JP2001147102A - Position detector - Google Patents

Position detector

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JP2001147102A
JP2001147102A JP37077299A JP37077299A JP2001147102A JP 2001147102 A JP2001147102 A JP 2001147102A JP 37077299 A JP37077299 A JP 37077299A JP 37077299 A JP37077299 A JP 37077299A JP 2001147102 A JP2001147102 A JP 2001147102A
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coil
position detector
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output
comparator
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JP37077299A
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Japanese (ja)
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Naomasa Oshie
直正 押柄
Seiji Toda
成二 戸田
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RIBEKKUSU KK
Levex Corp
Original Assignee
RIBEKKUSU KK
Levex Corp
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a position detector having the minimized whole length and magnitude of the diameter direction relative to a detection distance, and capable of being manufactured easily. SOLUTION: This position detector for detecting a linear position change by using a coil is so composed that an electric conductor 5 or a magnetic material 6 is moved on the inner diameter side of the coil 3 or a tubular electric conductor 7 or a magnetic material 8 is moved on the outer diameter side of the coil 3 to thereby change the inductance of the coil 3 and to change the combined impedance of the coil 3 and a resistance 4, and that, by utilizing the change of times of charge and discharge to/from a capacitor 1 caused by these changes, the frequency of oscillation by using a comparator 2 is changed and the frequency is observed to thereby detect the positions of the electric conductors 5, 7 or the magnetic materials 6, 8 moving on the inner diameter side or the outer diameter side of the coil 3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、変位に対応した電圧、
または電流を出力したり、変位を感知して所定の位置に
あるかどうかを判定してスイッチ出力を発生するような
位置検出器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a voltage corresponding to a displacement,
Alternatively, the present invention relates to a position detector which outputs a current or detects displacement to determine whether or not it is at a predetermined position and generates a switch output.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の位置検出器では、図2に示すよう
な差動トランスが用いられ、1個の励磁コイル(15)
と、差動に接続された2個の検出コイル(16)(1
7)、及び磁性体(18)により構成され、3個のコイ
ル(15)(16)(17)を同一軸上に配置し、コイ
ル内部に磁性体(18)を挿入する。励磁コイル(1
5)を正弦波で励磁することにより磁界を発生させ磁性
体(18)に磁束を集中させる。その結果、検出コイル
(16)(17)は、電磁誘導により電圧を発生する。
2個の検出コイル(16)(17)は、差動に接続され
ているので磁性体(18)の挿入位置によりそれぞれの
検出コイル(16)(17)の誘導起電力の差が出力さ
れる。磁性体(18)の変位量と出力電圧の関係は、図
3のようになり2個の検出コイル(16)(17)の全
長にわたって磁性体(18)を変位させると同じ出力電
圧を2値とることになり、実用上の検出距離範囲は、2
個の検出コイル(16)(17)のうちのどちらか1個
分の軸方向長さとなる。
2. Description of the Related Art In a conventional position detector, a differential transformer as shown in FIG. 2 is used, and one excitation coil (15) is used.
And two detection coils (16) (1
7) and a magnetic body (18), three coils (15), (16) and (17) are arranged on the same axis, and the magnetic body (18) is inserted inside the coil. Excitation coil (1
5) is excited by a sine wave to generate a magnetic field and concentrate the magnetic flux on the magnetic body (18). As a result, the detection coils (16) and (17) generate a voltage by electromagnetic induction.
Since the two detection coils (16) and (17) are differentially connected, the difference between the induced electromotive forces of the respective detection coils (16) and (17) is output depending on the insertion position of the magnetic body (18). . The relationship between the displacement amount of the magnetic body (18) and the output voltage is as shown in FIG. 3, and when the magnetic body (18) is displaced over the entire length of the two detection coils (16) and (17), the same output voltage is converted into two values. Therefore, the practical detection range is 2
The length in the axial direction corresponds to one of the detection coils (16) and (17).

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】差動トランスにあって
は、軸方向に配置された2個の検出コイル(16)(1
7)を必要とするため、全長は少なくとも検出距離の2
倍の長さを必要とする。また3個のコイル(15)(1
6)(17)を必要とするため小型化に適さない。特に
図4に示すように流体圧シリンダー(19)に装着する
際は、差動トランス(20)の全長が、シリンダー変位
量(21)の少なくとも2倍の長さが必要であり、その
結果シリンダー内に完全に収めることができず、差動ト
ランスが飛び出すことになり、設置する際に、より広い
場所を必要とする。また、励磁コイルに2本、検出コイ
ルに2本の接続ケーブルが必要であり、製造するうえに
おいても小型化するうえにおいても不利である。また、
一般的に差動トランスの構造はコイルの内径部で磁性体
(23)を移動させる構造であり、ピストンロッド(2
2)に接合するための構造と、コイルを中空の耐圧容器
に内蔵するための構造が必要であり、製造するうえにお
いても、小型化するうえにおいても不利である。
In a differential transformer, two detection coils (16) (1) arranged in the axial direction are provided.
7), the total length must be at least 2 times the detection distance.
Requires twice the length. Also, three coils (15) (1
6) Since (17) is required, it is not suitable for miniaturization. In particular, as shown in FIG. 4, when mounted on the hydraulic cylinder (19), the total length of the differential transformer (20) needs to be at least twice as long as the cylinder displacement (21). It cannot be completely housed inside, and the differential transformer pops out, requiring more space for installation. Further, two connection cables are required for the excitation coil and two connection cables for the detection coil, which is disadvantageous in manufacturing and miniaturization. Also,
Generally, the structure of the differential transformer is a structure in which the magnetic body (23) is moved at the inner diameter of the coil, and the piston rod (2) is moved.
A structure for joining in 2) and a structure for incorporating the coil in a hollow pressure-resistant container are required, which is disadvantageous in manufacturing and miniaturization.

【0004】本発明は、位置検出器の全長を検出距離に
対して最小にし、また径方向の大きさも最小にし、さら
に製造も容易な位置検出器を提供することを目的とす
る。
It is an object of the present invention to provide a position detector which minimizes the total length of the position detector with respect to the detection distance, minimizes the size in the radial direction, and is easy to manufacture.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の位置検出器は、1個のコイルと棒状また
は、パイプ状の導電体、または磁性体よりなる変位検出
部と、抵抗、コンデンサ、コンパレータよりなる発振回
路部と、周波数電圧変換部と、出力変換部により構成さ
れる。
To achieve the above object, a position detector according to the present invention comprises a coil, a rod-shaped or pipe-shaped conductor or a magnetic body, a displacement detector, and a resistor. , An oscillation circuit unit including a capacitor and a comparator, a frequency-voltage conversion unit, and an output conversion unit.

【0006】上記変位検出部に用いるコイルは、1本の
導電線を円筒状に巻いたものであり、コイル内径部にお
いて変位を検出する場合は空芯コイルとし、コイル外径
部において変位を検出する場合は空芯コイル、または棒
状の磁性体を芯とする有芯コイルである。
[0006] The coil used in the displacement detector is a single conductive wire wound in a cylindrical shape. When detecting displacement at the inner diameter of the coil, the coil is an air-core coil, and detecting displacement at the outer diameter of the coil. In this case, an air-core coil or a cored coil having a rod-shaped magnetic material as a core is used.

【0007】上記変位検出部に用いる導電体、または磁
性体は、棒状、またはパイプ状であり、被検出物に接
合、または一体で構成される。
[0007] The conductor or magnetic material used for the displacement detecting section is rod-shaped or pipe-shaped, and is joined to or integrally formed with an object to be detected.

【0008】上記発振回路部に用いる抵抗は、コイルと
直列に接続し、どちらか一方はコンパレータ入力側に、
他方はコンパレータ出力側に接続する。
The resistor used in the oscillation circuit is connected in series with the coil, and one of the resistors is connected to the comparator input side.
The other is connected to the comparator output.

【0009】上記発振回路部に用いるコンデンサは、一
方の極を0V(ボルト)に接続し、他極をコンパレータ
の入力側に接続する。
In the capacitor used in the oscillation circuit section, one pole is connected to 0 V (volt) and the other pole is connected to the input side of the comparator.

【0010】上記発振回路部に用いるコンパレータは、
ヒステリシスを有するしきい値を具えた反転出力の比較
器であり、入力電圧が低電圧から上昇するときは、高電
圧側のしきい値により判定し、そのしきい値を越えると
ローレベルを出力し、その後、入力電圧が高電圧側から
下降するときは、低電圧側のしきい値により判定し、そ
のしきい値を越えるとハイレベルを出力するものであ
る。具体的には、コンパレータの他にオペアンプや論理
素子のシュミットインバータなどが利用できる。
[0010] The comparator used in the oscillation circuit section is
This is an inverting output comparator with a threshold with hysteresis. When the input voltage rises from a low voltage, it is determined by the threshold on the high voltage side, and when the input voltage exceeds the threshold, a low level is output. Thereafter, when the input voltage falls from the high voltage side, it is determined by the threshold value on the low voltage side, and when the input voltage exceeds the threshold value, a high level is output. Specifically, in addition to the comparator, an operational amplifier, a Schmitt inverter of a logic element, or the like can be used.

【0011】上記周波数電圧変換部は、コンパレータの
発振する出力を観測し、その周波数を電圧に変換するも
のである。
The frequency-voltage converter observes the output oscillated by the comparator and converts the frequency to a voltage.

【0012】上記出力変換部は、被検出物の変位に対応
した電圧、または電流を出力したり、また予め指定した
位置に対して被検出物がどちら側にあるかを判定してス
イッチ出力を発生させるものである。
The output converter outputs a voltage or a current corresponding to the displacement of the object, and determines the side of the object relative to a position designated in advance, and outputs the switch output. To be generated.

【0013】また、上記変位検出部に用いるコイルは、
導電線に銅−ニッケル−マンガン合金線(マンガニン
線)、または銅−ニッケル合金線を用いることにより温
度変化に対して出力値の変動をより小さくすることが可
能である。
[0013] Further, the coil used for the displacement detecting section is
By using a copper-nickel-manganese alloy wire (manganin wire) or a copper-nickel alloy wire as the conductive wire, it is possible to further reduce the fluctuation of the output value with respect to a temperature change.

【0014】また、上記変位検出部のコイルの内径側に
挿入する磁性体、及びコイルの外径側に挿入するパイプ
状の磁性体の材質を、3%珪素鉄、アモルファス、また
はフェライトにすることで温度変化に対して出力値の変
動をより小さくすることが可能である。
Further, the material of the magnetic body inserted into the inner diameter side of the coil and the pipe-shaped magnetic body inserted into the outer diameter side of the coil of the displacement detecting section is made of 3% silicon iron, amorphous or ferrite. Thus, it is possible to further reduce the fluctuation of the output value with respect to the temperature change.

【0015】また、上記変位検出部のコイルの外径側に
おいてパイプ状の導電体を移動させるとき、棒状の磁性
体を芯とする有芯コイルとすることにより、より少ない
巻き数で小径のコイルを利用できる。
When the pipe-shaped conductor is moved on the outer diameter side of the coil of the displacement detecting section, a cored coil having a rod-shaped magnetic body as a core is used, so that a small-diameter coil with a smaller number of windings is provided. Can be used.

【0016】また、上記棒状の磁性体の材質を、3%珪
素鉄、アモルファス、またはフェライトとすることによ
り温度変化に対して出力値の変動をより小さくすること
が可能である。
Further, by making the material of the bar-shaped magnetic material 3% silicon iron, amorphous, or ferrite, it is possible to further reduce the fluctuation of the output value with respect to the temperature change.

【0017】さらに、上記変位検出部のコイルの抵抗値
の温度変化分を補償するために、負温度特性のサーミス
タをコイルと直列に接続し、コイル近傍に配置した構成
とすることで温度変化に対して出力値の変動をより小さ
くすることが可能である。
Further, in order to compensate for the temperature change of the resistance value of the coil of the displacement detecting section, a thermistor having a negative temperature characteristic is connected in series with the coil, and is arranged in the vicinity of the coil. On the other hand, it is possible to make the fluctuation of the output value smaller.

【0018】また、上記変位検出部のコイルのインダク
タンスの温度変化分を補償するために、負温度特性のサ
ーミスタをコイルと並列に接続し、コイル近傍に配置し
た構成とすることで温度変化に対して出力値の変動をよ
り小さくすることが可能である。
Further, in order to compensate for the temperature change of the inductance of the coil of the displacement detecting section, a thermistor having a negative temperature characteristic is connected in parallel with the coil, and is arranged near the coil, so that the temperature change can be prevented. Thus, the fluctuation of the output value can be further reduced.

【0019】さらに、上記発振回路部のコンパレータの
出力の立ち上がり、及び立ち下がりにおいて固定時間の
ハイレベルを有する矩形波を生成すると、周期の変化に
よりこの矩形波の間隔に粗密が発生するため、この矩形
波を積分することにより、コンパレータの出力の発振の
周期の変化を電圧の変化として出力できるようになり、
周波数電圧変換器を容易に構成することが可能である。
Further, when a rectangular wave having a high level for a fixed time is generated at the rise and fall of the output of the comparator of the oscillation circuit section, the interval between the rectangular waves varies due to a change in the period. By integrating the square wave, it becomes possible to output a change in the oscillation cycle of the output of the comparator as a change in voltage,
The frequency voltage converter can be easily configured.

【0020】[0020]

【作用】上記のように構成された位置検出器に電源を投
入すると、コンデンサに電荷が蓄えられていないとき
は、コンパレータの入力電圧がローレベルなのでコンパ
レータからはハイレベルが出力される。すると、コイル
と抵抗によるインピーダンスにより決まるはやさでコン
デンサに電荷が蓄えられる。
When the power is supplied to the position detector constructed as described above, when no charge is stored in the capacitor, the comparator outputs a high level because the input voltage of the comparator is low. Then, electric charges are stored in the capacitor at a speed determined by the impedance of the coil and the resistor.

【0021】このコンデンサに電荷が蓄えられる側の極
は、コンパレータの入力側にも接続してあるので、ある
時間の後、コンパレータのしきい値を越える電圧に達す
るとコンパレータの出力が反転しローレベルとなる。こ
のときのコンパレータへの入力側の電圧の変化は、低電
圧から上昇する方向であり高電圧側のしきい値による判
定がおこなわれる。
Since the pole on the side where electric charge is stored in the capacitor is also connected to the input side of the comparator, the output of the comparator is inverted when a voltage exceeding the threshold value of the comparator is reached after a certain time. Level. The change in the voltage on the input side to the comparator at this time is in the direction of rising from the low voltage, and the determination is made based on the threshold value on the high voltage side.

【0022】コンパレータの出力がローレベルになる
と、コイルと抵抗によるインピーダンスにより決まるは
やさでコンデンサに充電されていた電荷が放電される。
When the output of the comparator goes low, the charge stored in the capacitor is discharged as soon as it is determined by the impedance of the coil and the resistor.

【0023】この放電によりコンパレータの入力側の電
圧が低下するが、このときの電圧の変化は、高電圧から
下降する方向であり低電圧側のしきい値による判定が行
われ、そのしきい値を越えて入力電圧が下降すると、出
力はハイレベルとなり今度はコンデンサに電荷が蓄えら
れる。以後、これら一連の動作を繰り返すことによりコ
ンパレータの出力が発振を続けることになる。
The discharge causes the voltage on the input side of the comparator to decrease. At this time, the change in the voltage is in the direction of decreasing from the high voltage, and the judgment is made based on the threshold value on the low voltage side. When the input voltage falls below the threshold, the output goes high and charge is stored in the capacitor. Thereafter, by repeating these series of operations, the output of the comparator continues to oscillate.

【0024】また、電源投入時において、コンデンサに
電荷が蓄えられていたときは、コンパレータの入力がハ
イレベルなので、ローレベルが出力される。よって、コ
ンデンサは放電を始め、コンパレータの低圧側のしきい
値を越えるまで電圧が低くなると、今度はコンパレータ
の出力はハイレベルとなる。従って、コンデンサに充電
されていきコンパレータの高圧側のしきい値を越えるま
で電圧が高くなると、またコンパレータの出力はローレ
ベルとなり、以後、これら一連の動作を繰り返す。
When electric power is stored in the capacitor when the power is turned on, a low level is output because the input of the comparator is at a high level. Therefore, when the capacitor starts discharging and the voltage becomes low until the voltage exceeds the low-voltage threshold of the comparator, the output of the comparator goes high. Therefore, when the voltage is increased until the capacitor is charged and exceeds the high-side threshold value of the comparator, the output of the comparator becomes low level, and thereafter, a series of these operations are repeated.

【0025】以上のように、コンデンサの状態がどのよ
うな状態でも電源を投入すればコンパレータの出力は、
発振を始める。
As described above, if the power is turned on regardless of the state of the capacitor, the output of the comparator becomes
Start oscillating.

【0026】この発振の周期は、コイル、抵抗、コンデ
ンサの値により決まるが、当該位置検出器では、コイル
のインピーダンスを変化させることにより、コンパレー
タの出力の発振の周期を変化させる。
The oscillation cycle is determined by the values of the coil, the resistor and the capacitor. In the position detector, the oscillation cycle of the output of the comparator is changed by changing the impedance of the coil.

【0027】コイルのインピーダンスを変化させるため
には、コイルのインダクタンスを変化させる必要があ
り、空芯コイルの内径部において導電体、または磁性体
を移動させる方法と、空芯コイルの外径部においてパイ
プ状の導電体、または磁性体を移動させる方法と、棒状
の磁性体を芯とする有芯コイルの外径部においてパイプ
状の導電体を移動させる方法が考えられる。
In order to change the impedance of the coil, it is necessary to change the inductance of the coil. A method of moving a conductor or a magnetic material at the inner diameter of the air-core coil and a method of moving the conductor or the magnetic material at the outer diameter of the air-core coil are described. A method of moving the pipe-shaped conductor or the magnetic material, and a method of moving the pipe-shaped conductor at the outer diameter portion of the cored coil having the rod-shaped magnetic material as the core can be considered.

【0028】空芯コイルの内径部において導電体を移動
させる方法、及び空芯コイルの外径部においてパイプ状
の導電体を移動させる方法では、コイルより発生する磁
束は導電体の表面に渦電流を発生し、その部分の内部抵
抗により熱に変換され損失するためコイルを貫く磁束が
減少する。そのために導電体を挿入するにつれてコイル
のインダクタンスが減少し、インピーダンスも減少する
ので、コンデンサへの充電と放電の時間が短くなり、そ
の結果コンパレータの出力の発振の周期が短くなる。
In the method of moving the conductor at the inner diameter of the air-core coil and the method of moving the pipe-shaped conductor at the outer diameter of the air-core coil, the magnetic flux generated from the coil causes the eddy current to flow to the surface of the conductor. Is generated, and is converted into heat by the internal resistance of the portion and is lost, so that the magnetic flux passing through the coil is reduced. Therefore, as the conductor is inserted, the inductance of the coil decreases and the impedance also decreases, so that the time for charging and discharging the capacitor is shortened, and as a result, the period of the oscillation of the output of the comparator is shortened.

【0029】また、空芯コイルの内径部において磁性体
を移動させる方法、及びコイルの外径部においてパイプ
状の磁性体を移動させる方法では、磁性体を挿入した部
分ではコイル近傍の透磁率が上がるためコイルを貫く磁
束が増加する。それにより磁性体を挿入するにつれてコ
イルのインダクタンスが増加し、インピーダンスも増加
するので、コンデンサへの充電と放電の時間が長くな
り、その結果コンパレータの出力の発振の周期が長くな
る。
In the method of moving the magnetic material at the inner diameter of the air-core coil and the method of moving the pipe-shaped magnetic material at the outer diameter of the coil, the magnetic permeability near the coil is reduced at the portion where the magnetic material is inserted. The magnetic flux penetrating the coil increases because of the rise. Thereby, as the magnetic material is inserted, the inductance of the coil increases and the impedance also increases, so that the time for charging and discharging the capacitor is prolonged, and as a result, the oscillation cycle of the output of the comparator is prolonged.

【0030】また、棒状の磁性体を芯とする有芯コイル
の外径部においてパイプ状の導電体を移動させる方法で
は、棒状の磁性体を芯とするためコイル近傍に磁束が集
中することになりコイルを貫く磁束が増加しコイルのイ
ンダクタンスは空芯コイルに比較して増加した状態にな
る。その状態でパイプ状の導電体を挿入すると、コイル
により発生した磁束が導電体の表面に渦電流を発生し、
それが熱に変換され損失になり、コイルを貫く磁束を減
少させるため、コイルのインダクタンスを減少させる。
そのため、インピーダンスも減少するので、パイプ状の
導電体を挿入するにつれてコンデンサへの充電と放電の
時間が短くなり、その結果コンパレータの発振の周期が
短くなる。
In the method of moving a pipe-shaped conductor at the outer diameter of a cored coil having a rod-shaped magnetic body as a core, the magnetic flux concentrates near the coil because the rod-shaped magnetic body is a core. As a result, the magnetic flux passing through the coil increases, and the inductance of the coil increases as compared with the air-core coil. When a pipe-shaped conductor is inserted in that state, the magnetic flux generated by the coil generates an eddy current on the surface of the conductor,
It is converted to heat and becomes a loss, reducing the magnetic flux passing through the coil, thus reducing the inductance of the coil.
Therefore, since the impedance is also reduced, the time for charging and discharging the capacitor becomes shorter as the pipe-shaped conductor is inserted, and as a result, the period of oscillation of the comparator becomes shorter.

【0031】以上のようにコイルのインダクタンス、及
びインピーダンスを変化させることにより、コンパレー
タの出力の発振の周期を変化させ、その周期を観測する
ことにより被検出物の位置を検出する。
As described above, by changing the inductance and impedance of the coil, the period of oscillation of the output of the comparator is changed, and the position of the object is detected by observing the period.

【0032】また、当該位置検出器の温度の変化に対す
る安定性を高めるために、コンデンサの充電と放電の時
間に関与するコイルの抵抗値を安定させる必要があり、
コイルを構成する導電線の材質を温度の変化に対して抵
抗値が安定な銅−ニッケル−マンガン合金線(マンガニ
ン線)、または銅−ニッケル合金線を用いることで出力
の変動を抑えることができる。
Further, in order to increase the stability of the position detector with respect to a change in temperature, it is necessary to stabilize the resistance value of the coil which is involved in charging and discharging of the capacitor.
By using a copper-nickel-manganese alloy wire (manganin wire) or a copper-nickel alloy wire having a stable resistance value against a change in temperature for the material of the conductive wire forming the coil, fluctuations in output can be suppressed. .

【0033】また、当該位置検出器の温度の変化に対す
る安定性を高めるために、コンデンサの充電と放電の時
間に関与するコイルのインダクタンス、及びインピーダ
ンスを安定させる必要があり、コイルの内径部、及び外
径部に挿入する磁性体の材質を、磁気特性が温度の変化
に対して安定な3%珪素鉄、アモルファス、フェライト
を用いることで、出力の変動を抑えることができる。
Further, in order to enhance the stability of the position detector against a change in temperature, it is necessary to stabilize the inductance and impedance of the coil involved in the charging and discharging time of the capacitor. By using 3% silicon iron, amorphous, or ferrite, whose magnetic properties are stable against temperature changes, as the material of the magnetic material inserted into the outer diameter portion, output fluctuation can be suppressed.

【0034】また、当該位置検出器の温度の変化に対す
る安定性を高めるために、コンデンサの充電と放電の時
間に関与するコイルのインダクタンス、及びインピーダ
ンスを安定させる必要があり、有芯コイルのときに芯と
する磁性体の材質を、磁気特性が温度の変化に対して安
定な3%珪素鉄、アモルファス、フェライトを用いるこ
とで、出力の変動を抑えることができる。
Further, in order to enhance the stability of the position detector against a change in temperature, it is necessary to stabilize the inductance and impedance of the coil involved in charging and discharging of the capacitor. By using 3% silicon iron, amorphous, or ferrite, whose magnetic properties are stable with respect to a change in temperature, as the material of the core magnetic material, fluctuations in output can be suppressed.

【0035】また、当該位置検出器の温度の変化に対す
る安定性を高めるために、コイル部分の抵抗値の変化を
補償する方法があり、負温度特性のサーミスタをコイル
と直列に接続し、コイル近傍に配置することで、位置検
出部の温度の変化に対する出力の変動を抑えることがで
きる。
In order to enhance the stability of the position detector against a change in temperature, there is a method of compensating for a change in the resistance value of the coil portion. A thermistor having a negative temperature characteristic is connected in series with the coil, and the vicinity of the coil is connected. , It is possible to suppress a change in output with respect to a change in temperature of the position detection unit.

【0036】また、当該位置検出器の温度の変化に対す
る安定性を高めるために、コイル部分のインダクタンス
の変化を補償する方法があり、負温度特性のサーミスタ
をコイルと並列に接続し、コイル近傍に配置すること
で、位置検出部の温度の変化に対する出力の変動を抑え
ることができる。
In order to enhance the stability of the position detector with respect to a change in temperature, there is a method of compensating for a change in inductance of a coil portion. By arranging, it is possible to suppress a change in output with respect to a change in temperature of the position detection unit.

【0037】さらに、当該位置検出器の周波数電圧変換
部において、その機能を容易に実現するための方法とし
て、コンパレータの出力の立ち上がり、及び立ち下がり
において固定時間のハイレベルを有する矩形波を生成す
ると、周期の変化によりこの矩形波の間隔に粗密が発生
するため、この矩形波を積分することにより、コンパレ
ータの発振の周期の変化を電圧の変化として出力できる
ように構成できる。
Further, as a method for easily realizing the function in the frequency-voltage converter of the position detector, a rectangular wave having a high level for a fixed time at the rise and fall of the output of the comparator is provided. Since the interval between the rectangular waves varies due to the change in the cycle, the change in the oscillation cycle of the comparator can be output as a change in the voltage by integrating the rectangular wave.

【0038】[0038]

【実施例】実施例について図面を参照して説明するが、
まずはじめに全体の構成について説明すると、図1にお
いて、棒状の磁性体(6)を芯とする有芯コイル(3)
の外径側に、被検出物に接触、接合、または一体化され
たパイプ状の導電体(7)を挿入する。
An embodiment will be described with reference to the drawings.
First, the overall configuration will be described. In FIG. 1, a cored coil (3) having a rod-shaped magnetic body (6) as a core
A pipe-shaped conductor (7) that is in contact with, joined to, or integrated with the object to be detected is inserted into the outer diameter side of the pipe.

【0039】ヒステリシスを有するしきい値を具えた反
転出力のコンパレータ(2)の入力側と出力側の間にコ
イル(3)と抵抗(4)を直列に接続する。また、コン
パレータ(2)の入力側にコンデンサ(1)を接続し、
コンデンサ(1)の他極を0V(ボルト)に接続する。
A coil (3) and a resistor (4) are connected in series between the input side and the output side of an inverted output comparator (2) having a threshold value having hysteresis. Also, connect the capacitor (1) to the input side of the comparator (2),
The other pole of the capacitor (1) is connected to 0V (volt).

【0040】コンパレータ(2)の出力波形を観測し、
立ち上がり、及び立ち下がりにおいて固定時間のハイレ
ベルを有する矩形波を生成すると、周期の変化によりこ
の矩形波に粗密が発生するため、この矩形波を積分する
ことにより、コンパレータ(2)の発振の周期の変化、
即ち、周波数の変化を電圧の変化として出力できる。
Observing the output waveform of the comparator (2),
When a rectangular wave having a high level for a fixed period of time is generated at the rising and falling edges, the density of the rectangular wave is changed due to a change in the period. Therefore, the period of the oscillation of the comparator (2) is integrated by integrating the rectangular wave. change of,
That is, a change in frequency can be output as a change in voltage.

【0041】この電圧を出力変換部において、ある比率
を乗じた電圧、または電流として出力するか、またはあ
る特定の位置を予め設定しておき、その位置に対して被
検出物がどちら側にあるかを判定してスイッチ出力を発
生するなどの構成をとって位置検出器とする。
In the output converter, this voltage is output as a voltage or current multiplied by a certain ratio, or a certain position is set in advance, and the object to be detected is located on either side with respect to that position. A position detector is constructed by determining whether or not a switch output is generated.

【0042】スイッチ出力を発生する場合は、前述の周
波数を変換して得られた電圧を、スイッチ出力を希望す
る被検出物の位置に相当する電圧レベルと比較して、ス
イッチ出力のハイレベル、ローレベルを出力するような
構成が考えられる。
When a switch output is generated, the voltage obtained by converting the above-mentioned frequency is compared with a voltage level corresponding to the position of the object to be detected for the switch output, and a high level of the switch output is obtained. A configuration that outputs a low level is conceivable.

【0043】当該位置検出器の構成のなかで、特に上記
のように有芯コイルを用いた方法をとることにより、鉄
芯にコイルを巻いて、それを圧力容器内に収めるだけ
で、流体圧シリンダーに組み込むことができ、構造が非
常に簡単になり、小型化が容易になるので、例えば、図
5に示す実施例のように、ピストンロッド(24)の外
径2mm、シリンダーチューブ(25)の内径4mm、
ストローク20mmの小型の空気圧シリンダーにも簡単
に組み込むことができる。
In the structure of the position detector, particularly by using the method using the cored coil as described above, the coil is wound around the iron core, and the coil is wound in the pressure vessel, so that the fluid pressure can be reduced. For example, as shown in FIG. 5, the piston rod (24) has an outer diameter of 2 mm, and the cylinder tube (25) can be assembled into a cylinder, which has a very simple structure and facilitates miniaturization. 4 mm inside diameter of
It can be easily incorporated into a small pneumatic cylinder with a stroke of 20 mm.

【0044】この実施例では、当該位置検出器(27)
をヘッドカバー(26)に固定し、パイプ状の金属製ピ
ストンロッド(24)に挿入した構成であり、その動作
は、圧縮空気をポート(28)より注入すると、ピスト
ンロッド(24)が前進し、ポート(28)より排気す
ると、圧縮されたスプリング(29)によりピストンロ
ッド(24)が後退するものである。この小型シリンダ
ーのピストンロッド(24)の位置を検出するために
は、当該位置検出器のように小型で簡単な構造のものが
適している。
In this embodiment, the position detector (27)
Is fixed to the head cover (26) and inserted into a pipe-shaped metal piston rod (24). When compressed air is injected from the port (28), the piston rod (24) moves forward, When the air is exhausted from the port (28), the piston rod (24) is retracted by the compressed spring (29). In order to detect the position of the piston rod (24) of the small cylinder, a small-sized and simple structure such as the position detector is suitable.

【0045】図1に示される構成図において、コイル
(3)に使用する導電線の材質を温度の変化に対して、
抵抗値が安定な銅−ニッケル−マンガン合金線(マンガ
ニン線)、または銅−ニッケル合金線を用いることによ
って温度の変化による出力の変動をより少なくすること
ができる。
In the configuration diagram shown in FIG. 1, the material of the conductive wire used for the coil (3) is changed with respect to a change in temperature.
By using a copper-nickel-manganese alloy wire (manganin wire) or a copper-nickel alloy wire having a stable resistance value, a change in output due to a change in temperature can be further reduced.

【0046】また、図1で示される構成図において、磁
性体(6)からなる芯の材質を温度の変化に対して磁気
特性が安定な、3%珪素鉄、アモルファス、またはフェ
ライトを用いることによって温度の変化による出力値の
変動をより少なくすることができる。
In the configuration diagram shown in FIG. 1, the material of the core made of the magnetic material (6) is made of 3% silicon iron, amorphous, or ferrite whose magnetic properties are stable against temperature changes. Fluctuations in output values due to changes in temperature can be further reduced.

【0047】また、図1で示される構成図において、コ
イル(3)とケーブルの接合部を保護するケース内に、
コイル(3)の抵抗の温度変化分を補償するためにコイ
ル(3)と直列に負温度特性のサーミスタ(9)を接続
して収めることにより、温度の変化による出力値の変動
をより少なくすることができる。
In the configuration shown in FIG. 1, the case for protecting the joint between the coil (3) and the cable is
By connecting a thermistor (9) having a negative temperature characteristic in series with the coil (3) to compensate for the temperature change of the resistance of the coil (3), the fluctuation of the output value due to the temperature change is further reduced. be able to.

【0048】また、図1で示される構成図のうち、コイ
ル(3)とケーブルの接合部を保護するケース内に、コ
イル(3)のインダクタンスの温度変化分を補償するた
めにコイル(3)と並列に負温度特性のサーミスタ(1
0)を接続して収めることにより、温度の変化による出
力値の変動をより少なくすることができる。
In the configuration shown in FIG. 1, the coil (3) is provided in a case for protecting the joint between the coil (3) and the cable in order to compensate the temperature change of the inductance of the coil (3). Thermistor with negative temperature characteristic (1
By connecting 0), it is possible to further reduce the fluctuation of the output value due to a change in temperature.

【0049】しかしながら、当該位置検出器の特徴であ
る小型で簡単な構造を実現するにおいて、サーミスタの
使用は避けたい。そのために、磁性体(6)の芯の材質
に3%珪素鉄、アモルファス、またはフェライトを用い
て、コイル(3)にマンガニン線を用いて、さらに外径
部に挿入するパイプ状の導電体(7)をニッケル−クロ
ム、鉄−クロム、銅−ニッケル、または銅−ニッケル−
マンガンなど電気抵抗値が温度の変化に対して安定な材
質とすることで、サーミスタを使用しなくても、温度変
化に対して極めて安定した出力が得られるようになる。
However, in realizing the small and simple structure which is a feature of the position detector, it is desired to avoid using a thermistor. For this purpose, 3% silicon iron, amorphous, or ferrite is used as the core material of the magnetic body (6), a manganin wire is used for the coil (3), and a pipe-shaped conductor ( 7) is nickel-chromium, iron-chromium, copper-nickel, or copper-nickel-
By using a material whose electric resistance value is stable against a change in temperature such as manganese, an extremely stable output with respect to a change in temperature can be obtained without using a thermistor.

【0050】次に、図1におけるコイル(3)を中空コ
イルとし、コイル内径部に導電体(5)、または磁性体
(6)を挿入して位置検出する場合を説明する。
Next, a case where the coil (3) in FIG. 1 is a hollow coil and the conductor (5) or the magnetic body (6) is inserted into the inner diameter of the coil to detect the position will be described.

【0051】この場合、位置検出部のコイル(3)部分
を保護するケースを中空にする必要があるのと、コイル
(3)の内径部を移動する導電体(5)、または磁性体
(6)を被検出物に固定するための構造が複雑になる
が、コイル(3)にマンガニン線を利用し、内径部に挿
入する磁性体(6)に3%珪素鉄、アモルファス、また
はフェライトを利用すると、サーミスタ(9)(10)
を用いた温度補償をしなくても、温度変化に対して極め
て安定な出力を得られる。
In this case, it is necessary to make the case for protecting the coil (3) portion of the position detecting section hollow, and it is necessary to determine whether the conductor (5) or the magnetic material (6) moves inside the inner diameter of the coil (3). ) Is fixed on the object to be detected, but the coil (3) uses manganin wire, and the magnetic material (6) inserted into the inner diameter part uses 3% silicon iron, amorphous, or ferrite. Then, thermistors (9) and (10)
An extremely stable output can be obtained even if the temperature is not compensated for by using a temperature change.

【0052】また、図1に示す構成図において、周波数
電圧変換部(13)は、コンパレータ(2)の出力の発
振の周波数を電圧に変換する部分である。一般的に周波
数電圧変換器とよばれる製品は多数存在するが、この位
置検出器において容易に実現できる方法を以下に述べ
る。
In the configuration shown in FIG. 1, the frequency-to-voltage converter (13) is a part that converts the oscillation frequency of the output of the comparator (2) into a voltage. In general, there are many products called frequency-voltage converters, and a method which can be easily realized in this position detector will be described below.

【0053】発振しているコンパレータ(2)の出力波
形の立ち上がりと立ち下がりのエッジで、ある固定時間
のハイレベルを有する矩形波を発生させる。コンパレー
タ(2)の発振の周期が変化すると、この矩形波のロー
レベル部分の間隔が変化するので、積分することにより
周波数を電圧に変換することができる。
At the rising and falling edges of the output waveform of the oscillating comparator (2), a rectangular wave having a high level for a fixed time is generated. When the oscillation cycle of the comparator (2) changes, the interval between the low-level portions of the rectangular wave changes, so that the frequency can be converted into a voltage by integrating.

【0054】次にサーミスタを用いた温度補償について
述べる。図1に示す構成図において、コイル(3)に用
いる導電線の材質や、コイル(3)の内径側、及び外径
側に挿入する導電体(5)(7)、及び磁性体(6)
(8)の材質を、これまで述べてきたように温度特性の
良いもので構成するならば、温度補償用のサーミスタ
(9)(10)は必要ないと思われるが、位置検出器の
使用環境、形状、その他の要因で温度特性の良い材料の
使用が困難なときは、サーミスタで温度補償するほうが
簡単な場合がある。また、上記のように温度特性の良い
材料を使用することに加えてサーミスタを使用すること
で、より温度特性を向上させることができる。
Next, temperature compensation using a thermistor will be described. In the configuration diagram shown in FIG. 1, the material of the conductive wire used for the coil (3), the conductors (5) and (7) inserted on the inner diameter side and the outer diameter side of the coil (3), and the magnetic body (6)
If the material of (8) is made of a material having good temperature characteristics as described above, the thermistors (9) and (10) for temperature compensation may not be necessary. When it is difficult to use a material having good temperature characteristics due to factors such as shape, shape, and other factors, it may be easier to perform temperature compensation with a thermistor. Further, by using a thermistor in addition to using a material having good temperature characteristics as described above, the temperature characteristics can be further improved.

【0055】サーミスタを使用した温度補償の方法につ
いて、その接続方法を実験により求めた結果として説明
すると、コイル(3)に銅線を用い、有芯コイルの芯と
して磁性体(6)に鉄を用いた場合は、温度変化に対し
て銅線の電気抵抗が約0.4%/℃位変化し、有芯コイ
ルのインダクタンスが約0.1〜0.2%/℃位変化す
るので、その影響で出力電圧が変化する。
The method of temperature compensation using a thermistor will be described as a result of experimentally determining the connection method. A copper wire is used for the coil (3), and iron is used for the magnetic material (6) as the core of the cored coil. When used, the electric resistance of the copper wire changes by about 0.4% / ° C with respect to the temperature change, and the inductance of the cored coil changes by about 0.1 to 0.2% / ° C. The output voltage changes due to the influence.

【0056】そこで、コイル(3)と直列、及び並列
に、つまり図1のサーミスタ(9)(10)の代わりに
可変抵抗器をつけて変位検出部(11)の温度を変化さ
せたとき、はじめの温度のときと同じ出力電圧が得られ
るようにそれぞれの可変抵抗器の抵抗値をさがしだし
た。すると、コイルの外径側に挿入するパイプ状の導電
体(7)の位置によりそれぞれの可変抵抗器を両方とも
調整しなければ、検出範囲全体において、温度補償する
ことはできなかった。つまり、パイプ状の導電体(7)
の挿入位置により補償する値が異なることが判明した。
Therefore, when the temperature of the displacement detection unit (11) is changed in series and in parallel with the coil (3), that is, by attaching a variable resistor instead of the thermistors (9) and (10) in FIG. The resistance value of each variable resistor was found so as to obtain the same output voltage as at the initial temperature. Then, unless both variable resistors were adjusted according to the position of the pipe-shaped conductor (7) inserted on the outer diameter side of the coil, temperature compensation could not be performed over the entire detection range. That is, the pipe-shaped conductor (7)
It was found that the value to be compensated was different depending on the insertion position of.

【0057】そのため、今度はコイル(3)にマンガニ
ン線を用いて同様の実験をおこなった。すると、コイル
と直列に接続したほうの可変抵抗器の抵抗値を変化させ
ることなく、コイルと並列に接続した可変抵抗器の抵抗
値を変化させるのみで、検出範囲全体について、温度補
償をすることができた。
For this reason, a similar experiment was performed using a manganin wire for the coil (3). Then, without changing the resistance value of the variable resistor connected in series with the coil, the temperature of the entire detection range can be compensated only by changing the resistance value of the variable resistor connected in parallel with the coil. Was completed.

【0058】以上のことから、マンガニン線は抵抗温度
係数が10PPM/℃程度と非常に安定しているため、
コイルに並列に接続した可変抵抗器により補償したもの
は、有芯コイルのインダクタンスの変化分といえる。そ
して、コイルに直列に接続した可変抵抗器により補償し
たものは、マンガニン線に変更したために調整不要とな
ったことから、コイルの電気抵抗の変化分といえる。
From the above, since the manganin wire has a very stable temperature coefficient of resistance of about 10 PPM / ° C.,
What is compensated by the variable resistor connected in parallel to the coil can be said to be a change in inductance of the cored coil. The value compensated by the variable resistor connected in series to the coil does not need to be adjusted due to the change to the manganin wire, and can be said to be a change in the electric resistance of the coil.

【0059】また、どちらの可変抵抗器も温度補償した
ときの抵抗値は、温度が上がるにつれて抵抗値を下げる
方向であったため、これをサーミスタで行うには、負の
抵抗温度係数をもつものが必要であり、さらに、温度に
対して比例した抵抗値の変化が必要なため、実際の使用
では、固定抵抗とサーミスタを並列接続してサーミスタ
の温度に対して曲線的な抵抗値の変化を直線的にする必
要がある。
Further, since the resistance value of both variable resistors when the temperature is compensated is such that the resistance value decreases as the temperature rises, a resistor having a negative temperature coefficient of resistance must be used to perform this with a thermistor. It is necessary to change the resistance value in proportion to temperature.In actual use, a fixed resistance and a thermistor are connected in parallel, and the change in the resistance value in a curved line with respect to the temperature of the thermistor is straightened. Need to be done.

【0060】[0060]

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, it has the following effects.

【0061】1個のコイルで温度特性の優れた位置検出
器を構成できるため、構造が非常に簡単であり、また発
振回路部、周波数電圧変換部、及び出力変換部も非常に
簡単に構成できるため、全体的に小型化が容易である。
Since a position detector having excellent temperature characteristics can be constituted by one coil, the structure is very simple, and the oscillation circuit section, the frequency-voltage conversion section and the output conversion section can also be constituted very simply. Therefore, miniaturization is easy as a whole.

【0062】有芯コイルの方式の場合、1往復巻のコイ
ルでも十分な出力が得られるため、位置検出部が非常に
小さくなり、製作も容易であるので小型の流体圧シリン
ダーのような機器への取り付けが可能である。
In the case of the cored coil system, a sufficient output can be obtained even with a single reciprocating coil, so that the position detecting section is very small and the production is easy. Can be installed.

【0063】コイルを用いた位置検出器において、一般
的に用いられている温度補償用の複雑な回路や、温度補
償用コイルなどを用いなくても構成材料の選定のみで、
温度の変化に対して安定な出力が得られるので、コイル
構造の自由度が高く機器への装着が容易である。
In a position detector using a coil, a complicated circuit for temperature compensation, which is generally used, or a selection of a constituent material without using a coil for temperature compensation, etc., is used.
Since a stable output is obtained with respect to a change in temperature, the degree of freedom of the coil structure is high, and the coil can be easily mounted on a device.

【0064】また、コイルと直列にサーミスタを接続し
たり、コイルと並列にサーミスタを接続してコイル近傍
に配置するだけで、温度変化による安定性を簡単に向上
できるので、位置検出部の構成材料の選択肢が多く、使
用環境、大きさ、形状などへの対応が容易である。
Further, by simply connecting a thermistor in series with the coil or connecting a thermistor in parallel with the coil and disposing the thermistor in the vicinity of the coil, the stability due to temperature changes can be easily improved. There are many choices, and it is easy to respond to usage environment, size, shape, etc.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】位置検出器の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a position detector.

【図2】差動トランスの構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of a differential transformer.

【図3】差動トランスの変位量と出力電圧の関係を示す
グラフである。
FIG. 3 is a graph showing a relationship between a displacement amount of a differential transformer and an output voltage.

【図4】差動トランスを流体圧のシリンダーに組み込ん
だときの断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view when the differential transformer is incorporated in a hydraulic cylinder.

【図5】位置検出器を小型空圧シリンダーに組み込んだ
ときの断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view when the position detector is incorporated in a small pneumatic cylinder.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 コンデンサ 2 コンパレータ 3 コイル 4 抵抗 5 導電体 6、18、23 磁性体 7 パイプ状の導電体 8 パイプ状の磁性体 9、10 サーミスタ 11 変位検出部 12 発振回路部 13 周波数電圧変換部 14 出力変換部 15 励磁コイル 16、17 検出コイル 19 流体圧シリンダー 20 差動トランス 21 シリンダーストローク 22、24 ピストンロッド 25 シリンダーチューブ 26 ヘッドカバー 27 位置検出器 28 ポート 29 スプリング DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Capacitor 2 Comparator 3 Coil 4 Resistance 5 Conductor 6, 18, 23 Magnetic substance 7 Pipe-shaped conductor 8 Pipe-shaped magnetic substance 9, 10 Thermistor 11 Displacement detection part 12 Oscillation circuit part 13 Frequency voltage conversion part 14 Output conversion Part 15 Excitation coil 16, 17 Detection coil 19 Fluid pressure cylinder 20 Differential transformer 21 Cylinder stroke 22, 24 Piston rod 25 Cylinder tube 26 Head cover 27 Position detector 28 Port 29 Spring

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 直線的な位置の変化を検出する位置検出
器において、一方の極を0V(ボルト)に接続したコン
デンサ(1)の他極をヒステリシスを有するしきい値を
具えた反転出力のコンパレータ(2)の入力側に接続
し、コンパレータ(2)の出力側はコイル(3)と抵抗
(4)を直列に接続してコンパレータ(2)の入力側に
接続する回路を構成することにより、コンパレータ
(2)の出力を発振させておき、コイル(3)の内径側
で導電体(5)、または磁性体(6)を移動させたり、
またはコイル(3)の外径側でパイプ状の導電体
(7)、または磁性体(8)を移動させて、コイル
(3)のインダクタンスを変化させることにより、コイ
ル(3)と抵抗(4)を併せたインピーダンスが変化す
るので、コンデンサ(1)の充電と放電の時間が変化
し、それによりコンパレータ(2)の出力の発振の周期
が変化するので、その周期を観測することにより、コイ
ル(3)の内径側、または外径側で移動する導電体
(5)(7)、または磁性体(6)(8)の位置を検出
できるように構成した位置検出器。
In a position detector for detecting a linear change in position, a capacitor having one pole connected to 0 V (volt) and the other pole connected to an inverted output having a threshold having hysteresis. The output side of the comparator (2) is connected to the input side of the comparator (2) by connecting a coil (3) and a resistor (4) in series to form a circuit connected to the input side of the comparator (2). The output of the comparator (2) is oscillated, and the conductor (5) or the magnetic body (6) is moved on the inner diameter side of the coil (3).
Alternatively, by moving the pipe-shaped conductor (7) or magnetic body (8) on the outer diameter side of the coil (3) to change the inductance of the coil (3), the coil (3) and the resistance (4) are changed. ) Changes, the charging and discharging time of the capacitor (1) changes, and the cycle of oscillation of the output of the comparator (2) changes. By observing the cycle, the coil can be observed. A position detector configured to detect the position of the conductor (5) (7) or the magnetic body (6) (8) moving on the inner diameter side or outer diameter side of (3).
【請求項2】 コイル(3)を構成する導電線の材質
を、温度の変化に対して抵抗値が安定している、銅−ニ
ッケル−マンガン合金線(マンガニン線)、または銅−
ニッケル合金線とした請求項1記載の位置検出器。
2. A material of a conductive wire forming the coil (3) is selected from a copper-nickel-manganese alloy wire (manganin wire) or a copper
2. The position detector according to claim 1, wherein the position detector is a nickel alloy wire.
【請求項3】 コイル(3)の内径側、及び外径側に挿
入する磁性体(6)(8)の材質を、温度の変化に対し
て磁気特性が安定している、3%珪素鉄、アモルファ
ス、またはフェライトとした請求項1記載の位置検出
器。
3. The material of the magnetic bodies (6) and (8) inserted on the inner diameter side and the outer diameter side of the coil (3) is made of 3% silicon iron whose magnetic properties are stable with respect to temperature changes. 2. The position detector according to claim 1, wherein the position detector is made of amorphous, or ferrite.
【請求項4】 コイル(3)の外径側においてパイプ状
の導電体(7)を移動させるとき、磁性体(6)を芯と
する有芯コイルを利用する請求項1記載の位置検出器。
4. The position detector according to claim 1, wherein when the pipe-shaped conductor is moved on the outer diameter side of the coil, a cored coil having a magnetic body as a core is used. .
【請求項5】 請求項4記載の磁性体(6)の材質を、
3%珪素鉄、アモルファス、またはフェライトとした位
置検出器。
5. The magnetic material (6) according to claim 4, wherein
Position detector made of 3% silicon iron, amorphous, or ferrite.
【請求項6】 コイル(3)の抵抗値の温度変化分を補
償するために、負温度特性のサーミスタ(9)をコイル
(3)と直列に接続し、コイル(3)の近傍に配置した
構成とする請求項1記載の位置検出器。
6. A thermistor (9) having a negative temperature characteristic is connected in series with the coil (3) and arranged near the coil (3) in order to compensate for a temperature change of the resistance value of the coil (3). The position detector according to claim 1, wherein the position detector has a configuration.
【請求項7】 コイル(3)のインダクタンスの温度変
化分を補償するために、負温度特性のサーミスタ(1
0)をコイル(3)と並列に接続し、コイル(3)の近
傍に配置した構成とする請求項1記載の位置検出器。
7. A thermistor (1) having a negative temperature characteristic to compensate for a temperature change of the inductance of the coil (3).
2. The position detector according to claim 1, wherein the position detector is connected in parallel with the coil, and is disposed near the coil.
【請求項8】 コンパレータ(2)の出力の立ち上が
り、及び立ち下がりにおいて、固定時間のハイレベルを
有する矩形波を生成すると、周期の変化によりこの矩形
波の間隔に粗密が発生するため、この矩形波を積分する
ことにより、コンパレータ(2)の出力の発振の周期の
変化を電圧の変化として出力できるように構成した請求
項1記載の位置検出器。
8. When a rectangular wave having a high level for a fixed time is generated at the rise and fall of the output of the comparator (2), the interval between the rectangular waves varies due to a change in the period. 2. The position detector according to claim 1, wherein a change in the cycle of oscillation of the output of the comparator is output as a change in voltage by integrating the wave.
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Cited By (3)

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