JP2001165160A - 直線案内装置 - Google Patents

直線案内装置

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JP2001165160A
JP2001165160A JP2000296608A JP2000296608A JP2001165160A JP 2001165160 A JP2001165160 A JP 2001165160A JP 2000296608 A JP2000296608 A JP 2000296608A JP 2000296608 A JP2000296608 A JP 2000296608A JP 2001165160 A JP2001165160 A JP 2001165160A
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JP
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fixed
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wire
moving
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JP2000296608A
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Yoshihiro Naganuma
義広 長沼
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Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/04Ball or roller bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/30Parts of ball or roller bearings
    • F16C33/306Means to synchronise movements
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/30Parts of ball or roller bearings
    • F16C33/46Cages for rollers or needles

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 リテーナのずれのない、動作が滑らかな直線
案内装置を提供する。 【解決手段】 2本の平行なV字溝111,112とを
有する固定側ステージ110と、2本の平行なV字溝1
21,122とを有し、V字溝111,112とV字溝
121,122とがそれぞれ対向するように配置される
移動側ステージ120と、V字溝111,121とV字
溝112,122との間を転動する複数のローラ131
と、ローラ131を転動可能に保持し、移動側ステージ
120の動きに追従するリテーナ130とを備えている
直線案内装置において、リテーナ130に一対の滑車1
35,136を設け、一端を固定側ステージ110に固
定し、他端を移動側ステージ120に固定した第1のワ
イヤ137を一方の滑車135に掛け、一端を固定側ス
テージ110に固定し、他端を移動側ステージ120に
固定した第2のワイヤ138を他方の滑車136に掛
け、リテーナ130の中立位置からのずれを第1のワイ
ヤ137及び第2のワイヤ138の張力によって戻すよ
うにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は直線案内装置に関
し、特に有限軌道転がり直線案内装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、固定側ステージの案内面と移動側
ステージの案内面との間にローラ、ニードルローラ(針
状コロ)、ボール等の転動体を転動可能に保持して移動
側ステージを1方向へ案内する有限軌道転がり直線案内
装置が知られている。
【0003】例えば光学機器では、この有限軌道転がり
直線案内装置と、リニアエンコーダ等の位置読取装置
と、送りねじ等の送り機構とを組み合わせて測長ステー
ジ装置を構成し、被検物と光学測定機の被検物検出装置
とを相対移動させて、移動量を読み取り、座標、寸法等
の測定をしている。
【0004】また、工作機械や各種製造装置、検査装置
等では、この有限軌道転がり直線案内装置が位置決めス
テージに利用されている。
【0005】次に、従来の直線案内装置を説明する。
【0006】図6は従来の直線案内装置を説明する図で
あって、図6(a)は平面図(移動部材を2点鎖線で示
す)、図6(b)は正面図である。
【0007】この直線案内装置は、平行なV側案内面5
11とフラット側案内面512とを有する固定側ステー
ジ510と、平行なV側案内面521とフラット側案内
面522とを有し、V側案内面511,521及びフラ
ット側案内面512,522同士がそれぞれ対向するよ
うに配置される移動側ステージ520と、V側案内面5
11,521間及びフラット側案内面512,522間
を転動する複数のニードルローラ531,541と、ニ
ードルローラ531,541を転動可能に保持するリテ
ーナ530,540とを備えている。
【0008】リテーナ530,540は、ニードルロー
ラ531,541同士の相互干渉やV側案内面511,
521及びフラット側案内面512,522からのず
れ、脱落を防ぐため、ニードルローラ531,541を
一定方向に保持している。
【0009】また、固定側ステージ510にはニードル
ローラ531,541のV側案内面511,521及び
フラット側案内面512,522からのリテーナ53
0,540の脱落を防止するための制限部材560が設
けられている。
【0010】この直線案内装置は、図6(b)に示すよ
うに水平状態で使用され、V側案内面511,521が
移動側ステージ520の水平、垂直方向の移動を規制
し、フラット側案内面512,522が移動側ステージ
520の垂直方向の移動を規制するので、移動側ステー
ジ520は特定の方向に直線運動することができる。
【0011】図7は従来の他の直線案内装置を説明する
図であって、図7(a)は平面図(移動部材を2点鎖線
で示す)、図7(b)は正面図である。
【0012】この直線案内装置は、2本の平行なV字溝
611,612を有する固定側ステージ610と、2本
の平行なV字溝621,622を有し、V字溝611,
612とV字溝621,622とがそれぞれ対向するよ
うに配置される移動側ステージ620と、V字溝61
1,621及びV字溝612,622内を転動する複数
のローラ(又はボール)631と、ローラ631を転動
可能に保持するリテーナ630,640とを備えてい
る。
【0013】リテーナ630,640はローラ631同
士の相互干渉を防ぐため、ローラ631を一定方向に保
持している。
【0014】高さが直径より僅かに小さいローラ631
が交互にしかも2列配置されているので、ローラ631
によって移動側ステージ620の水平、垂直方向の移動
が規制され、移動側ステージ620は特定方向に直線運
動することができる。
【0015】なお、この直線案内装置は上下動機構に用
いられることがあるが、上下動機構に用いた場合には、
ローラ631やリテーナ630,640の自重によって
移動方向(上下方向)に常に偏った力が加わる。
【0016】この問題を解消するための直線案内装置と
して、図8に示す構成の直線案内装置が知られている。
【0017】図8は従来の他の直線案内装置を説明する
図であって、図8(a)は平面図(移動部材を2点鎖線
で示す)、図8(b)は正面図であり、図7の従来例と
同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。
【0018】この従来例はリテーナ630を一体化する
とともに、ラックピニオン機構を設けた点で図7の直線
案内装置と異なる。ラックピニオン機構はラック67
1,672とピニオン673とで構成される。
【0019】ラック671,672は固定側ステージ6
10及び移動側ステージ620に取り付けられ、ラック
671,672と噛み合うピニオン673はリテーナ6
30に取り付けられている。
【0020】この直線案内装置では、ニードルローラ5
31,541が転動して移動側ステージ520が移動し
たとき、個々のニードルローラ531,541が直動ス
トロークに対して常に一定の転動範囲を、直動ストロー
クの1/2の速比で転動し、理想的には全てのニードル
ローラ531,541が案内面511,512,52
1,522に転がり接触し、ニードルローラ531,5
41の出入りはない。コロ・ローラやボールを用いた場
合も同様である。
【0021】上記直線案内装置は、有限軌道転がり直動
案内装置と総称され、無限軌道転がり直動案内装置に比
し摩擦抵抗、姿勢精度変化等が滑らかで、繰返し精度が
高いという特徴を有している。
【0022】
【発明が解決しようとする課題】ところで、例えば移動
側ステージ520を直線運動させたとき、ニードルロー
ラ531,541の滑りが生じることがあり、長期の使
用によってリテーナ530,540が中立位置からずれ
ることがある。リテーナ530,540が中立位置から
ずれたときには、ニードルローラ531,541がスト
ロークエンド付近で案内面511,512,521,5
22から脱落したり、脱落防止のために設けた制限部材
560とリテーナ530,540とが干渉し、ニードル
ローラ531,541が滑り摩擦するようになって円滑
な動作が妨げられ、駆動制御性に悪影響を与える。
【0023】また、案内面511,512,521,5
22で構成される案内機構の系統的な精度(指示精度及
び走り精度)が変化することがある。
【0024】更に、ラックピニオン機構を設けた場合に
は、ラック671,672やピニオン673の製作誤差
に起因するピッチ誤差等によって、リテーナ630の動
きとピニオン673の動きとが干渉して摺動抵抗にムラ
を生じ、確実な動作が得られないことがある。
【0025】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題はリテーナのずれのない、動作が滑
らかな直線案内装置を提供することである。
【0026】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項1に記載の発明は、2本の平行な第1の直線案内
部を有する固定部材と、2本の平行な第2の直線案内部
を有し、前記第1の直線案内部と前記第2の直線案内部
とがそれぞれ対向するように配置される移動部材と、前
記第1の直線案内部及び前記第2の直線案内部を転動す
る複数の転動体と、前記転動体を転動可能に保持し、前
記移動部材の動きに追従する転動体保持手段とを備えて
いる直線案内装置において、前記転動体保持手段に設け
られた一対の滑車と、一方の前記滑車を介して張り渡さ
れ、一端を前記固定部材に固定し、他端を前記移動部材
に固定した第1のワイヤと、他方の前記滑車を介して張
り渡され、一端を前記固定部材に固定し、他端を前記移
動部材に固定した第2のワイヤとを備えていることを特
徴とする。
【0027】転動体に滑りが生じ、転動体保持手段が中
立位置からずれ始めたとき、変位量に比例して第1のワ
イヤに張力が発生し、この張力が一方の滑車を介して転
動体保持手段を中立位置に戻す方向へ作用する。同様
に、転動体に滑りが生じ、転動体保持手段が中立位置か
らずれ始めたとき、変位量に比例して第2のワイヤに張
力が発生し、この張力が他方の滑車を介して転動体保持
手段を中立位置に戻す方向へ作用するので、転動体保持
手段が中立位置からずれようとする力と、第1のワイヤ
に発生する張力と、第2のワイヤに発生する張力とが釣
り合った状態に維持される。
【0028】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の直線案内装置において、前記転動体保持手段は前記第
1の直線案内部間に亘って一体に形成されるとともに、
前記一対の滑車を同一軸線上に設けていることを特徴と
する。
【0029】転動体保持手段は第1の直線案内部間に亘
って一体に形成されるとともに、一対の滑車を同一軸線
上に設けているので、転動体保持手段が分割されている
場合より滑車の数を減らすことができる。
【0030】請求項3に記載の発明は、請求項1に記載
の直線案内装置において、前記転動体保持手段は前記第
1の直線案内部間に亘って一体に形成されるとともに、
前記一対の滑車を前記転動体保持手段の移動方向の両端
に設けていることを特徴とする。
【0031】転動体保持手段は第1の直線案内部間に亘
って一体に形成されるとともに、一対の滑車を転動体保
持手段の移動方向の両端に設けているので、滑車の軸線
方向を転動体保持手段の移動方向に一致させることがで
きる。
【0032】請求項4に記載の発明は、請求項1に記載
の直線案内装置において、前記転動体保持手段は前記第
1の直線案内部間に亘って一体に形成されるとともに、
前記一対の滑車を前記転動体保持手段の移動方向の中央
部に設けていることを特徴とする。
【0033】転動体保持手段は第1の直線案内部間に亘
って一体に形成されるとともに、一対の滑車を転動体保
持手段の移動方向の中央部に設けているので、一対の滑
車を1つの滑車で構成することができる。
【0034】請求項5に記載の発明は、請求項1に記載
の直線案内装置において、前記滑車は前記固定部材及び
前記移動部材の側面から突出していることを特徴とす
る。
【0035】滑車は固定部材及び移動部材の側面から突
出しているので、ワイヤが切れたり伸びたりした場合で
も容易に張り直すことができる。
【0036】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。
【0037】図1はこの発明の第1実施形態に係る直線
案内装置を説明する図であって、図1(a)は平面図
(移動部材を2点鎖線で示す)、図1(b)は正面図で
ある。
【0038】この直線案内装置は、固定側ステージ(固
定部材)10と、移動側ステージ(移動部材)20と、
ニードルローラ(転動体)31,41と、リテーナ(転
動体保持手段)30,40と、滑車35,36,45,
46と、第1のワイヤ37,47と、第2のワイヤ3
8,48とを備えている。
【0039】固定側ステージ10にはY方向に沿って平
行なV側案内面11とフラット側案内面12とが設けら
れている。V側案内面11とフラット側案内面12とで
第1の直線案内部が構成される。
【0040】移動側ステージ20にはY方向に沿って平
行なV側案内面21とフラット側案内面22とが設けら
れている。V側案内面21とフラット側案内面22とで
第2の直線案内部が構成される。第1の直線案内部と第
2の直線案内部とはそれぞれ対向するように配置されて
いる。
【0041】V側案内面11,21間には複数のニード
ルローラ31が2列に配置され、フラット側案内面1
2,22間には複数のニードルローラ41が1列だけ配
置されている。
【0042】V側案内面11,21間に配置されたニー
ドルローラ31は、ニードルローラ31同士の相互干渉
やV側案内面11,21からのずれ、脱落を防ぐため、
リテーナ30によって一定方向に保持されている。
【0043】同様に、フラット側案内面12,22間に
配置されたニードルローラ41は、ニードルローラ41
同士の相互干渉やフラット側案内面12,22からのず
れ、脱落を防ぐため、リテーナ40によって一定方向に
保持されている。
【0044】リテーナ30の移動方向(Y方向)の両端
には滑車35,36が、リテーナ40の移動方向(Y方
向)の両端には滑車45,46がそれぞれ設けられてい
る。
【0045】一方の滑車35,45には第1のワイヤ3
7,47が掛けられ、他方の滑車36,46には第2の
ワイヤ38,48が掛けられている。
【0046】第1のワイヤ37,47の一端は固定側ス
テージ10のワイヤ固定部材15a,15bに固定さ
れ、他端は移動側ステージ20のワイヤ固定部材25
a,25bに固定されている。
【0047】第2のワイヤ38,48の一端は固定側ス
テージ10のワイヤ固定部材16a,16bに固定さ
れ、他端は移動側ステージ20のワイヤ固定部材26
a,26bに固定されている。
【0048】各ワイヤ37,38,47,48には適度
な張力が与えられている。
【0049】V側案内面11,21によって移動側ステ
ージ20の水平、垂直方向の移動が規制され、フラット
側案内面12,22によって移動側ステージ20の垂直
方向の移動が規制されているので、移動側ステージ20
を駆動装置(図示せず)でY方向へ力を加えると、ニー
ドルローラ31,41は転動して移動側ステージ20が
直線運動する。
【0050】このとき、ニードルローラ31,41は移
動側ステージ20の1/2の速比で転動し、リテーナ3
0,40は移動側ステージ20の1/2の速比で移動す
る。
【0051】長期間の使用等によってニードルローラ3
1,41がずれて、リテーナ30,40が中立位置から
図中上方へずれ始めた場合には、第1のワイヤ37,4
7にリテーナ30,40の変位量に比例して張力が発生
し、この張力が一方の滑車35,45を介してリテーナ
30,40を中立位置に戻す方向へ作用する。同様に、
図中下方へずれ始めた場合には、第2のワイヤ38,4
8にリテーナ30,40の変位量に比例して張力が発生
し、この張力が他方の滑車36,46を介してリテーナ
30,40を中立位置に戻す方向へ作用する。
【0052】この実施形態によれば、リテーナ30,4
0は中立位置からずれず、確実な動作をすることができ
る。
【0053】また、リテーナ30,40の位置を規制す
るための第1のワイヤ37,47又は第2のワイヤ3
8,48に加わる張力はリテーナ30,40のずれ(変
位)量に比例した変動の少ない力であり、ラックピニオ
ン機構による位置規制のように歯車のピッチ誤差等によ
って急激な力の変動は生じないので、動作が滑らかであ
る。
【0054】図2はこの発明の第2実施形態に係る直線
案内装置を説明する図であって、図2(a)は平面図
(移動部材を2点鎖線で示す)、図2(b)は正面図で
ある。
【0055】この直線案内装置は、固定側ステージ(固
定部材)110と、移動側ステージ(移動部材)120
と、ローラ(転動体)131と、リテーナ(転動体保持
手段)130と、滑車135,136と、第1のワイヤ
137と、第2のワイヤ138とを備えている。
【0056】固定側ステージ110にはY方向に沿って
2本の平行なV字溝(第1の直線案内部)111,11
2が設けられている。
【0057】移動側ステージ120にはY方向に沿って
2本の平行なV字溝(第2の直線案内部)121,12
2が設けられている。第1の直線案内部と第2の直線案
内部とはそれぞれ対向するように配置されている。
【0058】V字溝111,112,121,122の
頂角は90°である。
【0059】V字溝111,121には複数のローラ1
31が配置され、V字溝112,122には高さが直径
より小さいローラ131が交互にしかも2列に配置され
ている。
【0060】V字溝111,121及びV字溝112,
122に配置されたローラ131は、ローラ131同士
の相互干渉やV字溝111,121及びV字溝112,
122からのずれ、脱落を防ぐため、V字溝111,1
12間に亘って一体に形成されたU字形断面のリテーナ
130によって一定方向に保持されている。
【0061】リテーナ130の移動方向の両端には滑車
135,136がそれぞれ設けられている。滑車13
5,136の回転中心135a,136aは移動側ステ
ージ120の移動方向に平行な中心軸L上に位置してい
る。
【0062】一方の滑車135には第1のワイヤ137
が掛けられ、他方の滑車136には第2のワイヤ138
が掛けられている。
【0063】第1のワイヤ137の一端は固定側ステー
ジ110のワイヤ固定部材115に固定され、他端は移
動側ステージ120のワイヤ固定部材125に固定され
ている。
【0064】第2のワイヤ138の一端は固定側ステー
ジ110のワイヤ固定部材116に固定され、他端は移
動側ステージ120のワイヤ固定部材126に固定され
ている。
【0065】各ワイヤ137,138には適度な張力が
与えられている。
【0066】この実施形態によれば、第1実施形態と同
様の効果を奏する。
【0067】また、リテーナ130が一体に形成されて
おり、滑車135,136が一対だけでよいので、部品
点数を第1実施形態より削減することができる。
【0068】図3はこの発明の第3実施形態に係る直線
案内装置を説明する図であって、図3(a)は平面図
(移動部材を2点鎖線で示す)、図3(b)は正面図で
あり、第1実施形態と同一部分には同一符号を付してそ
の説明を省略する。
【0069】この実施形態は、リテーナ30,40に設
けられる滑車235,245を固定側ステージ10及び
移動側ステージ20の両側面から突出させている点で第
1実施形態と異なる。なお、滑車235,245はそれ
ぞれ2条の溝を有する。
【0070】固定側ステージ10の両側面には第1のワ
イヤ37,47及び第2のワイヤ38,48の一端を固
定するワイヤ固定部材215a,215b,226a,
226bが設けられ、移動側ステージ20の両側面には
第1のワイヤ37,47及び第2のワイヤ38,48の
他端を固定するワイヤ固定部材225a,225b,2
16a,216bが設けられている。
【0071】この実施形態によれば、第1実施形態と同
様の効果を奏するとともに、第1のワイヤ37,47や
第2のワイヤ38,48が切れたり伸びたりした場合あ
るいは滑車が摩耗した場合であっても、固定側ステージ
10と移動側ステージ20とを分離することなしに容易
にワイヤ37,38,47,48又は滑車235,24
5を交換したり、その張力を調整したりすることができ
る。また、滑車235,245で一対の滑車を構成する
ことができるので、第1実施形態より部品点数を削減す
ることができる。
【0072】図4はこの発明の第4実施形態に係る直線
案内装置を説明する図であって、図4(a)は平面図
(移動部材を2点鎖線で示す)、図4(b)は正面図で
あり、第2実施形態と同一部分には同一符号を付してそ
の説明を省略する。
【0073】この実施形態は1つの滑車335で一対の
滑車を構成し、この滑車335をリテーナ130の移動
方向の中央部に設けた点で第2実施形態と異なる。な
お、滑車335は2条の溝を有する。
【0074】固定側ステージ110には第1のワイヤ1
37及び第2のワイヤ138の一端を固定するワイヤ固
定部材315,316が設けられ、移動側ステージ12
0には第1のワイヤ137及び第2のワイヤ138の他
端を固定するワイヤ固定部材325,326が設けられ
ている。
【0075】この実施形態によれば、第2実施形態と同
様の効果を奏するとともに、1つの滑車で一対の滑車を
構成したので、第2実施形態より部品点数を削減するこ
とができる。
【0076】図5はこの発明の第5実施形態に係る直線
案内装置を説明する図であって、図5(a)は平面図
(移動部材を2点鎖線で示す)、図5(b)は正面図で
あり、第2実施形態と同一部分には同一符号を付してそ
の説明を省略する。
【0077】この実施形態は、リテーナ130に設けら
れる滑車435を固定側ステージ110及び移動側ステ
ージ120の一側面から突出させている点で第4実施形
態と異なる。なお、滑車435は2条の溝を有する。
【0078】固定側ステージ110の一側面には第1の
ワイヤ137及び第2のワイヤ138の一端を固定する
ワイヤ固定部材415,416が設けられ、移動側ステ
ージ120の一側面には第1のワイヤ137及び第2の
ワイヤ138の他端を固定するワイヤ固定部材425,
426が設けられている。
【0079】この実施形態によれば、第4実施形態と同
様の効果を奏するとともに、第1のワイヤ137や第2
のワイヤ138が切れたり伸びたりした場合であって
も、固定側ステージ110と移動側ステージ120とを
分離することなしに容易にワイヤ137,138を交換
したり、その張力を調整したりあるいは滑車の交換をし
たりすることができる。
【0080】なお、第2、第4及び第5実施形態の直線
案内装置は上下動機構に用いられる場合があるが、この
場合であってもリテーナ130は中立位置からずれず、
確実な動作をすることができる。
【0081】すなわち、リテーナ130がストロークエ
ンド付近でV字溝111,121及びV字溝112,1
22から脱落することがなく、従来例のように脱落防止
のために設けた制限部材とリテーナとが干渉し、ローラ
131が滑り摩擦するようになって円滑な動作が妨げら
れたりすることがなく、V字溝111,121,11
2,122で構成される案内機構の系統的な精度(指示
精度及び走り精度)が変化しない。
【0082】なお、上記直線案内装置にはリニアエンコ
ーダ等の位置読取装置を取り付けることによって移動側
ステージ20,120の移動量や位置を読み取ることが
できるので、例えば移動側ステージ20,120に載置
された試料の寸法測定に応用することができる。
【0083】
【発明の効果】以上に説明したように請求項1に記載の
発明の直線案内装置によれば、転動体保持手段が中立位
置からずれず、転動体は第1の直線案内部及び第2の直
線案内部に沿って移動部材の1/2の速比で転動するの
で、滑らかな動作をすることができる。
【0084】請求項2に記載の発明の直線案内装置によ
れば、構成を簡素化することができる。
【0085】請求項3に記載の発明の直線案内装置によ
れば、移動部材の直動性が確保される。
【0086】請求項4に記載の発明の直線案内装置によ
れば、部品点数を削減することができる。
【0087】請求項5に記載の発明の直線案内装置によ
れば、保守や調整が容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の第1実施形態に係る直線案内
装置を説明する図であって、図1(a)は平面図(移動
部材を2点鎖線で示す)、図1(b)は正面図である。
【図2】図2はこの発明の第2実施形態に係る直線案内
装置を説明する図であって、図2(a)は平面図(移動
部材を2点鎖線で示す)、図2(b)は正面図である。
【図3】図3はこの発明の第3実施形態に係る直線案内
装置を説明する図であって、図3(a)は平面図(移動
部材を2点鎖線で示す)、図3(b)は正面図である。
【図4】図4はこの発明の第4実施形態に係る直線案内
装置を説明する図であって、図4(a)は平面図(移動
部材を2点鎖線で示す)、図4(b)は正面図である。
【図5】図5はこの発明の第5実施形態に係る直線案内
装置を説明する図であって、図5(a)は平面図(移動
部材を2点鎖線で示す)、図5(b)は正面図である。
【図6】図6は従来の直線案内装置を説明する図であっ
て、図6(a)は平面図(移動部材を2点鎖線で示
す)、図6(b)は正面図である。
【図7】図7は従来の他の直線案内装置を説明する図で
あって、図7(a)は平面図(移動部材を2点鎖線で示
す)、図7(b)は正面図である。
【図8】図8は従来の他の直線案内装置を説明する図で
あって、図8(a)は平面図(移動部材を2点鎖線で示
す)、図8(b)は正面図である。
【符号の説明】
10,110 固定側ステージ 11,21 V側案内面 20,120 移動側ステージ 12,22 フラット側案内面 31,41 ニードルローラ 30,40,130 リテーナ(転動体保持手段) 35,36,45,46,135,136,235,2
45,335,435滑車 37,47,137 第1のワイヤ 38,48,138 第2のワイヤ 111,112,121,122 V字溝 131 ローラ

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 2本の平行な第1の直線案内部を有する
    固定部材と、 2本の平行な第2の直線案内部を有し、前記第1の直線
    案内部と前記第2の直線案内部とがそれぞれ対向するよ
    うに配置される移動部材と、 前記第1の直線案内部及び前記第2の直線案内部を転動
    する複数の転動体と、 前記転動体を転動可能に保持し、前記移動部材の動きに
    追従する転動体保持手段とを備えている直線案内装置に
    おいて、 前記転動体保持手段に設けられた一対の滑車と、 一方の前記滑車を介して張り渡され、一端を前記固定部
    材に固定し、他端を前記移動部材に固定した第1のワイ
    ヤと、 他方の前記滑車を介して張り渡され、一端を前記固定部
    材に固定し、他端を前記移動部材に固定した第2のワイ
    ヤとを備えていることを特徴とする直線案内装置。
  2. 【請求項2】 前記転動体保持手段は前記第1の直線案
    内部間に亘って一体に形成されるとともに、前記一対の
    滑車を同一軸線上に設けていることを特徴とする請求項
    1に記載の直線案内装置。
  3. 【請求項3】 前記転動体保持手段は前記第1の直線案
    内部間に亘って一体に形成されるとともに、前記一対の
    滑車を前記転動体保持手段の移動方向の両端に設けてい
    ることを特徴とする請求項1に記載の直線案内装置。
  4. 【請求項4】 前記転動体保持手段は前記第1の直線案
    内部間に亘って一体に形成されるとともに、前記一対の
    滑車を前記転動体保持手段の移動方向の中央部に設けて
    いることを特徴とする請求項1に記載の直線案内装置。
  5. 【請求項5】 前記滑車は前記固定部材及び前記移動部
    材の側面から突出していることを特徴とする請求項1に
    記載の直線案内装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100440505B1 (ko) * 2001-01-31 2004-07-19 도시바 기카이 가부시키가이샤 유한 선형 구름 가이드의 위치어긋남을 교정하기 위한방법 및 장치
JP2008303908A (ja) * 2007-06-05 2008-12-18 Toshiba Mach Co Ltd 有限転がり案内
EP1972805A3 (en) * 2007-03-19 2009-07-01 Union Tool Co. Finite linear motion device

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