JP2001199745A - 紫外線カットフィルタ膜の形成方法 - Google Patents
紫外線カットフィルタ膜の形成方法Info
- Publication number
- JP2001199745A JP2001199745A JP2000003785A JP2000003785A JP2001199745A JP 2001199745 A JP2001199745 A JP 2001199745A JP 2000003785 A JP2000003785 A JP 2000003785A JP 2000003785 A JP2000003785 A JP 2000003785A JP 2001199745 A JP2001199745 A JP 2001199745A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter film
- substrate
- cut filter
- forming
- ultraviolet cut
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 良好なフィルタ膜を安定して形成することが
可能な紫外線カットフィルタ膜の形成方法を提供する。 【解決手段】 本方法は、透明基板２２上に半導体材料
からなる紫外線カットフィルタ膜ＵＶＣを形成する紫外
線カットフィルタ膜の形成方法を対象とする。本方法に
おいては、噴出口ＳＰを基板２２の鉛直上方領域Ｒから
外れた位置に配置することで、加熱中の基板２２から鉛
直方向に伝搬する対流熱の影響を受け難くし、噴出口Ｓ
Ｐ内での原料の反応を抑制することとした。
可能な紫外線カットフィルタ膜の形成方法を提供する。 【解決手段】 本方法は、透明基板２２上に半導体材料
からなる紫外線カットフィルタ膜ＵＶＣを形成する紫外
線カットフィルタ膜の形成方法を対象とする。本方法に
おいては、噴出口ＳＰを基板２２の鉛直上方領域Ｒから
外れた位置に配置することで、加熱中の基板２２から鉛
直方向に伝搬する対流熱の影響を受け難くし、噴出口Ｓ
Ｐ内での原料の反応を抑制することとした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、紫外線カットフィ
ルタ膜の形成方法に関する。
ルタ膜の形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から太陽光に含まれる紫外線を遮蔽
する窓ガラスが要求されている。車両等に用いられる窓
ガラスには、紫外線カットフィルタ膜が設けられてい
る。これの形成方法として、ガラス板をランプ等で加熱
し、加熱されたガラス板上に膜の原料を噴霧することに
よって膜形成を行うものが知られている。
する窓ガラスが要求されている。車両等に用いられる窓
ガラスには、紫外線カットフィルタ膜が設けられてい
る。これの形成方法として、ガラス板をランプ等で加熱
し、加熱されたガラス板上に膜の原料を噴霧することに
よって膜形成を行うものが知られている。
【０００３】図５は、このような紫外線カットフィルタ
膜生成装置の構成図である。生成装置１０は、図示しな
いモータによって矢印Ａ方向に駆動されるフリーフロー
ライン１１と、フリーフローライン１１による搬送経路
上に配置された製膜装置１０’を備えている。生成装置
１０は、透明基板（ガラス板）２を載置してフリーフロ
ーライン１１上を矢印Ｂ方向に搬送させるセラミック板
１２を備えている。
膜生成装置の構成図である。生成装置１０は、図示しな
いモータによって矢印Ａ方向に駆動されるフリーフロー
ライン１１と、フリーフローライン１１による搬送経路
上に配置された製膜装置１０’を備えている。生成装置
１０は、透明基板（ガラス板）２を載置してフリーフロ
ーライン１１上を矢印Ｂ方向に搬送させるセラミック板
１２を備えている。
【０００４】製膜装置１０’は、位置決めされたセラミ
ック板１２に対して矢印Ｃ−Ｄ方向に往復走査移動し、
いわゆるスプレー熱分解法に係わる溶液をセラミック板
１２上の透明基板２に噴霧するスプレーノズル装置１３
と、透明基板２を上方より加熱するハロゲンランプ１４
とを備えている。この方法においては、基板を加熱しな
がら、上方から原材料を噴霧する。
ック板１２に対して矢印Ｃ−Ｄ方向に往復走査移動し、
いわゆるスプレー熱分解法に係わる溶液をセラミック板
１２上の透明基板２に噴霧するスプレーノズル装置１３
と、透明基板２を上方より加熱するハロゲンランプ１４
とを備えている。この方法においては、基板を加熱しな
がら、上方から原材料を噴霧する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しなしながら、従来の
紫外線カットフィルタ膜の形成においては、良好なフィ
ルタ膜が形成できない場合があった。本発明は、このよ
うな課題に鑑みてなされたものであり、良好なフィルタ
膜を安定して形成することが可能な紫外線カットフィル
タ膜の形成方法を提供することを目的とする。
紫外線カットフィルタ膜の形成においては、良好なフィ
ルタ膜が形成できない場合があった。本発明は、このよ
うな課題に鑑みてなされたものであり、良好なフィルタ
膜を安定して形成することが可能な紫外線カットフィル
タ膜の形成方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明に係る紫外線カットフィルタ膜の形成方法
は、可視光に対して透明な基板上に半導体材料からなる
紫外線カットフィルタ膜を形成する紫外線カットフィル
タ膜の形成方法を対象とし、基板を加熱する加熱工程
と、半導体材料の原料噴霧用の噴霧口を基板の鉛直上方
の領域から外れた位置に配置し、加熱中の基板上に噴霧
口を介して原料を噴霧する噴霧工程とを備えることを特
徴とする。
め、本発明に係る紫外線カットフィルタ膜の形成方法
は、可視光に対して透明な基板上に半導体材料からなる
紫外線カットフィルタ膜を形成する紫外線カットフィル
タ膜の形成方法を対象とし、基板を加熱する加熱工程
と、半導体材料の原料噴霧用の噴霧口を基板の鉛直上方
の領域から外れた位置に配置し、加熱中の基板上に噴霧
口を介して原料を噴霧する噴霧工程とを備えることを特
徴とする。
【０００７】本願発明者らは、噴出口内で材料が反応し
てしまう場合に上記不具合が発生することを見出した。
本発明の方法においては、噴出口を基板の鉛直上方領域
から外れた位置に配置することで、加熱中の基板から鉛
直方向に伝搬する対流熱の影響を受け難くし、噴出口内
での原料の反応を抑制することとした。
てしまう場合に上記不具合が発生することを見出した。
本発明の方法においては、噴出口を基板の鉛直上方領域
から外れた位置に配置することで、加熱中の基板から鉛
直方向に伝搬する対流熱の影響を受け難くし、噴出口内
での原料の反応を抑制することとした。
【０００８】特に、基板の厚み方向は略水平であり、噴
霧口から噴出される原料の噴出方向は基板の厚み方向に
略一致する場合には、上記影響を最小にすることができ
ると共に、大型の基板にも噴霧工程を施しやすくなる。
霧口から噴出される原料の噴出方向は基板の厚み方向に
略一致する場合には、上記影響を最小にすることができ
ると共に、大型の基板にも噴霧工程を施しやすくなる。
【０００９】また、基板は透明であって光吸収係数等が
比較的小さいので、光加熱等を用いた際の基板加熱効率
を向上させるためには、上記加熱工程は、紫外線カット
フィルタ膜の形成される側から基板を加熱することが望
ましい。
比較的小さいので、光加熱等を用いた際の基板加熱効率
を向上させるためには、上記加熱工程は、紫外線カット
フィルタ膜の形成される側から基板を加熱することが望
ましい。
【００１０】更に、紫外線カットフィルタ膜は、紫外線
の入射に感応してキャリアを発生するｐｎ接合を有し、
ｐｎ接合は互いに隣接したｐ型半導体層膜およびｎ型半
導体層膜から構成される場合には、当該膜によって発電
或いは光検知を行うことができ、このような構造を有す
る紫外線カットフィルタ膜を備える前記ガラス板が、例
えば、建造物用、自動車用などの広い面積を有する窓ガ
ラスである場合には、大面積太陽電池や検出器を提供す
ることができる。
の入射に感応してキャリアを発生するｐｎ接合を有し、
ｐｎ接合は互いに隣接したｐ型半導体層膜およびｎ型半
導体層膜から構成される場合には、当該膜によって発電
或いは光検知を行うことができ、このような構造を有す
る紫外線カットフィルタ膜を備える前記ガラス板が、例
えば、建造物用、自動車用などの広い面積を有する窓ガ
ラスである場合には、大面積太陽電池や検出器を提供す
ることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る紫外線カット
フィルタ膜の形成方法の好適な実施形態について添付図
面を参照して説明する。なお、各図において、同一の要
素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
フィルタ膜の形成方法の好適な実施形態について添付図
面を参照して説明する。なお、各図において、同一の要
素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１２】図１は、本発明の実施形態に係る紫外線カ
ットフィルタ膜の形成装置１の正面図である。本装置１
は、製膜装置１１とガラス板搬送装置１２からなる。
ットフィルタ膜の形成装置１の正面図である。本装置１
は、製膜装置１１とガラス板搬送装置１２からなる。
【００１３】図２は、ガラス板搬送装置１２の側面図で
あって、図示しないモータによって、レール８に載置さ
れたローラ７は、アングル６を支えて矢印Ａ−Ｂ方向
（水平方向）に駆動される。アングル６の下方には、吸
着装置５があり、長方形窓ガラス２２を吸着して吊り下
げている。
あって、図示しないモータによって、レール８に載置さ
れたローラ７は、アングル６を支えて矢印Ａ−Ｂ方向
（水平方向）に駆動される。アングル６の下方には、吸
着装置５があり、長方形窓ガラス２２を吸着して吊り下
げている。
【００１４】吊り下げられて搬送された長方形窓ガラス
２２と所定距離離れた状態で対向するように、製膜装置
１１が設置されている。製膜装置１１は、位置決めされ
た長方形窓ガラス２２に対して矢印Ｃ−Ｄ方向（鉛直方
向）に往復走査移動し、スプレー熱分解法に係わる溶液
を長方形窓ガラス２２にスプレーするスプレーノズル装
置３と、長方形窓ガラス２２をスプレー側より加熱する
ハロゲンランプ４とを備えるものである。
２２と所定距離離れた状態で対向するように、製膜装置
１１が設置されている。製膜装置１１は、位置決めされ
た長方形窓ガラス２２に対して矢印Ｃ−Ｄ方向（鉛直方
向）に往復走査移動し、スプレー熱分解法に係わる溶液
を長方形窓ガラス２２にスプレーするスプレーノズル装
置３と、長方形窓ガラス２２をスプレー側より加熱する
ハロゲンランプ４とを備えるものである。
【００１５】本実施形態の紫外線カットフィルタ膜の形
成装置１にあっては、レール８に沿って、スプレー熱分
解法に係わる各種溶液に対応して上記のようなスプレー
ノズル装置３、ハロゲンランプ４を備える製膜装置１１
を並べ備え、レール８に沿っで吊り下げられて搬送され
てくる長方形窓ガラス２２上に、順次紫外線カットフィ
ルタ膜ＵＶＣを構成する各層を形成していくものであ
る。
成装置１にあっては、レール８に沿って、スプレー熱分
解法に係わる各種溶液に対応して上記のようなスプレー
ノズル装置３、ハロゲンランプ４を備える製膜装置１１
を並べ備え、レール８に沿っで吊り下げられて搬送され
てくる長方形窓ガラス２２上に、順次紫外線カットフィ
ルタ膜ＵＶＣを構成する各層を形成していくものであ
る。
【００１６】なお、ガラス板搬送装置１２は様々な変形
が可能である。レール８に変えて搬送ロボットを用い、
複数のスプレーノズル装置３間で長方形窓ガラス２２を
吸着し移送させることもできる。この場合も吊り下げる
ことにより各装置の床占有面積が少なくて済む。スプレ
ー熱分解法に係わる各種溶液をスプレーするノズルを走
査する代わりに、このノズルを複数個用意して、長方形
窓ガラス２２のスプレー対象面積に応じて各ノズルを予
め配置しておくことも考えられる。
が可能である。レール８に変えて搬送ロボットを用い、
複数のスプレーノズル装置３間で長方形窓ガラス２２を
吸着し移送させることもできる。この場合も吊り下げる
ことにより各装置の床占有面積が少なくて済む。スプレ
ー熱分解法に係わる各種溶液をスプレーするノズルを走
査する代わりに、このノズルを複数個用意して、長方形
窓ガラス２２のスプレー対象面積に応じて各ノズルを予
め配置しておくことも考えられる。
【００１７】また、長方形窓ガラス２２の他に、図３に
示すような湾曲した自動車用フロントガラスヘも、本発
明の紫外線カットフィルタ膜の生成装置１を用いて、紫
外線カットフィルタ膜を生成できることになる。
示すような湾曲した自動車用フロントガラスヘも、本発
明の紫外線カットフィルタ膜の生成装置１を用いて、紫
外線カットフィルタ膜を生成できることになる。
【００１８】以上、説明したように、本装置を用いた紫
外線カットフィルタ膜の形成方法は、可視光に対して透
明な基板２２上に半導体材料からなる紫外線カットフィ
ルタ膜ＵＶＣを形成する紫外線カットフィルタ膜の形成
方法を対象とし、光加熱装置４によって原料噴霧側から
基板２２を加熱し、半導体材料の原料噴霧用の噴霧口Ｓ
Ｐを基板２２の鉛直上方の領域Ｒから外れた位置に配置
し、加熱中の基板上に噴霧口ＳＰを介して原料を噴霧す
る。
外線カットフィルタ膜の形成方法は、可視光に対して透
明な基板２２上に半導体材料からなる紫外線カットフィ
ルタ膜ＵＶＣを形成する紫外線カットフィルタ膜の形成
方法を対象とし、光加熱装置４によって原料噴霧側から
基板２２を加熱し、半導体材料の原料噴霧用の噴霧口Ｓ
Ｐを基板２２の鉛直上方の領域Ｒから外れた位置に配置
し、加熱中の基板上に噴霧口ＳＰを介して原料を噴霧す
る。
【００１９】本方法においては、噴出口ＳＰを基板２２
の鉛直上方領域Ｒから外れた位置に配置することで、加
熱中の基板２２から鉛直方向に伝搬する対流熱の影響を
受け難くし、噴出口ＳＰ内での原料の反応を抑制するこ
ととした。
の鉛直上方領域Ｒから外れた位置に配置することで、加
熱中の基板２２から鉛直方向に伝搬する対流熱の影響を
受け難くし、噴出口ＳＰ内での原料の反応を抑制するこ
ととした。
【００２０】基板２２の厚み方向は略水平であり、噴霧
口ＳＰから噴出される原料の噴出方向は基板２２の厚み
方向に略一致する場合には、上記影響を最小にすること
ができると共に、大型の基板２２にも噴霧工程を施しや
すくなる。なお、本例では略とは±２０度を意味するも
のとする。すなわち、基板２の厚み方向は水平に対して
傾いていてもよく、噴霧方向も基板表面に垂直な方向か
ら傾いていてもよい。
口ＳＰから噴出される原料の噴出方向は基板２２の厚み
方向に略一致する場合には、上記影響を最小にすること
ができると共に、大型の基板２２にも噴霧工程を施しや
すくなる。なお、本例では略とは±２０度を意味するも
のとする。すなわち、基板２の厚み方向は水平に対して
傾いていてもよく、噴霧方向も基板表面に垂直な方向か
ら傾いていてもよい。
【００２１】また、基板２２は透明であって光吸収係数
等が比較的小さいので、光加熱等を用いた際の基板加熱
効率を向上させるため、上記加熱工程においては、紫外
線カットフィルタ膜ＵＶＣの形成される側から基板を加
熱した。
等が比較的小さいので、光加熱等を用いた際の基板加熱
効率を向上させるため、上記加熱工程においては、紫外
線カットフィルタ膜ＵＶＣの形成される側から基板を加
熱した。
【００２２】更に、本例の紫外線カットフィルタ膜ＵＶ
Ｃは、紫外線の入射に感応してキャリアを発生するｐｎ
接合を有し、ｐｎ接合は互いに隣接したｐ型半導体層膜
およびｎ型半導体層膜から構成される。この膜は、光照
射に応答して発電或いは光検知を行うことができ、この
ような構造を有する紫外線カットフィルタ膜を備える前
記ガラス板が、例えば、建造物用、自動車用などの広い
面積を有する窓ガラスである場合には、大面積太陽電池
や検出器を提供することができる。
Ｃは、紫外線の入射に感応してキャリアを発生するｐｎ
接合を有し、ｐｎ接合は互いに隣接したｐ型半導体層膜
およびｎ型半導体層膜から構成される。この膜は、光照
射に応答して発電或いは光検知を行うことができ、この
ような構造を有する紫外線カットフィルタ膜を備える前
記ガラス板が、例えば、建造物用、自動車用などの広い
面積を有する窓ガラスである場合には、大面積太陽電池
や検出器を提供することができる。
【００２３】本発明の紫外線カットフィルタ膜の形成装
置１を用いて生成できる紫外線カットフィルタ膜につい
て説明する。
置１を用いて生成できる紫外線カットフィルタ膜につい
て説明する。
【００２４】図４は、紫外線カットフィルタ膜ＵＶＣを
ガラス板２２上に形成してなる長方形窓ガラス２０の斜
視図である。すなわち、長方形窓ガラス２０は透明な平
板状ガラスからなる透明ガラス板２２を備えており、前
述の紫外線カットフィルタ膜ＵＶＣは、ガラス板２２上
に順次積層された層２３〜２６から構成される。なお、
以下の説明において、特に断りのない限り、透明とは可
視光に対して透明であることを示すものとする。
ガラス板２２上に形成してなる長方形窓ガラス２０の斜
視図である。すなわち、長方形窓ガラス２０は透明な平
板状ガラスからなる透明ガラス板２２を備えており、前
述の紫外線カットフィルタ膜ＵＶＣは、ガラス板２２上
に順次積層された層２３〜２６から構成される。なお、
以下の説明において、特に断りのない限り、透明とは可
視光に対して透明であることを示すものとする。
【００２５】透明ガラス板２２の表面は、透明な導電性
膜からなる第１電極層２３によって被覆され、この第１
電極層２３上にｎ型ＴｉＯ2層２４が、ｎ型ＴｉＯ2層２
４上にｐ型ＮｉＯ層２５が形成されている。さらに、ｐ
型ＮｉＯ層２５の表面は、透明な導電性膜からなる第２
電極層２６によって被覆されている。
膜からなる第１電極層２３によって被覆され、この第１
電極層２３上にｎ型ＴｉＯ2層２４が、ｎ型ＴｉＯ2層２
４上にｐ型ＮｉＯ層２５が形成されている。さらに、ｐ
型ＮｉＯ層２５の表面は、透明な導電性膜からなる第２
電極層２６によって被覆されている。
【００２６】ここで、ｎ型ＴｉＯ2層２４及びｐ型Ｎｉ
Ｏ層２５は、紫外線の入射に感応するｐｎ接合ダイオー
ドを構成すると共に、紫外線を遮蔽する紫外線カットフ
ィルタ膜として機能する。
Ｏ層２５は、紫外線の入射に感応するｐｎ接合ダイオー
ドを構成すると共に、紫外線を遮蔽する紫外線カットフ
ィルタ膜として機能する。
【００２７】ｎ型ＴｉＯ2層２４、ｐ型ＮｉＯ層２５及
び第２電極層２６からなる積層体の一部は、層厚方向に
沿ってカットされており、第１電極層２３の一部表面領
域が露出している。この第１電極層２３の露出面には、
キャリア取出用の取出電極（配線）２７が電気的に接続
されており、一方、第２電極層２６上には取出電極（配
線）２８が電気的に接続されている。これらの接続は、
導電性樹脂を接着剤とする接着、圧着又は融着等の手法
を用いて行う。取出電極２８は、長方形のガラス表面内
において、取出電極２７の対角位置に位置する。なお、
これらの取出電極２７、２８の取付けは、紫外線カット
フィルタ膜の生成後、別工程にて行われる。
び第２電極層２６からなる積層体の一部は、層厚方向に
沿ってカットされており、第１電極層２３の一部表面領
域が露出している。この第１電極層２３の露出面には、
キャリア取出用の取出電極（配線）２７が電気的に接続
されており、一方、第２電極層２６上には取出電極（配
線）２８が電気的に接続されている。これらの接続は、
導電性樹脂を接着剤とする接着、圧着又は融着等の手法
を用いて行う。取出電極２８は、長方形のガラス表面内
において、取出電極２７の対角位置に位置する。なお、
これらの取出電極２７、２８の取付けは、紫外線カット
フィルタ膜の生成後、別工程にて行われる。
【００２８】ｎ型ＴｉＯ2層２４、ｐ型ＮｉＯ層２５
は、その境界にヘテロ接合のｐｎ接合を構成している。
このｐｎ接合に透明ガラス板２２を介して紫外域（波長
３００〜４００ｎｍ）の光が入射すると、この入射光に
感応して電子−正孔対（キャリア）が発生する。発生し
たそれぞれのキャリアは、第１電極層２３から取出し電
極を経て、及び、第２電極層２６から取出電極２８を経
て、光電流として外部に取り出せる。
は、その境界にヘテロ接合のｐｎ接合を構成している。
このｐｎ接合に透明ガラス板２２を介して紫外域（波長
３００〜４００ｎｍ）の光が入射すると、この入射光に
感応して電子−正孔対（キャリア）が発生する。発生し
たそれぞれのキャリアは、第１電極層２３から取出し電
極を経て、及び、第２電極層２６から取出電極２８を経
て、光電流として外部に取り出せる。
【００２９】透明ガラス板２２を介して紫外域の光をｐ
ｎ接合まで到達させて光吸収を行わせ、且つ、可視光に
対して窓ガラスとしての所定の透明度を得るためには、
透明ガラス板２２、第１電極層２３、ｎ型ＴｉＯ2層２
４、ｐ型ＮｉＯ層２５及び第２電極層２６の各エネルギ
ーバンドギャップを入射光の光エネルギー（これは光の
波長に反比例する）を考慮して設定しなければならな
い。少なくとも、紫外域の光を透明ガラス板２２を介し
てｐｎ接合まで到達させるためには、透明ガラス板２２
及び第１電極層２３のバンドギャップエネルギー（単
位：ｅＶ）を紫外域の光のエネルギー（単位：ｅＶ）よ
りも大きくしておかなければならない。
ｎ接合まで到達させて光吸収を行わせ、且つ、可視光に
対して窓ガラスとしての所定の透明度を得るためには、
透明ガラス板２２、第１電極層２３、ｎ型ＴｉＯ2層２
４、ｐ型ＮｉＯ層２５及び第２電極層２６の各エネルギ
ーバンドギャップを入射光の光エネルギー（これは光の
波長に反比例する）を考慮して設定しなければならな
い。少なくとも、紫外域の光を透明ガラス板２２を介し
てｐｎ接合まで到達させるためには、透明ガラス板２２
及び第１電極層２３のバンドギャップエネルギー（単
位：ｅＶ）を紫外域の光のエネルギー（単位：ｅＶ）よ
りも大きくしておかなければならない。
【００３０】光のエネルギーＥ（単位：ｅＶ）と光の波
長λ（単位：ｎｍ）との間には、以下に示す式（１）の
関係が成立することが知られている。 Ｅ＝Ｃ／λ （Ｃは、所定の係数）…（１） 紫外域の光の波長は、概ね、３００〜４００ｎｍであ
る。したがって、上記観点から、各層の材料／エネルギ
バンドギャップを表１の通り設定した。
長λ（単位：ｎｍ）との間には、以下に示す式（１）の
関係が成立することが知られている。 Ｅ＝Ｃ／λ （Ｃは、所定の係数）…（１） 紫外域の光の波長は、概ね、３００〜４００ｎｍであ
る。したがって、上記観点から、各層の材料／エネルギ
バンドギャップを表１の通り設定した。
【００３１】
【表１】
【００３２】また、可視光透過の観点からは、各層の厚
みは薄いことが望ましいが、薄すぎる場合には、機械的
強度が低下し、また、ｐｎ接合を構成する部分では紫外
域の光の吸収効率が低下する。したがって、これらの観
点から、各層の厚み／好適な厚みの範囲は、表２のよう
に設定した。
みは薄いことが望ましいが、薄すぎる場合には、機械的
強度が低下し、また、ｐｎ接合を構成する部分では紫外
域の光の吸収効率が低下する。したがって、これらの観
点から、各層の厚み／好適な厚みの範囲は、表２のよう
に設定した。
【００３３】
【表２】
【００３４】以上、説明したように、上記紫外線カット
フィルタ膜の生成方法によれば、縦配置されたガラス板
の表面を所定の温度に加熱し、その表面に、紫外線カッ
トフィルタ膜を構成する半導体材料を含む原料を所定の
溶媒に溶解した溶液を噴霧状にスプレーすることで、所
望の紫外線カットフィルタ膜ＵＶＣを生成できる。溶液
が霧状態となるため、液たれも生じなく、良好に被膜を
生成できる。この結果、まず、４００℃を越えるガラス
板と、これに対面する製膜装置１１内のスプレーノズル
装置３、ハロゲンランプ４との間の高温空気は、上方に
排気され、スプレーノズル装置３及びハロゲンランプ４
が高温雰囲気中に晒されることが無くなり、製膜装置１
１における熱対策が大幅に軽減される。さらに、装置本
体の設置面積に制限されずに、この設置面積より大きな
表面積を有するガラス板に紫外線カットフィルタ膜を生
成できる為、建造物用あるいは、自動車用大型ガラス板
に従来よりも小型の装置で上記紫外線カットフィルタ膜
を生成することができる。
フィルタ膜の生成方法によれば、縦配置されたガラス板
の表面を所定の温度に加熱し、その表面に、紫外線カッ
トフィルタ膜を構成する半導体材料を含む原料を所定の
溶媒に溶解した溶液を噴霧状にスプレーすることで、所
望の紫外線カットフィルタ膜ＵＶＣを生成できる。溶液
が霧状態となるため、液たれも生じなく、良好に被膜を
生成できる。この結果、まず、４００℃を越えるガラス
板と、これに対面する製膜装置１１内のスプレーノズル
装置３、ハロゲンランプ４との間の高温空気は、上方に
排気され、スプレーノズル装置３及びハロゲンランプ４
が高温雰囲気中に晒されることが無くなり、製膜装置１
１における熱対策が大幅に軽減される。さらに、装置本
体の設置面積に制限されずに、この設置面積より大きな
表面積を有するガラス板に紫外線カットフィルタ膜を生
成できる為、建造物用あるいは、自動車用大型ガラス板
に従来よりも小型の装置で上記紫外線カットフィルタ膜
を生成することができる。
【００３５】
【実施例】以下、実施例に基づいて本発明をより具体的
に説明するが、本発明は、以下の実施例に限定されるも
のではない。図４に示す構造の窓ガラス２０を図１の装
置を用いて製造するため、透明ガラス板２２として、３
ｍｍ厚のソーダガラス板を採用し、この上に、順次、ス
プレー熱分解法により、第１電極層２３としてＳｎ
Ｏ2、ｎ型ＴｉＯ2層２４としてＴｉＯ2、ｐ型ＮｉＯ層
２５としてＮｉＯ、第２電極層２６としてＳｎＯ2の膜
を生成していった。各層の膜厚は、０．８から１．０μ
ｍの間になるように条件設定した。
に説明するが、本発明は、以下の実施例に限定されるも
のではない。図４に示す構造の窓ガラス２０を図１の装
置を用いて製造するため、透明ガラス板２２として、３
ｍｍ厚のソーダガラス板を採用し、この上に、順次、ス
プレー熱分解法により、第１電極層２３としてＳｎ
Ｏ2、ｎ型ＴｉＯ2層２４としてＴｉＯ2、ｐ型ＮｉＯ層
２５としてＮｉＯ、第２電極層２６としてＳｎＯ2の膜
を生成していった。各層の膜厚は、０．８から１．０μ
ｍの間になるように条件設定した。
【００３６】上記実施例に用いられる各層の製膜条件に
ついて詳細に説明する。
ついて詳細に説明する。
【００３７】上記透明ガラス板２２として、予めフツ素
ドープＳｎ０2からなる電極層付き透明ソーダガラス板
（旭硝子社製Ｕ膜：Ａ１１０Ｕ８０）を使用した。
ドープＳｎ０2からなる電極層付き透明ソーダガラス板
（旭硝子社製Ｕ膜：Ａ１１０Ｕ８０）を使用した。
【００３８】上記実施例に用いられる各層は、上記のス
プレー熱分解法を用いて生成した。すなわち、溶媒中に
原料を溶解し、基板２２を加熱しながら、上記噴出口Ｓ
Ｐから溶解した原料を基板２２上に噴霧ことにより、基
板表面上で原料を反応させ、各層を形成した。各層の製
膜条件をそれぞれ表３，４，５，６に示す。
プレー熱分解法を用いて生成した。すなわち、溶媒中に
原料を溶解し、基板２２を加熱しながら、上記噴出口Ｓ
Ｐから溶解した原料を基板２２上に噴霧ことにより、基
板表面上で原料を反応させ、各層を形成した。各層の製
膜条件をそれぞれ表３，４，５，６に示す。
【００３９】
【表３】
【００４０】
【表４】
【００４１】
【表５】
【００４２】
【表６】
【００４３】（評価及び結果）上記紫外線カットフィル
タ膜の製造時における噴出口の温度を測定したところ、
４０℃であった。これは基板上に噴出口を配置した場合
の７０℃と比較して著しく低く、噴出口内での原料反応
は抑制されているものと考えられる。
タ膜の製造時における噴出口の温度を測定したところ、
４０℃であった。これは基板上に噴出口を配置した場合
の７０℃と比較して著しく低く、噴出口内での原料反応
は抑制されているものと考えられる。
【００４４】また、上記製膜条件によって製造した窓ガ
ラス２０にソーラシュミレータ（山下電装株式会社製Ｙ
ＳＳ−５０）により、ＡＭ−１．５，１４０ｍＷ／ｃｍ
2の疑似太陽光を透明ガラス板２２側から照射すると、
電極２７と電極２８との間に短絡電流が流れ、開放電圧
が測定できた。上記形成は複数回行ったが、短絡電流に
大きな変化は観察されなかった。
ラス２０にソーラシュミレータ（山下電装株式会社製Ｙ
ＳＳ−５０）により、ＡＭ−１．５，１４０ｍＷ／ｃｍ
2の疑似太陽光を透明ガラス板２２側から照射すると、
電極２７と電極２８との間に短絡電流が流れ、開放電圧
が測定できた。上記形成は複数回行ったが、短絡電流に
大きな変化は観察されなかった。
【００４５】
【発明の効果】本発明によれば、良好なフィルタ膜を安
定して形成することが可能な紫外線カットフィルタ膜の
形成方法を提供することができる。
定して形成することが可能な紫外線カットフィルタ膜の
形成方法を提供することができる。
【図１】紫外線カットフィルタ膜の形成装置１の正面図
である。
である。
【図２】ガラス板搬送装置１２の側面図である。
【図３】自動車用フロントガラスの正面図である。
【図４】紫外線カットフィルタ膜を生成し終えた長方形
窓ガラス２０の斜視図である。
窓ガラス２０の斜視図である。
【図５】従来の紫外線カットフィルタ膜生成装置の構成
図である。
図である。
２２…基板、ＵＶＣ…紫外線カットフィルタ膜、４…加
熱装置、ＳＰ…噴出口。
熱装置、ＳＰ…噴出口。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村中 晃憲 静岡県静岡市中吉田20番10号 スター精密 株式会社内 Ｆターム(参考） 2H048 CA05 CA06 CA09 CA13 CA17 CA27 4G059 AA01 AB02 AC07 EA02 EB06 GA02 GA04 GA12 5F051 BA14 CB30 DA03 DA07 HA16 5F088 AA02 CB20 GA02 HA05
Claims (5)
- 【請求項１】 可視光に対して透明な基板上に半導体材
料からなる紫外線カットフィルタ膜を形成する紫外線カ
ットフィルタ膜の形成方法において、前記基板を加熱す
る加熱工程と、前記半導体材料の原料噴霧用の噴霧口を
前記基板の鉛直上方の領域から外れた位置に配置し、加
熱中の前記基板上に前記噴霧口を介して前記原料を噴霧
する噴霧工程とを備えることを特徴とする紫外線カット
フィルタ膜の形成方法。 - 【請求項２】 前記基板の厚み方向は略水平であり、前
記噴霧口から噴出される前記原料の噴出方向は前記基板
の厚み方向に略一致することを特徴とする請求項１記載
の紫外線カットフィルタ膜の形成方法。 - 【請求項３】 前記加熱工程は、前記紫外線カットフィ
ルタ膜の形成される側から前記基板を加熱することを特
徴とする請求項１記載の紫外線カットフィルタ膜の形成
方法。 - 【請求項４】 前記紫外線カットフィルタ膜は、紫外線
の入射に感応してキャリアを発生するｐｎ接合を有し、
前記ｐｎ接合は互いに隣接したｐ型半導体層膜およびｎ
型半導体層膜から構成されることを特徴とする請求項１
記載の紫外線カットフィルタ膜の形成方法。 - 【請求項５】 前記紫外線カットフィルタ膜を備える前
記ガラス板は、窓ガラスであることを特徴とする請求項
４記載の紫外線カットフィルタ膜の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000003785A JP2001199745A (ja) | 2000-01-12 | 2000-01-12 | 紫外線カットフィルタ膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000003785A JP2001199745A (ja) | 2000-01-12 | 2000-01-12 | 紫外線カットフィルタ膜の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001199745A true JP2001199745A (ja) | 2001-07-24 |
Family
ID=18532669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000003785A Pending JP2001199745A (ja) | 2000-01-12 | 2000-01-12 | 紫外線カットフィルタ膜の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001199745A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006527308A (ja) * | 2003-06-13 | 2006-11-30 | サン−ゴバン グラス フランス | 障壁支持体上に配置されたパネルの吹付け処理 |
| JP2007238393A (ja) * | 2006-03-09 | 2007-09-20 | Dainippon Printing Co Ltd | 金属酸化物膜の製造方法、および、金属酸化物膜の製造装置 |
| JP2007246337A (ja) * | 2006-03-16 | 2007-09-27 | Dainippon Printing Co Ltd | 金属酸化物膜の製造方法 |
| JP2010518604A (ja) * | 2007-02-01 | 2010-05-27 | ウィラード アンド ケルシー ソーラー グループ， エルエルシー | ガラスシートの半導体コーティングシステムおよび方法および得られる製品 |
| JP2010267865A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Toyota Central R&D Labs Inc | 太陽電池及びその製造方法 |
-
2000
- 2000-01-12 JP JP2000003785A patent/JP2001199745A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006527308A (ja) * | 2003-06-13 | 2006-11-30 | サン−ゴバン グラス フランス | 障壁支持体上に配置されたパネルの吹付け処理 |
| JP2007238393A (ja) * | 2006-03-09 | 2007-09-20 | Dainippon Printing Co Ltd | 金属酸化物膜の製造方法、および、金属酸化物膜の製造装置 |
| JP2007246337A (ja) * | 2006-03-16 | 2007-09-27 | Dainippon Printing Co Ltd | 金属酸化物膜の製造方法 |
| JP2010518604A (ja) * | 2007-02-01 | 2010-05-27 | ウィラード アンド ケルシー ソーラー グループ， エルエルシー | ガラスシートの半導体コーティングシステムおよび方法および得られる製品 |
| JP2010267865A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Toyota Central R&D Labs Inc | 太陽電池及びその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5148876B2 (ja) | スクリーン印刷機 | |
| AU2004204637B2 (en) | Transparent thin-film solar cell module and its manufacturing method | |
| US8846419B2 (en) | Thin layer solar cell module and method for producing it | |
| CN101278407B (zh) | Cis系薄膜太阳电池组件的制造方法 | |
| JP5121365B2 (ja) | 太陽電池モジュールおよびその製造方法 | |
| EP2283523B1 (en) | Assembly line for photovoltaic devices | |
| JP7023974B2 (ja) | Ｐ型ｐｅｒｃ両面太陽電池及びそのモジュール、システムと製造方法 | |
| US20120291836A1 (en) | Array of thin-film photovoltaic cells having an etchant-resistant electrode an an integrated bypass diode associated with a plurality of cells and a panel incorporating the same | |
| CN102217092A (zh) | 具有造型基板的薄膜光伏组件 | |
| CN103441167B (zh) | 一种硅基薄膜太阳能电池组件及其制备方法 | |
| JP2001199745A (ja) | 紫外線カットフィルタ膜の形成方法 | |
| US4239809A (en) | Method for quality film formation | |
| US20120291840A1 (en) | Patterned textured glass compatible with laser scribing | |
| TWI451585B (zh) | 用於網板印刷圖案對準之強化視覺系統 | |
| US20120295395A1 (en) | Method for producing an array of thin-film photovoltaic cells having a totally separated integrated bypass diode associated with a plurality of cells and method for producing a panel incorporating the same | |
| US20200001592A1 (en) | Light transmission processing system and method for solar chip module | |
| EP2481133A1 (en) | System and method for removing coating from an edge of a substrate | |
| KR100901745B1 (ko) | 박막 태양전지 및 모듈 제조방법 | |
| KR102618842B1 (ko) | 고광전변환효율 태양전지셀 및 고광전변환효율 태양전지셀의 제조방법 | |
| US20180019366A1 (en) | Solar cell, method for manufacturing solar cell, and heating device used therein | |
| KR20100112826A (ko) | 박막형 태양전지의 제조방법 및 제조장치 | |
| JP2013049181A (ja) | スクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法 | |
| WO2023228896A1 (ja) | 太陽電池モジュール | |
| JP2006278696A (ja) | 太陽電池モジュール製造方法 | |
| JP2012144049A (ja) | スクリーン印刷機 |