JP2001165641A - Air micrometer - Google Patents

Air micrometer

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JP2001165641A
JP2001165641A JP34968999A JP34968999A JP2001165641A JP 2001165641 A JP2001165641 A JP 2001165641A JP 34968999 A JP34968999 A JP 34968999A JP 34968999 A JP34968999 A JP 34968999A JP 2001165641 A JP2001165641 A JP 2001165641A
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JP
Japan
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air
measurement
centripetal
work
nozzle
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JP34968999A
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Japanese (ja)
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Masaaki Oguri
正明 小栗
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Tokyo Seimitsu Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Seimitsu Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an air micrometer easy to work and capable of precise measurement. SOLUTION: In this air micrometer, compressed air is blown from a measuring air nozzle to measure the inside diameter of a work while blowing compressed air from centripetal air nozzles 36A and 36B to retain a measuring head 32 in the central position of the work. An intermediate diaphragm 42 smaller in diameter than the centripetal air nozzles 36A and 26B is set in a passage 40C for supplying the compressed air of the centripetal air nozzles 36A and 36B. According to this, the compressed air blown from the centripetal air nozzles 36A and 36B corresponds to the compressed air blown from an air nozzle having a diameter smaller than that of the intermediate diaphragm 42. Accordingly, since the same effect as in smaller nozzle diameters can be obtained by the combination of large nozzle diameters, the workability of the nozzles can be improved. Further, the centripetal force can be increased to improve the precision of measurement.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は空気マイクロメータ
に係り、特に繰り返し精度(繰り返し測定による測定値
のバラツキ幅)が0.5μm以下の高精度な測定ができ
る空気マイクロメータに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an air micrometer, and more particularly, to an air micrometer capable of performing high-precision measurement with a repeatability (variation of measured values by repeated measurement) of 0.5 μm or less.

【0002】[0002]

【従来の技術】空気マイクロメータは、たとえば外径測
定の場合、リング状に形成された測定ヘッドにワークを
挿入し、その測定ヘッドの内周部に形成された2〜6個
のエアノズルから圧縮エアを噴射して測定を行う。
2. Description of the Related Art In the case of measuring an outer diameter, for example, an air micrometer inserts a work into a ring-shaped measuring head and compresses the work from two to six air nozzles formed on the inner periphery of the measuring head. The measurement is performed by injecting air.

【0003】ところで、この空気マイクロメータで高精
度な測定を行うためには、測定ヘッドに挿入したワーク
を測定ヘッドの中心位置に保持した状態で測定を実施す
ることが必要になる。
In order to perform high-precision measurement with this air micrometer, it is necessary to carry out measurement while holding the work inserted into the measurement head at the center position of the measurement head.

【0004】そこで、従来は求心用のエアノズルを別途
測定ヘッドの内周部に放射状に配置し、この求心用のエ
アノズルから圧縮エアを噴射してワークを測定ヘッドの
中心位置に保持するようにしていた(特許第29043
32号公報参照)。
Therefore, conventionally, a centering air nozzle is separately arranged radially on the inner peripheral portion of the measuring head, and compressed air is jetted from the centering air nozzle to hold the work at the center position of the measuring head. (Japanese Patent No. 29043
No. 32).

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、求心用のエ
アノズルによるワークの求心作用は、求心用のエアノズ
ルの径を小さくすれば、小さくするほど大きくなる。
By the way, the centering action of the work by the centering air nozzle increases as the diameter of the centering air nozzle decreases.

【0006】しかしながら、求心用のエアノズルの径
は、加工時に使用するドリルの径で限定されてしまい、
ある程度までにしか小さくできないという欠点がある。
また、径があまりに小さいと、ドリルに曲がり等が発生
し、加工性が悪いという欠点もある。
However, the diameter of the centrifugal air nozzle is limited by the diameter of the drill used during machining.
It has the disadvantage that it can only be reduced to some extent.
In addition, if the diameter is too small, the drill may bend, etc., resulting in poor workability.

【0007】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、加工が容易で高精度な測定ができる空気マイ
クロメータを提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of such circumstances, and has as its object to provide an air micrometer that can be easily processed and can perform high-precision measurement.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
前記目的を達成するために、測定ヘッドにワークを嵌入
し、該測定ヘッドの内周部に等間隔に配設された複数の
求心用エアノズルからエアを吹き出して前記ワークを前
記測定ヘッドの中央位置に保持しながら、前記測定ヘッ
ドの内周部に等間隔に配設された複数の測定用エアノズ
ルからエアを吹き出して前記ワークの外寸法を測定する
空気マイクロメータにおいて、前記求心用エアノズルに
エアを供給する流路に前記求心用エアノズルの径と同等
の径の中間絞りを設置したことを特徴とする。
According to the first aspect of the present invention,
In order to achieve the above object, a work is inserted into a measuring head, and air is blown out from a plurality of centering air nozzles arranged at equal intervals on an inner peripheral portion of the measuring head to move the work to a central position of the measuring head. In the air micrometer that measures the outer dimension of the work by blowing air from a plurality of measurement air nozzles arranged at equal intervals on the inner peripheral portion of the measurement head, while holding the measurement head, the air is applied to the centripetal air nozzle. An intermediate throttle having a diameter equal to the diameter of the centrifugal air nozzle is provided in the supply channel.

【0009】本発明によれば、圧縮エアは中間絞りによ
って一旦絞られたのち求心用エアノズルから噴出され
る。このように圧縮エアを中間絞りで一旦絞ることによ
り、求心用エアノズルから噴出される圧縮エアは、中間
絞りの径と同等の径のエアノズルから噴出する圧縮エア
に相当する。したがって、大きなノズル径の組み合わせ
で、より小さいノズル径と同じ効果が得られるので、ノ
ズルの加工性を向上させることができる。また、これに
より求心力を大きくして測定精度の向上を図ることがで
きる。
According to the present invention, the compressed air is once throttled by the intermediate throttle and then jetted from the centripetal air nozzle. As described above, once the compressed air is throttled by the intermediate throttle, the compressed air jetted from the centripetal air nozzle corresponds to the compressed air jetted from the air nozzle having a diameter equal to the diameter of the intermediate throttle. Therefore, the same effect as a smaller nozzle diameter can be obtained by a combination of a larger nozzle diameter, and the workability of the nozzle can be improved. In addition, the centripetal force can be increased thereby to improve the measurement accuracy.

【0010】また、請求項2記載の発明は、前記目的を
達成するために、測定ヘッドにワークを嵌入し、該測定
ヘッドの内周部に等間隔に配設された複数の求心用エア
ノズルからエアを吹き出して前記ワークを前記測定ヘッ
ドの中央位置に保持しながら、前記測定ヘッドの内周部
に等間隔に配設された複数の測定用エアノズルからエア
を吹き出して前記ワークの外寸法を測定する空気マイク
ロメータにおいて、前記求心用エアノズルが、前記測定
用エアノズルを挟んで前記測定ヘッドの軸方向前側と後
側とに配設されていることを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in order to achieve the above object, a work is fitted into a measuring head, and a plurality of centrifugal air nozzles arranged at equal intervals on an inner peripheral portion of the measuring head. While maintaining the workpiece at the center position of the measuring head by blowing air, the outer dimensions of the workpiece are measured by blowing air from a plurality of measuring air nozzles arranged at equal intervals on an inner peripheral portion of the measuring head. The centrifugal air nozzle is disposed on the front side and the rear side in the axial direction of the measurement head with the measurement air nozzle interposed therebetween.

【0011】本発明によれば、求心用エアノズルが測定
用エアノズルの前後に配置されている。これにより測定
ヘッドに対してワークを真っ直ぐ挿入することができ
る。この結果、測定精度が向上する。
According to the present invention, the centripetal air nozzle is disposed before and after the measuring air nozzle. Thus, the work can be inserted straight into the measuring head. As a result, measurement accuracy is improved.

【0012】また、請求項4記載の発明は、前記目的を
達成するために、測定ヘッドをワークに嵌入し、該測定
ヘッドの外周部に等間隔に形成された複数の求心用エア
ノズルからエアを吹き出して前記測定ヘッドを前記ワー
クの中央位置に保持しながら、前記測定ヘッドの外周部
に等間隔に配設された複数の測定用エアノズルからエア
を吹き出して前記ワークの内寸法を測定する空気マイク
ロメータにおいて、前記求心用エアノズルにエアを供給
する流路に前記求心用エアノズルの径と同等の径の中間
絞りを設置したことを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in order to achieve the above object, a measuring head is fitted into a work, and air is supplied from a plurality of centering air nozzles formed at equal intervals on an outer peripheral portion of the measuring head. An air micrometer that blows out air from a plurality of measurement air nozzles arranged at equal intervals on the outer peripheral portion of the measurement head to measure the inner dimensions of the work while blowing and holding the measurement head at the center position of the work. The meter is characterized in that an intermediate throttle having a diameter equal to the diameter of the centripetal air nozzle is provided in a flow path for supplying air to the centripetal air nozzle.

【0013】本発明によれば、圧縮エアは中間絞りによ
って一旦絞られたのち求心用エアノズルから噴出され
る。このように圧縮エアを中間絞りで一旦絞ることによ
り、求心用エアノズルから噴出される圧縮エアは、中間
絞りの径と同等の径のエアノズルから噴出する圧縮エア
に相当する。したがって、大きなノズル径の組み合わせ
で、より小さいノズル径と同じ効果が得られるので、ノ
ズルの加工性を向上させることができる。また、これに
より求心力を大きくして測定精度の向上を図ることがで
きる。
According to the present invention, the compressed air is once throttled by the intermediate throttle and then ejected from the centripetal air nozzle. As described above, once the compressed air is throttled by the intermediate throttle, the compressed air jetted from the centripetal air nozzle corresponds to the compressed air jetted from the air nozzle having a diameter equal to the diameter of the intermediate throttle. Therefore, the same effect as a smaller nozzle diameter can be obtained by a combination of a larger nozzle diameter, and the workability of the nozzle can be improved. In addition, the centripetal force can be increased thereby to improve the measurement accuracy.

【0014】また、請求項5記載の発明は、前記目的を
達成するために、測定ヘッドをワークに嵌入し、該測定
ヘッドの外周部に等間隔に形成された複数の求心用エア
ノズルからエアを吹き出して前記測定ヘッドを前記ワー
クの中央位置に保持しながら、前記測定ヘッドの外周部
に等間隔に配設された複数の測定用エアノズルからエア
を吹き出して前記ワークの内寸法を測定する空気マイク
ロメータにおいて、前記求心用エアノズルが、前記測定
用エアノズルを挟んで前記測定ヘッドの軸方向前側と後
側とに配設されていることを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, in order to achieve the above object, a measuring head is fitted into a work, and air is supplied from a plurality of centering air nozzles formed at equal intervals on an outer peripheral portion of the measuring head. An air micrometer that blows out air from a plurality of measurement air nozzles arranged at equal intervals on the outer peripheral portion of the measurement head to measure the inner dimensions of the work while blowing and holding the measurement head at the center position of the work. In the meter, the centripetal air nozzle is disposed on the front side and the rear side in the axial direction of the measurement head with the measurement air nozzle interposed therebetween.

【0015】本発明によれば、求心用エアノズルが測定
用エアノズルの前後に配置されている。これによりワー
クに対して測定ヘッドを真っ直ぐ挿入することができ
る。この結果、測定精度が向上する。
According to the invention, the centripetal air nozzle is arranged before and after the measuring air nozzle. Thus, the measuring head can be inserted straight into the work. As a result, measurement accuracy is improved.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、添付図面に従って本発明に
係る空気マイクロメータの好ましい実施の形態について
詳説する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the air micrometer according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【0017】まず、本発明が適用される背圧式空気マイ
クロメータの全体構成について概説する。
First, an overall configuration of a back pressure air micrometer to which the present invention is applied will be outlined.

【0018】図1は、背圧式空気マイクロメータ10の
全体構成を示すブロック図である。同図に示すように、
空気源12から供給される圧縮エアは、レギュレータ1
4で一定圧力に調整され、A/E変換器16内に設置さ
れた絞りを通ってジェット(測定部)30のエアノズル
34A、34Bから噴射される。A/E変換器16は、
このエアノズル34A、34Bと絞りとの間の圧力(背
圧)の変化を内蔵するベローズと差動変圧器とによって
電気信号に変換し、アンプ18に出力する。アンプ18
は、この電気信号に基づいてワーク22の内径を算出
し、内蔵するモニタ上に表示する。
FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of a back pressure air micrometer 10. As shown in FIG. As shown in the figure,
The compressed air supplied from the air source 12 is supplied to the regulator 1
At 4, the pressure is adjusted to a constant pressure, and the air is jetted from the air nozzles 34 </ b> A and 34 </ b> B of the jet (measuring unit) 30 through a throttle provided in the A / E converter 16. The A / E converter 16
The change in pressure (back pressure) between the air nozzles 34A, 34B and the throttle is converted into an electric signal by a built-in bellows and a differential transformer, and output to the amplifier 18. Amplifier 18
Calculates the inner diameter of the work 22 based on the electric signal, and displays it on a built-in monitor.

【0019】図2は、本発明が適用された空気マイクロ
メータの内径測定用ジェット30の実施の形態の要部の
構成を示す正面断面図である。また、図3、図4は、そ
れぞれ図2の3−3断面図と4−4断面図である。
FIG. 2 is a front sectional view showing the configuration of a main part of an embodiment of an inner diameter measuring jet 30 of an air micrometer to which the present invention is applied. FIGS. 3 and 4 are a sectional view taken along line 3-3 and a sectional view taken along line 4-4 of FIG. 2, respectively.

【0020】図2〜図4に示すように、円柱状に形成さ
れた測定ヘッド32の先端部外周には、測定用エアノズ
ル34A、34Bと求心用エアノズル36A、36Bと
が90°間隔で交互に形成されている。
As shown in FIGS. 2 to 4, measuring air nozzles 34A and 34B and centrifugal air nozzles 36A and 36B are alternately arranged at 90 ° intervals on the outer periphery of the tip of the measuring head 32 formed in a cylindrical shape. Is formed.

【0021】測定用エアノズル34A、34Bは、それ
ぞれ測定ヘッド32の外周面から所定量退避して形成さ
れており、共に測定ヘッド32の軸線と平行に形成され
た一対の測定用エア分岐流路38A、38Bに連通され
ている。この一対の測定用エア分岐流路38A、38B
は、共に測定用エア流路38Cに連通されており、この
測定用エア流路38Cから供給された圧縮エアが、測定
用エア分岐流路38A、38Bを介して測定用エアノズ
ル34A、34Bに供給される。そして、この測定用エ
アノズル34A、34Bから互いに反対方向に噴射され
る。
The measurement air nozzles 34A and 34B are respectively formed so as to be retracted from the outer peripheral surface of the measurement head 32 by a predetermined amount, and are each formed of a pair of measurement air branch flow paths 38A formed in parallel with the axis of the measurement head 32. , 38B. The pair of measurement air branch channels 38A, 38B
Are both connected to the measurement air flow path 38C, and the compressed air supplied from the measurement air flow path 38C is supplied to the measurement air nozzles 34A, 34B via the measurement air branch flow paths 38A, 38B. Is done. Then, the air is ejected from the measurement air nozzles 34A and 34B in opposite directions.

【0022】なお、測定用エア流路38Cに供給される
圧縮エアは、上述したように空気源12から供給され、
レギュレータ14で一定圧力に調整されたのち、A/E
変換器16内に設置された絞りを通って測定用エア流路
38Cに供給される。
The compressed air supplied to the measurement air flow path 38C is supplied from the air source 12 as described above.
After being adjusted to a constant pressure by regulator 14, A / E
The air is supplied to the measurement air flow path 38C through a throttle provided in the converter 16.

【0023】求心用エアノズル36A、36Bも同様
に、測定ヘッド32の外周面から所定量退避して形成さ
れており、共に測定ヘッド32の軸線と平行に形成され
た一対の求心用エア分岐流路40A、40Bに連通され
ている。この一対の求心用エア分岐流路40A、40B
は、共に求心用エア流路40Cに連通されており、この
求心用エア流路40Cから供給された圧縮エアが、求心
用エア分岐流路40A、40Bを介して求心用エアノズ
ル36A、36Bに供給される。そして、この求心用エ
アノズル36A、36Bから互いに反対方向に噴射され
る。
Similarly, the centrifugal air nozzles 36A and 36B are also formed so as to be retracted from the outer peripheral surface of the measuring head 32 by a predetermined amount, and a pair of centrifugal air branch channels formed parallel to the axis of the measuring head 32. It is connected to 40A and 40B. The pair of centripetal air branch channels 40A, 40B
Are both connected to the centripetal air flow path 40C, and the compressed air supplied from the centripetal air flow path 40C is supplied to the centripetal air nozzles 36A, 36B via the centripetal air branch flow paths 40A, 40B. Is done. Then, the air is ejected from the centripetal air nozzles 36A and 36B in opposite directions.

【0024】なお、求心用エア流路40Cに供給される
圧縮エアは、図5に示すように空気源12から供給さ
れ、レギュレータ15で一定圧力に調整されたのち、求
心用エア流路40Cに供給される。
The compressed air supplied to the centripetal air flow path 40C is supplied from the air source 12 as shown in FIG. 5, is adjusted to a constant pressure by the regulator 15, and then is supplied to the centripetal air flow path 40C. Supplied.

【0025】ここで、前記求心用エア流路40Cには中
間絞り42が設置されており、その径φAは、求心用エ
アノズル36A、36Bの径φBよりも小さな径で形成
されている。このように、中間絞り42で圧縮エアを一
旦絞ったのち、各求心用エアノズル36A、36Bから
噴射することにより、その求心用エアノズル36A、3
6Bから噴射される圧縮エアは、中間絞り42の径φA
と同等の径のエアノズルから噴出する圧縮エアに相当す
るようになる。これによりワークの求心作用を高めるこ
とができる。
Here, an intermediate throttle 42 is provided in the centripetal air flow path 40C, and its diameter φA is formed to be smaller than the diameter φB of the centripetal air nozzles 36A and 36B. After the compressed air is once throttled by the intermediate throttle 42 in this manner, the compressed air is injected from each of the centrifugal air nozzles 36A and 36B, so that the centrifugal air nozzles 36A and 36B are compressed.
6B has a diameter φA of the intermediate throttle 42.
This corresponds to compressed air ejected from an air nozzle having the same diameter as. Thereby, the centripetal action of the work can be enhanced.

【0026】前記のごとく構成された内径測定用ジェッ
ト30の作用は次の通りである。
The operation of the inner diameter measuring jet 30 configured as described above is as follows.

【0027】まず、マスタを使用しての倍率調整及び零
調整を行う。次に、測定ヘッド32をワークに挿入し、
空気源12から圧縮エアを供給する。
First, magnification adjustment and zero adjustment using the master are performed. Next, the measuring head 32 is inserted into the work,
The compressed air is supplied from the air source 12.

【0028】空気源12から供給された圧縮エアの一部
は、レギュレータ14、A/E変換器16を介して測定
ヘッド32の測定用エア流路38Cに供給され、測定用
エア分岐流路38A、38Bを通って測定用エアノズル
34A、34Bからワーク内に噴射される。また、空気
源12から供給された圧縮エアの他の一部は、レギュレ
ータ15を介して測定ヘッド32の求心用エア流路40
Cに供給され、求心用エア分岐流路40A、40Bを通
って求心用エアノズル36A、36Bからワーク内に噴
射される。
A part of the compressed air supplied from the air source 12 is supplied to the measurement air flow path 38C of the measurement head 32 via the regulator 14 and the A / E converter 16, and the measurement air branch flow path 38A , 38B and are injected into the work from the measurement air nozzles 34A, 34B. Another part of the compressed air supplied from the air source 12 is supplied to the centrifugal air flow path 40 of the measuring head 32 via the regulator 15.
C, and is injected into the workpiece from the centrifugal air nozzles 36A, 36B through the centripetal air branch channels 40A, 40B.

【0029】ここで、前記求心用エアノズル36A、3
6Bから噴射する圧縮エアは、求心用エア流路40Cを
通過する際に、一旦中間絞り42で絞られたのち、各求
心用エアノズル36A、36Bからワーク内に噴射され
る。
Here, the centrifugal air nozzles 36A, 3A
When passing through the centripetal air flow path 40C, the compressed air jetted from 6B is once throttled by the intermediate throttle 42, and then jetted into the workpiece from each centripetal air nozzle 36A, 36B.

【0030】このように中間絞り42で一旦絞ったの
ち、求心用エアノズル36A、36Bから圧縮エアを噴
出することにより、その求心用エアノズル36A、36
Bから噴射される圧縮エアは、中間絞り42の径φAと
同等の径のエアノズルから噴出する圧縮エアに相当す
る。これにより求心用エアノズル36A、36Bによる
求心効果を高めることができ、ワークの中心と測定ヘッ
ド32の中心とを容易に一致させることができるように
なる。この結果、測定精度が向上する。
After the aperture has been once squeezed by the intermediate aperture 42 as described above, compressed air is ejected from the centrifugal air nozzles 36A and 36B, so that the centrifugal air nozzles 36A and 36B are compressed.
The compressed air ejected from B corresponds to compressed air ejected from an air nozzle having a diameter equal to the diameter φA of the intermediate throttle 42. Thereby, the centripetal effect of the centrifugal air nozzles 36A and 36B can be enhanced, and the center of the work and the center of the measuring head 32 can be easily matched. As a result, measurement accuracy is improved.

【0031】また、大きな径の組み合わせで、より小さ
なノズル径と同じ効果が得られるので、エアノズルの加
工性が向上する。
Further, the same effect as a smaller nozzle diameter can be obtained by a combination of a larger diameter, so that the workability of the air nozzle is improved.

【0032】なお、本実施の形態では、中間絞り42を
測定ヘッド32に形成された求心用エア流路40Cに設
置しているが、求心用エア分岐流路40A、40Bに個
別に設置するようにしてもよい。
In the present embodiment, the intermediate diaphragm 42 is installed in the centripetal air flow path 40C formed in the measuring head 32. However, the intermediate aperture 42 is separately installed in the centripetal air branch paths 40A and 40B. It may be.

【0033】また、繰り返し精度が0.5μm以下の高
精度な測定を行う場合は、ジェット30のクリアラン
ス、すなわちワーク22の内径と測定ヘッド32の外径
との差が5μm〜20μmとなるように設定することが
好ましい。
When performing high-precision measurement with a repetition accuracy of 0.5 μm or less, the clearance of the jet 30, that is, the difference between the inner diameter of the work 22 and the outer diameter of the measuring head 32 is set to 5 μm to 20 μm. It is preferable to set.

【0034】図6は、本発明が適用された空気マイクロ
メータの内径測定用ジェット50の他の実施の形態の要
部の構成を示す側面断面図である。なお、上述した実施
の形態の内径測定用ジェット30と同じ構成部材には、
同一符号が付されている。
FIG. 6 is a side sectional view showing the structure of a main part of another embodiment of the jet 50 for measuring the inner diameter of an air micrometer to which the present invention is applied. The same constituent members as the inner diameter measuring jet 30 of the above-described embodiment include:
The same reference numerals are given.

【0035】同図に示すように、本実施の形態の内径測
定用ジェット50では、測定用エアノズル34A、34
Bの前後位置に求心用エアノズル36A、36B、36
C、36Dが形成されている。すなわち、本実施の形態
の内径測定用ジェット50では、計4つの求心用エアノ
ズル36A〜36Dが形成されている。
As shown in the figure, in the jet 50 for measuring the inner diameter of the present embodiment, the air nozzles 34A, 34A for measurement are used.
B centering air nozzles 36A, 36B, 36
C and 36D are formed. That is, in the inner diameter measuring jet 50 of the present embodiment, a total of four centripetal air nozzles 36A to 36D are formed.

【0036】図6において、測定ヘッド32の上面側に
形成されている求心用エアノズル36A、36Cは、共
に測定ヘッド32の軸線と平行に形成された求心用エア
分岐流路40Aに連通されている。
In FIG. 6, the centrifugal air nozzles 36A and 36C formed on the upper surface side of the measurement head 32 are both connected to a centripetal air branch channel 40A formed parallel to the axis of the measurement head 32. .

【0037】また、図6において、測定ヘッド32の下
面側に形成されている求心用エアノズル36B、36D
は、共に測定ヘッド32の軸線と平行に形成された求心
用エア分岐流路40Bに連通されている。
In FIG. 6, centering air nozzles 36B and 36D formed on the lower surface of the measuring head 32 are shown.
Are connected to a centripetal air branch channel 40B formed in parallel with the axis of the measuring head 32.

【0038】求心用エア分岐流路40A、40Bは、共
に求心用エア流路40Cに連通されており、この求心用
エア流路40Cから供給された圧縮エアが、求心用エア
分岐流路40A、40Bを介して求心用エアノズル36
A〜36Dに供給される。そして、この求心用エア流路
40Cに中間絞り42が設置されている。この中間絞り
42は、求心用エアノズル36A〜36Dの径φBより
も小さな径φAで形成されており、各求心用エアノズル
36A〜36Dから噴射される圧縮エアは、この中間絞
り42で一旦絞られたのち各求心用エアノズル36A〜
36Dから噴射される。
The centripetal air branch passages 40A and 40B are both connected to a centripetal air passage 40C, and the compressed air supplied from the centripetal air passage 40C is supplied to the centripetal air branch passage 40A, Centrifugal air nozzle 36 through 40B
A to 36D. An intermediate throttle 42 is provided in the centripetal air flow path 40C. The intermediate throttle 42 is formed with a diameter φA smaller than the diameter φB of the centrifugal air nozzles 36A to 36D, and the compressed air injected from each of the centrifugal air nozzles 36A to 36D is once throttled by the intermediate throttle 42. Later, each centripetal air nozzle 36A ~
Injected from 36D.

【0039】なお、測定用エアノズル34A、34B
は、求心用エアノズル36A〜36Dと直交する方向に
形成されている。
The measuring air nozzles 34A, 34B
Are formed in a direction orthogonal to the centering air nozzles 36A to 36D.

【0040】前記のごとく構成された内径測定用ジェッ
ト50の作用は次の通りである。
The operation of the inner diameter measuring jet 50 constructed as described above is as follows.

【0041】まず、測定ヘッド32をワークに挿入し
て、空気源12から圧縮エアを供給する。空気源12か
ら供給された圧縮エアの一部は、レギュレータ14、A
/E変換器16を介してジェット30の測定用エア流路
38Cに供給され、測定用エア分岐流路38A、38B
を通って測定用エアノズル34A、34Bからワーク内
に噴射される。また、空気源12から供給された圧縮エ
アの他の一部は、レギュレータ15を介してジェット3
0の求心用エア流路40Cに供給され、求心用エア分岐
流路40A、40Bを通って求心用エアノズル36A〜
36Dからワーク内に噴射される。
First, the measuring head 32 is inserted into a work, and compressed air is supplied from the air source 12. A part of the compressed air supplied from the air source 12 is supplied to the regulator 14, A
The air is supplied to the measurement air flow path 38C of the jet 30 via the / E converter 16, and the measurement air branch flow paths 38A, 38B
Through the air nozzles 34A and 34B for measurement. Another part of the compressed air supplied from the air source 12 is supplied to the jet 3 via the regulator 15.
0 is supplied to the centripetal air flow path 40C and passes through the centripetal air branch flow paths 40A and 40B.
It is injected into the work from 36D.

【0042】ここで、求心用エアノズル36A〜36D
は、測定用エアノズル34A、34Bの前後位置に形成
されているので、前記のごとく求心用エアノズル36A
〜36Dから圧縮エアを噴射すると、ワーク内に挿入さ
れた測定ヘッド32は、その傾きが修正される。この結
果、姿勢誤差を生じることなく、高精度な測定を行うこ
とができる。
Here, the centrifugal air nozzles 36A to 36D
Are formed before and after the measurement air nozzles 34A and 34B, so that the centering air nozzle 36A
When the compressed air is injected from .about.36D, the inclination of the measuring head 32 inserted into the work is corrected. As a result, highly accurate measurement can be performed without causing a posture error.

【0043】また、求心用エアノズル36A〜36Dか
ら噴射する圧縮エアは、一旦中間絞り42で絞られたの
ち各求心用エアノズル36A〜36Dから噴射されるの
で、中間絞り42の径φAと同等の径のエアノズルから
噴出する圧縮エアに相当する。これにより求心用エアノ
ズル36A〜36Dによる求心効果を高めることがで
き、ワークの中心と測定ヘッド32の中心とを容易に一
致させることができるようになる。この結果、測定精度
が向上する。
The compressed air jetted from the centrifugal air nozzles 36A to 36D is once throttled by the intermediate throttle 42 and then jetted from each of the centripetal air nozzles 36A to 36D. Of compressed air ejected from the air nozzle. As a result, the centripetal effect of the centrifugal air nozzles 36A to 36D can be enhanced, and the center of the work and the center of the measuring head 32 can be easily matched. As a result, measurement accuracy is improved.

【0044】また、大きな径の組み合わせで、より小さ
なノズル径と同じ効果が得られるので、エアノズルの加
工性が向上する。
Further, the same effect as a smaller nozzle diameter can be obtained by a combination of a larger diameter, so that the workability of the air nozzle is improved.

【0045】図7は、本発明が適用された空気マイクロ
メータの外径測定用ジェット60の構成を示す正面断面
図である。なお、ジェット以外の構成は、上述した内径
測定用の空気マイクロメータと同じなので、ここではジ
ェットの構成についてのみ説明する。
FIG. 7 is a front sectional view showing the configuration of an outer diameter measuring jet 60 of an air micrometer to which the present invention is applied. Since the configuration other than the jet is the same as the above-described air micrometer for measuring the inner diameter, only the configuration of the jet will be described here.

【0046】リング状に形成された測定ヘッド62に
は、6つの取付穴64、64、…が60°間隔で放射状
に形成されている。この取付穴64、64、…には、測
定用ニップル66A、66B、66Cと求心用ニップル
68A、68B、68Cとが交互に嵌入されている。
The ring-shaped measuring head 62 has six mounting holes 64, 64,... Formed radially at intervals of 60 °. The measurement nipples 66A, 66B, 66C and the centripple nipples 68A, 68B, 68C are alternately fitted into the mounting holes 64, 64,.

【0047】測定用ニップル66A〜66Cは、それぞ
れその先端部に測定用エアノズル70A〜70Cが形成
されている。この測定用エアノズル70A〜70Cは、
先端面が測定ヘッド62の内周面から所定量退避して形
成されている。
The measurement nipples 66A to 66C are respectively formed with measurement air nozzles 70A to 70C at the ends thereof. The measurement air nozzles 70A to 70C are
The distal end surface is formed so as to be retracted from the inner peripheral surface of the measuring head 62 by a predetermined amount.

【0048】求心用ニップル68A〜68Cも同様にそ
れぞれその先端部に求心用エアノズル72A〜72Cが
形成されている。この求心用エアノズル72A〜72C
は、先端面が測定ヘッド62の内周面から所定量退避し
て形成されている。また、この求心用ニップル68A〜
68Cのエア流路68a〜68cには、それぞれ中間絞
り74A〜74Cが設置されている。中間絞り74A〜
74Cは、その径φCが求心用エアノズル72A〜72
Cの径φDよりも小さな径で形成されている。
Similarly, centering air nozzles 72A to 72C are formed at the tips of the centering nipples 68A to 68C, respectively. The centrifugal air nozzles 72A to 72C
Is formed such that the front end surface is retracted from the inner peripheral surface of the measurement head 62 by a predetermined amount. In addition, the nipple 68A for centripetal movement
Intermediate throttles 74A to 74C are provided in the air flow paths 68a to 68c of the 68C, respectively. Intermediate aperture 74A ~
74C is a centrifugal air nozzle 72A-72 whose diameter φC is
It is formed with a diameter smaller than the diameter φD of C.

【0049】前記のごとく構成された外径測定用ジェッ
ト60の作用は次の通りである。
The operation of the outer diameter measuring jet 60 constructed as described above is as follows.

【0050】まず、測定ヘッド62にワークを挿入し、
空気源12から圧縮エアを供給する。空気源12から供
給された圧縮エアの一部は、レギュレータ14、A/E
変換器16を介してジェット60の各測定用ニップル6
6A〜66Cに供給され、エア流路66a〜66cを通
って各測定用エアノズル70A〜70Dから噴射され
る。また、空気源12から供給された圧縮エアの他の一
部は、レギュレータ15を介してジェット60の各求心
用ニップル68A〜68Cに供給され、エア流路68a
〜68cを通って各求心用エアノズル72A〜72Cか
ら噴射される。
First, a work is inserted into the measuring head 62,
The compressed air is supplied from the air source 12. A part of the compressed air supplied from the air source 12 is supplied to the regulator 14, the A / E
Each measuring nipple 6 of the jet 60 via the converter 16
It is supplied to 6A-66C and is jetted from each of the measurement air nozzles 70A-70D through the air flow paths 66a-66c. Another part of the compressed air supplied from the air source 12 is supplied to each centripple nipple 68A to 68C of the jet 60 via the regulator 15, and the air flow path 68a
6868c from the respective centripetal air nozzles 72A to 72C.

【0051】ここで、各求心用ニップル68A〜68C
には、そのエア流路68a〜68cに中間絞り74A〜
74Cが設置されているので、各求心用エアノズル72
A〜72Cから噴射される圧縮エアは、一旦この中間絞
り74A〜74Cで絞られたのち各測定用エアノズル7
4A〜74Cから噴射されることとなる。そして、この
ように中間絞り74A〜74Cで一旦絞ったのち、各求
心用エアノズル72A〜72Cから圧縮エアを噴出する
ことにより、その求心用エアノズル72A〜72Cから
噴射される圧縮エアは、中間絞り74A〜74Cの径φ
Dと同等の径のエアノズルから噴出する圧縮エアに相当
する。
Here, each of the centering nipples 68A to 68C
In the air passages 68a-68c, intermediate throttles 74A-
74C, each centripetal air nozzle 72
The compressed air injected from A to 72C is once throttled by the intermediate throttles 74A to 74C,
It will be injected from 4A to 74C. Then, after the compressed air is squeezed by the intermediate throttles 74A to 74C in this manner, the compressed air ejected from the centrifugal air nozzles 72A to 72C ejects the compressed air from the centrifugal air nozzles 72A to 72C. Diameter φ of ~ 74C
This corresponds to compressed air ejected from an air nozzle having the same diameter as D.

【0052】これにより求心用エアノズル72A〜72
Cによる求心効果を高めることができ、ワークの中心と
測定ヘッド62の中心とを容易に一致させることができ
るようになる。この結果、測定精度が向上する。
Thus, the centering air nozzles 72A to 72A
The centripetal effect by C can be enhanced, and the center of the work and the center of the measuring head 62 can be easily matched. As a result, measurement accuracy is improved.

【0053】また、大きな径の組み合わせで、より小さ
なノズル径と同じ効果が得られるので、エアノズルの加
工性が向上する。
Further, the same effect as a smaller nozzle diameter can be obtained by a combination of a larger diameter, so that the workability of the air nozzle is improved.

【0054】図8、本発明が適用された空気マイクロメ
ータの外径測定用ジェット80の他の実施の形態の要部
の構成を示す側面断面図である。
FIG. 8 is a side sectional view showing the structure of a main part of another embodiment of the jet 80 for measuring the outer diameter of an air micrometer to which the present invention is applied.

【0055】同図に示すように、本実施の形態の外径測
定用ジェット80は、測定用ニップル82の前後位置に
求心用ニップル84A、84Bが配設されている。
As shown in the figure, the outer diameter measuring jet 80 of the present embodiment has centering nipples 84A and 84B disposed at front and rear positions of a measuring nipple 82.

【0056】測定用ニップル82は、測定ヘッド86に
4つ設置されており、おのおの測定ヘッド86に形成さ
れた4つの測定用ニップル取付孔88、88、…に嵌入
されている。各測定用ニップル取付孔88、88、…
は、測定ヘッド86の同一断面上に90°間隔で放射状
に形成されている。また、各測定用ニップル82は、そ
れぞれその先端部に測定用エアノズル90が形成されて
おり、各測定用エアノズル90の先端面は測定ヘッド8
6の内周面から所定量退避して形成されている。
Four measuring nipples 82 are provided on the measuring head 86, and are fitted into four measuring nipple mounting holes 88 formed in each measuring head 86. Each measurement nipple mounting hole 88, 88, ...
Are formed radially at 90 ° intervals on the same cross section of the measuring head 86. In addition, each measurement nipple 82 has a measurement air nozzle 90 formed at the distal end thereof, and the distal end surface of each measurement air nozzle 90 is connected to the measurement head 8.
6 is retracted from the inner peripheral surface by a predetermined amount.

【0057】求心用ニップル84A、84Bは、測定用
ニップル82の前側と後側にそれぞれ4つずつ設置され
ている。
Four nipples 84A and 84B for centrips are installed on the front side and the rear side of the nipple 82 for measurement, respectively.

【0058】測定用ニップル82の前側に配設された4
つの求心用ニップル84Aは、それぞれ測定ヘッド86
に形成された4つの求心用ニップル取付孔92A、92
A、…に嵌入されている。各求心用ニップル取付孔92
A、92A、…は、測定ヘッド86の同一断面上に90
°間隔で放射状に形成されている。また、各求心用ニッ
プル84Aは、それぞれその先端部に求心用エアノズル
94Aが形成されており、各求心用エアノズル94Aの
先端面は、測定ヘッド86の内周面よりも所定量退避し
て形成されている。さらに、各求心用ニップル84A
は、そのエア流路84aに中間絞り96Aが設置されて
おり、その径φCは求心用エアノズル94Aの径φDよ
りも小さな径で形成されている。
4 is disposed on the front side of the measurement nipple 82.
Each of the centering nipples 84A is provided with a measuring head 86
Centering nipple mounting holes 92A, 92 formed in
A,. Nipple mounting hole 92 for each centering
A, 92A,...
It is formed radially at intervals of °. Further, each of the centering nipples 84A has a centering air nozzle 94A formed at the front end thereof, and the front end surface of each centering air nozzle 94A is formed so as to be retracted by a predetermined distance from the inner peripheral surface of the measuring head 86. ing. Furthermore, each centripple nipple 84A
Is provided with an intermediate throttle 96A in its air flow path 84a, and its diameter φC is formed smaller than the diameter φD of the centrifugal air nozzle 94A.

【0059】一方、測定用ニップル82の後側に配設さ
れた4つの求心用ニップル84Bは、それぞれ測定ヘッ
ド86に形成された4つの求心用ニップル取付孔92
B、92B、…に嵌入されている。各求心用ニップル取
付孔92B、92B、…は、測定ヘッド86の同一断面
上に90°間隔で放射状に形成されている。また、各求
心用ニップル84Bは、それぞれその先端部に求心用エ
アノズル94Bが形成されており、各求心用エアノズル
94Bの先端面は、測定ヘッド86の内周面よりも所定
量退避して形成されている。さらに、各求心用ニップル
84Bは、そのエア流路84bに中間絞り96Bが設置
されており、その径φCは求心用エアノズル94Bの径
φDよりも小さな径で形成されている。
On the other hand, the four centering nipples 84B disposed on the rear side of the measuring nipple 82 are provided with four centering nipple mounting holes 92 formed in the measuring head 86, respectively.
B, 92B,... The centering nipple mounting holes 92B, 92B,... Are formed radially at 90 ° intervals on the same cross section of the measuring head 86. Further, each of the centering nipples 84B has a centering air nozzle 94B formed at the front end thereof, and the front end surface of each centering air nozzle 94B is formed to be retracted by a predetermined distance from the inner peripheral surface of the measuring head 86. ing. Further, each centering nipple 84B is provided with an intermediate throttle 96B in the air flow path 84b, and has a diameter φC smaller than the diameter φD of the centering air nozzle 94B.

【0060】前記のごとく構成された外径測定用ジェッ
ト80の作用は次の通りである。
The operation of the outer diameter measuring jet 80 constructed as described above is as follows.

【0061】まず、測定ヘッド86にワークを挿入し
て、空気源12から圧縮エアを供給する。空気源12か
ら供給された圧縮エアの一部は、レギュレータ14、A
/E変換器16を介してジェット80の各測定用ニップ
ル82に供給され、エア流路82aを通って各測定用エ
アノズル90から噴射される。また、空気源12から供
給された圧縮エアの他の一部は、レギュレータ15を介
してジェット80の各求心用ニップル84A、84Bに
供給され、エア流路84a、84bを通って各求心用エ
アノズル94A、94Bから噴射される。
First, a work is inserted into the measuring head 86 and compressed air is supplied from the air source 12. A part of the compressed air supplied from the air source 12 is supplied to the regulator 14, A
It is supplied to each nipple 82 for measurement of the jet 80 via the / E converter 16, and is jetted from each air nozzle 90 for measurement through the air flow path 82a. Another part of the compressed air supplied from the air source 12 is supplied to the centripple nipples 84A and 84B of the jet 80 via the regulator 15, and passes through the air flow paths 84a and 84b. Injected from 94A, 94B.

【0062】ここで、求心用エアノズル94A、94B
は、測定用エアノズル90の前後位置に形成されている
ので、前記のごとく求心用エアノズル94A、94Bか
ら圧縮エアを噴射すると、測定ヘッド86内に挿入され
たワークは、その傾きが修正される。この結果、姿勢誤
差を生じることなく、高精度な測定を行うことができ
る。
Here, the centering air nozzles 94A, 94B
Are formed at the front and rear positions of the measurement air nozzle 90. Thus, when the compressed air is injected from the centripetal air nozzles 94A and 94B as described above, the inclination of the work inserted into the measurement head 86 is corrected. As a result, highly accurate measurement can be performed without causing a posture error.

【0063】また、求心用エアノズル94A、94Bか
ら噴射する圧縮エアは、一旦中間絞り96A、96Bで
絞られたのち各求心用エアノズル94A、94Bから噴
射されるので、中間絞り96A、96Bの径φCと同等
の径のエアノズルから噴出する圧縮エアに相当する。こ
れにより求心用エアノズル94A、94Bによる求心効
果を高めることができ、ワークの中心と測定ヘッド86
の中心とを容易に一致させることができるようになる。
この結果、測定精度が向上する。
The compressed air injected from the centrifugal air nozzles 94A and 94B is once throttled by the intermediate throttles 96A and 96B and then injected from the respective centrifugal air nozzles 94A and 94B. This corresponds to compressed air ejected from an air nozzle having the same diameter as. Thus, the centripetal effect of the centrifugal air nozzles 94A and 94B can be enhanced, and the center of the workpiece and the measuring head 86
Can easily be matched with the center.
As a result, measurement accuracy is improved.

【0064】また、大きな径の組み合わせで、より小さ
なノズル径と同じ効果が得られるので、エアノズルの加
工性が向上する。
Further, the same effect as a smaller nozzle diameter can be obtained by a combination of a larger diameter, so that the workability of the air nozzle is improved.

【0065】[0065]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
求心用エアノズルから噴出する圧縮エアを中間絞りで一
旦絞ることにより、大きなノズル径の組み合わせで、よ
り小さいノズル径と同じ効果が得られる。これによりノ
ズルの加工性を向上させることができる。また、これに
より求心力を大きくして測定精度の向上を図ることがで
きる。
As described above, according to the present invention,
By once narrowing the compressed air ejected from the centripetal air nozzle with the intermediate throttle, the same effect as a smaller nozzle diameter can be obtained with a combination of large nozzle diameters. Thereby, the workability of the nozzle can be improved. In addition, the centripetal force can be increased thereby to improve the measurement accuracy.

【0066】また、本発明によれば、求心用エアノズル
が測定用エアノズルの前後に配置されているので、測定
ヘッドに対してワークを真っ直ぐ挿入することができ
る。この結果、測定精度が向上する。
Further, according to the present invention, since the centripetal air nozzle is arranged before and after the measuring air nozzle, the work can be inserted straight into the measuring head. As a result, measurement accuracy is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】背圧式空気マイクロメータの構成を示すブロッ
ク図
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a back pressure air micrometer.

【図2】内径測定用ジェットの要部の構成を示す正面断
面図
FIG. 2 is a front sectional view showing a configuration of a main part of an inner diameter measuring jet.

【図3】図2の3−3断面図FIG. 3 is a sectional view taken along line 3-3 in FIG. 2;

【図4】図2の4−4断面図FIG. 4 is a sectional view taken along line 4-4 of FIG. 2;

【図5】求心用エアの配管構成を示すブロック図FIG. 5 is a block diagram showing a piping configuration of centripetal air.

【図6】内径測定用ジェットの他の実施の形態の要部の
構成を示す側面断面図
FIG. 6 is a side sectional view showing a configuration of a main part of another embodiment of the inner diameter measuring jet.

【図7】外径測定用ジェットの構成を示す側面断面図FIG. 7 is a side sectional view showing a configuration of an outer diameter measuring jet.

【図8】外径測定用ジェットの他の実施の形態の構成を
示す側面断面図
FIG. 8 is a side cross-sectional view showing the configuration of another embodiment of the outer diameter measuring jet.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…空気マイクロメータ、12…空気源、14…レギ
ュレータ、15…レギュレータ、16…A/E変換器、
18…アンプ、20…モニタ、30…内径測定用ジェッ
ト、32…測定ヘッド、34A、34B…測定用エアノ
ズル、36A、36B…求心用エアノズル、42…中間
絞り、50…内径測定用ジェット、60…外径測定用ジ
ェット、66A〜66C…測定用ニップル、68A〜6
6C…求心用ニップル、70A〜70C…測定用エアノ
ズル、72A〜72C…求心用エアノズル、74A〜7
4C…中間絞り、80…外径測定用ジェット、82…測
定用ニップル、84A、84B…求心用ニップル、86
…測定ヘッド、90…測定用エアノズル、94A、94
B…求心用エアノズル、96A、96B…中間絞り
10 air micrometer, 12 air source, 14 regulator, 15 regulator, 16 A / E converter,
18 amplifier, 20 monitor, 30 inner diameter measurement jet, 32 measurement head, 34A, 34B measurement air nozzle, 36A, 36B centripetal air nozzle, 42 intermediate throttle, 50 inner diameter measurement jet, 60 Jet for outer diameter measurement, 66A-66C ... Nipple for measurement, 68A-6
6C: centripple nipple, 70A to 70C: measurement air nozzle, 72A to 72C: centripetal air nozzle, 74A to 7
4C: Intermediate drawing, 80: Jet for outer diameter measurement, 82: Nipple for measurement, 84A, 84B: Nipple for centripetal, 86
... Measurement head, 90 ... Measurement air nozzle, 94A, 94
B: Centrifugal air nozzle, 96A, 96B: Middle throttle

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 測定ヘッドにワークを嵌入し、該測定ヘ
ッドの内周部に等間隔に配設された複数の求心用エアノ
ズルからエアを吹き出して前記ワークを前記測定ヘッド
の中央位置に保持しながら、前記測定ヘッドの内周部に
等間隔に配設された複数の測定用エアノズルからエアを
吹き出して前記ワークの外寸法を測定する空気マイクロ
メータにおいて、 前記求心用エアノズルにエアを供給する流路に前記求心
用エアノズルの径と同等の径の中間絞りを設置したこと
を特徴とする空気マイクロメータ。
1. A work is inserted into a measuring head, and air is blown out from a plurality of centering air nozzles arranged at equal intervals on an inner peripheral portion of the measuring head to hold the work at a central position of the measuring head. Meanwhile, in an air micrometer for measuring the outer dimensions of the work by blowing air from a plurality of measurement air nozzles arranged at equal intervals on the inner peripheral portion of the measurement head, a flow of supplying air to the centripetal air nozzle An air micrometer characterized in that an intermediate throttle having a diameter equal to the diameter of the centripetal air nozzle is installed in a path.
【請求項2】 測定ヘッドにワークを嵌入し、該測定ヘ
ッドの内周部に等間隔に配設された複数の求心用エアノ
ズルからエアを吹き出して前記ワークを前記測定ヘッド
の中央位置に保持しながら、前記測定ヘッドの内周部に
等間隔に配設された複数の測定用エアノズルからエアを
吹き出して前記ワークの外寸法を測定する空気マイクロ
メータにおいて、 前記求心用エアノズルが、前記測定用エアノズルを挟ん
で前記測定ヘッドの軸方向前側と後側とに配設されてい
ることを特徴とする空気マイクロメータ。
2. A work is inserted into a measuring head, and air is blown out from a plurality of centering air nozzles arranged at equal intervals on an inner peripheral portion of the measuring head to hold the work at a central position of the measuring head. An air micrometer that measures the outer dimension of the work by blowing air from a plurality of measurement air nozzles arranged at equal intervals on an inner peripheral portion of the measurement head, wherein the centripetal air nozzle is configured to include the measurement air nozzle. An air micrometer, which is disposed on the front side and the rear side in the axial direction of the measurement head with the air micrometer interposed therebetween.
【請求項3】 前記求心用エアノズルにエアを供給する
流路に前記求心用エアノズルの径と同等の径の中間絞り
を設置したことを特徴とする請求項2記載の空気マイク
ロメータ。
3. The air micrometer according to claim 2, wherein an intermediate throttle having a diameter equal to the diameter of the centripetal air nozzle is provided in a flow path for supplying air to the centripetal air nozzle.
【請求項4】 測定ヘッドをワークに嵌入し、該測定ヘ
ッドの外周部に等間隔に形成された複数の求心用エアノ
ズルからエアを吹き出して前記測定ヘッドを前記ワーク
の中央位置に保持しながら、前記測定ヘッドの外周部に
等間隔に配設された複数の測定用エアノズルからエアを
吹き出して前記ワークの内寸法を測定する空気マイクロ
メータにおいて、 前記求心用エアノズルにエアを供給する流路に前記求心
用エアノズルの径と同等の径の中間絞りを設置したこと
を特徴とする空気マイクロメータ。
4. A measuring head is fitted into a work, and air is blown out from a plurality of centripetal air nozzles formed at equal intervals on an outer peripheral portion of the measuring head to hold the measuring head at a central position of the work. In an air micrometer that measures the inner dimension of the work by blowing air from a plurality of measurement air nozzles arranged at equal intervals on an outer peripheral portion of the measurement head, the flow path for supplying air to the centripetal air nozzle An air micrometer characterized in that an intermediate throttle having a diameter equal to the diameter of a centripetal air nozzle is provided.
【請求項5】 測定ヘッドをワークに嵌入し、該測定ヘ
ッドの外周部に等間隔に形成された複数の求心用エアノ
ズルからエアを吹き出して前記測定ヘッドを前記ワーク
の中央位置に保持しながら、前記測定ヘッドの外周部に
等間隔に配設された複数の測定用エアノズルからエアを
吹き出して前記ワークの内寸法を測定する空気マイクロ
メータにおいて、 前記求心用エアノズルが、前記測定用エアノズルを挟ん
で前記測定ヘッドの軸方向前側と後側とに配設されてい
ることを特徴とする空気マイクロメータ。
5. A measurement head is fitted into a work, and air is blown out from a plurality of centering air nozzles formed at equal intervals on an outer peripheral portion of the measurement head to hold the measurement head at a central position of the work. In an air micrometer that measures the inner dimension of the work by blowing air from a plurality of measurement air nozzles arranged at equal intervals on an outer peripheral portion of the measurement head, the centripetal air nozzle sandwiches the measurement air nozzle. An air micrometer, which is provided on the front side and the rear side in the axial direction of the measuring head.
【請求項6】 前記求心用エアノズルにエアを供給する
流路に前記求心用エアノズルの径と同等の径の中間絞り
を設置したことを特徴とする請求項5記載の空気マイク
ロメータ。
6. The air micrometer according to claim 5, wherein an intermediate throttle having a diameter equal to a diameter of the centripetal air nozzle is provided in a flow path for supplying air to the centripetal air nozzle.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN104075672A (en) * 2013-03-29 2014-10-01 日本活塞环株式会社 Device and method for inspecting size of cylindrical object
CN107643058A (en) * 2017-10-29 2018-01-30 无锡万奈特测量设备有限公司 Multi-section pneumatic gauging is advised

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