JP2001207057A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
感光性樹脂組成物Info
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- JP2001207057A JP2001207057A JP2000015163A JP2000015163A JP2001207057A JP 2001207057 A JP2001207057 A JP 2001207057A JP 2000015163 A JP2000015163 A JP 2000015163A JP 2000015163 A JP2000015163 A JP 2000015163A JP 2001207057 A JP2001207057 A JP 2001207057A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】プリント配線板用の感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】（１）多官能性シアン酸エステル化合物ま
たは該シアン酸エステルプレポリマー１００重量部に対
し（２）熱硬化触媒０．００５〜５重量部及び（３）光
酸発生剤０．００５〜２０重量部を必須成分として添加
してなる感光性熱硬化性型樹脂組成物。
たは該シアン酸エステルプレポリマー１００重量部に対
し（２）熱硬化触媒０．００５〜５重量部及び（３）光
酸発生剤０．００５〜２０重量部を必須成分として添加
してなる感光性熱硬化性型樹脂組成物。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明の樹脂組成物は、耐熱性、
電気絶縁性、耐薬品性に優れ、プリント配線板等の上に
塗布し、永久保護膜や層間絶縁膜等に使用される。
電気絶縁性、耐薬品性に優れ、プリント配線板等の上に
塗布し、永久保護膜や層間絶縁膜等に使用される。
【０００２】
【従来の技術】従来、耐熱性、電気特性、耐薬品性に優
れた感光性樹脂は、主にポリイミド系感光性樹脂等が用
いられてきた。その多くは、感光性を有しないポリイミ
ド前駆体に感光性化合物を混合した組成物（例えば、特
開昭４８−８９００４、同４９−７４７３９、同５６−
９３７０４）であるが、ポリイミド前駆体のポリマー側
鎖に感光基を付加したもの（例えば、特開昭５４−１１
６２１６、同５４−１４５７９４、同５５−９５１０、
同５７−１４３３２９）等である。
れた感光性樹脂は、主にポリイミド系感光性樹脂等が用
いられてきた。その多くは、感光性を有しないポリイミ
ド前駆体に感光性化合物を混合した組成物（例えば、特
開昭４８−８９００４、同４９−７４７３９、同５６−
９３７０４）であるが、ポリイミド前駆体のポリマー側
鎖に感光基を付加したもの（例えば、特開昭５４−１１
６２１６、同５４−１４５７９４、同５５−９５１０、
同５７−１４３３２９）等である。
【０００３】しかし、これらは、何れもポリイミド前駆
体あるいはその付加体であるため、パターン加工に際し
て高温での加熱キュアによるイミド化を必要とし、基板
等がキュア温度に耐えられない場合は使用できないとい
った欠点を有している。更に、加熱キュアに際して、感
光性化合物又感光基が飛散するため、キュア後の収縮が
著しく大幅な寸法低下が生じることは避けられない。
体あるいはその付加体であるため、パターン加工に際し
て高温での加熱キュアによるイミド化を必要とし、基板
等がキュア温度に耐えられない場合は使用できないとい
った欠点を有している。更に、加熱キュアに際して、感
光性化合物又感光基が飛散するため、キュア後の収縮が
著しく大幅な寸法低下が生じることは避けられない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、耐熱性、吸
湿及び耐プレッシャークッカー処理後の電気絶縁性、耐
薬品性に優れた感光性熱硬化型樹脂組成物であり、使用
に際して、耐熱性、電気特性、耐薬品性を保持したま
ま、従来の耐熱感光性樹脂が問題としてきた寸法変化を
大幅に改善するものである。
湿及び耐プレッシャークッカー処理後の電気絶縁性、耐
薬品性に優れた感光性熱硬化型樹脂組成物であり、使用
に際して、耐熱性、電気特性、耐薬品性を保持したま
ま、従来の耐熱感光性樹脂が問題としてきた寸法変化を
大幅に改善するものである。
【０００５】本発明は、上記した課題を解決するために
鋭意研究を続けてきた結果、多官能性シアン酸エステル
化合物、熱硬化性触媒、光酸発生剤を必須成分とする樹
脂組成物を使用する事により、耐熱性、吸湿及び耐プレ
ッシャークッカー処理後の電気絶縁性、耐薬品性等に優
れた感光性熱硬化型樹脂材料を得ることが出来ることを
見出し、発明を完成することに至った。
鋭意研究を続けてきた結果、多官能性シアン酸エステル
化合物、熱硬化性触媒、光酸発生剤を必須成分とする樹
脂組成物を使用する事により、耐熱性、吸湿及び耐プレ
ッシャークッカー処理後の電気絶縁性、耐薬品性等に優
れた感光性熱硬化型樹脂材料を得ることが出来ることを
見出し、発明を完成することに至った。
【０００６】即ち、本発明は、（１）多官能性シアン酸
エステル化合物または該シアン酸エステルプレポリマー
１００重量部に対し（２）熱硬化触媒０．００５〜５重
量部及び（３）光酸発生剤０．００５〜２０重量部を必
須成分として添加してなる感光性熱硬化性型樹脂組成物
である。
エステル化合物または該シアン酸エステルプレポリマー
１００重量部に対し（２）熱硬化触媒０．００５〜５重
量部及び（３）光酸発生剤０．００５〜２０重量部を必
須成分として添加してなる感光性熱硬化性型樹脂組成物
である。
【０００７】以下、本発明の構成を説明する。まず、本
発明の（１）多官能性シアン酸エステル化合物とは、分
子中にシアナト基を通常２〜５個有する芳香族性の有機
化合物であって、該シアナト基は、該芳香族性の有機化
合物の芳香環に直接結合したものである。具体的に例示
すると、1,3-または1,4−ジシアナトベンゼン、1,3,5−
トリシアナトベンゼン、1,3-、1,4-、1,6-、1,8-、2,6-
または2,7-ジシアナトナフタレン、1,3,6-トリシアナト
ナフタレン、4,4-ジシアナトビフェニル、ビス（4-ジシ
アナトフェニル）メタン、2,2-ビス（4-シアナトフェニ
ル）プロパン、ビス（4-シアナトフェニル）エーテル、
ビス（4-シアナトフェニル）チオエーテル、ビス（4-シ
アナトフェニル）スルフォン、トリス（4-シアナトフェ
ニル）ホスファイト、トリス（4-シアナトフェニル）ホ
スフェート、及びノボラックとハロゲン化シアンとの反
応により得られるシアネート類等である。
発明の（１）多官能性シアン酸エステル化合物とは、分
子中にシアナト基を通常２〜５個有する芳香族性の有機
化合物であって、該シアナト基は、該芳香族性の有機化
合物の芳香環に直接結合したものである。具体的に例示
すると、1,3-または1,4−ジシアナトベンゼン、1,3,5−
トリシアナトベンゼン、1,3-、1,4-、1,6-、1,8-、2,6-
または2,7-ジシアナトナフタレン、1,3,6-トリシアナト
ナフタレン、4,4-ジシアナトビフェニル、ビス（4-ジシ
アナトフェニル）メタン、2,2-ビス（4-シアナトフェニ
ル）プロパン、ビス（4-シアナトフェニル）エーテル、
ビス（4-シアナトフェニル）チオエーテル、ビス（4-シ
アナトフェニル）スルフォン、トリス（4-シアナトフェ
ニル）ホスファイト、トリス（4-シアナトフェニル）ホ
スフェート、及びノボラックとハロゲン化シアンとの反
応により得られるシアネート類等である。
【０００８】これらの他に、特公昭４１−４９２８、同
４３−１８４６８、同４４−４７９１、同４５−１１７
１２、同４６−１１１２、同４７−２６８５３及び特開
昭５１−６３１４９等に記載された多官能性シアン酸エ
ステル化合物も用いられる。これらは、単独もしくは２
種以上組み合わせて使用される。これらの成分中には、
加水分解性のCl、Na等の不純含量が極めて少なく、本発
明の１成分として配合することによって全体の不純物量
は少なくなり、半導体周辺材料としては最適である。
４３−１８４６８、同４４−４７９１、同４５−１１７
１２、同４６−１１１２、同４７−２６８５３及び特開
昭５１−６３１４９等に記載された多官能性シアン酸エ
ステル化合物も用いられる。これらは、単独もしくは２
種以上組み合わせて使用される。これらの成分中には、
加水分解性のCl、Na等の不純含量が極めて少なく、本発
明の１成分として配合することによって全体の不純物量
は少なくなり、半導体周辺材料としては最適である。
【０００９】また、これらの多官能性シアン酸エステル
化合物のシアナト基の三量化によって形成されるトリア
ジン環を有する分子量２００〜６０００のプレポリマー
が使用される。このプレポリマーは、上記多官能性シア
ン酸エステルモノマーを例えば鉱酸、ルイス酸；ナトリ
ウムアルコラート、第三級アミン等の塩基；炭酸ナトリ
ウム等の塩類を触媒にして重合させることにより得られ
る。このプレポリマー中には、一部モノマーが含まれて
おりモノマーとポリマーとの混合物の形態をしており、
この様な原料は本発明の用途に好適に使用される。
化合物のシアナト基の三量化によって形成されるトリア
ジン環を有する分子量２００〜６０００のプレポリマー
が使用される。このプレポリマーは、上記多官能性シア
ン酸エステルモノマーを例えば鉱酸、ルイス酸；ナトリ
ウムアルコラート、第三級アミン等の塩基；炭酸ナトリ
ウム等の塩類を触媒にして重合させることにより得られ
る。このプレポリマー中には、一部モノマーが含まれて
おりモノマーとポリマーとの混合物の形態をしており、
この様な原料は本発明の用途に好適に使用される。
【００１０】本発明に使用する（２）熱硬化触媒とは、
（１）成分のシアナト基の反応を促進するために主に用
いる。この触媒としては、例えば、メチルアミン、ジメ
チルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチ
ルアミン、トリエチルアミン、テトラメチルジアミノブ
タン、ヘキサミン、尿素、アリルアミン、ジアリルアミ
ン、トリアリルアミン、イソプロピルアミン、ジイソプ
ロピルアミン、アニリン、Ｎ−エチルアニリン、キシリ
ジン、ｏ−キシレンジアミン、ｍ−キシレンジアミン、
ｐ−キシレンジアミン、４，４‘−ジアミノジフェニル
メタン、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、Ｎ，
Ｎ，Ｎ‘，Ｎ’−テトラメチルエチレンジアミン、Ｎ，
Ｎ−ジメチルベンジルアミン、１，４−ジアザビシクロ
［２，２，２］オクタン、等のアミン類が例示できる。
使用量は、０．００５〜５重量部、好ましくは、０．０
１〜３重量部である。
（１）成分のシアナト基の反応を促進するために主に用
いる。この触媒としては、例えば、メチルアミン、ジメ
チルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチ
ルアミン、トリエチルアミン、テトラメチルジアミノブ
タン、ヘキサミン、尿素、アリルアミン、ジアリルアミ
ン、トリアリルアミン、イソプロピルアミン、ジイソプ
ロピルアミン、アニリン、Ｎ−エチルアニリン、キシリ
ジン、ｏ−キシレンジアミン、ｍ−キシレンジアミン、
ｐ−キシレンジアミン、４，４‘−ジアミノジフェニル
メタン、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、Ｎ，
Ｎ，Ｎ‘，Ｎ’−テトラメチルエチレンジアミン、Ｎ，
Ｎ−ジメチルベンジルアミン、１，４−ジアザビシクロ
［２，２，２］オクタン、等のアミン類が例示できる。
使用量は、０．００５〜５重量部、好ましくは、０．０
１〜３重量部である。
【００１１】本発明に使用する（３）光酸発生剤とは、
光照射によって酸を生成する化合物である。例えば、下
記式（１）及び（２）に示すスルホン酸エステル、式
（３）に示すヨードニウム塩、式（４）に示すスルホニ
ウム塩などが例示できる。また、この光酸発生剤は、単
独でも２種以上の組み合わせでも使用できる。
光照射によって酸を生成する化合物である。例えば、下
記式（１）及び（２）に示すスルホン酸エステル、式
（３）に示すヨードニウム塩、式（４）に示すスルホニ
ウム塩などが例示できる。また、この光酸発生剤は、単
独でも２種以上の組み合わせでも使用できる。
【００１２】
【化１】 （Ｒ1は独立にＨ、炭素数１以上の脂肪族基又はＮＯ2）
【００１３】
【化２】 （Ｒ1は独立にＨ、炭素数１以上の脂肪族基又はＮＯ2） （Ｒ2は独立にＨ、あるいは炭素数１以上の脂肪族基）
【００１４】
【化３】 Ｒ−Ａｒ−Ｉ+−Ａｒ−Ｒ Ｘ- （３） （Ｒは炭素数１以上の脂肪族基） （Ａｒは炭素数６以上の芳香族基） （Ｘ-はＳｂＦ6 -又はＰＦ6 -）
【００１５】
【化４】 （Ａｒは炭素数６以上の芳香族基） （Ｘ-はＳｂＦ6 -又はＰＦ6 -）
【００１６】組成物中の（３）光酸発生剤は、多官能性
シアン酸エステル化合物または該シアン酸エステルプレ
ポリマー１００重量部に対し０．００５〜２０重量部、
好ましくは、０．０１〜１０重量部使用する。
シアン酸エステル化合物または該シアン酸エステルプレ
ポリマー１００重量部に対し０．００５〜２０重量部、
好ましくは、０．０１〜１０重量部使用する。
【００１７】上記成分を必須成分とする感光性熱硬化型
樹脂組成物には、組成物本来の特性が損なわれない範囲
で所望に応じて種々の添加剤を配合することが出来る。
これらの添加剤としては、多官能の液状あるいは固形エ
ポキシ樹脂；多官能性マレイミド類；ポリイミド類；不
飽和ポリエステル、（メタ）アクリレート等の重合性二
重結合含有モノマー類及びそのプレポリマー類；ポリブ
タジエン、エポキシ化ブタジエン、マレイン化ブタジエ
ン、ブタジエン−アクリロニトリル共重合体、ポリクロ
ロプレン、ブタジエン−スチレン共重合体、イソプレン
ゴム、フッ素ゴム等の低分子量から高分子量のゴム
類、；ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポ
リ−４−メチルペンテン、ポリスチレン、AS樹脂、ABS
樹脂、ポリエチレン−ポリプロピレン共重合体；ポリカ
ーボネート、ポリフェニレンエーテル、ポリスルフォ
ン、ポリエステル類、ポリフェニレンサルファイト等の
高分子ポリマー及びそれらの低分子プレポリマーもしく
は、オリゴマー；ポリウレタン等が例示され、適宜使用
される。
樹脂組成物には、組成物本来の特性が損なわれない範囲
で所望に応じて種々の添加剤を配合することが出来る。
これらの添加剤としては、多官能の液状あるいは固形エ
ポキシ樹脂；多官能性マレイミド類；ポリイミド類；不
飽和ポリエステル、（メタ）アクリレート等の重合性二
重結合含有モノマー類及びそのプレポリマー類；ポリブ
タジエン、エポキシ化ブタジエン、マレイン化ブタジエ
ン、ブタジエン−アクリロニトリル共重合体、ポリクロ
ロプレン、ブタジエン−スチレン共重合体、イソプレン
ゴム、フッ素ゴム等の低分子量から高分子量のゴム
類、；ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポ
リ−４−メチルペンテン、ポリスチレン、AS樹脂、ABS
樹脂、ポリエチレン−ポリプロピレン共重合体；ポリカ
ーボネート、ポリフェニレンエーテル、ポリスルフォ
ン、ポリエステル類、ポリフェニレンサルファイト等の
高分子ポリマー及びそれらの低分子プレポリマーもしく
は、オリゴマー；ポリウレタン等が例示され、適宜使用
される。
【００１８】また、その他公知の無機及び有機の充填
材、顔料、塗料、増粘剤、滑剤、消泡剤、分散剤、レベ
リング剤、カップリング剤、光増感剤、難燃剤、光沢
剤、重合禁止剤、などの各種添加剤が、所望に応じて適
宜組み合わせて用いることが出来る。本発明の感光性熱
硬化型樹脂組成物は、液状の無溶剤、溶剤に溶解させた
溶液、あるいは懸濁状態で分散させた溶液など何れの状
態でも使用できる。溶剤は、一般に公知な有機溶媒が使
用できる。
材、顔料、塗料、増粘剤、滑剤、消泡剤、分散剤、レベ
リング剤、カップリング剤、光増感剤、難燃剤、光沢
剤、重合禁止剤、などの各種添加剤が、所望に応じて適
宜組み合わせて用いることが出来る。本発明の感光性熱
硬化型樹脂組成物は、液状の無溶剤、溶剤に溶解させた
溶液、あるいは懸濁状態で分散させた溶液など何れの状
態でも使用できる。溶剤は、一般に公知な有機溶媒が使
用できる。
【００１９】本発明の樹脂組成物を基板等の上に塗布す
る方法としては、ロールコーター法、スクリーン印刷
法、スピンコーター法、バーコーター法、スプレーコー
ター法等一般に公知な方法を用いることが出来る。
る方法としては、ロールコーター法、スクリーン印刷
法、スピンコーター法、バーコーター法、スプレーコー
ター法等一般に公知な方法を用いることが出来る。
【００２０】塗布後、溶液として塗布した場合には 加
熱乾燥して溶剤を除去する。乾燥には、熱風乾燥炉等の
一般の装置が使用できる。温度は、６０〜２００℃、好
ましくは８０℃〜１８０℃である。時間は、熱硬化触媒
量によっても異なるが一般には、１分〜２時間、好まし
くは、５〜６０分である。
熱乾燥して溶剤を除去する。乾燥には、熱風乾燥炉等の
一般の装置が使用できる。温度は、６０〜２００℃、好
ましくは８０℃〜１８０℃である。時間は、熱硬化触媒
量によっても異なるが一般には、１分〜２時間、好まし
くは、５〜６０分である。
【００２１】本発明の樹脂組成物は、活性エネルギー光
線をあてた部分は、熱硬化触媒が失活し、その後、熱を
加えても硬化の速度が非常に低下する。本発明の樹脂組
成物は、光線露光部と非露光部との熱を加えた際の硬化
速度の差を利用して 容易にレリーフパターンを形成す
ることが出来る。本発明の樹脂組成物は、ガラス転位点
を低下させる構造をポリマー主鎖へ導入したり、熱硬化
時にポリマー主鎖中からの置換基の脱離を必要としない
ため、本来、多官能性シアン酸エステルまたは該シアン
酸エステルプレポリマーから得られる熱硬化性樹脂の優
れた耐熱性や電気特性を保持することが容易であり、且
つ、硬化後の寸法変化も少ない。ここで用いる活性エネ
ルギーの光源は、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀
灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドラ
ンプ等が上げられる。露光量は、硬化触媒量、光塩基発
生剤の添加量によっても異なるが、１００〜５０００ｍ
Ｊ／ｃｍ2好ましくは、２００〜２０００ｍＪ／ｃｍ2で
ある。
線をあてた部分は、熱硬化触媒が失活し、その後、熱を
加えても硬化の速度が非常に低下する。本発明の樹脂組
成物は、光線露光部と非露光部との熱を加えた際の硬化
速度の差を利用して 容易にレリーフパターンを形成す
ることが出来る。本発明の樹脂組成物は、ガラス転位点
を低下させる構造をポリマー主鎖へ導入したり、熱硬化
時にポリマー主鎖中からの置換基の脱離を必要としない
ため、本来、多官能性シアン酸エステルまたは該シアン
酸エステルプレポリマーから得られる熱硬化性樹脂の優
れた耐熱性や電気特性を保持することが容易であり、且
つ、硬化後の寸法変化も少ない。ここで用いる活性エネ
ルギーの光源は、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀
灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドラ
ンプ等が上げられる。露光量は、硬化触媒量、光塩基発
生剤の添加量によっても異なるが、１００〜５０００ｍ
Ｊ／ｃｍ2好ましくは、２００〜２０００ｍＪ／ｃｍ2で
ある。
【００２２】本発明の樹脂組成物は、露光部を一般の有
機溶剤、例えば、メチルエチルケトン等のケトン系有機
溶媒やジメチルフォルムアミド、N-メチルピロリドンな
どの極性有機溶剤を用いて取り除くことが出来る。使用
する有機溶剤は、使用条件によって２種以上のものを混
合して使用しても構わない。
機溶剤、例えば、メチルエチルケトン等のケトン系有機
溶媒やジメチルフォルムアミド、N-メチルピロリドンな
どの極性有機溶剤を用いて取り除くことが出来る。使用
する有機溶剤は、使用条件によって２種以上のものを混
合して使用しても構わない。
【００２３】以下、実施例により本発明を詳細に説明す
るが、本発明はこれらの例によって限定されるものでは
ない。 実施例１〜３及び比較例１〜２ 下記に記載した成分を適宜、表１に記載のように配合
し、本発明の感光性樹脂組成物、及び比較のための樹脂
組成物を調整した。なお、「部」は特に断らない限り重
量部をあらわす。
るが、本発明はこれらの例によって限定されるものでは
ない。 実施例１〜３及び比較例１〜２ 下記に記載した成分を適宜、表１に記載のように配合
し、本発明の感光性樹脂組成物、及び比較のための樹脂
組成物を調整した。なお、「部」は特に断らない限り重
量部をあらわす。
【００２４】成分（ａ）：多官能性シアン酸エステルプ
レポリマーの合成 合成例１ ２，２−ビス（４−シアナトフェニル）プロパン １０
０ｇを １５０℃で溶融させ、攪拌しながら６時間反応
させ、固形のプレポリマー（成分ａ−１）を得た。これ
を酢酸エチルに溶解させ溶液とした。 合成例２ １，４−ジシアナトベンゼン １００ｇを １４０℃で溶
融させ、攪拌しながら２時間反応させ、粘稠なプレポリ
マー（成分ａ−２）を得た。
レポリマーの合成 合成例１ ２，２−ビス（４−シアナトフェニル）プロパン １０
０ｇを １５０℃で溶融させ、攪拌しながら６時間反応
させ、固形のプレポリマー（成分ａ−１）を得た。これ
を酢酸エチルに溶解させ溶液とした。 合成例２ １，４−ジシアナトベンゼン １００ｇを １４０℃で溶
融させ、攪拌しながら２時間反応させ、粘稠なプレポリ
マー（成分ａ−２）を得た。
【００２５】・成分（ｂ）：光酸発生剤 ４−ニトロベンジル−９，１０−ジメトキシアントラセ
ン−２−スルフォネート（成分ｂ−１）、及び４，４−
ビス［ジ（βヒドロキシエトキシ）フェニルスルフォニ
オ］フェニルスルフィド−ビス−ヘキサフルオロアンチ
モネート（成分ｂ−２）を使用した。 ・成分（ｃ）：熱硬化触媒 アニリン（成分ｃ−１）及び１，４−ジアザビシクロ
［２，２，２］オクタン（成分ｃ−２）を使用した。ま
た、上記以外の添加成分として、エポキシ樹脂として、
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂（商品名：ＥＳＣ
Ｎ−２２０Ｆ、住友化学工業（株）製）（成分ｄ−１）
を使用した。
ン−２−スルフォネート（成分ｂ−１）、及び４，４−
ビス［ジ（βヒドロキシエトキシ）フェニルスルフォニ
オ］フェニルスルフィド−ビス−ヘキサフルオロアンチ
モネート（成分ｂ−２）を使用した。 ・成分（ｃ）：熱硬化触媒 アニリン（成分ｃ−１）及び１，４−ジアザビシクロ
［２，２，２］オクタン（成分ｃ−２）を使用した。ま
た、上記以外の添加成分として、エポキシ樹脂として、
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂（商品名：ＥＳＣ
Ｎ−２２０Ｆ、住友化学工業（株）製）（成分ｄ−１）
を使用した。
【００２６】
【表１】
【００２７】得られた樹脂組成物を用いて、ライン／ス
ペース＝７０μｍ／７０μｍの櫛形パターン、銅張積層
板、積層板の上に塗布し製膜、８０℃で１０分間乾燥
後、この膜にパターンマスクフィルムを密着させ、５０
０Ｗの超高圧水銀灯の光を５００ｍＪ／ｃｍ2だけ照射
した。その後、１６０℃で５分間熱硬化後、メチルエチ
ルケトンとＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミドとの７：３
（重量比）の混合溶媒で現像し、さらに１６０℃で３０
分間熱硬化した。
ペース＝７０μｍ／７０μｍの櫛形パターン、銅張積層
板、積層板の上に塗布し製膜、８０℃で１０分間乾燥
後、この膜にパターンマスクフィルムを密着させ、５０
０Ｗの超高圧水銀灯の光を５００ｍＪ／ｃｍ2だけ照射
した。その後、１６０℃で５分間熱硬化後、メチルエチ
ルケトンとＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミドとの７：３
（重量比）の混合溶媒で現像し、さらに１６０℃で３０
分間熱硬化した。
【００２８】上記操作により、実施例１〜３では、非露
光部が硬化したポジ形の凹凸パターンが得られた。ま
た、パターンマスクファイルの代わりにイーストマン・
コダック社製のステップタブレット２Ａを密着させ、超
高圧水銀灯（５００Ｗ）の光を５００ｍＪ／ｃｍ2照射
した後、上記と同様に現像を行ったところ、実施例１で
はステップタブレット感度１４段、実施例２及び３では
ステップタブレット感度１３段まで鮮明な画像が得られ
た。
光部が硬化したポジ形の凹凸パターンが得られた。ま
た、パターンマスクファイルの代わりにイーストマン・
コダック社製のステップタブレット２Ａを密着させ、超
高圧水銀灯（５００Ｗ）の光を５００ｍＪ／ｃｍ2照射
した後、上記と同様に現像を行ったところ、実施例１で
はステップタブレット感度１４段、実施例２及び３では
ステップタブレット感度１３段まで鮮明な画像が得られ
た。
【００２９】さらに、得られた塗膜の特性を以下の方法
により評価した。 鉛筆硬度：ＪＩＳ Ｋ５４００ に準じて評価を行っ
た。 密着性：ＪＩＳ Ｋ５４００ に準じて、試験片に１ｍ
ｍのゴバン目を１００個作成し、セロテープで引き剥が
し試験を行い、剥離状態を観察した。 耐熱性：２６０℃の半田槽に３０秒間浸漬後、塗膜の異
常の有無を目視観察した。 ガラス転移温度：塗膜を重ね塗りして厚さ０．５ｍｍの
板を作成し、ＤＳＣにて測定した。 絶縁抵抗：吸湿及びプレッシャークッカー処理後の電気
絶縁性の測定。 前述の櫛形パターンに塗布した試験片を用い、８５℃・
８５％ＲＨで５００時間処理後に２５℃・60％ＲＨ雰囲
気下に１０分放置後（吸湿後）、１２１℃・２ａｔｍ．
で２００時間処理後に２５℃・６０％ＲＨ雰囲気下に９
０分放置後（ＰＣＴ後）、及び８５℃・８５％ＲＨの雰
囲気下で１００Ｖ印加し、２００時間経過後（ＭＣＴ
後）の絶縁抵抗の値を測定した。
により評価した。 鉛筆硬度：ＪＩＳ Ｋ５４００ に準じて評価を行っ
た。 密着性：ＪＩＳ Ｋ５４００ に準じて、試験片に１ｍ
ｍのゴバン目を１００個作成し、セロテープで引き剥が
し試験を行い、剥離状態を観察した。 耐熱性：２６０℃の半田槽に３０秒間浸漬後、塗膜の異
常の有無を目視観察した。 ガラス転移温度：塗膜を重ね塗りして厚さ０．５ｍｍの
板を作成し、ＤＳＣにて測定した。 絶縁抵抗：吸湿及びプレッシャークッカー処理後の電気
絶縁性の測定。 前述の櫛形パターンに塗布した試験片を用い、８５℃・
８５％ＲＨで５００時間処理後に２５℃・60％ＲＨ雰囲
気下に１０分放置後（吸湿後）、１２１℃・２ａｔｍ．
で２００時間処理後に２５℃・６０％ＲＨ雰囲気下に９
０分放置後（ＰＣＴ後）、及び８５℃・８５％ＲＨの雰
囲気下で１００Ｖ印加し、２００時間経過後（ＭＣＴ
後）の絶縁抵抗の値を測定した。
【００３０】
【表２】
【００３１】
【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物は、紫外線に
より高感度で高解像度なパターン形成が可能であり、か
つ、得られた塗膜は、耐熱性、密着性、耐マイグレーシ
ョン性、吸湿及び耐プレッシャークッカー処理後の電気
絶縁性に優れており、層間絶縁膜あるいは永久保護皮膜
等として使用するのに適している。
より高感度で高解像度なパターン形成が可能であり、か
つ、得られた塗膜は、耐熱性、密着性、耐マイグレーシ
ョン性、吸湿及び耐プレッシャークッカー処理後の電気
絶縁性に優れており、層間絶縁膜あるいは永久保護皮膜
等として使用するのに適している。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池田 響 茨城県つくば市和台22番地 三菱瓦斯化学 株式会社総合研究所内 Ｆターム(参考） 2H025 AA06 AA10 AA20 AB15 AB17 AC01 AD01 BD06 BD10 BD29 BE00 CC20 4J002 CM021 GQ01 GQ05
Claims (1)
- 【請求項１】（１）多官能性シアン酸エステル化合物ま
たは該シアン酸エステルプレポリマー１００重量部に対
し（２）熱硬化触媒０．００５〜５重量部及び（３）光
酸発生剤０．００５〜２０重量部を必須成分として添加
してなる感光性熱硬化性型樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000015163A JP2001207057A (ja) | 2000-01-25 | 2000-01-25 | 感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000015163A JP2001207057A (ja) | 2000-01-25 | 2000-01-25 | 感光性樹脂組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001207057A true JP2001207057A (ja) | 2001-07-31 |
Family
ID=18542499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000015163A Pending JP2001207057A (ja) | 2000-01-25 | 2000-01-25 | 感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001207057A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10338471B2 (en) * | 2014-08-08 | 2019-07-02 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Composition for forming underlayer film for lithography, underlayer film for lithography and pattern forming method |
-
2000
- 2000-01-25 JP JP2000015163A patent/JP2001207057A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10338471B2 (en) * | 2014-08-08 | 2019-07-02 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Composition for forming underlayer film for lithography, underlayer film for lithography and pattern forming method |
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