JP2001177017A - Electronics cooling device - Google Patents

Electronics cooling device

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JP2001177017A
JP2001177017A JP35548699A JP35548699A JP2001177017A JP 2001177017 A JP2001177017 A JP 2001177017A JP 35548699 A JP35548699 A JP 35548699A JP 35548699 A JP35548699 A JP 35548699A JP 2001177017 A JP2001177017 A JP 2001177017A
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JP
Japan
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package
heat
heat sink
compound
grease
Prior art date
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Pending
Application number
JP35548699A
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Japanese (ja)
Inventor
Shigeo Ohashi
繁男 大橋
Yoshihiro Kondo
義広 近藤
Takahiro Oguro
崇弘 大黒
Takayuki Uda
隆之 宇田
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To connect a package consisting of a porous material and a heat sink with each other at a low contact heat resistance in the case where there are large undurations on the contact surface of the package to the heat sink. SOLUTION: A sheet formed by coating a compound 71 on a base material 70 having barrier properties to the component of oil is installed on the side of a package and a heat conductive grease is made to interpose between the sheet and the heat sink to connect the package with the heat sink.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、コンピュ−タなど
の電子機器装置に用いられる発熱素子とヒートシンクと
の熱接続構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heat connecting structure between a heat generating element and a heat sink used in an electronic apparatus such as a computer.

【0002】[0002]

【従来の技術】コンピュ−タ等の電子機器装置では、高
発熱の半導体等の発熱素子を冷却するため、発熱素子に
ヒートシンクを取り付ける。発熱素子とヒートシンクと
を接触させると、一般に、それぞれの表面での粗さ、う
ねりのため大きな接触熱抵抗が生じる。このため、両者
の間に熱伝導性のグリースを介在させたり、熱伝導性の
柔軟ゴムシート等を挟み込んでいる。前者の例は、たと
えば、特開昭64−12561号公報等に、後者の例は、特開
平2−196453 号公報等に見られる。また、アルミなどの
基材に熱融解性のコンパウンドを塗布したシートを挟み
込んで、コンパウンドが融解することによって表面での
粗さ,うねりを吸収するようにしたシートもある。
2. Description of the Related Art In an electronic apparatus such as a computer, a heat sink is attached to a heating element in order to cool a heating element such as a semiconductor which generates a large amount of heat. When the heating element and the heat sink are brought into contact with each other, a large contact thermal resistance generally occurs due to roughness and undulation on each surface. For this reason, a thermally conductive grease is interposed between the two, or a thermally conductive flexible rubber sheet or the like is interposed. The former example is found, for example, in JP-A-64-12561, and the latter example is found in JP-A-2-196453. There is also a sheet in which a sheet in which a heat-meltable compound is applied to a base material such as aluminum is sandwiched so that the compound is melted to absorb the roughness and undulation on the surface.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】コンピュ−タ等の電子
機器装置に用いられる半導体素子は、機械的な制約上、
セラミックなどのケースにパッケージされることが多
い。この場合、セラミックは高熱伝導性の材料である必
要があるが、材料によっては、ポーラス状になってい
る。ポーラス状の材質より成るパッケージとヒートシン
クの接触面に大きなうねりを有する場合、従来例にある
ような熱伝導性グリースを使用することによって、接触
熱抵抗の低減が可能である。しかし、グリース中の液
(油)成分がパッケージ内に入り込んでしまうという問
題点があった。
A semiconductor element used for an electronic device such as a computer is subject to mechanical restrictions.
Often packaged in a case such as ceramic. In this case, the ceramic needs to be a material having high thermal conductivity, but depending on the material, the ceramic has a porous shape. If the contact surface between the package made of a porous material and the heat sink has a large undulation, the contact thermal resistance can be reduced by using a thermally conductive grease as in the conventional example. However, there is a problem that the liquid (oil) component in the grease enters the package.

【0004】一方、熱伝導性の柔軟ゴムシートやコンパ
ウンドを塗布したシートでは、大きなうねりを吸収する
ためには、ゴムシートもしくはコンパウンドの厚さを大
きくする必要があり熱抵抗を小さくすることが困難であ
る(これらは、一般に熱伝導性グリースより熱伝導率が
小さいため)という問題があった。
On the other hand, in the case of a heat conductive flexible rubber sheet or a sheet coated with a compound, it is necessary to increase the thickness of the rubber sheet or the compound in order to absorb a large undulation, and it is difficult to reduce the thermal resistance. (Because these are generally lower in thermal conductivity than the thermally conductive grease).

【0005】これらの課題を解決するため、本発明の目
的は、ポーラス状の材質より成るパッケージとヒートシ
ンクの接触面に大きなうねりを有する場合においても、
小さい接触熱抵抗でパッケージとヒートシンクの接続が
できる構造を提供することにある。
[0005] In order to solve these problems, an object of the present invention is to provide a case where a contact surface between a package made of a porous material and a heat sink has a large undulation.
An object of the present invention is to provide a structure capable of connecting a package and a heat sink with low contact thermal resistance.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、液(油)成分に対して非透過性のシート状基材の各
々の面に厚さの異なる流動性を有する熱伝導媒体層(少
なくとも一方は、パッケージに対して非浸透性を有す
る)を形成し、パッケージに対して非浸透性の熱伝導媒
体の層をパッケージ側にして、パッケージとヒートシン
クとの間に介在させて両者を接続した。この時、厚さの
厚い方の熱伝導媒体の熱伝導率を他方より大きくする。
Means for Solving the Problems To achieve the above object, a heat conductive medium layer having a fluidity having a different thickness on each surface of a sheet-like substrate impermeable to liquid (oil) components. (At least one of which is impervious to the package), and the layer of the heat-conducting medium that is impervious to the package is placed on the package side. Connected. At this time, the thermal conductivity of the thicker thermal conductive medium is made higher than that of the other thermal conductive medium.

【0007】即ち、熱伝導媒体は、流動性があるため、
パッケージとヒートシンクの接触面に大きなうねりがあ
っても、両者の間にできる間隙に入り込むことができ
る。一方、シート状基材は、熱伝導媒体の圧力によっ
て、パッケージのうねった面に倣って変形できる。従っ
て、パッケージとヒートシンクの接触面でのうねりに起
因してできる間隙は、熱伝導媒体をシート状基材ととも
に用いても厚さの厚いほうの熱伝導媒体によって埋めら
れる。
That is, since the heat conduction medium has fluidity,
Even if there is a large undulation on the contact surface between the package and the heat sink, it can enter the gap formed between the two. On the other hand, the sheet-like substrate can be deformed following the undulating surface of the package due to the pressure of the heat transfer medium. Therefore, the gap created due to the undulation at the contact surface between the package and the heat sink is filled with the thicker heat conduction medium even when the heat conduction medium is used together with the sheet-like base material.

【0008】一方、パッケージとシート状基材の間に生
じるパッケージの表面粗さに起因してできる間隙は、厚
さの薄いほうの熱伝導媒体によって埋められる。このと
き、特に、厚さの厚いほうの熱伝導媒体の熱伝導率をよ
り大きくすることで放熱性能が高くなる。従って、パッ
ケージとヒートシンクの接触面に大きなうねりを有する
場合においても、小さい接触熱抵抗でパッケージとヒー
トシンクの接続ができる。
On the other hand, the gap formed between the package and the sheet-like base material due to the surface roughness of the package is filled with the thinner heat conductive medium. At this time, in particular, the heat dissipation performance is improved by increasing the thermal conductivity of the thicker heat conductive medium. Therefore, even when the contact surface between the package and the heat sink has a large undulation, the connection between the package and the heat sink can be made with a small contact thermal resistance.

【0009】また、シート状基材は、油成分に対してバ
リア性を有するので、熱伝導媒体(層厚の厚い方)に含
まれる油成分がパッケージ表面まで達することがない。
(パッケージ側の熱伝導媒体は、パッケージに対して非
浸透性である。)すなわち、パッケージの材質がポーラ
ス状であっても、熱伝導媒体中の油成分がパッケージ内
に入り込んでしまうということはない。
Further, since the sheet-like base material has a barrier property against the oil component, the oil component contained in the heat conduction medium (thicker layer) does not reach the package surface.
(The heat conductive medium on the package side is impervious to the package.) That is, even if the material of the package is porous, the oil component in the heat conductive medium does not enter the package. Absent.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を示す。図
1,図2に本発明の電子装置の一実施例を示す。図1
は、パッケージされた高発熱の発熱素子4(例えばコン
ピュータのCPU等)が配線基板9上に実装された部分の
断面図を示している。発熱素子4は、配線拡大基板5上
に実装され、パッケージ3のキャップによって封止され
ている。発熱素子4とパッケージ3のキャップとはAg
ペースト等により接着されており、発熱素子4で発生す
る熱は、小さい熱抵抗でパッケージ3のキャップに伝え
られ、パッケージ3のキャップに取り付けられたヒート
シンク1によって放熱される。
Embodiments of the present invention will be described below. 1 and 2 show an embodiment of the electronic device of the present invention. FIG.
3 is a cross-sectional view of a portion where the packaged high-heat generating element 4 (for example, a CPU of a computer) is mounted on the wiring board 9. The heating element 4 is mounted on the wiring expansion board 5 and is sealed by a cap of the package 3. The heating element 4 and the cap of the package 3 are made of Ag.
The heat generated by the heating element 4 is bonded to the cap of the package 3 with a small thermal resistance and is radiated by the heat sink 1 attached to the cap of the package 3.

【0011】パッケージ3のキャップは、熱伝導率の大
きいセラミック製であることが望ましく、AlSi等が
用いられる。パッケージは、ソケット6を介して配線基
板9に取り付けられ、電気的な接続が行われる。パッケ
ージ3とフィン1のフィンベース2とは、熱伝導媒体及
びシート状基材を組み合わせた熱伝導部材7を介在させ
て接続する。
The cap of the package 3 is desirably made of ceramic having high thermal conductivity, and AlSi or the like is used. The package is attached to the wiring board 9 via the socket 6, and an electrical connection is made. The package 3 and the fin base 2 of the fin 1 are connected to each other via a heat conductive member 7 in which a heat conductive medium and a sheet-shaped base material are combined.

【0012】フィン1の固定は、ソケット6及び配線基
板9の裏側に設置したバックプレート10とともにビス
8によって固定される。この時、スプリング11を用い
てフィン1が常にパッケージ3に押し付けられるように
している。
The fin 1 is fixed by screws 8 together with the socket 6 and the back plate 10 provided on the back side of the wiring board 9. At this time, the fin 1 is always pressed against the package 3 by using the spring 11.

【0013】図2にフィンベース2とパッケージ3の接
続部の拡大図を示す。フィンベース2とパッケージ3と
の間には、熱伝導媒体としての熱伝導性グリース72,
基材70に熱伝導媒体としてコンパウンド71を塗布し
たシートを介在させる。基材70は、油成分に対してバ
リア性を有する例えばAl箔などである。シート(コン
パウンド71を塗布した側)をパッケージ3側に設置
し、本シートとフィンベース2の間に熱伝導性のグリー
ス72を介在させる。
FIG. 2 is an enlarged view of a connection portion between the fin base 2 and the package 3. A heat conductive grease 72 as a heat transfer medium is provided between the fin base 2 and the package 3.
A sheet on which a compound 71 is applied as a heat transfer medium is interposed on a base material 70. The base material 70 is, for example, an Al foil having a barrier property against an oil component. A sheet (the side on which the compound 71 is applied) is placed on the package 3 side, and a thermally conductive grease 72 is interposed between the sheet and the fin base 2.

【0014】熱伝導グリース72は、Siオイルにフィ
ラー(高熱伝導率を有するセラミック等の微粒子)を混
入したものである。シートに塗布するコンパウンド71
は、少なくともパッケージ3と接触する面に塗布される
(両面に塗布されてもよい)。コンパウンド71は、例
えば50℃前後で融解するワックスなどであり、厚さ
は、パッケージ3の表面に存在する表面粗さが吸収でき
る程度の薄い方が望ましい(厚さ10〜20μm程
度)。
The thermal conductive grease 72 is obtained by mixing a filler (fine particles of ceramic or the like having high thermal conductivity) into Si oil. Compound 71 applied to sheet
Is applied to at least the surface that comes into contact with the package 3 (or may be applied to both surfaces). The compound 71 is, for example, a wax that melts at about 50 ° C., and the thickness is desirably as thin as the surface roughness existing on the surface of the package 3 can absorb (about 10 to 20 μm in thickness).

【0015】グリース72の厚さは、うねりで生じる間
隙(フィンベース2とパッケージ3が持つうねりによっ
て生じる)の大きさが吸収できる程度の厚さとする。従
って、コンパウンド71層の厚さより大きく、数10μ
m以上でもよい。コンパウンド71に比べ熱伝導グリー
ス72は、流動性があるため、パッケージ3とフィンベ
ース2の接触面でのうねりによって生じる間隙があって
も、両者の間にできる間隙に入り込むことができる。
The thickness of the grease 72 is set such that the size of the gap caused by the undulation (generated by the undulation between the fin base 2 and the package 3) can be absorbed. Therefore, it is larger than the thickness of the compound 71 layer and several tens of μm.
m or more. Since the heat conductive grease 72 is more fluid than the compound 71, even if there is a gap caused by undulation on the contact surface between the package 3 and the fin base 2, it can enter the gap formed between the two.

【0016】一方、コンパウンド71を塗布したシート
は、グリース72の圧力によって、パッケージ3のうね
った面に倣って変形できる。一方、パッケージとシート
の間に生じるパッケージ3の表面粗さに起因してできる
間隙は、シートに塗布されたコンパウンド71が発熱素
子の動作に伴うパッケージ表面温度の上昇により融解
し、微小な凹凸に入り込んでいくことによって埋められ
る。なお、フィンベース2の表面粗さに起因してできる
間隙は、熱伝導グリース72によって埋められる。
On the other hand, the sheet on which the compound 71 is applied can be deformed following the undulating surface of the package 3 by the pressure of the grease 72. On the other hand, the gap formed between the package and the sheet due to the surface roughness of the package 3 is caused by the compound 71 applied to the sheet being melted due to the rise in the package surface temperature accompanying the operation of the heating element, resulting in minute irregularities. It is filled by going in. Note that the gap created due to the surface roughness of the fin base 2 is filled with the heat conductive grease 72.

【0017】従って、熱伝導グリースとAl箔基材70
からなるシートを同時に用いてもパッケージ3とフィン
ベース2の間に生じる間隙が埋められることになり、小
さな接触熱抵抗で両者が熱的に接続される。すなわち、
うねりに起因する大きな間隙は、層厚が厚く熱伝導率の
大きいグリースで吸収し、一方、表面粗さに起因する小
さい間隙は、層厚が薄いコンパウンド層で吸収するが、
コンパウンド層は、薄くできるので熱伝導率の特に大き
いものを選択する必要はない。
Accordingly, the heat conductive grease and the Al foil base material 70
Even if the sheets made of fins are used at the same time, the gap generated between the package 3 and the fin base 2 is filled, and the two are thermally connected with a small contact thermal resistance. That is,
Large gaps caused by undulations are absorbed by grease having a large layer thickness and large thermal conductivity, while small gaps caused by surface roughness are absorbed by a compound layer having a small layer thickness,
Since the compound layer can be made thin, it is not necessary to select a compound layer having a particularly large thermal conductivity.

【0018】また、シートの基材70は、油成分に対し
てバリア性を有するので、熱伝導性グリース72に含ま
れる油成分がパッケージ3表面まで達することがない。
すなわち、パッケージ3の材質がAlSi等のようにポ
ーラス状であっても、グリース中の油成分がパッケージ
内に入り込んでしまうということはない。なお、コンパ
ウンドは、パッケージ材質に対して非浸透性であること
は、言うまでもない。
Further, since the base material 70 of the sheet has a barrier property against the oil component, the oil component contained in the heat conductive grease 72 does not reach the surface of the package 3.
That is, even if the material of the package 3 is porous, such as AlSi, the oil component in the grease does not enter the package. It goes without saying that the compound is impervious to the package material.

【0019】次に、図3を用いて熱伝導グリース72の
塗布方法について説明する。図3では、図1と同様なパ
ッケージの実装構造を簡略化して示す。熱伝導性グリー
ス72は、流動性があるため接触面の凹凸に追従して間
隙を埋めていくことができる。しかし、特に、接触面が
大きいと、空気が残留し接触熱抵抗を増大させてしまう
ことがある。
Next, a method of applying the thermal conductive grease 72 will be described with reference to FIG. FIG. 3 shows a simplified package mounting structure similar to that of FIG. Since the thermal conductive grease 72 has fluidity, it can fill gaps following irregularities on the contact surface. However, particularly when the contact surface is large, air may remain and the contact thermal resistance may increase.

【0020】そこで、接触面の中心に概略円形の領域で
熱伝導性グリース72をポッティングし、フィンベース
2を押し付けてグリース72が中心から周辺に向かって
一様に広がるようにする。これにより、フィンベース2
と基材70との間に空気が残留することがない。接触面
周囲からはみ出した過剰なグリースは、たとえば、フィ
ンベース2の接触面端部に設けたグリース溜(接触面の
周に沿って設けた溝)73で吸収する。
Therefore, the thermally conductive grease 72 is potted in a substantially circular region at the center of the contact surface, and the fin base 2 is pressed so that the grease 72 spreads uniformly from the center toward the periphery. Thereby, the fin base 2
Air does not remain between the substrate and the base material 70. Excess grease protruding from the periphery of the contact surface is absorbed by, for example, a grease reservoir (a groove provided along the periphery of the contact surface) 73 provided at an end of the contact surface of the fin base 2.

【0021】図4に本発明の他の実施例を示す。パッケ
ージの実装構造は、図1と同様な構造、または、ソケッ
トを用いない構造でもよい。本実施例では、油に対して
バリア性を有するAl箔等の基材70をパッケージ(ポ
ーラス状の材質)表面のフィンベース接続部に接着剤7
4によって貼り付けたものである。基材70は、パッケ
ージ3のうねった面に倣って貼り付けられる。接着剤7
4は、熱伝導率が大きい方が望ましく、できるだけ薄い
方がよい。
FIG. 4 shows another embodiment of the present invention. The package mounting structure may be the same structure as that of FIG. 1 or a structure without using a socket. In this embodiment, a base material 70 such as an Al foil having a barrier property against oil is attached to the fin base connecting portion on the surface of the package (porous material) by an adhesive 7.
4 attached. The base material 70 is adhered following the undulating surface of the package 3. Adhesive 7
4 is desirably large in thermal conductivity, preferably as thin as possible.

【0022】また、図1,図2で説明したコンパウンド
であってもよい。基材70を接着したパッケージ3とフ
ィンベース2との間に熱伝導性グリース72を介在させ
る。熱伝導性グリース72は、図3で説明したのと同様
な方法で、中心から周辺部に広げるようにして塗布し、
フィンベース2とシートの基材70との間に空気が残留
することがないようにする。
The compound described in FIGS. 1 and 2 may be used. A thermally conductive grease 72 is interposed between the package 3 to which the base material 70 is bonded and the fin base 2. The thermal conductive grease 72 is applied in a manner similar to that described with reference to FIG.
No air remains between the fin base 2 and the base material 70 of the sheet.

【0023】本実施例によれば、パッケージ3と基材7
0の間に生じるパッケージ3の表面粗さに起因してでき
る間隙は、接着剤74によって埋められる。一方、フィ
ンベース2とパッケージ3の接触面のうねりに起因して
生じる間隙は、熱伝導性グリースによって吸収できる。
また、基材70は、油成分に対してバリア性を有するの
で、熱伝導性グリース72に含まれる油成分がパッケー
ジ3表面まで達することがない。すなわち、パッケージ
3の材質がAlSi等のようにポーラス状であっても、
グリース中の油成分がパッケージ内に入り込んでしまう
ということはない。
According to this embodiment, the package 3 and the base 7
The gap created due to the surface roughness of the package 3 occurring between 0 is filled with the adhesive 74. On the other hand, the gap generated due to the undulation of the contact surface between the fin base 2 and the package 3 can be absorbed by the thermally conductive grease.
Further, since the base material 70 has a barrier property against the oil component, the oil component contained in the heat conductive grease 72 does not reach the surface of the package 3. That is, even if the material of the package 3 is porous like AlSi or the like,
The oil component in the grease does not enter the package.

【0024】図5に本発明の他の実施例を示す。本実施
例では、フィンベース2とパッケージ3との間に、袋状
に成形した基材70(油に対するバリア性を有する)の
中に熱伝導性グリース72を封入したものを挟み込んだ
ものである。基材70の外表面には、コンパウンドが塗
布されている。フィン1とパッケージ3は、図1に示し
たようにスプリングを用いてばねで固定し、常にフィン
1がパッケージ3に押し付けられているようにしてもよ
い(図示せず)。袋内に封入された熱伝導グリース70
は、フィンベース2とパッケージ3が押し付けられるこ
とにより圧力が加わり、フィンベース2とパッケージ3
の表面のうねりに倣って変形する。
FIG. 5 shows another embodiment of the present invention. In the present embodiment, between the fin base 2 and the package 3, a material in which a thermally conductive grease 72 is sealed in a bag-shaped base material 70 (having a barrier property against oil) is sandwiched. . The compound is applied to the outer surface of the base material 70. The fin 1 and the package 3 may be fixed by a spring using a spring as shown in FIG. 1 so that the fin 1 is always pressed against the package 3 (not shown). Thermal grease 70 sealed in a bag
When the fin base 2 and the package 3 are pressed against each other, pressure is applied to the fin base 2 and the package 3.
Deforms following the undulation of the surface.

【0025】一方、フィンベース2及びパッケージ3の
接触面の表面粗さに起因する微少な間隙は、コンパウン
ド71によって埋められる。コンパウンド71は、図
1,図2で述べた実施例と同様である。本実施例によれ
ば、接触面のうねり及び表面粗さに起因して生じる隙間
を埋めて接触熱抵抗を小さく保つとともに、熱伝導性グ
リース72が袋の中に保持されているため取り扱い性に
優れているという特徴がある。
On the other hand, the minute gap caused by the surface roughness of the contact surface between the fin base 2 and the package 3 is filled by the compound 71. The compound 71 is the same as in the embodiment described with reference to FIGS. According to the present embodiment, the gap generated due to the undulation and surface roughness of the contact surface is filled to keep the contact thermal resistance small, and the heat conductive grease 72 is held in the bag, so that the handleability is improved. There is a feature that is excellent.

【0026】図6に本発明をマルチチップモジュールに
適用した例を示す。マルチチップモジュールは、電気信
号用のピン14を備えた配線基板14上に発熱素子を封
止した複数のパッケージ13が実装され、キャップ12
によって封止されている。キャップ12の表面にヒート
シンクなどの放熱構造が接続される。なお、キャップ1
2自体がヒートシンクであってもよい。パッケージ13
とキャップ12との間には、熱伝導性グリース72,油
に対してバリア性を有する基材70,基材に塗布したコ
ンパウンド71が介在されている。
FIG. 6 shows an example in which the present invention is applied to a multichip module. In the multi-chip module, a plurality of packages 13 in which heating elements are sealed are mounted on a wiring board 14 having pins 14 for electric signals, and a cap 12 is provided.
Is sealed by. A heat dissipation structure such as a heat sink is connected to the surface of the cap 12. In addition, cap 1
2 itself may be a heat sink. Package 13
A heat conductive grease 72, a base material 70 having a barrier property against oil, and a compound 71 applied to the base material are interposed between the cap and the cap 12.

【0027】作業性及び過剰グリースの処理(過剰なグ
リースがパッケージ側に回り込むことがない)を考慮し
て、コンパウンド71を塗布した基材70は、すべての
パッケージを同時に接続できる一枚ものとし、熱伝導性
グリース72をパッケージ13の実装位置に対して1対
1で塗布する。コンパウンド71を塗布した基材70及
び熱伝導性グリース72の機能は、これまでに述べたの
と同様である。特に、本実施例では、パッケージ13の
表面及びキャップ12の内面のうねりと同時にパッケー
ジ13間の高さばらつきも吸収し、すべてのパッケージ
13とキャップ12とが小さい熱抵抗で接続される。
In consideration of workability and treatment of excess grease (excess grease does not flow to the package side), the base material 70 on which the compound 71 is applied is a single sheet that can simultaneously connect all the packages. The thermal conductive grease 72 is applied to the mounting position of the package 13 on a one-to-one basis. The functions of the base material 70 coated with the compound 71 and the heat conductive grease 72 are the same as those described above. In particular, in the present embodiment, the swell of the surface of the package 13 and the inner surface of the cap 12 as well as the height variation between the packages 13 are absorbed, and all the packages 13 and the cap 12 are connected with a small thermal resistance.

【0028】[0028]

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
るので以下に記載されるような効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, it has the following effects.

【0029】パッケージとヒートシンクの接触面でのう
ねりに起因してできる間隙及び、パッケージと基材の間
に生じるパッケージの表面粗さに起因してできる間隙が
熱伝導媒体によって埋められ、小さい接触熱抵抗でパッ
ケージとヒートシンクの接続ができるとともに、パッケ
ージの材質がポーラス状であっても、熱伝導媒体に含ま
れる油成分がパッケージ内に入り込んでしまうというこ
とはない。
The gap formed due to the undulation at the contact surface between the package and the heat sink and the gap formed due to the surface roughness of the package generated between the package and the substrate are filled with the heat transfer medium, and the small contact heat is generated. The resistance allows the connection between the package and the heat sink, and even if the material of the package is porous, the oil component contained in the heat conduction medium does not enter the package.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施例である電子機器冷却装置の
断面図。
FIG. 1 is a sectional view of an electronic apparatus cooling apparatus according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1の接触面の拡大断面図。FIG. 2 is an enlarged sectional view of a contact surface of FIG. 1;

【図3】第1実施例である熱伝導グリースを電子機器冷
却装置に施した場合の断面図。
FIG. 3 is a cross-sectional view of a case where the heat conduction grease according to the first embodiment is applied to an electronic device cooling device.

【図4】本発明の第2実施例である熱伝導グリースを電
子機器冷却装置に施した場合の断面図。
FIG. 4 is a cross-sectional view of a case where a heat conductive grease according to a second embodiment of the present invention is applied to an electronic device cooling device.

【図5】本発明の第3実施例であるフィンベースとパッ
ケージ付近の断面図。
FIG. 5 is a sectional view showing the vicinity of a fin base and a package according to a third embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第4実施例であるフィンベースとパッ
ケージ付近の断面図。
FIG. 6 is a sectional view showing the vicinity of a fin base and a package according to a fourth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…フィン、2…フィンベース、3…パッケージ、4…
発熱素子、5…拡大基板、9…配線基板、7…熱伝導部
材、70…基材、71…コンパウンド、72…熱伝導性
グリース。
1 fin, 2 fin base, 3 package, 4…
Heating element, 5: enlarged board, 9: wiring board, 7: heat conductive member, 70: base material, 71: compound, 72: heat conductive grease.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大黒 崇弘 神奈川県秦野市堀山下1番地 株式会社日 立製作所エンタープライズサーバー事業部 内 (72)発明者 宇田 隆之 神奈川県秦野市堀山下1番地 株式会社日 立製作所エンタープライズサーバー事業部 内 Fターム(参考) 5F036 AA01 BB21 BC03  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Takahiro Oguro 1st Horiyamashita, Hadano-shi, Kanagawa Prefecture In-house Enterprise Server Division, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Takayuki Uda 1st Horiyamashita, Hadano-shi, Kanagawa Japan, Inc. F-term (reference) 5F036 AA01 BB21 BC03

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】配線基板上に搭載された発熱素子を内包し
たパッケージにヒートシンクを接続し、発熱素子を冷却
する電子機器において、基材の両面に厚さの異なる熱伝
導媒体層を形成して構成した熱伝導部材をパッケージと
ヒートシンクとの間に介在させたことを特徴とする電子
機器冷却装置。
An electronic device for cooling a heating element by connecting a heat sink to a package containing the heating element mounted on a wiring board, wherein heat conducting medium layers having different thicknesses are formed on both surfaces of a base material. An electronic equipment cooling device, wherein the constituted heat conducting member is interposed between a package and a heat sink.
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