JP2001202923A - Resonator for electrodeless lamp and light source apparatus - Google Patents

Resonator for electrodeless lamp and light source apparatus

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JP2001202923A
JP2001202923A JP2000010578A JP2000010578A JP2001202923A JP 2001202923 A JP2001202923 A JP 2001202923A JP 2000010578 A JP2000010578 A JP 2000010578A JP 2000010578 A JP2000010578 A JP 2000010578A JP 2001202923 A JP2001202923 A JP 2001202923A
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JP
Japan
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electrodeless lamp
resonator
dielectric
frequency
signal line
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Application number
JP2000010578A
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Japanese (ja)
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Takaaki Saeki
隆昭 佐伯
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Victor Company of Japan Ltd
Original Assignee
Victor Company of Japan Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small, lightweight, and high-efficiency resonator for an electrodeless lamp and a light source apparatus using the same. SOLUTION: The light source apparatus is composed of a high-frequency power supply 9, first high-frequency transmission line 7a connected to a high-frequency power supply 9, matching circuit 8 connected to the first high frequency transmission line 7a, second high-frequency transmission line 7b connected to the matching circuit 8, resonator 51 for electrodeless lamp connected to the second high-frequency transmission line 7b, and electrodeless lamp 5 housed in the resonator 51 for the electrodeless lamp. The resonator 51 for the electrodeless lamp consists of a hollow cylindrical grounding conductor 1, a hollow cylindrical dielectric 2 disposed in the interior of the grounding conductor 1, and a signal line 3 disposed on an inner wall of the dielectric substance 2. An approximately center portion of a resonance length of the signal line 3 is set as a feed point 31, and high-frequency electromagnetic waves are fed. The electrodeless lamp 5 is housed in a lamp housing portion 6, consisting of a hollow portion of the dielectric substance 2.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、無電極ランプに用
いる高周波共振器(以下において「無電極ランプ用共振
器」という。)及びこの無電極ランプ用共振器を用いた
光源装置に関する。
The present invention relates to a high-frequency resonator used for an electrodeless lamp (hereinafter referred to as "resonator for an electrodeless lamp") and a light source device using the resonator for an electrodeless lamp.

【0002】[0002]

【従来の技術】無電極ランプは、プロジェクター光源等
に用いられている。この無電極ランプは、所定のマイク
ロ波を印加することにより、無電極ランプに封じられた
気体を放電させるものである。従って、マイクロ波を効
率よく印加するためには、空洞共振器(キャビティ)が
必要である。例えば、図5に示す従来の無電極ランプ
は、側部86及び上下の端部84,87で囲まれた円筒
壁からなる空洞共振器85を有している。空洞共振器8
5は、使用されるマイクロ波エネルギの周波数、及び共
振モードにより幾何学的寸法が決定される。例えば、共
振モードとしては、TM010モードでが選ばれ、この共
振モードにおいて共振するように、その幾何学的寸法が
設定される。TM010モードの場合の電界は空洞の高さ
方向とほぼ平行である。空洞共振器85の高さは十分に
小さく設定されるのであるが、例えば、図5においては
2.69cm程度はどうしても必要である。空洞共振器
85の端部87は、無電極ランプ93から出射した光を
外部に取り出す構造が必要である。このため、空洞共振
器85の端部87は、紫外線や可視光線等の光を通し、
且つマイクロ波エネルギを空洞内に閉じ込める機能を有
するメッシュ乃至はスクリーンで構成されている。
2. Description of the Related Art Electrodeless lamps are used in projector light sources and the like. The electrodeless lamp discharges a gas sealed in the electrodeless lamp by applying a predetermined microwave. Therefore, in order to efficiently apply microwaves, a cavity is required. For example, the conventional electrodeless lamp shown in FIG. 5 has a cavity 85 composed of a cylindrical wall surrounded by a side portion 86 and upper and lower ends 84 and 87. Cavity resonator 8
5, the geometric dimensions are determined by the frequency of the microwave energy used and the resonance mode. For example, the TM010 mode is selected as the resonance mode, and its geometric dimensions are set so as to resonate in this resonance mode. The electric field in the case of the TM010 mode is almost parallel to the height direction of the cavity. Although the height of the cavity resonator 85 is set to be sufficiently small, for example, about 2.69 cm is absolutely necessary in FIG. The end portion 87 of the cavity resonator 85 needs to have a structure for extracting light emitted from the electrodeless lamp 93 to the outside. For this reason, the end 87 of the cavity resonator 85 allows light such as ultraviolet light or visible light to pass through,
Also, it is constituted by a mesh or a screen having a function of confining microwave energy in the cavity.

【0003】無電極ランプ93は、ステム91により支
持され、空洞共振器85のほぼ中心近くに位置してい
る。ステム91を介して、モータ92により、無電極ラ
ンプ93は回転させられる。マグネトロン88により発
生されたマイクロ波エネルギは、導波管89を介して空
洞共振器85の側部86の一部に設けられた結合用スロ
ット90へ供給される。そして、この空洞共振器85内
で共振しているマイクロ波の電磁界により無電極ランプ
93が放電する。この際、冷却ガスを、無電極ランプ9
3上に吹き付け、無電極ランプ93を冷却している。
[0003] The electrodeless lamp 93 is supported by a stem 91 and is located near the center of the cavity resonator 85. The electrodeless lamp 93 is rotated by the motor 92 via the stem 91. The microwave energy generated by the magnetron 88 is supplied via a waveguide 89 to a coupling slot 90 provided in a part of a side 86 of the cavity resonator 85. Then, the electrodeless lamp 93 is discharged by the electromagnetic field of the microwave resonating in the cavity resonator 85. At this time, the cooling gas is supplied to the electrodeless lamp 9.
3 to cool the electrodeless lamp 93.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】図5に示すような、従
来の無電極ランプにおいては、無電極ランプにマイクロ
波エネルギを供給する方法においては、マイクロ波の周
波数(即ち波長)を考慮して、空洞共振器の形状及び寸
法が決定される。例えば、700MHzのマイクロ波
(電磁波)の自由空間における波長λ0=428mmで
あるため、共振波長λ0/4=107mmである。このた
め、導波管構造の空洞共振器は、ミリ波帯以下のマイク
ロ波では、小型化が困難である。
In a conventional electrodeless lamp as shown in FIG. 5, in a method of supplying microwave energy to the electrodeless lamp, the frequency (ie, wavelength) of the microwave is considered. , The shape and dimensions of the cavity resonator are determined. For example, since the wavelength λ 0 = 428mm in free space of the microwave 700 MHz (electromagnetic waves), the resonant wavelength λ 0/4 = 107mm. For this reason, it is difficult to reduce the size of the cavity resonator having a waveguide structure in a microwave of a millimeter wave band or less.

【0005】また、このように空洞共振器が大型である
ため、従来の無電極ランプは比較的大型化せざるを得な
い必然性を有している。更に、マイクロ波エネルギを空
洞内に閉じ込める機能が要求されるため、従来の無電極
ランプは高周波的には、メッシュ、スクリーン等を用い
て密閉空間にシールドされている必要がある。そして、
上述のように、従来の無電極ランプは比較的大型である
ため、無電極ランプから射出される光出力を所定の方向
に向けるためには、光学反射鏡を設ける必要があった。
このため、空洞共振器の構造が複雑化し、コストが高く
なる問題を有していた。
[0005] In addition, since the cavity resonator is large in size, the conventional electrodeless lamp has to be relatively large. Further, since a function of confining microwave energy in a cavity is required, the conventional electrodeless lamp needs to be shielded in a closed space using a mesh, a screen, or the like in terms of high frequency. And
As described above, since the conventional electrodeless lamp is relatively large, it is necessary to provide an optical reflecting mirror in order to direct the light output emitted from the electrodeless lamp in a predetermined direction.
For this reason, there has been a problem that the structure of the cavity resonator becomes complicated and the cost increases.

【0006】一方、無電極ランプに対して強力なマイク
ロ波エネルギの結合を発生させるためには、導波管構造
の空洞共振器の寸法は、かなり小さく設計することが好
ましい。しかし、上述のように、所要のマイクロ波の共
振周波数により定まる物理寸法(λ0/4)が大きいた
め、無電極ランプの寸法と空洞共振器の寸法とのギャッ
プが大きく、効率よく無電極ランプを発光することが困
難であった。
On the other hand, in order to generate strong coupling of microwave energy to the electrodeless lamp, it is preferable that the size of the cavity resonator having the waveguide structure is designed to be considerably small. However, as described above, since the physical dimensions determined by the resonance frequency of the required microwave (λ 0/4) is large, the gap between the dimensions of the cavity resonator of the electrodeless lamp is large, efficient electrodeless lamp It was difficult to emit light.

【0007】本発明は以上の点に鑑みなされたものであ
って、上述した従来技術の欠点を解消し、より小型、軽
量の無電極ランプ用共振器を提供することを目的とす
る。
The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to solve the above-mentioned disadvantages of the prior art and to provide a smaller and lighter resonator for an electrodeless lamp.

【0008】本発明の他の目的は、無電極ランプとマイ
クロ波等の高周波電磁波の電磁界との結合効率が高い無
電極ランプ用共振器を提供することである。
It is another object of the present invention to provide a resonator for an electrodeless lamp having a high coupling efficiency between the electrodeless lamp and an electromagnetic field of a high frequency electromagnetic wave such as a microwave.

【0009】本発明の更に他の目的は、より低周波数で
無電極ランプを放電させることが可能な無電極ランプ用
共振器を提供することである。
Still another object of the present invention is to provide a resonator for an electrodeless lamp which can discharge the electrodeless lamp at a lower frequency.

【0010】本発明の更に他の目的は、無電極ランプを
も小型化することが可能な無電極ランプ用共振器を提供
することである。
Still another object of the present invention is to provide a resonator for an electrodeless lamp which can reduce the size of the electrodeless lamp.

【0011】本発明の更に他の目的は、より小型、軽量
で且つ高効率の無電極ランプを用いた光源装置を提供す
ることである。
It is still another object of the present invention to provide a light source device using a smaller, lighter, and more efficient electrodeless lamp.

【0012】本発明の更に他の目的は、無電極ランプを
ほぼ点光源とみなす程度に小型化可能で、従来の導波管
構造の空洞共振器における光学反射鏡を特に必要としな
い光源装置を提供することである。
Still another object of the present invention is to provide a light source device which can be miniaturized to such a degree that an electrodeless lamp can be regarded as a point light source and which does not particularly require an optical reflector in a conventional cavity resonator having a waveguide structure. To provide.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の第1の特徴に係る無電極ランプ用共振器
は、中空円筒形の接地導体と、この接地導体の内部に配
置され、半径方向にスルーホール(貫通孔)を有する中
空円筒形の誘電体と、この誘電体の内壁に、円周方向に
所定の高周波電磁波の共振長を有して配置された信号線
と、この信号線の一方の端部と接地導体とを、スルーホ
ールを介して接続する接地配線とから構成されている。
更に、本発明の第1の特徴に係る無電極ランプ用共振器
は、信号線の共振長のほぼ中央部を、所定の高周波電磁
波の給電点とし、ここに高周波電磁波を給電している。
また、誘電体の中空部を無電極ランプ収納部として、こ
こに無電極ランプを収納可能としている。
In order to achieve the above object, a resonator for an electrodeless lamp according to a first aspect of the present invention has a hollow cylindrical grounding conductor, and is disposed inside the grounding conductor. A hollow cylindrical dielectric having a through hole (through hole) in a radial direction, a signal line disposed on the inner wall of the dielectric with a predetermined high-frequency electromagnetic wave resonance length in a circumferential direction; A ground wire connects one end of the wire and a ground conductor through a through hole.
Further, in the resonator for an electrodeless lamp according to the first aspect of the present invention, a substantially central portion of the resonance length of the signal line is set as a predetermined high-frequency electromagnetic wave feeding point, and the high-frequency electromagnetic wave is fed to this point.
Further, the hollow part of the dielectric is used as an electrodeless lamp housing part, and the electrodeless lamp can be housed here.

【0014】即ち、本発明の第1の特徴に係る無電極ラ
ンプ用共振器においては、信号線、中空円筒形の誘電体
及び中空円筒形の接地導体とにより、マイクロストリッ
プ線路を構成している。従って、本発明の第1の特徴に
おける「高周波電磁波の共振長」とは、マイクロストリ
ップ線路上の高周波電磁波の波長λgの1/4の長さ、
即ちλg/4である。そして、誘電体の内壁に配置され
た信号線は、一方の端部を接地配線により短絡し、他方
の端部を開放している。即ち、片側開放、片側短絡のλ
g/4共振器を構成している。誘電体の中空部からなる
無電極ランプ収納部内には、内部にガスを封入した、所
望の波長に対して透明な光学材料から構成された無電極
ランプが収納されている。
That is, in the resonator for an electrodeless lamp according to the first aspect of the present invention, a microstrip line is constituted by the signal line, the hollow cylindrical dielectric and the hollow cylindrical ground conductor. . Thus, "resonant length of the high frequency electromagnetic wave" in the first aspect of the present invention, 1/4 of the length of the wavelength lambda g of the high frequency electromagnetic wave on a microstrip line,
That is, λ g / 4. One end of the signal line disposed on the inner wall of the dielectric is short-circuited by the ground wiring, and the other end is open. That is, one-side open, one-side short circuit λ
A g / 4 resonator is formed. An electrodeless lamp housing made of an optical material transparent to a desired wavelength and containing a gas therein is housed in an electrodeless lamp housing portion formed of a dielectric hollow portion.

【0015】本発明の第1の特徴に係る無電極ランプ用
共振器は、片側開放、片側短絡のλ g/4共振器マイク
ロストリップ線路を用いているため、接地導体と信号線
間に挟まれた誘電体の誘電率を選択することにより、導
波管構造の空洞共振器と比較し、高周波電磁波の共振長
を短くすることが可能となる。更に、中空円筒形のマイ
クロストリップ線路が無電極ランプを取り囲む構造であ
るため、平行平板構造のマイクロストリップ線路よりも
実効的な空間の占有面積が小さくできる。このため、よ
り小型の無電極ランプ用共振器が設計可能となる。
An electrodeless lamp according to the first aspect of the present invention.
The resonator is open at one end and short-circuited at one end. g/ 4 resonator microphone
Loss-trip line is used, so ground conductor and signal line
By selecting the dielectric constant of the dielectric sandwiched between,
Compared to a cavity resonator with a wave tube structure, the resonance length of high-frequency electromagnetic waves
Can be shortened. In addition, hollow cylindrical
The cross-trip line surrounds the electrodeless lamp.
Therefore, compared to a parallel plate microstrip line
The effective space occupation area can be reduced. Because of this
A smaller resonator for an electrodeless lamp can be designed.

【0016】更に、本発明の第1の特徴に係る無電極ラ
ンプ用共振器は、中空円筒形のマイクロストリップ線路
が無電極ランプを取り囲む構造であるため、無電極ラン
プと高周波電磁波の電磁界との結合効率が向上する。特
に、マイクロストリップ線路の電界分布は信号線を構成
する金属薄膜の縁で強くなるため、無電極ランプにより
効率よく電界を結合することが可能になる。そして、無
電極ランプと高周波電磁波の電磁界との結合効率が高い
ため、導波管構造の空洞共振器を用いた場合と比較し、
より低周波数で無電極ランプを放電させることが可能と
なる。
Furthermore, the resonator for an electrodeless lamp according to the first aspect of the present invention has a structure in which a hollow cylindrical microstrip line surrounds the electrodeless lamp. Improves the coupling efficiency. In particular, since the electric field distribution of the microstrip line becomes stronger at the edge of the metal thin film forming the signal line, the electric field can be more efficiently coupled to the electrodeless lamp. And since the coupling efficiency between the electrodeless lamp and the electromagnetic field of the high-frequency electromagnetic wave is high, compared with the case where a cavity resonator having a waveguide structure is used,
It becomes possible to discharge the electrodeless lamp at a lower frequency.

【0017】一方、同一周波数で比較すれば、無電極ラ
ンプ用共振器をより小型化可能であるため、無電極ラン
プをも小型化可能である。例えば、700MHz程度の
周波数以上のマイクロ波であれば、無電極ランプをほぼ
点光源とみなすことが可能な程度に小型化出来る。更
に、無電極ランプの先端を光学的に開放状態にして、高
周波電磁波の電磁界を共振させることが可能である。こ
のため、従来の導波管構造の空洞共振器における光学反
射鏡を特に必要としない。
On the other hand, when compared at the same frequency, the resonator for an electrodeless lamp can be made more compact, so that the electrodeless lamp can also be made smaller. For example, in the case of a microwave having a frequency of about 700 MHz or more, the size of the electrodeless lamp can be reduced to such an extent that it can be regarded as a point light source. Furthermore, it is possible to make the tip of the electrodeless lamp optically open, and resonate the electromagnetic field of the high-frequency electromagnetic wave. Therefore, the optical reflector in the conventional cavity resonator having the waveguide structure is not particularly required.

【0018】なお、本発明の第1の特徴に係る無電極ラ
ンプ用共振器において、マイクロストリップ線路と無電
極ランプの間に更に別の誘電体(第2誘電体)を挿入し
てもかまわない。
In the resonator for an electrodeless lamp according to the first aspect of the present invention, another dielectric (second dielectric) may be inserted between the microstrip line and the electrodeless lamp. .

【0019】本発明の第2の特徴に係る光源装置は、上
記本発明の第1の特徴に係る無電極ランプ用共振器を用
いた装置である。即ち、本発明の第2の特徴に係る光源
装置は、所定の高周波電磁波を発生する高周波電源と、
この高周波電源に接続された第1の高周波伝送線路と、
この第1の高周波伝送線路に接続された整合回路と、こ
の整合回路に接続された第2の高周波伝送線路と、この
第2の高周波伝送線路に接続された無電極ランプ用共振
器と、この無電極ランプ用共振器に収納された無電極ラ
ンプとから構成されている。ここで、「無電極ランプ用
共振器」は、本発明の第1の特徴において説明したよう
に、中空円筒形の接地導体と、接地導体の内部に配置さ
れ半径方向にスルーホールを有する中空円筒形の誘電体
と、誘電体の内壁に、円周方向に所定の高周波電磁波の
共振長を有して配置された信号線と、信号線の一方の端
部と接地導体とをスルーホールを介して接続する接地配
線とから構成されている。そして、この無電極ランプ用
共振器の信号線の共振長のほぼ中央部を給電点とし、第
2の高周波伝送線路から伝送された高周波電磁波を給電
していることを特徴とする。無電極ランプは、無電極ラ
ンプ用共振器の誘電体の中空部に収納されている。
A light source device according to a second aspect of the present invention is an apparatus using the resonator for an electrodeless lamp according to the first aspect of the present invention. That is, the light source device according to the second aspect of the present invention includes a high-frequency power supply that generates a predetermined high-frequency electromagnetic wave,
A first high-frequency transmission line connected to the high-frequency power supply;
A matching circuit connected to the first high-frequency transmission line, a second high-frequency transmission line connected to the matching circuit, a resonator for an electrodeless lamp connected to the second high-frequency transmission line, And an electrodeless lamp housed in a resonator for an electrodeless lamp. Here, the “resonator for an electrodeless lamp” includes, as described in the first aspect of the present invention, a hollow cylindrical ground conductor and a hollow cylinder disposed inside the ground conductor and having a through hole in a radial direction. A shaped dielectric, a signal line disposed on the inner wall of the dielectric with a predetermined high-frequency electromagnetic wave resonance length in a circumferential direction, and one end of the signal line and a ground conductor are connected through a through hole. And a grounding wire connected to it. The center of the resonance length of the signal line of the electrodeless lamp resonator is set as a feeding point, and the high-frequency electromagnetic wave transmitted from the second high-frequency transmission line is fed. The electrodeless lamp is housed in the dielectric hollow portion of the electrodeless lamp resonator.

【0020】本発明の第2の特徴に係る光源装置に用い
る高周波電源は、マイクロ波等の高周波電磁波を発生す
る電源装置であれば、いかなる高周波電源でもかまわな
いが、小型化のためにはトランジスタを用いた半導体電
源が好ましい。例えば、マイクロ波モノリシック集積回
路(MMIC)等を用いた高周波電源が使用出来る。ま
た、本発明の第2の特徴に係る光源装置に用いる第1及
び第2の高周波伝送線路は、導波管、同軸ケーブル、ス
トリップ線路等種々の高周波伝送線路が採用可能であ
る。しかし、小型化のためには、同軸ケーブル若しくは
ストリップ線路等が好ましい。例えば、第2の高周波伝
送線路を同軸ケーブルで構成した場合は、無電極ランプ
用共振器の信号線の給電点に、同軸ケーブルの中心導体
を半田等で接続すれば良い。
The high-frequency power supply used in the light source device according to the second aspect of the present invention may be any high-frequency power supply as long as it generates a high-frequency electromagnetic wave such as a microwave. Are preferred. For example, a high frequency power supply using a microwave monolithic integrated circuit (MMIC) or the like can be used. Further, as the first and second high-frequency transmission lines used in the light source device according to the second feature of the present invention, various high-frequency transmission lines such as a waveguide, a coaxial cable, and a strip line can be adopted. However, for miniaturization, a coaxial cable or a strip line is preferable. For example, when the second high-frequency transmission line is formed of a coaxial cable, the center conductor of the coaxial cable may be connected to the power supply point of the signal line of the electrodeless lamp resonator by soldering or the like.

【0021】また、本発明の第2の特徴に係る光源装置
に用いる無電極ランプ用共振器は、片側開放、片側短絡
のλg/4共振器マイクロストリップ線路を用いてい
る。このため、接地導体と信号線間に挟まれた誘電体の
誘電率を選択することにより、導波管構造の空洞共振器
と比較し、共振長を短くすることが可能となる。更に、
中空円筒形のマイクロストリップ線路が無電極ランプを
取り囲む構造であるため、平行平板構造のマイクロスト
リップ線路よりも実効的な空間の占有面積が小さくで
き、より小型の無電極ランプ用共振器が設計可能とな
る。
The resonator for the electrodeless lamp used in the light source device according to the second feature of the present invention uses a λ g / 4 resonator microstrip line that is open on one side and short-circuited on one side. Therefore, by selecting the dielectric constant of the dielectric sandwiched between the ground conductor and the signal line, it is possible to shorten the resonance length as compared with a cavity resonator having a waveguide structure. Furthermore,
Since the hollow cylindrical microstrip line surrounds the electrodeless lamp, the effective space occupation area can be made smaller than that of the parallel plate microstrip line, and a smaller electrodeless lamp resonator can be designed. Becomes

【0022】更に、本発明の第2の特徴に係る光源装置
に用いる無電極ランプ用共振器は、中空円筒形のマイク
ロストリップ線路が無電極ランプを取り囲む構造である
ため、無電極ランプとマイクロ波等の高周波の電磁界と
の結合効率が高い。特に、マイクロストリップ線路の電
界分布は信号線を構成する金属薄膜の縁で強いため、無
電極ランプにより効率よく電界を結合することが可能に
なる。このため、導波管構造の空洞共振器を用いた場合
と比較し、より低周波数で無電極ランプを放電させるこ
とが可能となる。
Further, the resonator for an electrodeless lamp used in the light source device according to the second aspect of the present invention has a structure in which a hollow cylindrical microstrip line surrounds the electrodeless lamp. High coupling efficiency with high-frequency electromagnetic fields. In particular, since the electric field distribution of the microstrip line is strong at the edge of the metal thin film forming the signal line, the electric field can be more efficiently coupled by the electrodeless lamp. For this reason, it becomes possible to discharge the electrodeless lamp at a lower frequency than in the case where a cavity resonator having a waveguide structure is used.

【0023】一方、同一周波数で比較すれば、無電極ラ
ンプ用共振器をより小型化可能であるため、無電極ラン
プを、ほぼ点光源とみなすことが可能な程度に小型化出
来る。更に、無電極ランプの先端を光学的に開放状態に
して、マイクロ波等の高周波の電磁界を共振させること
が可能である。このため、従来の導波管構造の空洞共振
器における光学反射鏡を特に必要としない。
On the other hand, when compared at the same frequency, the size of the resonator for an electrodeless lamp can be further reduced, so that the electrodeless lamp can be reduced in size to such an extent that it can be regarded as a point light source. Further, it is possible to resonate a high-frequency electromagnetic field such as a microwave by setting the tip of the electrodeless lamp in an optically open state. Therefore, the optical reflector in the conventional cavity resonator having the waveguide structure is not particularly required.

【0024】なお、本発明の第2の特徴に係る光源装置
に用いる無電極ランプ用共振器において、マイクロスト
リップ線路と無電極ランプの間に更に別の誘電体(第2
誘電体)を挿入してもかまわない。
In the resonator for an electrodeless lamp used in the light source device according to the second aspect of the present invention, another dielectric (the second electrode) is provided between the microstrip line and the electrodeless lamp.
(A dielectric) may be inserted.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】まず、本発明の第1及び第2の実
施の形態を説明する前に、本発明の光源装置に用いる無
電極ランプ用共振器の基本設計について説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Before describing the first and second embodiments of the present invention, a basic design of a resonator for an electrodeless lamp used in a light source device of the present invention will be described.

【0026】(基本設計)ここでは、図4に示す平行平
板型マイクロストリップ線路(「2次元的マイクロスト
リップ線路」)の模式図を用いて、本発明の光源装置に
用いる無電極ランプ用共振器の基本設計について説明す
る。後述の本発明の第1及び第2の実施の形態の説明か
ら明らかになるように、本発明の光源装置に用いる無電
極ランプ用共振器は、中空円筒形の接地導体、中空円筒
形の誘電体、及びこの中空円筒形の誘電体の内周円上に
設けられた信号線とにより構成された「3次元的マイク
ロストリップ線路」である。しかし、この2次元的マイ
クロストリップ線路に対する簡略化された計算は、3次
元的マイクロストリップ線路に対しては若干の補正が必
要であるものの、空間的な寸法については、一応の目安
を与える近似計算と考えることが可能である。
(Basic Design) Here, a schematic diagram of a parallel plate type microstrip line ("two-dimensional microstrip line") shown in FIG. 4 is used to describe a resonator for an electrodeless lamp used in the light source device of the present invention. The basic design will be described. As will be apparent from the following description of the first and second embodiments of the present invention, the resonator for an electrodeless lamp used in the light source device of the present invention has a hollow cylindrical ground conductor and a hollow cylindrical dielectric. This is a "three-dimensional microstrip line" constituted by a body and a signal line provided on an inner circumferential circle of the hollow cylindrical dielectric. However, the simplified calculation for the two-dimensional microstrip line requires some correction for the three-dimensional microstrip line, but for the spatial dimensions, an approximate calculation that gives a rough indication. It is possible to think.

【0027】この基本設計においては、給電する高周波
電磁波の周波数は、一例として、700MHzとする。
この700MHzのマイクロ波の場合について、各構成
部品の寸法と計算例を説明すると以下のようになる。
In this basic design, the frequency of the high-frequency electromagnetic wave to be fed is, for example, 700 MHz.
In the case of the 700 MHz microwave, the dimensions of each component and a calculation example will be described as follows.

【0028】図4に示す平行平板型マイクロストリップ
線路は、誘電体82と、誘電体82の表面に配置された
信号線83と、誘電体82の裏面に配置された接地導体
81とにより構成されている。この平行平板型マイクロ
ストリップ線路において、誘電体82をアルミナ(比誘
電率εr=9.6)と仮定し、その厚みh=3.2mm
とする。また誘電体82上の信号線83は、幅W=3.
2mm、厚みt=0.032mmとする。
The parallel plate type microstrip line shown in FIG. 4 includes a dielectric 82, a signal line 83 disposed on the surface of the dielectric 82, and a ground conductor 81 disposed on the back of the dielectric 82. ing. In this parallel plate type microstrip line, the dielectric 82 is assumed to be alumina (relative permittivity ε r = 9.6), and its thickness h = 3.2 mm.
And The signal line 83 on the dielectric 82 has a width W = 3.
2 mm and thickness t = 0.032 mm.

【0029】このマイクロストリップ線路の特性インピ
ーダンスZc及びマイクロ波の共振長λg/4は、自由空
間(空気:比誘電率εr=1)の特性インピーダンスを
0、自由空間における波長をλ0とすれば、実効比誘電
率εeffを用いて、 Zc=Z0/(εeff)1/2 …(1) λg=λ0/(εeff)1/2 …(2) と示される。従って、自由空間(空気)の特性インピー
ダンスZと実効比誘電率εeffを求めれば、このマイ
クロストリップ線路の特性インピーダンスZc,マイク
ロストリップ線路上の波長λgが求まる。即ち、マイク
ロストリップ線路の特性インピーダンスZc,マイクロ
ストリップ線路上の波長λgは、次式より近似値が算出
される。
The characteristic impedance Z c of the microstrip line and the resonance length λ g / 4 of the microwave are such that the characteristic impedance in free space (air: relative permittivity εr = 1) is Z 0 , and the wavelength in free space is λ 0. Then, using the effective relative permittivity ε eff , Z c = Z 0 / (ε eff ) 1/2 ... (1) λ g = λ 0 / (ε eff ) 1/2 . It is. Therefore, if the characteristic impedance Z 0 of free space (air) and the effective relative permittivity ε eff are obtained, the characteristic impedance Z c of this microstrip line and the wavelength λ g on the microstrip line are obtained. That is, the characteristic impedance Z c of the microstrip line, the wavelength lambda g of the microstrip line, the approximate value is calculated from the following equation.

【0030】[0030]

【数1】 εeff=(εr+1)/2+(εr−1)(1+10h/w)-1/2/2 …(3) で与えられる。Ε eff = (ε r +1) / 2 + (ε r −1) (1 + 10 h / w) −1/2/2 (3)

【0031】マイクロストリップ線路の実効信号線幅W
0=W+ΔWは、見かけ上の線幅拡大分(実効フリンジ
幅)ΔWを
The effective signal line width W of the microstrip line
0 = W + ΔW is the apparent line width expansion (effective fringe width) ΔW

【数2】 ΔW=(t/h)ln(4e((t/h)2+π-2(w/t+1.1)-2)-1/2) …(4) から求めることにより得られる。この実効信号線幅W0
を用い、等価アスペクト比A1,A2を 8h/W0=A1, …(5) A1/2=A2 …(6) で定義すれば、Z0
ΔW = (t / h) ln (4e ((t / h) 2 + π −2 (w / t + 1.1) −2 ) −1/2 ) (4) This effective signal line width W 0
The used, equivalent aspect ratio A 1, A 2 and 8h / W 0 = A 1, if defined in ... (5) A 1/2 = A 2 ... (6), Z 0 is

【数3】 Z0=30ln(1+A2(A1+(A1 2+π2)1/2)) …(7) で求めることができる。従って、上式に各数値例を代入
すると、実効フリンジ幅ΔW=0.0707,実効信号
線幅W0=3.2707,マイクロストリップ線路の特
性インピーダンスZ=125Ω,実効比誘電率εeff
=6.6が得られる。
Equation 3] can be obtained by Z 0 = 30ln (1 + A 2 (A 1 + (A 1 2 + π 2) 1/2)) ... (7). Therefore, when each numerical example is substituted into the above equation, the effective fringe width ΔW = 0.0707, the effective signal line width W 0 = 3.2707, the characteristic impedance Z 0 of the microstrip line = 125Ω, and the effective relative permittivity ε eff
= 6.6 is obtained.

【0032】700MHzの電磁波の自由空間における
波長λ0=428mmであるから、求める片側開放、片
側短絡のλg/4共振器マイクロストリップ線路を用い
た無電極ランプ用共振器の特性インピーダンスZc、共
振長λg/4はそれぞれ
Since the wavelength λ 0 is 428 mm in the free space of the electromagnetic wave of 700 MHz, the characteristic impedance Zc of the resonator for the electrodeless lamp using the λ g / 4 resonator microstrip line with one side open and one side short-circuited, and the resonance The length λ g / 4 is respectively

【数4】 Zc=125/(6.6)1/2=48.6Ω …(8) λg=428/(6.6)1/2=166.6mm …(9) λg/4=41.7mm …(10) となる。つまり特性インピーダンスが50Ω近辺で、マ
イクロストリップ線路長が41.7mmで700MHz
に共振することがわかる。
Z c = 125 / (6.6) 1/2 = 48.6Ω (8) λ g = 428 / (6.6) 1/2 = 166.6 mm (9) λ g / 4 = 41.7 mm (10) In other words, when the characteristic impedance is around 50Ω and the microstrip line length is 41.7 mm, 700 MHz
It turns out that it resonates.

【0033】さて、本発明の光源装置に用いる無電極ラ
ンプ用共振器は、中空円筒形の接地導体、中空円筒形の
誘電体、及びこの中空円筒形の誘電体の内周円上に設け
られた信号線とにより構成された3次元的マイクロスト
リップ線路である。従って、厳密には、3次元的マイク
ロストリップ線路の設計に対しては若干の補正が必要で
ある。しかし、2次元的マイクロストリップ線路の線路
長が41.7mmということは、これを円周長とみなせ
ば、 41.7/π=13.3 …(11) であるので、直径は、13.3mmほどになる。実際
は、中空円筒形の誘電体の内周円上周回してきた信号線
3の両端の間隔を3〜4mm開ける必要がある。このた
め、現実には、直径を少し大きめにし、信号線3の両端
の間にギャップを保証する必要がある。従って中空円筒
形の誘電体の内径(直径)は、14〜15mm程度にな
る。この直径14〜15mm程度の大きさは、小型の無
電極ランプを挿入するサイズとしては、極めて都合が良
い大きさである。
The resonator for an electrodeless lamp used in the light source device of the present invention is provided on a hollow cylindrical ground conductor, a hollow cylindrical dielectric, and an inner circumferential circle of the hollow cylindrical dielectric. And a three-dimensional microstrip line constituted by the signal lines. Therefore, strictly, a slight correction is required for the design of the three-dimensional microstrip line. However, the line length of the two-dimensional microstrip line is 41.7 mm, which is 41.7 / π = 13.3 (11) if this is regarded as the circumferential length. About 3 mm. Actually, it is necessary to provide a gap of 3 to 4 mm between both ends of the signal line 3 which has circulated on the inner circumference of the hollow cylindrical dielectric. Therefore, in reality, it is necessary to make the diameter slightly larger and to ensure a gap between both ends of the signal line 3. Therefore, the inner diameter (diameter) of the hollow cylindrical dielectric is about 14 to 15 mm. The size of about 14 to 15 mm in diameter is a very convenient size for inserting a small electrodeless lamp.

【0034】また、計算式を見るとわかるように誘電体
の誘電率や誘電体とマイクロストリップ線路の物理寸法
を変えることによりマイクロストリップ線路の特性イン
ピーダンスZc,マイクロストリップ線路上の高周波電
磁波の波長λgを調整することも可能である。
As can be seen from the calculation formulas, the characteristic impedance Z c of the microstrip line and the wavelength of the high-frequency electromagnetic wave on the microstrip line are changed by changing the dielectric constant of the dielectric and the physical dimensions of the dielectric and the microstrip line. it is also possible to adjust the λ g.

【0035】以上の基本設計の下で、本発明の第1及び
第2の実施の形態を説明する。以下の第1及び第2の実
施の形態の説明に用いる図面の記載において、同一又は
類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただ
し、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関
係、各層の厚みの比率等は現実のものとは異なることに
留意すべきである。従って、具体的な厚みや寸法は以下
の説明を参酌して判断すべきものである。また図面相互
間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含
まれていることは勿論である。
Under the above basic design, the first and second embodiments of the present invention will be described. In the following description of the drawings used for describing the first and second embodiments, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. However, it should be noted that the drawings are schematic, and the relationship between the thickness and the plane dimension, the ratio of the thickness of each layer, and the like are different from actual ones. Therefore, specific thicknesses and dimensions should be determined in consideration of the following description. In addition, it is needless to say that the drawings include portions having different dimensional relationships and ratios.

【0036】(第1の実施形態)図1に示すように、本
発明の第1の実施形態に係る光源装置は、所定の高周波
電磁波(マイクロ波)を発生する高周波電源9と、この
高周波電源9に接続された第1の高周波伝送線路(第1
の同軸ケーブル)7aと、この第1の高周波伝送線路7
aに接続された整合回路8と、この整合回路8に接続さ
れた第2の高周波伝送線路(第2の同軸ケーブル)7b
と、この第2の高周波伝送線路7bに接続された無電極
ランプ用共振器51と、この無電極ランプ用共振器51
に収納された無電極ランプ5とから構成されている。
(First Embodiment) As shown in FIG. 1, a light source device according to a first embodiment of the present invention comprises a high-frequency power supply 9 for generating a predetermined high-frequency electromagnetic wave (microwave), 9 connected to the first high-frequency transmission line (first
Coaxial cable) 7a and the first high-frequency transmission line 7
a, and a second high-frequency transmission line (second coaxial cable) 7b connected to the matching circuit 8
And an electrodeless lamp resonator 51 connected to the second high-frequency transmission line 7b; and an electrodeless lamp resonator 51.
And the electrodeless lamp 5 housed in the housing.

【0037】ここで、無電極ランプ用共振器51は、図
1及び図2に示すように、中空円筒形の接地導体1と、
接地導体1の内部に配置され半径方向にスルーホール4
1を有する中空円筒形の誘電体2と、誘電体2の内壁
に、円周方向に所定の高周波電磁波の共振長を有して配
置された信号線3と、信号線3の一方の端部と接地導体
1とをスルーホール41を介して接続する接地配線4と
から構成されている。そして、この無電極ランプ用共振
器51の信号線3の共振長のほぼ中央部を給電点31と
し、第2の高周波伝送線路から伝送された高周波電磁波
を給電している。無電極ランプ5は、無電極ランプ用共
振器51の誘電体2の中空部からなるランプ収納部6に
収納されている。
Here, as shown in FIGS. 1 and 2, the resonator 51 for an electrodeless lamp comprises a hollow cylindrical grounding conductor 1;
A through hole 4 is disposed inside the ground conductor 1 and extends in the radial direction.
1, a signal line 3 arranged on the inner wall of the dielectric 2 with a predetermined high-frequency electromagnetic wave resonance length in the circumferential direction, and one end of the signal line 3 And a ground wiring 4 for connecting the ground conductor 1 to the ground conductor 1 through a through hole 41. A substantially central portion of the resonance length of the signal line 3 of the electrodeless lamp resonator 51 is used as a feeding point 31 to feed a high-frequency electromagnetic wave transmitted from the second high-frequency transmission line. The electrodeless lamp 5 is housed in a lamp housing 6 formed of a hollow portion of the dielectric 2 of the electrodeless lamp resonator 51.

【0038】即ち、本発明の第1の実施形態に係る無電
極ランプ用共振器51は、信号線3、中空円筒形の誘電
体2及び中空円筒形の接地導体1とにより、所定の特性
インピーダンスを有したマイクロストリップ線路を構成
している。このマイクロストリップ線路の信号線3は、
図1に示すように、一方の端部を接地配線4により短絡
し、他方の端部を開放している。即ち、片側開放、片側
短絡のマイクロストリップ線路を構成している。そし
て、マイクロストリップ線路の信号線3の長さは、マイ
クロストリップ線路上の波長λgの1/4の長さに選ば
れている。即ち、本発明の第1の実施形態に係る無電極
ランプ用共振器51は、片側開放、片側短絡のλg/4
共振器である。
That is, the resonator 51 for an electrodeless lamp according to the first embodiment of the present invention comprises a signal line 3, a hollow cylindrical dielectric 2, and a hollow cylindrical grounding conductor 1 having a predetermined characteristic impedance. And a microstrip line having the following. The signal line 3 of this microstrip line is
As shown in FIG. 1, one end is short-circuited by a ground wiring 4, and the other end is open. That is, a microstrip line having one side open and one side short-circuited is formed. The length of the signal line 3 of the microstrip line is chosen to 1/4 of the length of the wavelength lambda g of the microstrip line. That is, the electrodeless lamp resonator 51 according to the first embodiment of the present invention has a single-sided open and a single-sided short-circuited λ g / 4.
It is a resonator.

【0039】既に、説明したように、特性インピーダン
スが50Ω近辺での2次元的マイクロストリップ線路
は、信号線の長さがλg/4=41.7mmで700M
Hzのマイクロ波に共振することがわかる。図1に示す
3次元的マイクロストリップ線路に対しては、厳密に
は、若干の補正が必要である。しかし、2次元的マイク
ロストリップ線路の線路長が41.7mmということ
は、図1に示す中空円筒形の誘電体2の内周面の直径
は、13.3mmほどになる。片側開放、片側短絡であ
るので、実際は、中空円筒形の誘電体の内周円上周回し
てきた信号線3の両端の間隔を3〜4mm開ける必要が
ある。このため、図1に示す中空円筒形の誘電体2の内
径(直径)は、14〜15mm程度に設定されている。
そして、信号線3は、無電極ランプ5をほぼ巻回して配
置されているので、高周波エネルギが極めて有効に無電
極ランプ5に印加出来る。
As already described, a two-dimensional microstrip line with a characteristic impedance of around 50Ω has a signal line length of λ g /4=41.7 mm and a 700M
It turns out that it resonates with the microwave of Hz. Strictly, a slight correction is required for the three-dimensional microstrip line shown in FIG. However, when the line length of the two-dimensional microstrip line is 41.7 mm, the diameter of the inner peripheral surface of the hollow cylindrical dielectric 2 shown in FIG. 1 is about 13.3 mm. Since one side is open and one side is short-circuited, in practice, it is necessary to provide a gap of 3 to 4 mm between both ends of the signal line 3 that has circulated on the inner circumference of the hollow cylindrical dielectric. For this reason, the inner diameter (diameter) of the hollow cylindrical dielectric 2 shown in FIG. 1 is set to about 14 to 15 mm.
Since the signal line 3 is arranged so as to be substantially wound around the electrodeless lamp 5, high-frequency energy can be applied to the electrodeless lamp 5 very effectively.

【0040】信号線3のほぼ中央付近に設けられた給電
点31には、外部から第2の高周波伝送線路(第2の同
軸ケーブル)7bの中心導体71が、半田等により電気
的に接続されている。即ち、この半田等により電気的に
接続された給電点31を介して、第2の高周波伝送線路
である同軸ケーブル7bから高周波電磁波が給電され
る。同軸ケーブル7bは、図1に示すように、中心導体
71を絶縁体74が被覆し、この絶縁体74の外周を外
部導体72が被覆して構成されている。更に、外部導体
72を外被73が被覆している。
A center conductor 71 of a second high-frequency transmission line (second coaxial cable) 7b is electrically connected to a feeding point 31 provided near the center of the signal line 3 from outside by soldering or the like. ing. That is, high-frequency electromagnetic waves are supplied from the coaxial cable 7b, which is the second high-frequency transmission line, via the power supply point 31 electrically connected by the solder or the like. As shown in FIG. 1, the coaxial cable 7 b has a configuration in which a center conductor 71 is covered with an insulator 74, and the outer periphery of the insulator 74 is covered with an outer conductor 72. Further, the outer conductor 72 is covered with a jacket 73.

【0041】なお、本発明の第1の実施形態に係る光源
装置に用いる第2の高周波伝送線路は、同軸ケーブル以
外にも、導波管、平行2線、ストリップ線路、マイクロ
ストリップ線路、コプレーナ導波線路(コプレーナ・ウ
ェイブガイド)等種々の高周波伝送線路が採用可能であ
る。しかし、ミリ波帯以下の周波数では、導波管は比較
的大きな寸法を本来的に有するので、小型化のためには
好ましくない。サブミリ波帯以上の高周波では、導波管
の寸法も小さくなるので、導波管を用いても、体積(容
量)の増加は気にならなくなくなる場合もあろう。
The second high-frequency transmission line used in the light source device according to the first embodiment of the present invention may be a waveguide, two parallel lines, a strip line, a microstrip line, a coplanar conductor, in addition to a coaxial cable. Various high-frequency transmission lines such as a wave line (coplanar wave guide) can be adopted. However, at frequencies below the millimeter wave band, the waveguide inherently has relatively large dimensions, which is not desirable for miniaturization. At high frequencies above the submillimeter wave band, the size of the waveguide is reduced, so that even when a waveguide is used, the increase in volume (capacity) may not be a concern.

【0042】図1に示す整合回路8は、この整合回路8
より先端側の第2の高周波伝送線路(第2の同軸ケーブ
ル)7b及び無電極ランプ用共振器51の全体のインピ
ーダンスを調整し、最も効率的に高周波電磁波が無電極
ランプ用共振器51に供給されるように調整する。
The matching circuit 8 shown in FIG.
The entire impedance of the second high-frequency transmission line (second coaxial cable) 7b and the electrodeless lamp resonator 51 on the more distal end side is adjusted, and high-frequency electromagnetic waves are supplied to the electrodeless lamp resonator 51 most efficiently. To be adjusted.

【0043】高周波電源9は300MHz以上のマイク
ロ波を発生するものであれば種々のものが採用出来る。
小型化のためには、MOSFET,高電子移動度トラン
ジスタ(HEMT),ヘテロ接合バイポーラトランジス
タ(HBT)、静電誘電トランジスタ(SIT)等を用
いたトランジスタ電源が好ましい。マグネトロン(2.
45GHz)を用いても良いが小型化には適しない。1
GHz以上の高周波においては、MMICによりトラン
ジスタ増幅回路を同一チップ上に集積化した高周波電源
が使用出来る。上記マイクロ波の電力は用途により異な
るが、数十Wから200W程度である。周波数が高くな
れば、無電極ランプ用共振器51が小型化し、無電極ラ
ンプ5も小型化する。従って、高周波になるに従い、必
要なマイクロ波の電力は低下することが可能である。
As the high-frequency power source 9, various devices can be employed as long as they generate microwaves of 300 MHz or more.
For miniaturization, a transistor power supply using a MOSFET, a high electron mobility transistor (HEMT), a heterojunction bipolar transistor (HBT), an electrostatic dielectric transistor (SIT), or the like is preferable. Magnetron (2.
45 GHz) may be used, but is not suitable for miniaturization. 1
At a high frequency of GHz or more, a high frequency power supply in which a transistor amplifier circuit is integrated on the same chip by an MMIC can be used. The power of the microwaves varies from several tens of watts to about 200 watts, depending on the application. As the frequency increases, the size of the electrodeless lamp resonator 51 decreases, and the size of the electrodeless lamp 5 also decreases. Therefore, the required microwave power can be reduced as the frequency becomes higher.

【0044】なお、本発明の第1の実施形態に係る無電
極ランプ用共振器51は、無電極ランプと高周波電磁波
の電磁界との結合効率が高いため、導波管構造の空洞共
振器を用いた場合と比較し、より低周波数で無電極ラン
プを放電させることが可能となる。従って、小型化をあ
る程度犠牲にするのであれば、100MHz程度、若し
くは、100MHz以下の高周波を採用することも可能
である。
The resonator 51 for an electrodeless lamp according to the first embodiment of the present invention has a high coupling efficiency between the electrodeless lamp and the electromagnetic field of a high-frequency electromagnetic wave. The electrodeless lamp can be discharged at a lower frequency as compared with the case where the electrodeless lamp is used. Therefore, if the miniaturization is sacrificed to some extent, a high frequency of about 100 MHz or 100 MHz or less can be adopted.

【0045】本発明の第1の実施形態に係る光源装置に
用いる第1の高周波伝送線路7aは、第2の高周波伝送
線路と同様に、同軸ケーブル以外にも、導波管、ストリ
ップ線路、マイクロストリップ線路、コプレーナ導波線
路等種々の高周波伝送線路が採用可能である。更に、高
周波電源9、第1の高周波伝送線路7a及び整合回路8
を、同一半導体基板上に集積化して、MMIC構造にす
れが、小型且つ高効率の光源装置を構成出来る。
The first high-frequency transmission line 7a used in the light source device according to the first embodiment of the present invention is similar to the second high-frequency transmission line, except for a coaxial cable, a waveguide, a strip line, and a micro-wave transmission line. Various high-frequency transmission lines such as a strip line and a coplanar waveguide line can be adopted. Furthermore, a high-frequency power supply 9, a first high-frequency transmission line 7a, and a matching circuit 8
Can be integrated on the same semiconductor substrate to form a small and highly efficient light source device with an MMIC structure.

【0046】図1に示す接地導体1は、中央部を円形に
くり貫いた、放熱器を兼ねた金属遮蔽板である。そし
て、図2(a)に示す軸方向に沿った断面図に明らかな
ように、片側開放の円筒の形状をしている。接地導体1
のくり貫かれた内径部分には、中央部を円形にくり貫い
た高誘電率の誘電体2が、ある厚みをもって同心円状に
配置されている。誘電体2の側面図を図2(b)に示し
ている。誘電体2は、接地導体1の片側開放の中空部に
はめ込まれている。誘電体2としては、アルミナ(Al
23)、窒化アルミニウム(AlN)、ベリリア(Be
O)等の耐熱性があり、熱伝導特性の優れたセラミック
ス等が好ましい。
The ground conductor 1 shown in FIG. 1 is a metal shielding plate having a central portion formed in a circular shape and serving also as a radiator. Then, as is apparent from the cross-sectional view along the axial direction shown in FIG. Ground conductor 1
A dielectric member 2 having a high dielectric constant and having a central portion formed in a circular shape is concentrically arranged in the hollowed inner diameter portion with a certain thickness. FIG. 2B shows a side view of the dielectric 2. The dielectric 2 is fitted in a hollow part of the ground conductor 1 that is open on one side. As the dielectric 2, alumina (Al
2 O 3 ), aluminum nitride (AlN), beryllia (Be
Ceramics having heat resistance such as O) and having excellent heat conduction properties are preferred.

【0047】無電極ランプ5は、所望の光に対して透明
の光学材料(ガラス)により管球を構成している。この
管球内には、用途に応じて、種々の金属、金属化合物等
を含む気体(ガス)を封じれば良い。例えば、可視光を
発光する無電極ランプ5には、水銀(Hg)、ナトリウ
ム(Na)、タリウム(Tl)、インジウム(In)、
スカンジウム(Sc)、トリウム(Th)、スズ(S
n)、又はこれらのハロゲン化物と共に、数kPaの圧
力で、キセノン(Xe)ガスなどの希ガスとを封入すれ
ば良い。また、紫外線を発光する無電極ランプ5では、
無電極ランプ5の材質を、溶融石英(SiO2)、サフ
ァイヤ(Al23)、フッ化カルシウム(CaF2)、
フッ化マグネシウム(MgF2)、フッ化リチウム(L
iF)などの紫外線の透過率が良いものを用いれば良
い。特に金属不純物が少ない溶融石英を用いることが加
工性などの面から適している。封入物としては、水銀
(Hg)、亜鉛(Zn)、カドミウム(Cd)、セレン
(Se)、砒素(As)又はこれらのハロゲン化物と、
共にキセノン(Xe)ガスなどの希ガスを封入すればよ
い。あるいはヨウ素(I2)ガス、水素(H2)ガス、重
水素(D2)ガス、キセノン(Xe)ガスなどを封入し
ても良い。無電極ランプ5の長さは用途に応じて変わ
る。
The electrodeless lamp 5 has a bulb made of an optical material (glass) transparent to desired light. A gas containing various metals, metal compounds, and the like may be sealed in the tube depending on the application. For example, the electrodeless lamp 5 that emits visible light includes mercury (Hg), sodium (Na), thallium (Tl), indium (In),
Scandium (Sc), Thorium (Th), Tin (S
n) or a rare gas such as xenon (Xe) gas at a pressure of several kPa together with these halides. In the electrodeless lamp 5 that emits ultraviolet light,
The material of the electrodeless lamp 5 is fused quartz (SiO 2 ), sapphire (Al 2 O 3 ), calcium fluoride (CaF 2 ),
Magnesium fluoride (MgF 2 ), lithium fluoride (L
What has good transmittance | permeability of ultraviolet rays, such as iF), should just be used. In particular, the use of fused quartz with few metal impurities is suitable from the viewpoint of workability and the like. As the filling material, mercury (Hg), zinc (Zn), cadmium (Cd), selenium (Se), arsenic (As), or a halide thereof,
Both may be filled with a rare gas such as xenon (Xe) gas. Alternatively, iodine (I 2 ) gas, hydrogen (H 2 ) gas, deuterium (D 2 ) gas, xenon (Xe) gas, or the like may be filled. The length of the electrodeless lamp 5 varies depending on the application.

【0048】上述した近似計算で明らかなように、無電
極ランプ5の管径は、700MHzのマイクロ波では1
3mm程度になる。しかし、更に高周波のマイクロ波に
すれば、無電極ランプ5の管径は、更に小さくできるこ
とは勿論である。
As is apparent from the above-described approximate calculation, the tube diameter of the electrodeless lamp 5 is 1 for a 700 MHz microwave.
It is about 3 mm. However, if a higher frequency microwave is used, the tube diameter of the electrodeless lamp 5 can of course be further reduced.

【0049】このように、本発明の第1の実施形態によ
れば、無電極ランプ5を、ほぼ点光源とみなすことが可
能な程度に小型化出来る。更に、図2に示すように、無
電極ランプ5の先端を光学的に開放状態にして、マイク
ロ波等の高周波の電磁界を共振させることが可能であ
る。従って、光学反射鏡を特に用いなくても、図2の左
側方向に光を、効率よく出射出来る。
As described above, according to the first embodiment of the present invention, the size of the electrodeless lamp 5 can be reduced to such an extent that it can be regarded as a point light source. Further, as shown in FIG. 2, it is possible to make the tip of the electrodeless lamp 5 optically open and resonate a high-frequency electromagnetic field such as a microwave. Therefore, light can be efficiently emitted in the left direction in FIG. 2 without using an optical reflecting mirror.

【0050】本発明の第1の実施形態に係る無電極ラン
プ用共振器51のQはマッチングがずれた状態で1〜2
桁、マッチング状態で3〜4桁の値が得られる。
The Q of the resonator 51 for an electrodeless lamp according to the first embodiment of the present invention is
Digits and 3 to 4 digits are obtained in the matching state.

【0051】(第2の実施形態)本発明の第2の実施形
態に係る無電極ランプ用共振器52は、図3に示すよう
に、中空円筒形の接地導体1と、接地導体1の内部に配
置され半径方向にスルーホール41を有する中空円筒形
の第1誘電体21と、第1誘電体21の内壁に、円周方
向に所定の高周波電磁波の共振長を有して配置された信
号線3と、信号線3の一方の端部と接地導体1とをスル
ーホール41を介して接続する接地配線4とから構成さ
れている。そして、この無電極ランプ用共振器52の信
号線3の共振長のほぼ中央部を給電点31とし、第2の
高周波伝送線路から伝送された高周波電磁波を給電して
いる。そして、本発明の第2の実施形態に係る無電極ラ
ンプ用共振器52は、信号線3の更に内周側に、中空円
筒形の第2誘電体22を挿入している。この第2誘電体
22は第1誘電体21とは、誘電率の異なったものを使
うことが可能である。第1誘電体21としては、例えば
アルミナ等のセラミックスを使えば良い。第2誘電体2
2としては、例えば、加工が容易なマコール等が使用可
能である。無電極ランプ5は、無電極ランプ用共振器5
2の第2誘電体22の中空部からなるランプ収納部6に
収納されている。
(Second Embodiment) As shown in FIG. 3, a resonator 52 for an electrodeless lamp according to a second embodiment of the present invention has a hollow cylindrical ground conductor 1 and an inner portion of the ground conductor 1. And a hollow cylindrical first dielectric 21 having a through hole 41 in the radial direction, and a signal arranged on the inner wall of the first dielectric 21 so as to have a predetermined high-frequency electromagnetic wave resonance length in the circumferential direction. It comprises a line 3 and a ground wire 4 for connecting one end of the signal line 3 to the ground conductor 1 via a through hole 41. A substantially central portion of the resonance length of the signal line 3 of the electrodeless lamp resonator 52 is used as a feeding point 31 for feeding high-frequency electromagnetic waves transmitted from the second high-frequency transmission line. In the resonator 52 for an electrodeless lamp according to the second embodiment of the present invention, a hollow cylindrical second dielectric 22 is inserted further inside the signal line 3. The second dielectric 22 may have a different dielectric constant from the first dielectric 21. As the first dielectric 21, a ceramic such as alumina may be used. Second dielectric 2
As 2, for example, macol or the like, which can be easily processed, can be used. The electrodeless lamp 5 is a resonator 5 for an electrodeless lamp.
The second dielectric 22 is housed in the lamp housing 6 formed of a hollow portion.

【0052】即ち、本発明の第2の実施形態に係る無電
極ランプ用共振器52は、本発明の第1の実施形態と同
様に、信号線3、中空円筒形の第1誘電体21及び中空
円筒形の接地導体1とにより、所定の特性インピーダン
スを有したマイクロストリップ線路を構成している。こ
のマイクロストリップ線路の信号線3は、図3に示すよ
うに、一方の端部を接地配線4により短絡し、他方の端
部を開放し、片側開放、片側短絡のマイクロストリップ
線路を構成している。そして、マイクロストリップ線路
の信号線3の長さは、マイクロストリップ線路上の波長
λgの1/4の長さに選ばれている。即ち、本発明の第
2の実施形態に係る無電極ランプ用共振器52は、第1
の実施形態と同様に、片側開放、片側短絡のλg/4共
振器である。
That is, the resonator 52 for an electrodeless lamp according to the second embodiment of the present invention comprises the signal line 3, the hollow cylindrical first dielectric 21 and the same as the first embodiment of the present invention. The hollow cylindrical ground conductor 1 constitutes a microstrip line having a predetermined characteristic impedance. As shown in FIG. 3, one end of the signal line 3 of the microstrip line is short-circuited by the ground wiring 4 and the other end is opened to form a one-side open, one-side short-circuited microstrip line. I have. The length of the signal line 3 of the microstrip line is chosen to 1/4 of the length of the wavelength lambda g of the microstrip line. That is, the resonator 52 for an electrodeless lamp according to the second embodiment of the present invention includes the first resonator.
A λ g / 4 resonator with one side open and one side short-circuited as in the embodiment of FIG.

【0053】既に、説明したように、特性インピーダン
スが50Ω近辺での2次元的マイクロストリップ線路
は、信号線の長さがλg/4=41.7mmで700M
Hzに共振することがわかる。図3に示す3次元的マイ
クロストリップ線路に対しては、厳密には、若干の補正
が必要である。しかし、2次元的マイクロストリップ線
路の線路長が41.7mmということは、図3に示す中
空円筒形の第1誘電体21の内周面の直径は、13.3
mmほどになる。既に説明したように、第1誘電体21
の内周円上周回してきた信号線3の両端の間隔を3〜4
mm開ける必要があるので、第1誘電体21の内径(直
径)は、14〜15mm程度になる。従って、第2誘電
体22の外径(直径)は、信号線3の厚みを考慮して、
例えば、12〜14.7mm程度の所定の大きさに選べ
ば良い。そして、無電極ランプ5の管径は、第2誘電体
22の厚みを考慮して決定されることになる。例えば、
700MHzでは8〜13mm程度に選べば良い。更に
高周波にすれば小さくできることは、第1の実施形態と
同様である。
As already described, a two-dimensional microstrip line with a characteristic impedance of around 50Ω has a signal line length of λ g /4=41.7 mm and 700M
It turns out that it resonates at Hz. Strictly, a slight correction is required for the three-dimensional microstrip line shown in FIG. However, the fact that the line length of the two-dimensional microstrip line is 41.7 mm means that the diameter of the inner peripheral surface of the hollow cylindrical first dielectric 21 shown in FIG.
mm. As described above, the first dielectric 21
The distance between the two ends of the signal line 3 that has circulated on the inner circumference of
Since it is necessary to open the first dielectric 21 mm, the inner diameter (diameter) of the first dielectric 21 is about 14 to 15 mm. Accordingly, the outer diameter (diameter) of the second dielectric 22 is determined in consideration of the thickness of the signal line 3.
For example, a size of about 12 to 14.7 mm may be selected. The tube diameter of the electrodeless lamp 5 is determined in consideration of the thickness of the second dielectric 22. For example,
At 700 MHz, it may be selected to be about 8 to 13 mm. The fact that the frequency can be further reduced by increasing the frequency is the same as in the first embodiment.

【0054】なお、図示を省略しているが、図1に示し
た本発明の第1の実施形態に係る光源装置と同様に、高
周波電源9、高周波電源9に接続された第1の高周波伝
送線路(第1の同軸ケーブル)7a、第1の高周波伝送
線路7aに接続された整合回路8とを更に有しているこ
とは勿論である。そして、第2の高周波伝送線路(第2
の同軸ケーブル)7bは、整合回路8に接続されてい
る。
Although not shown, the high-frequency power supply 9 and the first high-frequency transmission connected to the high-frequency power supply 9 are similar to the light source device according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. Needless to say, it further includes a line (first coaxial cable) 7a and a matching circuit 8 connected to the first high-frequency transmission line 7a. Then, a second high-frequency transmission line (second
7b is connected to the matching circuit 8.

【0055】図3に示す本発明の第2の実施形態に係る
無電極ランプ用共振器52の構造を用いれば、マイクロ
ストリップ線路の信号線3の縁で強くなる電界強度を、
第2誘電体22でコントロールすることが可能である。
When the structure of the electrodeless lamp resonator 52 according to the second embodiment of the present invention shown in FIG. 3 is used, the electric field strength that becomes strong at the edge of the signal line 3 of the microstrip line is reduced.
It can be controlled by the second dielectric 22.

【0056】また、図3に示す本発明の第2の実施形態
に係る無電極ランプ用共振器52の構造を用いれば、無
電極ランプから発生する熱の熱伝導性を、第2誘電体2
2で高めることが可能である。更に、第2誘電体22
は、無電極ランプ5の防爆に寄与することができる。
When the structure of the electrodeless lamp resonator 52 according to the second embodiment of the present invention shown in FIG. 3 is used, the thermal conductivity of heat generated from the electrodeless lamp is reduced by the second dielectric 2.
It is possible to increase by 2. Further, the second dielectric 22
Can contribute to the explosion protection of the electrodeless lamp 5.

【0057】[0057]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、よ
り小型、軽量の無電極ランプ用共振器を提供することが
できる。
As described above, according to the present invention, a smaller and lighter resonator for an electrodeless lamp can be provided.

【0058】また、本発明によれば、無電極ランプと高
周波電磁波の電磁界との結合効率が高い無電極ランプ用
共振器を提供することができる。
Further, according to the present invention, it is possible to provide a resonator for an electrodeless lamp having a high coupling efficiency between the electrodeless lamp and an electromagnetic field of a high-frequency electromagnetic wave.

【0059】更に、本発明によれば、より低周波数で無
電極ランプを放電させることが可能な無電極ランプ用共
振器を提供することができる。
Further, according to the present invention, it is possible to provide an electrodeless lamp resonator capable of discharging the electrodeless lamp at a lower frequency.

【0060】更に、本発明によれば、無電極ランプをも
小型化することが可能な無電極ランプ用共振器を提供す
ることができる。
Further, according to the present invention, it is possible to provide a resonator for an electrodeless lamp which can reduce the size of the electrodeless lamp.

【0061】更に、本発明によれば、より小型、軽量で
且つ高効率の無電極ランプを用いた光源装置を提供する
ことができる。
Further, according to the present invention, it is possible to provide a light source device using a smaller, lighter and more efficient electrodeless lamp.

【0062】更に、本発明によれば、無電極ランプをほ
ぼ点光源とみなす程度に小型化可能で、従来の導波管構
造の空洞共振器における光学反射鏡を特に必要としない
光源装置を提供することができる。
Further, according to the present invention, there is provided a light source device which can be miniaturized to such a degree that an electrodeless lamp can be regarded as a point light source, and does not particularly require an optical reflecting mirror in a conventional cavity resonator having a waveguide structure. can do.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第2の実施形態に係る円筒型無電極ラ
ンプ用共振器の軸方向に対して垂直方向の断面図であ
る。
FIG. 1 is a sectional view in a direction perpendicular to an axial direction of a resonator for a cylindrical electrodeless lamp according to a second embodiment of the present invention.

【図2】図2(a)は、図1に示した円筒型無電極ラン
プ用共振器の軸方向沿った断面図で、図2(b)は、誘
電体と高周波伝送線路との結合関係を示す側面図であ
る。
2A is a cross-sectional view of the cylindrical electrodeless lamp resonator shown in FIG. 1 along the axial direction, and FIG. 2B is a coupling relationship between a dielectric and a high-frequency transmission line. FIG.

【図3】図3(a)は、本発明の第2の実施形態に係る
円筒型無電極ランプ用共振器の軸方向に対して垂直方向
の断面図で、図3(b)は、その軸方向沿った断面図で
ある。
FIG. 3A is a cross-sectional view in a direction perpendicular to the axial direction of a cylindrical electrodeless lamp resonator according to a second embodiment of the present invention, and FIG. It is sectional drawing along the axial direction.

【図4】マイクロストリップ線路の構造を示す鳥瞰図で
ある。
FIG. 4 is a bird's-eye view showing a structure of a microstrip line.

【図5】従来の無電極ランプを用いた光源装置を示す鳥
瞰図である。
FIG. 5 is a bird's-eye view showing a light source device using a conventional electrodeless lamp.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 接地導体 2 誘電体 3 信号線 4 接地配線 5 無電極ランプ 6 ランプ収納部 7a 第1の高周波伝送線路(第1の同軸ケーブル) 7b 第2の高周波伝送線路(第2の同軸ケーブル) 8 整合回路 9 高周波電源 21 第1誘電体 22 第2誘電体 31 給電点 41 スルーホール 51,52 無電極ランプ用共振器 71 中心導体 72 外部導体 73 外被 74 絶縁体 81 接地導体 82 誘電体 83 信号線 84,87 端部 85 空洞共振器 86 側部 88 マグネトロン 89 導波管 90 結合用スロット 91 ステム 92 モータ 93 無電極ランプ REFERENCE SIGNS LIST 1 ground conductor 2 dielectric 3 signal wire 4 ground wiring 5 electrodeless lamp 6 lamp housing 7 a first high-frequency transmission line (first coaxial cable) 7 b second high-frequency transmission line (second coaxial cable) 8 matching Circuit 9 High-frequency power supply 21 First dielectric 22 Second dielectric 31 Feeding point 41 Through hole 51, 52 Resonator for electrodeless lamp 71 Center conductor 72 External conductor 73 Jacket 74 Insulator 81 Ground conductor 82 Dielectric 83 Signal line 84, 87 end portion 85 cavity resonator 86 side portion 88 magnetron 89 waveguide 90 coupling slot 91 stem 92 motor 93 electrodeless lamp

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 中空円筒形の接地導体と、 前記接地導体の内部に配置され、半径方向にスルーホー
ルを有する中空円筒形の誘電体と、 前記誘電体の内壁に、円周方向に所定の高周波電磁波の
共振長を有して配置された信号線と、 前記信号線の一方の端部と前記接地導体とを、前記スル
ーホールを介して接続する接地配線とから構成され、前
記共振長のほぼ中央部において、前記信号線に前記所定
の高周波電磁波を給電し、前記誘電体の中空部を無電極
ランプ収納部としたことを特徴とする無電極ランプ用共
振器。
A hollow cylindrical grounding conductor, a hollow cylindrical dielectric disposed inside the grounding conductor and having a through hole in a radial direction, and a predetermined circumferentially extending inner wall provided on the dielectric. A signal line arranged with a resonance length of a high-frequency electromagnetic wave, and a ground wire connecting one end of the signal line and the ground conductor through the through hole; A resonator for an electrodeless lamp, wherein the predetermined high-frequency electromagnetic wave is supplied to the signal line at a substantially central portion, and the hollow portion of the dielectric is an electrodeless lamp housing.
【請求項2】 所定の高周波電磁波を発生する高周波電
源と、 前記高周波電源に接続された第1の高周波伝送線路と、 前記第1の高周波伝送線路に接続された整合回路と、 前記整合回路に接続された第2の高周波伝送線路と、 中空円筒形の接地導体と、前記接地導体の内部に配置さ
れ半径方向にスルーホールを有する中空円筒形の誘電体
と、前記誘電体の内壁に、円周方向に所定の高周波電磁
波の共振長を有して配置された信号線と、前記信号線の
一方の端部と前記接地導体とを前記スルーホールを介し
て接続する接地配線とからなる無電極ランプ用共振器
と、 前記誘電体の中空部に収納された無電極ランプとから構
成され、前記共振長のほぼ中央部において、前記第2の
高周波伝送線路から伝送された高周波電磁波を給電した
ことを特徴とする光源装置。
2. A high-frequency power supply for generating a predetermined high-frequency electromagnetic wave; a first high-frequency transmission line connected to the high-frequency power supply; a matching circuit connected to the first high-frequency transmission line; A second high-frequency transmission line connected thereto, a hollow cylindrical grounding conductor, a hollow cylindrical dielectric disposed inside the grounding conductor and having a through hole in a radial direction, and a circle formed on an inner wall of the dielectric. A non-electrode comprising a signal line arranged with a predetermined high-frequency electromagnetic wave resonance length in the circumferential direction, and a ground wiring connecting one end of the signal line and the ground conductor through the through hole. A lamp resonator, and an electrodeless lamp housed in a hollow portion of the dielectric, and a high-frequency electromagnetic wave transmitted from the second high-frequency transmission line is supplied at a substantially central portion of the resonance length. Features Light source device for.
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003015195A1 (en) * 2001-08-07 2003-02-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Non-aqueous electrolytic secondary battery
JP2004505429A (en) * 2000-07-31 2004-02-19 ラクシム コーポレーション Plasma lamp having dielectric waveguide and light emitting method thereof
KR100430007B1 (en) * 2002-04-12 2004-05-03 엘지전자 주식회사 Feeder structure for plasma lighting system
JP2007115534A (en) * 2005-10-20 2007-05-10 National Univ Corp Shizuoka Univ Discharge lamp device, discharge lamp and discharge lamp lighting device
US7554054B2 (en) 2004-10-01 2009-06-30 Seiko Epson Corporation High-frequency heating device, semiconductor manufacturing device, and light source device
US7795815B2 (en) 2005-11-01 2010-09-14 Seiko Epson Corporation Light source device and projector including light source device
US7816871B2 (en) 2005-11-01 2010-10-19 Seiko Epson Corporation Projector and method of turning on light source device of projector
JP2010251110A (en) * 2009-04-15 2010-11-04 Totsuken:Kk High-pressure discharge lamp

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004505429A (en) * 2000-07-31 2004-02-19 ラクシム コーポレーション Plasma lamp having dielectric waveguide and light emitting method thereof
WO2003015195A1 (en) * 2001-08-07 2003-02-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Non-aqueous electrolytic secondary battery
KR100867068B1 (en) * 2001-08-07 2008-11-04 파나소닉 주식회사 Non-aqueous electrolytic secondary battery
KR100430007B1 (en) * 2002-04-12 2004-05-03 엘지전자 주식회사 Feeder structure for plasma lighting system
US7554054B2 (en) 2004-10-01 2009-06-30 Seiko Epson Corporation High-frequency heating device, semiconductor manufacturing device, and light source device
JP2007115534A (en) * 2005-10-20 2007-05-10 National Univ Corp Shizuoka Univ Discharge lamp device, discharge lamp and discharge lamp lighting device
JP4714868B2 (en) * 2005-10-20 2011-06-29 国立大学法人静岡大学 Discharge lamp equipment
US7795815B2 (en) 2005-11-01 2010-09-14 Seiko Epson Corporation Light source device and projector including light source device
US7816871B2 (en) 2005-11-01 2010-10-19 Seiko Epson Corporation Projector and method of turning on light source device of projector
US7965044B2 (en) 2005-11-01 2011-06-21 Seiko Epson Corporation Light source device and projector including light source device
JP2010251110A (en) * 2009-04-15 2010-11-04 Totsuken:Kk High-pressure discharge lamp

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