JP2001148114A - Glass ceramic substrate for information magnetic storage medium - Google Patents

Glass ceramic substrate for information magnetic storage medium

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JP2001148114A
JP2001148114A JP32979399A JP32979399A JP2001148114A JP 2001148114 A JP2001148114 A JP 2001148114A JP 32979399 A JP32979399 A JP 32979399A JP 32979399 A JP32979399 A JP 32979399A JP 2001148114 A JP2001148114 A JP 2001148114A
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storage medium
glass
magnetic storage
crystal
glass ceramic
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Japanese (ja)
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Naoyuki Goto
直雪 後藤
Tamako Kataoka
球子 片岡
Hiroyuki Namikawa
弘行 南川
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Ohara Inc
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Ohara Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate for an information magnetic storing medium, which has a state where the crystalline particles of uniform particle size are uniformly distributed over the whole area of a coating film of a magnetic medium formed on the substrate and to be able to cope with the future tendency to have high recording density. SOLUTION: This glass ceramic constituting the information magnetic storage medium contains crystals of the oxide of at least one element selected from among Fe, Cr, Mn, Co, Ni, Cu and V as the component.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、情報記憶装置に用
いられる情報磁気記憶媒体用基板、特に磁気媒体被膜を
形成して成る基板に用いられ、磁気媒体被膜の形成に好
適な微細金属酸化物結晶を析出した情報磁気記憶媒体用
ガラスセラミックス基板に関する。尚、本明細書におい
て「情報磁気記憶媒体」とは、パーソナルコンピュータ
のいわゆるハードディスクとして使用されるような、固
定型ハードディスク,リムーバル型ハードディスク,カ
ード型ハードディスクや、データストレージやデジタル
ビデオカメラ・デジタルカメラにおいて使用可能なディ
スク状情報磁気記憶媒体を意味する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate for an information magnetic storage medium used in an information storage device, and more particularly to a fine metal oxide suitable for forming a magnetic medium film used for a substrate having a magnetic medium film formed thereon. The present invention relates to a glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium on which crystals are deposited. In this specification, the term "information magnetic storage medium" refers to a fixed hard disk, a removable hard disk, a card hard disk, a data storage, a digital video camera, or a digital camera, which is used as a so-called hard disk of a personal computer. Means a usable disk-shaped information magnetic storage medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、従来の固定型情報磁気記憶装置に
対して、リムーバル方式やカード方式等の情報磁気記憶
装置が検討、実用段階にありデジタルビデオカメラ・デ
ジタルカメラ等の用途展開も始まりつつある。この様な
動向により、パーソナルコンピュータのマルチメディア
化やデジタルビデオカメラ,デジタルカメラ等の普及が
急速に進みつつあり、動画や音声等の大きなサイズのデ
ータを扱うべく、大容量の情報磁気記憶装置が求められ
ている。これに対応するため、情報磁気記憶媒体はビッ
トおよびトラック密度を増加させ、ビットセルのサイズ
を縮小化して面記録密度を大きくするために磁性膜の微
細化が不可欠となっている。
2. Description of the Related Art In recent years, a magnetic information storage device of a removable type or a card type has been studied with respect to a conventional fixed type information magnetic storage device. is there. Due to such trends, multimedia of personal computers and the spread of digital video cameras, digital cameras, etc. are rapidly advancing, and large-capacity information magnetic storage devices are required to handle large-sized data such as moving images and voices. It has been demanded. In order to cope with this, it is indispensable to make the magnetic film finer in order to increase the bit and track densities of the information magnetic storage medium, reduce the size of the bit cells and increase the areal recording density.

【0003】従来のAl合金基板はNi−Pメッキを施
し、その上に磁気媒体被膜を形成し必要に応じて保護層
や潤滑層を形成したものが用いられ、また化学強化ガラ
ス、ガラスセラミックス基板は主に基板表面に直接磁気
媒体被膜を形成したものが用いられている。しかし近年
著しい記録密度の向上が進んでいる状況においては、N
i−Pメッキ上に磁気媒体被膜を形成したAl合金や直
接基板上に磁気媒体被膜を形成した強化ガラスまたはガ
ラスセラミックスは、磁気媒体被膜の結晶粒子が大きく
なってしまうこと等により、将来の更なる磁気特性の高
容量化、高磁気特性化において限界がある。すなわち磁
気記録の高記録密度化において、基板上に形成された磁
気媒体被膜の結晶粒子の微細化は大きな鍵を握ってい
る。一方磁気ヘッドはビットセルの縮小化によりディス
ク表面により近接して作動する、ニアコンタクトレコー
ディング、更にコンタクトレコーディング方式を採用す
る方向へ進みつつある。
A conventional Al alloy substrate is obtained by applying a Ni-P plating, forming a magnetic medium film thereon, and forming a protective layer and a lubricating layer as necessary. In general, a magnetic medium film is directly formed on a substrate surface. However, in a situation where recording density has been remarkably improved in recent years, N
Al alloys with a magnetic medium film formed on the i-P plating and tempered glass or glass ceramics with a magnetic medium film formed directly on the substrate may be used in future applications due to the large crystal grains of the magnetic medium film. There is a limit in increasing the magnetic properties and the magnetic properties. That is, in increasing the recording density of magnetic recording, miniaturization of crystal grains of a magnetic medium film formed on a substrate is a key. On the other hand, magnetic heads are moving closer to the use of near-contact recording and further contact recording methods, which operate closer to the disk surface due to the reduction in bit cells.

【0004】従来磁気ディスク用基板材として広く用い
られているアルミニウム合金基板は、軟かい材料であり
ヤング率,表面硬度が低いためドライブの高速回転にお
いて生じる振動により変形しやすく、薄形化に対応する
ことが難しいため、これからの高密度記録化への適用に
は大きな課題を有している。
Conventionally, an aluminum alloy substrate widely used as a substrate material for a magnetic disk is a soft material and has a low Young's modulus and a low surface hardness, so that it is easily deformed by vibration generated during high-speed rotation of a drive, and is suitable for thinning. Therefore, there is a great problem in application to high-density recording in the future.

【0005】一方、アルミニウム合金基板の問題点を解
消する材料として、化学強化ガラスのアルミノシリケー
トガラス特開平8−48537、特開平5−32431
(SiO2−Al23−Na2O)が知られているが、こ
の場合、(1)研磨は化学強化後に行なわれ、ディスク
の薄板化における強化層の不安定要素が高い。(2)イ
オン交換による化学強化により、特にガラス表面層にN
2O,K2O成分を必須成分として多量に含有するた
め、成膜時にこのアルカリ成分が溶出し、磁気媒体被膜
の粒子の特性(結晶粒径の均一性や配向性等)が低下し
てしまう。また強化相は、長期の使用において、磁気媒
体被膜中への拡散という経時変化を生じ、磁気特性を悪
化させてしまう。これを防止する方法として、Na
2O,K2O溶出防止のための全面バリアコート処理があ
るが、製品の低コスト安定生産性が難しい欠点がある。
On the other hand, as materials for solving the problems of the aluminum alloy substrate, chemically strengthened glass aluminosilicate glass JP-A-8-48537 and JP-A-5-32431.
(SiO 2 —Al 2 O 3 —Na 2 O) is known, but in this case, (1) polishing is performed after chemical strengthening, and the unstable element of the strengthening layer in thinning the disk is high. (2) Due to chemical strengthening by ion exchange, N
Since a large amount of the a 2 O and K 2 O components is contained as an essential component, the alkali component is eluted at the time of film formation, and the characteristics (uniformity of crystal grain size, orientation, etc.) of the particles of the magnetic medium coating deteriorate. Would. In addition, the reinforced phase causes a temporal change such as diffusion into the magnetic medium film over a long period of use, thereby deteriorating magnetic properties. To prevent this, Na
2 O, there is entirely barrier coat process for K 2 O elution preventive but a disadvantage low cost stable production of the product is difficult.

【0006】更にアルミニウム合金基板や化学強化ガラ
ス基板に対して、いくつかの結晶化ガラスが知られてい
る。例えば、特開平9−35234号公報,EP078
1731A1号公報に開示される磁気ディスク用ガラス
セラミックス基板は、Li2O−SiO2系組成から成
り、結晶相は二珪酸リチウムとβ−スポジューメン、あ
るいは二珪酸リチウムとβ−クリストバライトを析出さ
せたものであり、特開平9−77531号公報にはSi
2−Al23−MgO−ZnO−TiO2系結晶化ガラ
スが開示されている。この結晶化ガラスは、Al23
有量が20%以上と多く、このため主結晶相として多量
のスピネル結晶((Mg/Zn)Al24)を析出させ
たもので、非常に硬度が高く研磨加工性において問題を
有するものである。
Further, some crystallized glasses have been known for aluminum alloy substrates and chemically strengthened glass substrates. For example, JP-A-9-35234, EP078
The glass-ceramic substrate for a magnetic disk disclosed in Japanese Patent No. 1731A1 has a Li 2 O—SiO 2 composition and a crystal phase in which lithium disilicate and β-spodumene or lithium disilicate and β-cristobalite are precipitated. Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-77531 discloses Si
O 2 -Al 2 O 3 -MgO- ZnO-TiO 2 based crystallized glass is disclosed. This crystallized glass has a high Al 2 O 3 content of 20% or more, and thus has a large amount of spinel crystals ((Mg / Zn) Al 2 O 4 ) precipitated as a main crystal phase, and has a very high hardness. And has a problem in polishing workability.

【0007】前記のような従来の基板に磁気媒体被膜を
直接形成した場合、磁気媒体被膜の結晶粒子は今後の高
密度記録に対応し得るまでの均一で微細な結晶粒子とは
ならず、高記憶密度化に対して限界を有している。すな
わち、化学強化ガラスまたはガラスセラミックス基板上
に、磁気媒体被膜の結晶形成における核として微細金属
粒子または微細金属酸化物粒子を形成(蒸着やスパッタ
ー等)させる技術があるが、これらの方法では、基板上
の全面積において均一な粒径の粒子を均一な分布状態で
形成することは難しく、しかも生産性,安定性に欠けて
いる。
When a magnetic medium film is directly formed on the conventional substrate as described above, the crystal grains of the magnetic medium film do not become uniform and fine crystal particles until a high-density recording can be performed in the future. There is a limit to memory density. In other words, there is a technique of forming fine metal particles or fine metal oxide particles as nuclei in crystal formation of a magnetic medium film on a chemically strengthened glass or glass ceramic substrate (evaporation, sputtering, etc.). It is difficult to form particles having a uniform particle size in a uniform distribution state over the entire area above, and lacks productivity and stability.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来技
術に見られる諸欠点を解消し、更に今後の高記録密度化
傾向に対応し得る情報磁気記憶媒体用基板を提供するこ
とにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a substrate for an information magnetic storage medium which solves the above-mentioned drawbacks of the prior art and can cope with a tendency to increase the recording density in the future.

【0009】[0009]

【課題を解消するための手段】本発明者は、上記目的を
達成するために鋭意試験研究を重ねた結果、特定の元素
を構成元素として含有する微細金属酸化物結晶を析出さ
せたガラスセラミック基板は、磁気媒体被膜の結晶粒径
の微細化において顕著な効果を有していることを見い出
し、本発明に至った。尚、本発明において、スピネル結
晶とは(Mgおよび/またはZn)Al24もしくは
(Mgおよび/またはZn)2TiO4、またはこれら2
結晶間における固溶体を示すものであり、ユークリプタ
イトとはLi2O・Al23・2SiO2(但しLi2
の一部はMgOおよび/またはZnOとの置換が可能)
を示すものであり、各結晶の固溶体とは各結晶にその構
成成分以外の成分が一部置換または固溶したものを示す
ものである。
Means for Solving the Problems The present inventor has conducted intensive tests and researches to achieve the above object, and as a result, a glass ceramic substrate on which a fine metal oxide crystal containing a specific element as a constituent element is deposited. Have found that they have a remarkable effect in reducing the crystal grain size of the magnetic medium film, and have reached the present invention. In the present invention, the spinel crystal is (Mg and / or Zn) Al 2 O 4 or (Mg and / or Zn) 2 TiO 4 , or
And shows a solid solution between the crystal, Yuktobanian descriptor and tight Li 2 O · Al 2 O 3 · 2SiO 2 ( where Li 2 O
Can be replaced with MgO and / or ZnO)
The solid solution of each crystal means that a component other than the constituent component is partially substituted or dissolved in each crystal.

【0010】すなわち、請求項1に記載の発明は、情報
磁気記憶媒体を構成するガラスセラミックスにおいて、
Fe,Cr,Mn,Co,Ni,Cu,Vの中から選ば
れる少なくとも1種以上の元素を構成成分として含有す
る金属酸化物結晶を有することを特徴とする、情報磁気
記憶媒体用ガラスセラミックス基板であり、請求項2に
記載の発明は、情報磁気記憶媒体を構成するガラスセラ
ミックスにおいて、α-Fe23,γ-Fe23,RxF
24(スピネル型フェライト結晶),RxCr2
4(スピネル型クロム結晶),2RxO・TiO3もしく
はRxO・TiO2(但し、RxはFe,Cr,Mn,
Co,Ni,Cu,Vの中から選ばれる少なくとも1種
以上の元素)、またはこれら結晶の固溶体の中から選ば
れる少なくとも1種以上を含むことを特徴とする、請求
項1に記載の情報磁気記憶媒体用ガラスセラミックス基
板であり、請求項3に記載の発明は、情報磁気記憶媒体
を構成するガラスセラミックスにおいて、前記金属酸化
物結晶または前記金属酸化物結晶の固溶体の結晶粒径が
10Å〜500Åであることを特徴とする、請求項1ま
たは2に記載の情報磁気記憶媒体用ガラスセラミックス
基板であり、請求項4に記載の発明は、情報磁気記憶媒
体を構成するガラスセラミックスにおいて、主結晶相と
して、二珪酸リチウム,α−クォーツ,α−クリストバ
ライト,β−クォーツ,β−スポジューメン,β−ユー
クリプタイト,コージェライト,エンスタタイト,スピ
ネル結晶,MgTi25もしくはフォルステライト、ま
たはこれら結晶の固溶体の中から選ばれる少なくとも1
種以上を含むことを特徴とする、請求項1〜3のいずれ
かに記載の情報磁気記憶媒体用ガラスセラミックス基板
であり、請求項5に記載の発明は、情報磁気記憶媒体を
構成するガラスセラミックスの主結晶相において、最も
析出比の多い相は二珪酸リチウム,α−クォーツもしく
はα−クリストバライト、またはこれら結晶の固溶体で
あることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載
の情報磁気記憶媒体用ガラスセラミックス基板であり、
請求項6に記載の発明は、情報磁気記憶媒体を構成する
ガラスセラミックスの主結晶相において、最も析出比の
多い相はβ−クォーツ,β−スポジューメンもしくはβ
−ユークリプタイト、またはこれら結晶の固溶体である
ことを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の情
報磁気記憶媒体用ガラスセラミックス基板であり、請求
項7に記載の発明は、情報磁気記憶媒体を構成するガラ
スセラミックスの主結晶相において、最も析出比の多い
相はコージェライト,エンスタタイト,MgTi25
スピネル結晶もしくはフォルステライト、またはこれら
結晶の固溶体であることを特徴とする、請求項1〜3の
いずれかに記載の情報磁気記憶媒体用ガラスセラミック
ス基板であり、請求項8に記載の発明は、情報磁気記憶
媒体を構成するガラスセラミックスの組成は酸化物換算
の質量百分率で、 SiO2 70〜80% Li2O 5〜10% Na2O 0〜1% K2O 0〜5% MgO 0〜5% ZnO 0〜5% CaO 0〜5% SrO 0〜5% BaO 0〜5% 但し、MgO+ZnO+CaO+SrO+BaO 1〜5% Al23 5〜10% P25 1〜3% TiO2 0〜5% ZrO2 0〜7% SnO2 0〜3% As23 0〜2% Sb23 0〜2% Fe,Cr,Mn,Co,Ni,Cu,Vの中から選ばれる1種以上の元 素の金属酸化物 2〜8% を含有することを特徴とする、請求項5に記載の情報磁
気記憶媒体用ガラスセラミックス基板であり、請求項9
に記載の発明は、情報磁気記憶媒体を構成するガラスセ
ラミックスの組成は酸化物換算の質量百分率で、 SiO2 50〜62% Li2O 3〜5% MgO 0.5〜2% ZnO 0.2〜2% CaO 0.3〜4% BaO 0.5〜4% TiO2 1〜4% ZrO2 1〜4% P25 5〜10% Al23 22〜26% As23 0〜2% Sb23 0〜2% Fe,Cr,Mn,Co,Ni,Cu,Vの中から選ばれる1種以上の元 素の金属酸化物 2〜8% を含有することを特徴とする請求項6に記載の情報磁気
記憶媒体用ガラスセラミックス基板であり、請求項10
に記載の発明は、情報磁気記憶媒体を構成するガラスセ
ラミックスの組成は酸化物換算の質量百分率で、 SiO2 30〜65% Al23 5〜25% ZnO 0〜30% MgO 0〜30% CaO 0〜15% SrO 0〜15% BaO 0〜15% TiO2 2〜15% La23 0〜10% Y23 0〜10% Gd23 0〜10% Ta25 0〜10% Nb25 0〜10% WO3 0〜10% ZrO2 0〜4% P25 0〜5% SnO2 0〜2% 但し、ZrO2+P25+SnO2 0〜7% As23 0〜2% Sb23 0〜2% Fe,Cr,Mn,Co,Ni,Cu,Vの中から選ばれる1種以上の元 素の金属酸化物 2〜8% を含有することを特徴とする請求項7に記載の情報磁気
記憶媒体用ガラスセラミックス基板である。
That is, according to the first aspect of the present invention, there is provided a glass ceramic constituting an information magnetic storage medium,
A glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium, comprising a metal oxide crystal containing at least one element selected from the group consisting of Fe, Cr, Mn, Co, Ni, Cu, and V as a component. According to a second aspect of the present invention, there is provided a glass ceramic constituting an information magnetic storage medium, wherein α-Fe 2 O 3 , γ-Fe 2 O 3 , RxF
e 2 O 4 (spinel ferrite crystal), RxCr 2 O
4 (spinel chromium crystals), 2RxO · TiO 3 or RXO · TiO 2 (where, Rx is Fe, Cr, Mn,
2. The information magnet according to claim 1, wherein at least one element selected from Co, Ni, Cu, and V) or at least one element selected from solid solutions of these crystals is included. A glass ceramic substrate for a storage medium, wherein the invention according to claim 3 is a glass ceramic constituting an information magnetic storage medium, wherein the metal oxide crystal or a solid solution of the metal oxide crystal has a crystal grain size of 10 ° to 500 °. The glass ceramics substrate for an information magnetic storage medium according to claim 1 or 2, wherein the glass ceramics constituting the information magnetic storage medium has a main crystal phase. Lithium disilicate, α-quartz, α-cristobalite, β-quartz, β-spodumene, β-eucryptite, koji At least one selected from ferrite, enstatite, spinel crystals, MgTi 2 O 5 or forsterite, or a solid solution of these crystals.
A glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the glass ceramic substrate comprises an information magnetic storage medium. 4. The main crystal phase according to claim 1, wherein the phase having the highest precipitation ratio is lithium disilicate, α-quartz or α-cristobalite, or a solid solution of these crystals. A glass ceramic substrate for a magnetic storage medium,
According to a sixth aspect of the present invention, in the main crystal phase of the glass ceramic constituting the information magnetic storage medium, the phase having the highest precipitation ratio is β-quartz, β-spodumene or β-quartz.
-The glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to any one of claims 1 to 3, wherein the glass ceramic substrate is eucryptite or a solid solution of these crystals. Among the main crystal phases of the glass ceramic constituting the magnetic storage medium, the phase having the highest precipitation ratio is cordierite, enstatite, MgTi 2 O 5 ,
The glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to any one of claims 1 to 3, wherein the substrate is a spinel crystal or forsterite, or a solid solution of these crystals. The composition of the glass ceramics constituting the information magnetic storage medium is expressed in terms of mass percentage in terms of oxides: SiO 2 70 to 80% Li 2 O 5 to 10% Na 2 O 0 to 1% K 2 O 0 to 5% MgO 0 0~5% 5% ZnO CaO 0~5% SrO 0~5% BaO 0~5% , however, MgO + ZnO + CaO + SrO + BaO 1~5% Al 2 O 3 5~10% P 2 O 5 1~3% TiO 2 0~5 % ZrO 2 0~7% SnO 2 0~3 % as 2 O 3 0~2% Sb 2 O 3 0~2% Fe, Cr, Mn, Co, Ni, Cu, 1 or more selected from among V Element money The glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to claim 5, characterized in that the glass ceramic substrate contains 2 to 8% of a metal oxide.
In the invention described in (1), the composition of the glass ceramic constituting the information magnetic storage medium is as follows: SiO 2 50 to 62% Li 2 O 3 to 5% MgO 0.5 to 2% ZnO 0.2 ~2% CaO 0.3~4% BaO 0.5~4% TiO 2 1~4% ZrO 2 1~4% P 2 O 5 5~10% Al 2 O 3 22~26% As 2 O 3 0 ~2% Sb 2 O 3 0~2% Fe, Cr, and characterized in that it contains Mn, Co, Ni, Cu, 2-8% metal oxides of one or more elemental selected from among V The glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to claim 6, wherein
The invention described in the mass percentage of the composition of the glass ceramics in terms of oxide constituting the magnetic information storage medium, SiO 2 30~65% Al 2 O 3 5~25% ZnO 0~30% MgO 0~30% CaO 0~15% SrO 0~15% BaO 0~15 % TiO 2 2~15% La 2 O 3 0~10% Y 2 O 3 0~10% Gd 2 O 3 0~10% Ta 2 O 5 0 ~10% Nb 2 O 5 0~10% WO 3 0~10% ZrO 2 0~4% P 2 O 5 0~5% SnO 2 0~2% , however, ZrO 2 + P 2 O 5 + SnO 2 0 ~7% as 2 O 3 0~2% Sb 2 O 3 0~2% Fe, Cr, Mn, Co, Ni, Cu, metal oxides of one or more elemental selected from among V 2 to 8 8. The glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to claim 7, wherein

【0011】本発明のガラスセラミックにおける好適な
金属酸化物結晶の種類と結晶粒径,主結晶相,組成範囲
等を上記のように限定した理由を以下に示す。尚、組成
については、原ガラスと同様酸化物基準の質量百分率で
示す。
The reasons for limiting the type and crystal grain size, main crystal phase, composition range, and the like of suitable metal oxide crystals in the glass ceramic of the present invention are described below. The composition is shown in terms of mass percentage on an oxide basis as in the raw glass.

【0012】まずは、金属酸化物結晶について述べる。
磁気媒体被膜を得るには、前述のように従来行われてい
た金属酸化物をガラスセラミックス基板上に形成(蒸
着、スパッタ等)する方法よりも、ガラスセラミックス
中に磁気媒体被膜の構成元素と同じもしくは同類の均一
で微細な金属酸化物結晶を均一分散状態で析出させるの
が有効であると考え、試験研究を行った結果、Fe,C
r,Mn,Co,Ni,Cu,Vの中から選ばれる少な
くとも1種以上の元素を構成成分として含有する金属酸
化物結晶を有するものが、その効果が顕著であった。
First, a metal oxide crystal will be described.
In order to obtain a magnetic medium film, the constituent elements of the magnetic medium film in the glass ceramic are the same as those of the conventional method of forming a metal oxide on a glass ceramic substrate (evaporation, sputtering, etc.) as described above. Alternatively, it was considered effective to precipitate homogeneous and fine metal oxide crystals of the same kind in a uniformly dispersed state, and as a result of conducting a test study, it was found that Fe, C
Those having a metal oxide crystal containing at least one or more elements selected from r, Mn, Co, Ni, Cu, and V as constituents had remarkable effects.

【0013】中でも、α-Fe23,γ-Fe23,Rx
Fe24(スピネル型フェライト結晶),RxCr24
(スピネル型クロム結晶),2RxO・TiO3もしく
はRxO・TiO2(但し、RxはFe,Cr,Mn,
Co,Ni,Cu,Vの中から選ばれる少なくとも1種
以上の元素)、またはこれら結晶の固溶体の中から選ば
れる少なくとも1種以上を含むものは、磁気記録媒体の
構成成分に近似しておりその相性も優れた物であるた
め、磁気媒体被膜の結晶粒径の均一性と微細化におい
て、より好ましい。
Among them, α-Fe 2 O 3 , γ-Fe 2 O 3 , Rx
Fe 2 O 4 (spinel type ferrite crystal), RxCr 2 O 4
(Spinel chromium crystal), 2RxO.TiO 3 or RxO.TiO 2 (where Rx is Fe, Cr, Mn,
At least one or more elements selected from Co, Ni, Cu, and V), or those containing at least one or more selected from solid solutions of these crystals are close to the components of the magnetic recording medium. Since it is also excellent in compatibility, it is more preferable in terms of uniformity of the crystal grain size and miniaturization of the magnetic medium film.

【0014】そして前記金属酸化物結晶または前記金属
酸化物結晶の固溶体の粒径は、磁気媒体被膜の結晶粒子
に対応し10Å〜500Åが好適である。10Å未満で
は磁気媒体被膜の生産性が低く、しかも磁気媒体被膜の
結晶粒径の均一性においてその効果が低下する。500
Åを超えると磁性膜粒子の微細化に相反してしまう。
The metal oxide crystal or the solid solution of the metal oxide crystal preferably has a particle size of 10 to 500 ° corresponding to the crystal particles of the magnetic medium coating. If the angle is less than 10 °, the productivity of the magnetic medium film is low, and the effect is reduced in the uniformity of the crystal grain size of the magnetic medium film. 500
If Å is exceeded, the magnetic film particles are contradictory to miniaturization.

【0015】次に情報記憶媒体を構成するガラスセラミ
ックスの主結晶相についてであるが、磁気記憶媒体用ガ
ラスセラミックス基板として求められる機械的強度(ヤ
ング率,ビッカース硬度,曲げ強度等),所望の範囲内
の表面粗度やその他の物性(熱膨張係数,比重,耐熱
性,化学的耐久性)を広い範囲で満足させるためには、
二珪酸リチウム,α−クォーツ,α−クリストバライ
ト,β−クォーツ,β−スポジューメン,β−ユークリ
プタイト,コージェライト,エンスタタイト,スピネル
結晶,MgTi25もしくはフォルステライト、または
これら結晶の固溶体の中から選ばれる少なくとも1種以
上を含むことが望ましい。すなわち、これらの析出結晶
相の析出を制御することによって、所望の各物性値を得
ることができるものである。更にこれらの選択により、
その所望の物性範囲を選択する自由度を広くすることが
できる。尚、これら結晶相の析出の制御(結晶種,結晶
粒径,結晶の析出量,結晶の析出比)は、原料組成と熱
処理の制御により行われる。
Next, regarding the main crystal phase of the glass ceramic constituting the information storage medium, the mechanical strength (Young's modulus, Vickers hardness, bending strength, etc.) required for the glass ceramic substrate for the magnetic storage medium, the desired range In order to satisfy a wide range of surface roughness and other physical properties (coefficient of thermal expansion, specific gravity, heat resistance, chemical durability)
Lithium disilicate, α-quartz, α-cristobalite, β-quartz, β-spodumene, β-eucryptite, cordierite, enstatite, spinel crystal, MgTi 2 O 5 or forsterite, or a solid solution of these crystals It is desirable to include at least one member selected from the group consisting of: That is, desired physical property values can be obtained by controlling the precipitation of these precipitated crystal phases. Furthermore, with these choices,
The degree of freedom in selecting the desired physical property range can be widened. The control of the precipitation of these crystal phases (crystal seed, crystal grain size, crystal precipitation amount, crystal precipitation ratio) is performed by controlling the raw material composition and the heat treatment.

【0016】例えば、低比重でありながらも適度な機械
的強度と研磨加工性を有し、熱膨張係数が比較的大きい
範囲(+40×10-7〜+130×10-7/℃)を必要
とする場合は、主結晶相において最も析出比の多い相が
二珪酸リチウム,α−クォーツもしくはα−クリストバ
ライト、またはこれら結晶の固溶体であることが好まし
い。更に、最も析出比の多い相は二珪酸リチウムまたは
二珪酸リチウムで次いで析出比の多い相はα−クォーツ
もしくはα−クリストバライト、またはこれら結晶の固
溶体であることがより好ましい。
For example, it is necessary to have a range (+ 40 × 10 −7 to + 130 × 10 −7 / ° C.) which has appropriate mechanical strength and polishing workability while having a low specific gravity and has a relatively large thermal expansion coefficient. In this case, the phase having the highest precipitation ratio in the main crystal phase is preferably lithium disilicate, α-quartz or α-cristobalite, or a solid solution of these crystals. More preferably, the phase having the highest precipitation ratio is lithium disilicate or lithium disilicate, and the phase having the second highest precipitation ratio is α-quartz or α-cristobalite, or a solid solution of these crystals.

【0017】また、優れた機械的強度と耐熱性を有し、
熱膨張係数が小さい範囲(−10×10-7〜+25×1
-7/℃)を必要とする場合は、主結晶相において最も
析出比の多い相が、β−クォーツ,β−スポジューメン
もしくはβ−ユークリプタイト、またはこれら結晶の固
溶体であることが好ましい。更に、最も析出比の多い相
はβ−クォーツまたはβ−クォーツ固溶体で次いで析出
比の多い相はβ−スポジューメンもしくはβ−ユークリ
プタイト、またはこれら結晶の固溶体であることがより
好ましい。
Further, it has excellent mechanical strength and heat resistance,
Range where the coefficient of thermal expansion is small (−10 × 10 −7 to + 25 × 1)
(0 −7 / ° C.), the phase having the highest precipitation ratio in the main crystal phase is preferably β-quartz, β-spodumene or β-eucryptite, or a solid solution of these crystals. More preferably, the phase having the highest precipitation ratio is β-quartz or β-quartz solid solution, and the phase having the second highest precipitation ratio is β-spodumene or β-eucryptite, or a solid solution of these crystals.

【0018】更に、比較的低比重でありながらも優れた
機械的特性と耐熱性と研磨加工性を有し、熱膨張係数が
他の部品とのバランスが非常に良好な範囲(+25×1
-7〜+60×10-7/℃)を必要とする場合には、主
結晶相において最も析出比の多い相が、コージェライ
ト,エンスタタイト,MgTi25もしくはフォルステ
ライト、またはこれら結晶の固溶体であることが好まし
い。更に、(1)最も析出比の多い相はコージェライト
またはコージェライト固溶体で、次いで析出比の多い相
はエンスタタイト,MgTi25もしくはフォルステラ
イト、またはこれら結晶の固溶体である場合、(2)最
も析出比の多い相はエンスタタイトまたはエンスタタイ
ト固溶体で、次いで析出比の多い相はコージェライト,
MgTi25もしくはフォルステライト、またはこれら
結晶の固溶体である場合、(3)最も析出比の多い相は
MgTi25またはMgTi25固溶体で、次いで析出
比の多い相はコージェライト,エンスタタイトもしくは
フォルステライト、またはこれら結晶の固溶体である場
合、のいずれかがより好ましい。
Furthermore, it has excellent mechanical properties, heat resistance and polishing workability, while having a relatively low specific gravity, and has a coefficient of thermal expansion in a very good range (+ 25 × 1).
0 −7 to + 60 × 10 −7 / ° C.), the phase having the largest precipitation ratio among the main crystal phases is cordierite, enstatite, MgTi 2 O 5 or forsterite, or a crystal of these crystals. It is preferably a solid solution. Further, (1) the phase having the highest precipitation ratio is cordierite or cordierite solid solution, and the phase having the second highest precipitation ratio is enstatite, MgTi 2 O 5 or forsterite, or a solid solution of these crystals. The phase with the highest precipitation ratio is enstatite or enstatite solid solution, and the phase with the highest precipitation ratio is cordierite,
In the case of MgTi 2 O 5 or forsterite, or a solid solution of these crystals, (3) the phase with the highest precipitation ratio is MgTi 2 O 5 or MgTi 2 O 5 solid solution, and the phase with the next highest precipitation ratio is cordierite or Enstar. Either tight or forsterite, or a solid solution of these crystals, is more preferable.

【0019】次に、情報記憶媒体を構成するガラスセラ
ミックスの組成についてであるが、本発明の一方の側面
である、ガラスセラミックスの主結晶相において最も析
出比の多い相が二珪酸リチウム,α−クォーツもしくは
α−クリストバライト、またはこれら結晶の固溶体であ
るガラスセラミックス基板の組成範囲を限定した理由に
ついて以下に述べる。
Next, regarding the composition of the glass ceramic constituting the information storage medium, one of the aspects of the present invention, the phase having the highest precipitation ratio among the main crystal phases of the glass ceramic, is lithium disilicate, α- The reasons for limiting the composition range of quartz or α-cristobalite, or a glass ceramic substrate which is a solid solution of these crystals, will be described below.

【0020】SiO2成分は、原ガラスの熱処理によ
り、主結晶相において最も析出比の多い相となる、二珪
酸リチウム,α−クォーツもしくはα−クリストバライ
ト、またはこれら結晶の固溶体を生成するきわめて重要
な成分であるが、その量が70%未満では、得られたガ
ラスセラミックの析出結晶が不安定で組織が粗大化しや
すく、また、80%を超えると原ガラスの溶融・成形性
が困難になる。
The SiO 2 component is a very important factor that, when the raw glass is heat-treated, forms lithium disilicate, α-quartz or α-cristobalite, or a solid solution of these crystals, which is the phase having the highest precipitation ratio in the main crystal phase. If the amount of the component is less than 70%, the precipitated crystal of the obtained glass ceramic is unstable and the structure is liable to be coarsened. If it exceeds 80%, the melting and forming properties of the raw glass become difficult.

【0021】Li2O成分は、原ガラスの熱処理によ
り、主結晶相として析出する二珪酸リチウムまたは二珪
酸リチウム固溶体結晶を生成するきわめて重要な成分で
あるが、その量が5%未満では、二珪酸リチウムまたは
二珪酸リチウム固溶体結晶の析出が困難となると同時
に、原ガラスの溶融が困難となり、また、10%を超え
ると得られる結晶が不安定で組織が粗大化しやすいうえ
化学的耐久性が悪化する。
The Li 2 O component is a very important component that forms lithium disilicate or a lithium disilicate solid solution crystal precipitated as a main crystal phase by heat treatment of the raw glass. Precipitation of lithium silicate or lithium disilicate solid solution crystals becomes difficult, and at the same time, melting of the original glass becomes difficult. If it exceeds 10%, the obtained crystals are unstable, the structure is easily coarsened, and the chemical durability is deteriorated. I do.

【0022】Na2O,K2O成分は、ガラスの溶融性を
向上させると同時に析出結晶の粗大化を防止する成分で
あるが、Na2Oにおいては1%、K2Oにおいては5%
で充分であり、それぞれがこれらの量を超えると析出結
晶の粗大化,結晶相変化および化学的耐久性が悪化す
る。尚、K2O成分はLi2O成分との混合によりアルカ
リ成分の拡散を抑制する効果があり、磁気媒体被膜中へ
のアルカリ溶出(アルカリ成分の拡散)防止に効果があ
る。
The Na 2 O and K 2 O components are components that improve the melting property of the glass and also prevent coarsening of precipitated crystals, but are 1% in Na 2 O and 5% in K 2 O.
If each of these amounts exceeds these amounts, the deposited crystals become coarse, the crystal phase changes, and the chemical durability deteriorates. The K 2 O component has an effect of suppressing the diffusion of the alkali component by mixing with the Li 2 O component, and has an effect of preventing alkali elution (diffusion of the alkali component) into the magnetic medium coating.

【0023】MgO、ZnO、CaO、SrO、BaO
成分は、ガラスの溶融性を向上させると同時に主結晶相
としての二珪酸リチウム,α−クォーツもしくはα−ク
リストバライト、またはこれら結晶の固溶体の結晶粒子
を球状粒子形体に析出させる成分であるが、これらの合
計量が1%未満では上記効果が得られず、また、5%を
超えると所望の結晶が析出し難くなる。
MgO, ZnO, CaO, SrO, BaO
The component is a component that improves the melting property of glass and precipitates crystal particles of lithium disilicate, α-quartz or α-cristobalite as a main crystal phase, or a solid solution of these crystals in a spherical particle form. If the total amount is less than 1%, the above effect cannot be obtained, and if it exceeds 5%, desired crystals are difficult to precipitate.

【0024】P25成分は本発明において、結晶核形成
剤として不可欠であるが、その量が1%未満では結晶核
形成が不十分で析出結晶相を粗大化させてしまい、また
3%を超えると原ガラスの乳白失透による量産性が悪化
する。
In the present invention, the P 2 O 5 component is indispensable as a crystal nucleating agent, but if its amount is less than 1%, crystal nucleus formation is insufficient and the precipitated crystal phase becomes coarse, and 3% If it exceeds, the mass productivity is deteriorated due to the opacification of the raw glass.

【0025】TiO2,ZrO2,SnO2成分はP25
成分と同様にガラスの結晶核形成剤として機能する上
に、析出結晶の微細化と材料の機械的強度向上および化
学的耐久性の向上に顕著な効果を有する成分であるが、
TiO2成分は5%以内で充分であり、ZrO2成分は、
7%を超えると原ガラスの溶融が困難となると同時にZ
rSiO4等の溶け残りが発生してしまう。SnO2成分
は3%以内で充分である。尚、ZrO2は2〜7%であ
ることが好まししい。
The components of TiO 2 , ZrO 2 and SnO 2 are P 2 O 5
In addition to functioning as a crystal nucleating agent for the glass like the component, it is a component that has a remarkable effect on refinement of precipitated crystals and improvement of the mechanical strength and chemical durability of the material,
It is sufficient that the TiO 2 component is within 5%, and the ZrO 2 component is
If it exceeds 7%, it becomes difficult to melt the raw glass, and Z
Undissolved residues such as rSiO 4 are generated. An SnO 2 content of 3% or less is sufficient. Incidentally, ZrO 2 is preferably 2 to 7%.

【0026】また、ZrO2+P25+SnO2の合量は
好適な物性を有するガラスセラミックス基板を得るため
には0〜7%であることが好ましい。
The total amount of ZrO 2 + P 2 O 5 + SnO 2 is preferably 0 to 7% in order to obtain a glass ceramic substrate having suitable physical properties.

【0027】Al23成分は、ガラスセラミックの化学
的耐久性および硬度を向上させる成分であるが、その量
が5%未満では上記効果が得られず、また10%を超え
ると溶融性,失透性が悪化してしまう。
The Al 2 O 3 component is a component for improving the chemical durability and hardness of the glass ceramic. If the content is less than 5%, the above effects cannot be obtained. Devitrification deteriorates.

【0028】As23、Sb23および成分はガラス溶
融の際の清澄剤として添加しうるが、その量はそれぞれ
2%以下で充分である。
As 2 O 3 , Sb 2 O 3 and the components can be added as fining agents when the glass is melted, but amounts of 2% or less are sufficient.

【0029】Fe、Cr、Mn、Co、Ni、Cu、V
から選ばれる少なくとも1種以上の金属酸化物成分は、
結晶化後に磁気媒体被膜形成において好適な微細結晶、
すなわち、α-Fe23,γ-Fe23,RxFe2
4(スピネル型フェライト結晶),RxCr24(スピ
ネル型クロム結晶),2RxO・TiO3もしくはRx
O・TiO2(但し、Rx=Fe、Cr、Mn、Co、
Ni、Cu、V)またはこれら結晶の固溶体の中から選
ばれる少なくとも1種以上を析出させる重要な成分であ
るが、これら金属元素の酸化物の1種または2種以上の
合計量が2%未満では上記効果が得られず、8%を超え
ると結晶粒子の粗大化、ガラスの失透性を悪化させてし
まう。
Fe, Cr, Mn, Co, Ni, Cu, V
At least one or more metal oxide components selected from
Fine crystals suitable for magnetic medium film formation after crystallization,
That is, α-Fe 2 O 3 , γ-Fe 2 O 3 , RxFe 2 O
4 (spinel type ferrite crystal), RxCr 2 O 4 (spinel type chromium crystal), 2RxO.TiO 3 or Rx
O.TiO 2 (where Rx = Fe, Cr, Mn, Co,
Ni, Cu, V) or an important component for precipitating at least one selected from solid solutions of these crystals, and the total amount of one or more of these metal element oxides is less than 2% In this case, the above effect cannot be obtained, and if it exceeds 8%, the crystal grains become coarse and the devitrification of the glass deteriorates.

【0030】次に、本発明の一方の側面である、ガラス
セラミックスの主結晶相において最も析出比の多い相
が、β−クォーツ,β−スポジューメンもしくはβ−ユ
ークリプタイト、またはこれら結晶の固溶体であるガラ
スセラミックス基板の組成範囲を上記の様に限定した理
由について以下に述べる。
Next, one of the aspects of the present invention, the phase having the highest precipitation ratio in the main crystal phase of the glass ceramic is β-quartz, β-spodumene or β-eucryptite, or a solid solution of these crystals. The reason why the composition range of a certain glass ceramic substrate is limited as described above will be described below.

【0031】SiO2成分は、原ガラスの熱処理によ
り、主結晶相として析出するβ−石英,β−石英固溶
体,β−スポジューメン,β−スポジューメン固溶体,
β−ユークリプタイト(但し、Li2Oの一部はMgO
および/またはZnOとの置換可能)またはβ−ユーク
リプタイト固溶体(但し、Li2Oの一部はMgOおよ
び/またはZnOとの置換可能)を生成するきわめて重
要な成分であるが、その量が50%未満では、得られた
ガラスセラミックスの析出結晶が不安定で組織が粗大化
しやすく、結果的に機械的強度が低下し、研磨して得ら
れる表面粗度も大きくなる。また、62%を超えると原
ガラスの溶融・成形性が困難になり均質性が低下する。
The SiO 2 component is formed by β-quartz, β-quartz solid solution, β-spodumene, β-spodumene solid solution, which precipitates as a main crystal phase by heat treatment of the raw glass.
β-eucryptite (however, part of Li 2 O is MgO
And / or ZnO) or a β-eucryptite solid solution (a part of Li 2 O can be replaced with MgO and / or ZnO). If it is less than 50%, the precipitated crystals of the obtained glass ceramic are unstable and the structure is liable to be coarsened. As a result, the mechanical strength is reduced and the surface roughness obtained by polishing is increased. On the other hand, if it exceeds 62%, the melting and forming properties of the raw glass become difficult, and the homogeneity decreases.

【0032】P25成分は、SiO2成分と共存させる
ことにより、原ガラスの溶融・清澄性を向上させる効果
を有するが、その量が5%未満では上記効果が得られ
ず、また10%を超えると、原ガラスの耐失透性が低下
し、これが原因となって結晶化段階でガラスセラミック
スの組織が粗大化し、機械的強度を低下させてしまう。
The P 2 O 5 component has the effect of improving the melting and refining properties of the raw glass by coexisting with the SiO 2 component, but if the amount is less than 5%, the above effects cannot be obtained. %, The devitrification resistance of the raw glass decreases, which causes the structure of the glass ceramics to become coarse in the crystallization stage and lowers the mechanical strength.

【0033】Al23成分は、その量が22%未満では
原ガラスの溶融が困難となるため得られるガラスセラミ
ックスの均質性が低下し、更にガラスセラミックスの化
学的耐久性も悪化する。また、26%を超えるとやはり
原ガラスの溶融性が悪化して均質性が低下すると共に、
原ガラスの耐失透性が低下し、これが原因となって結晶
化段階でガラスセラミックスの組織が粗大化し、機械的
強度を低下させてしまう。
If the content of the Al 2 O 3 component is less than 22%, it becomes difficult to melt the original glass, so that the homogeneity of the obtained glass ceramics is reduced and the chemical durability of the glass ceramics is also deteriorated. Also, if it exceeds 26%, the melting property of the raw glass also deteriorates and the homogeneity decreases,
The devitrification resistance of the raw glass is reduced, which causes the structure of the glass ceramic to become coarse in the crystallization stage, thereby lowering the mechanical strength.

【0034】Li2O,MgO,ZnOの3成分は、β
−石英固溶体,β−スポジューメン,β−スポジューメ
ン固溶体,β−ユークリプタイトまたはβ−ユークリプ
タイト固溶体の構成要素である重要な成分であるのと同
時に、原ガラスの溶融性,清澄性を著しく向上させる重
要な成分であるが、Li2O成分は、その量が3%未満
では上記効果が得られず、また溶融性の低下に伴う均質
性の低下も招き、更に目的とする結晶相が析出し難くな
る。また5%を超えると上記効果が得られず、原ガラス
の耐失透性が低下し、これが原因となって結晶化段階で
ガラスセラミックスの組織が粗大化して、機械的強度を
低下させてしまう。
The three components Li 2 O, MgO and ZnO are β
-Quartz solid solution, β-spodumene, β-spodumene solid solution, β-eucryptite or an important component that is a component of β-eucryptite solid solution, and at the same time, significantly improves the melting property and clarity of the raw glass. When the amount of the Li 2 O component is less than 3%, the above effects cannot be obtained, and the homogeneity is lowered due to the lowering of the melting property. It becomes difficult to do. On the other hand, if the content exceeds 5%, the above effect cannot be obtained, and the devitrification resistance of the raw glass is reduced. This causes the structure of the glass ceramic to be coarsened in the crystallization stage, thereby lowering the mechanical strength. .

【0035】MgO成分は、その量が0.5%未満では
上記効果が得られず、また2%を超えると結晶が粗大化
する。ZnO成分は、その量が0.2%未満では、上記
効果が得られず、また2%を超えると上記効果が得られ
ず、原ガラスの耐失透性が低下し、これが原因となって
結晶化段階でガラスセラミックスの組織が粗大化して、
機械的強度を低下させてしまう。
If the amount of the MgO component is less than 0.5%, the above effect cannot be obtained, and if it exceeds 2%, the crystal becomes coarse. If the amount of the ZnO component is less than 0.2%, the above effects cannot be obtained, and if it exceeds 2%, the above effects cannot be obtained, and the devitrification resistance of the raw glass is reduced. During the crystallization stage, the structure of the glass ceramics becomes coarse,
The mechanical strength is reduced.

【0036】CaO,BaOの2成分は、基本的にガラ
ス中に析出した結晶以外のガラスマトリックスとして残
存するものであり、溶融性改善およびガラスマトリック
ス相の微調整成分として重要であるが、CaO成分はそ
の量が0.3%未満ではこの効果が得られない。また4
%を超えると目標とする結晶相が得られず、更に原ガラ
スの耐失透性が低下し、これが原因となって結晶化段階
でガラスセラミックスの組織が粗大化して、機械的強度
を低下させてしまう。
The two components CaO and BaO basically remain as a glass matrix other than the crystals precipitated in the glass, and are important as components for improving the melting property and finely adjusting the glass matrix phase. If the amount is less than 0.3%, this effect cannot be obtained. Also 4
%, The target crystal phase cannot be obtained, and the resistance to devitrification of the raw glass further decreases. This causes the structure of the glass ceramics to become coarse in the crystallization stage, thereby lowering the mechanical strength. Would.

【0037】BaO成分は、その量が0.5%未満では
上記効果が得られず、4%を超えると原ガラスの耐失透
性が低下し、これが原因となって結晶化段階でガラスセ
ラミックスの組織が粗大化して、機械的強度を低下させ
てしまう。
If the content of the BaO component is less than 0.5%, the above effect cannot be obtained. If the content is more than 4%, the devitrification resistance of the raw glass deteriorates. The structure becomes coarse and the mechanical strength is reduced.

【0038】TiO2およびZrO2成分は、いずれも結
晶核形成剤として不可欠であるが、これらの量がそれぞ
れ1%未満では、所望の結晶を析出することができず。
またそれぞれ4%を超えると原ガラスの溶融性が悪化し
て均質性が低下し、最悪の場合は不溶物が発生してしま
う。
Both the TiO 2 and ZrO 2 components are indispensable as a crystal nucleating agent, but if their amounts are less than 1%, desired crystals cannot be precipitated.
If each exceeds 4%, the melting property of the raw glass deteriorates and the homogeneity decreases, and in the worst case, insolubles are generated.

【0039】As23、Sb23成分は、均質な製品を
得るためガラス溶融の際の清澄剤として添加し得るが、
その量はそれぞれ2%以下で十分である。好ましくはA
23+Sb23が0〜2%、より好ましくはAs23
が0〜2%である。
The As 2 O 3 and Sb 2 O 3 components can be added as a fining agent at the time of glass melting to obtain a homogeneous product.
An amount of 2% or less is sufficient for each. Preferably A
s 2 O 3 + Sb 2 O 3 0 to 2%, more preferably As 2 O 3
Is 0 to 2%.

【0040】Fe、Cr、Mn、Co、Ni、Cu、V
から選ばれる少なくとも1種以上の金属酸化物成分は、
前述のように、結晶化後の副結晶として、磁気記録媒体
形成において好適な微細結晶、すなわち、α-Fe
23,γ-Fe23,RxFe24(スピネル型フェラ
イト結晶),RxCr24(スピネル型クロム結晶),
2RxO・TiO3もしくはRxO・TiO2(但し、R
x=Fe、Cr、Mn、Co、Ni、Cu、V)または
これらの中から選ばれる少なくとも1種以上の結晶を析
出させる重要な成分であるが、これら金属元素の酸化物
の1種または2種以上の合計量が2%未満では上記効果
が得られず、8%を超えると結晶粒子の粗大化、ガラス
の失透性を悪化させてしまう。
Fe, Cr, Mn, Co, Ni, Cu, V
At least one or more metal oxide components selected from
As described above, as a sub-crystal after crystallization, a fine crystal suitable for forming a magnetic recording medium, that is, α-Fe
2 O 3 , γ-Fe 2 O 3 , RxFe 2 O 4 (spinel ferrite crystal), RxCr 2 O 4 (spinel chromium crystal),
2RxO.TiO 3 or RxO.TiO 2 (However, R
x = Fe, Cr, Mn, Co, Ni, Cu, V) or an important component for precipitating at least one or more crystals selected from these, and one or two of oxides of these metal elements If the total amount of the seeds is less than 2%, the above effect cannot be obtained. If the total amount exceeds 8%, the crystal grains become coarse and the devitrification of the glass deteriorates.

【0041】尚、上記成分の他に特性の微調整等をを目
的として、本発明のガラスセラミックス基板の特性を損
なわない範囲で、SrO,B23,F2,La23,B
2 3,WO3,Y23,Gd23,SnO2成分の中か
ら選ばれる少なくとも1種以上を2%まで添加し得る。
Incidentally, in addition to the above components, fine adjustment of the characteristics and the like were performed.
As a result, the characteristics of the glass ceramic substrate of the present invention are impaired.
SrO, B within the range not toTwoOThree, FTwo, LaTwoOThree, B
iTwoO Three, WOThree, YTwoOThree, GdTwoOThree, SnOTwoIn the ingredients
At least one or more selected from up to 2% can be added.

【0042】次に、本発明の一方の側面である、ガラス
セラミックスの主結晶相において最も析出比の多い相
が、コージェライト,エンスタタイト,MgTi25
しくはフォルステライト、またはこれら結晶の固溶体で
あるガラスセラミックス基板の組成範囲を限定した理由
について以下に述べる。
Next, one of the aspects of the present invention, the phase having the largest precipitation ratio among the main crystal phases of glass ceramics, is cordierite, enstatite, MgTi 2 O 5 or forsterite, or a solid solution of these crystals. The reason for limiting the composition range of a certain glass ceramic substrate will be described below.

【0043】まずSiO2成分は、原ガラスの熱処理に
より、主結晶相として析出するコージェライト,コージ
ェライト固溶体,エンスタタイト,エンスタタイト固溶
体,β−クォーツ,β−クォーツ固溶体,フォルステラ
イトまたはフォルステライト固溶体結晶を生成する極め
て重要な成分であるが、その量が30%未満では、得ら
れたガラスセラミックスの析出結晶相が不安定で組織が
粗大化し、また、65%を超えると原ガラスの溶融・成
形性が困難になる。
First, the SiO 2 component is a cordierite, a cordierite solid solution, an enstatite, an enstatite solid solution, a β-quartz, a β-quartz solid solution, a forsterite or a forsterite solid solution which are precipitated as a main crystal phase by heat treatment of the raw glass. Although it is a very important component for forming crystals, if the amount is less than 30%, the precipitated crystal phase of the obtained glass ceramics is unstable and the structure becomes coarse. Moldability becomes difficult.

【0044】MgO、ZnO成分は、原ガラスの熱処理
により、主結晶相として析出するコージェライト,コー
ジェライト固溶体,エンスタタイト,エンスタタイト固
溶体,β−クォーツまたはβ−クォーツ固溶体結晶や、
スピネル((Mgおよび/またはZn)(Alおよび/
またはTi)24)またはスピネル固溶体((Mgおよ
び/またはZn)(Alおよび/またはTi)24固溶
体)を生成する極めて重要な成分であるが、その量がそ
れぞれ30%以内で充分であり、それぞれ30%を超え
ると失透性が悪化する。
The MgO and ZnO components are formed by cordierite, cordierite solid solution, enstatite, enstatite solid solution, β-quartz or β-quartz solid solution crystal which precipitates as a main crystal phase by heat treatment of the raw glass,
Spinel ((Mg and / or Zn) (Al and / or
Or Ti) 2 O 4 ) or a spinel solid solution ((Mg and / or Zn) (Al and / or Ti) 2 O 4 solid solution). If each exceeds 30%, the devitrification deteriorates.

【0045】Al23成分は、原ガラスの熱処理によ
り、主結晶相として析出するコージェライト,コージェ
ライト固溶体またはβ−クォーツ固溶体結晶や、スピネ
ル((Mgおよび/またはZn)(Alおよび/または
Ti)24)またはスピネル固溶体((Mgおよび/ま
たはZn)(Alおよび/またはTi)24固溶体)を
生成する極めて重要な成分であるが、その量が5%未満
では、所望とする結晶相が得られず、得られたガラスセ
ラミックスの析出結晶相が不安定で組織が粗大化しやす
く、さらに溶融性が悪化する。また25%以上では原ガ
ラスの溶融性および失透性が悪化すると共に、スピネル
の析出量が異常に多くなって、硬度を必要以上に高く
し、研磨等における加工性が著しく低下する。尚、Al
23は20%未満が好ましい。
The Al 2 O 3 component can be formed by cordierite, a cordierite solid solution or β-quartz solid solution crystal precipitated as a main crystal phase by heat treatment of the raw glass, or spinel ((Mg and / or Zn) (Al and / or Ti) 2 O 4 ) or a spinel solid solution ((Mg and / or Zn) (Al and / or Ti) 2 O 4 solid solution) is a very important component. The resulting crystalline phase of the obtained glass ceramic is unstable, the structure is likely to be coarse, and the melting property is further deteriorated. If it is 25% or more, the meltability and devitrification of the raw glass deteriorate, and the precipitation amount of spinel becomes abnormally large, so that the hardness becomes unnecessarily high and the workability in polishing or the like is remarkably reduced. In addition, Al
2 O 3 is preferably less than 20%.

【0046】CaO,SrO,BaO成分は原ガラスの
溶融・成型性の改善と耐失透性を改善するために効果的
であるが、それぞれ15%以内で十分である。
The CaO, SrO, and BaO components are effective for improving the melting and molding properties of the raw glass and for improving the devitrification resistance, but each content of 15% or less is sufficient.

【0047】TiO2成分は結晶核形成剤として不可欠
であるが、これらの量が2%未満では、所望の結晶を析
出することができず。またそれぞれ15%を超えると原
ガラスの溶融性が悪化して均質性が低下し、最悪の場合
は不溶物が発生してしまう。
The TiO 2 component is indispensable as a crystal nucleating agent, but if the amount is less than 2%, desired crystals cannot be precipitated. If each exceeds 15%, the melting property of the raw glass deteriorates and the homogeneity decreases, and in the worst case, insolubles are generated.

【0048】La23、Y23、Gd23、Ta25
Nb25、WO3成分は、原ガラスの溶融・成型性の改
善と耐失透性を改善するために効果的であるのと同時
に、材料の剛性を高くする効果があるが、それぞれ10
%以下で十分であり、それぞれが10%を超えると、か
えって析出結晶相が粗大化したり、ガラスの失透性が極
端に悪化する。尚、これら成分の1種または2種以上の
合計量が10%以内であることが好ましい。
La 2 O 3 , Y 2 O 3 , Gd 2 O 3 , Ta 2 O 5 ,
Nb 2 O 5 and WO 3 components are effective for improving the melting and molding properties of the raw glass and for improving the devitrification resistance, and at the same time, have the effect of increasing the rigidity of the material.
% Or less is sufficient, and if each exceeds 10%, the precipitated crystal phase is rather coarsened and the devitrification of the glass is extremely deteriorated. Preferably, the total amount of one or more of these components is within 10%.

【0049】ZrO2,P25,SnO2成分はTiO2
成分と同様にガラスの結晶核形成剤として機能する上
に、析出結晶の微細化と材料の機械的強度向上および化
学的耐久性の向上に顕著な効果を有する成分であるが、
ZrO2成分は4%以内で十分であり、P25成分は5
%以内で十分であり、SnO2成分は、2%以内で十分
である。
The components ZrO 2 , P 2 O 5 and SnO 2 are TiO 2
In addition to functioning as a crystal nucleating agent for the glass like the component, it is a component that has a remarkable effect on refinement of precipitated crystals and improvement of the mechanical strength and chemical durability of the material,
4% or less is sufficient for the ZrO 2 component and 5% for the P 2 O 5 component.
% Is sufficient, and the content of the SnO 2 component is sufficient within 2%.

【0050】Sb23、As23成分は、ガラス溶融の
際の清澄剤として使用するが、それぞれ2%以内で十分
である。
The Sb 2 O 3 and As 2 O 3 components are used as fining agents when the glass is melted.

【0051】Fe、Cr、Mn、Co、Ni、Cu、V
から選ばれる少なくとも1種以上の金属酸化物成分は、
前述のように、結晶化後の副結晶として、磁気記録媒体
形成において好適な微細結晶、すなわち、α-Fe
23,γ-Fe23,RxFe24(スピネル型フェラ
イト結晶),RxCr24(スピネル型クロム結晶),
2RxO・TiO3もしくはRxO・TiO2(但し、R
x=Fe、Cr、Mn、Co、Ni、Cu、V)または
これら結晶の固溶体の中から選ばれる少なくとも1種以
上の結晶を析出させる重要な成分であるが、これら金属
元素の酸化物の1種または2種以上の合計量が2%未満
では上記効果が得られず、8%を超えると結晶粒子の粗
大化、ガラスの失透性を悪化させてしまう。
Fe, Cr, Mn, Co, Ni, Cu, V
At least one or more metal oxide components selected from
As described above, as a sub-crystal after crystallization, a fine crystal suitable for forming a magnetic recording medium, that is, α-Fe
2 O 3 , γ-Fe 2 O 3 , RxFe 2 O 4 (spinel ferrite crystal), RxCr 2 O 4 (spinel chromium crystal),
2RxO.TiO 3 or RxO.TiO 2 (However, R
x = Fe, Cr, Mn, Co, Ni, Cu, V) or an important component for precipitating at least one kind of crystal selected from solid solutions of these crystals. If the total amount of the seeds or two or more is less than 2%, the above effect cannot be obtained, and if it exceeds 8%, the crystal grains become coarse and the devitrification of the glass is deteriorated.

【0052】尚、前記に挙げたこれら各種基板において
は、環境上好ましくないPbO成分を含まない方が好ま
しい。また、主結晶相において、最も析出比の多い相が
二珪酸リチウム,α−クォーツもしくはα−クリストバ
ライト、またはこれら結晶の固溶体であることを特徴と
する情報磁気記憶媒体用ガラスセラミックス基板以外
は、Na2O,K2O成分も含まない方が好ましい。
It is preferable that these various substrates mentioned above do not contain environmentally unfavorable PbO components. In the main crystal phase, the phase having the highest precipitation ratio is lithium disilicate, α-quartz or α-cristobalite, or a solid solution of these crystals, except for a glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium. 2 O, is better not include K 2 O component preferably.

【0053】[0053]

【発明の実施の形態】次に本発明の好適な実施例につい
て説明する。表1〜表3は微細金属酸化物結晶を析出さ
せた本発明の情報磁気記憶媒体用ガラスセラミックス基
板1−9の組成(質量百分率),結晶相,結晶粒径,ヤ
ング率,研磨後の表面粗度(Ra),を示す。また図−
1には実施例2のXRD回折図形(X線回折チャー
ト)、図−2には実施例4のXRD回折図形(X線回折
チャート)を示す。
Next, a preferred embodiment of the present invention will be described. Tables 1 to 3 show the composition (mass percentage), crystal phase, crystal grain size, Young's modulus, and polished surface of the glass ceramic substrate 1-9 for an information magnetic storage medium of the present invention on which fine metal oxide crystals were deposited. Roughness (Ra). Figure-
1 shows an XRD diffraction pattern (X-ray diffraction chart) of Example 2, and FIG. 2 shows an XRD diffraction pattern (X-ray diffraction chart) of Example 4.

【0054】[0054]

【表1】 [Table 1]

【0055】[0055]

【表2】 [Table 2]

【0056】[0056]

【表3】 [Table 3]

【0057】本発明の上記実施例のガラスは、いずれも
酸化物,炭酸塩,硝酸塩、塩酸塩等の原料を混合し、こ
れを通常の溶解装置を用いて約1350〜1550℃の
温度で約3〜10時間溶解し攪拌均質化した後ディスク
状に成形して、冷却しガラス成形体を得た。その後これ
を450〜850℃で約1〜12時間熱処理して結晶核
形成後、740〜950℃で約1〜12時間熱処理して
結晶化(核成長)させて、所望のガラスセラミックを得
た。次いで上記ガラスセラミックを平均粒径5〜30μ
mの砥粒にて常法により約10分〜60分ラッピング
し、その後平均粒径0.1〜2μmの酸化セリュームに
て約30分〜60分間研磨し仕上げた。
In each of the glasses of the above embodiments of the present invention, raw materials such as oxides, carbonates, nitrates and hydrochlorides are mixed, and this is mixed at a temperature of about 1350 to 1550 ° C. using an ordinary melting apparatus. After melting and homogenizing for 3 to 10 hours, the mixture was shaped into a disk and cooled to obtain a glass molded body. Thereafter, this was heat-treated at 450 to 850 ° C. for about 1 to 12 hours to form a crystal nucleus, and then heat-treated at 740 to 950 ° C. for about 1 to 12 hours to cause crystallization (nucleus growth) to obtain a desired glass ceramic. . Next, the above glass ceramic was subjected to an average particle size of 5 to 30 μ
The lapping was carried out for about 10 to 60 minutes by a conventional method using abrasive grains of m, and then polished with cerium oxide having an average particle diameter of 0.1 to 2 μm for about 30 to 60 minutes to finish.

【0058】表1〜3に示されるとおり、本発明のガラ
スセラミックス基板は好適な微細金属酸化物結晶を含む
ものであり、この基板に磁気媒体被膜を形成したとこ
ろ、従来の基板に同様の方法で形成した磁気媒体被膜の
結晶粒径よりも、均一性の高い微細結晶粒径を有する磁
気媒体被膜が得られた。これは今後の高密度記録の向上
に有効なものである。
As shown in Tables 1 to 3, the glass-ceramic substrate of the present invention contains a suitable fine metal oxide crystal, and when a magnetic medium film is formed on this substrate, a method similar to that of a conventional substrate is used. As a result, a magnetic medium film having a fine crystal grain size with higher uniformity than the crystal grain size of the magnetic medium film formed in the step was obtained. This is effective for improving high density recording in the future.

【0059】[0059]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、上
記従来技術に見られる諸欠点を解消しつつ、今後の高記
憶密度化に重要な、特定の元素を構成元素とする微細金
属酸化物結晶を含み、磁気媒体被膜の形成において、優
れた微細構造を与えることが出きる、情報磁気記憶媒体
用ガラスセラミックス基板を得ることができる。
As described above, according to the present invention, while eliminating the above-mentioned disadvantages of the prior art, a fine metal containing a specific element as a constituent element, which is important for a future increase in storage density, will be described. A glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium can be obtained which contains an oxide crystal and can give an excellent fine structure in forming a magnetic medium film.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明、実施例2のXRD回折図形(X線回折
チャート)を示す。尚、横軸は2θ(°)、縦軸は回折
強度(一目盛=200cps)を示す。
FIG. 1 shows an XRD diffraction pattern (X-ray diffraction chart) of Example 2 of the present invention. The horizontal axis indicates 2θ (°), and the vertical axis indicates diffraction intensity (one scale = 200 cps).

【図2】本発明、実施例4のXRD回折図形(X線回折
チャート)を示す。尚、横軸は2θ(°)、縦軸は回折
強度(一目盛=200cps)を示す。
FIG. 2 shows an XRD diffraction pattern (X-ray diffraction chart) of Example 4 of the present invention. The horizontal axis indicates 2θ (°), and the vertical axis indicates diffraction intensity (one scale = 200 cps).

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 南川 弘行 神奈川県相模原市小山1丁目15番30号 株 式会社オハラ内 Fターム(参考) 4G062 AA11 BB01 BB06 CC04 CC09 DA05 DA06 DA07 DB03 DB04 DC01 DD01 DD02 DD03 DE01 DE02 DE03 DE04 DF01 EA01 EA03 EB01 EB02 EC01 EC02 EC03 ED01 ED02 ED03 ED04 EE01 EE02 EE03 EE04 EF01 EF02 EF03 EF04 EG01 EG02 EG03 EG04 FA01 FB01 FB02 FB03 FB04 FC01 FC02 FC03 FD01 FE01 FE02 FE03 FF01 FF02 FG01 FG02 FG03 FH01 FH02 FH03 FJ01 FJ02 FJ03 FK01 FK02 FK03 FL01 GA01 GA10 GB01 GC01 GD01 GE01 HH01 HH03 HH04 HH05 HH07 HH08 HH09 HH10 HH11 HH12 HH13 HH15 HH17 JJ01 JJ03 JJ04 JJ05 JJ07 KK01 KK03 KK04 KK05 KK07 MM27 NN32 NN33 QQ02 QQ03 QQ05 QQ10 QQ11 QQ16 QQ20 5D006 CB04 CB07  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hiroyuki Minamikawa 1-15-30 Koyama, Sagamihara-shi, Kanagawa F-term in Ohara Co., Ltd. (Reference) 4G062 AA11 BB01 BB06 CC04 CC09 DA05 DA06 DA07 DB03 DB04 DC01 DD01 DD02 DD03 DE01 DE02 DE03 DE04 DF01 EA01 EA03 EB01 EB02 EC01 EC02 EC03 ED01 ED02 ED03 ED04 EE01 EE02 EE03 EE04 EF01 EF02 EF03 EF04 EG01 EG02 F01 FF02 FG02 F01 FF02 FF02 FF01 FF02 FJ03 FK01 FK02 FK03 FL01 GA01 GA10 GB01 GC01 GD01 GE01 HH01 HH03 HH04 HH05 HH07 HH08 HH09 HH10 HH11 HH12 HH13 HH15 HH17 JJ01 JJ03 JJ04 JJ05 JJ07 KK01 KK03 Q04 Q03 Q03 Q03 Q03 Q03 Q33

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 情報磁気記憶媒体を構成するガラスセラ
ミックスにおいて、Fe,Cr,Mn,Co,Ni,C
u,Vの中から選ばれる少なくとも1種以上の元素を構
成成分として含有する金属酸化物結晶を有することを特
徴とする、情報磁気記憶媒体用ガラスセラミックス基
板。
1. A glass ceramic constituting an information magnetic storage medium, comprising Fe, Cr, Mn, Co, Ni, C
A glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium, comprising a metal oxide crystal containing at least one element selected from u and V as a constituent component.
【請求項2】 情報磁気記憶媒体を構成するガラスセラ
ミックスにおいて、α-Fe23,γ-Fe23,RxF
24(スピネル型フェライト結晶),RxCr2
4(スピネル型クロム結晶),2RxO・TiO3もしく
はRxO・TiO2(但し、RxはFe,Cr,Mn,
Co,Ni,Cu,Vの中から選ばれる少なくとも1種
以上の元素)、またはこれら結晶の固溶体の中から選ば
れる少なくとも1種以上を含むことを特徴とする、請求
項1に記載の情報磁気記憶媒体用ガラスセラミックス基
板。
2. A glass ceramic constituting an information magnetic storage medium, comprising α-Fe 2 O 3 , γ-Fe 2 O 3 , RxF
e 2 O 4 (spinel ferrite crystal), RxCr 2 O
4 (spinel chromium crystals), 2RxO · TiO 3 or RXO · TiO 2 (where, Rx is Fe, Cr, Mn,
2. The information magnet according to claim 1, wherein at least one element selected from Co, Ni, Cu, and V) or at least one element selected from solid solutions of these crystals is included. Glass ceramic substrate for storage media.
【請求項3】 情報磁気記憶媒体を構成するガラスセラ
ミックスにおいて、前記金属酸化物結晶または前記金属
酸化物結晶の固溶体の結晶粒径が10Å〜500Åであ
ることを特徴とする、請求項1または2に記載の情報磁
気記憶媒体用ガラスセラミックス基板。
3. A glass ceramic constituting an information magnetic storage medium, wherein a crystal grain size of the metal oxide crystal or a solid solution of the metal oxide crystal is 10 ° to 500 °. 2. A glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to claim 1.
【請求項4】 情報磁気記憶媒体を構成するガラスセラ
ミックスにおいて、主結晶相として、二珪酸リチウム,
α−クォーツ,α−クリストバライト,β−クォーツ,
β−スポジューメン,β−ユークリプタイト,コージェ
ライト,エンスタタイト,スピネル結晶,MgTi25
もしくはフォルステライト、またはこれら結晶の固溶体
の中から選ばれる少なくとも1種以上を含むことを特徴
とする、請求項1〜3のいずれかに記載の情報磁気記憶
媒体用ガラスセラミックス基板。
4. A glass ceramic constituting an information magnetic storage medium, comprising lithium disilicate,
α-quartz, α-cristobalite, β-quartz,
β-spodumene, β-eucryptite, cordierite, enstatite, spinel crystal, MgTi 2 O 5
4. The glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to claim 1, wherein said glass-ceramic substrate comprises at least one selected from the group consisting of forsterite and a solid solution of these crystals.
【請求項5】 情報磁気記憶媒体を構成するガラスセラ
ミックスの主結晶相において、最も析出比の多い相は二
珪酸リチウム,α−クォーツもしくはα−クリストバラ
イト、またはこれら結晶の固溶体であることを特徴とす
る、請求項1〜3のいずれかに記載の情報磁気記憶媒体
用ガラスセラミックス基板。
5. The main crystal phase of a glass ceramic constituting an information magnetic storage medium, wherein the phase having the highest precipitation ratio is lithium disilicate, α-quartz or α-cristobalite, or a solid solution of these crystals. The glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to claim 1, wherein
【請求項6】 情報磁気記憶媒体を構成するガラスセラ
ミックスの主結晶相において、最も析出比の多い相はβ
−クォーツ,β−スポジューメンもしくはβ−ユークリ
プタイト、またはこれら結晶の固溶体であることを特徴
とする、請求項1〜3のいずれかに記載の情報磁気記憶
媒体用ガラスセラミックス基板。
6. Among the main crystal phases of the glass ceramic constituting the information magnetic storage medium, the phase having the highest precipitation ratio is β.
4. The glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to claim 1, wherein the glass ceramic substrate is quartz, β-spodumene or β-eucryptite, or a solid solution of these crystals.
【請求項7】 情報磁気記憶媒体を構成するガラスセラ
ミックスの主結晶相において、最も析出比の多い相はコ
ージェライト,エンスタタイト,MgTi25,スピネ
ル結晶もしくはフォルステライト、またはこれら結晶の
固溶体であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれ
かに記載の情報磁気記憶媒体用ガラスセラミックス基
板。
7. The main crystal phase of the glass ceramic constituting the information magnetic storage medium, the phase having the highest precipitation ratio is cordierite, enstatite, MgTi 2 O 5 , spinel crystal or forsterite, or a solid solution of these crystals. The glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to any one of claims 1 to 3, wherein:
【請求項8】 情報磁気記憶媒体を構成するガラスセラ
ミックスの組成は酸化物換算の質量百分率で、 SiO2 70〜80% Li2O 5〜10% Na2O 0〜1% K2O 0〜5% MgO 0〜5% ZnO 0〜5% CaO 0〜5% SrO 0〜5% BaO 0〜5% 但し、MgO+ZnO+CaO+SrO+BaO 1〜5% Al23 5〜10% P25 1〜3% TiO2 0〜5% ZrO2 0〜7% SnO2 0〜3% As23 0〜2% Sb23 0〜2% Fe,Cr,Mn,Co,Ni,Cu,Vの中から選ばれる1種以上の元 素の金属酸化物 2〜8% を含有することを特徴とする、請求項5に記載の情報磁
気記憶媒体用ガラスセラミックス基板。
The composition of claim 8 glass-ceramic constituting the magnetic information storage medium in percent by mass of oxide equivalent, SiO 2 70~80% Li 2 O 5~10% Na 2 O 0~1% K 2 O 0~ 5% MgO 0~5% ZnO 0~5% CaO 0~5% SrO 0~5% BaO 0~5% , however, MgO + ZnO + CaO + SrO + BaO 1~5% Al 2 O 3 5~10% P 2 O 5 1~3% TiO 2 0-5% ZrO 2 0-7% SnO 2 0-3% As 2 O 3 0-2% Sb 2 O 3 0-2% From among Fe, Cr, Mn, Co, Ni, Cu and V 6. The glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to claim 5, comprising 2 to 8% of a metal oxide of at least one selected element.
【請求項9】 情報磁気記憶媒体を構成するガラスセラ
ミックスの組成は酸化物換算の質量百分率で、 SiO2 50〜62% Li2O 3〜5% MgO 0.5〜2% ZnO 0.2〜2% CaO 0.3〜4% BaO 0.5〜4% TiO2 1〜4% ZrO2 1〜4% P25 5〜10% Al23 22〜26% As23 0〜2% Sb23 0〜2% Fe,Cr,Mn,Co,Ni,Cu,Vの中から選ばれる1種以上の元 素の金属酸化物 2〜8% を含有することを特徴とする請求項6に記載の情報磁気
記憶媒体用ガラスセラミックス基板。
9. The composition of the glass ceramic constituting the information magnetic storage medium is as follows: SiO 2 50-62% Li 2 O 3-5% MgO 0.5-2% ZnO 0.2- 2% CaO 0.3~4% BaO 0.5~4% TiO 2 1~4% ZrO 2 1~4% P 2 O 5 5~10% Al 2 O 3 22~26% As 2 O 3 0~ 2% Sb 2 O 3 0~2% Fe, Cr, Mn, Co, Ni, Cu, characterized in that it contains 2 to 8% metal oxides of one or more elemental selected from among V A glass ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to claim 6.
【請求項10】 情報磁気記憶媒体を構成するガラスセ
ラミックスの組成は酸化物換算の質量百分率で、 SiO2 30〜65% Al23 5〜25% ZnO 0〜30% MgO 0〜30% CaO 0〜15% SrO 0〜15% BaO 0〜15% TiO2 2〜15% La23 0〜10% Y23 0〜10% Gd23 0〜10% Ta25 0〜10% Nb25 0〜10% WO3 0〜10% ZrO2 0〜4% P25 0〜5% SnO2 0〜2% 但し、ZrO2+P25+SnO2 0〜7% As23 0〜2% Sb23 0〜2% Fe,Cr,Mn,Co,Ni,Cu,Vの中から選ばれる1種以上の元 素の金属酸化物 2〜8% を含有することを特徴とする請求項7に記載の情報磁気
記憶媒体用ガラスセラミックス基板。
10. The composition of the glass ceramic constituting the magnetic information storage medium in percent by mass of oxide equivalent, SiO 2 30~65% Al 2 O 3 5~25% ZnO 0~30% MgO 0~30% CaO 0~15% SrO 0~15% BaO 0~15% TiO 2 2~15% La 2 O 3 0~10% Y 2 O 3 0~10% Gd 2 O 3 0~10% Ta 2 O 5 0~ 10% Nb 2 O 5 0 to 10% WO 3 0 to 10% ZrO 2 0 to 4% P 2 O 5 0 to 5% SnO 2 0 to 2% However, ZrO 2 + P 2 O 5 + SnO 2 0 7% as 2 O 3 0~2% Sb 2 O 3 0~2% Fe, Cr, Mn, Co, Ni, Cu, metal oxides of one or more elemental selected from among V 2 to 8% The glass-ceramic substrate for an information magnetic storage medium according to claim 7, comprising:
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