JP2001219557A - Ink jet head and ink jet recorder - Google Patents

Ink jet head and ink jet recorder

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JP2001219557A
JP2001219557A JP2000030142A JP2000030142A JP2001219557A JP 2001219557 A JP2001219557 A JP 2001219557A JP 2000030142 A JP2000030142 A JP 2000030142A JP 2000030142 A JP2000030142 A JP 2000030142A JP 2001219557 A JP2001219557 A JP 2001219557A
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JP
Japan
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substrate
electrode
head
ink jet
ink
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Application number
JP2000030142A
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Japanese (ja)
Inventor
Takashi Kimura
隆 木村
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a highly reliable image having high image quality by reducing crosstalk through a simple arrangement. SOLUTION: In the head 1 for writing a character or an image by ejecting an ink drop from each nozzle 9 toward a recording medium in response to a control signal inputted to each individual electrode 15 formed on an insulation layer 14 which is formed on a conductive substrate 13, the substrate 13 is connected with the ground level in order to prevent induction of a potential in the individual electrode 15 through the substrate 13 at the time of conducting the individual electrode 15.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、インクジェット
ヘッド及びインクジェット記録装置、特にクロストーク
の発生を防止して高画質の画像を安定して形成すること
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet head and an ink jet recording apparatus, and more particularly to a method for preventing a crosstalk from occurring and stably forming a high quality image.

【0002】[0002]

【従来の技術】ノンインパクト記録法は記録時の騒音発
生が無視できる程度に小さい点でオフィス用等として注
目されている。そのうち高速記録可能で、かつ普通紙に
特別の定着処理を要せずに記録できるインクジェット記
録法は極めて有力な方法であり、従来から種々の方式が
提案され、製品化されて実用されている。このようなイ
ンクジェット記録法は記録液体であるインクの小滴を飛
翔させ被記録体に付着させて記録を行うものであり、記
録液体の小滴の発生法と小滴の飛翔方向を制御するため
の制御方法によりいくつかの方式に大別される。
2. Description of the Related Art The non-impact recording method has attracted attention for office use and the like because noise generation during recording is small enough to be ignored. Among them, the ink jet recording method capable of high-speed recording and capable of performing recording on plain paper without requiring a special fixing process is an extremely effective method, and various methods have been conventionally proposed, commercialized and put to practical use. Such an ink jet recording method is to perform recording by flying small droplets of ink as a recording liquid and attaching the droplets to a recording medium, and to control a method of generating the droplets of the recording liquid and a flying direction of the droplets. Are roughly divided into several types according to the control method.

【0003】第1の方式は、テレタイプ(Tele t
ype)方式と称され、記録液体の小滴の発生を静電吸
引的に行い、発生した小滴を記録信号に応じて電界制御
し、この小滴を記録媒体上に選択的に付着させて記録を
行うものである。具体的には、ノズルと加速電極間に電
界をかけて一様に帯電した記録液体の小滴をノズルより
吐出させ、吐出した小滴を記録信号に応じて電気制御可
能なように構成されたxy偏向電極間を飛翔させ、電界
の強度変化によって選択的に小滴を記録媒体上に付着さ
せるものである。
[0003] The first method is a teletype (Telet).
ype) method, the generation of small droplets of the recording liquid is performed by electrostatic attraction, the generated small droplets are subjected to electric field control according to a recording signal, and the small droplets are selectively attached to a recording medium. It is for recording. Specifically, an electric field is applied between the nozzle and the accelerating electrode to discharge a uniformly charged droplet of the recording liquid from the nozzle, and the discharged droplet can be electrically controlled in accordance with a recording signal. The droplets fly between the xy deflection electrodes and selectively deposit small droplets on the recording medium by a change in the intensity of the electric field.

【0004】第2の方式はスウィート(Sweet)方
式と称され、連続振動発生法により帯電量の制御させた
記録液体の小滴を発生させ、この帯電量の制御された小
滴を一様電界がかけられている偏向電極間を飛翔させ
て、被記録体上に記録を行わせるものである。具体的に
は、ピエゾ振動素子の付設されている記録ヘッドを構成
する一部であるノズルのオリフィス(吐出口)の前に記
録信号が印加されるようにした帯電電極を所定距離だけ
離して配置し、ピエゾ振動素子に一定周波数の電気信号
を印加することでピエゾ振動素子を機械的に振動させ、
オリフィスより記録液体の小滴を吐出させる。この時、
吐出する小滴には帯電電極により電荷が静電誘導され、
小滴は記録信号に応じた電荷量で帯電される。帯電量の
制御された小滴は一定電界が一様にかけられている偏向
電極間を飛翔する時に、付加された帯電量に応じて偏向
を受け、記録信号を担う小滴のみが記録媒体上に付着す
るものである。
[0004] The second method is called a Sweet method, in which a small droplet of a recording liquid whose charge amount is controlled by a continuous vibration generation method is generated, and the small droplet whose charge amount is controlled is applied to a uniform electric field. In this case, the recording is performed on the recording medium by flying between the deflection electrodes on which recording is performed. Specifically, a charging electrode to which a recording signal is applied is disposed at a predetermined distance in front of an orifice (ejection port) of a nozzle, which is a part of a recording head provided with a piezoelectric vibrating element. Then, by applying an electric signal of a constant frequency to the piezoelectric vibrating element, the piezoelectric vibrating element is mechanically vibrated,
A small droplet of the recording liquid is ejected from the orifice. At this time,
Charge is electrostatically induced by the charging electrode to the ejected droplet,
The droplet is charged with a charge amount according to the recording signal. When the droplet having a controlled charge amount flies between the deflection electrodes to which a constant electric field is uniformly applied, the droplet is deflected according to the added charge amount, and only the droplet carrying the recording signal remains on the recording medium. It will adhere.

【0005】第3の方式は、ハーツ(Hertz)方式
と称され、ノズルとリング状の帯電電極間に電界をか
け、連続振動発生法によって記録液体の小滴を発生霧化
させて記録される方式である。すなわち、ノズルと帯電
電極間にかける電界強度を記録信号に応じて変調するこ
とにより小滴の霧化状態を制御し、記録画像の階調性を
出して記録させるものである。
The third method is called a Hertz method, in which an electric field is applied between a nozzle and a ring-shaped charging electrode, and recording is performed by generating and atomizing small droplets of a recording liquid by a continuous vibration generation method. It is a method. That is, the intensity of the electric field applied between the nozzle and the charging electrode is modulated in accordance with the recording signal to control the atomization state of the small droplet, and the recording is performed with the gradation of the recorded image.

【0006】第4の方式はステンメ(Stemme)方
式と称され、記録信号に応じて吐出口より記録液体の小
滴を吐出飛翔させて記録するものである。すなわち、S
temme方式は、記録液体を吐出する吐出口を有する
記録ヘッドに付設されているピエゾ振動素子(圧電素
子)に電気的な記録信号を印加してピエゾ振動素子の機
械的振動に変え、この機械的振動にしたがい吐出口より
記録液体の小滴を吐出飛翔させて記録媒体に付着させる
ものである。
The fourth method is called the "Stemme" method, in which small droplets of a recording liquid are ejected and ejected from an ejection port in accordance with a recording signal for recording. That is, S
In the temme method, an electric recording signal is applied to a piezoelectric vibrating element (piezoelectric element) attached to a recording head having a discharge port for discharging a recording liquid to change the vibration into mechanical vibration of the piezoelectric vibrating element. In accordance with the vibration, small droplets of the recording liquid are ejected and ejected from the ejection ports and adhere to the recording medium.

【0007】第5の方式はバブルジェット方式(サーマ
ルインクジェット方式)と称され、液室内のインクを加
熱して気泡を発生させて、インクに圧力上昇を生じさ
せ、微細な毛細管ノズルからインクを飛び出させて記録
させるものである。
The fifth method is called a bubble jet method (thermal ink jet method), which heats ink in a liquid chamber to generate air bubbles, causing a pressure rise in the ink, and ejecting the ink from a fine capillary nozzle. It is to be recorded.

【0008】さらに、近年、バブルジェット方式と同様
に、シリコン基板を用いて高密度,高集積化が可能な方
法が例えば特開平4−52214号公報や特開平3−2
93141号公報,特開平6−50601号公報,特開
平9−300629号公報等に示されている。この方法
はシリコン基板にエッチングによって液室と振動板を形
成し、基板と振動板の電極間に電圧を印加し、静電力に
よって振動板をたわませてインク吐出を行う記録方法で
ある。また、例えば特開平6−50601号公報に示さ
れているように、インク液室の一部に振動板を設け、そ
れと対向する電極基板を微少ギャップ隔てて設け、振動
板に共通電極を形成し、電極基板に個別電極を設けて、
振動板を安定に駆動するとともにヘッドを高密度,薄型
化するようにしている。この電極基板としてはシリコン
などのエッチング加工が容易な基板を用いることで、振
動板と電極基板間の微少間隙を形成するための溝と、そ
の底部に位置する個別電極を容易に形成できる。この電
極基板を形成するシリコン基板は半導体であるため、個
別電極はSiO2などの絶縁層の上に形成される。ま
た、特開平9−300629号公報には、個別電極の端
子と共通電極の端子と制御信号を入力するフレキシブル
・プリント配線板(以下、FPCという)を接続すると
きに、個別電極の端子部と共通電極の端子部に加える加
熱量と加圧量を変えてFPCを同時に熱圧着するように
している。
Further, in recent years, similar to the bubble jet method, a method capable of achieving high density and high integration using a silicon substrate is disclosed in, for example, JP-A-4-52214 or JP-A-3-2214.
No. 93141, JP-A-6-50601, JP-A-9-300269, and the like. This method is a recording method in which a liquid chamber and a vibration plate are formed on a silicon substrate by etching, a voltage is applied between electrodes of the substrate and the vibration plate, and the vibration plate is bent by electrostatic force to eject ink. Further, as shown in, for example, JP-A-6-50601, a diaphragm is provided in a part of the ink liquid chamber, an electrode substrate facing the diaphragm is provided with a small gap, and a common electrode is formed on the diaphragm. , Providing individual electrodes on the electrode substrate,
The diaphragm is driven stably, and the density and thickness of the head are reduced. By using a substrate such as silicon, which is easily etched, as the electrode substrate, a groove for forming a minute gap between the diaphragm and the electrode substrate and an individual electrode located at the bottom thereof can be easily formed. Since the silicon substrate forming this electrode substrate is a semiconductor, the individual electrodes are formed on an insulating layer such as SiO 2 . Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-300629 discloses that, when connecting a terminal of an individual electrode, a terminal of a common electrode, and a flexible printed wiring board (hereinafter, referred to as FPC) for inputting a control signal, a terminal portion of the individual electrode is used. The FPC is thermocompression-bonded simultaneously by changing the amount of heating and the amount of pressure applied to the terminal portion of the common electrode.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上記のように基板と振
動板の電極間に電圧を印加し、静電力によって振動板を
たわませてインク吐出を行う場合、個別電極と共通電極
の2つの電極間に形成されたコンデンサのほかに個別電
極と絶縁層を挟んだシリコン基板のサブストレート間に
もコンデンサが形成され、個別電極に電圧を印加したと
き、サブストレートを通じて駆動しない個別電極にも電
位が生じ、この電位により駆動しない振動板も振動する
いわゆるクロストークが生じる。
As described above, when a voltage is applied between the substrate and the electrode of the diaphragm and ink is ejected by flexing the diaphragm by electrostatic force, the two electrodes of the individual electrode and the common electrode are used. In addition to the capacitor formed between the electrodes, a capacitor is also formed between the individual electrode and the silicon substrate substrate that sandwiches the insulating layer. When a voltage is applied to the individual electrode, the potential is applied to the individual electrode that is not driven through the substrate. This causes a so-called crosstalk in which the diaphragm not driven by this potential also vibrates.

【0010】バブルジェット方式の場合、シリコン基板
上には発熱抵抗体が形成されており、シリコン基板のサ
ブストレートとの間に生じる静電容量は特に問題となら
ず、シリコン基板の上に圧電体を形成した場合は、圧電
体の静電容量がサブストレートとの間の静電容量に比べ
てはるかに大きいためクロストークは問題とならなかっ
たが、静電方式の場合は、振動板と電極基板間が微少間
隙で形成されて小さな静電容量であるため、特にサブス
トレートとの静電容量が大きく影響してクロストークが
問題となり、クロストークにより印字した画質が劣化し
てしまう。
In the case of the bubble jet method, a heating resistor is formed on a silicon substrate, and the capacitance generated between the heating resistor and the substrate of the silicon substrate does not cause any particular problem. The cross talk was not a problem in the case of forming the piezoelectric body because the capacitance of the piezoelectric body was much larger than the capacitance between the substrate and the substrate. Since a small capacitance is formed between the substrates with a small gap, the capacitance with the substrate has a great effect, and crosstalk becomes a problem, and the printed image quality deteriorates due to the crosstalk.

【0011】この発明はかかる短所を改善し、簡単な構
成でクロストークを低減し、信頼性が良く高画質の画像
を得ることができるインクジェットヘッド及びインクジ
ェット記録装置を提供することを目的とするのである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an ink jet head and an ink jet recording apparatus which can improve such disadvantages, reduce crosstalk with a simple structure, and obtain highly reliable and high quality images. is there.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】この発明に係るインクジ
ェットヘッドは、導電性を有するサブストレートの上に
形成された絶縁層と、絶縁層の上に形成された個別電極
に入力する制御信号により各ノズルからインク液滴を記
録媒体に吹き付けて文字や画像を描くインクジェットヘ
ッドにおいて、上記サブストレートをグランドレベルに
接続したことを特徴とする。
According to the present invention, there is provided an ink jet head comprising: an insulating layer formed on a conductive substrate; and a control signal input to an individual electrode formed on the insulating layer. In an ink jet head for drawing characters and images by spraying ink droplets from a nozzle onto a recording medium, the substrate is connected to a ground level.

【0013】上記サブストレートに、導電性パターンを
有するグランドレベル接続用の基板を導電性材料で接合
すると良い。この導電性材料として導電性接着剤を使用
すると良い。
It is preferable that a ground level connection substrate having a conductive pattern is bonded to the substrate with a conductive material. It is preferable to use a conductive adhesive as the conductive material.

【0014】また、グランドレベル接続用の基板にサブ
ストレートの位置合わせ手段を設けることが望ましい。
It is desirable to provide a substrate positioning means on the ground level connection substrate.

【0015】この発明に係るインクジェット記録装置は
インクジェットヘッドを有することを特徴とする。
An ink jet recording apparatus according to the present invention has an ink jet head.

【0016】この発明に係る第2のインクジェット記録
装置は、導電性を有するサブストレートの上に形成され
た絶縁層と、絶縁層の上に形成された個別電極に入力す
る制御信号により各ノズルからインク液滴を記録媒体に
吹き付けて文字や画像を描くインクジェットヘッドのサ
ブストレートの少なくとも一部をグランドレベルに直接
接続したことを特徴とする。
According to a second ink jet recording apparatus of the present invention, each of the nozzles is controlled by a control signal input to an insulating layer formed on a conductive substrate and an individual electrode formed on the insulating layer. At least a part of a substrate of an ink jet head for drawing characters and images by spraying ink droplets on a recording medium is directly connected to a ground level.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】この発明のインクジェットヘッド
(以下、ヘッドという)は液室基板と振動板基板と電極
基板が接着剤や陽極接合などの直接接合方法等により積
層されたヘッド本体と、電極基板の裏面に導電性材料で
接合された裏面接続用基板を有する。電極基板の電極に
はヘッド駆動用プリント基板が接続され、裏面接続用基
板の電極には外部接続配線が接続されている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An ink jet head (hereinafter referred to as a head) of the present invention has a head body in which a liquid chamber substrate, a diaphragm substrate and an electrode substrate are laminated by a direct bonding method such as an adhesive or anodic bonding, and an electrode. A backside connection substrate joined to the backside of the substrate with a conductive material. A printed circuit board for driving the head is connected to the electrodes of the electrode substrate, and an external connection wiring is connected to the electrodes of the substrate for connecting the back surface.

【0018】液室基板には複数のノズルが設けられてい
る。振動板基板は振動板を有し、液室基板と振動板基板
の振動板でノズルに連通する液室と各液室に連通する共
通液室を形成している。電極基板は導体あるいは半導体
からなり導電性を有するサブストレートと、サブストレ
ートの上に形成された絶縁層と、絶縁層の上に形成さ
れ、振動板に対して一定微小間隙をおいて対向して設け
られ各ノズルに対応する個別電極を有する。各個別電極
はヘッド駆動用プリント基板のベースに設けられた電極
リードと導電性材料で接続されている。裏面接続用基板
には電極基板の導電性を有するサブストレートの裏面が
固定される位置に導電性を有するパターン部が形成され
ている。
The liquid chamber substrate is provided with a plurality of nozzles. The vibrating plate substrate has a vibrating plate, and a liquid chamber substrate and a vibrating plate of the vibrating plate substrate form a liquid chamber communicating with a nozzle and a common liquid chamber communicating with each liquid chamber. The electrode substrate is made of a conductor or semiconductor and has conductivity, an insulating layer formed on the substrate, and formed on the insulating layer, facing the diaphragm with a certain small gap. There are provided individual electrodes corresponding to each nozzle. Each individual electrode is connected to an electrode lead provided on the base of the head drive printed circuit board by a conductive material. A conductive pattern portion is formed on the back surface connection substrate at a position where the back surface of the conductive substrate of the electrode substrate is fixed.

【0019】この液室基板と振動板基板と電極基板を積
層してヘッド本体を作製し、作製したヘッド本体の電極
基板にヘッド駆動用プリント基板を接続してヘッドを作
製する。この裏面接続用基板にヘッド本体を固定したヘ
ッドの裏面接続用基板をインクカートリッジや別の固定
部材に固定し、裏面接続用基板に接続した外部接続配線
をグランドに電気的に接続して、電極基板のサブストレ
ートをグランドレベルにする。
The head body is manufactured by laminating the liquid chamber substrate, the diaphragm substrate, and the electrode substrate, and a head driving printed board is connected to the electrode substrate of the manufactured head body to manufacture a head. The back connection substrate of the head, in which the head body is fixed to the back connection substrate, is fixed to an ink cartridge or another fixing member, and the external connection wiring connected to the back connection substrate is electrically connected to ground, Set the substrate of the board to the ground level.

【0020】このヘッドを使用して文字や画像を印字す
るとき、インクカートリッジから供給されたインクはヘ
ッド本体の共通液室を通って各インク供給チャンネル全
域の液室に満たされる。この状態で画像情報に応じて電
極基板の各個別電極に対してヘッド駆動用プリント基板
から個別に通電を行うと、個別電極と振動板との間で静
電気力が発生し、振動板が個別電極側に変位する。次に
個別電極の通電をオフにすると、振動板は元の状態に戻
ろうとする。このときの急激な容積変化によりノズルか
らインクが液滴となって飛翔する。このように個別電極
に通電するときに電極基板のサブストレートが裏面接続
用基板を介してグランドレベルになっているから、サブ
ストレートを通して駆動しない個別電極に電位が生じる
ことを防ぐことができ、駆動しない振動板も振動すると
いうクロストークが発生することを防ぐ。
When printing characters and images using this head, the ink supplied from the ink cartridge passes through the common liquid chamber of the head body and fills the liquid chambers in the entire area of each ink supply channel. In this state, when the individual electrodes of the electrode substrate are individually energized from the head drive printed circuit board according to the image information, an electrostatic force is generated between the individual electrodes and the diaphragm, and the diaphragm is driven by the individual electrodes. Displace to the side. Next, when the energization of the individual electrodes is turned off, the diaphragm attempts to return to the original state. At this time, the sudden change in volume causes the ink to fly from the nozzle as droplets. Since the substrate of the electrode substrate is at the ground level via the back surface connection substrate when the individual electrodes are energized in this way, it is possible to prevent potential from being generated on the individual electrodes that are not driven through the substrate and to drive the electrodes. This prevents cross talk that vibrating plates do not vibrate.

【0021】[0021]

【実施例】図1はこの発明の一実施例のインクジェット
ヘッドの斜視図である。図に示すように、インクジェッ
トヘッド(以下、ヘッドという)1は液室基板2と振動
板基板3と電極基板4が接着剤や陽極接合などの直接接
合方法等により積層されたヘッド本体5と、電極基板4
の裏面に導電性接着剤で接合された裏面接続用基板6を
有する。電極基板4の電極にはヘッド駆動用プリント基
板7が接続され、裏面接続用基板6の電極には外部接続
配線8が接続されている。
FIG. 1 is a perspective view of an ink jet head according to an embodiment of the present invention. As shown in the figure, an ink-jet head (hereinafter, referred to as a head) 1 has a head body 5 in which a liquid chamber substrate 2, a diaphragm substrate 3, and an electrode substrate 4 are laminated by a direct bonding method such as an adhesive or anodic bonding. Electrode substrate 4
Has a back surface connection substrate 6 bonded to the back surface of the substrate with a conductive adhesive. A head drive printed circuit board 7 is connected to the electrodes of the electrode substrate 4, and an external connection wiring 8 is connected to the electrodes of the back surface connection substrate 6.

【0022】液室基板2には、図1のA矢視図である図
2に示すように複数のノズル9が設けられている。振動
板基板3には、図3の断面図に示すように、振動板10
を有し、液室基板2と振動板基板3の振動板10でノズ
ル9に連通する液室11と各液室11に連通する共通液
室12を形成している。電極基板4は導体あるいは半導
体からなり導電性を有するサブストレート13と、サブ
ストレート13の上に形成された絶縁層14と、絶縁層
14の上に形成され、振動板7に対して一定微小間隙を
おいて対向して設けられ各ノズル9に対応する個別電極
15を有する。各個別電極15はヘッド駆動用プリント
基板7のベース16に設けられた電極リード17と導電
性材料であるハンダや異方性導電膜からなる接続部材1
8で接続されている。
The liquid chamber substrate 2 is provided with a plurality of nozzles 9 as shown in FIG. As shown in the sectional view of FIG.
And a liquid chamber 11 communicating with the nozzle 9 and a common liquid chamber 12 communicating with each of the liquid chambers 11 are formed by the liquid chamber substrate 2 and the vibration plate 10 of the vibration plate substrate 3. The electrode substrate 4 is made of a conductor or a semiconductor and has conductivity, an insulating layer 14 formed on the substrate 13, and formed on the insulating layer 14. And the individual electrodes 15 corresponding to the respective nozzles 9 are provided to face each other. Each individual electrode 15 is composed of an electrode lead 17 provided on a base 16 of a printed circuit board 7 for driving a head and a connecting member 1 made of a conductive material such as solder or an anisotropic conductive film.
8 are connected.

【0023】液室基板2はダイシングなどの機械加工や
エッチング等のエレクトロフォーミングなどの周知の方
法で溝を形成し、振動板基板3と接合することによりノ
ズル9と液室11と共通液室12を形成することができ
る。この液室基板2の材料としてはステンレスなどの金
属やSiなどの半導体やガラスなどの絶縁性材料などが
用いられる。金属やSi等の導電性の材料を使用した場
合には、内部のインクをグランドレベルに落とすため
に、液室基板2をグランドに接続すると良い。ノズル9
面の吐出表面にはインクとの撥水性を確保するため、メ
ッキあるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥
水処理が行われている。
The liquid chamber substrate 2 is formed with a groove by a known method such as machining such as dicing or electroforming such as etching, and is joined to the diaphragm substrate 3 to form the nozzle 9, the liquid chamber 11 and the common liquid chamber 12. Can be formed. As a material of the liquid chamber substrate 2, a metal such as stainless steel, a semiconductor such as Si, or an insulating material such as glass is used. When a conductive material such as metal or Si is used, it is preferable to connect the liquid chamber substrate 2 to the ground in order to drop the ink inside to the ground level. Nozzle 9
In order to ensure water repellency with the ink on the ejection surface of the surface, a water repellent treatment is performed by a known method such as plating or a water repellent coating.

【0024】振動板基板3はステンレスなどの金属やS
i等の半導体等を使用することが好ましい。これらの材
料はエッチングすることで、所望の厚さで、微細なパタ
ーンを精度良く形成することができ、振動板基板3その
ものを共通電極としても使用できる。また、ガラスなど
の絶縁性の材料を用いた場合には、表面にAlやCu,
Cr,Ni、Auなどの金属を蒸着やスパッタなどの方
法で成膜しておくことにより共通電極が形成できる。
The diaphragm substrate 3 is made of metal such as stainless steel or S
It is preferable to use a semiconductor such as i. By etching these materials, a fine pattern with a desired thickness can be accurately formed, and the diaphragm substrate 3 itself can be used as a common electrode. When an insulating material such as glass is used, Al, Cu,
A common electrode can be formed by depositing a metal such as Cr, Ni, or Au by vapor deposition or sputtering.

【0025】電極基板4のサブストレート13はステン
レスなどの金属やSi等をエッチングして所望の深さを
有する溝を形成する。そして溝の表面に樹脂やSiO2
等の絶縁性の材料で絶縁層14を形成し、その上にN
i,Al,Ti/Pt,Cuなどの電極材料をスパッタ
やCVD,蒸着などの成膜技術で所望の厚さに成膜し、
その後、フォトレジストを形成してエッチングすること
により、各溝に個別電極15を形成する。この個別電極
15の上には短絡や放電により電極が破損するのを防止
するためにSiO2などによる絶縁層を形成してもよ
い。また、電極基板4表面の個別電極15を形成する領
域以外の領域に共通電極の一部を引き出して固定するこ
とにより、個別電極15と共通電極をほぼ同じ面内に形
成することができ、ヘッド駆動用プリント基板7との接
続を容易にすることができる。
The substrate 13 of the electrode substrate 4 forms a groove having a desired depth by etching a metal such as stainless steel or Si. And resin or SiO 2
The insulating layer 14 is formed of an insulating material such as
An electrode material such as i, Al, Ti / Pt, or Cu is formed to a desired thickness by a film forming technique such as sputtering, CVD, or evaporation.
Thereafter, an individual electrode 15 is formed in each groove by forming and etching a photoresist. An insulating layer made of SiO 2 or the like may be formed on the individual electrode 15 in order to prevent the electrode from being damaged by a short circuit or discharge. In addition, by extracting and fixing a part of the common electrode to a region other than the region where the individual electrode 15 is formed on the surface of the electrode substrate 4, the individual electrode 15 and the common electrode can be formed in substantially the same plane. Connection with the driving printed circuit board 7 can be facilitated.

【0026】この液室基板2と振動板基板3と電極基板
4を接着剤や陽極接合などの直接接合方法等により積層
してヘッド本体5を作製し、作製したヘッド本体5の電
極基板4にヘッド駆動用プリント基板7を接続する。
The liquid chamber substrate 2, the diaphragm substrate 3, and the electrode substrate 4 are laminated by a direct bonding method such as an adhesive or anodic bonding to produce a head body 5, and the head body 5 is formed on the electrode substrate 4 of the produced head body 5. The head driving printed circuit board 7 is connected.

【0027】ヘッド駆動用プリント基板7はガラスエポ
キシ樹脂やフェノール樹脂等からなる板状のプリント基
板や、ポリイミド樹脂やPET樹脂等からなるフィルム
状のフレキシブル・プリント基板(FPC)が用いられ
る。ヘッド駆動用プリント基板7の電極リード17と個
別電極15と共通電極の電極パッドを電気的に接続する
方法としては、例えば、ハンダを熱圧着する方法や異方
導電性接着剤で熱圧着する方法や電極間同士を圧接する
方法あるいはワイヤーボンディング法などがある。ワイ
ヤーボンディング法は金属ワイヤで電極間を直接接続す
るので接続抵抗が低く信頼性が高い。ハンダを熱圧着す
る方法や異方導電性接着剤で熱圧着する方法及び電極間
同士を圧接する方法は複数の電極間の接続を一度に行え
ることから、加工が容易で低コストであるという点で優
れた方法である。このなかでもハンダや異方導電性膜の
熱圧着は圧着後に基板同士が接着されるため、その後の
加工や組立てあるいは印字動作などで接続部が取れる心
配がなく、信頼性という点で特に優れた接続方法であ
る。
As the head driving printed board 7, a plate-shaped printed board made of glass epoxy resin or phenol resin or a film-shaped flexible printed board (FPC) made of polyimide resin or PET resin is used. As a method of electrically connecting the electrode leads 17 of the head driving printed circuit board 7, the individual electrodes 15, and the electrode pads of the common electrode, for example, a method of thermocompression bonding of solder or a method of thermocompression bonding with an anisotropic conductive adhesive And a method of pressing the electrodes together, or a wire bonding method. In the wire bonding method, the electrodes are directly connected by metal wires, so that the connection resistance is low and the reliability is high. The method of thermocompression bonding of solder, the method of thermocompression bonding with an anisotropic conductive adhesive, and the method of press-contacting between electrodes can be performed at the same time because multiple electrodes can be connected at once, making processing easy and low cost. This is an excellent method. Among these, the thermocompression bonding of solder or anisotropic conductive film adheres the substrates after the compression bonding, so there is no need to worry about the connection part being removed in subsequent processing, assembly or printing operation, and it is particularly excellent in terms of reliability. The connection method.

【0028】この接続方法として、例えば異方導電性膜
を用いた場合、異方導電性膜は、熱可塑性樹脂あるいは
熱硬化性樹脂の中にフィラーと呼ばれる導電性の粒子を
分散させたもので、電極の間に挟んで加熱、加圧するこ
とにより異方導電性膜がつぶれてフィラーが両電極に接
触して電極間の導通が取れるものである。この異方導電
性膜を用い、例えば図4(a)に示すように、ヘッド駆
動用プリント基板7の電極リード17の端部に異方導電
性膜19を位置合わせしてから仮圧着して、ヘッド駆動
用プリント基板7と異方導電性膜19を密着させる。そ
の後、(b)に示すように、異方導電膜19の保護フィ
ルムを除去し、電極基板4の個別電極15の端部の電極
パッド部とヘッド駆動用プリント基板7の電極リード1
2とを位置合わせを行い、(c)に示すように、加熱し
た圧着ヘッド20をヘッド駆動用プリント基板7の上か
ら電極領域に押し当てて熱圧着する。このようにしてヘ
ッド駆動用プリント基板7の電極リード17と電極基板
4の個別電極15を容易に接続することができる。
As the connection method, for example, when an anisotropic conductive film is used, the anisotropic conductive film is obtained by dispersing conductive particles called filler in a thermoplastic resin or a thermosetting resin. Heating and pressurizing between the electrodes causes the anisotropic conductive film to be crushed and the filler to come into contact with both electrodes to establish conduction between the electrodes. Using this anisotropic conductive film, for example, as shown in FIG. 4 (a), the anisotropic conductive film 19 is aligned with the end of the electrode lead 17 of the head drive printed circuit board 7, and then temporarily compressed. Then, the anisotropic conductive film 19 is brought into close contact with the head driving printed board 7. Thereafter, as shown in (b), the protective film of the anisotropic conductive film 19 is removed, and the electrode pads at the ends of the individual electrodes 15 of the electrode substrate 4 and the electrode leads 1 of the printed circuit board 7 for driving the head are formed.
Then, as shown in (c), the heated pressure bonding head 20 is pressed against the electrode region from above the head drive printed circuit board 7 to perform thermocompression bonding. In this manner, the electrode leads 17 of the head drive printed board 7 and the individual electrodes 15 of the electrode board 4 can be easily connected.

【0029】裏面接続用基板6は、図5の分解斜視図に
示すように、電極基板4の導電性を有するサブストレー
ト13の裏面が固定される位置に導電性を有するパター
ン部21が形成され、少なくともパターン部21を除い
て絶縁性の樹脂層22でカバーされている。この裏面接
続用基板6のベース材としてはガラスエポキシ樹脂やフ
ェノール樹脂からなるプリント配線板(PWB)や、ポ
リイミド樹脂、PETなどからなる可撓性のFPCが用
いられる。このベース材の上に一般的には銅でパターン
部21が形成される、このパターン部21の形状として
は、このパターン部21の領域に固定される電極基板4
のサブストレート13と同じ形状でも良いし、少なくと
もパターン部21の一部でサブストレート13と接触す
れば良いことから、線状や円形状などのパターンでも良
い。また、このパターン部21は裏面接続用基板6のヘ
ッド本体5を搭載する位置以外の場所に外部接続配線8
と接続される外部接続電極23を有する。外部接続電極
23と外部接続配線8の接続方法は、コネクタによる接
続や、線材やFPCのパターンとハンダによる接続など
が用いられる。また、外部接続電極23の位置は裏面接
続用基板6のヘッド本体5が固定される反対の面である
裏面で行なっても良い。外部接続配線8は専用の配線を
使用しても良いし、ヘッド駆動用プリント基板7を兼用
しても良い。
As shown in the exploded perspective view of FIG. 5, the back surface connecting substrate 6 has a conductive pattern portion 21 at a position where the back surface of the conductive substrate 13 of the electrode substrate 4 is fixed. , Except for at least the pattern portion 21, and is covered with the insulating resin layer 22. A printed wiring board (PWB) made of a glass epoxy resin or a phenol resin, or a flexible FPC made of a polyimide resin, PET, or the like is used as a base material of the back surface connection substrate 6. A pattern portion 21 is generally formed of copper on the base material. The shape of the pattern portion 21 is such that the electrode substrate 4 fixed to the region of the pattern portion 21 is formed.
The shape may be the same as that of the substrate 13, or a pattern such as a linear shape or a circular shape may be used since at least a part of the pattern portion 21 may be in contact with the substrate 13. The pattern portion 21 is provided at a position other than the position where the head body 5 is mounted on the back surface connection substrate 6.
It has an external connection electrode 23 connected to. As a method for connecting the external connection electrode 23 and the external connection wiring 8, connection using a connector, connection using a wire or a pattern of an FPC and solder, or the like is used. Further, the position of the external connection electrode 23 may be set on the back surface of the back connection substrate 6 which is the opposite surface to which the head body 5 is fixed. As the external connection wiring 8, a dedicated wiring may be used, or the head driving printed circuit board 7 may also be used.

【0030】この外部接続配線8を接続した裏面接続用
基板6のパターン部21の上に、図5に示すように、ヘ
ッド駆動用プリント基板7を接続したヘッド本体5を接
合する。ヘッド本体5と裏面接続用基板6の接合は導電
性材料を用いて行われる。この導電性材料としては導電
性接着剤24が裏面接続用基板6のパターン部21とヘ
ッド本体5の電極基板4のサブストレート13との電気
的な接続と、裏面接続用基板6とヘッド本体5との固定
とを一度に行なえるため、加工コストが安いという点で
好ましい。裏面接続用基板6のパターン部21に導電性
接着剤24を塗布し、その部分にヘッド本体5を位置合
わせした後に接合する。ヘッド本体5の位置合わせ方法
としては、裏面接続用基板6のヘッド本体5の搭載位置
にサブストレート13のサイズに応じた位置合せマーク
25をシルク印刷や銅パターンで形成しておき、位置合
せマーク25の位置にサブストレート13が接するよう
に位置合わせすることによりきわめて簡単に精度よく位
置合わせを行なうことができる。また、別の方法として
は、図6に示すように、裏面接続用基板6にヘッド本体
5のサブストレート13のサイズに応じた枠部材26を
接着などで設けておき、その枠部材26の内部にサブス
トレート13を入れるようにしてもよい。その後、確実
な固定を行なうために、裏面接続用基板6にヘッド本体
5を付けた状態で裏面接続用基板6を加熱して導電性接
着剤24を硬化させる。これにより裏面接続用基板6の
パターン部21とヘッド本体5の電極基板4のサブスト
レート13とが導電性接着剤24を介して電気的に接続
される。この裏面接続用基板6のパターン部21と電極
基板4のサブストレート13との接続には、導電性を有
するものであれば良く、導電性接着剤24のほかに異方
導電性フィルムや異方導電性ペーストなどを用いること
もできる。
As shown in FIG. 5, the head main body 5 to which the head driving printed circuit board 7 is connected is joined onto the pattern portion 21 of the back connection board 6 to which the external connection wiring 8 is connected. The joining of the head body 5 and the back surface connection substrate 6 is performed using a conductive material. As the conductive material, a conductive adhesive 24 is used to electrically connect the pattern portion 21 of the backside connection substrate 6 to the substrate 13 of the electrode substrate 4 of the head body 5, and to connect the backside connection substrate 6 to the head body 5. And fixing can be performed at once, which is preferable in that the processing cost is low. A conductive adhesive 24 is applied to the pattern portion 21 of the back surface connection substrate 6, and the head body 5 is aligned with that portion and then joined. As a method of aligning the head body 5, an alignment mark 25 corresponding to the size of the substrate 13 is formed at the mounting position of the head body 5 on the back surface connection substrate 6 by silk printing or a copper pattern, and the alignment mark is formed. Positioning can be performed very easily and accurately by positioning the substrate 13 so as to be in contact with the position 25. As another method, as shown in FIG. 6, a frame member 26 corresponding to the size of the substrate 13 of the head main body 5 is provided on the back surface connection substrate 6 by bonding or the like. Alternatively, the substrate 13 may be inserted. After that, in order to securely fix, the conductive adhesive 24 is hardened by heating the back connection substrate 6 with the head main body 5 attached to the back connection substrate 6. Thus, the pattern portion 21 of the back surface connection substrate 6 and the substrate 13 of the electrode substrate 4 of the head main body 5 are electrically connected via the conductive adhesive 24. The connection between the pattern portion 21 of the back surface connection substrate 6 and the substrate 13 of the electrode substrate 4 may be any material having conductivity. In addition to the conductive adhesive 24, an anisotropic conductive film or an anisotropic conductive film may be used. A conductive paste or the like can also be used.

【0031】この裏面接続用基板6にヘッド本体5を固
定したヘッド1の裏面接続用基板6をインクカートリッ
ジや別の固定部材に固定し、裏面接続用基板6に接続し
た外部接続配線8をグランドに電気的に接続して、電極
基板4のサブストレート13をグランドレベルにする。
The back connection substrate 6 of the head 1 in which the head body 5 is fixed to the back connection substrate 6 is fixed to an ink cartridge or another fixing member, and the external connection wiring 8 connected to the back connection substrate 6 is grounded. , And the substrate 13 of the electrode substrate 4 is set to the ground level.

【0032】このヘッド1を使用して文字や画像を印字
するとき、インクカートリッジに接続したインク供給管
をヘッド1のインク供給口に接続する。インクカートリ
ッジから供給されたインクは、ヘッド本体5の共通液室
12を通って各インク供給チャンネル全域の液室11に
満たされる。この状態で画像情報に応じて電極基板4の
各個別電極15に対してヘッド駆動用プリント基板7か
ら個別に通電を行うと、個別電極15と振動板10との
間で静電気力が発生し、振動板10が個別電極15側に
変位する。次に個別電極15に対する通電をオフにする
と、振動板10は元の状態に戻ろうとする。このときの
急激な容積変化によりノズル9からインクが液滴となっ
て飛翔する。このように個別電極15に通電するときに
電極基板4のサブストレート13が裏面接続用基板6を
介してグランドレベルになっているから、サブストレー
ト13を通じて駆動しない個別電極15に電位が生じる
ことを防ぐことができ、駆動しない振動板10も振動す
るというクロストークが発生することを防ぐことがで
き、良質な画像を安定して印字することができる。
When printing characters and images using the head 1, an ink supply pipe connected to an ink cartridge is connected to an ink supply port of the head 1. The ink supplied from the ink cartridge passes through the common liquid chamber 12 of the head main body 5 and fills the liquid chambers 11 in all the ink supply channels. In this state, if the individual electrodes 15 of the electrode substrate 4 are individually energized from the head driving printed circuit board 7 in accordance with the image information, an electrostatic force is generated between the individual electrodes 15 and the diaphragm 10, The diaphragm 10 is displaced toward the individual electrode 15. Next, when the power supply to the individual electrode 15 is turned off, the diaphragm 10 attempts to return to the original state. At this time, due to a sudden change in volume, the ink from the nozzle 9 becomes a droplet and flies. Since the substrate 13 of the electrode substrate 4 is at the ground level via the back surface connection substrate 6 when the individual electrode 15 is energized in this way, it is possible to prevent the potential from being generated on the individual electrode 15 not driven through the substrate 13. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of crosstalk in which the non-driven diaphragm 10 also vibrates, and it is possible to stably print a high-quality image.

【0033】例えば駆動電圧を40V、パルス幅を15
μsec、連続駆動周波数10kHzの駆動条件でヘッ
ド1を駆動したところ、高品質で良好な印字画像を得る
ことができた。また、駆動しないノズル9のメニスカス
を観察した結果、メニスカス振動がほとんどなくクロス
トークの発生は見られなかった。
For example, when the driving voltage is 40 V and the pulse width is 15
When the head 1 was driven under the driving conditions of 10 sec and a continuous driving frequency of 10 kHz, a high quality and good printed image could be obtained. Further, as a result of observing the meniscus of the nozzle 9 not driven, there was almost no meniscus vibration, and no occurrence of crosstalk was observed.

【0034】上記実施例ではいわゆるエッジシュータ型
のヘッド1の例を示したが、図7の断面図に示すよう
に、サイドシュータ型のヘッド1aにも同様に適用する
ことができる。サイドシュータ型のヘッド1aもヘッド
1と同様に電極基板4の上に個別電極15を形成し、そ
れと対向した振動板基板3の振動板10を共通電極とし
て両者の間に電位差を与えることにより静電気力で振動
板10を撓ませるアクチュエータを構成し、この振動板
基板3の上に液室基板2を接合して液室11を形成す
る。液室基板2には貫通孔27が開けられており、液室
基板2の上に貫通孔27に対応したノズル9を有するノ
ズル基板28が接合されている。また、電極基板4の個
別電極15以外の領域で電極基板4と振動板基板3を貫
通したインク供給通路29が形成され、インク供給通路
29を共通液室と導通させることにより電極基板4の下
側からインクを供給できるように構成している。このよ
うに構成することにより、図7に示すように、ノズル9
を千鳥配列で2列に配置でき、ノズルピッチを2倍にし
たいような場合にヘッド面積を有効に利用できる。この
電極基板4のサブストレート13に接合する裏面接続用
基板6にもインク供給通路29に対応した位置に貫通孔
30が形成され、裏面接続用基板6のパターン部21に
電極基板4のサブストレート13に接合されている。裏
面接続用基板6のパターン部21は貫通孔30とは間隔
をあけて形成するのが望ましい。これは貫通孔30とイ
ンク供給通路29内のインクとパターン部21とが接触
してパターンが腐食するのを防止するためとインクにパ
ターン部21を形成する金属材料が溶出してしまうのを
防止するためである。さらに、貫通孔30とパターン部
21との間に絶縁性の材料で凸部を形成し、サブストレ
ート13と裏面接続用基板6を接合する導電性接着剤2
4がインクに接触しないようにすると良い。
In the above embodiment, an example of a so-called edge shooter type head 1 has been described. However, as shown in a sectional view of FIG. 7, the present invention can be similarly applied to a side shooter type head 1a. Similarly to the head 1, the side shooter type head 1a has the individual electrodes 15 formed on the electrode substrate 4, and the diaphragm 10 of the diaphragm substrate 3 facing the individual electrodes 15 is used as a common electrode to give a potential difference between the two. An actuator for bending the diaphragm 10 by force is formed, and the liquid chamber substrate 2 is joined to the diaphragm substrate 3 to form a liquid chamber 11. A through hole 27 is formed in the liquid chamber substrate 2, and a nozzle substrate 28 having a nozzle 9 corresponding to the through hole 27 is joined on the liquid chamber substrate 2. In addition, an ink supply passage 29 penetrating the electrode substrate 4 and the diaphragm substrate 3 is formed in a region other than the individual electrodes 15 of the electrode substrate 4, and the ink supply passage 29 is electrically connected to the common liquid chamber, thereby forming a lower portion of the electrode substrate 4. It is configured so that ink can be supplied from the side. With this configuration, as shown in FIG.
Can be arranged in two rows in a staggered arrangement, and the head area can be effectively used when it is desired to double the nozzle pitch. A through hole 30 is also formed at a position corresponding to the ink supply passage 29 in the back surface connection substrate 6 joined to the substrate 13 of the electrode substrate 4, and the substrate portion of the electrode substrate 4 is formed in the pattern portion 21 of the back surface connection substrate 6. 13. It is desirable that the pattern portion 21 of the back surface connection substrate 6 be formed at an interval from the through hole 30. This is to prevent the pattern portion 21 from being in contact with the ink in the ink supply passage 29 and the through hole 30 to prevent the pattern from being corroded and to prevent the metal material forming the pattern portion 21 from being eluted into the ink. To do that. Further, a convex portion is formed between the through hole 30 and the pattern portion 21 using an insulating material, and the conductive adhesive 2 for joining the substrate 13 and the back surface connection substrate 6 is formed.
It is preferable that 4 does not contact the ink.

【0035】上記各実施例はヘッド本体5の下部に裏面
接続用基板6を設けて、裏面接続用基板6のパターン部
21を電極基板4のサブストレート13に電気的に接触
させてサブストレート13をグランドレベルにした場合
について説明したが、電極基板4のサブストレート13
の側面を外部接続用の基板のパターン部に電気的に接触
させてサブストレート13をグランドレベルにするよう
にしても良い。
In each of the above embodiments, the substrate 6 for the back surface is provided under the head body 5 and the pattern portion 21 of the substrate 6 for the back surface is brought into electrical contact with the substrate 13 of the electrode substrate 4. Has been described as being at the ground level, but the substrate 13 of the electrode substrate 4 has been described.
The substrate 13 may be brought to the ground level by electrically contacting the side surface of the substrate 13 with the pattern portion of the substrate for external connection.

【0036】また、上記ヘッド1又はヘッド1をプリン
タやファクシミリ,複写機に使用することにより、高密
度で高画質の画像を安定して形成することができる。
Further, by using the head 1 or the head 1 in a printer, a facsimile, or a copying machine, a high-density and high-quality image can be stably formed.

【0037】さらに、上記各実施例は電極基板4の各個
別電極15と共通電極をヘッド駆動用プリント基板7に
接続し、裏面接続用基板6の外部接続電極23を外部接
続配線8に接続した場合について説明したが、図8に示
すように、ヘッド駆動用プリント基板7にサブストレー
ト13と接続するパターン部21を設け、ヘッド本体5
をプリンタ等に装着したときに、ヘッド駆動用プリント
基板7によりサブストレート13を直接グランドレベル
にしても良い。
Further, in each of the above embodiments, the individual electrodes 15 and the common electrode of the electrode substrate 4 were connected to the head driving printed circuit board 7, and the external connection electrodes 23 of the back surface connection substrate 6 were connected to the external connection wiring 8. Although the case has been described, as shown in FIG. 8, a pattern portion 21 connected to the substrate 13 is provided on
When the substrate 13 is mounted on a printer or the like, the substrate 13 may be directly at the ground level by the printed circuit board 7 for driving the head.

【0038】[0038]

【発明の効果】この発明は以上説明したように、導電性
を有するサブストレートの上に形成された絶縁層と、絶
縁層の上に形成された個別電極に入力する制御信号によ
り各ノズルからインク液滴を記録媒体に吹き付けて文字
や画像を描くインクジェットヘッドのサブストレートを
グランドレベルに接続するようにしたから、個別電極に
通電するときにサブストレートを通して駆動しない個別
電極に電位が生じることを防ぐことができ、駆動しない
振動板も振動するというクロストークが発生することを
防ぐことができる。
As described above, according to the present invention, the ink from each nozzle is controlled by the control signal input to the insulating layer formed on the conductive substrate and the individual electrode formed on the insulating layer. The substrate of the inkjet head that draws characters and images by spraying liquid droplets on the recording medium is connected to the ground level, so that when an individual electrode is energized, potential is not generated on the individual electrode that is not driven through the substrate Therefore, it is possible to prevent cross talk in which a diaphragm that is not driven also vibrates.

【0039】また、サブストレートに導電性パターンを
有するグランドレベル接続用の基板を導電性材料で接合
することにより、煩雑なワイヤなどを別に設ける必要が
なく、ヘッドの加工を容易にして低コスト化を図ること
ができるとともヘッドの取扱を容易にすることができ
る。
Further, by joining a ground level connection substrate having a conductive pattern to the substrate with a conductive material, it is not necessary to separately provide a complicated wire or the like, and the processing of the head is facilitated and the cost is reduced. And the handling of the head can be facilitated.

【0040】また、サブストレートとグランドレベル接
続用の基板を導電性接着剤で接合することにより、サブ
ストレートとグランドレベル接続用の基板の電気的な接
続と固定を一度で行なうことができ、ヘッドの加工コス
トを低減することができる。
Also, by joining the substrate and the substrate for ground level connection with a conductive adhesive, the substrate and the substrate for ground level connection can be electrically connected and fixed at one time. Processing cost can be reduced.

【0041】さらに、グランドレベル接続用の基板にサ
ブストレートの位置合わせ手段を設けることにより、サ
ブストレートとグランドレベル接続用の基板を精度良く
位置決めして固定することができる。
Further, by providing the substrate alignment means on the substrate for ground level connection, the substrate and the substrate for ground level connection can be accurately positioned and fixed.

【0042】また、このインクジェットヘッドをプリン
タやファクシミリ等に使用することにより、高画質の画
像を安定して形成することができる。
Further, by using this ink jet head for a printer, a facsimile or the like, a high quality image can be stably formed.

【0043】さらに、導電性を有するサブストレートの
上に形成された絶縁層と、絶縁層の上に形成された個別
電極に入力する制御信号により各ノズルからインク液滴
を記録媒体に吹き付けて文字や画像を描くインクジェッ
トヘッドをプリンタ等に装着したときに、サブストレー
トの少なくとも一部をグランドレベルに直接接続するこ
とにより、簡単な構成でクロストークが発生することを
防ぎ、高画質の画像を安定して形成することができる。
Further, ink droplets are sprayed from each nozzle onto a recording medium by a control signal input to an insulating layer formed on a substrate having conductivity and individual electrodes formed on the insulating layer to form a character. By connecting at least a part of the substrate directly to the ground level when an inkjet head that draws images or drawing images is attached to a printer, etc., it is possible to prevent crosstalk from occurring with a simple configuration and stabilize high-quality images Can be formed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施例のインクジェットヘッドの斜
視図である。
FIG. 1 is a perspective view of an inkjet head according to an embodiment of the present invention.

【図2】ノズル列を示す正面図である。FIG. 2 is a front view showing a nozzle row.

【図3】上記実施例の構成を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the configuration of the embodiment.

【図4】個別電極にヘッド駆動用プリント基板を接続す
るときの工程図である。
FIG. 4 is a process diagram when a head driving printed circuit board is connected to an individual electrode.

【図5】裏面接続用基板の構成とヘッド本体との接続状
態を示す分解斜視図である。
FIG. 5 is an exploded perspective view showing a configuration of a back surface connection substrate and a connection state with a head main body.

【図6】裏面接続用基板の他の構成を示す斜視図であ
る。
FIG. 6 is a perspective view showing another configuration of the back surface connection substrate.

【図7】第2の実施例のインクジェットヘッドの構成を
示す断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a configuration of an inkjet head according to a second embodiment.

【図8】第3の実施例のインクジェットヘッドの斜視図
である。
FIG. 8 is a perspective view of an inkjet head according to a third embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1;ヘッド、2;液室基板、3;振動板基板、4;電極
基板、5;ヘッド本体、6;裏面接続用基板、7;ヘッ
ド駆動用プリント基板、8;外部接続配線、9;ノズ
ル、10;振動板、11;液室、12;共通液室、1
3;サブストレート、14;絶縁層、15;個別電極、
21;パターン部。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1; Head 2, Liquid chamber board, 3; Vibrating board board, 4; Electrode board, 5; Head main body, 6; Backside connection board, 7; Head drive printed board, 8; External connection wiring, 9; , 10; diaphragm, 11; liquid chamber, 12; common liquid chamber, 1
3; substrate, 14; insulating layer, 15; individual electrode,
21; pattern part.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 導電性を有するサブストレートの上に形
成された絶縁層と、絶縁層の上に形成された個別電極に
入力する制御信号により各ノズルからインク液滴を記録
媒体に吹き付けて文字や画像を描くインクジェットヘッ
ドにおいて、上記サブストレートをグランドレベルに接
続したことを特徴とするインクジェットヘッド。
An ink droplet is sprayed onto a recording medium from each nozzle by a control signal input to an insulating layer formed on a conductive substrate and individual electrodes formed on the insulating layer. An ink jet head for drawing an image or an image, wherein the substrate is connected to a ground level.
【請求項2】 上記サブストレートに導電性パターンを
有するグランドレベル接続用の基板を導電性材料で接合
した請求項1記載のインクジェットヘッド。
2. The ink jet head according to claim 1, wherein a ground level connection substrate having a conductive pattern on said substrate is bonded with a conductive material.
【請求項3】 上記導電性材料が導電性接着剤である請
求項2記載のインクジェットヘッド。
3. The ink jet head according to claim 2, wherein said conductive material is a conductive adhesive.
【請求項4】 上記グランドレベル接続用の基板にサブ
ストレートの位置合わせ手段を設けた請求項2又は3記
載のインクジェットヘッド。
4. An ink jet head according to claim 2, wherein said substrate for ground level connection is provided with a substrate positioning means.
【請求項5】 請求項1乃至4のいずれかに記載のイン
クジェットヘッドを有することを特徴とするインクジェ
ット記録装置。
5. An ink jet recording apparatus comprising the ink jet head according to claim 1.
【請求項6】 導電性を有するサブストレートの上に形
成された絶縁層と、絶縁層の上に形成された個別電極に
入力する制御信号により各ノズルからインク液滴を記録
媒体に吹き付けて文字や画像を描くインクジェットヘッ
ドのサブストレートの少なくとも一部をグランドレベル
に直接接続したことを特徴とするインクジェット記録装
置。
6. A method in which ink droplets are sprayed onto a recording medium from each nozzle by a control signal input to an insulating layer formed on a substrate having conductivity and individual electrodes formed on the insulating layer. An ink jet recording apparatus characterized in that at least a part of a substrate of an ink jet head for drawing an image or an image is directly connected to a ground level.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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