JP2001155130A - Ic chip pre-alignment jig for non-contact ic card - Google Patents

Ic chip pre-alignment jig for non-contact ic card

Info

Publication number
JP2001155130A
JP2001155130A JP33599499A JP33599499A JP2001155130A JP 2001155130 A JP2001155130 A JP 2001155130A JP 33599499 A JP33599499 A JP 33599499A JP 33599499 A JP33599499 A JP 33599499A JP 2001155130 A JP2001155130 A JP 2001155130A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chip
positioning
alignment
stage
jig
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP33599499A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Naoyuki Sakata
直幸 坂田
Kazuo Kobayashi
一雄 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toppan Printing Co Ltd filed Critical Toppan Printing Co Ltd
Priority to JP33599499A priority Critical patent/JP2001155130A/en
Publication of JP2001155130A publication Critical patent/JP2001155130A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pre-alignment jig which does not have any chip off of an IC chip in the case of mounting the IC chip on a non-contact IC card board by a flip chip mounting, can easily deal with size change and further performs rough positioning of the IC chip not having the chip protruding or falling from a stage. SOLUTION: This jig is provided with a pre-alignment stage 4 having a size that the IC chip 1 to be mounted is not protruded from the stage 4, and a positioning part 3 having a structure of two upper and lower stages. The chip 1 to be pre-aligned is mounted on the stage 4, then the positioning part 3 is pushed out from the four side of the pre-alignment stage, thereby positioning the IC chip.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置を基板上
に実装する実装方法に関し、特に非接触ICカード用基
板上に、フリップチップ実装によりICチップを実装す
る前に大まかな位置出しをするプリアライメント工程に
好適なプリアライメント治具に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mounting method for mounting a semiconductor device on a substrate, and more particularly to a pre-positioning method for roughly positioning a semiconductor device on a substrate for a non-contact IC card by flip-chip mounting before mounting the IC chip. The present invention relates to a pre-alignment jig suitable for an alignment step.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、キャッシュカード、IDカード等
重要かつ大量なデータを記憶、処理する目的でICチッ
プを搭載したICカードが普及している。近年では、I
Cカードの外部端子と外部端末を接続して使用する接触
式のICカードだけでなく、アンテナを内蔵し、電波や
静電結合により非接触で外部機器との間でデータ交換を
行う非接触式のICカードの使用が増加し、カードの出
し入れの不要、外部端末のメンテナンスの軽減等の理由
から、需要が高まっている。
2. Description of the Related Art Conventionally, IC cards equipped with IC chips for storing and processing important and large amounts of data, such as cash cards and ID cards, have become widespread. In recent years, I
Not only a contact-type IC card that connects and uses an external terminal of a C card and an external terminal, but also a built-in antenna, and a non-contact type that exchanges data with external devices in a non-contact manner by radio waves or electrostatic coupling The use of IC cards is increasing, and the demand is increasing for reasons such as the necessity of taking out and inserting the card and the reduction of maintenance of external terminals.

【0003】非接触ICカードでは、限られたカードの
厚み制限の中に、ICチップが実装された基板を収納し
なければならなく、またコストダウンを目的に、ポリエ
チレンテレフタレート(PET)樹脂やポリイミド樹脂
等のフィルム上にエッチングや印刷によって銅、アル
ミ、銀ペースト等の回路パターンを形成したフィルム基
板が用いられている。
In a non-contact IC card, a substrate on which an IC chip is mounted must be accommodated within the limited thickness of the card, and a polyethylene terephthalate (PET) resin or polyimide is used for cost reduction. 2. Description of the Related Art A film substrate is used in which a circuit pattern of copper, aluminum, silver paste or the like is formed on a film of a resin or the like by etching or printing.

【0004】フィルム基板上にICチップが実装される
ものは、COF(Chip OnFilm)と呼ばれて
いる。ICチップの表面が、基板側を向いて実装される
方法はフリップチップ実装方法と呼ばれ、代表的な例と
して、例えば、図2に示すようなICチップ(1)と回
路パターン(9)とを異方性導電膜(以下ACF:An
isotropic Conductive Film
という)(7)によって実装する方法がある。
An IC chip mounted on a film substrate is called a COF (Chip On Film). A method in which the surface of the IC chip is mounted with the surface facing the substrate side is called a flip chip mounting method. As a typical example, for example, an IC chip (1) and a circuit pattern (9) as shown in FIG. With an anisotropic conductive film (hereinafter ACF: An
isotropic Conductive Film
(7).

【0005】ACF(7)とはニッケル、金属コートさ
れたプラスチック等の導電粒子(8)をエポキシ系樹脂
等の接着剤中に分散した接着材料であり、加熱により接
着剤が溶け、硬化する過程で加圧により導電粒子(8)
がICチップ(1)のバンプ(2)と基板(10)の配
線パターン(9)上で保持され、縦方向の導電性と横方
向では粒子は単独で存在するので絶縁性が得られる。A
CF(7)はICチップ(1)と基板(10)の間を封
止する役割もあるため、製作工程を減らすことができる
ことなどから、広く利用されている。
ACF (7) is an adhesive material in which conductive particles (8) such as plastic coated with nickel or metal are dispersed in an adhesive such as an epoxy resin, and the process of melting and curing the adhesive by heating. Conductive particles by pressurizing (8)
Are held on the bumps (2) of the IC chip (1) and the wiring pattern (9) of the substrate (10), and the conductivity is obtained in the vertical direction and the insulating property is obtained because the particles exist alone in the horizontal direction. A
Since the CF (7) also has a role of sealing between the IC chip (1) and the substrate (10), it is widely used because it can reduce the number of manufacturing steps.

【0006】また、フィルム状ではなく液状の異方性導
電ペースト(ACP:Anisotropic Con
ductive Paste)、導電粒子を含まないア
ンダーフィル剤等を用いて実装する方法もある。
Further, a liquid-like anisotropic conductive paste (ACP: Anisotropic Con
There is also a method of mounting using an underfill agent or the like that does not contain conductive particles.

【0007】通常のフリップチップ実装ラインでは、ま
ずICチップを実装する基板に、ACF等の接着材料が
仮貼り、もしくは塗布され、基板はICチップ仮置き工
程へと移る。ICチップ仮置き工程はICチップと基板
とを数μm単位で正確に位置合わせし、ICチップを基
板上に仮置きする工程である。そのため、まずICチッ
プを収納しているICチップトレーから、ICチップを
吸着ツールにより取り出す。しかしチップトレー内のI
Cチップは、図3に示すようにICチップ(1)のサイ
ズより少し大きめに形成されたチップトレー(11)内
の溝(12)に収納されているので、それぞれが多少ば
らばらに置かれている。また、チップトレー(11)に
収納されている状態ではICチップ(1)のバンプ
(2)が形成された回路面は上向きに置かれ、回路面が
傷つかないように収納されている。そのためICチップ
の位置あわせをする前に、ICチップ反転機構を用いて
ICチップを裏返し、上向きの回路面を下向きになるよ
うにしてから、大まかな位置出しをする必要がある。
In a normal flip chip mounting line, first, an adhesive material such as ACF is temporarily attached or applied to a substrate on which an IC chip is mounted, and the substrate moves to an IC chip temporary placing step. The IC chip temporary placement step is a step of accurately aligning the IC chip and the substrate in units of several μm and temporarily placing the IC chip on the substrate. Therefore, first, the IC chip is taken out from the IC chip tray storing the IC chip by the suction tool. However, I in the chip tray
The C chips are housed in grooves (12) in a chip tray (11) formed slightly larger than the size of the IC chip (1) as shown in FIG. I have. Further, in the state of being housed in the chip tray (11), the circuit surface on which the bumps (2) of the IC chip (1) are formed is placed upward so that the circuit surface is housed so as not to be damaged. Therefore, before positioning the IC chip, it is necessary to turn the IC chip upside down using an IC chip reversing mechanism so that the upward circuit surface faces downward, and then roughly position the IC chip.

【0008】大まかな位置出しを終え、位置合わせした
ICチップが仮置きされた基板は、ICチップ本圧着工
程へと移され、例えば接着材料にACFを用いた場合は
実装機のヒーターヘッドによって加熱と加圧によりIC
チップが実装される。ICチップを実装機のヒーターヘ
ッド側で吸着しながら圧着する場合もあるのでICチッ
プ仮置き工程とICチップ本圧着工程とを同時に行う場
合もある。
[0008] After the rough positioning, the substrate on which the aligned IC chip is temporarily placed is transferred to the IC chip final pressing step. For example, when ACF is used as an adhesive material, the substrate is heated by a heater head of a mounting machine. And IC by pressure
A chip is mounted. In some cases, the IC chip is pressure-bonded while being adsorbed on the heater head side of the mounting machine. Therefore, the IC chip temporary placement step and the IC chip main pressure bonding step may be performed simultaneously.

【0009】上記ICチップ仮置き工程中の大まかな位
置出しは、例えば、図4に示すようなプリアライメント
治具により行われており、位置出しするICチップ
(1)をプリアライメントステージ(4)に搭載してか
ら、図4(b)に示すようにプリアライメントステージ
(4)の四方から位置出し部(3)で押し込むことによ
って位置出しされる。大まかな位置出し方法は他にもあ
るが、図4のような位置出し方法は位置出し治具(3)
が押し込むだけで位置出しできるので、タクトタイムが
短縮できる利点があるため、量産機等では広く利用され
ている。
The rough positioning in the IC chip temporary placement step is performed by, for example, a pre-alignment jig as shown in FIG. 4, and the IC chip (1) to be positioned is placed in a pre-alignment stage (4). After being mounted on the pre-alignment stage (4) as shown in FIG. There are other rough positioning methods, but the positioning method shown in FIG. 4 is a positioning jig (3).
Since it can be positioned simply by pushing it in, it has the advantage of shortening the tact time, and is widely used in mass-production machines and the like.

【0010】しかし、図4のようなプリアライメント治
具は、位置出し治具(3)が押し切った際にICチップ
(1)に直接触れるため、ICチップ(1)に必要以上
に力が加わってしまい、ICチップ(1)が欠けること
がある。また、非接触ICカードに用いられるICチッ
プは、仕様により外形が約1〜7mm角と異なるので、
図4のようなプリアライメント治具を用いた場合、チッ
プサイズ変更時には位置出し部(3)の移動量を調整す
ることになる。位置出し部(3)の移動量を調整するこ
とは、上記欠けの問題もあり困難であり、移動量を調整
する代わりに4つの位置出し部(3)のサイズを変更し
ようとすると、コストがかかってしまうという問題があ
った。
However, the pre-alignment jig as shown in FIG. 4 directly touches the IC chip (1) when the positioning jig (3) is completely cut off, so that excessive force is applied to the IC chip (1). As a result, the IC chip (1) may be missing. In addition, IC chips used for non-contact IC cards have an outer shape of about 1 to 7 mm square depending on the specifications,
When a pre-alignment jig as shown in FIG. 4 is used, the amount of movement of the positioning unit (3) is adjusted when changing the chip size. It is difficult to adjust the moving amount of the positioning unit (3) due to the above-mentioned lacking problem. If the size of the four positioning units (3) is changed instead of adjusting the moving amount, the cost is increased. There was a problem that it would take.

【0011】そのため、非接触ICカードのICチップ
実装では、例えば、図5に示すような形状のアライメン
ト治具が用いられている。図5に示すような形状とする
と、位置出し治具(3)は押し切った際にプリアライメ
ントステージ(4)とぶつかるので、必要以上にICチ
ップ(1)に力が加わることもない。また、ICチップ
(1)のサイズが変わった場合も、中央のプリアライメ
ントステージ(4)の大きさを変更し、プリアライメン
トステージ(4)とぶつかるように位置出し部(3)の
移動量を調整することによって、多種類のICチップの
おおまかな位置出しに対応している。
For this reason, in mounting an IC chip on a non-contact IC card, for example, an alignment jig having a shape as shown in FIG. 5 is used. With the shape shown in FIG. 5, the positioning jig (3) hits the pre-alignment stage (4) when it is pushed out, so that no excessive force is applied to the IC chip (1). Also, when the size of the IC chip (1) changes, the size of the central pre-alignment stage (4) is changed, and the amount of movement of the positioning unit (3) is adjusted so as to collide with the pre-alignment stage (4). By adjusting, rough positioning of various types of IC chips is supported.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図5に
示すようなICチップ仮置き工程中のプリアライメント
治具を用いた大まかな位置出しでは、ICチップ(1)
の欠けとチップサイズ変更については問題なく位置出し
を行うことができるが、プリアライメントステージ
(4)はICチップ(1)より数μm程度大きめなサ
イズのものを用いる場合が多く、特に小さいICチップ
の場合は、チップトレーから取り出され、反転機構を経
たICチップが、ツールヘッドによりプリアライメント
ステージ(4)に搭載された際に、ICチップ(1)が
ステージ上からはみ出してしまうという問題があった。
ICチップ(1)がはみ出すと、プリアライメントステ
ージ(4)から落下したり、はみ出したICチップ
(1)のバンプ(2)が位置出し部(3)で押し込まれ
た際にプリアライメントステージ(4)の角と接触し、
バンプ(2)が傷ついたり欠落してしまうことがあっ
た。
However, in the rough positioning using the pre-alignment jig during the IC chip temporary placement step as shown in FIG. 5, the IC chip (1)
The chip alignment and chip size change can be located without any problem. However, the pre-alignment stage (4) is often several hundred μm larger than the IC chip (1), and especially the small IC. In the case of a chip, there is a problem that when the IC chip taken out of the chip tray and passed through the reversing mechanism is mounted on the pre-alignment stage (4) by the tool head, the IC chip (1) protrudes from the stage. there were.
When the IC chip (1) protrudes, it falls from the pre-alignment stage (4), or when the bump (2) of the protruded IC chip (1) is pushed in by the positioning part (3), the pre-alignment stage (4). Contact the corner)
The bump (2) was sometimes damaged or missing.

【0013】本発明は上記の問題点を解決するためにな
されたものであり、その課題とするところは、ICチッ
プをフリップチップ実装により非接触ICカード用基板
上に搭載する際に、ICチップが欠けることなく、ま
た、簡単にチップサイズ変更に対応することができ、更
にICチップがステージ上からはみ出したり、落下して
しまうことなく、大まかな位置出しをするプリアライメ
ント治具を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a method for mounting an IC chip on a non-contact IC card substrate by flip chip mounting. To provide a pre-alignment jig that can easily cope with a change in chip size without chipping, and that roughly positions the IC chip without protruding or falling off the stage. It is in.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明において上記課題
を達成するために、まず請求項1においては、ICチッ
プをフリップチップ実装により非接触ICカード用基板
上に搭載する際に、ICチップの大まかな位置出しをす
るプリアライメント治具に関し、搭載するICチップが
はみ出すことのない大きさの面積のプリアライメントス
テージと、上下2段の構造をもつ位置出し部を備え、プ
リアライメントするICチップをプリアライメントステ
ージに搭載してから、プリアライメントステージの四方
から位置出し部を押し出すことによって位置出しするこ
とを特徴とする非接触ICカード用ICチッププリアラ
イメント治具を提供する。
In order to achieve the above object, according to the present invention, first, when an IC chip is mounted on a non-contact IC card substrate by flip chip mounting, the IC chip is mounted. A pre-alignment jig for rough positioning is equipped with a pre-alignment stage with an area large enough to prevent the mounted IC chip from protruding, and an IC chip for pre-alignment with a positioning part having a two-level structure in upper and lower stages. Provided is an IC chip pre-alignment jig for a non-contact IC card, which is mounted on a pre-alignment stage and then positioned by extruding a positioning portion from all sides of the pre-alignment stage.

【0015】この治具により、ICチップが欠けること
なく、また、簡単にチップサイズ変更に対応することが
でき、更にICチップがステージ上からはみ出したり、
落下してしまうことなく、大まかな位置出しを行うこと
ができる。
With this jig, it is possible to easily cope with a change in chip size without chipping the IC chip, and furthermore, the IC chip protrudes from the stage.
Rough positioning can be performed without falling.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につき
説明する。図1は、本発明の非接触ICカード用ICチ
ッププリアライメント治具の一実施例を示す、(a)は
断面説明図であり、(b)は外観説明図である。
Embodiments of the present invention will be described below. 1A and 1B show an embodiment of an IC chip pre-alignment jig for a non-contact IC card according to the present invention, wherein FIG. 1A is a sectional view and FIG. 1B is an external view.

【0017】通常のフリップチップ実装ラインでは、図
1に示すプリアライメント治具が使用されるICチップ
仮置き工程より前の工程で、ICチップを実装する基板
にACF等の接着材料が仮貼り、もしくは塗布される。
ICチップ仮置き工程はICチップと基板とを数μm単
位で正確に位置合わせし、ICチップを基板上に仮置き
する工程である。そのため、まずICチップを収納して
いるICチップトレーから、ICチップを吸着ツール
(図示せず)により取り出す。しかしチップトレー内の
ICチップは、図3に示すように、ICチップ(1)の
サイズより少し大きめに形成されたチップトレー(1
1)内の溝(12)に収納されているので、それぞれが
多少ばらばらに置かれている。また、チップトレー(1
1)に収納されている状態ではICチップ(1)のバン
プ(2)が形成された回路面は上向きに置かれ、回路面
が傷つかないように収納されている。そのためICチッ
プ(1)は反転機構を用いて裏返しされ、上向きの回路
面を下向きになるようにしてから、大まかな位置出しを
行う図1に示すプリアライメント治具へと吸着ツール
(図示せず)により運ばれる。
In a normal flip chip mounting line, an adhesive material such as an ACF is temporarily attached to a substrate on which an IC chip is mounted in a process prior to an IC chip temporary placing process in which the pre-alignment jig shown in FIG. 1 is used. Or it is applied.
The IC chip temporary placement step is a step of accurately aligning the IC chip and the substrate in units of several μm and temporarily placing the IC chip on the substrate. Therefore, first, the IC chip is taken out of the IC chip tray storing the IC chip by using a suction tool (not shown). However, as shown in FIG. 3, the IC chips in the chip tray (1) are slightly larger than the size of the IC chip (1).
Since they are housed in the grooves (12) in (1), they are slightly separated. In addition, chip tray (1
In the state accommodated in 1), the circuit surface on which the bumps (2) of the IC chip (1) are formed is placed upward and accommodated so that the circuit surface is not damaged. Therefore, the IC chip (1) is turned upside down using a reversing mechanism so that an upward circuit surface faces downward, and then a suction tool (not shown) is moved to a pre-alignment jig shown in FIG. ).

【0018】吸着ツールにより運ばれたICチップ
(1)はプリアライメントステージ(4)上に搭載され
る。吸着ツールとの受け渡しの関係でプリアライメント
ステージ(4)にはチップ吸着穴が形成されていること
もある。通常、プリアライメントステージ(4)の材質
は金属である。プリアライメントステージ(4)に搭載
されたICチップ(1)は、図1(b)に示されるよう
にプリアライメントステージ(4)の四方から位置出し
部(3)で押し込むことによって位置出しされる。位置
出し部(3)の押し出しは通常エアーの開閉により行う
ことができるので、1秒以下での短いタクトタイムでの
大まかな位置出しが可能である。また通常、位置出し部
(3)の材質も金属である。
The IC chip (1) carried by the suction tool is mounted on a pre-alignment stage (4). A chip suction hole may be formed in the pre-alignment stage (4) due to the delivery of the chip to the suction tool. Usually, the material of the pre-alignment stage (4) is metal. As shown in FIG. 1B, the IC chip (1) mounted on the pre-alignment stage (4) is positioned by pushing the IC chip (1) from all sides of the pre-alignment stage (4) by the positioning portion (3). . Since the pushing of the positioning section (3) can be normally performed by opening and closing air, rough positioning can be performed with a short tact time of 1 second or less. Usually, the material of the positioning portion (3) is also metal.

【0019】図1に示すような搭載するICチップ
(1)がはみ出すことのない大きさの面積のプリアライ
メントステージ(4)と、上下2段の構造をもつ位置出
し部(3)の構成とすると、位置出し部(3)が押し切
った際にICチップ(1)に直接触れず、下段側がプリ
アライメントステージ(4)とぶつかるので、必要以上
にICチップ(1)に力が加わることもなく、ICチッ
プ(1)が欠けることもない。
As shown in FIG. 1, the configuration of a pre-alignment stage (4) having an area of a size such that the mounted IC chip (1) does not protrude, and a positioning unit (3) having a two-stage structure in upper and lower stages. Then, when the positioning portion (3) is pushed completely, the IC chip (1) is not directly touched and the lower side collides with the pre-alignment stage (4), so that no excessive force is applied to the IC chip (1). And the IC chip (1) is not chipped.

【0020】また、非接触ICカードに用いられるIC
チップは、仕様により外形が約1〜7mm角と異なるの
で、チップサイズ変更時には中央のプリアライメントス
テージ(4)の大きさを変更し、プリアライメントステ
ージ(4)とぶつかるように位置出し部(3)の移動量
を調整するだけで、多種類のICチップのおおまかな位
置出しに対応することができる。よって4つの位置出し
部(3)のサイズを変更する必要はない。
Further, an IC used for a non-contact IC card
Since the chip has an outer shape of about 1 to 7 mm square depending on the specification, when changing the chip size, the size of the central pre-alignment stage (4) is changed, and the positioning portion (3) is brought into contact with the pre-alignment stage (4). By simply adjusting the amount of movement described in (1), rough positioning of various types of IC chips can be supported. Therefore, it is not necessary to change the size of the four positioning portions (3).

【0021】さらに、プリアライメントステージ(4)
がチップの面積より十分大きいので、特に小さいチップ
の大まかな位置出しをする際に、反転機構を経たICチ
ップが、吸着ツールによりプリアライメントステージ
(4)に搭載された時に、ICチップ(1)がステージ
上からはみ出したり、落下してしまうこともない。
Further, a pre-alignment stage (4)
Is sufficiently larger than the area of the chip, and particularly when roughly positioning a small chip, when the IC chip having passed through the reversing mechanism is mounted on the pre-alignment stage (4) by the suction tool, the IC chip (1) Does not protrude from the stage or fall.

【0022】プリアライメント治具での大まかな位置出
しを終え、正確な位置あわせをしICチップが仮置きさ
れた基板は、ICチップ本圧着工程へと移され、例え
ば、接着材料にACFを用いた場合は実装機のヒーター
ヘッドによって加熱と加圧によりICチップが実装され
る。ICチップを実装機のヒーターヘッド側で吸着しな
がら圧着する場合もあるのでICチップ仮置き工程とI
Cチップ本圧着工程とを同時に行う場合もある。
After the rough positioning with the pre-alignment jig is completed, the substrate on which the IC chip is temporarily placed after the accurate alignment is transferred to the IC chip final bonding step, for example, using ACF as an adhesive material. In this case, the IC chip is mounted by heating and pressurization by the heater head of the mounting machine. In some cases, the IC chip is pressure-bonded while adsorbing on the heater head side of the mounting machine.
In some cases, the C chip final pressure bonding step may be performed simultaneously.

【0023】[0023]

【実施例】以下、実施例により本発明を詳細に説明す
る。 〈実施例1〉通常の非接触ICカード用ICチップ実装
機のICチップ仮置き工程部を使用して、図1、図4、
図5に示すようなプリアライメント治具を用いてICチ
ップの大まかな位置出し実験を行った。ICチップは大
きさ縦5mm×横5mm、厚さ260μm、バンプ数4
個のものと、縦1.5mm×横2mm、厚さ150μ
m、バンプ数2個のものを用いた。サンプル数は各10
0個で行った。
The present invention will be described below in detail with reference to examples. <Embodiment 1> Using the IC chip temporary placement process section of a normal non-contact IC card IC chip mounting machine, FIGS.
A rough positioning experiment of the IC chip was performed using a pre-alignment jig as shown in FIG. The size of the IC chip is 5mm × 5mm, 260μm, and the number of bumps is 4
1.5mm x 2mm, 150μ thick
m and two bumps were used. 10 samples each
Performed with 0 pieces.

【0024】実験では、まずICチップを収納している
ICチップトレーから、ICチップを吸着ツールにより
取り出した。しかしチップトレー内のICチップは、図
3に示すようにICチップ(1)のサイズより少し大き
めに形成されたチップトレー(11)内の溝(12)に
収納されているので、それぞれが多少ばらばらに置かれ
ている。
In the experiment, first, the IC chip was taken out from the IC chip tray containing the IC chip by using a suction tool. However, the IC chips in the chip tray are housed in grooves (12) in the chip tray (11) formed slightly larger than the size of the IC chip (1) as shown in FIG. It is placed apart.

【0025】また、チップトレー(11)に収納されて
いる状態ではICチップ(1)のバンプ(2)が形成さ
れた回路面は上向きに置かれ、回路面が傷つかないよう
に収納されている。そのため、ICチップ(1)は反転
機構を用いて裏返しして、上向きの回路面を下向きにな
るようにしてから、大まかな位置出しを行うプリアライ
メント治具へと吸着ツール(図示せず)により運んだ。
In the state where the IC chip (1) is housed in the chip tray (11), the circuit surface of the IC chip (1) on which the bumps (2) are formed is placed upward so that the circuit surface is not damaged. . Therefore, the IC chip (1) is turned upside down using a reversing mechanism so that the upward circuit surface faces downward, and then is moved to a pre-alignment jig for rough positioning by a suction tool (not shown). Transported.

【0026】吸着ツールにより運んだICチップは、プ
リアライメントステージ(4)上に搭載した。プリアラ
イメントステージ(4)の材質は金属製のものを用い
た。プリアライメントステージ(4)に搭載されたIC
チップ(1)は、プリアライメントステージ(4)の四
方から位置出し部(3)で押し込むことによって位置出
しした。なお、位置出し部(3)の材質も金属である。
The IC chip carried by the suction tool was mounted on a pre-alignment stage (4). The material of the pre-alignment stage (4) was made of metal. IC mounted on pre-alignment stage (4)
The chip (1) was positioned by being pushed in from all sides of the pre-alignment stage (4) by the positioning section (3). The material of the positioning part (3) is also metal.

【0027】プリアライメント治具によって大まかな位
置出しを行ったICチップは、次工程に流さず、一つ一
つバキュームピンセットで丁寧に回収し、顕微鏡で観察
した。
The IC chips roughly positioned by the pre-alignment jig were not collected in the next step, but were carefully collected one by one with vacuum tweezers, and observed with a microscope.

【0028】実験では縦5mm×横5mmのICチップ
100個の位置出しを行い、その後プリアライメント治
具を調整してから、1.5mm×横2mmの位置出しを
行った。これは、チップサイズ変更時のプリアライメン
ト治具の調整のし易さを比較するためである。
In the experiment, 100 IC chips of 5 mm × 5 mm were positioned, and then a pre-alignment jig was adjusted, and then 1.5 mm × 2 mm was positioned. This is to compare the ease of adjusting the pre-alignment jig when changing the chip size.

【0029】まず図4に示すような、搭載するICチッ
プ(1)より大きい面積のプリアライメントステージ
(4)と、1段からなる位置出し部(3)の構成のプリ
アライメント治具を用いて位置出し実験を行った。
First, as shown in FIG. 4, a pre-alignment stage (4) having an area larger than the IC chip (1) to be mounted and a pre-alignment jig having a positioning unit (3) composed of one stage are used. A positioning experiment was performed.

【0030】図4に示すような治具では、位置出し治具
(3)が押し切った際にICチップ(1)に直接触れ、
必要以上にICチップ(1)に力が加わってしまい、顕
微鏡で観察した際に大きさ縦5mm×横5mmのICチ
ップ50個と縦1.5mm×横2mmのICチップ80
個にICチップ(1)が欠けたものがあった。また、チ
ップサイズ変更時には位置出し部(3)の移動量を調整
しなければならないが、調整が難しく、上記したように
移動量調整後の縦1.5mm×横2mmのICチップ
(1)にはICチップ(1)の欠けが増えてしまった。
In the jig shown in FIG. 4, when the positioning jig (3) is completely pushed, it directly touches the IC chip (1).
Force is applied to the IC chip (1) more than necessary, and when observed with a microscope, 50 IC chips of 5 mm length × 5 mm width and IC chips 80 of 1.5 mm length × 2 mm width are observed.
In some cases, the IC chip (1) was missing. In addition, when the chip size is changed, the movement amount of the positioning unit (3) must be adjusted. However, it is difficult to adjust the position, and the 1.5 mm × 2 mm IC chip (1) after the movement amount is adjusted as described above. The chip of IC chip (1) has increased.

【0031】プリアライメントステージ(4)はチップ
の面積より十分大きいので、大まかな位置出しをする際
に、反転機構を経たICチップが、吸着ツールによりプ
リアライメントステージ(4)に搭載された時に、IC
チップ(1)がステージ上からはみ出したり、落下して
しまうことはなかった。
Since the pre-alignment stage (4) is sufficiently larger than the area of the chip, when the IC chip that has passed through the reversing mechanism is mounted on the pre-alignment stage (4) by the suction tool when rough positioning is performed, IC
The chip (1) did not protrude from the stage or fell.

【0032】次に図5に示すような、搭載するICチッ
プ(1)の外形より300μm大きい外形のプリアライ
メントステージ(4)と、1段の構造をもつ位置出し部
(3)の構成のプリアライメントステージ(4)を用い
て、位置出し実験をおこなった。
Next, as shown in FIG. 5, a pre-alignment stage (4) having an outer shape 300 μm larger than the outer shape of the IC chip (1) to be mounted and a pre-alignment stage (3) having a one-stage structure. A positioning experiment was performed using the alignment stage (4).

【0033】図5に示すような構成では、位置出し部
(3)が押し切った際にICチップ(1)に直接触れ
ず、プリアライメントステージ(4)とぶつかるので、
必要以上にICチップ(1)に力が加わることもなく、
ICチップ(1)が欠けることはなかった。
In the configuration as shown in FIG. 5, when the positioning portion (3) is completely pushed, it does not directly touch the IC chip (1) but hits the pre-alignment stage (4).
No force is applied to the IC chip (1) more than necessary,
The IC chip (1) was not missing.

【0034】また、チップサイズ変更時には中央のプリ
アライメントステージ(4)の大きさを変更し、プリア
ライメントステージ(4)とぶつかるように位置出し部
(3)の移動量を調整するだけで、簡単に対応すること
ができた。4つの位置出し部(3)のサイズを変更する
必要はなかった。
When the chip size is changed, the size of the center pre-alignment stage (4) is changed, and the amount of movement of the positioning portion (3) is adjusted so as to hit the pre-alignment stage (4). Was able to respond to. There was no need to change the size of the four positioning parts (3).

【0035】しかし、プリアライメントステージ(4)
がチップの面積より十分大きくないので、特に縦1.5
mm×横2mmのICチップの大まかな位置出しをする
際に、反転機構を経たICチップが、吸着ツールにより
プリアライメントステージ(4)に搭載された時に、I
Cチップ(1)がステージ上からはみ出し、バンプに傷
がついたり、欠落したものが20個、落下してしまった
ものが5個あった。
However, the pre-alignment stage (4)
Is not sufficiently larger than the chip area,
When roughly positioning an IC chip having a size of 2 mm × 2 mm, when the IC chip having passed through the reversing mechanism is mounted on the pre-alignment stage (4) by a suction tool, I
The C chip (1) protruded from the stage, and 20 bumps were scratched or missing, and 5 bumps were dropped.

【0036】最後に図1に示すような、搭載するICチ
ップの4倍以上の大きさの面積のプリアライメントステ
ージ(4)と、上下2段の構造をもつ位置出し部(3)
の構成のプリアライメント治具を用いて位置出し実験を
行った。
Finally, as shown in FIG. 1, a pre-alignment stage (4) having an area four times or more the size of an IC chip to be mounted, and a positioning unit (3) having a two-stage structure in upper and lower stages
A positioning experiment was performed using a pre-alignment jig having the above configuration.

【0037】この場合には、位置出し治具(3)が押し
切った際にICチップ(1)に直接触れず、下段側がプ
リアライメントステージ(4)とぶつかるので、必要以
上にICチップ(1)に力が加わることもなく、ICチ
ップ(1)が欠けたものはなかった。
In this case, when the positioning jig (3) is pushed completely, the IC chip (1) is not directly touched, and the lower side collides with the pre-alignment stage (4). No IC chip (1) was missing without force.

【0038】また、チップサイズ変更時には中央のプリ
アライメントステージ(4)の大きさを変更し、プリア
ライメントステージ(4)とぶつかるように位置出し部
(3)の移動量を調整するだけで良いので、簡単にチッ
プサイズ変更に対応することができた。4つの位置出し
部(3)のサイズを変更する必要はなかった。
When the chip size is changed, it is only necessary to change the size of the central pre-alignment stage (4) and adjust the amount of movement of the positioning unit (3) so as to hit the pre-alignment stage (4). , And could easily respond to chip size changes. There was no need to change the size of the four positioning parts (3).

【0039】さらに、プリアライメントステージ(4)
がチップの面積より十分大きいので、縦1.5mm×横
2mmのチップの大まかな位置出しをする際に、反転機
構を経たICチップが、吸着ツールによりプリアライメ
ントステージ(4)に搭載された時に、ICチップ
(1)がステージ上からはみ出したり、落下してしまう
こともなかった。
Further, a pre-alignment stage (4)
Is sufficiently larger than the area of the chip, so that when roughly positioning a 1.5 mm × 2 mm chip, the IC chip that has passed through the reversing mechanism is mounted on the pre-alignment stage (4) by the suction tool. Also, the IC chip (1) did not protrude from the stage or fell.

【0040】よって本発明におけるプリアライメント治
具は、他の構成のプリアライメント治具に比べ、ICチ
ップが欠けることなく、またICチップのサイズ変更に
も対応でき、プリアライメントステージから落下した
り、ICチップのバンプを傷つけることなく、大まかな
位置出しをすることが確認できた。
Therefore, the pre-alignment jig according to the present invention does not chip the IC chip and can cope with a change in the size of the IC chip as compared with the pre-alignment jig of another configuration. It was confirmed that rough positioning could be performed without damaging the bumps of the IC chip.

【0041】[0041]

【発明の効果】本発明は、ICチップをフリップチップ
実装により非接触ICカード用基板上に搭載する際に、
ICチップの大まかな位置出しをするプリアライメント
治具が、搭載するICチップの4倍以上の大きさの面積
のプリアライメントステージと、上下2段の構造をもつ
位置出し部を備えており、プリアライメントするICチ
ップをプリアライメントステージに搭載してから、プリ
アライメントステージの四方から位置出し部を押し出す
ことによって位置出しすることができるので、ICチッ
プが欠けることなく、また、プリアライメントステージ
の大きさを変えるだけで、簡単にチップサイズの変更に
対応することができ、更にICチップがステージ上から
はみ出したり、落下してしまうことなく、大まかな位置
出しを行える効果がある。
According to the present invention, when an IC chip is mounted on a non-contact IC card substrate by flip chip mounting,
A pre-alignment jig for roughly positioning an IC chip includes a pre-alignment stage having an area four times or more the size of an IC chip to be mounted, and a positioning portion having a two-stage structure in a vertical direction. After the IC chip to be aligned is mounted on the pre-alignment stage, the positioning can be performed by pushing out the positioning portion from all sides of the pre-alignment stage, so that the IC chip is not chipped and the size of the pre-alignment stage is reduced. It is possible to easily respond to a change in chip size by simply changing the size of the IC chip, and it is possible to roughly position the IC chip without protruding or falling off the stage.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明によるプリアライメント治具の一実施例
を示す、(a)は断面説明図であり、(b)は平面説明
図である。
FIGS. 1A and 1B are cross-sectional views illustrating one embodiment of a pre-alignment jig according to the present invention, and FIG. 1B is a plan view.

【図2】従来の異方性導電膜を用いて、フリップチップ
実装によりICチップを非接触ICカード用基板上に実
装する方法を示す断面説明図である。
FIG. 2 is an explanatory sectional view showing a method of mounting an IC chip on a non-contact IC card substrate by flip-chip mounting using a conventional anisotropic conductive film.

【図3】ICチップが収納されているチップトレーの外
観説明図である。
FIG. 3 is an explanatory view showing the appearance of a chip tray in which IC chips are stored.

【図4】従来のプリアライメント治具の一例を示す、
(a)は断面説明図であり、(b)は平面説明図であ
る。
FIG. 4 shows an example of a conventional pre-alignment jig.
(A) is a sectional explanatory view, and (b) is a plan explanatory view.

【図5】従来のプリアライメント治具の別の一例を示
す、(a)は断面説明図であり、(b)は平面説明図で
ある。
5A and 5B show another example of a conventional pre-alignment jig. FIG. 5A is a sectional view and FIG. 5B is a plan view.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1‥‥ICチップ 2‥‥ICチップのバンプ 3‥‥プリアライメント治具の位置出し部 4‥‥プリアライメント治具のプリアライメントステー
ジ 5‥‥プリアライメント治具の位置出し部の動作方向 6‥‥プリアライメント治具の位置出し部の下段側の端 7‥‥ACF 8‥‥ACFの導電粒子 9‥‥非接触ICカード用基板の回路パターン 10‥‥非接触ICカード用基板 11‥‥チップトレー 12‥‥チップトレーの溝
1 IC chip 2 IC chip bump 3 Preposition alignment jig positioning section 4 Prealignment jig prealignment stage 5 Operation direction of prealignment jig positioning section 6の 下 Lower end of positioning portion of pre-alignment jig 7 ‥‥ ACF 8 ‥‥ ACF conductive particles 9 粒子 Circuit pattern of non-contact IC card substrate 10 ‥‥ Non-contact IC card substrate 11 ‥‥ Chip Tray 12 ‥‥ Groove of chip tray

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ICチップをフリップチップ実装により非
接触ICカード用基板上に搭載する際に、ICチップの
大まかな位置出しをするプリアライメント治具に関し、
搭載するICチップがはみ出すことのない大きさのプリ
アライメントステージと、上下2段の構造をもつ位置出
し部を備え、プリアライメントするICチップをプリア
ライメントステージに搭載してから、プリアライメント
ステージの四方から位置出し部を押し出すことによって
位置出しすることを特徴とする非接触ICカード用IC
チッププリアライメント治具。
1. A pre-alignment jig for roughly positioning an IC chip when the IC chip is mounted on a non-contact IC card substrate by flip chip mounting.
It has a pre-alignment stage with a size that does not protrude the IC chip to be mounted, and a positioning part having a two-stage structure in the upper and lower stages. After mounting the IC chip to be pre-aligned on the pre-alignment stage, IC for non-contact IC card, characterized in that it is positioned by pushing out a positioning portion from
Chip pre-alignment jig.
JP33599499A 1999-11-26 1999-11-26 Ic chip pre-alignment jig for non-contact ic card Pending JP2001155130A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33599499A JP2001155130A (en) 1999-11-26 1999-11-26 Ic chip pre-alignment jig for non-contact ic card

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33599499A JP2001155130A (en) 1999-11-26 1999-11-26 Ic chip pre-alignment jig for non-contact ic card

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001155130A true JP2001155130A (en) 2001-06-08

Family

ID=18294611

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP33599499A Pending JP2001155130A (en) 1999-11-26 1999-11-26 Ic chip pre-alignment jig for non-contact ic card

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001155130A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008077599A (en) * 2006-09-25 2008-04-03 Dainippon Printing Co Ltd Method of manufacturing non-contact communication member and apparatus for manufacturing non-contact communication member, and method of manufacturing interposer and apparatus for manufacturing interposer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008077599A (en) * 2006-09-25 2008-04-03 Dainippon Printing Co Ltd Method of manufacturing non-contact communication member and apparatus for manufacturing non-contact communication member, and method of manufacturing interposer and apparatus for manufacturing interposer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7888175B2 (en) Method and apparatus for facilitating proximity communication and power delivery
TW200812448A (en) Flexible electronic assembly
CN107424975B (en) Module substrate and semiconductor module
JP5029597B2 (en) Card type recording medium and method for manufacturing card type recording medium
US7290331B2 (en) Component mounting apparatus and component mounting method
JP2000276569A (en) Ic chip and memory medium having the same built in
JP2001223297A (en) Semiconductor device, its manufacturing method and its laminating method
US20070006454A1 (en) Component mounting apparatus and component mounting method
EP1589570A1 (en) Semiconductor device and process for producing the same
JP2003037205A (en) Multilayer substrate with built-in ic-chip, and method of manufacturing the same
US8278154B2 (en) Method of fabricating a semiconductor device package including a heat radiation plate
US20080073782A1 (en) Semiconductor package comprising alignment members
US20050110131A1 (en) Vertical wafer stacking using an interposer
US20060261456A1 (en) Micromodule, particularly for chip card
KR102283505B1 (en) Semiconductor packages and Semiconductor modules
JP2001155130A (en) Ic chip pre-alignment jig for non-contact ic card
US8222733B2 (en) Semiconductor device package
JPH10256713A (en) Method of mounting ic package
JP2001024032A (en) Mounting method and mounting apparatus of ic chip for non-contact ic card
CN209804640U (en) Packaging structure of fingerprint identification chip
TW200922394A (en) Circuit board module and method of strengthening structure thereof
JP2007102558A (en) Electronic component and radio communication medium
Schnegg et al. Handling of thin dies with emphasis on chip-to-wafer bonding
JP2003174061A (en) Bonder and bonding method
JPH09148374A (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040608

A521 Written amendment

Effective date: 20040802

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Effective date: 20041012

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Effective date: 20041014

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 4

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081022

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 4

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081022

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 5

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091022

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101022

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 7

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111022

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 7

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111022

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121022

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees