JP2001183143A

JP2001183143A - 角速度センサ

Info

Publication number: JP2001183143A
Application number: JP36998099A
Authority: JP
Inventors: Masaya Tamura; 昌弥田村
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1999-12-27
Filing date: 1999-12-27
Publication date: 2001-07-06

Abstract

(57)【要約】【課題】角速度を感度良く、かつ、正確に検出する。【解決手段】固定基板２のＸ、Ｙ二次元平面方向の面
に間隔を介して平面振動体５を対向配置する。平面振動
体５は枠体６の内側に振動子７が連結梁８によって連結
された結合体であり、平面振動体５全体が可動側櫛歯電
極１４と固定側櫛歯電極１５から成る励振器によってＸ
方向に励振振動する。枠体６と振動子７間の隙間は、平
面振動体５のＸ方向の励振振動中に、枠体６に対する振
動子７のＸ方向の振動およびねじれ振動を空気のダンピ
ングによって抑制する間隔ｄに狭くなっている。角速度
センサ１の駆動中における振動子７の不要振動が抑制さ
れることとなり、角速度センサ１の検出感度を高め、か
つ、正確さの信頼性を向上させることが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、角速度を検出する
角速度センサに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図４（ａ）には本出願人が提案している
角速度センサの一例が上面図により示され、図４（ｂ）
には図４（ａ）に示すα−α部分の断面図が示され、図
４（ｃ）には図４（ａ）に示すβ−β部分の断面図が示
されている。図４（ａ）〜（ｃ）に示す角速度センサ１
はマイクロマシニング技術により作製される微細な素子
であり、ガラスの固定基板２に単結晶シリコンを接合
し、その単結晶シリコンをドライエッチング等によって
設定のパターンにして作製されるものである。

【０００３】図４（ａ）〜（ｃ）に示すように、固定基
板２のＸ、Ｙ二次元平面方向の面である上面２ａにはキ
ャビテ（凹部）４が形成されている。このキャビテ４の
底面４ａは上記上面２ａと同様にＸ、Ｙ二次元平面方向
の面と成しており、この底面４ａにＹ方向に間隔を介し
て平面振動体５が対向配置されている。

【０００４】この図４に示す平面振動体５は枠体６の内
側に振動子７が４本の連結梁（検出梁）８によって連結
されて成る結合体である。上記振動子７は四角形状と成
し、上記各連結梁８はＬ字形状と成しており、上記振動
子７の四隅部にはそれぞれ上記連結梁８におけるＬ字形
状の短辺９の先端側が連通接続されている。各連結梁８
におけるＬ字形状の長辺１０は上記短辺９側から枠体６
の辺に沿って間隔を介し伸長形成され、各連結梁８の長
辺１０の伸長先端側はそれぞれ枠体６の隅部に連通接続
されている。

【０００５】上記のような平面振動体５を囲むように複
数（図４では４個）の固定部１３が間隔を介して固定基
板２上に固定配設されており、上記平面振動体５は各固
定部１３に鉤爪形状の支持梁（駆動梁）１２を介してＸ
方向に振動可能に支持固定されている。

【０００６】上記平面振動体５の図の左右両側にはそれ
ぞれＸ方向の外側に向けて可動側櫛歯電極１４（１４
ａ，１４ｂ）が設けられており、また、この可動側櫛歯
電極１４と間隔を介して噛み合うように固定側櫛歯電極
１５（１５ａ，１５ｂ）が固定部１６から伸長形成され
ている。

【０００７】上記可動側櫛歯電極１４と固定側櫛歯電極
１５の組によって、平面振動体５をＸ方向に励振振動さ
せる励振器が構成されている。つまり、上記固定側櫛歯
電極１５ａ，１５ｂにはそれぞれ固定部１６を通じて導
電パターンが導通接続されており、例えば、その導電パ
ターンを介して固定側櫛歯電極１５ａ，１５ｂにそれぞ
れ位相が互いに１８０°異なる交流電圧を印加すること
によって、可動側櫛歯電極１４ａと固定側櫛歯電極１５
ａ間と、可動側櫛歯電極１４ｂと固定側櫛歯電極１５ｂ
間とにそれぞれ互いに逆向きの静電力が発生し、この静
電力によって上記平面振動体５をＸ方向に励振振動させ
ることができる。

【０００８】図４（ｂ）に示すように、上記固定基板２
のキャビテ４の底面４ａには平面振動体５の振動子７に
間隔を介して対向する固定検出電極１７が設けられてい
る。また、固定基板２の上面２ａには上記平面振動体５
の対向領域から外れた領域に電極パッド１８が形成さ
れ、この電極パッド１８と上記固定検出電極１７を導通
接続する導電パターン１９が形成されている。

【０００９】この提案の角速度センサ１では、振動子７
は導電材料である単結晶シリコンにより構成されて振動
子７自体が移動側検出電極として機能するものであり、
この振動子７と固定検出電極１７の組によって、振動子
７と固定検出電極１７間の静電容量に応じた電気信号が
導電パターン１９を介して電極パッド１８から信号処理
部（図示せず）に出力される。

【００１０】この図４に示す提案の角速度センサ１にお
いては、固定側櫛歯電極１５ａ，１５ｂへの交流電圧の
印加によって平面振動体５がＸ方向に励振振動している
ときに、角速度センサ１がＹ軸を回転軸として回転する
と、Ｘ、Ｙ二次元平面方向に直交するＺ方向にコリオリ
力が発生する。このコリオリ力によって平面振動体５の
振動子７が図６（ａ）、（ｂ）に示すようにＺ方向に検
出振動する。この振動子７のＺ方向の検出振動によっ
て、振動子７と固定検出電極１７間の間隔が変化して振
動子７と固定検出電極１７間の静電容量が変化し、この
静電容量に応じた電気信号に基づいてＹ軸回りの角速度
の大きさ等が検出される。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記構成の
角速度センサ１では、平面振動体５のＸ方向の励振振動
中にＹ軸回りの回転が無いときには、図５（ａ）〜
（ｃ）に示すように、平面振動体５の枠体６と振動子７
は一体的にＸ方向にＸ、Ｙ二次元平面方向に沿って水平
に励振振動することが望ましい。換言すれば、平面振動
体５のＸ方向の励振振動中にＹ軸回りの回転が無いとき
には、枠体６を基準にして振動子７を見たときに、振動
子７は枠体６に対して動いていない状態であること、さ
らに、固定基板２に対しても距離が変わらない（平面振
動体５と固定検出電極１７間の静電容量が変化しない）
状態であることが望ましい。

【００１２】しかしながら、マイクロマシニング技術の
加工精度の問題によって、上記振動子７や連結梁８の形
状や寸法等を設計通りに作製できない場合があり、この
ことに起因して、上記図４に示す構成の角速度センサ１
では、平面振動体５のＸ方向の励振振動中に、図７
（ａ）〜（ｃ）に示すように枠体６に対して振動子７が
Ｘ方向に振動したり、図８（ａ）〜（ｃ）に示すように
枠体６に対して振動子７がねじれ振動する場合がある。

【００１３】上記図７（ａ）〜（ｃ）に示すように、平
面振動体５のＸ方向の励振振動中に、振動子７が枠体６
に対してＸ方向に振動して、固定基板２に対する振動子
７の振動振幅が設定の理想的な振幅よりも小さくなる
と、角速度センサ１のＹ軸回りの回転に起因して発生す
るコリオリ力が小さくなってしまう。このため、Ｙ軸回
りの角速度検知の感度が悪くなるという問題が生じる。

【００１４】また、振動子７が枠体６に対してＸ方向に
振動すると、上記励振器による平面振動体５全体の振動
と、上記振動子７の振動とに位相のずれが生じてしまう
こととなり、この位相ずれに起因して角速度検出の信号
処理の分解能が悪化して角速度を正確に検知することが
できなくなってしまうという問題が生じる。

【００１５】さらに、上記のように、平面振動体５のＸ
方向の励振振動中に、振動子７が枠体６に対してねじれ
振動すると、コリオリ力に関係なく、振動子７と固定検
出電極１７間の間隔が変化してしまい、これにより、角
速度検出用の電気信号にノイズとしてのゆらぎが発生し
て角速度検出の正確さが損なわれるという問題が生じ
る。

【００１６】この発明は上記課題を解決するために成さ
れたものであり、その目的は、平面振動体のＸ方向の励
振振動中に、枠体に対する振動子のＸ方向の振動および
ねじれ振動を抑制して、角速度を感度良く、かつ、正確
に検出することができる角速度センサを提供することに
ある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は次に示す構成をもって前記課題を解決す
る手段としている。すなわち、第１の発明は、枠体の内
側に振動子が連結梁を介して連結されて成る平面振動体
は支持梁によってＸ、Ｙ二次元平面方向のＸ方向に振動
可能に固定基板に支持されており、上記平面振動体の振
動子は枠体に対してＸ、Ｙ二次元平面方向に垂直なＺ方
向に振動可能となっており、コリオリ力による上記振動
子のＺ方向の振動に基づいてＹ軸回りの角速度を検出す
る角速度センサであって、上記枠体に対する上記振動子
のＸ方向の振動およびねじれ振動を抑制する不要振動抑
制手段が設けられている構成をもって前記課題を解決す
る手段としている。

【００１８】第２の発明は、上記第１の発明の構成を備
え、振動子とその振動子を囲む枠体との隙間のうち、少
なくとも振動子と枠体とがＸ方向に間隙を介して対向し
隣り合っている領域の隙間が、枠体に対する振動子のＸ
方向の振動およびねじれ振動を空気のダンピングによっ
て抑制する間隔に狭められて不要振動抑制手段と成して
いることを特徴として構成されている。

【００１９】第３の発明は、上記第１又は第２の発明の
構成を備え、枠体と振動子を連結する連結梁はＸ方向に
伸長形成されていることを特徴として構成されている。

【００２０】第４の発明は、上記第１又は第２の発明の
構成を備え、Ｙ方向に伸長形成された短小の連結梁が２
本以上Ｘ方向に間隔を介し配置されて枠体と振動子を連
結していることを特徴として構成されている。

【００２１】上記構成の発明において、例えば、振動子
とその振動子を囲む枠体との隙間を、枠体に対する振動
子のＸ方向の振動およびねじれ振動を空気のダンピング
によって抑制する間隔に狭める。これにより、平面振動
体をＸ方向に振動させたときに、枠体に対する振動子の
上記のような不要振動は空気のダンピングにより抑制さ
れて平面振動体の全体が一体的にＸ方向に振動すること
となる。

【００２２】このように、振動子の不要振動を抑制する
ことができるので、振動子の不要振動に起因した様々な
問題発生を防止することができる。また、上記のように
振動子と枠体との隙間を狭めても、振動子のＺ方向の振
動には影響を殆ど与えないので、振動子は空気のダンピ
ングの影響を殆ど受けずにＺ方向に振動することができ
る。このことから、コリオリ力に応じて振動子は感度良
くＺ方向に振動することができる。

【００２３】上記のように、本発明において特徴的な構
成を備えることにより、角速度を感度良く、かつ、正確
に検出することが可能な角速度センサを提供することが
できる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下に、この発明に係る実施形態
例を図面に基づいて説明する。

【００２５】図１（ａ）には本発明に係る角速度センサ
の第１の実施形態例が上面図により示され、図１（ｂ）
には図１（ａ）に示すα−α部分の断面図が示されてい
る。なお、この第１の実施形態例の説明において、前記
図４に示す提案例の角速度センサと同一構成部分には同
一符号を付し、その共通部分の重複説明は省略する。

【００２６】この第１の実施形態例において最も特徴的
なことは、平面振動体５の枠体６と振動子７との隙間、
特に、図１（ａ）の点線Ｓにより囲まれた領域（振動子
７と枠体６とがＸ方向に間隙を介して対向し隣り合って
いる領域）の隙間を振動子７の不要振動（つまり、枠体
６に対する振動子７のＸ方向の振動およびねじれ振動）
を抑制する間隔ｄに狭めたことである。この間隔ｄ（例
えば数μｍ）により不要振動抑制手段が構成されてい
る。

【００２７】すなわち、図２に示すように固定部の壁面
に間隔を介して振動体が対向配置されている場合に、そ
の振動体と壁面との間隔が狭いと、振動体を図２の矢印
Ａに示す方向に振動させようとしても、振動子と壁面間
の空気のダンピングの影響が大きく、振動体は振動し難
い。本発明者は上記空気のダンピングに着目し、この第
１の実施形態例では、上記のように振動子７の図１の左
端縁と枠体６との隙間、および、振動子７の右端縁と枠
体６との隙間を狭めて、換言すれば、非常に狭い隙間に
よって振動子７の左右両側を挟み込むことによって、そ
の狭い隙間の空気のダンピングによって、枠体６に対す
る振動子７の不要振動を抑制する構成とした。

【００２８】上記振動子７の不要振動を抑制することが
できる枠体６と振動子７の間隔ｄは、枠体６および振動
子７の形状、寸法、重さ、周囲の圧力等の様々な条件に
基づいて定まるものであり、この第１の実施形態例で
は、枠体６と振動子７間の隙間は実験によって求めた最
適な間隔ｄとなっている。もちろん、振動子７と枠体６
とがＸ方向に間隙を介して対向し隣り合っている領域Ｓ
の隙間だけでなく、振動子７と該振動子７を囲む枠体６
との全周の隙間を上記最適な間隔ｄに狭めてもよいもの
である。

【００２９】また、図２に示すように、振動子が図２の
矢印Ｂや紙面に垂直な方向等の、壁面に沿う方向に振動
する場合には、振動子は、該振動子と壁面間の空気のダ
ンピングの影響が小さいため、円滑に振動することがで
きる。このことから、この第１の実施形態例では、振動
子７は角速度に起因したコリオリ力を受けたＺ方向の振
動には殆ど影響を与えない。

【００３０】さらに、この第１の実施形態例では、図１
（ａ）に示すように、枠体６の右上方の内側からＸ方向
に沿って連結梁８（８ａ）が左向きに伸長形成され、ま
た、枠体６の左下方の内側からＸ方向に沿って連結梁８
（８ｂ）が右向きに伸長形成されており、これら各連結
梁８ａ，８ｂの伸長先端側に振動子７が連通接続されて
いる。

【００３１】この第１の実施形態例によれば、上記のよ
うに、枠体６と振動子７間の隙間を枠体６に対する振動
子７のＸ方向の振動およびねじれ振動を抑制する間隔ｄ
に狭めているので、枠体６に対する振動子７のＸ方向の
振動およびねじれ振動を抑制することができる。これに
より、平面振動体５のＸ方向の励振振動中に、枠体６と
振動子７は一体的に理想的に振動することができる。

【００３２】これにより、枠体６に対する振動子７のＸ
方向の振動およびねじれ振動に起因した問題発生を防止
することができる。つまり、枠体６に対する振動子７の
Ｘ方向の振動に起因して、固定基板２に対する振動子７
の振動振幅が設定の振動振幅よりも小さくなってしまう
という問題および平面振動体５全体の振動と振動子７の
振動に位相のずれが生じ該位相ずれに因る角速度検出の
信号処理の分解能が悪くなり、角速度を正確に検出でき
なくなるという問題を防止することができる。また、枠
体６に対する振動子７のねじれ振動に起因して、角速度
検出の電気信号にノイズ成分であるゆらぎが乗ってしま
って上記同様に角速度検出の信号処理の分解能が悪くな
り、角速度を正確に検出できなくなるという問題を回避
することができる。

【００３３】この第１の実施形態例では、上記のよう
に、平面振動体５全体を理想的に励振振動させることが
できるので、Ｙ軸回りの角速度が発生したときに、振動
子７はＺ方向に感度良く振動することとなり、角速度セ
ンサ１の角速度検知の感度を向上させることが容易とな
る。また、上記の如く、平面振動体５全体の振動と振動
子７の振動との位相ずれの問題や、振動子７のねじれ振
動に起因したノイズ成分が角速度検出の電気信号に乗っ
てしまうという問題を防止することができるので、角速
度検出の信号処理の分解能の劣化を回避することができ
て、角速度を正確に検出することが可能となる。

【００３４】さらに、この第１の実施形態例では、連結
梁８は枠体６の内側からＸ方向に伸長形成されて枠体６
と振動子７を連結しているので、この連結梁８によっ
て、上記枠体６に対する振動子７のＸ方向振動の抑制効
果をさらに高めることができる。また、振動子７は２本
の連結梁８によって枠体６に連結され、それら振動子７
と連結梁８の接続部は振動子７の対角線上に位置してい
るので、枠体６に対する振動子７のねじれ振動をより確
実に抑制することができることとなる。

【００３５】上記のように、この第１の実施形態例にお
いて特徴的な構成を備えることによって、高感度、か
つ、正確さの信頼性が高い角速度センサを提供すること
が可能となる。

【００３６】以下に、第２の実施形態例を説明する。こ
の第２の実施形態例の説明において、前記第１の実施形
態例と同一構成部分には同一符号を付し、その共通部分
の重複説明は省略する。

【００３７】図３（ａ）には第２の実施形態例における
角速度センサが上面図により示されている。この第２の
実施形態例では、枠体６の図の左上隅部と右上隅部の内
側からＹ方向に沿って図３（ａ）の下向きに連結梁８
（８ａ，８ｂ）がそれぞれ伸長形成されており、これら
連結梁８ａ，８ｂの各伸長先端側に振動子７が接続され
ている。

【００３８】この第２の実施形態例では、連結梁８ａ，
８ｂは、前記第１の実施形態例に述べたような枠体６と
振動子７間の微小隙間による効果と相俟って、枠体６に
対する振動子７のＸ方向の振動およびねじれ振動をより
確実に抑制することができる長さに短く形成されてい
る。その枠体６に対する振動子７のＸ方向の振動および
ねじれ振動を抑制する連結梁８の適切な長さは連結梁８
の形状や寸法等によって定まるものであり、この第２の
実施形態例では、連結梁８は実験によって得られた最適
な長さに短く形成されている。

【００３９】この第２の実施形態例によれば、前記第１
の実施形態例と同様に、枠体６と振動子７の隙間、特
に、枠体６と振動子７がＸ方向に間隙を介して対向し隣
り合っている領域（図３（ａ）の点線Ｓによって囲まれ
ている領域）の隙間ｄを、枠体６に対する振動子７のＸ
方向の振動およびねじれ振動を抑制する間隔ｄに狭めて
いるので、平面振動体５全体がＸ方向に励振振動してい
るときに、枠体６に対して振動子７がＸ方向に振動した
り、ねじれ振動する等の振動子７の不要振動を抑制し
て、平面振動体５全体を一体的に理想的に振動させるこ
とができる。これにより、角速度を感度良く、かつ、正
確に検出できることとなる。

【００４０】また、この第２の実施形態例では、連結梁
８を短く形成して枠体６に対する振動子７のＸ方向の振
動抑制効果を高め、かつ、その短小な連結梁８をＹ方向
に間隔を介して配置して枠体６と振動子７を連結して振
動子７のねじれ振動の抑制効果を高める構成と成してい
るので、より確実に、枠体６に対する振動子７のＸ方向
の振動およびねじれ振動を抑制することができることと
なる。

【００４１】上記のことから、角速度検出感度に優れ、
かつ、正確さの信頼性が高い角速度センサを提供するこ
とが可能となる。

【００４２】なお、図３（ａ）に示す例では、振動体７
の図の下辺７Ａと枠体６とは平行状態であったが、図３
（ｂ）に示すように、振動体７の下辺７Ａと枠体６とを
互いに間隔を介して噛み合う櫛歯形状としてもよい。こ
の場合には、上記したような枠体６に対する振動子７の
Ｘ方向の振動およびねじれ振動を抑制することができる
という効果をより大きく得ることができる。また、振動
子７の図の左・右側に関しても、上記同様に、櫛歯形状
としてもよい。

【００４３】なお、この発明は上記各実施形態例に限定
されるものではなく、様々な実施の形態を採り得る。例
えば、上記各実施形態例では、上記固定基板２はガラス
により構成されていたが、固定基板２はシリコン等の他
の材料により構成されたものでもよい。

【００４４】また、平面振動体５は枠体６の内側に振動
子７が連結梁８を介してＸ方向に振動可能に連結されて
いる構成を備えていればよく、枠体６、振動子７、連結
梁８の形状および形成位置等は、上記各実施形態例に限
定されるものではない。

【００４５】さらに、上記各実施形態例では、振動子７
は単結晶シリコンにより構成されており、振動子７自体
が移動側検出電極として機能する構成であったが、振動
子７が電気抵抗の悪い材料により構成されている場合に
は、振動子７上に移動側検出電極を形成する構成として
もよい。

【００４６】

【発明の効果】この発明によれば、不要振動抑制手段を
設けたので、この不要振動抑制手段によって、枠体に対
する振動子のＸ方向の振動およびねじれ振動を抑制する
ことができる。上記枠体に対する振動子のＸ方向の振動
およびねじれ振動が発生すると、そのような不要振動に
起因して角速度検出の感度が悪くなってしまうという問
題や、角速度を正確に検出することができなくなるとい
う問題が生じるが、この発明では、上記のように、上記
不要振動を抑制することができるので、その不要振動に
起因した問題発生を防止することができ、高感度、か
つ、正確さの信頼性が高い角速度センサを提供すること
ができる。

【００４７】振動子とその振動子を囲む枠体との隙間の
うち、少なくとも振動子と枠体とがＸ方向に間隙を介し
て対向し隣り合っている領域の隙間が、枠体に対する振
動子のＸ方向の振動およびねじれ振動を空気のダンピン
グによって抑制する間隔に狭められて不要振動抑制手段
と成しているものにあっては、簡単な構造で、効果的
に、枠体に対する振動子のＸ方向の振動およびねじれ振
動を抑制することができる。しかも、上記のように、枠
体と振動子の隙間を狭めても、振動子に対するその枠体
と振動子間の隙間の空気のダンピングの影響は小さく、
振動子はその空気のダンピングの影響を殆ど受けずにＺ
方向に振動することができるので、上記のような振動子
の不要振動を抑制しつつ、角速度に起因したコリオリ力
が発生した場合には振動子をＺ方向に感度良く振動させ
ることが可能である。

【００４８】連結梁はＸ方向に伸長形成されているもの
や、Ｙ方向に伸長形成された短小の連結梁が２本以上Ｘ
方向に間隔を介して配置されて枠体と振動子を連結して
いるものにあっては、連結梁によって、上記振動子の不
要振動抑制効果をさらに向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る角速度センサの第１の実施形態例
を示す説明図である。

【図２】振動体の振動に対する空気のダンピングの影響
を説明するための図である。

【図３】第２の実施形態例を示す説明図である。

【図４】本出願人が提案している角速度センサの一例を
示す説明図である。

【図５】図４に示す平面振動体の理想的なＸ方向の励振
振動状態を説明するための図である。

【図６】図４に示す振動子におけるコリオリ力に起因し
たＺ方向の振動状態を説明するための図である。

【図７】平面振動体のＸ方向の励振振動中に、枠体に対
して振動子がＸ方向に振動している状態を説明するため
の図である。

【図８】平面振動体のＸ方向の励振振動中に、枠体に対
して振動子がねじれ振動している状態を説明するための
図である。

【符号の説明】

１角速度センサ２固定基板５平面振動体６枠体７振動子８連結梁１２支持梁１７固定検出電極

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】枠体の内側に振動子が連結梁を介して連
結されて成る平面振動体は支持梁によってＸ、Ｙ二次元
平面方向のＸ方向に振動可能に固定基板に支持されてお
り、上記平面振動体の振動子は枠体に対してＸ、Ｙ二次
元平面方向に垂直なＺ方向に振動可能となっており、コ
リオリ力による上記振動子のＺ方向の振動に基づいてＹ
軸回りの角速度を検出する角速度センサであって、上記
枠体に対する上記振動子のＸ方向の振動およびねじれ振
動を抑制する不要振動抑制手段が設けられていることを
特徴とした角速度センサ。
【請求項２】振動子とその振動子を囲む枠体との隙間
のうち、少なくとも振動子と枠体とがＸ方向に間隙を介
して対向し隣り合っている領域の隙間が、枠体に対する
振動子のＸ方向の振動およびねじれ振動を空気のダンピ
ングによって抑制する間隔に狭められて不要振動抑制手
段と成していることを特徴とした請求項１記載の角速度
センサ。
【請求項３】枠体と振動子を連結する連結梁はＸ方向
に伸長形成されていることを特徴とした請求項１又は請
求項２記載の角速度センサ。
【請求項４】Ｙ方向に伸長形成された短小の連結梁が
２本以上Ｘ方向に間隔を介し配置されて枠体と振動子を
連結していることを特徴とした請求項１又は請求項２記
載の角速度センサ。