は必ずしも
一様になるとは限らない。走査型の場合は走査コイルの
性能のばらつきによってｙ方向の単位面積あたりの照射
量は揺らぐ。走査型よりもなおエリア型（非走査型）の
場合にｙ方向の電子線密度のばらつきが問題になる。

【０００８】Ｙ方向の電子線照射量が一様でないとする
と、被処理物がどこを通るかということで受ける電子線
の量が異なる。ある部分では電子線照射量が過大になる
し、またある部分では照射量が不足する。被処理物をコ
ンベヤ上においてｙ方向に一様に分布させても照射量に
ばらつきが生ずる。照射量にばらつきがあるというのは
困った事である。

【０００９】電子線の総量は電流を測定することによっ
て分かる。だから電子線量測定は簡単である。電子線総
量は常時モニタされる。ところが空間分布を測定するの
は難しく面倒でもある。簡単に空間分布を測定できな
い。常時モニタするという訳には行かない。走査型の場
合でもエリア型の場合でもｘ方向に搬送するから、ｘ方
向の分布よりもｙ方向の電子線照射分布の偏りが重大な
影響を持つ。ｙ方向の電子線分布に偏りがあれば被処理
物の処理にばらつきが生ずる。そのような電子線の分布
偏奇は装置の癖ということもできよう。これを調べる簡
単で確実な方法は今でもない、といってよい。

【００１０】

【従来の技術】電子線照射装置において、ｙ方向に電子
線照射量がばらついてはいけない。電子線照射装置を製
造した時だけでなく、定期的に或いは随時にｙ方向の電
子線量分布を調べることが望ましい。

【００１１】電子線量分布を調べる方法が皆無であった
というと正確でない。ＣＴＡフィルムというフィルムを
使って電子線の空間分布を測定する手法が知られてい
た。ＣＴＡフィルムというのは、電子線を受けて吸光度
が変化する特別な有機高分子材料を透明のテープに塗布
したものである。フィルム状であるから任意の形状に切
断できる。ｙ方向の電子線照射範囲より長くＣＴＡフィ
ルムを切断し、ｙ方向に平行に搬送コンベヤに貼り付け
て、コンベヤを動かして、ＣＴＡフィルムを電子線照射
装置の照射窓の下に通す。照射窓を通る時に電子線がＣ
ＴＡフィルムを照射する。電子線照射量に比例してＣＴ
Ａフィルムは吸光度が変化する。吸光度の変化は遅い化
学変化であり平衡に達するまでに約２時間かかる。コン
ベヤからＣＴＡフィルムを取りさり、２時間おいてＣＴ
Ａフィルムを吸光度測定装置にかける。するとｙ方向の
吸光度分布がわかる。ｙ方向の吸光度変化分布から電子
線照射量のｙ方向分布が求められる。

【００１２】図１はＣＴＡフィルムを搬送コンベヤに貼
ってエリア型電子線照射装置の照射窓の直下に通して電
子線量分布を求める従来の手法を示す。搬送コンベヤ２
１に、ＣＴＡフィルム２２をｙ方向に平行になるよう貼
ってある。エリア型電子線照射装置の真空チャンバ２内
部のフィラメント（カソード）とアノードよりなる電子
源１から発生した電子線ｅ⁻は照射窓１３の窓箔３を通
って大気中（照射室内）に出てコンベヤ２１に当たる。
コンベヤ２１をｘ方向に進めＣＴＡフィルム２２に電子
線を照射する。電子線量に応じてＣＴＡフィルム２２は
吸光度が変わる。フィルムは透明から褐色を帯びるよう
に変化する。肉眼でもそのような変化はわかる。しかし
定量化するために吸光度測定装置で厳密に測定する。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のＣ
ＴＡフィルムの化学変化を使った方法にはいくつかの欠
点がある。精度が低く、測定可能な電子線量に限界があ
り、測定時間が長く、常時測定不可能というような欠点
である。

【００１４】（１）測定精度が不十分 従来のＣＴＡフィルムを使った測定では、 イ．ＣＴＡフィルム自体のばらつき ロ．ＣＴＡフィルム表面のごみ、汚れ、傷 ハ．ＣＴＡフィルム貼付時の波打ち などにより数％の誤差が伴う。ＣＴＡフィルムは高分子
材料でありフィルムに塗布した時の厚みばらつき塗布ム
ラなどがあり感度の空間的な揺らぎが生ずる。一様に塗
布できたとしても表面にゴミや汚れや傷があると電子線
が局所的に遮られる。また長いＣＴＡフィルムをコンベ
ヤに貼り付ける時に一様に貼るのは難しい。重なったり
波打ったりすることがある。

【００１５】（２）測定範囲が狭い ＣＴＡフィルムは最大１０Ｍｒａｄ程度までしか測定で
きない。図２に吸収線量と吸光度の関係を示す。有機高
分子のフィルムであるから熱に弱く１０Ｍｒａｄ以上の
照射量では焼損する。１０Ｍｒａｄ以上の電子線分布を
測定したいという要求がある。例えば１０Ｍｒａｄ〜１
５Ｍｒａｄの電子線照射をする被処理物も多い。そのよ
うな要求にＣＴＡフィルムは応えることができない。

【００１６】（３）測定に要する時間が長い ＣＴＡフィルムは電子線を吸収して吸光度が変化するが
反応は遅い。平衡に到達するまでに時間がかかる。電子
線照射後吸光度の値が落ちつくまで２時間程度待つ必要
がある。フィルムを取り出してから２時間放置し、その
後吸光度測定する。これでは時間がかかりすぎる。より
迅速に結果を知りたいものである。このように時間がか
かり特別の測定装置も要るので、ＣＴＡフィルムによる
電子線分布測定はこれまであまり実行されていなかっ
た、というのが実状である。

【００１７】（４）常時計測ができない ＣＴＡフィルムはコンベヤに貼り付けて電子線を当て、
取り外してから電子線照射後２時間養生させなければな
らない。であるから連続的に常時測定するというような
ことは望めない。生産機械としての電子線照射装置の場
合は常時測定の必要性は薄い。しかし実験機械としての
電子線照射装置の場合、パラメータを変化させてコンベ
ヤ上の電子線ｙ方向分布を知りたいということがある。
その場合に常時計測の必要性がある。

【００１８】電子線空間分布を高精度で測定できる方法
を提供することが本発明の第１の目的である。１０Ｍｒ
ａｄ以上の電子線分布をも測定できる方法を提供する事
が本発明の第２の目的である。短時間で電子線空間分布
を測定できる方法を提供する事が本発明の第３の目的で
ある。電子線空間分布を常時計測できる方法を提供する
ことが本発明の第４の目的である。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明の電子線分布測定
装置は、電子線照射装置の照射窓の直下に、複数のビー
ム電流測定子を搬送方向と電子線方向に直角に並べ、電
流測定抵抗を通してアースに接続し、各電流測定抵抗の
両端の電圧によってビーム電流を求める。電子線がビー
ム電流測定子に当たると運動エネルギーを失ってジュー
ル熱を生じ単位電荷分の電流が流れる。これは電流測定
抵抗を通りアースに逃げて消滅する。抵抗を通る時に電
圧を発生するから抵抗両端の電圧を測定することにより
電流検出できる。おのおののビーム電流のデータはデー
タ分析器に入力する。

【００２０】電流測定子は金属の棒材である。中実体の
棒でもよい。内部を中空にした棒でもよい。中空棒の場
合は内部に水を通して冷却することができる。電子線に
よってビーム電流測定子は加熱されるから冷却が必要に
なることが多い。ビーム電流測定子はｙ方向に複数個並
べる。だから照射窓長手方向のビーム強度分布を直ちに
求めることができる。つまり測定に時間がかからない。
化学変化などを利用しないからである。

【００２１】電子１個の入射によって流れる電流は全部
がビーム電流測定子からアースに流れる。電流測定抵抗
を使ってビーム電流そのものを測定するので精度が高
い。化学変化を利用すると電流と吸光度の関係には、非
線形性などが介在し複雑である。本発明は直接にビーム
電流を検出するから正確である。

【００２２】ビーム電流測定子を冷却しておけば電子線
照射量が増加しても電流を測定できる。１０Ｍｒａｄ以
上は測定できないＣＴＡフィルム法に比べ便利である。
この装置を搬送コンベヤの下で照射窓の直下に設けてお
けばコンベヤを止めて電子線を連続照射して常時計測も
可能である。コンベヤが電子線を幾分でも通すものであ
ればコンベヤを動かしながらでも常時計測できる。

【００２３】

【発明の実施の形態】電子線は照射窓から出てｙ方向に
並ぶビーム電流測定子に当たる。ビーム電流測定子は金
属であるから電子は吸収され熱を発生し電流を生ずる。
ビーム電流測定子に流れるビーム電流は抵抗で電圧に変
換される。電流値データは、分析器へ送られる。分析器
にて、各測定位置での電流量がプロットされ、さらに最
大値、最小値、平均値、ばらつき（最大値／平均値）な
どの分析が行われ、表示される。

【００２４】ｎ個のビーム電流測定子Ｇ_１、Ｇ_２、…、
Ｇ_ｎが照射窓の直下にｙ方向に整列しているとする。ビ
ーム電流測定子は電流測定抵抗Ｒ_１、Ｒ_２、…、Ｒ_ｎを
介してアースされている。電子線照射量をＱ_１、Ｑ_２、
…、Ｑ_ｎとする。ビーム電流測定子に流れる電流を
Ｉ_１、Ｉ_２、…、Ｉ_ｎとする。電流測定抵抗の両端に現
れる電圧をＵ_１、Ｕ_２、…、Ｕ_ｎとする。

【００２５】電子はビーム電流測定子に当たって吸収さ
れ熱を出し、電荷素量ｅ分の電流を生ずる。エネルギー
の高い電子はＸ線や二次電子を出すこともあるかもしれ
ない。Ｘ線は電荷がないから測定上の問題がない。二次
電子が出るとその分だけ電荷が減る。だからＩ_ｊ（ｊ＝
１，２，…，ｎ）はＱ_ｊにほぼ等しいが僅かに小さいか
もしれない。しかし、その減少分はｎ個の測定子に共通
であるからＩ_ｊはＱ_ｊに比例すると言える。

【００２６】Ｉ_ｊ＝αＱ_ｊ （１）

【００２７】αは１に近い定数である。これは電子エネ
ルギーに依存する。電流Ｉ_ｊは電流測定抵抗Ｒ_ｊを通っ
て電圧を発生するから、

【００２８】Ｕ_ｊ＝Ｒ_ｊＩ_ｊ （２）

【００２９】である。電圧Ｕ_ｊを測定するから、Ｑ_ｊを
直ちに求めることができる。

【００３０】Ｑ_ｊ＝Ｕ_ｊ／αＲ_ｊ （３）

【００３１】これをデータ分析器に送るようになってい
る。ビーム電流測定子の形状、寸法を任意に変化させる
こともできるが同一としてもよい。円筒状、円柱状、平
板状などおおまかな形状は任意であるが、ｘ方向にある
程度の長さがあった方が良い。そこで「棒材」と表現し
た。

【００３２】図３によって、本発明の構成を説明する。
これはエリア型（非走査型）の電子線照射装置である。
本発明はもちろん走査型の電子線照射装置にも適用でき
る。真空チャンバ２はステンレスなど金属製の容器で内
部を真空に保持している。真空チャンバ２の内部に電子
源１が設けられる。電子源１はフィラメントとアノード
を組み合わせたものである。カソードであるフィラメン
トから熱電子を出しアノード間で加速する。加速された
電子線ｅ⁻が下方に向かって平行に飛ぶ。エリア型であ
るから走査機構がない。フィラメントが充分な実効面積
を持ち電子が広い面積において等分に発生するように工
夫されている。照射断面（照射領域）Ｓは必ずしも矩形
でないが、ｘ方向にｋ、ｙ方向にｈの寸法を持つものと
する。ｘ方向に搬送するからｋは短くてもよいがｈはか
なり大きい必要がある。

【００３３】真空チャンバ２の下方には開口部があり、
この開口部が照射窓１３である。照射窓１３は電子線断
面Ｓ（ｈ×ｋ）よりも大きい広がりを持つ。照射窓１３
にはＴｉ、Ａｌなどの薄い金属製の窓箔３が貼ってあ
る。窓箔３の上は真空で、下は大気圧である。窓箔３は
真空チャンバ２内の真空を保持し電子線を透過させると
いう二つの役割がある。

【００３４】真空チャンバ２の照射窓１３の下には照射
室４が設けられる。金属で囲んだ広い空間であり搬送コ
ンベヤなどが設けられる。ここでは簡単のため搬送機構
は図示していない。図３はｙｚ断面であり、搬送コンベ
ヤは図３において紙面と直角の方向（ｘ方向）に動く。

【００３５】照射室４は金属によって閉じられる。電子
線によってＸ線が出るのでＸ線が外部に出ないような工
夫がなされる。コンベヤの経路を上下にまげコンベヤの
上下に遮蔽板を垂直に設けたりする。

【００３６】照射室４の内部にビームと直角に（ｘｙ
面）測定子絶縁支持台５が設けられる。特にｙ方向に長
い台である。これはセラミック、プラスチックなど絶縁
体の板である。測定子絶縁支持台５の下にはビームキャ
ッチャー７がある。これは金属製の台で放熱の為に設け
てある。測定時間が短く温度が上がらない場合は不要で
ある。またビーム電流測定子に冷却媒体を通す場合もビ
ームキャッチャー７は不要である。

【００３７】測定子絶縁支持台５の上には、ｙ方向にい
くつもの棒状のビーム電流測定子６が取り付けられる。
一つ一つのビーム電流測定子６はｘ方向に延びる金属棒
材である。個々のビーム電流測定子は互いに絶縁されて
おり電気的に独立である。

【００３８】ｎ個のビーム電流測定子のどこかに独立の
ｎ本のケーブル８の一端が接続される。ｎ本のケーブル
は照射室４の外部に取り出される。ｎ本のケーブルは多
チャンネル電流計測器９につながれる。これはｎ個の電
流測定抵抗Ｒ_１〜Ｒ_ｎを介してケーブルをアースし、電
流測定抵抗Ｒ_１〜Ｒ_ｎに流れる電流Ｉ_１〜Ｉ_ｎを測定す
る装置である。

【００３９】複数の電流信号Ｉ_１〜Ｉ_ｎが、多チャンネ
ル電流計測器９からデータ分析器１０に伝送される。こ
れは電流値をもとに様々の処理をする。モニタ画面に電
子線分布Ｑ_１〜Ｑ_ｎを映し出すことができる。図ではそ
のような状態を例示している。データはメモリに記録し
蓄積できるし、さまざまの演算に利用することもでき
る。

【００４０】この例では多チャンネル電流計測器９は照
射室の外部に設けられているが、これに相当するものを
照射室４の内部に設けることもできる。図４にそのよう
な例を示す。測定子絶縁支持台の図示は略す。支持体１
１とおのおののビーム電流測定子６の間に電流測定抵抗
Ｒ_１〜Ｒ_ｎを接続し、支持体１１をグランドに落とす。
ビーム電流測定子に繋いだケーブル８を外部に取り出
す。このケーブルには電流量に比例する電圧Ｕ_１〜Ｕ_ｎ
が現れている。こうすると照射室内部に電流測定抵抗を
収容できる。

【００４１】また多チャンネル電流計測器９はｎ本の独
立の抵抗を用いる必要はない。１本の抵抗だけを用いて
スイッチによって、ｎ個のビーム電流測定子６と１本の
抵抗を切り替えるようにしても良い。こうすると抵抗分
の体積を減らすことができ抵抗値のばらつきの問題もな
い。図５にはそのような多チャンネル電流計測器９の例
を示す。ｎ個の入力端子を１個の端子に選択的に接続す
るスイッチユニット１２と、一つの電流測定抵抗Ｒ_０が
ある。データ分析器１０からチャンネル切り替え信号が
送られ、これによってスイッチを切り替える。測定結果
である電圧Ｕ_１〜Ｕ_ｎは時系列的にデータ分析器１０に
伝送される。

【００４２】

【実施例】［実施例１（ビーム電流測定子が照射領域の
ｘ方向より長い）］図６にビーム電流測定子の一例を示
す。照射領域Ｓ（ｈ×ｋ）のｙ方向（ｈ方向）に均分に
ビーム電流測定子が配分されている。ビーム電流測定子
は角型、丸型、半丸型などの金属棒である。中実体であ
ってもよいし中空体であってもよい。図１１にビーム電
流測定子の断面形状の例を示す。ｘ軸に平行なビーム電
流測定子は一定のピッチｂでｙ方向に並んでいる。ｂｎ
は、照射領域の幅ｈにほぼ等しい。ビーム電流測定子の
長さＬは、照射領域の長さｋより長い（Ｌ＞ｋ）。これ
によって照射領域Ｓのｙ方向のｎ点での電子線量が分か
る。

【００４３】［実施例２（ｘ方向にも複数のビーム電流
測定子がある）］図７にはｘ方向にもｍ個のビーム電流
測定子６を並べているものを示す。合計ｍｎ個のビーム
電流測定子を照射領域Ｓに縦横に並べたものである。ｙ
方向のビーム強度分布だけでなくて、ｘ方向のビーム強
度分布も分かる。

【００４４】［実施例３（内部に冷却媒体を通すも
の）］図８にはビーム電流測定子を中空にして内部に冷
却媒体を通すものを示す。ｎ個のビーム電流測定子６に
冷却媒体１５を通す。測定子は相互に絶縁されていなけ
ればならないから、折り返し点に絶縁導管１４を設けて
隣接ビーム電流測定子を繋ぎ蛇行するように冷却媒体
が、ビーム電流測定子と絶縁導管１４の内部を進行する
ようにする。常時冷却されるのでビーム電流測定子が加
熱損傷することがない。連続長時間の測定が可能であ
る。冷却媒体としては高抵抗の純水などを用いることが
できる。絶縁導管１４は例えばＦＲＰ（ファイバ強化プ
ラスチック）を用いることができる。

【００４５】［実施例４（内部に冷却媒体を保持す
る）］図９に示すように中空のビーム電流測定子６に熱
容量の大きい冷却媒体を充填するようにもできる。前例
のように媒体を通すのでないからホースや絶縁導管が不
要である。これでも１分〜数分の測定に耐える。

【００４６】［実施例５（ビーム電流測定子を内部で抵
抗によってアースした）］高電圧中で金属部材は浮動電
位になるとチャージアップ、放電などがおこって好まし
くない。これを回避できる構成例を述べる。図１０はビ
ーム電流測定子６を抵抗によって支持台に接続したもの
を示す。支持台１７はアースされ、その上に絶縁物１６
を介してビーム電流測定子６が乗せてある。これは図４
で示したものと同じである。そのようにするとビーム電
流測定子６が抵抗１８（Ｒ_ｊ）でグランドに接続されて
いるから、ケーブルが途中で断線（１９）しても、ビー
ム電流測定子の電位が浮動しない。

【００４７】

【発明の効果】（１）ＣＴＡフィルムのように化学反応
を使わず直接電子線のビーム電流を計測する。精度の良
い電子線電流測定ができる。 （２）ビーム負荷に対して適当な測定時間、或いは冷却
を施せば測定電流の制限がなくなる。ＣＴＡフィルムで
は計測できなかった高い線量（１０Ｍｒａｄ以上）に相
当するビーム電流を計測できる。 （３）リアルタイムで計測できる。 （４）測定子を冷却すれば常設することができる。任意
の時に分布測定できる。 （５）取り外しが簡単である。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＣＴＡフィルムを用いた従来例にかかる電子線
電流測定方法を説明するための電子線照射装置の概略斜
視図。

【図２】ＣＴＡフィルムを用いた従来例にかかる電子線
電流測定において照射量と吸光度が比例するが１０Ｍｒ
ａｄ以上は計測できないことを示すグラフ。

【図３】本発明の概略の構成を示す電子線照射装置の断
面図。

【図４】アースされた照射室内部の金属導体に電流測定
子が抵抗を介してつながっている例を示す断面図。

【図５】多チャンネル電流計測器の内部構成の一例を示
す図。

【図６】電流測定子が照射領域Ｓのｘ方向より長いもの
である実施例を示す斜視図。

【図７】電流測定子がｘ方向にも複数個に分割されてお
りｙ方向への分割を合わせてｍｎ個縦横に存在する実施
例を示す斜視図。

【図８】電流測定子の内部を中空にして絶縁導管とつな
ぎ、内部に冷却媒体を流すようにした実施例を示す斜視
図。

【図９】電流測定子の内部を中空にし内部に冷却媒体を
密封した実施例を示す斜視図。

【図１０】照射室の内部においてアースされた板の上に
絶縁体を介して電流測定子を置き、電流測定子と板を抵
抗によって接続している実施例を示す斜視図。

【図１１】ビーム電流測定子の断面形状。（ａ）は正方
形中実体断面、（ｂ）は正方形筒型断面、（ｃ）は円形
中実体断面、（ｄ）は円筒形断面、（ｅ）は半円中実体
断面、（ｆ）は半円筒体断面。

【符号の説明】 １ 電子源 ２ 真空チャンバ ３ 窓箔 ４ 照射室 ５ 測定子絶縁支持台 ６ ビーム電流測定子 ７ ビームキャッチャー ８ ケーブル ９ 多チャンネル電流計測器 １０ データ分析器 １１ 支持体 １２ スイッチユニット １３ 照射窓 １４ 絶縁導管 １５ 冷却媒体 １６ 絶縁物 １７ 支持台 １８ 抵抗 １９ ケーブル断線 ２１ 搬送コンベヤ ２２ ＣＴＡフィルム

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子線照射装置の照射窓直下の電子線照
   射領域Ｓに、複数のビーム電流測定子を搬送方向と電子
   線方向に直角に並べ、電流測定抵抗を通してアースに接
   続し、各電流測定抵抗に流れる電流によって電子線電流
   の空間分布を求める事を特徴とする電子線分布測定装
   置。
2. 【請求項２】 電子線照射領域Ｓの搬送方向の長さｋよ
   り、ビーム電流測定子の長さＬが長い事を特徴とする請
   求項１に記載の電子線分布測定装置。
3. 【請求項３】 搬送方向にもビーム電流測定子を複数個
   設け、縦横にビーム電流測定子を照射領域に並べた事を
   特徴とする請求項１に記載の電子線分布測定装置。
4. 【請求項４】 ビーム電流測定子内部を空洞とし内部に
   冷却媒体を流すことによってビーム電流測定子を冷却す
   る事を特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の電子線
   分布測定装置。
5. 【請求項５】 要求精度内に抵抗値の揃った抵抗器を、
   各ビーム電流測定子に付け、抵抗器の一端をアースに落
   とし、電圧信号を照射室外に設けた電流計測装置に送る
   ことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の電子線
   分布測定装置。
6. 【請求項６】 ビーム電流測定子の内部を空洞として冷
   却媒体を内蔵させた事を特徴とする請求項１〜３または
   ５の何れかに記載の電子線分布測定装置。