JP2001205472A - Laser beam machining device - Google Patents

Laser beam machining device

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JP2001205472A
JP2001205472A JP2000013472A JP2000013472A JP2001205472A JP 2001205472 A JP2001205472 A JP 2001205472A JP 2000013472 A JP2000013472 A JP 2000013472A JP 2000013472 A JP2000013472 A JP 2000013472A JP 2001205472 A JP2001205472 A JP 2001205472A
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JP
Japan
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nozzle
gas
blow
cleaning
spatter
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Application number
JP2000013472A
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Japanese (ja)
Inventor
Yuichi Morita
勇一 森田
Yasunori Chabata
泰範 茶畑
Yasuhiro Tenma
泰宏 天満
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Nippei Toyama Corp
Original Assignee
Nippei Toyama Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser beam machining device where a nozzle cleaning work is performed without stopping a laser machining to decrease the whole machining time and the re-sticking of a spatter or the like is prevented by sufficiently suppressing the splash of the spatter or the like. SOLUTION: A cleaning nozzle 31 which ejects a cleaning gas directed to the surrounding zone of a nozzle 13 which radiates a laser beam is provided. And a blow nozzle 21 which ejects a blow gas directed to the machining zone 42 of a work 41 which is machined by the laser beam is provided. Further, a spray nozzle 35 which generates an air curtain directed downwards at the opposite side of the blow nozzle 21 with respect to the nozzle 13 is provided, and spatters P which are generated at the machining part 42 and blew off by the blow nozzle 21 are forcedly dropped roughly right downwards.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ溶接やレー
ザ切断などのレーザ光によって被加工物に加工を行うレ
ーザ加工装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser processing apparatus for processing a workpiece by laser light such as laser welding or laser cutting.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザ加工装置を稼動すると、レーザ光
によって溶融したスパッタや粉塵などが加工部周囲に飛
散して、レーザ光を照射する加工ヘッドの先端に設けら
れたノズルの外周に付着する。このため、長時間稼動等
によりこの付着物が多くなると、ノズルの孔の径が小さ
くなり、これによりレーザ光が遮られて所望の加工がで
きない場合があった。また、ノズルに静電容量式のギャ
ップセンサを用いた場合には、ノズル先端と被加工物と
の距離を検出するギャップの値が、その付着したスパッ
タである金属粉によって実際の値より小さく検出される
ことになる。そのため加工ヘッドと被加工物とのギャッ
プが、このギャップセンサで正確に測定できなくなって
いた。従って、レーザ光と被加工面との距離が一定に保
たれないため、レーザ光の焦点位置が変化してしまい、
加工精度の低下を招いていた。
2. Description of the Related Art When a laser processing apparatus is operated, sputter or dust melted by a laser beam scatters around a processing section and adheres to an outer periphery of a nozzle provided at a tip of a processing head for irradiating the laser beam. For this reason, when the amount of the deposit increases due to long-time operation or the like, the diameter of the hole of the nozzle becomes small, so that the laser beam may be blocked and desired processing may not be performed. When a capacitance type gap sensor is used for the nozzle, the value of the gap for detecting the distance between the nozzle tip and the workpiece is smaller than the actual value due to the sputtered metal powder. Will be done. Therefore, the gap between the processing head and the workpiece cannot be accurately measured by the gap sensor. Therefore, since the distance between the laser light and the surface to be processed is not kept constant, the focal position of the laser light changes,
This has led to a reduction in processing accuracy.

【0003】そこで、従来は、ノズルに付着したスパッ
タをブラシ等を用いて取り除く、いわゆるノズルのクリ
ーニングを行わなければならなかった。このノズルのク
リーニングの際には、一旦レーザ加工作業を中止しなけ
ればならず、レーザ加工装置の加工時間が長くなってい
た。特に、ピアッシングを行ったときには、レーザ光の
照射部にスパッタが発生するため、ノズルに付着する量
が多くなる。
Therefore, conventionally, it has been necessary to clean the nozzle, that is, remove the spatter attached to the nozzle using a brush or the like. At the time of cleaning the nozzle, the laser processing operation must be temporarily stopped, and the processing time of the laser processing apparatus has been long. In particular, when piercing is performed, spatter is generated in the laser beam irradiation part, and thus the amount of the piercing adheres to the nozzle.

【0004】また、レーザ加工時には、一般にノズルか
ら噴出するアシストガスの勢いにより、溶融したスパッ
タ等が周囲に例えば0.3〜0.5mの範囲で飛び散っ
ていた。また、短時間でピアッシングを行うための手段
として、ノズルの周囲に設けて加工部から発生するスパ
ッタを吹き飛ばすブローガスを噴出するためのブローノ
ズルを設けた場合には、スパッタが例えば2〜3mとか
なりの広い範囲にわたって飛び散っていた。これにより
レーザ加工装置の周囲が汚れるため、従来は、レーザ加
工装置のテーブルの側部に鉄板などの壁が垂設されるこ
ともあった。しかし、これはテーブル外にスパッタ等が
飛び散らないものの、スパッタ等を壁に当てて跳ね返ら
せて、その飛散の方向を変えているだけであり、跳ね返
ったスパッタが、被加工物やレーザ加工装置に付着して
しまうといった可能性が高かった。
[0004] In addition, during laser processing, in general, molten spatter or the like is scattered around in a range of 0.3 to 0.5 m due to the force of an assist gas ejected from a nozzle. Also, when a blow nozzle is provided around the nozzle to blow out the sputter generated from the processing portion as a means for performing the piercing in a short time, the spatter is considerably large, for example, 2 to 3 m. Was splattered over a wide area. As a result, the periphery of the laser processing device becomes dirty, and in the past, a wall such as an iron plate was sometimes vertically provided on a side portion of a table of the laser processing device. However, although this does not cause the spatters to scatter outside the table, it only bounces the spatters against the wall and changes the direction of the spatters. There was a high possibility that it would adhere to the surface.

【0005】また、飛散するスパッタが高温のため、壁
として高温に絶え得る鉄板などが使用されていたが、こ
れは重く可動も容易でないため、段取り作業が行いにく
いという問題も生じていた。なお、この鉄板でなる壁を
設けた場合には、表面が傾いたりうねっていたりする被
加工物にも対応する場合には、垂設された壁と被加工物
との間には隙間を設ける必要があり、この隙間からのス
パッタ等の飛散を防止するには、その部分に重ねて壁を
設けるなどの何らかの手段を講じなければならなかっ
た。
[0005] In addition, since the spatters to be scattered are high in temperature, an iron plate or the like that can be kept at a high temperature is used as a wall. However, since it is heavy and not easily movable, there has been a problem that the setup work is difficult to perform. In addition, in the case where the wall made of the iron plate is provided, a gap is provided between the suspended wall and the workpiece in a case where the workpiece corresponds to a workpiece whose surface is inclined or undulating. In order to prevent scattering of spatter and the like from the gap, some means such as providing a wall on the portion has to be taken.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、こ
のような従来技術に存在する課題に着目してなされたも
のである。従って、その目的とするところは、レーザ加
工装置の加工時間を短くするために、レーザ加工を途中
で停止することなくノズルのクリーニングができるレー
ザ加工装置を提供することにある。また、レーザ加工時
に周囲に飛び散る溶融したスパッタの飛散を抑えるよう
にしたレーザ加工装置をも提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made in view of such problems existing in the prior art. Therefore, an object of the present invention is to provide a laser processing apparatus capable of cleaning a nozzle without stopping laser processing in the middle to shorten the processing time of the laser processing apparatus. It is another object of the present invention to provide a laser processing apparatus that suppresses the scattering of molten spatter that scatters around during laser processing.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項1に記載の発明は、被加工物の加工部に向
けてレーザ光を照射するノズルと、そのノズルからアシ
ストガスを噴出するアシストガス噴出手段とを有したレ
ーザ加工装置において、前記ノズルの周囲に向けてノズ
ルを清掃するためのクリーニングガスを噴出するクリー
ニング手段を設けたものである。従って、ノズルに向け
て噴出するクリーニングガスによってノズルのクリーニ
ングを行うので、レーザ加工中にノズルのクリーニング
を行うことができる。そのため、ノズルをクリーニング
するためにレーザ加工を停止せずともよいので、全体の
加工時間を短くすることができる。
In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 is directed to a nozzle for irradiating a laser beam to a processing portion of a workpiece, and an assist gas from the nozzle. In a laser processing apparatus having an assist gas ejecting means for ejecting, a cleaning means for ejecting a cleaning gas for cleaning the nozzle toward the periphery of the nozzle is provided. Therefore, the nozzle is cleaned by the cleaning gas ejected toward the nozzle, so that the nozzle can be cleaned during laser processing. Therefore, the laser processing does not have to be stopped to clean the nozzles, so that the entire processing time can be shortened.

【0008】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
のレーザ加工装置において、前記クリーニング手段は、
加工開始のピアッシングと同期して前記クリーニングガ
スを噴出するものである。従って、ドロスが多量に発生
するピアッシングに同期してクリーニングが行われるた
め、有効にクリーニングすることができる。
According to a second aspect of the present invention, in the laser processing apparatus according to the first aspect, the cleaning means comprises:
The cleaning gas is ejected in synchronization with the piercing at the start of processing. Therefore, the cleaning is performed in synchronization with the piercing in which a large amount of dross is generated, so that the cleaning can be performed effectively.

【0009】請求項3に記載の発明は、請求項1又は請
求項2に記載のレーザ加工装置において、前記被加工物
の加工部に向けて、加工部から発生するスパッタを吹き
飛ばすブローガスを噴出するブローガス噴出手段を前記
ノズルの周囲に設けたものである。従って、ピアッシン
グ時に被加工物の加工部に向かってブローガスを噴出す
るようにしたので、加工部のドロスが除去される。この
ため、ドロスによりレーザ加工が阻害されることはほと
んどなく、そのピアッシングを速く行うことができ、そ
の加工時間を大幅に短縮することができる。
According to a third aspect of the present invention, in the laser processing apparatus according to the first or second aspect, a blow gas for blowing off sputter generated from the processing portion is jetted toward the processing portion of the workpiece. The blow gas blowing means is provided around the nozzle. Therefore, since the blow gas is blown toward the processing portion of the workpiece during piercing, dross in the processing portion is removed. Therefore, laser processing is hardly hindered by dross, the piercing can be performed quickly, and the processing time can be greatly reduced.

【0010】請求項4に記載の発明は、被加工物の加工
部に向けてレーザ光を照射するノズルと、そのノズルか
らアシストガスを噴出するアシストガス噴出手段とを有
したレーザ加工装置において、加工部から発生するスパ
ッタを吹き飛ばすブローガスを噴出するためのブローガ
ス噴出手段と、前記ノズルへのスパッタの付着を防止す
るためのクリーニングガスを噴出するためのクリーニン
グガス噴出手段と、ピアッシング時に発生して飛散する
スパッタを下方に落とすスパッタ飛散防止手段とを設け
たものである。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a laser processing apparatus having a nozzle for irradiating a laser beam toward a processing portion of a workpiece, and an assist gas jetting means for jetting an assist gas from the nozzle. Blow gas blowing means for blowing a blow gas for blowing off spatter generated from the processing portion, cleaning gas blowing means for blowing a cleaning gas for preventing spatter from adhering to the nozzle, and scattering generated and generated at the time of piercing And a spatter scattering prevention means for dropping spatter to be generated downward.

【0011】従って、クリーニングガスによりレーザ加
工を停止することなくノズルのクリーニングを行うこと
ができるので、全体の加工時間を短くできるとともに、
加工部にブローガスを噴出することによりレーザ加工を
効率よく行うことができるので、高速でレーザ加工を行
うことができる。加えて、加工時に発生して飛散するス
パッタを下方に落とすようにしたので、スパッタの飛散
をほとんど確実に防止でき、被加工物及びノズルへのス
パッタの付着を防止することができる。
Therefore, since the nozzle can be cleaned without stopping the laser processing by the cleaning gas, the total processing time can be shortened, and
Laser processing can be performed efficiently by ejecting blow gas to the processing section, so that laser processing can be performed at high speed. In addition, since the spatter generated and scattered during the processing is dropped downward, the spatter can be almost certainly prevented from scattering, and the spatter can be prevented from adhering to the workpiece and the nozzle.

【0012】請求項5に記載の発明は、被加工物の加工
部に向けてレーザ光を照射するノズルと、アシストガス
を噴出するためのアシストガス噴出手段とを有したレー
ザ加工装置において、加工部から発生するスパッタを加
工部から吹き飛ばすブローガスを噴出するブローガス噴
出手段と、加工時に発生して飛散するスパッタを下方に
落とすスパッタ飛散防止手段とを設けたものである。従
って、加工時に発生して飛散するスパッタを下方に落と
すようにしたので、ブローノズルによって吹き飛ばされ
たスパッタが、レーザ加工装置の周囲に飛び散ることが
ほとんどなく、レーザ加工装置の周囲を汚すことがほと
んどない。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a laser processing apparatus having a nozzle for irradiating a laser beam toward a processing portion of a workpiece and an assist gas jetting means for jetting an assist gas. A blow gas blowing means for blowing a blow gas that blows spatter generated from the part from the processing part, and a spatter scattering prevention means for lowering the spatter generated and scattered at the time of processing are provided. Therefore, the spatter generated and scattered during processing is dropped downward, so that the sputter blown off by the blow nozzle hardly scatters around the laser processing apparatus, and almost does not stain the circumference of the laser processing apparatus. Absent.

【0013】請求項6に記載の発明は、請求項4又は請
求項5に記載のレーザ加工装置において、前記スパッタ
飛散防止手段は、下方に向けてガスを吹付けてカーテン
状となすガス発生装置としたものである。従って、請求
項5の発明の効果を、簡単な構成で行えるとともに、従
来と異なり壁を設ける必要がないので、段取り作業等を
容易に行うことができる。
According to a sixth aspect of the present invention, in the laser processing apparatus according to the fourth or fifth aspect, the spatter scattering prevention means blows gas downward to form a curtain. It is what it was. Therefore, the effect of the invention of claim 5 can be achieved with a simple configuration, and since there is no need to provide a wall unlike the related art, setup work and the like can be easily performed.

【0014】請求項7に記載の発明は、請求項4又は請
求項5に記載のレーザ加工装置において、前記スパッタ
飛散防止手段は、多数の金属棒で構成される簾状部材又
は網状部材でなるようにしたものである。従って、被加
工物の表面が傾斜していたりうねっていた場合であって
も、従来と異なりレーザ加工装置と被加工物との間に隙
間を設ける必要がない。そのため、より有効にスパッタ
の飛散を防止することができる。また、その構造も簡単
であるる。
According to a seventh aspect of the present invention, in the laser processing apparatus according to the fourth or fifth aspect, the spatter scattering prevention means is a mat-like member or a net-like member composed of a number of metal rods. It is like that. Therefore, even if the surface of the workpiece is inclined or undulating, there is no need to provide a gap between the laser processing apparatus and the workpiece, unlike the related art. Therefore, scattering of spatter can be more effectively prevented. The structure is also simple.

【0015】請求項8に記載の発明は、請求項4ないし
請求項7の何れかに記載のレーザ加工装置において、前
記スパッタ飛散防止手段が、前記ブローガス噴出手段の
ブローガスの噴出方向に対向するように設けられている
ものである。従って、スパッタがブローノズルによって
飛ばされる方向に、すなわちスパッタが多量に飛散する
方向に落下手段を設けるようにしたので、有効にスパッ
タの飛散を防止することができる。
According to an eighth aspect of the present invention, in the laser processing apparatus according to any one of the fourth to seventh aspects, the spatter scattering prevention means is opposed to the blow gas blowing direction of the blow gas blowing means. It is provided in. Therefore, the drop means is provided in the direction in which the sputter is blown off by the blow nozzle, that is, in the direction in which a large amount of spatter is scattered, so that the spatter can be effectively prevented from being scattered.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】(第1の実施の形態)以下に、こ
の発明の第1の実施形態を、レーザ加工装置でレーザ切
断をする場合を例にして、図1に基づいて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS (First Embodiment) A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. 1, taking as an example a case where laser cutting is performed by a laser processing apparatus.

【0017】図1に示すように、レーザ加工装置の加工
ヘッド10において、レンズ11を有するホルダ12の
下端にはノズル13が固定されており、その下端にはノ
ズル口14が形成されている。そして、レーザ発振器1
5から出力されたレーザ光がレンズ11を通ってノズル
口14から被加工物41に対して照射される。ホルダ1
2の内側には、可変オリフィス18及び切換バルブ17
を介してアシストガス供給源16が接続されている。こ
の切換バルブ17の開放時に、アシストガス供給源16
からホルダ12内に被加工物41を酸化溶融させるため
の酸素よりなるアシストガスが供給され、ノズル13の
ノズル口14から被加工物41の加工部42に向かって
噴出される。
As shown in FIG. 1, in a processing head 10 of a laser processing apparatus, a nozzle 13 is fixed to a lower end of a holder 12 having a lens 11, and a nozzle opening 14 is formed at the lower end. And the laser oscillator 1
The laser light output from 5 passes through the lens 11 and is irradiated on the workpiece 41 from the nozzle port 14. Holder 1
2, a variable orifice 18 and a switching valve 17
Is connected to the assist gas supply source 16. When the switching valve 17 is opened, the assist gas supply source 16
An assist gas made of oxygen for oxidizing and melting the workpiece 41 is supplied into the holder 12 from the nozzle 12, and is ejected from the nozzle port 14 of the nozzle 13 toward the processing portion 42 of the workpiece 41.

【0018】上述のノズル13の一側方には、ブローガ
ス噴出手段であるブローノズル21が配置され、その下
端にはノズル口22が形成されている。ブローノズル2
1にはガス切換バルブ23及び可変オリフィス25を介
して窒素ガス供給源24が接続されている。このガス切
換バルブ23の開放時に、窒素ガス供給源24から窒素
ガスがブローノズル21に供給され、ノズル口22から
被加工物41の加工部42に向けて噴出される。本実施
の形態では、このガスは窒素ガスであり、溶融物として
のドロスを吹き飛ばすためのものである。
On one side of the above-mentioned nozzle 13, a blow nozzle 21 serving as a blow gas blowing means is disposed, and a nozzle port 22 is formed at a lower end thereof. Blow nozzle 2
1 is connected to a nitrogen gas supply source 24 via a gas switching valve 23 and a variable orifice 25. When the gas switching valve 23 is opened, nitrogen gas is supplied from the nitrogen gas supply source 24 to the blow nozzle 21 and is ejected from the nozzle port 22 toward the processing portion 42 of the workpiece 41. In the present embodiment, this gas is nitrogen gas, which is for blowing off dross as a melt.

【0019】上述のノズル13の他側方には、クリーニ
ングガス噴出手段であるクリーニングノズル31がホル
ダ12に固定され、その下端にはノズル口32が形成さ
れている。クリーニングノズル31の内側には、可変オ
リフィス34及び上述のガス切換バルブ23を介して窒
素ガス供給源24が接続されている。クリーニングノズ
ル31は、ブローノズル21と同期して、窒素ガス供給
源24から窒素ガスよりなるガスが供給され、ノズル口
32からノズル13の先端の外周に向かって噴出され
る。このガスは、クリーニングガスであり、ノズル13
の先端に付着したスパッタや粉塵などを吹き飛ばすため
のものである。
On the other side of the above-mentioned nozzle 13, a cleaning nozzle 31 as a cleaning gas jetting means is fixed to the holder 12, and a nozzle port 32 is formed at the lower end thereof. A nitrogen gas supply source 24 is connected to the inside of the cleaning nozzle 31 via a variable orifice 34 and the above-described gas switching valve 23. The cleaning nozzle 31 is supplied with a gas composed of nitrogen gas from the nitrogen gas supply source 24 in synchronization with the blow nozzle 21, and is ejected from the nozzle port 32 toward the outer periphery of the tip of the nozzle 13. This gas is a cleaning gas and the nozzle 13
This is for blowing off spatter, dust and the like adhering to the tip of the device.

【0020】ブローノズル21のノズル口22の延長上
で、加工ヘッド10から所定量離れた場所に、ガス発生
装置であるスプレーノズル35が設けられている。この
スプレーノズル35は、可変オリフィス37及び上述の
ガス切換バルブ23を介して窒素ガス供給源24に接続
されている。従って、スプレーノズル35のノズル口か
ら、上記のブローガス及びクリーニングガスと同じ窒素
ガスが、多孔から下方に向けてカーテン状に噴出され、
上から下へのガス噴出流が形成されている。
A spray nozzle 35, which is a gas generator, is provided at a position separated from the processing head 10 by a predetermined distance on the extension of the nozzle port 22 of the blow nozzle 21. The spray nozzle 35 is connected to the nitrogen gas supply source 24 via the variable orifice 37 and the above-described gas switching valve 23. Therefore, the same nitrogen gas as the blow gas and the cleaning gas is jetted downward from the nozzle hole of the spray nozzle 35 in a curtain shape,
A gas jet is formed from top to bottom.

【0021】次に、被加工物41に対してピアッシング
加工を行う場合の作用について説明する。図示しない制
御部から開始指令が発生されると、加工プログラムに従
って、加工ヘッド10が加工部42と対応する位置に移
動される。そして、アシストガス供給源16からアシス
トガスが、ノズル13のノズル口14を介して被加工物
41の加工部42に対して噴出される。次に、加工部が
アシストガス(酸素)が充満されたところで、レーザ光
が被加工物41の加工部42に対して照射され、ピアッ
シングが開始される。
Next, the operation when piercing is performed on the workpiece 41 will be described. When a start command is issued from a control unit (not shown), the processing head 10 is moved to a position corresponding to the processing unit 42 according to a processing program. Then, an assist gas is spouted from the assist gas supply source 16 to the processing portion 42 of the workpiece 41 via the nozzle port 14 of the nozzle 13. Next, when the processing portion is filled with the assist gas (oxygen), a laser beam is applied to the processing portion 42 of the workpiece 41 to start piercing.

【0022】同時に、ガス切換バルブ23が作動し、窒
素ガス供給源24からブローノズル21のノズル口22
及びスプレーノズル35に、窒素ガスが供給される。こ
のブローノズル21のノズル口22から噴出されるブロ
ーガスにより、レーザ光によって形成された加工部42
の孔の溶融物としてのドロスがスパッタPとなってノズ
ル13を介したブローノズル21の反対側に吹き飛ばさ
れる。このため、加工部42内のドロスが除去され、加
工部42の新たな加工面が露出され、レーザ光及びアシ
ストガスに曝される。なお、ピアッシング時には、ガス
切換バルブ23は開閉を複数回行うため、このブローガ
スは、間欠的に複数回噴出される。また、ブローガスの
瞬間的吹き付けにより加工面が適度に冷却されるととも
に、過度な酸化が抑制され、余分なドロスの生成が抑制
される。そして、その露出された加工面に対してアシス
トガスの噴出及びレーザ光の照射が継続され、レーザ光
によるピアッシング加工が継続される。
At the same time, the gas switching valve 23 is actuated, and the nitrogen gas
And the nitrogen gas is supplied to the spray nozzle 35. The processing part 42 formed by the laser beam by the blow gas ejected from the nozzle port 22 of the blow nozzle 21
The dross as a molten material of the hole becomes the sputter P and is blown off to the opposite side of the blow nozzle 21 via the nozzle 13. Therefore, dross in the processing part 42 is removed, a new processing surface of the processing part 42 is exposed, and the processing part 42 is exposed to the laser beam and the assist gas. In addition, at the time of piercing, since the gas switching valve 23 opens and closes a plurality of times, the blow gas is ejected intermittently a plurality of times. In addition, the machined surface is appropriately cooled by the instantaneous blowing of the blow gas, and at the same time, excessive oxidation is suppressed and generation of excess dross is suppressed. Then, the ejection of the assist gas and the irradiation of the laser light are continued on the exposed processing surface, and the piercing processing by the laser light is continued.

【0023】すると、ブローノズル21の反対側へ飛ば
されていたスパッタPがノズル13の下端外周面に付着
したり、又は付着しようとする。このとき、ガス切換バ
ルブ23が開いているため、クリーニングノズル31か
らクリーニングガスがブローガスの噴出タイミングと同
期して供給される。そのため、ノズル13の外周に付着
したスパッタP又は付着しようとするスパッタPが吹き
飛ばされ、ノズル13からスパッタPが除去される。
Then, the sputter P which has been blown to the opposite side of the blow nozzle 21 adheres to or tries to adhere to the outer peripheral surface of the lower end of the nozzle 13. At this time, since the gas switching valve 23 is open, the cleaning gas is supplied from the cleaning nozzle 31 in synchronization with the blow gas ejection timing. Therefore, the sputter P attached to the outer periphery of the nozzle 13 or the sputter P to be attached is blown off, and the sputter P is removed from the nozzle 13.

【0024】アッシング加工が継続される間、スプレー
ノズル35からは、ブローガスの供給とクリーニングガ
スの供給と同期して、窒素ガス供給源24から窒素ガス
が供給されて、上から下へのカーテン状のガス噴出流が
形成されている。従って、上述のブローガスにより吹き
飛ばされたスパッタPは、図1の右方に飛散するが、こ
の方向には、このようにカーテン状のガス噴出流が形成
されているので、このガス噴出流の流れによって、スパ
ッタPが強制的にほぼ直下方に落とされる。
While the ashing process is continued, the nitrogen gas is supplied from the nitrogen gas supply source 24 from the spray nozzle 35 in synchronism with the supply of the blow gas and the supply of the cleaning gas, so that a curtain shape is formed from top to bottom. Is formed. Therefore, the sputter P blown off by the above-mentioned blow gas is scattered to the right in FIG. 1. In this direction, since a curtain-shaped gas jet is formed, the flow of the gas jet is Thereby, the sputter P is forcibly dropped almost immediately below.

【0025】なお、ピアッシング加工の終了時、すなわ
ち被加工物への孔が貫通されたときには、ドロスがアシ
ストガスにより孔を通って、下方へ吹き飛ばされる。そ
して、切断加工に移行する場合は、加工ヘッド10は上
述の一定の間隔を維持した状態で、横方向へ移動する。
ただし、この場合は、ドロスが切断加工された溝から下
方へ飛散されるため、ノズル口22からのブローガスの
噴出と、ノズル口32からのクリーニングガスの噴出
と、スプレーノズル35からのガスの噴出は行われな
い。
At the end of the piercing process, that is, when the hole in the workpiece is pierced, the dross is blown downward through the hole by the assist gas. Then, when shifting to the cutting process, the processing head 10 moves in the lateral direction while maintaining the above-mentioned constant interval.
However, in this case, since the dross is scattered downward from the cut groove, the blow gas is ejected from the nozzle port 22, the cleaning gas is ejected from the nozzle port 32, and the gas is ejected from the spray nozzle 35. Is not done.

【0026】そして、ピアッシング終了後、加工が継続
される間、加工ヘッド10は、ノズル口14と被加工物
41との間の間隔が常に一定となるように下降してい
る。レーザ光の焦点が加工部42と常に一致するととも
に、アシストガス及びブローガスが、加工面に向かって
噴出させられる。
After the piercing is completed, while the machining is continued, the machining head 10 is lowered so that the interval between the nozzle port 14 and the workpiece 41 is always constant. The focus of the laser beam always coincides with the processing section 42, and the assist gas and the blow gas are ejected toward the processing surface.

【0027】次に、上述の実施形態によって期待できる
効果について、以下に記載する。 (a) 本実施の形態においては、クリーニングガスを
噴射するようにしたので、ノズル13の外周に付着した
スパッタP又は付着しようとするスパッタPをクリーニ
ングガスによって吹き飛ばして清掃することができる。
従って、ノズル13のクリーニングをするためにレーザ
加工を途中で停止する必要がなく、加工時間を短くで
き、レーザ加工装置の稼動時間を短くすることができ
る。
Next, the effects that can be expected from the above embodiment will be described below. (A) In the present embodiment, since the cleaning gas is injected, the sputter P attached to the outer periphery of the nozzle 13 or the sputter P to be attached can be blown off by the cleaning gas for cleaning.
Therefore, there is no need to stop laser processing halfway to clean the nozzle 13, so that the processing time can be shortened and the operation time of the laser processing apparatus can be shortened.

【0028】(b) 本実施の形態においては、ドロス
が多量に発生するピアッシングに同期してクリーニング
を行うようにしたので、有効にノズルのクリーニングを
行うことができる。
(B) In the present embodiment, cleaning is performed in synchronization with piercing in which a large amount of dross is generated, so that nozzle cleaning can be performed effectively.

【0029】(c) 本実施の形態においては、クリー
ニングガスを不活性ガスである窒素としたので、加工部
42の過度な酸化を抑制してピアッシングを円滑に行う
ことができる。また、このクリーニングガスとブローガ
スとを同じ窒素としたので、配管機構が複雑になること
がない。
(C) In the present embodiment, since the cleaning gas is nitrogen, which is an inert gas, excessive oxidization of the processing portion 42 can be suppressed and piercing can be performed smoothly. Further, since the same nitrogen is used for the cleaning gas and the blow gas, the piping mechanism does not become complicated.

【0030】(d) 本実施の形態においては、加工時
に被加工物41の加工部42に向かってブローガスを噴
出するようにしたので、加工部のドロスが除去される。
このため、ドロスによりレーザ加工が阻害されることは
ほとんどなく、その加工を効率的に行うことができ、そ
の加工時間を短縮することができる。特に、間欠的にブ
ローガスを吹付けるので、過度の冷却を防止でき、加工
速度を一層促進することができる。
(D) In the present embodiment, since the blow gas is blown toward the processing portion 42 of the workpiece 41 during processing, dross in the processing portion is removed.
Therefore, laser processing is hardly hindered by dross, the processing can be performed efficiently, and the processing time can be reduced. In particular, since the blow gas is intermittently blown, excessive cooling can be prevented, and the processing speed can be further increased.

【0031】(e) 本実施の形態においては、このブ
ローガスを不活性ガスである窒素としたので、加工部4
2の過度な酸化を抑制してピアッシングを円滑に行うこ
とができる。
(E) In this embodiment, since the blow gas is nitrogen which is an inert gas, the processing unit 4
Piercing can be performed smoothly by suppressing excessive oxidation of 2.

【0032】(f) 本実施の形態においては、ノズル
13を介してクリーニングノズル31の反対側にブロー
ノズル21を設けたので、ブローノズル21によって吹
き飛ばされたスパッタPや粉塵が、最もノズル13に付
着し易い部分を狙ってクリーニングガスが噴出される。
従って、より有効にノズルのクリーニングを行うことが
できる。
(F) In this embodiment, since the blow nozzle 21 is provided on the opposite side of the cleaning nozzle 31 via the nozzle 13, the sputter P and dust blown off by the blow nozzle 21 are most likely to reach the nozzle 13. A cleaning gas is jetted at a portion that is likely to adhere.
Therefore, the nozzle can be more effectively cleaned.

【0033】(g) 本実施の形態においては、スプレ
ーノズル35によりエアカーテンを形成させたので、簡
単な構成で、ブローガスにより吹き飛ばされたスパッタ
Pが強制的にほぼ直下方に落とすことができ、スパッタ
Pの飛散を防止することができる。従って、レーザ加工
装置の周囲を汚すことがほとんどない。また、壁などを
設けずにスパッタの飛散を防止したので、被加工物及び
加工物の交換などの段取り作業がし易い構成とすること
ができる。
(G) In the present embodiment, since the air curtain is formed by the spray nozzle 35, the sputter P blown off by the blow gas can be forcibly dropped almost directly below with a simple structure. Scattering of the sputter P can be prevented. Therefore, the periphery of the laser processing device is hardly stained. In addition, since scattering of spatter is prevented without providing a wall or the like, a configuration in which setup work such as replacement of a workpiece and a workpiece can be easily performed can be achieved.

【0034】(h) 本実施の形態においては、スプレ
ーノズル35を、ブローノズル21のブローガスの噴出
方向に対向するように設けたので、すなわちブローガス
により吹き飛ばされたスパッタPのほとんどが飛散して
くる位置に、エアカーテンを形成しているので、効率よ
くスパッタPの飛散を防止することができる。
(H) In the present embodiment, since the spray nozzle 35 is provided so as to face the blow direction of the blow gas from the blow nozzle 21, most of the sputter P blown off by the blow gas is scattered. Since the air curtain is formed at the position, the scattering of the spatter P can be efficiently prevented.

【0035】(i) 本実施の形態においては、ブロー
ガスとクリーニングガスとを同じ窒素とし、スプレーノ
ズル35が下方に向けて吹付けるガスもこれらと同じ窒
素としたので、1つのガス供給源だけを設ければよく、
配管機構も複雑にならないため、レーザ加工装置全体を
簡単なものとすることができる。また、ブローガスとク
リーニングガスとエアカーテンのガスとを同期させて噴
出することが容易である。なお、これらを同期させるこ
とにより、ガスの無駄な使用を防いで、効率よくスパッ
タPの飛散を防止することができる。
(I) In the present embodiment, the blow gas and the cleaning gas are the same nitrogen, and the gas blown downward by the spray nozzle 35 is also the same nitrogen. Therefore, only one gas supply source is used. You only need to provide
Since the piping mechanism is not complicated, the entire laser processing apparatus can be simplified. In addition, it is easy to synchronize and blast the blow gas, the cleaning gas, and the gas of the air curtain. By synchronizing these, it is possible to prevent wasteful use of gas and to efficiently prevent the spatter P from scattering.

【0036】(第2の実施の形態)次に、この発明の第
2実施形態を図2に基づいて説明するが、上記第1の実
施の形態と同一の部分については同一の符号を付し、そ
の説明は省略する。
(Second Embodiment) Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 2. The same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals. The description is omitted.

【0037】本実施形態においては、ノズル13の外周
にブローガスを噴出するブローノズル27が、環状を成
し加工ヘッド20の先端のノズル13と同心的に配置さ
れている。このため、ブローノズル27のノズル口28
は、被加工物41の加工部42に向けてブローガスを噴
出している。そして、ブローノズル27のノズル口28
は、ブローガス流がアシストガス流に対して斜状を成し
て、加工部42で収束するように斜め方向を向いて加工
部を指向している。
In the present embodiment, a blow nozzle 27 for ejecting blow gas to the outer periphery of the nozzle 13 forms an annular shape and is arranged concentrically with the nozzle 13 at the tip of the processing head 20. Therefore, the nozzle port 28 of the blow nozzle 27
Blows the blow gas toward the processing portion 42 of the workpiece 41. Then, the nozzle port 28 of the blow nozzle 27
Is directed obliquely to the processing portion so that the blow gas flow is inclined with respect to the assist gas flow and converges at the processing portion 42.

【0038】また、ブローノズル27の外周には、ほぼ
円形状をしたガス発生装置36が加工ヘッド20に一体
的に設けられおり、これの下面には複数の孔36aが形
成されて、加工部42の外周に下方に向かうカーテン状
のガス噴出流を発生している。なお、ブローノズル27
及びガス発生装置36には、ガス切換バルブ23及び可
変オリフィス26を介して窒素ガス供給源24が接続さ
れている。
On the outer periphery of the blow nozzle 27, a substantially circular gas generating device 36 is provided integrally with the processing head 20, and a plurality of holes 36a are formed on the lower surface of the gas generating device 36. Curtain-shaped gas jets are generated on the outer periphery of the nozzle. The blow nozzle 27
The gas generator 36 is connected to a nitrogen gas supply source 24 via a gas switching valve 23 and a variable orifice 26.

【0039】なお、本実施の形態の作用は、ドロスのク
リーニング作用がないだけで上記第1の実施の形態とほ
ぼ同様であるので、その詳細な説明は省略する。本実施
の形態では、上記第1の実施の形態の(d)、(e)の
効果に加えて、次のような効果を得ることができる。
The operation of this embodiment is substantially the same as that of the first embodiment except that there is no dross cleaning operation, and therefore, detailed description thereof is omitted. In the present embodiment, the following effects can be obtained in addition to the effects (d) and (e) of the first embodiment.

【0040】(j) 本実施の形態においては、ガス発
生装置36をブローノズル27の外周の広い範囲に設け
たので、ブローノズル27のブローガスによって吹き飛
ばされたスパッタPを強制的に直下方に落とすことがで
き、スパッタPの飛散を上記第1実施の形態よりも確実
に防止することができる。
(J) In the present embodiment, since the gas generator 36 is provided in a wide area around the blow nozzle 27, the sputter P blown off by the blow gas of the blow nozzle 27 is forcibly dropped directly below. It is possible to more reliably prevent the spatter P from scattering than in the first embodiment.

【0041】(第3の実施の形態)次に、この発明の第
3の実施の形態を図3及び図4に基づいて説明するが、
上記第1及び第2の実施の形態と同一の部分については
同一の符号を付し、その説明は省略する。
(Third Embodiment) Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 and 4.
The same parts as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0042】本実施形態においては、加工ヘッド30に
上記第1の実施の形態におけるスプレーノズル35を設
ける代わりに、ノズル13から離れた位置において緩衝
性のある複数の金属棒38aでなる簾状部材38が3重
に重ねて所定の位置から垂設されている。また、この簾
状部材38は、図4で示すように、ブローノズル21か
らのブローガスの吹付け方向に対向するとともに、ノズ
ル13を包囲する位置に配置されている。
In this embodiment, instead of providing the processing head 30 with the spray nozzle 35 of the above-described first embodiment, at a position apart from the nozzle 13, a metal member 38 made of a plurality of metal rods 38a having a cushioning property is used. Numerals 38 are three-folded and vertically suspended from a predetermined position. Further, as shown in FIG. 4, the mat-like member 38 is disposed at a position facing the blowing direction of the blow gas from the blow nozzle 21 and surrounding the nozzle 13.

【0043】そのため、図3に示すように、上記第1の
実施の形態と同様に、加工部42から発生したスパッタ
Pは、ブローガスにより、ノズル13を介したブローノ
ズル21の反対側(図3の右方)に吹き飛ばされる。本
実施の形態では、この方向に上述した簾状部材38が配
設されているので、これにより飛散したスパッタPは、
その飛散エネルギが吸収されて、強制的にほぼ直下方に
落とされる。
Therefore, as shown in FIG. 3, similarly to the first embodiment, the sputter P generated from the processing portion 42 is blown by the blow gas to the opposite side of the blow nozzle 21 through the nozzle 13 (FIG. 3). To the right). In the present embodiment, since the above-mentioned cord-like member 38 is disposed in this direction, the spatter P scattered by this is
The scattered energy is absorbed and is forcibly dropped almost immediately below.

【0044】従って、本実施の形態では、上記第1の実
施の形態の(a)〜(f)の効果に加えて、次のような
効果を得ることができる。 (k) 本実施の形態においては、飛散したスパッタP
が緩衝性のある簾状部材38に接触することにより、そ
の水平方向の運動が吸収されて、下方に落とされる。従
って、スパッタが、レーザ加工装置の周囲に飛び散った
り跳ね返ったりすることがほとんどなく、レーザ加工装
置の周囲を汚すことがほとんどない。
Therefore, in the present embodiment, the following effects can be obtained in addition to the effects (a) to (f) of the first embodiment. (K) In the present embodiment, the scattered spatter P
Comes into contact with the cushion-shaped member 38, so that its horizontal movement is absorbed and dropped downward. Therefore, the spatter hardly scatters or bounces around the laser processing device, and hardly stains the periphery of the laser processing device.

【0045】(l) 本実施の形態においては、スパッ
タの熱に耐え、かつ緩衝性のある複数の金属棒でなる簾
状部材38により、スパッタPの飛散を防止するように
したので、被加工物の表面が傾斜していたりうねってい
た場合であっても、簾状部材38の下端が被加工物41
の上面に沿って配置される。このため、従来と異なりレ
ーザ加工装置と被加工物との間に隙間を設ける必要がな
いので、より有効にスパッタの飛散を防止することがで
きる。
(L) In the present embodiment, the spatter P is prevented from being scattered by the mat-like member 38 made of a plurality of metal rods which withstand the heat of the spatter and have a buffering property. Even when the surface of the object is inclined or undulating, the lower end of the blind member 38 is
Are arranged along the upper surface of the. For this reason, unlike the related art, there is no need to provide a gap between the laser processing apparatus and the workpiece, so that scattering of spatter can be more effectively prevented.

【0046】(m) 本実施の形態においては、簾状部
材38を3重(多重)に設けたので、 より確実に、ス
パッタの飛散を防止することができる。 (変更例)なお、本実施形態は、次のように変更して具
体化することも可能である。
(M) In this embodiment, since the mat-like members 38 are provided in a triple (multiple) manner, it is possible to more reliably prevent the spatter from scattering. (Modification) The present embodiment can be embodied with the following modifications.

【0047】・ 上記第1の実施の形態においては、ノ
ズル13をクリーニングするブローガスを、ピアッシン
グの加工開始時に噴出した。しかしながら、所定時間ご
とにブローガスをノズル13に噴出して、適宜クリーニ
ングしてもよい。特に、レーザ溶接の場合には、ドロス
の発生量がピアッシングの場合よりも少ないので、ノズ
ル13にスパッタPが付着しにくく、ブローガスを噴出
する頻度を少なくすることが可能である。なお、上記各
実施の形態では、レーザ切断を例として説明したのでブ
ローノズル21、27を設けて被加工物41の加工部4
2のドロスを吹き飛ばすようにしたが、レーザ溶接の場
合には、ブローノズル21,27を設けないようにして
もよい。
In the first embodiment, the blow gas for cleaning the nozzle 13 is jetted at the start of the piercing process. However, the cleaning gas may be appropriately blown out to the nozzle 13 at predetermined time intervals. In particular, in the case of laser welding, the amount of dross generated is smaller than in the case of piercing, so that spatter P is less likely to adhere to the nozzle 13 and the frequency of blowing blow gas can be reduced. In each of the above-described embodiments, laser cutting has been described as an example. Therefore, the blow nozzles 21 and 27 are provided to
Although the dross 2 is blown off, the blow nozzles 21 and 27 may not be provided in the case of laser welding.

【0048】・ 上記第1の実施の形態では、カーテン
状のエアを発生させるガス発生装置としてスプレーノズ
ル35を用いたが、他の構造、例えば下面に多孔を有し
たシャー形状のガス発生装置としてもよい。
In the first embodiment, the spray nozzle 35 is used as a gas generator for generating curtain-shaped air. However, as another structure, for example, a shear-shaped gas generator having a porous lower surface is used. Is also good.

【0049】・ 上記第3の実施の形態では、飛散する
スパッタPを強制的にほぼ直下方に落とすものとして、
金属棒38aでなる簾状部材38を3重にして設けた。
勿論、この簾状部材38が一重であっても、2重であっ
ても、スパッタPの飛散を防止することは可能である。
また、簾状部材38を構成するものは、スパッタPが有
する温度に十分に耐え、かつ緩衝性を有する材料であれ
ばよく、例えば金属網であってもよい。
In the third embodiment, the scattered spatter P is forcibly dropped almost directly below.
A mat-like member 38 made of a metal rod 38a was provided in three layers.
Needless to say, the spatter P can be prevented from being scattered whether the blind member 38 is single or double.
Further, what constitutes the mat-like member 38 may be any material that sufficiently withstands the temperature of the sputter P and has a buffering property, for example, a metal net.

【0050】・ 上記各実施の形態では、ブローガス、
クリーニングガスとして窒素ガスを用いたが、他の不活
性ガスであってもよく、また、エアカーテンをなすガス
が窒素以外のガス、例えば圧縮空気であってもよい。な
お、エアカーテンを圧縮空気で形成する場合には、特別
にガスを用意せずともよく、レーザ加工装置の構造を容
易にすることができる。
In each of the above embodiments, the blow gas
Although a nitrogen gas is used as the cleaning gas, another inert gas may be used, and a gas forming the air curtain may be a gas other than nitrogen, for example, compressed air. In the case where the air curtain is formed by compressed air, no special gas needs to be prepared, and the structure of the laser processing apparatus can be simplified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第1の実施の形態におけるレーザ加工装置の要
部断面図。
FIG. 1 is a sectional view of a main part of a laser processing apparatus according to a first embodiment.

【図2】第2の実施の形態におけるレーザ加工装置の要
部断面図。
FIG. 2 is a sectional view of a main part of a laser processing apparatus according to a second embodiment.

【図3】第3の実施の形態におけるレーザ加工装置の要
部断面図。
FIG. 3 is a sectional view of a main part of a laser processing apparatus according to a third embodiment.

【図4】図3における4−4線断面図。FIG. 4 is a sectional view taken along line 4-4 in FIG. 3;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

13…ノズル、21、27…ブローガス噴出手段として
のブローノズル、31…クリーニング手段としてのクリ
ーニングノズル、35…ガス発生装置としてのスプレー
ノズル、36…ガス発生装置、38…簾状部材、38a
…金属棒、41…被加工物、42…加工部。
13 ... Nozzles, 21, 27 ... Blow nozzles as blow gas jetting means, 31 ... Cleaning nozzles as cleaning means, 35 ... Spray nozzles as gas generators, 36 ... Gas generators, 38 ... Bird members, 38a
... metal rod, 41 ... workpiece, 42 ... processing part.

フロントページの続き (72)発明者 天満 泰宏 富山県東砺波郡福野町100番地 株式会社 日平トヤマ富山工場内 Fターム(参考) 3B116 AA47 AB53 BB22 BB90 4E068 AE00 AF00 CD15 CG01 CH07 CH08 CJ01 Continued on the front page (72) Inventor Yasuhiro Temma 100 Fukuno-cho, Higashi-Tonami-gun, Toyama Prefecture F-term in Tohei Plant, Hihei Toyama 3B116 AA47 AB53 BB22 BB90 4E068 AE00 AF00 CD15 CG01 CH07 CH08 CJ01

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被加工物の加工部に向けてレーザ光を照
射するノズルと、 そのノズルからアシストガスを噴出するアシストガス噴
出手段とを有したレーザ加工装置において、 前記ノズルの周囲に向けてノズルを清掃するためのクリ
ーニングガスを噴出するクリーニング手段を設けたこと
を特徴とするレーザ加工装置。
1. A laser processing apparatus comprising: a nozzle for irradiating a laser beam toward a processing portion of a workpiece; and an assist gas jetting unit for jetting an assist gas from the nozzle. A laser processing apparatus provided with cleaning means for blowing a cleaning gas for cleaning a nozzle.
【請求項2】 前記クリーニング手段は、加工開始のピ
アッシングと同期して前記クリーニングガスを噴出する
ものである請求項1に記載のレーザ加工装置。
2. The laser processing apparatus according to claim 1, wherein said cleaning means ejects said cleaning gas in synchronization with piercing at the start of processing.
【請求項3】 前記被加工物の加工部に向けて、加工部
から発生するスパッタを吹き飛ばすブローガスを噴出す
るブローガス噴出手段を前記ノズルの周囲に設けた請求
項1又は請求項2に記載のレーザ加工装置。
3. The laser according to claim 1, further comprising a blow gas ejecting means for ejecting a blow gas for blowing a sputter generated from the processing portion toward the processing portion of the workpiece, around the nozzle. Processing equipment.
【請求項4】 被加工物の加工部に向けてレーザ光を照
射するノズルと、そのノズルからアシストガスを噴出す
るアシストガス噴出手段とを有したレーザ加工装置にお
いて、 加工部から発生するスパッタを吹き飛ばすブローガスを
噴出するためのブローガス噴出手段と、 前記ノズルへのスパッタの付着を防止するためのクリー
ニングガスを噴出するためのクリーニングガス噴出手段
と、 ピアッシング時に発生して飛散するスパッタを下方に落
とすスパッタ飛散防止手段とを設けたことを特徴とする
レーザ加工装置。
4. A laser processing apparatus having a nozzle for irradiating a laser beam toward a processing portion of a workpiece and an assist gas jetting means for jetting an assist gas from the nozzle, wherein a sputter generated from the processing portion is generated. Blow gas ejecting means for ejecting blow gas to be blown off; cleaning gas ejecting means for ejecting a cleaning gas for preventing spatter from adhering to the nozzle; sputter for lowering spatter generated and scattered during piercing A laser processing apparatus provided with scattering prevention means.
【請求項5】 被加工物の加工部に向けてレーザ光を照
射するノズルと、アシストガスを噴出するためのアシス
トガス噴出手段とを有したレーザ加工装置において、 加工部から発生するスパッタを加工部から吹き飛ばすブ
ローガスを噴出するブローガス噴出手段と、 加工時に発生して飛散するスパッタを下方に落とすスパ
ッタ飛散防止手段とを設けたことを特徴とするレーザ加
工装置。
5. A laser processing apparatus having a nozzle for irradiating a laser beam toward a processing portion of a workpiece and an assist gas jetting means for jetting an assist gas, wherein a sputter generated from the processing portion is processed. 1. A laser processing apparatus comprising: a blow gas blowing means for blowing a blow gas blown off from a part; and a spatter scattering prevention means for dropping spatter generated and scattered during processing downward.
【請求項6】 前記スパッタ飛散防止手段は、下方に向
けてガスを吹付けてカーテン状となすガス発生装置であ
る請求項4又は請求項5に記載のレーザ加工装置。
6. The laser processing apparatus according to claim 4, wherein the spatter scattering prevention means is a gas generator that blows gas downward to form a curtain.
【請求項7】 前記スパッタ飛散防止手段は、多数の金
属棒で構成される簾状部材又は網状部材でなる請求項4
又は請求項5に記載のレーザ加工装置。
7. The spatter scattering prevention means is a cord-like member or a net-like member composed of a large number of metal rods.
Or the laser processing apparatus according to claim 5.
【請求項8】 前記スパッタ飛散防止手段が、前記ブロ
ーガス噴出手段のブローガスの噴出方向に対向するよう
に設けられている請求項4ないし請求項7の何れかに記
載のレーザ加工装置。
8. The laser processing apparatus according to claim 4, wherein said spatter scattering prevention means is provided so as to oppose a blow gas blowing direction of said blow gas blowing means.
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