JP2001183326A - チャンバ内の過酸化水素蒸気の濃度測定方法及びその装置 - Google Patents
チャンバ内の過酸化水素蒸気の濃度測定方法及びその装置Info
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- JP2001183326A JP2001183326A JP37082099A JP37082099A JP2001183326A JP 2001183326 A JP2001183326 A JP 2001183326A JP 37082099 A JP37082099 A JP 37082099A JP 37082099 A JP37082099 A JP 37082099A JP 2001183326 A JP2001183326 A JP 2001183326A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】コスト的に安い簡便な過酸化水素蒸気の濃度測
定技術を提供する。 【解決手段】過酸化水素蒸気の濃度に比例して反応する
特性を有する第１湿度センサ３により検出されたチャン
バ１内の気体に関する検出値Ｃ1と、第２湿度センサ７
により検出された前記気体中の過酸化水素成分を水蒸気
と酸素に分解処理した後の気体に関する検出値Ｃ2を用
いて、Ａ＝（Ｃ1−Ｃ2）／（Ｂ−Ｅ／Ｄ）によりチャン
バ１内の気体に含まれる過酸化水素蒸気の濃度Ａを演算
する（なお、Ｂは予め実験的に求めた第１湿度センサが
過酸化水素蒸気の濃度に応じて反応する検出値に対する
反応係数、Ｄは過酸化水素の分子量、Ｅは水の分子
量）。
定技術を提供する。 【解決手段】過酸化水素蒸気の濃度に比例して反応する
特性を有する第１湿度センサ３により検出されたチャン
バ１内の気体に関する検出値Ｃ1と、第２湿度センサ７
により検出された前記気体中の過酸化水素成分を水蒸気
と酸素に分解処理した後の気体に関する検出値Ｃ2を用
いて、Ａ＝（Ｃ1−Ｃ2）／（Ｂ−Ｅ／Ｄ）によりチャン
バ１内の気体に含まれる過酸化水素蒸気の濃度Ａを演算
する（なお、Ｂは予め実験的に求めた第１湿度センサが
過酸化水素蒸気の濃度に応じて反応する検出値に対する
反応係数、Ｄは過酸化水素の分子量、Ｅは水の分子
量）。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、製剤容器や包装済
み製剤製品あるいは医療用具などに対する滅菌処理用チ
ャンバ等のチャンバ内に供給された過酸化水素蒸気の濃
度測定技術に関する。
み製剤製品あるいは医療用具などに対する滅菌処理用チ
ャンバ等のチャンバ内に供給された過酸化水素蒸気の濃
度測定技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】チャンバ内の過酸化水素蒸気の濃度を検
出する手段に関しては、従来から近赤外線の吸収率の変
化からガス濃度として求めるものや、半導体ガスセンサ
などにより過酸化水素自体の濃度を直接的に検出し、更
に補正を加えて所定の測定精度を得るものなどが知られ
ているが（例えば特開平１１−１６０２６５号公報）、
コスト的に高価になるため、現実的なモニタリング手段
としては使用が困難な場合も多いといった問題があっ
た。
出する手段に関しては、従来から近赤外線の吸収率の変
化からガス濃度として求めるものや、半導体ガスセンサ
などにより過酸化水素自体の濃度を直接的に検出し、更
に補正を加えて所定の測定精度を得るものなどが知られ
ているが（例えば特開平１１−１６０２６５号公報）、
コスト的に高価になるため、現実的なモニタリング手段
としては使用が困難な場合も多いといった問題があっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な従来の技術状況に鑑み、コスト的に安い簡便な過酸化
水素蒸気の濃度測定技術を提供することを目的とするも
のである。
な従来の技術状況に鑑み、コスト的に安い簡便な過酸化
水素蒸気の濃度測定技術を提供することを目的とするも
のである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、チャンバ内の
過酸化水素蒸気を含んだ気体の見かけ上の湿度を過酸化
水素蒸気の濃度に比例して反応する特性を有する第１湿
度センサにより検出するとともに、前記気体中の過酸化
水素成分を水蒸気と酸素に分解処理して分解後の気体の
湿度を第２湿度センサにより検出し、それらの第１湿度
センサにより検出された検出値Ｃ1と第２湿度センサに
より検出された検出値Ｃ2を用いて、Ａ＝（Ｃ1−Ｃ2）
／（Ｂ−Ｅ／Ｄ）により、前記過酸化水素蒸気の濃度Ａ
を演算するという技術手段を採用した（なお、Ｂは予め
実験的に求めた前記第１湿度センサが過酸化水素蒸気の
濃度に応じて反応する検出値に対する反応係数、Ｄは過
酸化水素の分子量、Ｅは水の分子量である）。
過酸化水素蒸気を含んだ気体の見かけ上の湿度を過酸化
水素蒸気の濃度に比例して反応する特性を有する第１湿
度センサにより検出するとともに、前記気体中の過酸化
水素成分を水蒸気と酸素に分解処理して分解後の気体の
湿度を第２湿度センサにより検出し、それらの第１湿度
センサにより検出された検出値Ｃ1と第２湿度センサに
より検出された検出値Ｃ2を用いて、Ａ＝（Ｃ1−Ｃ2）
／（Ｂ−Ｅ／Ｄ）により、前記過酸化水素蒸気の濃度Ａ
を演算するという技術手段を採用した（なお、Ｂは予め
実験的に求めた前記第１湿度センサが過酸化水素蒸気の
濃度に応じて反応する検出値に対する反応係数、Ｄは過
酸化水素の分子量、Ｅは水の分子量である）。
【０００５】なお、前記演算式は、次のように原理的に
誘導される（なお、Ｗはチャンバ内に存在する水蒸気自
体に基づく水分濃度）。第１湿度センサによって検出さ
れる検出値Ｃ1は、過酸化水素蒸気（濃度Ａ）が第１湿
度センサの検出値へ与える影響分Ｂ・Ａ（Ｂは予め実験
的に求めた前記反応係数）と水蒸気自体に基づく水分濃
度Ｗを加えたものであるから次式（１）が成立する。 Ｃ1＝Ｂ・Ａ＋Ｗ……（１） また、第２湿度センサによって検出される過酸化水素成
分を水蒸気と酸素に分解処理した後の気体に関する検出
値Ｃ2については、２Ｈ2Ｏ2→２Ｈ2Ｏ＋Ｏ2より過酸化
水素を分解した場合に生じる水分の割合はＥ／Ｄである
から、次式（２）が成立する。 Ｃ2＝Ａ・Ｅ／Ｄ＋Ｗ……（２） 次に、式（２）のＷを式（１）に代入すると、次式
（３）が得られる。 Ｃ1＝Ｂ・Ａ＋Ｃ2−Ａ・Ｅ／Ｄ……（３） よって、式（３）を過酸化水素蒸気濃度Ａでまとめれ
ば、前記演算式である次式（４）が得られる。 Ａ＝（Ｃ1−Ｃ2）／（Ｂ−Ｅ／Ｄ）……（４）
誘導される（なお、Ｗはチャンバ内に存在する水蒸気自
体に基づく水分濃度）。第１湿度センサによって検出さ
れる検出値Ｃ1は、過酸化水素蒸気（濃度Ａ）が第１湿
度センサの検出値へ与える影響分Ｂ・Ａ（Ｂは予め実験
的に求めた前記反応係数）と水蒸気自体に基づく水分濃
度Ｗを加えたものであるから次式（１）が成立する。 Ｃ1＝Ｂ・Ａ＋Ｗ……（１） また、第２湿度センサによって検出される過酸化水素成
分を水蒸気と酸素に分解処理した後の気体に関する検出
値Ｃ2については、２Ｈ2Ｏ2→２Ｈ2Ｏ＋Ｏ2より過酸化
水素を分解した場合に生じる水分の割合はＥ／Ｄである
から、次式（２）が成立する。 Ｃ2＝Ａ・Ｅ／Ｄ＋Ｗ……（２） 次に、式（２）のＷを式（１）に代入すると、次式
（３）が得られる。 Ｃ1＝Ｂ・Ａ＋Ｃ2−Ａ・Ｅ／Ｄ……（３） よって、式（３）を過酸化水素蒸気濃度Ａでまとめれ
ば、前記演算式である次式（４）が得られる。 Ａ＝（Ｃ1−Ｃ2）／（Ｂ−Ｅ／Ｄ）……（４）
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態としては、製剤
容器や包装済み製剤製品あるいは医療用具などに対する
滅菌処理用のチャンバ内の過酸化水素蒸気の濃度測定が
好適である。前記湿度センサとしては、疎水性高分子膜
を用い、水分子の吸着量に応じて誘電率が変化する現象
を原理的に利用した湿度センサや、セラミック電気抵抗
変化形湿度センサ、電気容量変化形湿度センサなどが使
用される。因みに、前記疎水性高分子膜を使用した湿度
センサを用いた実験によれば、チャンバ内の気体中に過
酸化水素蒸気が含まれている場合には、その過酸化水素
蒸気に反応して湿度センサの検出値として高い湿度値を
示し、しかもその湿度センサから湿度として出力される
検出値からチャンバ内の水蒸気自体に基づく湿度すなわ
ち水分濃度を控除した増加分の大きさが、条件によって
気体中に含まれる過酸化水素蒸気の濃度に比例すること
が判明している。すなわち、湿度センサの種類よって、
その検出値が過酸化水素蒸気自体の濃度に応じて比例的
に反応するものがある。本発明に使用される第１湿度セ
ンサとしては、以上のような特性を備える湿度センサを
実験的に選定して使用することになる。なお、前記気体
中の過酸化水素成分を水蒸気と酸素に分解するための分
解処理手段しては触媒などが使用される。
容器や包装済み製剤製品あるいは医療用具などに対する
滅菌処理用のチャンバ内の過酸化水素蒸気の濃度測定が
好適である。前記湿度センサとしては、疎水性高分子膜
を用い、水分子の吸着量に応じて誘電率が変化する現象
を原理的に利用した湿度センサや、セラミック電気抵抗
変化形湿度センサ、電気容量変化形湿度センサなどが使
用される。因みに、前記疎水性高分子膜を使用した湿度
センサを用いた実験によれば、チャンバ内の気体中に過
酸化水素蒸気が含まれている場合には、その過酸化水素
蒸気に反応して湿度センサの検出値として高い湿度値を
示し、しかもその湿度センサから湿度として出力される
検出値からチャンバ内の水蒸気自体に基づく湿度すなわ
ち水分濃度を控除した増加分の大きさが、条件によって
気体中に含まれる過酸化水素蒸気の濃度に比例すること
が判明している。すなわち、湿度センサの種類よって、
その検出値が過酸化水素蒸気自体の濃度に応じて比例的
に反応するものがある。本発明に使用される第１湿度セ
ンサとしては、以上のような特性を備える湿度センサを
実験的に選定して使用することになる。なお、前記気体
中の過酸化水素成分を水蒸気と酸素に分解するための分
解処理手段しては触媒などが使用される。
【０００７】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例に関して
説明する。図１は本発明に係る一実施例の要部を示した
構成概念図である。図中、１はアイソレータとしての滅
菌用のチャンバで、過酸化水素蒸気発生装置２において
エア及び過酸化水素水から所定の濃度の過酸化水素蒸気
を生成して供給するように構成されている。チャンバ１
の内部には第１湿度センサ３が配設されており、そのチ
ャンバ１内の過酸化水素蒸気と水蒸気とを含んだ気体の
湿度として検出される検出値Ｃ1を制御装置４を構成す
る演算手段５に出力するように構成されている。なお、
その第１湿度センサ３としては、前述のように過酸化水
素蒸気に比例的に反応する特性を有するものが用いら
れ、前記検出値Ｃ1には、チャンバ１内の水蒸気に基づ
く湿度のほかに過酸化水素蒸気の反応による増加分も含
まれることから、湿度値としては見かけ上の値となる。
また、チャンバ１には、触媒を用いた過酸化水素の分解
処理手段６が接続されており、その分解処理手段６の下
流側に、さらに分解後の気体を収容して第２湿度センサ
７によって気体の湿度を検出する湿度検出室８及びエア
吸引ポンプ９が接続されている。なお、第２湿度センサ
７によって検出された検出値Ｃ2は、前記検出値Ｃ1と同
様に前記演算手段５に出力されるように構成されてい
る。
説明する。図１は本発明に係る一実施例の要部を示した
構成概念図である。図中、１はアイソレータとしての滅
菌用のチャンバで、過酸化水素蒸気発生装置２において
エア及び過酸化水素水から所定の濃度の過酸化水素蒸気
を生成して供給するように構成されている。チャンバ１
の内部には第１湿度センサ３が配設されており、そのチ
ャンバ１内の過酸化水素蒸気と水蒸気とを含んだ気体の
湿度として検出される検出値Ｃ1を制御装置４を構成す
る演算手段５に出力するように構成されている。なお、
その第１湿度センサ３としては、前述のように過酸化水
素蒸気に比例的に反応する特性を有するものが用いら
れ、前記検出値Ｃ1には、チャンバ１内の水蒸気に基づ
く湿度のほかに過酸化水素蒸気の反応による増加分も含
まれることから、湿度値としては見かけ上の値となる。
また、チャンバ１には、触媒を用いた過酸化水素の分解
処理手段６が接続されており、その分解処理手段６の下
流側に、さらに分解後の気体を収容して第２湿度センサ
７によって気体の湿度を検出する湿度検出室８及びエア
吸引ポンプ９が接続されている。なお、第２湿度センサ
７によって検出された検出値Ｃ2は、前記検出値Ｃ1と同
様に前記演算手段５に出力されるように構成されてい
る。
【０００８】しかして、チャンバ１内の気体中の過酸化
水素蒸気の濃度の測定においては、前述のようにチャン
バ１内に配設した前記第１湿度センサ３により同チャン
バ１内の気体に関する見かけ上の湿度が検出され、その
検出値Ｃ1が制御装置４の演算手段５に出力される。他
方、エア吸引ポンプ９により分解処理手段６内に吸引さ
れた前記チャンバ１内の気体は、その気体中に含まれる
過酸化水素蒸気が水蒸気と酸素ガスとに分解した上、さ
らに湿度検出室８に吸引されて第２湿度センサ７により
分解後の気体の湿度すなわち水分濃度が検出され、その
検出値Ｃ2が演算手段５に出力される。そして、前記演
算手段５では、それらの第１湿度センサ３により検出さ
れたチャンバ１内の気体に関する検出値Ｃ1と、第２湿
度センサ７により検出された過酸化水素の分解後の気体
に関する検出値Ｃ2に基づいて、前記演算式（４）によ
りチャンバ１内の過酸化水素蒸気の濃度Ａが演算される
ことになる。以上により、過酸化水素蒸気の濃度測定は
終了するが、必要に応じて表示手段１０等を介してその
過酸化水素蒸気の濃度Ａを表示するように構成してもよ
い。
水素蒸気の濃度の測定においては、前述のようにチャン
バ１内に配設した前記第１湿度センサ３により同チャン
バ１内の気体に関する見かけ上の湿度が検出され、その
検出値Ｃ1が制御装置４の演算手段５に出力される。他
方、エア吸引ポンプ９により分解処理手段６内に吸引さ
れた前記チャンバ１内の気体は、その気体中に含まれる
過酸化水素蒸気が水蒸気と酸素ガスとに分解した上、さ
らに湿度検出室８に吸引されて第２湿度センサ７により
分解後の気体の湿度すなわち水分濃度が検出され、その
検出値Ｃ2が演算手段５に出力される。そして、前記演
算手段５では、それらの第１湿度センサ３により検出さ
れたチャンバ１内の気体に関する検出値Ｃ1と、第２湿
度センサ７により検出された過酸化水素の分解後の気体
に関する検出値Ｃ2に基づいて、前記演算式（４）によ
りチャンバ１内の過酸化水素蒸気の濃度Ａが演算される
ことになる。以上により、過酸化水素蒸気の濃度測定は
終了するが、必要に応じて表示手段１０等を介してその
過酸化水素蒸気の濃度Ａを表示するように構成してもよ
い。
【０００９】図２は本発明に係る他の実施例の要部を示
した構成概念図である。図示のように、本実施例は、前
記実施例の変形例であり、前記第１湿度センサ３の設置
部位をチャンバ１内から該チャンバ１に接続した分解処
理手段６の手前に形成した湿度検出室１１内に移した点
で特徴を有するものである。しかして、チャンバ１内の
気体は、エア吸引ポンプ９により湿度検出室１１に吸引
され、その湿度検出室１１内において第１湿度センサ３
により見かけ上の湿度が検出され、その検出値Ｃ1が制
御装置４を構成する前記演算手段５に出力される。しか
る後、前記湿度検出室１１内の気体は、更にエア吸引ポ
ンプ９の吸引作用により分解処理手段６に吸引され、そ
こで前述のように気体中に含まれる過酸化水素蒸気が水
蒸気と酸素ガスとに分解した上、湿度検出室８内におい
て第２湿度センサ７により分解後の気体の水分濃度が検
出され、その検出値Ｃ2が前記演算手段５に出力され
る。そして、演算手段５では、前記実施例と同様に、第
１湿度センサ３により検出されたチャンバ１内の気体に
関する検出値Ｃ1と、第２湿度センサ７により検出され
た過酸化水素の分解後の気体に関する検出値Ｃ2に基づ
いて、前記演算式（４）によりチャンバ１内の過酸化水
素蒸気の濃度Ａを演算し、必要に応じて表示手段１０等
を介して表示することになる。
した構成概念図である。図示のように、本実施例は、前
記実施例の変形例であり、前記第１湿度センサ３の設置
部位をチャンバ１内から該チャンバ１に接続した分解処
理手段６の手前に形成した湿度検出室１１内に移した点
で特徴を有するものである。しかして、チャンバ１内の
気体は、エア吸引ポンプ９により湿度検出室１１に吸引
され、その湿度検出室１１内において第１湿度センサ３
により見かけ上の湿度が検出され、その検出値Ｃ1が制
御装置４を構成する前記演算手段５に出力される。しか
る後、前記湿度検出室１１内の気体は、更にエア吸引ポ
ンプ９の吸引作用により分解処理手段６に吸引され、そ
こで前述のように気体中に含まれる過酸化水素蒸気が水
蒸気と酸素ガスとに分解した上、湿度検出室８内におい
て第２湿度センサ７により分解後の気体の水分濃度が検
出され、その検出値Ｃ2が前記演算手段５に出力され
る。そして、演算手段５では、前記実施例と同様に、第
１湿度センサ３により検出されたチャンバ１内の気体に
関する検出値Ｃ1と、第２湿度センサ７により検出され
た過酸化水素の分解後の気体に関する検出値Ｃ2に基づ
いて、前記演算式（４）によりチャンバ１内の過酸化水
素蒸気の濃度Ａを演算し、必要に応じて表示手段１０等
を介して表示することになる。
【００１０】なお、前記演算手段５において、前記演算
式（４）により、第１湿度センサ３により検出された検
出値Ｃ1と第２湿度センサ７により検出された検出値Ｃ2
に基づいてチャンバ１内の気体中に含まれる過酸化水素
蒸気の濃度Ａを演算する場合に必要とされる第１湿度セ
ンサ３の反応係数Ｂに関しては、前述のように実験的に
求めることになる。先ず、チャンバ１内の気体の湿度が
検出できるように、前記第１湿度センサ３として採用し
ようとする湿度センサをセットした上、そのチャンバ１
内の気体中の過酸化水素蒸気の濃度のみを変化させ、そ
の場合に得られる各検出値をプロットする。そして、そ
れらの各検出値から水蒸気自体の濃度を控除した各増加
分、すなわち過酸化水素蒸気による検出値への影響分
が、過酸化水素蒸気の濃度に比例する関係を備えた湿度
センサを選定し、第１湿度センサ３として採用する。し
かる後、その選定した湿度センサの反応係数Ｂを求める
ことになるが、その場合には、チャンバ１内の気体中に
含まれる過酸化水素蒸気自体の濃度Ａを近赤外線ガス濃
度センサ等を用いて直接的に測定することにより、Ｂ＝
Ｃ1／Ａの関係から求めることができる。なお、以上の
ように実験的に反応係数Ｂが確認された湿度センサと同
種のものは、以降そのまま前記第１湿度センサ３として
採用可能であることはいうまでもない。また、前記演算
式（４）のＥ／Ｄに関しては、Ｄとして過酸化水素の分
子量３４、Ｅとして水の分子量１８を挿入する。以上に
より、前記演算式（４）に、第１湿度センサ３により検
出されたチャンバ１内の気体に関する検出値Ｃ1と第２
湿度センサ７により検出された過酸化水素の分解後の気
体に関する検出値Ｃ2を挿入することにより、チャンバ
１内の過酸化水素蒸気の濃度Ａを簡単に演算できるよう
になる。
式（４）により、第１湿度センサ３により検出された検
出値Ｃ1と第２湿度センサ７により検出された検出値Ｃ2
に基づいてチャンバ１内の気体中に含まれる過酸化水素
蒸気の濃度Ａを演算する場合に必要とされる第１湿度セ
ンサ３の反応係数Ｂに関しては、前述のように実験的に
求めることになる。先ず、チャンバ１内の気体の湿度が
検出できるように、前記第１湿度センサ３として採用し
ようとする湿度センサをセットした上、そのチャンバ１
内の気体中の過酸化水素蒸気の濃度のみを変化させ、そ
の場合に得られる各検出値をプロットする。そして、そ
れらの各検出値から水蒸気自体の濃度を控除した各増加
分、すなわち過酸化水素蒸気による検出値への影響分
が、過酸化水素蒸気の濃度に比例する関係を備えた湿度
センサを選定し、第１湿度センサ３として採用する。し
かる後、その選定した湿度センサの反応係数Ｂを求める
ことになるが、その場合には、チャンバ１内の気体中に
含まれる過酸化水素蒸気自体の濃度Ａを近赤外線ガス濃
度センサ等を用いて直接的に測定することにより、Ｂ＝
Ｃ1／Ａの関係から求めることができる。なお、以上の
ように実験的に反応係数Ｂが確認された湿度センサと同
種のものは、以降そのまま前記第１湿度センサ３として
採用可能であることはいうまでもない。また、前記演算
式（４）のＥ／Ｄに関しては、Ｄとして過酸化水素の分
子量３４、Ｅとして水の分子量１８を挿入する。以上に
より、前記演算式（４）に、第１湿度センサ３により検
出されたチャンバ１内の気体に関する検出値Ｃ1と第２
湿度センサ７により検出された過酸化水素の分解後の気
体に関する検出値Ｃ2を挿入することにより、チャンバ
１内の過酸化水素蒸気の濃度Ａを簡単に演算できるよう
になる。
【００１１】
【発明の効果】本発明によれば、チャンバ内の配設され
た過酸化水素蒸気の濃度に比例して反応する特性を有す
る第１湿度センサと、前記気体中の過酸化水素成分を分
解処理した後の気体の湿度を検出するための第２湿度セ
ンサとの、比較的安価な２つの湿度センサを用いて、前
記演算式（４）よりチャンバ内の気体に含まれる過酸化
水素蒸気の濃度Ａを簡単に演算することができるので、
過酸化水素蒸気の濃度測定用の設備コストを大幅に低減
することができる。
た過酸化水素蒸気の濃度に比例して反応する特性を有す
る第１湿度センサと、前記気体中の過酸化水素成分を分
解処理した後の気体の湿度を検出するための第２湿度セ
ンサとの、比較的安価な２つの湿度センサを用いて、前
記演算式（４）よりチャンバ内の気体に含まれる過酸化
水素蒸気の濃度Ａを簡単に演算することができるので、
過酸化水素蒸気の濃度測定用の設備コストを大幅に低減
することができる。
【図１】 本発明に係る実施例の要部を示した構成概念
図である。
図である。
【図２】 本発明に係る他の実施例の要部を示した構成
概念図である。
概念図である。
１…チャンバ、２…過酸化水素蒸気発生装置、３…第１
湿度センサ、４…制御装置、５…演算手段、６…分解処
理手段、７…第２湿度センサ、８…湿度検出室、９…エ
ア吸引ポンプ、１０…表示手段、１１…湿度検出室
湿度センサ、４…制御装置、５…演算手段、６…分解処
理手段、７…第２湿度センサ、８…湿度検出室、９…エ
ア吸引ポンプ、１０…表示手段、１１…湿度検出室
Claims (2)
- 【請求項１】 チャンバ内の過酸化水素蒸気を含んだ気
体に接するように過酸化水素蒸気の濃度に比例して反応
する特性を有する第１湿度センサを配設するとともに、
前記気体中の過酸化水素成分を水蒸気と酸素に分解処理
した上、その分解後の気体に接するように第２湿度セン
サを配設し、それらの第１湿度センサにより検出された
検出値Ｃ1と第２湿度センサにより検出された検出値Ｃ2
に基づいて、次式により前記過酸化水素蒸気の濃度Ａを
演算することを特徴とするチャンバ内の過酸化水素蒸気
の濃度測定方法。 Ａ＝（Ｃ1−Ｃ2）／（Ｂ−Ｅ／Ｄ） ここで、Ｂは予め実験的に求めた前記第１湿度センサが
過酸化水素蒸気の濃度に応じて反応する検出値に対する
反応係数、Ｄは過酸化水素の分子量、Ｅは水の分子量で
ある。 - 【請求項２】 チャンバ内の過酸化水素蒸気を含んだ気
体に接するように配設され、過酸化水素蒸気の濃度に比
例して反応する特性を有する第１湿度センサと、前記気
体中の過酸化水素成分を水蒸気と酸素に分解する分解処
理手段と、その分解後の気体に接するように配設された
第２湿度センサと、それらの第１湿度センサにより検出
された検出値Ｃ1と第２湿度センサにより検出された検
出値Ｃ2に基づいて前記チャンバ内の過酸化水素蒸気の
濃度を演算する演算手段を備え、その演算手段におい
て、次式により前記過酸化水素蒸気の濃度Ａを演算する
ように構成したことを特徴とするチャンバ内の過酸化水
素蒸気の濃度測定装置。 Ａ＝（Ｃ1−Ｃ2）／（Ｂ−Ｅ／Ｄ） ここで、Ｂは予め実験的に求めた前記第１湿度センサが
過酸化水素蒸気の濃度に応じて反応する検出値に対する
反応係数、Ｄは過酸化水素の分子量、Ｅは水の分子量で
ある。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37082099A JP2001183326A (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | チャンバ内の過酸化水素蒸気の濃度測定方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37082099A JP2001183326A (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | チャンバ内の過酸化水素蒸気の濃度測定方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001183326A true JP2001183326A (ja) | 2001-07-06 |
Family
ID=18497660
Family Applications (1)
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| JP37082099A Pending JP2001183326A (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | チャンバ内の過酸化水素蒸気の濃度測定方法及びその装置 |
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|---|---|
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-
1999
- 1999-12-27 JP JP37082099A patent/JP2001183326A/ja active Pending
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