JPH1134324A - Ink jet recorder and ink jet head - Google Patents

Ink jet recorder and ink jet head

Info

Publication number
JPH1134324A
JPH1134324A JP9195334A JP19533497A JPH1134324A JP H1134324 A JPH1134324 A JP H1134324A JP 9195334 A JP9195334 A JP 9195334A JP 19533497 A JP19533497 A JP 19533497A JP H1134324 A JPH1134324 A JP H1134324A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diaphragm
ink
ink jet
nozzle
jet head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP9195334A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3942118B2 (en
Inventor
Osamu Naruse
修 成瀬
Michio Umezawa
道夫 梅沢
Nobuyasu Nakane
信保 中根
Seiji Nagaba
誠治 長場
Masayuki Iwase
政之 岩瀬
Hideyuki Makita
秀行 牧田
Tsutomu Sasaki
勉 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP19533497A priority Critical patent/JP3942118B2/en
Publication of JPH1134324A publication Critical patent/JPH1134324A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3942118B2 publication Critical patent/JP3942118B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ink Jet (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Accessory Devices And Overall Control Thereof (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance reliability of a diaphragm of an ink jet head for discharging an ink droplet from a nozzle by electrically grounding the diaphragm, thereby preventing flow-out of metal ion in the diaphragm into the ink to open a hole. SOLUTION: When a nozzle cover 3 is mounted at an end of a diaphragm 42 of the ink jet head, a protruding part 42a brought into pressure contact with an inner surface of the cover 3 by elasticity is integrally formed. And, the cover 3 is electrically connected to a ground (GND) of an ink jet recorder body (printer body). That is, the diaphragm 42 is electrically connected to the cover 3 via the part 42a, and electrically connected to the GND of the body via the cover 3. Thus, an induced voltage of the diaphragm 42 is fed to the ground thereby to prevent elution of metal ion of the diaphragm 42 into the ink, and hence dissolution of the diaphragm 42 to hole a hole is prevented.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェット記録
装置及びインクジェットヘッドに関し、特に振動板を用
いるインクジェットヘッド及びこのヘッドを備えたイン
クジェット記録装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording apparatus and an ink jet head, and more particularly to an ink jet head using a diaphragm and an ink jet recording apparatus provided with the head.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、プリンタ、ファクシミリ、複写
装置等に用いられるインクジェット記録装置の記録ヘッ
ドを構成するインクジェットヘッドとして、インク滴を
吐出する複数のノズル孔と、各ノズル孔に対応するイン
ク液室(「加圧液室」ともいう。)と、このインク液室
内のインクを加圧する圧電素子等の電気機械変換素子や
ヒータ等の電気熱変換素子などのエネルギー発生手段を
備え、エネルギー発生手段を記録信号に応じて駆動する
ことで所要のインク液室内のインクを加圧してノズル孔
からインク滴を噴射させるものである。
2. Description of the Related Art In general, an ink jet head constituting a recording head of an ink jet recording apparatus used for a printer, a facsimile, a copying machine, etc. has a plurality of nozzle holes for discharging ink droplets, and an ink liquid chamber corresponding to each nozzle hole. (Also referred to as a “pressurized liquid chamber”), and energy generating means such as an electromechanical conversion element such as a piezoelectric element or an electrothermal conversion element such as a heater for pressurizing the ink in the ink liquid chamber. By driving in accordance with the recording signal, the ink in the required ink liquid chamber is pressurized to eject ink droplets from the nozzle holes.

【0003】このようなインクジェットヘッドとして、
従来、例えば特開平9−76534号公報に記載されて
いるように、絶縁性基板上に積層型圧電素子を配列し、
この圧電素子上にダイアフラム部を有する振動板を積層
し、この振動板上に圧電素子でダイアフラム部を介して
加圧されるインク液室及びこのインク液室にインクを供
給するインク供給路等を形成する液室隔壁部材を積層
し、更にこの液室隔壁部材上にノズルを形成したノズル
形成部材を積層したものが知られている。
[0003] As such an ink jet head,
Conventionally, as described in, for example, JP-A-9-76534, a laminated piezoelectric element is arranged on an insulating substrate,
A diaphragm having a diaphragm is laminated on the piezoelectric element, and an ink liquid chamber pressurized by the piezoelectric element via the diaphragm and an ink supply path for supplying ink to the ink liquid chamber are formed on the diaphragm. It is known that a liquid chamber partition member to be formed is laminated, and a nozzle forming member having a nozzle formed thereon is further laminated on the liquid chamber partition member.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、積層型圧電
素子は圧電体の積層界面に電極層として銀−パラジウム
等の合金を介して積層され、且つこれらの金属が層間の
圧電体を接合する役割を持っている。このような構成は
金属板からなる振動板を接合した積層型圧電素子の最上
層でも同様なことが言え、振動板は1つの電極層となっ
て容量結合により電気的なイオンが蓄積される。
Incidentally, the laminated piezoelectric element is laminated as an electrode layer on the lamination interface of the piezoelectric body through an alloy such as silver-palladium, and these metals have a role of bonding the piezoelectric body between the layers. have. The same can be said for the uppermost layer of a laminated piezoelectric element in which a vibration plate made of a metal plate is joined, and the vibration plate becomes one electrode layer and electric ions are accumulated by capacitive coupling.

【0005】この場合、振動板がインクを介して電気的
な低い電位差のあるところと接合されていると電流が流
れることになる。具体的には、振動板とノズル形成部材
とが絶縁状態であって、且つノズル形成部材がノズルカ
バーなどを通じて接地されている(アースに落とされて
いる)状態である。このとき、容量結合によって振動板
に誘起された電圧で、振動板からインクを介してノズル
板を経てノズルカバーを介してアースに電流が流れる。
これによって、振動板の金属イオン、例えば振動板をニ
ッケルで形成している場合にはNiイオンが流れ出すこ
とになる。
In this case, if the vibration plate is joined to a place having an electrically low potential difference via the ink, a current flows. Specifically, the diaphragm and the nozzle forming member are in an insulated state, and the nozzle forming member is grounded (dropped to ground) through a nozzle cover or the like. At this time, with the voltage induced on the diaphragm by the capacitive coupling, a current flows from the diaphragm to the ground via the nozzle plate via the nozzle plate via the ink.
As a result, metal ions of the diaphragm, for example, Ni ions flow out when the diaphragm is formed of nickel.

【0006】ところが、振動板には効率的に圧電素子の
変位をインク液室に伝達するため、数μm程度の薄層の
ダイアフラム部を形成しているので、イオン流出が起こ
るとダイアフラム部には簡単に穴が明くことになる。こ
のように振動板に穴が明くと、インク液室内のインクが
圧電素子の周囲に浸入して圧電機能を減殺し、その結果
吐出不良が発生する。
However, since a diaphragm having a thin layer of about several μm is formed on the diaphragm in order to efficiently transmit the displacement of the piezoelectric element to the ink liquid chamber, when ion outflow occurs, the diaphragm is placed on the diaphragm. A hole will be easily drilled. When the vibration plate has such a hole, the ink in the ink liquid chamber penetrates the periphery of the piezoelectric element to reduce the piezoelectric function, and as a result, ejection failure occurs.

【0007】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、金属製の振動板の溶解を防止して長期的に安定し
た印写を行えるインクジェット記録装置及びインクジェ
ットヘッドを提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide an ink jet recording apparatus and an ink jet head capable of preventing long-term stable printing by preventing a metal diaphragm from melting. And

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項1のインクジェット記録装置は、電気機械変
換素子による変位で振動板を介してインク液室内のイン
クを加圧してノズルからインク滴を吐出させるインクジ
ェットヘッドを備えたインクジェット記録装置におい
て、前記インクジェットヘッドの振動板を電気的に接地
している構成とした。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an ink jet recording apparatus which pressurizes ink in an ink liquid chamber via a vibration plate by a displacement of an electromechanical transducer and causes the ink to flow from a nozzle. In an ink jet recording apparatus provided with an ink jet head for discharging droplets, a configuration was adopted in which the diaphragm of the ink jet head was electrically grounded.

【0009】請求項2のインクジェット記録装置は、上
記請求項1のインクジェット記録装置において、前記イ
ンクジェットヘッドには電気的に接地したノズルカバー
を備え、このノズルカバーに前記振動板を電気的に接続
している構成とした。
According to a second aspect of the present invention, in the inkjet recording apparatus of the first aspect, the inkjet head includes an electrically grounded nozzle cover, and the diaphragm is electrically connected to the nozzle cover. Configuration.

【0010】請求項3のインクジェット記録装置は、上
記請求項1のインクジェット記録装置において、前記電
気機械変換素子を配設した絶縁基板上に電気的に接地さ
れる導通パターンを形成し、この導通パターンに前記振
動板を電気的に接続している構成とした。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the ink jet recording apparatus according to the first aspect, wherein an electrically grounded conductive pattern is formed on the insulating substrate on which the electromechanical transducer is provided. And the diaphragm is electrically connected to the diaphragm.

【0011】請求項4のインクジェットヘッドは、電気
機械変換素子による変位で振動板を介してインク液室内
のインクを加圧してノズルからインク滴を吐出させるイ
ンクジェットヘッドにおいて、前記ノズルを形成したノ
ズル形成部材と前記振動板とを電気的に導通状態にして
いる構成とした。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an ink jet head for discharging ink droplets from nozzles by pressurizing ink in an ink liquid chamber via a vibration plate by displacement of an electromechanical transducer. The member and the diaphragm are electrically connected to each other.

【0012】請求項5のインクジェットヘッドは、上記
請求項4のインクジェットヘッドにおいて、電気的に接
地されるノズルカバーを備え、このノズルカバーと前記
ノズル形成部材とを電気的に接続している構成とした。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the ink jet head according to the fourth aspect, further comprising an electrically grounded nozzle cover, wherein the nozzle cover is electrically connected to the nozzle forming member. did.

【0013】請求項6のインクジェットヘッドは、上記
請求項4のインクジェットヘッドにおいて、前記電気機
械変換素子を配設した絶縁基板上に電気的に接地される
導通パターンを形成し、この導通パターンに前記振動板
を電気的に接続している構成とした。
According to a sixth aspect of the present invention, in the inkjet head of the fourth aspect, a conductive pattern that is electrically grounded is formed on an insulating substrate on which the electromechanical transducer is provided. The diaphragm was electrically connected.

【0014】請求項7のインクジェットヘッドは、上記
請求項4のインクジェットヘッドにおいて、前記ノズル
形成部材及び前記振動板が導通状態のまま電気的に浮い
ている状態にある構成とした。
According to a seventh aspect of the present invention, in the ink jet head of the fourth aspect, the nozzle forming member and the vibration plate are in a state of being electrically floating while being in a conductive state.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図1は本発明を適用するイン
クジェットヘッドの一例を示す分解斜視図、図2は同ヘ
ッドのチャンネル方向(ノズル配列方向)と直交する方
向の要部拡大断面図、図3は同ヘッドのチャンネル方向
の要部拡大断面図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is an exploded perspective view showing an example of an ink jet head to which the present invention is applied, FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a main part in a direction orthogonal to a channel direction (nozzle arrangement direction) of the head, and FIG. 3 is an enlarged sectional view of a main part of FIG.

【0016】このインクジェットヘッドは、駆動ユニッ
ト1と、液室ユニット2と、ヘッドカバー3とを備えて
いる。駆動ユニット1は、セラミックス基板、例えばチ
タン酸バリウム、アルミナ、フォルステライトなどの絶
縁性の基板11上に、エネルギー発生手段である複数の
積層型圧電素子12を列状に2列配置して接合し、これ
ら2列の各圧電素子12の周囲を取り囲む樹脂、セラミ
ック等からなるフレーム部材13を接着剤14によって
接合している。
This ink jet head includes a drive unit 1, a liquid chamber unit 2, and a head cover 3. The drive unit 1 is configured such that a plurality of laminated piezoelectric elements 12 as energy generating means are arranged in two rows and joined on a ceramic substrate, for example, an insulating substrate 11 such as barium titanate, alumina, or forsterite. A frame member 13 made of resin, ceramic, or the like surrounding the periphery of each of the two rows of piezoelectric elements 12 is joined by an adhesive 14.

【0017】複数の圧電素子12は、インクを液滴化し
て飛翔させるための駆動パルスが与えられる圧電素子
(これを「駆動部」という。)17,17…と、駆動部
17,17間に位置し、駆動パルスが与えられずに単に
液室ユニット2を基板11に固定する液室支柱部材とな
る圧電素子(これを「非駆動部」という。)18,18
…とを交互に構成している。
The plurality of piezoelectric elements 12 are provided between piezoelectric elements 17 (to be referred to as “driving units”) to which a driving pulse for applying ink to droplets and flying is provided, and driving units 17. A piezoelectric element (hereinafter, referred to as a “non-driving unit”) serving as a liquid chamber support member that is located and receives a driving pulse and simply fixes the liquid chamber unit 2 to the substrate 11.
... are alternately configured.

【0018】ここで、圧電素子12としては10層以上
の積層型圧電素子を用いている。この積層型圧電素子
は、例えば図2に示すように、厚さ10〜50μm/1
層のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)20と、厚さ数μ
m/1層の銀・パラジューム(AgPd)からなる内部電
極21とを交互に積層したものであるが、圧電素子とし
て用いる材料は上記に限られるものでなく、その他の電
気機械変換素子を用いることもできる。
Here, as the piezoelectric element 12, a laminated piezoelectric element having ten or more layers is used. This laminated piezoelectric element has a thickness of 10 to 50 μm / 1, for example, as shown in FIG.
Layer of lead zirconate titanate (PZT) 20 and a thickness of several μ
An internal electrode 21 made of silver / paradium (AgPd) of m / 1 layer is alternately laminated, but the material used for the piezoelectric element is not limited to the above, and other electromechanical conversion elements may be used. Can also.

【0019】各圧電素子12の内部電極21は1層おき
にAgPdからなる左右の端面電極22,23(2つの圧
電素子列の対向する面側を端面電極22とし、対向しな
い面側を端面電極23とする。)に接続している。一
方、基板11上には、図1に示すようにNi・Au蒸着、
Auメッキ、AgPtペースト印刷、AgPdペースト印刷
等によって共通電極24及び個別電極25の各パターン
を設けている。
The internal electrodes 21 of each piezoelectric element 12 are left and right end electrodes 22 and 23 made of AgPd every other layer (the opposing surfaces of the two rows of piezoelectric elements are end electrodes 22 and the non-opposing surfaces are end electrodes. 23). On the other hand, as shown in FIG.
Each pattern of the common electrode 24 and the individual electrode 25 is provided by Au plating, AgPt paste printing, AgPd paste printing, or the like.

【0020】そして、各列の各圧電素子12の対向する
端面電極22を導電性接着剤26を介して共通電極24
に接続し、他方、各列の各圧電素子12の対向しない端
面電極23を同じく導電性接着剤26を介してそれぞれ
個別電極25に接続している。これにより、駆動部17
に駆動電圧を与えることによって、積層方向に電界が発
生して、駆動部17には積層方向の伸びの変位(d33
方向の変位)が生起される。なお、共通電極24は、図
2にも示すように、フレーム部材13に設けた穴13a
内に導電性接着剤26を充填することで各圧電素子に接
続されたパターンの導通を取っている。
Then, the opposite end electrodes 22 of each row of the piezoelectric elements 12 are connected to the common electrode 24 via a conductive adhesive 26.
On the other hand, the non-opposing end surface electrodes 23 of the piezoelectric elements 12 in each row are connected to the individual electrodes 25 via the conductive adhesive 26 in the same manner. Thereby, the driving unit 17
When a drive voltage is applied to the drive unit 17, an electric field is generated in the stacking direction, and the driving unit 17 is displaced in the stacking direction (d 33).
Direction displacement) occurs. As shown in FIG. 2, the common electrode 24 has a hole 13a formed in the frame member 13.
By filling the inside with the conductive adhesive 26, the pattern connected to each piezoelectric element is conducted.

【0021】一方、液室ユニット2は、金属材料からな
る振動板31と、ドライフィルムレジスト(DFR)か
らなる感光性樹脂層で形成した2層構造の液室隔壁部材
32と、金属材料からなるノズルプレート33とを順次
を積層し、熱融着して形成している。これらの各部材に
よって、1つの圧電素子12(駆動部17)と、この1
つの圧電素子12に対応するダイアフラム部34と、各
ダイアフラム部34を介して加圧される加圧液室35
と、この加圧液室35の両側に位置して加圧液室35に
供給するインクを導入する共通液室36,36と、加圧
液室35と共通液室36,36とを連通するインク供給
路37,37と、加圧液室35に連通するノズル38と
によって1つのチャンネルを形成し、このチャンネルを
複数個2列設けている。
On the other hand, the liquid chamber unit 2 includes a diaphragm 31 made of a metal material, a liquid chamber partition member 32 having a two-layer structure formed of a photosensitive resin layer made of a dry film resist (DFR), and a metal material. The nozzle plate 33 and the nozzle plate 33 are sequentially laminated and formed by heat fusion. By each of these members, one piezoelectric element 12 (driving unit 17)
Diaphragm portions 34 corresponding to the two piezoelectric elements 12 and a pressurized liquid chamber 35 pressurized through each diaphragm portion 34
The common liquid chambers 36, 36 located on both sides of the pressurized liquid chamber 35 for introducing ink to be supplied to the pressurized liquid chamber 35, and the pressurized liquid chamber 35 and the common liquid chambers 36, 36 communicate with each other. One channel is formed by the ink supply paths 37, 37 and the nozzle 38 communicating with the pressurized liquid chamber 35, and a plurality of channels are provided in two rows.

【0022】振動板31は、金属材料、例えば電鋳工法
によるNiメッキ膜等で形成したもので、駆動部17に
対応する前記ダイアフラム部34と、非駆動部18に接
合する梁41及びフレーム部材13に接合するベース4
2とを形成している。ダイアフラム部34は、駆動部1
7に接合する島状凸部43と、この凸部43の周囲に形
成した厚み3〜10μm程度の最薄膜部分(ダイアフラ
ム領域)44とからなる。
The diaphragm 31 is formed of a metal material, for example, a Ni plating film by an electroforming method. The diaphragm 34 corresponding to the drive unit 17, the beam 41 and the frame member joined to the non-drive unit 18 are provided. Base 4 bonded to 13
2 are formed. The diaphragm section 34 includes the driving section 1
7 and an outermost thin film portion (diaphragm region) 44 having a thickness of about 3 to 10 μm formed around the convex portion 43.

【0023】液室隔壁部材32は、振動板31側に予め
ドライフィルムレジストをラミネートして所要のマスク
を用いて露光し、現像して所定の液室パターンを形成し
た第1感光性樹脂層45と、ノズルプレート33側に予
めドライフィルムレジストをラミネートして所要のマス
クを用いて露光し、現像して所定の液室パターンを形成
した第2感光性樹脂層46とを熱圧着で接合してなる。
The liquid chamber partition member 32 is formed by laminating a dry film resist in advance on the diaphragm 31 side, exposing it using a required mask, and developing it to form a first photosensitive resin layer 45 having a predetermined liquid chamber pattern. And a second photosensitive resin layer 46 having a predetermined liquid chamber pattern formed by laminating a dry film resist in advance on the nozzle plate 33 side, exposing using a required mask, and developing the predetermined liquid chamber pattern. Become.

【0024】ノズルプレート33は金属材料、例えば電
鋳工法によるNiメッキ膜等で形成したもので、インク
滴を飛翔させるための微細な吐出口であるノズル38を
多数を形成している。このノズル38の内部形状(内側
形状)は、ホーン形状(略円柱形状又は略円錘台形状で
もよい。)に形成している。また、このノズル38の径
はインク滴出口側の直径で約25〜35μmである。
The nozzle plate 33 is formed of a metal material, for example, a Ni plating film by an electroforming method, and has a large number of nozzles 38 which are fine discharge ports for ejecting ink droplets. The inner shape (inner shape) of the nozzle 38 is formed in a horn shape (may be a substantially columnar shape or a substantially truncated cone shape). The diameter of the nozzle 38 is about 25 to 35 μm on the ink droplet outlet side.

【0025】このノズルプレート33のインク吐出面
(ノズル表面側)は、図1に示すように撥水性の表面処
理を施した撥水処理面47としている。例えば、PTF
E−Ni共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性の
あるフッ素樹脂(例えばフッ化ピッチなど)を蒸着コー
トしたもの、シリコン系樹脂・フッ素系樹脂の溶剤塗布
後の焼き付け等、インク物性に応じて選定した撥水処理
膜を設けて、インクの滴形状、飛翔特性を安定化し、高
品位の画像品質を得られるようにしている。なお、ノズ
ルプレート33の周縁部は撥水処理膜を形成しない非撥
水処理面48としている。
The ink ejection surface (nozzle surface side) of the nozzle plate 33 is a water-repellent surface 47 which has been subjected to a water-repellent surface treatment as shown in FIG. For example, PTF
Ink physical properties such as E-Ni eutectoid plating, electrodeposition coating of fluororesin, vapor-deposited evaporative fluororesin (for example, pitch fluoride), baking after solvent application of silicon resin or fluorine resin The water-repellent treatment film selected according to the above is provided to stabilize the ink droplet shape and the flying characteristics so that high-quality image quality can be obtained. The periphery of the nozzle plate 33 is a non-water-repellent surface 48 on which no water-repellent film is formed.

【0026】なお、駆動ユニット1の基板11と圧電素
子12及びフレーム部材13とは接着剤49で接合して
組付け、また、液室ユニット2も駆動ユニット1とは別
個に加工、組立を行なった後、液室ユニット2の振動板
31と駆動ユニット1の圧電素子12及びフレーム部材
13とを接着剤50で接合してインクジェットヘッドと
している。
The substrate 11 of the drive unit 1 and the piezoelectric element 12 and the frame member 13 are assembled by bonding with an adhesive 49, and the liquid chamber unit 2 is processed and assembled separately from the drive unit 1. After that, the vibration plate 31 of the liquid chamber unit 2 and the piezoelectric element 12 and the frame member 13 of the drive unit 1 are joined with an adhesive 50 to form an ink jet head.

【0027】そして、基板11をヘッド支持部材である
スペーサ部材(ヘッドホルダ)51上に支持して保持
し、このスペーサ部材51内に配設したヘッド駆動用I
C等を有するPCB52と駆動ユニット1の各圧電素子
12(駆動部17)に接続した各電極24,25とをF
PCケーブル53,53を介して接続している。
The substrate 11 is supported and held on a spacer member (head holder) 51 serving as a head support member.
C and the electrodes 24 and 25 connected to the piezoelectric elements 12 (drive unit 17) of the drive unit 1
They are connected via PC cables 53,53.

【0028】また、ノズルカバー(ヘッドカバー)3
は、ノズルプレート33の周縁部及びヘッド側面を覆う
箱状に形成した金属材料からなり、ノズルプレート33
の撥水処理面47に対応して開口部を形成し、ノズルプ
レート33の周縁部に残した非撥水処理面48に接着剤
にて接着接合している。さらに、このインクジェットヘ
ッドには、図示しないインクカートリッジからのインク
を液室に供給するため、スペーサ部材51、基板11、
フレーム部材13及び振動板31にそれぞれインク供給
穴54〜57を設けている。
A nozzle cover (head cover) 3
Is made of a metal material formed in a box shape to cover the periphery of the nozzle plate 33 and the side surface of the head.
An opening is formed corresponding to the water-repellent surface 47 of the nozzle plate 33, and is bonded to the non-water-repellent surface 48 remaining on the peripheral portion of the nozzle plate 33 with an adhesive. Further, in order to supply ink from an ink cartridge (not shown) to the liquid chamber, a spacer member 51, a substrate 11,
The frame member 13 and the diaphragm 31 are provided with ink supply holes 54 to 57, respectively.

【0029】このように構成したインクジェットヘッド
においては、記録信号に応じて駆動部17に駆動波形
(10〜50Vのパルス電圧)を印加することによっ
て、駆動部17に積層方向の変位が生起し、振動板31
のダイアフラム部34を介して加圧液室35が加圧され
て圧力が上昇し、ノズル38からインク滴が吐出され
る。このとき、加圧液室35から共通液室36へ通じる
インク供給路37,37方向へもインクの流れが発生す
るが、インク供給路37,37の断面積を狭小にするこ
とで流体抵抗部として機能させて共通液室36,36側
へのインクの流れを低減し、インク吐出効率の低下を防
いでいる。
In the ink jet head configured as described above, by applying a drive waveform (pulse voltage of 10 to 50 V) to the drive unit 17 in accordance with the recording signal, a displacement in the stacking direction occurs in the drive unit 17, and Diaphragm 31
The pressurized liquid chamber 35 is pressurized through the diaphragm section 34 of the above, and the pressure rises, and ink droplets are ejected from the nozzle 38. At this time, ink flows also in the direction of the ink supply passages 37, 37 leading from the pressurized liquid chamber 35 to the common liquid chamber 36. However, by reducing the cross-sectional area of the ink supply passages 37, 37, the fluid resistance portion is reduced. Function to reduce the flow of ink toward the common liquid chambers 36, 36, thereby preventing a drop in ink ejection efficiency.

【0030】そして、インク滴吐出の終了に伴い、加圧
液室35内のインク圧力が低減し、インクの流れの慣性
と駆動パルスの放電過程によって加圧液室34内に負圧
が発生してインク充填行程へ移行する。このとき、イン
クタンクから供給されたインクは共通液室36,36に
流入し、共通液室36,36からインク供給路37,3
7を経て加圧液室35内に充填される。そして、ノズル
38の出口付近のインクメニスカス面の振動が減衰し、
表面張力によってノズル38の出口付近に戻されて(リ
フィル)安定状態に至れば、次のインク滴吐出動作に移
行する。
Then, with the end of the ink droplet ejection, the ink pressure in the pressurized liquid chamber 35 decreases, and a negative pressure is generated in the pressurized liquid chamber 34 due to the inertia of the ink flow and the discharge process of the drive pulse. To the ink filling process. At this time, the ink supplied from the ink tank flows into the common liquid chambers 36, 36, and from the common liquid chambers 36, 36 to the ink supply paths 37, 3.
After that, it is filled into the pressurized liquid chamber 35. Then, the vibration of the ink meniscus surface near the outlet of the nozzle 38 is attenuated,
When the ink is returned to the vicinity of the outlet of the nozzle 38 due to surface tension (refill) and reaches a stable state, the operation shifts to the next ink droplet ejection operation.

【0031】次に、このインクジェットヘッドに本発明
を適用した第1実施例について図4及び図5を参照して
説明する。この第1実施例では、図4に示すようにイン
クジェットヘッドの振動板42の端部にノズルカバー3
を装着したときにその内面に弾性によって圧接される突
出部42aを一体形成している。そして、このノズルカ
バー3はインクジェット記録装置本体(以下「プリンタ
本体」という。)のアース(以下「GND」ともい
う。)に電気的に接続している。
Next, a first embodiment in which the present invention is applied to this ink jet head will be described with reference to FIGS. In the first embodiment, as shown in FIG. 4, the nozzle cover 3 is attached to the end of the diaphragm 42 of the ink jet head.
Is integrally formed with a protruding portion 42a which is pressed by elasticity on the inner surface when is mounted. The nozzle cover 3 is electrically connected to a ground (hereinafter, also referred to as "GND") of an ink jet recording apparatus main body (hereinafter, referred to as "printer main body").

【0032】即ち、図5に示すように、複数の色、例え
ばイエロー(Y)、マゼンタ(M)、シアン(C)、ブ
ラック(Bk)等の各ヘッドH…を各色毎にノズル位置
が合わされるヘッド取付け台61に取付け、各ヘッドH
…のノズルカバー3をヘッド取付け台61上に設けたG
NDライン62に接続端子63で接続することで、各ヘ
ッドHのノズルカバー3を一括してプリンタ本体のGN
Dに接続する。
That is, as shown in FIG. 5, nozzle positions of a plurality of colors, for example, heads H... Of yellow (Y), magenta (M), cyan (C), black (Bk), etc. are aligned for each color. Each head H
G provided with the nozzle cover 3 of...
By connecting to the ND line 62 with the connection terminal 63, the nozzle cover 3 of each head H is collectively connected to the GN of the printer main body.
Connect to D.

【0033】このように構成したので、振動板42は突
出部42aを介してノズルカバー3に電気的に接続さ
れ、更にこのノズルカバー3を介してプリンタ本体のG
NDに電気的に接続されて接地される。
With such a configuration, the diaphragm 42 is electrically connected to the nozzle cover 3 via the protruding portion 42a.
ND is electrically connected to ground.

【0034】この実施例の作用について図6をも参照し
て説明すると、上述したように圧電素子12に対して同
図に示すように立ち上がりが急峻で、立下がりがなだら
かな波形をなす駆動波形(駆動電圧)を印加した場合、
圧電素子12の最上層に接合した振動板42を金属材料
で形成しているので、この振動板42は一種の電極材と
なって圧電素子12との容量結合によって電圧が誘起さ
れる。この振動板42に誘起される誘起電圧も同図に示
すように立ち上がりが急峻で、立下がりがなだらかな波
形をなる。ただし、波高値は、駆動電圧が25V程度の
とき誘起電圧は15V程度であって約60%となる。
The operation of this embodiment will be described with reference to FIG. 6 as well. As described above, the driving waveform of the piezoelectric element 12 has a sharp rise and a gentle fall as shown in FIG. (Drive voltage)
Since the diaphragm 42 joined to the uppermost layer of the piezoelectric element 12 is formed of a metal material, the diaphragm 42 becomes a kind of electrode material, and a voltage is induced by capacitive coupling with the piezoelectric element 12. The induced voltage induced in the diaphragm 42 also has a steep rise and a gentle fall waveform as shown in FIG. However, when the driving voltage is about 25 V, the induced voltage is about 15 V, which is about 60%.

【0035】ここで、振動板42が上述のように電気的
に接地されていない場合でも、振動板42が電気的に浮
いていれば電荷は流れないが、振動板42に対向して設
けた金属材料からなるノズルプレート33があるために
導電性のインクを通じて振動板42中の金属イオンが溶
出し、これによって振動板42の最も薄いダイアフラム
部44に穴が明いてインクが圧電素子12側に流出する
ことがある。
Here, even if the diaphragm 42 is not electrically grounded as described above, no charge flows if the diaphragm 42 is electrically floating, but the diaphragm 42 is provided to face the diaphragm 42. Due to the nozzle plate 33 made of a metal material, metal ions in the vibration plate 42 are eluted through the conductive ink, whereby a hole is made in the thinnest diaphragm portion 44 of the vibration plate 42 and the ink is moved to the piezoelectric element 12 side. May spill.

【0036】これに対して、この実施例のように振動板
42に突出部42aを設けて、この突出部42aを電気
的に接地されたノズルカバー3に圧接させて、ノズルカ
バー3を介して電気的に接地することで、振動板42の
誘起電圧はアースに流れることになるので、誘起電圧に
よって振動板42の金属イオンがインク中に溶出するこ
とが防止され、振動板42が溶解して穴が明くことが防
止される。
On the other hand, as in this embodiment, a projection 42a is provided on the diaphragm 42, and the projection 42a is pressed against the electrically grounded nozzle cover 3, and By electrically grounding, the induced voltage of the vibrating plate 42 flows to the ground, so that the induced voltage prevents the metal ions of the vibrating plate 42 from being eluted into the ink, and the vibrating plate 42 is dissolved. Drilling is prevented.

【0037】このように振動板を電気的に接地すること
によって誘起電圧による振動板の溶解が防止されるの
で、振動板の信頼性が向上し、長期的に安定したインク
滴吐出を行うことができて印写品質を確保することがで
きる。そして、この場合、この実施例のように振動板を
ノズルカバーを介して接地することによって、カラーイ
ンクジェット記録装置のように複数のヘッドを備えたと
きに、複数のヘッドの振動板をまとめて同電位に落とす
ことができ、生産性が向上する。
Since the diaphragm is electrically grounded in this way, the diaphragm is prevented from being melted by the induced voltage, so that the reliability of the diaphragm is improved and stable long-term ink droplet ejection can be performed. As a result, the printing quality can be ensured. In this case, by grounding the diaphragm via the nozzle cover as in this embodiment, when a plurality of heads are provided as in a color ink jet recording apparatus, the diaphragms of the plurality of heads are collectively the same. The potential can be lowered to improve the productivity.

【0038】次に、本発明の第2実施例について図7を
参照して説明する。この実施例では、基板11上に形成
した接地される導通パターンであるGNDライン65に
対応してフレーム部材13の外側壁に導電性接着剤を塗
布するための溝部66を形成して、この溝部66内にフ
レーム部材13上に接合する振動板42と基板11上の
GNDライン65とを電気的に導通させる導電性接着剤
68を塗布している。そして、この基板11のGNDラ
イン65はFPCケーブル53のGNDライン53aを
通じてPCB基板52に接続されて、プリンタ本体のG
NDにアースされている。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, a groove 66 for applying a conductive adhesive is formed on the outer wall of the frame member 13 corresponding to the GND line 65 which is a grounded conductive pattern formed on the substrate 11, and the groove 66 is formed. A conductive adhesive 68 that electrically connects the vibration plate 42 bonded on the frame member 13 and the GND line 65 on the substrate 11 is applied inside 66. The GND line 65 of the board 11 is connected to the PCB board 52 through the GND line 53a of the FPC cable 53, and is connected to the G
Grounded to ND.

【0039】これによって、振動板42は導電性接着剤
68を介して基板11上のGNDライン65に接続さ
れ、更にGNDライン65からFPCケーブル53のG
NDライン53a、PCB基板52を介してプリンタ本
体にアースされるので、上記第1実施例と同様に、振動
板42の誘起電圧をアースに落とすことができ、誘起電
圧によって振動板42の金属イオンがインク中に溶出す
ることが防止される。
As a result, the vibration plate 42 is connected to the GND line 65 on the substrate 11 via the conductive adhesive 68, and the G line of the FPC cable 53 is further connected from the GND line 65.
Since the printer body is grounded via the ND line 53a and the PCB board 52, the induced voltage of the diaphragm 42 can be reduced to ground as in the first embodiment. Is prevented from being eluted into the ink.

【0040】このように、基板に形成した接地される導
通パターンと振動板とを電気的に接続することによっ
て、ヘッド単体内で振動板を電気的に接地することがで
きるので、カラーインクジェット記録装置のように複数
のヘッドを用いるときでも、インクジェット記録装置に
ヘッドを搭載する前に各ヘッド毎に溶解防止処理の信頼
性を確保することができる。
As described above, the diaphragm can be electrically grounded within the head alone by electrically connecting the grounded conductive pattern formed on the substrate to the diaphragm. Even when a plurality of heads are used as described above, it is possible to ensure the reliability of the dissolution preventing process for each head before mounting the head in the inkjet recording apparatus.

【0041】次に、本発明の第3実施例について図8を
参照して説明する。この実施例でも、基板11上に形成
した導通パターンであるGNDライン65に対応してフ
レーム部材13に導電性接着剤を充填するための貫通穴
67を形成して、この穴部67内に振動板42と基板1
1上のGNDライン65とを電気的に導通させる導電性
接着剤68を塗布している。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Also in this embodiment, a through hole 67 for filling the frame member 13 with a conductive adhesive is formed corresponding to the GND line 65 which is a conductive pattern formed on the substrate 11, and a vibration is formed in the hole 67. Plate 42 and substrate 1
A conductive adhesive 68 for electrically connecting to the GND line 65 on the upper surface 1 is applied.

【0042】したがって、上記第2実施例と同様に、振
動板42は導電性接着剤68を介して基板11上のGN
Dライン65に接続され、更にGNDライン65からF
PCケーブル53のGNDライン53a、PCB基板5
2を介してプリンタ本体にアースされるので、振動板4
2の誘起電圧をアースに落とすことができ、誘起電圧に
よって振動板42の金属イオンがインク中に溶出するこ
とが防止される。
Therefore, as in the second embodiment, the diaphragm 42 is connected to the GN on the substrate 11 via the conductive adhesive 68.
D line 65 and GND line 65 to F
GND line 53a of PC cable 53, PCB board 5
2 is grounded to the printer body via
2, the induced voltage can be dropped to the ground, and the induced voltage prevents metal ions of the diaphragm 42 from being eluted into the ink.

【0043】このように、基板に形成した接地される導
通パターンと振動板とを電気的に接続することによっ
て、ヘッド単体内で振動板を電気的に接地することがで
きるので、カラーインクジェット記録装置のように複数
のヘッドを用いるときでも、インクジェット記録装置に
ヘッドを搭載する前に各ヘッド毎に溶解防止処理の信頼
性を確保することができる。そして、この実施例のよう
に導電性接着剤を充填する貫通穴を形成するときには、
振動板を接合する前に貫通穴内に導電性接着剤を盛り上
がるよう塗布することで、振動板をフレーム部材及び圧
電素子とエポキシ接着剤などで接合すると同時に電気的
接続も行うことができて工程を短縮化できる。
As described above, by electrically connecting the diaphragm to the conductive pattern formed on the substrate and the diaphragm, the diaphragm can be electrically grounded within the head alone. Even when a plurality of heads are used as described above, it is possible to ensure the reliability of the dissolution preventing process for each head before mounting the head in the inkjet recording apparatus. Then, when forming a through hole for filling the conductive adhesive as in this embodiment,
By applying a conductive adhesive in the through hole before the diaphragm is joined, the diaphragm can be joined to the frame member and the piezoelectric element with an epoxy adhesive, etc., and at the same time, electrical connection can be made. Can be shortened.

【0044】次に、本発明の第4実施例について図9を
参照して説明する。この実施例では、ノズルプレート3
3及び液室隔壁部材32に貫通穴71,72を形成し
て、これらの貫通穴71,72内に導電性接着剤73を
充填し、振動板42とノズルプレート33とを電気的に
接続している。例えば、ノズルプレート33にディスペ
ンサのニードルを挿入できる程度の穴(約0.8φ)を
形成し、液室隔壁部材32にも同様の穴を形成する。
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, the nozzle plate 3
3 and the liquid chamber partition member 32 are formed with through holes 71 and 72, and the through holes 71 and 72 are filled with a conductive adhesive 73 to electrically connect the vibration plate 42 and the nozzle plate 33. ing. For example, a hole (about 0.8φ) is formed in the nozzle plate 33 so that a needle of the dispenser can be inserted, and a similar hole is formed in the liquid chamber partition member 32.

【0045】したがって、振動板42とノズルプレート
33との間で電位差を生じないために、ノズルプレート
33と振動板42との間に電位差が発生したような場合
でも振動板42の金属イオンがインク中に溶出すること
が防止され、振動板の信頼性が向上し、長期的に安定し
たインク滴吐出を行うことができて印写品質を確保する
ことができる。
Accordingly, in order to prevent a potential difference between the vibration plate 42 and the nozzle plate 33, even when a potential difference occurs between the nozzle plate 33 and the vibration plate 42, the metal ions on the vibration plate 42 Elution into the inside is prevented, the reliability of the diaphragm is improved, ink droplets can be stably ejected over a long period of time, and printing quality can be ensured.

【0046】そして、このように単に振動板42とノズ
ルプレート33とを導通状態にして電気的に浮かせた状
態にすることで、振動板42に誘起された電荷は流出し
ないので、安価に且つ容易に誘起電圧による振動板42
の溶解を防止することができる。なお、振動板42とノ
ズルプレート33とを導通状態にして電気的に浮かせた
状態にするには、ヘッド取付け台を絶縁材料で形成して
ノズルカバー3を接地しなければよい。
By simply bringing the diaphragm 42 and the nozzle plate 33 into a conductive state and electrically floating, the electric charge induced in the diaphragm 42 does not flow out, so that it is inexpensive and easy. Vibrating plate 42 by induced voltage
Can be prevented from dissolving. In order to electrically connect the vibration plate 42 and the nozzle plate 33 so that the nozzle plate 33 is electrically floated, the head mounting base may be formed of an insulating material and the nozzle cover 3 may be grounded.

【0047】次に、本発明の第5実施例について図10
を参照して説明する。この実施例では、上記第4実施例
のノズルプレート33にノズルカバー3を圧接して電気
的に接続している。そして、ノズルカバー3は前記第1
実施例と同様にして(図5参照)プリンタ本体のGND
に接続している。
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG. In this embodiment, the nozzle cover 3 is pressed against the nozzle plate 33 of the fourth embodiment to be electrically connected. And the nozzle cover 3 is the first
As in the embodiment (see FIG. 5), the GND of the printer body
Connected to

【0048】したがって、振動板42は導電性接着剤7
3及びノズルカバー3等を介して接地されて、振動板4
2に誘起される電圧はアースに流れることになるので、
誘起電圧によって振動板42の金属イオンがインク中に
溶出することが防止され、振動板の信頼性が向上し、長
期的に安定したインク滴吐出を行うことができて印写品
質を確保することができる。そして、この場合、複数の
ヘッドのインクに接触する液室構成部品を同電位差にす
ることができ、電気的に安定した状態となって振動板の
みならずノズルプレートからの溶出も防止できて信頼性
が向上する。
Therefore, diaphragm 42 is made of conductive adhesive 7
The diaphragm 4 is grounded via the nozzle cover 3 and the nozzle cover 3 and the like.
Since the voltage induced in 2 will flow to the ground,
The metal ions of the vibration plate 42 are prevented from being eluted into the ink by the induced voltage, the reliability of the vibration plate is improved, the ink droplets can be stably ejected for a long time, and the printing quality is secured. Can be. In this case, the liquid chamber components that come into contact with the inks of the plurality of heads can be made to have the same potential difference, and are in an electrically stable state, so that elution from not only the diaphragm but also the nozzle plate can be prevented. The performance is improved.

【0049】次に、本発明の第6実施例について図11
を参照して説明する。この実施例では、フレーム部材1
3に前記第3実施例と同様に基板11上のGNDパター
ン65に対応する位置に貫通穴75を形成し、更に振動
板42及び液室隔壁部材32にそれぞれ貫通穴75に対
応する位置に貫通穴76,77を形成して、これらの貫
通穴75〜77内に導電性接着剤78を充填して、ノズ
ルプレート33及び振動板42とを導電性接着剤78を
介して基板11上のGNDパターン65に接続し、この
GNDパターン65、FPCケーブル53、PCB基板
52を介してプリンタ本体のGNDに接続している。
Next, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG. In this embodiment, the frame member 1
3, a through hole 75 is formed at a position corresponding to the GND pattern 65 on the substrate 11 similarly to the third embodiment, and a through hole is formed at a position corresponding to the through hole 75 in the vibration plate 42 and the liquid chamber partition member 32. Holes 76 and 77 are formed, a conductive adhesive 78 is filled in these through holes 75 to 77, and the nozzle plate 33 and the vibration plate 42 are connected to the GND on the substrate 11 via the conductive adhesive 78. It is connected to the pattern 65, and is connected to GND of the printer main body via the GND pattern 65, the FPC cable 53, and the PCB board 52.

【0050】これによって振動板42はノズルプレート
33と導通されると共に導電性接着剤78、GNDパタ
ーン65等を介して接地されるので、振動板42に誘起
される電圧はアースに流れ、誘起電圧によって振動板4
2の金属イオンがインク中に流出することが防止され、
振動板の信頼性が向上し、安定した印写品質を確保する
ことができる。また、ノズルプレート33も接地される
ことで、ノズルプレート33からの金属イオンの溶出も
防止される。
As a result, the diaphragm 42 is electrically connected to the nozzle plate 33 and grounded via the conductive adhesive 78, the GND pattern 65, etc., so that the voltage induced on the diaphragm 42 flows to the ground, and the induced voltage Diaphragm 4
2 is prevented from flowing out into the ink,
The reliability of the diaphragm is improved, and stable printing quality can be secured. In addition, since the nozzle plate 33 is also grounded, elution of metal ions from the nozzle plate 33 is prevented.

【0051】このように振動板とノズルプレートとを導
通状態にした上、各ヘッド毎にそれ自身のPCB基板内
のGNDに落とすことで、ヘッド単体状態で確実に振動
板をアースに落とすことができ、振動板及びノズルプレ
ートの金属イオンの溶出を防止できる。
In this manner, the diaphragm and the nozzle plate are brought into conduction, and each head is dropped to GND in its own PCB substrate, so that the diaphragm can be reliably dropped to the ground in a single head state. Thus, elution of metal ions from the diaphragm and the nozzle plate can be prevented.

【0052】[0052]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1のインク
ジェット記録装置によれば、電気機械変換素子による変
位で振動板を介してインク液室内のインクを加圧してノ
ズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドを
備え、このヘッドの振動板を電気的に接地しているの
で、振動板中の金属イオンがインク中に流出して穴が明
くことが防止され、振動板の信頼性が向上し、画像品質
が向上する。
As described above, according to the ink jet recording apparatus of the first aspect, the ink in the ink liquid chamber is pressurized through the vibration plate by the displacement of the electromechanical transducer to eject the ink droplet from the nozzle. Equipped with an ink-jet head, and the diaphragm of this head is electrically grounded, so that metal ions in the diaphragm are prevented from flowing out into the ink to make holes, and the reliability of the diaphragm is improved. And the image quality is improved.

【0053】請求項2のインクジェット記録装置によれ
ば、上記請求項1のインクジェット記録装置において、
インクジェットヘッドには電気的に接地したノズルカバ
ーを備え、このノズルカバーに振動板を電気的に接続し
ているので、複数のヘッドの振動板をまとめて接地する
ことができて生産性が向上する。
According to the ink jet recording apparatus of claim 2, in the ink jet recording apparatus of claim 1,
The inkjet head has an electrically grounded nozzle cover, and the diaphragm is electrically connected to the nozzle cover, so that the diaphragms of a plurality of heads can be collectively grounded, thereby improving productivity. .

【0054】請求項3のインクジェット記録装置によれ
ば、上記請求項1のインクジェット記録装置において、
電気機械変換素子を配設した絶縁基板上に電気的に接地
される導通パターンを形成し、この導通パターンに振動
板を電気的に接続しているので、記録装置本体にヘッド
を搭載する前にヘッド毎に信頼性を確保することができ
る。
According to the ink jet recording apparatus of claim 3, in the ink jet recording apparatus of claim 1,
A conductive pattern that is electrically grounded is formed on the insulating substrate on which the electromechanical transducer is disposed, and the diaphragm is electrically connected to the conductive pattern. Reliability can be ensured for each head.

【0055】請求項4のインクジェットヘッドによれ
ば、電気機械変換素子による変位で振動板を介してイン
ク液室内のインクを加圧してノズルからインク滴を吐出
させるインクジェットヘッドにおいて、ノズルを形成し
たノズル形成部材と振動板とを電気的に導通状態にして
いるので、ノズル形成部材に金属片等が接触して振動板
とノズル形成部材との間に電位差が発生しても振動板の
溶出を防止できる。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an ink jet head which presses ink in an ink liquid chamber through a vibration plate by a displacement of an electromechanical transducer to discharge ink droplets from the nozzles. Since the forming member and the diaphragm are electrically connected, the elution of the diaphragm is prevented even if a metal piece contacts the nozzle forming member and a potential difference is generated between the diaphragm and the nozzle forming member. it can.

【0056】請求項5のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項4のインクジェットヘッドにおいて、電
気的に接地されるノズルカバーを備え、このノズルカバ
ーとノズル形成部材とを電気的に接続しているので、複
数のヘッドのインクに接触する液室構成部品を同電位差
にすることができ、電気的に安定した状態となって振動
板やノズル形成部材の溶出を防止できて信頼性が向上す
る。
According to the ink jet head of the fifth aspect, the ink jet head of the fourth aspect is provided with the nozzle cover which is electrically grounded, and the nozzle cover and the nozzle forming member are electrically connected. In addition, the liquid chamber components that come into contact with the inks of the plurality of heads can be made to have the same potential difference, and are in an electrically stable state, so that elution of the diaphragm and the nozzle forming member can be prevented, and reliability is improved.

【0057】請求項6のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項4のインクジェットヘッドにおいて、電
気機械変換素子を配設した絶縁基板上に電気的に接地さ
れる導通パターンを形成し、この導通パターンに振動板
を電気的に接続しているので、ヘッド単体で確実に振動
板及びノズル形成部材を接地することができ、振動板や
ノズル形成部材の溶出を防止できて信頼性が向上する。
According to the ink jet head of claim 6, in the ink jet head of claim 4, a conductive pattern that is electrically grounded is formed on the insulating substrate on which the electromechanical transducer is provided, and Since the diaphragm is electrically connected, the diaphragm and the nozzle forming member can be reliably grounded by the head alone, and elution of the diaphragm and the nozzle forming member can be prevented, thereby improving reliability.

【0058】請求項7のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項4のインクジェットヘッドにおいて、ノ
ズル形成部材及び振動板が導通状態のまま電気的に浮い
ている状態にある構成としたので、安価にかつ容易に液
室部分を浮かせることができ、振動板やノズル形成部材
の溶出を防止できて信頼性が向上する。
According to the ink jet head of the seventh aspect, in the ink jet head of the fourth aspect, the nozzle forming member and the vibrating plate are in a state of being electrically floating while being in a conductive state, so that it is inexpensive and The liquid chamber portion can be easily floated, the elution of the diaphragm and the nozzle forming member can be prevented, and the reliability is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を適用するインクジェットヘッドの一例
を示す分解斜視図
FIG. 1 is an exploded perspective view showing an example of an inkjet head to which the present invention is applied.

【図2】同ヘッドのチャンネル方向と直交する方向の要
部拡大断面図
FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part of the head in a direction orthogonal to a channel direction.

【図3】同ヘッドのチャンネル方向の要部拡大断面図FIG. 3 is an enlarged sectional view of a main part of the head in a channel direction.

【図4】本発明の第1実施例を示す要部断面図FIG. 4 is a sectional view of a main part showing a first embodiment of the present invention.

【図5】同実施例の斜視図FIG. 5 is a perspective view of the embodiment.

【図6】駆動波形と誘起電圧の関係を説明する説明図FIG. 6 is an explanatory diagram illustrating a relationship between a driving waveform and an induced voltage.

【図7】本発明の第2実施例を示す要部斜視図FIG. 7 is an essential part perspective view showing a second embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第3実施例を示す要部斜視図FIG. 8 is an essential part perspective view showing a third embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第4実施例を示す要部断面FIG. 9 is a sectional view of a main part showing a fourth embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第5実施例を示す要部断面FIG. 10 is a sectional view of a main part showing a fifth embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第6実施例を示す要部断面FIG. 11 is a sectional view of a main part showing a sixth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…駆動ユニット、2…液室ユニット、3…ノズルカバ
ー、11…基板、12…圧電素子、13…フレーム部
材、32…液室隔壁部材、33…ノズルプレート、42
…振動板、53…FPCケーブル、65…GNDパター
ン、66部…溝、67…穴部、68…導電性接着剤、7
1,72,75〜77…貫通穴、73,78…導電性接
着剤。
REFERENCE SIGNS LIST 1 drive unit, 2 liquid chamber unit, 3 nozzle cover, 11 substrate, 12 piezoelectric element, 13 frame member, 32 liquid chamber partition member, 33 nozzle plate, 42
... Vibration plate, 53 ... FPC cable, 65 ... GND pattern, 66 parts ... Groove, 67 ... Hole part, 68 ... Conductive adhesive, 7
1, 72, 75 to 77: through holes, 73, 78: conductive adhesive.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長場 誠治 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 岩瀬 政之 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 牧田 秀行 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 佐々木 勉 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Seiji Nagaba 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo Inside Ricoh Co., Ltd. (72) Inventor Masayuki Iwase 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo Inside Ricoh Company, Ltd. (72) Inventor Hideyuki Makita 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo Inside Ricoh Company (72) Inventor Tsutomu Sasaki 1-3-6, Nakamagome, Ota-ku, Tokyo Inside Ricoh Company

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電気機械変換素子による変位で振動板を
介してインク液室内のインクを加圧してノズルからイン
ク滴を吐出させるインクジェットヘッドを備えたインク
ジェット記録装置において、前記インクジェットヘッド
の振動板を電気的に接地したことを特徴とするインクジ
ェット記録装置。
1. An ink jet recording apparatus having an ink jet head for discharging ink droplets from nozzles by pressurizing ink in an ink liquid chamber through a vibration plate by displacement of an electromechanical transducer, wherein the vibration plate of the ink jet head is An ink jet recording apparatus, which is electrically grounded.
【請求項2】 請求項1に記載のインクジェット記録装
置において、前記インクジェットヘッドには電気的に接
地したノズルカバーを備え、このノズルカバーに前記振
動板を電気的に接続したことを特徴とするインクジェッ
ト記録装置。
2. An ink jet recording apparatus according to claim 1, wherein said ink jet head is provided with an electrically grounded nozzle cover, and said diaphragm is electrically connected to said nozzle cover. Recording device.
【請求項3】 請求項1に記載のインクジェット記録装
置において、前記電気機械変換素子を配設した絶縁基板
上に電気的に接地される導通パターンを形成し、この導
通パターンに前記振動板を電気的に接続したことを特徴
とするインクジェット記録装置。
3. The ink jet recording apparatus according to claim 1, wherein a conductive pattern that is electrically grounded is formed on an insulating substrate on which the electromechanical transducer is provided, and the diaphragm is electrically connected to the conductive pattern. An ink jet recording apparatus, wherein the ink jet recording apparatus is electrically connected.
【請求項4】 電気機械変換素子による変位で振動板を
介してインク液室内のインクを加圧してノズルからイン
ク滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前記
ノズルを形成したノズル形成部材と前記振動板とを電気
的に導通状態にしたことを特徴とするインクジェットヘ
ッド。
4. An ink jet head that presses ink in an ink liquid chamber through a vibrating plate by a displacement of an electromechanical transducer to discharge ink droplets from a nozzle, wherein a nozzle forming member having the nozzle and the vibrating plate are provided. An ink-jet head, wherein is electrically connected.
【請求項5】 請求項4に記載のインクジェットヘッド
において、電気的に接地されるノズルカバーを備え、こ
のノズルカバーと前記ノズル形成部材とを電気的に接続
したことを特徴とするインクジェットヘッド。
5. The ink jet head according to claim 4, further comprising an electrically grounded nozzle cover, wherein said nozzle cover and said nozzle forming member are electrically connected.
【請求項6】 請求項4に記載のインクジェットヘッド
において、前記電気機械変換素子を配設した絶縁基板上
に電気的に接地される導通パターンを形成し、この導通
パターンに前記振動板を電気的に接続したことを特徴と
するインクジェットヘッド。
6. The ink jet head according to claim 4, wherein an electrically grounded conductive pattern is formed on the insulating substrate on which the electromechanical transducer is provided, and the diaphragm is electrically connected to the conductive pattern. An inkjet head, characterized in that it is connected to an ink jet head.
【請求項7】 請求項4に記載のインクジェットヘッド
において、前記ノズル形成部材及び前記振動板が導通状
態のまま電気的に浮いている状態にあることを特徴とす
るインクジェットヘッド。
7. The ink jet head according to claim 4, wherein said nozzle forming member and said diaphragm are in a state of being electrically floating while being in a conductive state.
JP19533497A 1997-07-22 1997-07-22 Inkjet recording apparatus and inkjet head Expired - Fee Related JP3942118B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19533497A JP3942118B2 (en) 1997-07-22 1997-07-22 Inkjet recording apparatus and inkjet head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19533497A JP3942118B2 (en) 1997-07-22 1997-07-22 Inkjet recording apparatus and inkjet head

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1134324A true JPH1134324A (en) 1999-02-09
JP3942118B2 JP3942118B2 (en) 2007-07-11

Family

ID=16339453

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19533497A Expired - Fee Related JP3942118B2 (en) 1997-07-22 1997-07-22 Inkjet recording apparatus and inkjet head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3942118B2 (en)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002137400A (en) * 2000-11-06 2002-05-14 Seiko Epson Corp Ink ejecter and filter drawing apparatus comprising the same
JP2005186292A (en) * 2003-12-24 2005-07-14 Konica Minolta Holdings Inc Inkjet head
JP2006192771A (en) * 2005-01-14 2006-07-27 Brother Ind Ltd Inkjet head
JP2006256231A (en) * 2005-03-18 2006-09-28 Seiko Epson Corp Liquid ejecting head and its manufacturing method
JP2007021911A (en) * 2005-07-15 2007-02-01 Seiko Epson Corp Liquid injecting head and liquid injector
JP2007062367A (en) * 2005-08-01 2007-03-15 Seiko Epson Corp Liquid jet head and liquid jet apparatus
JP2011143573A (en) * 2010-01-13 2011-07-28 Seiko Epson Corp Liquid jet head
JP2013223853A (en) * 2012-03-23 2013-10-31 Sharp Corp Particle collection apparatus and particle detection apparatus provided with the same
EP3135493A1 (en) * 2015-08-27 2017-03-01 SII Printek Inc Ink jet head and liquid jet recording apparatus
US9855749B2 (en) 2015-10-20 2018-01-02 Ricoh Company, Ltd. Liquid discharge head with a wiring member for grounding cover, and liquid discharge device, and liquid discharge apparatus
EP3482950A1 (en) * 2017-11-13 2019-05-15 SII Printek Inc Liquid jet head and liquid jet recording device

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002137400A (en) * 2000-11-06 2002-05-14 Seiko Epson Corp Ink ejecter and filter drawing apparatus comprising the same
JP4517641B2 (en) * 2003-12-24 2010-08-04 コニカミノルタホールディングス株式会社 Inkjet head
JP2005186292A (en) * 2003-12-24 2005-07-14 Konica Minolta Holdings Inc Inkjet head
JP2006192771A (en) * 2005-01-14 2006-07-27 Brother Ind Ltd Inkjet head
JP4670356B2 (en) * 2005-01-14 2011-04-13 ブラザー工業株式会社 Inkjet head
JP2006256231A (en) * 2005-03-18 2006-09-28 Seiko Epson Corp Liquid ejecting head and its manufacturing method
JP4506528B2 (en) * 2005-03-18 2010-07-21 セイコーエプソン株式会社 Liquid jet head and manufacturing method thereof
JP2007021911A (en) * 2005-07-15 2007-02-01 Seiko Epson Corp Liquid injecting head and liquid injector
JP2007062367A (en) * 2005-08-01 2007-03-15 Seiko Epson Corp Liquid jet head and liquid jet apparatus
JP2011143573A (en) * 2010-01-13 2011-07-28 Seiko Epson Corp Liquid jet head
JP2013223853A (en) * 2012-03-23 2013-10-31 Sharp Corp Particle collection apparatus and particle detection apparatus provided with the same
EP3135493A1 (en) * 2015-08-27 2017-03-01 SII Printek Inc Ink jet head and liquid jet recording apparatus
JP2017043023A (en) * 2015-08-27 2017-03-02 エスアイアイ・プリンテック株式会社 Ink jet head and liquid jet recording device
CN106476434A (en) * 2015-08-27 2017-03-08 精工电子打印科技有限公司 Ink gun and fluid jet recording apparatus
US9855749B2 (en) 2015-10-20 2018-01-02 Ricoh Company, Ltd. Liquid discharge head with a wiring member for grounding cover, and liquid discharge device, and liquid discharge apparatus
EP3482950A1 (en) * 2017-11-13 2019-05-15 SII Printek Inc Liquid jet head and liquid jet recording device

Also Published As

Publication number Publication date
JP3942118B2 (en) 2007-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009202473A (en) Method for manufacturing inkjet head and inkjet head
JP3942118B2 (en) Inkjet recording apparatus and inkjet head
JP2001113700A (en) Ink-jet head
JP5018899B2 (en) Liquid jet head
JP5003306B2 (en) Discharge head and discharge head manufacturing method
JP4715350B2 (en) Liquid discharge head and liquid discharge apparatus
JP2009094120A (en) Piezoelectric actuator, droplet discharge head using the same, and method of manufacturing piezoelectric actuator
JP2007038489A (en) Circuit board, head module, liquid jet head, and liquid jet device
JP3595129B2 (en) Inkjet head
JPH10138474A (en) Ink jet head
JPH11198371A (en) Ink jet head
JP3667134B2 (en) Inkjet head
JPH1110892A (en) Nozzle forming member and manufacture thereof
JP2000108344A (en) Ink jet recorder
JPH1134309A (en) Ink jet recorder
JP2822963B2 (en) Inkjet recording head
JP2000071448A (en) Ink jet recorder
JP2007054963A (en) Liquid jetting head
JPH11170494A (en) Ink jet recording device
JPH1158747A (en) Nozzle forming member, production method thereof, and ink-jet head
JP2011093105A (en) Liquid jetting head and recorder
JP2001010050A (en) Ink jet head
JPH11138800A (en) Lamination type piezoelectric element and ink-jet head
JP2024047748A (en) Liquid ejection head
JPH08142324A (en) Ink jet head and manufacture thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040517

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040520

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040630

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20041118

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050118

A911 Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20050202

A912 Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20050318

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070307

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070402

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100413

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110413

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120413

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130413

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140413

Year of fee payment: 7

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees