JP2001184732A - Method for manufacturing optical information recording medium - Google Patents

Method for manufacturing optical information recording medium

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JP2001184732A
JP2001184732A JP37002299A JP37002299A JP2001184732A JP 2001184732 A JP2001184732 A JP 2001184732A JP 37002299 A JP37002299 A JP 37002299A JP 37002299 A JP37002299 A JP 37002299A JP 2001184732 A JP2001184732 A JP 2001184732A
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JP
Japan
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protective
substrate
liquid
recording medium
optical information
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JP37002299A
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Japanese (ja)
Inventor
Michihiro Shibata
路宏 柴田
Koichi Kawai
晃一 河合
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To secure the reproducibility of recording and reproducing characteristics even when waste of protection liquid is reused as the protection liquid and to make it possible to realize low costs in manufacture. SOLUTION: The waste 452 of the protection liquid generated by the treatment for applying the protection liquid to a substrate 202 with a spinning device 300 is recovered, then the concentration of dyestuff in the waste 452 of the protection liquid is adjusted to a desirable value by a concentration adjusting stage 602 to reuse the resultant liquid as a regenerated protection liquid 604.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を用いて
情報の記録及び再生を行うことができるヒートモード型
の光情報記録媒体の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a heat mode optical information recording medium capable of recording and reproducing information by using a laser beam.

【0002】[0002]

【従来の技術】通常、情報を記録することができる色素
記録層と光反射層とを保護するための保護層を形成する
方法としては、基板を回転させながら色素記録層に積層
されている光反射層上に保護液を塗布するスピンコート
法が採用されている。このスピンコート法は、回転して
いる基板の内周側に溶液を滴下し、遠心力により該溶液
を外周側に流延させて塗膜を形成するとともに、その余
分の溶液を基板の外周縁部から振り切ってその周囲に放
出させ、次いで、塗膜から溶剤を乾燥除去する処理を含
む薄膜形成法の一種である。
2. Description of the Related Art Usually, as a method of forming a protective layer for protecting a dye recording layer capable of recording information and a light reflecting layer, a light-emitting layer laminated on the dye recording layer while rotating a substrate is used. A spin coating method of applying a protective liquid on the reflective layer has been adopted. In this spin coating method, a solution is dropped on the inner peripheral side of a rotating substrate, and the solution is cast on the outer peripheral side by centrifugal force to form a coating film. This is a type of thin film forming method that includes a process of shaking off a part to release it to the surroundings, and then drying and removing a solvent from the coating film.

【0003】例えば、特開平5−6581号公報に開示
されているように、保護液としてUV樹脂をメタノー
ル、エタノール等の溶剤に溶解した溶液を用いてスピン
コート法を行い色素記録層及び光反射層を被包する方法
が知られている。この場合、基板上の所定の範囲からは
み出して形成された色素記録層を前記溶剤の作用により
溶解させ、所望の範囲で保護層を形成するようにしてい
る。
[0003] For example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-6581, spin coating is performed by using a solution in which a UV resin is dissolved in a solvent such as methanol or ethanol as a protective liquid, and a dye recording layer and light reflection are performed. Methods for encapsulating layers are known. In this case, the dye recording layer formed so as to protrude from a predetermined range on the substrate is dissolved by the action of the solvent to form a protective layer in a desired range.

【0004】また、スピンコート法にて保護層を形成し
た際に、基板の回転作用下に基板の外周縁部から振り切
られ、その周囲に放出された保護廃液を回収手段により
回収して保護液として再利用する方法が、特開平11−
25523号公報に開示されている。
Further, when the protective layer is formed by spin coating, the protective waste liquid that has been shaken off from the outer peripheral edge of the substrate under the action of rotation of the substrate and discharged to the periphery thereof is recovered by a recovery means, and the protective liquid is recovered. Japanese Patent Application Laid-Open No.
No. 25523.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記した特
開平5−6581号公報に記載の保護層の形成方法で
は、メタノール、エタノール等の溶剤を含む保護液をス
ピンコート法により光反射層上に塗布する際に、その過
程で該溶剤が一部蒸発してしまう。そのため、基板の外
周縁部から振り切られた保護廃液を回収しても、保護廃
液中のメタノール、エタノール等の濃度が一定でないた
めに保護液として再利用することができず、製造コスト
が高騰するという難点がある。
However, in the method of forming a protective layer described in JP-A-5-6581, the protective solution containing a solvent such as methanol or ethanol is coated on the light reflecting layer by spin coating. During coating, the solvent partially evaporates in the process. Therefore, even if the protective waste liquid shaken off from the outer peripheral edge of the substrate is collected, the concentration of the methanol, ethanol, etc. in the protective waste liquid cannot be reused as the protective liquid because the concentration thereof is not constant, and the production cost rises. There is a disadvantage.

【0006】また、上記した特開平11−25523号
公報に記載の保護層の形成方法では、保護液として再利
用している保護廃液中には溶解した色素が含まれている
ため、保護廃液の再利用の回数が多くなると、保護廃液
に含まれる色素の濃度が増加して保護層の機械的強度の
低下を招くという不具合が生じる。
In the method of forming a protective layer described in Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-25523, since a dissolved dye is contained in the protective waste liquid reused as the protective liquid, When the number of times of reuse increases, the concentration of the dye contained in the protection waste liquid increases, causing a problem that the mechanical strength of the protection layer is reduced.

【0007】本発明はこのような課題を考慮してなされ
たものであり、保護廃液を保護液として再利用しても記
録再生特性の再現性を確保することができ、さらに、製
造コストの低廉化を効率よく実現させることができる光
情報記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of such problems, and can ensure the reproducibility of the recording / reproducing characteristics even when the protection waste liquid is reused as the protection liquid. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing an optical information recording medium capable of efficiently realizing the optical information recording medium.

【0008】また、本発明の他の目的は、前記条件に加
えて、保護廃液の回収率を向上させることができ、生産
効率の向上を図ることができる光情報記録媒体の製造方
法を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing an optical information recording medium capable of improving the recovery rate of a protected waste liquid and improving production efficiency in addition to the above-mentioned conditions. It is in.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、基板上に、レ
ーザ光の照射により情報を記録することができる色素記
録層と光反射層とを有し、前記色素記録層を保護するた
めの保護層が形成されているヒートモード型の光情報記
録媒体の製造方法において、前記基板を回転させながら
前記保護層を形成するための保護液を前記光反射層上に
塗布する塗布工程と、前記塗布工程で排出された保護廃
液を回収する回収工程とを含み、前記保護廃液を保護液
として再利用することを特徴とする。
According to the present invention, there is provided a dye recording layer on which light can be recorded by irradiating a laser beam on a substrate, and a light reflection layer. In the method for manufacturing a heat mode optical information recording medium in which a protective layer is formed, a coating step of coating a protective liquid for forming the protective layer on the light reflection layer while rotating the substrate; Recovering the protective waste liquid discharged in the application step, wherein the protective waste liquid is reused as a protective liquid.

【0010】即ち、保護液の塗布工程にて排出された保
護廃液(回収工程で回収された保護廃液)を保護液とし
て再利用するため、保護液の利用率を大幅に増加させる
ことができ、生産効率の向上を図ることができる。
That is, since the protection waste liquid discharged in the protection liquid application step (the protection waste liquid recovered in the recovery step) is reused as the protection liquid, the utilization rate of the protection liquid can be greatly increased. Production efficiency can be improved.

【0011】前記保護液として、揮発溶剤成分を含まな
い紫外線硬化樹脂を用いてもよく、前記保護液の吐出量
を前記光反射層全体を被覆するように制御してもよい。
As the protective liquid, an ultraviolet curable resin containing no volatile solvent component may be used, and the discharge amount of the protective liquid may be controlled so as to cover the entire light reflecting layer.

【0012】また、前記保護廃液中の色素の濃度を調整
する工程を含むようにしてもよい。これにより、保護廃
液を保護液として再利用した際にも記録再生特性の再現
性を確保することができる。
The method may further include a step of adjusting the concentration of the dye in the protection waste liquid. Thereby, even when the protection waste liquid is reused as the protection liquid, reproducibility of the recording / reproducing characteristics can be secured.

【0013】前記光反射層上に前記保護液を塗布して前
記保護層を形成する際に、前記保護液の塗布量を1.0
〜3.0g/枚とすることが好ましく、さらに好ましく
は1.0〜2.0g/枚である。
When the protective layer is formed by applying the protective liquid on the light reflecting layer, the amount of the protective liquid applied is set to 1.0.
To 3.0 g / sheet, more preferably 1.0 to 2.0 g / sheet.

【0014】前記光反射層上に前記保護液を塗布して前
記保護層を形成する際に、前記基板を回転させる時間を
3〜5秒とすることが好ましく、さらに好ましくは3秒
である。これにより、基板上への保護液の塗布が良好に
行われ、保護層の内周と外周との膜厚の差をほぼ均一に
することができる。。
When the protective liquid is applied on the light reflecting layer to form the protective layer, the time for rotating the substrate is preferably 3 to 5 seconds, more preferably 3 seconds. Thereby, the protective liquid is applied well on the substrate, and the difference in film thickness between the inner circumference and the outer circumference of the protective layer can be made substantially uniform. .

【0015】前記光反射層上に前記保護液を塗布して前
記保護層を形成する際に、前記保護液の塗布時の前記基
板の回転数若しくは相対回転数を20〜100rpmと
することが好ましく、さらに好ましくは30〜60rp
mである。一方、前記光反射層上に塗布された前記保護
液の振り切り時の前記基板の回転数を4000〜600
0rpmとすることが好ましく、さらに好ましくは45
00〜5500rpmである。
When the protective liquid is applied on the light reflecting layer to form the protective layer, the number of revolutions or the relative number of revolutions of the substrate at the time of applying the protective liquid is preferably 20 to 100 rpm. , More preferably 30-60 rp
m. On the other hand, the number of rotations of the substrate at the time of shaking off the protective liquid applied on the light reflection layer was set to 4,000 to 600.
0 rpm, more preferably 45 rpm.
It is 00 to 5500 rpm.

【0016】前記保護液の粘度は120〜400cPで
あることが好ましい。さらに好ましくは130〜200
cPである。
Preferably, the viscosity of the protective liquid is from 120 to 400 cP. More preferably 130 to 200
cP.

【0017】前記保護廃液中の色素の濃度は0.1重量
%以下、好ましくは0.05重量%以下、さらに好まし
くは0.01重量%以下がよい。これにより、保護層の
機械的強度を低下させることなく保護層を形成すること
ができる。
[0017] The concentration of the dye in the protective waste liquid is 0.1% by weight or less, preferably 0.05% by weight or less, more preferably 0.01% by weight or less. Thereby, the protective layer can be formed without lowering the mechanical strength of the protective layer.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光情報記録媒
体の製造方法を例えばCD−R等の光ディスクを製造す
るシステムに適用した実施の形態例(以下、単に実施の
形態に係る製造システムと記す)を、図1〜図9を参照
しながら説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment in which a method for manufacturing an optical information recording medium according to the present invention is applied to a system for manufacturing an optical disk such as a CD-R (hereinafter simply referred to as a manufacturing system according to the embodiment). Will be described with reference to FIGS. 1 to 9.

【0019】本実施の形態に係る製造システム10は、
図1に示すように、例えば射出成形、圧縮成形又は射出
圧縮成形によって基板を作製する2つの成形設備(第1
及び第2の成形設備)12A及び12Bと、基板の一主
面上に色素溶液を塗布して乾燥させることにより、該基
板上に色素記録層を形成する塗布設備14と、基板の色
素記録層上に光反射層を例えばスパッタリングにより形
成し、その後、光反射層上に紫外線硬化液を塗布した
後、紫外線を照射して前記光反射層上に保護層を形成す
る後処理設備16とを有して構成されている。
The manufacturing system 10 according to the present embodiment
As shown in FIG. 1, for example, two molding equipments (first and second molding apparatuses) for producing a substrate by injection molding, compression molding or injection compression molding.
And a second molding facility) 12A and 12B, a coating facility 14 for forming a dye recording layer on the substrate by applying and drying a dye solution on one main surface of the substrate, and a dye recording layer on the substrate. There is a post-processing facility 16 for forming a light reflecting layer on the light reflecting layer by, for example, sputtering, then applying an ultraviolet curing liquid on the light reflecting layer, and then irradiating ultraviolet rays to form a protective layer on the light reflecting layer. It is configured.

【0020】第1及び第2の成形設備12A及び12B
は、ポリカーボネートなどの樹脂材料を射出成形、圧縮
成形又は射出圧縮成形して、一主面にトラッキング用溝
又はアドレス信号等の情報を表すグルーブ(凹凸)20
0が形成された基板202を作製する成形機20と、該
成形機20から取り出された基板202を冷却する冷却
部22と、冷却された基板202を段積みして保管する
ためのスタックポール24が複数本設置された集積部
(スタックポール回転台)26を有する。
First and second molding equipment 12A and 12B
Is made by injection molding, compression molding, or injection compression molding of a resin material such as polycarbonate, and a groove (unevenness) 20 representing information such as a tracking groove or an address signal is formed on one main surface.
0, a cooling unit 22 for cooling the substrate 202 taken out of the molding machine 20, and a stack pole 24 for stacking and storing the cooled substrate 202. Has a stacking section (stack-pole rotating table) 26 in which a plurality of pieces are installed.

【0021】塗布設備14は、3つの処理部30、32
及び34から構成され、第1の処理部30には、前記第
1及び第2の成形設備12A及び12Bから搬送された
スタックポール24を収容するためのスタックポール収
容部40と、該スタックポール収容部40に収容された
スタックポール24から1枚ずつ基板202を取り出し
て次工程に搬送する第1の搬送機構42と、該第1の搬
送機構42によって搬送された1枚の基板202に対し
て静電気の除去を行う静電ブロー機構44とを有する。
The coating equipment 14 has three processing units 30, 32
And 34, the first processing section 30 includes a stack pole storage section 40 for storing the stack poles 24 transported from the first and second molding facilities 12A and 12B, and a stack pole storage section 40 for storing the stack poles. The first transport mechanism 42 that takes out the substrates 202 one by one from the stack poles 24 accommodated in the unit 40 and transports them to the next process, and the one substrate 202 transported by the first transport mechanism 42 And an electrostatic blow mechanism 44 for removing static electricity.

【0022】第2の処理部32は、第1の処理部30に
おいて静電ブロー処理を終えた基板202を次工程に順
次搬送する第2の搬送機構46と、該第2の搬送機構4
6によって搬送された複数の基板202に対してそれぞ
れ色素溶液を塗布する色素塗布機構48と、色素塗布処
理を終えた基板202を1枚ずつ次工程に搬送する第3
の搬送機構50とを有する。この色素塗布機構48は6
つのスピンコート装置52を有して構成されている。
The second processing section 32 includes a second transport mechanism 46 for sequentially transporting the substrate 202 that has been subjected to the electrostatic blow processing in the first processing section 30 to the next step, and a second transport mechanism 4.
6, a dye coating mechanism 48 for applying a dye solution to each of the plurality of substrates 202 conveyed by the printer 6;
And a transfer mechanism 50. This dye application mechanism 48 has six
It has two spin coating devices 52.

【0023】第3の処理部34は、前記第3の搬送機構
50によって搬送された1枚の基板202の裏面を洗浄
する裏面洗浄機構54と、裏面洗浄を終えた基板202
を次工程に搬送する第4の搬送機構56と、該第4の搬
送機構56によって搬送された基板202に対してロッ
ト番号等の刻印を行う番号付与機構58と、ロット番号
等の刻印を終えた基板202を次工程に搬送する第5の
搬送機構60と、該第5の搬送機構60によって搬送さ
れた基板202に対して欠陥の有無並びに色素記録層の
膜厚の検査を行う検査機構62と、該検査機構62での
検査結果に応じて基板202を正常品用のスタックポー
ル64、あるいはNG用のスタックポール66に選別す
る選別機構68とを有する。
The third processing unit 34 includes a back surface cleaning mechanism 54 for cleaning the back surface of the single substrate 202 transported by the third transport mechanism 50, and a substrate 202 after the back surface cleaning.
Transport mechanism 56 for transporting the substrate to the next process, a numbering mechanism 58 for marking the lot number and the like on the substrate 202 transported by the fourth transport mechanism 56, and finishing the marking of the lot number and the like. Transport mechanism 60 that transports the substrate 202 to the next process, and an inspection mechanism 62 that inspects the substrate 202 transported by the fifth transport mechanism 60 for the presence or absence of a defect and the thickness of the dye recording layer. And a sorting mechanism 68 for sorting the substrate 202 into a stack pole 64 for normal products or a stack pole 66 for NG according to the inspection result of the inspection mechanism 62.

【0024】第1の処理部30と第2の処理部32との
間に第1の仕切板70が設置され、第2の処理部32と
第3の処理部34との間にも同様に、第2の仕切板72
が設置されている。第1の仕切板70の下部には、第2
の搬送機構46による基板202の搬送経路を塞がない
程度の開口(図示せず)が形成され、第2の仕切板72
の下部には、第3の搬送機構50による基板202の搬
送経路を塞がない程度の開口(図示せず)が形成されて
いる。
A first partition plate 70 is provided between the first processing unit 30 and the second processing unit 32, and similarly between the second processing unit 32 and the third processing unit 34. The second partition plate 72
Is installed. The lower part of the first partition plate 70
An opening (not shown) is formed so as not to block the transfer path of the substrate 202 by the transfer mechanism 46 of the second partition plate 72.
An opening (not shown) is formed in the lower part of the opening so as not to block the transfer path of the substrate 202 by the third transfer mechanism 50.

【0025】後処理設備16は、塗布設備14から搬送
された正常品用のスタックポール64を収容するための
スタックポール収容部80と、該スタックポール収容部
80に収容されたスタックポール64から基板202を
1枚ずつ取り出して次工程に搬送する第6の搬送機構8
2と、該第6の搬送機構82によって搬送された1枚の
基板202に対して静電気の除去を行う第1の静電ブロ
ー機構84と、静電ブロー処理を終えた基板202を次
工程に順次搬送する第7の搬送機構86と、該第7の搬
送機構86によって搬送された基板202の一主面に光
反射層をスパッタリングにより形成するスパッタ機構8
8と、光反射層のスパッタリングを終えた基板202を
次工程に順次搬送する第8の搬送機構90と、該第8の
搬送機構90によって搬送された基板202の周縁(エ
ッジ部分)を洗浄するエッジ洗浄機構92とを有する。
The post-processing equipment 16 includes a stack pole accommodation portion 80 for accommodating a stack pole 64 for normal products transported from the coating equipment 14, and a substrate from the stack pole 64 accommodated in the stack pole accommodation portion 80. Sixth transport mechanism 8 that takes out 202 one by one and transports it to the next process
2, a first electrostatic blow mechanism 84 that removes static electricity from one substrate 202 transported by the sixth transport mechanism 82, and a substrate 202 that has been subjected to the electrostatic blow processing to the next step. A seventh transport mechanism 86 for sequentially transporting, and a sputtering mechanism 8 for forming a light reflection layer by sputtering on one main surface of the substrate 202 transported by the seventh transport mechanism 86
8, an eighth transport mechanism 90 for sequentially transporting the substrate 202 after the sputtering of the light reflection layer to the next step, and cleaning the periphery (edge portion) of the substrate 202 transported by the eighth transport mechanism 90. And an edge cleaning mechanism 92.

【0026】また、この後処理設備16は、エッジ洗浄
処理を終えた基板202に対して静電気の除去を行う第
2の静電ブロー機構94と、静電ブロー処理を終えた基
板202の一主面に対して紫外線硬化液を塗布するとと
もに紫外線硬化液の塗布を終えた基板202を高速回転
させて基板202上の紫外線硬化液の塗布厚を均一にす
る紫外線硬化液塗布機構96と、紫外線硬化液の塗布処
理を終えた基板202に対して紫外線を照射することに
より紫外線硬化液を硬化させて基板202の一主面に保
護層を形成する紫外線照射機構100と、前記基板20
2を第2の静電ブロー機構94、紫外線硬化液塗布機構
96及び紫外線照射機構100にそれぞれ搬送する第9
の搬送機構102と、紫外線が照射された基板202を
次工程に搬送する第10の搬送機構104と、該第10
の搬送機構104によって搬送された基板202に対し
て塗布面と保護層面の欠陥を検査するための欠陥検査機
構106と、基板202に形成されたグルーブ(凹凸)
200による信号特性を検査するための特性検査機構1
08と、これら欠陥検査機構106及び特性検査機構1
08での検査結果に応じて基板202を正常品用のスタ
ックポール110、あるいはNG用のスタックポール1
12に選別するための選別機構114とを有する。
The post-processing equipment 16 includes a second electrostatic blow mechanism 94 for removing static electricity from the substrate 202 after the edge cleaning processing, and a main part of the substrate 202 after the electrostatic blowing processing. An ultraviolet curing liquid application mechanism 96 for applying the ultraviolet curing liquid to the surface and rotating the substrate 202 having applied the ultraviolet curing liquid at a high speed to make the applied thickness of the ultraviolet curing liquid on the substrate 202 uniform; An ultraviolet irradiation mechanism 100 for irradiating the substrate 202 after the application of the liquid with ultraviolet light to cure the ultraviolet curing liquid to form a protective layer on one main surface of the substrate 202;
The ninth transport unit 2 transports the second to the second electrostatic blow mechanism 94, the ultraviolet curing liquid application mechanism 96, and the ultraviolet irradiation mechanism 100 respectively.
Transport mechanism 104, a tenth transport mechanism 104 for transporting the substrate 202 irradiated with ultraviolet rays to the next process,
A defect inspection mechanism 106 for inspecting the coating surface and the protective layer surface of the substrate 202 transported by the transport mechanism 104 for defects on the substrate 202 and grooves (unevenness) formed on the substrate 202
Characteristic inspection mechanism 1 for inspecting signal characteristics by means of signal 200
08, the defect inspection mechanism 106 and the characteristic inspection mechanism 1
In response to the inspection result at step 08, the substrate 202 is replaced with a stack pole 110 for a normal product or a stack pole 1 for an NG.
12 and a sorting mechanism 114 for sorting.

【0027】ここで、紫外線硬化液塗布機構96の構成
について、図2及び図3を参照しながら説明する。
Here, the structure of the ultraviolet curing liquid application mechanism 96 will be described with reference to FIGS.

【0028】この紫外線硬化液塗布機構96は、スピン
装置300を有している。このスピン装置300は、図
2及び図3に示すように、塗布液付与装置400、スピ
ナーヘッド装置402及び飛散防止壁404を有して構
成されている。塗布液付与装置400は、保護液が充填
された加圧タンク(図示せず)と、該加圧タンクからノ
ズル406に引き回されたパイプ(図示せず)と、該ノ
ズル406から吐出される保護液の量を調整するための
吐出量調整バルブ408とを有し、保護液は該ノズル4
06を通してその所定量が基板202の表面上に滴下さ
れるようになっている。
The ultraviolet curing liquid application mechanism 96 has a spin device 300. As shown in FIGS. 2 and 3, the spin device 300 includes a coating liquid application device 400, a spinner head device 402, and a scattering prevention wall 404. The coating liquid application device 400 includes a pressurized tank (not shown) filled with a protective liquid, a pipe (not shown) drawn from the pressurized tank to a nozzle 406, and discharged from the nozzle 406. A discharge amount adjusting valve 408 for adjusting the amount of the protective liquid;
The predetermined amount is dropped on the surface of the substrate 202 through 06.

【0029】この塗布液付与装置400は、ノズル40
6を下方に向けて支持する支持板410と該支持板41
0を水平方向に旋回させるモータ412とを有するハン
ドリング機構414によって、待機位置から基板202
の上方の位置に旋回移動できるように構成されている。
The coating liquid application device 400 includes a nozzle 40
Plate 410 supporting support member 6 downward and supporting plate 41
The substrate 202 is moved from the standby position by a handling mechanism 414 having a motor 412 for horizontally rotating the substrate 202.
Is configured to be able to pivotally move to a position above.

【0030】スピナーヘッド装置402は、前記塗布液
付与装置400の下方に配置されており、着脱可能な固
定具420により、基板202が水平に保持されるとと
もに、駆動モータ(図示せず)により軸回転が可能とさ
れている。
The spinner head device 402 is disposed below the coating liquid applying device 400. The spinner head device 402 holds the substrate 202 horizontally by a detachable fixing member 420, and the shaft is driven by a driving motor (not shown). It is possible to rotate.

【0031】スピナーヘッド装置402により水平に保
持された状態で回転している基板202上に、前記塗布
液付与装置400のノズル406から滴下した保護液
は、基板202の表面上を外周側に流延する。そして、
余分の保護液は基板202の外周縁部で振り切られてそ
の外側に放出される。
The protective liquid dropped from the nozzle 406 of the coating liquid applying device 400 onto the rotating substrate 202 held horizontally by the spinner head device 402 flows on the surface of the substrate 202 to the outer peripheral side. Postpone. And
Excess protection liquid is shaken off at the outer peripheral edge of the substrate 202 and discharged to the outside.

【0032】スピナーヘッド装置402の周囲には、基
板202の外周縁部から外側に放出された余分の保護液
が周辺に飛散するのを防止するための飛散防止壁404
が設けられており、上部には開口部422が形成されて
いる。前記飛散防止壁404を介して集められた余分の
保護液、即ち、保護廃液はドレイン424を通して回収
容器450に回収されるようになっている。保護廃液の
回収後の処理については、後述する。
At the periphery of the spinner head device 402, a scattering prevention wall 404 for preventing the extra protective liquid discharged outside from the outer peripheral edge of the substrate 202 from scattering around.
Is provided, and an opening 422 is formed in the upper part. Excess protection liquid collected through the scattering prevention wall 404, that is, protection waste liquid, is collected in the collection container 450 through the drain 424. The processing after recovery of the protection waste liquid will be described later.

【0033】また、後処理設備16(図1参照)におけ
るスピン装置300の局所排気は、前記飛散防止壁40
4の上方に形成された開口部422から取り入れた空気
を基板202の表面上に流通させた後、スピナーヘッド
装置402の下方に取り付けられた排気管426を通し
て排気されるようになっている。
The local exhaust of the spin device 300 in the post-processing facility 16 (see FIG. 1)
After air introduced through an opening 422 formed above the substrate 4 flows over the surface of the substrate 202, the air is exhausted through an exhaust pipe 426 attached below the spinner head device 402.

【0034】次に、この製造システム10によって光デ
ィスクを製造する過程について図4A〜図5Bの工程図
も参照しながら説明する。
Next, a process of manufacturing an optical disk by the manufacturing system 10 will be described with reference to the process diagrams of FIGS. 4A to 5B.

【0035】まず、第1及び第2の成形設備12A及び
12Bにおける成形機20において、ポリカーボネート
などの樹脂材料が射出成形、圧縮成形又は射出圧縮成形
されて、図4Aに示すように、一主面にトラッキング用
溝又はアドレス信号等の情報を表すグルーブ(凹凸)2
00が形成された基板202が作製される。
First, in a molding machine 20 in the first and second molding facilities 12A and 12B, a resin material such as polycarbonate is subjected to injection molding, compression molding or injection compression molding, and as shown in FIG. (Grooves) 2 representing information such as tracking grooves or address signals
The substrate 202 on which the “00” is formed is manufactured.

【0036】前記基板202の材料としては、例えばポ
リカーボネート、ポリメタルメタクリレート等のアクリ
ル樹脂、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体等の塩化
ビニル系樹脂、エポキシ樹脂、アモルファスポリオレフ
ィン及びポリエステルなどを挙げることができ、所望に
よりそれらを併用してもよい。上記の材料の中では、耐
湿性、寸法安定性及び価格などの点からポリカーボネー
トが好ましい。また、グルーブ200の深さは、0.0
1〜0.3μmの範囲であることが好ましく、その半値
幅は、0.2〜0.9μmの範囲であることが好まし
い。
Examples of the material for the substrate 202 include acrylic resins such as polycarbonate and polymetal methacrylate, vinyl chloride resins such as polyvinyl chloride and vinyl chloride copolymer, epoxy resins, amorphous polyolefin and polyester. They can be used together if desired. Among the above materials, polycarbonate is preferred from the viewpoints of moisture resistance, dimensional stability, cost, and the like. The depth of the groove 200 is 0.0
It is preferably in the range of 1 to 0.3 μm, and its half width is preferably in the range of 0.2 to 0.9 μm.

【0037】成形機20から取り出された基板202
は、後段の冷却部22において冷却された後、一主面が
下側に向けられてスタックポール24に積載される。ス
タックポール24に所定枚数の基板202が積載された
段階で、スタックポール24はこの成形設備12A及び
12Bから取り出されて、次の塗布設備14に搬送さ
れ、該塗布設備14におけるスタックポール収容部40
に収容される。この搬送は、台車で行ってもよいし、自
走式の自動搬送装置で行うようにしてもよい。
The substrate 202 taken out of the molding machine 20
After being cooled in the cooling unit 22 in the subsequent stage, the wafer is stacked on the stack pole 24 with one main surface directed downward. At the stage when a predetermined number of substrates 202 are stacked on the stack pole 24, the stack pole 24 is taken out from the molding facilities 12A and 12B, and is conveyed to the next coating facility 14, where the stack pole storage section 40 in the coating facility 14 is placed.
To be housed. This transfer may be performed by a trolley or by a self-propelled automatic transfer device.

【0038】スタックポール24がスタックポール収容
部40に収容された段階で、第1の搬送機構42が動作
し、スタックポール24から1枚ずつ基板202を取り
出して、後段の静電ブロー機構44に搬送する。静電ブ
ロー機構44に搬送された基板202は、該静電ブロー
機構44において静電気が除去された後、第2の搬送機
構46を介して次の色素塗布機構48に搬送され、6つ
のスピンコート装置52のうち、いずれか1つのスピン
コート装置52に投入される。
At the stage when the stack pawl 24 is accommodated in the stack pawl accommodating section 40, the first transport mechanism 42 operates, and the substrates 202 are taken out one by one from the stack pawl 24 and sent to the subsequent electrostatic blow mechanism 44. Transport. After the static electricity is removed by the electrostatic blow mechanism 44, the substrate 202 transported to the electrostatic blow mechanism 44 is transported to the next dye coating mechanism 48 via the second transport mechanism 46, and is subjected to six spin coatings. One of the devices 52 is supplied to one of the spin coaters 52.

【0039】スピンコート装置52に投入された基板2
02は、その一主面上に色素溶液が塗布された後、高速
回転されて塗布液の厚みが均一にされた後、乾燥処理が
施される。これによって、図4Bに示すように、基板2
02の一主面上に色素記録層204が形成されることに
なる。色素記録層204の厚みは、一般に20〜500
nmの範囲であり、好ましくは50〜300nmの範囲
に設けられる。
The substrate 2 placed in the spin coater 52
In No. 02, after a dye solution is applied on one main surface thereof, it is rotated at a high speed to make the thickness of the coating solution uniform, and then a drying process is performed. As a result, as shown in FIG.
02, the dye recording layer 204 is formed on one main surface. The thickness of the dye recording layer 204 is generally 20 to 500.
nm, preferably in the range of 50 to 300 nm.

【0040】なお、色素溶液としては色素を適当な溶剤
に溶解した溶液が用いられる。色素溶液中の色素の濃度
は、一般に0.01〜15重量%の範囲にあり、好まし
くは0.1〜10重量%の範囲、特に好ましくは0.5
〜5重量%の範囲、最も好ましくは0.5〜3重量%の
範囲にある。
As the dye solution, a solution in which a dye is dissolved in an appropriate solvent is used. The concentration of the dye in the dye solution is generally in the range from 0.01 to 15% by weight, preferably in the range from 0.1 to 10% by weight, particularly preferably 0.5% by weight.
-5% by weight, most preferably 0.5-3% by weight.

【0041】ここで、色素記録層204に用いられる色
素は特に限定されない。使用可能な色素の例としては、
シアニン系色素、フタロシアニン系色素、イミダゾキノ
キサリン系色素、ピリリウム系・チオピリリウム系色
素、アズレニウム系色素、スクワリリウム系色素、N
i、Crなどの金属錯塩系色素、ナフトキノン系色素、
アントラキノン系色素、インドフェノール系色素、イン
ドアニリン系色素、トリフェニルメタン系色素、メロシ
アニン系色素、オキソノール系色素、アミニウム系・ジ
インモニウム系色素及びニトロソ化合物を挙げることが
できる。これらの色素のうちでは、シアニン系色素、フ
タロシアニン系色素、アズレニウム系色素、スクワリリ
ウム系色素、オキソノール系色素及びイミダゾキノキサ
リン系色素が好ましい。
Here, the dye used in the dye recording layer 204 is not particularly limited. Examples of dyes that can be used include:
Cyanine dye, phthalocyanine dye, imidazoquinoxaline dye, pyrylium / thiopyrylium dye, azulenium dye, squalilium dye, N
i, Cr and other metal complex dyes, naphthoquinone dyes,
Examples include anthraquinone dyes, indophenol dyes, indoaniline dyes, triphenylmethane dyes, merocyanine dyes, oxonol dyes, aminium / diimmonium dyes, and nitroso compounds. Among these dyes, cyanine dyes, phthalocyanine dyes, azulhenium dyes, squalilium dyes, oxonol dyes, and imidazoquinoxaline dyes are preferred.

【0042】色素記録層204を形成するための塗布剤
の溶剤の例としては、酢酸ブチル、セロソルブアセテー
トなどのエステル;メチルエチルケトン、シクロヘキサ
ノン、メチルイソブチルケトンなどのケトン;ジクロル
メタン、1,2−ジクロルエタン、クロロホルムなどの
塩素化炭化水素;ジメチルホルムアミドなどのアミド;
シクロヘキサンなどの炭化水素;テトラヒドロフラン、
エチルエーテル、ジオキサンなどのエーテル;エタノー
ル、n−プロパノール、イソプロパノール、n−ブタノ
ール、ジアセトンアルコールなどのアルコール;2,
2,3,3−テトラフルオロ−1−プロパノールなどの
フッ素系溶剤;エチレングリコールモノメチルエーテ
ル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレ
ングリコールモノメチルエーテルなどのグリコールエー
テル類などを挙げることができる。
Examples of the solvent for the coating agent for forming the dye recording layer 204 include esters such as butyl acetate and cellosolve acetate; ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone and methyl isobutyl ketone; dichloromethane, 1,2-dichloroethane, chloroform. Chlorinated hydrocarbons such as amides; amides such as dimethylformamide;
Hydrocarbons such as cyclohexane; tetrahydrofuran,
Ethers such as ethyl ether and dioxane; alcohols such as ethanol, n-propanol, isopropanol, n-butanol and diacetone alcohol;
Fluorinated solvents such as 2,3,3-tetrafluoro-1-propanol; and glycol ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether and propylene glycol monomethyl ether.

【0043】前記溶剤は使用する色素の溶解性を考慮し
て単独または二種以上を適宜併用することができる。好
ましくは、2,2,3,3−テトラフルオロ−1−プロ
パノールなどのフッ素系溶剤である。なお、色素溶液中
には、所望により退色防止剤や結合剤を添加してもよい
し、更に酸化防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤、潤滑剤な
どの各種添加剤を、目的に応じて添加してもよい。
The above solvents can be used alone or in combination of two or more in consideration of the solubility of the dye used. Preferably, it is a fluorinated solvent such as 2,2,3,3-tetrafluoro-1-propanol. In the dye solution, an anti-fading agent or a binder may be added if desired, and various additives such as an antioxidant, an ultraviolet absorber, a plasticizer, and a lubricant may be added according to the purpose. May be.

【0044】退色防止剤の代表的な例としては、ニトロ
ソ化合物、金属錯体、ジインモニウム塩、アミニウム塩
を挙げることができる。これらの例は、例えば、特開平
2−300288号、同3−224793号、及び同4
−146189号等の各公報に記載されている。
Representative examples of the anti-fading agent include nitroso compounds, metal complexes, diimmonium salts and aminium salts. These examples are described in, for example, JP-A-2-300288, JP-A-3-224793, and JP-A-4-224793.
No. 146189.

【0045】結合剤の例としては、ゼラチン、セルロー
ス誘導体、デキストラン、ロジン、ゴムなどの天然有機
高分子物質;およびポリエチレン、ポリプロピレン、ポ
リスチレン、ポリイソブチレン等の炭化水素系樹脂、ポ
リ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル・
ポリ酢酸ビニル共重合体等のビニル系樹脂、ポリアクリ
ル酸メチル、ポリメタクリル酸メチル等のアクリル樹
脂、ポリビニルアルコール、塩素化ポリエチレン、エポ
キシ樹脂、ブチラール樹脂、ゴム誘導体、フェノール・
ホルムアルデヒド樹脂等の熱硬化性樹脂の初期縮合物な
どの合成有機高分子を挙げることができる。
Examples of the binder include natural organic high molecular substances such as gelatin, cellulose derivatives, dextran, rosin and rubber; and hydrocarbon resins such as polyethylene, polypropylene, polystyrene and polyisobutylene, polyvinyl chloride and polyvinyl chloride. Vinylidene, polyvinyl chloride
Vinyl resins such as polyvinyl acetate copolymer, acrylic resins such as polymethyl acrylate and polymethyl methacrylate, polyvinyl alcohol, chlorinated polyethylene, epoxy resin, butyral resin, rubber derivatives, phenol
Synthetic organic polymers such as precondensates of thermosetting resins such as formaldehyde resins can be mentioned.

【0046】結合剤を使用する場合、結合剤の使用量
は、色素100重量部に対して、一般に20重量部以下
であり、好ましくは10重量部以下、更に好ましくは5
重量部以下である。
When a binder is used, the amount of the binder used is generally 20 parts by weight or less, preferably 10 parts by weight or less, more preferably 5 parts by weight, based on 100 parts by weight of the dye.
Not more than parts by weight.

【0047】なお、色素記録層204が設けられる側の
基板202の表面には、平面性の改善、接着力の向上お
よび色素記録層204の変質防止などの目的で、下塗層
を設けるようにしてもよい。
It should be noted that an undercoat layer is provided on the surface of the substrate 202 on the side where the dye recording layer 204 is provided, for the purpose of improving the flatness, improving the adhesive strength, and preventing the deterioration of the dye recording layer 204. You may.

【0048】下塗層の材料としては例えば、ポリメチル
メタクリレート、アクリル酸・メタクリル酸共重合体、
スチレン・無水マレイン酸共重合体、ポリビニルアルコ
ール、N−メチロールアクリルアミド、スチレン・ビニ
ルトルエン共重合体、クロルスルホン化ポリエチレン、
ニトロセルロース、ポリ塩化ビニル、塩素化ポリオレフ
ィン、ポリエステル、ポリイミド、酢酸ビニル・塩化ビ
ニル共重合体、エチレン・酢酸ビニル共重合体、ポリエ
チレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート等の高分子
物質、およびシランカップリング剤などの表面改質剤を
挙げることができる。
Examples of the material of the undercoat layer include polymethyl methacrylate, acrylic acid / methacrylic acid copolymer,
Styrene / maleic anhydride copolymer, polyvinyl alcohol, N-methylol acrylamide, styrene / vinyl toluene copolymer, chlorosulfonated polyethylene,
Nitrocellulose, polyvinyl chloride, chlorinated polyolefin, polyester, polyimide, vinyl acetate-vinyl chloride copolymer, ethylene-vinyl acetate copolymer, polyethylene, polypropylene, polycarbonate and other high-molecular substances, and silane coupling agents Surface modifiers can be mentioned.

【0049】下塗層は、前記物質を適当な溶剤に溶解ま
たは分散して色素溶液を調整した後、この色素溶液をス
ピンコート、ディップコート、エクストルージョンコー
トなどの塗布法を利用して基板202の表面に塗布する
ことにより形成することができる。下塗層の層厚は、一
般に0.005〜20μmの範囲内、好ましくは0.0
1〜10μmの範囲内に設けられる。
The undercoat layer is prepared by dissolving or dispersing the above substance in an appropriate solvent to prepare a dye solution, and then applying the dye solution to the substrate 202 by a coating method such as spin coating, dip coating, or extrusion coating. It can be formed by coating on the surface of the substrate. The thickness of the undercoat layer is generally in the range of 0.005 to 20 μm, preferably 0.0
It is provided in the range of 1 to 10 μm.

【0050】色素記録層204が形成された基板202
は、第3の搬送機構50を介して次の裏面洗浄機構54
に搬送され、基板202の一主面の反対側の面(裏面)
が洗浄される。その後、基板202は、第4の搬送機構
56を介して次の番号付与機構58に搬送され、基板2
02の一主面又は裏面に対してロット番号等の刻印が行
われる。
The substrate 202 on which the dye recording layer 204 is formed
Is transferred to the next back surface cleaning mechanism 54 via the third transport mechanism 50.
And the other side of the main surface of the substrate 202 (back side)
Is washed. Thereafter, the substrate 202 is transported to the next numbering mechanism 58 via the fourth transport mechanism 56, and the substrate 2
02 is engraved with a lot number or the like on one main surface or the back surface.

【0051】その後、基板202は、第5の搬送機構6
0を介して次の検査機構62に搬送され、基板202の
欠陥の有無や色素記録層204の膜厚の検査が行われ
る。この検査は、基板202の裏面から光を照射してそ
の光の透過状態を例えばCCDカメラで画像処理するこ
とによって行われる。この検査機構62での検査結果は
次の選別機構68に送られる。
Thereafter, the substrate 202 is moved to the fifth transport mechanism 6
Then, the substrate 202 is transported to the next inspection mechanism 62 through which the presence or absence of a defect in the substrate 202 and the thickness of the dye recording layer 204 are inspected. This inspection is performed by irradiating light from the back surface of the substrate 202 and performing image processing on the transmission state of the light using, for example, a CCD camera. The inspection result of the inspection mechanism 62 is sent to the next sorting mechanism 68.

【0052】上述の検査処理を終えた基板202は、そ
の検査結果に基づいて選別機構68によって正常品用の
スタックポール64、あるいはNG用のスタックポール
66に選別される。
The substrate 202 that has been subjected to the above-described inspection processing is sorted by the sorting mechanism 68 into a stack pole 64 for normal products or a stack pole 66 for NG based on the inspection result.

【0053】正常品用のスタックポール64に所定枚数
の基板202が積載された段階で、正常品用のスタック
ポール64はこの塗布設備14から取り出されて、次の
後処理設備16に搬送され、該後処理設備16のスタッ
クポール収容部80に収容される。この搬送は、台車で
行ってもよいし、自走式の自動搬送装置で行うようにし
てもよい。
At the stage when a predetermined number of substrates 202 are stacked on the stack pole 64 for normal products, the stack pole 64 for normal products is taken out from the coating equipment 14 and transported to the next post-processing equipment 16. It is housed in the stack pole housing section 80 of the post-processing facility 16. This transfer may be performed by a trolley or by a self-propelled automatic transfer device.

【0054】正常品用のスタックポール64がスタック
ポール収容部80に収容された段階で、第6の搬送機構
82が動作し、スタックポール64から1枚ずつ基板2
02を取り出して、後段の第1の静電ブロー機構84に
搬送する。第1の静電ブロー機構84に搬送された基板
202は、該第1の静電ブロー機構84において静電気
が除去された後、第7の搬送機構86を介して次のスパ
ッタ機構88に搬送される。
At the stage when the stack poles 64 for normal products are accommodated in the stack pole accommodating section 80, the sixth transport mechanism 82 operates, and the substrates 2 are stacked one by one from the stack poles 64.
02 is taken out and transported to the first electrostatic blow mechanism 84 at the subsequent stage. After the static electricity is removed by the first electrostatic blow mechanism 84, the substrate 202 transported to the first electrostatic blow mechanism 84 is transported to the next sputtering mechanism 88 via the seventh transport mechanism 86. You.

【0055】スパッタ機構88に投入された基板202
は、図4Cに示すように、その一主面中、周縁部分(エ
ッジ部分)206を除く全面に光反射層208がスパッ
タリングによって形成される。
The substrate 202 put in the sputtering mechanism 88
As shown in FIG. 4C, a light reflection layer 208 is formed on one main surface of the entire surface except for a peripheral portion (edge portion) 206 by sputtering.

【0056】光反射層208の材料である光反射性物質
はレーザ光に対する反射率が高い物質であり、その例と
しては、Mg、Se、Y、Ti、Zr、Hf、V、N
b、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Re、Fe、Co、
Ni、Ru、Rh、Pd、Ir、Pt、Cu、Ag、A
u、Zn、Cd、Al、Ga、In、Si、Ge、T
e、Pb、Po、Sn、Biなどの金属及び半金属ある
いはステンレス鋼を挙げることができる。
The light-reflective substance, which is the material of the light-reflective layer 208, is a substance having a high reflectance with respect to laser light, and examples thereof include Mg, Se, Y, Ti, Zr, Hf, V, and N.
b, Ta, Cr, Mo, W, Mn, Re, Fe, Co,
Ni, Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Cu, Ag, A
u, Zn, Cd, Al, Ga, In, Si, Ge, T
e, Pb, Po, Sn, Bi, and other metals and semi-metals or stainless steel.

【0057】これらのうちで好ましいものは、Cr、N
i、Pt、Cu、Ag、Au、Al及びステンレス鋼で
ある。これらの物質は単独で用いてもよいし、あるいは
二種以上を組み合わせて用いてもよく、または合金とし
て用いてもよい。特に好ましくはAgもしくはその合金
である。
Of these, preferred are Cr, N
i, Pt, Cu, Ag, Au, Al and stainless steel. These substances may be used alone, in combination of two or more, or may be used as an alloy. Particularly preferred is Ag or an alloy thereof.

【0058】光反射層208は、例えば、前記光反射性
物質を蒸着、スパッタリングまたはイオンプレーティン
グすることにより色素記録層204上に形成することが
できる。反射層の層厚は、一般には10〜800nmの
範囲内、好ましくは20〜500nmの範囲内、更に好
ましくは50〜300nmの範囲内に設けられる。
The light reflecting layer 208 can be formed on the dye recording layer 204 by, for example, vapor deposition, sputtering or ion plating of the light reflecting substance. The thickness of the reflective layer is generally set in the range of 10 to 800 nm, preferably in the range of 20 to 500 nm, and more preferably in the range of 50 to 300 nm.

【0059】光反射層208が形成された基板202
は、第8の搬送機構90を介して次のエッジ洗浄機構9
2に搬送され、図5Aに示すように、基板202の一主
面中、エッジ部分206が洗浄されて、該エッジ部分2
06に形成されていた色素記録層204が除去される。
その後、基板202は、第9の搬送機構102を介して
次の第2の静電ブロー機構94に搬送され、静電気が除
去される。
The substrate 202 on which the light reflecting layer 208 is formed
Is transferred to the next edge cleaning mechanism 9 via the eighth transport mechanism 90.
5A, the edge portion 206 is cleaned on one main surface of the substrate 202, and the edge portion 2
The dye recording layer 204 formed at 06 is removed.
Thereafter, the substrate 202 is transported to the next second electrostatic blow mechanism 94 via the ninth transport mechanism 102, and the static electricity is removed.

【0060】その後、基板202は、前記第9の搬送機
構102を介して紫外線硬化液塗布機構96に搬送さ
れ、基板202の一主面の一部分に紫外線硬化液が滴下
される。紫外線硬化液が滴下された基板202を高速回
転することにより、基板202上に滴下された紫外線硬
化液の塗布厚が基板202の全面において均一にされ
る。
Thereafter, the substrate 202 is transported to the ultraviolet curing liquid application mechanism 96 via the ninth transport mechanism 102, and the ultraviolet curing liquid is dropped on a part of one main surface of the substrate 202. By rotating the substrate 202 on which the ultraviolet curing liquid is dropped at a high speed, the applied thickness of the ultraviolet curing liquid dropped on the substrate 202 is made uniform over the entire surface of the substrate 202.

【0061】即ち、スピン装置300に投入された基板
202は、図2に示すスピナーヘッド装置402に装着
され、固定具420により水平に保持される。次に、加
圧式タンクから供給された保護液は、吐出量調整バルブ
408によって所定量に調整され、基板202上の内周
側にノズル406を通して滴下される。このとき、前記
吐出量調整バルブ408によって調整される保護液の吐
出量としては、1.0〜3.0g/枚であることが好ま
しく、さらにに好ましくは1.0〜2.0g/枚であ
る。また、保護液を滴下時の基板202の回転数は、2
0〜100rpmが好ましく、さらに好ましくは30〜
60rpmである。なお、基板202を固定したまま、
ノズル406を旋回させて保護液を滴下するようにして
もよい。
That is, the substrate 202 loaded into the spin device 300 is mounted on a spinner head device 402 shown in FIG. Next, the protection liquid supplied from the pressurized tank is adjusted to a predetermined amount by the discharge amount adjustment valve 408, and is dropped on the inner peripheral side of the substrate 202 through the nozzle 406. At this time, the discharge amount of the protective liquid adjusted by the discharge amount adjustment valve 408 is preferably 1.0 to 3.0 g / sheet, more preferably 1.0 to 2.0 g / sheet. is there. The number of rotations of the substrate 202 when the protective liquid is dropped is 2
0 to 100 rpm is preferable, and 30 to 100 rpm is more preferable.
60 rpm. In addition, with the substrate 202 fixed,
The nozzle 406 may be turned to drop the protective liquid.

【0062】スピナーヘッド装置402は駆動モータに
よって高速回転が可能である。基板202上に滴下され
た保護液は、スピナーヘッド装置402の回転により、
基板202の表面上を外周方向に流延し、塗膜を形成し
ながら基板202の外周縁部に到達する。外周縁部に到
達した余分の保護液は、さらに遠心力により振り切られ
て基板202の縁部周辺に飛散する。飛散した余分の保
護液は飛散防止壁404に衝突し、更にその下方に設け
られた受皿に集められた後、ドレイン424を通して回
収容器450に回収される。
The spinner head device 402 can be rotated at a high speed by a drive motor. The protection liquid dropped on the substrate 202 is rotated by the rotation of the spinner head device 402.
It is cast on the surface of the substrate 202 in the outer peripheral direction, and reaches the outer peripheral edge of the substrate 202 while forming a coating film. The extra protective liquid that has reached the outer peripheral edge is further shaken off by centrifugal force and scattered around the edge of the substrate 202. The extra protective liquid scattered collides with the scattering prevention wall 404, is collected in a tray provided below the protective liquid 404, and is then collected in the collection container 450 through the drain 424.

【0063】紫外線硬化液の滴下を終えた基板202を
高速回転させるときの回転数は、4000〜6000r
pmが好ましく、さらに好ましくは4500〜5500
rpmである。また、保護液の振り切り時間(基板20
2の回転時間)としては、3〜5秒とすることが好まし
く、さらに好ましくは3秒である。
The number of rotations when rotating the substrate 202 after dripping of the ultraviolet curing liquid at a high speed is 4000 to 6000 r.
pm, more preferably 4500 to 5500
rpm. In addition, the protective liquid shaking-off time (substrate 20
(2 rotation times) is preferably 3 to 5 seconds, and more preferably 3 seconds.

【0064】前記回収容器450に回収された保護廃液
中には、保護液を基板202上に塗布した際に溶出した
色素記録層204に含まれる色素が微量ながら混入して
いる。
The protection waste liquid collected in the recovery container 450 contains a small amount of dye contained in the dye recording layer 204 eluted when the protection liquid is applied onto the substrate 202.

【0065】保護層210は、色素記録層204などを
物理的及び化学的に保護する目的で光反射層208上に
設けられる。保護層210は、基板202の色素記録層
204が設けられていない側にも耐傷性、耐湿性を高め
る目的で設けることができる。
The protective layer 210 is provided on the light reflecting layer 208 for the purpose of physically and chemically protecting the dye recording layer 204 and the like. The protective layer 210 can also be provided on the side of the substrate 202 where the dye recording layer 204 is not provided for the purpose of improving scratch resistance and moisture resistance.

【0066】保護層210で使用される材料としては、
例えば、SiO、SiO2 、MgF 2 、SnO2 、Si
34 等の無機物質、及び熱可塑性樹脂、熱硬化性樹
脂、そして紫外線硬化樹脂等の有機物質を挙げることが
できる。本実施の形態においては、その粘度が120〜
400cPの範囲である揮発溶剤成分を含まない紫外線
硬化樹脂を使用する。さらに使用する前記紫外線硬化樹
脂の粘度としては、120〜350cPの範囲であるこ
とが好ましい。
Materials used for the protective layer 210 include:
For example, SiO, SiOTwo , MgF Two , SnOTwo , Si
Three NFour Inorganic substances such as, thermoplastic resin, thermosetting resin
Fats, and organic substances such as UV-curable resins
it can. In the present embodiment, the viscosity is 120 to
Ultraviolet rays free of volatile solvent components in the range of 400 cP
Use a cured resin. The UV-cured tree further used
The viscosity of the fat should be in the range of 120 to 350 cP.
Is preferred.

【0067】また、保護層210の層厚は、一般に5〜
15μmの範囲内に設けられる。さらに、光反射層20
8上に成膜された保護層210の内周面と外周面との膜
厚の差は2μm以下が好ましい。
The thickness of the protective layer 210 is generally 5 to
It is provided within a range of 15 μm. Further, the light reflection layer 20
The thickness difference between the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the protective layer 210 formed on the substrate 8 is preferably 2 μm or less.

【0068】この実施の形態においては、前記光反射層
208の成膜後から前記紫外線硬化液の塗布までの時間
が2秒以上、5分以内となるように時間管理されてい
る。
In this embodiment, the time from the formation of the light reflection layer 208 to the application of the ultraviolet curing liquid is controlled so as to be 2 seconds or more and 5 minutes or less.

【0069】その後、基板202は、前記第9の搬送機
構102を介して次の紫外線照射機構100に搬送さ
れ、基板202上の紫外線硬化液に対して紫外線が照射
される。これによって、図5Bに示すように、基板20
2の一主面上に形成された色素記録層204と光反射層
208を覆うように紫外線硬化樹脂による保護層210
が形成されて光ディスクDとして構成されることにな
る。
Thereafter, the substrate 202 is transported to the next ultraviolet irradiation mechanism 100 via the ninth transport mechanism 102, and the ultraviolet curing liquid on the substrate 202 is irradiated with ultraviolet rays. As a result, as shown in FIG.
2, a protective layer 210 made of an ultraviolet curable resin so as to cover the dye recording layer 204 and the light reflecting layer 208 formed on one main surface.
Is formed to constitute the optical disc D.

【0070】光ディスクDは、第10の搬送機構104
を介して次の欠陥検査機構106と特性検査機構108
に搬送され、色素記録層204の面と保護層210の面
における欠陥の有無や光ディスクDの基板202に形成
されたグルーブ200による信号特性が検査される。こ
れらの検査は、光ディスクDの両面に対してそれぞれ光
を照射し、その反射光を例えばCCDカメラで画像処理
することによって行われる。これらの欠陥検査機構10
6及び特性検査機構108での各検査結果は次の選別機
構114に送られる。
The optical disc D is loaded on the tenth transport mechanism 104
Through the next defect inspection mechanism 106 and characteristic inspection mechanism 108
The optical disc D is inspected for defects on the surface of the dye recording layer 204 and the surface of the protective layer 210 and the signal characteristics of the groove 200 formed on the substrate 202 of the optical disc D. These inspections are performed by irradiating light to both sides of the optical disc D and processing the reflected light by, for example, a CCD camera. These defect inspection mechanisms 10
6 and each inspection result in the characteristic inspection mechanism 108 are sent to the next sorting mechanism 114.

【0071】上述の欠陥検査処理及び特性検査処理を終
えた光ディスクDは、各検査結果に基づいて選別機構1
14によって正常品用のスタックポール110、あるい
はNG用のスタックポール112に選別される。
The optical disc D that has been subjected to the above-described defect inspection processing and characteristic inspection processing is subjected to a sorting mechanism 1 based on each inspection result.
By 14, a stack pole 110 for normal products or a stack pole 112 for NG is selected.

【0072】正常品用のスタックポール110に所定枚
数の光ディスクDが積載された段階で、該スタックポー
ル110が後処理設備16から取り出されて図示しない
ラベル印刷工程に投入される。
When a predetermined number of optical discs D are loaded on the stack pole 110 for normal products, the stack pole 110 is taken out of the post-processing equipment 16 and put into a label printing step (not shown).

【0073】また、本実施の形態に係る製造システム1
0においては、塗布設備14や後処理設備16とは別に
保護廃液452の回収処理を行うための再処理室600
を有する。この再処理室600には、回収された保護廃
液452を収容した回収容器450が定期的に、あるい
は必要なときに搬入されるようになっている。
Further, manufacturing system 1 according to the present embodiment
0, the reprocessing chamber 600 for performing the recovery processing of the protection waste liquid 452 separately from the coating equipment 14 and the post-processing equipment 16
Having. A collection container 450 containing the collected protection waste liquid 452 is carried into the reprocessing chamber 600 periodically or when necessary.

【0074】この回収容器450に回収された保護廃液
452中には、保護層210を形成した際に基板202
上の色素記録層204に含まれる色素が保護液に溶出し
ているため微量ながら色素が混入している。
The protection waste liquid 452 collected in the collection container 450 contains the substrate 202 when the protection layer 210 is formed.
Since the dye contained in the upper dye recording layer 204 is eluted in the protective solution, a small amount of the dye is mixed.

【0075】本実施の形態においては、所望の段階で、
濃度調整工程602において、回収容器450内の保護
廃液452中の色素の濃度を保護液の母液を補充するこ
とにより希釈して調整し、該濃度調整工程602後の該
保護廃液452を再生保護液604として再利用する
(図6参照)。この濃度調整工程602において、保護
廃液452は濾過処理を施される。
In the present embodiment, at a desired stage,
In the concentration adjusting step 602, the concentration of the dye in the protection waste liquid 452 in the collection container 450 is adjusted by diluting the replenisher with the mother liquid of the protection liquid, and the protection waste liquid 452 after the concentration adjusting step 602 is regenerated protection liquid Reused as 604 (see FIG. 6). In the concentration adjusting step 602, the protection waste liquid 452 is subjected to a filtration treatment.

【0076】この濃度調整工程602は、保護層210
の充分な機械的強度を確保するために行われる。例え
ば、保護廃液452に含まれる色素の濃度が高すぎる
と、保護層210の機械的強度が弱くなり、色素記録層
204を保護することができなくなるという不都合が生
じてしまう。
This concentration adjusting step 602 is performed in the protective layer 210.
Is performed to ensure sufficient mechanical strength. For example, if the concentration of the dye contained in the protection waste liquid 452 is too high, the mechanical strength of the protective layer 210 becomes weak, and the dye recording layer 204 cannot be protected.

【0077】この保護廃液452中に含まれる色素の濃
度は、0.1重量%以下、好ましくは0.05重量%以
下、さらに好ましくは0.01重量%以下である。
The concentration of the dye contained in the protection waste liquid 452 is 0.1% by weight or less, preferably 0.05% by weight or less, more preferably 0.01% by weight or less.

【0078】このように、本実施の形態に係る製造シス
テム10においては、保護液の塗布工程にて排出された
保護廃液452(回収工程で回収された保護廃液)を再
生保護液604として再利用するため、保護液の利用率
を大幅に増加させることができ、生産効率の向上を図る
ことができる。
As described above, in the manufacturing system 10 according to the present embodiment, the protection waste liquid 452 (the protection waste liquid collected in the recovery step) discharged in the protection liquid application step is reused as the regeneration protection liquid 604. Therefore, the use rate of the protective liquid can be significantly increased, and the production efficiency can be improved.

【0079】また、保護廃液452中の色素の濃度を所
望の値に調整するようにしたので、保護廃液452を再
生保護液604として再利用した際にも記録再生特性の
再現性を確保することができる。
Further, since the concentration of the dye in the protection waste liquid 452 is adjusted to a desired value, the reproducibility of the recording / reproducing characteristics is ensured even when the protection waste liquid 452 is reused as the reproduction protection liquid 604. Can be.

【0080】なお、色素記録層204上に形成される光
反射層208は、反射率が70%以上ある反射膜であれ
ばよいが、金あるいは銀を含有した反射膜であるとよ
く、その中でも主成分が銀あるいは金の反射膜であると
特に好ましい。光反射層208の厚みは10nm以上、
800nm以下であり、20nm以上、500nm以下
であることが好ましい。
The light reflecting layer 208 formed on the dye recording layer 204 may be a reflecting film having a reflectance of 70% or more, but may be a reflecting film containing gold or silver. It is particularly preferable that the main component is a silver or gold reflective film. The thickness of the light reflection layer 208 is 10 nm or more,
It is 800 nm or less, and preferably 20 nm or more and 500 nm or less.

【0081】[0081]

【実施例】次に、3つの実験例について説明する。この
3つの実験例では、実施例1〜7及び比較例1〜8にお
いて各サンプルを用意し、図1に示す製造システム10
により光ディスクDを作製した。このとき、保護液とし
て、揮発溶剤成分を含まない紫外線硬化樹脂であるダイ
キュアクリアSD−318(大日本インキ化学工業
(株)製、粘度=135cP)を使用した。また、保護
液を吐出するノズル406の直径を0.3mmとした。
Next, three experimental examples will be described. In these three experimental examples, samples were prepared in Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 8, and the production system 10 shown in FIG.
As a result, an optical disc D was produced. At this time, Daicure Clear SD-318 (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc., viscosity = 135 cP), which is an ultraviolet curable resin containing no volatile solvent component, was used as a protective liquid. The diameter of the nozzle 406 for discharging the protective liquid was 0.3 mm.

【0082】第1の実験例では、膜厚9μmの保護層2
10を形成したときの機械的強度(鉛筆強度)及び保護
層210の成形不良欠陥の発生枚数(光ディスクDを1
00枚作製した場合)を、各サンプル毎に検査した。こ
の第1の実験例においては、回収処理により得られた再
生保護液604も使用した。また、基板202の回転数
を、保護液の塗布時には、50rpm、保護液の振り切
り時には、5000rpmとした。
In the first experimental example, the protection layer 2 having a thickness of 9 μm was used.
10 was formed and the number of defective molding defects of the protective layer 210 (the number of optical discs D was 1).
) Were inspected for each sample. In the first experimental example, the regenerating protection solution 604 obtained by the recovery treatment was also used. The number of rotations of the substrate 202 was set to 50 rpm when applying the protective liquid, and 5000 rpm when shaking off the protective liquid.

【0083】第1の実験例における実施例1では、保護
液の吐出量を1.5g/枚、回収処理における再生保護
液604に含まれる色素の濃度を0.01重量%とし
た。一方、比較例1では、保護液の吐出量を0.8g/
枚、回収処理における再生保護液604に含まれる色素
の濃度を0.01重量%とした。
In Example 1 of the first experimental example, the discharge amount of the protective solution was 1.5 g / sheet, and the concentration of the dye contained in the regenerating protective solution 604 in the recovery process was 0.01% by weight. On the other hand, in Comparative Example 1, the discharge amount of the protective liquid was 0.8 g /
The concentration of the dye contained in the regenerating protection solution 604 in the recovery processing was set to 0.01% by weight.

【0084】また、第1の実験例における実施例2で
は、保護液の吐出量を1.5g/枚、回収処理における
再生保護液604に含まれる色素の濃度を0.04重量
%とした。一方、比較例2では、保護液の吐出量を1.
5g/枚、回収処理における再生保護液604に含まれ
る色素の濃度を0.2重量%とした。
In Example 2 of the first experimental example, the discharge amount of the protective solution was 1.5 g / sheet, and the concentration of the dye contained in the regenerating protective solution 604 in the recovery process was 0.04% by weight. On the other hand, in Comparative Example 2, the discharge amount of the protective liquid was 1.
5 g / sheet, the concentration of the dye contained in the regenerating protection solution 604 in the recovery treatment was 0.2% by weight.

【0085】第2の実験例では、保護液の吐出量を1.
0g/枚とし、保護液の塗布時の基板202の回転数を
変化させて膜厚9μmの保護層210を形成したときの
機械的強度(鉛筆強度)及び保護層210の成形不良欠
陥の発生枚数(光ディスクDを100枚作製した場合)
を、各サンプル毎に検査した。ただし、この第2の実験
例においては、回収処理により得られた再生保護液60
4は使用しなかった。
In the second experimental example, the discharge amount of the protective liquid was set at 1.
The mechanical strength (pencil strength) when the protective layer 210 having a thickness of 9 μm was formed by changing the number of rotations of the substrate 202 during the application of the protective liquid and the number of defective molding defects of the protective layer 210 (When 100 optical discs D are manufactured)
Was tested for each sample. However, in the second experimental example, the regenerating protection solution 60 obtained by the recovery process was used.
4 was not used.

【0086】第2の実験例における実施例3では、基板
202の回転数を50rpmとした。一方、比較例3で
は、基板202の回転数を80rpmとした。
In Example 3 of the second experimental example, the rotation speed of the substrate 202 was set to 50 rpm. On the other hand, in Comparative Example 3, the rotation speed of the substrate 202 was set to 80 rpm.

【0087】第3の実験例では、保護液の吐出量を1.
0g/枚とし、保護液の振り切り時の基板202の回転
数と保護液の振り切り時間とを変化させて形成した保護
層210の内周、中周及び外周の膜厚と、内周と外周の
膜厚の差とを、各サンプル毎に検査した。この第3の実
験例では、第2の実験例と同様に、回収処理において得
られた再生保護液604は使用しなかった。また、保護
液の塗布時の基板202の回転数を50rpmとした。
In the third experimental example, the discharge amount of the protective liquid was set at 1.
0 g / sheet, the inner layer, the inner layer, and the outer layer of the protective layer 210 formed by changing the number of rotations of the substrate 202 when the protective liquid is shaken off and the shake-off time of the protective liquid, and the inner and outer circumferences. The difference in film thickness was checked for each sample. In the third experimental example, as in the second experimental example, the regenerating protection solution 604 obtained in the recovery treatment was not used. The rotation speed of the substrate 202 at the time of applying the protective liquid was set to 50 rpm.

【0088】第3の実験例における実施例4では、基板
202の回転数を5000rpmとし、振り切り時間を
3秒とした。また、実施例5では、基板202の回転数
を5000rpmとし、振り切り時間を5秒とした。実
施例6では、基板202の回転数を7000rpmと
し、振り切り時間を3秒とした。実施例7では、基板2
02の回転数を7000rpmとし、振り切り時間を5
秒とした。
In Example 4 of the third experimental example, the number of revolutions of the substrate 202 was set to 5000 rpm, and the shaking-off time was set to 3 seconds. In Example 5, the rotation speed of the substrate 202 was set to 5000 rpm, and the swing-out time was set to 5 seconds. In the sixth embodiment, the number of rotations of the substrate 202 is set to 7000 rpm, and the shake-off time is set to 3 seconds. In the seventh embodiment, the substrate 2
02 was set to 7000 rpm, and the swing-out time was set to 5
Seconds.

【0089】一方、比較例4では、基板202の回転数
を5000rpmとし、振り切り時間を1秒とした。比
較例5では、基板202の回転数を3000rpmと
し、振り切り時間を1秒とした。比較例6では、基板2
02の回転数を3000rpmとし、振り切り時間を3
秒とした。比較例7では、基板202の回転数を300
0rpmとし、振り切り時間を5秒とした。比較例8で
は、基板202の回転数を7000rpmとし、振り切
り時間を1秒とした。
On the other hand, in Comparative Example 4, the number of revolutions of the substrate 202 was set to 5000 rpm, and the shake-off time was set to 1 second. In Comparative Example 5, the number of revolutions of the substrate 202 was 3000 rpm, and the shake-off time was 1 second. In Comparative Example 6, the substrate 2
02 is 3000 rpm, and the shake-off time is 3
Seconds. In Comparative Example 7, the number of rotations of the substrate 202 was set to 300
0 rpm, and the shake-off time was 5 seconds. In Comparative Example 8, the rotation speed of the substrate 202 was set to 7000 rpm, and the swing-off time was set to 1 second.

【0090】この3つの実験結果を図7〜図9に示す。
第1の実験結果から諒解されるように、保護液の吐出量
を1.0g/枚以上にすることにより、保護層210の
成形不良欠陥の発生を可及的に防止することができる。
また、回収処理により得られた再生保護液604に含ま
れる色素の濃度を0.1重量%以下にすることにより、
保護層210の機械的強度を低下させることなく保護層
210を形成することができる。
The results of these three experiments are shown in FIGS.
As will be understood from the first experimental result, by setting the discharge amount of the protective liquid to 1.0 g / sheet or more, it is possible to prevent the occurrence of molding defect of the protective layer 210 as much as possible.
In addition, by making the concentration of the dye contained in the regenerating protection solution 604 obtained by the collection process 0.1% by weight or less,
The protective layer 210 can be formed without lowering the mechanical strength of the protective layer 210.

【0091】また、第2の実験結果から諒解されるよう
に、保護液の塗布時の基板202の回転数を50rpm
にすると、保護層210の成形不良欠陥の発生を可及的
に防止することができる。
Further, as will be understood from the results of the second experiment, the rotation speed of the substrate 202 at the time of applying the protective liquid was set to 50 rpm.
By doing so, it is possible to prevent the occurrence of defective molding defects of the protective layer 210 as much as possible.

【0092】さらに、第3の実験結果から諒解されるよ
うに、保護液の振り切り時の基板202の回転数を50
00rpm又は7000rpmとし、保護液の振り切り
時間を3秒又は5秒にすると、保護層210の内周と外
周との膜厚の差を小さくすることができ、均一な保護層
210を形成することができる。
Further, as will be understood from the results of the third experiment, the number of rotations of the substrate 202 when shaking off the protective liquid was set to 50.
When the rotation time of the protective liquid is set to 3 seconds or 5 seconds at 00 rpm or 7000 rpm, the difference in the film thickness between the inner periphery and the outer periphery of the protective layer 210 can be reduced, and the uniform protective layer 210 can be formed. it can.

【0093】なお、この発明に係る光情報記録媒体の製
造方法は、上述の実施の形態に限らず、この発明の要旨
を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもち
ろんである。
The method of manufacturing an optical information recording medium according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, but can adopt various configurations without departing from the gist of the present invention.

【0094】[0094]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る光情
報記録媒体の製造方法によれば、保護廃液を保護液とし
て再利用した際にも記録再生特性の再現性を確保でき、
製造コストの低廉化を効率よく実現させることができ
る。また、保護廃液の回収率を向上させることができ、
生産効率の向上を図ることができる。
As described above, according to the optical information recording medium manufacturing method of the present invention, the reproducibility of the recording / reproducing characteristics can be ensured even when the protection waste liquid is reused as the protection liquid.
It is possible to efficiently reduce the manufacturing cost. In addition, the recovery rate of the protection waste liquid can be improved,
Production efficiency can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本実施の形態に係る製造システムの一例を示す
構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram illustrating an example of a manufacturing system according to an embodiment.

【図2】紫外線硬化液塗布機構に設置されるスピン装置
を示す構成図である。
FIG. 2 is a configuration diagram showing a spin device installed in an ultraviolet curing liquid application mechanism.

【図3】前記スピン装置を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing the spin device.

【図4】図4Aは基板にグルーブを形成した状態を示す
工程図であり、図4Bは基板上に色素記録層を形成した
状態を示す工程図であり、図4Cは基板上に光反射層を
形成した状態を示す工程図である。
4A is a process diagram showing a state in which a groove is formed on a substrate, FIG. 4B is a process diagram showing a state in which a dye recording layer is formed on the substrate, and FIG. 4C is a light reflecting layer on the substrate. FIG. 4 is a process diagram showing a state in which is formed.

【図5】図5Aは基板のエッジ部分を洗浄した状態を示
す工程図であり、図5Bは基板上に保護層を形成した状
態を示す工程図である。
FIG. 5A is a process diagram showing a state where an edge portion of the substrate is cleaned, and FIG. 5B is a process diagram showing a state where a protective layer is formed on the substrate.

【図6】本実施の形態に係る製造システムの再生処理を
示す工程図である。
FIG. 6 is a process chart showing a reproduction process of the manufacturing system according to the present embodiment.

【図7】第1の実験例の結果を示す表図である。FIG. 7 is a table showing the results of a first experimental example.

【図8】第2の実験例の結果を示す表図である。FIG. 8 is a table showing the results of a second experimental example.

【図9】第3の実験例の結果を示す表図である。FIG. 9 is a table showing the results of a third experimental example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…製造システム 96…紫外線硬化液
塗布機構 202…基板 204…色素記録層 208…光反射層 210…保護層 300…スピン装置 450…回収容器 452…保護廃液 600…再処理室 602…濃度調整工程 604…再生保護液 D…光ディスク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Manufacturing system 96 ... UV curable liquid coating mechanism 202 ... Substrate 204 ... Dye recording layer 208 ... Light reflection layer 210 ... Protective layer 300 ... Spin device 450 ... Recovery container 452 ... Protective waste liquid 600 ... Reprocessing chamber 602 ... Concentration adjustment process 604: Reproduction protection liquid D: Optical disk

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4D075 AC64 AC84 AC91 AC94 AC96 DA08 DB36 DB38 DB43 DB47 DB48 DC27 EA21 EB07 EB08 EB13 EB15 EB19 EB22 EB33 EB35 EB42 EC37 5D121 AA04 EE22 EE28 GG02 GG30 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 4D075 AC64 AC84 AC91 AC94 AC96 DA08 DB36 DB38 DB43 DB47 DB48 DC27 EA21 EB07 EB08 EB13 EB15 EB19 EB22 EB33 EB35 EB42 EC37 5D121 AA04 EE22 EE28 GG02 GG02 GG30

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板上に、レーザ光の照射により情報を記
録することができる色素記録層と、光反射層とを有し、
前記色素記録層を保護するための保護層が形成されてい
るヒートモード型の光情報記録媒体の製造方法におい
て、 前記基板を回転させながら前記保護層を形成するための
保護液を前記光反射層上に塗布する塗布工程と、 前記塗布工程で排出された保護廃液を回収する回収工程
とを含み、 前記保護廃液を保護液として再利用することを特徴とす
る光情報記録媒体の製造方法。
A substrate having a dye recording layer on which information can be recorded by irradiating a laser beam, and a light reflecting layer;
In a method for manufacturing a heat mode optical information recording medium, wherein a protective layer for protecting the dye recording layer is formed, a protective liquid for forming the protective layer while rotating the substrate is coated with the light reflecting layer. A method for producing an optical information recording medium, comprising: a coating step of applying the protective waste liquid on the upper side; and a collecting step of collecting a protective waste liquid discharged in the coating step, wherein the protective waste liquid is reused as a protective liquid.
【請求項2】請求項1記載の光情報記録媒体の製造方法
において、 前記保護液として、揮発溶剤成分を含まない紫外線硬化
樹脂を用いることを特徴とする光情報記録媒体の製造方
法。
2. The method for manufacturing an optical information recording medium according to claim 1, wherein an ultraviolet curable resin containing no volatile solvent component is used as the protective liquid.
【請求項3】請求項1又は2記載の光情報記録媒体の製
造方法において、 前記保護液の吐出量を前記光反射層全体を被覆するよう
に制御して行うことを特徴とする光情報記録媒体の製造
方法。
3. The method for manufacturing an optical information recording medium according to claim 1, wherein the discharge amount of the protective liquid is controlled so as to cover the entire light reflecting layer. Method of manufacturing a medium.
【請求項4】請求項1〜3のいずれか1項に記載の光情
報記録媒体の製造方法において、 前記保護廃液中の色素の濃度を調整する工程を含むこと
を特徴とする光情報記録媒体の製造方法。
4. The method for manufacturing an optical information recording medium according to claim 1, further comprising the step of adjusting the concentration of a dye in said protective waste liquid. Manufacturing method.
【請求項5】請求項1〜4のいずれか1項に記載の光情
報記録媒体の製造方法において、 前記光反射層上に前記保護液を塗布して前記保護層を形
成する際に、前記保護液の塗布量を1.0〜3.0g/
枚とすることを特徴とする光情報記録媒体の製造方法。
5. The method for manufacturing an optical information recording medium according to claim 1, wherein the protective liquid is applied on the light reflecting layer to form the protective layer. The coating amount of the protective liquid is 1.0 to 3.0 g /
A method for producing an optical information recording medium, comprising:
【請求項6】請求項1〜5のいずれか1項に記載の光情
報記録媒体の製造方法において、 前記光反射層上に前記保護液を塗布して前記保護層を形
成する際に、前記基板を回転させる時間を3〜5秒とす
ることを特徴とする光情報記録媒体の製造方法。
6. The method for manufacturing an optical information recording medium according to claim 1, wherein the protective liquid is applied on the light reflecting layer to form the protective layer. A method for manufacturing an optical information recording medium, wherein the time for rotating the substrate is 3 to 5 seconds.
【請求項7】請求項1〜6のいずれか1項に記載の光情
報記録媒体の製造方法において、 前記光反射層上に前記保護液を塗布して前記保護層を形
成する際に、該保護液の塗布時の前記基板の回転数若し
くは相対回転数を20〜100rpmとすることを特徴
とする光情報記録媒体の製造方法。
7. The method for manufacturing an optical information recording medium according to claim 1, wherein the protective liquid is applied on the light reflecting layer to form the protective layer. A method for manufacturing an optical information recording medium, wherein the number of rotations or the relative number of rotations of the substrate at the time of applying the protective liquid is 20 to 100 rpm.
【請求項8】請求項1〜7のいずれか1項に記載の光情
報記録媒体の製造方法において、 前記光反射層上に前記保護液を塗布して前記保護層を形
成する際に、該光反射層上に塗布された前記保護液の振
り切り時の前記基板の回転数を4000〜6000rp
mとすることを特徴とする光情報記録媒体の製造方法。
8. The method for manufacturing an optical information recording medium according to claim 1, wherein the protective liquid is applied on the light reflecting layer to form the protective layer. The number of rotations of the substrate at the time of shaking off the protective liquid applied on the light reflection layer is set to 4000 to 6000 rpm
m. A method for producing an optical information recording medium, wherein m is
【請求項9】請求項1〜8のいずれか1項に記載の光情
報記録媒体の製造方法において、 前記保護液の粘度は120〜400cPであることを特
徴とする光情報記録媒体の製造方法。
9. The method for manufacturing an optical information recording medium according to claim 1, wherein said protective liquid has a viscosity of 120 to 400 cP. .
【請求項10】請求項1〜9のいずれか1項に記載の光
情報記録媒体の製造方法において 前記保護廃液中の色素の濃度を0.1重量%以下とする
ことを特徴とする光情報記録媒体の製造方法。
10. The method for manufacturing an optical information recording medium according to claim 1, wherein the concentration of the dye in the protective waste liquid is 0.1% by weight or less. Manufacturing method of recording medium.
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