JP2001144309A - Rear-surface protection sheet for solar cell module and solar cell module using the same - Google Patents

Rear-surface protection sheet for solar cell module and solar cell module using the same

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JP2001144309A
JP2001144309A JP32388699A JP32388699A JP2001144309A JP 2001144309 A JP2001144309 A JP 2001144309A JP 32388699 A JP32388699 A JP 32388699A JP 32388699 A JP32388699 A JP 32388699A JP 2001144309 A JP2001144309 A JP 2001144309A
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solar cell
cell module
film
resin
resistance
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JP32388699A
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Japanese (ja)
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Yasushi Yamada
泰 山田
Yasuki Suzuura
泰樹 鈴浦
Kojiro Okawa
晃次郎 大川
Atsuro Tsuzuki
淳朗 續木
Kazuyuki Takazawa
和幸 高澤
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Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To stably provide a low-cost and safe rear-surface protection sheet together with a solar cell module using it, which is rigid, and superior in weather resistance, heat resistance, waterproofness, insulation resistance, wind- pressure resistance, dew-condensation resistance, chemical resistance, moisture resistance, contamination resistance, light reflectivity, light diffusion characteristics, design, etc., with the moisture resistance for preventing infiltration of moisture and oxygen, etc., significantly improved, while the long-term performance degradation is suppressed to a minimum for high durability and protective capability. SOLUTION: On one surface of a weather-resistant base material, a vapor deposited film of inorganic oxide is provided, on which a print layer is provided for this solar cell module.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池モジュ−
ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジ
ュ−ルに関するものであり、更に詳しくは、強度に優
れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧
性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、光反射性、
光拡散性、意匠性、その他等の諸特性に優れ、極めて耐
久性に富み、保護能力性に優れた太陽電池モジュ−ル用
裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−
ルに関するものである。
The present invention relates to a solar cell module.
More specifically, the present invention relates to a solar cell module using the same, and more specifically, has excellent strength, weather resistance, heat resistance, water resistance, light resistance, wind pressure resistance, and hail resistance. , Chemical resistance, moisture resistance, stain resistance, light reflection,
A backside protection sheet for a solar cell module which is excellent in various properties such as light diffusion property, design property, etc., extremely durable and excellent in protection ability, and a solar cell module using the same.
It is about the file.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、環境問題に対する意識の高まりか
ら、クリ−ンなエネルギ−源としての太陽電池が注目さ
れ、現在、種々の形態からなる太陽電池モジュ−ルが開
発され、提案されている。一般に、上記の太陽電池モジ
ュ−ルは、例えば、結晶シリコン太陽電池素子あるいは
アモルファスシリコン太陽電池素子等を製造し、そのよ
うな太陽電池素子を使用し、表面保護シ−ト層、充填剤
層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、お
よび、裏面保護シ−ト層等の順に積層し、真空吸引して
加熱圧着するラミネ−ション法等を利用して製造されて
いる。而して、上記の太陽電池モジュ−ルは、当初、電
卓への適用を始めとし、その後、各種の電子機器等に応
用され、民生用の利用として、その応用範囲は急速に広
まりつつあり、更に、今後、最も重要な課題として、大
規模集中型太陽電池発電の実現であるとされている。と
ころで、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護
シ−ト層としては、現在、強度に優れたプラスチック基
材等が、最も一般的に使用され、その他、金属板等も使
用されている。而して、一般に、太陽電池モジュ−ルを
構成する裏面保護シ−ト層としては、例えば、強度に優
れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧
性、耐降雹性、耐薬品性、光反射性、光拡散性、意匠性
等の諸堅牢性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止
する防湿性に優れ、更に、表面硬度が高く、かつ、表面
の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する防汚性に優れ、極めて
耐久性に富み、その保護能力性が高いこと、その他等の
条件を充足することが必要とされいる。
2. Description of the Related Art In recent years, attention has been paid to solar cells as a clean energy source due to increasing awareness of environmental issues. At present, solar cell modules of various forms have been developed and proposed. . In general, the above solar cell module produces, for example, a crystalline silicon solar cell element or an amorphous silicon solar cell element, and uses such a solar cell element to form a surface protective sheet layer, a filler layer, It is manufactured by laminating a solar cell element as a photovoltaic element, a filler layer, a backside protective sheet layer, and the like in that order, vacuum-sucking, and heat-compressing, for example, using a lamination method. Thus, the above-mentioned solar cell module is first applied to calculators and thereafter applied to various electronic devices and the like, and its application range is rapidly expanding for consumer use. Furthermore, it is said that the most important issue in the future is to realize large-scale centralized solar cell power generation. By the way, as a back surface protective sheet layer constituting the above-mentioned solar cell module, a plastic substrate or the like having excellent strength is most commonly used at present, and a metal plate or the like is also used. . Thus, in general, the backside protective sheet layer constituting the solar cell module has, for example, excellent strength, weather resistance, heat resistance, water resistance, light resistance, wind pressure resistance, hail resistance, Excellent in various fastnesses such as chemical resistance, light reflectivity, light diffusion, design, etc., in particular, excellent in moisture proofness to prevent the invasion of moisture, oxygen, etc., and also high in surface hardness and surface dirt It is required to satisfy conditions such as excellent antifouling property for preventing accumulation of dust and the like, extremely high durability, high protection ability, and others.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例え
ば、太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護シ−ト層と
して、現在、最も一般的に使用されている強度に優れた
プラスチック基材等を使用する場合には、可塑性、軽量
性、加工性、施工性、低コスト化等に富むものではある
が、強度、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐薬品
性、耐衝撃性、光反射性、光拡散性、その他等の諸堅牢
性に劣り、特に、防湿性、防汚性、意匠性等に欠けると
いう問題点がある。また、太陽電池モジュ−ルを構成す
る裏面保護シ−ト層として、金属板等を使用する場合に
は、強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光
性、耐薬品性、耐突き刺し性、耐衝撃性、その他等の諸
堅牢性に優れ、また、防湿性等にも優れ、更に、表面硬
度が硬く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する
防汚性に優れ、その保護能力性が極めて高い等の利点を
有するが、可塑性、軽量性、光反射性、光拡散性、意匠
性等に欠け、更に、その加工性、施工性等に劣り、か
つ、低コスト化等に欠けるという問題点がある。そこで
本発明は、強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水
性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、
防汚性、光反射性、光拡散性、意匠性、その他等の諸特
性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性
を著しく向上させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑
え、極めて耐久性に富み、その保護能力性に優れ、か
つ、より低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを構成す
る裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ
−ルを安定的に提供することである。
However, for example, a plastic substrate having excellent strength, which is most commonly used at present, is used as a back surface protective sheet layer constituting a solar cell module. In the case, it is rich in plasticity, light weight, workability, workability, cost reduction, etc., but strength, weather resistance, heat resistance, water resistance, light resistance, chemical resistance, impact resistance, light reflection Inferior in various fastnesses, such as properties, light diffusion properties, etc., and in particular, lacks moisture resistance, stain resistance, and design. Further, when a metal plate or the like is used as the back surface protective sheet layer constituting the solar cell module, it is excellent in strength, and has weather resistance, heat resistance, water resistance, light resistance, chemical resistance, Excellent in stab resistance, impact resistance, and other robustness, and also excellent in moisture resistance, etc. In addition, the surface hardness is hard and the antifouling property to prevent the accumulation of surface dirt and dust etc. It has the advantages of excellent and extremely high protection ability, but lacks plasticity, lightness, light reflection, light diffusion, design, etc., and further has poor workability, workability, etc., and low There is a problem that the cost is low. Therefore, the present invention is excellent in strength, and weather resistance, heat resistance, water resistance, light resistance, wind pressure resistance, hail resistance, chemical resistance, moisture resistance,
Excellent in various properties such as antifouling property, light reflection property, light diffusing property, design property, etc., and in particular, significantly improves moisture resistance to prevent moisture and oxygen from entering, and minimizes long-term performance deterioration. The backside protection sheet which constitutes a solar cell module which is extremely durable, has excellent protection ability, is lower in cost and is safer, and a solar cell module using the same is stable. It is to provide.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明者は、太陽電池モ
ジュ−ルを構成する裏面保護シ−ト層について、上記の
ような問題点を解決すべく種々研究の結果、まず、耐候
性基材の片面に、酸化珪素、あるいは、酸化アルミニウ
ム等のガラス質からなる透明な、かつ、水蒸気バリア
性、酸素バリア性等に優れた無機酸化物の蒸着膜を設
け、更に、該無機酸化物の蒸着膜の上に、インキ用ビヒ
クルを主成分とし、これに染料、顔料等の着色剤、その
他等を添加し、十分に混練してなるインキ組成物による
印刷層を設けて太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを
製造し、而して、該太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トを使用し、例えば、ガラス板等からなる通常の太陽電
池モジュ−ル用表面保護シ−ト、充填剤層、光起電力素
子としての太陽電池素子、充填剤層、および、上記の太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その印刷層の面
を対向させて順次に積層し、次いで、これらを一体的に
真空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法等を利用し
て太陽電池モジュ−ルを製造したところ、強度に優れ、
更に、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐
降雹性、耐薬品性、防汚性、その他等の諸特性に優れ、
特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優れ、ま
た、光反射性、光拡散性、意匠性等についても著しく向
上させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑え、極めて
耐久性に富み、保護能力性に優れ、かつ、より低コスト
で安全な太陽電池モジュ−ルを安定的に製造し得ること
を見出して本発明を完成したものである。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have conducted various studies on the backside protective sheet layer constituting the solar cell module in order to solve the above-mentioned problems. On one side of the material, silicon oxide, or a transparent glassy material such as aluminum oxide, and provided with a vapor-deposited film of an inorganic oxide excellent in water vapor barrier properties, oxygen barrier properties, and the like. A solar cell module is formed by providing a printing layer of an ink composition obtained by adding a coloring agent such as a dye and a pigment, and the like to a main component of a vehicle for an ink, and kneading the mixture on the evaporation film as a main component. Back protection sheet for the solar cell module.
For example, a surface protection sheet for a normal solar cell module made of a glass plate or the like, a filler layer, a solar cell element as a photovoltaic element, a filler layer, and the above solar cell A back surface protection sheet for a module is sequentially laminated with the printed layers facing each other, and then a solar cell is applied by using a lamination method or the like in which these are integrally vacuum-sucked and heated and pressed. When the module is manufactured, it has excellent strength,
Furthermore, it has excellent properties such as weather resistance, heat resistance, water resistance, light resistance, wind pressure resistance, hail resistance, chemical resistance, antifouling property, etc.,
In particular, it has excellent moisture-proof properties to prevent intrusion of moisture, oxygen, etc., and also has remarkably improved light reflectivity, light diffusivity, design, etc., minimizes long-term performance deterioration, and is extremely durable. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been completed by finding that a solar cell module which is rich in heat resistance, has excellent protection ability, can be manufactured at low cost and is safe can be stably manufactured.

【0005】すなわち、本発明は、耐候性基材の片面
に、無機酸化物の蒸着膜を設け、更に、該無機酸化物の
蒸着膜の上に、印刷層を設けたことを特徴とする太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用した太
陽電池モジュ−ルに関するものである。
That is, the present invention is characterized in that a weather-resistant base material is provided with an inorganic oxide vapor-deposited film on one surface thereof, and a printed layer is further provided on the inorganic oxide vapor-deposited film. The present invention relates to a back protection sheet for a battery module and a solar cell module using the same.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】上記の本発明について以下に図面
等を用いて更に詳しく説明する。なお、本発明におい
て、シ−トとは、シ−ト状物ないしフィルム状物のいず
れの場合も意味するものであり、また、フィルムとは、
フィルム状物ないしシ−トシ−ト状物のいずれの場合も
意味するものである。本発明にかかる太陽電池モジュ−
ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジ
ュ−ルについてその層構成を図面等を用いて更に具体的
に説明すると、図1および図2は、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの層構成についてその
一二例を例示する概略的断面図であり、図3および図4
は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トを構成する無機酸化物の蒸着膜の層構成についてその
他の例を例示する概略的断面図であり、図5は、図1に
示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルの層構成につ
いてその一例を例示する概略的断面図である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The above-mentioned present invention will be described below in more detail with reference to the drawings and the like. In the present invention, a sheet means any of a sheet-like material and a film-like material.
This means any of a film-like material and a sheet-like material. Solar cell module according to the present invention
The backside protective sheet for solar cells and the solar cell module using the same will be described in more detail with reference to the drawings and the like. FIGS. 1 and 2 show solar cell modules according to the present invention. FIGS. 3 and 4 are schematic cross-sectional views illustrating one example of the layer configuration of the back surface protection sheet for use.
Is a back surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention.
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view illustrating another example of the layer structure of the deposited film of the inorganic oxide constituting the solar cell module. FIG.
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a layer configuration of a solar cell module manufactured using a solar cell module.

【0007】まず、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トAは、図1に示すように、耐候性基材
1の片面に、無機酸化物の蒸着膜2を設け、更に、該無
機酸化物の蒸着膜2の上に、インキ用ビヒクルを主成分
とし、これに染料、顔料等の着色剤、その他等を添加
し、十分に混練してなるインキ組成物による印刷層3を
設けた構成からなることを基本構造とするものである。
本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トに
ついて具体例を例示すると、図2に示すように、耐候性
基材1の片面に、無機酸化物の蒸着膜2を設け、更に、
該無機酸化物の蒸着膜2の上に、該無機酸化物の蒸着膜
2と印刷層3との密接着性を向上させるプライマ−組成
物によるプライマ−層4を介して、インキ用ビヒクルを
主成分とし、これに染料、顔料等の着色剤、その他等を
添加し、十分に混練してなるインキ組成物による印刷層
3設けた構成からなる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トA1 を例示することができる。上記の例示は、本発
明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トについ
てその一二例を例示するものであり、本発明は、これに
よって限定されるものではないことは勿論である。例え
ば、上記の図1〜2に示す太陽電池モジュ−ル用裏面保
護シ−トにおいて、無機酸化物の蒸着膜としては、図
3、図4等に示すように、後述する物理気相成長法によ
る無機酸化物の蒸着膜の2層以上、あるいは、化学気相
成長法による無機酸化物の蒸着膜の2層以上のように、
無機酸化物の蒸着膜2、2の2層以上を重層した多層膜
2a(図3)、あるいは、後述する理気相成長法による
無機酸化物の蒸着膜2bと、化学気相成長法による無機
酸化物の蒸着膜2cとの異種の無機酸化物の蒸着膜2
b、2cの2層以上を重層した複合膜2d(図4)等で
構成することができるものである。
First, as shown in FIG. 1, a backside protection sheet A for a solar cell module according to the present invention is provided with a vapor-deposited inorganic oxide film 2 on one surface of a weather-resistant substrate 1. On the inorganic oxide deposited film 2, a printing layer 3 made of an ink composition comprising an ink vehicle as a main component, a coloring agent such as a dye and a pigment, and the like added thereto and sufficiently kneaded. Is provided as a basic structure.
As a specific example of the back surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention, as shown in FIG. 2, a vapor-deposited film 2 of an inorganic oxide is provided on one surface of a weather-resistant substrate 1,
The ink vehicle is mainly provided on the inorganic oxide vapor-deposited film 2 via a primer layer 4 made of a primer composition for improving the tight adhesion between the inorganic oxide vapor-deposited film 2 and the printed layer 3. and component, to which a dye, a colorant such as a pigment, added other like, a solar cell module consisting sufficiently kneaded print layer 3 formed configuration by the ink composition which - for the backside Le protective sheet - DOO a 1 Can be exemplified. The above-mentioned examples are only examples of the back surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention, and the present invention is, of course, not limited thereto. For example, in the back surface protection sheet for a solar cell module shown in FIGS. 1 and 2 above, as a vapor deposition film of an inorganic oxide, as shown in FIGS. Or more than two layers of inorganic oxide deposited film by chemical vapor deposition,
A multilayer film 2a (FIG. 3) in which two or more layers of inorganic oxide vapor-deposited films 2 and 2 are stacked, or an inorganic oxide vapor-deposited film 2b formed by a physical vapor deposition method described later and an inorganic oxide vapor-deposited film 2b formed by a chemical vapor deposition method. An inorganic oxide deposited film 2 different from the oxide deposited film 2c
b, 2c (FIG. 4) or the like.

【0008】次に、本発明において、上記の本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを使用して製
造した太陽電池モジュ−ルについてその一例を例示する
と、上記の図1に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−
ル用裏面保護シ−トAを使用した例で説明すると、図5
に示すように、まず、通常の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−ト11、充填剤層12、光起電力素子としての
太陽電池素子13、充填剤層14、および、上記の太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト15(A)を、その印
刷層3の面を対向させて順次に積層し、次いで、これら
を一体として、真空吸引して加熱圧着するラミネ−ショ
ン法等の通常の成形法を利用し、上記の各層を一体成形
体として太陽電池モジュ−ルTを製造することができ
る。上記の例示は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−
ルについてその一例を例示するものであり、本発明はこ
れにより限定されるものではない。例えば、図示しない
が、上記の図2等に示す太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トを使用し、上記と同様にして、種々の形態からな
る太陽電池モジュ−ルを製造することができ、また、上
記の太陽電池モジュ−ルにおいては、太陽光の吸収性、
補強、その他等の目的のもとに、更に、他の層を任意に
加えて積層することができるものである。
Next, in the present invention, an example of a solar cell module manufactured by using the above-described back surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention will be described with reference to FIG. The solar cell module according to the present invention shown
FIG. 5 shows an example in which the back surface protection sheet A for
As shown in FIG. 1, first, a normal surface protection sheet 11 for a solar cell module, a filler layer 12, a solar cell element 13 as a photovoltaic element, a filler layer 14, and the above-described solar cell module. A back protection sheet 15 (A) for the metal layer is sequentially laminated with the surface of the printed layer 3 facing the same, and then these are integrally formed, followed by vacuum suction and heat compression bonding, such as a lamination method. By using the molding method described above, the solar cell module T can be manufactured by using each of the above-mentioned layers as an integrally molded body. The above example is a solar cell module manufactured using the back surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention.
However, the present invention is not limited thereto. For example, although not shown, solar cell modules having various forms can be manufactured in the same manner as described above using the solar cell module back surface protection sheet shown in FIG. In addition, in the above-mentioned solar cell module, solar light absorption,
For the purpose of reinforcement, etc., other layers can be arbitrarily added and laminated.

【0009】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用し
た太陽電池モジュ−ル等を構成する材料、製造法等につ
いて更に詳しく説明すると、まず、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル
等を構成する耐候性基材としては、機械的あるいは化学
的ないし物理的強度に優れ、具体的には、耐候性、耐熱
性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性等
の諸堅牢性に優れ、特に、耐候性に優れていると共に水
分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優れ、また、表面
硬度が高く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止す
る防汚性に優れ、極めて耐久性に富み、その保護能力性
が高いこと等の特性を有することが望ましいものであ
る。更に、上記の耐候性基材としては、後述する無機酸
化物の蒸着膜を形成する蒸着条件等に耐え、それら無機
酸化物の蒸着膜等の特性を損なうことなく良好に保持し
得ることができ基材が望ましいものである。
Next, in the present invention, the material constituting the back surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention, the solar cell module using the same, the manufacturing method, and the like will be described in more detail. First, the weather-resistant base material constituting the solar cell module back protective sheet, solar cell module, etc. according to the present invention is excellent in mechanical or chemical or physical strength, and specifically, Excellent in various robustness such as weather resistance, heat resistance, water resistance, light resistance, wind pressure resistance, hail resistance, chemical resistance, etc.In particular, it is excellent in weather resistance and moisture proof to prevent moisture, oxygen etc. from entering. It has excellent properties such as high surface hardness, high surface hardness, and excellent antifouling property to prevent accumulation of dirt and dust on the surface, extremely high durability, and high protection ability. It is desirable. Furthermore, as the weather-resistant substrate, it can withstand vapor deposition conditions and the like for forming a vapor-deposited film of an inorganic oxide described below, and can be favorably retained without impairing the properties of the vapor-deposited film of the inorganic oxide and the like. Substrates are desirable.

【0010】本発明において、上記のような耐候性基材
としては、具体的には、例えば、ポリエチレン系樹脂、
ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、フ
ッ素系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリル−
スチレン共重合体(AS樹脂)、アクリロニトリルル−
ブタジエン−スチレン共重合体(ABS樹脂)、ポリ塩
化ビニル系樹脂、フッ素系樹脂、ポリ(メタ)アクリル
系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリエチレンテレフ
タレ−ト、ポリエチレンナフタレ−ト等のポリエステル
系樹脂、各種のナイロン等のポリアミド系樹脂、ポリイ
ミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリアリ−ルフ
タレ−ト系樹脂、シリコ−ン系樹脂、ポリスルホン系樹
脂、ポリフェニレンスルフィド系樹脂、ポリエ−テルス
ルホン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、アセタ−ル系樹
脂、セルロ−ス系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィル
ムないしシ−トを使用することができる。本発明におい
ては、上記の樹脂のフィルムないしシ−トの中でも、特
に、フッ素系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリエ
ステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系
樹脂、または、ポリ(メタ)アクリル系樹脂のフィルム
ないしシ−トを使用することが好ましいものである。而
して、本発明において、上記のようなフッ素系樹脂、環
状ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリア
ミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、または、ポリ
(メタ)アクリル系樹脂のフィルムないしシ−トは、機
械的特性、化学的特性、物理的特性等に優れ、具体的に
は、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐防湿性、耐汚
染性、耐薬品性、その他等の諸堅牢性に優れて、太陽電
池を構成する裏面保護シ−トとして有用性を有し、耐久
性、保護機能性等に優れ、また、そのフレキシブル性や
機械的特性、化学的特性等から軽量で、かつ、加工性等
に優れ、そのハンドリングし易い等の利点を有するもの
である。
In the present invention, concrete examples of the weather-resistant substrate as described above include polyethylene resin,
Polypropylene resin, cyclic polyolefin resin, fluorine resin, polystyrene resin, acrylonitrile
Styrene copolymer (AS resin), acrylonitrile-
Butadiene-styrene copolymer (ABS resin), polyvinyl chloride resin, fluorine resin, poly (meth) acrylic resin, polycarbonate resin, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, etc. Polyester resins, polyamide resins such as nylon, polyimide resins, polyamide imide resins, polyaryl phthalate resins, silicone resins, polysulfone resins, polyphenylene sulfide resins, polyether sulfone resins And films or sheets of various resins such as polyurethane resins, acetal resins, cellulose resins, and others. In the present invention, among the above resin films or sheets, particularly, a fluorine resin, a cyclic polyolefin resin, a polyester resin, a polyamide resin, a polycarbonate resin, or a poly (meth) resin It is preferable to use an acrylic resin film or sheet. Thus, in the present invention, a film or sheet of the above-mentioned fluorine resin, cyclic polyolefin resin, polyester resin, polyamide resin, polycarbonate resin, or poly (meth) acrylic resin. -Excellent mechanical properties, chemical properties, physical properties, etc., specifically, weather resistance, heat resistance, water resistance, light resistance, moisture resistance, stain resistance, chemical resistance, etc. It has excellent robustness, is useful as a backside protection sheet that composes solar cells, has excellent durability, protective functionality, etc., and also has flexibility, mechanical properties, chemical properties, etc. It has advantages such as light weight, excellent workability, etc., and easy handling.

【0011】本発明においては、上記のような各種の樹
脂のフィルムないしシ−トのなかでも、特に、例えば、
ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、テトラフル
オロエチレンとペルフルオロアルキルビニルエ−テルと
の共重合体からなるペルフルオロアルコキシ樹脂(PF
A)、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピ
レンコポリマ−(FEP)、テトラフルオロエチレンと
ペルフルオロアルキルビニルエ−テルとヘキサフルオロ
プロピレンコポリマ−(EPE)、テトラフルオロエチ
レンとエチレンまたはプロピレンとのコポリマ−(ET
FE)、ポリクロロトリフルオロエチレン樹脂(PCT
FE)、エチレンとクロロトリフルオロエチレンとのコ
ポリマ−(ECTFE)、フッ化ビニリデン系樹脂(P
VDF)、または、フッ化ビニル系樹脂(PVF)等の
フッ素系樹脂の1種ないしそれ以上からなるフッ素系樹
脂シ−トを使用することが好ましいものである。なお、
本発明においては、上記のフッ素系樹脂シ−トの中で
も、特に、ポリフッ化ビニル系樹脂(PVF)、また
は、テトラフルオロエチレンとエチレンまたはプロピレ
ンとのコポリマ−(ETFE)からなるフッ素系樹脂シ
−トが好ましいものである。
In the present invention, among the various resin films or sheets described above, particularly, for example,
Polytetrafluoroethylene (PTFE), a perfluoroalkoxy resin (PF) comprising a copolymer of tetrafluoroethylene and perfluoroalkyl vinyl ether
A), tetrafluoroethylene and hexafluoropropylene copolymer (FEP), tetrafluoroethylene and perfluoroalkylvinyl ether and hexafluoropropylene copolymer (EPE), copolymer of tetrafluoroethylene and ethylene or propylene (ET
FE), polychlorotrifluoroethylene resin (PCT)
FE), a copolymer of ethylene and chlorotrifluoroethylene (ECTFE), a vinylidene fluoride resin (P
It is preferable to use a fluororesin sheet made of one or more fluororesins such as VDF) or a vinyl fluoride resin (PVF). In addition,
In the present invention, among the above-mentioned fluorine-based resin sheets, in particular, a polyvinyl fluoride-based resin (PVF) or a fluorine-based resin sheet comprising a copolymer of tetrafluoroethylene and ethylene or propylene (ETFE) Are preferred.

【0012】また、本発明においては、上記のような各
種の樹脂のフィルムないしシ−トのなかでも、上記のフ
ッ素系樹脂シ−トと共に、特に、例えば、シクロペンタ
ジエンおよびその誘導体、ジシクロペンタジエンおよび
その誘導体、シクロヘキサジエンおよびその誘導体、ノ
ルボルナジエンおよびその誘導体、その他等の環状ジエ
ンを重合させてなるポリマ−、あるいは、該環状ジエン
とエチレン、プロピレン、4−メチル−1−ペンテン、
スチレン、ブタジエン、イソプレン、その他等のオレフ
ィン系モノマ−の1種ないしそれ以上とを共重合させて
なるコポリマ−等からなる透明な環状ポリオレフィン系
樹脂シ−トを使用することが好ましいものである。な
お、本発明においては、上記の透明な環状ポリオレフィ
ン系樹脂シ−トの中でも、特に、シクロペンタジエンお
よびその誘導体、ジシクロペンタジエンおよびその誘導
体、または、ノルボルナジエンおよびその誘導体等の環
状ジエンのポリマ−ないしコポリマ−からなる環状ポリ
オレフィン系樹脂シ−トが好ましいものである。而し
て、本発明において、上記のようなフッ素系樹脂シ−ト
あるいは環状ポリオレフィン系樹脂シ−トを使用するこ
とにより、該フッ素系樹脂シ−トあるは環状ポリオレフ
ィン系樹脂シ−トが有する機械的特性、化学的特性、物
理的特性等の優れた特性、具体的には、耐候性、耐熱
性、耐水性、耐光性、耐防湿性、耐汚染性、耐薬品性、
その他等の諸特性を利用して太陽電池を構成する裏面保
護シ−トとするものであり、これにより、耐久性、保護
機能性等を有し、また、そのフレキシブル性や機械的特
性、化学的特性等から軽く、かつ、加工性等に優れ、そ
のハンドリングし易い等の利点を有するものである。
In the present invention, among the above-mentioned various resin films or sheets, in addition to the above-mentioned fluororesin sheets, particularly, for example, cyclopentadiene and its derivatives, dicyclopentadiene And its derivatives, cyclohexadiene and its derivatives, norbornadiene and its derivatives, polymers obtained by polymerizing cyclic diene such as others, or the cyclic diene and ethylene, propylene, 4-methyl-1-pentene,
It is preferable to use a transparent cyclic polyolefin resin sheet made of a copolymer obtained by copolymerizing one or more olefin monomers such as styrene, butadiene, isoprene and others. In the present invention, among the above-mentioned transparent cyclic polyolefin-based resin sheets, in particular, cyclopentadiene and derivatives thereof, dicyclopentadiene and derivatives thereof, or cyclic diene polymers such as norbornadiene and derivatives thereof may be used. A cyclic polyolefin resin sheet made of a copolymer is preferred. Thus, in the present invention, by using the above-mentioned fluorine-based resin sheet or cyclic polyolefin-based resin sheet, the fluorine-based resin sheet or the cyclic polyolefin-based resin sheet has Excellent properties such as mechanical properties, chemical properties, physical properties, etc., specifically, weather resistance, heat resistance, water resistance, light resistance, moisture resistance, stain resistance, chemical resistance,
A backside protection sheet for forming a solar cell by utilizing various other properties, thereby having durability, protection functionality, etc., and its flexibility, mechanical properties, and chemical properties. It has advantages such as lightness in terms of mechanical properties, excellent workability, etc., and easy handling.

【0013】本発明において、上記の各種の樹脂のフィ
ルムないしシ−トとしては、例えば、上記の各種の樹脂
の1種ないしそれ以上を使用し、押し出し法、キャスト
成形法、Tダイ法、切削法、インフレ−ション法、その
他等の製膜化法を用いて、上記の各種の樹脂を単独で製
膜化する方法、あるいは、2種以上の各種の樹脂を使用
して多層共押し出し製膜化する方法、更には、2種以上
の樹脂を使用し、製膜化する前に混合して製膜化する方
法等により、各種の樹脂のフィルムないしシ−トを製造
し、更に、要すれば、例えば、テンタ−方式、あるい
は、チュ−ブラ−方式等を利用して1軸ないし2軸方向
に延伸してなる各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使
用することができる。本発明において、各種の樹脂のフ
ィルムないしシ−トの膜厚としては、6〜300μm
位、より好ましくは、9〜150μm位が望ましい。
In the present invention, as the film or sheet of the above-mentioned various resins, for example, one or more of the above-mentioned various resins are used, and the extrusion method, the cast molding method, the T-die method, and the cutting method are used. A method of forming the above various resins alone using a film forming method such as an inflation method, an inflation method, etc., or a multi-layer coextrusion film forming using two or more kinds of various resins. A film or sheet of various resins is manufactured by a method of forming two or more resins, and a method of mixing and forming a film before forming a film. For example, various resin films or sheets stretched in a uniaxial or biaxial direction using a tenter method or a tuber method can be used. In the present invention, the film thickness of various resin films or sheets is 6 to 300 μm.
And more preferably about 9 to 150 μm.

【0014】なお、上記の各種の樹脂の1種ないしそれ
以上を使用し、その製膜化に際して、例えば、フィルム
の加工性、耐熱性、耐候性、機械的性質、寸法安定性、
抗酸化性、滑り性、離形性、難燃性、抗カビ性、電気的
特性、強度、その他等を改良、改質する目的で、種々の
プラスチック配合剤や添加剤等を添加することができ、
その添加量としては、極く微量から数十%まで、その目
的に応じて、任意に添加することができる。上記におい
て、一般的な添加剤としては、例えば、滑剤、架橋剤、
酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、充填剤、強化繊
維、補強剤、帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防
カビ剤、顔料、その他等を使用することができ、更に
は、改質用樹脂等も使用することがてきる。
When one or more of the above various resins are used and the film is formed, for example, the processability, heat resistance, weather resistance, mechanical properties, dimensional stability,
For the purpose of improving or modifying the antioxidant properties, slip properties, mold release properties, flame retardancy, anti-mold properties, electrical properties, strength, etc., various plastic additives and additives can be added. Can,
The addition amount can be arbitrarily added from a very small amount to several tens% depending on the purpose. In the above, as a general additive, for example, a lubricant, a crosslinking agent,
Antioxidants, ultraviolet absorbers, light stabilizers, fillers, reinforcing fibers, reinforcing agents, antistatic agents, flame retardants, flame retardants, foaming agents, fungicides, pigments, etc. can be used. May use a modifying resin or the like.

【0015】而して、本発明においては、上記の添加剤
の中でも、特に、耐候性、耐突き刺し性等を向上させる
ために、紫外線吸収剤、酸化防止剤、あるいは、強化繊
維の1種ないし2種以上を練れ込み加工してなる各種の
樹脂のフィルムないしシ−トを使用することが好ましい
ものである。上記の紫外線吸収剤としては、太陽光中の
有害な紫外線を吸収して、分子内で無害な熱エネルギ−
へと変換し、高分子中の光劣化開始の活性種が励起され
るのを防止するものであり、例えば、ベンゾフェノン
系、ベンゾトリアゾ−ル系、サルチレ−ト系、アクリル
ニトリル系、金属錯塩系、ヒンダ−ドアミン系、超微粒
子酸化チタン(粒子径、0.01〜0.06μm)ある
いは超微粒子酸化亜鉛(0.01〜0.04μm)等の
無機系等の紫外線吸収剤の1種ないしそれ以上を使用す
ることができる。また、上記の酸化防止剤としては、高
分子の光劣化あるいは熱劣化等を防止するものであり、
例えば、フェノ−ル系、アミン系、硫黄系、燐酸系、そ
の他等の酸化防止剤を使用することができる。更に、上
記の紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤としては、例え
ば、ポリマ−を構成する主鎖または側鎖に、上記のベン
ゾフェノン系等の紫外線吸収剤あるいは上記のフェノ−
ル系等の酸化防止剤を化学結合させてなるポリマ−型の
紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤等も使用することがで
きる。また、上記の強化繊維としては、例えば、ガラス
繊維、炭素繊維、アラミド繊維、ポリアミド繊維、ポリ
エステル繊維、ポリプロピレン繊維、ポリアクリロニト
リル繊維、天然繊維、その他等を使用することができ、
それらは、長ないし短繊維状物、または、織布ないし不
織布状物、その他等で使用することができる。上記の紫
外線吸収剤、酸化防止剤、強化繊維等の含有量として
は、その粒子形状、密度、その他等によって異なるが、
約0.1〜10重量%位が好ましい。
In the present invention, among the above additives, one or more of an ultraviolet absorber, an antioxidant, and a reinforcing fiber are preferably used in order to improve weather resistance, piercing resistance and the like. It is preferable to use various resin films or sheets obtained by kneading two or more kinds. The above-mentioned ultraviolet absorber absorbs harmful ultraviolet rays in sunlight and produces harmless heat energy in the molecule.
To prevent excitation of the active species that initiates photodegradation in the polymer, for example, benzophenone, benzotriazole, saltyl, acrylonitrile, metal complex salts, One or more inorganic UV absorbers such as hindered amine-based, ultra-fine titanium oxide (particle size, 0.01 to 0.06 μm) or ultra-fine zinc oxide (0.01 to 0.04 μm) Can be used. Further, as the above antioxidant, it is one that prevents light deterioration or heat deterioration of the polymer,
For example, phenol-based, amine-based, sulfur-based, phosphoric-based, and other antioxidants can be used. Further, as the above-mentioned ultraviolet absorber or antioxidant, for example, the above-mentioned benzophenone-based ultraviolet absorber or the above-mentioned phenol
A polymer-type ultraviolet absorber or an antioxidant obtained by chemically bonding an antioxidant such as toluene or the like can also be used. Further, as the reinforcing fibers, for example, glass fibers, carbon fibers, aramid fibers, polyamide fibers, polyester fibers, polypropylene fibers, polyacrylonitrile fibers, natural fibers, and the like can be used,
They can be used as long or short fibrous materials, or woven or non-woven materials, and the like. The content of the above ultraviolet absorber, antioxidant, reinforcing fiber, etc., varies depending on the particle shape, density, etc.,
About 0.1 to 10% by weight is preferred.

【0016】また、本発明において、各種の樹脂のフィ
ルムないしシ−トの表面は、後述する無機酸化物の蒸着
膜との密接着性等を向上させるために、必要に応じて、
予め、所望の表面処理層を設けることができるものであ
る。本発明において、上記の表面処理層としては、例え
ば、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは窒
素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロ−放電処理、
化学薬品等を用いて処理する酸化処理、その他等の前処
理を任意に施し、例えば、コロナ処理層、オゾン処理
層、プラズマ処理層、酸化処理層、その他等を形成して
設けることができる。上記の表面前処理は、各種の樹脂
のフィルムないしシ−トと後述する無機酸化物の蒸着膜
との密接着性等を改善するための方法として実施するも
のであるが、上記の密接着性を改善する方法として、そ
の他、例えば、各種の樹脂のフィルムないしシ−トの表
面に、予め、プライマ−コ−ト剤層、アンダ−コ−ト剤
層、アンカ−コ−ト剤層、接着剤層、あるいは、蒸着ア
ンカ−コ−ト剤層等を任意に形成して、表面処理層とす
ることもできる。上記の前処理のコ−ト剤層としては、
例えば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリ
ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、
(メタ)アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ
エチレンアルイハポリプロピレン等のポリオレフィン系
樹脂あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セルロ−ス
系樹脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物
を使用することができる。
In the present invention, the surface of the film or sheet of various resins may be optionally used in order to improve the tight adhesion with an inorganic oxide vapor-deposited film described later.
A desired surface treatment layer can be provided in advance. In the present invention, as the surface treatment layer, for example, corona discharge treatment, ozone treatment, low-temperature plasma treatment using oxygen gas or nitrogen gas, glow discharge treatment,
Pretreatment such as oxidation treatment using a chemical agent or the like is optionally performed, and for example, a corona treatment layer, an ozone treatment layer, a plasma treatment layer, an oxidation treatment layer, or the like can be formed and provided. The above-mentioned surface pretreatment is carried out as a method for improving the tight adhesion between various resin films or sheets and a later-described inorganic oxide vapor-deposited film. In addition, as a method of improving, for example, a primer coat agent layer, an undercoat agent layer, an anchor coat agent layer, and an adhesive agent may be previously formed on the surface of various resin films or sheets. An agent layer, a vapor-deposited anchor coat agent layer, or the like may be arbitrarily formed to form a surface treatment layer. As the coating agent layer of the above pretreatment,
For example, polyester resin, polyamide resin, polyurethane resin, epoxy resin, phenol resin,
A resin composition containing a (meth) acrylic resin, a polyvinyl acetate resin, a polyolefin resin such as polyethylene aliha polypropylene or a copolymer or modified resin thereof, a cellulose resin, or the like as a main component of a vehicle. Can be used.

【0017】なお、上記の樹脂組成物中には、耐候性等
を向上させるために、例えば、紫外線吸収剤および/ま
たは酸化防止剤等を添加することができる。上記の紫外
線吸収剤としては、前述の紫外線吸収剤の1種ないしそ
れ以上を同様に使用することができる。また、上記の酸
化防止剤としては、前述の酸化防止剤を同様に使用する
ことができる。上記の紫外線吸収剤および/または酸化
防止剤の含有量としては、前述と同様に、その粒子形
状、密度等によって異なるが、約0.1〜10重量%位
が好ましい。また、上記において、コ−ト剤層の形成法
としては、例えば、溶剤型、水性型、あるいは、エマル
ジョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−ト法、グラ
ビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他等のコ−ト
法を用いてコ−トすることができ、そのコ−ト時期とし
ては、樹脂のフィルムないしシ−トの製膜後、あるい
は、2軸延伸処理後の後工程として、あるいは、製膜、
あるいは、2軸延伸処理のインライン処理等で実施する
ことができる。
Incidentally, in order to improve weather resistance and the like, for example, an ultraviolet absorber and / or an antioxidant can be added to the above resin composition. As the above-mentioned ultraviolet absorber, one or more of the above-mentioned ultraviolet absorbers can be similarly used. Further, as the above-mentioned antioxidant, the above-mentioned antioxidant can be similarly used. As described above, the content of the ultraviolet absorber and / or antioxidant varies depending on the particle shape, density and the like, but is preferably about 0.1 to 10% by weight. In the above, as a method of forming the coating agent layer, for example, a coating agent such as a solvent type, an aqueous type, or an emulsion type is used, and a roll coating method, a gravure roll coating is used. The coating can be performed by using a coating method such as a coating method, a kiss coating method, or the like. The coating may be performed after forming a resin film or sheet or by biaxial stretching. As a post-process after processing, or film formation,
Alternatively, it can be carried out by in-line processing of biaxial stretching processing or the like.

【0018】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する無機酸化物の蒸着膜について説明する
と、かかる無機酸化物の蒸着膜としては、例えば、物理
気相成長法、または、化学気相成長法、あるいは、その
両者を併用して、無機酸化物の蒸着膜の1層からなる単
層膜あるいは2層以上からなる多層膜または複合膜を形
成して製造することができるものである。
Next, in the present invention, the back surface protection sheet for a solar cell module and the solar cell module according to the present invention.
Explained about the deposited film of the inorganic oxide constituting the metal and the like, as the deposited film of the inorganic oxide, for example, a physical vapor deposition method, or a chemical vapor deposition method, or a combination thereof, It can be manufactured by forming a single layer film composed of one layer of an inorganic oxide vapor-deposited film or a multilayer film or composite film composed of two or more layers.

【0019】上記の物理気相成長法による無機酸化物の
蒸着膜について更に詳しく説明すると、かかる物理気相
成長法による無機酸化物の蒸着膜としては、例えば、真
空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−ティング
法、イオンクラスタ−ビ−ム法等の物理気相成長法(P
hysical Vapor Deposition
法、PVD法)を用いて無機酸化物の蒸着膜を形成する
ことができる。本発明において、具体的には、金属の酸
化物を原料とし、これを加熱して蒸気化し、これを耐候
性基材の一方の上に蒸着する真空蒸着法、または、原料
として金属または金属の酸化物を使用し、酸素を導入し
て酸化させて耐候性基材の一方の上に蒸着する酸化反応
蒸着法、更に酸化反応をプラズマで助成するプラズマ助
成式の酸化反応蒸着法等を用いて蒸着膜を形成すること
ができる。上記において、蒸着材料の加熱方式として
は、例えば、抵抗加熱方式、高周波誘導加熱方式、エレ
クトロンビ−ム加熱方式(EB)等にて行うことができ
る。
The inorganic oxide vapor-deposited film formed by the physical vapor deposition method will be described in more detail. Examples of the inorganic oxide vapor-deposited film formed by the physical vapor deposition method include vacuum vapor deposition, sputtering, and ion plating. Physical vapor deposition methods (P
physical Vapor Deposition
, PVD method) can be used to form a deposited film of an inorganic oxide. In the present invention, specifically, a metal oxide is used as a raw material, which is heated and vaporized, and this is vapor-deposited on one of the weather-resistant substrates, or a metal or metal as a raw material. Using an oxide, oxidizing by introducing oxygen, oxidizing and depositing on one of the weather-resistant substrates, using a plasma-assisted oxidation-reactive deposition method that further assists the oxidation reaction with plasma. A deposition film can be formed. In the above, as a heating method of the evaporation material, for example, a resistance heating method, a high-frequency induction heating method, an electron beam heating method (EB), or the like can be used.

【0020】本発明において、物理気相成長法による無
機酸化物の薄膜膜を形成する方法について、その具体例
を挙げると、図6は、巻き取り式真空蒸着装置の一例を
示す概略的構成図である。図6に示すように、巻き取り
式真空蒸着装置21の真空チャンバ−22の中で、巻き
出しロ−ル23から繰り出す耐候性基材1は、ガイドロ
−ル24、25を介して、冷却したコ−ティングドラム
26に案内される。而して、上記の冷却したコ−ティン
グドラム26上に案内された耐候性基材1の上に、るつ
ぼ27で熱せられた蒸着源28、例えば、金属アルミニ
ウム、あるいは、酸化アルミニウム等を蒸発させ、更
に、必要ならば、酸素ガス吹出口29より酸素ガス等を
噴出し、これを供給しながら、マスク30、30を介し
て、例えば、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜
を成膜化し、次いで、上記において、例えば、酸化アル
ミニウム等の無機酸化物の蒸着膜を形成した耐候性基材
1を、ガイドロ−ル25′、24′を介して送り出し、
巻き取りロ−ル31に巻き取ることによって、本発明に
かかる物理気相成長法による無機酸化物の蒸着膜を形成
することができる。なお、本発明においては、上記のよ
うな巻き取り式真空蒸着装置を用いて、まず、第1層の
無機酸化物の蒸着膜を形成し、次いで、同様にして、該
無機酸化物の蒸着膜の上に、更に、無機酸化物の蒸着膜
を形成するか、あるいは、上記のような巻き取り式真空
蒸着装置を用いて、これを2連に連接し、連続的に、無
機酸化物の蒸着膜を形成することにより、2層以上の多
層膜からなる無機酸化物の蒸着膜を形成することができ
る。
In the present invention, a specific example of a method for forming a thin film of an inorganic oxide by physical vapor deposition is shown in FIG. It is. As shown in FIG. 6, the weather-resistant base material 1 unwound from the unwinding roll 23 in the vacuum chamber 22 of the take-up type vacuum evaporation apparatus 21 was cooled through the guide rolls 24 and 25. It is guided to the coating drum 26. Thus, the evaporation source 28 heated by the crucible 27, for example, metal aluminum or aluminum oxide is evaporated on the weather-resistant substrate 1 guided on the cooled coating drum 26. Further, if necessary, an oxygen gas or the like is ejected from the oxygen gas outlet 29, and while supplying the same, a deposited film of an inorganic oxide such as aluminum oxide is formed through the masks 30 and 30 to form a film. Then, in the above, for example, the weather-resistant base material 1 on which a deposited film of an inorganic oxide such as aluminum oxide is formed is sent out through guide rolls 25 'and 24'.
By winding the film on the winding roll 31, a deposited film of an inorganic oxide can be formed by the physical vapor deposition method according to the present invention. In the present invention, first, a first-layer inorganic oxide vapor-deposited film is formed using the above-mentioned winding vacuum vapor deposition apparatus, and then, similarly, the inorganic oxide vapor-deposited film is formed. On top of this, an inorganic oxide vapor deposition film is further formed, or by using a roll-up vacuum vapor deposition device as described above, this is connected in series, and the inorganic oxide vapor deposition is continuously performed. By forming the film, an inorganic oxide vapor-deposited film including a multilayer film of two or more layers can be formed.

【0021】上記において、無機酸化物の蒸着膜として
は、基本的に金属の酸化物を蒸着した薄膜であれば使用
可能であり、例えば、ケイ素(Si)、アルミニウム
(Al)、マグネシウム(Mg)、カルシウム(C
a)、カリウム(K)、スズ(Sn)、ナトリウム(N
a)、ホウ素(B)、チタン(Ti)、鉛(Pb)、ジ
ルコニウム(Zr)、イットリウム(Y)等の金属の酸
化物の蒸着膜を使用することができる。而して、好まし
いものとしては、ケイ素(Si)、アルミニウム(A
l)等の金属の酸化物の蒸着膜を挙げることができる。
而して、上記の金属の酸化物の蒸着膜は、ケイ素酸化
物、アルミニウム酸化物、マグネシウム酸化物等のよう
に金属酸化物として呼ぶことができ、その表記は、例え
ば、SiOX 、AlOX 、MgOX 等のようにMO
X (ただし、式中、Mは、金属元素を表し、Xの値は、
金属元素によってそれぞれ範囲がことなる。)で表され
る。また、上記のXの値の範囲としては、ケイ素(S
i)は、0〜2、アルミニウム(Al)は、0〜1.
5、マグネシウム(Mg)は、0〜1、カルシウム(C
a)は、0〜1、カリウム(K)は、0〜0.5、スズ
(Sn)は、0〜2、ナトリウム(Na)は、0〜0.
5、ホウ素(B)は、0〜1、5、チタン(Ti)は、
0〜2、鉛(Pb)は、0〜1、ジルコニウム(Zr)
は0〜2、イットリウム(Y)は、0〜1.5の範囲の
値をとることができる。上記において、X=0の場合、
完全な金属であり、透明ではなく全く使用することがで
きない、また、Xの範囲の上限は、完全に酸化した値で
ある。本発明において、一般的に、ケイ素(Si)、ア
ルミニウム(Al)以外は、使用される例に乏しく、ケ
イ素(Si)は、1.0〜2.0、アルミニウム(A
l)は、0.5〜1.5の範囲の値のものを使用するこ
とができる。本発明において、上記のような無機酸化物
の蒸着膜の膜厚としては、使用する金属、または金属の
酸化物の種類等によって異なるが、例えば、50〜20
00Å位、好ましくは、100〜1000Å位の範囲内
で任意に選択して形成することが望ましい。また、本発
明においては、無機酸化物の蒸着膜としては、使用する
金属、または金属の酸化物としては、1種または2種以
上の混合物で使用し、異種の材質で混合した無機酸化物
の蒸着膜を構成することもできる。
In the above description, the inorganic oxide deposited film can be basically used as long as it is a thin film on which a metal oxide is deposited. For example, silicon (Si), aluminum (Al), magnesium (Mg) , Calcium (C
a), potassium (K), tin (Sn), sodium (N
a), a vapor-deposited film of an oxide of a metal such as boron (B), titanium (Ti), lead (Pb), zirconium (Zr), and yttrium (Y) can be used. Thus, preferred are silicon (Si), aluminum (A
1) and the like.
Thus, the above-mentioned vapor-deposited film of a metal oxide can be referred to as a metal oxide, such as silicon oxide, aluminum oxide, and magnesium oxide. The notation is, for example, SiO x , AlO x MO such as MgO X
X (wherein, M represents a metal element, and the value of X is
The range differs depending on the metal element. ). The range of the value of X is silicon (S
i) is 0-2, and aluminum (Al) is 0-1.
5. Magnesium (Mg) is 0-1, calcium (C
a) is 0-1, potassium (K) is 0-0.5, tin (Sn) is 0-2, and sodium (Na) is 0-0.
5, boron (B) is 0-1,5, titanium (Ti) is
0-2, lead (Pb): 0-1, zirconium (Zr)
Can have a value in the range of 0 to 2 and yttrium (Y) can have a value in the range of 0 to 1.5. In the above, when X = 0,
It is a perfect metal, is not transparent and cannot be used at all, and the upper end of the range of X is a fully oxidized value. In the present invention, generally, except for silicon (Si) and aluminum (Al), examples used are scarce. Silicon (Si) is 1.0 to 2.0, aluminum (A)
For l), a value in the range of 0.5 to 1.5 can be used. In the present invention, the thickness of the above-mentioned inorganic oxide vapor-deposited film varies depending on the type of the metal used or the metal oxide.
It is desirable to arbitrarily select and form it within the range of about 00 °, preferably about 100 to 1000 °. Further, in the present invention, as the deposited metal film of the inorganic oxide, the metal to be used, or as the oxide of the metal, used in one kind or a mixture of two or more kinds, and the inorganic oxide mixed with different materials is used. A vapor deposition film can also be formed.

【0022】次にまた、本発明において、上記の化学気
相成長法による無機酸化物の蒸着膜について更に説明す
ると、かかる化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜
としては、例えば、プラズマ化学気相成長法、熱化学気
相成長法、光化学気相成長法等の化学気相成長法(Ch
emical Vapor Deposition法、
CVD法)等を用いて無機酸化物の蒸着膜を形成するこ
とができる。本発明においては、具体的には、耐候性基
材の一方の面に、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガ
スを原料とし、キャリヤ−ガスとして、アルゴンガス、
ヘリウムガス等の不活性ガスを使用し、更に、酸素供給
ガスとして、酸素ガス等を使用し、低温プラズマ発生装
置等を利用する低温プラズマ化学気相成長法を用いて酸
化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成することができ
る。上記において、低温プラズマ発生装置としては、例
えば、高周波プラズマ、パルス波プラズマ、マイクロ波
プラズマ等の発生装置を使用することがてき、而して、
本発明においては、高活性の安定したプラズマを得るた
めには、高周波プラズマ方式による発生装置を使用する
ことが望ましい。
Next, in the present invention, the vapor-deposited inorganic oxide film formed by the above-described chemical vapor deposition method will be further described. Chemical vapor deposition (Ch) such as vapor deposition, thermochemical vapor deposition, photochemical vapor deposition, etc.
electrical Vapor Deposition method,
A deposited film of an inorganic oxide can be formed by using a CVD method or the like. In the present invention, specifically, on one surface of the weather-resistant substrate, a monomer gas for vapor deposition such as an organic silicon compound is used as a raw material, and an argon gas is used as a carrier gas.
Using an inert gas such as helium gas, and further using an oxygen gas as an oxygen supply gas, and using a low-temperature plasma chemical vapor deposition method using a low-temperature plasma generator or the like, an inorganic oxide such as silicon oxide Can be formed. In the above, as the low-temperature plasma generator, for example, a high-frequency plasma, a pulse wave plasma, a microwave plasma or the like generator may be used.
In the present invention, in order to obtain highly active and stable plasma, it is desirable to use a generator using a high-frequency plasma method.

【0023】具体的に、上記の低温プラズマ化学気相成
長法による無機酸化物の蒸着膜の形成法についてその一
例を例示して説明すると、図7は、上記のプラズマ化学
気相成長法による無機酸化物の蒸着膜の形成法について
その概要を示す低温プラズマ化学気相成長装置の概略的
構成図である。上記の図7に示すように、本発明におい
ては、プラズマ化学気相成長装置41の真空チャンバ−
42内に配置された巻き出しロ−ル43から耐候性基材
1を繰り出し、更に、該耐候性基材1を、補助ロ−ル4
4を介して所定の速度で冷却・電極ドラム45周面上に
搬送する。而して、本発明においては、ガス供給装置4
6、47および、原料揮発供給装置48等から酸素ガ
ス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガ
ス、その他等を供給し、それらからなる蒸着用混合ガス
組成物を調整しなから原料供給ノズル49を通して真空
チャンバ−42内に該蒸着用混合ガス組成物を導入し、
そして、上記の冷却・電極ドラム45周面上に搬送され
た耐候性基材1の上に、グロ−放電プラズマ50によっ
てプラズマを発生させ、これを照射して、酸化珪素等の
無機酸化物の蒸着膜を形成し、製膜化する。なお、本発
明においては、その際に、冷却・電極ドラム45は、チ
ャンバ−外に配置されている電源51から所定の電力が
印加されており、また、冷却・電極ドラム45の近傍に
は、マグネット52を配置してプラズマの発生が促進さ
れており、次いで、上記で酸化珪素等の無機酸化物の蒸
着膜を形成した耐候性基材1は、補助ロ−ル53を介し
て巻き取りロ−ル54に巻き取って、本発明にかかるプ
ラズマ化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜を製造
することができるものである。なお、図中、55は、真
空ポンプを表す。上記の例示は、その一例を例示するも
のであり、これによって本発明は限定されるものではな
いことは言うまでもないことである。図示しないが、本
発明においては、無機酸化物の蒸着膜としては、無機酸
化物の蒸着膜の1層だけではなく、2層あるいはそれ以
上を積層した多層膜の状態でもよく、また、使用する材
料も1種または2種以上の混合物で使用し、また、異種
の材質で混合した無機酸化物の蒸着膜を構成することも
できる。また、本発明においては、上記のような低温プ
ラズマ化学気相成長装置を用いて、まず、第1層の無機
酸化物の蒸着膜を形成し、次いで、同様にして、該無機
酸化物の蒸着膜の上に、更に、無機酸化物の蒸着膜を形
成するか、あるいは、上記のような低温プラズマ化学気
相成長装置を用いて、これを2連に連接し、連続的に、
無機酸化物の蒸着膜を形成することにより、2層以上の
多層膜からなる無機酸化物の蒸着膜を形成することがで
きる。
More specifically, an example of a method of forming a deposited film of an inorganic oxide by the low-temperature plasma chemical vapor deposition method will be described. FIG. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a low-temperature plasma chemical vapor deposition apparatus showing an outline of a method of forming an oxide deposition film. As shown in FIG. 7 described above, in the present invention, the vacuum chamber of the plasma enhanced chemical vapor deposition apparatus 41 is used.
The weather-resistant base material 1 is unwound from the unwinding roll 43 disposed in the inside 42, and the weather-resistant base material 1 is further fed to the auxiliary roll 4
4 and is conveyed onto the peripheral surface of the cooling / electrode drum 45 at a predetermined speed. Thus, in the present invention, the gas supply device 4
Oxygen gas, an inert gas, a monomer gas for vapor deposition of an organic silicon compound, etc., and the like are supplied from the raw material volatilization supply device 48 and the like, and a mixed gas composition for vapor deposition composed of them is adjusted. Introducing the mixed gas composition for vapor deposition into the vacuum chamber 42 through the raw material supply nozzle 49;
Then, a plasma is generated by the glow discharge plasma 50 on the weather-resistant substrate 1 conveyed on the peripheral surface of the cooling / electrode drum 45, and the plasma is emitted to irradiate the plasma with the inorganic oxide such as silicon oxide. A deposition film is formed and a film is formed. In the present invention, at this time, a predetermined power is applied to the cooling / electrode drum 45 from a power source 51 disposed outside the chamber. The generation of plasma is promoted by arranging the magnet 52, and then the weather-resistant base material 1 on which the deposited film of the inorganic oxide such as silicon oxide is formed is wound up through the auxiliary roll 53. It is possible to produce an inorganic oxide vapor-deposited film by the plasma enhanced chemical vapor deposition method according to the present invention. In the figure, 55 represents a vacuum pump. The above exemplification is merely an example, and it goes without saying that the present invention is not limited thereby. Although not shown, in the present invention, the inorganic oxide deposited film is not limited to one layer of the inorganic oxide deposited film, but may be a multilayer film in which two or more layers are stacked. The materials may be used alone or as a mixture of two or more types, and a vapor-deposited film of an inorganic oxide mixed with different materials may be used. In the present invention, a first layer of an inorganic oxide vapor-deposited film is first formed using the low-temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition apparatus as described above, and then the inorganic oxide vapor-deposited film is similarly formed. On the film, further, a deposited film of an inorganic oxide is formed, or by using a low-temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition apparatus as described above, this is connected in series, and continuously,
By forming a deposited film of an inorganic oxide, a deposited film of an inorganic oxide including two or more multilayer films can be formed.

【0024】上記において、酸化珪素等の無機酸化物の
蒸着膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガ
スとしては、例えば、1.1.3.3−テトラメチルジ
シロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリメ
チルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチルジ
シラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシ
ラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラ
ン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシ
ラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、
フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラ
ン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その他等を
使用することができる。本発明において、上記のような
有機珪素化合物の中でも、1.1.3.3−テトラメチ
ルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキサンを
原料として使用することが、その取り扱い性、形成され
た蒸着膜の特性等から、特に、好ましい原料である。ま
た、上記において、不活性ガスとしては、例えば、アル
ゴンガス、ヘリウムガス等を使用することができる。
In the above description, as a monomer gas for vapor deposition of an organic silicon compound or the like for forming a vapor deposition film of an inorganic oxide such as silicon oxide, for example, 1.1.3.3-tetramethyldisiloxane, hexamethyldisiloxane Siloxane, vinyltrimethylsilane, methyltrimethylsilane, hexamethyldisilane, methylsilane, dimethylsilane, trimethylsilane, diethylsilane, propylsilane, phenylsilane, vinyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane,
Phenyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, octamethylcyclotetrasiloxane, and the like can be used. In the present invention, among the organic silicon compounds as described above, the use of 1.1.3.3-tetramethyldisiloxane or hexamethyldisiloxane as a raw material is advantageous in terms of handleability and formed deposited film. It is a particularly preferable raw material in view of its properties and the like. In the above, for example, an argon gas, a helium gas, or the like can be used as the inert gas.

【0025】本発明において、上記で形成される酸化珪
素の蒸着膜は、有機珪素化合物等のモノマ−ガスと酸素
ガス等とが化学反応し、その反応生成物が耐候性基材の
一方の面に密接着し、緻密な、柔軟性等に富む薄膜を形
成することができ、通常、一般式SiOX (ただし、X
は、0〜2の数を表す)で表される酸化珪素を主体とす
る連続状の蒸着膜である。而して、上記の酸化珪素の蒸
着膜としては、透明性、バリア性等の点から、一般式S
iOX (ただし、Xは、1.3〜1.9の数を表す。)
で表される酸化珪素の蒸着膜を主体とする薄膜であるこ
とが好ましいものである。上記において、Xの値は、モ
ノマ−ガスと酸素ガスのモル比、プラズマのエネルギ−
等により変化するが、一般的に、Xの値が小さくなれば
ガス透過度は小さくなるが、膜自身が黄色性を帯び、透
明性が悪くなる。また、上記の酸化珪素の蒸着膜は、珪
素(Si)と酸素(O)を必須構成元素として有し、更
に、炭素(C)と水素(H)のいずれが一方、または、
その両者の元素を微量構成元素として含有する酸化珪素
の蒸着膜からなり、かつ、その膜厚が、50Å〜500
Åの範囲であり、更に、上記の必須構成元素と微量構成
元素の構成比率が、膜厚方向において連続的に変化して
いるものである。更に、上記の酸化珪素の蒸着膜は、炭
素からなる化合物を含有する場合には、その膜厚の深さ
方向において炭素の含有量が減少していることを特徴と
するものである。而して、本発明において、上記の酸化
珪素の蒸着膜について、例えば、X線光電子分光装置
(Xray Photoelectron Spect
roscopy、XPS)、二次イオン質量分析装置
(Secondary Ion Mass Spect
roscopy、SIMS)等の表面分析装置を用い、
深さ方向にイオンエッチングする等して分析する方法を
利用して、酸化珪素の蒸着膜の元素分析を行うことよ
り、上記のような物性を確認することができる。また、
本発明において、上記の酸化珪素の蒸着膜の膜厚として
は、膜厚50Å〜4000Å位であることが望ましく、
具体的には、その膜厚としては、100〜1000Å位
が望ましく、而して、上記において、1000Å、更に
は、4000Åより厚くなると、その膜にクラック等が
発生し易くなるので好ましくなく、また、100Å、更
には、50Å未満であると、バリア性の効果を奏するこ
とが困難になることから好ましくないものである。上記
のおいて、その膜厚は、例えば、株式会社理学製の蛍光
X線分析装置(機種名、RIX2000型)を用いて、
ファンダメンタルパラメ−タ−法で測定することができ
る。また、上記において、上記の酸化珪素の蒸着膜の膜
厚を変更する手段としては、蒸着膜の体積速度を大きく
すること、すなわち、モノマ−ガスと酸素ガス量を多く
する方法や蒸着する速度を遅くする方法等によって行う
ことができる。
In the present invention, the vapor-deposited silicon oxide film formed above reacts chemically with a monomer gas such as an organic silicon compound and oxygen gas, and the reaction product is formed on one surface of the weather-resistant substrate. closely wear, dense, it is possible to form a thin film rich in flexibility or the like, usually, the general formula SiO X (provided that, X
Represents a number from 0 to 2). In view of transparency, barrier properties, and the like, the silicon oxide vapor-deposited film has the general formula S
iO X (where, X represents the number of 1.3 to 1.9.)
It is preferable that the thin film is mainly composed of a silicon oxide vapor deposition film represented by the following formula. In the above, the value of X is the molar ratio of the monomer gas to the oxygen gas, the energy of the plasma.
Generally, as the value of X decreases, the gas permeability decreases, but the film itself becomes yellowish and the transparency deteriorates. Further, the above-described deposited film of silicon oxide has silicon (Si) and oxygen (O) as essential constituent elements, and furthermore, one of carbon (C) and hydrogen (H), or
It consists of a deposited film of silicon oxide containing both elements as trace constituent elements, and has a thickness of 50 ° to 500 °.
And the composition ratio between the essential constituent elements and the trace constituent elements continuously changes in the film thickness direction. Further, when the silicon oxide vapor-deposited film contains a compound composed of carbon, the content of carbon is reduced in the depth direction of the film thickness. Thus, in the present invention, for the above-mentioned deposited film of silicon oxide, for example, an X-ray photoelectron spectrometer (Xray Photoelectron Spect)
ROSCOPY, XPS), secondary ion mass spectrometer (Secondary Ion Mass Spect)
roscopy, SIMS), etc.
The physical properties as described above can be confirmed by performing elemental analysis of the deposited silicon oxide film using a method of performing analysis by ion etching in the depth direction or the like. Also,
In the present invention, the thickness of the deposited silicon oxide film is desirably about 50 to 4000 °,
Specifically, the film thickness is desirably about 100 to 1000 °, and in the above, if the thickness is more than 1000 °, or even 4000 °, cracks and the like are easily generated in the film, which is not preferable. , 100 °, or even less than 50 °, it is not preferable because it becomes difficult to exhibit the barrier effect. In the above, the film thickness can be measured using, for example, a fluorescent X-ray analyzer (model name: RIX2000 type) manufactured by Rigaku Corporation.
It can be measured by the fundamental parameter method. Further, in the above, as a means for changing the thickness of the deposited film of silicon oxide, increasing the volume velocity of the deposited film, that is, a method of increasing the amount of the monomer gas and the oxygen gas or the rate of the deposition. It can be performed by a method of slowing down.

【0026】ところで、本発明において、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジ
ュ−ル等を構成する無機酸化物の蒸着膜として、例え
ば、物理気相成長法と化学気相成長法の両者を併用して
異種の無機酸化物の蒸着膜の2層以上からなる複合膜を
形成して使用することもできるものである。而して、上
記の異種の無機酸化物の蒸着膜の2層以上からなる複合
膜としては、まず、耐候性基材の上に、化学気相成長法
により、緻密で、柔軟性に富み、比較的にクラックの発
生を防止し得る無機酸化物の蒸着膜を設け、次いで、該
無機酸化物の蒸着膜の上に、物理気相成長法による無機
酸化物の蒸着膜を設けて、2層以上からなる複合膜から
なる無機酸化物の蒸着膜を構成することが望ましいもの
である。勿論、本発明においては、上記とは逆くに、耐
候性基材の上に、先に、物理気相成長法により、無機酸
化物の蒸着膜を設け、次に、化学気相成長法により、緻
密で、柔軟性に富み、比較的にクラックの発生を防止し
得る無機酸化物の蒸着膜を設けて、2層以上からなる複
合膜からなる無機酸化物の蒸着膜を構成することもでき
るものである。
Incidentally, in the present invention, as a backside protective sheet for a solar cell module according to the present invention, as a deposited film of an inorganic oxide constituting a solar cell module or the like, for example, a physical vapor deposition method can be used. By using both of the chemical vapor deposition methods together, a composite film composed of two or more layers of different inorganic oxide vapor deposited films can be formed and used. Thus, as a composite film composed of two or more layers of the above-described vapor-deposited films of different kinds of inorganic oxides, first, on a weather-resistant substrate, dense and flexible by chemical vapor deposition, An inorganic oxide deposited film capable of relatively preventing the occurrence of cracks is provided, and then an inorganic oxide deposited film formed by physical vapor deposition is provided on the inorganic oxide deposited film to form two layers. It is desirable to form an inorganic oxide vapor-deposited film composed of the above composite film. Of course, in the present invention, contrary to the above, on the weather-resistant substrate, first, a deposited film of an inorganic oxide is provided by a physical vapor deposition method, and then, by a chemical vapor deposition method, An inorganic oxide vapor-deposited film that is dense, highly flexible, and can relatively prevent cracks can be provided to form an inorganic oxide vapor-deposited film composed of a composite film composed of two or more layers. It is.

【0027】なお、本発明においては、上記の耐候性基
材の一方の面に、無機酸化物の蒸着膜を製膜化する際の
蒸着条件等に対し該耐候性基材を保護し、例えば、その
黄変、劣化ないし収縮、あるいは、基材の表層ないし内
層等における凝集破壊等を抑制し、更に、耐候性基材の
一方の面に、無機酸化物の蒸着膜が良好に製膜化され、
かつ、該耐候性基材と無機酸化物の蒸着膜との密接着性
等を向上させるために、予め、耐候性基材の一方の面
に、表面前処理層として、例えば、前述のプラズマ化学
気相成長法、熱化学気相成長法、光化学気相成長法等の
化学気相成長法(Chemical Vapor De
position法、CVD法)、あるいは、例えば、
真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−ティング
法等の物理気相成長法(Physical Vapor
Deposition法、PVD法)を用いて、無機
酸化物の蒸着薄膜を形成することにより、耐蒸着保護膜
を設けることができる。なお、本発明において、上記の
酸化珪素等からなる耐蒸着保護膜の膜厚としては、薄膜
であり、更に、水蒸気ガス、酸素ガス等に対するバリア
性を有しない非バリア性膜で十分であり、具体的には、
膜厚150Å未満であることが望ましく、具体的には、
その膜厚としては、10〜100Å位、好ましくは、2
0〜80Å位、更に、より好ましくは、30〜60Å位
が望ましい。而して、上記において、150Å以上、具
体的には、100Å、更に、80Å、更には、60Åよ
り厚くなると、良好な耐蒸着保護膜を形成することが困
難になるので好ましくなく、また、10Å、更に、20
Å、更には、30Å未満であると、耐蒸着保護層として
の機能を喪失し、その効果を奏することが困難になるこ
とから好ましくないものである。
In the present invention, the weather-resistant substrate is protected on one side of the above-mentioned weather-resistant substrate against vapor deposition conditions when an inorganic oxide vapor-deposited film is formed. In addition, it suppresses yellowing, deterioration or shrinkage, or cohesive failure in the surface layer or inner layer of the substrate, and furthermore, favorably forms a deposited film of an inorganic oxide on one surface of the weather-resistant substrate. And
In addition, in order to improve the tight adhesion between the weather-resistant substrate and the inorganic oxide vapor-deposited film and the like, a surface pretreatment layer is formed on one surface of the weather-resistant substrate in advance, for example, by the above-described plasma chemistry. Chemical vapor deposition methods (Chemical Vapor De) such as vapor phase epitaxy, thermochemical vapor phase epitaxy, and photochemical vapor phase epitaxy
position method, CVD method) or, for example,
Physical vapor deposition methods such as a vacuum deposition method, a sputtering method, and an ion plating method.
A deposition-resistant protective film can be provided by forming a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide using a deposition method or a PVD method. Note that, in the present invention, the thickness of the deposition-resistant protective film made of silicon oxide or the like is a thin film, and further, a non-barrier film having no barrier property against water vapor gas, oxygen gas, or the like is sufficient. In particular,
It is desirable that the film thickness is less than 150 °, specifically,
The film thickness is about 10 to 100 °, preferably 2 to 100 °.
It is desirable that the angle is about 0 to 80 °, and more preferably about 30 to 60 °. In the above, when the thickness is 150 ° or more, specifically, 100 °, further 80 °, and more than 60 °, it is difficult to form a good deposition-resistant protective film. , And 20
If it is less than 30 °, it is not preferable because the function as a deposition-resistant protective layer is lost and it becomes difficult to exhibit its effect.

【0028】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する印刷層について説明すると、かかる印刷
層としては、まず、例えば、公知のインキ用ビヒクルの
1種ないし2種以上を主成分とし、これに、染料、顔料
等の着色剤を添加し、更に、例えば、可塑剤、ワックス
類、グリ−ス類、光安定剤、紫外線吸収剤、酸化防止
剤、界面活性剤、強化繊維、強化剤、滑り剤、充填剤、
その他等の各種の添加剤を任意に添加、溶剤、希釈剤等
で十分に混練して、溶液型、分散型、その他等の所望の
インキ組成物を調製する。次に、本発明においては、上
記で調製したインキ組成物を使用し、これを、例えば、
グラビア印刷方式、オフセット印刷方式、凸版印刷方
式、スクリ−ン印刷方式、フレキソ印刷方式、転写印刷
方式、その他等の方式を用いて、耐候性基材の上に設け
た無機酸化物の蒸着膜の上に、一色ないし多色に印刷し
て、本発明にかかる印刷層を形成することができる。而
して、本発明においては、上記の印刷層により、太陽電
池モジュ−ルの表面から透過した太陽光を光反射ないし
光拡散させ、再利用を図るものであり、更に、その意匠
性等を向上させるものである。なお、上記の印刷層の膜
厚としては、数μmから100μm位の膜厚が好ましい
ものである。
Next, in the present invention, the back surface protection sheet for a solar cell module and the solar cell module according to the present invention.
For example, the printing layer may include, for example, one or more known ink vehicles as a main component, and a coloring agent such as a dye or a pigment added thereto. And further, for example, plasticizers, waxes, greases, light stabilizers, ultraviolet absorbers, antioxidants, surfactants, reinforcing fibers, reinforcing agents, slip agents, fillers,
Various additives such as others are arbitrarily added and sufficiently kneaded with a solvent, a diluent or the like to prepare a desired ink composition such as a solution type, a dispersion type or the like. Next, in the present invention, the ink composition prepared above is used, and, for example,
Using a gravure printing method, offset printing method, letterpress printing method, screen printing method, flexographic printing method, transfer printing method, etc., the deposition film of inorganic oxide provided on the weather-resistant substrate The printed layer according to the present invention can be formed by printing one or more colors on the top. Thus, in the present invention, the printed layer is used to reflect or diffuse the sunlight transmitted from the surface of the solar cell module, thereby achieving reuse, and further improving the design and the like. It is to improve. The thickness of the print layer is preferably from several μm to about 100 μm.

【0029】上記において、インキ用ビヒクルとして
は、公知のもの、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプ
ロピレン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリ酢酸ビニル
系樹脂、ポエ塩化ビニル系樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニ
ル共重合体、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、ポリビニルブ
チラ−ル系樹脂、(メタ)アクリル系樹脂、ポリアミド
系樹脂、ポリエステル系樹脂、アルキッド系樹脂、アミ
ノ系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、マレイ
ン酸樹脂、フマル酸樹脂、ニトリセルロ−ス、エチルセ
ルロ−ス、アセチルブチルセルロ−ス、エチルオキシエ
チルセルロ−ス等の繊維素系樹脂、石油系樹脂、塩素化
パラフィン、エステルガム、塩化ゴム、環化ゴム等のゴ
ム誘導体、カゼイン等のタンパク質樹脂、ロジンあるい
はロジン誘導体、油脂類、ワニス類、ワックス類、その
他等のインキ用ビヒクルの1種ないし2種以上を使用す
ることができる。
In the above, known vehicles for the ink include, for example, polyethylene resins, polypropylene resins, polystyrene resins, polyvinyl acetate resins, poe vinyl chloride resins, vinyl chloride-vinyl acetate copolymers. , Polyvinylidene chloride resin, polyvinyl butyral resin, (meth) acrylic resin, polyamide resin, polyester resin, alkyd resin, amino resin, epoxy resin, phenol resin, maleic acid Resin, fumaric acid resin, nitrile cellulose, ethyl cellulose, cellulose resins such as acetylbutyl cellulose, ethyloxyethyl cellulose, petroleum resins, chlorinated paraffin, ester gum, chlorinated rubber, and cyclized rubber Etc., rubber resins such as casein, rosin or rosin derivatives, oils S, varnishes, waxes, to one free ink vehicle for other like can be used two or more kinds.

【0030】また、上記において、着色剤としては、太
陽電池モジュ−ルにおいて透過した太陽光を光反射ある
いは光拡散させて再利用するために光反射性、光拡散性
等を付与し、更に、意匠性等を付与することを目的とし
添加するものであり、例えば、白色、黒色、青色、赤
色、その他等の各種の染料、顔料等の着色剤を使用する
ことができる。而して、本発明においては、塩基性炭酸
鉛、塩基性硫酸鉛、塩基性けい酸鉛、亜鉛華、硫化亜
鉛、リトポン、三酸化アンチモン、アナタス形酸化チタ
ン、ルチル形酸化チタン、その他等の白色顔料の1種な
いし2種以上を使用することが特に好ましいものであ
る。その使用量としては、インキ組成物において、0.
1重量%〜30重量%位、好ましくは、0.5重量%〜
10重量%位添加して使用することが望ましいものであ
る。
In the above, the colorant is provided with light reflectivity, light diffusivity, and the like in order to reuse the solar light transmitted through the solar cell module by reflecting or diffusing the light. It is added for the purpose of imparting designability and the like, and for example, coloring agents such as various dyes and pigments such as white, black, blue, red and others can be used. Thus, in the present invention, basic lead carbonate, basic lead sulfate, basic lead silicate, zinc white, zinc sulfide, lithopone, antimony trioxide, anatas-type titanium oxide, rutile-type titanium oxide, and the like It is particularly preferred to use one or more white pigments. The amount to be used is 0. 0 in the ink composition.
1% to 30% by weight, preferably 0.5% to
It is desirable to use it by adding about 10% by weight.

【0031】また、上記の添加剤としての紫外線吸収剤
としては、太陽光中の有害な紫外線を吸収して、分子内
で無害な熱エネルギ−へと変換し、高分子中の光劣化開
始の活性種が励起されるのを防止するものであり、例え
ば、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾ−ル系、サルチ
レ−ト系、アクリルニトリル系、金属錯塩系、ヒンダ−
ドアミン系、超微粒子酸化チタン(粒子径、0.01〜
0.06μm)あるいは超微粒子酸化亜鉛(0.01〜
0.04μm)等の無機系等の紫外線吸収剤の1種ない
しそれ以上を使用することができる。また、上記の添加
剤としての酸化防止剤としては、前述の高分子の光劣化
あるいは熱劣化等を防止するものであり、例えば、フェ
ノ−ル系、アミン系、硫黄系、燐酸系、その他等の酸化
防止剤を使用することができる。更に、上記の紫外線吸
収剤あるいは酸化防止剤としては、例えば、ポリマ−を
構成する主鎖または側鎖に、上記のベンゾフェノン系等
の紫外線吸収剤あるいは上記のフェノ−ル系等の酸化防
止剤を化学結合させてなるポリマ−型の紫外線吸収剤あ
るいは酸化防止剤等も使用することができる。上記の紫
外線吸収剤および/または酸化防止剤の含有量として
は、インキ組成物において、その粒子形状、密度等によ
って異なるが、約0.1〜10重量%位が好ましい。
The ultraviolet absorber as an additive absorbs harmful ultraviolet rays in sunlight, converts them into harmless heat energy in the molecule, and initiates photodegradation in the polymer. It prevents the active species from being excited. Examples thereof include benzophenone, benzotriazole, saltylate, acrylonitrile, metal complex, and solder.
Doamine-based, ultrafine titanium oxide (particle size, 0.01 to
0.06 μm) or ultrafine zinc oxide (0.01 to
One or more inorganic UV absorbers such as 0.04 μm) can be used. The antioxidant as the above additive is for preventing the above-mentioned polymer from light degradation or thermal degradation, and includes, for example, phenol-based, amine-based, sulfur-based, phosphoric-acid-based, etc. Antioxidants can be used. Further, as the above-mentioned ultraviolet absorber or antioxidant, for example, the above-mentioned ultraviolet absorber such as benzophenone or the above antioxidant such as phenol is added to the main chain or side chain constituting the polymer. A polymer-type ultraviolet absorber or an antioxidant obtained by chemically bonding may also be used. The content of the above-mentioned ultraviolet absorber and / or antioxidant varies depending on the particle shape, density and the like in the ink composition, but is preferably about 0.1 to 10% by weight.

【0032】また、本発明においては、無機酸化物の蒸
着膜の面と、印刷層の面との密接着性を改善するため
に、それらの一方の面または両面に、更に、例えば、予
め、プライマ−組成物によるプライマ−層等を任意に形
成して、表面処理層とすることもできる。上記のプライ
マ−組成物としては、例えば、ポリエステル系樹脂、ポ
リアミド系樹脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ系樹
脂、フェノ−ル系樹脂、(メタ)アクリル系樹脂、ポリ
酢酸ビニル系樹脂、ポリエチレンアルイハポリプロピレ
ン等のポリオレフィン系樹脂あるいはその共重合体ない
し変性樹脂、セルロ−ス系樹脂、その他等をビヒクルの
主成分とする樹脂組成物を使用することができる。な
お、本発明においては、上記のプライマ−組成物におい
ては、例えば、密接着性を更に向上させるために、例え
ば、シランカップリング剤、あるいは、ブロッキング防
止剤、その他等の添加剤を任意に添加することができ
る。而して、本発明においては、例えば、ロ−ルコ−
ト、グラビアロ−ルコ−ト、キスコ−ト、その他等のコ
−ティング法を用いてコ−ティングしてプライマ−層を
形成することができ、而して、そのコ−ティング量とし
ては、0.1〜5g/m2 (乾燥状態)位が望ましい。
Further, in the present invention, in order to improve the close adhesion between the surface of the inorganic oxide vapor-deposited film and the surface of the printing layer, one or both of the surfaces may be further provided with, for example, A surface treatment layer may be formed by arbitrarily forming a primer layer or the like using a primer composition. Examples of the primer composition include polyester resins, polyamide resins, polyurethane resins, epoxy resins, phenol resins, (meth) acrylic resins, polyvinyl acetate resins, and polyethylene polypropylene. And the like, or a resin composition containing a polyolefin resin or a copolymer or modified resin thereof, a cellulose resin, or the like as a main component of the vehicle. In the present invention, in the above-mentioned primer composition, for example, in order to further improve the tight adhesion, for example, a silane coupling agent, or an antiblocking agent, and other additives such as other additives are optionally added. can do. Thus, in the present invention, for example,
The primer layer can be formed by coating using a coating method such as coating, gravure roll coating, kiss coating, or the like, and the coating amount is 0. 0.1-5 g / m 2 (dry state) is desirable.

【0033】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する通常の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
トについて説明すると、かかる表面保護シ−トとして
は、太陽光の透過性、絶縁性等を有し、更に、耐候性、
耐熱性、耐光性、耐水性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品
性、防湿性、防汚性、その他等の諸特性を有し、物理的
あるいは化学的強度性、強靱性等に優れ、極めて耐久性
に富み、更に、光起電力素子としての太陽電池素子の保
護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優
れていることが必要である。上記の表面保護シ−トとし
ては、具体的には、例えば、公知のガラス板等は勿論の
こと、更に、例えば、フッ素系樹脂、ポリアミド系樹脂
(各種のナイロン)、ポリエステル系樹脂、ポリエチレ
ン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン
系樹脂、ポリスチレン系樹脂、(メタ)アクリル系樹
脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、アセタ−ル系樹脂、セル
ロ−ス系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないし
シ−トを使用することができる。上記の樹脂のフィルム
ないしシ−トとしては、例えば、2軸延伸した樹脂のフ
ィルムないしシ−トも使用することができる。また、上
記の樹脂のフィルムないしシ−トにおいて、その膜厚と
しては、12〜200μm位、より好ましくは、25〜
150μm位が望ましい。
Next, in the present invention, the solar cell module
Protection module for ordinary solar cell module
Explaining about the sheet, such a surface protection sheet has sunlight permeability, insulation property, etc., and furthermore, weather resistance,
Has various properties such as heat resistance, light resistance, water resistance, wind pressure resistance, hail resistance, chemical resistance, moisture resistance, antifouling property, etc., and has excellent physical or chemical strength, toughness, etc. It is required to be extremely durable and to be excellent in scratch resistance, shock absorption and the like because of its protection of a solar cell element as a photovoltaic element. Specific examples of the above surface protection sheet include, for example, a known glass plate and the like, and further, for example, a fluorine resin, a polyamide resin (various nylons), a polyester resin, and a polyethylene resin. Films of various resins such as resin, polypropylene resin, cyclic polyolefin resin, polystyrene resin, (meth) acrylic resin, polycarbonate resin, acetal resin, cellulose resin, and others. Alternatively, a sheet can be used. As the above resin film or sheet, for example, a biaxially stretched resin film or sheet can also be used. Further, in the above resin film or sheet, the film thickness is about 12 to 200 μm, more preferably 25 to 200 μm.
About 150 μm is desirable.

【0034】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下
に積層する充填剤層について説明すると、かかる充填剤
層としては、太陽光が入射し、これを透過して吸収する
ことから透明性を有することが必要であり、また、表面
保護シ−トとの接着性を有することも必要であり、更
に、光起電力素子としての太陽電池素子の表面の平滑性
を保持する機能を果たすために熱可塑性を有すること、
更には、光起電力素子としての太陽電池素子の保護とう
いことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れてい
ることが必要である。具体的には、上記の充填剤層とし
ては、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共
重合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、ま
たは、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリ
プロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン
等のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、
マレイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性し
た酸変性ポリオレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−
ル樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、(メタ)
アクリル系樹脂、その他等の樹脂の1種ないし2種以上
の混合物を使用することができる。なお、本発明におい
ては、上記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐
光性、耐水性等の耐候性等を向上させるために、その透
明性を損なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止
剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等
の添加剤を任意に添加し、混合することができるもので
ある。而して、本発明においては、太陽光の入射側の充
填剤としては、耐光性、耐熱性、耐水性等の耐候性を考
慮すると、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル系樹脂
が望ましい素材である。なお、上記の充填剤層の厚さと
しては、200〜1000μm位、好ましくは、350
〜600μm位が望ましい。
Next, in the present invention, the solar cell module
The filler layer laminated below the surface protection sheet for a solar cell module constituting the solar cell module will be described. The filler layer is transparent because sunlight enters and transmits and absorbs sunlight. It is necessary that the photovoltaic element has an adhesive property with a surface protection sheet, and has a function of maintaining the smoothness of the surface of a solar cell element as a photovoltaic element. Having thermoplasticity for
Further, since the solar cell element as a photovoltaic element is to be protected, it is necessary to have excellent scratch resistance, shock absorption and the like. Specifically, as the filler layer, for example, a fluorine resin, an ethylene-vinyl acetate copolymer, an ionomer resin, an ethylene-acrylic acid, or a methacrylic acid copolymer, a polyethylene resin, a polypropylene resin, Acrylic acid, itaconic acid, polyolefin resin such as polyethylene or polypropylene
Acid-modified polyolene fin resin modified with unsaturated carboxylic acids such as maleic acid and fumaric acid, polyvinyl butyral
Resin, silicone resin, epoxy resin, (meth)
A mixture of one or more resins such as acrylic resins and other resins can be used. In the present invention, in order to improve the heat resistance, light resistance, weather resistance such as water resistance, etc. of the resin constituting the above-mentioned filler layer, in a range where the transparency is not impaired, for example, crosslinking is performed. Additives such as an agent, a thermal antioxidant, a light stabilizer, an ultraviolet absorber, a photooxidant, and the like can be arbitrarily added and mixed. Therefore, in the present invention, as the filler on the incident side of sunlight, in consideration of light resistance, heat resistance, and weather resistance such as water resistance, a fluororesin or an ethylene-vinyl acetate resin is a desirable material. is there. The thickness of the filler layer is about 200 to 1000 μm, preferably 350 μm.
About 600 μm is desirable.

【0035】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子としての太陽電池素子につい
て説明すると、かかる太陽電池素子としては、従来公知
のもの、例えば、単結晶シリコン型太陽電池素子、多結
晶シリコン型太陽電池素子等の結晶シリコン太陽電子素
子、シングル接合型あるいはタンデム構造型等からなる
アモルファスシリコン太陽電池素子、ガリウムヒ素(G
aAs)やインジウム燐(InP)等のIII −V 族化合
物半導体太陽電子素子、カドミウムテルル(CdTe)
や銅インジウムセレナイド(CuInSe2 )等のII−
VI族化合物半導体太陽電子素子、その他等を使用するこ
とができる。更に、薄膜多結晶性シリコン太陽電池素
子、薄膜微結晶性シリコン太陽電池素子、薄膜結晶シリ
コン太陽電池素子とアモルファスシリコン太陽電池素子
とのハイブリット素子等も使用することができる。而し
て、本発明において、太陽電池素子は、例えば、ガラス
基板、プラスチック基板、金属基板、その他等の基板の
上に、pn接合構造等の結晶シリコン、p−i−n接合
構造等のアモルファスシリコン、化合物半導体等の起電
力部分が形成されて太陽電池素子を構成するものであ
る。
Next, in the present invention, the solar cell module
The solar cell element as a photovoltaic element constituting the solar cell element will be described. As such a solar cell element, a conventionally known one, for example, a crystalline silicon such as a single-crystal silicon-type solar cell element, a polycrystalline silicon-type solar cell element, etc. Solar electronic devices, single-junction or tandem-structure amorphous silicon solar cell devices, gallium arsenide (G
III-V compound semiconductor solar devices such as aAs) and indium phosphide (InP), cadmium telluride (CdTe)
And copper indium selenide (CuInSe 2 )
Group VI compound semiconductor solar electronic devices and others can be used. Further, a thin-film polycrystalline silicon solar cell element, a thin-film microcrystalline silicon solar cell element, a hybrid element of a thin-film crystalline silicon solar cell element and an amorphous silicon solar cell element, and the like can also be used. Thus, in the present invention, a solar cell element is formed, for example, on a substrate such as a glass substrate, a plastic substrate, a metal substrate, or the like, by forming crystalline silicon such as a pn junction structure or amorphous silicon such as a pin junction structure. An electromotive force portion such as silicon or a compound semiconductor is formed to constitute a solar cell element.

【0036】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子の下に積層する充填剤層につ
いて説明すると、かかる充填剤層としては、上記の太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤
層と同様に、裏面保護シ−トとの接着性を有することも
必要であり、更に、光起電力素子としての太陽電池素子
の裏面の平滑性を保持する機能を果たすために熱可塑性
を有すること、更には、光起電力素子としての太陽電池
素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収
性等に優れていることが必要である。しかし、上記の太
陽電池モジュ−ルを構成する光起電力素子の下に積層す
る充填剤層としては、上記の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トの下に積層する充填剤層と異なり、必ずも、
透明性を有することを必要としないものである。具体的
には、上記の充填剤層としては、前述の太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤層と同様
に、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重
合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、また
は、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプ
ロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等
のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マ
レイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した
酸変性ポリオレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−ル
樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、(メタ)ア
クリル系樹脂、その他等の樹脂の1種ないし2種以上の
混合物を使用することができる。なお、本発明において
は、上記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐光
性、耐水性等の耐候性等を向上させるために、その透明
性を損なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止
剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等
の添加剤を任意に添加し、混合することができるもので
ある。なお、上記の充填剤層の厚さとしては、200〜
1000μm位、より好ましくは、350〜600μm
位が望ましい。
Next, in the present invention, the solar cell module
The filler layer laminated below the photovoltaic element constituting the solar cell module will be described. The filler layer is the same as the filler layer laminated below the solar cell module surface protection sheet. In addition, it is necessary to have an adhesive property with a back surface protection sheet, and further, to have a function of maintaining the smoothness of the back surface of the solar cell element as a photovoltaic element, and to have thermoplasticity. In order to protect a solar cell element as a photovoltaic element, it is necessary to have excellent scratch resistance, shock absorption and the like. However, the filler layer laminated below the photovoltaic element constituting the solar cell module is different from the filler layer laminated below the surface protection sheet for the solar cell module. ,
It is not necessary to have transparency. Specifically, as the above-mentioned filler layer, for example, as in the case of the above-mentioned filler layer laminated below the surface protection sheet for a solar cell module, for example, a fluorine-based resin, ethylene-vinyl acetate copolymer may be used. A polyolefin resin such as coalesced, ionomer resin, ethylene-acrylic acid, or methacrylic acid copolymer, polyethylene resin, polypropylene resin, polyethylene or polypropylene can be mixed with acrylic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, etc. One or more resins such as an acid-modified polyolefin resin modified with a saturated carboxylic acid, a polyvinyl butyral resin, a silicone resin, an epoxy resin, a (meth) acrylic resin, and the like. Mixtures can be used. In the present invention, in order to improve the heat resistance, light resistance, weather resistance such as water resistance, etc. of the resin constituting the above-mentioned filler layer, in a range where the transparency is not impaired, for example, crosslinking is performed. Additives such as an agent, a thermal antioxidant, a light stabilizer, an ultraviolet absorber, a photooxidant, and the like can be arbitrarily added and mixed. The thickness of the filler layer is 200 to
About 1000 μm, more preferably 350 to 600 μm
Position is desirable.

【0037】なお、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ルを製造する際しては、その強度、耐候
性、耐スクラッチ性、その他等の諸堅牢性を向上させる
ために、その他の素材、例えば、低密度ポリエチレン、
中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低密度
ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン
共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ
−樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレ
ン−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、メチルペ
ンテンポリマ−、ポリブテン系樹脂、ポリ塩化ビニル系
樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹
脂、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、ポリ(メ
タ)アクリル系樹脂、ポリアクリルニトリル系樹脂、ポ
リスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合
体(AS系樹脂)、アクリロニトリル−ブタジェン−ス
チレン共重合体(ABS系樹脂)、ポリエステル系樹
脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリ
ビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合
体のケン化物、フッ素系樹脂、ジエン系樹脂、ポリアセ
タ−ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ニトロセルロ−
ス、その他等の公知の樹脂のフィルムないしシ−トから
任意に選択して使用することができる。本発明におい
て、上記のフィルムないしシ−トは、未延伸、一軸ない
し二軸方向に延伸されたもの等のいずれのものでも使用
することができる。また、その厚さは、任意であるが、
数μmから300μm位の範囲から選択して使用するこ
とができる。更に、本発明においては、フィルムないし
シ−トとしては、押し出し成膜、インフレ−ション成
膜、コ−ティング膜等のいずれの性状の膜でもよい。
In the present invention, when the solar cell module according to the present invention is manufactured, in order to improve its various strengths such as strength, weather resistance, scratch resistance, etc. Material, for example, low density polyethylene,
Medium density polyethylene, high density polyethylene, linear low density polyethylene, polypropylene, ethylene-propylene copolymer, ethylene-vinyl acetate copolymer, ionomer resin, ethylene-ethyl acrylate copolymer, ethylene-acrylic acid or methacrylic Acid copolymer, methylpentene polymer, polybutene resin, polyvinyl chloride resin, polyvinyl acetate resin, polyvinylidene chloride resin, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, poly (meth) acrylic resin, poly Acrylic nitrile resin, polystyrene resin, acrylonitrile-styrene copolymer (AS resin), acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer (ABS resin), polyester resin, polyamide resin, polycarbonate resin , Polyvinyl alcohol tree , Ethylene - saponified vinyl acetate copolymer, fluorine resin, diene resin, polyacetal - Le resins, polyurethane resins, nitrocellulose -
And any other known resin film or sheet. In the present invention, the above-mentioned film or sheet may be any of unstretched and uniaxially or biaxially stretched. The thickness is arbitrary,
It can be used by selecting from the range of several μm to 300 μm. Further, in the present invention, the film or sheet may be any film such as an extruded film, an inflation film, or a coating film.

【0038】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを使用して太陽電池
モジュ−ルを製造する方法について説明すると、かかる
製造法としては、公知の方法、例えば、上記の太陽電池
モジュ−ル用表面保護シ−ト、充填剤層、光起電力素子
としての太陽電池素子、充填剤層、および、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その印刷
層の面を対向させて、順次に積層し、更に、必要なら
ば、各層間に、その他の素材を任意に積層し、次いで、
これらを、真空吸引等により一体化して加熱圧着するラ
ミネ−ション法等の通常の成形法を利用し、上記の各層
を一体成形体として加熱圧着成形して、太陽電池モジュ
−ルを製造することができる。上記において、必要なら
ば、各層間の接着性等を高めるために、(メタ)アクリ
ル系樹脂、オレフィン系樹脂、ビニル系樹脂、その他等
の樹脂をビヒクルの主成分とする加熱溶融型接着剤、溶
剤型接着剤、光硬化型接着剤、その他等を使用すること
ができる。
Next, in the present invention, a method for manufacturing a solar cell module using the back surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention will be described. A method, for example, the above-mentioned surface protection sheet for a solar cell module, a filler layer, a solar cell element as a photovoltaic element, a filler layer, and the backside protection for a solar cell module according to the present invention. The sheets are sequentially laminated with their printing layers facing each other, and if necessary, other materials are optionally laminated between the layers,
Using a normal molding method such as a lamination method in which these are integrated by vacuum suction or the like and then heated and pressed, the above-mentioned layers are formed as an integrally formed body by thermocompression bonding to produce a solar cell module. Can be. In the above, if necessary, a heat-melt adhesive containing a resin such as a (meth) acrylic resin, an olefin-based resin, a vinyl-based resin, or the like as a main component of the vehicle, in order to enhance adhesion between the layers, Solvent-based adhesives, photo-curable adhesives, and others can be used.

【0039】また、上記の積層において、各積層対向面
には、密接着性を向上させるために、必要に応じて、例
えば、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは
窒素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロ−放電処
理、化学薬品等を用いて処理する酸化処理、その他等の
前処理を任意に施すことができる。更に、上記の積層に
おいては、各積層対向面に、予め、プライマ−コ−ト剤
層、アンダ−コ−ト剤層、接着剤層、あるいは、アンカ
−コ−ト剤層等を任意に形成して、表面前処理を行うこ
ともできる。上記の前処理のコ−ト剤層としては、例え
ば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリウレ
タン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、(メ
タ)アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエチ
レンアルイハポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂
あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セルロ−ス系樹
脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使
用することができる。また、上記において、コ−ト剤層
の形成法としては、例えば、溶剤型、水性型、あるい
は、エマルジョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−
ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他
等のコ−ト法を用いてコ−トすることができる。
In the above-mentioned lamination, each lamination facing surface may be provided, if necessary, for example, with a corona discharge treatment, an ozone treatment, a low-temperature treatment using an oxygen gas or a nitrogen gas or the like, in order to improve the tight adhesion. Pretreatments such as a plasma treatment, a glow discharge treatment, an oxidation treatment using a chemical agent, and the like can be arbitrarily performed. Further, in the above-mentioned lamination, a primer coat agent layer, an undercoat agent layer, an adhesive layer, an anchor coat agent layer, or the like is arbitrarily formed on each of the laminated opposing surfaces in advance. Then, surface pretreatment can be performed. Examples of the coating agent layer for the above pretreatment include polyester resin, polyamide resin, polyurethane resin, epoxy resin, phenol resin, (meth) acrylic resin, polyvinyl acetate resin, A resin composition containing, as a main component of the vehicle, a polyolefin resin such as polyethylene aliha polypropylene or a copolymer or modified resin thereof, a cellulose resin, or the like can be used. In the above, as a method of forming the coating agent layer, for example, a coating agent such as a solvent type, an aqueous type, or an emulsion type is used, and a roll coating is used.
The coating can be performed by using a coating method such as a coating method, a gravure roll coating method, a kiss coating method and others.

【0040】なお、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを使用して太陽電池
モジュ−ルを製造する方法においては、予め、本発明に
かかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの印刷層の
面に、充填剤層を積層し、該太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トと充填剤層とからなる積層体を製造し、他
方、上記と同様に、充填剤層と太陽電池モジュ−ル用表
面保護シ−トとを予め積層してその両者からなる積層体
を製造し、次いで、上記の二つの積層体を、その充填剤
層の面を対向して重ね合わせ、更に、その層間に、光起
電力素子としての太陽電池素子を積層し、更に、必要な
らば、各層間に、その他の素材を任意に積層し、次い
で、これらを、真空吸引等により一体化して加熱圧着す
るラミネ−ション法等の通常の成形法を利用し、上記の
各層を一体成形体として加熱圧着成形して、太陽電池モ
ジュ−ルを製造することができる。
In the present invention, in the method of manufacturing a solar cell module using the back protection sheet for a solar cell module according to the present invention, the solar cell module according to the present invention is previously prepared. A filler layer is laminated on the surface of the printed layer of the solar cell module backside protection sheet to produce a laminate comprising the solar cell module backside protection sheet and the filler layer. Similarly, a filler layer and a surface protection sheet for a solar cell module are preliminarily laminated to produce a laminate comprising both of them, and then the above two laminates are placed on the surface of the filler layer. , Facing each other, furthermore, a solar cell element as a photovoltaic element is laminated between the layers, and further, if necessary, other materials are optionally laminated between the respective layers. Lamination method, etc., which is integrated by vacuum suction and heat-pressed Using a normal molding method, and heat pressing molding integrally molded body of the above layers, the solar cell module - can be produced Le.

【0041】[0041]

【実施例】以下に本発明について実施例を挙げて更に具
体的に本発明を説明する。 実施例1 (1).厚さ50μmのテトラフルオロエチレンとエチ
レンとのコポリマ−(ETFE)からなるフッ素系樹脂
シ−トを使用し、これをプラズマ化学気相成長装置の送
り出しロ−ルに装着し、次いで、上記のフッ素系樹脂シ
−トのコロナ処理面に、下記の条件で厚さ800Åの酸
化珪素の蒸着膜を形成した。 (蒸着条件) 反応ガス混合比:ヘキサメチルジシロキサン:酸素ガ
ス:ヘリウム=1:10:10(単位:slm) 真空チャンバ−内の真空度:5.0×10-6mbar 蒸着チャンバ−内の真空度:6.0×10-2mbar 冷却・電極ドラム供給電力:20kW フィルムの搬送速度:80m/分 次に、上記で膜厚800Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し
た直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、グロ−放電プラ
ズマ発生装置を使用し、プラズマ出力、1500W、酸
素ガス(O2 ):アルゴンガス(Ar)=19:1から
なる混合ガスを使用し、混合ガス圧6×10-5Tor
r、処理速度420m/minで酸素/アルゴン混合ガ
スによるプラズマ処理を行ってプラズマ処理面を形成し
た。 (2).次に、上記の(1)で形成した酸化珪素の蒸着
膜のプラズマ処理面に、ポリウレタン系樹脂の初期縮合
物に、エポキシ系のシランカップリング剤(8.0重量
%)とブロッキング防止剤(1.0重量%)を添加し、
十分に混練してなるプライマ−樹脂組成物を使用し、こ
れをグラビアロ−ルコ−ト法により、膜厚0.5g/m
2 (乾燥状態)になるようにコ−ティングしてプライマ
−層を形成した。他方、インキ用ビヒクルとして、ポリ
アミド系樹脂とニトロセルロ−スとを使用し、これに白
色顔料としての酸化チタン(8重量%)、紫外線吸収剤
としての超微粒子酸化チタン(粒子径、0.01〜0.
06μm、3重量%)とを添加し、その他、所要の添加
剤を添加し、十分に混練してインキ組成物を調製した。
次に、上記で形成したプライマ−層の上に、同じく、上
記で形成した白色のインキ組成物を使用し、これをグラ
ビア印刷方式て多数回印刷し、膜厚50μmの印刷層を
形成して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保
護シ−トを製造した。 (3).次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トを使用し、厚さ3mmのガラス板、厚さ4
00μmのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモ
ルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置し
た厚さ38μmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルム、厚さ400μmのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トを、その印刷層の面を対向させ、更に、上記
の太陽電池素子面を上に向けて、層間をアクリル系樹脂
の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池
モジュ−ルを製造した。
EXAMPLES The present invention will be described below more specifically with reference to examples. Example 1 (1). A fluororesin sheet made of a copolymer of tetrafluoroethylene and ethylene (ETFE) having a thickness of 50 .mu.m is used, and the sheet is mounted on a delivery roll of a plasma enhanced chemical vapor deposition apparatus. On the corona-treated surface of the base resin sheet, a silicon oxide deposited film having a thickness of 800 mm was formed under the following conditions. (Evaporation conditions) Reaction gas mixture ratio: hexamethyldisiloxane: oxygen gas: helium = 1: 10: 10 (unit: slm) Degree of vacuum in vacuum chamber: 5.0 × 10 −6 mbar In evaporation chamber Degree of vacuum: 6.0 × 10 −2 mbar Cooling / electrode drum supply power: 20 kW Film transport speed: 80 m / min Next, immediately after forming the above-described 800 nm-thick silicon oxide deposited film, the silicon oxide Using a glow discharge plasma generator, a plasma output of 1500 W, a mixed gas consisting of oxygen gas (O 2 ): argon gas (Ar) = 19: 1, and a mixed gas pressure of 6 × 10 -5 Tor
r, a plasma treatment was performed with an oxygen / argon mixed gas at a treatment speed of 420 m / min to form a plasma treated surface. (2). Next, an epoxy-based silane coupling agent (8.0% by weight) and an anti-blocking agent were added to the plasma-treated surface of the silicon oxide vapor-deposited film formed in the above (1). 1.0% by weight)
A sufficiently kneaded primer-resin composition is used, and this is applied to a film thickness of 0.5 g / m by a gravure roll coating method.
2 (dry state) to form a primer layer. On the other hand, a polyamide resin and nitrocellulose are used as a vehicle for the ink, and titanium oxide (8% by weight) as a white pigment and ultrafine titanium oxide (particle size, 0.01 to 0.
06 μm, 3% by weight), and other necessary additives, and kneaded well to prepare an ink composition.
Next, on the primer layer formed above, similarly, using the white ink composition formed above, this was printed many times by a gravure printing method to form a print layer having a film thickness of 50 μm. A back protection sheet for a solar cell module according to the present invention was manufactured. (3). Next, a glass plate having a thickness of 3 mm and a thickness of 4
A 38 μm-thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film in which solar cell elements made of an amorphous silicon are arranged in parallel, and a 400 μm-thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet The backsheet for solar cell module and the backsheet for solar cell module are printed with their printed layers facing each other, and the solar cell element surface is directed upward, and an acrylic resin is bonded between the layers. The solar cell module according to the present invention was manufactured by laminating through the agent layer.

【0042】実施例2〜7 上記の実施例1において、厚さ50μmのフッ素系樹脂
シ−トを使用する代わりに、下記に示す耐候性基材を使
用し、その他は、上記の実施例1と全く同様に行って、
上記の実施例1と同様に、同様な本発明にかかる裏面保
護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造すること
ができた。 実施例2.厚さ50μmのポリフッ化ビニル系樹脂シ−
ト(PVF) 実施例3.厚さ100μmのポリジシクロペンタジエン
樹脂シ−ト 実施例4.厚さ50μmのポリカ−ボネ−ト樹脂シ−ト 実施例5.厚さ50μmのポリアクリル系樹脂シ−ト 実施例6.厚さ20μmの2軸延伸ナイロンフィルム 実施例7.厚さ20μmの2軸延伸ポリエチレンテレフ
タレ−トフィルム
Examples 2 to 7 In the above Example 1, instead of using a fluororesin sheet having a thickness of 50 μm, the following weather-resistant base material was used. Go exactly the same as
Similar to the first embodiment, similar back surface protection sheets and solar cell modules according to the present invention could be manufactured. Embodiment 2. FIG. 50μm thick polyvinyl fluoride resin screen
Example 3 (PVF) Polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm. Polycarbonate resin sheet having a thickness of 50 μm. Polyacrylic resin sheet having a thickness of 50 μm. Biaxially stretched nylon film having a thickness of 20 μm. Biaxially stretched polyethylene terephthalate film with a thickness of 20 μm

【0043】実施例8 (1).厚さ50μmのテトラフルオロエチレンとエチ
レンとのコポリマ−(ETFE)からなるフッ素系樹脂
シ−トを使用し、これを巻き取り式真空蒸着装置の送り
出しロ−ルに装着し、次いで、これをコ−ティングドラ
ムの上に繰り出して、下記の条件で、アルミニウムを蒸
着源に用い、酸素ガスを供給しながら、エレクトロンビ
−ム(EB)加熱方式による反応真空蒸着法により、上
記のフッ素系樹脂フィルムのコロナ処理面に、膜厚80
0Åの酸化アルミニウムの蒸着膜を形成した。 (蒸着条件) 蒸着源:アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度:7.5×10-6mbar 蒸着チャンバ−内の真空度:2.1×10-6mbar EB出力:40KW フィルム搬送速度:600m/分 次に、上記で膜厚800Åの酸化アルミニウムの蒸着膜
を形成した直後に、その酸化アルミニウムの蒸着膜面
に、グロ−放電プラズマ発生装置を使用し、プラズマ出
力、1500W、酸素ガス(O2 ):アルゴンガス(A
r)=19:1からなる混合ガスを使用し、混合ガス圧
6X10-5Toor、処理速度420m/minで酸素
/アルゴン混合ガスプラズマ処理を行ってプラズマ処理
面を形成した。 (2).次に、上記の(1)で製造した酸化アルミニウ
ムの蒸着膜のプラズマ処理面に、ポリウレタン系樹脂の
初期縮合物に、エポキシ系のシランカップリング剤
(8.0重量%)とブロッキング防止剤(1.0重量
%)を添加し、十分に混練してなるプライマ−樹脂組成
物を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト法により、膜
厚0.5g/m2 (乾燥状態)になるようにコ−ティン
グしてプライマ−層を形成した。他方、インキ用ビヒク
ルとして、ポリアミド系樹脂とニトロセルロ−スとを使
用し、これに白色顔料としての酸化チタン(8重量
%)、紫外線吸収剤としての超微粒子酸化チタン(粒子
径、0.01〜0.06μm、3重量%)とを添加し、
その他、所要の添加剤を添加し、十分に混練してインキ
組成物を調製した。次に、上記で形成したプライマ−層
の上に、同じく、上記で形成した白色のインキ組成物を
使用し、これをグラビア印刷方式て多数回印刷し、膜厚
50μmの印刷層を形成して、本発明にかかる太陽電池
モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造した。 (3).次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トを使用し、厚さ3mmのガラス板、厚さ4
00μmのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモ
ルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置し
た厚さ38μmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルム、厚さ400μmのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トを、その印刷層の面を対向させ、更に、上記
の太陽電池素子面を上に向けて、層間をアクリル系樹脂
の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池
モジュ−ルを製造した。
Embodiment 8 (1). A fluororesin sheet made of a copolymer of tetrafluoroethylene and ethylene (ETFE) having a thickness of 50 μm is used, and the sheet is attached to a delivery roll of a roll-up type vacuum evaporation apparatus. -The above-mentioned fluorine-based resin film is fed out on a singing drum and subjected to a reactive vacuum deposition method using an electron beam (EB) heating method while supplying oxygen gas while using aluminum as a deposition source under the following conditions. Film thickness of 80 on the corona treated surface
A 0 ° aluminum oxide deposited film was formed. (Evaporation conditions) Evaporation source: Aluminum Degree of vacuum in vacuum chamber: 7.5 × 10 −6 mbar Degree of vacuum in evaporation chamber: 2.1 × 10 −6 mbar EB output: 40 KW Film transport speed: 600 m / Immediately after the above-described 800-nm-thick aluminum oxide vapor-deposited film was formed, a plasma output of 1500 W and oxygen gas (O 2) were applied to the aluminum oxide vapor-deposited film surface using a glow discharge plasma generator. ): Argon gas (A
r) = 19: 1, using a mixed gas pressure of 6 × 10 −5 Tool and a processing speed of 420 m / min to perform an oxygen / argon mixed gas plasma process to form a plasma-treated surface. (2). Next, on the plasma-treated surface of the aluminum oxide vapor-deposited film produced in the above (1), an epoxy-based silane coupling agent (8.0% by weight) and an anti-blocking agent ( 1.0% by weight) and sufficiently kneaded to obtain a primer-resin composition, which is obtained by a gravure roll coating method so as to have a film thickness of 0.5 g / m 2 (dry state). To form a primer layer. On the other hand, a polyamide resin and nitrocellulose are used as a vehicle for the ink, and titanium oxide (8% by weight) as a white pigment and ultrafine titanium oxide (particle size, 0.01 to 0.06 μm, 3% by weight)
In addition, necessary additives were added and kneaded well to prepare an ink composition. Next, on the primer layer formed above, similarly, using the white ink composition formed above, this was printed many times by a gravure printing method to form a print layer having a film thickness of 50 μm. A back protection sheet for a solar cell module according to the present invention was manufactured. (3). Next, a glass plate having a thickness of 3 mm and a thickness of 4
A 38 μm-thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film in which solar cell elements made of an amorphous silicon are arranged in parallel, and a 400 μm-thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet The backsheet for solar cell module and the backsheet for solar cell module are printed with their printed layers facing each other, and the solar cell element surface is directed upward, and an acrylic resin is bonded between the layers. The solar cell module according to the present invention was manufactured by laminating through the agent layer.

【0044】実施例9〜13 上記の実施例7において、厚さ50μmのフッ素系樹脂
シ−トを使用する代わりに、下記に示す耐候性基材を使
用し、その他は、上記の実施例7と全く同様に行って、
上記の実施例7と同様に、同様な本発明にかかる裏面保
護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造すること
ができた。 実施例9.厚さ50μmのポリフッ化ビニル系樹脂シ−
ト(PVF) 実施例10.厚さ100μmのポリジシクロペンタジエ
ン樹脂シ−ト 実施例11.厚さ50μmのポリカ−ボネ−ト樹脂シ−
ト 実施例12.厚さ50μmのポリアクリル系樹脂シ−ト 実施例13.厚さ20μmの2軸延伸ポリエチレンテレ
フタレ−トフィルム
Examples 9 to 13 Instead of using the fluororesin sheet having a thickness of 50 μm in Example 7 described above, the following weather-resistant base material was used. Go exactly the same as
In the same manner as in Example 7 above, a similar back surface protection sheet and solar cell module according to the present invention could be manufactured. Embodiment 9 FIG. 50μm thick polyvinyl fluoride resin screen
G (PVF) Embodiment 10 Polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm. 50μm thick polycarbonate resin sheet
G. Embodiment 12 FIG. Example 13 Polyacrylic resin sheet having a thickness of 50 μm Biaxially stretched polyethylene terephthalate film with a thickness of 20 μm

【0045】実施例14 (1).厚さ50μmのポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト
(PVF)を使用し、これをプラズマ化学蒸着装置の送
り出しロ−ルに装着し、次いで、ポリフッ化ビニル系樹
脂シ−ト(PVF)のコロナ処理面に、下記の条件で膜
厚50Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成して、耐蒸着保護
膜を設けた。 (蒸着条件) 反応ガス混合比:ヘキサメチルジシロキサン:酸素ガ
ス:ヘリウム=5:5:5(単位:slm) 真空チャンバ−内の真空度:7.0×10-6mbar 蒸着チャンバ−内の真空度:3.8×10-2mbar 冷却・電極ドラム供給電力:15kW シ−トの搬送速度:100m/分 次に、上記で形成した耐蒸着保護膜の上に、上記の実施
例1と同様にして、膜厚800Åの酸化珪素の蒸着膜を
形成し、更に、該酸化珪素の蒸着膜面に、プラズマ処理
面を形成した。 (2).次に、上記で形成した膜厚800Åの酸化珪素
の蒸着膜のプラズマ処理面に、以下、上記の実施例1と
全く同様に行って、上記の実施例1と同様に、同様な本
発明にかかる裏面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ
−ルを製造することができた。
Embodiment 14 (1). A 50 μm-thick polyvinyl fluoride resin sheet (PVF) is used, which is mounted on a delivery roll of a plasma-enhanced chemical vapor deposition apparatus, and then a corona treatment of the polyvinyl fluoride resin sheet (PVF) is performed. On the surface, a vapor-deposited thin film of silicon oxide having a thickness of 50 ° was formed under the following conditions to provide a vapor deposition-resistant protective film. (Evaporation conditions) Reaction gas mixture ratio: hexamethyldisiloxane: oxygen gas: helium = 5: 5: 5 (unit: slm) Degree of vacuum in vacuum chamber: 7.0 × 10 −6 mbar In evaporation chamber Vacuum degree: 3.8 × 10 -2 mbar Cooling / electrode drum supply power: 15 kW Sheet transfer speed: 100 m / min Next, the above-mentioned Example 1 Similarly, an evaporated silicon oxide film having a thickness of 800 ° was formed, and a plasma-treated surface was formed on the deposited silicon oxide film. (2). Next, on the plasma-treated surface of the deposited silicon oxide film having a thickness of 800 ° formed as described above, the same process as in the above-described embodiment 1 was performed. Such a back surface protection sheet and a solar cell module could be manufactured.

【0046】実施例15 (1).厚さ50μmのポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト
(PVF)を使用し、これを巻き取り式真空蒸着装置の
送り出しロ−ルに装着し、次いで、コ−ティングドラム
の上に繰り出して、下記の条件で、アルミニウムを蒸着
源に用い、酸素ガスを供給しながら、エレクトロンビ−
ム(EB)加熱方式による反応真空蒸着法により、上記
のポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト(PVF)のコロナ処
理面に、膜厚50Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形
成して、耐蒸着保護膜を設けた。 (蒸着条件) 蒸着源:アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度:7.5×10-6mbar 蒸着チャンバ−内の真空度:2.1×10-6mbar EB出力:20KW フィルム搬送速度:500m/分 更に、上記で形成した耐蒸着保護膜の上に、上記の実施
例7と同様にして、膜厚800Åの酸化アルミニウムの
蒸着膜を形成し、更に、該酸化アルミニウムの蒸着膜面
に、プラズマ処理面を形成した。 (2).次に、上記で形成した膜厚800Åの酸化アル
ミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面に、以下、上記の実
施例7と全く同様に行って、上記の実施例7と同様に、
同様な本発明にかかる裏面保護シ−ト、および、太陽電
池モジュ−ルを製造することができた。
Embodiment 15 (1). A polyvinyl fluoride resin sheet (PVF) having a thickness of 50 μm was used, mounted on a delivery roll of a take-up type vacuum evaporation apparatus, and then fed out onto a coating drum. Under conditions, aluminum was used as a vapor deposition source, and an electron beam was supplied while supplying oxygen gas.
A vapor-deposited thin film of aluminum oxide having a thickness of 50 ° is formed on the corona-treated surface of the polyvinyl fluoride resin sheet (PVF) by a reactive vacuum deposition method using a heating method (EB). Was provided. (Evaporation conditions) Evaporation source: Aluminum Degree of vacuum in vacuum chamber: 7.5 × 10 −6 mbar Degree of vacuum in evaporation chamber: 2.1 × 10 −6 mbar EB output: 20 KW Film transport speed: 500 m / Further, an aluminum oxide deposited film having a film thickness of 800 ° was formed on the deposited anti-evaporation protective film in the same manner as in Example 7 above. A treated surface was formed. (2). Next, on the plasma-treated surface of the deposited aluminum oxide film having a thickness of 800 ° formed above, the same procedure as in the above-described Example 7 was performed.
A similar backside protection sheet and solar cell module according to the present invention could be manufactured.

【0047】実施例16 (1).厚さ50μmのポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト
(PVF)を使用し、そのコロナ処理面に、1×10-4
Torrの真空下、高周波誘電加熱方式で純度99.9
%の一酸化珪素(SiO)を加熱蒸発させ、500Åの
酸化珪素の蒸着膜を形成した。次に、上記で膜厚500
Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した直後に、その酸化珪素
の蒸着膜面に、出力、10kW、処理速度100m/m
inでコロナ放電処理を行って、蒸着膜面の表面張力を
35dyneより60dyneに向上させてたコロナ処
理面を形成した。 (2).次に、上記で形成した膜厚500Åの酸化珪素
の蒸着膜のコロナ処理面に、以下、上記の実施例1と全
く同様に行って、上記の実施例1と同様に、同様な本発
明にかかる裏面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−
ルを製造することができた。
Embodiment 16 (1). A polyvinyl fluoride resin sheet (PVF) having a thickness of 50 μm is used, and 1 × 10 -4
Purity 99.9 by high-frequency dielectric heating under Torr vacuum
% Silicon monoxide (SiO) was heated and evaporated to form a deposited film of silicon oxide of 500 °. Next, the film thickness of 500
Immediately after forming the silicon oxide vapor deposition film, the power of 10 kW and the processing speed of 100 m / m were applied to the silicon oxide vapor deposition film surface.
The corona discharge treatment was carried out at "in" to form a corona treated surface in which the surface tension of the vapor-deposited film surface was increased from 35 dyne to 60 dyne. (2). Next, on the corona-treated surface of the deposited silicon oxide film having a thickness of 500 ° formed as described above, the same process as in the above-described Example 1 was performed. Such a back surface protection sheet and a solar cell module
Could be manufactured.

【0048】実施例17 (1).厚さ50μmのポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト
(PVF)を使用し、上記の実施例1と同様にして、膜
厚500Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し、更に、該酸化
珪素の蒸着膜面に、コロナ処理面を形成した。次に、上
記で形成したコロナ処理面に、上記の実施例7と同様に
して、膜厚500Åの酸化アルミニウムの蒸着膜を形成
し、更に、該酸化アルミニウムの蒸着膜面に、プラスマ
処理面を形成した。 (2).次に、上記で形成した膜厚500Åの酸化アル
ミニウムの蒸着膜のヤラズマ処理面に、以下、上記の実
施例7と全く同様に行って、上記の実施例7と同様に、
同様な本発明にかかる裏面保護シ−ト、および、太陽電
池モジュ−ルを製造することができた。
Embodiment 17 (1). Using a polyvinyl fluoride resin sheet (PVF) having a thickness of 50 μm, a vapor-deposited silicon oxide film having a film thickness of 500 ° is formed in the same manner as in the first embodiment. A corona treated surface was formed on the surface. Next, on the corona-treated surface formed above, a vapor-deposited film of aluminum oxide having a thickness of 500 ° was formed in the same manner as in Example 7 described above, and a plasma-treated surface was further formed on the vapor-deposited film of aluminum oxide. Formed. (2). Next, the above-described 500-nm-thick aluminum oxide vapor-deposited film is subjected to the same process as in Example 7 above, and the same process as in Example 7 is performed.
A similar backside protection sheet and solar cell module according to the present invention could be manufactured.

【0049】実施例18 (1).厚さ50μmのポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト
(PVF)を使用し、上記の実施例1と同様にして、膜
厚500Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し、更に、該酸化
珪素の蒸着膜面に、プラズマ処理面を形成した。次に、
上記で形成したプラズマ処理面に、同じく、上記の実施
例1と同様にして、膜厚500Åの酸化珪素の蒸着膜を
形成し、更に、該酸化珪素の蒸着膜面に、プラズマ処理
面を形成した。 (2).次に、上記で形成した膜厚500Åの酸化珪素
の蒸着膜のプラズマ処理面に、以下、上記の実施例1と
全く同様に行って、上記の実施例1と同様に、同様な本
発明にかかる裏面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ
−ルを製造することができた。
Embodiment 18 (1). Using a polyvinyl fluoride resin sheet (PVF) having a thickness of 50 μm, a vapor-deposited silicon oxide film having a film thickness of 500 ° is formed in the same manner as in the first embodiment. A plasma treated surface was formed on the surface. next,
On the plasma-processed surface formed above, a 500-nm-thick silicon oxide vapor-deposited film was formed in the same manner as in Example 1 above, and a plasma-treated surface was further formed on the silicon oxide-deposited film. did. (2). Next, on the plasma-treated surface of the deposited silicon oxide film having a thickness of 500 ° formed as described above, the same process as in the above-described embodiment 1 is performed. Such a back surface protection sheet and a solar cell module could be manufactured.

【0050】比較例1 厚さ3mmのガラス板、厚さ400μmのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからな
る太陽電池素子を並列に配置した厚さ38μmの2軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ400μ
mのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚
さ50μmの白色の2軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、アク
リル系樹脂の接着剤層を介して積層して、太陽電池モジ
ュ−ルを製造した。
COMPARATIVE EXAMPLE 1 A 38 μm-thick biaxially stretched polyethylene terephthalate having a thickness of 3 mm, a solar cell element made of a 400 μm-thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet, and amorphous silicon was arranged in parallel. -Film, thickness 400μ
m-ethylene-vinyl acetate copolymer sheet and 50 μm thick white biaxially stretched polyethylene terephthalate
The solar cell module was manufactured by laminating a photo film with the solar cell element surface facing upward through an adhesive layer of an acrylic resin.

【0051】比較例2 厚さ3mmのガラス板、厚さ400μmのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからな
る太陽電池素子を並列に配置した厚さ38μmの2軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ400μ
mのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚
さ50μmの白色のポリフッ化ビニル樹脂シ−トを対向
させて、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アク
リル系樹脂の接着剤層を介して積層して、太陽電池モジ
ュ−ルを製造した。
Comparative Example 2 A 38 μm-thick biaxially stretched polyethylene terephthalate having a 3 mm-thick glass plate, 400 μm-thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet, and solar cell elements made of amorphous silicon arranged in parallel. -Film, thickness 400μ
m of an ethylene-vinyl acetate copolymer sheet and a 50 μm-thick white polyvinyl fluoride resin sheet are opposed to each other, and the solar cell element surface thereof faces upward. The solar cell module was manufactured by laminating through an adhesive layer.

【0052】実験例 上記の実施例1〜18で製造した本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−トと比較例1〜2にかかる
裏面保護シ−トについて、反射率を測定し、また、上記
の実施例1〜18で製造した太陽電池モジュ−ルと比較
例1〜2で製造した太陽電池モジュ−ルについて太陽電
池モジュ−ル評価試験を行った。 (1).反射率の測定 これは、基材フィルムを基準とし、実施例1〜18で製
造した本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トと比較例1〜2にかかる裏面保護シ−トについて、
分光光度計により波長550nmの光線に対する反射率
(%)を測定した。 (2).太陽電池モジュ−ル評価試験 これは、JIS規格C8917−1989に基づいて、
太陽電池モジュ−ルの環境試験を行い、試験前後の光起
電力の出力を測定して、比較評価した。 (3).水蒸気透過度と酸素透過度の測定 水蒸気透過度は、実施例1〜18で製造した本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと比較例1〜
2にかかる裏面保護シ−トについて、温度40℃、湿度
90%RHの条件で、米国、モコン(MOCON)社製
の測定機〔機種名、パ−マトラン(PERMATRA
N)〕にて測定し、更に、酸素透過度は、上記と同様の
対象物について、温度23℃、湿度90%RHの条件
で、米国、モコン(MOCON)社製の測定機〔機種
名、オクストラン(OXTRAN)〕にて測定した。 (4).積層強度の測定 これは、太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを15m
m巾に裁断し、引っ張り試験機〔エ−・アンド・デ−
(A&D)株式会社製 機種名 テンシロン)を用い
て、太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを構成する積
層体の剥離強度を測定した。上記の測定結果について下
記の表1に示す。
EXPERIMENTAL EXAMPLES The reflectances of the back protection sheets for solar cell modules according to the present invention manufactured in Examples 1 to 18 and the back protection sheets according to Comparative Examples 1 and 2 were measured. Further, a solar cell module evaluation test was performed on the solar cell modules manufactured in Examples 1 to 18 and the solar cell modules manufactured in Comparative Examples 1 and 2. (1). Measurement of reflectivity This is based on the base film, which is the back protection sheet for the solar cell module according to the present invention manufactured in Examples 1 to 18 and the back protection sheet according to Comparative Examples 1 and 2. about,
The reflectance (%) with respect to a light having a wavelength of 550 nm was measured with a spectrophotometer. (2). Solar cell module evaluation test This is based on JIS standard C8917-1989.
An environmental test of the solar cell module was performed, and the output of the photovoltaic power before and after the test was measured and compared and evaluated. (3). Measurement of Water Vapor Permeability and Oxygen Permeability The water vapor permeability was determined by comparing the back surface protection sheet for solar cell module according to the present invention manufactured in Examples 1 to 18 with the comparative example 1
2 under a condition of a temperature of 40 ° C. and a humidity of 90% RH under the conditions of a temperature of 40 ° C. and a humidity of 90% [model name, PERMATRA (PERMATRA)]
N)], and the oxygen permeability was measured using the same object as described above under the conditions of a temperature of 23 ° C. and a humidity of 90% RH. OXTRAN]. (4). Measurement of lamination strength This means that the back surface protection sheet for solar cell module is 15m
m width and a tensile tester [A & D
(A & D) Co., Ltd. (Model name: Tensilon) was used to measure the peel strength of the laminate constituting the back protective sheet for a solar cell module. The results of the above measurements are shown in Table 1 below.

【0053】 上記の表1において、反射率の単位は、〔%〕であり、
水蒸気バリア性の単位は、〔g/m2 /day・40℃
・100%RH〕であり、酸素バリア性の単位は、〔c
c/m2 /day・23℃・90%RH〕であり、出力
低下率の単位は、〔%〕であり、積層強度の単位は、
〔kg/15mm巾〕である。
[0053] In Table 1 above, the unit of the reflectance is [%],
The unit of the water vapor barrier property is [g / m 2 / day · 40 ° C.
100% RH], and the unit of the oxygen barrier property is [c
c / m 2 / day · 23 ° C. · 90% RH], the unit of the output reduction rate is [%], and the unit of the lamination strength is:
[Kg / 15 mm width].

【0054】上記の表1に示す測定結果より明らかなよ
うに、実施例1〜18にかかる太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トは、反射率が高く、また、水蒸気バリア
性、酸素バリア性、および、積層強度に優れていた。更
に、上記の実施例1〜18にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを用いた太陽電池モジュ−ルは、出力低下
率も低いものであった。これに対し、比較例1〜2にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トは、反射率は、高
いものの、水蒸気バリア性、酸素バリア性が低く、その
ために、それを用いて製造した太陽電池モジュ−ルは、
出力低下率が高い等の問題点があった。
As is clear from the measurement results shown in Table 1 above, the back protective sheets for solar cell modules according to Examples 1 to 18 have a high reflectance, a water vapor barrier property and an oxygen barrier property. Excellent in properties and lamination strength. Furthermore, the solar cell modules using the solar cell module protection sheets according to Examples 1 to 18 had a low output reduction rate. On the other hand, the solar cell module protection sheets according to Comparative Examples 1 and 2 have high reflectance but low water vapor barrier properties and low oxygen barrier properties. The battery module is
There were problems such as a high output reduction rate.

【0055】[0055]

【発明の効果】以上の説明で明らかなよう、本発明は、
耐候性基材の片面に、酸化珪素、あるいは、酸化アルミ
ニウム等のガラス質からなる透明な、かつ、水蒸気バリ
ア性、酸素バリア性等に優れた無機酸化物の蒸着膜を設
け、更に、該無機酸化物の蒸着膜の上に、インキ用ビヒ
クルを主成分とし、これに染料、顔料等の着色剤、その
他等を添加し、十分に混練してなるインキ組成物による
印刷層を設けて太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを
製造し、而して、該太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トを使用し、例えば、ガラス板等からなる通常の太陽電
池モジュ−ル用表面保護シ−ト、充填剤層、光起電力素
子としての太陽電池素子、充填剤層、および、上記の太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その印刷層の面
を対向させて順次に積層し、次いで、これらを一体的に
真空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法等を利用し
て太陽電池モジュ−ルを製造して、強度に優れ、更に、
耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹
性、耐薬品性、防汚性、その他等の諸特性に優れ、特
に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優れ、ま
た、光反射性、光拡散性、意匠性等についても著しく向
上させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑え、極めて
耐久性に富み、保護能力性に優れ、かつ、より低コスト
で安全な太陽電池モジュ−ルを安定的に製造し得ること
ができるというものである。
As is apparent from the above description, the present invention provides:
On one surface of the weather-resistant substrate, a silicon oxide, or a transparent glassy material such as aluminum oxide, and a vapor-deposited film of an inorganic oxide excellent in water vapor barrier properties, oxygen barrier properties, etc. are provided. On the oxide film, a printing layer of an ink composition comprising an ink vehicle as a main component, a coloring agent such as a dye and a pigment, and the like added thereto, and sufficiently kneaded to form a solar cell. A back surface protection sheet for a module is manufactured, and the back surface protection sheet for a solar cell module is manufactured.
For example, a surface protection sheet for a normal solar cell module made of a glass plate or the like, a filler layer, a solar cell element as a photovoltaic element, a filler layer, and the above solar cell A back surface protection sheet for a module is sequentially laminated with the printed layers facing each other, and then a solar cell is applied by using a lamination method or the like in which these are integrally vacuum-sucked and heated and pressed. By manufacturing modules, excellent strength, furthermore
Excellent in various properties such as weather resistance, heat resistance, water resistance, light resistance, wind pressure resistance, hail resistance, chemical resistance, antifouling property, etc., and especially excellent in moisture resistance to prevent intrusion of moisture, oxygen, etc. In addition, light reflectivity, light diffusion, design, etc. are significantly improved, and their long-term performance deterioration is minimized, and they are extremely durable, have excellent protection ability, and are manufactured at lower cost. That is, a safe solar cell module can be stably manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view schematically showing a layer configuration of an example of a back surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention.

【図2】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view schematically showing a layer configuration of an example of a back surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention.

【図3】無機酸化物の蒸着膜について、他の例の層構成
を示す概略を示す概略的断面図である。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view schematically showing a layer configuration of another example of a deposited film of an inorganic oxide.

【図4】無機酸化物の蒸着膜について、他の例の層構成
を示す概略を示す概略的断面図である。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view schematically illustrating a layer configuration of another example of a deposited film of an inorganic oxide.

【図5】図1に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−
ルついてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図で
ある。
FIG. 5 is a photovoltaic module manufactured by using the solar cell module back protection sheet according to the present invention shown in FIG.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view schematically showing a layer configuration of an example of the structure.

【図6】巻き取り式真空蒸着装置の一例を示す概略的構
成図である。
FIG. 6 is a schematic configuration diagram illustrating an example of a take-up type vacuum evaporation apparatus.

【図7】プラズマ化学蒸着装置の一例を示す概略的構成
図である。
FIG. 7 is a schematic configuration diagram illustrating an example of a plasma chemical vapor deposition apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

A 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト A1 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト 1 耐候性基材 2 無機酸化物の蒸着膜 2a 多層膜 2b 無機酸化物の蒸着膜 2c 無機酸化物の蒸着膜 2d 複合膜 3 印刷層 4 プライマ−層 T 太陽電池モジュ−ル 11 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト 12 充填剤層 13 太陽電池素子 14 充填剤層 15 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トA solar cell module - for the backside Le protective sheet - DOO A 1 solar cell module - for the backside Le protective sheet - DOO deposited film 2c inorganic oxide deposited film 2a multilayer film 2b inorganic oxide 1 weatherable substrate 2 inorganic oxide Deposition film 2d Composite film 3 Print layer 4 Primer layer T Solar cell module 11 Surface protection sheet for solar cell module 12 Filler layer 13 Solar cell element 14 Filler layer 15 Solar cell module Back protection sheet

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大川 晃次郎 東京都新宿区市谷加賀町一丁目1番1号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 續木 淳朗 東京都新宿区市谷加賀町一丁目1番1号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 高澤 和幸 東京都新宿区市谷加賀町一丁目1番1号 大日本印刷株式会社内 Fターム(参考) 5F051 BA17 BA18 EA18 GA03 GA11 JA04  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Kojiro Okawa 1-1-1, Ichigaya-Kagacho, Shinjuku-ku, Tokyo Inside Dai Nippon Printing Co., Ltd. No. 1-1, Dai Nippon Printing Co., Ltd. (72) Inventor Kazuyuki Takazawa 1-1-1, Ichigaya Kagacho, Shinjuku-ku, Tokyo F-term in Dai Nippon Printing Co., Ltd. 5F051 BA17 BA18 EA18 GA03 GA11 JA04

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 耐候性基材の片面に、無機酸化物の蒸着
膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜の上に、印刷層
を設けたことを特徴とする太陽電池モジュ−ル用裏面保
護シ−ト。
1. A solar cell module comprising: a weather-resistant substrate having an inorganic oxide vapor-deposited film provided on one surface thereof; and a printed layer provided on the inorganic oxide vapor-deposited film. Back protection sheet.
【請求項2】 耐候性基材が、フッ素系樹脂、環状ポリ
オレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系
樹脂、ポリカボネ−ト系樹脂、または、ポリ(メタ)ア
クリル系樹脂のフィルムないしシ−トからなることを特
徴とする上記の請求項1に記載する太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−ト。
2. A weather-resistant substrate made of a film or sheet of a fluororesin, a cyclic polyolefin resin, a polyester resin, a polyamide resin, a polycarbonate resin, or a poly (meth) acrylic resin. 2. The backside protection sheet for a solar cell module according to claim 1, wherein:
【請求項3】 無機酸化物の蒸着膜が、無機酸化物の蒸
着膜の1層若しくは2層以上の多層膜、または、異種の
無機酸化物の蒸着膜の2層以上の複合膜からなることを
特徴とする上記の請求項1〜2に記載する太陽電池モジ
ュ−ル用裏面保護シ−ト。
3. The method according to claim 1, wherein the inorganic oxide vapor-deposited film is a multilayer film of one or more inorganic oxide vapor-deposited films or a composite film of two or more different inorganic oxide vapor-deposited films. The back surface protection sheet for a solar cell module according to claim 1 or 2, characterized in that:
【請求項4】 無機酸化物の蒸着膜が、膜厚50Å以上
〜4000Å以下からなることを特徴とする上記の請求
項1〜3に記載する太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
ト。
4. The backside protection sheet for a solar cell module according to claim 1, wherein the inorganic oxide vapor-deposited film has a thickness of 50 to 4000 °.
G.
【請求項5】 印刷層が、インキ用ビヒクルを主成分と
するインキ用組成物による印刷層からなることを特徴と
する上記の請求項1〜4に記載する太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−ト。
5. The back protection sheet for a solar cell module according to claim 1, wherein the printing layer comprises a printing layer made of an ink composition containing an ink vehicle as a main component. -G.
【請求項6】 印刷層が、グラビア印刷方式による印刷
層からなることを特徴とする上記の請求項1〜5に記載
する太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
6. The back protection sheet for a solar cell module according to claim 1, wherein the printing layer is a printing layer formed by a gravure printing method.
【請求項7】 印刷層が、光反射性または光拡散性、お
よび、意匠性を有する印刷層からなることを特徴とする
上記の請求項1〜6に記載する太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−ト。
7. The backside protection for a solar cell module according to claim 1, wherein the printing layer comprises a printing layer having light reflectivity or light diffusivity and a design property. Sheet.
【請求項8】 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、
充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤
層、および、耐候性基材の片面に、無機酸化物の蒸着膜
を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜の上に、印刷層を
設けた構成からなる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トを、その印刷層の面を対向させて順次に積層し、これ
らを真空吸引して加熱圧着ラミネ−ション法等により一
体成形体としたことを特徴とする太陽電池モジュ−ル。
8. A surface protection sheet for a solar cell module,
Filler layer, a solar cell element as a photovoltaic element, a filler layer, and, on one side of the weather-resistant substrate, provided a deposited film of an inorganic oxide, further, on the deposited film of the inorganic oxide, Backside protection sheet for solar cell module having a structure provided with a printed layer
The solar cell module is characterized in that the solar cell module is formed by sequentially laminating the printed layers with their printed layers facing each other, and vacuum-suctioning them to form an integrally formed body by a heat-compression lamination method or the like.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2006332092A (en) * 2005-05-23 2006-12-07 Toppan Printing Co Ltd Sheet for sealing rear surface of solar cell
JP2006332091A (en) * 2005-05-23 2006-12-07 Toppan Printing Co Ltd Sheet for sealing rear surface of solar cell
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JP2011181732A (en) * 2010-03-02 2011-09-15 Lintec Corp Protective sheet for solar cell module
US9412960B2 (en) 2011-04-18 2016-08-09 The Regents Of The University Of Michigan Light trapping architecture for photovoltaic and photodector applications

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