JP2001205105A - Photocatalytic thin film - Google Patents

Photocatalytic thin film

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JP2001205105A
JP2001205105A JP2000020888A JP2000020888A JP2001205105A JP 2001205105 A JP2001205105 A JP 2001205105A JP 2000020888 A JP2000020888 A JP 2000020888A JP 2000020888 A JP2000020888 A JP 2000020888A JP 2001205105 A JP2001205105 A JP 2001205105A
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JP
Japan
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thin film
titanium oxide
present
photocatalytic
sample
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Application number
JP2000020888A
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Japanese (ja)
Inventor
Akiyuki Fujii
映志 藤井
Atsushi Tomosawa
淳 友澤
Hideo Torii
秀雄 鳥井
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photocatalytic thin film having excellent hydrophilic, antibacterial and deodorant properties. SOLUTION: Magnesium oxide 13 is incorporated in a titanium oxide thin film 12 active as a photocatalyst.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、優れた親水性、抗
菌性および脱臭性を有する光触媒材料に関するものであ
る。
The present invention relates to a photocatalytic material having excellent hydrophilicity, antibacterial properties and deodorizing properties.

【0002】[0002]

【従来の技術】アナターゼ型結晶相を主成分とした酸化
チタン(TiO2 )は、紫外光を照射することにより、
親水性、抗菌性および脱臭性などの光触媒活性を示す。
この特性を利用して、さまざまな応用展開が考えられて
いる。例えば、親水性を利用した自動車のサイドミラー
の曇り防止、抗菌性を利用した手術室内のタイル、脱臭
性を利用した空気清浄機などがある。いずれの用途に用
いる場合にも、光触媒活性な酸化チタンを基材上に固定
しなくてはならないが、その具体的な方法として、スプ
レー法やディップコート法、あるいはスピンコート法な
どが用いられる。すなわち、酸化チタンの微粒子をバイ
ンダーとともに上記いずれかの方法によりにより基材上
に塗布し、酸化チタン塗膜を形成する。具体的な構造
は、図2に示すように、基材21の表面に、酸化チタン
微粒子23とバインダー24とから成るバインダー含有
酸化チタン塗膜22が形成されている構造である。
2. Description of the Related Art Titanium oxide (TiO2) having an anatase-type crystal phase as a main component is irradiated with ultraviolet light,
Shows photocatalytic activity such as hydrophilicity, antibacterial property and deodorizing property.
Utilizing this characteristic, various application developments are being considered. For example, there are a fogging prevention of a side mirror of an automobile using a hydrophilic property, a tile in an operating room using an antibacterial property, and an air purifier using a deodorizing property. In any use, the photocatalytically active titanium oxide must be fixed on the substrate, and a specific method thereof is a spray method, a dip coating method, a spin coating method, or the like. That is, fine particles of titanium oxide are applied on a substrate together with a binder by any of the above methods to form a titanium oxide coating film. Specifically, as shown in FIG. 2, a binder-containing titanium oxide coating film 22 composed of titanium oxide fine particles 23 and a binder 24 is formed on the surface of a substrate 21.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ここで、上記塗膜表面
で、親水性、抗菌性や脱臭性などの光触媒特性を発揮し
うるのは、水分や菌または臭気ガスが酸化チタンと接触
した場合に限られる。ところが、上述した塗布法で形成
したバインダー含有酸化チタン塗膜では、光触媒活性な
酸化チタンは塗膜中に分散されて存在するため、塗膜表
面における酸化チタン微粒子の表面積は限られてしま
う。すなわち、上述した塗布法で形成したバインダー含
有酸化チタン塗膜では酸化チタンの有する光触媒特性を
十分利用したものではないという課題を有する。
Here, the photocatalytic properties such as hydrophilicity, antibacterial property and deodorizing property can be exhibited on the surface of the above-mentioned coating film when moisture, bacteria or odorous gas comes in contact with titanium oxide. Limited to However, in the binder-containing titanium oxide coating film formed by the above-described coating method, since the photocatalytically active titanium oxide is dispersed in the coating film, the surface area of the titanium oxide fine particles on the surface of the coating film is limited. That is, the binder-containing titanium oxide coating film formed by the above-described coating method has a problem that the photocatalytic property of titanium oxide is not sufficiently utilized.

【0004】そこで、本発明は、このような従来の問題
点を解決するもので、酸化チタンの持つ光触媒特性を効
率よく利用できる構成の光触媒薄膜を提供することを目
的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to solve such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide a photocatalytic thin film having a structure capable of efficiently utilizing the photocatalytic properties of titanium oxide.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の光触媒薄膜は、光触媒活性な酸化チタン薄
膜に、酸化マグネシウムが含まれていることを特徴とす
る光触媒薄膜。上記構成であれば、光触媒薄膜中にバイ
ンダーが含有されていないので、塗膜表面における酸化
チタンの表面積が格段に増大し、且つ酸化マグネシウム
が含まれることにより吸水特性が向上する。これらのこ
とから、酸化チタンの有する光触媒特性を十分利用する
ことができる。
In order to achieve the above object, a photocatalytic thin film of the present invention is characterized in that a photocatalytically active titanium oxide thin film contains magnesium oxide. According to the above configuration, since the binder is not contained in the photocatalytic thin film, the surface area of titanium oxide on the surface of the coating film is remarkably increased, and the water absorption property is improved by containing magnesium oxide. For these reasons, the photocatalytic properties of titanium oxide can be fully utilized.

【0006】また、請求項2に記載の発明は、請求項1
記載の発明において、上記酸化チタン薄膜がアナターゼ
型結晶相を主成分とすることを特徴とする。また、請求
項3に記載の発明は、請求項1又は2記載の発明におい
て、上記酸化チタン薄膜の表面凹凸が、0.05μm以
上であることを特徴とする。このように、酸化チタン薄
膜の表面凹凸を規制するのは、酸化チタン薄膜の表面凹
凸が0.05μm以上であれば、凹凸が大きくなること
によって、酸化チタンの表面積が大きくなって、親水
性、抗菌性及び脱臭性を更に向上させることができるか
らである。
[0006] The invention described in claim 2 is the invention according to claim 1.
In the invention described above, the titanium oxide thin film has an anatase-type crystal phase as a main component. According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the surface unevenness of the titanium oxide thin film is 0.05 μm or more. As described above, the surface irregularities of the titanium oxide thin film are regulated because, if the surface irregularities of the titanium oxide thin film are 0.05 μm or more, the surface irregularities are increased, and the surface area of the titanium oxide is increased. This is because the antibacterial property and the deodorizing property can be further improved.

【0007】また、請求項4に記載の発明は、請求項
1、2又は3記載の発明において、上記酸化チタン薄膜
が柱状構造を有し、且つ上記酸化マグネシウムが上記酸
化チタンの結晶粒界に存在することを特徴とする。ま
た、請求項5に記載の発明は、請求項1、2、3又は4
記載の発明において、上記酸化マグネシウムと上記酸化
チタンとの比率が、マグネシウムとチタンとのモル比
で、1/100〜5/100の範囲であることを特徴と
する。このように酸化マグネシウムと酸化チタンとの比
率を規制するのは、マグネシウムとチタンとのモル比が
1/100未満であると、酸化マグネシウムの量が不十
分で酸化マグネシウムの含有効果が十分に発揮されない
一方、マグネシウムとチタンとのモル比が5/100を
超えると、酸化チタンの量が不十分となって酸化チタン
の有する光触媒特性を十分利用することができないこと
があるからである。
According to a fourth aspect of the present invention, in the first, second or third aspect of the present invention, the titanium oxide thin film has a columnar structure, and the magnesium oxide is located at a crystal grain boundary of the titanium oxide. It is characterized by being present. Further, the invention described in claim 5 is the invention according to claim 1, 2, 3, or 4.
In the invention described in the above, the ratio of the magnesium oxide to the titanium oxide is in the range of 1/100 to 5/100 in terms of the molar ratio of magnesium to titanium. The reason for regulating the ratio between magnesium oxide and titanium oxide is that if the molar ratio of magnesium to titanium is less than 1/100, the amount of magnesium oxide is insufficient and the effect of containing magnesium oxide is sufficiently exhibited. On the other hand, when the molar ratio of magnesium to titanium exceeds 5/100, the amount of titanium oxide is insufficient, and the photocatalytic properties of titanium oxide may not be fully utilized.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、図1に基
づいて、以下に説明する。図1は本発明に係る光触媒薄
膜の断面図である。図1に示すように、石英ガラス(5
0mm×50mm)から成る基材(下地基板)11の表
面には、アナターゼ型の結晶構造を有し柱状成長してい
る酸化チタン12と、この酸化チタン12の結晶粒界に
存在するマグネシウム13とが存在する構造となってい
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. FIG. 1 is a sectional view of a photocatalytic thin film according to the present invention. As shown in FIG. 1, quartz glass (5
0 mm × 50 mm), a titanium oxide 12 having an anatase type crystal structure and growing in a columnar manner, and a magnesium 13 existing at a grain boundary of the titanium oxide 12 There is a structure that exists.

【0009】ここで、上記構造の光触媒薄膜の製造方法
について、以下に説明する。この光触媒薄膜は、マグネ
トロンスパッタリング装置を用いて作製した。この際、
ターゲットには、酸化チタンと酸化マグネシウムの混合
粉末(モル比:Mg/Ti=3/100)をφ4インチ
径にプレス成形した粉末ターゲットを用いた。また、ス
パッタリング条件は、以下のとおりである。
Here, a method for producing the photocatalytic thin film having the above structure will be described below. This photocatalytic thin film was produced using a magnetron sputtering device. On this occasion,
As the target, a powder target obtained by press-forming a mixed powder of titanium oxide and magnesium oxide (molar ratio: Mg / Ti = 3/100) into a φ4 inch diameter was used. The sputtering conditions are as follows.

【0010】基板温度:150℃ rfパワー:200(W) スパッタ時の真空度:1.5(Pa) Ar流量:10(SCCM) 基板ホルダーの回転速度:2回転/分 スパッタリング時間:3時間 上記の条件でスパッタリングが終了した後、基板を取り
出し、大気中で450℃で2時間熱処理を行うことによ
り、酸化マグネシウムが含まれた酸化チタン薄膜を作製
した。
Substrate temperature: 150 ° C. rf power: 200 (W) Degree of vacuum during sputtering: 1.5 (Pa) Ar flow rate: 10 (SCCM) Rotation speed of substrate holder: 2 rotations / minute Sputtering time: 3 hours After the sputtering was completed under the above conditions, the substrate was taken out and heat-treated at 450 ° C. for 2 hours in the air to produce a titanium oxide thin film containing magnesium oxide.

【0011】[0011]

【実施例】(実施例)実施例としては、上記発明の実施
の形態で示したものを用いた。このようにして作製した
酸化チタン薄膜を有するものを、以下、本発明サンプル
Aと称する。
EXAMPLES (Examples) As the examples, those described in the above embodiments of the present invention were used. What has the titanium oxide thin film produced in this manner is hereinafter referred to as Sample A of the present invention.

【0012】(比較例1)ターゲットに酸化チタン粉末
のみから成るターゲットを用いる他は、上記実施例と同
様の条件でスパッタリング及び熱処理を行ってマグネシ
ウムを含まない酸化チタン薄膜を作製した。このように
して作製した酸化チタン薄膜を有するものを、以下、比
較サンプルBと称する。
(Comparative Example 1) A titanium oxide thin film containing no magnesium was produced by performing sputtering and heat treatment under the same conditions as in the above-mentioned embodiment except that a target composed of only titanium oxide powder was used as the target. What has the titanium oxide thin film produced in this manner is hereinafter referred to as Comparative Sample B.

【0013】(比較例2)比較例2としては、従来の技
術の欄で説明した酸化チタン塗膜(図2参照)を用い
た。具体的な製造方法は、50mm×50mmの石英ガ
ラス基板上に、アナターゼ型結晶構造を有する酸化チタ
ン微粒子をバインダーとともにスピンコート法により塗
布し、その後150℃で乾燥させて、厚みが2μmの塗
膜を作製するというものである。このようにして作製し
た酸化チタン塗膜を有するものを、以下、比較サンプル
Cと称する。
Comparative Example 2 As Comparative Example 2, the titanium oxide coating film (see FIG. 2) described in the section of the prior art was used. A specific manufacturing method is to apply a titanium oxide fine particle having an anatase type crystal structure together with a binder to a 50 mm × 50 mm quartz glass substrate by a spin coating method, and then dry at 150 ° C. to form a coating film having a thickness of 2 μm. Is produced. What has the titanium oxide coating film produced in this manner is hereinafter referred to as Comparative Sample C.

【0014】(実験1)上記本発明サンプルA及び比較
サンプルBの酸化チタン薄膜を、X線回折法、SEM観
察法、ICP発光分析法、及びEPMA分析法により調
べた。X線回折法の結果から、サンプルAおよびBのい
ずれもアナターゼ型結晶構造を有することが認められ、
また、SEM観察法から、サンプルAおよびBのいずれ
も柱状構造を有することが認められた。尚、本発明サン
プルAは、膜厚が1.2μm、柱状粒子径が、0.2μ
mで、膜表面の凹凸が0.2μmであり、一方比較サン
プルBは、膜厚が1.3μm、柱状粒子径が、0.3μ
mで、膜表面の凹凸が0.04μmであった。
(Experiment 1) The titanium oxide thin films of the present invention sample A and comparative sample B were examined by X-ray diffraction, SEM observation, ICP emission analysis, and EPMA analysis. From the results of the X-ray diffraction method, it was confirmed that both samples A and B had an anatase crystal structure,
From the SEM observation method, it was confirmed that both samples A and B had a columnar structure. The sample A of the present invention has a thickness of 1.2 μm and a columnar particle diameter of 0.2 μm.
m, the unevenness of the film surface is 0.2 μm, while Comparative Sample B has a thickness of 1.3 μm and a columnar particle diameter of 0.3 μm.
m, the unevenness of the film surface was 0.04 μm.

【0015】また、ICP発光分析法により本発明サン
プルAの膜組成を調べた結果、Mg/Ti比はターゲッ
ト組成よりややずれており、Mg/Ti=2/100で
あった。更に、本発明サンプルAの断面を、EPMAの
面分析法によってMgの分布を調べた結果、柱状粒子内
からは検出されず、ほとんどが粒界部分に存在している
ことがわかった。
Further, as a result of examining the film composition of Sample A of the present invention by ICP emission spectrometry, the Mg / Ti ratio was slightly different from the target composition, and Mg / Ti = 2/100. Further, as a result of examining the distribution of Mg in the cross section of the sample A of the present invention by the surface analysis method of EPMA, it was found that the Mg was not detected from the inside of the columnar particles and almost existed in the grain boundary portion.

【0016】(実験2)上記本発明サンプルA及び上記
比較サンプルB、Cの水滴の接触角を測定することによ
り、親水性の評価を行ったので、その結果を表1に示
す。なお、親水性の評価は、紫外線領域の蛍光灯光源
(15W;ピーク波長365nm)を用いて、照射距離
25cmで各試料を10分間照射した後、一定時間経過
ごとに、各サンプル表面にマイクロシリンダを用いて超
純水1マイクロリットル(μl)を滴下し、超純水の接
触角を接触角計を用いて測定するというものである。
(Experiment 2) The hydrophilicity was evaluated by measuring the contact angles of water droplets of the sample A of the present invention and the comparative samples B and C. The results are shown in Table 1. The hydrophilicity was evaluated by irradiating each sample for 10 minutes at an irradiation distance of 25 cm using a fluorescent lamp light source (15 W; peak wavelength 365 nm) in the ultraviolet region, and then applying a micro cylinder to the surface of each sample at regular intervals. Is used, 1 microliter (μl) of ultrapure water is dropped, and the contact angle of the ultrapure water is measured using a contact angle meter.

【0017】[0017]

【表1】 [Table 1]

【0018】表1から明らかなように、本発明サンプル
Aは比較サンプルCと比べると、照射直後から接触角が
小さく優れた親水性を示していることが認められる。ま
た、比較サンプルBと比べた場合には、照射直後はいず
れも接触角は0゜であったが、10時間、48時間と経
過するに従い、比較サンプルBは接触角が大きくなって
いったのに対し、本発明サンプルAは48時間経過後で
も接触角1゜であり、光照射後に超親水性が長時間持続
するといった特徴を有していることが認められる。この
ような結果となったのは、本発明サンプルAにおいて
は、酸化チタン薄膜がマグネシウムを含んでいるという
効果であると考えられる。
As is clear from Table 1, the sample A of the present invention has a small contact angle immediately after irradiation and shows excellent hydrophilicity as compared with the comparative sample C. In addition, when compared with the comparative sample B, the contact angle was 0 ° immediately after irradiation, but the contact angle of the comparative sample B became larger as 10 hours and 48 hours passed. On the other hand, it is recognized that the sample A of the present invention has a contact angle of 1 ° even after elapse of 48 hours, and has a feature that superhydrophilicity is maintained for a long time after light irradiation. Such a result is considered to be due to the effect that the titanium oxide thin film contains magnesium in the sample A of the present invention.

【0019】(実験3)上記本発明サンプルA及び上記
比較サンプルB、Cにおける抗菌性の評価を行ったの
で、その結果を表2に示す。具体的な評価方法は、滅菌
したガラスシャーレを3個準備し、それぞれのシャーレ
にアルコールで十分に洗浄したサンプルA、B、Cを入
れて、湿度90%で温度25℃に保持した恒温糟に入
れ、大腸菌を同量(約10万個)ずつ、上記各サンプル
A、B、C上に滴下して3時間保持した後、各サンプル
A、B、C上の大腸菌の量を測定することによって行っ
た。なお、上記恒温糟中には、5Wの蛍光灯が設置して
あり、シャーレ中の試料に光が照射されるようになって
いる。
(Experiment 3) The antibacterial properties of the sample A of the present invention and the comparative samples B and C were evaluated, and the results are shown in Table 2. A specific evaluation method is to prepare three sterilized glass Petri dishes, put the samples A, B, and C thoroughly washed with alcohol in each Petri dish, and place them in a thermostatic oven maintained at a humidity of 90% and a temperature of 25 ° C. Then, the same amount (about 100,000) of Escherichia coli was dropped on each of the samples A, B, and C and kept for 3 hours. Then, the amount of Escherichia coli on each of the samples A, B, and C was measured. went. Note that a 5 W fluorescent lamp is provided in the thermostat so that the sample in the petri dish is irradiated with light.

【0020】[0020]

【表2】 [Table 2]

【0021】表2から明らかなように、本発明サンプル
Aは、比較サンプルCと比べて、大腸菌の残存量はかな
り少なく、優れた抗菌性を有していることが認められ
る。また、サンプルBと比較しても大腸菌の残存はやや
少なく、優れた抗菌性を有していることがわかる。
As is clear from Table 2, the amount of Escherichia coli in the sample A of the present invention is considerably smaller than that of the comparative sample C, indicating that the sample A has excellent antibacterial properties. Also, compared to Sample B, Escherichia coli remains slightly less, indicating that it has excellent antibacterial properties.

【0022】(実験4)上記本発明サンプルA及び上記
比較サンプルB、Cにおける脱臭性能の評価を行ったの
で、その結果を表3に示す。具体的な評価方法は、各サ
ンプルA、B、Cを1リットルの脱臭評価容器内(石英
ガラス製)に入れた後、各容器内の雰囲気を、窒素80
%、酸素20%の合成空気(湿度20%)とアセトアル
デヒド(500ppm )とに置換し、容器の外側から、酸
化チタン薄膜または塗膜表面に紫外線領域の蛍光灯光源
(15W;ピーク波長365nm)を用いて、照射距離
1cmで照射しながら、一定時間経過ごとのアセトアル
デヒドの分解量と光触媒作用により発生する炭酸ガス発
生量とをガスクロマトグラフにより測定することにより
行った。
(Experiment 4) The deodorizing performance of the sample A of the present invention and the comparative samples B and C was evaluated, and the results are shown in Table 3. As a specific evaluation method, after placing each of the samples A, B, and C in a 1-liter deodorization evaluation container (made of quartz glass), the atmosphere in each container was changed to nitrogen 80
%, Oxygen 20%, synthetic air (humidity 20%) and acetaldehyde (500 ppm). From the outside of the container, apply a fluorescent light source (15 W; peak wavelength 365 nm) in the ultraviolet region to the surface of the titanium oxide thin film or coating film. The irradiation was performed at an irradiation distance of 1 cm, and the amount of decomposition of acetaldehyde and the amount of carbon dioxide generated by the photocatalysis were measured by gas chromatography at regular intervals.

【0023】[0023]

【表3】 [Table 3]

【0024】表3から明らかなように、本発明サンプル
Aは、比較サンプルCと比べて、アセトアルデヒドの分
解によって発生する炭酸ガス量がかなり多くなっている
ため、アセトアルデヒドの残存量はかなり少なくなり、
この結果本発明サンプルAは、比較サンプルCと比べ
て、優れた脱臭特性を有していることが認められる。ま
た、サンプルBと比較しても、炭酸ガスの発生量はやや
多く、アセトアルデヒドの残存量がやや少なくなってお
り、この結果本発明サンプルAは、比較サンプルBと比
べても、優れた脱臭特性を有していることが分かる。以
上の実験2〜4の結果から、本発明の光触媒薄膜が、優
れた光触媒特性を有していることがわかった。
As is apparent from Table 3, the amount of carbon dioxide gas generated by the decomposition of acetaldehyde in the sample A of the present invention is considerably larger than that in the comparative sample C, so that the residual amount of acetaldehyde is considerably reduced.
As a result, it is recognized that the sample A of the present invention has superior deodorizing characteristics as compared with the comparative sample C. Also, compared to Sample B, the amount of generated carbon dioxide was slightly larger and the residual amount of acetaldehyde was slightly smaller. As a result, Sample A of the present invention exhibited excellent deodorizing properties even compared to Comparative Sample B. It can be seen that this has From the results of Experiments 2 to 4, it was found that the photocatalytic thin film of the present invention had excellent photocatalytic properties.

【0025】(その他の事項) (1)本発明の実施例において、マグネシウムを含む酸
化チタン薄膜の結晶構造はアナターゼ型単相であった
が、これに限られるものではなく、アナターゼ型結晶相
以外に、例えばルチル型の結晶構造やイルメナイト型の
結晶構造あるいはNaCl型の結晶構造を含んでいるも
のであっても同様に優れた結果が得られた。
(Other Matters) (1) In the embodiment of the present invention, the crystal structure of the titanium oxide thin film containing magnesium was an anatase-type single phase, but is not limited to this. In addition, excellent results were similarly obtained, for example, in the case of a material containing a rutile-type crystal structure, an ilmenite-type crystal structure, or a NaCl-type crystal structure.

【0026】(2)本発明の実施例において、酸化チタ
ン薄膜の表面凹凸が0.07〜0.2μmであったが、
これに限られるものではなく、0.05μm以上であれ
ば同様に優れた結果が得られた。
(2) In the embodiment of the present invention, the surface unevenness of the titanium oxide thin film was 0.07 to 0.2 μm.
However, the present invention is not limited to this. When the thickness is 0.05 μm or more, similarly excellent results are obtained.

【0027】(3)本発明の実施例において、酸化チタ
ン薄膜におけるMg/Ti比(モル比)=2/100で
あったが、これに限られるものではなく、1/100〜
5/100であれば同様に優れた結果が得られた。
(3) In the embodiment of the present invention, the Mg / Ti ratio (molar ratio) in the titanium oxide thin film was 2/100, but is not limited thereto.
If it is 5/100, similarly excellent results were obtained.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の光触媒薄膜は、バインダーを含まない酸化チタン薄膜
であり、かつマグネシウムを含むため、従来のバインダ
ーを含む酸化チタン塗膜や酸化チタン薄膜と比較して、
優れた親水性、抗菌性さらには脱臭特性を示すという効
果がある。
As is apparent from the above description, the photocatalytic thin film of the present invention is a titanium oxide thin film containing no binder and contains magnesium. Compared to
It has the effect of exhibiting excellent hydrophilicity, antibacterial properties and deodorizing properties.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の光触媒薄膜の断面図。FIG. 1 is a cross-sectional view of a photocatalytic thin film of the present invention.

【図2】従来のバインダーを含む酸化チタン塗膜の断面
図。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a conventional titanium oxide coating film containing a binder.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11:基材(下地基板) 12:酸化チタン 13:酸化マグネシウム 11: base material (base substrate) 12: titanium oxide 13: magnesium oxide

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02B 1/10 B01D 53/36 H G02B 1/10 Z (72)発明者 鳥井 秀雄 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 2K009 AA12 BB02 CC03 DD04 EE02 EE05 4C080 AA07 BB02 CC01 CC02 HH05 JJ06 KK08 LL10 MM02 4D048 AA22 AB01 AB03 BA01X BA07X BA13X BA41X BA42X BB03 CA06 EA01 4G059 AA01 AA11 AC21 EA01 EA04 EB04 4G069 AA01 AA04 AA08 AA09 AA11 AA12 BA02B BA04A BA04B BA04C BA06A BA06B BA06C BA14B BA48A BA48C BB04A BB04B BB04C CA01 CA17 DA06 EA08 EC22X EC22Y FB02 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G02B 1/10 B01D 53/36 H G02B 1/10 Z (72) Inventor Hideo Torii Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture 1006 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. F-term (reference) 2K009 AA12 BB02 CC03 DD04 EE02 EE05 4C080 AA07 BB02 CC01 CC02 HH05 JJ06 KK08 LL10 MM02 4D048 AA22 AB01 AB03 BA01X BA07X BA13X BA41X04A11 A04 A04 EA03 A04 EA03 AA01 AA04 AA08 AA09 AA11 AA12 BA02B BA04A BA04B BA04C BA06A BA06B BA06C BA14B BA48A BA48C BB04A BB04B BB04C CA01 CA17 DA06 EA08 EC22X EC22Y FB02

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】光触媒活性な酸化チタン薄膜に、酸化マグ
ネシウムが含まれていることを特徴とする光触媒薄膜。
1. A photocatalytic thin film, wherein the photocatalytically active titanium oxide thin film contains magnesium oxide.
【請求項2】上記酸化チタン薄膜がアナターゼ型結晶相
を主成分とする、請求項1記載の光触媒薄膜。
2. The photocatalytic thin film according to claim 1, wherein said titanium oxide thin film has an anatase type crystal phase as a main component.
【請求項3】上記酸化チタン薄膜の表面凹凸が、0.0
5μm以上である、請求項1又は2記載の光触媒薄膜。
3. The surface unevenness of said titanium oxide thin film is 0.0
The photocatalytic thin film according to claim 1, wherein the thickness is 5 μm or more.
【請求項4】上記酸化チタン薄膜が柱状構造を有し、且
つ上記酸化マグネシウムが上記酸化チタンの結晶粒界に
存在する、請求項1、2又は3記載の光触媒薄膜。
4. The photocatalytic thin film according to claim 1, wherein said titanium oxide thin film has a columnar structure, and said magnesium oxide is present at a crystal grain boundary of said titanium oxide.
【請求項5】上記酸化マグネシウムと上記酸化チタンと
の比率が、マグネシウムとチタンとのモル比で、1/1
00〜5/100の範囲である、請求項1、2、3又は
4記載の光触媒薄膜。
5. The method according to claim 1, wherein the ratio of said magnesium oxide to said titanium oxide is 1/1 by a molar ratio of magnesium to titanium.
5. The photocatalytic thin film according to claim 1, wherein the photocatalytic thin film is in the range of 00 to 5/100.
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