JP2001141608A - Equipment and method for measuring chromatic aberration of radial grin lens - Google Patents

Equipment and method for measuring chromatic aberration of radial grin lens

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JP2001141608A
JP2001141608A JP32854999A JP32854999A JP2001141608A JP 2001141608 A JP2001141608 A JP 2001141608A JP 32854999 A JP32854999 A JP 32854999A JP 32854999 A JP32854999 A JP 32854999A JP 2001141608 A JP2001141608 A JP 2001141608A
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JP
Japan
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chromatic aberration
lens
grin lens
radial
line
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JP32854999A
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Japanese (ja)
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Hirobumi Tsuchida
博文 槌田
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Olympus Optical Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an equipment and a method for measuring the Abbe number, i.e., the chromatic aberration or chromatic aberration parameter, of a medium of a radial GRIN lens easily and accurately. SOLUTION: The equipment for measuring the chromatic aberration of a sample lens, i.e., a radial GRIN lens 1, comprises a light source 3 emitting a plurality of wavelengths, a test target 2, and an imaging position detecting mechanism 8 and measures the chromatic aberration by detecting the difference of imaging position of the test target 2 due to difference of wavelengths emitted from the light source 3 wherein the radial GRIN lens 1 has planar surfaces on the opposite sides.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ラジアル型GRI
Nレンズの色収差を測定するための測定機および測定方
法に関するものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a radial GRI.
The present invention relates to a measuring device and a measuring method for measuring chromatic aberration of an N lens.

【0002】[0002]

【従来の技術】カメラ等の撮像に用いる結像レンズ系に
おいて、レンズ枚数の削減および光学性能向上のために
有効な手段として、レンズ内部の屈折率に分布を持たせ
るラジアル型GRINレンズ素子が期待されている。ラ
ジアル型GRINレンズは、媒質が光軸に対して垂直な
方向に屈折率の分布を持っており、その屈折率分布n
(r)は、次の式(2)で表される。 n(r)=N0+N12+N24+N36+・・・・・・ ……(2) 但し、N0は基準とする波長での光軸上の屈折率、N
i(i=1,2,3,・・・・・・)は屈折率分布を表す係
数、rは光軸からの垂直方向への距離である。
2. Description of the Related Art In an imaging lens system used for imaging of a camera or the like, a radial GRIN lens element having a distribution of refractive index inside a lens is expected as an effective means for reducing the number of lenses and improving optical performance. Have been. In the radial type GRIN lens, the medium has a refractive index distribution in a direction perpendicular to the optical axis, and the refractive index distribution n
(R) is represented by the following equation (2). n (r) = N 0 + N 1 r 2 + N 2 r 4 + N 3 R 6 + (2) where N 0 is the refractive index on the optical axis at the reference wavelength, N
.. (i = 1, 2, 3,...) are coefficients representing the refractive index distribution, and r is the distance from the optical axis in the vertical direction.

【0003】このラジアル型GRINレンズのd線を基
準波長としたときのアッベ数は、次の式(3),(4)で与え
られる。 V0=(N0d−1)/(N0F−N0C) (i=0) ……(3) Vi=Nid/(NiF−NiC) (i=1,2,3,・・・・・・) ……(4) 但し、d,C,Fはフランフォーファ線を表す記号であ
り、例えばNidはd線に対するNiの係数(i=0,
1,2,3,・・・・・・)を示す。
The Abbe number of this radial GRIN lens when the d-line is used as a reference wavelength is given by the following equations (3) and (4). V 0 = (N 0d −1) / (N 0F −N 0C ) (i = 0) (3) V i = N id / (N iF −N iC ) (i = 1, 2, 3 ,. .....) (4) where, d, C, F is the symbol representing the Fraunhofer lines, for example, N id coefficients of N i to the d-line (i = 0,
1, 2, 3,...).

【0004】このとき、ラジアル型GRINレンズで発
生する軸上色収差PACは近似的に次の式(5)で与えら
れる。 PAC=K[(φS/V0)+(φm/V1)] ……(5) 但し、φSはラジアル型GRINレンズの面のパワー、
φmはラジアル型GRINレンズの媒質のパワー、Kは
軸上光線高およびレンズ最終面からの射出角度に依存す
る定数である。
At this time, the axial chromatic aberration PAC generated by the radial GRIN lens is approximately given by the following equation (5). PAC = K [(φ S / V 0 ) + (φ m / V 1 )] (5) where φ S is the power of the surface of the radial GRIN lens,
φ m is the power of the medium of the radial type GRIN lens, and K is a constant depending on the axial ray height and the exit angle from the final surface of the lens.

【0005】両面が平面形状に形成されたラジアル型G
RINレンズでは、ラジアル型GRINレンズの面のパ
ワーφS=0であるので、発生する軸上色収差PACは
近似的に次の式(6)のようになる。 PAC=Kφm/V1 ……(6)
[0005] Radial type G having both surfaces formed in a plane shape
In the RIN lens, since the power φ S = 0 of the surface of the radial GRIN lens, the generated axial chromatic aberration PAC is approximately expressed by the following equation (6). PAC = Kφ m / V 1 (6)

【0006】また、光学設計上ラジアル型GRINレン
ズの効果を最大限に引き出すためには、媒質のアッベ数
1の絶対値が大きくなるような、低分散の素材が必要
であることが知られている。このアッベ数V1は、上記
式(5),(6)からもわかるようにラジアル型GRINレン
ズ媒質中での色収差の発生量に大きく影響するパラメー
タであり、実際の素材におけるアッベ数V1の値を正確
に測定することはラジアル型GRINレンズの開発上に
おいて、大変重要な課題となっている。
Further, it is known that in order to maximize the effect of the radial type GRIN lens from the viewpoint of optical design, a material having a low dispersion such that the absolute value of the Abbe number V 1 of the medium becomes large is required. ing. The Abbe number V 1 was, the formula (5) is a parameter which greatly influences the occurrence of chromatic aberration in the radial GRIN lens medium as can be seen from (6), the Abbe number V 1 in the actual material Accurate measurement of the value is a very important issue in developing a radial GRIN lens.

【0007】このアッベ数V1の値を測定するための方
法としては、特開平4−13948号公報に記載されて
いるような、臨界角を検出する屈折率プロファイル測定
機を用いて異なる複数の波長でもって臨界角の検出を行
ない、異なる波長におけるプロファイルの差からアッベ
数V1の値を求めるという方法がある。
As a method for measuring the value of the Abbe number V 1 , there are a plurality of different methods using a refractive index profile measuring device for detecting a critical angle, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 4-13948. performs detection of critical angle with a wavelength, there is a method of determining the value of the Abbe number V 1 from the difference between the profile at different wavelengths.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
4−13948号公報に記載の方法は、アッベ数V1
値を求めることはできるものの、測定精度が悪いという
問題がある。そこで、本発明は、簡単に精度よくラジア
ル型GRINレンズの媒質の色収差または色収差パラメ
ータであるアッベ数V1の値を測定することができる測
定機および測定方法を提供することを目的としている。
[SUMMARY OF THE INVENTION However, the method described in JP-A-4-13948, although it is possible to determine the value of the Abbe number V 1, there is a problem that the measurement accuracy is poor. The present invention aims to provide a measuring instrument and a measuring method capable of easily measuring the value of the Abbe number V 1 is a chromatic or chromatic parameters of the medium of accurately radial type GRIN lens.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本第1の発明によるラジアル型GRINレンズの
色収差測定機は、複数の波長を発する光源又はそれぞれ
において異なる波長を発する複数の光源と、テストター
ゲットと、結像位置検出機構とを有し、前記光源より発
した異なる波長によるテストターゲット像の結像位置の
違いを検出することによりサンプルレンズの色収差を測
定する色収差測定機であって、該サンプルレンズが、そ
の両面を平面形状に形成したラジアル型GRINレンズ
であることを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, a chromatic aberration measuring device for a radial type GRIN lens according to the first aspect of the present invention comprises a light source emitting a plurality of wavelengths or a plurality of light sources emitting different wavelengths from each other. And a test target, and an imaging position detection mechanism, wherein the chromatic aberration measuring device measures the chromatic aberration of the sample lens by detecting a difference in the imaging position of the test target image due to the different wavelengths emitted from the light source. The sample lens is a radial GRIN lens having both surfaces formed in a planar shape.

【0010】また、本第2の発明によるラジアル型GR
INレンズの色収差測定機は、複数の波長を発する光源
又はそれぞれにおいて異なる波長を発する複数の光源
と、該光源からの光線の偏角検出機構とを有し、前記光
源より発した異なる波長による光線の偏角の違いを検出
することによりサンプルレンズの色収差を測定する色収
差測定機であって、該サンプルレンズが、その両面を平
面形状に形成したラジアル型GRINレンズであること
を特徴とする。
The radial GR according to the second aspect of the present invention.
The chromatic aberration measuring device for the IN lens has a light source emitting a plurality of wavelengths or a plurality of light sources each emitting a different wavelength, and a deflection angle detection mechanism for a light beam from the light source, and a light beam having a different wavelength emitted from the light source. A chromatic aberration measuring device for measuring the chromatic aberration of a sample lens by detecting a difference in the angle of deviation of the sample lens, wherein the sample lens is a radial GRIN lens having both surfaces formed in a planar shape.

【0011】また、本発明によるラジアル型GRINレ
ンズの色収差測定方法は、両面が平面形状に形成された
ラジアル型GRINレンズで発生する色収差を測定し、
その色収差量より、光線追跡による逐次近似手法を用い
て媒質のアッべ数を算出することを特徴とする。
Further, the method for measuring chromatic aberration of a radial GRIN lens according to the present invention comprises measuring chromatic aberration generated in a radial GRIN lens having both surfaces formed in a planar shape.
The method is characterized in that the Abbe number of the medium is calculated from the amount of chromatic aberration using a successive approximation method by ray tracing.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】まず、本発明によるラジアル型G
RINレンズの色収差測定機の作用について説明する。
従来例として示した特開平4−13948号公報に記載
の臨界角を利用した測定方法では、サンプルであるラジ
アル型GRINレンズ媒質のある一断面の屈折率情報し
かとっておらず、面の研磨状態等の影響を受けやすく、
また、測定データをアッベ数V1の値に換算する過程で
フィッティングの手法を用いる必要があることから、そ
の過程で発生する誤差が大きいという問題点がある。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, a radial type G according to the present invention
The operation of the chromatic aberration measuring device for the RIN lens will be described.
In the measurement method using a critical angle described in JP-A-4-13948, which is shown as a conventional example, only the refractive index information of one section of a radial type GRIN lens medium as a sample is obtained, and the polished state of the surface is obtained. Etc.,
Further, since the in the process of converting the measured data of the value of the Abbe number V 1 it is necessary to use the fitting method, there is a problem that errors occurring in the process is great.

【0013】精度の高いアッベ数V1の値の測定を行う
ためには、ある程度の厚みのある媒質を伝搬してきた光
を用いて、しかも極力ダイレクトにアッベ数V1の値に
換算しやすい量を検出するのが有効である。そこで、本
発明では、ラジアル型GRINレンズの媒質を伝搬して
きた光によって、色収差を直接検出するようにした。
In order to measure the value of the Abbe number V 1 with high accuracy, it is necessary to use the light propagating through a medium having a certain thickness, and to directly convert the value to the Abbe number V 1 as directly as possible. It is effective to detect. Therefore, in the present invention, the chromatic aberration is directly detected by the light propagating through the medium of the radial type GRIN lens.

【0014】図1は、本第1の発明の色収差測定機の測
定原理図である。この色収差測定機では、まず、ラジア
ル型GRINレンズサンプル1の光軸上に配置したテス
トターゲットなどの物体2に対し、図示省略した光源を
用いてある波長の光でもって照明して、ラジアル型GR
INレンズサンプル1による像を結像させ、次に、照明
手段を用いて上記波長とは異なる波長でもって物体2を
照明して、ラジアル型GRINレンズサンプル1による
像を結像させるようにしている。これら2つの波長でも
って物体2を照明したときの結像位置のずれΔは、2つ
の波長の差による軸上色収差に相当するもので、ラジア
ル型GRINレンズの媒質のアッベ数V1に依存するも
のである。そこで、これら2つの異なる波長でもって物
体2を照明したときの結像位置のずれΔを検出すること
により、アッベ数V1の値を換算により求めることがで
きる。
FIG. 1 is a diagram showing the measurement principle of the chromatic aberration measuring apparatus according to the first invention. In this chromatic aberration measuring device, first, an object 2 such as a test target arranged on the optical axis of a radial GRIN lens sample 1 is illuminated with light of a certain wavelength using a light source (not shown), and the radial GR
An image formed by the IN lens sample 1 is formed, and then the object 2 is illuminated with a wavelength different from the above-mentioned wavelength using an illuminating means to form an image formed by the radial GRIN lens sample 1. . The deviation Δ of the imaging position when the object 2 is illuminated with these two wavelengths corresponds to the axial chromatic aberration due to the difference between the two wavelengths, and depends on the Abbe number V 1 of the medium of the radial type GRIN lens. Things. Therefore, by detecting the deviation Δ of the imaging position at the time of illuminating the object 2 with these two different wavelengths can be obtained by converting the value of the Abbe number V 1.

【0015】このとき、ラジアル型GRINレンズサン
プル1は、その両面を平面形状に形成しているのが望ま
しい。もし、両面が平面ではなく面に曲率がついている
と、上記式(5)に示されるように、発生する色収差には
ラジアル型GRINレンズの面のパワーφSやアッべ数
0の値が大きく関係してくることになり、その場合
は、測定した色収差からアッべ数V1の値を換算する際
に、面のパワーφSやアッべ数V0の値が必要になり、誤
差が大きく生じてしまう。その点、本発明のようにラジ
アル型GRINレンズサンプル1の両面を平面形状にし
た場合は、色収差の発生量が近似的に上記式(6)で与え
られ、アッベ数V1に換算のしやすいものとなり好都合
である。
At this time, it is preferable that both surfaces of the radial type GRIN lens sample 1 are formed in a planar shape. If both surfaces are not flat but have a curvature, as shown in the above equation (5), the generated chromatic aberration includes the power φ S of the surface of the radial type GRIN lens and the value of the Abbe number V 0 . It will be come strongly related, in that case, when the converted value of the Abbe number V 1 from the measured chromatic aberration, the value of the power phi S and Abbe number V 0 which surface is required, error It will be large. In this respect, if the both surfaces of the radial type GRIN lens sample 1 as in the present invention is in a planar shape, the amount of chromatic aberration is given approximately by the equation (6), easily in terms of the Abbe number V 1 It is convenient.

【0016】アッべ数V1への換算は次のようにして行
う。焦点距離fdおよびアッベ数V1の値は近似的に次の
式(7),(8)で与えられる。 fd≒−1/2N1dm ……(7) V1=N1d/(N1F−N1C)≒fd/(fC−fF) ……(8) 但し、N1は屈折率分布を表す係数、d,C,Fはフラ
ンフォーファ線を表す記号であり、例えばN1dはd線に
対するN1の係数を示す。また、tmはラジアル型GRI
Nレンズサンプルの厚みである。
The conversion into the Abbe number V 1 is performed as follows. The values of the focal length f d and the Abbe number V 1 are approximately given by the following equations (7) and (8). f d ≒ -1 / 2N 1d t m ...... (7) V 1 = N 1d / (N 1F -N 1C) ≒ f d / (f C -f F) ...... (8) where, N 1 is a refractive Coefficients representing the rate distribution, d, C, and F are symbols representing the Franchoffer line. For example, N 1d indicates the N 1 coefficient for the d line. Also, t m is a radial type GRI.
This is the thickness of the N lens sample.

【0017】まず、上記の測定原理を用いるためにラジ
アル型GRINレンズ1の両面を平面形状に形成した色
収差測定機を用いて、2つの波長としてC線とF線を用
いて軸上色収差Δを測定し、その測定値をΔMとする。
また、オプティカルベンチ等の別の測定機でd線の焦点
距離fdを測定し、その測定値をfdMとする。これらの
値を、Δ≒fC−fFであると近似して上記式(8)にそれ
ぞれ代入することにより、簡単に近似的なアッべ数V1
の値を求めることができる。
First, in order to use the above-described measurement principle, an axial chromatic aberration Δ is determined using a C-line and an F-line as two wavelengths by using a chromatic aberration measuring machine in which both surfaces of a radial type GRIN lens 1 are formed in a planar shape. measured, and the measured value and delta M.
Further, the focal length f d of the d-line is measured by another measuring device such as an optical bench, and the measured value is defined as f dM . By approximating these values as Δ ≒ f C −f F and substituting them into the above equation (8), the approximate Abbe number V 1 can be easily obtained.
Can be obtained.

【0018】ここで、アッべ数V1への換算を厳密に行
う場合は、光線追跡による逐次近似の手法が有効であ
る。光線追跡による逐次近似手法により厳密なアッべ数
1の値を求めるためのフローチャートを図2に示す。
まず、係数N1dおよびアッべ数V1を適当な初期値N1d
(0)および初期値V1(0)とする(ステップS
1)。この初期値としては、上記式(7),(8)により求め
た近似値を用いるのが有効であるが、別の値を用いても
よい。次に、光線追跡の手法により、それらの値に対す
る焦点距離fdcと色収差ΔCを計算する(ステップS
2)。このとき、ラジアル型GRINレンズサンプルの
厚みtm、軸上屈折率N0および結像倍率は、別に測定を
した値を用いる。また、次の式(9)に示されるd線とC
線とにおける媒質の部分分散比θ1dCが通常約0.3に
なることを利用する。 θ1dC=(N1d−N1C)/(N1F−N1C) ……(9)
Here, when the conversion to the Abbe number V 1 is strictly performed, a method of successive approximation by ray tracing is effective. FIG. 2 shows a flowchart for obtaining a strict Abbe number V 1 value by a successive approximation method by ray tracing.
First, the coefficient N 1d and the Abbe number V 1 are converted to an appropriate initial value N 1d
(0) and the initial value V 1 (0) (step S
1). As the initial value, it is effective to use the approximate value obtained by the above equations (7) and (8), but another value may be used. Then, by the technique of ray tracing, calculating the focal length f dc and chromatic delta C for those values (step S
2). At this time, values measured separately are used for the thickness t m , the axial refractive index N 0, and the imaging magnification of the radial GRIN lens sample. The d-line and C shown in the following equation (9)
The fact that the partial dispersion ratio θ 1dC of the medium between the line and the line is usually about 0.3 is used. θ 1dC = (N 1d −N 1C ) / (N 1F −N 1C ) (9)

【0019】次に、d線の焦点距離、及びC線とF線に
よる軸上色収差について、それぞれ計算値と測定値との
差ε1=fdC−FdMおよびε2=ΔC−ΔMを計算し(ステ
ップS3)、ε1およびε2の値がともに0であるかどう
かを判断する(ステップS4)。この場合、ε1および
ε2の値は厳密には0とならなくても許容誤差を考慮し
た場合にほぼ0と判断できるかどうかでよい。例えば、
ε1およびε2の絶対値が10-2以下であれば0と判断し
てよい、というような具合に許容誤差を考慮して判断す
る。
Next, regarding the focal length of the d-line and the longitudinal chromatic aberration due to the C-line and the F-line, the difference between the calculated value and the measured value is ε 1 = f dC −F dM and ε 2 = Δ C −Δ M, respectively. Is calculated (step S3), and it is determined whether both the values of ε 1 and ε 2 are 0 (step S4). In this case, even if the values of ε 1 and ε 2 are not strictly 0, it is sufficient if it can be determined to be almost 0 in consideration of the allowable error. For example,
If the absolute values of ε 1 and ε 2 are equal to or less than 10 −2 , it may be determined to be 0, for example, in consideration of an allowable error.

【0020】ε1およびε2の値がともに0と判断できる
ときは、そのときのN1dおよびV1の値がそれぞれ求め
ている値となる(ステップS5)。ε1およびε2の値の
少なくともいずれかが0と判断できないときは、そのと
きのN1dおよびV1の値を図中にも示した次の式(10),
(11)で与えられるように補正量分を差し引いた値とし
(ステップS6)、光線追跡による計算のプロセスに戻
る。 N1d=N1d−(δN1d/δfdc)ε1 ……(10) V1=V1−(δV1/δΔC)ε2 ……(11)
When it can be determined that the values of ε 1 and ε 2 are both 0, the values of N 1d and V 1 at that time are the values obtained respectively (step S5). When at least one of the values of ε 1 and ε 2 cannot be determined to be 0, the values of N 1d and V 1 at that time are given by the following equations (10),
As a value obtained by subtracting the correction amount as given in (11) (step S6), the process returns to the calculation process by ray tracing. N 1d = N 1d - (δN 1d / δf dc) ε 1 ...... (10) V 1 = V 1 - (δV 1 / δΔ C) ε 2 ...... (11)

【0021】また、本第1の発明の色収差測定機におい
て、十分な測定精度を確保するためには、ラジアル型G
RINレンズサンプルの媒質の厚みtmが次の条件式(1)
を満足することが望ましい。 0.05<tm/p<0.2 ……(1) 但し、pはラジアル型GRIN素材のピッチで、次の式
(12)によって与えられるものである。 p=2π(N0/−2N11/2 ……(12) この条件式(1)の下限を超えると、測定精度が十分では
なくなり、また上限を超えると、サンプル中で結像する
ケースが発生し好ましくない。
In the chromatic aberration measuring apparatus according to the first aspect of the present invention, in order to secure sufficient measurement accuracy, the radial type G
The thickness t m of the medium of the RIN lens sample is given by the following conditional expression (1)
It is desirable to satisfy 0.05 <t m /p<0.2 ...... (1 ) where, p is a pitch of the radial type GRIN material, the following formula
Given by (12). p = 2π (N 0 / −2N 1 ) 1/2 (12) If the lower limit of conditional expression (1) is exceeded, the measurement accuracy is not sufficient. If the upper limit is exceeded, an image is formed in the sample. A case occurs, which is not preferable.

【0022】図3は、本第2の発明の色収差測定機の測
定原理図である。この色収差測定機では、まず、ラジア
ル型GRINレンズサンプル1に対し図示省略したレー
ザーなどの光源を用いてある波長の光束を入射させる。
入射した光束はラジアル型GRINレンズ1内部の屈折
率勾配によって曲げられ、その結果、射出した光束は入
射方向に対してある偏角θだけ曲がったものとなる。次
に、入射させる光束の入射位置および方向はそのまま
で、波長を異ならせた光束を、ラジアル型GRINレン
ズサンプル1に入射させる。このときの偏角はθ+Δθ
というように微小角度Δθだけ異なったものとなる。こ
のずれΔθは2つの波長による色収差に相当するもの
で、ラジアル型GRINレンズ媒質のアッベ数V 1に依
存するものである。そこで、これら2つの異なる波長で
もって光束をラジアル型GRINレンズサンプル1に入
射したときの、この偏角のずれΔθを検出することによ
り、換算によりアッベ数V1の値を求めることができ
る。
FIG. 3 shows the measurement result of the chromatic aberration measuring apparatus of the second invention.
FIG. In this chromatic aberration measuring instrument,
Ray-shaped GRIN lens sample 1
A light beam of a certain wavelength is incident using a light source such as a laser.
The incident light flux is refracted inside the radial type GRIN lens 1.
It is bent by the rate gradient, and as a result, the emitted luminous flux enters
It is bent by a certain declination θ with respect to the shooting direction. Next
The incident position and direction of the luminous flux
Then, the luminous flux having different wavelengths is converted into a radial type GRIN lens.
Incident on the noise sample 1. The declination at this time is θ + Δθ
Thus, they differ by a small angle Δθ. This
Is equivalent to chromatic aberration due to two wavelengths
And the Abbe number V of the radial GRIN lens medium 1Depend on
It exists. So at these two different wavelengths
The luminous flux enters the radial GRIN lens sample 1
By detecting the deviation Δθ of the declination when shooting,
Abbe number V1The value of
You.

【0023】このときも、ラジアル型GRINレンズサ
ンプル1は、両面を平面形状に形成されていることが望
ましい。もし、両面が平面ではなく面に曲率がついてい
ると、上記式(5)に示されるように、発生する色収差に
はラジアル型GRINレンズの面のパワーφSやアッべ
数V0の値が大きく関係してくることになる。この場合
は、測定した色収差からアッべ数V1の値を換算する際
に、面のパワーφSやアッべ数V0の値が必要になり、誤
差が大きく生じてしまう。その点、本発明のようにラジ
アル型GRINレンズサンプル1の両面を平面形状にし
た場合は、色収差の発生量が近似的に上記条件式(6)で
与えられ、アッベ数V1に換算のしやすいものとなり好
都合である。
Also at this time, it is desirable that the radial type GRIN lens sample 1 has both surfaces formed in a planar shape. If both surfaces are not flat but have a curvature, as shown in the above equation (5), the generated chromatic aberration includes the power φ S of the surface of the radial type GRIN lens and the value of the Abbe number V 0 . It has a lot to do with it. In this case, when converting the value of the Abbe number V 1 from the measured chromatic aberration, the value of the power phi S and Abbe number V 0 which surface is required, error occurs greatly. In this regard, when the planar shape of both sides of the radial type GRIN lens sample 1 as in the present invention is given by the occurrence of chromatic aberration is approximately the conditional expression (6), in terms of bookmarks in the Abbe number V 1 It is easy and convenient.

【0024】なお、アッべ数V1への換算は、本第1の
発明の色収差測定機において用いた手順に準じた方法で
行うことができる。また、本第2の発明の色収差測定機
において、十分な測定精度を確保するためには、ラジア
ル型GRINレンズサンプルの媒質の厚みtmが次の条
件式(1)を満足することが望ましい。 0.05<tm/p<0.2 ……(1) この条件式(1)の下限を超えると、測定精度が十分では
なく、また上限を超えると、ラジアル型GRINサンプ
ルの内部で変曲点を持ってビームがうねるケースが発生
することになり、好ましくない。
The conversion into the Abbe number V 1 can be performed by a method according to the procedure used in the chromatic aberration measuring apparatus of the first invention. Further, in the aberration measuring machine according to the second aspect of the invention, in order to ensure sufficient measurement accuracy, it is desirable that the thickness t m of the medium of the radial type GRIN lens sample satisfies the following condition (1). 0.05 <When the lower limit of t m /p<0.2 ...... (1) The condition (1), the measurement accuracy is not sufficient, and when it exceeds the upper limit, varying within the radial type GRIN sample A case where the beam undulates with a curved point occurs, which is not preferable.

【0025】次に、本発明によるラジアル型GRINレ
ンズの色収差測定機の実施例を図面を用いて説明する。実施例1 図4は本発明による色収差測定機の第1実施例を示す概
略構成図である。本実施例の色収差測定機は、本第1の
色収差測定機の実施例を示しており、光源としての水銀
ランプ3、バンドパスフィルター4、ディフューザー
5、テストターゲットとしての解像力チャート2、ラジ
アル型GRINレンズサンプル1、すりガラス6、接眼
レンズ7等を備えて構成されている。
Next, an embodiment of a chromatic aberration measuring device for a radial type GRIN lens according to the present invention will be described with reference to the drawings. Embodiment 1 FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing a first embodiment of a chromatic aberration measuring apparatus according to the present invention. The chromatic aberration measuring apparatus according to the present embodiment is an embodiment of the first chromatic aberration measuring apparatus, and includes a mercury lamp 3 as a light source, a band-pass filter 4, a diffuser 5, a resolution chart 2 as a test target, and a radial GRIN. It comprises a lens sample 1, a ground glass 6, an eyepiece 7, and the like.

【0026】バンドパスフィルター4は、水銀ランプ3
からの光を所望の波長だけ通すために用いられ、所望の
波長を透過するものが用意されている。最初はC線用の
ものをセットしておく。そして、水銀ランプ3から出射
した光をC線用のバンドパスフィルター4と、ディフュ
ーザー5を介して解像力チャート2を照明し、両面を平
面形状に研磨したラジアル型GRINレンズサンプル1
によりそのチャートの像を形成させる。そして、形成さ
れた像の結像位置を接眼レンズ7によって読みとる。
The band pass filter 4 is a mercury lamp 3
Is used to pass light of a desired wavelength only, and one that transmits the desired wavelength is prepared. At first, the one for the C line is set. Then, the light emitted from the mercury lamp 3 illuminates the resolution chart 2 via the band-pass filter 4 for C-line and the diffuser 5, and a radial type GRIN lens sample 1 having both surfaces polished into a planar shape.
To form an image of the chart. Then, the image forming position of the formed image is read by the eyepiece 7.

【0027】次に、バンドパスフィルター4をF線用に
交換して水銀ランプ3から出射した照明光の波長を変え
て、その波長による像を形成し、その結像位置を接眼レ
ンズ7によって読みとる。これら2つの像の結像位置の
ずれは、2つの波長によるC線とF線の軸上色収差に相
当するもので、ラジアル型GRINレンズ媒質のアッべ
数V1に依存するものである。そこで、この結像位置の
ずれを検出し、換算することによりアッべ数V1の値を
求めることができる。
Next, the bandpass filter 4 is exchanged for the F-line, the wavelength of the illumination light emitted from the mercury lamp 3 is changed, an image is formed at the wavelength, and the image forming position is read by the eyepiece 7. . Deviation of the imaging position of the two images, which corresponds to the axial chromatic aberration of the C line and the F-line with two wavelengths, is dependent on the Abbe number V 1 of the radial type GRIN lens medium. Therefore, to detect the shift of the imaging position, it is possible to determine the value of the Abbe number V 1 by conversion.

【0028】なお、水銀ランプ3は、C線やF線などの
輝度スペクトルを有する光源である。バンドパスフィル
ター4は干渉膜からなり、水銀ランプ3の輝線スペクト
ルのうち一つの波長の光を選択的に透過させることがで
きるようになっている。このバンドパスフィルター4に
は、d線、C線、F線、g線用など各種のものがある
が、本実施例では、C線用とF線用の2種類を用いてい
る。ディフューザー5はテストターゲットである解像力
チャート2をむらなく均一に照明するための拡散板であ
り、集光レンズ(図示省略)とともに用いるとさらに明
るい照明をすることができる。解像力チャート2は結像
対象のテストターゲットであり、光の結像位置の検出を
しやすくするために用いられている。
The mercury lamp 3 is a light source having a luminance spectrum such as C-line and F-line. The band-pass filter 4 is made of an interference film, and can selectively transmit light of one wavelength in the emission line spectrum of the mercury lamp 3. The bandpass filter 4 includes various types such as a d-line, a C-line, an F-line, and a g-line. In the present embodiment, two types of the band-pass filter 4 are used for the C-line and the F-line. The diffuser 5 is a diffusion plate for uniformly illuminating the resolution chart 2 serving as a test target uniformly, and can provide brighter illumination when used together with a condenser lens (not shown). The resolving power chart 2 is a test target to be imaged, and is used for facilitating detection of a light imaging position.

【0029】接眼レンズ7は本発明の色収差測定機にお
ける焦点検出機構8を具体的に例示したものであり、光
軸に沿って位置を調整することができるようになってい
る。その位置調整について説明すると、まず、C線用の
バンドパスフィルター4を用いて眼9で覗いた状態で、
接眼レンズ7の位置を調節してC線の像にピントをあわ
せ、そのときの接眼レンズ7の位置を記録しておく。次
に、F線用のバンドパスフィルター4に交換し、F線の
像位置にピントをあわせ直す。このときの接眼レンズ7
の位置と先の接眼レンズ7の位置との差がC線とF線の
色収差に相当するものとなる。この場合、焦点検出機構
8の一部として、さらに接眼レンズ7のピント位置にす
りガラス6等のスクリーンを配置することにより、人間
の瞳のピント調節機能が働くことによって検出される像
位置に誤差が生じてしまうのを避けることができる。
The eyepiece 7 is a specific example of the focus detecting mechanism 8 in the chromatic aberration measuring apparatus of the present invention, and can adjust the position along the optical axis. Explaining the position adjustment, first, in a state where the user looks through the eyes 9 using the band-pass filter 4 for C-line,
The position of the eyepiece 7 is adjusted to focus on the C-line image, and the position of the eyepiece 7 at that time is recorded. Next, the band is replaced with the bandpass filter 4 for the F-line, and the image position of the F-line is refocused. Eyepiece 7 at this time
And the difference between the position of the eyepiece 7 and the position of the eyepiece 7 correspond to the chromatic aberration of the C-line and the F-line. In this case, by disposing a screen such as frosted glass 6 at the focus position of the eyepiece lens 7 as a part of the focus detection mechanism 8, an error occurs in the image position detected by the function of adjusting the focus of the human pupil. This can be avoided.

【0030】測定した色収差は、ラジアル型GRINレ
ンズの両面を平面形状に研磨していることから上記式
(6)で表されるように、アッべ数V1の値に直接依存する
ものである。そこで、この測定した色収差より、上記近
似式(8)又は光線追跡による逐次近似の手法を用いてア
ッべ数V1の値を、従来の色収差測定機および測定方法
に比べて、簡単かつ精度よく求めることができる。
The measured chromatic aberration is given by the above equation since both surfaces of the radial GRIN lens are polished into a planar shape.
As represented by (6), it is to directly dependent on the value of the Abbe number V 1. Therefore, from the measured chromatic aberration, a value of an Abbe number V 1 using the method of successive approximation by the approximate expression (8) or ray tracing, as compared with the conventional aberration measuring instrument and measurement method may easily and accurately You can ask.

【0031】なお、焦点検出機構8は、図4に示す実施
例では、接眼レンズ7を用いて構成されたものとなって
いるが、図4の構成に限定されるものではなく、図5に
示すように、通常の顕微鏡と同じように対物レンズ10
と接眼レンズ7とを組み合わせて構成した焦点検出機構
8'を用いてもよい。その場合は、ピント合わせに対物
レンズ10と接眼レンズ7とを一体的に動かすようにす
るのが望ましい。また、簡易的なピント合わせのために
は、対物レンズ10だけを動かしてもよい。このとき、
さらに対物レンズ10と接眼レンズ7をあわせたピント
位置にすりガラス6等のスクリーンを配置することによ
り、人間の瞳のピント調節機能が働くことによって検出
される像位置に誤差が生じてしまうのを避けることがで
きる。
In the embodiment shown in FIG. 4, the focus detecting mechanism 8 is configured by using the eyepiece 7, but is not limited to the configuration shown in FIG. As shown in FIG.
A focus detection mechanism 8 ′ configured by combining the lens and the eyepiece 7 may be used. In that case, it is desirable to move the objective lens 10 and the eyepiece 7 integrally for focusing. For simple focusing, only the objective lens 10 may be moved. At this time,
Further, by disposing a screen such as frosted glass 6 at the focus position where the objective lens 10 and the eyepiece 7 are aligned, it is possible to prevent an error from occurring in the image position detected by the function of adjusting the focus of the human pupil. be able to.

【0032】また、さらに別の焦点検出機構として、図
6に示すように、CCDなどの撮像素子11の撮像面を
結像位置に直接配置し、電気処理回路12を介してCR
Tモニター13に表示された画像でもって焦点位置の確
認をするように構成した焦点検出機構8''を適用しても
よい。この方式では、上記図4や図5に示す焦点検出機
構8,8'を用いた場合のような、眼でピント合わせを
する方法に比べて、人間の瞳の焦点調節力により生ずる
誤差の度合いが少なく、測定精度をより一層上げること
ができる。さらに、ピント位置を電気的に自動検出する
ことにより、測定者による測定値のばらつきを抑えるこ
ともできる。
Further, as another focus detecting mechanism, as shown in FIG. 6, an image pickup surface of an image pickup device 11 such as a CCD is directly arranged at an image forming position, and a CR is outputted via an electric processing circuit 12.
A focus detection mechanism 8 ″ configured to check the focus position based on the image displayed on the T monitor 13 may be applied. In this method, the degree of error caused by the focusing power of the human pupil is different from the method of focusing with eyes as in the case of using the focus detection mechanisms 8 and 8 'shown in FIGS. And the measurement accuracy can be further improved. Further, by automatically and electrically detecting the focus position, it is possible to suppress a variation in measured values by the operator.

【0033】さらに、本実施例において、C線とF線の
測定に加えてg線の測定も行うようにすれば、ラジアル
型GRINレンズの媒質の異常分散性を求めることがで
きる。g線の異常分散性を示すパラメータとしては、例
えばラジアル型GRINレンズの媒質の部分分散比θ
1gFがあり、部分分散比θ1gFは次の式(13)によって与え
られる。 θ1gF=(N1g−N1F)/(N1F−N1C) ……(13) 但し、N1は屈折率分布を表す係数、g,C,Fはフラ
ンフォーファ線を表す記号であり、例えばN1gはg線に
対するN1の係数を示す。
Further, in this embodiment, if the g-line measurement is performed in addition to the C-line and F-line measurement, the anomalous dispersion of the medium of the radial type GRIN lens can be obtained. The parameter indicating the anomalous dispersion of the g-line is, for example, the partial dispersion ratio θ of the medium of the radial type GRIN lens.
1gF , and the partial dispersion ratio θ 1gF is given by the following equation (13). θ 1gF = (N 1g −N 1F ) / (N 1F −N 1C ) (13) where N 1 is a coefficient representing a refractive index distribution, and g, C, and F are symbols representing a Franchoffer line. For example, N 1g indicates the coefficient of N 1 for the g line.

【0034】なお、本実施例では、光源として水銀ラン
プを用いたが、後述する第2実施例に示すようなレーザ
ー光源を用いても、色素レーザーのような波長可変レー
ザーを用いてもよい。また、C線、F線、g線以外の波
長を用いてアッべ数V1やθ1gFを求める場合は、ヘルツ
ベルガーの関係式等を用いて換算を行う必要がある。ま
た、本実施例では、テストターゲットとして解像力チャ
ートを用いたが、結像位置を検出しやすいものであれ
ば、別のパターンのチャートやスライドフィルムやピン
ホールなどを用いてもよい。
In this embodiment, a mercury lamp is used as a light source. However, a laser light source as shown in a second embodiment to be described later or a tunable laser such as a dye laser may be used. When the Abbe number V 1 and θ 1gF are obtained using wavelengths other than the C-line, F-line and g-line, it is necessary to perform conversion using a Hertzberger relational expression or the like. Further, in the present embodiment, the resolving power chart is used as the test target, but a chart having another pattern, a slide film, a pinhole, or the like may be used as long as the imaging position can be easily detected.

【0035】実施例2 図7は、本発明の色収差測定機の第2実施例を示す要部
配置構成図である。本実施例の色収差測定機は、本第2
の色収差測定機の実施例を示している。光源としては、
He−Neレーザー14(λ=633nm)とArレー
ザー15(λ=488nm)を用いる。また、それらの
レーザー光の光路にはハーフミラー16および反射ミラ
ー17を配置して、それらのレーザー光が完全に同軸と
なるように調整しておく。この2つの波長のレーザー光
を、両面を平面形状に研磨したラジアル型GRINレン
ズサンプル1の光軸18と平行に、かつ、そのレンズサ
ンプルの光軸18からある高さの箇所に同時に入射させ
る。ラジアル型GRINレンズサンプル1の内部ではそ
の屈折率勾配によってレーザー光が曲がり、射出光は入
射方向に対してある角度曲がったものとなるが、この曲
がり角度は、He−Neレーザー光とArレーザー光と
では微妙に異なり、スクリーン19上に到達するレーザ
ースポット位置にはずれΔyが生じる。このずれΔy
が、λ=633nmとλ=488nmの色収差に相当す
るものとなる。
Embodiment 2 FIG. 7 is a view showing the arrangement of essential parts of a second embodiment of the chromatic aberration measuring apparatus according to the present invention. The chromatic aberration measuring apparatus of the present embodiment
1 shows an embodiment of a chromatic aberration measuring instrument. As a light source,
A He-Ne laser 14 (λ = 633 nm) and an Ar laser 15 (λ = 488 nm) are used. In addition, a half mirror 16 and a reflection mirror 17 are arranged on the optical path of the laser light, and the laser light is adjusted so as to be completely coaxial. The laser beams of these two wavelengths are made incident simultaneously on the surface parallel to the optical axis 18 of the radial type GRIN lens sample 1 whose both surfaces are polished into a planar shape and at a certain height from the optical axis 18 of the lens sample. Inside the radial type GRIN lens sample 1, the laser beam is bent by the refractive index gradient, and the emitted light is bent at an angle with respect to the incident direction. The bending angles are the He-Ne laser beam and the Ar laser beam. Is slightly different, and a deviation Δy occurs at the laser spot position reaching the screen 19. This deviation Δy
Are equivalent to chromatic aberrations at λ = 633 nm and λ = 488 nm.

【0036】なお、このとき、レーザー光がある程度の
ビーム径を持っていることから、ラジアル型GRINレ
ンズ1を通過後のレーザー光が拡がってしまい、ずれΔ
yが検出しにくくなるという問題が発生する場合があ
る。そのような場合には、APPLIED OPTICS Vol.22 N
o.3 P396〜399(1983.2)に示されているようなモード
マッチングの手法を用いて、例えば図8に示すように、
レーザー光をレンズ20を介して所定量だけ絞ってラジ
アル型GRINレンズ1に入射するようにすることによ
り、上述のずれΔyが検出しにくくなるという問題を低
減させることができる。
At this time, since the laser beam has a certain beam diameter, the laser beam after passing through the radial type GRIN lens 1 spreads, and the deviation Δ
There is a case where a problem occurs that y becomes difficult to detect. In such a case, APPLIED OPTICS Vol.22 N
o. 3 Using a mode matching method as shown in P396-399 (1983.2), for example, as shown in FIG.
By squeezing the laser beam through the lens 20 by a predetermined amount so as to be incident on the radial GRIN lens 1, it is possible to reduce the above-described problem that the deviation Δy is difficult to detect.

【0037】また、図7のスクリーン上19におけるず
れΔyは、レーザー光線入射位置におけるラジアル型G
RINレンズサンプル1の光軸18からの距離により異
なったものとなるが、全体の偏角yとの比Δy/yはラ
ジアル型GRINレンズサンプル1への入射位置にほと
んど依存せず、色収差に相当する値となる。その色収差
は、ラジアル型GRINレンズ1は両面を平面形状に研
磨していることから上記式(6)で表されるようにアッべ
数V1の値を逐次近似の手法を用いて求めることができ
る。なおこのとき、波長は、直接にはC線、F線ではな
いため、ヘルツベルガーの関係式などを用いて波長換算
をする必要がある。
Further, the deviation Δy on the screen 19 in FIG. 7 is the radial type G at the laser beam incident position.
Although it differs depending on the distance of the RIN lens sample 1 from the optical axis 18, the ratio Δy / y with respect to the overall declination y hardly depends on the position of incidence on the radial GRIN lens sample 1 and corresponds to chromatic aberration. Value. Since the radial type GRIN lens 1 has both sides polished into a planar shape, the chromatic aberration can be obtained by successively approximating the value of the Abbe number V 1 as represented by the above equation (6). it can. At this time, since the wavelength is not directly a C-line or an F-line, it is necessary to convert the wavelength using a Hertzberger relational expression or the like.

【0038】なお、本実施例において、光源としてHe
−Neレーザー14、Arレーザー15に加えてさら
に、He−Cdレーザー(λ=442nm)を追加すれ
ば、第1実施例と同様に部分分散比θ1gF等を求めるこ
とができる。このとき、当然ながらヘルツベルガーの関
係式などを用いた波長換算が必要になる。
In this embodiment, the light source is He.
If a He—Cd laser (λ = 442 nm) is further added in addition to the −Ne laser 14 and the Ar laser 15, the partial dispersion ratio θ 1 gF and the like can be obtained as in the first embodiment. At this time, it is needless to say that wavelength conversion using the Hertzberger relational expression or the like is necessary.

【0039】また、本実施例では、光源としてHe−N
eレーザー14、Arレーザー15というように2つの
異なる波長のレーザーを用いたが、一つのレーザーで複
数の波長を発振できる色素レーザーのような波長可変レ
ーザーを用いてもよい。また、本実施例では、レーザー
光をラジアル型GRINレンズサンプル1の光軸18に
対し平行な状態でレーザー光をラジアル型GRINレン
ズサンプル1に入射させるようにしたが、既知の所定角
度だけ傾斜させてラジアル型GRINレンズサンプル1
に入射させるようにしてもよい。但し、アッべ数V1
に換算する際は、既知の所定角度だけ傾斜させたことを
考慮する必要がある。
In this embodiment, the light source is He-N
Although two different wavelength lasers such as the e-laser 14 and the Ar laser 15 are used, a tunable laser such as a dye laser that can oscillate a plurality of wavelengths with one laser may be used. Further, in this embodiment, the laser light is incident on the radial GRIN lens sample 1 in a state where the laser light is parallel to the optical axis 18 of the radial GRIN lens sample 1. However, the laser light is inclined by a known predetermined angle. Radial GRIN lens sample 1
May be incident. However, when converting to the Abbe number V 1 or the like, it is necessary to consider that it is inclined by a known predetermined angle.

【0040】また、以上の本発明の説明に関し、d線、
C線、F線,g線の各線を対象とする場合について述べ
たが、e線を基準波長とするなど、波長を変更しても本
発明の基本概念を適用することは可能であり、差し支え
ない。例えば、e線基準の場合は、用いる各式におい
て、d線の係数の代わりにe線の係数を用いればよい。
In the above description of the present invention, the d-line,
Although the case where each of the C line, the F line, and the g line is targeted has been described, the basic concept of the present invention can be applied even if the wavelength is changed, such as using the e line as a reference wavelength. Absent. For example, in the case of the e-line reference, the coefficient of the e-line may be used instead of the coefficient of the d-line in each equation to be used.

【0041】以上説明したように、本発明によるラジア
ル型GRINレンズの色収差測定機および色収差測定方
法は、特許請求の範囲に記載された特徴のほかに下記に
示すような特徴も備えている。
As described above, the chromatic aberration measuring device and chromatic aberration measuring method for a radial GRIN lens according to the present invention have the following features in addition to the features described in the claims.

【0042】(1)次の条件式(1)を満足することを特
徴とする請求項1に記載のラジアル型GRINレンズの
色収差測定機。 0.05<tm/p<0.2 ……(1) 但し、pはラジアル型GRIN素材のピッチ、tmはラ
ジアル型GRINレンズの媒質の厚みである。
(1) The chromatic aberration measuring apparatus for a radial type GRIN lens according to claim 1, wherein the following conditional expression (1) is satisfied. 0.05 <t m /p<0.2 ...... (1 ) where, p is the pitch of the radial type GRIN material, the t m is the thickness of the medium of the radial type GRIN lens.

【0043】(2)次の条件式(1)を満足することを特
徴とする請求項2に記載のラジアル型GRINレンズの
色収差測定機。 0.05<tm/p<0.2 ……(1) 但し、pはラジアル型GRIN素材のピッチ、tmはラ
ジアル型GRINレンズの媒質の厚みである。
(2) The apparatus for measuring chromatic aberration of a radial type GRIN lens according to claim 2, wherein the following conditional expression (1) is satisfied. 0.05 <t m /p<0.2 ...... (1 ) where, p is the pitch of the radial type GRIN material, the t m is the thickness of the medium of the radial type GRIN lens.

【0044】[0044]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、簡単に
精度よくラジアル型GRINレンズの媒質の色収差パラ
メータであるアッベ数V1の値を測定することができ
る。
As evident from the foregoing description, according to the present invention, it is possible to easily measure the value of the Abbe number V 1 which is chromatic parameters of a medium accurately radial type GRIN lens.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本第1の発明による色収差測定機の測定原理を
示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a measurement principle of a chromatic aberration measuring device according to the first invention.

【図2】本発明において光線追跡による逐次近似手法に
より厳密なアッベ数の値を求めるためのフローチャート
である。
FIG. 2 is a flowchart for obtaining a strict Abbe number value by a successive approximation method by ray tracing in the present invention.

【図3】本第2の発明による色収差測定機の測定原理を
示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a measurement principle of the chromatic aberration measuring apparatus according to the second invention.

【図4】本発明による色収差測定機の第1実施例を示す
概略構成図である
FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing a first embodiment of a chromatic aberration measuring apparatus according to the present invention.

【図5】本実施例における焦点検出機構の他の例を示す
概略構成図である。
FIG. 5 is a schematic configuration diagram illustrating another example of the focus detection mechanism in the present embodiment.

【図6】本実施例における焦点検出機構のさらに他の例
を示す概略構成図である。
FIG. 6 is a schematic configuration diagram showing still another example of the focus detection mechanism in the present embodiment.

【図7】本発明による色収差測定機の第2実施例を示す
要部配置構成図である。
FIG. 7 is an arrangement diagram of main parts showing a second embodiment of the chromatic aberration measuring apparatus according to the present invention.

【図8】本実施例においてモードマッチングの手法を用
いた際の配置構成図である。
FIG. 8 is an arrangement diagram when a mode matching method is used in the present embodiment.

【符号の簡単な説明】[Brief description of reference numerals]

1 ラジアル型GRINレンズサンプル 2 テストターゲット 3 水銀ランプ 4 バンドパスフィルター 5 ディフューザー 6 すりガラス 7 接眼レンズ 8,8',8" 焦点検出機構 9 眼 10 対物レンズ 11 CCD 12 電気処理回路 13 モニター 14 He−Neレーザー 15 Arレーザー 16 ハーフミラー 17 反射ミラー 18 ラジアル型GRINレンズの光軸 19 スクリーン 20 レンズ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Radial type GRIN lens sample 2 Test target 3 Mercury lamp 4 Band pass filter 5 Diffuser 6 Ground glass 7 Eyepiece 8, 8 ', 8 "Focus detection mechanism 9 Eye 10 Objective lens 11 CCD 12 Electric processing circuit 13 Monitor 14 He-Ne Laser 15 Ar laser 16 Half mirror 17 Reflecting mirror 18 Optical axis of radial type GRIN lens 19 Screen 20 Lens

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】複数の波長を発する光源又はそれぞれにお
いて異なる波長を発する複数の光源と、テストターゲッ
トと、結像位置検出機構とを有し、前記光源より発した
異なる波長によるテストターゲット像の結像位置の違い
を検出することによりサンプルレンズの色収差を測定す
る色収差測定機であって、 該サンプルレンズが、その両面を平面形状に形成したラ
ジアル型GRINレンズであることを特徴とするラジア
ル型GRINレンズの色収差測定機。
A light source emitting a plurality of wavelengths or a plurality of light sources each emitting a different wavelength, a test target, and an imaging position detecting mechanism, wherein a test target image is formed by the different wavelengths emitted from the light source. A chromatic aberration measuring device for measuring chromatic aberration of a sample lens by detecting a difference in image position, wherein the sample lens is a radial GRIN lens having both surfaces formed in a planar shape. Lens chromatic aberration measuring machine.
【請求項2】複数の波長を発する光源又はそれぞれにお
いて異なる波長を発する複数の光源と、該光源からの光
線の偏角検出機構とを有し、前記光源より発した異なる
波長による光線の偏角の違いを検出することによりサン
プルレンズの色収差を測定する色収差測定機であって、 該サンプルレンズが、その両面を平面形状に形成したラ
ジアル型GRINレンズであることを特徴とするラジア
ル型GRINレンズの色収差測定機。
2. A light source that emits a plurality of wavelengths or a plurality of light sources each emitting a different wavelength, and a deflection angle detection mechanism for the light beam from the light source, wherein the deflection angle of the light beam by the different wavelength emitted from the light source is provided. A chromatic aberration measuring device for measuring a chromatic aberration of a sample lens by detecting a difference between the two types, wherein the sample lens is a radial GRIN lens having both surfaces formed in a planar shape. Chromatic aberration measuring machine.
【請求項3】両面が平面形状に形成されたラジアル型G
RINレンズで発生する色収差を測定し、その色収差量
より、光線追跡による逐次近似手法を用いて媒質のアッ
べ数を算出することを特徴とするラジアル型GRINレ
ンズの色収差測定方法。
3. A radial type G having both surfaces formed in a planar shape.
A method for measuring chromatic aberration of a radial GRIN lens, comprising: measuring chromatic aberration generated in an RIN lens, and calculating the Abbe number of a medium from the amount of chromatic aberration by using a successive approximation method by ray tracing.
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