JP2001110041A

JP2001110041A - 磁気記録媒体の製造方法

Info

Publication number: JP2001110041A
Application number: JP28479499A
Authority: JP
Inventors: Jota Ito; 条太伊藤; Yasuyoshi Sato; 泰美佐藤; Hiroshi Yatagai; 洋谷田貝
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1999-10-05
Filing date: 1999-10-05
Publication date: 2001-04-20

Abstract

(57)【要約】【課題】長期に亘り潤滑効果が持続する潤滑剤を用い
るとともに、保護膜と潤滑剤との密着安定性性を高める
ことにより、優れた走行性及び耐久性を実現する。【解決手段】保護膜の表面に、不活性ガス雰囲気中で
紫外線を照射し、その後、上記保護膜表面に、末端にカ
ルボキシル基を有する二官能パーフルオロポリエーテル
とアミンとの化合物及び飽和脂肪酸を含有する潤滑剤が
最外層に保持されてなることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、非磁性支持体上
に、真空薄膜形成技術により強磁性金属薄膜を磁性層と
して形成する磁気記録媒体の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、磁気記録媒体としては、酸化物磁
性粉末や合金磁性粉末等の強磁性粉末と結合剤と、有機
溶剤等よりなる磁性塗料を非磁性支持体上に塗布するこ
とで磁性層が形成される、いわゆる塗布型の磁気記録媒
体が広く使用されている。

【０００３】これに対し、高密度記録、長時間記録への
要求の高まりとともに、Ｃｏ、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−
Ｃｒ合金、Ｃｏ−Ｏ等の強磁性金属磁性材料をめっきや
真空薄膜形成技術（真空蒸着法、スパッタリング法、イ
オンプレーティング法等）によってポリエステルフィル
ムやポリイミドフィルム等の非磁性支持体上に直接被着
させることで磁性層が形成される、いわゆる強磁性金属
薄膜型の磁気記録媒体が使用されてきている。そして、
このような強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体は、民生用
コンスーマービデオフォーマット（８ミリＨｉ−８方
式、ＤＶ方式）或いは業務用ビデオフォーマット（ＤＶ
ＣＡＭ）等において幅広く実用化されている。

【０００４】この強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体は、
塗布型の磁気記録媒体に比べて抗磁力、角形比等の磁気
特性に優れ、短波長領域での電磁変換特性に優れるばか
りでなく、磁性層の厚みを極めて薄くすることが可能で
あるため、記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さい
こと、磁性層中に非磁性材料である結合剤等を混入する
必要がないことから、磁性材料の充填密度を高めること
が可能である等、数々の利点を有している。

【０００５】一般に、磁気記録媒体は、磁気信号の記録
・再生の過程で磁気ヘッドとの高速相対運動のもとにお
かれ、その際走行が円滑に、かつ安定な状態で行われな
ければならない。また、磁気ヘッドとの接触による磨耗
や損傷はなるべく少ないほうがよい。

【０００６】しかしながら、上述の強磁性金属薄膜型の
磁気記録媒体では、磁性層表面の平滑性が極めて良好で
あるために、実質的な磁気ヘッドとの接触面積が大きく
なることから、凝着現象、いわゆるハリツキが起こり易
くなったり、摩擦係数が大きくなり、耐久性や走行性等
に欠点が多く、それらの改善が大きな課題となってい
る。

【０００７】そこで、例えば、上記磁気記録媒体の磁性
層、すなわち強磁性金属薄膜表面に潤滑剤を塗布して、
耐久性や走行性を改善することが試みられている。この
ような用途に使用される潤滑剤としては、例えば、有機
フッ素化合物が有効であることが知られている。

【０００８】特に、特開平０５−９３０５９号公報等に
は、末端にカルボキシル基を有するパーフルオロポリエ
ーテルとアミン或いはジアミンとの化合物を潤滑剤に用
いることにより、如何なる使用条件下でも良好な潤滑効
果を発揮する磁気記録媒体が開示されている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記強磁性
金属薄膜型の磁気記録媒体においては、より優れた耐久
性を確保する為に、強磁性金属薄膜上にカーボン保護膜
を形成する技術が確立されている。そして、前述のコン
スーマービデオフォーマットであるＤＶＣ用テープ、或
いは業務用ビデオフォーマットであるＤＶＣＡＭ用テー
プ、更にはテープストリーマ用途であるＡＩＴ用テープ
等に用いられる強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体として
は、強磁性金属薄膜の上にカーボン保護膜が形成された
磁気記録媒体が実用化されている。このようなカーボン
保護膜の実用化により、耐久性の確保は充分となり、今
後の強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体においては、この
カーボン保護膜の存在が不可欠になると思われる。

【００１０】上記カーボン保護膜はＤＬＣ（diamond li
ke carbon）膜とも呼ばれ、マグネトロンスパッタ法、
イオンビームスパッタ法等のＰＶＤ（Physical Vapor D
eposition）法や、ＣＶＤ（Chemical Vapor Depositio
n）法等によって形成される。

【００１１】ここで、ＣＶＤ法によりカーボン保護膜を
形成する場合、ＰＶＤ法によりカーボン保護膜を形成す
る場合に比較して、高速成膜が可能であること、被覆率
が高いこと、及び省電力、省エネルギーであるといった
利点を有している。すなわち、ＣＶＤ法によりカーボン
保護膜を形成することにより、高速成膜が可能となり生
産性が向上する。また、カーボン保護膜の高い被覆率に
より、磁性薄膜層の耐食性や耐錆性が改善される。さら
に、省電力、省エネルギーにより地球環境に与える影響
を少なくすることができる。

【００１２】しかしながら、ＣＶＤ法によるカーボン保
護膜は、ＰＶＤ法によるカーボン保護膜と比較して、表
面のエネルギーが小さい。そのため、上述したように、
磁気記録媒体の耐久性や走行性を改善するべく、潤滑剤
を使用しようとすると、潤滑剤とカーボン保護膜との吸
着性が弱く、安定且つ良好な潤滑効果が発揮されない。
そのため、カーボン保護膜の存在を考慮した潤滑剤の設
計が必要となる。

【００１３】そこで、本発明は、このような実情に鑑み
て提案されたものであり、長期に亘り潤滑効果が持続す
る潤滑剤を用いるとともに、保護膜と潤滑剤との密着安
定性性を高めることにより、優れた走行性及び耐久性を
実現した磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的
とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気記録媒
体の製造方法は、非磁性支持体上に金属磁性薄膜よりな
る磁性層を形成し、この磁性層上に保護膜を形成する磁
気記録媒体の製造方法において、上記保護膜の表面に、
不活性ガス雰囲気中で紫外線を照射し、その後、上記保
護膜表面に、下記化７で示される末端にカルボキシル基
を有する二官能パーフルオロポリエーテルとアミンとの
化合物及び下記化８で示される飽和脂肪酸を含有する潤
滑剤が最外層に保持されてなることを特徴とする。

【００１５】

【化７】

【００１６】

【化８】

【００１７】上述したような本発明に係る磁気記録媒体
の製造方法では、上記保護膜の表面に紫外線を照射して
いるので、保護膜と潤滑剤との密着性が向上する。さら
に、本発明に係る磁気記録媒体の製造方法では、上記化
７で示される化合物と上記化８で示される化合物とを含
有する潤滑剤が最外層に保持されているので、如何なる
使用条件下においても密着性や潤滑性が好適に保たれ、
長期に至って良好な走行性及び耐久性が確保される。

【００１８】また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法は、非磁性支持体上に金属磁性薄膜よりなる磁性層を
形成し、この磁性層上に保護膜を形成する磁気記録媒体
の製造方法において、上記保護膜の表面に、不活性ガス
雰囲気中で紫外線を照射し、その後、上記保護膜表面
に、下記化９で示される末端にカルボキシル基を有する
パーフルオロポリエーテルとアミンとの化合物及び下記
化１０で示される飽和脂肪酸を含有する潤滑剤が最外層
に保持されてなることを特徴とする。

【００１９】

【化９】

【００２０】

【化１０】

【００２１】上述したような本発明に係る磁気記録媒体
の製造方法では、保護膜の表面に紫外線を照射している
ので、保護膜と潤滑剤との密着性が向上する。さらに、
本発明に係る磁気記録媒体の製造方法では、上記化９で
示される化合物と上記化１０で示される化合物とを含有
する潤滑剤が最外層に保持されているので、如何なる使
用条件下においても密着性や潤滑性が好適に保たれ、長
期に至って良好な走行性及び耐久性が確保される。

【００２２】さらに、本発明に係る磁気記録媒体の製造
方法は、非磁性支持体上に金属磁性薄膜よりなる磁性層
を形成し、この磁性層上に保護膜を形成する磁気記録媒
体の製造方法において、上記保護膜の表面に、不活性ガ
ス雰囲気中で紫外線を照射し、その後、上記保護膜表面
に、下記１１で示される末端にカルボキシル基を有する
パーフルオロポリエーテルとジアミンとの化合物及び下
記化１２で示される飽和脂肪酸を含有する潤滑剤が最外
層に保持されてなることを特徴とする。

【００２３】

【化１１】

【００２４】

【化１２】

【００２５】上述したような本発明に係る磁気記録媒体
の製造方法では、保護膜表面に紫外線を照射しているの
で、保護膜と潤滑剤との密着性が向上する。さらに、本
発明に係る磁気記録媒体の製造方法では、上記化１１で
示される化合物と上記化１２で示される化合物とを含有
する潤滑剤が最外層に保持されているので、如何なる使
用条件下においても密着性や潤滑性が好適に保たれ、長
期に至って良好な走行性及び耐久性が確保される。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る磁気記録媒体
の製造方法の実施の形態について詳細に説明する。

【００２７】〈第１の実施の形態〉図１に、本発明を適
用した磁気記録媒体の一例の断面図を示す。

【００２８】この磁気記録媒体１は、図１に示すよう
に、非磁性支持体２上に磁性層３として強磁性金属薄膜
が形成され、この磁性層３上に最外層として保護膜４が
形成されてなる。

【００２９】非磁性支持体２としては、例えば、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等の
ポリエステル類、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポ
リオレフィン類、セルローストリアセテート、セルロー
スダイアセテート等のセルロース誘導体、ポリ塩化ビニ
ル、ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂、ポリカーボ
ネート、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド等
のプラスチック、アルミニウム合金、チタン合金等の軽
金属、ガラス等のセラミックス等が挙げられる。さら
に、この非磁性支持体２の形態としては、フィルム、シ
ート、ディスク、カード、ドラム等の何れの形態でもよ
い。

【００３０】また、非磁性支持体２は、その表面に山状
突起やしわ状突起、粒状突起等の突起が１種以上形成さ
れ、表面粗さがコントロールされたものでも良い。

【００３１】具体的には、上記山状突起は、例えば、高
分子フィルム製膜時に粒径５０ｎｍ〜３００ｎｍ程度の
無機微粒子を内添させることにより形成され、高分子フ
ィルム表面からの高さが１０ｎｍ〜１００ｎｍ、密度が
約１×１０⁴個／ｍｍ²〜１×１０⁵ 個／ｍｍ²とする。
この山状突起を形成するための無機微粒子としては、例
えば、炭酸カルシウム、シリカ、アルミナ等が好適であ
る。

【００３２】上記しわ状突起は、例えば、特定の混合溶
媒を用いた樹脂の希薄溶液を塗布乾燥させることにより
形成される突起であって、その高さが０．０１μｍ〜１
０μｍ、好ましくは０．０３μｍ〜０．５μｍ、突起間
の最短間隔が０．１μｍ〜２０μｍとする。

【００３３】このしわ状突起を形成するための樹脂とし
ては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチ
レンナフタレート等のポリエステル、ポリアミド、ポリ
スチロール、ポリカーボネート、ポリアクリレート、ポ
リスルホン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポ
リビニルブチラール、ポリフェニレンオキサイド、フェ
ノキシ樹脂等の単体、混合体または共重合体であり、可
溶性溶剤を有するものが適している。そして、これらの
樹脂をその良溶媒に樹脂濃度１ｐｐｍ〜１０００ｐｐｍ
で溶解させた溶液に、その樹脂の貧溶媒であって前記良
溶媒より高い沸点を有する溶媒を樹脂に対して１０倍量
〜１００倍量添加した溶液を、高分子フィルムの表面に
塗布・乾燥させることにより、非常に微細なしわ状突起
を有する薄膜を形成することができる。

【００３４】上記粒状突起は、アクリル樹脂等の有機超
微粒子またはシリカ、金属粉等の無機微粒子を球状ある
いは半球状に付着させることにより形成される。この粒
状突起の高さは、５ｎｍ〜５０ｎｍ、密度は１×１０⁶
個／ｍｍ²〜５×１０⁷個／ｍｍ²程度とする。

【００３５】これらの突起の少なくとも１種以上を形成
することにより、磁性層３である強磁性金属薄膜の表面
性を制御することが可能であるが、２種以上を組み合わ
せることにより効果が増し、特に、山状突起を設けた非
磁性支持体２上にしわ状突起と粒状突起を形成すると、
耐久性や走行性が著しく改善される。この場合、突起全
体としての高さは、１０ｎｍ〜２００ｎｍの範囲内であ
ることが好ましく、その密度は１×１０⁵個／ｍｍ²〜１
×１０⁷個／ｍｍ²であることが好ましい。

【００３６】また、上記磁性層３となる強磁性金属薄膜
としては、例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の金属の他に、
Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合
金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎ
ｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合
金、Ｃｏ−Ｃｒ合金或いはこれらにＣｒ、Ａｌ等の金属
が含有された強磁性金属材料よりなるものが挙げられ
る。特に、Ｃｏ−Ｃｒ合金を使用した場合には、垂直磁
化膜が形成される。

【００３７】そして、上記磁性層３である強磁性金属薄
膜は、真空蒸着法やイオンプレーティング法、スパッタ
リング法等の真空薄膜形成技術により連続膜として形成
される。

【００３８】上記真空蒸着法は、１×１０^-2Ｐａ〜１×
１０^-6Ｐａの真空下で強磁性金属材料を抵抗加熱、高周
波加熱、電子ビーム加熱等により蒸発させ、非磁性支持
体２上に蒸発金属（強磁性金属材料）を沈着させるもの
であり、一般に高い抗磁力を得るために非磁性支持体２
に対して上記強磁性金属材料を斜めに蒸着する斜方蒸着
が用いられる。さらに、より高い抗磁力を得るために酸
素雰囲気中で上記蒸着を行うものも含まれる。

【００３９】上記イオンプレーティング法も真空蒸着法
の１種であり、１×１０^-2Ｐａ〜１×１０^-1Ｐａの不活
性ガス雰囲気中でＤＣグロー放電、ＲＦグロー放電を起
こして、放電中で上記磁性金属材料を蒸発させるという
ものである。

【００４０】上記スパッタリング法は、１×１０^-1Ｐａ
〜１×１０Ｐａのアルゴンガスを主成分とする雰囲気中
でグロー放電を起こし、生じたアルゴンガスイオンでタ
ーゲット表面の原子をたたき出すというものであり、グ
ロー放電の方法により直流２極、３極スパッタ法や、高
周波スパッタ法、またはマグネトロン放電を利用したマ
グネトロンスパッタ法等がある。このスパッタリング法
による場合には、ＣｒやＷ、Ｖ等の下地膜を形成してお
いてもよい。

【００４１】なお、上記いずれの方法においても、非磁
性支持体２上に予めＢｉ，Ｓｂ，Ｐｂ，Ｓｎ，Ｇａ，Ｉ
ｎ，Ｃｄ，Ｇｅ，Ｓｉ，Ｔｌ等の下地金属層を被着形成
しておき、その非磁性支持体２の表面に対して垂直方向
から成膜することにより、磁気異方性の配向がなく、面
内等方性に優れた磁性層３を形成することができ、磁気
記録媒体１を、例えば磁気ディスクとする場合には好適
である。また、このような手法により形成される強磁性
金属薄膜の膜厚は、０．０１μｍ〜１μｍであるのが好
ましい。

【００４２】保護膜４は、カーボンからなり、磁性層３
となる強磁性金属薄膜上に形成される。特に、保護膜４
として、比較的硬度の高いダイヤモンドライクカーボン
よりなるものが好ましく例示される。

【００４３】この保護膜４は、ＣＶＤ法等により形成さ
れる。ＣＶＤ法によって保護膜４を形成する場合には、
例えば、真空容器中に炭化水素ガス、あるいは炭化水素
と不活性ガスとの混合ガスを導入し、１０Ｐａ〜１００
Ｐａ程度の圧力に保持した状態で、真空容器内に放電さ
せて、炭化水素ガスのプラズマを発生させ、強磁性金属
薄膜上に保護膜４を形成する。

【００４４】放電形式としては、外部電極方式、内部電
極方式のいずれでもよく、放電周波数については、実験
的に決めることができる。また、強磁性金属薄膜が形成
された非磁性支持体２側に配された電極に０〜−３ｋＶ
の電圧を印加することにより、保護膜４の硬度の増大及
び密着性を向上させることができる。

【００４５】保護膜４の材料となる上記炭化水素として
は、例えば、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペン
タン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、エチレン、アセ
チレン、プロペン、ブテン、ペンテン、ベンゼンなどを
用いることができる。

【００４６】この保護膜４は、スペーシングロスを少な
くかつ、強磁性金属薄膜の磨耗防止の効果を得られるよ
う、その厚さが３ｎｍ〜１５ｎｍ程度、特に５ｎｍ〜１
０ｎｍ程度であることが好ましい。

【００４７】また、この保護膜４の表面には、不活性ガ
ス雰囲気中で紫外線が照射される。すなわち、本手法で
は、詳細を後述する潤滑剤層を塗布する前に、保護膜４
の表面に不活性ガス雰囲気中で紫外線を照射する。保護
膜４表面は、紫外線が照射されると紫外線の光子エネル
ギにより炭素−炭素結合や炭素−水素結合が切断され、
極性基が形成された状態となる。後述するような潤滑剤
は、極性基に吸着できるため、保護膜４に対して強固に
吸着することができる。

【００４８】特に、保護膜４をＣＶＤ法により形成した
場合には、物理的気相成長法（ＰＶＤ法）によりカーボ
ン膜を形成した場合と比較して水素含有量が多いため、
炭素−水素結合が切断されてなる極性基がより多く存在
する。このため、保護膜４をＣＶＤ法により形成した場
合には、潤滑剤との吸着力を向上させうる極性基がより
多く存在することになり、潤滑剤と保護膜４との吸着力
がより向上することになる。

【００４９】また、この手法では、保護膜４に対する紫
外線の照射を不活性ガス雰囲気中で行っている。仮に、
保護膜４に対する紫外線の照射を大気中で行うと、紫外
線によって発生するオゾン分子と、紫外線により生じた
極性基とが結合してしまい、いわゆる、ウィークバウン
ダリーレアー化してしまう結果、保護膜４と潤滑剤との
吸着力が低下してしまう。言い換えると、保護膜４に対
する紫外線の照射を不活性ガス雰囲気中で行うことによ
って、保護膜４表面に極性基を確実に形成することがで
き、保護膜４と潤滑剤との吸着力を確実に向上させるこ
とができる。なお、不活性ガスとしては、窒素、アルゴ
ン及び二酸化炭素を例示することができる。

【００５０】具体的に、紫外線としては、例えば、低圧
水銀ランプを使用して波長が１８５ｎｍ或いは２５４ｎ
ｍの紫外線を使用することが好ましい。波長が１８５ｎ
ｍの紫外線では、光子エネルギが１５５Ｋｃａｌ／ｍｏ
ｌとなり、波長が２５４ｎｍの紫外線では、光子エネル
ギが１１３Ｋｃａｌ／ｍｏｌとなる。このような低圧水
銀ランプを使用することによって、保護膜４に対して紫
外線を効率よく照射することができる。

【００５１】また、保護膜４表面に紫外線を照射する際
には、例えば、図２に示すような紫外線照射装置が使用
される。紫外線照射装置は、長尺状の磁気記録媒体を巻
回してなる供給ロール５及び巻取りロール６と、供給ロ
ール５及び巻取りロール６との間に配設された紫外線処
理部７とを備え、磁気記録媒体を供給ロール５から巻取
りロール６に向かって走行させるとともに紫外線処理部
７に順次搬入する。紫外線処理部７は、内部を密閉でき
る筐体８内に配設された複数のガイドロール９と、複数
のガイドロール９に架け合わされた磁気記録媒体の保護
膜４に対向するように配設された複数の光源ランプ１０
とを備える。また、紫外線処理部７は、筐体８にガス供
給口８ａ及びガス排出口８ｂが形成されてなり、ガス供
給口８ａから不活性ガスを導入することによって、筐体
８内を不活性ガス雰囲気とすることができる。

【００５２】このように構成された紫外線照射装置で
は、筐体８内を不活性ガス雰囲気とした状態で、順次走
行する磁気記録媒体の保護膜４に対して光源ランプ１０
から紫外線を照射する。したがって、この紫外線照射装
置によれば、供給ロール５から巻取りロール６に向かっ
て磁気記録媒体を走行させることによって、保護膜４に
対して不活性ガス雰囲気中で紫外線を照射することがで
きる。

【００５３】そして、特に、磁気記録媒体１において
は、最外層となる保護膜４上に下記化１３で示される末
端にカルボキシル基を有する二官能パーフルオロポリエ
ーテルとアミンとの化合物及び下記化１４で示される飽
和脂肪酸を含有する潤滑剤を塗布している。

【００５４】

【化１３】

【００５５】

【化１４】

【００５６】このような化１３に示される化合物及び化
１４に示される化合物を有する潤滑剤は、如何なる使用
条件下においても密着性や潤滑性が好適に保たれ、且つ
長期に至り潤滑効果を持続する特性を有するものであ
る。

【００５７】上記化１３に示す末端にカルボキシル基を
有する二官能パーフルオロポリエーテルとアミンとの化
合物は、例えば、末端にカルボキシル基を有する二官能
パーフルオロポリエーテルとアミンとを混合し、用いた
アミンの融点以上の温度で加熱することによって合成す
ることができる。例えば、アミンとしてステアリルアミ
ンを用いた場合には、６０℃で加熱混合すれば良い。

【００５８】また、上記パーフルオロポリエーテルとア
ミンとを有機溶媒に溶解した後、溶媒を除去することに
よっても得ることができる。さらに、アミンが第４級ア
ンモニウム化合物の場合には、パーフルオロポリエーテ
ルの金属塩（ナトリウム塩等）と第４級アンモニウム塩
（塩化物、ヨウ化物、硫酸塩等）とを混合し、有機溶媒
で抽出することにより得ることもできる。

【００５９】ここで、上記末端にカルボキシル基を有す
る二官能パーフルオロポリエーテルとしては、市販のも
のが何れも使用可能である。例えば、ＨＯＯＣ−ＣＦ₂
（ＯＣ₂Ｆ₄）_p（ＯＣＦ₂）_qＯＣＦ₂−ＣＯＯＨ（但し、
化学式中のｐ，ｑはいずれも１以上の整数を表す。）等
が挙げられる。なお、上記末端にカルボキシル基を有す
る二官能パーフルオロポリエーテルは、勿論、これに限
定されるわけではない。

【００６０】この末端にカルボキシル基を有する二官能
パーフルオロポリエーテルの分子量は、特に制約される
ものではないが、実用的には６００〜５０００程度が好
ましく、１０００〜４０００のものがより好ましい。分
子量が大きすぎると、末端基の吸着基としての効果が薄
れると同時に、パーフルオロポリエーテル鎖が大きくな
る分、既存の炭化水素系溶媒に溶解しにくくなる。逆
に、分子量が小さすぎると、パーフルオロポリエーテル
鎖による潤滑効果が失われてしまう。

【００６１】なお、この末端にカルボキシル基を有する
二官能パーフルオロポリエーテルは、パーフルオロポリ
エーテル鎖が部分水素化されてもよい。すなわち、パー
フルオロポリエーテル鎖のフッ素原子の一部（５０％以
下）を水素原子で置換してもよい。この場合には、パー
フルオロポリエーテルとして部分水素化したパーフルオ
ロポリエーテルを使用すればよい。

【００６２】一方、アミンとしては、第１アミン、第２
アミン、第３アミンの何れも使用可能であり、第４級ア
ンモニウム化合物も使用可能である。使用するアミンの
構造等も任意であり、分岐構造、異性体構造、脂環構
造、分子量、不飽和結合の有無等によらず任意に選択す
ることができる。但し、上記アミンはアルキル基を有す
ることが好ましく、特に炭素数１０以上のアルキル基を
有する場合に効果が大きい。

【００６３】このような末端にカルボキシル基を有する
二官能パーフルオロアルキルエーテルとアミンとを反応
させて、上記化１３に示される化合物が合成される。

【００６４】また、上述したように、本実施の形態で用
いられる上記潤滑剤には、上記化１３に示す化合物の他
に、上記化１４に示される飽和脂肪酸が含有される。

【００６５】上記化１４に示す飽和脂肪酸としては、Ｒ
^Iで示されるアルキル基の炭素数が１１〜１９であるこ
とが好ましい。具体的に、Ｒ^Iの炭素数が１１〜１９で
あるような飽和脂肪酸としては、ラウリン酸、トリデシ
ル酸、ミリスチン酸、ペンタデシル酸、パルミチン酸、
ヘプタデシル酸、ステアリン酸、ノナデカン酸及びアラ
キン酸等を例示することができる。

【００６６】Ｒ^Iの炭素数が１１〜１９であるような飽
和脂肪酸を使用することによって、飽和脂肪酸は、優れ
た潤滑効果及び有機溶媒等に対する優れた溶解性を示す
こととなる。これに対して、Ｒ^Iの炭素数が１１未満、
すなわち、１０以下である場合には、所望の潤滑効果を
得にくい虞がある。また、Ｒ^Iの炭素数が１９より大、
すなわち２０以上である場合には、有機溶媒等に対する
溶解性が低下する虞がある。

【００６７】ここで重要なことは、上記飽和脂肪酸が選
ばれることである。言い換えると、この磁気記録媒体に
おいては、潤滑剤として、側鎖に二重結合等を含まない
飽和脂肪酸を使用することが重要である。飽和脂肪酸
は、側鎖に二重結合等を含まないために長期間の保存に
よっても酸化され難く、潤滑効果を長期間に亘って維持
することができる。したがって、この磁気記録媒体で
は、潤滑剤を塗布した直後の潤滑効果を長期間に亘って
維持することができるため、優れた走行性及び耐久性を
長期間に亘って維持することができる。

【００６８】本発明の磁気記録媒体１に使用される潤滑
剤においては、上記化１３に示す末端にカルボキシル基
を有する二官能パーフルオロポリエーテルとアミンとの
化合物と、上記化１４に示す飽和脂肪酸との混合比が、
重量比で１０：９０〜９０：１０であるのが好ましい。
上記範囲外となると、本発明による効果を得ることが難
しい。

【００６９】なお、本実施の形態に係る磁気記録媒体に
おいて潤滑剤を最外層に保持させる方法としては、保護
膜の表面に潤滑剤をトップコートする方法が挙げられ
る。ここで、塗布量は、０．０５〜１００ｍｇ／ｍ²で
あるのが好ましく、０．１〜５０ｍｇ／ｍ²であるのが
より好ましい。塗布量があまり少なすぎると、摩擦係数
の低下、耐磨耗性及び耐久性の向上という効果が表れ
ず、塗布量があまり多すぎると、摺動部材と強磁性金属
薄膜との間でハリツキ現象が起こり、却って走行性が悪
くなる。

【００７０】以上のように、本実施の形態に係る磁気記
録媒体１は、上述したような、密着性や潤滑性の点で非
常に優れた特性の潤滑剤の組み合わせを特定して用いて
いるので、良好な走行性及び耐久性が確保されたものと
なる。

【００７１】また、この磁気記録媒体１においては、最
外層として、カーボンよりなる保護膜４が形成されてい
るとともに、その表面に紫外線を照射しているので、用
いられる潤滑剤と、保護膜４との密着性が向上し、更に
良好な耐久性を実現することができる。

【００７２】また、この磁気記録媒体１においては、磁
性層３を強磁性金属薄膜としていることから、高密度記
録、長時間記録にも十分対応可能である。

【００７３】さらに、本発明の磁気記録媒体１において
は、非磁性支持体２上の上記磁性層３が形成される面と
は反対側の面に、いわゆるバックコート層を形成しても
良い。このバックコート層は、結合剤樹脂と粉末成分と
を有機溶媒に混合分散させたバックコート用塗料を非磁
性支持体２に塗布することにより形成される。

【００７４】ここで、バックコート用塗料に使用される
結合剤樹脂としては、例えば、塩化ビニル−酢酸ビニル
系共重合体、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、塩
化ビニル−アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エス
テル−アクリロニトリル共重合体、熱可塑性ポリウレタ
ンエラストマー、塩化ビニリデン−アクリロニトリル共
重合体、ブタジエン−アクリロニトリル共重合体、ポリ
アミド樹脂、ポリビニルブチラール、セルロース誘導
体、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹
脂、ポリウレタン硬化型樹脂、メラミン樹脂、アルキッ
ド樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ−ポリアミド樹脂、
ニトロセルロース−メラミン樹脂、高分子量ポリエステ
ル樹脂とイソシアネートプレポリマーの混合物、メタク
リル酸塩共重合体とジイソシアネートプレポリマーの混
合物、ポリエステルポリオールとポリイソシアネートと
の混合物、尿素ホルムアルデヒド樹脂、低分子量グリコ
ール／高分子量ジオール／トリフェニルメタントリイソ
シアネートとの混合物、ポリアミン樹脂及びこれらの混
合物等が挙げられる。

【００７５】あるいは、粉末成分の分散性の改善を図る
ために、親水性極性基を有する結合剤樹脂を使用しても
よい。

【００７６】一方、上記粉末成分としては、導電性を付
与するためのカーボン系微粉末や表面粗度のコントロー
ル及び耐久性向上のために添加される無機顔料が挙げら
れる。上記カーボン系微粒子としては、例えば、ファー
ネスカーボン、チャネルカーボン、アセチレンカーボ
ン、サーマルカーボン、ランプカーボン等が例示され、
上記無機顔料としては、α−ＦｅＯＯＨ、α−Ｆｅ
₂Ｏ₃、Ｃｒ₂Ｏ₃、ＴｉＯ₂、ＺｎＯ、ＳｉＯ、ＳｉＯ₂、
ＳｉＯ₂・２Ｈ₂Ｏ、Ａｌ₂Ｏ₃、ＣａＣＯ₃、ＭｇＣＯ₃、
Ｓｂ₂Ｏ₃等が挙げられる。

【００７７】さらに、上記バックコート用塗料の有機溶
剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、
メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン
系溶剤、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エ
チル、酢酸グリコールモノエチルエーテル等のエステル
系溶剤、グリコールジメチルエーテル、グリコールモノ
エチルエーテル、ジオキサン等のグリコールエーテル系
溶剤、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水
素系溶剤、ヘキサン、ヘプタン等の脂肪族炭化水素溶
媒、メチレンクロライド、エチレンクロライド、四塩化
炭素、クロロホルム、エチレンクロロヒドリン、ジクロ
ルベンゼン等の塩素化炭化水素系溶媒等、汎用の溶剤を
用いることができる。

【００７８】さらに、上記のバックコート層には潤滑剤
を併用してもよい。この場合、上記バックコート層中に
潤滑剤を内添する方法、あるいはバックコート層上に潤
滑剤を被着する方法がある。いずれにしても、上記潤滑
剤としては、脂肪酸、脂肪酸エステル、脂肪酸アミド、
金属石鹸、脂肪族アルコール、シリコーン系潤滑剤等、
従来周知の潤滑剤が使用できる。

【００７９】以上のような本実施の形態に係る磁気記録
媒体１は、つぎのようにして作製される。

【００８０】先ず、非磁性支持体２上に、例えば真空蒸
着法により磁性層３となる強磁性金属薄膜を形成する。
その後、この磁性層３上に、例えばプラズマＣＶＤ法に
より保護膜４を形成する。さらに、この保護膜４の表面
に対して紫外線を照射する。そして、この保護膜４上
に、上述の潤滑剤を塗布して保護膜に潤滑剤を保持させ
て、磁気記録媒体１が得られる。なお、必要に応じてバ
ックコート層等を形成しても勿論構わない。

【００８１】詳しくは、上記磁性層を形成する真空蒸着
装置としては、図３に示すような連続巻き取り式の真空
蒸着装置が挙げられる。

【００８２】この真空蒸着装置は、いわゆる斜方蒸着用
として構成され、内部が例えば１×１０^-3Ｐａ程度の真
空にされた真空室１１内に、例えば−２０℃程度に冷却
され、図中矢印Ａで示すように反時計回り方向に回転す
る冷却キャン１２と、これに対向するように強磁性金属
薄膜用の蒸着源１３が配置されてなるものである。

【００８３】また、この真空蒸着装置においては、真空
室１１内に、図中の反時計回り方向に回転する供給ロー
ル１４と図中の反時計回り方向に回転する巻き取りロー
ル１５も配設されており、非磁性支持体１６は供給ロー
ル１４から図中矢印Ｂで示す方向に繰り出され、冷却キ
ャン１２の周面に沿って走行した後、巻き取りロール１
５に巻き取られる。

【００８４】なお、供給ロール１４と冷却キャン１２と
の間、及び冷却キャン１２と巻き取りロール１５との間
にはそれぞれガイドローラー１７、１８が配置され、供
給ロール１４から冷却キャン１２、及びこの冷却キャン
１２から巻き取りロール１５に従って走行する非磁性支
持体１６に所定のテンションをかけ、非磁性支持体１６
が円滑に走行するようになされている。

【００８５】上記蒸着源１３は坩堝等の容器にＣｏ等の
強磁性金属材料が収容されたものであり、この真空蒸着
装置においては、この蒸着源１３の強磁性金属材料を加
熱、蒸発させるための電子ビーム発生源１９も配設され
ている。すなわち、上記電子ビーム発生源１９から電子
ビーム２０を蒸着源１３の強磁性金属材料に加速照射し
てこれを図中矢印Ｃで示すように加熱、蒸発させる。す
ると、強磁性金属材料は蒸着源１３と対向する冷却キャ
ン１２の周面に沿って走行する非磁性支持体１６上に被
着し、非磁性支持体１６上に強磁性金属薄膜が形成され
ることとなる。

【００８６】なお、上記真空蒸着装置においては、蒸着
源１３と冷却キャン１２との間に防着板２１を設け、こ
の防着板２１にシャッタ２２を位置調整可能に設けて、
非磁性支持体１６に対して所定の角度で入射する蒸着粒
子のみを通過させる。こうして斜め蒸着法によって強磁
性金属薄膜が形成されるようになされている。

【００８７】さらに、このような強磁性金属薄膜の蒸着
に際し、図示しない酸素ガス導入口を介して非磁性支持
体１６の表面近傍に酸素ガスを供給し、これによって強
磁性金属薄膜の磁性特性、耐久性及び耐候性の向上が図
られるようにすることが好ましい。また、蒸着源を加熱
するためには、上述のような電子ビームによる加熱手段
の他、例えば抵抗加熱手段、高周波加熱手段、レーザ加
熱手段等の公知の手段を使用できる。

【００８８】ここでは、斜め蒸着法によりＣｏからなる
強磁性金属薄膜を形成する例について説明したが、強磁
性金属薄膜を形成する方法としては、この方法の他に、
垂直蒸着法やスパッタリング法等の従来公知の薄膜形成
法が適用可能であり、また、この強磁性金属薄膜の材料
としては、Ｃｏの他にＮｉ、Ｆｅ等やこれらの合金が使
用可能である。また、このときの強磁性金属薄膜の厚さ
は、０．０１μｍ〜１μｍ程度が良い。

【００８９】つぎに、保護膜４の形成方法について説明
する。保護膜４は、ＣＶＤ法等により形成される。

【００９０】ＣＶＤ法によって保護膜４を形成する場合
には、まず、真空容器中に炭化水素ガス、あるいは炭化
水素と不活性ガスとの混合ガスを導入し、１０Ｐａ〜１
００Ｐａ程度の圧力に保持した状態で、真空容器内に放
電させて、炭化水素ガスのプラズマを発生させ、強磁性
金属薄膜上に保護膜４を形成する。放電形式としては、
外部電極方式、内部電極方式のいずれでもよく、放電周
波数については、実験的に決めることができる。また、
強磁性金属薄膜が形成された非磁性支持体２側に配され
た電極に０〜−３ｋＶの電圧を印加することにより、保
護膜４の硬度の増大及び密着性を向上させることができ
る。

【００９１】保護膜４の材料となる上記炭化水素として
は、例えば、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペン
タン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、エチレン、アセ
チレン、プロペン、ブテン、ペンテン、ベンゼンなどを
用いることができる。

【００９２】この保護膜４は、スペーシングロスを少な
く、かつ、強磁性金属薄膜の磨耗防止の効果を得られる
よう、その厚さを３ｎｍ〜１５ｎｍ程度、特に５ｎｍ〜
１０ｎｍ程度とすることが好ましい。

【００９３】ここでは、ＣＶＤ法により保護膜を形成す
る例について説明したが、保護膜４を形成する方法とし
ては、この方法の他に、マグネトロンスパッタ法、イオ
ンビームスパッタ法、イオンビームプレーティング法等
の従来公知の薄膜形成方法を用いることができる。

【００９４】〈第２の実施の形態〉つぎに、本発明の第
２の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る
磁気記録媒体は、図１に示された第１の実施の形態の磁
気記録媒体１と同様に、非磁性支持体上に磁性層として
強磁性金属薄膜、最外層として保護膜が順次形成されて
なる。そして、本実施の形態に係る磁気記録媒体は、特
に、最外層となる保護膜に、下記化１５で示される末端
にカルボキシル基を有するパーフルオロポリエーテルと
アミンとの化合物と、下記化１６にて示される飽和脂肪
酸を含有する潤滑剤が保持されている。

【００９５】

【化１５】

【００９６】

【化１６】

【００９７】このような化１５に示される化合物及び化
１６に示される化合物を有する潤滑剤は、如何なる使用
条件下においても密着性や潤滑性が好適に保たれ、且つ
長期に至り潤滑効果を持続する特性を有するものであ
る。

【００９８】なお、上記化１５及び化１６に示される潤
滑剤が用いられた磁気記録媒体は、図１に示した磁気記
録媒体１と略同様の構成を有するものであり、最外層に
保持される潤滑剤のみが異なる例であり、その他の磁性
層や保護膜等は同じ構成である。そこで、以下の説明で
は、潤滑剤についてのみ説明する。

【００９９】上記化１５に示す末端にカルボキシル基を
有するパーフルオロポリエーテルとアミンとの化合物
は、例えば、末端にカルボキシル基を有する単官能パー
フルオロポリエーテルとアミンとを混合し、用いたアミ
ンの融点以上の温度で加熱することによって合成するこ
とができる。例えば、アミンとしてステアリルアミンを
用いた場合には、６０℃で加熱混合すれば良い。

【０１００】また、上記単官能パーフルオロポリエーテ
ルとアミンとを有機溶媒に溶解した後、溶媒を除去する
ことによっても得ることができる。さらに、アミンが第
４級アンモニウム化合物の場合には、パーフルオロポリ
エーテルの金属塩（ナトリウム塩等）と第４級アンモニ
ウム塩（塩化物、ヨウ化物、硫酸塩等）とを混合し、有
機溶媒で抽出することにより得ることもできる。

【０１０１】ここで、上記末端にカルボキシル基を有す
る単官能パーフルオロポリエーテルとしては、市販のも
のは何れも使用可能である。例えば、Ｆ（ＣＦ₂ＣＦ₂Ｃ
Ｆ₂Ｏ）_mＣＦ₂ＣＦ₂ＣＯＯＨ（但し、化学式中ｍは１以
上の整数を表す。）や、ＣＦ₃［ＯＣＦ（ＣＦ₃）Ｃ
Ｆ₂］_j（ＯＣＦ₂）_kＣＯＯＨ（但し、化学式中ｊ，ｋは
１以上の整数を表す）等が挙げられる。なお、上記末端
にカルボキシル基を有するパーフルオロポリエーテルと
しては勿論上記のものに限られない。

【０１０２】また、上記末端にカルボキシル基を有する
単官能パーフルオロポリエーテルの分子量は、特に制約
されるものではないが、実用的には６００〜５０００程
度が好ましく、１０００〜４０００のものがより好まし
い。分子量が大きすぎると、末端基の吸着基としての効
果が薄れるとともに、パーフルオロポリエーテル鎖が大
きくなる分、既存の炭化水素系溶媒に溶解しにくくな
る。一方、分子量が小さすぎると、パーフルオロポリエ
ーテル鎖による潤滑効果が失われてしまう。

【０１０３】なお、上記末端にカルボキシル基を有する
単官能パーフルオロポリエーテルは、パーフルオロポリ
エーテル鎖が部分水素化されてもよい。すなわち、パー
フルオロポリエーテル鎖のフッ素原子の一部（５０％以
下）を水素原子で置換しても良い。この場合には、パー
フルオロポリエーテルとして部分水素化したパーフルオ
ロポリエーテルを使用すればよい。

【０１０４】一方、アミンとしては、第１アミン、第２
アミン、第３アミンが何れも使用可能であり、第４級ア
ンモニウム化合物も使用可能である。使用するアミンの
構造等も任意であり、分岐構造、異性体構造、脂環構
造、分子量、不飽和結合の有無によらず任意に選択する
ことができる。但し、上記アミンは、アルキル基を有す
ることが好ましく、特に炭素数１０以上のアルキル基を
有する場合に効果が大きい。

【０１０５】このような末端にカルボキシル基を有する
パーフルオロアルキルエーテルとアミンとを反応させ
て、上記化１５に示される化合物が合成される。

【０１０６】また、上述したように、本実施の形態で用
いられる上記潤滑剤には、上記化１５に示す化合物の他
に、上記化１６に示される飽和脂肪酸が含有される。こ
の化１６に示される飽和脂肪酸は、第１の実施の形態に
おいて上述した飽和脂肪酸と同様なものを使用すること
ができる。

【０１０７】そして、本実施の形態に係る磁気記録媒体
に使用される潤滑剤においては、末端にカルボキシル基
を有するパーフルオロポリエーテルとアミンとの化合物
と、飽和脂肪酸との混合比が、重量比で１０：９０〜９
０：１０であるのが好ましい。上記範囲を超えると本発
明による効果を得ることが難しい。

【０１０８】潤滑剤を最外層に保持させる方法について
も、上述した磁気記録媒体１における潤滑剤の場合と同
様であり、保護膜の表面に潤滑剤をトップコートする方
法が挙げられる。ここで、その塗布量は、０．０５〜１
００ｍｇ／ｍ²とするのが好ましく、０．１〜５０ｍｇ
／ｍ²とするのがより好ましい。塗布量があまり少なす
ぎると、摩擦係数の低下、耐磨耗性・耐久性の向上とい
う効果が表れず、また、塗布量があまり多すぎると、摺
動部材と強磁性金属薄膜との間でハリツキ現象が起こ
り、却って走行性が悪くなる。

【０１０９】以上のように、本実施の形態に係る磁気記
録媒体は、上述したような、密着性や潤滑性の点で非常
に優れた特性の潤滑剤の組み合わせを特定して用いてい
るので、良好な走行性及び耐久性が確保されたものとな
る。

【０１１０】また、この磁気記録媒体においては、最外
層として形成され、カーボンよりなる保護膜４表面に紫
外線を照射しているので、用いられる潤滑剤と、保護膜
との密着性が向上し、更に良好な耐久性を実現すること
ができる。

【０１１１】また、この磁気記録媒体においては、磁性
層を強磁性金属薄膜としていることから、高密度記録、
長時間記録にも十分対応可能である。

【０１１２】〈第３の実施の形態〉つぎに、本発明の第
３の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る
磁気記録媒体は、図１に示された第１の実施の形態の磁
気記録媒体１と同様に、非磁性支持体上に磁性層として
強磁性金属薄膜、最外層として保護膜が順次形成されて
なる。そして、本実施の形態に係る磁気記録媒体は、特
に、最外層となる保護膜に、下記化１７で示される末端
にカルボキシル基を有するパーフルオロポリエーテルと
ジアミンとの化合物と、下記化１８にて示される飽和脂
肪酸を含有する潤滑剤が保持されているものでも好まし
い。

【０１１３】

【化１７】

【０１１４】

【化１８】

【０１１５】このような化１７に示される化合物及び化
１８に示される化合物を有する潤滑剤は、如何なる使用
条件下においても密着性や潤滑性が好適に保たれ、且つ
長期に至り潤滑効果を持続する特性を有するものであ
る。

【０１１６】なお、上記化１７及び化１８に示される潤
滑剤が用いられた磁気記録媒体は、図１に示した磁気記
録媒体１と略同様の構成を有するものであり、最外層に
保持される潤滑剤のみが異なる例であり、その他の磁性
層や保護膜等は同じ構成である。そこで、以下の説明で
は、潤滑剤についてのみ説明する。

【０１１７】上記化１７に示す末端にカルボキシル基を
有するパーフルオロポリエーテルとジアミンとの化合物
は、例えば、末端にカルボキシル基を有する単官能パー
フルオロポリエーテルとジアミンとを混合し、用いたア
ミンの融点以上の温度で加熱することによって合成する
ことができる。

【０１１８】ここで、上記末端にカルボキシル基を有す
るパーフルオロポリエーテルとしては、市販のものは何
れも使用可能である。例えば、Ｆ（ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ
₂Ｏ）_mＣＦ₂ＣＦ₂ＣＯＯＨ（但し、化学式中ｍは１以上
の整数を表す。）や、ＣＦ₃［ＯＣＦ（ＣＦ₃）ＣＦ₂］_j
（ＯＣＦ₂）_kＣＯＯＨ（但し、上記化学式中のｊ，ｋは
何れも１以上の整数を表す）等が挙げられる。なお、上
記末端にカルボキシル基を有する単官能パーフルオロポ
リエーテルとしては勿論上記のものに限られない。

【０１１９】また、上記末端にカルボキシル基を有する
パーフルオロポリエーテルの分子量は、特に制約される
ものではないが、実用的には６００〜５０００程度が好
ましく、１０００〜４０００のものがより好ましい。分
子量が大きすぎると、末端基の吸着基としての効果が薄
れるとともに、パーフルオロポリエーテル鎖が大きくな
る分、既存の炭化水素系溶媒に溶解しにくくなる。一
方、分子量が小さすぎると、パーフルオロポリエーテル
鎖による潤滑効果が失われてしまう。

【０１２０】なお、上記末端にカルボキシル基を有する
パーフルオロポリエーテルは、パーフルオロポリエーテ
ル鎖が部分水素化されてもよい。すなわち、パーフルオ
ロポリエーテル鎖のフッ素原子の一部（５０％以下）を
水素原子で置換しても良い。この場合には、パーフルオ
ロポリエーテルとして部分水素化したパーフルオロポリ
エーテルを使用すればよい。

【０１２１】一方、ジアミンとしては、構造等も任意で
あり、分岐構造、異性体構造、脂環構造、分子量、不飽
和結合の有無によらず任意に選択することができる。

【０１２２】このような末端にカルボキシル基を有する
パーフルオロアルキルエーテルとジアミンとを反応させ
て、上記化１７に示される化合物が合成される。

【０１２３】また、上述したように、本実施の形態で用
いられる上記潤滑剤には、上記化１７に示す化合物の他
に、上記化１８に示される飽和脂肪酸が含有される。こ
の化１８に示される飽和脂肪酸は、第１の実施の形態に
おいて上述した飽和脂肪酸と同様なものを使用すること
ができる。

【０１２４】そして、本実施の形態に係る磁気記録媒体
に使用される潤滑剤は、末端にカルボキシル基を有する
パーフルオロポリエーテルとジアミンとの化合物と、飽
和脂肪酸との混合比が、重量比で１０：９０〜９０：１
０であるのが好ましい。上記範囲を超えると本発明によ
る効果を得ることが難しい。

【０１２５】潤滑剤を最外層に保持させる方法として
も、上述した磁気記録媒体１における潤滑剤の場合と同
様であり、保護膜の表面に潤滑剤をトップコートする方
法が挙げられる。ここで、その塗布量は、０．０５〜１
００ｍｇ／ｍ²であるのが好ましく、０．１〜５０ｍｇ
／ｍ²であるのがより好ましい。塗布量があまり少なす
ぎると、摩擦係数の低下、耐磨耗性・耐久性の向上とい
う効果が表れず、また、塗布量があまり多すぎると、摺
動部材と強磁性金属薄膜との間でハリツキ現象が起こ
り、却って走行性が悪くなる。

【０１２６】以上のように、本実施の形態に係る磁気記
録媒体は、上述したような、密着性や潤滑性の点で非常
に優れた特性の潤滑剤の組み合わせを特定して用いてい
るので、良好な走行性及び耐久性が確保されたものとな
る。

【０１２７】また、この磁気記録媒体においては、最外
層として形成され、カーボンよりなる保護膜の表面に紫
外線を照射しているので、用いられる潤滑剤と、保護膜
との密着性が向上し、更に良好な耐久性を実現すること
ができる。

【０１２８】また、この磁気記録媒体においては、磁性
層を強磁性金属薄膜としていることから、高密度記録、
長時間記録にも十分対応可能である。

【０１２９】

【実施例】以下、本発明の実施例について具体的な実験
結果に基づいて説明する。本実施例では、実際に磁気記
録媒体を製造し、その特性の評価を行った。

【０１３０】実験例１本実施例では、末端にカルボキシル基を有する二官能パ
ーフルオロポリエーテルとアミンとの化合物と、飽和脂
肪酸を含有する潤滑剤を使用した場合の効果を以下のよ
うにして確認した。

【０１３１】（サンプルの作製）１．末端にカルボキシル基を有する二官能パーフルオロ
ポリエーテルとアミンとの化合物の合成先ず、末端にカルボキシル基を有する二官能パーフルオ
ロポリエーテルとして、分子量４０００のＨＯＯＣＣＦ
₂（ＯＣ₂ Ｆ₄ ）_p（ＯＣＦ₂）_qＯＣＦ₂ＣＯＯＨ（但
し、化学式中ｐ，ｑは何れも１以上の整数である。）２
０ｇを丸底フラスコに取り、オクタデシルアミン３．６
ｇを加えた。次いで、これを５０℃に加熱して溶解し十
分に攪拌して均一化した後、冷却してパーフルオロポリ
エーテルアミン塩を得た。ここで、得られたパーフルオ
ロポリエーテルアミン塩を化合物１とする。

【０１３２】次に、上記化合物１と同様な合成方法によ
って、表１に示すような末端にカルボキシル基を有する
二官能パーフルオロポリエーテルとアミンとの化合物で
ある４種類の化合物２〜化合物５を合成した。

【０１３３】

【表１】

【０１３４】２．サンプルテープの作製次に、磁気テープを以下のようにして作製した。先ず、
非磁性支持体である７．０μｍ厚のポリエチレンテレフ
タレートフィルムに、上述の真空蒸着装置を使用して斜
め蒸着法によりＣｏを被着させ、磁性層となる強磁性金
属薄膜を１８０ｎｍの厚さに形成した。

【０１３５】次に、上記強磁性金属薄膜上に、エチレン
とアルゴンの混合ガスの高周波プラズマにより、電極
と、磁気記録媒体原反自身を対向電極として、原反に−
１．５ｋＶの直流電圧を印加し、放電を行い、上記強磁
性金属薄膜上に約８ｎｍの厚さのカーボン保護膜を形成
した。

【０１３６】次に、ポリエチレンテレフタレートフィル
ムの強磁性金属薄膜が形成された面とは反対側の面に、
カーボン及びポリウレタン樹脂よりなる膜厚０．５μｍ
のバックコート層を形成した。

【０１３７】次に、図２に示したような紫外線照射装置
を用いて、下記表２に示すような条件でカーボン保護膜
に紫外線を照射した。なお、紫外線の波長は１８５ｎｍ
であり、紫外線の照射時間は磁気記録媒体のラインスピ
ードで制御した。

【０１３８】次に、下記表２に示される化合物をそれぞ
れヘキサン溶媒に溶解したものを、上記カーボン保護膜
上に塗布量が５ｍｇ／ｍ²となるように塗布して、１５
種類の磁気記録媒体を得た。

【０１３９】そして、これら１５種類の磁気記録媒体を
それぞれ６．３５ｍｍ幅に裁断して、実施例１〜実施例
８及び比較例１〜比較例７の１５種類のサンプルテープ
とした。

【０１４０】ただし、比較例３〜比較例７のサンプルテ
ープについては、保護膜の表面に紫外線を照射しなかっ
た

【０１４１】

【表２】

【０１４２】３．特性の評価次に、上記実施例１〜実施例８と比較例１〜比較例７の
１５種類のサンプルテープの特性を評価した。ここで
は、耐久性と走行性を評価することとし、具体的には摩
擦係数、スチル耐久性及びシャトル耐久性を評価した。
これらを評価する際の環境条件としては、本発明者等が
検討した上で、最も厳しい条件と思われる条件を採用し
た。

【０１４３】（１）摩擦係数の測定方法摩擦係数の測定は、恒温槽中の環境条件を温度４０℃、
湿度８０％ＲＨに制御して、この恒温槽中で各サンプル
テープを１００パス走行させて測定した。なお、摩擦走
行１００パス目の数値を摩擦係数とした。

【０１４４】（２）スチル耐久性の測定方法スチル耐久性の評価は、−５℃の恒温槽中で行い、市販
のデジタルビデオカムコーダー（ソニー社製、機種名：
ＤＣＲ−ＶＸ１０００）を用いて、各サンプルテープの
再生出力が３ｄＢ落ちるまでの時間を測定して行った。

【０１４５】（３）シャトル耐久性の測定方法シャトル耐久性は、恒温槽中の環境条件を温度４０℃、
湿度２０％ＲＨに制御して、この恒温槽中で市販のデジ
タルビデオカムコーダー（ソニー社製、機種名：ＤＣＲ
−ＶＸ１０００）を用い、各サンプルテープを１００パ
スシャトル走行させ、１００パス走行後にその再生出力
が初期出力から何ｄＢ落ちるかを測定して評価した。

【０１４６】なお、これらの評価は、潤滑剤を塗布した
直後と、各サンプルテープを温度４５℃、湿度８０％Ｒ
Ｈの環境下で３０日間保存した後に行った。潤滑剤を塗
布した直後の初期の耐久性及び走行性の測定結果を表
３、３０日間保存した後の保存後の耐久性及び走行性の
測定結果を表４に示す。

【０１４７】

【表３】

【０１４８】

【表４】

【０１４９】表３及び表４の結果から、ＣＶＤ法により
形成された保護膜表面に紫外線を照射し、さらに潤滑剤
として、末端にカルボキシル基を有する二官能パーフル
オロポリエーテルとアミンとの化合物と飽和脂肪酸とを
組み合わせた潤滑剤を使用した実施例１〜実施例８にお
いては、何れも高温多湿、高温低湿或いは低温等の様々
な使用条件下において摩擦係数、スチル耐久性及びシャ
トル耐久性の劣化が極めて少なく、非常に良好な結果が
得られていることがわかった。

【０１５０】一方、末端にカルボキシル基を有する二官
能パーフルオロポリエーテルとアミンとの化合物のみを
含有する潤滑剤を用いた比較例１及び比較例２では、様
々な使用条件下において摩擦係数やスチル耐久性、シャ
トル耐久性の劣化が非常に大きかった。また、保護膜の
表面に紫外線を照射しなかった比較例３〜比較例７で
は、様々な使用条件下において摩擦係数やスチル耐久
性、シャトル耐久性の劣化が大きく、良好な結果が得ら
れなかった。

【０１５１】以上の結果より、保護膜表面に紫外線を照
射し、さらに潤滑剤として、末端にカルボキシル基を有
する二官能パーフルオロポリエーテルとアミンとの化合
物と、飽和脂肪酸とを組み合わせることにより、潤滑剤
が如何なる使用条件下においても密着性や潤滑性が保た
れ、且つ長期に亘り潤滑効果が持続するため、磁気記録
媒体の良好な走行性及び耐久性が得られることがわかっ
た。

【０１５２】実験例２本実験例においては、末端にカルボキシル基を有するパ
ーフルオロポリエーテルとアミンとの化合物と、飽和脂
肪酸を含有する潤滑剤を使用した場合の効果を以下のよ
うにして確認した。

【０１５３】（サンプルの作製）１．末端にカルボキシル基を有するパーフルオロポリエ
ーテルとアミンとの化合物の合成先ず、末端にカルボキシル基を有するパーフルオロポリ
エーテルとして、分子量１７００のＦ（ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ
₂Ｏ）_mＣＦ₂ＣＦ₂ＣＯＯＨ（但し、化学式中ｍは１以上
の整数を表す。）２０ｇを丸底フラスコに取り、オクタ
デシルアミン３．２ｇを加えた。次いで、これを５０℃
に加熱して溶解し、十分に攪拌して均一化した後、冷却
してパーフルオロポリエーテルアミン塩を得た。ここ
で、得られたパーフルオロポリエーテルアミン塩を化合
物６とする。

【０１５４】次に、上記化合物６と同様な合成方法によ
って、下記表５に示すような末端にカルボキシル基を有
するパーフルオロポリエーテルとアミンとの化合物であ
る４種類の化合物７〜化合物１０を合成した。なお、表
５中ｍ、ｊ、ｋはそれぞれ１以上の整数である。

【０１５５】

【表５】

【０１５６】２．サンプルテープの作製まず、前述の実験例１と同様にして、非磁性支持体上に
磁性層となる強磁性金属薄膜、カーボンからなる保護膜
をプラズマＣＶＤ法により形成し、バックコート層も形
成した。さらに、上記保護膜の表面を、下記表６に示さ
れるような条件で紫外線照射した。

【０１５７】次に、前述の実験例１と同様にして、保護
膜表面に、下記表６に示されるような潤滑剤をヘキサン
溶媒に溶解したものを、塗布量が５ｍｇ／ｍ²となるよ
うにそれぞれ塗布して１５種類の磁気記録媒体を得た。

【０１５８】そして、これら１５種類の磁気記録媒体を
それぞれ６．３５ｍｍ幅に裁断し、実施例９〜実施例１
６及び比較例８〜比較例１４の１５種類のサンプルテー
プを作製した。

【０１５９】ただし、比較例１０〜比較例１４のサンプ
ルテープについては、保護膜の表面に紫外線を照射しな
かった。

【０１６０】

【表６】

【０１６１】３．特性の評価次に、上記実施例９〜実施例１６と比較例８〜１４の１
５種類のサンプルテープの特性を評価した。ここでは、
耐久性と走行性を評価することとし、具体的には摩擦係
数、スチル耐久性及びシャトル耐久性を前述の実験例１
と同様にして評価した。

【０１６２】なお、これらの評価は、前述の実験例１と
同様に潤滑剤を塗布した直後と、各サンプルテープを温
度４５℃、湿度８０％ＲＨの環境下で３０日間保存した
後に行った。潤滑剤を塗布した直後の初期の耐久性及び
走行性の結果を表７、３０日間保存した後の保存後の耐
久性及び走行性の結果を表８に示す。

【０１６３】

【表７】

【０１６４】

【表８】

【０１６５】表７及び表８の結果から、ＣＶＤ法により
形成された保護膜表面に紫外線を照射し、さらに潤滑剤
として、末端にカルボキシル基を有するパーフルオロポ
リエーテルとアミンとの化合物と、飽和脂肪酸とを組み
合わせた潤滑剤を使用した実施例９〜１６においては、
何れも高温多湿、高温低湿或いは低温等の様々な使用条
件下において摩擦係数、スチル耐久性及びシャトル耐久
性の劣化が極めて少なく、非常に良好な結果が得られて
いることがわかった。

【０１６６】一方、末端にカルボキシル基を有するパー
フルオロポリエーテルとアミンとの化合物のみを含有す
る潤滑剤を用いた比較例８及び比較例９では、様々な使
用条件下において摩擦係数やスチル耐久性、シャトル耐
久性の劣化が非常に大きかった。また、保護膜の表面に
紫外線を照射しなかった比較例１０〜比較例１４では、
様々な使用条件下において摩擦係数やスチル耐久性、シ
ャトル耐久性の劣化が大きく、良好な結果が得られなか
った。

【０１６７】以上の結果より、保護膜表面に紫外線を照
射し、さらに潤滑剤として、末端にカルボキシル基を有
するパーフルオロポリエーテルとアミンとの化合物と、
飽和脂肪酸とを組み合わせることにより、潤滑剤が如何
なる使用条件下においても密着性や潤滑性が保たれ、且
つ長期に亘り潤滑効果が持続するため、磁気記録媒体の
良好な走行性及び耐久性が得られることがわかった。

【０１６８】実験例３本実験例においては、末端にカルボキシル基を有するパ
ーフルオロポリエーテルとジアミンとの化合物と、飽和
脂肪酸を含有する潤滑剤を使用した場合の効果を以下の
ようにして確認した。

【０１６９】（サンプルの作製）１．末端にカルボキシル基を有するパーフルオロポリエ
ーテルとジアミンとの化合物の合成先ず、末端にカルボキシル基を有するパーフルオロポリ
エーテルとして、分子量１７００のＦ（ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ
₂Ｏ）_mＣＦ₂ＣＦ₂ＣＯＯＨ（但し、化学式中ｍは１以上
の整数を表す。）２０ｇを丸底フラスコに取り、１，４
−ジアミノブタン０．５２ｇを加えた。次いで、これを
５０℃に加熱して溶解し十分に攪拌して均一化した後、
冷却してパーフルオロポリエーテルジアミン塩を得た。
ここで、得られたパーフルオロポリエーテルジアミン塩
を化合物１１とする。

【０１７０】次に、上記化合物１１と同様な合成方法に
よって、下記表９に示すような末端にカルボキシル基を
有するパーフルオロポリエーテルとジアミンとの化合物
である４種類の化合物１２〜化合物１５を合成した。な
お、表９中ｍ、ｊ、ｋはそれぞれ１以上の整数である。

【０１７１】

【表９】

【０１７２】２．サンプルテープの作製まず、前述の実験例１と同様にして、非磁性支持体上に
磁性層となる強磁性金属薄膜、カーボンからなる保護膜
をプラズマＣＶＤ法により形成し、バックコート層も形
成した。さらに、上記保護膜の表面を、下記表１０に示
されるような条件で紫外線照射した。

【０１７３】次に、前述の実験例１と同様にして、保護
膜表面に、下記表１０に示されるような潤滑剤をヘキサ
ン溶媒に溶解したものを、塗布量が５ｍｇ／ｍ²となる
ようにそれぞれ塗布して１５種類の磁気記録媒体を得
た。

【０１７４】そして、これら１５種類の磁気記録媒体を
それぞれ６．３５ｍｍ幅に裁断し、実施例１７〜実施例
２４及び比較例１５〜比較例２１の１５種類のサンプル
テープを作製した。

【０１７５】ただし、比較例１７〜比較例２１のサンプ
ルテープについては、保護膜の表面に紫外線を照射しな
かった。

【０１７６】

【表１０】

【０１７７】３．特性の評価次に、上記実施例１７〜実施例２４と比較例１５〜２１
の１５種類のサンプルテープの特性を評価した。ここで
は、耐久性と走行性を評価することとし、具体的には摩
擦係数、スチル耐久性及びシャトル耐久性を前述の実験
例１と同様にして評価した。

【０１７８】なお、これらの評価は、前述の実験例１と
同様に潤滑剤を塗布した直後と、各サンプルテープを温
度４５℃、湿度８０％ＲＨの環境下で３０日間保存した
後に行った。潤滑剤を塗布した直後の初期の耐久性及び
走行性の結果を表１１、３０日間保存した後の保存後の
耐久性及び走行性の結果を表１２に示す。

【０１７９】

【表１１】

【０１８０】

【表１２】

【０１８１】表１１及び表１２の結果から、ＣＶＤ法に
より形成された保護膜表面に紫外線を照射し、さらに潤
滑剤として、末端にカルボキシル基を有するパーフルオ
ロポリエーテルとジアミンとの化合物と飽和脂肪酸とを
組み合わせた潤滑剤を使用した実施例１７〜実施例２４
においては、何れも高温多湿、高温低湿或いは低温等の
様々な使用条件下において摩擦係数、スチル耐久性及び
シャトル耐久性の劣化が極めて少なく、非常に良好な結
果が得られていることがわかった。

【０１８２】一方、末端にカルボキシル基を有するパー
フルオロポリエーテルとジアミンとの化合物のみを含有
する潤滑剤を用いた比較例１５及び比較例１６では、様
々な使用条件下において摩擦係数やスチル耐久性、シャ
トル耐久性の劣化が非常に大きかった。また、保護膜の
表面に紫外線を照射しなかった比較例１７〜比較例２１
では、様々な使用条件下において摩擦係数やスチル耐久
性、シャトル耐久性の劣化が大きく、良好な結果が得ら
れなかった。

【０１８３】以上の結果より、保護膜表面に紫外線を照
射し、さらに潤滑剤として、末端にカルボキシル基を有
するパーフルオロポリエーテルとジアミンとの化合物と
と、飽和脂肪酸とを組み合わせることにより、潤滑剤が
如何なる使用条件下においても密着性や潤滑性が保た
れ、且つ長期に亘り潤滑効果が持続するため、磁気記録
媒体の良好な走行性及び耐久性が得られることがわかっ
た。

【０１８４】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係る磁気記録媒体の製造方法は、密着性や潤滑性の点で
非常に優れた特性の潤滑剤の組み合わせを特定して用い
ているので、走行性及び耐久性を向上することができ
る。また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方法では、
最外層として形成され、カーボンよりなる保護膜の表面
に紫外線を照射しているので、当該保護膜上に保持され
る潤滑剤と、保護膜との密着性が向上し、更に良好な耐
久性を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用して作製される磁気記録媒体の一
例を示す断面図である。

【図２】紫外線照射装置の一例を示す構成図である。

【図３】磁性層を形成する際に用いる真空蒸着装置の一
例を示す断面図である。

【符号の説明】

１磁気記録媒体、２非磁性支持体、３磁性
層、４保護膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考） // Ｃ１０Ｎ 40:18 Ｃ１０Ｎ 40:18 (72)発明者谷田貝洋東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内Ｆターム(参考） 4H104 BB15A BD07A CD04A LA20 PA16 5D006 AA01 AA02 AA06 EA03 FA05 5D112 AA07 AA11 BC01 BC02 BC05 FA09 GA19

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】非磁性支持体上に金属磁性薄膜よりなる
磁性層を形成し、この磁性層上に保護膜を形成する磁気
記録媒体の製造方法において、上記保護膜の表面に、不活性ガス雰囲気中で紫外線を照
射し、その後、上記保護膜表面に、下記化１で示される末端に
カルボキシル基を有する二官能パーフルオロポリエーテ
ルとアミンとの化合物及び下記化２で示される飽和脂肪
酸を含有する潤滑剤が最外層に保持されてなることを特
徴とする磁気記録媒体の製造方法。【化１】【化２】
【請求項２】上記末端にカルボキシル基を有する二官
能パーフルオロポリエーテルとアミンとの化合物と、上
記飽和脂肪酸との混合比が、重量比で１０：９０〜９
０：１０であることを特徴とする請求項１記載の磁気記
録媒体の製造方法。
【請求項３】上記化２にて示される飽和脂肪酸の上記
Ｒ^Iの炭素数が１１〜１９であることを特徴とする請求
項１記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項４】上記保護膜がカーボンよりなることを特
徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項５】上記保護膜は、化学的気相成長法により
形成されることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒
体の製造方法。
【請求項６】非磁性支持体上に金属磁性薄膜よりなる
磁性層を形成し、この磁性層上に保護膜を形成する磁気
記録媒体の製造方法において、上記保護膜の表面に、不活性ガス雰囲気中で紫外線を照
射し、その後、上記保護膜表面に、下記化３で示される末端に
カルボキシル基を有するパーフルオロポリエーテルとア
ミンとの化合物及び下記化４で示される飽和脂肪酸を含
有する潤滑剤が最外層に保持されてなることを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法。【化３】【化４】
【請求項７】上記末端にカルボキシル基を有するパー
フルオロポリエーテルとアミンとの化合物と、上記飽和
脂肪酸との混合比が、重量比で１０：９０〜９０：１０
であることを特徴とする請求項６記載の磁気記録媒体の
製造方法。
【請求項８】上記化４にて示される飽和脂肪酸の上記
Ｒ^Iの炭素数が１１〜１９であることを特徴とする請求
項６記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項９】上記保護膜がカーボンよりなることを特
徴とする請求項６記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項１０】上記保護膜は、化学的気相成長法によ
り形成されることを特徴とする請求項６記載の磁気記録
媒体の製造方法。
【請求項１１】非磁性支持体上に金属磁性薄膜よりな
る磁性層を形成し、この磁性層上に保護膜を形成する磁
気記録媒体の製造方法において、上記保護膜の表面に、不活性ガス雰囲気中で紫外線を照
射し、その後、上記保護膜表面に、下記化５で示される末端に
カルボキシル基を有するパーフルオロポリエーテルとジ
アミンとの化合物及び下記化６で示される飽和脂肪酸を
含有する潤滑剤が最外層に保持されてなることを特徴と
する磁気記録媒体の製造方法。【化５】【化６】
【請求項１２】上記末端にカルボキシル基を有するパ
ーフルオロポリエーテルとジアミンとの化合物と、上記
飽和脂肪酸との混合比が、重量比で１０：９０〜９０：
１０であることを特徴とする請求項１１記載の磁気記録
媒体の製造方法。
【請求項１３】上記化６にて示される飽和脂肪酸の上
記Ｒ^Iの炭素数が１１〜１９であることを特徴とする請
求項１１記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項１４】上記保護膜がカーボンよりなることを
特徴とする請求項１１記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項１５】上記保護膜は、化学的気相成長法によ
り形成されることを特徴とする請求項１１記載の磁気記
録媒体の製造方法。