JP2001111068A - Optical module - Google Patents

Optical module

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JP2001111068A
JP2001111068A JP28268799A JP28268799A JP2001111068A JP 2001111068 A JP2001111068 A JP 2001111068A JP 28268799 A JP28268799 A JP 28268799A JP 28268799 A JP28268799 A JP 28268799A JP 2001111068 A JP2001111068 A JP 2001111068A
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JP
Japan
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stem
optical element
optical
grooves
fiber
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP28268799A
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Japanese (ja)
Inventor
Shuichi Aihara
周一 藍原
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Japan Aviation Electronics Industry Ltd
Original Assignee
Japan Aviation Electronics Industry Ltd
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Publication date
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  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce costs. SOLUTION: V channels 22 and 24 being orthogonally crossed each other are formed on the upper surface of a stem 21 and the lower surfaces of an optical element 23 and a fiber-fixing tool 27. A positioning rod 25 is placed in two V channels 22 of the stem 21, the V channel 24 is engaged with the positioning rod 25 for mounting the optical element 23, and a V channel 29 is engaged with the positioning rod 25 for mounting the fiber-fixing tool 27. By simple structure/assembly where the positioning rod 25 is used as reference for aligning the V channels 22, 24, and 29, the optical element 23 and optical fiber 26 can be accurately positioned, thus eliminating the need for aligning work.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は光通信などの分野
で使用される光モジュールの構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure of an optical module used in fields such as optical communication.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザダイオード(LD)やフォトダイ
オード(PD)等の光素子と光ファイバとを光結合する
光モジュールの製造においては、光素子と光ファイバと
を効率良く光結合するために、それらの光軸を高精度で
合わせる、いわゆる調芯という作業が従来行われてお
り、この作業は面倒で工数がかかるものとなっていた。
2. Description of the Related Art In the manufacture of an optical module for optically coupling an optical element such as a laser diode (LD) or a photodiode (PD) with an optical fiber, in order to efficiently optically couple the optical element with the optical fiber. A so-called centering operation of aligning the optical axes with high accuracy has been conventionally performed, and this operation has been troublesome and requires many man-hours.

【0003】一方、光モジュールのローコスト化を目的
として、図3に示したような構造が従来提案されてい
る。この図3に示した光モジュールは調芯作業を不要と
し、即ち無調芯で光軸を合わせることができるようにし
たものであって、光素子11が搭載されたステム12に
2本の位置決めピン13を立て、光ファイバ14を固定
保持したファイバ固定具15に2つの位置決め穴16を
設けて、それら位置決めピン13と位置決め穴16とを
係合させてステム12とファイバ固定具15とを組み立
てることにより、光素子11の光軸と光ファイバ14の
光軸とが自動的に一致するようにしたものである。な
お、図において光素子11はその上面に発光部や受光部
を有する面発光型の発光素子もしくは面受光型の受光素
子とされている。
On the other hand, a structure as shown in FIG. 3 has been conventionally proposed for the purpose of reducing the cost of an optical module. The optical module shown in FIG. 3 eliminates the need for alignment work, that is, the optical axis can be aligned without alignment, and the two optical modules 11 are mounted on the stem 12 on which the optical element 11 is mounted. The pin 13 is set up, two positioning holes 16 are provided in the fiber fixing device 15 holding and holding the optical fiber 14, and the positioning pin 13 and the positioning hole 16 are engaged to assemble the stem 12 and the fiber fixing device 15. Thus, the optical axis of the optical element 11 automatically coincides with the optical axis of the optical fiber 14. In the figure, the optical element 11 is a surface-emitting light-emitting element or a surface-light-receiving light-receiving element having a light-emitting portion and a light-receiving portion on its upper surface.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、図3
に示したような構造を採用することにより、無調芯で光
軸合わせを行うことが可能となるが、高精度の光軸合わ
せを実現するためには、例えば位置決めピン13と光素
子11とを高い相対位置精度をもってステム12に搭載
する必要があり、また位置決めピン13を垂直に立てる
べく、位置決めピン13を立てるための穴17をステム
12に高精度に形成する必要があり、これらの点で組み
立てコスト(搭載コスト)や加工コストがかかるものと
なっていた。
As described above, FIG.
By adopting the structure as shown in (1), it is possible to perform optical axis alignment without alignment. However, in order to realize high-precision optical axis alignment, for example, the positioning pin 13 and the optical element 11 are required. Need to be mounted on the stem 12 with high relative positional accuracy, and in order to erect the positioning pin 13 vertically, it is necessary to form a hole 17 for erecting the positioning pin 13 in the stem 12 with high accuracy. As a result, assembly costs (mounting costs) and processing costs are required.

【0005】つまり、無調芯によるコストの削減効果は
期待できるものの、これら組み立てや加工コストの増大
により、全体として大幅なローコスト化を図ることは困
難なものとなっていた。また、ローコスト化の一方策と
して、ステム12を金属製ではなく、例えば安価なプラ
スチック成形材料によって構成するといったことが考え
られるが、図3においてステム12に例えばプラスチッ
ク成形材料を使用すると、光素子11より発生する熱
の、ステム12を通じての放熱量が大幅に低下し、光素
子11の熱を逃がすことができなくなってしまうため、
ステム12にプラスチック成形材料を使用することはで
きないものとなっていた。
[0005] That is, although the cost reduction effect due to the non-alignment can be expected, it is difficult to significantly reduce the cost as a whole due to the increase in the assembly and processing costs. Further, as one measure for reducing the cost, it is conceivable that the stem 12 is made of, for example, an inexpensive plastic molding material instead of metal, but if the plastic molding material is used for the stem 12 in FIG. The amount of heat generated by the heat generated through the stem 12 is greatly reduced, and the heat of the optical element 11 cannot be released.
A plastic molding material cannot be used for the stem 12.

【0006】この発明の目的は上述した問題点に鑑み、
高い搭載位置精度を実現し、かつ大幅なローコスト化を
可能とする光モジュールの構造を提供することにある。
[0006] In view of the above problems, an object of the present invention is to provide
An object of the present invention is to provide an optical module structure that realizes a high mounting position accuracy and enables a significant cost reduction.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明によれ
ば、ステム上に光素子が搭載されてなる光モジュールに
おいて、光素子はその構成基板もしくは付加された基板
の下面に、互いに直交するように形成された2つのV溝
を有するものとされ、ステムの上面に互いに直交する2
つのV溝が形成されて、それらV溝に位置合わせ棒が載
置され、光素子はその2つのV溝が上記位置合わせ棒に
係合されてステム上に搭載される構造とされる。
According to the first aspect of the present invention, in an optical module having an optical element mounted on a stem, the optical elements are orthogonal to each other on the lower surface of the constituent substrate or the added substrate. And two V-grooves formed in such a manner as to be perpendicular to each other on the upper surface of the stem.
Two V-grooves are formed, and positioning rods are placed in the V-grooves. The optical element is structured such that the two V-grooves are engaged with the positioning rods and mounted on the stem.

【0008】請求項2の発明によれば、ステム上に搭載
された光素子の上面と、ファイバ固定具に固定された光
ファイバの端面とが互いに対向されて光結合される構造
とされた光モジュールにおいて、光素子はその構成基板
もしくは付加された基板の下面に互いに直交するように
形成された2つのV溝を有するものとされ、ファイバ固
定具のステムとの対向面に凹部と、その凹部に内端がそ
れぞれ臨んで直交2軸上に位置する4つのV溝とが形成
されて、その凹部の底面に光ファイバの端面が位置さ
れ、ステムの上面に互いに直交する2つのV溝が形成さ
れて、それらV溝に位置合わせ棒が載置され、光素子は
その2つのV溝が上記位置合わせ棒に係合されてステム
上に搭載され、ファイバ固定具はその4つのV溝が上記
位置合わせ棒に係合され、かつその凹部に光素子を収容
してステム上に搭載される構造とされる。
According to the second aspect of the present invention, there is provided a light having a structure in which the upper surface of the optical element mounted on the stem and the end face of the optical fiber fixed to the fiber fixture are optically coupled to each other. In the module, the optical element has two V-grooves formed so as to be orthogonal to each other on the lower surface of the constituent substrate or the added substrate, and the concave portion is formed on the surface of the fiber fixing device facing the stem, and the concave portion is formed. And four V-grooves located on two orthogonal axes with their inner ends facing each other, the end face of the optical fiber is located on the bottom surface of the recess, and two V-grooves orthogonal to each other are formed on the upper surface of the stem. Then, positioning rods are placed in the V-grooves, the optical element is mounted on the stem with its two V-grooves being engaged with the positioning rods, and the fiber fixing tool has the four V-grooves. Engage with alignment rod It is, and is configured to be mounted on the stem housing the light element in the recess.

【0009】請求項3の発明では請求項1乃至2のいず
れかの発明において、位置合わせ棒が金属棒とされる。
According to a third aspect of the present invention, in any one of the first and second aspects, the positioning rod is a metal rod.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図面を参
照して実施例により説明する。図1Aは請求項1の発明
の一実施例を示したものであり、図1Bはそれを各部に
分解して示したものである。この例では光素子搭載用の
ステム21の上面(搭載面)に互いに直交する2つのV
溝22が形成される。ステム21の上面は方形状とさ
れ、その対向2辺間に渡ってV溝22がそれぞれ形成さ
れている。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1A shows an embodiment of the invention of claim 1, and FIG. 1B shows the embodiment in an exploded manner. In this example, two Vs orthogonal to each other on the upper surface (mounting surface) of the stem 21 for mounting an optical element.
A groove 22 is formed. The upper surface of the stem 21 has a square shape, and V-grooves 22 are formed between two opposing sides thereof.

【0011】ステム21はこの例ではシリコン製とさ
れ、V溝22はシリコンの異方性エッチングにより高精
度に形成される。一方、光素子23もその下面に互いに
直交する2つのV溝24を有するものとされる。これら
V溝24は光素子23の構成基板の下面に形成すること
ができ、例えば構成基板がシリコン基板の場合には異方
性エッチングによりV溝24を高精度に形成することが
できる。
In this embodiment, the stem 21 is made of silicon, and the V groove 22 is formed with high precision by anisotropic etching of silicon. On the other hand, the optical element 23 also has two V grooves 24 orthogonal to each other on the lower surface. These V grooves 24 can be formed on the lower surface of the constituent substrate of the optical element 23. For example, when the constituent substrate is a silicon substrate, the V grooves 24 can be formed with high precision by anisotropic etching.

【0012】なお、光素子23自体にV溝24を形成す
ることが困難な場合にはV溝を形成した基板を光素子2
3に貼り付けるといった構成が採用される。この場合、
付加する基板としては例えば、高精度のV溝形成が容易
なシリコン基板が用いられる。このような光素子23と
付加基板(シリコン基板)との貼り付け構造はウエハ状
態で作製するのが好ましく、即ち光素子が配列形成され
た光素子ウエハと、所要のV溝を形成したシリコンウエ
ハとを貼り付けて2層構造とし、これを個別に切り出す
ことによって下面にV溝24を有する光素子23を得る
ことができる。なお、例えばレーザダイオードやフォト
ダイオードとされる光素子23は図1A中、2点鎖線で
示したように、その上面に発光部(もしくは受光部)を
有するものとされる。
When it is difficult to form the V-groove 24 in the optical element 23 itself, the substrate on which the V-groove is formed is replaced with the optical element 2.
3 is adopted. in this case,
As a substrate to be added, for example, a silicon substrate on which a highly accurate V-groove can be easily formed is used. It is preferable that such a bonding structure of the optical element 23 and the additional substrate (silicon substrate) is manufactured in a wafer state, that is, an optical element wafer on which optical elements are arranged and formed, and a silicon wafer on which a required V groove is formed. And a two-layer structure, which is individually cut out, to obtain an optical element 23 having a V-groove 24 on the lower surface. Note that, for example, the optical element 23 such as a laser diode or a photodiode has a light emitting unit (or light receiving unit) on the upper surface thereof, as shown by a two-dot chain line in FIG. 1A.

【0013】上記のような構造とされた光素子23のス
テム21への搭載は、ステム21の2つのV溝22に位
置合わせ棒25をそれぞれ載置し、それら位置合わせ棒
25に各V溝24を係合させて光素子23を搭載するこ
とによって行われ、これらは例えば接着剤を用いて固定
される。位置合わせ棒25は図に示したように、長短合
わせて3本用いられる。
To mount the optical element 23 having the above structure on the stem 21, the positioning rods 25 are respectively mounted on the two V-grooves 22 of the stem 21, and the V-grooves are mounted on the positioning rods 25. This is performed by mounting the optical element 23 with the engagement of the optical elements 24, which are fixed using, for example, an adhesive. As shown in the figure, three positioning rods 25 are used in total.

【0014】このように光素子23を搭載することによ
り、光素子23とステム21は位置合わせ棒25を基準
とし、双方のV溝24と22とが対向整列するものとな
り、即ち特別の搭載位置調整を行うことなく、光素子2
3は精度良くステム21上に搭載されることになる。な
お、この例で示したようにステム21の構成材料がシリ
コンとされ、また光素子23の構成基板もしくは付加基
板がシリコン基板とされ、即ち共にシリコンの異方性エ
ッチングによりV溝22、24が形成される構造とすれ
ば、サブミクロン精度のV溝22、24が容易に形成可
能であり、よって極めて高い搭載精度を簡易に得ること
ができる。
By mounting the optical element 23 in this manner, the optical element 23 and the stem 21 are aligned with the V-grooves 24 and 22 facing each other with reference to the positioning rod 25, that is, a special mounting position. Optical element 2 without adjustment
3 is mounted on the stem 21 with high accuracy. As shown in this example, the constituent material of the stem 21 is silicon, and the constituent substrate or the additional substrate of the optical element 23 is a silicon substrate. That is, the V grooves 22 and 24 are formed by anisotropic etching of silicon. With such a structure, the sub-micron-accurate V-grooves 22 and 24 can be easily formed, so that extremely high mounting accuracy can be easily obtained.

【0015】上述した実施例ではステム21の構成材料
はシリコンとされ、また光素子23にV溝形成基板を貼
り付ける場合の基板材料もシリコンとしているが、シリ
コンに替えて例えばプラスチック成形材料を用いること
もできる。V溝22を有するステム21及びV溝24を
有する基板はプラスチックの高精度成形により、シリコ
ンの場合とほぼ同等の精度をもって作製することができ
る。
In the above-described embodiment, the constituent material of the stem 21 is silicon, and the substrate material for attaching the V-groove forming substrate to the optical element 23 is also silicon. However, for example, a plastic molding material is used instead of silicon. You can also. The stem 21 having the V-groove 22 and the substrate having the V-groove 24 can be manufactured with high precision molding of plastic with almost the same precision as that of silicon.

【0016】なお、ステム21がシリコンやプラスチッ
ク製の場合、光素子23より発生する熱の、ステム21
を通じての放熱量が低下するが、位置合わせ棒25を金
属棒とすることにより、この位置合わせ棒25が熱伝導
体となって光素子23からの発熱が光素子23外部に導
かれる構造となり、つまり位置合わせ棒25によって効
率の良い放熱構造が得られるものとなる。位置合わせ棒
25を構成する金属材料としては例えばCuやCu合金が用
いられる。
When the stem 21 is made of silicon or plastic, the heat generated by the optical element
Although the amount of heat dissipated through is reduced, by using the positioning rod 25 as a metal rod, the positioning rod 25 becomes a heat conductor and the heat generated from the optical element 23 is guided to the outside of the optical element 23. That is, an efficient heat dissipation structure can be obtained by the positioning rod 25. For example, Cu or a Cu alloy is used as a metal material forming the alignment rod 25.

【0017】図2Aは請求項2の発明の一実施例を示し
たものであり、図1に示した構成に光ファイバ26を固
定保持したファイバ固定具27が搭載されたものとなっ
ている。ファイバ固定具27は図2Bに示したように、
そのステム21との対向面の中央に凹部28が形成され
ており、さらにこの凹部28に内端がそれぞれ臨んで直
交2軸上に位置する4つのV溝29が形成されている。
なお、光ファイバ26は穴31に挿通固定され、その端
面が凹部28の底面に位置されている。ファイバ固定具
27は例えばプラスチックで高精度成形される。
FIG. 2A shows an embodiment of the second aspect of the present invention, in which a fiber fixture 27 holding and holding an optical fiber 26 is mounted on the configuration shown in FIG. The fiber fixture 27, as shown in FIG.
A concave portion 28 is formed at the center of the surface facing the stem 21, and four V-grooves 29 are formed in the concave portion 28, each of which has an inner end facing each other and are positioned on two orthogonal axes.
The optical fiber 26 is inserted and fixed in the hole 31, and its end face is located on the bottom face of the recess 28. The fiber fixture 27 is molded with high precision, for example, from plastic.

【0018】この図2に示した光モジュールの組み立て
はステム21のV溝22に位置合わせ棒25を載置し
て、まず光素子23をその上に載せ、さらに4つのV溝
29を位置合わせ棒25に係合させてファイバ固定具2
7をその上からステム21に搭載することによって行わ
れ、光素子23はファイバ固定具27の凹部28に収容
されるものとなる。
In the assembly of the optical module shown in FIG. 2, an alignment rod 25 is placed in the V-groove 22 of the stem 21, an optical element 23 is first placed thereon, and four V-grooves 29 are further aligned. The fiber fixture 2 is engaged with the rod 25.
7 is mounted on the stem 21 from above, so that the optical element 23 is accommodated in the concave portion 28 of the fiber fixture 27.

【0019】このように組み立てることにより、位置合
わせ棒25を基準として光素子23及びファイバ固定具
27は高い位置精度をもってステム21上に搭載され
て、光素子23の上面と光ファイバ26の端面とが互い
に対向され、よって特別の搭載位置調整を行うことな
く、つまり無調芯で光素子23の光軸と光ファイバ26
の光軸とが高精度に一致されるものとなる。
By assembling in this manner, the optical element 23 and the fiber fixture 27 are mounted on the stem 21 with high positional accuracy with respect to the alignment rod 25, and the upper surface of the optical element 23 and the end face of the optical fiber 26 are Are opposed to each other, so that no special mounting position adjustment is performed, that is, the optical axis of the optical element 23 and the optical fiber 26
And the optical axis of the light beam are matched with high precision.

【0020】なお、前述したように位置合わせ棒25を
金属棒とすることにより、ステム21やファイバ固定具
27が例えばシリコンやプラスチック製であっても充分
な放熱効果が得られるものとなる。
By using a metal rod as the positioning rod 25 as described above, a sufficient heat radiation effect can be obtained even if the stem 21 and the fiber fixing member 27 are made of, for example, silicon or plastic.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明に
よれば、簡易な構成で、ステム21上に高い位置精度を
もって光素子23を搭載することが可能となる。また、
請求項2の発明によれば、光素子23と光ファイバ26
との互いの光軸を無調芯で高精度に一致させることがで
き、そのための構成もステム21、光素子23及びファ
イバ固定具27にそれぞれV溝22、24、29を形成
し、ステム21のV溝22に載置した位置合わせ棒25
にV溝24、29を係合させて光素子23及びファイバ
固定具27を単に搭載するだけという極めて簡易なもの
であって、図3に示した従来の光モジュールのように組
み立てコストや加工コストの増大を招くものではなく、
よって光モジュールのコストを大幅に低減させることが
可能となる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, the optical element 23 can be mounted on the stem 21 with high positional accuracy with a simple configuration. Also,
According to the invention of claim 2, the optical element 23 and the optical fiber 26
The optical axes of the optical axis and the optical axis of the optical fiber can be aligned with high accuracy without alignment. For this purpose, V-grooves 22, 24, and 29 are formed in the stem 21, the optical element 23, and the fiber fixture 27, respectively. Positioning rod 25 placed in the V groove 22
The optical device 23 and the fiber fixture 27 are simply mounted by engaging the V-grooves 24 and 29 with the V-grooves 24 and 29. The assembly cost and the processing cost as in the conventional optical module shown in FIG. Does not lead to an increase in
Therefore, the cost of the optical module can be significantly reduced.

【0022】さらに、請求項3の発明によれば、位置合
わせ棒25によって光素子23からの発熱を外部に放熱
することができるため、ステム21を金属製としなくて
もよく、つまりプラスチック成形材料等の安価な材料を
使用することが可能となる。
Further, according to the third aspect of the present invention, since the heat generated from the optical element 23 can be radiated to the outside by the positioning rod 25, the stem 21 does not have to be made of metal, ie, a plastic molding material. Inexpensive materials such as can be used.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】Aは請求項1の発明の一実施例を示す斜視図、
Bはその分解斜視図。
FIG. 1A is a perspective view showing one embodiment of the invention of claim 1;
B is an exploded perspective view thereof.

【図2】Aは請求項2の発明の一実施例を示す斜視図、
Bはその一部を分解して示した斜視図。
FIG. 2A is a perspective view showing one embodiment of the invention of claim 2;
B is a perspective view showing a part of the disassembly.

【図3】光モジュールの従来構成の一例を説明するため
の斜視図。
FIG. 3 is a perspective view illustrating an example of a conventional configuration of an optical module.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ステム上に光素子が搭載されてなる光モ
ジュールであって、 上記光素子はその構成基板もしくは付加された基板の下
面に、互いに直交するように形成された2つのV溝を有
し、 上記ステムの上面に互いに直交する2つのV溝が形成さ
れて、それらV溝に位置合わせ棒が載置され、 上記光素子はその2つのV溝が上記位置合わせ棒に係合
されて上記ステム上に搭載されていることを特徴とする
光モジュール。
1. An optical module having an optical element mounted on a stem, wherein the optical element has two V-grooves formed orthogonally to each other on a lower surface of a constituent substrate or an added substrate. And two V-grooves orthogonal to each other are formed on the upper surface of the stem, and alignment rods are mounted on the V-grooves. The optical element is engaged with the two V-grooves on the alignment rod. And an optical module mounted on the stem.
【請求項2】 ステム上に搭載された光素子の上面と、
ファイバ固定具に固定された光ファイバの端面とが互い
に対向されて光結合される構造とされた光モジュールで
あって、 上記光素子はその構成基板もしくは付加された基板の下
面に、互いに直交するように形成された2つのV溝を有
し、 上記ファイバ固定具の上記ステムとの対向面に凹部と、
その凹部に内端がそれぞれ臨んで直交2軸上に位置する
4つのV溝とが形成されて、その凹部の底面に上記光フ
ァイバの端面が位置され、 上記ステムの上面に互いに直交する2つのV溝が形成さ
れて、それらV溝に位置合わせ棒が載置され、 上記光素子はその2つのV溝が上記位置合わせ棒に係合
されて上記ステム上に搭載され、 上記ファイバ固定具はその4つのV溝が上記位置合わせ
棒に係合され、かつその凹部に上記光素子を収容して上
記ステム上に搭載されていることを特徴とする光モジュ
ール。
2. An upper surface of an optical element mounted on the stem,
An optical module having a structure in which end faces of optical fibers fixed to a fiber fixture are optically coupled to each other so as to be opposed to each other, wherein the optical elements are orthogonal to each other on a lower surface of a constituent substrate or an added substrate. A concave portion on the surface of the fiber fixing device facing the stem,
The concave portion is formed with four V-grooves located on two orthogonal axes with the inner ends facing each other, the end surface of the optical fiber is located on the bottom surface of the concave portion, and the two perpendicular to the upper surface of the stem. V-grooves are formed, alignment rods are placed in the V-grooves, and the optical element is mounted on the stem with the two V-grooves being engaged with the alignment rods. An optical module characterized in that the four V-grooves are engaged with the alignment rod, and the optical element is accommodated in the concave portion and mounted on the stem.
【請求項3】 請求項1乃至2記載のいずれかの光モジ
ュールにおいて、 上記位置合わせ棒が金属棒とされていることを特徴とす
る光モジュール。
3. The optical module according to claim 1, wherein the alignment rod is a metal rod.
JP28268799A 1999-10-04 1999-10-04 Optical module Withdrawn JP2001111068A (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2007088959A1 (en) * 2006-02-02 2007-08-09 Nec Corporation Optical module
WO2012128094A1 (en) * 2011-03-18 2012-09-27 シャープ株式会社 Method for securing light-emitting device and light-emitting device

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