JP2001183205A - コリオリ型・流量センサ - Google Patents

コリオリ型・流量センサ

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JP2001183205A JP2000399176A JP2000399176A JP2001183205A JP 2001183205 A JP2001183205 A JP 2001183205A JP 2000399176 A JP2000399176 A JP 2000399176A JP 2000399176 A JP2000399176 A JP 2000399176A JP 2001183205 A JP2001183205 A JP 2001183205A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 コリオリ・測定管が僅かな熱膨張及びこれに
関連して僅かな応力を受けるに過ぎずしかも化学的に抵
抗力を有するコリオリ・測定管を備えたコリオリ型・流
量センサを提供することにある。 【解決手段】 流動媒体を案内する直線的なコリオリ・
測定管と、コリオリ・測定管に対応配置された、コリオ
リ・測定管を励振する少なくとも１つの振動発生手段
と、コリオリ・測定管に対応配置された、コリオリ力を
検出及び／又はコリオリ力に起因する振動を検出する少
なくとも１つの測定値受信手段とを有する、コリオリ・
原理に従って作業する流量センサにおいて、コリオリ・
測定管（１）がセラミックから形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、流動媒体を案内す
る直線的なコリオリ・測定管と、コリオリ・測定管に対
応配置された、コリオリ・測定管を励振する少なくとも
１つの振動発生手段と、コリオリ・測定管に対応配置さ
れた、コリオリ力を検出及び／又はコリオリ力に起因す
る振動を検出する少なくとも１つの測定値受信手段とを
有する、コリオリ・原理に従って作業する流量センサに
関する。
【０００２】
【従来の技術】上記形式の流量センサには、特にコリオ
リ・測定管に対応配置された少なくとも１つの振動発生
手段及びコリオリ・測定管に対応配置された少なくとも
１つの測定値受信手段が属する。一般に、単数又は複数
の振動発生手段、いずれにせよ単数又は複数の振動発生
手段の一部、及び、単数又は複数の測定値受信手段、い
ずれにせよ単数又は複数測定値受信手段の一部は、コリ
オリ・測定管に連結されている。しかしながらこのこと
は必ずしも必要ではないので、表現“対応配置”は表現
“連結”代わりに使用される。
【０００３】コリオリ・原理に従って作業する流量セン
サの場合基本的に、一方はコリオリ・測定管が少なくと
もほぼ直線的に構成されている流量センサと、他方はコ
リオリ・測定管がループ状に構成されている流量センサ
とでは異なっている。更に、冒頭に述べた形式の流量セ
ンサの場合、一方は１本だけのコリオリ・測定管を有す
る流量センサと、他方は２本のコリオリ・測定管を有す
る流量センサとでは異なっている、つまり、２本のコリ
オリ・測定管を有する構成の場合には、コリオリ・測定
管は流れ技術的に互いに直列又は並列に位置する。
【０００４】最近では益々、１本だけのほぼ直線的なコ
リオリ・測定管を有する流量センサが使用されている。
１本だけの直線的なコリオリ・測定管を有する、コリオ
リ・原理に従って作業する流量センサは、２本の直線的
なコリオリ・測定管又は１本のループ状のコリオリ・測
定管を有する流量センサに比して、以下のような著しい
利点を有している、つまり、２本の直線的なコリオリ・
測定管を有する流量センサに比して、２本のコリオリ・
測定管を有する流量センサの場合に必要である流れ分配
手段もしくは流れ集束手段が不要であるという利点、更
に、１本のループ状のコリオリ・測定管もしくは２本の
ループ状のコリオリ・測定管を有する流量センサに比し
て、１本の直線的なコリオリ・測定管を１本のループ状
のコリオリ・測定管よりも簡単に製作でき、１本の直線
的なコリオリ・測定管の場合の圧力勾配が１本のループ
状のコリオリ・測定管の場合の圧力勾配よりも僅かであ
り、かつ、１本の直線的なコリオリ・測定管が１本のル
ープ状のコリオリ・測定管よりも洗浄が容易である、と
いう利点を有している。
【０００５】１本だけの直線的なコリオリ・測定管を有
する流量センサは上述のようなあらゆる利点を有するに
も拘わらず、以下のような欠点を有している、つまり、
例えば、熱に起因する長さ膨張に基づき直線的に構成さ
れたコリオリ・測定管に応力が生ぜしめられ、該応力に
より極端な場合コリオリ・測定管に機械的な損傷、即
ち、応力亀裂及び応力破壊が生ぜしめられる、という欠
点を有している。即ち、直線的に構成されたコリオリ・
測定管の場合、熱膨張により生ぜしめられる応力は、
（例えばループ状のコリオリ・測定管の場合に行われる
ように）管湾曲半径の変化によって受け止められない。
【０００６】いずれにせよコリオリ・原理に従って作業
する全ての流量センサ特有の別の問題点は、１本だけの
コリオリ・測定管を有する流量センサ又は複数のコリオ
リ・測定管を有する流量センサであるかとは無関係に、
及び、直線的に構成されたコリオリ・測定管又はループ
状のコリオリ・測定管であるかとは無関係に、単数又は
複数のコリオリ・測定管のために使用される材料に応じ
て前記材料に作用する規定された化学的な物質が、それ
ぞれのコリオリ型・流量センサによって質量流量測定さ
れないということにある。このことは、場合によっては
個々のコリオリ型・流量センサの使用範囲を著しく制限
しかつ別のコリオリ型・流量センサの使用、つまり、組
込まれたコリオリ型・流量センサの交換を必要とする。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、１本
だけの直線的なコリオリ・測定管を有する、コリオリ原
理に従って作業する流量センサを、コリオリ・測定管が
僅かな熱膨張及びこれに関連して僅かな応力を受けるに
過ぎずしかも同時に化学的にアグレッシブな物質に対し
て高い化学的な抵抗を有するように、改良することにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記課題は本発明による
流量センサによれば、コリオリ・測定管がセラミックか
ら形成されていることによって、解決された。
【０００９】
【発明の効果】コリオリ・測定管用の材料としてのセラ
ミックの利点は、極めて広範の温度帯域で使用可能であ
りひいては高温度の場合でも使用可能であるということ
にあり、この場合、適用可能な広範の温度帯域で適度の
熱膨張を示すに過ぎない。他面、セラミックは、例えば
塩素化されたガス又は液体のような化学的にアグレッシ
ブな物質の作用を受けないか殆ど受けないので、本発明
によるコリオリ型・流量センサのために広範の使用多様
性が得られる。
【００１０】基本的には事実上あらゆるセラミックを、
コリオリ・原理に従って作業する本発明による流量セン
サのコリオリ・測定管のために使用可能である。しかし
ながら、熱膨張係数の僅かな化学的に特に抵抗力を有す
るセラミックが特に有利である。有利にはコリオリ・測
定管は、酸化ジルコニウム又は酸化アルミニウムから形
成される。しかし、フルオロ水素（＝ＨＦ＝フッ化水素
酸）を除いた事実上全ての化学化合物のためにコリオリ
型・流量センサの使用を可能にする本発明の特に有利な
構成では、コリオリ・測定管は、５％以上のジルコニウ
ムを含有する、ジルコニウムによって安定化された酸化
アルミニウムから形成される。これとは選択的に本発明
による流量センサのコリオリ・測定管のために、有利に
は窒化・セラミックを使用することができる。
【００１１】コリオリ原理に従って作業する本発明によ
る流量センサは、一本の直線的なコリオリ・測定管を有
する流量センサ用のほぼ全ての公知の構造に従う。しか
しながら本発明の有利な構成によれば、流量センサが外
側ケーシングを有しかつ外側ケーシングに取り付けられ
たフランジを介して管路システムに組込可能である構造
が使用される。この場合、コリオリ・測定管が発生する
長手方向力に関し管路システムから減結合されてコリオ
リ・測定管に組込可能であると、特に有利である。この
ような減結合は有利には、コリオリ・測定管が両端で外
側ケーシングに不動に連結されているが、コリオリ・測
定管が次のように設計及び配置されていることによっ
て、つまり、コリオリ・測定管がコリオリ型・流量セン
サの側方の制限面に対して多少引き込まれているよう
に、要するに、管路システムに組込まれた状態で管路シ
ステムに直接接触しないように、コリオリ・測定管が設
計及び配置されていることによって、得られる。
【００１２】しかしながらこれとは選択的に、コリオリ
・測定管を少なくとも一端で外側ケーシングに不動に連
結せず、これによりコリオリ・測定管をその長手方向で
外側ケーシングに対して移動可能することもできる。こ
のようにして同様に、コリオリ・測定管は発生する長手
方向力に関し管路システムから減結合される。
【００１３】コリオリ・測定管をその長手方向移動性に
も拘わらず正しい位置で保持するために、コリオリ・測
定管の端面と、コリオリ型・流量センサが組込可能であ
る管路システムのフランジとの間に、有利にはＯ・リン
グから成るシールの形状の弾性的な保持手段が設けられ
ていて、従って該保持手段は、外側ケーシングに対して
相対的に移動可能なコリオリ・測定管の端部を弾性的に
固定するために用いられる。コリオリ・測定管の長手方
向で発生しかつコリオリ・測定管に作用する長手方向力
の問題性に関連して、セラミックから成る構成部材が長
手方向で発生する圧縮力に対してある程度の抵抗を有す
ることが、明らかとなった。しかしながら、長手方向の
引張り力はこのようなセラミック構成部材に極めて迅速
に問題を生ぜしめる、即ち、損傷を生ぜしめる。それ故
上述の措置はほぼ、コリオリ・測定管の長手方向で発生
するこのような引張り力をコリオリ・測定管から減結合
するために用いられる。
【００１４】本発明によるコリオリ型・流量センサの有
利な改良構成によれば、コリオリ・測定管が少なくとも
一方の端部領域で、コリオリ・測定管に不動に連結され
た、有利には金属又はプラスチックから成るリングを有
していて、該リングを介してコリオリ・測定管が外側ケ
ーシングに連結されている。このようなリングは多数の
機能を担う、つまり、一面ではこのようなリングによっ
てセラミック製のコリオリ・測定管における外側ケーシ
ングの取付けが容易にされ、かつ、他面ではリングがシ
ール用のガイド及び保持体として設けられる。更に、一
方の端部領域でコリオリ・測定管に不動に連結されるリ
ングは、セラミック製のコリオリ・測定管の熱膨張に起
因する、セラミック製のコリオリ・測定管の応力を排除
するのに用いられる。即ち、コリオリ・測定管が直接コ
リオリ型・流量センサの外側ケーシングに不動に連結さ
れている場合には、外側ケーシングの大きな強度及び剛
性に基づきセラミック製のコリオリ・測定管の長さ変化
は殆ど許容されず、この場合、コリオリ・測定管内で少
なくとも若干の応力を生ぜしめることはない。しかしな
がら、一方の端部領域でコリオリ・測定管に不動に連結
されるリングは、少なくとも僅かな程度熱に原因するコ
リオリ・測定管の長手方向移動を許容するある程度の弾
性を有しているので、コリオリ・測定管内では熱に起因
する応力は発生しないか又は応力は少なくとも著しく減
少される。当然、端部領域でコリオリ・測定管に不動に
連結されるリングによって、コリオリ型・流量センサの
対称性ひいては測定精度を損なわないような、コリオリ
・測定管の長手方向移動のみが許容される。
【００１５】リングは、異なる方法によりセラミック製
のコリオリ・測定管の端部領域に取り付けることができ
る。しかしながら有利には、リングはセラミック製のコ
リオリ・測定管に収縮嵌め又は焼き嵌めされている。金
属製のリングは、セラミック製のコリオリ・測定管の金
属性の面に溶接することもできる。
【００１６】本発明によるセラミック製のコリオリ・測
定管を気密もしくは液密にするために、本発明の有利な
別の構成によれば、コリオリ・測定管の端部側の端面
と、コリオリ型・流量センサが組込まれる管路システム
の、それぞれの端面に対応配置されたフランジとの間
に、それぞれ１つのシールが設けられている。前記シー
ルがコリオリ・測定管を、一方では外側ケーシングに対
してかつ他方ではコリオリ型・流量センサが組込まれる
管路システムに対してシールすると、特に有利である。
このようなシールは、コリオリ型・流量センサにおいて
付加的に、セラミック製のコリオリ・測定管に対し圧縮
力を生ぜしめ得る、管路システムの熱に起因する長さ膨
張もしくはセラミック製のコリオリ・測定管の熱に起因
する長さ膨張を吸収しひいては弾性的に緩衝するという
機能を担うので、前記熱膨張によりコリオリ・測定管に
おいて事実上応力は発生しない。これに関連して、シー
ルが、有利には“（登録商標）Viton”又は“（登録商
標）Kalrez”から成るゴム又はプラスチックから形成さ
れると、特に有利である。
【００１７】コリオリ・測定管端部領域でセラミック製
のコリオリ・測定管に外側ケーシングを簡単に、確実に
かつ損傷を生ぜしめないよう固定するために、本発明の
別の有利な構成によれば、コリオリ・測定管の壁厚さが
少なくとも一方の端部領域で、コリオリ・測定管中央領
域におけるよりも厚く形成されている。この場合、セラ
ミック製のコリオリ・測定管の最良の振動特性を保証す
るために、コリオリ・測定管がその中央領域で１ｍｍ以
下の、有利にはほぼ０．７ｍｍの壁厚さを有している
と、有利である。
【００１８】更に、本発明の別の有利な構成によれば、
流量センサがコリオリ・測定管の端部領域に固定された
内側シリンダを有している。この場合にも、振動を考慮
した最適の中央領域壁厚さよりも厚い壁厚さを有するよ
うな、セラミック製のコリオリ・測定管の領域で、内側
シリンダが固定されると、有利である。
【００１９】更に、本発明による流量センサの別の有利
な構成では、管路システムから発してコリオリ・測定管
に作用する曲げ力に関しコリオリ・測定管が管路システ
ムから減結合されるように、コリオリ・測定管は管路シ
ステムに組込まれている。このことは例えば、コリオリ
・測定管の端部領域でコリオリ・測定管と外側ケーシン
グとの間に、コリオリ・測定管の長手軸線に対してほぼ
垂直方向で弾性変形可能なそれぞれ１つのクッションリ
ングが設けられることによって、達成される。このよう
にして、管路システムから発して流量センサに伝達され
る長手方向曲げ力が生じた場合、つまり、コリオリ・測
定管の軸線に対してほぼ垂直方向で作用する力が生じた
場合には、クッションリングが変形されるが、コリオリ
・測定管に前記力は伝達されないので、コリオリ・測定
管は前記力によって事実上変形されない。
【００２０】詳細には、本発明による流量センサを構成
しかつ改良する多数の可能性が得られる。このために、
請求項１に従属する請求項並びに図面に関連した本発明
の有利な実施例の記述を参照されたい。
【００２１】
【発明の実施の形態】第１図では概略的な断面図で、本
発明の有利な第１実施例によるコリオリ型・流量センサ
の組込状態、即ち、コリオリ型・流量センサが組込まれ
る管路システムに対するコリオリ型・流量センサの移行
部を図示している。本発明の第１実施例によるコリオリ
・測定管１は、５％以上のジルコニウムを含有する、ジ
ルコニウムで安定化された酸化アルミニウムから形成さ
れる。前記材料は、フルオロカーボン、つまり、フッ化
水素酸を除いて事実任意の化学化合物を有するコリオリ
型・流量センサの使用を可能にする。セラミック製のコ
リオリ・測定管１は、金属製の外側ケーシング２によっ
て取り囲まれていて、従って、該外側ケーシングは同時
に、コリオリ型・流量センサの半径方向外側の制限手段
を成す。外側ケーシング２の中央領域は、コリオリ・測
定管１の直径よりも著しく大きな直径を有しているのに
対して、外側ケーシングの両端部（第１図では左側端部
のみを図示）は、コリオリ・測定管１における外側ケー
シング２の固定を容易にしかつフランジ３を長手方向で
移動不能に外側ケーシング２に固定するために、直径の
減少された端部区分を成している。フランジ３は、コリ
オリ型・流量センサが組込まれる管路システム４にコリ
オリ型・流量センサを取り付けるために用いられる。
【００２２】直径の減少した外側ケーシング２の端部区
分とコリオリ・測定管１との間には、金属製のリング５
が設けられていて、該リングは、第１図で図示の本発明
の有利な第１実施例によれば、コリオリ・測定管１に収
縮嵌め（クリンプ嵌め＝aufgecrimpt）されている。外
側ケーシング２にリング５は溶接によって不動に固定さ
れる。
【００２３】管路システム４にコリオリ型・流量センサ
を固定するために、管路システム４は、コリオリ型・流
量センサのフランジ３に固定されるフランジ６を有して
いる。第１図から明らかなように、コリオリ・測定管１
は長さに関し次のように設計されかつ外側ケーシング２
内に次のように配置されている、つまり、コリオリ・測
定管１が外側ケーシング２によって形成された側方の端
面もしくは制限面から突出するのではなく、これとは異
なって前記端面もしくは制限面に対して多少引き込まれ
ているように、コリオリ・測定管１は長さに関し設計さ
れかつ外側ケーシング２内に配置されている。このよう
にして本発明の有利な第１実施例によれば、一方はコリ
オリ・測定管１及びコリオリ・測定管に収縮嵌めされた
リング５と他方は管路システム４のフランジ６との間
に、プラスチックから成るシール７を設けることができ
る。シール７はほぼ以下の機能を有する、即ち、シール
はコリオリ・測定管１を、一方では外側ケーシング２に
対してかつ他方では管路システム４に対してシールしし
かも、例えば管路システム４からコリオリ型・流量セン
サ内にひいてはコリオリ・測定管１に伝達されるコリオ
リ・測定管１の長手方向で発生する力を緩衝するクッシ
ョンとして作用する。
【００２４】コリオリ・測定管１の長手方向で発生する
このような力がコリオリ・測定管１の端面を介してコリ
オリ・測定管に伝達されて作用する場合には、コリオリ
・測定管１に容易に極めて高い応力が生ぜしめられひい
てはコリオリ・測定管１が破壊せしめられる虞れがあ
る。しかしながらこのことは、第１図から明らかな上述
した構造によって阻止される。コリオリ型・流量センサ
のフランジ３と管路システム４のフランジ６との間では
通常の組込条件において圧縮力を伝達し得る接触は生じ
ないので、即ち、コリオリ型・流量センサのフランジ３
は管路システム４のフランジ６に直接接触しないので、
管路システム４に由来する圧縮力は効果的にシール７に
よって吸収されひいては弾性的に支持される。例えば管
路システム４のフランジ６にコリオリ型・流量センサの
フランジ３をねじ締結する際に生ずる、管路システム４
に由来する引張り力は、コリオリ・測定管１と外側ケー
シング２との固定部を介してのみ、つまりコリオリ・測
定管１に収縮嵌めされたリング５を介してのみ、伝達さ
れる。前記力は長手方向でコリオリ・測定管１に作用す
るけれども、この場合前記力は側方からコリオリ・測定
管１に作用するので、前記力は、長手方向で作用する力
をコリオリ・測定管１の端面に直接伝達する場合と同様
のしばしばコリオリ・測定管１を破壊せしめる不所望の
応力を生ぜしめることはない。更にリング５は、該リン
グが金属から製作されひいてはある程度の弾性を有する
ため、外側ケーシング２とコリオリ・測定管１との間で
少なくともある程度弾性的な連結手段を成し、該連結手
段は、コリオリ・測定管の熱的な長さ膨張に起因する応
力がコリオリ・測定管１内で発生することを阻止する。
【００２５】第１図から明らかなように、フランジ３は
外側ケーシング２にねじ山を介して連結されている。外
側ケーシング２とコリオリ型・流量センサのフランジ３
との間に溶接シームを形成することによって、外側ケー
シング２とフランジ３との間の長手方向移動性を確実に
阻止しかつ付加的に固定することができる。
【００２６】本発明の有利な第１実施例によれば、シー
ル７の半径方向外側に環状の突起を設けることによっ
て、シール７を特に最適に固定することができ、前記突
起によってシールは、コリオリ・測定管１と外側ケーシ
ング２との間でコリオリ・測定管１に収縮嵌めされたリ
ング５にまで突出する。
【００２７】第２図では、本発明の有利な第２実施例に
よるコリオリ型・流量センサが断面図で概略的に図示さ
れている。本発明の有利な第２実施例によれば、セラミ
ック製のコリオリ・測定管１の両端部領域は、中央領域
におけるよりも厚い壁厚さを有している。このようにし
て、一面ではコリオリ・測定管１が外側ケーシング２に
連結されている端部領域で十分大きな壁厚さが得られし
かもこれに関連してコリオリ・測定管１の特に高い安定
性が得られ、かつ、他面では励振振動にさらされしかも
媒体のコリオリ振動を受ける中央領域は、最良の振動特
性を有する。厚い壁厚さを有する端部領域でコリオリ・
測定管１に収縮嵌めされたリング５を介して外側ケーシ
ング２を固定する以外に、前記端部領域では更にくさび
リング９を介して内側シリンダ８が固定されている。く
さびリング９を介した内側シリンダ８の固定のために、
コリオリ・測定管１の安定性及び強度に関し同様に前述
の構成が当て嵌まる。
【００２８】内側シリンダ８の内部には、コリオリ・測
定管１を励振させる振動発生手段並びにコリオリ力を検
出及び／又はコリオリ力に起因する振動を検出する少な
くとも１つの測定値受信手段が設けられている（第２図
では図面明瞭化のために図示せず）。
【００２９】本発明の上述の有利な第１実施例の場合の
ように、第２図で図示の本発明の有利な第２実施例によ
るコリオリ型・流量センサ場合にも、セラミック製のコ
リオリ・測定管１は、該コリオリ・測定管がコリオリ型
・流量センサの両側でそれぞれ外側ケーシング２によっ
て予め規定されたコリオリ型・流量センサの端面の手前
で終わるように、設計されかつ配置されている。このよ
うにしてシール７を設けることができ、該シールは、既
に上述したように、長手方向でコリオリ・測定管１の端
面に作用する力を吸収しかつ緩衝するために役立つ。本
発明の有利な第２実施例によればシール７は、円環状に
“（登録商標）Kalrez”から形成されかつ簡単にコリオ
リ型・流量センサの端部領域でコリオリ・測定管１とコ
リオリ型・流量センサが組込まれる管路システムのフラ
ンジ（第２図では図示せず）との間に挿入されている。
【００３０】既に上述のように、本発明によるコリオリ
型・流量センサでは、コリオリ・測定管１は有利には、
５％以上のジルコニウムを含有する、ジルコニウムで安
定化された酸化アルミニウムから形成される。コリオリ
・測定管のために使用されるセラミックの特性に関し
（選択的又は累積的に）以下のことが考慮される： ａ）熱膨張係数は、鋼の熱膨張係数とチタンの熱膨張係
数との間である。
【００３１】ｂ）密度は、チタンの密度よりも多少高い
が、鋼の密度よりも低い。
【００３２】ｃ）曲げ剛性は、チタンの曲げ剛性よりも
多少小さいが、鋼の曲げ剛性よりも大きい。
【００３３】ｄ）弾性係数は、ほぼ鋼の弾性係数であ
る。
【００３４】ｅ）圧縮剛性は、チタン及び鋼の圧縮剛性
に比して極めて高い。
【００３５】詳細には、コリオリ・測定管のために（選
択的又は累積的に）以下の特性を有するセラミックが使
用されると有利である： ａ）密度：５．７ｇ／ｃｍ３ ｂ）硬度（ヌープ＝knoop，１００ｇ）：１７．０００
Ｎ／ｍｍ２ ｃ）圧縮剛性：３．０００Ｎ／ｍｍ２ ｄ）曲げ剛性：．４５０Ｎ／ｍｍ２ ｅ）弾性係数：．３６０．０００Ｎ／ｍｍ２ ｆ）熱膨張係数：１０- ５／Ｋ。
【図面の簡単な説明】
【図１】管路システムに組込まれた、本発明の有利な第
１実施例によるコリオリ型・流量センサの一部の概略的
な断面図。
【図２】本発明の有利な第２実施例によるコリオリ型・
流量センサの概略的な断面図。
【符号の説明】
１ コリオリ・測定管、 ２ 外側ケーシング、 ３
フランジ、 ４ 管路システム、 ５ リング、 ６
フランジ、 ７ シール、 ８ 内側シリンダ、 ９
くさびリング
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 クリス ロルフ イギリス国 ハートウェル／ノーサンプト ン セイキー ローン ロッジ コテージ ズ ２

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 流動媒体を案内する直線的なコリオリ・
    測定管（１）と、コリオリ・測定管（１）に対応配置さ
    れた、コリオリ・測定管（１）を励振する少なくとも１
    つの振動発生手段と、コリオリ・測定管に対応配置され
    た、コリオリ力を検出及び／又はコリオリ力に起因する
    振動を検出する少なくとも１つの測定値受信手段とを有
    する、コリオリ・原理に従って作業する流量センサにお
    いて、コリオリ・測定管（１）がセラミックから形成さ
    れていることを特徴とする、流量センサ。
  2. 【請求項２】 コリオリ・測定管（１）が、酸化ジルコ
    ニウム、窒化・セラミック又は酸化アルミニウム、特に
    ５％以上のジルコニウムを含有する、ジルコニウムで安
    定化された酸化アルミニウムから形成されている、請求
    項１記載の流量センサ。
  3. 【請求項３】 フランジ（３）を有する外側ケーシング
    （２）が設けられていて、該フランジを用いて流量セン
    サが管路システム（４）に組込可能である、請求項１又
    は２記載の流量センサ。
  4. 【請求項４】 コリオリ・測定管（１）が管路システム
    （４）から発してコリオリ・測定管（１）の長手方向で
    作用する力に関し管路システム（４）から減結合されて
    いるように、コリオリ・測定管（１）が管路システム
    （４）に組込まれている、請求項３記載の流量センサ。
  5. 【請求項５】 コリオリ・測定管（１）が、両端のうち
    の少なくとも一端で、外側ケーシング（２）に不動に連
    結されている、請求項３又は４記載の流量センサ。
  6. 【請求項６】 コリオリ・測定管（１）が、少なくとも
    一方の端部領域で、コリオリ・測定管（１）に不動に連
    結されるリング（５）を有していてかつ該リング（５）
    を介して外側ケーシング（２）に連結されている、請求
    項５記載の流量センサ。
  7. 【請求項７】 リング（５）が、収縮嵌め又は焼き嵌め
    されている、請求項６記載の流量センサ。
  8. 【請求項８】 コリオリ・測定管（１）が、両端のうち
    の一端で、コリオリ・測定管（１）の長手方向で外側ケ
    ーシング（２）に対して相対的に移動可能に支承されて
    いる、請求項４から７までのいずれか１項記載の流量セ
    ンサ。
  9. 【請求項９】 コリオリ・測定管（１）が、両端で、コ
    リオリ・測定管（１）の長手方向で外側ケーシング
    （２）に対して相対的に移動可能に支承されている、請
    求項４記載の流量センサ。
  10. 【請求項１０】 コリオリ・測定管（１）の端部側の端
    面と該端面に対応配置された管路システム（４）のフラ
    ンジ（６）との間に、シール（７）が設けられている、
    請求項３から９までのいずれか１項記載の流量センサ。
  11. 【請求項１１】 シール（７）が、ゴム又はプラスチッ
    クから形成されている、請求項１０記載の流量センサ。
  12. 【請求項１２】 シール（７）がコリオリ・測定管
    （１）を、一方では外側ケーシング（２）に対してかつ
    他方では管路システム（４）に対してシールしている、
    請求項１０又は１１記載の流量センサ。
  13. 【請求項１３】 シール（７）が、半径方向外側に環状
    の突起を有していてかつ該突起によってコリオリ・測定
    管（１）と外側ケーシング（２）との間でコリオリ・測
    定管（１）に設けられるリング（５）にまで突出してい
    る、請求項１０から１２までのいずれか１項記載の流量
    センサ。
  14. 【請求項１４】 シール（７）が、外側ケーシング
    （２）に対して相対的に移動可能なコリオリ・測定管端
    部を弾性的に固定するために用いられる、請求項１０か
    ら１３までのいずれか１項記載の流量センサ。
  15. 【請求項１５】 コリオリ・測定管（１）の壁厚さが、
    少なくとも一方の端部領域で中央領域におけるよりも厚
    く形成されている、請求項１０から１４までのいずれか
    １項記載の流量センサ。
  16. 【請求項１６】 コリオリ・測定管（１）が、中央領域
    で１ｍｍ以下の壁厚さを有している、請求項１５記載の
    流量センサ。
  17. 【請求項１７】 コリオリ・測定管（１）の端部領域に
    固定された内側シリンダ（８）が設けられている、請求
    項１から１６までのいずれか１項記載の流量センサ。
  18. 【請求項１８】 内側シリンダ（８）内に、コリオリ・
    測定管（１）に対応配置されかつコリオリ・測定管
    （１）を励振する振動発生手段、及び／又は、コリオリ
    ・測定管（１）に対応配置されかつコリオリ力を検出及
    び／又はコリオリ力に起因する振動を検出する測定値受
    信手段が設けられている、請求項１７記載の流量セン
    サ。
  19. 【請求項１９】 コリオリ・測定管（１）が管路システ
    ム（４）から発してコリオリ・測定管（１）に作用する
    曲げ力に関し管路システム（４）から減結合されている
    ように、コリオリ・測定管（１）が管路システム（４）
    に組込まれている、請求項３から１８までのいずれか１
    項記載の流量センサ。
  20. 【請求項２０】 コリオリ・測定管（１）の端部領域で
    コリオリ・測定管（１）と外側ケーシング（２）との間
    に、コリオリ・測定管（１）の長手軸線に対してほぼ垂
    直方向で弾性変形可能なそれぞれ１つのクッションリン
    グが設けられている、請求項１９記載の流量センサ。
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