JP2001221604A - 位置センサの調整方法及び取り付け方法 - Google Patents
位置センサの調整方法及び取り付け方法Info
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- JP2001221604A JP2001221604A JP2000026713A JP2000026713A JP2001221604A JP 2001221604 A JP2001221604 A JP 2001221604A JP 2000026713 A JP2000026713 A JP 2000026713A JP 2000026713 A JP2000026713 A JP 2000026713A JP 2001221604 A JP2001221604 A JP 2001221604A
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウォーミングアップ時間の省略、調整精度を
維持した調整および取り付け精度を維持した取り付けを
可能とし、位置センサのリニアリティ誤差をなくす。 【解決手段】 位置決め対象物の位置を検出する第1の
位置センサを構成する変位増幅器3を調整するための調
整方法であって、既に調整済みの第2の位置センサを構
成する第2の変位増幅器8から出力される位置検出信号
を用いて、調整を行うべき前記第1の位置センサの変位
増幅器3のゼロ点調整およびスパン調整を行い、第1お
よび第2の位置センサの調整位置を、前記位置決め対象
物の位置決め基準位置で調整を行う。
維持した調整および取り付け精度を維持した取り付けを
可能とし、位置センサのリニアリティ誤差をなくす。 【解決手段】 位置決め対象物の位置を検出する第1の
位置センサを構成する変位増幅器3を調整するための調
整方法であって、既に調整済みの第2の位置センサを構
成する第2の変位増幅器8から出力される位置検出信号
を用いて、調整を行うべき前記第1の位置センサの変位
増幅器3のゼロ点調整およびスパン調整を行い、第1お
よび第2の位置センサの調整位置を、前記位置決め対象
物の位置決め基準位置で調整を行う。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイスや
液晶デバイスなどのデバイスを製造するためのデバイス
製造装置におけるXYステージなどの可動部を設置床上
に支持するアクティブダンパ(能動的除振装置)等の位
置検出に用いられる位置センサの調整方法、および取り
付け方法に関し、特に、位置センサの温度ドリフトに起
因した位置検出誤差(温度ドリフト誤差)を補正して、
位置センサを電源停止状態から通電した際のウォーミン
グアップ時間を不要にし、電源通電開始直後から位置セ
ンサを高精度にて調整可能、および高精度にて取り付け
可能とし、よって、位置センサの調整時間を短縮、およ
び取り付け時間を短縮し、デバイス製造装置の生産性の
向上を可能にした位置センサの調整方法、および取り付
け方法に関するものである。
液晶デバイスなどのデバイスを製造するためのデバイス
製造装置におけるXYステージなどの可動部を設置床上
に支持するアクティブダンパ(能動的除振装置)等の位
置検出に用いられる位置センサの調整方法、および取り
付け方法に関し、特に、位置センサの温度ドリフトに起
因した位置検出誤差(温度ドリフト誤差)を補正して、
位置センサを電源停止状態から通電した際のウォーミン
グアップ時間を不要にし、電源通電開始直後から位置セ
ンサを高精度にて調整可能、および高精度にて取り付け
可能とし、よって、位置センサの調整時間を短縮、およ
び取り付け時間を短縮し、デバイス製造装置の生産性の
向上を可能にした位置センサの調整方法、および取り付
け方法に関するものである。
【0002】また、本発明は、個々の位置センサの持つ
位置検出誤差(リニアリティ誤差)を最小にし、デバイ
ス製造装置におけるアクティブダンパの位置決め精度を
向上可能にした位置センサの調整方法、および取り付け
方法に関するものである。
位置検出誤差(リニアリティ誤差)を最小にし、デバイ
ス製造装置におけるアクティブダンパの位置決め精度を
向上可能にした位置センサの調整方法、および取り付け
方法に関するものである。
【0003】
【従来の技術】類似の提案として、特願平11−182
981号(発明の名称「除振装置ならびにデバイス製造
装置および方法」)に開示されている従来例がある。こ
の提案は、固定の基準長を測定する第2の位置センサを
除振装置内に備えて、除振台の位置を測定する第1の位
置センサの位置の補正を行うものである。
981号(発明の名称「除振装置ならびにデバイス製造
装置および方法」)に開示されている従来例がある。こ
の提案は、固定の基準長を測定する第2の位置センサを
除振装置内に備えて、除振台の位置を測定する第1の位
置センサの位置の補正を行うものである。
【0004】これに対して本発明では、第2の位置セン
サは除振装置内に配置されずに、調整工程および組立工
程で使用される。
サは除振装置内に配置されずに、調整工程および組立工
程で使用される。
【0005】周知のように、半導体デバイスや液晶デバ
イスなどのデバイスを製造するためのデバイス製造装置
には、露光用XYステージ等の振動を嫌う精密機器群を
除振台上に搭載するアクティブダンパ(能動的除振装
置)が使用されている。このアクティブダンパには除振
台の位置を検出する多数の位置センサが使用されてい
る。位置センサは、ターゲットの位置を検出するセンサ
ヘッドと、前記センサヘッドに接続され前記ターゲット
位置を位置検出信号に変換する変位増幅器(センサアン
プ)で構成されている。位置センサとしては渦電流式変
位センサや静電容量式変位センサ等が知られている。通
常、これらの変位増幅器には位置検出信号のゼロ点を調
整するゼロ点調整ボリューム、および位置検出信号のス
パンを調整するスパン調整ボリューム等の調整機能を備
えている。ゼロ点調整ボリュームおよびスパン調整ボリ
ュームはオフセット調整ボリュームおよびゲイン調整ボ
リュームと呼ばれる場合もあるが、それらの機能や動作
は全く同じである。位置センサは上記の調整をセンサ単
体で行い、その後、除振台の位置測定箇所に取り付けら
れる。
イスなどのデバイスを製造するためのデバイス製造装置
には、露光用XYステージ等の振動を嫌う精密機器群を
除振台上に搭載するアクティブダンパ(能動的除振装
置)が使用されている。このアクティブダンパには除振
台の位置を検出する多数の位置センサが使用されてい
る。位置センサは、ターゲットの位置を検出するセンサ
ヘッドと、前記センサヘッドに接続され前記ターゲット
位置を位置検出信号に変換する変位増幅器(センサアン
プ)で構成されている。位置センサとしては渦電流式変
位センサや静電容量式変位センサ等が知られている。通
常、これらの変位増幅器には位置検出信号のゼロ点を調
整するゼロ点調整ボリューム、および位置検出信号のス
パンを調整するスパン調整ボリューム等の調整機能を備
えている。ゼロ点調整ボリュームおよびスパン調整ボリ
ュームはオフセット調整ボリュームおよびゲイン調整ボ
リュームと呼ばれる場合もあるが、それらの機能や動作
は全く同じである。位置センサは上記の調整をセンサ単
体で行い、その後、除振台の位置測定箇所に取り付けら
れる。
【0006】まず、図3を用いて、従来の位置センサを
調整する時の構成を説明する。同図において、1はステ
ンレス鋼等のターゲット、2はターゲット1の位置を検
出するセンサヘッド、3はセンサヘッド2の検出するタ
ーゲット位置を電圧に変換し電圧出力端子に出力する変
位増幅器、4は変位増幅器3に電力を供給する直流電
源、5は変位増幅器3から出力される位置検出電圧を測
定するデジタルマルチメータ等の電圧測定器である。
調整する時の構成を説明する。同図において、1はステ
ンレス鋼等のターゲット、2はターゲット1の位置を検
出するセンサヘッド、3はセンサヘッド2の検出するタ
ーゲット位置を電圧に変換し電圧出力端子に出力する変
位増幅器、4は変位増幅器3に電力を供給する直流電
源、5は変位増幅器3から出力される位置検出電圧を測
定するデジタルマルチメータ等の電圧測定器である。
【0007】次に、従来の位置センサの調整方法を説明
する。センサヘッド2、変位増幅器3、直流電源4、電
圧測定器5を図3に示す様に接続し、直流電源4から変
位増幅器3に電力を供給する。電源投入後に数十分間以
上のウォーミングアップ時間をとり、その後に以下の調
整作業を行う。
する。センサヘッド2、変位増幅器3、直流電源4、電
圧測定器5を図3に示す様に接続し、直流電源4から変
位増幅器3に電力を供給する。電源投入後に数十分間以
上のウォーミングアップ時間をとり、その後に以下の調
整作業を行う。
【0008】以下に、測長範囲0mmから2mmを位置
検出電圧0Vから5Vとして出力する位置センサを例と
して、変位増幅器のゼロ点調整ボリュームとスパン調整
ボリュームの従来における調整方法を説明する。
検出電圧0Vから5Vとして出力する位置センサを例と
して、変位増幅器のゼロ点調整ボリュームとスパン調整
ボリュームの従来における調整方法を説明する。
【0009】まず、ターゲット1をセンサヘッド2に密
着させ、すなわち測定長LX =0mmの時、変位増幅器
3の電圧出力端子の電圧VX が0.000Vを出力する
ようにゼロ点調整ボリュームを調整する。次に、ターゲ
ット1をセンサヘッド2からブロックゲージ等を用いて
正確に2mm離し、すなわち測定長LX =2mmの時、
変位増幅器3の電圧出力端子の電圧VX が5.000V
を出力するようにスパン調整ボリュームを調整する。こ
のスパン調整ボリュームの調整によってゼロ点調整ボリ
ュームの調整がずれる場合があるので、上記のゼロ点調
整ボリュームの調整およびスパン調整ボリュームの調整
を数回繰り返す。調整が完了した変位増幅器3は調整値
がずれないように上記の調整ボリュームを接着剤等の固
定手段で固定する。なお、一般的には、上記のセンサヘ
ッド2と変位増幅器3はぺアで管理し、どちらかを修理
交換する場合は、新たなペアで上記の調整作業を再度行
う必要がある。
着させ、すなわち測定長LX =0mmの時、変位増幅器
3の電圧出力端子の電圧VX が0.000Vを出力する
ようにゼロ点調整ボリュームを調整する。次に、ターゲ
ット1をセンサヘッド2からブロックゲージ等を用いて
正確に2mm離し、すなわち測定長LX =2mmの時、
変位増幅器3の電圧出力端子の電圧VX が5.000V
を出力するようにスパン調整ボリュームを調整する。こ
のスパン調整ボリュームの調整によってゼロ点調整ボリ
ュームの調整がずれる場合があるので、上記のゼロ点調
整ボリュームの調整およびスパン調整ボリュームの調整
を数回繰り返す。調整が完了した変位増幅器3は調整値
がずれないように上記の調整ボリュームを接着剤等の固
定手段で固定する。なお、一般的には、上記のセンサヘ
ッド2と変位増幅器3はぺアで管理し、どちらかを修理
交換する場合は、新たなペアで上記の調整作業を再度行
う必要がある。
【0010】次に、調整が完了したセンサヘッド2およ
び変位増幅器3のペアをアクティブダンパの位置測定箇
所に取り付ける際の取り付け方法を説明する。センサヘ
ッド2の取り付け時の構成も図3に示すのと同じ構成で
ある。
び変位増幅器3のペアをアクティブダンパの位置測定箇
所に取り付ける際の取り付け方法を説明する。センサヘ
ッド2の取り付け時の構成も図3に示すのと同じ構成で
ある。
【0011】まず、取り付け基準長、例えば1mmのブ
ロックゲージ等を用いて、センサヘッド2をターゲット
1から取り付け基準長1mmだけ離し、すなわち測定長
LX=1mmで取り付ける。次に、センサヘッド2、変
位増幅器3、直流電源4を図3のように相互に接続し、
直流電源4から変位増幅器3に電力を供給する。変位増
幅器3の電圧出力端子には電圧測定器5を接続する。電
源投入後に数十分間以上のウォーミングアップ時間をと
り、その後に以下の取り付け作業を行う。
ロックゲージ等を用いて、センサヘッド2をターゲット
1から取り付け基準長1mmだけ離し、すなわち測定長
LX=1mmで取り付ける。次に、センサヘッド2、変
位増幅器3、直流電源4を図3のように相互に接続し、
直流電源4から変位増幅器3に電力を供給する。変位増
幅器3の電圧出力端子には電圧測定器5を接続する。電
源投入後に数十分間以上のウォーミングアップ時間をと
り、その後に以下の取り付け作業を行う。
【0012】変位増幅器3の電圧出力端子が上記の測定
長LX =1mmに対応する位置検出電圧である2.50
0Vを出力するように、センサヘッド2の位置を移動さ
せ固定する。固定ネジの締め付けにより電圧VX が2.
500Vからずれる場合は、上記作業を繰り返す。上記
のように、変位増幅器3から出力される位置検出電圧を
電圧測定器5で確認しながらセンサヘッド2を固定する
取り付け方法を実施することにより、アクティブダンパ
にセンサヘッド2を1μm以内の精度で取り付けするこ
とが可能となる。
長LX =1mmに対応する位置検出電圧である2.50
0Vを出力するように、センサヘッド2の位置を移動さ
せ固定する。固定ネジの締め付けにより電圧VX が2.
500Vからずれる場合は、上記作業を繰り返す。上記
のように、変位増幅器3から出力される位置検出電圧を
電圧測定器5で確認しながらセンサヘッド2を固定する
取り付け方法を実施することにより、アクティブダンパ
にセンサヘッド2を1μm以内の精度で取り付けするこ
とが可能となる。
【0013】上記の従来例では、アナログ電圧を出力す
る位置センサの場合の調整方法および取り付け方法を説
明したが、デジタル値を出力する位置センサの場合もそ
の調整方法および取り付け方法は同じである。
る位置センサの場合の調整方法および取り付け方法を説
明したが、デジタル値を出力する位置センサの場合もそ
の調整方法および取り付け方法は同じである。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】渦電流式変位センサは
ステンレス鋼等のターゲットとセンサヘッドとの距離を
渦電流を利用して測定し、変位増幅器より電圧等の位置
検出信号として出力する。同様に、静電容量式変位セン
サは金属または半導体等のターゲットとセンサヘッドと
の距離を静電容量を利用して測定し、変位増幅器より電
圧等の位置検出信号として出力する。これらの位置セン
サは電源停止状態から電源投入直後の数十分間には変位
増幅器内の電子回路の温度上昇に起因する位置検出誤差
(温度ドリフト誤差)が発生し、その位置検出誤差は数
十μmにまで達する。
ステンレス鋼等のターゲットとセンサヘッドとの距離を
渦電流を利用して測定し、変位増幅器より電圧等の位置
検出信号として出力する。同様に、静電容量式変位セン
サは金属または半導体等のターゲットとセンサヘッドと
の距離を静電容量を利用して測定し、変位増幅器より電
圧等の位置検出信号として出力する。これらの位置セン
サは電源停止状態から電源投入直後の数十分間には変位
増幅器内の電子回路の温度上昇に起因する位置検出誤差
(温度ドリフト誤差)が発生し、その位置検出誤差は数
十μmにまで達する。
【0015】したがって、上記従来例の位置センサの調
整方法および取り付け方法では、変位増幅器の電源投入
後に数十分間以上のウォーミングアップ時間が必要であ
り、このウォーミングアップ時間を無視して調整または
取り付け作業を行った場合は、上記のように調整精度お
よび取り付け精度が数十μm悪化することになる。
整方法および取り付け方法では、変位増幅器の電源投入
後に数十分間以上のウォーミングアップ時間が必要であ
り、このウォーミングアップ時間を無視して調整または
取り付け作業を行った場合は、上記のように調整精度お
よび取り付け精度が数十μm悪化することになる。
【0016】本発明の第1の目的は、上述の従来例に於
ける問題点に鑑み、アクティブダンパに使用される位置
センサの調整作業および取り付け作業において、上記の
ウォーミングアップ時間を省略し、かつ、調整精度を維
持した調整および取り付け精度を維持した取り付けを可
能とする位置センサの調整方法および取り付け方法を提
供し、よって、デバイス製造装置の生産性を向上させる
ことである。
ける問題点に鑑み、アクティブダンパに使用される位置
センサの調整作業および取り付け作業において、上記の
ウォーミングアップ時間を省略し、かつ、調整精度を維
持した調整および取り付け精度を維持した取り付けを可
能とする位置センサの調整方法および取り付け方法を提
供し、よって、デバイス製造装置の生産性を向上させる
ことである。
【0017】また、渦電流式変位センサや静電容量式変
位センサ等の位置センサは、個々の位置センサで異なる
位置検出誤差(リニアリティ誤差)を含んでいる。0m
mから2mmを測定する位置センサにおいて、ゼロ点調
整およびスパン調整を測定範囲の両端、すなわち0mm
および2mmで調整した場合、測定範囲の中央付近で
は、図5に示す様にリニアリティ誤差が大きくなり、そ
の測長誤差が数十μm前後に達してしまう場合がある。
デバイス製造装置のアクティブダンパ等では位置決め基
準中立位置に位置決めを行うが、その位置決め基準中立
位置が位置センサの測定範囲の中央付近に当たるので、
上記のリニアリティ誤差が位置決め精度を悪化させてい
た。
位センサ等の位置センサは、個々の位置センサで異なる
位置検出誤差(リニアリティ誤差)を含んでいる。0m
mから2mmを測定する位置センサにおいて、ゼロ点調
整およびスパン調整を測定範囲の両端、すなわち0mm
および2mmで調整した場合、測定範囲の中央付近で
は、図5に示す様にリニアリティ誤差が大きくなり、そ
の測長誤差が数十μm前後に達してしまう場合がある。
デバイス製造装置のアクティブダンパ等では位置決め基
準中立位置に位置決めを行うが、その位置決め基準中立
位置が位置センサの測定範囲の中央付近に当たるので、
上記のリニアリティ誤差が位置決め精度を悪化させてい
た。
【0018】本発明の第2の目的は、上述の従来例に於
ける問題点に鑑み、位置センサの調整方法において、ゼ
ロ点調整およびスパン調整を位置決め基準中立位置およ
びその近傍で行い、位置センサの取り付け方法におい
て、センサヘッドの取り付けを位置決め基準中立位置で
行うことにより、位置センサのリニアリティ誤差をなく
す位置センサの調整方法および取り付け方法を提供し、
よって、デバイス製造装置のデバイス製造精度を向上さ
せることである。
ける問題点に鑑み、位置センサの調整方法において、ゼ
ロ点調整およびスパン調整を位置決め基準中立位置およ
びその近傍で行い、位置センサの取り付け方法におい
て、センサヘッドの取り付けを位置決め基準中立位置で
行うことにより、位置センサのリニアリティ誤差をなく
す位置センサの調整方法および取り付け方法を提供し、
よって、デバイス製造装置のデバイス製造精度を向上さ
せることである。
【0019】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、位置決め対象物の位置を検出する第1の
位置センサを調整するための位置センサの調整方法であ
って、既に調整済みの第2の位置センサから出力される
位置検出信号を用いて、調整を行うべき前記第1の位置
センサのゼロ点調整およびスパン調整を行うことを特徴
とする。
に、本発明は、位置決め対象物の位置を検出する第1の
位置センサを調整するための位置センサの調整方法であ
って、既に調整済みの第2の位置センサから出力される
位置検出信号を用いて、調整を行うべき前記第1の位置
センサのゼロ点調整およびスパン調整を行うことを特徴
とする。
【0020】上記構成において、第2の位置センサは、
第1の位置センサと同じ距離を測定する様に設置し、第
2の位置センサの出力する位置検出信号を、調整を行う
べき第1の位置センサの出力する位置検出信号の目標値
として使用することにより、位置センサの調整時間を短
縮し、かつ、位置センサのウォーミングアップ時間中も
位置センサに必要な精度で調整することが可能となる。
第1の位置センサと同じ距離を測定する様に設置し、第
2の位置センサの出力する位置検出信号を、調整を行う
べき第1の位置センサの出力する位置検出信号の目標値
として使用することにより、位置センサの調整時間を短
縮し、かつ、位置センサのウォーミングアップ時間中も
位置センサに必要な精度で調整することが可能となる。
【0021】また、本発明は、位置決め対象物の位置を
検出する第1の位置センサを取り付けるための位置セン
サの取り付け方法であって、固定された基準長を検出す
る第2の位置センサから出力される位置検出信号を用い
て、前記第1の位置センサの取り付け位置の調整を行う
ことを特徴とする。
検出する第1の位置センサを取り付けるための位置セン
サの取り付け方法であって、固定された基準長を検出す
る第2の位置センサから出力される位置検出信号を用い
て、前記第1の位置センサの取り付け位置の調整を行う
ことを特徴とする。
【0022】上記構成において、第2の位置センサの出
力する固定された基準長の位置検出信号を、取り付けを
行うべき第1の位置センサの出力する位置検出信号の目
標値として使用することにより、位置センサの取り付け
時間を短縮し、かつ、位置センサのウォーミングアップ
時間中も位置センサに必要な精度で取り付けすることが
可能となる。
力する固定された基準長の位置検出信号を、取り付けを
行うべき第1の位置センサの出力する位置検出信号の目
標値として使用することにより、位置センサの取り付け
時間を短縮し、かつ、位置センサのウォーミングアップ
時間中も位置センサに必要な精度で取り付けすることが
可能となる。
【0023】
【発明の実施の形態および作用】本発明の実施の形態と
して、位置センサの調整方法は、前記第1および第2の
位置センサの調整位置を、除振装置の位置決め基準中立
位置およびその近傍の位置を用いて調整を行ってもよ
い。
して、位置センサの調整方法は、前記第1および第2の
位置センサの調整位置を、除振装置の位置決め基準中立
位置およびその近傍の位置を用いて調整を行ってもよ
い。
【0024】上記構成において、位置センサの出力する
位置検出信号のリニアリティ誤差は、位置決め対象物で
ある除振装置の位置決め基準中立位置およびその近傍で
最小になる。
位置検出信号のリニアリティ誤差は、位置決め対象物で
ある除振装置の位置決め基準中立位置およびその近傍で
最小になる。
【0025】また、本発明の実施の形態として、位置セ
ンサの取り付け方法は、前記固定された基準長を位置決
め対象物である除振装置の位置決め基準中立位置とする
ことを特徴とすることができる。
ンサの取り付け方法は、前記固定された基準長を位置決
め対象物である除振装置の位置決め基準中立位置とする
ことを特徴とすることができる。
【0026】上記構成において、位置センサの出力する
位置検出信号のリニアリティ誤差は、位置決め対象物で
ある除振装置の位置決め基準中立位置近傍で最小にな
る。
位置検出信号のリニアリティ誤差は、位置決め対象物で
ある除振装置の位置決め基準中立位置近傍で最小にな
る。
【0027】本発明の実施の形態に係る位置センサの調
整方法または取り付け方法は、位置センサは渦電流式変
位センサであることを特徴としてもよい。
整方法または取り付け方法は、位置センサは渦電流式変
位センサであることを特徴としてもよい。
【0028】上記構成において、渦電流式変位センサの
ウォーミングアップ時間を省略し、変位センサの温度ド
リフト誤差をキャンセルした調整および取り付けを可能
とし、位置決め位置近傍で変位センサのリニアリティ誤
差を最小にする調整および取り付けが可能となる。
ウォーミングアップ時間を省略し、変位センサの温度ド
リフト誤差をキャンセルした調整および取り付けを可能
とし、位置決め位置近傍で変位センサのリニアリティ誤
差を最小にする調整および取り付けが可能となる。
【0029】また、本発明の実施の形態に係る位置セン
サの調整方法または取り付け方法は、位置センサは静電
容量式変位センサであることを特徴としてもよい。
サの調整方法または取り付け方法は、位置センサは静電
容量式変位センサであることを特徴としてもよい。
【0030】上記構成において、静電容量式変位センサ
のウォーミングアップ時間を省略し、変位センサの温度
ドリフト誤差をキャンセルした調整および取り付けを可
能とし、位置決め位置近傍で変位センサのリニアリティ
誤差を最小にする調整および取り付けが可能となる。
のウォーミングアップ時間を省略し、変位センサの温度
ドリフト誤差をキャンセルした調整および取り付けを可
能とし、位置決め位置近傍で変位センサのリニアリティ
誤差を最小にする調整および取り付けが可能となる。
【0031】本発明の実施の形態に係るデバイス製造装
置の除振装置は、請求項1から4のいずれかに記載の位
置センサの調整方法または取り付け方法を使用した位置
センサを搭載することを特徴とすることができる。
置の除振装置は、請求項1から4のいずれかに記載の位
置センサの調整方法または取り付け方法を使用した位置
センサを搭載することを特徴とすることができる。
【0032】上記構成において、デバイス製造装置の除
振装置に用いる位置センサの調整時間、および取り付け
時間を短縮し、かつ、位置センサの検出精度を向上させ
ることが可能となる。よって、デバイス製造装置のデバ
イス製造精度が向上する。
振装置に用いる位置センサの調整時間、および取り付け
時間を短縮し、かつ、位置センサの検出精度を向上させ
ることが可能となる。よって、デバイス製造装置のデバ
イス製造精度が向上する。
【0033】
【実施例】以下に、本発明に係る半導体露光装置のアク
ティブダンパに用いられる位置センサに好適な、位置セ
ンサの位置測定精度を向上させる位置センサの調整方
法、および取り付け方法の実施例について説明する。こ
こで、アクティブダンパの位置決め基準位置に収束した
ときの、位置センサの測定長L0 は1mmとする場合を
例とする。
ティブダンパに用いられる位置センサに好適な、位置セ
ンサの位置測定精度を向上させる位置センサの調整方
法、および取り付け方法の実施例について説明する。こ
こで、アクティブダンパの位置決め基準位置に収束した
ときの、位置センサの測定長L0 は1mmとする場合を
例とする。
【0034】(第1の実施例)図1は、本発明の第1の
実施例に係る位置センサの変位増幅器を調整する時に使
用する装置の構成を示す図である。図1に示す構成が図
3に示す構成と異なる箇所は、第1の位置センサと同じ
位置を検出する第2の位置センサのターゲット6、セン
サヘッド7、変位増幅器8、電圧測定器9を付加したこ
とである。
実施例に係る位置センサの変位増幅器を調整する時に使
用する装置の構成を示す図である。図1に示す構成が図
3に示す構成と異なる箇所は、第1の位置センサと同じ
位置を検出する第2の位置センサのターゲット6、セン
サヘッド7、変位増幅器8、電圧測定器9を付加したこ
とである。
【0035】まず、図1を用いて本発明の位置センサの
調整時の構成を説明する。同図において、1および6は
ステンレス鋼等の第1のターゲットおよび第2のターゲ
ット、2および7はターゲット1および6の各々の位置
LX およびLY を検出する第1のセンサヘッドおよび第
2のセンサヘッド、3および8はセンサヘッド2および
7の検出する各々のターゲット位置を電圧に変換し電圧
出力端子に出力する第1の変位増幅器および第2の変位
増幅器、4は変位増幅器3および8に電力を供給する直
流電源、5および9は変位増幅器3および8から各々出
力される位置検出電圧VX およびVY を測定するデジタ
ルマルチメータ等の第1の電圧測定器および第2の電圧
測定器である。変位増幅器3および8は、それぞれゼロ
点調整ボリュームおよびスパン調整ボリューム等の調整
機能を備えている。
調整時の構成を説明する。同図において、1および6は
ステンレス鋼等の第1のターゲットおよび第2のターゲ
ット、2および7はターゲット1および6の各々の位置
LX およびLY を検出する第1のセンサヘッドおよび第
2のセンサヘッド、3および8はセンサヘッド2および
7の検出する各々のターゲット位置を電圧に変換し電圧
出力端子に出力する第1の変位増幅器および第2の変位
増幅器、4は変位増幅器3および8に電力を供給する直
流電源、5および9は変位増幅器3および8から各々出
力される位置検出電圧VX およびVY を測定するデジタ
ルマルチメータ等の第1の電圧測定器および第2の電圧
測定器である。変位増幅器3および8は、それぞれゼロ
点調整ボリュームおよびスパン調整ボリューム等の調整
機能を備えている。
【0036】次に、本発明の第1の実施例に係る位置セ
ンサ(変位増幅器3を含む)の調整方法を説明する。図
1に示すように、第1のセンサヘッド2、第1の変位増
幅器3および第1の電圧測定器5をこの順序で相互に接
続するとともに、第2のセンサヘッド7、第2の変位増
幅器8および第2の電圧測定器9をこの順序で相互に接
続し、共通の直流電源4を両変位増幅器3および8に接
続して、直流電源4から変位増幅器3および8に電力が
供給される。従来の調整方法では電源投入後に数十分間
以上のウォーミングアップ時間をとり、その後に従来の
調整作業を行っていたが、本発明の調整方法では電源投
入直後から調整作業を行うことが可能である。
ンサ(変位増幅器3を含む)の調整方法を説明する。図
1に示すように、第1のセンサヘッド2、第1の変位増
幅器3および第1の電圧測定器5をこの順序で相互に接
続するとともに、第2のセンサヘッド7、第2の変位増
幅器8および第2の電圧測定器9をこの順序で相互に接
続し、共通の直流電源4を両変位増幅器3および8に接
続して、直流電源4から変位増幅器3および8に電力が
供給される。従来の調整方法では電源投入後に数十分間
以上のウォーミングアップ時間をとり、その後に従来の
調整作業を行っていたが、本発明の調整方法では電源投
入直後から調整作業を行うことが可能である。
【0037】以下に、測長範囲0mmから2mmを位置
検出電圧0Vから5Vとして出力する位置センサの、変
位増幅器のゼロ点調整ボリュームとスパン調整ボリュー
ムの調整方法を説明する。
検出電圧0Vから5Vとして出力する位置センサの、変
位増幅器のゼロ点調整ボリュームとスパン調整ボリュー
ムの調整方法を説明する。
【0038】第2の位置センサである上記センサヘッド
7および変位増幅器8のペアは、図1に示す構成であっ
て、以下の調整手順でアクティブダンパの位置決め基準
位置L0 =1mmおよびその近傍で調整済みであり、こ
れから調整作業を行う第1の位置センサであるセンサヘ
ッド2および変位増幅器3のペアと同一機種のものを使
用する。すなわち、電源投入からウォーミングアップ時
間経過後に、ターゲット6がセンサヘッド7から1mm
離れた時、すなわち測定長LY =1mmの時、変位増幅
器8は電圧出力端子に電圧VY =2.500Vを出力す
るようにゼロ点調整ボリュームの調整を行い、前記のタ
ーゲット6がセンサヘッド7から1.1mm離れた時、
すなわち測定長LY =1.1mmの時、変位増幅器8は
電圧出力端子に電圧VY =2.750Vを出力するよう
にスパン調整ボリュームの調整を行ったものを使用す
る。
7および変位増幅器8のペアは、図1に示す構成であっ
て、以下の調整手順でアクティブダンパの位置決め基準
位置L0 =1mmおよびその近傍で調整済みであり、こ
れから調整作業を行う第1の位置センサであるセンサヘ
ッド2および変位増幅器3のペアと同一機種のものを使
用する。すなわち、電源投入からウォーミングアップ時
間経過後に、ターゲット6がセンサヘッド7から1mm
離れた時、すなわち測定長LY =1mmの時、変位増幅
器8は電圧出力端子に電圧VY =2.500Vを出力す
るようにゼロ点調整ボリュームの調整を行い、前記のタ
ーゲット6がセンサヘッド7から1.1mm離れた時、
すなわち測定長LY =1.1mmの時、変位増幅器8は
電圧出力端子に電圧VY =2.750Vを出力するよう
にスパン調整ボリュームの調整を行ったものを使用す
る。
【0039】まず、マイクロメータやブロックゲージ等
を用いてターゲット1をセンサヘッド2から正確に1m
m離し、同じく、第2のターゲット6を対応するセンサ
ヘッド7から正確に1mm離し、すなわち測定長LX =
LY =1mmに設置する。調整を行うべき第1の変位増
幅器3の電圧出力端子の電圧VX が、既に調整済みであ
る第2の変位増幅器8の電圧出力端子の電圧VY と同じ
電圧値を出力するようにゼロ点調整ボリュームを調整す
る。次に、マイクロメータやブロックゲージ等を用いて
ターゲット1をセンサヘッド2から正確に1.1mm離
し、同じくターゲット6をセンサヘッド7から正確に
1.1mm離し、すなわち測定長LX =L Y =1.1m
mに設置する。調整を行うべき第1の変位増幅器3の電
圧出力端子の電圧VX が第2の変位増幅器8の電圧出力
端子の電圧VY と同じ電圧値を出力するようにスパン調
整ボリュームを調整する。このスパン調整ボリュームの
調整によってゼロ点調整ボリュームの調整がずれる場合
があるので、上記のゼロ点調整ボリュームの調整および
スパン調整ボリュームの調整を数回繰り返す。調整が完
了した第1の変位増幅器3は調整値がずれないように上
記の調整ボリュームを接着剤等の固定手段で固定する。
を用いてターゲット1をセンサヘッド2から正確に1m
m離し、同じく、第2のターゲット6を対応するセンサ
ヘッド7から正確に1mm離し、すなわち測定長LX =
LY =1mmに設置する。調整を行うべき第1の変位増
幅器3の電圧出力端子の電圧VX が、既に調整済みであ
る第2の変位増幅器8の電圧出力端子の電圧VY と同じ
電圧値を出力するようにゼロ点調整ボリュームを調整す
る。次に、マイクロメータやブロックゲージ等を用いて
ターゲット1をセンサヘッド2から正確に1.1mm離
し、同じくターゲット6をセンサヘッド7から正確に
1.1mm離し、すなわち測定長LX =L Y =1.1m
mに設置する。調整を行うべき第1の変位増幅器3の電
圧出力端子の電圧VX が第2の変位増幅器8の電圧出力
端子の電圧VY と同じ電圧値を出力するようにスパン調
整ボリュームを調整する。このスパン調整ボリュームの
調整によってゼロ点調整ボリュームの調整がずれる場合
があるので、上記のゼロ点調整ボリュームの調整および
スパン調整ボリュームの調整を数回繰り返す。調整が完
了した第1の変位増幅器3は調整値がずれないように上
記の調整ボリュームを接着剤等の固定手段で固定する。
【0040】既に調整済みの第2の変位増幅器8の電圧
出力端子の電圧は、電源投入からウォーミングアップ時
間経過後では、ターゲット6がセンサヘッド7から1m
m離れたとき、すなわち測定長LY =1mmのとき、第
2の変位増幅器8は電圧出力端子に電圧VY =2.50
0Vを出力し、前記のターゲット6がセンサヘッド7か
ら1.1mm離れたとき、すなわち測定長LY =1.1
mmのとき、第2の変位増幅器8は電圧出力端子に電圧
VY =2.750Vを出力する。しかし、電源投入直後
からの数十分間では変位増幅器内部の電子回路の温度が
安定していないので、1mm離した時の電圧VY =2.
500Vもしくは1.1mm離した時の電圧VY =2.
750Vからずれた電圧を出力することになる。第1の
センサヘッド2および変位増幅器3の温度上昇は第2の
センサヘッド7および変位増幅器8の温度上昇とほぼ同
じであるので、上記の出力電圧のずれもほぼ同じであ
り、第1の変位増幅器3の出力電圧を第2の変位増幅器
8の出力電圧に等しく調整することによって、位置セン
サのウォーミングアップ時間の間も調整作業を行うこと
が可能になる。
出力端子の電圧は、電源投入からウォーミングアップ時
間経過後では、ターゲット6がセンサヘッド7から1m
m離れたとき、すなわち測定長LY =1mmのとき、第
2の変位増幅器8は電圧出力端子に電圧VY =2.50
0Vを出力し、前記のターゲット6がセンサヘッド7か
ら1.1mm離れたとき、すなわち測定長LY =1.1
mmのとき、第2の変位増幅器8は電圧出力端子に電圧
VY =2.750Vを出力する。しかし、電源投入直後
からの数十分間では変位増幅器内部の電子回路の温度が
安定していないので、1mm離した時の電圧VY =2.
500Vもしくは1.1mm離した時の電圧VY =2.
750Vからずれた電圧を出力することになる。第1の
センサヘッド2および変位増幅器3の温度上昇は第2の
センサヘッド7および変位増幅器8の温度上昇とほぼ同
じであるので、上記の出力電圧のずれもほぼ同じであ
り、第1の変位増幅器3の出力電圧を第2の変位増幅器
8の出力電圧に等しく調整することによって、位置セン
サのウォーミングアップ時間の間も調整作業を行うこと
が可能になる。
【0041】なお、上記のセンサヘッドと変位増幅器は
ペアで管理し、どちらかを修理交換する場合は、新たな
ぺアで上記の調整を再度行う必要があるのは従来例と同
じである。
ペアで管理し、どちらかを修理交換する場合は、新たな
ぺアで上記の調整を再度行う必要があるのは従来例と同
じである。
【0042】次に、調整が完了した第1のセンサヘッド
2および変位増幅器3のぺアをアクティブダンパの位置
測定箇所に取り付ける際の取り付け方法を説明する。セ
ンサヘッドの取り付け時に使用する装置の構成も図1に
示すのと同じ構成である。
2および変位増幅器3のぺアをアクティブダンパの位置
測定箇所に取り付ける際の取り付け方法を説明する。セ
ンサヘッドの取り付け時に使用する装置の構成も図1に
示すのと同じ構成である。
【0043】予め、第2のセンサヘッド7にはターゲッ
ト6がアクティブダンパの位置決め基準位置と等しい取
り付け基準長1mmで固定されている。まず、取り付け
基準長1mmのブロックゲージ等を用いて、第1のセン
サヘッド2をターゲット1から取り付け基準長1mmだ
け離して取り付ける。次に、第1のセンサヘッド2およ
び第2のセンサヘッド7、第1の変位増幅器3および第
2の変位増幅器8、直流電源4、第1の電圧測定器5お
よび第2の電圧測定器9を、前述と同様に図1に示すよ
うに相互に接続し、直流電源4から変位増幅器3および
8に電力を供給する。従来の取り付け方法では電源投入
後に数十分間以上のウォーミングアップ時間をとり、そ
の後に従来の取り付け作業を行っていたが、本発明の取
り付け方法では電源投入直後から取り付け作業を行うこ
とが可能である。
ト6がアクティブダンパの位置決め基準位置と等しい取
り付け基準長1mmで固定されている。まず、取り付け
基準長1mmのブロックゲージ等を用いて、第1のセン
サヘッド2をターゲット1から取り付け基準長1mmだ
け離して取り付ける。次に、第1のセンサヘッド2およ
び第2のセンサヘッド7、第1の変位増幅器3および第
2の変位増幅器8、直流電源4、第1の電圧測定器5お
よび第2の電圧測定器9を、前述と同様に図1に示すよ
うに相互に接続し、直流電源4から変位増幅器3および
8に電力を供給する。従来の取り付け方法では電源投入
後に数十分間以上のウォーミングアップ時間をとり、そ
の後に従来の取り付け作業を行っていたが、本発明の取
り付け方法では電源投入直後から取り付け作業を行うこ
とが可能である。
【0044】第2の位置センサである上記センサヘッド
7および変位増幅器8のペアは既に調整済みであり、こ
れから取り付け作業を行う第1の位置センサであるセン
サヘッド2および変位増幅器3のぺアと同一機種のもの
を使用する。ただし、第2のセンサヘッド7および変位
増幅器8のぺアは本発明の調整方法で調整されたもので
も良い。
7および変位増幅器8のペアは既に調整済みであり、こ
れから取り付け作業を行う第1の位置センサであるセン
サヘッド2および変位増幅器3のぺアと同一機種のもの
を使用する。ただし、第2のセンサヘッド7および変位
増幅器8のぺアは本発明の調整方法で調整されたもので
も良い。
【0045】第1の変位増幅器3の電圧出力端子の電圧
が、第2の変位増幅器8の電圧出力端子の電圧と同じ電
圧で出力されるように、第1のセンサヘッド2の位置を
移動させ、固定する。固定ネジの締め付け等により第1
の変位増幅器3の出力する電圧が第2の変位増幅器8の
出力する電圧からずれる場合は、再度ネジを緩め、上記
の取り付け作業を繰り返す。
が、第2の変位増幅器8の電圧出力端子の電圧と同じ電
圧で出力されるように、第1のセンサヘッド2の位置を
移動させ、固定する。固定ネジの締め付け等により第1
の変位増幅器3の出力する電圧が第2の変位増幅器8の
出力する電圧からずれる場合は、再度ネジを緩め、上記
の取り付け作業を繰り返す。
【0046】既に調整済みの第2の変位増幅器8の電圧
出力端子の電圧は、電源投入からウォーミングアップ時
間経過後では、第2のターゲット6がセンサヘッド7に
取り付け基準長1mmで取り付けしたとき、すなわち測
定長LY =1mmのとき、第2の変位増幅器8は電圧出
力端子に電圧VY =2.500Vを出力する。しかし、
電源投入直後からの数十分間では変位増幅器内部の電子
回路の温度が安定していないので、取り付け基準長1m
mの位置検出電圧である電圧VY =2.500Vからず
れた電圧を出力することになる。第1の変位増幅器3の
温度上昇は第2の変位増幅器8の温度上昇とほぼ同じで
あるので、上記の出力電圧のずれもほぼ同じであり、第
1の変位増幅器3の出力電圧を第2の変位増幅器8の出
力電圧に等しくする様に取り付けることによって、位置
センサのウォーミングアップ時間の間も取り付け作業を
行うことが可能になる。
出力端子の電圧は、電源投入からウォーミングアップ時
間経過後では、第2のターゲット6がセンサヘッド7に
取り付け基準長1mmで取り付けしたとき、すなわち測
定長LY =1mmのとき、第2の変位増幅器8は電圧出
力端子に電圧VY =2.500Vを出力する。しかし、
電源投入直後からの数十分間では変位増幅器内部の電子
回路の温度が安定していないので、取り付け基準長1m
mの位置検出電圧である電圧VY =2.500Vからず
れた電圧を出力することになる。第1の変位増幅器3の
温度上昇は第2の変位増幅器8の温度上昇とほぼ同じで
あるので、上記の出力電圧のずれもほぼ同じであり、第
1の変位増幅器3の出力電圧を第2の変位増幅器8の出
力電圧に等しくする様に取り付けることによって、位置
センサのウォーミングアップ時間の間も取り付け作業を
行うことが可能になる。
【0047】また、従来例では、測定長LX =LY =0
mmにおいて変位増幅器3のゼロ点調整ボリュームの調
整を行い、測定長LX =LY =2mmにおいて変位増幅
器3のスパン調整ボリュームの調整を行った。しかしな
がら、図5に示す様に位置センサの位置検出範囲の両端
において調整を行った場合、位置センサの中央付近での
位置検出誤差(リニアリティ誤差)が大きく、アクティ
ブダンパの様に位置決め基準位置L0 付近で位置センサ
を使用する場合は上記の位置検出誤差(リニアリティ誤
差)を含んでしまう。よって、この第1の実施例では位
置決め基準位置L0 =1mmで、位置センサの調整およ
び取り付けを行い、上記のアクティブダンパが位置決め
基準位置L0 に位置決めした際に、上記の位置検出誤差
(リニアリティ誤差)を含まない。したがって、アクテ
ィブダンパの必要とする調整精度を満たした調整作業お
よび取り付け作業を完了することが可能となる。
mmにおいて変位増幅器3のゼロ点調整ボリュームの調
整を行い、測定長LX =LY =2mmにおいて変位増幅
器3のスパン調整ボリュームの調整を行った。しかしな
がら、図5に示す様に位置センサの位置検出範囲の両端
において調整を行った場合、位置センサの中央付近での
位置検出誤差(リニアリティ誤差)が大きく、アクティ
ブダンパの様に位置決め基準位置L0 付近で位置センサ
を使用する場合は上記の位置検出誤差(リニアリティ誤
差)を含んでしまう。よって、この第1の実施例では位
置決め基準位置L0 =1mmで、位置センサの調整およ
び取り付けを行い、上記のアクティブダンパが位置決め
基準位置L0 に位置決めした際に、上記の位置検出誤差
(リニアリティ誤差)を含まない。したがって、アクテ
ィブダンパの必要とする調整精度を満たした調整作業お
よび取り付け作業を完了することが可能となる。
【0048】(第2の実施例)図2は、本発明の第2の
実施例に係る位置センサのセンサヘッドおよび変位増幅
器の調整時に使用する装置の構成を示す図である。図2
に示す構成が図1に示す構成と異なる箇所は、電圧測定
器5および9の替わりにコンパレータ(電圧比較器)1
0を付加したことである。
実施例に係る位置センサのセンサヘッドおよび変位増幅
器の調整時に使用する装置の構成を示す図である。図2
に示す構成が図1に示す構成と異なる箇所は、電圧測定
器5および9の替わりにコンパレータ(電圧比較器)1
0を付加したことである。
【0049】まず、図2を用いて渦電流式変位センサの
センサヘッドおよび変位増幅器の調整時の構成とその動
作を説明する。図2において、図1と同一符号を付けた
箇所は図1と同様に構成され同様に作用するので説明は
省略する。図2において、10は変位増幅器3および8
から各々出力される変位電圧を比較するコンパレータ
(電圧比較器)である。電圧比較器10は第1の変位増
幅器3の電圧出力端子の電圧VX と第2の変位増幅器8
の電圧出力端子の電圧VY の大小関係および同じ電圧値
であることを検出する機能がある。
センサヘッドおよび変位増幅器の調整時の構成とその動
作を説明する。図2において、図1と同一符号を付けた
箇所は図1と同様に構成され同様に作用するので説明は
省略する。図2において、10は変位増幅器3および8
から各々出力される変位電圧を比較するコンパレータ
(電圧比較器)である。電圧比較器10は第1の変位増
幅器3の電圧出力端子の電圧VX と第2の変位増幅器8
の電圧出力端子の電圧VY の大小関係および同じ電圧値
であることを検出する機能がある。
【0050】したがって、第1の実施例と全く同じ手順
で、第1の変位増幅器3のゼロ点調整ボリュームとスパ
ン調整ボリュームの調整作業が可能となる。同様に、第
1の実施例と全く同じ手順で、第1のセンサヘッド2の
アクティブダンパの位置測定箇所に組み込む時の取り付
け作業が可能となる。
で、第1の変位増幅器3のゼロ点調整ボリュームとスパ
ン調整ボリュームの調整作業が可能となる。同様に、第
1の実施例と全く同じ手順で、第1のセンサヘッド2の
アクティブダンパの位置測定箇所に組み込む時の取り付
け作業が可能となる。
【0051】第1の実施例および第2の実施例では、調
整または取り付けされる位置センサのセンサヘッドおよ
び変位増幅器のぺアが1組の場合について詳しく説明し
たが、調整または取り付けされる位置センサのセンサヘ
ッドおよび変位増幅器のぺアが2組以上の場合について
も同様に実施することが可能であり、その効果も同様で
ある。
整または取り付けされる位置センサのセンサヘッドおよ
び変位増幅器のぺアが1組の場合について詳しく説明し
たが、調整または取り付けされる位置センサのセンサヘ
ッドおよび変位増幅器のぺアが2組以上の場合について
も同様に実施することが可能であり、その効果も同様で
ある。
【0052】また、第1の実施例および第2の実施例で
は、アナログ電圧を出力する位置センサの場合の調整方
法および取り付け方法を説明したが、デジタル値を出力
する位置センサの場合もその調整方法および取り付け方
法に何ら変わるものではないのは従来例と同じである。
は、アナログ電圧を出力する位置センサの場合の調整方
法および取り付け方法を説明したが、デジタル値を出力
する位置センサの場合もその調整方法および取り付け方
法に何ら変わるものではないのは従来例と同じである。
【0053】
【発明の効果】本発明によれば、調整済みである1組の
第2の位置センサのセンサヘッドおよび変位増幅器を用
いて、これから調整または取り付け作業を行う1組以上
の第1の位置センサのセンサヘッドおよび変位増幅器
の、電源投入時の変位増幅器内の電子回路の温度上昇に
起因する測長誤差を補正するように構成したため、位置
センサの電源投入直後から変位増幅器の正確な調整、お
よびセンサヘッドの正確な取り付けが可能となり、位置
センサのウォーミングアップ時間の間も調整作業、およ
び取り付け作業を休止させることなく作業することが可
能であり、アクティブダンパの製造精度および生産性を
向上させることができる。
第2の位置センサのセンサヘッドおよび変位増幅器を用
いて、これから調整または取り付け作業を行う1組以上
の第1の位置センサのセンサヘッドおよび変位増幅器
の、電源投入時の変位増幅器内の電子回路の温度上昇に
起因する測長誤差を補正するように構成したため、位置
センサの電源投入直後から変位増幅器の正確な調整、お
よびセンサヘッドの正確な取り付けが可能となり、位置
センサのウォーミングアップ時間の間も調整作業、およ
び取り付け作業を休止させることなく作業することが可
能であり、アクティブダンパの製造精度および生産性を
向上させることができる。
【0054】また、本発明によれば、除振台の位置決め
基準位置において位置センサのゼロ点調整を行い、位置
決め基準位置近傍において位置センサのスパン調整を行
うことにより、位置センサのリニアリティ誤差を含まな
い調整が可能となり、また、除振台の位置決め基準位置
で位置センサを取り付けることにより、位置センサのリ
ニアリティ誤差を含まない取り付けが可能となり、除振
台の位置検出精度を向上させることができる。
基準位置において位置センサのゼロ点調整を行い、位置
決め基準位置近傍において位置センサのスパン調整を行
うことにより、位置センサのリニアリティ誤差を含まな
い調整が可能となり、また、除振台の位置決め基準位置
で位置センサを取り付けることにより、位置センサのリ
ニアリティ誤差を含まない取り付けが可能となり、除振
台の位置検出精度を向上させることができる。
【図1】 本発明の第1の実施例に係る、位置センサの
調整時および取り付け時の構成を示す図である。
調整時および取り付け時の構成を示す図である。
【図2】 本発明の第2の実施例に係る、位置センサの
調整時および取り付け時の構成を示す図である。
調整時および取り付け時の構成を示す図である。
【図3】 従来の、位置センサの調整時および取り付け
時の構成を示す図である。
時の構成を示す図である。
【図4】 基準長測定電圧VY の時間に対する変化を示
すグラフである。
すグラフである。
【図5】 位置センサのリニアリティ誤差の例を表すグ
ラフである。
ラフである。
【符号の説明】 1:第1のターゲット、2:第1のセンサヘッド、3:
第1の変位増幅器、4:直流電源、5:第1の電圧測定
器、6:第2のターゲット、7:第2のセンサヘッド、
8:第2の変位増幅器、9:第2の電圧測定器、10:
コンパレータ(電圧比較器)、LX :変位、LY :基準
長、VX :変位測定電圧、VY :基準長測定電圧。
第1の変位増幅器、4:直流電源、5:第1の電圧測定
器、6:第2のターゲット、7:第2のセンサヘッド、
8:第2の変位増幅器、9:第2の電圧測定器、10:
コンパレータ(電圧比較器)、LX :変位、LY :基準
長、VX :変位測定電圧、VY :基準長測定電圧。
Claims (8)
- 【請求項1】 位置決め対象物の位置を検出する第1の
位置センサを調整するための位置センサの調整方法であ
って、既に調整済みの第2の位置センサから出力される
位置検出信号を用いて、調整を行うべき前記第1の位置
センサのゼロ点調整およびスパン調整を行うことを特徴
とする、位置センサの調整方法。 - 【請求項2】 請求項1に記載の位置センサの調整方法
において、前記第1および第2の位置センサの調整位置
を、前記位置決め対象物の位置決め基準位置で調整を行
うことを特徴とする位置センサの調整方法。 - 【請求項3】 位置決め対象物の位置を検出する第1の
位置センサを取り付けるための位置センサの取り付け方
法であって、固定された基準長を検出する第2の位置セ
ンサから出力される位置検出信号を用いて、前記第1の
位置センサの取り付け位置の調整を行うことを特徴とす
る位置センサの取り付け方法。 - 【請求項4】 請求項3に記載の位置センサの取り付け
方法において、前記固定された基準長を前記位置決め対
象物の位置決め基準位置とする位置センサの取り付け方
法。 - 【請求項5】 前記位置センサは渦電流式変位センサで
あることを特徴とする、請求項1から4のいずれかに記
載の位置センサの調整方法または取り付け方法。 - 【請求項6】 前記位置センサは静電容量式変位センサ
であることを特徴とする、請求項1から4のいずれかに
記載の位置センサの調整方法または取り付け方法。 - 【請求項7】 請求項1から4に記載の位置決め対象物
はデバイス製造装置の除振台であることを特徴とする位
置センサの調整方法または取り付け方法。 - 【請求項8】 請求項1から4に記載の位置センサの調
整方法または取り付け方法を使用した位置センサを搭載
することを特徴とするデバイス製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000026713A JP2001221604A (ja) | 2000-02-03 | 2000-02-03 | 位置センサの調整方法及び取り付け方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000026713A JP2001221604A (ja) | 2000-02-03 | 2000-02-03 | 位置センサの調整方法及び取り付け方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001221604A true JP2001221604A (ja) | 2001-08-17 |
Family
ID=18552409
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2000026713A Pending JP2001221604A (ja) | 2000-02-03 | 2000-02-03 | 位置センサの調整方法及び取り付け方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001221604A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006210858A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-08-10 | Nikon Corp | 位置調整装置の制御方法、位置調整装置、及び露光装置 |
JP2009069035A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Oki Electric Ind Co Ltd | 非接触センサ |
-
2000
- 2000-02-03 JP JP2000026713A patent/JP2001221604A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006210858A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-08-10 | Nikon Corp | 位置調整装置の制御方法、位置調整装置、及び露光装置 |
JP2009069035A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Oki Electric Ind Co Ltd | 非接触センサ |
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