JP2001201701A - 光スイッチ - Google Patents
光スイッチInfo
- Publication number
- JP2001201701A JP2001201701A JP2000389247A JP2000389247A JP2001201701A JP 2001201701 A JP2001201701 A JP 2001201701A JP 2000389247 A JP2000389247 A JP 2000389247A JP 2000389247 A JP2000389247 A JP 2000389247A JP 2001201701 A JP2001201701 A JP 2001201701A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- waveguide
- trench
- optical switch
- gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/3536—Optical coupling means having switching means involving evanescent coupling variation, e.g. by a moving element such as a membrane which changes the effective refractive index
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/004—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on a displacement or a deformation of a fluid
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/354—Switching arrangements, i.e. number of input/output ports and interconnection types
- G02B6/3544—2D constellations, i.e. with switching elements and switched beams located in a plane
- G02B6/3546—NxM switch, i.e. a regular array of switches elements of matrix type constellation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/3564—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
- G02B6/3568—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details characterised by the actuating force
- G02B6/3574—Mechanical force, e.g. pressure variations
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/3564—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
- G02B6/3568—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details characterised by the actuating force
- G02B6/3576—Temperature or heat actuation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/3596—With planar waveguide arrangement, i.e. in a substrate, regardless if actuating mechanism is outside the substrate
Abstract
(57)【要約】
【課題】高速のスイッチングが可能であるクロスポイン
ト光スイッチを提供すること。 【解決手段】本発明によるクロスポイント型の光スイッ
チの有するトレンチ１００の構造は、狭幅領域１１３、
及びその少なくとも一側に位置する広げられた拡開領域
１１２、１１４を有する。狭幅領域１１３には加熱部材
１１６が設けられる。通常は狭幅領域１１３には、屈折
率が整合した液体が充填され、狭幅領域１１３を交差す
る光信号を通過させることができる。加熱部材１１６が
動作すると、狭幅領域１１３に泡が発生し、このとき交
差方向に領域１１３に入射される光は狭幅領域１１３で
反射される。この泡は、その一部がわずかに拡開領域１
１２又は１１４に進入したとき、表面張力の影響によ
り、狭幅領域１１３を抜けて拡開領域１１２又は１１４
へと引き込まれる。従って、泡の除去がより素早く行な
われ、比較的高速でのスイッチングが可能となる。
ト光スイッチを提供すること。 【解決手段】本発明によるクロスポイント型の光スイッ
チの有するトレンチ１００の構造は、狭幅領域１１３、
及びその少なくとも一側に位置する広げられた拡開領域
１１２、１１４を有する。狭幅領域１１３には加熱部材
１１６が設けられる。通常は狭幅領域１１３には、屈折
率が整合した液体が充填され、狭幅領域１１３を交差す
る光信号を通過させることができる。加熱部材１１６が
動作すると、狭幅領域１１３に泡が発生し、このとき交
差方向に領域１１３に入射される光は狭幅領域１１３で
反射される。この泡は、その一部がわずかに拡開領域１
１２又は１１４に進入したとき、表面張力の影響によ
り、狭幅領域１１３を抜けて拡開領域１１２又は１１４
へと引き込まれる。従って、泡の除去がより素早く行な
われ、比較的高速でのスイッチングが可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光スイッチに関
し、さらに詳細には、クロスポイントスイッチング素子
又は交差型スイッチング素子に関するものである。
し、さらに詳細には、クロスポイントスイッチング素子
又は交差型スイッチング素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバは、電子的なパスに比較して
遥かに高速のデータ速度の通信を可能とする。しかしな
がら、光学的な信号路に固有の大きな帯域の効果的な利
用のためには、光学的な交差接続スイッチが必要であ
る。典型的な遠隔通信環境において、光ファイバ間の信
号の切り換えには、電気的な交差接続スイッチが用いら
れている。光信号は、まず、電気信号に変換される。電
気信号が切り換えられた後、信号は、光ファイバを介し
て送信される光信号に再び復帰変換される。高い処理能
力を実現するために、電気的な交差接続スイッチは、高
度な平行度を備えた高価なスイッチング構成を用いてい
る。しかしながら、このような平行構造を用いても、交
差接続スイッチにはボトルネックがある。
遥かに高速のデータ速度の通信を可能とする。しかしな
がら、光学的な信号路に固有の大きな帯域の効果的な利
用のためには、光学的な交差接続スイッチが必要であ
る。典型的な遠隔通信環境において、光ファイバ間の信
号の切り換えには、電気的な交差接続スイッチが用いら
れている。光信号は、まず、電気信号に変換される。電
気信号が切り換えられた後、信号は、光ファイバを介し
て送信される光信号に再び復帰変換される。高い処理能
力を実現するために、電気的な交差接続スイッチは、高
度な平行度を備えた高価なスイッチング構成を用いてい
る。しかしながら、このような平行構造を用いても、交
差接続スイッチにはボトルネックがある。
【０００３】多くの光学的な交差接続スイッチが提案さ
れているが、それらのいずれもが、コスト相応の、信頼
性の高い光学的な交差接続スイッチに対するニーズを充
分には満足していない。ある種の光学的な交差接続スイ
ッチは、スイッチングのために波長分割多重化（WDM）
を用いている。しかしながら、このタイプのシステム
は、光信号を異なる波長で切り換えねばならない。光信
号がいつでも同じ波長であるようなシステムにおいて
は、このタイプのシステムは、信号を必要な波長に変換
し、切り換え、次いで、元の波長に再び戻さなければな
らない。このような変換処理は、システムを複雑化し、
コスト高にする。
れているが、それらのいずれもが、コスト相応の、信頼
性の高い光学的な交差接続スイッチに対するニーズを充
分には満足していない。ある種の光学的な交差接続スイ
ッチは、スイッチングのために波長分割多重化（WDM）
を用いている。しかしながら、このタイプのシステム
は、光信号を異なる波長で切り換えねばならない。光信
号がいつでも同じ波長であるようなシステムにおいて
は、このタイプのシステムは、信号を必要な波長に変換
し、切り換え、次いで、元の波長に再び戻さなければな
らない。このような変換処理は、システムを複雑化し、
コスト高にする。
【０００４】光学的な交差接続の第２のタイプは、全反
射（TIR: Total Internal Reflection）スイッチング素
子を用いる。TIR部材は、切り換え可能な境界を備えた
導波路からなる。光は、境界に所定の角度で入射する。
第１の状態において、境界は、ほとんど異なる屈折率を
備えた二つの領域を分離している。この状態において、
光は、この境界に関して反射されて方向を変える。第２
の状態において、境界により分離されたこの二つの領域
は、同じ屈折率を備え、光は、境界を真っ直ぐ通過す
る。方向変化の大きさは、二つの領域の屈折率差に対応
する。方向を大きく変化させるためには、境界背後の領
域は、導波路の屈折率に等しい屈折率と導波路のそれと
大きく異なるものとに切り換えられねばならない。
射（TIR: Total Internal Reflection）スイッチング素
子を用いる。TIR部材は、切り換え可能な境界を備えた
導波路からなる。光は、境界に所定の角度で入射する。
第１の状態において、境界は、ほとんど異なる屈折率を
備えた二つの領域を分離している。この状態において、
光は、この境界に関して反射されて方向を変える。第２
の状態において、境界により分離されたこの二つの領域
は、同じ屈折率を備え、光は、境界を真っ直ぐ通過す
る。方向変化の大きさは、二つの領域の屈折率差に対応
する。方向を大きく変化させるためには、境界背後の領
域は、導波路の屈折率に等しい屈折率と導波路のそれと
大きく異なるものとに切り換えられねばならない。
【０００５】大きな屈折率変化を行うある種の従来技術
のTIR部材は、境界背後の材料を機械的に変化させるよ
うに作動する。例えば、Kanaiなどの米国特許第５，２
０４，９２１号は、導波路内の交差ポイントのアレイに
基づいた光学的な交差接続を開示している。各々の交差
ポイントにおける溝が、どの溝が屈折率整合オイルによ
り充填されているかに応じてオン・オフされる。屈折率
整合オイルは、導波路の屈折率に近い屈折率を備えてい
る。導波路を介して伝えられた光信号は、溝が屈折率整
合オイルにより充填されているとき、交差ポイントを通
過して伝達されるが、信号は、溝が空のときは、全反射
により交差ポイントにおいてその方向を変化する。交差
ポイントスイッチングを変化させるためには、溝は、充
填され、空にされなければならない。この特許において
記述されるシステムにおいて、「ロボット」が、溝を充
填したり、空にしたりする。このタイプのスイッチは、
関心のある多くの用途に対しては余りにも低速であるこ
とである。
のTIR部材は、境界背後の材料を機械的に変化させるよ
うに作動する。例えば、Kanaiなどの米国特許第５，２
０４，９２１号は、導波路内の交差ポイントのアレイに
基づいた光学的な交差接続を開示している。各々の交差
ポイントにおける溝が、どの溝が屈折率整合オイルによ
り充填されているかに応じてオン・オフされる。屈折率
整合オイルは、導波路の屈折率に近い屈折率を備えてい
る。導波路を介して伝えられた光信号は、溝が屈折率整
合オイルにより充填されているとき、交差ポイントを通
過して伝達されるが、信号は、溝が空のときは、全反射
により交差ポイントにおいてその方向を変化する。交差
ポイントスイッチングを変化させるためには、溝は、充
填され、空にされなければならない。この特許において
記述されるシステムにおいて、「ロボット」が、溝を充
填したり、空にしたりする。このタイプのスイッチは、
関心のある多くの用途に対しては余りにも低速であるこ
とである。
【０００６】TIR部材のこのタイプのより高速化に対応
した初期のバージョンが、ここで参照される米国特許第
５，６９９，４６２号に述べられている。この特許にお
けるTIR部材は、第１の光学的な導波路及び第２の光学
的な導波路の交点におけるギャップから液体を移動させ
るために熱励起を用いる。このタイプのTIR部材におい
て、トレンチが導波路を分離している。このトレンチに
は、屈折率整合液体が充填されている。局部的なヒータ
を用いて屈折率整合液体を加熱することにより、泡が交
差ポイントに発生させられる。交差ポイントを反射状態
から透過状態に切り換えて出力光信号の方向を変化させ
るために、泡は交差ポイントから除去されねばならな
い。
した初期のバージョンが、ここで参照される米国特許第
５，６９９，４６２号に述べられている。この特許にお
けるTIR部材は、第１の光学的な導波路及び第２の光学
的な導波路の交点におけるギャップから液体を移動させ
るために熱励起を用いる。このタイプのTIR部材におい
て、トレンチが導波路を分離している。このトレンチに
は、屈折率整合液体が充填されている。局部的なヒータ
を用いて屈折率整合液体を加熱することにより、泡が交
差ポイントに発生させられる。交差ポイントを反射状態
から透過状態に切り換えて出力光信号の方向を変化させ
るために、泡は交差ポイントから除去されねばならな
い。
【０００７】泡が凝縮不能の気体（空気のような）を含
んでいるときは、ヒータがオフになるとき、消滅するに
は非常に長時間を要する。迅速なサイクル時間を必要と
する多くの用途に対してこの点は受け入れがたい。この
ような気泡は、気泡に力を加えて片側に、光路の外に押
し出すことによって除去できる。
んでいるときは、ヒータがオフになるとき、消滅するに
は非常に長時間を要する。迅速なサイクル時間を必要と
する多くの用途に対してこの点は受け入れがたい。この
ような気泡は、気泡に力を加えて片側に、光路の外に押
し出すことによって除去できる。
【０００８】泡は、また、泡の片側の圧力を増すことに
よってトレンチの他の側へ移動させることができる。こ
のような圧力増加は、交差ポイントの片側で液体に熱を
加えることによってあるいは交差ポイントの片側に液体
を物理的に移動することによって実現し、交差ポイント
から泡を押し出すか引っ張り出す。トレンチの壁が互い
に平行なときは、この移動は、泡全体を交差ポイント領
域から完全に除去するのに充分なだけのものが必要であ
る。このような大きな移動は、比較的長時間を必要と
し、また、高価なハドウエアを必要とする。
よってトレンチの他の側へ移動させることができる。こ
のような圧力増加は、交差ポイントの片側で液体に熱を
加えることによってあるいは交差ポイントの片側に液体
を物理的に移動することによって実現し、交差ポイント
から泡を押し出すか引っ張り出す。トレンチの壁が互い
に平行なときは、この移動は、泡全体を交差ポイント領
域から完全に除去するのに充分なだけのものが必要であ
る。このような大きな移動は、比較的長時間を必要と
し、また、高価なハドウエアを必要とする。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、交差接続ス
イッチなどに使用する交差構造を提供することを主目的
とするものである。
イッチなどに使用する交差構造を提供することを主目的
とするものである。
【００１０】本発明の他の目的は、泡の消去時間が従来
技術のクロスポイントスイッチのそれよりも短い交差ポ
イント構造を提供することを目的とするものである。
技術のクロスポイントスイッチのそれよりも短い交差ポ
イント構造を提供することを目的とするものである。
【００１１】それらの目的及びその他の目的は、以下の
発明の詳細な説明及び添付の図面から当業者には明らか
なことになろう。
発明の詳細な説明及び添付の図面から当業者には明らか
なことになろう。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、所定の幅を備
えたギャップにおいて交差する第１及び第２の導波路を
備えた基板上に構成された光スイッチにある。第１及び
第２の導波路は、ギャップが第１の屈折率を備えた液体
で充填されたとき、第１の導波路を進む光が第２の導波
路に入るように、配置されている。このギャップは、ギ
ャップを含む第１の領域及び第１の領域に隣接する第２
の領域を備えた基板内のトレンチの一部分である。第２
の領域は、第１の領域の幅よりも大きな幅を備えてい
る。第１の導波路を進む光は、ギャップが液体で充填さ
れているとき、ギャップによって反射される。第１の屈
折率を備えた液体が、第１の領域に配置される。液体
は、所定の温度に加熱されたとき、気体を発生させる。
第１のヒータが、第１の領域内に配置され、液体を所定
の温度まで加熱し、ギャップにおいて液体内に気泡を発
生させる。移動機構が、制御信号に応答して第１の領域
内の気泡を部分的に第２の領域内に伸長させる。移動機
構は、第１のヒータ及び第２の領域の間で第１の領域に
その一部分を位置させた第２のヒータから構成できる。
移動機構は、また、第１の領域に圧力差を加えて泡を第
２の領域内に一部分伸長させる機構を備えても良い。ト
レンチに終端を備えた第３の導波路が、また、光スイッ
チに配置されても良い。第３の導波路は、ギャップが液
体で充填されてないとき、第１の導波路を進む光が第３
の導波路に入るように配置される。
えたギャップにおいて交差する第１及び第２の導波路を
備えた基板上に構成された光スイッチにある。第１及び
第２の導波路は、ギャップが第１の屈折率を備えた液体
で充填されたとき、第１の導波路を進む光が第２の導波
路に入るように、配置されている。このギャップは、ギ
ャップを含む第１の領域及び第１の領域に隣接する第２
の領域を備えた基板内のトレンチの一部分である。第２
の領域は、第１の領域の幅よりも大きな幅を備えてい
る。第１の導波路を進む光は、ギャップが液体で充填さ
れているとき、ギャップによって反射される。第１の屈
折率を備えた液体が、第１の領域に配置される。液体
は、所定の温度に加熱されたとき、気体を発生させる。
第１のヒータが、第１の領域内に配置され、液体を所定
の温度まで加熱し、ギャップにおいて液体内に気泡を発
生させる。移動機構が、制御信号に応答して第１の領域
内の気泡を部分的に第２の領域内に伸長させる。移動機
構は、第１のヒータ及び第２の領域の間で第１の領域に
その一部分を位置させた第２のヒータから構成できる。
移動機構は、また、第１の領域に圧力差を加えて泡を第
２の領域内に一部分伸長させる機構を備えても良い。ト
レンチに終端を備えた第３の導波路が、また、光スイッ
チに配置されても良い。第３の導波路は、ギャップが液
体で充填されてないとき、第１の導波路を進む光が第３
の導波路に入るように配置される。
【００１３】即ち、本発明によるクロスポイント型の光
スイッチの有するトレンチの構造は、狭幅領域、及びそ
の少なくとも一側に位置する広げられた拡開領域を有す
る。狭幅領域には加熱部材が設けられる。通常は狭幅領
域には、屈折率が整合した液体が充填され、狭幅領域を
交差する光信号を通過させることができる。加熱部材が
動作すると、狭幅領域に泡が発生し、このとき交差方向
に領域に入射される光は狭幅領域で反射される。この泡
は、その一部がわずかに拡開領域に進入したとき、表面
張力の影響により、狭幅領域を抜けて拡開領域へと引き
込まれる。従って、泡の除去がより素早く行なわれ、比
較的高速でのスイッチングが可能となる。
スイッチの有するトレンチの構造は、狭幅領域、及びそ
の少なくとも一側に位置する広げられた拡開領域を有す
る。狭幅領域には加熱部材が設けられる。通常は狭幅領
域には、屈折率が整合した液体が充填され、狭幅領域を
交差する光信号を通過させることができる。加熱部材が
動作すると、狭幅領域に泡が発生し、このとき交差方向
に領域に入射される光は狭幅領域で反射される。この泡
は、その一部がわずかに拡開領域に進入したとき、表面
張力の影響により、狭幅領域を抜けて拡開領域へと引き
込まれる。従って、泡の除去がより素早く行なわれ、比
較的高速でのスイッチングが可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下に添付図面を参照して本発明
の好適実施形態となるスイッチ装置について詳細に説明
する。まず、本発明は、二つの状態を備えたクロスポイ
ントスイッチング装置１０の平面図である図１及び図２
を参照するとより良く理解できる。スイッチング素子１
０は、基板上部のプレーナ光導波回路において製造され
た３個の導波路１１−１３から構成されている。基板は
二酸化ケイ素であることが好ましいが、ケイ素のような
材料を用いても良い。導波路は、二つのクラッド層とコ
ア層とにより構成されている。図面を単純化するため
に、個々の層は図示されていない。二酸化ケイ素による
このような導波路の製造は、従来周知であり、従って、
ここでは詳述はしない。例えば、オハイオ州コロンバス
にあるHitachi Cable and Photonic Integration Resea
rch, Inc. は、二酸化ケイ素及びケイ素基板上のＳｉＯ
2導波路を発表した。コアは、基本的には、Ｇｅあるい
はＴｉＯ2をドープされたＳｉＯ2である。クラッド材料
は、Ｂ2Ｏ3及び／あるいはＰ2Ｏ5のような材料をドープ
されたＳｉＯ2である。コア材料は、クラッド層の屈折
率とは異なる屈折率を備えているので、光信号は、導波
路１１−１３に沿って導かれる。
の好適実施形態となるスイッチ装置について詳細に説明
する。まず、本発明は、二つの状態を備えたクロスポイ
ントスイッチング装置１０の平面図である図１及び図２
を参照するとより良く理解できる。スイッチング素子１
０は、基板上部のプレーナ光導波回路において製造され
た３個の導波路１１−１３から構成されている。基板は
二酸化ケイ素であることが好ましいが、ケイ素のような
材料を用いても良い。導波路は、二つのクラッド層とコ
ア層とにより構成されている。図面を単純化するため
に、個々の層は図示されていない。二酸化ケイ素による
このような導波路の製造は、従来周知であり、従って、
ここでは詳述はしない。例えば、オハイオ州コロンバス
にあるHitachi Cable and Photonic Integration Resea
rch, Inc. は、二酸化ケイ素及びケイ素基板上のＳｉＯ
2導波路を発表した。コアは、基本的には、Ｇｅあるい
はＴｉＯ2をドープされたＳｉＯ2である。クラッド材料
は、Ｂ2Ｏ3及び／あるいはＰ2Ｏ5のような材料をドープ
されたＳｉＯ2である。コア材料は、クラッド層の屈折
率とは異なる屈折率を備えているので、光信号は、導波
路１１−１３に沿って導かれる。
【００１５】トレンチ１４は、導波路を貫通してエッチ
ングされ、ケイ素基板内に達していることが好ましい。
図１に示すように、トレンチ１４は、トレンチ１４を充
填する材料の屈折率が導波路の屈折率と大きく異なって
いるときは、導波路１１内を進む光が導波路１３内に反
射されるようにする。スイッチング素子のこの状態を
「反射」状態と呼ぶ。しかしながら、トレンチ及び導波
路の交差ポイントが導波路の屈折率と等しい屈折率を備
えた材料で充填されているときは、図２に示すように、
光信号は、トレンチ１４を通過して導波路１２から出て
行く。スイッチング素子のこの状態を「非反射」状態と
呼ぶ。
ングされ、ケイ素基板内に達していることが好ましい。
図１に示すように、トレンチ１４は、トレンチ１４を充
填する材料の屈折率が導波路の屈折率と大きく異なって
いるときは、導波路１１内を進む光が導波路１３内に反
射されるようにする。スイッチング素子のこの状態を
「反射」状態と呼ぶ。しかしながら、トレンチ及び導波
路の交差ポイントが導波路の屈折率と等しい屈折率を備
えた材料で充填されているときは、図２に示すように、
光信号は、トレンチ１４を通過して導波路１２から出て
行く。スイッチング素子のこの状態を「非反射」状態と
呼ぶ。
【００１６】導波路１１及び１３が交差する角度は、導
波路材料及びトレンチにおいて反射状態を作り出すため
に使われる材料間の屈折率の差によって定まる。導波路
の入射角度とトレンチの位置は、導波路１１からトレン
チ壁へ入射する光が導波路１３内に全反射されるように
選択される。この角度は、トレンチ壁の正規の方向に関
して５３度〜７５度である。
波路材料及びトレンチにおいて反射状態を作り出すため
に使われる材料間の屈折率の差によって定まる。導波路
の入射角度とトレンチの位置は、導波路１１からトレン
チ壁へ入射する光が導波路１３内に全反射されるように
選択される。この角度は、トレンチ壁の正規の方向に関
して５３度〜７５度である。
【００１７】トレンチが屈折率整合材料で充填されてい
るときは、第４の導波路１９内を進む光は導波路１３に
進む。導波路１９は、クロスポイントスイッチング素子
の二次元的なアレイを用いる交差接続スイッチを構成す
る。このタイプのアレイは、クロスポイントスイッチン
グ素子の複数の行及び列からなる。それらの行及び列
は、行及び列の導波路を介して接続される。交差接続ス
イッチは、行導波路上の信号を列導波路に接続できる。
特定のスイッチングパターンが、スイッチング素子の状
態に応じて定まる。
るときは、第４の導波路１９内を進む光は導波路１３に
進む。導波路１９は、クロスポイントスイッチング素子
の二次元的なアレイを用いる交差接続スイッチを構成す
る。このタイプのアレイは、クロスポイントスイッチン
グ素子の複数の行及び列からなる。それらの行及び列
は、行及び列の導波路を介して接続される。交差接続ス
イッチは、行導波路上の信号を列導波路に接続できる。
特定のスイッチングパターンが、スイッチング素子の状
態に応じて定まる。
【００１８】それらのシンプルな交差接続スイッチにお
いては、いかなる時点においても、行導波路からの光を
列導波路に切り換えるようにそれぞれの列にせいぜい１
個のスイッチング素子が配置されているだけである。列
導波路に切り換えられた光は、非反射状態にあるスイッ
チング素子を介して列の端部に伝えられる。導波路１９
は、アレイ内で部材１０上のスイッチング素子によって
切り換えられた光がその下方の列にある次のスイッチン
グ素子に伝えられることを可能にして光が列内の最後の
スイッチング素子から最終的に出ることができるように
する。
いては、いかなる時点においても、行導波路からの光を
列導波路に切り換えるようにそれぞれの列にせいぜい１
個のスイッチング素子が配置されているだけである。列
導波路に切り換えられた光は、非反射状態にあるスイッ
チング素子を介して列の端部に伝えられる。導波路１９
は、アレイ内で部材１０上のスイッチング素子によって
切り換えられた光がその下方の列にある次のスイッチン
グ素子に伝えられることを可能にして光が列内の最後の
スイッチング素子から最終的に出ることができるように
する。
【００１９】上述したように、屈折率整合材料は、過熱
部材６の助けを借りて交差ポイントにおいて泡１５を形
成するときこの交差ポイントから移動される。この機能
に必要な小さな加熱部材が、インクジェット印刷技術に
おいて周知であるので、ここでは詳述しない。加熱部材
は、導波路の下方に配置されてトレンチを横断する光が
加熱部材によって遮断されないようにすることが好まし
い。泡は、屈折率整合材料を蒸発させるかあるいは液体
中に溶解されている気体を解放することにより発生させ
られる。
部材６の助けを借りて交差ポイントにおいて泡１５を形
成するときこの交差ポイントから移動される。この機能
に必要な小さな加熱部材が、インクジェット印刷技術に
おいて周知であるので、ここでは詳述しない。加熱部材
は、導波路の下方に配置されてトレンチを横断する光が
加熱部材によって遮断されないようにすることが好まし
い。泡は、屈折率整合材料を蒸発させるかあるいは液体
中に溶解されている気体を解放することにより発生させ
られる。
【００２０】泡は、消滅させるか図２に示すように片側
に移動させるかして除去される。片側への泡の移動は、
少なくとも泡の長さ分の距離だけの移動を要求される。
に移動させるかして除去される。片側への泡の移動は、
少なくとも泡の長さ分の距離だけの移動を要求される。
【００２１】本発明は、泡の移動に必要な移動量を減少
させてこの問題を解決しようとするものである。図３〜
図５を参照する。図３は、本発明による交差ポイントト
レンチ１００の平面図である。図４は、トレンチ１００
の側面図である。トレンチ１００は、図１及び図２に示
されるトレンチ１４とは置き換えられている。図５は、
トレンチ１００を用いるスイッチング素子１０１の平面
図である。図５は、泡１１７が存在するときのトレンチ
壁からの光信号の反射を示している。図面を簡単にする
ために、図５において１２１−１２３で示される導波路
は、図３及び図４においては省略されている。トレンチ
１００は、基板１８０にエッチングされることが好まし
く、平行な壁を備えたギャップ領域１１３からなり、図
５に示されているように光信号を反射するかあるいは前
記領域１１３が屈折率整合材料を充填されたとき光信号
がトレンチを通過させるかする。領域１１３の両側のト
レンチ部分は、１１２及び１１４で示されるように広げ
られている。加熱部材１１６が、トレンチ１００の底部
に配置されている。本実施形態では、広げられた部分の
両側のトレンチの壁１１１及び１１５は、互いに平行で
あるが、本発明の示唆するところに従って他の形状にす
ることも可能である。
させてこの問題を解決しようとするものである。図３〜
図５を参照する。図３は、本発明による交差ポイントト
レンチ１００の平面図である。図４は、トレンチ１００
の側面図である。トレンチ１００は、図１及び図２に示
されるトレンチ１４とは置き換えられている。図５は、
トレンチ１００を用いるスイッチング素子１０１の平面
図である。図５は、泡１１７が存在するときのトレンチ
壁からの光信号の反射を示している。図面を簡単にする
ために、図５において１２１−１２３で示される導波路
は、図３及び図４においては省略されている。トレンチ
１００は、基板１８０にエッチングされることが好まし
く、平行な壁を備えたギャップ領域１１３からなり、図
５に示されているように光信号を反射するかあるいは前
記領域１１３が屈折率整合材料を充填されたとき光信号
がトレンチを通過させるかする。領域１１３の両側のト
レンチ部分は、１１２及び１１４で示されるように広げ
られている。加熱部材１１６が、トレンチ１００の底部
に配置されている。本実施形態では、広げられた部分の
両側のトレンチの壁１１１及び１１５は、互いに平行で
あるが、本発明の示唆するところに従って他の形状にす
ることも可能である。
【００２２】領域１１３において泡が移動させられる様
子を示すのが、図６及び図７である。本発明は、領域１
１３を超えないで領域１１３内に形成された泡が図５に
示すように領域１１３に留まっているという観点から構
成されている。しかしながら、図６に示すように泡の一
部分が広げられた領域の片側に入るように泡が片側にわ
ずかにずれると、泡は、広げられた領域（拡幅領域）１
１２、１１４に入るかあるいは１２９により図７に示さ
れるように広げられた領域１１２、１１４を超えた領域
に入るよう泡の表面張力によりこの広げられた領域に向
けて引き込まれる。一旦、泡が広げられた領域１１２、
１１４に移動すると、トレンチは光に対して透明とな
り、及び、交差ポイントは、切り換えられている。泡
は、それ以上の援助を必要とせずに消滅させられる。交
差ポイントが反射状態に復帰させられるために、加熱部
材１１６を再び駆動することにより新たな泡が領域１１
３に導かれる。
子を示すのが、図６及び図７である。本発明は、領域１
１３を超えないで領域１１３内に形成された泡が図５に
示すように領域１１３に留まっているという観点から構
成されている。しかしながら、図６に示すように泡の一
部分が広げられた領域の片側に入るように泡が片側にわ
ずかにずれると、泡は、広げられた領域（拡幅領域）１
１２、１１４に入るかあるいは１２９により図７に示さ
れるように広げられた領域１１２、１１４を超えた領域
に入るよう泡の表面張力によりこの広げられた領域に向
けて引き込まれる。一旦、泡が広げられた領域１１２、
１１４に移動すると、トレンチは光に対して透明とな
り、及び、交差ポイントは、切り換えられている。泡
は、それ以上の援助を必要とせずに消滅させられる。交
差ポイントが反射状態に復帰させられるために、加熱部
材１１６を再び駆動することにより新たな泡が領域１１
３に導かれる。
【００２３】図８には、本発明による交差ポイントトレ
ンチ１３０のその他の実施形態の平面図が示されてい
る。以下の説明を簡単にするために、図３及び図４に示
されるトレンチ１００の構成と同じ機能を備えたトレン
チ１３０の構成には同じ数字が付与されている。トレン
チ１３０は、１３１で示される第２の加熱部材が広げら
れた領域１１２の一部分の位置にトレンチの底部に配置
されていることがトレンチ１００とは異なっている。加
熱部材１１３は、１３７で示されるような泡を領域１１
３において部材１１６の加熱により発生された泡を不安
定化させるために用いられる。加熱部材１３１が作動さ
せられると、泡１３７は、加熱部材１３１の領域を超え
て拡大させられる。新たな泡が、トレンチの広げられた
領域に延びる。上述したように、このような泡は、自動
的にこの広げられた領域に引き込まれ、図６及び図７に
関連して述べたような機構によって領域１１３の外に移
動させられる。図８に示される加熱部材は、領域１１３
の他端に配置しても良い。
ンチ１３０のその他の実施形態の平面図が示されてい
る。以下の説明を簡単にするために、図３及び図４に示
されるトレンチ１００の構成と同じ機能を備えたトレン
チ１３０の構成には同じ数字が付与されている。トレン
チ１３０は、１３１で示される第２の加熱部材が広げら
れた領域１１２の一部分の位置にトレンチの底部に配置
されていることがトレンチ１００とは異なっている。加
熱部材１１３は、１３７で示されるような泡を領域１１
３において部材１１６の加熱により発生された泡を不安
定化させるために用いられる。加熱部材１３１が作動さ
せられると、泡１３７は、加熱部材１３１の領域を超え
て拡大させられる。新たな泡が、トレンチの広げられた
領域に延びる。上述したように、このような泡は、自動
的にこの広げられた領域に引き込まれ、図６及び図７に
関連して述べたような機構によって領域１１３の外に移
動させられる。図８に示される加熱部材は、領域１１３
の他端に配置しても良い。
【００２４】領域１１３内の泡は、領域１１３にまたが
る圧力差を発生させることにより領域１１３を脱出する
のに充分なだけ移動される。図９及び図１０は、本発明
によるトレンチのその他の実施形態のそれぞれ側面図及
び平面図である。以下の説明を簡単にするために、図３
及び図４に示されるトレンチ１００の構成と同じ機能を
備えたトレンチ１３０の構成には同じ数字が付与されて
いる。トレンチ１５０は、１４１及び１４２で示される
二つのダイアフラムを備え、これらは、トレンチ１５０
内の圧力を変化させることにより変形可能である。図９
及び図１０の実施形態においては、ダイアフラムは、
「プッシュ・プル」のやり方で作動し、領域１１３の片
側における圧力が増加して反対側が減少する。この圧力
差は、泡１４７の位置を領域１１４に移動させて泡を領
域１１３から外すのに充分なものである。
る圧力差を発生させることにより領域１１３を脱出する
のに充分なだけ移動される。図９及び図１０は、本発明
によるトレンチのその他の実施形態のそれぞれ側面図及
び平面図である。以下の説明を簡単にするために、図３
及び図４に示されるトレンチ１００の構成と同じ機能を
備えたトレンチ１３０の構成には同じ数字が付与されて
いる。トレンチ１５０は、１４１及び１４２で示される
二つのダイアフラムを備え、これらは、トレンチ１５０
内の圧力を変化させることにより変形可能である。図９
及び図１０の実施形態においては、ダイアフラムは、
「プッシュ・プル」のやり方で作動し、領域１１３の片
側における圧力が増加して反対側が減少する。この圧力
差は、泡１４７の位置を領域１１４に移動させて泡を領
域１１３から外すのに充分なものである。
【００２５】泡に要求される移動量は、領域１１３の外
に泡を完全に移動させるのにシステムに要求された移動
量よりも小さい。インクジェットプリンタに用いられる
タイプのダイアフラムの設計が、そのために使用でき
る。図９及び図１０に示す実施形態はトレンチの上部に
配置されるダイアフラムを用いているが、圧電変換器あ
るいはマイクロメカニカルデバイスのような領域１１３
の少なくとも片側で圧力あるいは容積を変化させる装置
も使用できることは、当該技術に知識を有するものであ
れば上述の説明から容易に行い得ることであろう。例え
ば、加熱部材１５３は、加熱部材を備えた領域１１３の
側における圧力を変化させて泡を発生させるのに充分な
パワーを領域１１５に与える。領域１１３における泡が
追い出された後、泡を形成する圧力は消滅させられる。
に泡を完全に移動させるのにシステムに要求された移動
量よりも小さい。インクジェットプリンタに用いられる
タイプのダイアフラムの設計が、そのために使用でき
る。図９及び図１０に示す実施形態はトレンチの上部に
配置されるダイアフラムを用いているが、圧電変換器あ
るいはマイクロメカニカルデバイスのような領域１１３
の少なくとも片側で圧力あるいは容積を変化させる装置
も使用できることは、当該技術に知識を有するものであ
れば上述の説明から容易に行い得ることであろう。例え
ば、加熱部材１５３は、加熱部材を備えた領域１１３の
側における圧力を変化させて泡を発生させるのに充分な
パワーを領域１１５に与える。領域１１３における泡が
追い出された後、泡を形成する圧力は消滅させられる。
【００２６】領域１１３の長さは、スイッチング素子が
透明なとき、領域１１３を通過する光信号全体を収容で
きるのに充分なだけ大きく選ばれていることが好まし
い。プレーナ光導波回路における光学的な伝播の性質の
ために、この領域は、領域１１３の各々の側において終
わっている導波路コアよりもわずかに大きくなければな
らない。
透明なとき、領域１１３を通過する光信号全体を収容で
きるのに充分なだけ大きく選ばれていることが好まし
い。プレーナ光導波回路における光学的な伝播の性質の
ために、この領域は、領域１１３の各々の側において終
わっている導波路コアよりもわずかに大きくなければな
らない。
【００２７】本発明の実施形態において、領域１１３の
各々の側におけるトレンチ壁は、互いに平行であり、す
なわち、導波路部分１１及び１２は、コーリニヤであ
り、及び、導波路部分１９及び１３は、コーリニヤであ
る。原理的には、スイッチが反射状態にあるとき光信号
を反射する壁のみが、プレーナであることが必要であ
る。しかしながら、その屈折率が導波路のそれに正確に
は整合しない液体が使用されねばならないとき、光信号
は、トレンチが透明状態にあるとき液体に入るとともに
再び液体を出るように屈折する。この屈折は、実質的な
側方への移動を生じる。スイッチング素子の射出導波路
は、この移動を吸収するために移動可能にされている。
トレンチ壁が入射点及び射出点において平行であると
き、初期の導波路ピッチ及び角度が、それらの移動にも
かかわらず維持される。しかしながら、入射壁及び射出
壁が平行でないときは、射出導波路角度は、入射導波路
角度とは異なるものとなり、ピッチは、ゆがめられる。
それらの変化は、多くのスイッチング素子からなる交差
ポイントスイッチを構成するとき必要な光学的な相互結
合を複雑なものとし、コストアップを招くものである。
各々の側におけるトレンチ壁は、互いに平行であり、す
なわち、導波路部分１１及び１２は、コーリニヤであ
り、及び、導波路部分１９及び１３は、コーリニヤであ
る。原理的には、スイッチが反射状態にあるとき光信号
を反射する壁のみが、プレーナであることが必要であ
る。しかしながら、その屈折率が導波路のそれに正確に
は整合しない液体が使用されねばならないとき、光信号
は、トレンチが透明状態にあるとき液体に入るとともに
再び液体を出るように屈折する。この屈折は、実質的な
側方への移動を生じる。スイッチング素子の射出導波路
は、この移動を吸収するために移動可能にされている。
トレンチ壁が入射点及び射出点において平行であると
き、初期の導波路ピッチ及び角度が、それらの移動にも
かかわらず維持される。しかしながら、入射壁及び射出
壁が平行でないときは、射出導波路角度は、入射導波路
角度とは異なるものとなり、ピッチは、ゆがめられる。
それらの変化は、多くのスイッチング素子からなる交差
ポイントスイッチを構成するとき必要な光学的な相互結
合を複雑なものとし、コストアップを招くものである。
【００２８】本発明による上述した実施形態において
は、３個の導波路を用いたが、２個の導波路のみを用い
る実施形態も構成することができる。図１において、導
波路１２あるいは導波路１３は、光吸収媒体に置換でき
る。このような実施形態においては、光スイッチは、入
力導波路から残りの出力導波路に光信号を伝達する第１
の状態と、及び、光信号が吸収される第２の状態とを備
える。出力導波路１３が省略される実施形態は、Ｎ：１
光学的マルチプレクサを構成する際に特に効果的であ
る。
は、３個の導波路を用いたが、２個の導波路のみを用い
る実施形態も構成することができる。図１において、導
波路１２あるいは導波路１３は、光吸収媒体に置換でき
る。このような実施形態においては、光スイッチは、入
力導波路から残りの出力導波路に光信号を伝達する第１
の状態と、及び、光信号が吸収される第２の状態とを備
える。出力導波路１３が省略される実施形態は、Ｎ：１
光学的マルチプレクサを構成する際に特に効果的であ
る。
【００２９】本発明による上述の実施形態は、トレンチ
のギャップの両側に広げられた領域を用いた。しかしな
がら、この広げられた領域は、泡が移動させられるギャ
ップの側の領域がこのギャップよりも大きくされている
ときは省略できる。図１１は、このようなその他の形状
を備えたトレンチ３００の平面図である。トレンチ３０
０は、泡３１７がトレンチ内に存在するときは、導波路
３２１を導波路３２２に接続し、及び、トレンチが屈折
率整合液体で充填されているときは、導波路３２１及び
３２３間を接続する。
のギャップの両側に広げられた領域を用いた。しかしな
がら、この広げられた領域は、泡が移動させられるギャ
ップの側の領域がこのギャップよりも大きくされている
ときは省略できる。図１１は、このようなその他の形状
を備えたトレンチ３００の平面図である。トレンチ３０
０は、泡３１７がトレンチ内に存在するときは、導波路
３２１を導波路３２２に接続し、及び、トレンチが屈折
率整合液体で充填されているときは、導波路３２１及び
３２３間を接続する。
【００３０】種々の変形、変更は、上述の説明及び添付
される図面から当業者にとって明らかなことであろう。
従って、本発明は、特許請求の範囲によってのみ限定さ
れるものである。
される図面から当業者にとって明らかなことであろう。
従って、本発明は、特許請求の範囲によってのみ限定さ
れるものである。
【００３１】本発明を上述の実施形態に沿って説明する
と、本発明は、光スイッチ（１０１）において、第１及
び第２の導波路（１２１、１２３）を備えた基板（１８
０）であって、前記第１及び第２の導波路（１２１、１
２３）が、所定の幅を備えたギャップにおいて交差し、
該ギャップに第１の屈折率を備えた液体が充填されると
き、前記第１の導波路（１２１）を進む光が前記第２の
導波路（１２３）に入り、前記ギャップに気体が充填さ
れているとき、前記第１の導波路（１２１）を進む光が
前記ギャップにより反射されるように前記第１及び第２
の導波路（１２１、１２３）が配置されており、その際
前記ギャップは、前記基板におけるトレンチ（１００、
１３０、１５０）の一部分をなし、該トレンチ（１０
０、１３０、１５０）は、前記ギャップを含む第１の領
域（１１３）及び前記ギャップに隣接する第２の領域
（１１２）からなり、前記第２の領域（１１２）の幅
が、前記第１の領域（１１３）の幅よりも大きくされて
いる基板（１８０）と、前記第１の領域（１１３）に配
置される前記第１の屈折率を備えた液体であって、所定
の温度に加熱されたとき気体を発生させる液体と、前記
気体を所定の温度に加熱して前記第１の領域（１１３）
において前記液体に気泡を発生させる前記第１の領域
（１１３）に配置された第１のヒータ（１１６）と、制
御信号に応答して前記第１の領域（１１３）内の前記気
泡の一部分を前記第２の領域（１１２）内に伸長させる
移動機構とからなるようにしたことを特徴とする光スイ
ッチを提供する。
と、本発明は、光スイッチ（１０１）において、第１及
び第２の導波路（１２１、１２３）を備えた基板（１８
０）であって、前記第１及び第２の導波路（１２１、１
２３）が、所定の幅を備えたギャップにおいて交差し、
該ギャップに第１の屈折率を備えた液体が充填されると
き、前記第１の導波路（１２１）を進む光が前記第２の
導波路（１２３）に入り、前記ギャップに気体が充填さ
れているとき、前記第１の導波路（１２１）を進む光が
前記ギャップにより反射されるように前記第１及び第２
の導波路（１２１、１２３）が配置されており、その際
前記ギャップは、前記基板におけるトレンチ（１００、
１３０、１５０）の一部分をなし、該トレンチ（１０
０、１３０、１５０）は、前記ギャップを含む第１の領
域（１１３）及び前記ギャップに隣接する第２の領域
（１１２）からなり、前記第２の領域（１１２）の幅
が、前記第１の領域（１１３）の幅よりも大きくされて
いる基板（１８０）と、前記第１の領域（１１３）に配
置される前記第１の屈折率を備えた液体であって、所定
の温度に加熱されたとき気体を発生させる液体と、前記
気体を所定の温度に加熱して前記第１の領域（１１３）
において前記液体に気泡を発生させる前記第１の領域
（１１３）に配置された第１のヒータ（１１６）と、制
御信号に応答して前記第１の領域（１１３）内の前記気
泡の一部分を前記第２の領域（１１２）内に伸長させる
移動機構とからなるようにしたことを特徴とする光スイ
ッチを提供する。
【００３２】好ましくは、前記移動機構は、前記第１の
ヒータ（１１６）及び前記第１の領域（１１３）の間で
あって、その一部分を前記第１の領域（１１３）内に配
置されている第２のヒータ（１３１）からなる。
ヒータ（１１６）及び前記第１の領域（１１３）の間で
あって、その一部分を前記第１の領域（１１３）内に配
置されている第２のヒータ（１３１）からなる。
【００３３】好ましくは、前記第２のヒータ（１３１）
が、前記第２の領域（１１２）内に延びる。
が、前記第２の領域（１１２）内に延びる。
【００３４】好ましくは、前記トレンチ（１００、１３
０、１５０）は、前記第１の領域（１１３）の幅よりも
大きな幅を備えた第３の領域（１１４）を備え、前記第
１の領域（１１３）が、前記第２及び第３の領域（１１
２、１１４）の間に配置され、及び、その際前記移動機
構が、前記第１の領域（１１３）に圧力差を生じさせる
機構（１４１、１４２、１５３）を備える。
０、１５０）は、前記第１の領域（１１３）の幅よりも
大きな幅を備えた第３の領域（１１４）を備え、前記第
１の領域（１１３）が、前記第２及び第３の領域（１１
２、１１４）の間に配置され、及び、その際前記移動機
構が、前記第１の領域（１１３）に圧力差を生じさせる
機構（１４１、１４２、１５３）を備える。
【００３５】好ましくは、前記移動機構は、前記トレン
チ（１００、１３０、１５０）の前記第２の領域（１１
２）あるいは前記第３の領域（１１４）に配置されてい
る第３のヒータ（１５３）からなる。
チ（１００、１３０、１５０）の前記第２の領域（１１
２）あるいは前記第３の領域（１１４）に配置されてい
る第３のヒータ（１５３）からなる。
【００３６】好ましくは、前記移動機構は、前記トレン
チ（１００、１３０、１５０）の前記第２あるいは第３
の領域（１２２、１１４）内に前記液体を移動させる機
械的な装置（１４１、１４２）からなる。
チ（１００、１３０、１５０）の前記第２あるいは第３
の領域（１２２、１１４）内に前記液体を移動させる機
械的な装置（１４１、１４２）からなる。
【００３７】好ましくは、前記トレンチ（１００、１３
０、１５０）に終端を備えた第３の導波路（１２２）を
さらに設け、前記ギャップが液体で充填されていないと
き、前記第１の導波路（１２１）を進む光が前記第３の
導波路（１２２）に入るように、前記第３の導波路（１
２２）が配置される。
０、１５０）に終端を備えた第３の導波路（１２２）を
さらに設け、前記ギャップが液体で充填されていないと
き、前記第１の導波路（１２１）を進む光が前記第３の
導波路（１２２）に入るように、前記第３の導波路（１
２２）が配置される。
【００３８】好ましくは、前記第１の屈折率が前記第１
及び第２の導波路（１２１、１２３）の屈折率とは異な
るとき、前記第１の導波路（１２１）から出る光が前記
第２の導波路（１２３）に入るように、前記第１及び第
２の導波路（１２１、１２３）が光学的結合が可能なよ
うに位置合わせされる。
及び第２の導波路（１２１、１２３）の屈折率とは異な
るとき、前記第１の導波路（１２１）から出る光が前記
第２の導波路（１２３）に入るように、前記第１及び第
２の導波路（１２１、１２３）が光学的結合が可能なよ
うに位置合わせされる。
【図１】二つの状態を備えるクロスポイントスイッチン
グ素子を第１の状態にして示す平面図である。
グ素子を第１の状態にして示す平面図である。
【図２】二つの状態を備えるクロスポイントスイッチン
グ素子を第２の状態にして示す平面図である。
グ素子を第２の状態にして示す平面図である。
【図３】本発明による交差ポイントのトレンチ構造を示
す平面図である。
す平面図である。
【図４】トレンチ構造の側面図である。
【図５】トレンチ構造を用いるスイッチング素子の平面
図である。
図である。
【図６】狭幅の領域内において泡が移動される初期段階
の様子を示す該略図である。
の様子を示す該略図である。
【図７】狭幅の領域内において泡が移動された様子を示
す該略図である。
す該略図である。
【図８】本発明による交差ポイントトレンチ構造の他の
実施形態を示す平面図である。
実施形態を示す平面図である。
【図９】本発明によるトレンチ構造の他の実施形態を示
す側面図である。
す側面図である。
【図１０】本発明によるトレンチ構造の他の実施形態を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図１１】本発明によるトレンチのその他の実施形態を
示す平面図である。
示す平面図である。
１００ トレンチ １１２ 第２の領域 １１３ 第１の領域 １１６ 加熱部材 １２１ 第１の導波路 １２３ 第２の導波路 １３０、１５０ トレンチ １８０ 基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 399117121 395 Ｐａｇｅ Ｍｉｌｌ Ｒｏａｄ Ｐ ａｌｏ Ａｌｔｏ，Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ Ｕ．Ｓ．Ａ. (72)発明者 ジュリー・イー・フォークエット アメリカ合衆国カリフォルニア州ポートラ バレー ヒルブロークドライブ48 (72)発明者 マーク・エー・トロ−ル アメリカ合衆国カリフォルニア州パロアル ト マグノリアドライブ 3881
Claims (8)
- 【請求項１】光スイッチにおいて、 第１及び第２の導波路を備えた基板であって、前記第１
及び第２の導波路が、所定の幅を備えたギャップにおい
て交差し、該ギャップに第１の屈折率を備えた液体が充
填されるとき、前記第１の導波路を進む光が前記第２の
導波路に入り、前記ギャップに気体が充填されていると
き、前記第１の導波路を進む光が前記ギャップにより反
射されるように前記第１及び第２の導波路が配置されて
おり、その際前記ギャップは、前記基板におけるトレン
チの一部分をなし、該トレンチは、前記ギャップを含む
第１の領域及び前記ギャップに隣接する第２の領域から
なり、前記第２の領域の幅が、前記第１の領域の幅より
も大きくされている基板と、 前記第１の領域に配置される前記第１の屈折率を備えた
液体であって、所定の温度に加熱されたとき気体を発生
させる液体と、 前記気体を所定の温度に加熱して前記第１の領域におい
て前記液体に気泡を発生させる前記第１の領域に配置さ
れた第１のヒータと、 制御信号に応答して前記第１の領域内の前記気泡の一部
分を前記第２の領域内に伸長させる移動機構とからなる
ようにしたことを特徴とする光スイッチ。 - 【請求項２】前記移動機構が、前記第１のヒータ及び前
記第１の領域の間であって、その一部分を前記第１の領
域内に配置されている第２のヒータからなるようにした
ことを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ。 - 【請求項３】前記第２のヒータが、前記第２の領域内に
延びているようにしたことを特徴とする請求項２に記載
の光スイッチ。 - 【請求項４】前記トレンチが、前記第１の領域の幅より
も大きな幅を備えた第３の領域を備え、前記第１の領域
が、前記第２及び第３の領域の間に配置され、及び、そ
の際前記移動機構が、前記第１の領域に圧力差を生じさ
せる機構を備えているようにしたことを特徴とする請求
項１に記載の光スイッチ。 - 【請求項５】前記移動機構が、前記トレンチの前記第２
の領域あるいは前記第３の領域に配置されている第３の
ヒータからなるようにしたことを特徴とする請求項４に
記載の光スイッチ。 - 【請求項６】前記移動機構が、前記トレンチの前記第２
あるいは第３の領域内に前記液体を移動させる機械的な
装置からなるようにしたことを特徴とする請求項４に記
載の光スイッチ。 - 【請求項７】前記トレンチに終端を備えた第３の導波路
をさらに設け、前記ギャップが液体で充填されていない
とき、前記第１の導波路を進む光が前記第３の導波路に
入るように、前記第３の導波路が配置されているように
したことを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ。 - 【請求項８】前記第１の屈折率が前記第１及び第２の導
波路の屈折率とは異なるとき、前記第１の導波路から出
る光が前記第２の導波路に入るように、前記第１及び第
２の導波路が光学的結合が可能なように位置合わせされ
ることを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US470878 | 1999-12-22 | ||
| US09/470,878 US6320994B1 (en) | 1999-12-22 | 1999-12-22 | Total internal reflection optical switch |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001201701A true JP2001201701A (ja) | 2001-07-27 |
| JP4616470B2 JP4616470B2 (ja) | 2011-01-19 |
Family
ID=23869435
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000389247A Expired - Fee Related JP4616470B2 (ja) | 1999-12-22 | 2000-12-21 | 光スイッチ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6320994B1 (ja) |
| EP (1) | EP1111419B1 (ja) |
| JP (1) | JP4616470B2 (ja) |
| DE (1) | DE60033007T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6967763B2 (en) | 2003-03-11 | 2005-11-22 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Display device |
Families Citing this family (99)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6768572B2 (en) * | 1997-10-29 | 2004-07-27 | Teloptics Corporation | Solid state free space switch array on a substrate |
| US6816296B2 (en) | 1997-10-29 | 2004-11-09 | Teloptics Corporation | Optical switching network and network node and method of optical switching |
| US6487333B2 (en) * | 1999-12-22 | 2002-11-26 | Agilent Technologies, Inc. | Total internal reflection optical switch |
| US6689976B1 (en) * | 2002-10-08 | 2004-02-10 | Agilent Technologies, Inc. | Electrically isolated liquid metal micro-switches for integrally shielded microcircuits |
| US6470109B1 (en) * | 2000-06-08 | 2002-10-22 | Agilent Technologies, Inc. | Determining waveguide positions and angles for efficient reflective coupling |
| US20020075490A1 (en) * | 2000-12-20 | 2002-06-20 | Affymetrix, Inc. | System and method for addressable light-directed microarray printing |
| US20030002778A1 (en) * | 2001-02-14 | 2003-01-02 | David Bach | Photo-polymer based fiber-optic switch using total internal reflection and micro-fluidic actuation |
| US6760503B1 (en) | 2001-04-12 | 2004-07-06 | Eric F. Hermann | Scalable optical router/switch and method of constructing thereof |
| US6477222B1 (en) * | 2001-04-30 | 2002-11-05 | Agilent Technologies, Inc. | Getter for atmospheric gases in optical switch working fluid |
| US6647165B2 (en) | 2001-05-31 | 2003-11-11 | Agilent Technologies, Inc. | Total internal reflection optical switch utilizing a moving droplet |
| US6757459B2 (en) * | 2001-10-24 | 2004-06-29 | Agilent Technologies, Inc. | Piezoelectrically driven, liquid-actuated optical cross-bar switch |
| US7078849B2 (en) * | 2001-10-31 | 2006-07-18 | Agilent Technologies, Inc. | Longitudinal piezoelectric optical latching relay |
| US6674934B2 (en) * | 2001-11-06 | 2004-01-06 | Agilent Technologies, Inc. | Pressure-actuated bi-stable optical switching |
| US6668107B2 (en) * | 2001-12-21 | 2003-12-23 | Agilent Technologies, Inc. | Method and apparatus for reducing optical insertion loss in planar lightwave circuits through dielectric perturbation optimization |
| US6741767B2 (en) * | 2002-03-28 | 2004-05-25 | Agilent Technologies, Inc. | Piezoelectric optical relay |
| US20030194170A1 (en) * | 2002-04-10 | 2003-10-16 | Wong Marvin Glenn | Piezoelectric optical demultiplexing switch |
| US6927529B2 (en) | 2002-05-02 | 2005-08-09 | Agilent Technologies, Inc. | Solid slug longitudinal piezoelectric latching relay |
| US6750594B2 (en) | 2002-05-02 | 2004-06-15 | Agilent Technologies, Inc. | Piezoelectrically actuated liquid metal switch |
| US6756551B2 (en) | 2002-05-09 | 2004-06-29 | Agilent Technologies, Inc. | Piezoelectrically actuated liquid metal switch |
| EP1382984A1 (en) * | 2002-07-19 | 2004-01-21 | Avanex Corporation | Planar Optical Switch and Switch Array |
| US7221819B2 (en) | 2002-08-01 | 2007-05-22 | Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Operating an optical switch at a negative pressure differential |
| US6876788B2 (en) * | 2002-09-11 | 2005-04-05 | Agilent Technologies, Inc. | Preventing hydrodynamic crosstalk in an optical switch |
| US6921175B2 (en) | 2002-09-19 | 2005-07-26 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Color-generating device and display system |
| US6855898B2 (en) * | 2002-12-12 | 2005-02-15 | Agilent Technologies, Inc. | Ceramic channel plate for a switch |
| US7022926B2 (en) * | 2002-12-12 | 2006-04-04 | Agilent Technologies, Inc. | Ultrasonically milled channel plate for a switch |
| US6743990B1 (en) | 2002-12-12 | 2004-06-01 | Agilent Technologies, Inc. | Volume adjustment apparatus and method for use |
| US6787719B2 (en) * | 2002-12-12 | 2004-09-07 | Agilent Technologies, Inc. | Switch and method for producing the same |
| US20040112727A1 (en) * | 2002-12-12 | 2004-06-17 | Wong Marvin Glenn | Laser cut channel plate for a switch |
| US6774324B2 (en) | 2002-12-12 | 2004-08-10 | Agilent Technologies, Inc. | Switch and production thereof |
| US7019235B2 (en) * | 2003-01-13 | 2006-03-28 | Agilent Technologies, Inc. | Photoimaged channel plate for a switch |
| US6809277B2 (en) * | 2003-01-22 | 2004-10-26 | Agilent Technologies, Inc. | Method for registering a deposited material with channel plate channels, and switch produced using same |
| US6747222B1 (en) | 2003-02-04 | 2004-06-08 | Agilent Technologies, Inc. | Feature formation in a nonphotoimagable material and switch incorporating same |
| US6825429B2 (en) * | 2003-03-31 | 2004-11-30 | Agilent Technologies, Inc. | Hermetic seal and controlled impedance RF connections for a liquid metal micro switch |
| US7070908B2 (en) * | 2003-04-14 | 2006-07-04 | Agilent Technologies, Inc. | Feature formation in thick-film inks |
| US6900578B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-05-31 | Agilent Technologies, Inc. | High frequency latching relay with bending switch bar |
| US6730866B1 (en) | 2003-04-14 | 2004-05-04 | Agilent Technologies, Inc. | High-frequency, liquid metal, latching relay array |
| US6906271B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-06-14 | Agilent Technologies, Inc. | Fluid-based switch |
| US6961487B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-11-01 | Agilent Technologies, Inc. | Method and structure for a pusher-mode piezoelectrically actuated liquid metal optical switch |
| US6888977B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-05-03 | Agilent Technologies, Inc. | Polymeric liquid metal optical switch |
| US6803842B1 (en) | 2003-04-14 | 2004-10-12 | Agilent Technologies, Inc. | Longitudinal mode solid slug optical latching relay |
| US7048519B2 (en) * | 2003-04-14 | 2006-05-23 | Agilent Technologies, Inc. | Closed-loop piezoelectric pump |
| US6876133B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-04-05 | Agilent Technologies, Inc. | Latching relay with switch bar |
| US6903493B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-06-07 | Agilent Technologies, Inc. | Inserting-finger liquid metal relay |
| US6891315B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-05-10 | Agilent Technologies, Inc. | Shear mode liquid metal switch |
| US6956990B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-10-18 | Agilent Technologies, Inc. | Reflecting wedge optical wavelength multiplexer/demultiplexer |
| US6740829B1 (en) | 2003-04-14 | 2004-05-25 | Agilent Technologies, Inc. | Insertion-type liquid metal latching relay |
| US6891116B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-05-10 | Agilent Technologies, Inc. | Substrate with liquid electrode |
| US6770827B1 (en) | 2003-04-14 | 2004-08-03 | Agilent Technologies, Inc. | Electrical isolation of fluid-based switches |
| US6794591B1 (en) | 2003-04-14 | 2004-09-21 | Agilent Technologies, Inc. | Fluid-based switches |
| US6876130B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-04-05 | Agilent Technologies, Inc. | Damped longitudinal mode latching relay |
| US6774325B1 (en) | 2003-04-14 | 2004-08-10 | Agilent Technologies, Inc. | Reducing oxides on a switching fluid in a fluid-based switch |
| US6876131B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-04-05 | Agilent Technologies, Inc. | High-frequency, liquid metal, latching relay with face contact |
| US6841746B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-01-11 | Agilent Technologies, Inc. | Bent switching fluid cavity |
| US6876132B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-04-05 | Agilent Technologies, Inc. | Method and structure for a solid slug caterpillar piezoelectric relay |
| US6885133B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-04-26 | Agilent Technologies, Inc. | High frequency bending-mode latching relay |
| US6925223B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-08-02 | Agilent Technologies, Inc. | Pressure actuated optical latching relay |
| US6879089B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-04-12 | Agilent Technologies, Inc. | Damped longitudinal mode optical latching relay |
| US6765161B1 (en) | 2003-04-14 | 2004-07-20 | Agilent Technologies, Inc. | Method and structure for a slug caterpillar piezoelectric latching reflective optical relay |
| US6870111B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-03-22 | Agilent Technologies, Inc. | Bending mode liquid metal switch |
| US6762378B1 (en) | 2003-04-14 | 2004-07-13 | Agilent Technologies, Inc. | Liquid metal, latching relay with face contact |
| US20040201447A1 (en) * | 2003-04-14 | 2004-10-14 | Wong Marvin Glenn | Thin-film resistor device |
| US6838959B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-01-04 | Agilent Technologies, Inc. | Longitudinal electromagnetic latching relay |
| US6818844B2 (en) * | 2003-04-14 | 2004-11-16 | Agilent Technologies, Inc. | Method and structure for a slug assisted pusher-mode piezoelectrically actuated liquid metal optical switch |
| US6946775B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-09-20 | Agilent Technologies, Inc. | Method and structure for a slug assisted longitudinal piezoelectrically actuated liquid metal optical switch |
| US6946776B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-09-20 | Agilent Technologies, Inc. | Method and apparatus for maintaining a liquid metal switch in a ready-to-switch condition |
| US7012354B2 (en) * | 2003-04-14 | 2006-03-14 | Agilent Technologies, Inc. | Method and structure for a pusher-mode piezoelectrically actuated liquid metal switch |
| US6879088B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-04-12 | Agilent Technologies, Inc. | Insertion-type liquid metal latching relay array |
| US6831532B2 (en) * | 2003-04-14 | 2004-12-14 | Agilent Technologies, Inc. | Push-mode latching relay |
| US6798937B1 (en) | 2003-04-14 | 2004-09-28 | Agilent Technologies, Inc. | Pressure actuated solid slug optical latching relay |
| US6924443B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-08-02 | Agilent Technologies, Inc. | Reducing oxides on a switching fluid in a fluid-based switch |
| US6903490B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-06-07 | Agilent Technologies, Inc. | Longitudinal mode optical latching relay |
| US6894424B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-05-17 | Agilent Technologies, Inc. | High frequency push-mode latching relay |
| US7071432B2 (en) * | 2003-04-14 | 2006-07-04 | Agilent Technologies, Inc. | Reduction of oxides in a fluid-based switch |
| US6920259B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-07-19 | Agilent Technologies, Inc. | Longitudinal electromagnetic latching optical relay |
| US6816641B2 (en) * | 2003-04-14 | 2004-11-09 | Agilent Technologies, Inc. | Method and structure for a solid slug caterpillar piezoelectric optical relay |
| US6894237B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-05-17 | Agilent Technologies, Inc. | Formation of signal paths to increase maximum signal-carrying frequency of a fluid-based switch |
| US6903287B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-06-07 | Agilent Technologies, Inc. | Liquid metal optical relay |
| US6768068B1 (en) | 2003-04-14 | 2004-07-27 | Agilent Technologies, Inc. | Method and structure for a slug pusher-mode piezoelectrically actuated liquid metal switch |
| US6882088B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-04-19 | Agilent Technologies, Inc. | Bending-mode latching relay |
| US6903492B2 (en) * | 2003-04-14 | 2005-06-07 | Agilent Technologies, Inc. | Wetting finger latching piezoelectric relay |
| US6750413B1 (en) | 2003-04-25 | 2004-06-15 | Agilent Technologies, Inc. | Liquid metal micro switches using patterned thick film dielectric as channels and a thin ceramic or glass cover plate |
| US6777630B1 (en) | 2003-04-30 | 2004-08-17 | Agilent Technologies, Inc. | Liquid metal micro switches using as channels and heater cavities matching patterned thick film dielectric layers on opposing thin ceramic plates |
| US6759610B1 (en) | 2003-06-05 | 2004-07-06 | Agilent Technologies, Inc. | Multi-layer assembly of stacked LIMMS devices with liquid metal vias |
| US6759611B1 (en) | 2003-06-16 | 2004-07-06 | Agilent Technologies, Inc. | Fluid-based switches and methods for producing the same |
| US6833520B1 (en) * | 2003-06-16 | 2004-12-21 | Agilent Technologies, Inc. | Suspended thin-film resistor |
| US7359523B2 (en) * | 2003-06-17 | 2008-04-15 | Avago Technologies Fiber Ip Pte Ltd | Fluidic acoustic transducer |
| US7274840B2 (en) * | 2003-07-23 | 2007-09-25 | Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Clean and test for fluid within a reflection optical switch system |
| US6781074B1 (en) | 2003-07-30 | 2004-08-24 | Agilent Technologies, Inc. | Preventing corrosion degradation in a fluid-based switch |
| US6787720B1 (en) | 2003-07-31 | 2004-09-07 | Agilent Technologies, Inc. | Gettering agent and method to prevent corrosion in a fluid switch |
| US7039273B2 (en) * | 2003-08-12 | 2006-05-02 | Tyler Sims | Solder seals within a switching system |
| US7465903B2 (en) * | 2003-11-05 | 2008-12-16 | Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Use of mesa structures for supporting heaters on an integrated circuit |
| US7031564B2 (en) * | 2003-11-05 | 2006-04-18 | Tyler Sims | Heat transfer structures |
| US7172269B2 (en) * | 2003-11-13 | 2007-02-06 | Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Resistor shapes for heating devices on an integrated circuit |
| US7072536B2 (en) | 2003-12-11 | 2006-07-04 | Gary Neal Poovey | Light triggered light switch |
| US7024062B2 (en) * | 2004-02-25 | 2006-04-04 | John Julian Uebbing | Optical switch with low pressure bubble |
| US7532786B2 (en) | 2004-08-30 | 2009-05-12 | Poovey Gary N | Light activated optical switch that includes a piezoelectric element with layers of piezoelectric material having different piezoelectric characteristics |
| US7162112B2 (en) * | 2004-11-23 | 2007-01-09 | Xerox Corporation | Microfabrication process for control of waveguide gap size |
| US7862056B2 (en) | 2007-02-02 | 2011-01-04 | Ford Global Technologies, Llc | Steering gear inertia damper |
| US20100104242A1 (en) * | 2007-04-12 | 2010-04-29 | Poovey Gary N | Light activated optical switch that includes a piezoelectric element and a conductive layer |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05303048A (ja) * | 1992-04-27 | 1993-11-16 | Fujikura Ltd | 光路切替装置 |
| JPH06308401A (ja) * | 1993-04-20 | 1994-11-04 | Hitachi Cable Ltd | 導波路型光スイッチ |
| JPH06308400A (ja) * | 1993-04-20 | 1994-11-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光導波路スイッチ |
| JPH0862645A (ja) * | 1994-08-19 | 1996-03-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 表面張力熱制御型導波路光スイッチ及びマトリクス型光スイッチ |
| JPH1090735A (ja) * | 1996-06-14 | 1998-04-10 | Hewlett Packard Co <Hp> | 光スイッチ素子および光スイッチ方法 |
| JP2000193900A (ja) * | 1998-12-23 | 2000-07-14 | Agilent Technol Inc | 非対称バブルチャンバを有するキャピラリ流体スイッチ及びそのスイッチング方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2204710A (en) | 1987-05-12 | 1988-11-16 | Gen Electric Co Plc | Optical switch |
| GB2206977A (en) | 1987-07-14 | 1989-01-18 | Gen Electric Conpany Plc The | Integrated optical switch using movable liquid |
| US4988157A (en) * | 1990-03-08 | 1991-01-29 | Bell Communications Research, Inc. | Optical switch using bubbles |
| DE19527566A1 (de) | 1995-07-27 | 1997-01-30 | Sel Alcatel Ag | Optischer Umschalter |
| US5978527A (en) | 1997-10-20 | 1999-11-02 | Hewlett-Packard Company | Thermal optical switches for light |
| US6055344A (en) | 1998-02-18 | 2000-04-25 | Hewlett-Packard Company | Fabrication of a total internal reflection optical switch with vertical fluid fill-holes |
-
1999
- 1999-12-22 US US09/470,878 patent/US6320994B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-08-25 EP EP00118509A patent/EP1111419B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-25 DE DE60033007T patent/DE60033007T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-12-21 JP JP2000389247A patent/JP4616470B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05303048A (ja) * | 1992-04-27 | 1993-11-16 | Fujikura Ltd | 光路切替装置 |
| JPH06308401A (ja) * | 1993-04-20 | 1994-11-04 | Hitachi Cable Ltd | 導波路型光スイッチ |
| JPH06308400A (ja) * | 1993-04-20 | 1994-11-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光導波路スイッチ |
| JPH0862645A (ja) * | 1994-08-19 | 1996-03-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 表面張力熱制御型導波路光スイッチ及びマトリクス型光スイッチ |
| JPH1090735A (ja) * | 1996-06-14 | 1998-04-10 | Hewlett Packard Co <Hp> | 光スイッチ素子および光スイッチ方法 |
| JP2000193900A (ja) * | 1998-12-23 | 2000-07-14 | Agilent Technol Inc | 非対称バブルチャンバを有するキャピラリ流体スイッチ及びそのスイッチング方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6967763B2 (en) | 2003-03-11 | 2005-11-22 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Display device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1111419B1 (en) | 2007-01-17 |
| DE60033007D1 (de) | 2007-03-08 |
| US6320994B1 (en) | 2001-11-20 |
| JP4616470B2 (ja) | 2011-01-19 |
| DE60033007T2 (de) | 2007-07-19 |
| EP1111419A1 (en) | 2001-06-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4616470B2 (ja) | 光スイッチ | |
| EP1300707B1 (en) | Total internal reflection optical switch | |
| JP2001142008A (ja) | 光学的スイッチング素子 | |
| US6493482B1 (en) | Optical switch having a planar waveguide and a shutter actuator | |
| JPH11287962A (ja) | スイッチング素子 | |
| EP1262811B1 (en) | Total internal reflection optical switch utilizing a moving droplet | |
| Fouquet et al. | A compact, scalable cross-connect switch using total internal reflection due to thermally-generated bubbles | |
| US6509961B1 (en) | Optical cross-switch signal monitoring method and system therefor | |
| JP3537787B2 (ja) | 光スイッチ | |
| CN112305676B (zh) | 基于静电梳驱动的硅基mems光开关及n×n阵列 | |
| JP4819246B2 (ja) | 光学的アッド／ドロップスイッチ | |
| JP2001242398A (ja) | 熱作動光学アド／ドロップスイッチ | |
| US6961488B2 (en) | Optical switch and method of producing the same | |
| US6519381B2 (en) | Optical switch and method of producing the same | |
| WO2001059492A2 (en) | Optical waveguide and shutter | |
| JP2000193838A (ja) | 光導波路構造体 | |
| US20040013344A1 (en) | Planar optical switch and switch array | |
| WO2001048532A9 (en) | Integrated planar optical waveguide and shutter | |
| US20050152639A1 (en) | Optical switch and fabrication method thereof | |
| KR20120116674A (ko) | 도파로형 고밀도 광 매트릭스 스위치 | |
| WO2004029683A1 (en) | Optical switch utilizing multi layer structure wafer | |
| JP2002365565A (ja) | 光スイッチ | |
| CA2307248A1 (en) | Optical switch |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20060414 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20070320 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071219 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100105 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100405 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100629 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100928 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101019 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101022 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131029 Year of fee payment: 3 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |