JP2001119967A - 超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器 - Google Patents

超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器

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JP2001119967A
JP2001119967A JP29422699A JP29422699A JP2001119967A JP 2001119967 A JP2001119967 A JP 2001119967A JP 29422699 A JP29422699 A JP 29422699A JP 29422699 A JP29422699 A JP 29422699A JP 2001119967 A JP2001119967 A JP 2001119967A
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circuit
signal
ultrasonic motor
oscillation
moving body
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Akihiro Iino
朗弘 飯野
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Seiko Instruments Inc
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 超音波モータの速度制御の基準周波数となる
外部クロック源をなくし、部品点数の削減および回路の
簡素化を図る。また、超音波モータの安定した速度制御
を行うことを課題とする。 【解決手段】 超音波モータの駆動回路に自励発振回路
を用い、発振回路から発生される自励発振信号を超音波
モータの速度制御の基準周波数とする。比較指令手段
は、前記発振回路で発生した発振信号に基づく基準信号
の周波数と、前記発振信号により駆動される移動体の回
転情報とを比較し、その結果に応じて起動/停止信号発
生回路に出力信号を出力するものであり、前記起動/停
止信号発生回路は、前記比較指令手段の出力信号に応じ
て、前記回転情報が前記発振信号に基づく基準信号の周
波数と等しくなるように前記発振回路を起動または停止
させることにより速度を一定に保つことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波モータおよ
び超音波モータを用いた電子機器に係わり、特に超音波
モータの駆動回路に自励発振回路を用いた超音波モータ
および超音波モータを用いた電子機器に関する。
【0002】
【従来の技術】電磁モータや超音波モータの速度制御に
は色々な制御方式があり、ブリッジ・サーボ、比例電流
制御、F/V変換制御、PLL制御などが挙げられる。
中でも、モータの回転数パルスの位相が基準クロックの
位相と同期して回転する様に回転数を制御するPLL制
御が最も回転数が安定しており、広く使用されている。
【0003】
【発明が解決しようする課題】しかしながら、このPL
L制御方式は外部に水晶発振器やCR発振回路等で構成
した基準クロック源が必要不可欠であり、さらに一般の
超音波モータの駆動には周波数追尾回路を有する他励発
振方式の駆動回路を用いている為、駆動回路を含め制御
回路全体としては部品点数の増加を来していた。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、圧電素子を有
する振動体と、振動体を所定の共振モードで自励発振さ
せる発振回路により、振動体に発生する振動波で移動体
を駆動する超音波モータにおいて、比較指令手段は、前
記発振回路で発生した発振信号に基づく基準信号の周波
数と、前記発振信号により駆動される移動体の回転情報
とを比較し、その結果に応じて起動/停止信号発生回路
に出力信号を出力するものであり、前記起動/停止信号
発生回路は、前記比較指令手段の出力信号に応じて、前
記回転情報が前記発振信号に基づく基準信号の周波数と
等しくなるように前記発振回路を起動または停止させる
ことを特徴とする。
【0005】この発明によれば、比較指令手段の基準周
波数に自励発振回路で発生した自励発振信号を用いたこ
とにより、外部クロック源を削減することが可能とな
り、回路の部品点数削減に大きく寄与することができる
とともに、比較指令手段の出力信号に応じて、超音波モ
ータの回転情報が発振信号に基づく基準信号の周波数と
等しくなるように、起動/停止信号発生回路が起動信号
ならびに停止信号をパルス的に出力することで超音波モ
ータの速度を一定に保つことが可能となる。
【0006】次に、本発明は、圧電素子を有する振動体
と、増幅回路を有し振動体を所定の共振モードで自励発
振させる発振回路により、振動体に発生する振動波で移
動体を駆動する超音波モータにおいて、比較指令手段
は、前記発振回路で発生した発振信号に基づく基準信号
の周波数と、前記発振信号により駆動される移動体の回
転情報とを比較し、その結果に応じて電圧調整信号発生
回路に出力信号を出力するものであり、前記電圧調整信
号発生回路は、前記比較指令手段の出力信号に応じて、
増幅回路に電圧を供給する可変電源に電源電圧を可変さ
せる為の指令信号を出力し、前記可変電源は、前記回転
情報が前記発振信号に基づく基準信号の周波数と等しく
なるように増幅回路に供給する電圧を可変させることを
特徴とする。
【0007】この発明によれば、比較指令手段の基準周
波数に自励発振回路で発生した自励発振信号を用いたこ
とにより、外部クロック源を削減することが可能とな
り、回路の部品点数削減に大きく寄与することができる
とともに、電圧調整信号発生回路を設けたことにより、
インバータやバッファ等のICの電源電圧を供給してい
る可変電源に指令信号を出力し、前記可変電源は、超音
波モータの回転情報が発振信号に基づく基準信号の周波
数に等しくなるように、ICの電源電圧を可変させるこ
とで速度を一定に保つことができる。
【0008】更に、本発明は、圧電素子を有する振動体
と、振動体を所定の共振モードで自励発振させる発振回
路により、振動体に発生する振動波で移動体を駆動する
超音波モータにおいて、比較指令手段は、前記発振回路
で発生した発振信号に基づく基準信号の周波数と、前記
発振信号により駆動される移動体の回転情報とを比較
し、その結果に応じて位相調整信号発生回路に出力信号
を出力するものであり、前記位相調整信号発生回路は、
前記比較指令手段の出力信号を受けて、位相設定回路で
設定された位相を調整する位相調整回路に、位相調整回
路を動作させる為の位相調整信号を出力し、前記回転情
報が前記発振信号に基づく基準信号の周波数と等しくな
るように位相調整することを特徴とする。
【0009】この発明によれば、比較指令手段の基準周
波数に自励発振回路で発生した自励発振信号を用いたこ
とにより、外部クロック源を削減することが可能とな
り、回路の部品点数削減に大きく寄与することができる
とともに、位相調整回路および位相調整信号発生回路を
設けたことによって、位相調整信号発生回路は、比較指
令手段の出力信号に応じて、位相を調整する信号を位相
調整回路に出力し、超音波モータの回転情報が発振信号
に基づく基準信号の周波数と等しくなるように位相調整
を行い、超音波モータの回転数を一定に保つことができ
る。
【0010】更に、本発明は、圧電素子を有する振動体
と、増幅回路を有し振動体を所定の共振モードで自励発
振させる発振回路により、振動体に発生する振動波で移
動体を駆動する超音波モータにおいて、比較指令手段
は、前記発振回路で発生した発振信号に基づく基準信号
の周波数と、前記発振信号により駆動される移動体の回
転情報とを比較し、その結果に応じて起動/停止信号発
生回路に出力信号を出力するものであり、前記起動/停
止信号発生回路は前記比較指令手段の出力信号に応じ
て、前記回転情報が前記発振信号に基づく基準信号の周
波数と等しくなるように能動状態となる前記増幅回路の
数を選択する指令信号を出力することを特徴とする。
【0011】この発明によれば、比較指令手段の基準周
波数に自励発振回路で発生した自励発振信号を用いたこ
とにより、外部クロック源を削減することが可能とな
り、回路の部品点数削減に大きく寄与することができる
とともに、起動/停止信号発生回路は、超音波モータの
回転速度に応じて増幅回路の使用数を選択する信号を増
幅回路に出力し、超音波モータの速度を一定に保つこと
ができる。
【0012】更に、本発明は、前記の超音波モータを有
し、移動体と一体に動作する出力機構を有することを特
徴とする超音波モータ付き電子機器を提供することがで
きる。更に、本発明は、前記の超音波モータを有し、移
動体と一体に動作する伝達機構と、伝達機構の動作に基
づいて動作する出力機構とを有する超音波モータ付き電
子機器を提供することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明を適用した実施の形態を図
を参照して詳細に説明する。
【0014】
【実施の形態1】本発明に適用可能な超音波モータの原
理、構造について説明する。超音波モータ1は、少なく
とも圧電素子2を有する振動体3と振動体3の振動波に
よって駆動される移動体4と振動体3と移動体4に加圧
力を与える加圧手段6で構成される。
【0015】図2に本発明の超音波モータ1の断面図を
示す。超音波モータ1は、円板状の振動体3の中心を支
持板8に固定された中心軸9によって支持され、振動体
3の片側には圧電素子2が接合され、もう片側にはてこ
の原理を利用して振動体3の変位拡大を促す突起3aが
設けられている。移動体4の中心には軸受け10が設け
られ、中心軸9で案内されている。移動体4の上面に設
けられたピポット5を台座7に固定された押さえバネ6
で加圧することで移動体4の摺動面と振動体3の突起3
aとの間に適度な摩擦力を与える。
【0016】図3に超音波モータ1の動作原理を説明し
た図を示す。振動体3に接合される圧電素子2は図3
(a)に示すように円周方向に4分の1波長毎に分割さ
れ、一つおきに分極方向が反対になるように厚み方向に
分極処理されている。各電極パターンは斜線部11aと
非斜線部11bの二つの電極パターン群を形成する。図
(b)に示すようにこの電極を施した圧電素子2は振動
体3の突起3aが電極パターンの境界に位置するように
接合される。振動体3との接合面は全体に渡って電極1
1cが設けられている。斜線部11aの電極群に所定の
周波数の信号が印加されると振動体3には図(c)のよ
うな定在波が発生する。具体的には、例えば周方向に三
つの波を有し、径方向に一つの節円を有する振動モード
が励振される。この時上昇した突起3aは右に傾くため
移動体4は右に移動する。非斜線部11bの電極群に信
号を印加すると図(d)のような定在波が発生し上昇し
た突起3aは左に傾き移動体4を左に移動させる。この
ように定在波の腹と節の中間部に振動体3の突起3aを
配置し、所定の駆動周波数を有する信号を印加する電極
パターンを選択することにより移動体4の正転、逆転の
切替えを可能としている。
【0017】ここでは、本発明に適用できる超音波モー
タ1として図2に示した様な構造および図3に示した原
理について説明したがこれに限るものではない。次に超
音波モータ1を駆動し、速度を制御する自励発振回路2
3について説明する。自励発振回路23は、超音波モー
タ1と増幅回路12と位相設定回路13から成り、例え
ば図4の様に構成される。
【0018】増幅回路12は、例えばインバータ17と
抵抗18とバッファ19a、19bとで構成され、位相
設定回路13は抵抗20と二つのコンデンサ21,22
で構成される。インバータ17およびバッファ19a、
19bはトライステート構成となっており、外部信号に
よって能動状態となるか非能動状態となるかが決定され
る。二つのバッファ19a、19bの出力には圧電素子
2の電極パターン群の斜線部11aと非斜線部11bに
それぞれ独立に接続される。外部からの信号で能動状態
となるバッファ19を選択することにより駆動信号を印
加する電極パターン群を選択し、移動体4の正転、逆転
を切替える。また同様にインバータ17を能動状態とす
るか、非能動状態とするかを切替えることによって自励
発振回路23の動作と停止が制御される。
【0019】自励発振回路23の動作について説明す
る。インバータ17の出力電圧は、インバータ17の入
力と出力を接続しているフィードバック抵抗18により
Vdd/2を中心に交流信号を増幅する増幅回路を構成
する。電源投入時、様々な周波数成分のノイズが発生す
るが、超音波モータ1と抵抗20、コンデンサ21、2
2、からなる共振回路で特定周波数の信号が選択、かつ
増幅回路であるインバータ17、バッファ19で増幅さ
れ発振が持続することで目的の信号を得る。また、自励
発振回路23は、圧電素子2が持つ温度や外部の負荷に
よる共振点の移動に自ずと対応し発振するので他励式の
ような周波数自動追尾回路が不要となり駆動回路の簡素
化が実現される。
【0020】なお、自励発振回路23は本実施例に示し
たものに限らない。本発明の実施の形態1のブロック図
の詳細を以下に説明する。図1は、本発明の実施の形態
1における超音波モータ1の制御回路のブロック図を示
したものである。また図4には、超音波モータ1の駆動
回路である自励発振回路構成を具体的に示した。
【0021】発振回路を起動および停止させる信号を出
力する起動/停止信号発生回路14より、インバータ1
7の制御端子に起動信号を入力しインバータ17を能動
状態とし、発振回路を起動させる。発振回路で発生した
発振信号を比較指令手段15の基準周波数に利用する。
従って、従来の速度制御では必要とされてきた外部クロ
ック源が不要となる。
【0022】比較指令手段15は、基準周波数と超音波
モータ1の回転情報の周波数ならびに位相を比較し、そ
の結果に基づいて出力信号を出力するものであり、例え
ばオペアンプやコンパレータ、マイコン等で構成され
る。基準周波数となる発振回路の出力は、波形整形回路
であるインバータ27より出力され、比較指令手段15
に入力される。入力インピーダンスが高いインバータ2
7を介することで発振回路に悪影響を与えず、安定に発
振信号を検出できるが必ずしもなくてはならないもので
はない。
【0023】比較指令手段15に入力される超音波モー
タ1の回転数に比例した回転情報信号は、移動体4に取
り付けたスリット板などの検出部材24により検出手段
25で検出され、さらに分周回路26で基準周波数近傍
の周波数に分周される。スリット板のスリット数や回転
数などの関係で、場合によっては分周ではなく逓倍して
も構わない。また、逆に自励発振回路23の発振周波数
を分周あるいは逓倍して基準周波数とし、これを回転情
報信号と比較しても構わない。さらに、自励発振回路2
3の発振周波数を電気的に可変し、調整し、これを基準
周波数とすることで超音波モータ1の速度を精度良く可
変することができる。
【0024】具体的な例1としては、比較指令手段15
では、分周された超音波モータ1の回転情報の周波数と
自励発振回路で発生した基準周波数の周波数および位相
を比較し、回転情報の周波数が基準周波数を越えた時
は、超音波モータ1の回転数が高いと認識し超音波モー
タ1の回転数を低くするために比較指令手段15は、起
動/停止信号発生回路14に停止指令信号を出力する。
また、基準周波数より低い時は、起動指令信号を起動/
停止信号発生回路14に出力し、これらの出力信号を受
けた起動/停止信号発生回路14は発振回路を起動また
は停止させることによって超音波モータ1の回転数を制
御する。即ち発振回路の起動ならびに停止信号ををパル
ス的に出力し、両者のDuty比ならびにスイッチング
周波数を可変するPWM制御を行い、基準周波数と回転情
報の周波数が一定となるように速度制御する。
【0025】本発明では、増幅回路を構成するIC、イ
ンバータ17やバッファ19に電源電圧を供給している
可変電源28に電源電圧を可変させる指令信号を発生す
る電圧調整信号発生回路29を設け、電圧調整信号発生
回路29は、比較指令手段15の出力に応じて、可変電
源28にICの電源電圧を調整する信号を出力すること
でも超音波モータ1の速度制御の実現を可能としてい
る。
【0026】具体的な例2として、比較指令手段15で
は、常に基準周波数と超音波モータ1の回転情報の周波
数と位相が比較され、その結果が電圧調整信号発生回路
29に出力される。例えば、基準周波数に対して回転情
報の周波数が低い場合は、ICの電源電圧を高く調整す
る指令信号を可変電源28に出力し、また回転情報の周
波数が高い場合は、ICの電源電圧を低くする指令信号
を出力する。これを受けた可変電源28はICの電源電
圧を調整し、超音波モータ1の回転速度を一定に保つこ
とが可能となる。
【0027】また、本発明では超音波モータ1の速度制
御を位相調整によっても実現可能としている。駆動回路
に位相設定回路13で設定された位相を調整する位相調
整回路16、および位相調整信号発生回路30を設け
た。位相調整回路16は、例えば可変容量ダイオードで
示され、位相調整信号発生回路30は可変電源である。
具体的な例3として、比較指令手段15において、基準
周波数と超音波モータ1の回転情報の周波数が比較さ
れ、基準周波数の周波数および位相が等しくなるよう
に、比較指令手段15は位相調整信号発生回路30に比
較結果を出力する。位相調整信号発生回路30は、出力
結果に応じた位相を調整する指令信号を位相調整回路1
6に出力する。例えば、基準周波数に対して回転周波数
が高い場合は、超音波モータ1の回転数が高いと認識
し、位相調整信号発生回路30は可変容量ダイオードの
電圧を下げ、位相を調整する。また、超音波モータ1の
回転数が低い場合は、電圧を高くして位相を調整する。
【0028】即ち、超音波モータ1の共振周波数を調整
することで超音波モータ1の回転数を制御している。発
振周波数を超音波モータ1の共振周波数に近づけること
により回転数が増大する。本発明では、インバータ17
やバッファ19の増幅回路数を増減させることによって
も回転数の速度制御を実現可能としている。図4より、
起動/停止信号発生回路14は、発振回路を起動または
停止させる信号を発生する他に、増幅回路の使用個数を
選択する信号を出力する。超音波モータ1の回転数が基
準周波数に対して低い場合、バッファ19の使用個数、
即ち能動状態となるバッファ19の個数を増大させ、回
転数を高くする。また、逆に回転数が高い場合、使用個
数を減らすことにより、速度調整を行うことができる。
増幅回路は、インバータ17でも構わない。また、使用
個数は任意とする。
【0029】
【実施の形態2】図5は、本発明の超音波モータ1を駆
動源とする電子機器に適用したブロック図を示したもの
である。本電子機器は、振動体3と、振動体3により駆
動される移動体4と、移動体4と振動体3に接触圧を与
える加圧手段6と、移動体4と連動して可動する伝達機
構31と、伝達機構31の動作に基づいて運動する出力
機構32を備えることを特徴とする。ここで、伝達機構
31には例えば歯車、摩擦車などの伝達車を用い、これ
を移動体4に形成するが、これを省略し、直接出力機構
32を設けてもよい。
【0030】図6は、超音波モータ1の移動体4に直
接、出力機構32となる磁気ディスクをつけたものであ
る。磁気ディスクの一部には、検出部材24となる磁気
による情報が刻まれた箇所があり、これを検出手段25
となる磁気ヘッドなどで回転速度が検出され、図示しな
いが本発明の駆動回路および制御回路で速度が一定に制
御される。磁気ディスク32の情報を磁気ヘッド33で
検出することにより、情報が検出される。この様に、速
度制御が要求されるハードディスクドライブ、光ディス
クドライブやレーザスキャナ等に利用することが可能で
ある。なお、本実施の形態における電子機器としては、
これらの他にテープレコーダ、電子時計、計測器、プリ
ンタ等の速度制御の要求される駆動源に実現できる。本
発明の超音波モータ1を用いることにより、小型で速度
制御の優れた駆動装置および電子機器を実現できる。
【0031】
【発明の効果】本発明によれば、比較指令手段の基準周
波数に自励発振回路で発生した自励発振信号を用いたこ
とにより、外部クロック源を削減することが可能とな
り、回路の部品点数削減に大きく寄与することができる
とともに、比較指令手段の出力信号に応じて、超音波モ
ータの回転情報が発振信号に基づく基準信号の周波数と
等しくなるように、起動/停止信号発生回路が起動信号
ならびに停止信号のDuty比やスイッチング周波数を
可変することで超音波モータの速度を一定に保つことが
可能となる。
【0032】更に、本発明によれば、比較指令手段の基
準周波数に自励発振回路で発生した自励発振信号を用い
たことにより、外部クロック源を削減することが可能と
なり、回路の部品点数削減に大きく寄与することができ
るとともに、増幅回路に電圧を供給する可変電源と、可
変電源の電源電圧を可変させる為の指令信号を発生する
電圧調整信号発生回路を設けたことにより、比較指令手
段の出力信号に応じて、電圧調整信号発生回路は、イン
バータやバッファ等のICの電源電圧を供給している可変
電源に指令信号を出力し、前記可変電源は、超音波モー
タの回転情報が発振信号に基づく基準信号の周波数と等
しくなるようにICの電源電圧を可変させることで速度
を一定に保つことができる。
【0033】更に、本発明によれば、比較指令手段の基
準周波数に自励発振回路で発生した自励発振信号を用い
たことにより、外部クロック源を削減することが可能と
なり、回路の部品点数削減に大きく寄与することができ
るとともに、位相調整回路および位相調整信号発生回路
を設けたことによって、位相調整信号発生回路は、比較
指令手段の出力信号に応じて、位相を調整する信号を位
相調整回路に出力し、超音波モータの回転情報が発振信
号に基づく基準信号の周波数と等しくなるように位相調
整を行い、超音波モータの回転数を一定に保つことがで
きる。
【0034】更に、本発明によれば、比較指令手段の基
準周波数に自励発振回路で発生した自励発振信号を用い
たことにより、外部クロック源を削減することが可能と
なり、回路の部品点数削減に大きく寄与することができ
るとともに、起動/停止信号発生回路は、超音波モータ
の回転速度に応じて増幅回路の使用数を選択する信号を
増幅回路に出力し、超音波モータの速度を一定に保つこ
とができる。
【0035】更に、本発明は、前記の超音波モータを有
し、移動体と一体に動作する出力機構を有することを特
徴とする超音波モータ付き電子機器を提供することがで
きる。更に、本発明は、前記の超音波モータを有し、移
動体と一体に動作する伝達機構と、伝達機構の動作に基
づいて動作する出力機構とを有する超音波モータ付き電
子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の超音波モータの駆動回路および制御回
路の動作ブロック図を示したものである。
【図2】本発明の超音波モータの断面図を示したもので
ある。
【図3】本発明の超音波モータの動作原理を示した図で
ある。
【図4】本発明の超音波モータの駆動回路を示した図で
ある。
【図5】本発明に係わる超音波モータを電子機器に適用
した例を示したブロック図である。
【図6】本発明に係わる超音波モータをハードディスク
の駆動源に応用した図である。
【符号の説明】
2 圧電素子 3 振動体 4 移動体 12 増幅回路 13 位相設定回路 14 起動/停止信号発生回路 15 比較指令手段 16 位相調整回路 23 自励発振回路 28 可変電源 29 電圧調整信号発生回路 30 位相調整信号発生回路 31 伝達機構 32 出力機構

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電素子を有する振動体と、 この振動体を所定の共振モードで自励発振させる発振信
    号を発生する発振回路と、 前記振動体に発生する振動波によって駆動される移動体
    と、 前記発振信号を基にした基準周波数と前記移動体の回転
    情報とを比較し、その結果をもとに信号を出力する比較
    指令手段と、 この比較指令手段の出力信号に応じて、前記発振回路を
    起動または停止させる起動/停止信号発生回路と、 を有することを特徴とする超音波モータ。
  2. 【請求項2】 圧電素子を有する振動体と、増幅回路を
    有し、前記振動体を所定の共振モードで自励発振させる
    発振信号を発生する発振回路と、 前記振動体に発生する振動波によって駆動される移動体
    と、 前記発振信号を基にした基準周波数と前記移動体の回転
    情報とを比較し、その結果をもとに信号を出力する比較
    指令手段と、 この比較指令手段の出力信号に応じて、前記増幅回路に
    供給する電圧を可変させる電圧調整信号発生回路と、を
    有することを特徴とする超音波モータ。
  3. 【請求項3】 圧電素子を有する振動体と、この振動体
    を所定の共振モードで自励発振させる発振信号を発生す
    る発振回路と、 前記振動体に発生する振動波によって駆動される移動体
    と、 前記発振信号を基にした基準周波数と前記移動体の回転
    情報とを比較し、その結果をもとに信号を出力する比較
    指令手段と、 前記比較指令手段の出力信号に応じて、前記発振回路の
    位相を調整する位相調整回路と、 を有することを特徴とする超音波モータ。
  4. 【請求項4】 圧電素子を有する振動体と、増幅回路を
    有し、前記振動体を所定の共振モードで自励発振させる
    発振信号を発生する発振回路と、 前記振動体に発生する振動波によって駆動される移動体
    と、 前記発振信号を基にした基準周波数と前記移動体の回転
    情報とを比較し、その結果をもとに信号を出力する比較
    指令手段と、 この比較指令手段の出力信号に応じて、前記増幅回路の
    数を選択する起動/停止信号発生回路と、 を有することを特徴とする超音波モータ。
  5. 【請求項5】 請求項1から請求項4のいずれか1項に
    記載の超音波モータと、 前記移動体と一体に動作する出力機構と、 を有することを特徴とする超音波モータ付き電子機器。
  6. 【請求項6】 請求項1から請求項4のいずれか1項に
    記載の超音波モータと、 前記移動体と一体に動作する伝達機構と、 前記伝達機構の動作に基づいて動作する出力機構と、 を有することを特徴とする超音波モータ付き電子機器。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013141377A1 (ja) * 2012-03-23 2013-09-26 株式会社ニコン 振動アクチュエータの駆動装置及び光学機器

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