JP2001221604A - 位置センサの調整方法及び取り付け方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウォーミングアップ時間の省略、調整精度を
維持した調整および取り付け精度を維持した取り付けを
可能とし、位置センサのリニアリティ誤差をなくす。 【解決手段】 位置決め対象物の位置を検出する第１の
位置センサを構成する変位増幅器３を調整するための調
整方法であって、既に調整済みの第２の位置センサを構
成する第２の変位増幅器８から出力される位置検出信号
を用いて、調整を行うべき前記第１の位置センサの変位
増幅器３のゼロ点調整およびスパン調整を行い、第１お
よび第２の位置センサの調整位置を、前記位置決め対象
物の位置決め基準位置で調整を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイスや
液晶デバイスなどのデバイスを製造するためのデバイス
製造装置におけるＸＹステージなどの可動部を設置床上
に支持するアクティブダンパ（能動的除振装置）等の位
置検出に用いられる位置センサの調整方法、および取り
付け方法に関し、特に、位置センサの温度ドリフトに起
因した位置検出誤差（温度ドリフト誤差）を補正して、
位置センサを電源停止状態から通電した際のウォーミン
グアップ時間を不要にし、電源通電開始直後から位置セ
ンサを高精度にて調整可能、および高精度にて取り付け
可能とし、よって、位置センサの調整時間を短縮、およ
び取り付け時間を短縮し、デバイス製造装置の生産性の
向上を可能にした位置センサの調整方法、および取り付
け方法に関するものである。

【０００２】また、本発明は、個々の位置センサの持つ
位置検出誤差（リニアリティ誤差）を最小にし、デバイ
ス製造装置におけるアクティブダンパの位置決め精度を
向上可能にした位置センサの調整方法、および取り付け
方法に関するものである。

【０００３】

【従来の技術】類似の提案として、特願平１１−１８２
９８１号（発明の名称「除振装置ならびにデバイス製造
装置および方法」）に開示されている従来例がある。こ
の提案は、固定の基準長を測定する第２の位置センサを
除振装置内に備えて、除振台の位置を測定する第１の位
置センサの位置の補正を行うものである。

【０００４】これに対して本発明では、第２の位置セン
サは除振装置内に配置されずに、調整工程および組立工
程で使用される。

【０００５】周知のように、半導体デバイスや液晶デバ
イスなどのデバイスを製造するためのデバイス製造装置
には、露光用ＸＹステージ等の振動を嫌う精密機器群を
除振台上に搭載するアクティブダンパ（能動的除振装
置）が使用されている。このアクティブダンパには除振
台の位置を検出する多数の位置センサが使用されてい
る。位置センサは、ターゲットの位置を検出するセンサ
ヘッドと、前記センサヘッドに接続され前記ターゲット
位置を位置検出信号に変換する変位増幅器（センサアン
プ）で構成されている。位置センサとしては渦電流式変
位センサや静電容量式変位センサ等が知られている。通
常、これらの変位増幅器には位置検出信号のゼロ点を調
整するゼロ点調整ボリューム、および位置検出信号のス
パンを調整するスパン調整ボリューム等の調整機能を備
えている。ゼロ点調整ボリュームおよびスパン調整ボリ
ュームはオフセット調整ボリュームおよびゲイン調整ボ
リュームと呼ばれる場合もあるが、それらの機能や動作
は全く同じである。位置センサは上記の調整をセンサ単
体で行い、その後、除振台の位置測定箇所に取り付けら
れる。

【０００６】まず、図３を用いて、従来の位置センサを
調整する時の構成を説明する。同図において、１はステ
ンレス鋼等のターゲット、２はターゲット１の位置を検
出するセンサヘッド、３はセンサヘッド２の検出するタ
ーゲット位置を電圧に変換し電圧出力端子に出力する変
位増幅器、４は変位増幅器３に電力を供給する直流電
源、５は変位増幅器３から出力される位置検出電圧を測
定するデジタルマルチメータ等の電圧測定器である。

【０００７】次に、従来の位置センサの調整方法を説明
する。センサヘッド２、変位増幅器３、直流電源４、電
圧測定器５を図３に示す様に接続し、直流電源４から変
位増幅器３に電力を供給する。電源投入後に数十分間以
上のウォーミングアップ時間をとり、その後に以下の調
整作業を行う。

【０００８】以下に、測長範囲０ｍｍから２ｍｍを位置
検出電圧０Ｖから５Ｖとして出力する位置センサを例と
して、変位増幅器のゼロ点調整ボリュームとスパン調整
ボリュームの従来における調整方法を説明する。

【０００９】まず、ターゲット１をセンサヘッド２に密
着させ、すなわち測定長Ｌ_X ＝０ｍｍの時、変位増幅器
３の電圧出力端子の電圧Ｖ_X が０．０００Ｖを出力する
ようにゼロ点調整ボリュームを調整する。次に、ターゲ
ット１をセンサヘッド２からブロックゲージ等を用いて
正確に２ｍｍ離し、すなわち測定長Ｌ_X ＝２ｍｍの時、
変位増幅器３の電圧出力端子の電圧Ｖ_X が５．０００Ｖ
を出力するようにスパン調整ボリュームを調整する。こ
のスパン調整ボリュームの調整によってゼロ点調整ボリ
ュームの調整がずれる場合があるので、上記のゼロ点調
整ボリュームの調整およびスパン調整ボリュームの調整
を数回繰り返す。調整が完了した変位増幅器３は調整値
がずれないように上記の調整ボリュームを接着剤等の固
定手段で固定する。なお、一般的には、上記のセンサヘ
ッド２と変位増幅器３はぺアで管理し、どちらかを修理
交換する場合は、新たなペアで上記の調整作業を再度行
う必要がある。

【００１０】次に、調整が完了したセンサヘッド２およ
び変位増幅器３のペアをアクティブダンパの位置測定箇
所に取り付ける際の取り付け方法を説明する。センサヘ
ッド２の取り付け時の構成も図３に示すのと同じ構成で
ある。

【００１１】まず、取り付け基準長、例えば１ｍｍのブ
ロックゲージ等を用いて、センサヘッド２をターゲット
１から取り付け基準長１ｍｍだけ離し、すなわち測定長
Ｌ_X＝１ｍｍで取り付ける。次に、センサヘッド２、変
位増幅器３、直流電源４を図３のように相互に接続し、
直流電源４から変位増幅器３に電力を供給する。変位増
幅器３の電圧出力端子には電圧測定器５を接続する。電
源投入後に数十分間以上のウォーミングアップ時間をと
り、その後に以下の取り付け作業を行う。

【００１２】変位増幅器３の電圧出力端子が上記の測定
長Ｌ_X ＝１ｍｍに対応する位置検出電圧である２．５０
０Ｖを出力するように、センサヘッド２の位置を移動さ
せ固定する。固定ネジの締め付けにより電圧Ｖ_X が２．
５００Ｖからずれる場合は、上記作業を繰り返す。上記
のように、変位増幅器３から出力される位置検出電圧を
電圧測定器５で確認しながらセンサヘッド２を固定する
取り付け方法を実施することにより、アクティブダンパ
にセンサヘッド２を１μｍ以内の精度で取り付けするこ
とが可能となる。

【００１３】上記の従来例では、アナログ電圧を出力す
る位置センサの場合の調整方法および取り付け方法を説
明したが、デジタル値を出力する位置センサの場合もそ
の調整方法および取り付け方法は同じである。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】渦電流式変位センサは
ステンレス鋼等のターゲットとセンサヘッドとの距離を
渦電流を利用して測定し、変位増幅器より電圧等の位置
検出信号として出力する。同様に、静電容量式変位セン
サは金属または半導体等のターゲットとセンサヘッドと
の距離を静電容量を利用して測定し、変位増幅器より電
圧等の位置検出信号として出力する。これらの位置セン
サは電源停止状態から電源投入直後の数十分間には変位
増幅器内の電子回路の温度上昇に起因する位置検出誤差
（温度ドリフト誤差）が発生し、その位置検出誤差は数
十μｍにまで達する。

【００１５】したがって、上記従来例の位置センサの調
整方法および取り付け方法では、変位増幅器の電源投入
後に数十分間以上のウォーミングアップ時間が必要であ
り、このウォーミングアップ時間を無視して調整または
取り付け作業を行った場合は、上記のように調整精度お
よび取り付け精度が数十μｍ悪化することになる。

【００１６】本発明の第１の目的は、上述の従来例に於
ける問題点に鑑み、アクティブダンパに使用される位置
センサの調整作業および取り付け作業において、上記の
ウォーミングアップ時間を省略し、かつ、調整精度を維
持した調整および取り付け精度を維持した取り付けを可
能とする位置センサの調整方法および取り付け方法を提
供し、よって、デバイス製造装置の生産性を向上させる
ことである。

【００１７】また、渦電流式変位センサや静電容量式変
位センサ等の位置センサは、個々の位置センサで異なる
位置検出誤差（リニアリティ誤差）を含んでいる。０ｍ
ｍから２ｍｍを測定する位置センサにおいて、ゼロ点調
整およびスパン調整を測定範囲の両端、すなわち０ｍｍ
および２ｍｍで調整した場合、測定範囲の中央付近で
は、図５に示す様にリニアリティ誤差が大きくなり、そ
の測長誤差が数十μｍ前後に達してしまう場合がある。
デバイス製造装置のアクティブダンパ等では位置決め基
準中立位置に位置決めを行うが、その位置決め基準中立
位置が位置センサの測定範囲の中央付近に当たるので、
上記のリニアリティ誤差が位置決め精度を悪化させてい
た。

【００１８】本発明の第２の目的は、上述の従来例に於
ける問題点に鑑み、位置センサの調整方法において、ゼ
ロ点調整およびスパン調整を位置決め基準中立位置およ
びその近傍で行い、位置センサの取り付け方法におい
て、センサヘッドの取り付けを位置決め基準中立位置で
行うことにより、位置センサのリニアリティ誤差をなく
す位置センサの調整方法および取り付け方法を提供し、
よって、デバイス製造装置のデバイス製造精度を向上さ
せることである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、位置決め対象物の位置を検出する第１の
位置センサを調整するための位置センサの調整方法であ
って、既に調整済みの第２の位置センサから出力される
位置検出信号を用いて、調整を行うべき前記第１の位置
センサのゼロ点調整およびスパン調整を行うことを特徴
とする。

【００２０】上記構成において、第２の位置センサは、
第１の位置センサと同じ距離を測定する様に設置し、第
２の位置センサの出力する位置検出信号を、調整を行う
べき第１の位置センサの出力する位置検出信号の目標値
として使用することにより、位置センサの調整時間を短
縮し、かつ、位置センサのウォーミングアップ時間中も
位置センサに必要な精度で調整することが可能となる。

【００２１】また、本発明は、位置決め対象物の位置を
検出する第１の位置センサを取り付けるための位置セン
サの取り付け方法であって、固定された基準長を検出す
る第２の位置センサから出力される位置検出信号を用い
て、前記第１の位置センサの取り付け位置の調整を行う
ことを特徴とする。

【００２２】上記構成において、第２の位置センサの出
力する固定された基準長の位置検出信号を、取り付けを
行うべき第１の位置センサの出力する位置検出信号の目
標値として使用することにより、位置センサの取り付け
時間を短縮し、かつ、位置センサのウォーミングアップ
時間中も位置センサに必要な精度で取り付けすることが
可能となる。

【００２３】

【発明の実施の形態および作用】本発明の実施の形態と
して、位置センサの調整方法は、前記第１および第２の
位置センサの調整位置を、除振装置の位置決め基準中立
位置およびその近傍の位置を用いて調整を行ってもよ
い。

【００２４】上記構成において、位置センサの出力する
位置検出信号のリニアリティ誤差は、位置決め対象物で
ある除振装置の位置決め基準中立位置およびその近傍で
最小になる。

【００２５】また、本発明の実施の形態として、位置セ
ンサの取り付け方法は、前記固定された基準長を位置決
め対象物である除振装置の位置決め基準中立位置とする
ことを特徴とすることができる。

【００２６】上記構成において、位置センサの出力する
位置検出信号のリニアリティ誤差は、位置決め対象物で
ある除振装置の位置決め基準中立位置近傍で最小にな
る。

【００２７】本発明の実施の形態に係る位置センサの調
整方法または取り付け方法は、位置センサは渦電流式変
位センサであることを特徴としてもよい。

【００２８】上記構成において、渦電流式変位センサの
ウォーミングアップ時間を省略し、変位センサの温度ド
リフト誤差をキャンセルした調整および取り付けを可能
とし、位置決め位置近傍で変位センサのリニアリティ誤
差を最小にする調整および取り付けが可能となる。

【００２９】また、本発明の実施の形態に係る位置セン
サの調整方法または取り付け方法は、位置センサは静電
容量式変位センサであることを特徴としてもよい。

【００３０】上記構成において、静電容量式変位センサ
のウォーミングアップ時間を省略し、変位センサの温度
ドリフト誤差をキャンセルした調整および取り付けを可
能とし、位置決め位置近傍で変位センサのリニアリティ
誤差を最小にする調整および取り付けが可能となる。

【００３１】本発明の実施の形態に係るデバイス製造装
置の除振装置は、請求項１から４のいずれかに記載の位
置センサの調整方法または取り付け方法を使用した位置
センサを搭載することを特徴とすることができる。

【００３２】上記構成において、デバイス製造装置の除
振装置に用いる位置センサの調整時間、および取り付け
時間を短縮し、かつ、位置センサの検出精度を向上させ
ることが可能となる。よって、デバイス製造装置のデバ
イス製造精度が向上する。

【００３３】

【実施例】以下に、本発明に係る半導体露光装置のアク
ティブダンパに用いられる位置センサに好適な、位置セ
ンサの位置測定精度を向上させる位置センサの調整方
法、および取り付け方法の実施例について説明する。こ
こで、アクティブダンパの位置決め基準位置に収束した
ときの、位置センサの測定長Ｌ₀ は１ｍｍとする場合を
例とする。

【００３４】（第１の実施例）図１は、本発明の第１の
実施例に係る位置センサの変位増幅器を調整する時に使
用する装置の構成を示す図である。図１に示す構成が図
３に示す構成と異なる箇所は、第１の位置センサと同じ
位置を検出する第２の位置センサのターゲット６、セン
サヘッド７、変位増幅器８、電圧測定器９を付加したこ
とである。

【００３５】まず、図１を用いて本発明の位置センサの
調整時の構成を説明する。同図において、１および６は
ステンレス鋼等の第１のターゲットおよび第２のターゲ
ット、２および７はターゲット１および６の各々の位置
Ｌ_X およびＬ_Y を検出する第１のセンサヘッドおよび第
２のセンサヘッド、３および８はセンサヘッド２および
７の検出する各々のターゲット位置を電圧に変換し電圧
出力端子に出力する第１の変位増幅器および第２の変位
増幅器、４は変位増幅器３および８に電力を供給する直
流電源、５および９は変位増幅器３および８から各々出
力される位置検出電圧Ｖ_X およびＶ_Y を測定するデジタ
ルマルチメータ等の第１の電圧測定器および第２の電圧
測定器である。変位増幅器３および８は、それぞれゼロ
点調整ボリュームおよびスパン調整ボリューム等の調整
機能を備えている。

【００３６】次に、本発明の第１の実施例に係る位置セ
ンサ（変位増幅器３を含む）の調整方法を説明する。図
１に示すように、第１のセンサヘッド２、第１の変位増
幅器３および第１の電圧測定器５をこの順序で相互に接
続するとともに、第２のセンサヘッド７、第２の変位増
幅器８および第２の電圧測定器９をこの順序で相互に接
続し、共通の直流電源４を両変位増幅器３および８に接
続して、直流電源４から変位増幅器３および８に電力が
供給される。従来の調整方法では電源投入後に数十分間
以上のウォーミングアップ時間をとり、その後に従来の
調整作業を行っていたが、本発明の調整方法では電源投
入直後から調整作業を行うことが可能である。

【００３７】以下に、測長範囲０ｍｍから２ｍｍを位置
検出電圧０Ｖから５Ｖとして出力する位置センサの、変
位増幅器のゼロ点調整ボリュームとスパン調整ボリュー
ムの調整方法を説明する。

【００３８】第２の位置センサである上記センサヘッド
７および変位増幅器８のペアは、図１に示す構成であっ
て、以下の調整手順でアクティブダンパの位置決め基準
位置Ｌ₀ ＝１ｍｍおよびその近傍で調整済みであり、こ
れから調整作業を行う第１の位置センサであるセンサヘ
ッド２および変位増幅器３のペアと同一機種のものを使
用する。すなわち、電源投入からウォーミングアップ時
間経過後に、ターゲット６がセンサヘッド７から１ｍｍ
離れた時、すなわち測定長Ｌ_Y ＝１ｍｍの時、変位増幅
器８は電圧出力端子に電圧Ｖ_Y ＝２．５００Ｖを出力す
るようにゼロ点調整ボリュームの調整を行い、前記のタ
ーゲット６がセンサヘッド７から１．１ｍｍ離れた時、
すなわち測定長Ｌ_Y ＝１．１ｍｍの時、変位増幅器８は
電圧出力端子に電圧Ｖ_Y ＝２．７５０Ｖを出力するよう
にスパン調整ボリュームの調整を行ったものを使用す
る。

【００３９】まず、マイクロメータやブロックゲージ等
を用いてターゲット１をセンサヘッド２から正確に１ｍ
ｍ離し、同じく、第２のターゲット６を対応するセンサ
ヘッド７から正確に１ｍｍ離し、すなわち測定長Ｌ_X ＝
Ｌ_Y ＝１ｍｍに設置する。調整を行うべき第１の変位増
幅器３の電圧出力端子の電圧Ｖ_X が、既に調整済みであ
る第２の変位増幅器８の電圧出力端子の電圧Ｖ_Y と同じ
電圧値を出力するようにゼロ点調整ボリュームを調整す
る。次に、マイクロメータやブロックゲージ等を用いて
ターゲット１をセンサヘッド２から正確に１．１ｍｍ離
し、同じくターゲット６をセンサヘッド７から正確に
１．１ｍｍ離し、すなわち測定長Ｌ_X ＝Ｌ _Y ＝１．１ｍ
ｍに設置する。調整を行うべき第１の変位増幅器３の電
圧出力端子の電圧Ｖ_X が第２の変位増幅器８の電圧出力
端子の電圧Ｖ_Y と同じ電圧値を出力するようにスパン調
整ボリュームを調整する。このスパン調整ボリュームの
調整によってゼロ点調整ボリュームの調整がずれる場合
があるので、上記のゼロ点調整ボリュームの調整および
スパン調整ボリュームの調整を数回繰り返す。調整が完
了した第１の変位増幅器３は調整値がずれないように上
記の調整ボリュームを接着剤等の固定手段で固定する。

【００４０】既に調整済みの第２の変位増幅器８の電圧
出力端子の電圧は、電源投入からウォーミングアップ時
間経過後では、ターゲット６がセンサヘッド７から１ｍ
ｍ離れたとき、すなわち測定長Ｌ_Y ＝１ｍｍのとき、第
２の変位増幅器８は電圧出力端子に電圧Ｖ_Y ＝２．５０
０Ｖを出力し、前記のターゲット６がセンサヘッド７か
ら１．１ｍｍ離れたとき、すなわち測定長Ｌ_Y ＝１．１
ｍｍのとき、第２の変位増幅器８は電圧出力端子に電圧
Ｖ_Y ＝２．７５０Ｖを出力する。しかし、電源投入直後
からの数十分間では変位増幅器内部の電子回路の温度が
安定していないので、１ｍｍ離した時の電圧Ｖ_Y ＝２．
５００Ｖもしくは１．１ｍｍ離した時の電圧Ｖ_Y ＝２．
７５０Ｖからずれた電圧を出力することになる。第１の
センサヘッド２および変位増幅器３の温度上昇は第２の
センサヘッド７および変位増幅器８の温度上昇とほぼ同
じであるので、上記の出力電圧のずれもほぼ同じであ
り、第１の変位増幅器３の出力電圧を第２の変位増幅器
８の出力電圧に等しく調整することによって、位置セン
サのウォーミングアップ時間の間も調整作業を行うこと
が可能になる。

【００４１】なお、上記のセンサヘッドと変位増幅器は
ペアで管理し、どちらかを修理交換する場合は、新たな
ぺアで上記の調整を再度行う必要があるのは従来例と同
じである。

【００４２】次に、調整が完了した第１のセンサヘッド
２および変位増幅器３のぺアをアクティブダンパの位置
測定箇所に取り付ける際の取り付け方法を説明する。セ
ンサヘッドの取り付け時に使用する装置の構成も図１に
示すのと同じ構成である。

【００４３】予め、第２のセンサヘッド７にはターゲッ
ト６がアクティブダンパの位置決め基準位置と等しい取
り付け基準長１ｍｍで固定されている。まず、取り付け
基準長１ｍｍのブロックゲージ等を用いて、第１のセン
サヘッド２をターゲット１から取り付け基準長１ｍｍだ
け離して取り付ける。次に、第１のセンサヘッド２およ
び第２のセンサヘッド７、第１の変位増幅器３および第
２の変位増幅器８、直流電源４、第１の電圧測定器５お
よび第２の電圧測定器９を、前述と同様に図１に示すよ
うに相互に接続し、直流電源４から変位増幅器３および
８に電力を供給する。従来の取り付け方法では電源投入
後に数十分間以上のウォーミングアップ時間をとり、そ
の後に従来の取り付け作業を行っていたが、本発明の取
り付け方法では電源投入直後から取り付け作業を行うこ
とが可能である。

【００４４】第２の位置センサである上記センサヘッド
７および変位増幅器８のペアは既に調整済みであり、こ
れから取り付け作業を行う第１の位置センサであるセン
サヘッド２および変位増幅器３のぺアと同一機種のもの
を使用する。ただし、第２のセンサヘッド７および変位
増幅器８のぺアは本発明の調整方法で調整されたもので
も良い。

【００４５】第１の変位増幅器３の電圧出力端子の電圧
が、第２の変位増幅器８の電圧出力端子の電圧と同じ電
圧で出力されるように、第１のセンサヘッド２の位置を
移動させ、固定する。固定ネジの締め付け等により第１
の変位増幅器３の出力する電圧が第２の変位増幅器８の
出力する電圧からずれる場合は、再度ネジを緩め、上記
の取り付け作業を繰り返す。

【００４６】既に調整済みの第２の変位増幅器８の電圧
出力端子の電圧は、電源投入からウォーミングアップ時
間経過後では、第２のターゲット６がセンサヘッド７に
取り付け基準長１ｍｍで取り付けしたとき、すなわち測
定長Ｌ_Y ＝１ｍｍのとき、第２の変位増幅器８は電圧出
力端子に電圧Ｖ_Y ＝２．５００Ｖを出力する。しかし、
電源投入直後からの数十分間では変位増幅器内部の電子
回路の温度が安定していないので、取り付け基準長１ｍ
ｍの位置検出電圧である電圧Ｖ_Y ＝２．５００Ｖからず
れた電圧を出力することになる。第１の変位増幅器３の
温度上昇は第２の変位増幅器８の温度上昇とほぼ同じで
あるので、上記の出力電圧のずれもほぼ同じであり、第
１の変位増幅器３の出力電圧を第２の変位増幅器８の出
力電圧に等しくする様に取り付けることによって、位置
センサのウォーミングアップ時間の間も取り付け作業を
行うことが可能になる。

【００４７】また、従来例では、測定長Ｌ_X ＝Ｌ_Y ＝０
ｍｍにおいて変位増幅器３のゼロ点調整ボリュームの調
整を行い、測定長Ｌ_X ＝Ｌ_Y ＝２ｍｍにおいて変位増幅
器３のスパン調整ボリュームの調整を行った。しかしな
がら、図５に示す様に位置センサの位置検出範囲の両端
において調整を行った場合、位置センサの中央付近での
位置検出誤差（リニアリティ誤差）が大きく、アクティ
ブダンパの様に位置決め基準位置Ｌ₀ 付近で位置センサ
を使用する場合は上記の位置検出誤差（リニアリティ誤
差）を含んでしまう。よって、この第１の実施例では位
置決め基準位置Ｌ₀ ＝１ｍｍで、位置センサの調整およ
び取り付けを行い、上記のアクティブダンパが位置決め
基準位置Ｌ₀ に位置決めした際に、上記の位置検出誤差
（リニアリティ誤差）を含まない。したがって、アクテ
ィブダンパの必要とする調整精度を満たした調整作業お
よび取り付け作業を完了することが可能となる。

【００４８】（第２の実施例）図２は、本発明の第２の
実施例に係る位置センサのセンサヘッドおよび変位増幅
器の調整時に使用する装置の構成を示す図である。図２
に示す構成が図１に示す構成と異なる箇所は、電圧測定
器５および９の替わりにコンパレータ（電圧比較器）１
０を付加したことである。

【００４９】まず、図２を用いて渦電流式変位センサの
センサヘッドおよび変位増幅器の調整時の構成とその動
作を説明する。図２において、図１と同一符号を付けた
箇所は図１と同様に構成され同様に作用するので説明は
省略する。図２において、１０は変位増幅器３および８
から各々出力される変位電圧を比較するコンパレータ
（電圧比較器）である。電圧比較器１０は第１の変位増
幅器３の電圧出力端子の電圧Ｖ_X と第２の変位増幅器８
の電圧出力端子の電圧Ｖ_Y の大小関係および同じ電圧値
であることを検出する機能がある。

【００５０】したがって、第１の実施例と全く同じ手順
で、第１の変位増幅器３のゼロ点調整ボリュームとスパ
ン調整ボリュームの調整作業が可能となる。同様に、第
１の実施例と全く同じ手順で、第１のセンサヘッド２の
アクティブダンパの位置測定箇所に組み込む時の取り付
け作業が可能となる。

【００５１】第１の実施例および第２の実施例では、調
整または取り付けされる位置センサのセンサヘッドおよ
び変位増幅器のぺアが１組の場合について詳しく説明し
たが、調整または取り付けされる位置センサのセンサヘ
ッドおよび変位増幅器のぺアが２組以上の場合について
も同様に実施することが可能であり、その効果も同様で
ある。

【００５２】また、第１の実施例および第２の実施例で
は、アナログ電圧を出力する位置センサの場合の調整方
法および取り付け方法を説明したが、デジタル値を出力
する位置センサの場合もその調整方法および取り付け方
法に何ら変わるものではないのは従来例と同じである。

【００５３】

【発明の効果】本発明によれば、調整済みである１組の
第２の位置センサのセンサヘッドおよび変位増幅器を用
いて、これから調整または取り付け作業を行う１組以上
の第１の位置センサのセンサヘッドおよび変位増幅器
の、電源投入時の変位増幅器内の電子回路の温度上昇に
起因する測長誤差を補正するように構成したため、位置
センサの電源投入直後から変位増幅器の正確な調整、お
よびセンサヘッドの正確な取り付けが可能となり、位置
センサのウォーミングアップ時間の間も調整作業、およ
び取り付け作業を休止させることなく作業することが可
能であり、アクティブダンパの製造精度および生産性を
向上させることができる。

【００５４】また、本発明によれば、除振台の位置決め
基準位置において位置センサのゼロ点調整を行い、位置
決め基準位置近傍において位置センサのスパン調整を行
うことにより、位置センサのリニアリティ誤差を含まな
い調整が可能となり、また、除振台の位置決め基準位置
で位置センサを取り付けることにより、位置センサのリ
ニアリティ誤差を含まない取り付けが可能となり、除振
台の位置検出精度を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施例に係る、位置センサの
調整時および取り付け時の構成を示す図である。

【図２】 本発明の第２の実施例に係る、位置センサの
調整時および取り付け時の構成を示す図である。

【図３】 従来の、位置センサの調整時および取り付け
時の構成を示す図である。

【図４】 基準長測定電圧Ｖ_Y の時間に対する変化を示
すグラフである。

【図５】 位置センサのリニアリティ誤差の例を表すグ
ラフである。

【符号の説明】 １：第１のターゲット、２：第１のセンサヘッド、３：
第１の変位増幅器、４：直流電源、５：第１の電圧測定
器、６：第２のターゲット、７：第２のセンサヘッド、
８：第２の変位増幅器、９：第２の電圧測定器、１０：
コンパレータ（電圧比較器）、Ｌ_X ：変位、Ｌ_Y ：基準
長、Ｖ_X ：変位測定電圧、Ｖ_Y ：基準長測定電圧。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 位置決め対象物の位置を検出する第１の
   位置センサを調整するための位置センサの調整方法であ
   って、既に調整済みの第２の位置センサから出力される
   位置検出信号を用いて、調整を行うべき前記第１の位置
   センサのゼロ点調整およびスパン調整を行うことを特徴
   とする、位置センサの調整方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の位置センサの調整方法
   において、前記第１および第２の位置センサの調整位置
   を、前記位置決め対象物の位置決め基準位置で調整を行
   うことを特徴とする位置センサの調整方法。
3. 【請求項３】 位置決め対象物の位置を検出する第１の
   位置センサを取り付けるための位置センサの取り付け方
   法であって、固定された基準長を検出する第２の位置セ
   ンサから出力される位置検出信号を用いて、前記第１の
   位置センサの取り付け位置の調整を行うことを特徴とす
   る位置センサの取り付け方法。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の位置センサの取り付け
   方法において、前記固定された基準長を前記位置決め対
   象物の位置決め基準位置とする位置センサの取り付け方
   法。
5. 【請求項５】 前記位置センサは渦電流式変位センサで
   あることを特徴とする、請求項１から４のいずれかに記
   載の位置センサの調整方法または取り付け方法。
6. 【請求項６】 前記位置センサは静電容量式変位センサ
   であることを特徴とする、請求項１から４のいずれかに
   記載の位置センサの調整方法または取り付け方法。
7. 【請求項７】 請求項１から４に記載の位置決め対象物
   はデバイス製造装置の除振台であることを特徴とする位
   置センサの調整方法または取り付け方法。
8. 【請求項８】 請求項１から４に記載の位置センサの調
   整方法または取り付け方法を使用した位置センサを搭載
   することを特徴とするデバイス製造装置。