JP2001110361A - Dielectric barrier discharge lamp unit - Google Patents

Dielectric barrier discharge lamp unit

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JP2001110361A
JP2001110361A JP28828899A JP28828899A JP2001110361A JP 2001110361 A JP2001110361 A JP 2001110361A JP 28828899 A JP28828899 A JP 28828899A JP 28828899 A JP28828899 A JP 28828899A JP 2001110361 A JP2001110361 A JP 2001110361A
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JP
Japan
Prior art keywords
dielectric barrier
barrier discharge
discharge lamp
casing
lamps
Prior art date
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Pending
Application number
JP28828899A
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Japanese (ja)
Inventor
Satoru Fukuda
悟 福田
Shinji Sugioka
晋次 杉岡
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Ushio Denki KK
Ushio Inc
Original Assignee
Ushio Denki KK
Ushio Inc
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Publication date
Application filed by Ushio Denki KK, Ushio Inc filed Critical Ushio Denki KK
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To give a sufficient insulation distance of power feeding portion mounted on adjacent bases and also a uniform distribution of illuminance on a illuminated plane to enhance the illuminance. SOLUTION: In a dielectric barrier discharge lamp unit in which a plurality of dielectric barrier discharge lamps 2 are arranged within a casing 1, the dielectric barrier discharge lamp 2 is equipped with two electrodes through a discharge vessel 3 with a slender appearance that functions also as a dielectric substance for dielectric barrier discharge, a base 5 with power feeding part electrically connected to both electrodes is provided only at an end of the discharge lamp, and neighboring dielectric barrier discharge lamps 2 are disposed within the casing so that respective bases 5 are located at positions opposite to each other.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明が属する技術分野】本発明は、ケーシング内に複
数の誘電体バリア放電ランプが配置された誘電体バリア
放電ランプ装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dielectric barrier discharge lamp device having a plurality of dielectric barrier discharge lamps arranged in a casing.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、図1に示すような誘電体バリ
ア放電ランプが知れている。誘電体バリア放電ランプ2
は、誘電体バリア放電の誘電体を兼ねる外形形状が細長
い放電容器3を有しており、この放電容器3は、内側管
と外側管からなる中空円筒状であり、外側管の外表面に
一方の網状の電極40が設けられており、内側管の外側
表面に他方の電極41が設けられている。そして、この
誘電体バリア放電ランプの一端側にのみ、一方の電極4
0と電気的に接続しグランドに接続された給電部分50
と、他方の電極41に電気的に接続しマイナスハイボル
トを印可する給電部分51とを有する口金5が設けられ
ている。
2. Description of the Related Art A dielectric barrier discharge lamp as shown in FIG. 1 is conventionally known. Dielectric barrier discharge lamp 2
Has a discharge vessel 3 having an elongated outer shape also serving as a dielectric of a dielectric barrier discharge. The discharge vessel 3 has a hollow cylindrical shape composed of an inner tube and an outer tube. Is provided, and the other electrode 41 is provided on the outer surface of the inner tube. One electrode 4 is provided only at one end of the dielectric barrier discharge lamp.
Feeding part 50 electrically connected to zero and connected to ground
And a power supply portion 51 electrically connected to the other electrode 41 and applying a negative high volt.

【0003】そして、このような誘電体バリア放電ラン
プは、図2に示すように、ケーシング1内に複数本配置
されて誘電体バリア放電ランプ装置を構成している。こ
の誘電体バリア放電ランプ装置では、液晶基板等の広い
ワークを照射するために、細長い放電容器を有する誘電
体バリア放電ランプを複数本並べて配置するものであ
り、通常、誘電体バリア放電ランプ2の口金5が、同じ
方向に位置するようにケーシング1内に配置されてい
る。
As shown in FIG. 2, a plurality of such dielectric barrier discharge lamps are arranged in a casing 1 to constitute a dielectric barrier discharge lamp device. In this dielectric barrier discharge lamp device, a plurality of dielectric barrier discharge lamps each having an elongated discharge container are arranged side by side to irradiate a wide work such as a liquid crystal substrate. The bases 5 are arranged in the casing 1 so as to be located in the same direction.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな誘電体バリア放電ランプ装置では、以下のような問
題があった。隣接する誘電体バリア放電ランプ2の口金
5が同じ方向に位置されているので、隣接する口金5に
設けられた給電部分51の絶縁を保つために、口金5を
一定距離以上離間させなければならなく、隣接する誘電
体バリア放電ランプ2の発光部である放電容器3の離間
距離が大きくなるので被照射面上での照度分布にムラが
生じるとともに、隣接する誘電体バリア放電ランプ2を
近づけてケーシング1内に誘電体バリア放電ランプ2を
多数配置することができず、被照射面の照度を上げるこ
ともできなかった。
However, such a dielectric barrier discharge lamp device has the following problems. Since the bases 5 of the adjacent dielectric barrier discharge lamps 2 are located in the same direction, the bases 5 must be separated by a certain distance or more in order to keep the power supply portion 51 provided on the adjacent bases 5 insulated. However, since the distance between the discharge vessels 3 which are the light emitting portions of the adjacent dielectric barrier discharge lamps 2 becomes large, the illuminance distribution on the surface to be irradiated becomes uneven, and the adjacent dielectric barrier discharge lamps 2 are brought closer. A large number of dielectric barrier discharge lamps 2 could not be arranged in the casing 1 and the illuminance of the irradiated surface could not be increased.

【0005】また、放電容器3の背後に反射板を設け、
反射板によって反射した光に指向性を持たせることによ
って照度ムラを改善することも可能であるが、反射板の
設計が複雑となり、また、反射板という別部材が必要な
ど装置が複雑になるという問題があった。
A reflector is provided behind the discharge vessel 3,
It is possible to improve the illuminance unevenness by giving directivity to the light reflected by the reflector, but the design of the reflector becomes complicated, and the device becomes complicated, such as the necessity of another member called a reflector. There was a problem.

【0006】本発明は、以上のような事情に基づいてな
されたものであって、その目的は、隣接する誘電体バリ
ア放電ランプを、各誘電体バリア放電ランプの一端側に
設けられた口金が、それぞれ反対方向に位置するように
ケーシング内に配置したので、隣接する口金に設けられ
た給電部分の絶縁距離を十分にとることができるととも
に、隣接する誘電体バリア放電ランプの発光部である放
電容器を近づけることができるので、反射板を使用しな
くても、被照射面上での照度分布を均一にすることがで
き、さらには、ケーシング内に配置される誘電体バリア
放電ランプの本数を増やすことができ、被照射面の照度
を上げることができる。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a structure in which adjacent dielectric barrier discharge lamps are provided with a base provided at one end of each dielectric barrier discharge lamp. Are disposed in the casing so as to be located in opposite directions, so that the insulation distance of the power supply portion provided in the adjacent base can be sufficiently secured, and the discharge as the light emitting portion of the adjacent dielectric barrier discharge lamp can be achieved. Since the container can be brought closer, the illuminance distribution on the surface to be irradiated can be made uniform without using a reflector, and the number of dielectric barrier discharge lamps arranged in the casing can be reduced. The illuminance of the surface to be irradiated can be increased.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】ケーシング内に複数の誘
電体バリア放電ランプが配置された誘電体バリア放電ラ
ンプ装置において、前記誘電体バリア放電ランプは、誘
電体バリア放電の誘電体を兼ねる外形形状が細長い放電
容器を介して一方の電極と他方の電極が設けられてお
り、当該誘電体バリア放電ランプの一端側にのみ、一方
の電極と他方の電極に電気的に接続された給電部分を有
する口金が設けられており、隣接する誘電体バリア放電
ランプは、それぞれの口金が互いに反対方向に位置する
ようにケーシング内に配置されていることを特徴とす
る。
In a dielectric barrier discharge lamp device in which a plurality of dielectric barrier discharge lamps are disposed in a casing, the dielectric barrier discharge lamp has an outer shape which also serves as a dielectric of the dielectric barrier discharge. Is provided with one electrode and the other electrode via an elongated discharge vessel, and has a power supply portion electrically connected to the one electrode and the other electrode only on one end side of the dielectric barrier discharge lamp. A base is provided and adjacent dielectric barrier discharge lamps are arranged in the casing such that the respective bases are located in opposite directions.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】図3は、本発明の誘電体バリア放
電ランプ装置の説明図である。本発明の誘電体バリア放
電ランプ装置に組み込まれている誘電体バリア放電ラン
プ2a、2bは、図1に示した誘電体バリア放電ランプ
と同じものであり、一方の電極と電気的に接続しグラン
ドに接続された給電部分50a、50bと、他方の電極
と電気的に接続しマイナスハイボルトが印可される給電
部分51a、51bとを有する口金5a、5bが設けら
れている。
FIG. 3 is an explanatory view of a dielectric barrier discharge lamp device according to the present invention. The dielectric barrier discharge lamps 2a and 2b incorporated in the dielectric barrier discharge lamp device of the present invention are the same as the dielectric barrier discharge lamp shown in FIG. 1, and are electrically connected to one electrode and ground. Are provided with power supply portions 50a and 50b connected to the power supply portions and power supply portions 51a and 51b electrically connected to the other electrode and to which minus high volts are applied.

【0009】ケーシング1内に組み込まれた誘電体バリ
ア放電ランプ2a、2bは、隣接する誘電体バリア放電
ランプ2a、2b間で、各誘電体バリア放電ランプ2
a、2bの一端側に設けられた口金5a、5bをそれぞ
れ反対方向に位置するように配置されている。なお、図
3では、電極を省略している。
The dielectric barrier discharge lamps 2a and 2b incorporated in the casing 1 are disposed between adjacent dielectric barrier discharge lamps 2a and 2b.
The bases 5a and 5b provided on one end sides of the terminals a and 2b are arranged so as to be located in opposite directions. In FIG. 3, the electrodes are omitted.

【0010】この結果、隣接する誘電バリア放電ランプ
2a、2bの口金5a、5bが干渉することがなくな
り、誘電体バリア放電ランプ2a、2bの発光部である
放電容器3a、3b同士を近づけることができるととも
に、隣接する誘電体バリア放電ランプ2a、2bの口金
5a、5bに設けられた給電部分51a、51bの絶縁
距離を十分にとることができ、隣接する給電部分51
a、51b間で絶縁破壊が起こることがない。この結
果、隣接する誘電体バリア放電ランプ2a、2bの発光
部である放電容器3a、3bを近づけることにより、誘
電体バリア放電ランプの発光部が大きな間隔を空けずに
ほぼ連続した状態になるので、反射板を配置しなくて
も、被照射面上での照度分布を均一にすることができ
る。
As a result, the bases 5a and 5b of the adjacent dielectric barrier discharge lamps 2a and 2b do not interfere with each other, and the discharge vessels 3a and 3b, which are the light emitting portions of the dielectric barrier discharge lamps 2a and 2b, can be brought close to each other. In addition, the power supply portions 51a and 51b provided on the bases 5a and 5b of the adjacent dielectric barrier discharge lamps 2a and 2b can have a sufficient insulation distance.
No dielectric breakdown occurs between a and 51b. As a result, by bringing the discharge vessels 3a, 3b, which are the light-emitting portions of the adjacent dielectric barrier discharge lamps 2a, 2b, close to each other, the light-emitting portions of the dielectric barrier discharge lamps become substantially continuous without a large interval. In addition, the illuminance distribution on the irradiated surface can be made uniform without disposing a reflector.

【0011】さらには、隣接する誘電体バリア放電ラン
プ2a、2b間で、各誘電体バリア放電ランプ2a、2
bの一端側に設けられた口金5a、5bをそれぞれ反対
方向に位置するように配置しているので、前述したよう
に隣接する口金5a、5bが干渉することがなく、隣接
する誘電体バリア放電ランプ2a、2bの口金5a、5
b間の距離を短くすることができ、ケーシング1内に配
置される誘電体バリア放電ランプの本数を増やすことが
でき、被照射面の照度を上げることができる。
Further, between the adjacent dielectric barrier discharge lamps 2a, 2b, each dielectric barrier discharge lamp 2a, 2b is disposed.
Since the bases 5a and 5b provided on one end side of the b are arranged so as to be located in opposite directions, the adjacent bases 5a and 5b do not interfere with each other as described above, and the adjacent dielectric barrier discharges do not occur. Lamps 5a, 5 for lamps 2a, 2b
The distance between b can be shortened, the number of dielectric barrier discharge lamps arranged in the casing 1 can be increased, and the illuminance of the irradiated surface can be increased.

【0012】また、このような誘電体バリア放電ランプ
装置では、誘電体バリア放電ランプ2a、2bの発光部
である放電容器3a、3bが近づいた状態になってお
り、任意の位置の誘電体バリア放電ランプのみを点灯さ
せることにより、被照射面での照度部分を任意の分布に
容易にしかも正確に制御することができる。
Further, in such a dielectric barrier discharge lamp device, the discharge vessels 3a and 3b, which are light-emitting portions of the dielectric barrier discharge lamps 2a and 2b, are in a state of approaching, and the dielectric barrier discharge lamp at an arbitrary position is provided. By lighting only the discharge lamp, the illuminance portion on the surface to be irradiated can be easily and accurately controlled to an arbitrary distribution.

【0013】図4、図5は、本発明の誘電体バリア放電
ランプに利用される誘電体バリア放電ランプの他の実施
例を示す。なお、図1と同一符号は、同一部分を示す。
図4の誘電体バリア放電ランプは、外形形状が細長い放
電容器3が図1と同じように中空円筒状になっており、
放電容器3の内側管の外表面にコイル状の電極4が接す
るように配置されたものである。図5の誘電体バリア放
電ランプは、外形形状が細長い放電容器3の放電空間内
にコイル状の電極4が配置されており、放電容器3の外
管のみが誘電体として働くランプである。
FIGS. 4 and 5 show another embodiment of the dielectric barrier discharge lamp used in the dielectric barrier discharge lamp of the present invention. In addition, the same code | symbol as FIG. 1 shows the same part.
In the dielectric barrier discharge lamp of FIG. 4, the discharge vessel 3 having an elongated outer shape has a hollow cylindrical shape as in FIG.
The coil-shaped electrode 4 is arranged so as to be in contact with the outer surface of the inner tube of the discharge vessel 3. The dielectric barrier discharge lamp of FIG. 5 is a lamp in which a coil-shaped electrode 4 is disposed in a discharge space of a discharge vessel 3 having an elongated outer shape, and only the outer tube of the discharge vessel 3 functions as a dielectric.

【0014】[0014]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の誘電体バ
リア放電ランプ装置によれば、隣接する誘電体バリア放
電ランプを、各誘電体バリア放電ランプの一端側に設け
られた口金が、それぞれ反対方向に位置するようにケー
シング内に配置したので、隣接する口金に設けられた給
電部分の絶縁距離を十分にとることができるとともに、
隣接する誘電体バリア放電ランプの発光部である放電容
器を近づけることができるので、反射板を使用しなくて
も、被照射面上での照度分布を均一にすることができ、
さらには、隣接する誘電体バリア放電ランプの口金間の
距離を短くすることができるので、ケーシング内に配置
される誘電体バリア放電ランプの本数を増やすことがで
き、被照射面の照度を上げることができる。
As described above, according to the dielectric barrier discharge lamp device of the present invention, the adjacent dielectric barrier discharge lamp is connected to the base provided at one end of each dielectric barrier discharge lamp. Since it is arranged in the casing so as to be located in the opposite direction, the insulation distance of the power supply portion provided in the adjacent base can be sufficiently taken, and
Since the discharge vessel, which is the light emitting portion of the adjacent dielectric barrier discharge lamp, can be brought closer, even without using a reflector, the illuminance distribution on the irradiated surface can be made uniform,
Furthermore, since the distance between the bases of adjacent dielectric barrier discharge lamps can be reduced, the number of dielectric barrier discharge lamps arranged in the casing can be increased, and the illuminance of the irradiated surface can be increased. Can be.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来の誘電体バリア放電ランプ装置の説明図で
ある。
FIG. 1 is an explanatory view of a conventional dielectric barrier discharge lamp device.

【図2】従来および本発明の誘電体バリア放電ランプ装
置に利用される誘電体バリア放電ランプの説明図であ
る。
FIG. 2 is an explanatory view of a dielectric barrier discharge lamp used in the conventional and barrier dielectric discharge lamp devices of the present invention.

【図3】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置の説明図
である。
FIG. 3 is an explanatory view of a dielectric barrier discharge lamp device of the present invention.

【図4】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置に利用さ
れる誘電体バリア放電ランプの説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram of a dielectric barrier discharge lamp used in the dielectric barrier discharge lamp device of the present invention.

【図5】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置に利用さ
れる誘電体バリア放電ランプの説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram of a dielectric barrier discharge lamp used in the dielectric barrier discharge lamp device of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ケーシング 2a、2b 誘電体バリア放電ランプ 3a、3b 放電容器 40 電極 41 電極 5a、5b 口金 50a 給電部分 50b 給電部分 51a 給電部分 51b 給電部分 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Casing 2a, 2b Dielectric barrier discharge lamp 3a, 3b Discharge vessel 40 electrode 41 electrode 5a, 5b Base 50a Power supply part 50b Power supply part 51a Power supply part 51b Power supply part

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ケーシング内に複数の誘電体バリア放電
ランプが配置された誘電体バリア放電ランプ装置におい
て、 前記誘電体バリア放電ランプは、誘電体バリア放電の誘
電体を兼ねる外形形状が細長い放電容器を介して一方の
電極と他方の電極が設けられており、 当該誘電体バリア放電ランプの一端側にのみ、一方の電
極と他方の電極に電気的に接続された給電部分を有する
口金が設けられており、 隣接する誘電体バリア放電ランプは、それぞれの口金が
互いに反対方向に位置するようにケーシング内に配置さ
れていることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ装
置。
1. A dielectric barrier discharge lamp device in which a plurality of dielectric barrier discharge lamps are disposed in a casing, wherein the dielectric barrier discharge lamp has an elongated discharge vessel which also serves as a dielectric for dielectric barrier discharge. One electrode and the other electrode are provided through the base, and only at one end of the dielectric barrier discharge lamp is provided a base having a power supply portion electrically connected to the one electrode and the other electrode. A dielectric barrier discharge lamp device, wherein adjacent dielectric barrier discharge lamps are arranged in a casing such that respective caps are located in opposite directions.
JP28828899A 1999-10-08 1999-10-08 Dielectric barrier discharge lamp unit Pending JP2001110361A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006216454A (en) * 2005-02-04 2006-08-17 Ushio Inc Excimer lamp
US7683343B2 (en) 2005-01-28 2010-03-23 Koninklijke Philips Electronics N.V. Treatment system comprising a dielectric barrier discharge lamp

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