JP2001220011A - Tray holder positioning and driving mechanism - Google Patents

Tray holder positioning and driving mechanism

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JP2001220011A
JP2001220011A JP2000030363A JP2000030363A JP2001220011A JP 2001220011 A JP2001220011 A JP 2001220011A JP 2000030363 A JP2000030363 A JP 2000030363A JP 2000030363 A JP2000030363 A JP 2000030363A JP 2001220011 A JP2001220011 A JP 2001220011A
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tray
tray base
base
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drive mechanism
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Hiroshi Yasuno
寛 安野
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Tamagawa Seiki Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To highly precisely align ICs in a tray by using a pair of uniaxial actuators connected to both ends of tray holder fro vibrating and tilting the tray holder. SOLUTION: A tray holder positioning and driving mechanism comprises the tray holder 11 provided on a base 1 via an actuator 30, the tray holder 11 being vibrated by the drive of the actuator 30. The actuator 30 consists of first and second uniaxial actuators 20, 21 provided at both ends of the tray holder 11.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、トレイ台位置決め
駆動機構に関し、特に、トレイ台の両端位置又は対角位
置に一対の単軸アクチュエータを配設し、一方もしくは
両方の単軸アクチュエータのロッドを昇降作動自在とす
ることにより、トレイ台の全域に同じ振幅の振動を与え
ることができるようにするための新規な改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a tray base positioning drive mechanism, and in particular, a pair of single-axis actuators are arranged at both ends or diagonal positions of a tray base, and rods of one or both single-axis actuators are attached. The present invention relates to a novel improvement for enabling a vibration of the same amplitude to be applied to the entire area of a tray base by allowing the lifting and lowering operation to be freely performed.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、用いられていたこの種のトレイ台
位置決め駆動機構としては、例えば、図2で示される構
成が採用されていた。すなわち、基台1上に設けられた
受け体10には、トレイ台11の下部に設けられた回動
体12が回動自在に設けられている。前記トレイ台11
上には、多数のIC13を整列させるためのトレイ14
が載置されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, for example, a structure shown in FIG. 2 has been adopted as a tray base positioning drive mechanism of this kind which has been used. That is, the receiving body 10 provided on the base 1 is provided with a rotating body 12 provided below the tray base 11 so as to be rotatable. The tray base 11
On the top, a tray 14 for arranging a large number of ICs 13
Is placed.

【0003】次に、動作について説明する。まず、図2
の状態で、回動体12を図示しないアクチュエータとし
てのモータによって回転中心Oを中心として回転、トレ
イ台を傾斜させる。この時、モータは振動しながら回転
し、この振動の周期を早めることによって振動がトレイ
14に与えられ、各IC13がトレイ14内で整列され
る。
Next, the operation will be described. First, FIG.
In this state, the rotating body 12 is rotated about the rotation center O by a motor as an actuator (not shown) to tilt the tray base. At this time, the motor rotates while vibrating, and the vibration is given to the tray 14 by accelerating the cycle of the vibration, and the ICs 13 are aligned in the tray 14.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来のトレイ台位置決
め駆動機構は、以上のように構成されていたため、次の
ような課題が存在していた。すなわち、トレイ台の中心
に位置する回動体が振動するため、回転中心からの距離
によって振動の振幅の度合いが異なり、ICの整列が均
一に行われないことがあった。また、トレイの厚さに応
じてトレイ台の台面を上下させて高さの位置調整をする
必要があるが、トレイ台の高さ位置は固定であるため、
図示しないシムによって高さの調整をしなければならな
かった。
Since the conventional tray base positioning drive mechanism is configured as described above, there are the following problems. That is, since the rotating body located at the center of the tray table vibrates, the amplitude of the vibration varies depending on the distance from the center of rotation, and the ICs may not be aligned uniformly. In addition, it is necessary to adjust the height position by raising and lowering the surface of the tray base according to the thickness of the tray, but since the height position of the tray base is fixed,
The height had to be adjusted by a shim (not shown).

【0005】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、トレイ台の両端位置又は対
角位置に一対の単軸アクチュエータを配設し、一方もし
くは両方の単軸アクチュエータのロッドを昇降作動自在
とすることにより、トレイ台の全域に同じ振幅の振動を
与えるようにしたトレイ台位置決め駆動機構を提供する
ことを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems. In particular, a pair of single-axis actuators are disposed at both ends or diagonal positions of a tray base, and one or both single-axis actuators are provided. An object of the present invention is to provide a tray base positioning drive mechanism in which a rod of an actuator can be freely moved up and down so as to apply vibration of the same amplitude to the entire area of the tray base.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明によるトレイ台位
置決め駆動機構は、基台上にアクチュエータを介して設
けられたトレイ台を有し、前記アクチュエータの駆動に
より前記トレイ台を振動させるようにしたトレイ台位置
決め駆動機構において、前記アクチュエータは前記トレ
イ台の両端位置に設けられた第1、第2単軸アクチュエ
ータよりなる構成であり、また、前記各単軸アクチュエ
ータのストローク差により前記トレイ台を傾斜させるよ
うにした構成であり、また、前記第1単軸アクチュエー
タの下部は、第2軸支部を介して前記基台に設けられて
いる構成であり、また、前記各単軸アクチュエータの各
ロッドの昇降は、各単軸アクチュエータ内に設けられた
駆動モータにより行われ、前記トレイ台の全域に対して
同じ振幅の振動を与えるようにした構成であり、また、
前記トレイ台上には、ICを収容したトレイが載置され
ている構成であり、また、前記両端位置は、対角位置よ
りなり、また、前記両端位置は、前記トレイ台の短辺の
中央位置よりなる構成である。
A tray base positioning drive mechanism according to the present invention has a tray base provided on a base via an actuator, and the tray base is vibrated by driving the actuator. In the tray base positioning drive mechanism, the actuator is configured by first and second single axis actuators provided at both ends of the tray base, and the tray base is inclined by a stroke difference between the single axis actuators. And a lower portion of the first single-axis actuator is provided on the base via a second shaft support, and a lower portion of each rod of each of the single-axis actuators is provided. Elevation is performed by a drive motor provided in each single-axis actuator, and the same amplitude vibration is applied to the entire area of the tray base. Is obtain as to the configuration, also,
A tray accommodating an IC is placed on the tray base, and both end positions are diagonal positions, and both end positions are located at the center of a short side of the tray base. It is a configuration consisting of positions.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明によるト
レイ台位置決め駆動機構の好適な実施の形態について説
明する。なお、従来例と同一又は同等部分には同一符号
を付して説明する。図1において符号1で示されるもの
は、基台であり、この基台1上には第1、第2単軸アク
チュエータ20、21が互いに間隔をおいて設けられて
おり、各アクチュエータ20、21の第1、第2ロッド
20a、21aはトレイ台11の対角位置11A、11
Bの裏面11cに接続されている。なお、各単軸アクチ
ュエータ20、21によりアクチュエータ30を構成し
ている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A preferred embodiment of a tray base positioning drive mechanism according to the present invention will be described below with reference to the drawings. The same or equivalent parts as those in the conventional example will be described with the same reference numerals. In FIG. 1, what is indicated by reference numeral 1 is a base on which first and second single-axis actuators 20 and 21 are provided at an interval from each other. The first and second rods 20a, 21a are at diagonal positions 11A, 11A of the tray base 11.
B is connected to the back surface 11c. The actuator 30 is constituted by the single-axis actuators 20 and 21.

【0008】前記第1ロッド20aは前記裏面11cに
直接接続されていると共に、前記第2ロッド21aは蝶
番状の第1軸支部22を介して相対回動自在に接続され
ている。 前記第1単軸アクチュエータ20の下部20
bは、蝶番状の第2軸支部23を介して矢印Aの方向に
往復回動自在に設けられており、前記各ロッド20a、
21aは、内蔵された図示しないモータによって、周知
の直交変換手段(例えば、ラックとピニオン、ナットと
送りねじ等)を介して矢印B、Cの方向に沿って垂直状
態に上下動できるように構成されている。
The first rod 20a is directly connected to the rear surface 11c, and the second rod 21a is connected to the second rod 21a via a hinge-shaped first shaft support 22 so as to be relatively rotatable. Lower part 20 of the first single axis actuator 20
b is provided so as to be reciprocally rotatable in the direction of arrow A via the hinge-shaped second shaft support portion 23, and each of the rods 20a,
21a is configured to be vertically movable in the directions of arrows B and C by a built-in motor (not shown) through well-known orthogonal transformation means (for example, a rack and a pinion, a nut and a feed screw, etc.). Have been.

【0009】前記トレイ台11上には、多数のIC13
を収容したトレイ14が載置され、かつ、このトレイ台
11に着脱自在に固定されている。
On the tray base 11, a large number of ICs 13 are provided.
Is placed on the tray base 11 and is detachably fixed to the tray base 11.

【0010】次に動作について述べる。まず、第1動作
形態として図1の構成において、各単軸アクチュエータ
20、21の各モータを同時に同一条件で、駆動するこ
とにより同一周期で上下動すなわち昇降させることによ
り、トレイ台11上のトレイ14全体が同一周期で上下
振動するため、トレイ14内の各IC13は完全に整列
される。
Next, the operation will be described. First, in the configuration of FIG. 1 as the first operation mode, the motors of the single-axis actuators 20 and 21 are simultaneously driven under the same conditions to be moved up and down, that is, moved up and down in the same cycle, so that the tray on the tray base 11 is moved. Since the whole 14 vibrates up and down in the same cycle, each IC 13 in the tray 14 is perfectly aligned.

【0011】次に、第2動作形態としては、図1の構成
において、第1単軸アクチュエータ20よりも第2単軸
アクチュエータ21の第2ロッド21aの方を上昇させ
ることにより、トレイ台11の右側が左側よりも上方へ
位置するため、トレイ台11は左側へ向けて大きく傾斜
し、トレイ14内の各IC13はX−Y方向の2軸に沿
って左側へ寄せられて整列される。なお、この場合、第
1単軸アクチュエータ20は第2軸支部23を介して左
側へ傾斜し、トレイ台11は第1軸支部22を介して傾
動するため、第2単軸アクチュエータ21は基台1上に
固定された状態を保つことができる。なお、前述の場
合、前記トレイ台11が傾斜した状態下で、各単軸アク
チュエータ20、21の各ロッド20a、21aを同一
周期で上下動(この場合は微振動でよい)させることに
より、トレイ台11は傾斜したままの状態で振動するた
め、トレイ14内の各IC13をより一層高精度で整列
させることができる。
Next, as a second mode of operation, in the configuration of FIG. 1, the second rod 21a of the second single-axis actuator 21 is raised higher than the first single-axis actuator 20, so that the tray base 11 Since the right side is located higher than the left side, the tray base 11 is greatly inclined toward the left side, and the ICs 13 in the tray 14 are aligned to the left side along two axes in the XY directions. In this case, the first single-axis actuator 20 is tilted to the left via the second shaft support 23 and the tray base 11 is tilted via the first shaft support 22. 1 can be kept fixed. In the case described above, the tray 20 is moved up and down (in this case, fine vibration may be used) by moving the rods 20a and 21a of the single-axis actuators 20 and 21 in the same cycle while the tray base 11 is inclined. Since the table 11 vibrates while being tilted, the ICs 13 in the tray 14 can be aligned with higher accuracy.

【0012】次に、第3動作形態として、図1の状態に
おいて、各単軸アクチュエータ20、21の各ロッド2
0a、21aを同一ストロークにおいて上昇又は下降さ
せることにより、トレイ14の種類の変更によるトレイ
台11の高さ調整を簡単に行うことができ、後工程とし
ての各IC13に対するレーザによるマーキング加工時
のレーザ焦点の調整を行うことができる。
Next, as a third operation mode, in the state shown in FIG.
By raising or lowering 0a and 21a in the same stroke, the height of the tray base 11 can be easily adjusted by changing the type of the tray 14, and the laser at the time of laser marking for each IC 13 as a post process. The focus can be adjusted.

【0013】なお、前述の場合は、各単軸アクチュエー
タ20、21をトレイ台11の対角位置11A、11B
に接続した場合について述べたが、他の形態として、ト
レイ台11の各短辺11a、11bの中央位置11a
A、11bBの裏面11cに各単軸アクチュエータ2
0、21の各ロッド20a、21aを接続した場合も同
様の作動を得ることができる。
In the above case, the single-axis actuators 20 and 21 are connected to the tray base 11 at diagonal positions 11A and 11B.
Is described, but as another form, the central position 11a of each short side 11a, 11b of the tray base 11 is described.
A, each single axis actuator 2 on the back surface 11c of 11bB
The same operation can be obtained when the rods 20a and 21a of 0 and 21 are connected.

【0014】また、前述のように、トレイ台11の振動
及び傾斜動作を介してトレイ14内の各IC13の整列
が完了した後に、図示しないレーザ光によりIC上の表
面にマーキングを行うレーザ加工が行われる。
Further, as described above, after the alignment of the ICs 13 in the tray 14 is completed through the vibration and the tilting operation of the tray base 11, laser processing for marking the surface of the ICs with a laser beam (not shown) is performed. Done.

【0015】[0015]

【発明の効果】本発明によるトレイ台位置決め駆動機構
は、以上のように構成されているため、次のような効果
を得ることができる。すなわち、トレイ台を支持する一
対の単軸アクチュエータが、トレイ台の両端位置の対角
位置又は短辺の中央位置に設けられているため、各単軸
アクチュエータのロッドの上下動動作によりトレイ内の
各ICに対して均等な振動を与えることができる。ま
た、各単軸アクチュエータのストローク差により、トレ
イ台を容易に傾斜させることができ、特に、各単軸アク
チュエータがトレイ台の対角位置に接続されている場合
には、一方の単軸アクチュエータのロッドを上昇させて
トレイ台を傾斜させることにより、トレイ内の各ICに
対してX−Y2軸方向の整列を同時に行うことができ
る。また、トレイの厚さが異なるために、後工程におけ
るレーザ加工時のレーザ焦点位置を調整する場合におい
ても、各単軸アクチュエータを同一ストローク上下させ
るのみで、レーザ光源に対するICの高さ位置を自在に
調整することができる。
Since the tray base positioning drive mechanism according to the present invention is configured as described above, the following effects can be obtained. That is, since a pair of single-axis actuators supporting the tray table are provided at diagonal positions of both end positions of the tray table or at the center position of the short side, the vertical movement of the rod of each single-axis actuator moves the inside of the tray. Equal vibration can be given to each IC. In addition, the tray base can be easily inclined by the stroke difference between the single-axis actuators, and in particular, when each single-axis actuator is connected to the diagonal position of the tray base, one of the single-axis actuators can be tilted. By raising the rod and tilting the tray base, it is possible to simultaneously align the ICs in the tray in the X-Y two-axis directions. Also, since the thickness of the tray is different, even when adjusting the laser focal position during laser processing in the subsequent process, the height position of the IC with respect to the laser light source can be freely adjusted only by moving each single axis actuator up and down by the same stroke. Can be adjusted.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明によるトレイ台位置決め駆動機構を示す
斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a tray base positioning drive mechanism according to the present invention.

【図2】従来構成を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a conventional configuration.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基台 11 トレイ台 13 IC 14 トレイ 11A 対角位置 11B 対角位置 11a、11b 短辺 11aA、11bB 中央位置 20、21 単軸アクチュエータ 23 第2軸支部 20a、21a ロッド Reference Signs List 1 base 11 tray base 13 IC 14 tray 11A diagonal position 11B diagonal position 11a, 11b short side 11aA, 11bB central position 20, 21 single-axis actuator 23 second shaft support 20a, 21a rod

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基台(1)上にアクチュエータ(30)を介し
て設けられたトレイ台(11)を有し、前記アクチュエータ
(30)の駆動により前記トレイ台(11)を振動させるように
したトレイ台位置決め駆動機構において、前記アクチュ
エータ(30)は前記トレイ台(11)の両端位置に設けられた
第1、第2単軸アクチュエータ(20、21)よりなることを
特徴とするトレイ台位置決め駆動機構。
A tray (11) provided on a base (1) via an actuator (30);
In the tray base positioning drive mechanism configured to vibrate the tray base (11) by driving the (30), the actuator (30) includes first and second units provided at both ends of the tray base (11). A tray base positioning drive mechanism comprising a shaft actuator (20, 21).
【請求項2】 前記各単軸アクチュエータ(20、21)のス
トローク差により前記トレイ台(11)を傾斜させるように
構成したことを特徴とする請求項1記載のトレイ台位置
決め駆動機構。
2. The tray base positioning drive mechanism according to claim 1, wherein said tray base (11) is inclined by a stroke difference between said single axis actuators (20, 21).
【請求項3】 前記第1単軸アクチュエータ(20)の下部
は、第2軸支部(23)を介して前記基台(1)に設けられて
いることを特徴とする請求項1又は2記載のトレイ台位
置決め駆動機構。
3. The base (1) according to claim 1, wherein a lower portion of the first single-axis actuator (20) is provided on the base (1) via a second shaft support (23). Tray base positioning drive mechanism.
【請求項4】 前記各単軸アクチュエータ(20、21)の各
ロッド(20a、21a)の昇降は、各単軸アクチュエータ(2
0、21)内に設けられた駆動モータにより行われ、前記ト
レイ台(11)の全域に対して同じ振幅の振動を与えるよう
に構成したことを特徴とする請求項1ないし3の何れか
に記載のトレイ台位置決め駆動機構。
4. The lifting and lowering of each rod (20a, 21a) of each single-axis actuator (20, 21) is performed by each single-axis actuator (2
4. The apparatus according to claim 1, wherein the drive is performed by a drive motor provided in the first and second trays, and the same amplitude is applied to the entire area of the tray base. The tray base positioning drive mechanism described in the above.
【請求項5】 前記トレイ台(11)上には、IC(13)を収
容したトレイ(14)が載置されていることを特徴とする請
求項1ないし4の何れかに記載のトレイ台位置決め駆動
機構。
5. The tray table according to claim 1, wherein a tray (14) containing an IC (13) is mounted on the tray table (11). Positioning drive mechanism.
【請求項6】 前記両端位置は、対角位置(11A、11B)よ
りなることを特徴とする請求項1ないし5の何れかに記
載のトレイ台位置決め駆動機構。
6. The tray base positioning drive mechanism according to claim 1, wherein the both end positions are diagonal positions (11A, 11B).
【請求項7】 前記両端位置は、前記トレイ台(11)の短
辺(11a、11b)の中央位置(11aA、11bB)よりなることを特
徴とする請求項1ないし5の何れかに記載のトレイ台位
置決め駆動機構。
7. The apparatus according to claim 1, wherein the both end positions are formed by central positions (11aA, 11bB) of short sides (11a, 11b) of the tray base (11). Tray base positioning drive mechanism.
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