JP4478250B2 - Protective sheet for solar cell module and solar cell module using the same - Google Patents

Protective sheet for solar cell module and solar cell module using the same Download PDF

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、太陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ルに関し、更に詳しくは、強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、耐突き刺し性、その他等の諸特性に優れ、極めて耐久性に富み、保護能力が高い太陽電池モジュ−ル用表面または裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、環境問題に対する意識の高まりから、クリ−ンなエネルギ−源としての太陽電池が注目され、現在、種々の形態からなる太陽電池モジュ−ルが開発され、提案されている。
一般に、上記の太陽電池モジュ−ルは、例えば、結晶シリコン太陽電池素子あるいはアモルファスシリコン太陽電池素子等を製造し、そのような太陽電池素子を使用し、表面保護シ−ト層、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、および、裏面保護シ−ト層等の順に積層し、真空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法等を利用して製造されている。
而して、上記の太陽電池モジュ−ルは、当初、電卓への適用を始めとし、その後、各種の電子機器等に応用され、民生用の利用として、その応用範囲は急速に広まりつつあり、更に、今後、最も重要な課題として、大規模集中型太陽電池発電の実現であるとされている。
ところで、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する保護シ−ト層としては、例えば、表面保護シ−ト層の場合は、現在、ガラス板等が、最も一般的に使用され、その他、近年、フッ素系樹脂シ−ト等の強度に優れた樹脂シ−トも注目され、その開発が、急速に進められている。
また、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護シ−ト層の場合は、現在、強度に優れた樹脂シ−ト等が、最も一般的に使用され、その他、金属板等も使用されている。
而して、一般に、太陽電池モジュ−ルを構成する保護シ−ト層としては、例えば、表面保護シ−ト層の場合は、太陽電池が、太陽光を吸収して光起電力することから、太陽光を透過する透過性に富むと共に強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、耐突き刺し性等の諸堅牢性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優れ、更に、表面硬度が高く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する防汚性に優れ、極めて耐久性に富み、その保護能力性が高いこと、その他等の条件を充足することが必要とされ、また、裏面保護シ−ト層の場合も、ほぼ、上記の表面保護シ−ト層の場合と同様な条件を充足することが必要とされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層として、現在、最も一般的に使用されているガラス板等は、太陽光の透過性に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐薬品性、耐突き刺し性等の諸堅牢性に優れ、また、防湿性にも優れ、更に、表面硬度が硬く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する防汚性に優れ、その保護能力性が高い等の利点を有するが、強度、可塑性、耐衝撃性、軽量性等に欠け、更に、その加工性、施工性等に劣り、かつ、低コスト化等に欠けるという問題点がある。
また、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層として、フッ素系樹脂等の強度に優れた樹脂シ−トを使用する場合には、ガラス板等と比較して、強度、可塑性、耐衝撃性、軽量性等に富むものではあるが、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐薬品性、耐突き刺し性等の諸堅牢性に劣り、特に、防湿性、防汚性等に欠けるという問題点がある。
更に、フッ素系樹脂シ−ト等の強度に優れた樹脂シ−トを使用する場合には、使用後廃棄時に環境を汚染するというおそれがあり、また、フッ素系樹脂シ−ト等の強度に優れた樹脂シ−トは、価格が高く、コスト高になるという問題点もある。
また、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護シ−ト層として、強度に優れた樹脂シ−ト等を使用する場合には、強度、可塑性、耐衝撃性、軽量性、低コスト化等に富むものではあるが、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐薬品性、耐突き刺し性等の諸堅牢性に劣り、特に、防湿性、防汚性等に欠けるという問題点がある。
そこで本発明は、強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、耐突き刺し性、その他等の諸特性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性を著しく向上させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑え、極めて耐久性に富み、保護能力性が高く、かつ、より低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを構成する保護シ−トを安定的に提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、太陽電池モジュ−ルを構成する保護シ−ト層について、上記のような問題点を解決すべく種々研究の結果、まず、ポリジシクロペンタジエン樹脂、または、ポリシクロペンタジエン樹脂のフィルムないしシ−トを基材シ−トとして使用し、その片面に、酸化珪素、あるいは、酸化アルミニウム等の透明な、ガラス質からなる無機酸化物の蒸着薄膜を設けて太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造し、而して、該太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを表面保護シ−ト層または裏面保護シ−ト層として使用し、例えば、該太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト層を、その無機酸化物の蒸着薄膜の面を内側にし、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、および、通常の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層等を順次に積層し、次いで、これらを一体的に真空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法等を利用して太陽電池モジュ−ルを製造したところ、太陽光の透過性に優れ、かつ、強度に優れ、更に、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、耐突き刺し性、その他等の諸特性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性を著しく向上させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑え、極めて耐久性に富み、保護能力が高く、かつ、より低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを安定的に製造し得ることを見出して本発明を完成したものである。
【０００５】
すなわち、本発明は、ポリジシクロペンタジエン樹脂、または、ポリシクロペンタジエン樹脂のフィルムないしシ−トの片面に、無機酸化物の蒸着薄膜を設けたことを特徴とする太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用した太陽電池モジュ−ルに関するものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
上記の本発明について以下に図面等を用いて更に詳しく説明する。
なお、本発明において、シ−トとは、シ−ト状物ないしフィルム状物のいずれの場合も意味するものであり、また、フィルムとは、フィルム状物ないしシ−トシ−ト状物のいずれの場合も意味するものである。
本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ルについてその層構成を図面等を用いて更に具体的に説明すると、図１、図２および図３は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トの層構成についてその二三例を例示する概略的断面図であり、図４、図５および図６は、図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルの層構成についてその二三例を例示する概略的断面図である。
【０００７】
まず、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡは、図１に示すように、環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−ト１の片面に、無機酸化物の蒸着薄膜２を設けた構成からなることを基本構造とするものである。
而して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トについて、別の例を例示すると、図２に示すように、環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−ト１の片面に、無機酸化物の蒸着薄膜２を少なくとも２層以上設けた多層膜３から構成してなる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡ1 を挙げることができる。
更に、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トについて、他の例を例示すると、図３に示すように、環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−ト１の片面に、まず、化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜２ａを設け、次いで、該無機酸化物の蒸着薄膜２ａの上に、物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜２ｂを設け、異種の無機酸化物の蒸着薄膜２ａ、２ｂの２層以上からなる複合膜４から構成してなる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡ2 を挙げることができる。
上記の例示は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トについてその二三例を例示するものであり、本発明は、これによって限定されるものではないことは勿論である。
例えば、上記の図３に示す太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡ2 においては、図示しないが、先に、物理気相成長法により無機酸化物の蒸着薄膜を設け、次に、化学気相成長法により無機酸化物の蒸着薄膜を設けてもよいものである。
【０００８】
次に、本発明において、上記の本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルについてその一例を例示すると、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを使用した例で説明すると、図４に示すように、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト１１として使用し、該太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト１１（Ａ）を、その無機酸化物の蒸着薄膜２の面を内側にし、順次に、充填剤層１２、光起電力素子としての太陽電池素子１３、充填剤層１４、および、通常の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層１５等を積層し、次いで、これらを一体として、真空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法等の通常の成形法を利用し、上記の各層を一体成形体として太陽電池モジュ−ルＴを製造することができる。
更に、本発明において、上記の本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルについて、他の一例を例示すると、上記と同様に、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを使用した例で説明すると、図５に示すように、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１６として使用し、まず、通常の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト１７、充填剤層１２、光起電力素子としての太陽電池素子１３、充填剤層１４、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１６（Ａ）を、その無機酸化物の蒸着薄膜２の面を対向させて順次に積層し、次いで、これらを一体として、真空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法等の通常の成形法を利用し、上記の各層を一体成形体として太陽電池モジュ−ルＴ1 を製造することができる。
また、本発明において、上記の本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルについて、別の一例を例示すると、上記と同様に、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを使用した例で説明すると、図６に示すように、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト１１として使用し、また、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１６として使用し、上記の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト１１（Ａ）を、その無機酸化物の蒸着薄膜２の面を内側にし、順次に、充填剤層１２、光起電力素子としての太陽電池素子１３、充填剤層１４、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１６（Ａ）を、その無機酸化物の蒸着薄２面を対向させて積層し、次いで、これらを一体として、真空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法等の通常の成形法を利用し、上記の各層を一体成形体として太陽電池モジュ−ルＴ2 を製造することができる。
上記の例示は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トおよびそれを使用して製造した太陽電池モジュ−ルについてその二三例を例示するものであり、本発明はこれにより限定されるものではない。
例えば、図示しないが、上記の図２、図３等に示す太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用し、上記と同様にして、種々の形態からなる太陽電池モジュ−ルを製造することができ、また、上記の太陽電池モジュ−ルにおいては、太陽光の吸収性、補強、その他等の目的のもとに、更に、他の層を任意に加えて積層することができるものである。
【０００９】
次に、本発明において、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ルを構成する材料、製造法等について更に詳しく説明すると、まず、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等を構成する環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トとしては、まず、それが太陽電池の最表面を構成する場合には、太陽電池は、太陽光を吸収して光起電力することから、太陽光を透過する透過性に優れている性質を有することが望ましいものである。
また、上記の環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トとしては、機械的あるいは化学的強度に優れ、具体的には、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、耐突き刺し性等の諸堅牢性に優れ、特に、耐候性に優れていると共に水分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優れ、また、表面硬度が高く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する防汚性に優れ、極めて耐久性に富み、その保護能力性が高いこと等の特性を有することが望ましいものである。
更に、上記の環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トとしては、後述する無機酸化物の蒸着薄膜を形成する条件等に耐え、その環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−ト、無機酸化物の蒸着薄膜等の特性を損なうことなく、かつ、それらが強固に密接着し、良好に保持し得ることができる基材であることが望ましいものである。
【００１０】
本発明において、環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トとしては、具体的には、例えば、シクロペンタジエンおよびその誘導体、ジシクロペンタジエンおよびその誘導体、シクロヘキサジエンおよびその誘導体、ノルボルナジエンおよびその誘導体、その他等の環状ジエンを重合させてなるポリマ−、あるいは、該環状ジエンとエチレン、プロピレン、４−メチル−１−ペンテン、スチレン、ブタジエン、イソプレン、その他等のオレフィン系モノマ−の１種ないしそれ以上とを共重合させてなるコポリマ−からなる透明な環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トを使用することができる。
なお、本発明においては、上記の透明な環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トの中でも、特に、シクロペンタジエンおよびその誘導体、ジシクロペンタジエンおよびその誘導体、または、ノルボルナジエンおよびその誘導体、等の環状ジエンからなるポリシクロペンタジエン、ポリジシクロペンタジエン、または、ポリノルボルナジエン等の構造含むポリマ−ないしコポリマ−からなる透明な環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トが、耐候性、耐水性等の特性に優れ、更に、透明性を有し、太陽光の透過性等の観点から好ましいものである。
而して、本発明において、上記のような環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トを採用することにより、該環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トが有する優れた特性、特に、機械的特性、光学特性等、更に、耐候性、耐熱性、耐水性、その他等の諸堅牢性、耐防湿性、耐汚染性、耐薬品性、耐突き刺し性等の特性を利用し、太陽電池を構成する保護シ−トとするものであり、これにより、従来のガラス板等と同等の光学特性、耐久性等を有し、また、そのフレキシブル性や機械的特性等からガラス板よりも軽く、かつ、加工性等に優れ、そのハンドリングし易い等の利点を有するものである。
更に、本発明において、上記のような環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トを使用することにより、使用後廃棄処理する際に、環境破壊ないし汚染等を発生するというおそれはないものである。
【００１１】
ところで、本発明において、上記の環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トとしては、例えば、上記の環状ポリオレフィン系樹脂の１種ないしそれ以上を使用し、押し出し法、キャスト成形法、Ｔダイ法、切削法、インフレ−ション法、その他等の製膜化法を用いて、上記の環状ポリオレフィン系樹脂を単独で製膜化する方法、あるいは、２種以上の環状ポリオレフィン系樹脂を使用して多層共押し出し製膜化する方法、更には、２種以上の環状ポリオレフィン系樹脂を使用し、製膜化する前に混合して製膜化する方法等により、環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トを製造し、更に、要すれば、例えば、テンタ−方式、あるいは、チュ−ブラ−方式等を利用して１軸ないし２軸方向に延伸加工してなる環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トを使用することができる。
本発明において、環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トの膜厚としては、１２〜３００μｍ位、好ましくは、２５〜２００μｍ位が望ましい。
また、本発明において、環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トとしては、可視光透過率が、９０％以上、好ましくは、９５％以上であって、入射する太陽光を全て透過し、これを吸収する性質を有することが望ましいものである。
【００１２】
なお、上記において、環状ポリオレフィン系樹脂の製膜化に際して、例えば、フィルムの加工性、耐熱性、耐候性、強度、機械的性質、寸法安定性、抗酸化性、滑り性、離形性、難燃性、抗カビ性、電気的特性、耐突き刺し性、その他等を改良、改質する目的で、種々のプラスチック配合剤や添加剤等を添加することができ、その添加量としては、極く微量から数十％まで、その目的に応じて、任意に添加することができる。
また、上記において、一般的な添加剤としては、例えば、滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、充填剤、強化剤、補強剤、強化繊維、帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、顔料、その他等を使用することができ、更には、改質用樹脂等も使用することがてきる。
本発明においては、上記の添加剤の中でも、特に、耐候性、強度、耐突き刺し性等を向上させるために、紫外線吸収剤、酸化防止剤、または、強化繊維の１種ないし２種以上を練れ込み加工してなる環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トを使用することが好ましいものである。
【００１３】
上記の紫外線吸収剤としては、太陽光中の有害な紫外線を吸収して、分子内で無害な熱エネルギ−へと変換し、高分子中の光劣化開始の活性種が励起されるのを防止するものであり、例えば、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾ−ル系、サルチレ−ト系、アクリルニトリル系、金属錯塩系、ヒンダ−ドアミン系、超微粒子酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．０６μｍ）あるいは超微粒子酸化亜鉛（０．０１〜０．０４μｍ）等の無機系等の紫外線吸収剤の１種ないしそれ以上を使用することができる。
また、上記の酸化防止剤としては、高分子の光劣化あるいは熱劣化等を防止するものであり、例えば、フェノ−ル系、アミン系、硫黄系、燐酸系、その他等の酸化防止剤を使用することができる。
更に、上記の紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤としては、例えば、ポリマ−を構成する主鎖または側鎖に、上記のベンゾフェノン系等の紫外線吸収剤あるいは上記のフェノ−ル系等の酸化防止剤を化学結合させてなるポリマ−型の紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤等も使用することができる。
また、上記の強化繊維としては、例えば、ガラス繊維、炭素繊維、アラミド繊維、ポリアミド繊維、ポリエステル繊維、天然繊維、その他等を使用することができ、それらは、短ないし長繊維の繊維状物、あるいは、それらの織布ないし不織布状物等の状態で使用することができる。
而して、本発明において、上記の紫外線吸収剤、酸化防止剤、または、強化繊維等の含有量としては、その粒子形状、密度、性状等によって異なるが、約０．１〜１０重量％位が好ましい。
【００１４】
また、本発明において、環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トの表面は、後述する無機酸化物の蒸着薄膜との密接着性等を向上させるために、必要に応じて、予め、所望の表面処理層を設けることができるものである。
本発明において、上記の表面処理層としては、例えば、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは窒素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロ−放電処理、化学薬品等を用いて処理する酸化処理、その他等の前処理を任意に施し、例えば、コロナ処理層、オゾン処理層、プラズマ処理層、酸化処理層、その他等を形成して設けることができる。
上記の表面前処理は、環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トと無機酸化物の蒸着薄膜との密接着性を改善するための方法として実施するものであるが、上記の密接着性を改善する方法として、その他、例えば、環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トの表面に、予め、プライマ−コ−ト剤層、アンダ−コ−ト剤層、アンカ−コ−ト剤層、接着剤層、あるいは、蒸着アンカ−コ−ト剤層等を任意に形成して、表面処理層とすることもできる。
上記の前処理のコ−ト剤層としては、例えば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエチレンアルイハポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セルロ−ス系樹脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使用することができる。
【００１５】
なお、上記の樹脂組成物中には、耐候性等を向上させるために、例えば、紫外線吸収剤および／または酸化防止剤等を添加することができる。
上記の紫外線吸収剤としては、前述の紫外線吸収剤の１種ないしそれ以上を同様に使用することができる。
また、上記の酸化防止剤としては、前述の酸化防止剤を同様に使用することができる。
上記の紫外線吸収剤および／または酸化防止剤の含有量としては、前述と同様に、その粒子形状、密度等によって異なるが、約０．１〜１０重量％位が好ましい。
また、上記において、コ−ト剤層の形成法としては、例えば、溶剤型、水性型、あるいは、エマルジョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他等のコ−ト法を用いてコ−トすることができ、そのコ−ト時期としては、樹脂のフィルムないしシ−トの製膜後、あるいは、２軸延伸処理後の後工程として、あるいは、製膜、あるいは、２軸延伸処理のインライン処理等で実施することができる。
【００１６】
また、本発明においては、環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トの片面に無機酸化物の蒸着薄膜を製膜化する際に、該環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トを蒸着条件等から保護し、例えば、その黄変、劣化ないし収縮、あるいは、フィルムないしシ−ト表層ないし内層等における凝集破壊等を抑制し、更に、その片面に、無機酸化物の蒸着薄膜が良好に製膜化され、かつ、その両者の密接着性等を向上させるために、予め、環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トの一方の面に、表面前処理層として、例えば、後述するプラズマ化学気相成長法、熱化学気相成長法、光化学気相成長法等の化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＣＶＤ法）、あるいは、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−ティング法等の物理気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＰＶＤ法）を用いて、無機酸化物の蒸着薄膜を形成することにより、耐蒸着保護膜を設けることができる。
なお、本発明において、上記の酸化珪素等からなる耐蒸着保護膜の膜厚としては、薄膜であり、更に、水蒸気ガス、酸素ガス等に対するバリア性を有しない非バリア性膜で十分であり、具体的には、膜厚１５０Å未満であることが望ましく、具体的には、その膜厚としては、１０〜１００Å位、好ましくは、２０〜８０Å位、更に、より好ましくは、３０〜６０Å位が望ましい。
而して、上記において、１５０Å以上、具体的には、１００Å、更に、８０Å、更には、６０Åより厚くなると、蒸着条件等が過酷になり、積層体が黄変ないし劣化し、更には、凝集破壊等を起こし、良好な耐蒸着保護膜を形成することが困難になり、また、その膜にクラック等が発生し易くなるので好ましくなく、また、１０Å、更に、３０Å、更には、６０Å未満であると、耐蒸着保護層としての機能を喪失し、その効果を奏することが困難になることから好ましくないものである。
【００１７】
また、本発明において、上記のような環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トにおいては、例えば、それが、太陽電池の最表面を構成する場合には、太陽光の光拡散効果あるいは反射防止効果等を奏するために、その表面にエンボス加工面を設けることができるものである。
上記のエンボス加工面としては、サブμｍから数百μｍの凹凸形状面でよく、その形状としては、ピラミッド型、Ｖ字型、格子模様型、その他等のいずれのものでもよいものである。
【００１８】
次に、本発明において、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等を構成する無機酸化物の蒸着薄膜について説明すると、かかる無機酸化物の蒸着薄膜としては、例えば、物理気相成長法、または、化学気相成長法、あるいは、その両者を併用して、無機酸化物の蒸着薄膜の１層あるいは２層以上からなる多層膜、あるいは、異種の無機酸化物の蒸着薄膜からなる複合膜等を形成して、製造することができるものである。
【００１９】
上記の物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜について更に詳しく説明すると、かかる物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜としては、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−ティング法等の物理気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＰＶＤ法）を用いて無機酸化物の蒸着薄膜を形成することができる。
本発明において、具体的には、金属の酸化物を原料とし、これを加熱して環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トの上に蒸着する真空蒸着法、または、原料として金属または金属の酸化物を使用し、酸素を導入して酸化させて環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トの上に蒸着する酸化反応蒸着法、更に酸化反応をプラズマで助成するプラズマ助成式の酸化反応蒸着法等を用いて蒸着膜を形成することができる。
【００２０】
本発明において、物理気相成長法による無機酸化物の薄膜薄膜を形成する方法について、その具体例を挙げると、図７は、巻き取り式真空蒸着装置の一例を示す概略的構成図である。
図７に示すように、巻き取り式真空蒸着装置２１を構成する真空チャンバ−２２の中で、巻き出しロ−ル２３から繰り出す環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−ト１は、ガイドロ−ル２４、２５を介して、冷却したコ−ティングドラム２６に案内される。
而して、上記の冷却したコ−ティングドラム２６上に案内された環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−ト１の上に、るつぼ２７で熱せられた蒸着源２８、例えば、金属アルミニウム、あるいは、酸化アルミニウム等を蒸発させ、更に、必要ならば、酸素ガス吹出口２９より酸素ガス等を噴出し、これを供給しながら、マスク３０、３０を介して、例えば、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着薄膜を成膜化し、次いで、上記において、例えば、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成した環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−ト１を、ガイドロ−ル２５′、２４′を介して送り出し、巻き取りロ−ル３１に巻き取ることによって、本発明にかかる物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を形成することができる。
なお、本発明においては、上記のような巻き取り式真空蒸着装置を用いて、まず、第１層の無機酸化物の蒸着薄膜を形成し、次いで、同様にして、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、更に、無機酸化物之蒸着薄膜を形成するか、あるいは、上記のような巻き取り式真空蒸着装置を用いて、これを２連に連接し、連続的に、無機酸化物の蒸着薄膜を形成することにより、２層以上の多層膜からなる無機酸化物の蒸着薄膜を形成することができる。
【００２１】
上記において、無機酸化物の蒸着薄膜としては、基本的に金属の酸化物を蒸着した薄膜であれば使用可能であり、例えば、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃａ）、カリウム（Ｋ）、スズ（Ｓｎ）、ナトリウム（Ｎａ）、ホウ素（Ｂ）、チタン（Ｔｉ）、鉛（Ｐｂ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、イットリウム（Ｙ）等の金属の酸化物の蒸着薄膜を使用することができる。
而して、好ましいものとしては、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ）等の金属の酸化物の蒸着薄膜を挙げることができる。
而して、上記の金属の酸化物の蒸着薄膜は、ケイ素酸化物、アルミニウム酸化物、マグネシウム酸化物等のように金属酸化物として呼ぶことができ、その表記は、例えば、ＳｉＯX 、ＡｌＯX 、ＭｇＯX 等のようにＭＯX （ただし、式中、Ｍは、金属元素を表し、Ｘの値は、金属元素によってそれぞれ範囲がことなる。）で表される。
また、上記のＸの値の範囲としては、ケイ素（Ｓｉ）は、０〜２、アルミニウム（Ａｌ）は、０〜１．５、マグネシウム（Ｍｇ）は、０〜１、カルシウム（Ｃａ）は、０〜１、カリウム（Ｋ）は、０〜０．５、スズ（Ｓｎ）は、０〜２、ナトリウム（Ｎａ）は、０〜０．５、ホウ素（Ｂ）は、０〜１、５、チタン（Ｔｉ）は、０〜２、鉛（Ｐｂ）は、０〜１、ジルコニウム（Ｚｒ）は０〜２、イットリウム（Ｙ）は、０〜１．５の範囲の値をとることができる。
上記において、Ｘ＝０の場合、完全な金属であり、透明ではなく全く使用することができない、また、Ｘの範囲の上限は、完全に酸化した値である。
本発明において、一般的に、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ）以外は、使用される例に乏しく、ケイ素（Ｓｉ）は、１．０〜２．０、アルミニウム（Ａｌ）は、０．５〜１．５の範囲の値のものを使用することができる。
本発明において、上記のような無機酸化物の薄膜の膜厚としては、使用する金属、または金属の酸化物の種類等によって異なるが、例えば、５０〜２０００Å位、好ましくは、１００〜１０００Å位の範囲内で任意に選択して形成することが望ましい。
また、本発明においては、無機酸化物の蒸着薄膜としては、使用する金属、または金属の酸化物としては、１種または２種以上の混合物で使用し、異種の材質で混合した無機酸化物の薄膜を構成することもできる。
【００２２】
次にまた、本発明において、上記の化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜について更に説明すると、かかる化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜としては、例えば、プラズマ化学気相成長法、熱化学気相成長法、光化学気相成長法等の化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＣＶＤ法）等を用いて無機酸化物の蒸着薄膜を形成することができる。
本発明においては、具体的には、環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トの一方の面に、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガスを原料とし、キャリヤ−ガスとして、アルゴンガス、ヘリウムガス等の不活性ガスを使用し、更に、酸素供給ガスとして、酸素ガス等を使用し、低温プラズマ発生装置等を利用する低温プラズマ化学気相成長法（ＣＶＤ法）を用いて酸化珪素等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成することができる。
上記において、低温プラズマ発生装置としては、例えば、高周波プラズマ、パルス波プラズマ、マイクロ波プラズマ等の発生装置を使用することがてき、而して、本発明においては、高活性の安定したプラズマを得るためには、高周波プラズマ方式による発生装置を使用することが望ましい。
【００２３】
具体的に、上記の低温プラズマ化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜の形成法についてその一例を例示して説明すると、図８は、上記のプラズマ化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜の形成法についてその概要を示す低温プラズマ化学気相成長装置の概略的構成図である。
上記の図８に示すように、本発明においては、プラズマ化学気相成長装置４１の真空チャンバ−４２内に配置された巻き出しロ−ル４３から環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−ト１を繰り出し、更に、該環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−ト１を、補助ロ−ル４４を介して所定の速度で冷却・電極ドラム４５周面上に搬送する。
而して、本発明においては、ガス供給装置４６、４７および、原料揮発供給装置４８等から酸素ガス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガス、その他等を供給し、それらからなる蒸着用混合ガス組成物を調整しなから原料供給ノズル４９を通して真空チャンバ−４２内に該蒸着用混合ガス組成物を導入し、そして、上記の冷却・電極ドラム４５周面上に搬送された環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−ト１の上に、グロ−放電プラズマ５０によってプラズマを発生させ、これを照射して、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成し、製膜化する。
本発明においては、その際に、冷却・電極ドラム４５は、チャンバ−外に配置されている電源５１から所定の電力が印加されており、また、冷却・電極ドラム４５の近傍には、マグネット５２を配置してプラズマの発生が促進されており、次いで、上記で酸化珪素等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成した環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−ト１は、補助ロ−ル５３を介して巻き取りロ−ル５４に巻き取って、本発明にかかるプラズマ化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を製造することができるものである。
なお、図中、５５は、真空ポンプを表す。
上記の例示は、その一例を例示するものであり、これによって本発明は限定されるものではないことは言うまでもないことである。
図示しないが、本発明においては、無機酸化物の蒸着薄膜としては、無機酸化物の蒸着薄膜の１層だけではなく、２層あるいはそれ以上を積層した積層体の状態でもよく、また、使用する材料も１種または２種以上の混合物で使用し、また、異種の材質で混合した無機酸化物の蒸着薄膜を構成することもできる。
また、本発明においては、上記のような低温プラズマ化学気相成長装置を用いて、まず、第１層の無機酸化物の蒸着薄膜を形成し、次いで、同様にして、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、更に、無機酸化物之蒸着薄膜を形成するか、あるいは、上記のような低温プラズマ化学気相成長装置を用いて、これを２連に連接し、連続的に、無機酸化物の蒸着薄膜を形成することにより、２層以上の多層膜からなる無機酸化物の蒸着薄膜を形成することができる。
【００２４】
上記において、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガスとしては、例えば、１．１．３．３−テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリメチルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチルジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その他等を使用することができる。
本発明において、上記のような有機珪素化合物の中でも、１．１．３．３−テトラメチルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキサンを原料として使用することが、その取り扱い性、形成された蒸着膜の特性等から、特に、好ましい原料である。
また、上記において、不活性ガスとしては、例えば、アルゴンガス、ヘリウムガス等を使用することができる。
【００２５】
本発明において、上記で形成される酸化珪素の蒸着薄膜は、有機珪素化合物等のモノマ−ガスと酸素ガス等とが化学反応し、その反応生成物が環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トの上に密接着し、緻密な、柔軟性等に富む薄膜を形成することができ、通常、一般式ＳｉＯX （ただし、Ｘは、０〜２の数を表す）で表される酸化珪素を主体とする連続状の蒸着薄膜である。
而して、上記の酸化珪素の蒸着薄膜としては、透明性、バリア性等の点から、一般式ＳｉＯX （ただし、Ｘは、１．３〜１．９の数を表す。）で表される酸化珪素の蒸着膜を主体とする薄膜であることが好ましいものである。
上記において、Ｘの値は、モノマ−ガスと酸素ガスのモル比、プラズマのエネルギ−等により変化するが、一般的に、Ｘの値が小さくなればガス透過度は小さくなるが、膜自身が黄色性を帯び、透明性が悪くなる。
また、上記の酸化珪素の蒸着薄膜は、珪素（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）を必須構成元素として有し、更に、炭素（Ｃ）と水素（Ｈ）のいずれが一方、または、その両者の元素を微量構成元素として含有する酸化珪素の蒸着膜からなり、かつ、その膜厚が、５０Å〜５００Åの範囲であり、更に、上記の必須構成元素と微量構成元素の構成比率が、膜厚方向において連続的に変化しているものである。
更に、上記の酸化珪素の蒸着薄膜は、炭素からなる化合物を含有する場合には、その膜厚の深さ方向において炭素の含有量が減少していることを特徴とするものである。
而して、本発明において、上記の酸化珪素の蒸着薄膜について、例えば、Ｘ線光電子分光装置（Ｘｒａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＸＰＳ）、二次イオン質量分析装置（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＳＩＭＳ）等の表面分析装置を用い、深さ方向にイオンエッチングする等して分析する方法を利用して、酸化珪素の蒸着薄膜の元素分析を行うことより、上記のような物性を確認することができるものである。
また、本発明において、上記の酸化珪素の蒸着薄膜の膜厚としては、膜厚５０Å〜２０００Å位であることが望ましく、具体的には、その膜厚としては、１００〜１０００Å位が望ましく、而して、上記において、１０００Å、更には、２０００Åより厚くなると、その膜にクラック等が発生し易くなるので好ましくなく、また、１００Å、更には、５０Å未満であると、バリア性の効果を奏することが困難になることから好ましくないものである。
上記のおいて、その膜厚は、例えば、株式会社理学製の蛍光Ｘ線分析装置（機種名、ＲＩＸ２０００型）を用いて、ファンダメンタルパラメ−タ−法で測定することができる。
また、上記において、上記の酸化珪素の蒸着薄膜の膜厚を変更する手段としては、蒸着膜の体積速度を大きくすること、すなわち、モノマ−ガスと酸素ガス量を多くする方法や蒸着する速度を遅くする方法等によって行うことができる。
【００２６】
ところで、本発明において、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等を構成する無機酸化物の蒸着薄膜として、例えば、物理気相成長法と化学気相成長法の両者を併用して異種の無機酸化物の蒸着薄膜の２層以上からなる複合膜を形成して使用することもできる。
而して、上記の異種の無機酸化物の蒸着薄膜の２層以上からなる複合膜を形成する場合には、まず、環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トの上に、化学気相成長法により、緻密で、柔軟性に富み、比較的にクラックの発生を防止し得る無機酸化物の蒸着薄膜を設け、次いで、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を設けて、２層以上の複合膜からなる無機酸化物の蒸着薄膜を構成することが望ましいものである。
勿論、本発明においては、上記とは逆くに、環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トの上に、先に、物理気相成長法により、無機酸化物の蒸着薄膜を設け、次に、化学気相成長法により、緻密で、柔軟性に富み、比較的にクラックの発生を防止し得る無機酸化物の蒸着薄膜を設けて、２層以上からなる複合膜からなる無機酸化物の蒸着薄膜を構成することもできるものである。
【００２７】
次に、本発明において、太陽電池モジュ−ルを構成する通常の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トについて説明すると、かかる表面保護シ−トとしては、太陽光の透過性、絶縁性等を有し、更に、耐候性、耐熱性、耐光性、耐水性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、その他等の諸特性を有し、物理的あるいは化学的強度性、強靱性等に優れ、極めて耐久性に富み、更に、光起電力素子としての太陽電池素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れていることが必要である。
上記の表面保護シ−トとしては、具体的には、例えば、公知のガラス板等は勿論のこと、更に、例えば、フッ素系樹脂、ポリアミド系樹脂（各種のナイロン）、ポリエステル系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、アセタ−ル系樹脂、セルロ−ス系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使用することができる。
上記の樹脂のフィルムないしシ−トとしては、例えば、２軸延伸した樹脂のフィルムないしシ−トも使用することができる。
また、上記の樹脂のフィルムないしシ−トにおいて、その膜厚としては、１２〜２００μｍ位、より好ましくは、２５〜１５０μｍ位が望ましい。
【００２８】
次に、本発明において、太陽電池モジュ−ルを構成する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤層について説明すると、かかる充填剤層としては、太陽光が入射し、これを透過して吸収することから透明性を有することが必要であり、また、表面保護シ−トとの接着性を有することも必要であり、更に、光起電力素子としての太陽電池素子の表面の平滑性を保持する機能を果たすために熱可塑性を有すること、更には、光起電力素子としての太陽電池素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れていることが必要である。
具体的には、上記の充填剤層としては、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、または、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した酸変性ポリオレンフィン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−ル樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、その他等の樹脂の１種ないし２種以上の混合物を使用することができる。
なお、本発明においては、上記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐光性、耐水性等の耐候性等を向上させるために、その透明性を損なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等の添加剤を任意に添加し、混合することができるものである。
而して、本発明においては、太陽光の入射側の充填剤としては、耐光性、耐熱性、耐水性等の耐候性を考慮すると、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、シリコ−ン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂が望ましい素材である。
なお、上記の充填剤層の厚さとしては、２００〜１０００μｍ位、好ましくは、３５０〜６００μｍ位が望ましい。
【００２９】
次に、本発明において、太陽電池モジュ−ルを構成する光起電力素子としての太陽電池素子について説明すると、かかる太陽電池素子としては、従来公知のもの、例えば、単結晶シリコン型太陽電池素子、多結晶シリコン型太陽電池素子等の結晶シリコン太陽電子素子、シングル接合型あるいはタンデム構造型等からなるアモルファスシリコン太陽電池素子、ガリウムヒ素（ＧａＡｓ）やインジウム燐（ＩｎＰ）等のIII −V 族化合物半導体太陽電子素子、カドミウムテルル（ＣｄＴｅ）や銅インジウムセレナイド（ＣｕＩｎＳｅ2 ）等のII−VI族化合物半導体太陽電子素子、その他等を使用することができる。
更に、薄膜多結晶性シリコン太陽電池素子、薄膜微結晶性シリコン太陽電池素子、薄膜結晶シリコン太陽電池素子とアモルファスシリコン太陽電池素子とのハイブリット素子等も使用することができる。
而して、本発明において、太陽電池素子は、例えば、ガラス基板、プラスチック基板、金属基板、その他等の基板の上に、ｐｎ接合構造等の結晶シリコン、ｐ−ｉ−ｎ接合構造等のアモルファスシリコン、化合物半導体等の起電力部分が形成されて太陽電池素子を構成するものである。
【００３０】
次に、本発明において、太陽電池モジュ−ルを構成する光起電力素子の下に積層する充填剤層について説明すると、かかる充填剤層としては、上記の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤層と同様に、裏面保護シ−トとの接着性を有することも必要であり、更に、光起電力素子としての太陽電池素子の裏面の平滑性を保持する機能を果たすために熱可塑性を有すること、更には、光起電力素子としての太陽電池素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れていることが必要である。
しかし、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する光起電力素子の下に積層する充填剤層としては、上記の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤層と異なり、必ずも、透明性を有することを必要としないものである。
具体的には、上記の充填剤層としては、前述の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤層と同様に、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、または、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した酸変性ポリオレンフィン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−ル樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、その他等の樹脂の１種ないし２種以上の混合物を使用することができる。
なお、本発明においては、上記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐光性、耐水性等の耐候性等を向上させるために、その透明性を損なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等の添加剤を任意に添加し、混合することができるものである。
なお、上記の充填剤層の厚さとしては、２００〜１０００μｍ位、より好ましくは、３５０〜６００μｍ位が望ましい。
【００３１】
次に、本発明において、太陽電池モジュ−ルを構成する通常の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層について説明すると、かかる裏面保護シ−トとしては、絶縁性の樹脂のフィルムないしシ−トを使用することができ、更に、耐熱性、耐光性、耐水性等の耐候性を有し、物理的あるいは化学的強度性、強靱性等に優れ、更に、光起電力素子としての太陽電池素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れていることが必要である。
上記の裏面保護シ−トとしては、具体的には、例えば、ポリアミド系樹脂（各種のナイロン）、ポリエステル系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、アセタ−ル系樹脂、セルロ−ス系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使用することができる。
上記の樹脂のフィルムないしシ−トとしては、例えば、２軸延伸した樹脂のフィルムないしシ−トも使用することができる。
また、上記の樹脂のフィルムないしシ−トにおいて、その膜厚としては、１２〜２００μｍ位、より好ましくは、２５〜１５０μｍ位が望ましい。
【００３２】
なお、本発明において、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造する際しては、その強度、耐候性、耐スクラッチ性、その他等の諸堅牢性を向上させるために、その他の素材、例えば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低密度ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、メチルペンテンポリマ−、ポリブテン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリアクリルニトリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ系樹脂）、アクリロニトリル−ブタジェン−スチレン共重合体（ＡＢＳ系樹脂）、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体のケン化物、フッ素系樹脂、ジエン系樹脂、ポリアセタ−ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ニトロセルロ−ス、その他等の公知の樹脂のフィルムないしシ−トから任意に選択して使用することができる。
本発明において、上記のフィルムないしシ−トは、未延伸、一軸ないし二軸方向に延伸されたもの等のいずれのものでも使用することができる。
また、その厚さは、任意であるが、数μｍから３００μｍ位の範囲から選択して使用することができる。
更に、本発明においては、フィルムないしシ−トとしては、押し出し成膜、インフレ−ション成膜、コ−ティング膜等のいずれの性状の膜でもよい。
【００３３】
次に、本発明において、上記のような材料を使用して太陽電池モジュ−ルを製造する方法について説明すると、かかる製造法としては、公知の方法、例えば、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面または裏面保護シ−トとして使用し、これに、その無機酸化物の蒸着薄膜の面を内側にし、順次に、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、および、太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層等を積層し、更に、必要ならば、各層間に、その他の素材を任意に積層し、次いで、これらを、真空吸引等により一体化して加熱圧着するラミネ−ション法等の通常の成形法を利用し、上記の各層を一体成形体として加熱圧着成形して、太陽電池モジュ−ルを製造することができる。
上記において、必要ならば、各層間の接着性等を高めるために、（メタ）アクリル系樹脂、オレフィン系樹脂、ビニル系樹脂、その他等の樹脂をビヒクルの主成分とする加熱溶融型接着剤、溶剤型接着剤、光硬化型接着剤、その他等を使用することができる。
【００３４】
また、上記の積層において、各積層対向面には、密接着性を向上させるために、必要に応じて、例えば、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは窒素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロ−放電処理、化学薬品等を用いて処理する酸化処理、その他等の前処理を任意に施すことができる。
更に、上記の積層においては、各積層対向面に、予め、プライマ−コ−ト剤層、アンダ−コ−ト剤層、接着剤層、あるいは、アンカ−コ−ト剤層等を任意に形成して、表面前処理を行うこともできる。
上記の前処理のコ−ト剤層としては、例えば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエチレンアルイハポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セルロ−ス系樹脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使用することができる。
また、上記において、コ−ト剤層の形成法としては、例えば、溶剤型、水性型、あるいは、エマルジョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他等のコ−ト法を用いてコ−トすることができる。
【００３５】
更にまた、本発明においては、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トまたは太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、その太陽電池モジュ−ル用表面または裏面保護シ−トの無機酸化物の蒸着薄膜の面に、上記の充填剤層を積層して、予め、太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トまたは太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと充填剤層とが積層した積層体を製造し、しかる後、その充填剤層間に、光起電力素子としての太陽電池素子を積層して、更に、必要ならば、その他の素材を任意に積層し、次いで、それらを真空吸引等により一体化して加熱圧着するラミネ−ション法等の通常の成形法を利用し、上記の各層を一体成形体として加熱圧着成形して、太陽電池モジュ−ルを製造することができる。
なお、上記の積層に際しては、太陽電池モジュ−ルの強度、耐突き刺し性等を向上させるために、前述の強化繊維、具体的には、例えば、ガラス繊維、炭素繊維、アラミド繊維、ポリアミド繊維、ポリエステル繊維、天然繊維、その他等を使用し、それらを、短ないし長繊維の繊維状物、あるいは、それらの織布ないし不織布状物等の状態で強化繊維層を介在させて、積層することができる。
あるいは、上記の強化繊維、具体的には、例えば、ガラス繊維、炭素繊維、アラミド繊維、ポリアミド繊維、ポリエステル繊維、天然繊維、その他等を使用し、それらの短ないし長繊維の繊維状物、あるいは、それらの織布ないし不織布状物等と、前述の充填剤層を構成する、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、または、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した酸変性ポリオレンフィン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−ル樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、その他等の樹脂とを混合し、練り込み加工して製造した樹脂のフィルムないしシ−ト状物等からなる強化繊維層を介在させて、積層することもできるものである。
【００３６】
【実施例】
次に、本発明について実施例を挙げて更に具体的に説明する。
実施例１
（１）．基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、これを巻き取り式真空蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、これをコ−ティングドラムの上に繰り出して、下記の条件で、アルミニウムを蒸着源に用い、酸素ガスを供給しながら、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸着法により、上記のポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トの易接着処理面に、膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成した。
（蒸着条件）
蒸着源：アルミニウム
真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０-6ｍｂａｒ
蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０-6ｍｂａｒ
ＥＢ出力：４０ＫＷ
フィルム搬送速度：６００ｍ／分
（２）．次に、上記で膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成した後、その蒸着直後に、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜面に、グロ−放電プラズマ発生装置を使用し、プラズマ出力、１５００Ｗ、酸素ガス（Ｏ2 ）：アルゴンガス（Ａｒ）＝１９：１からなる混合ガスを使用し、混合ガス圧６Ｘ１０-5Ｔｏｏｒ、処理速度４２０ｍ／ｍｉｎで酸素／アルゴン混合ガスプラズマ処理を行って、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。
（３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして使用し、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（４）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００３７】
実施例２
（１）．基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、これをプラズマ化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条件で厚さ５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を上記のポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トの易接着処理面に形成した。
（蒸着条件）
反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ）
真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０-6ｍｂａｒ
蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０-2ｍｂａｒ
冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ
フィルムの搬送速度：８０ｍ／分
蒸着面：コロナ処理面
（２）．次に、上記で膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成した後、その蒸着直後に、その酸化珪素の蒸着薄膜面に、出力、１０ｋＷ、処理速度１００ｍ／ｍｉｎでコロナ放電処理を行って、蒸着薄膜面の表面張力を３５ｄｙｎｅより６０ｄｙｎｅに向上させて、本発明にかかる太陽電池ゼジュ−ル用保護シ−トを製造した。
（３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして使用し、その酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（４）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００３８】
実施例３
（１）．基材として、紫外線吸収剤を練り込んだ厚さ３００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、これをプラズマ化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条件で厚さ５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を上記のポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トの易接着処理面形成した。
（蒸着条件）
反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ）
真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０-6ｍｂａｒ
蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０-2ｍｂａｒ
冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ
フィルムの搬送速度：８０ｍ／分
蒸着面：コロナ処理面
次に、上記で膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成した後、その蒸着直後に、その酸化珪素の蒸着薄膜面に、出力、１０ｋＷ、処理速度１００ｍ／ｍｉｎでコロナ放電処理を行って、蒸着薄膜面の表面張力を３５ｄｙｎｅより６０ｄｙｎｅに向上させた。
（２）．次に、上記でコロナ処理を行った酸化珪素の蒸着薄膜を形成したポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、これを巻き取り式真空蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、これをコ−ティングドラムの上に繰り出して、下記の条件で、アルミニウムを蒸着源に用い、酸素ガスを供給しながら、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸着法により、上記のポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トの酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面に、膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成した。
（蒸着条件）
蒸着源：アルミニウム
真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０-6ｍｂａｒ
蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０-6ｍｂａｒ
ＥＢ出力：４０ＫＷ
フィルム搬送速度：６００ｍ／分
次に、上記で膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成した後、その蒸着直後に、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜面に、グロ−放電プラズマ発生装置を使用し、プラズマ出力、１５００Ｗ、酸素ガス（Ｏ2 ）：アルゴンガス（Ａｒ）＝１９：１からなる混合ガスを使用し、混合ガス圧６Ｘ１０-5Ｔｏｏｒ、処理速度４２０ｍ／ｍｉｎで酸素／アルゴン混合ガスプラズマ処理を行って、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。
（３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして使用し、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（４）．なお、上記において、上記の基材としての紫外線吸収剤を練り込んだ厚さ３００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、紫外線吸収剤を練り込み加工した厚さ３００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００３９】
実施例４
（１）．基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記の実施例１と同様にして、その易接着処理面に、膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成し、更に、プラズマ処理面を形成した。
更に、上記の実施例１と同様にして、上記で形成した膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、同様に、膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成し、更に、プラズマ処理面を形成して、２層の酸化アルミニウムの蒸着薄膜からなる本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。
（２）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして使用し、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（３）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００４０】
実施例５
（１）．基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記の実施例２と同様にして、その易接着処理面に、膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成し、更に、コロナ処理面を形成した。
更に、上記の実施例２と同様にして、上記で形成した膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面に、同様に、膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成し、更に、コロナ処理面を形成して、２層の酸化珪素の蒸着薄膜からなる本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。
（２）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして使用し、その酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（３）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００４１】
実施例６
（１）．上記の実施例１で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、その太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００４２】
実施例７
（１）．上記の実施例２で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、その太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００４３】
実施例８
（１）．上記の実施例３で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、その太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（２）．なお、上記において、上記の基材としての紫外線吸収剤を練り込んだ厚さ３００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、紫外線吸収剤を練り込み加工した厚さ３００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００４４】
実施例９
（１）．上記の実施例４で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、その太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００４５】
実施例１０
（１）．上記の実施例５で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、その太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その酸化珪素の蒸着薄膜面のコロナ処理面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００４６】
実施例１１
（１）．上記の実施例１で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、まず、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００４７】
実施例１２
（１）．上記の実施例２で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００４８】
実施例１３
（１）．上記の実施例３で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００４９】
実施例１４
（１）．超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工した厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トとを使用し、これをプラズマ化学蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条件で膜厚５０Åの酸化珪素の蒸着薄膜をそのポリジシクロペロペンタジエン樹脂シ−トの面に形成して、耐蒸着保護膜を設けた。
（蒸着条件）
反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガス：ヘリウム＝５：５：５（単位：ｓｌｍ）
真空チャンバ−内の真空度：７．０×１０-6ｍｂａｒ
蒸着チャンバ−内の真空度：３．８×１０-2ｍｂａｒ
冷却・電極ドラム供給電力：１５ｋＷ
シ−トの搬送速度：１００ｍ／分
（２）．次に、上記で耐蒸着保護膜を設けたポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と同様に、これをプラズマ化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条件で厚さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜を上記の耐蒸着保護膜面に形成した。
（蒸着条件）
反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ）
真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０-6ｍｂａｒ
蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０-2ｍｂａｒ
冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ
フィルムの搬送速度：８０ｍ／分
次に、上記で膜厚８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、出力、１０ｋＷ、処理速度１００ｍ／ｍｉｎでコロナ放電処理を行って、蒸着膜面の表面張力を３５ｄｙｎｅより６０ｄｙｎｅに向上させたコロナ処理面を形成して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。
（３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして使用し、その酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（４）．なお、上記において、上記の超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工した厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様に本発明にかかる保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００５０】
実施例１５
（１）．上記の実施例１４で製造した耐蒸着保護膜を設けたポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、これを巻き取り式真空蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、これをコ−ティングドラムの上に繰り出して、下記の条件で、アルミニウムを蒸着源に用い、酸素ガスを供給しながら、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸着法により、上記の耐蒸着保護膜面に、膜厚８００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜を形成した。
（蒸着条件）
蒸着源：アルミニウム
真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０-6ｍｂａｒ
蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０-6ｍｂａｒ
ＥＢ出力：４０ＫＷ
フィルム搬送速度：６００ｍ／分
次に、上記で膜厚８００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜を形成した直後に、その酸化アルミニウムの蒸着膜面に、グロ−放電プラズマ発生装置を使用し、プラズマ出力、１５００Ｗ、酸素ガス（Ｏ2 ）：アルゴンガス（Ａｒ）＝１９：１からなる混合ガスを使用し、混合ガス圧６Ｘ１０-5Ｔｏｏｒ、処理速度４２０ｍ／ｍｉｎで酸素／アルゴン混合ガスプラズマ処理を行ってプラズマ処理面を形成して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。
（２）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして使用し、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面に、予め、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トをアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層した。
次に、上記で積層したエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト面に、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて順次に重ね合わせ、しかる後、各層間をアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（３）．なお、上記において、上記の超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工した厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様に本発明にかかる保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００５１】
実施例１６
（１）．超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工した厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、まず、該ポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トの片面に、エンボスロ−ルを用いてピラミッド型の１μｍのエンボス加工面を形成した。
次に、上記でエンボス加工面を形成したポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、これを巻き取り式真空蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、コ−ティングドラムの上に繰り出して、下記の条件で、アルミニウムを蒸着源に用い、酸素ガスを供給しながら、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸着法により、上記のポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トの非エンボス加工面に、膜厚５０Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成して、耐蒸着保護膜を設けた。
（蒸着条件）
蒸着源：アルミニウム
真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０-6ｍｂａｒ
蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０-6ｍｂａｒ
ＥＢ出力：２０ＫＷ
フィルム搬送速度：５００ｍ／分
（２）．次に、上記で耐蒸着保護膜を設けたポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、以下、上記の実施例１と同様にして、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸着法により、膜厚８００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜を上記の耐蒸着保護膜の上に形成し、更に、酸化アルミニウムの蒸着膜面に、プラズマ処理を行ってプラズマ処理面を形成して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。
（３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして使用し、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて重ね合わせ、その層間をアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（４）．なお、上記において、上記の超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工し、更に、エンボス加工した厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工し、更に、エンボス加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様に本発明にかかる保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００５２】
実施例１７
（１）．上記の実施例１４で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、その太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（２）．なお、上記において、上記の超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工した厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様に本発明にかかる保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００５３】
実施例１８
（１）．上記の実施例１５で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、まず、その太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、予め、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トをアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層した。
他方、上記と同様に、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、予め、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トをアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層した。
次に、上記で積層した両エチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トの層間に、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、その層間をアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（２）．なお、上記において、上記の超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工した厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様に本発明にかかる保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００５４】
実施例１９
（１）．上記の実施例１６で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、その太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（２）．なお、上記において、上記の超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工し、更に、エンボス加工した厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工し、更に、エンボス加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様に本発明にかかる保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００５５】
実施例２０
（１）．上記の実施例１４で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、まず、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（２）．なお、上記において、上記の超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工した厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様に本発明にかかる保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００５６】
実施例２１
（１）．上記の実施例１５で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（２）．なお、上記において、上記の超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工した厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様に本発明にかかる保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００５７】
実施例２２
（１）．上記の実施例１５で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。
（２）．なお、上記において、上記の超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工し、更に、エンボス加工した厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガラス繊維とを練り込み加工し、更に、エンボス加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様にして、同様に本発明にかかる保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００５８】
比較例１
基材として、厚さ３ｍｍのガラス板を太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして使用し、その一方の面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、太陽電池モジュ−ルを製造した。
【００５９】
比較例２
基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）を太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして使用し、その一方の面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、太陽電池モジュ−ルを製造した。
【００６０】
比較例３
基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）を太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、その一方の厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）の面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、他方の厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）を、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、太陽電池モジュ−ルを製造した。
【００６１】
実験例
上記の実施例１〜２２で製造した本発明にかかる保護シ−トと比較例１〜３にかかる保護シ−トについて、全光線透過率を測定し、また、上記の実施例１〜２２で製造した太陽電池モジュ−ルと比較例１〜３で製造した太陽電池モジュ−ルについて太陽電池モジュ−ル評価試験を行った。
（１）．全光線透過率の測定
これは、基材フィルムを基準とし、実施例１〜２２で製造した本発明にかかる保護シ−トと比較例１〜３にかかる保護シ−トについてカラ−コンピュ−タ−により全光線透過率（％）を測定した。
（２）．太陽電池モジュ−ル評価試験
これは、ＪＩＳ規格Ｃ８９１７−１９８９に基づいて、太陽電池モジュ−ルの環境試験を行い、試験前後の光起電力の出力を測定して、比較評価した。
（３）．水蒸気透過度と酸素透過度の測定
水蒸気透過度は、実施例１〜１３で製造した本発明にかかる保護シ−トと比較例１にかかる保護シ−トについて、温度４０℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、パ−マトラン（ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ）〕にて測定し、更に、酸素透過度は、上記と同様の対象物について、温度２３℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、オクストラン（ＯＸＴＲＡＮ）〕にて測定した。
上記の測定結果について下記の表１に示す。
【００６２】
（表１）

Figure 0004478250
Figure 0004478250
上記の表１において、全光線透過率の単位は、〔％〕であり、水蒸気バリア性の単位は、〔ｇ／ｍ2 ／ｄａｙ・４０℃・１００％ＲＨ〕であり、酸素バリア性の単位は、〔ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ・２３℃・９０％ＲＨ〕であり、出力低下率の単位は、〔％〕である。
【００６３】
上記の表１に示す測定結果より明らかなように、実施例１〜２２にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トは、全光線透過率が高く、また、水蒸気バリア性、酸素バリア性に優れていた。
また、上記の実施例１〜２２にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを用いた太陽電池モジュ−ルは、出力低下率も低いものであった。
これに対し、比較例１〜３にかかる表面保護シ−トは、全光線透過率は、高いものの、水蒸気バリア性、酸素バリア性が低く、そのために、それを用いた太陽電池モジュ−ルは、出力低下率が高い等の問題点があった。
【００６４】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなよう、本発明は、まず、ポリジシクロペンタジエン樹脂、または、ポリシクロペンタジエン樹脂のフィルムないしシ−トを基材シ−トとして使用し、その片面に、酸化珪素、あるいは、酸化アルミニウム等の透明な、ガラス質からなる無機酸化物の蒸着薄膜を設けて太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造し、而して、該太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを表面保護シ−ト層または裏面保護シ−ト層とし、例えば、該表面保護シ−ト層の無機酸化物の蒸着薄膜の面を内側にし、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、および、太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層等を順次に積層し、次いで、これらを一体的に真空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法等を利用して太陽電池モジュ−ルを製造して、太陽光の透過性に優れ、かつ、強度に優れ、更に、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、耐突き刺し性、その他等の諸特性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性を著しく向上させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑え、極めて耐久性に富み、保護能力が高く、かつ、より低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを安定的に製造し得ることができるというものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図である。
【図２】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図である。
【図３】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図である。
【図４】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルついてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図である。
【図５】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルついてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図である。
【図６】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルついてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図である。
【図７】物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を形成する方法についてその概要を示す巻き取り式真空蒸着装置の概略的構成図である。
【図８】化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を形成する方法についてその概要を示す低温プラズマ化学気相成長装置の概略的構成図である。
【符号の説明】
Ａ 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト
Ａ1 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト
Ａ2 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト
１ 環状ポリオレフィン系樹脂シ−ト
２ 無機酸化物の蒸着薄膜
２ａ 無機酸化物の蒸着薄膜
２ｂ 無機酸化物の蒸着薄膜
３ 多層膜
４ 複合膜
Ｔ 太陽電池モジュ−ル
Ｔ1 太陽電池モジュ−ル
Ｔ2 太陽電池モジュ−ル
１１ 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト
１２ 充填剤層
１３ 太陽電池素子
１４ 充填剤層
１５ 通常の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト
１６ 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト
１７ 通常の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a protective sheet for a solar cell module and a solar cell module using the same, and more specifically, it has excellent strength, weather resistance, heat resistance, water resistance, light resistance, and wind pressure resistance. , Surface protection or back surface protection for solar cell modules with excellent durability, high durability, chemical resistance, moisture resistance, antifouling properties, puncture resistance, etc. And a solar cell module using the same.
[0002]
[Prior art]
In recent years, solar cells as clean energy sources have attracted attention due to increasing awareness of environmental problems, and solar cell modules of various forms have been developed and proposed at present.
In general, the solar cell module described above is, for example, manufacturing a crystalline silicon solar cell element or an amorphous silicon solar cell element, and using such a solar cell element, a surface protective sheet layer, a filler layer, A solar cell element as a photovoltaic element, a filler layer, a back surface protection sheet layer, and the like are laminated in this order, and are manufactured by using a lamination method or the like in which vacuum suction is performed and thermocompression bonding is performed.
Thus, the above solar cell module is initially applied to a calculator, and then applied to various electronic devices and the like, and its application range is rapidly expanding as a consumer use. Furthermore, in the future, the most important issue will be the realization of large-scale concentrated solar cell power generation.
By the way, as a protective sheet layer constituting the solar cell module, for example, in the case of a surface protective sheet layer, a glass plate or the like is currently most commonly used. Resin sheets with excellent strength, such as fluorine resin sheets, have attracted attention, and their development is rapidly progressing.
In addition, in the case of the back surface protection sheet layer constituting the above solar cell module, at present, a resin sheet having excellent strength is most commonly used, and in addition, a metal plate or the like is also used. ing.
Thus, in general, as the protective sheet layer constituting the solar cell module, for example, in the case of the surface protective sheet layer, the solar cell absorbs sunlight and generates photovoltaic power. , Rich in light transmission through sunlight and excellent in strength, and excellent in weather resistance, heat resistance, water resistance, light resistance, wind pressure resistance, yield resistance, chemical resistance, puncture resistance and other robustness In particular, it has excellent moisture resistance to prevent intrusion of moisture, oxygen, etc., and also has high surface hardness, excellent antifouling property to prevent the accumulation of dirt, dust, etc. on the surface, and is extremely durable. It is necessary to satisfy the conditions such as high protection capability and other conditions. In the case of the back surface protection sheet layer, almost the same conditions as in the case of the above surface protection sheet layer are satisfied. There is a need to do.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, as the surface protection sheet layer constituting the solar cell module, the most commonly used glass plate and the like at present are excellent in sunlight permeability, weather resistance, heat resistance and water resistance. Anti-fouling that excels in various fastnesses such as water resistance, light resistance, chemical resistance, and puncture resistance, and also has excellent moisture resistance, hard surface hardness, and prevents accumulation of dirt and dust on the surface. It has advantages such as excellent protection properties and high protection ability, but lacks strength, plasticity, impact resistance, light weight, etc., and is inferior in workability, workability, etc., and at low cost. There is a problem of lacking.
In addition, as a surface protection sheet layer constituting the solar cell module, when using a resin sheet having excellent strength such as a fluororesin, the strength, Although it is rich in plasticity, impact resistance, light weight, etc., it is inferior to various fastnesses such as weather resistance, heat resistance, water resistance, light resistance, chemical resistance, puncture resistance, etc., especially moisture resistance, antifouling There is a problem that it lacks sex.
Furthermore, when using a resin sheet with excellent strength, such as a fluororesin sheet, there is a risk of contaminating the environment at the time of disposal after use. An excellent resin sheet has a problem of high price and high cost.
In addition, when a resin sheet having excellent strength is used as the back surface protection sheet layer constituting the solar cell module, the strength, plasticity, impact resistance, light weight, and cost reduction are achieved. Although it is rich, etc., it is inferior in various fastnesses such as weather resistance, heat resistance, water resistance, light resistance, chemical resistance, puncture resistance, etc. is there.
Therefore, the present invention is excellent in strength and has various characteristics such as weather resistance, heat resistance, water resistance, light resistance, wind pressure resistance, yield resistance, chemical resistance, moisture resistance, antifouling property, puncture resistance, and others. In particular, it has significantly improved moisture resistance to prevent intrusion of moisture, oxygen, etc., minimizes long-term performance degradation, is extremely durable, has high protection capability, and lower cost It is to stably provide a protective sheet constituting a safe and safe solar cell module.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
As a result of various studies to solve the above problems, the inventor firstly, as a protection sheet layer constituting the solar cell module, Polydicyclopentadiene resin or polycyclopentadiene resin The film or sheet is used as a base sheet, and a transparent glassy inorganic oxide vapor-deposited thin film such as silicon oxide or aluminum oxide is provided on one surface of the solar cell module. A protective sheet for the solar cell module, and thus the protective sheet for the solar cell module is used as a surface protective sheet layer or a back surface protective sheet layer, for example, the solar cell module Surface protective sheet layer for the inorganic oxide vapor-deposited thin film surface inside, filler layer, solar cell element as photovoltaic element, filler layer, and ordinary solar cell module When a solar cell module was manufactured using a lamination method or the like in which a back surface protection sheet layer, etc. were sequentially laminated, and then vacuum-sucked together and heat-pressed together, the transmission of sunlight Excellent in strength, strength, weather resistance, resistance Excellent properties such as water resistance, light resistance, wind pressure resistance, yield resistance, chemical resistance, moisture resistance, antifouling property, puncture resistance, and other properties, especially moisture resistance that prevents intrusion of moisture, oxygen, etc. That can significantly improve performance, minimize long-term performance degradation, and can stably produce highly durable, highly protective, low-cost and safe solar cell modules. And the present invention has been completed.
[0005]
That is, the present invention Polydicyclopentadiene resin or polycyclopentadiene resin An inorganic oxide vapor-deposited thin film is provided on one side of the film or sheet. Solar cell module using a protective sheet for solar cell module It is about.
[0006]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.
In the present invention, the sheet means any of a sheet-like material or a film-like material, and the film means a film-like material or a sheet-like material. In either case, it means.
The layer structure of the solar cell module protective sheet and the solar cell module using the solar cell module according to the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. FIG. 1, FIG. 2 and FIG. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view illustrating a few examples of the layer structure of a protective sheet for a solar cell module according to the present invention. FIG. 4, FIG. 5 and FIG. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view illustrating a few examples of the layer structure of a solar cell module manufactured using such a solar cell module protective sheet.
[0007]
First, as shown in FIG. 1, a solar cell module protective sheet A according to the present invention is provided with an inorganic oxide vapor-deposited thin film 2 on one side of a cyclic polyolefin-based resin film or sheet 1 as shown in FIG. The basic structure is that it consists of different structures.
Thus, another example of the solar cell module protective sheet according to the present invention is shown in FIG. 2, as shown in FIG. Protective sheet A for solar cell module comprising a multilayer film 3 provided with at least two oxide vapor-deposited thin films 2 1 Can be mentioned.
Furthermore, another example of the protective sheet for the solar cell module according to the present invention will be described below. First, as shown in FIG. An inorganic oxide vapor-deposited thin film 2a is formed by vapor deposition, and then an inorganic oxide vapor-deposited thin film 2b is formed on the inorganic oxide vapor-deposited thin film 2a. Protective sheet A for a solar cell module comprising a composite film 4 composed of two or more of the deposited thin films 2a and 2b 2 Can be mentioned.
The above illustrations illustrate a few examples of the solar cell module protective sheet according to the present invention, and the present invention is of course not limited thereto.
For example, the protective sheet A for the solar cell module shown in FIG. 2 Although not shown, an inorganic oxide vapor-deposited thin film may be first provided by physical vapor deposition, and then an inorganic oxide vapor-deposited thin film may be provided by chemical vapor deposition.
[0008]
Next, in the present invention, an example of the solar cell module manufactured using the above-described protective sheet for solar cell module according to the present invention is illustrated as an example in the present invention shown in FIG. An example of using such a solar cell module protection sheet A will be described. As shown in FIG. 4, the solar cell module protection sheet A according to the present invention shown in FIG. The surface protection sheet 11 for a solar battery module is used as a surface protection sheet 11 for a battery module, and the surface of the vapor-deposited thin film 2 of the inorganic oxide is placed inside the surface protection sheet 11 (A). A filler layer 12, a solar cell element 13 as a photovoltaic element, a filler layer 14, a normal solar cell module back surface protection sheet layer 15, and the like are laminated, and then these are united, Lamination methods such as vacuum suction and thermocompression bonding It can be produced Le T - molding methods using a solar cell module as an integral molded product of the above layers.
Furthermore, in the present invention, another example of the solar cell module manufactured using the solar cell module protective sheet according to the present invention is illustrated above. When the solar cell module protection sheet A according to the present invention shown in FIG. 1 is used, as shown in FIG. 5, the solar cell module protection according to the present invention shown in FIG. The sheet A is used as the back surface protection sheet 16 for the solar cell module. First, the normal surface protection sheet 17 for the solar cell module, the filler layer 12, and the sun as the photovoltaic element. The battery element 13, the filler layer 14, and the back surface protection sheet 16 (A) for the solar cell module are sequentially laminated with the inorganic oxide vapor-deposited thin film 2 facing each other, and then stacked. As a unit, these are vacuum-sucked and heated and pressure-bonded. Ne - using conventional molding method Deployment method, a solar cell module as an integral molded product of the above layers - le T 1 Can be manufactured.
In addition, in the present invention, another example of the solar cell module manufactured using the solar cell module protection sheet according to the present invention is illustrated above. When the solar cell module protection sheet A according to the present invention shown in FIG. 1 is used, as shown in FIG. 6, the solar cell module protection according to the present invention shown in FIG. The sheet A is used as the surface protection sheet 11 for the solar cell module, and the solar cell module protection sheet A according to the present invention shown in FIG. 1 is used as the solar cell module. The solar cell module surface protective sheet 11 (A) is used as a back surface protective sheet 16 for the above, and the surface of the vapor-deposited thin film 2 of the inorganic oxide is placed inside, and the filler layer is sequentially formed. 12. Solar cell element 13 as a photovoltaic element, filler layer 14 And the back surface protection sheet 16 (A) for the solar cell module is laminated so that the two deposited thin surfaces of the inorganic oxide face each other, and then these are integrated and vacuum sucked to perform thermocompression bonding. The solar cell module T is formed by using the above-mentioned layers as an integral molded body using a normal molding method such as a lamination method. 2 Can be manufactured.
The above examples illustrate a few examples of the surface protection sheet for a solar cell module according to the present invention and the solar cell module manufactured using the same. It is not limited.
For example, although not shown, solar cell modules having various forms are manufactured in the same manner as described above using the solar cell module protection sheet shown in FIGS. Further, in the above solar cell module, other layers can be arbitrarily added and laminated for the purpose of absorption of sunlight, reinforcement, etc. .
[0009]
Next, in the present invention, the protective sheet for the solar cell module according to the present invention and the materials, the manufacturing method and the like constituting the solar cell module using the same will be described in detail. As a film or sheet of a cyclic polyolefin resin constituting such a solar cell module protective sheet, solar cell module, etc., first, when it constitutes the outermost surface of the solar cell, Since the solar cell absorbs sunlight and generates photovoltaic power, it is desirable that the solar cell has a property of being excellent in permeability that transmits sunlight.
In addition, the cyclic polyolefin resin film or sheet is excellent in mechanical or chemical strength, specifically, weather resistance, heat resistance, water resistance, light resistance, wind pressure resistance, yield resistance, Excellent fastness such as chemical resistance and puncture resistance, especially excellent weather resistance and moisture resistance to prevent intrusion of moisture, oxygen, etc., high surface hardness and surface contamination It is desirable to have characteristics such as excellent antifouling property for preventing accumulation of dust, etc., extremely high durability, and high protection ability.
Furthermore, the cyclic polyolefin-based resin film or sheet can withstand the conditions for forming an inorganic oxide vapor-deposited thin film, which will be described later, and the cyclic polyolefin-based resin film or sheet or inorganic oxide is vapor-deposited. It is desirable that the substrate be a base material that can be firmly and firmly bonded and can be held well without impairing the properties of the thin film or the like.
[0010]
In the present invention, the cyclic polyolefin resin film or sheet specifically includes, for example, cyclopentadiene and derivatives thereof, dicyclopentadiene and derivatives thereof, cyclohexadiene and derivatives thereof, norbornadiene and derivatives thereof, and the like. A polymer obtained by polymerizing a cyclic diene, or one or more olefinic monomers such as ethylene, propylene, 4-methyl-1-pentene, styrene, butadiene, isoprene, and the like. A transparent cyclic polyolefin resin film or sheet made of a copolymer obtained by copolymerization can be used.
In the present invention, among the above transparent cyclic polyolefin-based resin films or sheets, in particular, cyclic dienes such as cyclopentadiene and derivatives thereof, dicyclopentadiene and derivatives thereof, norbornadiene and derivatives thereof, and the like. A transparent cyclic polyolefin-based resin film or sheet made of a polymer or copolymer containing a structure such as polycyclopentadiene, polydicyclopentadiene, or polynorbornadiene is excellent in properties such as weather resistance and water resistance, Furthermore, it has transparency and is preferable from the viewpoints of sunlight permeability and the like.
Thus, in the present invention, by adopting the cyclic polyolefin resin film or sheet as described above, the excellent characteristics of the cyclic polyolefin resin film or sheet, particularly mechanical properties, are obtained. A solar cell is constructed by utilizing optical properties, etc., and further characteristics such as weather resistance, heat resistance, water resistance, and other fastness properties, moisture resistance, contamination resistance, chemical resistance, puncture resistance, etc. It is a protective sheet, which has optical properties and durability equivalent to those of conventional glass plates, etc., and is lighter than glass plates due to its flexibility and mechanical properties, and It has advantages such as excellent workability and easy handling.
Furthermore, in the present invention, by using the above-described cyclic polyolefin resin film or sheet, there is no risk of environmental destruction or contamination during disposal after use.
[0011]
By the way, in the present invention, as the above-mentioned cyclic polyolefin resin film or sheet, for example, one or more of the above cyclic polyolefin resins are used, and the extrusion method, cast molding method, T-die method, A film forming method such as a cutting method, an inflation method, or the like is used to form the above-mentioned cyclic polyolefin resin alone, or a multilayer co-polymer using two or more types of cyclic polyolefin resins. A film or sheet of a cyclic polyolefin resin is formed by a method of forming an extrusion film, or by using two or more types of cyclic polyolefin resin and mixing and forming a film before forming the film. A cyclic polyolefin produced and then stretched in one or two axes using, for example, a tenter method or a tuber method. Film or sheet of the fin-based resin - can be used and.
In the present invention, the film or sheet thickness of the cyclic polyolefin resin is about 12 to 300 μm, preferably about 25 to 200 μm.
In the present invention, the cyclic polyolefin resin film or sheet has a visible light transmittance of 90% or more, preferably 95% or more, and transmits all incident sunlight. It is desirable to have an absorbing property.
[0012]
In the above, when forming a cyclic polyolefin-based resin into a film, for example, film processability, heat resistance, weather resistance, strength, mechanical properties, dimensional stability, antioxidant properties, slipperiness, releasability, difficulty Various plastic compounding agents and additives can be added for the purpose of improving and modifying flammability, antifungal properties, electrical properties, puncture resistance, etc. A very small amount to several tens of percent can be optionally added depending on the purpose.
Moreover, in the above, as a general additive, for example, a lubricant, a crosslinking agent, an antioxidant, an ultraviolet absorber, a light stabilizer, a filler, a reinforcing agent, a reinforcing agent, a reinforcing fiber, an antistatic agent, a flame retardant Further, flame retardants, foaming agents, fungicides, pigments, and the like can be used, and further, modifying resins and the like can be used.
In the present invention, among the above additives, in particular, one or more of an ultraviolet absorber, an antioxidant, or a reinforcing fiber is kneaded in order to improve weather resistance, strength, puncture resistance, and the like. It is preferable to use a film or sheet of a cyclic polyolefin resin formed by embedding.
[0013]
As the above UV absorber, harmful UV rays in sunlight are absorbed and converted into innocuous heat energy within the molecule, preventing activation of active species that initiate photodegradation in the polymer. For example, benzophenone, benzotriazole, saltylate, acrylonitrile, metal complex, hindered amine, ultrafine titanium oxide (particle diameter, 0.01 to 0.06 μm) or One or more inorganic ultraviolet absorbers such as ultrafine zinc oxide (0.01 to 0.04 μm) can be used.
In addition, as the above-mentioned antioxidant, it is intended to prevent photodegradation or thermal degradation of the polymer. For example, phenol-based, amine-based, sulfur-based, phosphoric acid-based and other antioxidants are used. can do.
Further, as the above-mentioned ultraviolet absorber or antioxidant, for example, the above-mentioned ultraviolet absorber such as benzophenone or the above-mentioned antioxidant such as phenol is added to the main chain or side chain constituting the polymer. Polymer-type ultraviolet absorbers or antioxidants that are chemically bonded can also be used.
In addition, as the reinforcing fiber, for example, glass fiber, carbon fiber, aramid fiber, polyamide fiber, polyester fiber, natural fiber, and the like can be used. Or it can be used in the state of those woven fabrics or non-woven fabrics.
Thus, in the present invention, the content of the above-mentioned ultraviolet absorber, antioxidant, reinforcing fiber or the like varies depending on the particle shape, density, property, etc., but is about 0.1 to 10% by weight. Is preferred.
[0014]
In the present invention, the surface of the cyclic polyolefin-based resin film or sheet may have a desired surface in advance, if necessary, in order to improve close adhesion with an inorganic oxide vapor-deposited thin film, which will be described later. A treatment layer can be provided.
In the present invention, as the surface treatment layer, for example, corona discharge treatment, ozone treatment, low temperature plasma treatment using oxygen gas or nitrogen gas, glow discharge treatment, oxidation treatment using chemicals, etc., For example, a corona treatment layer, an ozone treatment layer, a plasma treatment layer, an oxidation treatment layer, or the like can be formed and provided by optionally performing other pretreatments.
The above surface pretreatment is carried out as a method for improving the tight adhesion between the cyclic polyolefin resin film or sheet and the inorganic oxide vapor-deposited thin film. In addition, for example, a primer coating layer, an undercoat agent layer, an anchor coat agent layer, an adhesive, etc., in advance on the surface of a film or sheet of a cyclic polyolefin resin, for example A surface treatment layer can also be formed by arbitrarily forming a layer or a deposition anchor coating agent layer.
Examples of the pretreatment coating agent layer include polyester resins, polyamide resins, polyurethane resins, epoxy resins, phenol resins, (meth) acrylic resins, polyvinyl acetate resins, A resin composition comprising a polyolefin resin such as polyethylene aly polypropylene or a copolymer or modified resin thereof, a cellulose resin, or the like as a main component of the vehicle can be used.
[0015]
In addition, in order to improve a weather resistance etc. in said resin composition, an ultraviolet absorber and / or antioxidant etc. can be added, for example.
As said ultraviolet absorber, 1 type or more of the above-mentioned ultraviolet absorber can be used similarly.
Further, as the above-mentioned antioxidant, the above-mentioned antioxidants can be used in the same manner.
As described above, the content of the ultraviolet absorber and / or antioxidant varies depending on the particle shape, density and the like, but is preferably about 0.1 to 10% by weight.
In the above, the coating agent layer can be formed by using, for example, a solvent type, aqueous type, or emulsion type coating agent, a roll coating method, a gravure roll coating, etc. The coating can be carried out by using a coating method such as a method, a kiss coating method, or the like, and the coating time can be determined after the formation of a resin film or sheet, or biaxial stretching. It can be carried out as a post-process after the treatment, or by film formation or in-line treatment of biaxial stretching treatment.
[0016]
Further, in the present invention, when forming an inorganic oxide vapor-deposited thin film on one side of a cyclic polyolefin-based resin film or sheet, the cyclic polyolefin-based resin film or sheet is removed from the vapor deposition conditions and the like. Protects and suppresses, for example, yellowing, deterioration or shrinkage, or cohesive failure in a film or sheet surface layer or inner layer, etc. Further, an inorganic oxide vapor deposition thin film is successfully formed on one side. In order to improve the close adhesion between the two, a surface pretreatment layer is previously formed on one surface of a cyclic polyolefin resin film or sheet, for example, plasma chemical vapor deposition described later. Chemical vapor deposition (chemical vapor deposition, CVD), such as vacuum, thermal chemical vapor deposition, and photochemical vapor deposition, or, for example, vacuum By forming a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide using a physical vapor deposition method (Physical Vapor Deposition method, PVD method) such as a deposition method, a sputtering method, or an ion plating method, an anti-evaporation protective film can be provided. it can.
In the present invention, the film thickness of the above-mentioned vapor deposition resistant protective film made of silicon oxide or the like is a thin film, and further, a non-barrier film having no barrier property against water vapor gas, oxygen gas, etc. is sufficient. Specifically, the film thickness is desirably less than 150 mm, and specifically, the film thickness is about 10 to 100 mm, preferably about 20 to 80 mm, and more preferably about 30 to 60 mm. desirable.
Thus, in the above, when the thickness is 150 mm or more, specifically 100 mm, 80 mm, or more than 60 mm, the deposition conditions become severe, the laminate is yellowed or deteriorated, and further, the aggregation It is not preferable because it causes breakage and the like, and it becomes difficult to form a good deposition resistant protective film, and cracks and the like are likely to occur in the film, and it is not preferable, and is less than 10 mm, more preferably 30 mm, and even less than 60 mm. When it exists, it loses the function as a vapor deposition resistant protective layer, and since it becomes difficult to show | play the effect, it is unpreferable.
[0017]
In the present invention, in the film or sheet of the cyclic polyolefin resin as described above, for example, when it constitutes the outermost surface of the solar cell, the light diffusion effect or the antireflection effect of sunlight. For example, an embossed surface can be provided on the surface.
The embossed surface may be a concavo-convex surface with a thickness of sub μm to several hundreds of μm, and the shape may be any of a pyramid shape, a V shape, a lattice pattern shape, and the like.
[0018]
Next, in the present invention, the inorganic oxide vapor deposited thin film constituting the protective sheet for solar cell module, solar cell module and the like according to the present invention will be described. For example, a physical vapor deposition method, a chemical vapor deposition method, or a combination of both, a multilayer film composed of one or more inorganic oxide vapor-deposited thin films, or different types of inorganic oxidation It can be manufactured by forming a composite film or the like composed of vapor-deposited thin films.
[0019]
The inorganic oxide vapor-deposited thin film by the physical vapor deposition method will be described in more detail. Examples of the inorganic oxide vapor-deposited thin film by the physical vapor deposition method include a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, and an ion plating method. The vapor deposition thin film of an inorganic oxide can be formed using the physical vapor deposition method (Physical Vapor Deposition method, PVD method).
In the present invention, specifically, a metal oxide is used as a raw material, and this is heated and vapor-deposited on a cyclic polyolefin resin film or sheet, or a metal or metal oxidation as a raw material. Oxidation reaction deposition method in which oxygen is introduced and oxidized to deposit on a cyclic polyolefin resin film or sheet, and plasma-assisted oxidation reaction deposition method in which the oxidation reaction is supported by plasma, etc. Can be used to form a deposited film.
[0020]
In the present invention, a specific example of a method for forming a thin film of an inorganic oxide by physical vapor deposition will be described. FIG. 7 is a schematic configuration diagram showing an example of a take-up vacuum deposition apparatus.
As shown in FIG. 7, in the vacuum chamber 22 constituting the take-up vacuum deposition apparatus 21, the cyclic polyolefin resin film or sheet 1 fed from the unwinding roll 23 is a guide roll 24. , 25 to guide the cooled coating drum 26.
Thus, on the film or sheet 1 of the cyclic polyolefin resin guided on the cooled coating drum 26, a vapor deposition source 28 heated by a crucible 27, for example, metallic aluminum, or Aluminum oxide is evaporated, and if necessary, oxygen gas or the like is ejected from the oxygen gas outlet 29, and while supplying this, through the masks 30 and 30, for example, an inorganic oxide such as aluminum oxide is made. A vapor-deposited thin film is formed, and then, in the above, for example, a cyclic polyolefin-based resin film or sheet 1 on which an inorganic oxide vapor-deposited thin film such as aluminum oxide is formed is passed through guide rolls 25 'and 24'. To form an inorganic oxide vapor-deposited thin film by physical vapor deposition according to the present invention. It can be.
In the present invention, first, an inorganic oxide vapor-deposited thin film is formed using the above-described winding-type vacuum vapor deposition apparatus, and then the inorganic oxide vapor-deposited thin film is formed in the same manner. Further, an inorganic oxide vapor deposition thin film is formed on the substrate, or the above-described winding type vacuum vapor deposition apparatus is used to connect the two in series, and the inorganic oxide is continuously deposited. By forming a thin film, an inorganic oxide vapor-deposited thin film composed of two or more multilayer films can be formed.
[0021]
In the above, as the vapor-deposited thin film of inorganic oxide, any thin film in which a metal oxide is vapor-deposited can be used. For example, silicon (Si), aluminum (Al), magnesium (Mg), calcium ( Deposition of metal oxides such as Ca), potassium (K), tin (Sn), sodium (Na), boron (B), titanium (Ti), lead (Pb), zirconium (Zr), yttrium (Y) A thin film can be used.
Thus, a preferable example is a vapor-deposited thin film of an oxide of a metal such as silicon (Si) or aluminum (Al).
Thus, the metal oxide vapor deposition thin film can be referred to as a metal oxide such as silicon oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, etc. X AlO X , MgO X MO etc. X (In the formula, M represents a metal element, and the value of X varies depending on the metal element.)
Moreover, as a range of said X value, silicon (Si) is 0-2, aluminum (Al) is 0-1.5, magnesium (Mg) is 0-1, calcium (Ca) is 0 to 1, potassium (K) is 0 to 0.5, tin (Sn) is 0 to 2, sodium (Na) is 0 to 0.5, boron (B) is 0 to 1, 5, Titanium (Ti) can take values in the range of 0 to 2, lead (Pb) in the range of 0 to 1, zirconium (Zr) in the range of 0 to 2, and yttrium (Y) in the range of 0 to 1.5.
In the above, when X = 0, it is a complete metal and is not transparent and cannot be used at all. The upper limit of the range of X is a completely oxidized value.
In the present invention, generally, examples other than silicon (Si) and aluminum (Al) are scarce, silicon (Si) is 1.0 to 2.0, and aluminum (Al) is 0.5. Those with values in the range of -1.5 can be used.
In the present invention, the film thickness of the inorganic oxide thin film as described above varies depending on the metal used or the type of the metal oxide, but is, for example, about 50 to 2000 mm, preferably about 100 to 1000 mm. It is desirable to select and form arbitrarily within the range.
Further, in the present invention, the inorganic oxide vapor-deposited thin film is a metal to be used, or the metal oxide is one or a mixture of two or more, and mixed with different materials. A thin film can also be constructed.
[0022]
Next, in the present invention, the inorganic oxide vapor-deposited thin film formed by the chemical vapor deposition method will be further described. As the inorganic oxide vapor-deposited thin film formed by the chemical vapor deposition method, for example, plasma chemical vapor deposition is performed. A vapor-deposited thin film of an inorganic oxide can be formed using a chemical vapor deposition method (chemical vapor deposition method, CVD method) such as a chemical vapor deposition method, a thermal chemical vapor deposition method, or a photochemical vapor deposition method.
Specifically, in the present invention, a vapor deposition monomer gas such as an organosilicon compound is used as a raw material on one surface of a cyclic polyolefin resin film or sheet, and an argon gas or helium gas is used as a carrier gas. Inorganic gases such as silicon oxide using a low temperature plasma chemical vapor deposition method (CVD method) using an oxygen gas or the like as an oxygen supply gas and using a low temperature plasma generator or the like An oxide thin film can be formed.
In the above, for example, a high-frequency plasma, a pulse wave plasma, a microwave plasma, or the like can be used as the low-temperature plasma generator. Thus, in the present invention, a highly active and stable plasma is obtained. For this purpose, it is desirable to use a high-frequency plasma generator.
[0023]
Specifically, an example of the formation method of the vapor-deposited thin film of inorganic oxide by the low temperature plasma chemical vapor deposition method will be described as an example. FIG. It is a schematic block diagram of the low temperature plasma chemical vapor deposition apparatus which shows the outline | summary about the formation method of a vapor deposition thin film.
As shown in FIG. 8 above, in the present invention, the film or sheet 1 of the cyclic polyolefin resin is removed from the unwinding roll 43 disposed in the vacuum chamber 42 of the plasma chemical vapor deposition apparatus 41. Further, the cyclic polyolefin resin film or sheet 1 is further fed onto the peripheral surface of the cooling / electrode drum 45 at a predetermined speed via the auxiliary roll 44.
Thus, in the present invention, oxygen gas, inert gas, a monomer gas for vapor deposition such as an organosilicon compound, and the like are supplied from the gas supply devices 46 and 47 and the raw material volatilization supply device 48, and the like. The vapor deposition mixed gas composition was introduced into the vacuum chamber 42 through the raw material supply nozzle 49 without adjusting the vapor deposition mixed gas composition, and was conveyed onto the cooling / electrode drum 45 peripheral surface. Plasma is generated by glow discharge plasma 50 on a cyclic polyolefin resin film or sheet 1 and irradiated to form a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide such as silicon oxide to form a film. .
In the present invention, at that time, the cooling / electrode drum 45 is applied with a predetermined power from a power source 51 disposed outside the chamber, and a magnet 52 is provided in the vicinity of the cooling / electrode drum 45. Then, the generation of plasma is promoted, and then the cyclic polyolefin resin film or sheet 1 on which the deposited thin film of inorganic oxide such as silicon oxide is formed as described above is passed through the auxiliary roll 53. Thus, it is possible to manufacture a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide by a plasma chemical vapor deposition method according to the present invention.
In the figure, 55 represents a vacuum pump.
The above exemplification is an example, and it is needless to say that the present invention is not limited thereby.
Although not shown, in the present invention, the inorganic oxide vapor-deposited thin film is not limited to one layer of the inorganic oxide vapor-deposited thin film, and may be a laminate of two or more layers, and is used. The materials can be used alone or in a mixture of two or more, and an inorganic oxide vapor-deposited thin film mixed with different materials can be formed.
In the present invention, the first layer of an inorganic oxide vapor-deposited thin film is first formed using the low-temperature plasma chemical vapor deposition apparatus as described above, and then the inorganic oxide is vapor-deposited in the same manner. Further, an inorganic oxide vapor deposition thin film is formed on the thin film, or these are connected in series using the low temperature plasma chemical vapor deposition apparatus as described above, and the inorganic oxide is continuously formed. By forming the vapor-deposited thin film, an inorganic oxide vapor-deposited thin film composed of two or more multilayer films can be formed.
[0024]
In the above, the monomer gas for vapor deposition of an organic silicon compound or the like that forms a vapor deposition thin film of an inorganic oxide such as silicon oxide includes, for example, 1.1.3.3-tetramethyldisiloxane, hexamethyldisiloxane, vinyl Trimethylsilane, methyltrimethylsilane, hexamethyldisilane, methylsilane, dimethylsilane, trimethylsilane, diethylsilane, propylsilane, phenylsilane, vinyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, phenyltrimethoxysilane , Methyltriethoxysilane, octamethylcyclotetrasiloxane, and the like can be used.
In the present invention, among the organic silicon compounds as described above, the use of 1.1.3.3-tetramethyldisiloxane or hexamethyldisiloxane as a raw material is easy to handle and the deposited film formed In view of the above characteristics and the like, it is a particularly preferable raw material.
Moreover, in the above, as an inert gas, argon gas, helium gas, etc. can be used, for example.
[0025]
In the present invention, the silicon oxide vapor-deposited thin film formed above undergoes a chemical reaction between a monomer gas such as an organosilicon compound and oxygen gas, and the reaction product is a film or sheet of a cyclic polyolefin resin. It is possible to form a dense and flexible thin film that adheres tightly to the top, usually with the general formula SiO X (Where X represents a number of 0 to 2).
Thus, the silicon oxide vapor-deposited thin film has the general formula SiO in terms of transparency and barrier properties. X (However, X represents the number of 1.3-1.9.) It is preferable that it is a thin film which mainly has the vapor deposition film | membrane of the silicon oxide represented.
In the above, the value of X varies depending on the molar ratio of the monomer gas and oxygen gas, the plasma energy, etc. In general, the gas permeability decreases as the value of X decreases, but the film itself Yellowish and less transparent.
The silicon oxide vapor-deposited thin film has silicon (Si) and oxygen (O) as essential constituent elements, and one of carbon (C) and hydrogen (H), or an element of both of them. The film thickness is in the range of 50 to 500 mm, and the constituent ratio of the essential constituent element and the trace constituent element is in the film thickness direction. It is changing continuously.
Furthermore, when the above-mentioned vapor deposited thin film of silicon oxide contains a compound composed of carbon, the carbon content is reduced in the depth direction of the film thickness.
Thus, in the present invention, for the silicon oxide vapor-deposited thin film, for example, surface analysis such as an X-ray photoelectron spectrometer (Xray), secondary ion mass spectrometer (Secondary Ion Mass Spectroscopy, SIMS), etc. The physical properties as described above can be confirmed by performing elemental analysis of the deposited thin film of silicon oxide using a method of analyzing by ion etching in the depth direction using an apparatus.
In the present invention, the thickness of the above-described silicon oxide vapor-deposited thin film is preferably about 50 to 2000 mm, more specifically about 100 to 1000 mm. In the above, if it is thicker than 1000 mm, and more than 2000 mm, it is not preferable because cracks are easily generated in the film, and if it is less than 100 mm, further less than 50 mm, there is an effect of barrier properties. Is not preferable because it becomes difficult.
In the above, the film thickness can be measured by a fundamental parameter method using, for example, a fluorescent X-ray analyzer (model name, RIX2000 type) manufactured by Rigaku Corporation.
Further, in the above, as means for changing the film thickness of the silicon oxide vapor-deposited thin film, the volume velocity of the vapor-deposited film is increased, that is, the method of increasing the amount of monomer gas and oxygen gas and the vapor deposition rate. This can be done by a method of slowing down.
[0026]
By the way, in this invention, as a vapor deposition thin film of the inorganic oxide which comprises the protection sheet for solar cell modules concerning this invention, a solar cell module, etc., for example, physical vapor deposition method and chemical vapor deposition A composite film composed of two or more layers of vapor-deposited thin films of different inorganic oxides can be formed and used together.
Thus, in the case of forming a composite film composed of two or more layers of vapor-deposited thin films of different kinds of inorganic oxides, first, a chemical vapor deposition method is performed on a cyclic polyolefin resin film or sheet. Thus, an inorganic oxide vapor-deposited thin film that is dense and flexible and can relatively prevent the occurrence of cracks is provided, and then the inorganic oxide is deposited on the inorganic oxide vapor-deposited thin film by physical vapor deposition. It is desirable to provide a vapor-deposited thin film of an object to constitute a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide composed of a composite film of two or more layers.
Of course, in the present invention, contrary to the above, an inorganic oxide vapor-deposited thin film is first formed on a cyclic polyolefin resin film or sheet by physical vapor deposition, By vapor deposition, an inorganic oxide vapor-deposited thin film comprising two or more layers is provided by providing an inorganic oxide vapor-deposited thin film that is dense, flexible and relatively resistant to cracking. It can also be configured.
[0027]
Next, in the present invention, a description will be given of a normal surface protection sheet for a solar cell module constituting the solar cell module. Examples of such a surface protection sheet include sunlight permeability and insulation properties. In addition, it has various properties such as weather resistance, heat resistance, light resistance, water resistance, wind pressure resistance, rain resistance, chemical resistance, moisture resistance, antifouling properties, etc., physical or chemical Excellent strength, toughness, etc., extremely durable, and because it protects solar cell elements as photovoltaic elements, it must have excellent scratch resistance, shock absorption, etc. .
Specific examples of the surface protective sheet include not only known glass plates, but also, for example, fluorine resins, polyamide resins (various nylons), polyester resins, and polyethylene resins. Various resin films such as resin, polypropylene resin, cyclic polyolefin resin, polystyrene resin, (meth) acrylic resin, polycarbonate resin, acetal resin, cellulose resin, etc. Or a sheet can be used.
As the resin film or sheet, for example, a biaxially stretched resin film or sheet may be used.
Further, in the above-described resin film or sheet, the film thickness is preferably about 12 to 200 μm, more preferably about 25 to 150 μm.
[0028]
Next, in the present invention, the filler layer laminated under the surface protection sheet for the solar cell module constituting the solar cell module will be described. As such a filler layer, sunlight is incident. In order to transmit and absorb this, it is necessary to have transparency, and also to have adhesiveness with the surface protection sheet, and further, a solar cell element as a photovoltaic element It has thermoplasticity to fulfill the function of maintaining the smoothness of its surface, and also has excellent scratch resistance, shock absorption, etc. because it protects solar cell elements as photovoltaic elements. It is necessary.
Specifically, as the filler layer, for example, fluorine-based resin, ethylene-vinyl acetate copolymer, ionomer resin, ethylene-acrylic acid, or methacrylic acid copolymer, polyethylene resin, polypropylene resin, Polyolefin resin such as polyethylene or polypropylene modified with unsaturated carboxylic acid such as acrylic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, etc., acid-modified polyorphine fin resin, cyclic polyolefin resin, polyvinyl butyral resin A mixture of one or more of resins such as silicone resins, epoxy resins, (meth) acrylic resins, and the like can be used.
In the present invention, the resin constituting the filler layer is, for example, crosslinked within a range that does not impair its transparency in order to improve weather resistance such as heat resistance, light resistance, and water resistance. Additives such as additives, thermal antioxidants, light stabilizers, ultraviolet absorbers, photo-antioxidants, etc. can be arbitrarily added and mixed.
Thus, in the present invention, as the filler on the incident side of sunlight, in consideration of weather resistance such as light resistance, heat resistance, water resistance, etc., fluorine resin, ethylene-vinyl acetate copolymer, silico- Preferred resins are cyclic resins and cyclic polyolefin resins.
In addition, as thickness of said filler layer, about 200-1000 micrometers, Preferably, about 350-600 micrometers is desirable.
[0029]
Next, in the present invention, a solar cell element as a photovoltaic element constituting the solar cell module will be described. As such a solar cell element, a conventionally known one, for example, a single crystal silicon type solar cell element, Crystalline silicon solar electronic device such as polycrystalline silicon solar cell device, amorphous silicon solar cell device of single junction type or tandem structure type, III-V group compound semiconductor such as gallium arsenide (GaAs) or indium phosphorus (InP) Solar electronic devices, cadmium tellurium (CdTe) and copper indium selenide (CuInSe) 2 II-VI group compound semiconductor solar electronic devices, etc., etc., etc. can be used.
Furthermore, a thin film polycrystalline silicon solar cell element, a thin film microcrystalline silicon solar cell element, a hybrid element of a thin film crystalline silicon solar cell element and an amorphous silicon solar cell element, or the like can also be used.
Thus, in the present invention, the solar cell element is formed on, for example, a glass substrate, a plastic substrate, a metal substrate, or other substrate, a crystalline silicon such as a pn junction structure, or an amorphous such as a pin junction structure. An electromotive force portion such as silicon or a compound semiconductor is formed to constitute a solar cell element.
[0030]
Next, in the present invention, the filler layer laminated under the photovoltaic element constituting the solar cell module will be described. As the filler layer, the above-mentioned surface protection sheet for solar cell module is used. Similar to the filler layer laminated under the head, it is also necessary to have adhesiveness to the back surface protection sheet, and further to maintain the smoothness of the back surface of the solar cell element as a photovoltaic element. In order to achieve the above, it is necessary to have excellent scratch resistance, shock absorption, and the like because it has thermoplasticity and further protects the solar cell element as a photovoltaic element.
However, the filler layer laminated under the photovoltaic element constituting the solar cell module is different from the filler layer laminated under the surface protection sheet for the solar cell module. It is not necessarily required to have transparency.
Specifically, as the filler layer, for example, a fluororesin, an ethylene-vinyl acetate copolymer, and the like, similar to the filler layer laminated under the surface protection sheet for the solar cell module described above. Polyolefin resins such as coalescence, ionomer resin, ethylene-acrylic acid, methacrylic acid copolymer, polyethylene resin, polypropylene resin, polyethylene or polypropylene are not suitable for acrylic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, etc. One kind of resins such as acid-modified polyolene fin resin, cyclic polyolefin resin, polyvinyl butyral resin, silicone resin, epoxy resin, (meth) acrylic resin, etc. modified with saturated carboxylic acid Or a mixture of two or more of them can be used.
In the present invention, the resin constituting the filler layer is, for example, crosslinked within a range that does not impair its transparency in order to improve weather resistance such as heat resistance, light resistance, and water resistance. Additives such as additives, thermal antioxidants, light stabilizers, ultraviolet absorbers, photo-antioxidants, etc. can be arbitrarily added and mixed.
In addition, as thickness of said filler layer, about 200-1000 micrometers, More preferably, about 350-600 micrometers is desirable.
[0031]
Next, in the present invention, a description will be given of a normal back surface protection sheet layer for a solar cell module constituting the solar cell module. As this back surface protection sheet, an insulating resin film or sheet is used. Furthermore, it has weather resistance such as heat resistance, light resistance, water resistance, etc., is excellent in physical or chemical strength, toughness, etc., and further, solar as a photovoltaic device. Because of the protection of battery elements, it is necessary to have excellent scratch resistance, shock absorption and the like.
Specific examples of the above-mentioned back surface protection sheet include, for example, polyamide resins (various nylons), polyester resins, polyethylene resins, polypropylene resins, cyclic polyolefin resins, polystyrene resins, and polycarbonate resins. -Films or sheets of various resins such as a resin-based resin, an acetal-based resin, a cellulose-based resin, a (meth) acrylic resin, and the like can be used.
As the resin film or sheet, for example, a biaxially stretched resin film or sheet may be used.
Further, in the above-described resin film or sheet, the film thickness is preferably about 12 to 200 μm, more preferably about 25 to 150 μm.
[0032]
In the present invention, when manufacturing the solar cell module according to the present invention, other materials such as, for example, other materials such as strength, weather resistance, scratch resistance, and the like are improved. , Low density polyethylene, medium density polyethylene, high density polyethylene, linear low density polyethylene, polypropylene, ethylene-propylene copolymer, ethylene-vinyl acetate copolymer, ionomer resin, ethylene-ethyl acrylate copolymer, ethylene -Acrylic acid or methacrylic acid copolymer, methylpentene polymer, polybutene resin, polyvinyl chloride resin, polyvinyl acetate resin, polyvinylidene chloride resin, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, poly (meth) Acrylic resin, polyacrylonitrile resin, polystyrene resin, acrylonite Ru-styrene copolymer (AS resin), acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer (ABS resin), polyester resin, polyamide resin, polycarbonate resin, polyvinyl alcohol resin, ethylene -Arbitrarily selected from saponified vinyl acetate copolymer, fluorine resin, diene resin, polyacetal resin, polyurethane resin, nitrocellulose, and other known resin films or sheets. Can be used.
In the present invention, the above-described film or sheet may be any of unstretched, uniaxially or biaxially stretched.
The thickness is arbitrary, but can be selected from a range of several μm to 300 μm.
Furthermore, in the present invention, the film or sheet may be a film having any property such as extrusion film formation, inflation film formation, and coating film.
[0033]
Next, in the present invention, a method for producing a solar cell module using the above materials will be described. As such a production method, a known method, for example, the solar cell module according to the present invention is used. The protective sheet for the solar cell module is used as a protective sheet for the front or back surface of the solar cell module, and the surface of the inorganic oxide vapor-deposited thin film is on the inner side. A solar cell element, a filler layer, and a back surface protection sheet layer for a solar cell module, etc., and if necessary, other materials are optionally laminated between the layers, Utilizing a normal molding method such as a lamination method in which these are integrated by vacuum suction or the like and thermocompression-bonded, the above-mentioned layers are thermocompression-molded to produce a solar cell module. Can do.
In the above, if necessary, in order to improve the adhesion between each layer, a heat-melt adhesive having a vehicle as a main component of a vehicle such as a (meth) acrylic resin, an olefin resin, a vinyl resin, or the like, A solvent type adhesive, a photo-curing type adhesive, etc. can be used.
[0034]
Further, in the above lamination, each lamination facing surface has, as necessary, for example, corona discharge treatment, ozone treatment, low temperature plasma treatment using oxygen gas or nitrogen gas, Pretreatments such as glow discharge treatment, oxidation treatment using chemicals, etc., and others can be optionally applied.
Further, in the above lamination, a primer coat agent layer, an undercoat agent layer, an adhesive layer, an anchor coat agent layer, or the like is arbitrarily formed in advance on each lamination facing surface. And surface pretreatment can also be performed.
Examples of the pretreatment coating agent layer include polyester resins, polyamide resins, polyurethane resins, epoxy resins, phenol resins, (meth) acrylic resins, polyvinyl acetate resins, A resin composition comprising a polyolefin resin such as polyethylene aly polypropylene or a copolymer or modified resin thereof, a cellulose resin, or the like as a main component of the vehicle can be used.
In the above, the coating agent layer can be formed by using, for example, a solvent type, aqueous type, or emulsion type coating agent, a roll coating method, a gravure roll coating, etc. The coating can be performed using a coating method such as a method, a kiss coating method, or the like.
[0035]
Furthermore, in the present invention, the solar cell module protective sheet according to the present invention is used as a solar cell module surface protective sheet or a solar cell module back surface protective sheet, The filler layer is laminated on the surface of the inorganic oxide vapor-deposited thin film of the surface or back surface protection sheet for the solar cell module, and the surface protection sheet for solar cell module or the A laminated body in which a back protection sheet for a battery module and a filler layer are laminated is manufactured, and then a solar cell element as a photovoltaic element is laminated between the filler layers, and further required. Then, other materials are arbitrarily laminated, and then they are integrated by vacuum suction or the like, and a normal molding method such as a thermocompression method is used. Molded to produce solar cell module It can be.
In the above lamination, in order to improve the strength, puncture resistance and the like of the solar cell module, the aforementioned reinforcing fibers, specifically, for example, glass fibers, carbon fibers, aramid fibers, polyamide fibers, Polyester fibers, natural fibers, etc. can be used, and they can be laminated by interposing a reinforcing fiber layer in the form of short or long fiber or their woven or non-woven fabric. it can.
Alternatively, the above-mentioned reinforcing fibers, specifically, for example, glass fibers, carbon fibers, aramid fibers, polyamide fibers, polyester fibers, natural fibers, and the like are used. These woven or non-woven fabrics and the like constitute the filler layer described above, for example, fluorine resin, ethylene-vinyl acetate copolymer, ionomer resin, ethylene-acrylic acid, or methacrylic acid copolymer. Copolymers, Polyethylene resins, Polypropylene resins, Polyolefin resins such as polyethylene or polypropylene modified with unsaturated carboxylic acids such as acrylic acid, itaconic acid, maleic acid and fumaric acid, cyclic polyolefinic resins Resin, polyvinyl butyral resin, silicone resin, epoxy resin, (meta Acrylic resin, by mixing the resins other such, film or sheet of the resin produced by processing kneaded - by interposing reinforcing fiber layer made of bets like material or the like, and which may be laminated.
[0036]
【Example】
Next, the present invention will be described more specifically with reference to examples.
Example 1
(1). As a substrate, a polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm is used, and this is attached to a feeding roll of a take-up vacuum deposition apparatus, which is then fed out onto a coating drum, Under the following conditions, the surface of the above polydicyclopentadiene resin sheet is easily adhered by a reaction vacuum vapor deposition method using an electron beam (EB) heating method while using aluminum as a vapor deposition source and supplying oxygen gas. A vapor-deposited thin film of aluminum oxide having a thickness of 500 mm was formed.
(Deposition conditions)
Deposition source: Aluminum
Degree of vacuum in the vacuum chamber: 7.5 × 10 -6 mbar
Degree of vacuum in the deposition chamber: 2.1 × 10 -6 mbar
EB output: 40KW
Film transport speed: 600 m / min
(2). Next, after forming an aluminum oxide vapor-deposited thin film having a thickness of 500 mm as described above, immediately after the vapor deposition, a glow discharge plasma generator is used on the aluminum oxide vapor-deposited thin film surface to generate a plasma output of 1500 W, oxygen gas. (O 2 ): Argon gas (Ar) = 19: 1 mixed gas pressure 6 × 10 -Five The protective sheet for a solar cell module according to the present invention was manufactured by performing oxygen / argon mixed gas plasma treatment at a process rate of 420 m / min.
(3). Next, the protective sheet for solar cell module produced above was used as a surface protective sheet for solar cell module, and 400 μm thick ethylene was deposited on the plasma-treated surface of the deposited aluminum oxide thin film. A vinyl acetate copolymer sheet, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 38 μm in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel, an ethylene-vinyl acetate copolymer sheet having a thickness of 400 μm, And a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm is laminated through an acrylic resin adhesive layer with the solar cell element surface facing upward, and the solar cell module according to the present invention is laminated. Manufactured.
(4). In the above, a polycyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm was used instead of the polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm as the base material. The protective sheet and solar cell module according to the present invention could be manufactured.
[0037]
Example 2
(1). A polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm is used as a base material, and this is attached to a delivery roll of a plasma chemical vapor deposition apparatus. The polydicyclopentadiene resin sheet was formed on the easy adhesion treated surface.
(Deposition conditions)
Reaction gas mixture ratio: hexamethyldisiloxane: oxygen gas: helium = 1: 10: 10 (unit: slm)
Degree of vacuum in the vacuum chamber: 5.0 × 10 -6 mbar
Degree of vacuum in the deposition chamber: 6.0 × 10 -2 mbar
Cooling and electrode drum power supply: 20kW
Film transport speed: 80 m / min
Deposition surface: Corona-treated surface
(2). Next, after forming a silicon oxide vapor-deposited thin film having a thickness of 500 mm as described above, immediately after the vapor deposition, the silicon oxide vapor-deposited thin film surface is subjected to corona discharge treatment at an output of 10 kW and a treatment speed of 100 m / min. The surface tension of the vapor-deposited thin film surface was increased from 35 dyne to 60 dyne to produce a protective sheet for a solar cell schedule according to the present invention.
(3). Next, the solar cell module protective sheet produced as described above was used as a surface protective sheet for solar cell module, and 400 μm thick ethylene was applied to the corona-treated surface of the silicon oxide vapor-deposited thin film. A vinyl acetate copolymer sheet, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 38 μm in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel, an ethylene-vinyl acetate copolymer sheet having a thickness of 400 μm, And a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm is laminated through an acrylic resin adhesive layer with the solar cell element surface facing upward, and the solar cell module according to the present invention is laminated. Manufactured.
(4). In the above, a polycyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm was used instead of the polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm as the base material. The surface protection sheet and solar cell module according to the present invention could be manufactured.
[0038]
Example 3
(1). As a base material, a 300 μm thick polydicyclopentadiene resin sheet kneaded with an ultraviolet absorber was used, and this was attached to a delivery roll of a plasma chemical vapor deposition apparatus. An easy-adhesion treated surface of the polydicyclopentadiene resin sheet was formed on the silicon oxide vapor-deposited thin film.
(Deposition conditions)
Reaction gas mixture ratio: hexamethyldisiloxane: oxygen gas: helium = 1: 10: 10 (unit: slm)
Degree of vacuum in the vacuum chamber: 5.0 × 10 -6 mbar
Degree of vacuum in the deposition chamber: 6.0 × 10 -2 mbar
Cooling and electrode drum power supply: 20kW
Film transport speed: 80 m / min
Deposition surface: Corona-treated surface
Next, after forming a silicon oxide vapor-deposited thin film having a thickness of 500 mm as described above, immediately after the vapor deposition, the silicon oxide vapor-deposited thin film surface is subjected to corona discharge treatment at an output of 10 kW and a treatment speed of 100 m / min. The surface tension of the deposited thin film surface was improved from 35 dyne to 60 dyne.
(2). Next, the polydicyclopentadiene resin sheet on which the silicon oxide vapor-deposited thin film subjected to the corona treatment is used is mounted on the feeding roll of the take-up vacuum vapor deposition apparatus, and then this is attached. The above polydicyclopentadiene is drawn out on a coating drum by the reaction vacuum vapor deposition method using an electron beam (EB) heating method while supplying oxygen gas and using aluminum as a vapor deposition source under the following conditions. An aluminum oxide vapor deposited thin film having a thickness of 500 mm was formed on the corona-treated surface of the silicon oxide vapor deposited thin film on the resin sheet.
(Deposition conditions)
Deposition source: Aluminum
Degree of vacuum in the vacuum chamber: 7.5 × 10 -6 mbar
Degree of vacuum in the deposition chamber: 2.1 × 10 -6 mbar
EB output: 40KW
Film transport speed: 600 m / min
Next, after forming an aluminum oxide vapor-deposited thin film having a thickness of 500 mm as described above, immediately after the vapor deposition, a glow discharge plasma generator is used on the aluminum oxide vapor-deposited thin film surface to generate a plasma output of 1500 W, oxygen gas. (O 2 ): Argon gas (Ar) = 19: 1 mixed gas pressure 6 × 10 -Five The protective sheet for a solar cell module according to the present invention was manufactured by performing oxygen / argon mixed gas plasma treatment at a process rate of 420 m / min.
(3). Next, the protective sheet for solar cell module produced above was used as a surface protective sheet for solar cell module, and 400 μm thick ethylene was deposited on the plasma-treated surface of the deposited aluminum oxide thin film. A vinyl acetate copolymer sheet, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 38 μm in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel, an ethylene-vinyl acetate copolymer sheet having a thickness of 400 μm, And a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm is laminated through an acrylic resin adhesive layer with the solar cell element surface facing upward, and the solar cell module according to the present invention is laminated. Manufactured.
(4). In the above, instead of the 300 μm-thick polydicyclopentadiene resin sheet kneaded with the UV absorber as the base material, a 300 μm-thick polycyclopentadiene resin sheet kneaded with the UV absorber is used. The same protective sheet and solar cell module according to the present invention could be produced in exactly the same manner as described above.
[0039]
Example 4
(1). A polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm was used as a base material, and an aluminum oxide vapor-deposited thin film having a thickness of 500 mm was formed on the easy-adhesion treated surface in the same manner as in Example 1 above. A plasma treated surface was formed.
Further, in the same manner as in Example 1 above, an aluminum oxide vapor-deposited thin film having a thickness of 500 mm is formed on the plasma-treated surface of the aluminum oxide vapor-deposited thin film having a thickness of 500 mm formed as described above. By forming a treated surface, a protective sheet for a solar cell module according to the present invention consisting of two layers of aluminum oxide vapor-deposited thin film was produced.
(2). Next, the protective sheet for solar cell module produced above was used as a surface protective sheet for solar cell module, and 400 μm thick ethylene was deposited on the plasma-treated surface of the deposited aluminum oxide thin film. A vinyl acetate copolymer sheet, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 38 μm in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel, an ethylene-vinyl acetate copolymer sheet having a thickness of 400 μm, And a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm is laminated through an acrylic resin adhesive layer with the solar cell element surface facing upward, and the solar cell module according to the present invention is laminated. Manufactured.
(3). In the above, a polycyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm was used instead of the polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm as the base material. The surface protection sheet and solar cell module according to the present invention could be manufactured.
[0040]
Example 5
(1). A polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm was used as a base material, and a 500-nm-thick silicon oxide vapor-deposited thin film was formed on the easy-adhesion treated surface in the same manner as in Example 2 above. A corona-treated surface was formed.
Further, in the same manner as in Example 2 above, a silicon oxide vapor-deposited thin film having a thickness of 500 mm was similarly formed on the corona-treated surface of the silicon oxide vapor-deposited thin film having a thickness of 500 mm formed above. A treated surface was formed, and a protective sheet for a solar cell module according to the present invention consisting of a two-layer deposited thin film of silicon oxide was produced.
(2). Next, the solar cell module protective sheet produced as described above was used as a surface protective sheet for solar cell module, and 400 μm thick ethylene was applied to the corona-treated surface of the silicon oxide vapor-deposited thin film. A vinyl acetate copolymer sheet, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 38 μm in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel, an ethylene-vinyl acetate copolymer sheet having a thickness of 400 μm, And a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm is laminated through an acrylic resin adhesive layer with the solar cell element surface facing upward, and the solar cell module according to the present invention is laminated. Manufactured.
(3). In the above, a polycyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm was used instead of the polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm as the base material. The surface protection sheet and solar cell module according to the present invention could be manufactured.
[0041]
Example 6
(1). The solar cell module protective sheet produced in Example 1 above was used as a solar cell module surface protective sheet and a solar cell module back surface protective sheet, and the solar cell module. A surface protection sheet for a steel sheet is formed by arranging a 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet and a solar cell element made of amorphous silicon in parallel on the plasma-treated surface of the aluminum oxide vapor-deposited thin film. A 38 μm thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film, a 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet, and the above-mentioned back surface protection sheet for a solar cell module were deposited on the aluminum oxide vapor deposited thin film. The solar cell module according to the present invention is laminated with an acrylic resin adhesive layer facing each other with the plasma treatment surfaces facing each other and the solar cell element surface facing upward. It was produced Lumpur.
(2). In the above, a polycyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm was used instead of the polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm as the base material. The protective sheet and solar cell module according to the present invention could be manufactured.
[0042]
Example 7
(1). The solar cell module protective sheet produced in Example 2 above was used as a solar cell module surface protective sheet and a solar cell module back surface protective sheet, and the solar cell module. The thickness of the surface protection sheet for the ruler, in which a 400 μm-thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet and a solar cell element made of amorphous silicon are arranged in parallel on the corona-treated surface of the silicon oxide vapor-deposited thin film A 38 μm thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film, a 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet, and the above-mentioned back surface protection sheet for solar cell module, a silicon oxide vapor-deposited thin film The solar cell module according to the present invention was manufactured by laminating with an acrylic resin adhesive layer with the corona-treated surfaces facing each other and with the solar cell element surface facing upward.
(2). In the above, a polycyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm was used instead of the polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm as the base material. The surface protection sheet and solar cell module according to the present invention could be manufactured.
[0043]
Example 8
(1). The solar cell module protective sheet produced in Example 3 above was used as a solar cell module surface protective sheet and a solar cell module back surface protective sheet, and the solar cell module. A surface protection sheet for a steel sheet is formed by arranging a 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet and a solar cell element made of amorphous silicon in parallel on the plasma-treated surface of the aluminum oxide vapor-deposited thin film. A 38 μm thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film, a 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet, and the above-mentioned back surface protection sheet for a solar cell module were deposited on the aluminum oxide vapor deposited thin film. The solar cell module according to the present invention is laminated with an acrylic resin adhesive layer facing each other with the plasma treatment surfaces facing each other and the solar cell element surface facing upward. It was produced Lumpur.
(2). In the above, instead of the 300 μm-thick polydicyclopentadiene resin sheet kneaded with the UV absorber as the base material, a 300 μm-thick polycyclopentadiene resin sheet kneaded with the UV absorber is used. The same protective sheet and solar cell module according to the present invention could be produced in exactly the same manner as described above.
[0044]
Example 9
(1). The solar cell module protective sheet produced in Example 4 above was used as a solar cell module surface protective sheet and a solar cell module back surface protective sheet, and the solar cell module. A surface protection sheet for a steel sheet is formed by arranging a 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet and a solar cell element made of amorphous silicon in parallel on the plasma-treated surface of the aluminum oxide vapor-deposited thin film. A 38 μm thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film, a 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet, and the above-mentioned back surface protection sheet for a solar cell module were deposited on the aluminum oxide vapor deposited thin film. The solar cell module according to the present invention is laminated with an acrylic resin adhesive layer facing each other with the plasma treatment surfaces facing each other and the solar cell element surface facing upward. It was produced Lumpur.
(2). In the above, a polycyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm was used instead of the polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm as the base material. The surface protection sheet and solar cell module according to the present invention could be manufactured.
[0045]
Example 10
(1). The protective sheet for the solar cell module produced in the above Example 5 was used as a surface protective sheet for the solar cell module and a back surface protective sheet for the solar cell module. The thickness of the surface protection sheet for the ruler, in which a 400 μm-thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet and a solar cell element made of amorphous silicon are arranged in parallel on the corona-treated surface of the silicon oxide vapor-deposited thin film A 38 μm thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film, a 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet, and the above-mentioned back surface protection sheet for solar cell module, a silicon oxide vapor-deposited thin film The solar cell module according to the present invention was manufactured by laminating via an acrylic resin adhesive layer with the corona-treated surfaces of the surfaces facing each other and the solar cell element surface facing upward.
(2). In the above, a polycyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm was used instead of the polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm as the base material. The surface protection sheet and solar cell module according to the present invention could be manufactured.
[0046]
Example 11
(1). The protective sheet for the solar cell module produced in the above Example 1 was used as a back surface protective sheet for the solar cell module. First, a glass plate having a thickness of 3 mm and an ethylene-acetic acid having a thickness of 400 μm were used. A vinyl copolymer sheet, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 38 μm in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel, an ethylene-vinyl acetate copolymer sheet having a thickness of 400 μm, and The above-mentioned solar cell module back surface protection sheet is disposed so that the plasma treatment surface of the aluminum oxide vapor-deposited thin film faces the surface and the solar cell element surface faces upward, and an acrylic resin adhesive layer is formed. Thus, the solar cell module according to the present invention was manufactured.
(2). In the above, a polycyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm was used instead of the polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm as the base material. The protective sheet and solar cell module according to the present invention could be manufactured.
[0047]
Example 12
(1). The protective sheet for the solar cell module produced in the above Example 2 was used as a back surface protective sheet for the solar cell module, and the polyvinyl fluoride resin sheet (PVF) having a thickness of 50 μm was used. 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet, 38 μm thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel, 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer The back protection sheet for the solar cell module and the above-described back surface protection sheet for the solar cell module are made acrylic with the corona-treated surface of the vapor-deposited thin film of silicon oxide facing and the solar cell element surface facing upward. The solar cell module according to the present invention was manufactured by laminating via a resin adhesive layer.
(2). In the above, a polycyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm was used instead of the polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm as the base material. The surface protection sheet and solar cell module according to the present invention could be manufactured.
[0048]
Example 13
(1). The protective sheet for the solar cell module produced in the above Example 3 was used as the back surface protective sheet for the solar cell module, and the polyvinyl fluoride resin sheet (PVF) having a thickness of 50 μm was used. 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet, 38 μm thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel, 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer A sheet and the above-described back surface protection sheet for solar cell module, the plasma treatment surface of the vapor-deposited thin film of aluminum oxide facing each other and the solar cell element surface facing upward, The solar cell module according to the present invention was manufactured by laminating via a resin adhesive layer.
(2). In the above, a polycyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm was used instead of the polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm as the base material. The surface protection sheet and solar cell module according to the present invention could be manufactured.
[0049]
Example 14
(1). Using a 100 μm thick polydicyclopentadiene resin sheet kneaded and processed with an ultra-fine particle titanium oxide UV absorber and glass fiber, this was attached to the plasma chemical vapor deposition apparatus delivery roll, Under the conditions described above, a vapor-deposited thin film of silicon oxide having a thickness of 50 mm was formed on the surface of the polydicycloperopentadiene resin sheet to provide a vapor-proof protective film.
(Deposition conditions)
Reaction gas mixture ratio: hexamethyldisiloxane: oxygen gas: helium = 5: 5: 5 (unit: slm)
Degree of vacuum in the vacuum chamber: 7.0 × 10 -6 mbar
Degree of vacuum in the deposition chamber: 3.8 × 10 -2 mbar
Cooling / electrode drum power supply: 15 kW
Sheet transport speed: 100 m / min
(2). Next, using the above polydicyclopentadiene resin sheet provided with an anti-evaporation protective film, as described above, this was mounted on the feed roll of the plasma chemical vapor deposition apparatus, and the thickness was measured under the following conditions. A 800-nm thick silicon oxide vapor-deposited film was formed on the above-mentioned vapor-deposited protective film surface.
(Deposition conditions)
Reaction gas mixture ratio: hexamethyldisiloxane: oxygen gas: helium = 1: 10: 10 (unit: slm)
Degree of vacuum in the vacuum chamber: 5.0 × 10 -6 mbar
Degree of vacuum in the deposition chamber: 6.0 × 10 -2 mbar
Cooling and electrode drum power supply: 20kW
Film transport speed: 80 m / min
Next, immediately after the silicon oxide vapor deposition film having a thickness of 800 mm was formed as described above, the silicon oxide vapor deposition film surface was subjected to corona discharge treatment at an output of 10 kW and a treatment speed of 100 m / min. A protective sheet for a solar cell module according to the present invention was manufactured by forming a corona-treated surface having a surface tension improved from 35 dyne to 60 dyne.
(3). Next, the protective sheet for solar cell module produced above was used as a surface protective sheet for solar cell module, and 400 μm thick ethylene was applied to the corona-treated surface of the deposited silicon oxide film. A vinyl acetate copolymer sheet, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 38 μm in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel, an ethylene-vinyl acetate copolymer sheet having a thickness of 400 μm, And a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm is laminated through an acrylic resin adhesive layer with the solar cell element surface facing upward, and the solar cell module according to the present invention is laminated. Manufactured.
(4). In the above, instead of the polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm obtained by kneading and processing the ultraviolet absorbent made of ultrafine titanium oxide and glass fiber, an ultraviolet absorbent made of ultrafine titanium oxide and Using a 100 μm-thick polycyclopentadiene resin sheet kneaded with glass fiber, the protective sheet and solar cell module according to the present invention are produced in the same manner as described above. We were able to.
[0050]
Example 15
(1). The polydicyclopentadiene resin sheet provided with the vapor deposition resistant protective film produced in the above Example 14 was used, and this was attached to the delivery roll of the take-up type vacuum vapor deposition apparatus, and this was then coated. It is drawn out on a drum, and the above-mentioned deposition resistant protective film surface is formed by a reaction vacuum deposition method using an electron beam (EB) heating method while supplying oxygen gas using aluminum as a deposition source under the following conditions. An aluminum oxide vapor deposition film having a thickness of 800 mm was formed.
(Deposition conditions)
Deposition source: Aluminum
Degree of vacuum in the vacuum chamber: 7.5 × 10 -6 mbar
Degree of vacuum in the deposition chamber: 2.1 × 10 -6 mbar
EB output: 40KW
Film transport speed: 600 m / min
Next, immediately after forming an aluminum oxide vapor deposition film having a thickness of 800 mm as described above, a glow discharge plasma generator was used on the aluminum oxide vapor deposition film surface, and the plasma output was 1500 W, oxygen gas (O 2 ): Argon gas (Ar) = 19: 1 mixed gas pressure 6 × 10 -Five A protective sheet for a solar cell module according to the present invention was manufactured by performing plasma treatment with an oxygen / argon mixed gas plasma treatment with Toor at a treatment speed of 420 m / min.
(2). Next, the solar cell module protective sheet manufactured as described above is used as a surface protective sheet for the solar cell module, and a thickness of 400 μm is previously formed on the plasma-treated surface of the aluminum oxide vapor-deposited film. The ethylene-vinyl acetate copolymer sheet was laminated via an acrylic resin adhesive layer.
Next, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 38 μm in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel on the ethylene-vinyl acetate copolymer sheet surface laminated as described above, and ethylene having a thickness of 400 μm. -A vinyl acetate copolymer sheet and a 50 μm thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film are sequentially laminated with the solar cell element surface facing upward, and then each layer is made of an acrylic resin. The solar cell module according to the present invention was manufactured by laminating through the adhesive layer.
(3). In the above, instead of the polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm obtained by kneading and processing the ultraviolet absorbent made of ultrafine titanium oxide and glass fiber, an ultraviolet absorbent made of ultrafine titanium oxide and Using a 100 μm-thick polycyclopentadiene resin sheet kneaded with glass fiber, the protective sheet and solar cell module according to the present invention are produced in the same manner as described above. We were able to.
[0051]
Example 16
(1). Using a polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm obtained by kneading and processing an ultraviolet absorber made of ultrafine titanium oxide and glass fiber, first, an embossing roll is provided on one side of the polydicyclopentadiene resin sheet. Was used to form a 1 μm embossed surface having a pyramid shape.
Next, using the polydicyclopentadiene resin sheet having the embossed surface as described above, this is mounted on a feed roll of a take-up vacuum deposition apparatus, and then fed onto a coating drum. The non-embossed surface of the polydicyclopentadiene resin sheet is formed by a reactive vacuum vapor deposition method using an electron beam (EB) heating method while using aluminum as a vapor deposition source and supplying oxygen gas under the following conditions. Then, a vapor-deposited thin film of aluminum oxide having a thickness of 50 mm was formed to provide a vapor-proof protective film.
(Deposition conditions)
Deposition source: Aluminum
Degree of vacuum in the vacuum chamber: 7.5 × 10 -6 mbar
Degree of vacuum in the deposition chamber: 2.1 × 10 -6 mbar
EB output: 20KW
Film transport speed: 500m / min
(2). Next, using the polydicyclopentadiene resin sheet provided with an anti-deposition protective film as described above, the reaction vacuum deposition method using an electron beam (EB) heating method is used in the same manner as in Example 1 above. Then, an aluminum oxide vapor deposition film having a thickness of 800 mm is formed on the vapor deposition resistant protective film, and further, a plasma treatment surface is formed on the vapor deposition film surface of the aluminum oxide to form a plasma treatment surface. A protective sheet for a solar cell module was produced.
(3). Next, the protective sheet for solar cell module produced above was used as a surface protective sheet for solar cell module, and 400 μm thick ethylene was deposited on the plasma-treated surface of the deposited aluminum oxide film. A vinyl acetate copolymer sheet, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 38 μm in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel, an ethylene-vinyl acetate copolymer sheet having a thickness of 400 μm, And, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm is laminated with its solar cell element surface facing upward, and the layers are laminated via an acrylic resin adhesive layer. A solar cell module was manufactured.
(4). In the above, instead of the 100 μm-thick polydicyclopentadiene resin sheet that is kneaded and embossed with the ultraviolet absorber made of the above ultrafine titanium oxide and glass fiber, ultrafine titanium oxide The protective sheet according to the present invention is similarly applied in the same manner as described above, using a 100 μm-thick polycyclopentadiene resin sheet kneaded with an ultraviolet absorber made of glass fiber and glass fiber. And solar cell modules could be manufactured.
[0052]
Example 17
(1). The solar cell module protection sheet produced in Example 14 was used as a solar cell module surface protection sheet and a solar cell module back surface protection sheet, and the solar cell module The thickness of the surface protection sheet for the ruler, in which a 400 μm-thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet and a solar cell element made of amorphous silicon are arranged in parallel on the corona-treated surface of the silicon oxide vapor-deposited thin film A 38 μm thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film, a 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet, and the above-mentioned back surface protection sheet for solar cell module, a silicon oxide vapor-deposited thin film The solar cell module according to the present invention was manufactured by laminating with an acrylic resin adhesive layer with the corona-treated surfaces facing each other and with the solar cell element surface facing upward.
(2). In the above, instead of the polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm obtained by kneading and processing the ultraviolet absorbent made of ultrafine titanium oxide and glass fiber, an ultraviolet absorbent made of ultrafine titanium oxide and Using a 100 μm-thick polycyclopentadiene resin sheet kneaded with glass fiber, the protective sheet and solar cell module according to the present invention are produced in the same manner as described above. We were able to.
[0053]
Example 18
(1). The solar cell module protective sheet manufactured in Example 15 was used as a solar cell module surface protective sheet and a solar cell module back surface protective sheet. A 400 μm-thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet is laminated in advance through an acrylic resin adhesive layer on the plasma-treated surface of the aluminum oxide vapor-deposited thin film of the surface protection sheet for the battery module. did.
On the other hand, in the same manner as described above, an ethylene-vinyl acetate copolymer sheet having a thickness of 400 μm was previously applied to the plasma-treated surface of the vapor-deposited thin film of aluminum oxide on the back surface protection sheet for the solar cell module. It laminated | stacked through the adhesive agent layer of a system resin.
Next, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 38 μm in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel between the layers of the both ethylene-vinyl acetate copolymer sheets laminated as described above, The solar cell module according to the present invention was manufactured by stacking the layers with the acrylic resin adhesive layer between the battery elements facing upward.
(2). In the above, instead of the polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm obtained by kneading and processing the ultraviolet absorbent made of ultrafine titanium oxide and glass fiber, an ultraviolet absorbent made of ultrafine titanium oxide and Using a 100 μm-thick polycyclopentadiene resin sheet kneaded with glass fiber, the protective sheet and solar cell module according to the present invention are produced in the same manner as described above. We were able to.
[0054]
Example 19
(1). The solar cell module protective sheet produced in Example 16 was used as a solar cell module surface protective sheet and a solar cell module back surface protective sheet, and the solar cell module. A surface protection sheet for a steel sheet is formed by arranging a 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet and a solar cell element made of amorphous silicon in parallel on the plasma-treated surface of the aluminum oxide vapor-deposited thin film. A 38 μm thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film, a 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet, and the above-mentioned back surface protection sheet for a solar cell module were deposited on the aluminum oxide vapor deposited thin film. The solar cell module according to the present invention is laminated with an acrylic resin adhesive layer facing each other with the plasma treatment surfaces facing each other and the solar cell element surface facing upward. - was produced Lumpur.
(2). In the above, instead of the 100 μm-thick polydicyclopentadiene resin sheet that is kneaded and embossed with the ultraviolet absorber made of the above ultrafine titanium oxide and glass fiber, ultrafine titanium oxide The protective sheet according to the present invention is similarly applied in the same manner as described above, using a 100 μm-thick polycyclopentadiene resin sheet kneaded with an ultraviolet absorber made of glass fiber and glass fiber. And solar cell modules could be manufactured.
[0055]
Example 20
(1). The solar cell module protective sheet produced in Example 14 was used as a solar cell module back surface protective sheet. First, a glass plate having a thickness of 3 mm and an ethylene-acetic acid having a thickness of 400 μm were used. A vinyl copolymer sheet, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 38 μm in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel, an ethylene-vinyl acetate copolymer sheet having a thickness of 400 μm, and The above-mentioned solar cell module back surface protection sheet has an acrylic resin adhesive layer facing the corona-treated surface of the silicon oxide vapor-deposited thin film and facing the solar cell element surface upward. Thus, the solar cell module according to the present invention was manufactured.
(2). In the above, instead of the polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm obtained by kneading and processing the ultraviolet absorbent made of ultrafine titanium oxide and glass fiber, an ultraviolet absorbent made of ultrafine titanium oxide and Using a 100 μm-thick polycyclopentadiene resin sheet kneaded with glass fiber, the protective sheet and solar cell module according to the present invention are produced in the same manner as described above. We were able to.
[0056]
Example 21
(1). The protective sheet for solar cell module produced in the above Example 15 was used as a back surface protective sheet for solar cell module, and a polyvinyl fluoride resin sheet (PVF) having a thickness of 50 μm, 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet, 38 μm thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel, 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer A sheet and the above-described back surface protection sheet for solar cell module, the plasma treatment surface of the vapor-deposited thin film of aluminum oxide facing each other and the solar cell element surface facing upward, The solar cell module according to the present invention was manufactured by laminating via a resin adhesive layer.
(2). In the above, instead of the polydicyclopentadiene resin sheet having a thickness of 100 μm obtained by kneading and processing the ultraviolet absorbent made of ultrafine titanium oxide and glass fiber, an ultraviolet absorbent made of ultrafine titanium oxide and Using a 100 μm-thick polycyclopentadiene resin sheet kneaded with glass fiber, the protective sheet and solar cell module according to the present invention are produced in the same manner as described above. We were able to.
[0057]
Example 22
(1). The protective sheet for solar cell module produced in the above Example 15 was used as a back surface protective sheet for solar cell module, and a polyvinyl fluoride resin sheet (PVF) having a thickness of 50 μm, 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet, 38 μm thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel, 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer A sheet and the above-described back surface protection sheet for solar cell module, the plasma treatment surface of the vapor-deposited thin film of aluminum oxide facing each other and the solar cell element surface facing upward, The solar cell module according to the present invention was manufactured by laminating via a resin adhesive layer.
(2). In the above, instead of the 100 μm-thick polydicyclopentadiene resin sheet that is kneaded and embossed with the ultraviolet absorber made of the above ultrafine titanium oxide and glass fiber, ultrafine titanium oxide The protective sheet according to the present invention is similarly applied in the same manner as described above, using a 100 μm-thick polycyclopentadiene resin sheet kneaded with an ultraviolet absorber made of glass fiber and glass fiber. And solar cell modules could be manufactured.
[0058]
Comparative Example 1
As a substrate, a glass plate having a thickness of 3 mm is used as a surface protection sheet for a solar cell module. On one surface thereof, an ethylene-vinyl acetate copolymer sheet having a thickness of 400 μm is made of amorphous silicon. A biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 38 μm, a 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet, and a biaxially stretched polyethylene terephthalate having a thickness of 50 μm. The solar cell module was manufactured by laminating the film with the solar cell element surface facing upward through an adhesive layer of acrylic resin.
[0059]
Comparative Example 2
A polyvinyl fluoride resin sheet (PVF) having a thickness of 50 μm is used as a surface protection sheet for a solar cell module as a base material, and 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer is used on one surface thereof. A combined sheet, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 38 μm in which solar cell elements made of amorphous silicon are arranged in parallel, an ethylene-vinyl acetate copolymer sheet having a thickness of 400 μm, and a thickness of 50 μm The biaxially stretched polyethylene terephthalate film was laminated through an acrylic resin adhesive layer with the solar cell element surface facing upward to produce a solar cell module.
[0060]
Comparative Example 3
A polyvinyl fluoride resin sheet (PVF) having a thickness of 50 μm was used as a base material as a surface protection sheet for a solar cell module and a back surface protection sheet for a solar cell module. Biaxial shaft of 38 μm thickness in which a solar cell element made of 400 μm thick ethylene-vinyl acetate copolymer sheet and amorphous silicon is arranged in parallel on the surface of a 50 μm polyvinyl fluoride resin sheet (PVF) A stretched polyethylene terephthalate film, an ethylene-vinyl acetate copolymer sheet having a thickness of 400 μm, and a polyvinyl fluoride resin sheet (PVF) having a thickness of 50 μm are placed with the solar cell element surface facing upward. A solar cell module was manufactured by laminating with an adhesive layer of acrylic resin.
[0061]
Experimental example
With respect to the protective sheet according to the present invention produced in Examples 1 to 22 and the protective sheets according to Comparative Examples 1 to 3, the total light transmittance was measured, and in Examples 1 to 22 above, A solar cell module evaluation test was performed on the manufactured solar cell module and the solar cell modules manufactured in Comparative Examples 1 to 3.
(1). Measurement of total light transmittance
This is based on the base film, and the total light transmittance of the protective sheet according to the present invention produced in Examples 1 to 22 and the protective sheets according to Comparative Examples 1 to 3 was measured by a color computer. (%) Was measured.
(2). Solar cell module evaluation test
Based on JIS standard C8917-1989, the environmental test of the solar cell module was performed, the output of the photovoltaic power before and after the test was measured, and comparative evaluation was carried out.
(3). Measurement of water vapor permeability and oxygen permeability
The water vapor permeability was determined for the protective sheet according to the present invention produced in Examples 1 to 13 and the protective sheet according to Comparative Example 1 under the conditions of a temperature of 40 ° C. and a humidity of 90% RH. ) Measured with a measuring machine manufactured by the company [model name, PERMATRAN], and the oxygen permeability is the same as the above for the same object as above, at a temperature of 23 ° C. and a humidity of 90% RH. Measured with a measuring instrument (model name, OXTRAN) manufactured by MOCON.
The measurement results are shown in Table 1 below.
[0062]
(Table 1)
Figure 0004478250
Figure 0004478250
In Table 1 above, the unit of total light transmittance is [%], and the unit of water vapor barrier property is [g / m 2 / Day · 40 ° C. · 100% RH], and the unit of oxygen barrier property is [cc / m 2 / Day · 23 ° C. · 90% RH], and the unit of the output reduction rate is [%].
[0063]
As is clear from the measurement results shown in Table 1, the solar cell module protective sheets according to Examples 1 to 22 have high total light transmittance, water vapor barrier properties, and oxygen barrier properties. It was excellent.
Moreover, the solar cell module using the protection sheet for solar cell modules according to the above Examples 1 to 22 had a low output reduction rate.
On the other hand, the surface protection sheets according to Comparative Examples 1 to 3 have high total light transmittance, but low water vapor barrier property and oxygen barrier property. Therefore, solar cell modules using the same There were problems such as high output reduction rate.
[0064]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, the present invention Polydicyclopentadiene resin or polycyclopentadiene resin The film or sheet is used as a base sheet, and a transparent glassy inorganic oxide vapor-deposited thin film such as silicon oxide or aluminum oxide is provided on one surface of the solar cell module. Thus, the solar cell module protective sheet is used as a surface protective sheet layer or a back surface protective sheet layer, for example, the surface protective sheet layer. The inorganic oxide vapor-deposited thin film surface is on the inside, and a filler layer, a solar cell element as a photovoltaic element, a filler layer, and a back surface protection sheet layer for a solar cell module are sequentially laminated. Then, a solar cell module is manufactured using a lamination method or the like in which these are vacuum-sucked together and heat-pressed, and is excellent in sunlight permeability and strength, Weather resistance, heat resistance, water resistance, light resistance, wind pressure resistance, yield resistance, chemical resistance Excellent properties such as water resistance, moisture resistance, antifouling property, puncture resistance, etc., especially improve moisture resistance to prevent intrusion of moisture, oxygen, etc., and minimize long-term performance degradation It is possible to stably manufacture a solar cell module that is extremely durable, has high protection capability, and is safer at a lower cost.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an outline of an example of a layer structure of a protective sheet for a solar cell module according to the present invention.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an outline of an example of the layer structure of the protective sheet for a solar cell module according to the present invention.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an outline of an example of the layer structure of the protective sheet for a solar cell module according to the present invention.
4 is a schematic cross-sectional view showing an outline of an example of the layer structure of a solar cell module manufactured using the solar cell module protective sheet according to the present invention shown in FIG. 1. FIG.
5 is a schematic cross-sectional view showing an outline of an example of the layer structure of a solar cell module manufactured using the solar cell module protective sheet according to the present invention shown in FIG. 1. FIG.
6 is a schematic cross-sectional view schematically showing an example of the layer structure of a solar cell module manufactured using the solar cell module protective sheet according to the present invention shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 7 is a schematic configuration diagram of a take-up vacuum deposition apparatus showing an outline of a method for forming a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide by physical vapor deposition.
FIG. 8 is a schematic configuration diagram of a low-temperature plasma chemical vapor deposition apparatus showing an outline of a method for forming a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide by a chemical vapor deposition method.
[Explanation of symbols]
A Protective sheet for solar cell module
A 1 Protection sheet for solar cell module
A 2 Protection sheet for solar cell module
1 Cyclic polyolefin resin sheet
2 Vapor deposition thin film of inorganic oxide
2a Vapor deposited thin film of inorganic oxide
2b Vapor deposited thin film of inorganic oxide
3 Multilayer film
4 Composite membrane
T Solar cell module
T 1 Solar cell module
T 2 Solar cell module
11 Surface protection sheet for solar cell module
12 Filler layer
13 Solar cell element
14 Filler layer
15 Back surface protection sheet for ordinary solar cell module
16 Back surface protection sheet for solar cell module
17 Surface protection sheet for ordinary solar cell module

Claims (8)

ポリジシクロペンタジエン樹脂、または、ポリシクロペンタジエン樹脂のフィルムないしシ−トの片面に、無機酸化物の蒸着薄膜を設けた太陽電池モジュ−ル用保護シ−トであって、前記太陽電池モジュール用保護シートの無機酸化物の蒸着薄膜面に、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、および、太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層を順次に積層し、これらを真空吸引して加熱圧着ラミネ−ション法等により一体成形体としたことを特徴とする太陽電池モジュ−ル。 A protective sheet for a solar cell module, comprising a polydicyclopentadiene resin or a polycyclopentadiene resin film or sheet provided with a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide on one side , wherein the protection for the solar cell module is provided. On the surface of the deposited inorganic oxide film of the sheet , a filler layer, a solar cell element as a photovoltaic element, a filler layer, and a back surface protection sheet layer for a solar cell module are sequentially laminated. A solar cell module characterized by vacuum-sucking and forming an integrally molded body by a thermocompression lamination method or the like. 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、および、ポリジシクロペンタジエン樹脂、または、ポリシクロペンタジエン樹脂のフィルムないしシ−トの片面に、無機酸化物の蒸着薄膜を設けた太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを、その無機酸化物の蒸着薄膜面を対向させて順次に積層し、これらを真空吸引して加熱圧着ラミネ−ション法等により一体成形体としたことを特徴とする太陽電池モジュ−ル。Surface protection sheet for solar cell module, filler layer, solar cell element as a photovoltaic element, filler layer, and polydicyclopentadiene resin or polycyclopentadiene resin film or sheet A protective sheet for a solar cell module provided with a vapor-deposited thin film of an inorganic oxide on one side was sequentially laminated with the vapor-deposited thin film surface of the inorganic oxide facing each other, and these were vacuum-sucked to obtain a thermocompression bonded laminar. -A solar cell module characterized in that it is formed as an integral molded body by a method such as ポリジシクロペンタジエン樹脂、または、ポリシクロペンタジエン樹脂のフィルムないしシ−トの片面に、無機酸化物の蒸着薄膜を設けた太陽電池モジュ−ル用保護シ−トであって、無機酸化物の蒸着薄膜面に、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、および、ポリジシクロペンタジエン樹脂、または、ポリシクロペンタジエン樹脂のフィルムないしシ−トの片面に、無機酸化物の蒸着薄膜を設けた太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを、その無機酸化物の蒸着薄膜面を対向させて順次に積層し、これらを真空吸引して加熱圧着ラミネ−ション法等により一体成形体としたことを特徴とする太陽電池モジュ−ル。 A protective sheet for a solar cell module in which a polydicyclopentadiene resin or a polycyclopentadiene resin film or sheet is provided with an inorganic oxide vapor-deposited thin film , the inorganic oxide vapor-deposited thin film On the side, a filler layer, a solar cell element as a photovoltaic element, a filler layer, and a polydicyclopentadiene resin, or a polycyclopentadiene resin film or sheet, an inorganic oxide vapor-deposited thin film The protective sheet for the solar cell module provided with the laminated structure is formed by sequentially stacking the inorganic oxide vapor-deposited thin film surfaces facing each other, and vacuum-sucking them to form an integral molded body by a thermocompression lamination method or the like. A solar cell module characterized by that. ポリジシクロペンタジエン樹脂、または、ポリシクロペンタジエン樹脂のフィルムないしシ−トが、紫外線吸収剤、酸化防止剤、または、強化繊維の１種ないし２種以上を含有してなることを特徴とする上記の請求項１〜３に記載する太陽電池モジュ−ル。 The polydicyclopentadiene resin or the polycyclopentadiene resin film or sheet contains one or more of ultraviolet absorbers, antioxidants, or reinforcing fibers. The solar cell module according to claim 1. ポリジシクロペンタジエン樹脂、または、ポリシクロペンタジエン樹脂のフィルムないしシ−トが、その表面にエンボス加工面を有することを特徴とする上記の請求項１〜４に記載する太陽電池モジュ−ル。 5. The solar cell module according to claim 1, wherein the polydicyclopentadiene resin or the polycyclopentadiene resin film or sheet has an embossed surface on the surface thereof. 無機酸化物の蒸着薄膜が、無機酸化物の蒸着薄膜の１層もしくは２層以上の多層膜、または、異種の無機酸化物の蒸着薄膜の２層以上の複合膜からなることを特徴とする上記の請求項１〜５に記載する太陽電池モジュ−ル。 The inorganic oxide vapor-deposited thin film is composed of one or more multilayer films of inorganic oxide vapor-deposited thin films, or a composite film of two or more layers of different inorganic oxide vapor-deposited thin films. The solar cell module according to claim 1. ポリジシクロペンタジエン樹脂、または、ポリシクロペンタジエン樹脂のフィルムないしシ−トの片面に、無機酸化物の蒸着薄膜を設けた太陽電池モジュ−ル用表面または裏面保護シ−トであって、その無機酸化物の蒸着薄膜面に、予め、充填剤層を積層したことを特徴とする上記の請求項１〜６に記載する太陽電池モジュ−ル。 Polydicyclopentadiene resin or a film or sheet of poly cyclopentadiene resins - on one side of the bets, the solar cell module provided with a deposition film of an inorganic oxide - le for surface or back surface protective sheet - a preparative, the inorganic oxide The solar cell module according to any one of claims 1 to 6, wherein a filler layer is previously laminated on the surface of the deposited thin film of the product. ポリジシクロペンタジエン樹脂、または、ポリシクロペンタジエン樹脂のフィルムないしシ−トの片面に、無機酸化物の蒸着薄膜を設けた太陽電池モジュ−ル用表面または裏面保護シ−トであって、その無機酸化物の蒸着薄膜面に、強化繊維層を介して、充填剤層を積層したことを特徴とする上記の請求項１〜７に記載する太陽電池モジュ−ル。 Polydicyclopentadiene resin or a film or sheet of poly cyclopentadiene resins - on one side of the bets, the solar cell module provided with a deposition film of an inorganic oxide - le for surface or back surface protective sheet and - a preparative, the inorganic oxide The solar cell module according to any one of claims 1 to 7, wherein a filler layer is laminated on a vapor-deposited thin film surface of an object via a reinforcing fiber layer.
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