JP2001107299A - 被処理材搬送用ベルト及びそれを使用した表面処理装置 - Google Patents
被処理材搬送用ベルト及びそれを使用した表面処理装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 安定した電流を供給すると共に、磨耗金属屑
に起因する不具合を未然に防止出来る被処理材搬送用ベ
ルト及び表面処理装置を提供することにある。 【解決手段】 整流器から供給される電圧の一方を給電
ブラシ等を介して被表面処理材搬送用ベルト及び被めっ
き部材に供給し、他方の電圧を薬液中の対向電極に供給
する表面処理装置であって、該被表面処理材搬送用ベル
トの上端部に適宜間隔で配置された給電治具を備えたの
で、安定した電気を供給すると共に、磨耗金属屑に起因
する不具合を未然に防止する事が出来る。
に起因する不具合を未然に防止出来る被処理材搬送用ベ
ルト及び表面処理装置を提供することにある。 【解決手段】 整流器から供給される電圧の一方を給電
ブラシ等を介して被表面処理材搬送用ベルト及び被めっ
き部材に供給し、他方の電圧を薬液中の対向電極に供給
する表面処理装置であって、該被表面処理材搬送用ベル
トの上端部に適宜間隔で配置された給電治具を備えたの
で、安定した電気を供給すると共に、磨耗金属屑に起因
する不具合を未然に防止する事が出来る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術】本発明は表面処理装置に関し、特
に、電流の安定供給と、給電ブラシの摩擦により生じる
金属屑による不都合を考慮した表面処理装置に関するも
のである。
に、電流の安定供給と、給電ブラシの摩擦により生じる
金属屑による不都合を考慮した表面処理装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、従来の表面処理装置の一つであ
るめっき装置は、図５に示すように給電部の給電用ブス
バー８にローラー７がローラー軸９を介して回転自在に
支持されており、この給電用ブスバー８によるコンタク
トを給電ローラー７の回転軸上においてとるように配置
して、一方、ローラー７はテンション調整が出来るよう
な構造に形成され、それによって搬送ベルト１へのロー
ラー７を押し当てる事により搬送ベルト１への電源供給
が出来る構造になっている。このような従来の構造で
は、搬送ベルト１とローラー７が線接触である為、安定
した電源供給が得にくい問題がある。またローラーのテ
ンションのかけ方が均一でないと、搬送ベルト１の表裏
で電流の流れ方に差が生じ易くなり、搬送ベルト１の片
面のみに熱が発生し、熱膨張（伸縮）率に差が生じベル
ト反りが発生すると云う問題も存在した。
るめっき装置は、図５に示すように給電部の給電用ブス
バー８にローラー７がローラー軸９を介して回転自在に
支持されており、この給電用ブスバー８によるコンタク
トを給電ローラー７の回転軸上においてとるように配置
して、一方、ローラー７はテンション調整が出来るよう
な構造に形成され、それによって搬送ベルト１へのロー
ラー７を押し当てる事により搬送ベルト１への電源供給
が出来る構造になっている。このような従来の構造で
は、搬送ベルト１とローラー７が線接触である為、安定
した電源供給が得にくい問題がある。またローラーのテ
ンションのかけ方が均一でないと、搬送ベルト１の表裏
で電流の流れ方に差が生じ易くなり、搬送ベルト１の片
面のみに熱が発生し、熱膨張（伸縮）率に差が生じベル
ト反りが発生すると云う問題も存在した。
【０００３】また、特開昭６２−１０８５６３号には、
半導体装置のリードフレームを電気めっきするめっき装
置が開示されている。しかし、ここに開示された技術
は、めっき処理槽内に配置されたローラーの間に半導体
装置を挟んでリードフレーム表面にめっきするものであ
る。したがって、各ローラーの間に挟んだリードフレー
ムは、ローラーの挟持力によってのみ電流が供給される
ので、安定した電流の供給ができないと云う欠点が存在
する。また、ローラー同志が摩擦する事により金属屑が
発生し、この金属屑が製品不良の原因となっている。
半導体装置のリードフレームを電気めっきするめっき装
置が開示されている。しかし、ここに開示された技術
は、めっき処理槽内に配置されたローラーの間に半導体
装置を挟んでリードフレーム表面にめっきするものであ
る。したがって、各ローラーの間に挟んだリードフレー
ムは、ローラーの挟持力によってのみ電流が供給される
ので、安定した電流の供給ができないと云う欠点が存在
する。また、ローラー同志が摩擦する事により金属屑が
発生し、この金属屑が製品不良の原因となっている。
【０００４】また、特開平２−１４１５９９号では、電
解液槽内に縦型陽極をリードフレームの幅方向側部と対
向する部位にもうけ、かつ当該陽極の長手方向中央部を
リードフレームに対向させて立てて設けた例が開示され
ている。また、縦型陽極には、ロールを支持するシャフ
ト５，６が貫挿されている。そして、リードフレーム
は、上下のロールの間に挟まれつつ、電解槽内を搬送さ
れめっきが施される。しかし、ここに開示された技術で
は、搬送ロール、シャフト等が電解槽内に浸されている
為に、これらの磨耗時に生じる金属屑がリードフレーム
等の被めっき物に悪影響を与える虞が存在した。
解液槽内に縦型陽極をリードフレームの幅方向側部と対
向する部位にもうけ、かつ当該陽極の長手方向中央部を
リードフレームに対向させて立てて設けた例が開示され
ている。また、縦型陽極には、ロールを支持するシャフ
ト５，６が貫挿されている。そして、リードフレーム
は、上下のロールの間に挟まれつつ、電解槽内を搬送さ
れめっきが施される。しかし、ここに開示された技術で
は、搬送ロール、シャフト等が電解槽内に浸されている
為に、これらの磨耗時に生じる金属屑がリードフレーム
等の被めっき物に悪影響を与える虞が存在した。
【０００５】また、特開平７−２３７７４６号では、リ
ードフレームの搬送時に生じる変形等を解消するべく、
リードフレームの両端をローラーで挟持すると共に、ロ
ーラーの幅を変更できるようにして、リードフレームの
幅や長さが変更しても対応できる搬送装置が開示されて
いる。しかし、ここに開示された搬送装置をめっき装置
に使用した場合、前記の例と同様に電解槽の中に浸す事
となり、ローラーの磨耗時に生じる金属屑がリードフレ
ーム等の被めっき物に悪影響を与える虞が存在した。
ードフレームの搬送時に生じる変形等を解消するべく、
リードフレームの両端をローラーで挟持すると共に、ロ
ーラーの幅を変更できるようにして、リードフレームの
幅や長さが変更しても対応できる搬送装置が開示されて
いる。しかし、ここに開示された搬送装置をめっき装置
に使用した場合、前記の例と同様に電解槽の中に浸す事
となり、ローラーの磨耗時に生じる金属屑がリードフレ
ーム等の被めっき物に悪影響を与える虞が存在した。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】一方、上記のめっき装
置では、以下のような問題点を有していた。第１の問題
点は、搬送ベルトの熱の偏在による反りは搬送時の安定
性を劣化させるばかりか、めっき装置への供給時（ロー
ダー時）の安定性をも劣化させる。
置では、以下のような問題点を有していた。第１の問題
点は、搬送ベルトの熱の偏在による反りは搬送時の安定
性を劣化させるばかりか、めっき装置への供給時（ロー
ダー時）の安定性をも劣化させる。
【０００７】第２の問題点は、給電ローラー７と搬送ベ
ルト１との接触部における摩擦で生じる金属屑は、ロー
ラーの遠心力で薬液槽に脱落して金属屑による半導体端
子の短絡（ショート）の原因となり、製品不良を発生さ
せることとなる。
ルト１との接触部における摩擦で生じる金属屑は、ロー
ラーの遠心力で薬液槽に脱落して金属屑による半導体端
子の短絡（ショート）の原因となり、製品不良を発生さ
せることとなる。
【０００８】そこで本願発明の目的は、上記した従来の
欠点を改良するべく、給電ローラーから被表面処理材搬
送用ベルトへ電流の流れ方に差異を無くして、熱膨張率
の差による被表面処理材搬送用ベルトの反りを防止する
と共に、発生する金属屑による製品不良を未然に防止す
る表面処理装置を提供することである。
欠点を改良するべく、給電ローラーから被表面処理材搬
送用ベルトへ電流の流れ方に差異を無くして、熱膨張率
の差による被表面処理材搬送用ベルトの反りを防止する
と共に、発生する金属屑による製品不良を未然に防止す
る表面処理装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するため、基本的に以下に記載されたような構成を採用
するものである。すなわち本発明に係る被処理材搬送用
ベルトは、被表面処理材搬送用ベルトの上端部に適宜間
隔で配置された給電治具を備えたことを特徴とするもの
である。また、本発明に係る表面処理装置は、前記被処
理材搬送用ベルトが薬液を含む薬液槽内を給電治具を別
途に固定的に配置した適宜の電源と接触させながら移動
可能に構成されたことを特徴とするものである。
するため、基本的に以下に記載されたような構成を採用
するものである。すなわち本発明に係る被処理材搬送用
ベルトは、被表面処理材搬送用ベルトの上端部に適宜間
隔で配置された給電治具を備えたことを特徴とするもの
である。また、本発明に係る表面処理装置は、前記被処
理材搬送用ベルトが薬液を含む薬液槽内を給電治具を別
途に固定的に配置した適宜の電源と接触させながら移動
可能に構成されたことを特徴とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の被処理材搬送用ベルト及
び表面処理装置は、上記した様な従来技術に於ける問題
点を解決する為、被表面処理材搬送用ベルトの上端部に
適宜間隔で配置された給電治具を備えたので、安定した
給電ができ被表面処理材搬送用ベルトの反りを防止する
ことが出来る。また、本発明の表面処理装置は、表面処
理装置内には、当接被処理材搬送用ベルトの移動通路に
沿って１個または複数個の給電ブラシが固定的に配置さ
れており、給電治具には、金属屑受部が設けられている
ので、給電ブラシと給電治具との摩擦によって生じる金
属屑に起因する不具合（例えば半導体端子同士の短絡な
ど）を阻止することが出来る。
び表面処理装置は、上記した様な従来技術に於ける問題
点を解決する為、被表面処理材搬送用ベルトの上端部に
適宜間隔で配置された給電治具を備えたので、安定した
給電ができ被表面処理材搬送用ベルトの反りを防止する
ことが出来る。また、本発明の表面処理装置は、表面処
理装置内には、当接被処理材搬送用ベルトの移動通路に
沿って１個または複数個の給電ブラシが固定的に配置さ
れており、給電治具には、金属屑受部が設けられている
ので、給電ブラシと給電治具との摩擦によって生じる金
属屑に起因する不具合（例えば半導体端子同士の短絡な
ど）を阻止することが出来る。
【００１１】
【実施例】以下に、本発明に係る被処理材搬送用ベルト
及び表面処理装置の一具体例の構成を図面を参照しなが
ら詳細に説明する。図１は、本発明に係る被処理材搬送
用ベルト及び表面処理装置の概略構成を示す説明図、図
２は、同被処理材搬送用ベルトの概略構成図、図３は本
発明の表面処理装置の概略構成図である。ここで、被表
面処理材搬送用ベルト１４の上端部には、適宜間隔で配
置された給電治具１５を備えている。また、前記給電治
具１５は、搬送用ベルト１４の長手方向の縁部に沿って
所定の間隔を介して複数個設けられている。更に、前記
給電治具１５には、金属屑受部である屑受け皿１６が設
けられていている。
及び表面処理装置の一具体例の構成を図面を参照しなが
ら詳細に説明する。図１は、本発明に係る被処理材搬送
用ベルト及び表面処理装置の概略構成を示す説明図、図
２は、同被処理材搬送用ベルトの概略構成図、図３は本
発明の表面処理装置の概略構成図である。ここで、被表
面処理材搬送用ベルト１４の上端部には、適宜間隔で配
置された給電治具１５を備えている。また、前記給電治
具１５は、搬送用ベルト１４の長手方向の縁部に沿って
所定の間隔を介して複数個設けられている。更に、前記
給電治具１５には、金属屑受部である屑受け皿１６が設
けられていている。
【００１２】また、前記屑受け皿１６は、前記給電治具
１５に当接配置された給電ブラシ１３の両側で搬送用ベ
ルト本体の表面から突出するように形成されている。そ
して、搬送用ベルト１４は、導電性部材から形成されて
いる。また、前記給電治具１５は、搬送用ベルト本体に
ボルト等で着脱可能に固定されていてもよい。
１５に当接配置された給電ブラシ１３の両側で搬送用ベ
ルト本体の表面から突出するように形成されている。そ
して、搬送用ベルト１４は、導電性部材から形成されて
いる。また、前記給電治具１５は、搬送用ベルト本体に
ボルト等で着脱可能に固定されていてもよい。
【００１３】更に、本発明の表面処理装置は、整流器１
０から供給される電圧の一方を電気配線１１からバネ１
２、給電ブラシ１３を介して被表面処理材搬送用ベルト
１４の頂部に取り付けられた給電治具１５に伝える。給
電治具１５は、被表面処理材搬送用ベルト１４の頂部に
適宜の間隔を有して複数取り付けられている。給電治具
１５の個数は、被表面処理材搬送用ベルト１４の搬送時
の湾曲を阻害しない程度であれば、出来るだけ多く取り
付けることが望ましい。
０から供給される電圧の一方を電気配線１１からバネ１
２、給電ブラシ１３を介して被表面処理材搬送用ベルト
１４の頂部に取り付けられた給電治具１５に伝える。給
電治具１５は、被表面処理材搬送用ベルト１４の頂部に
適宜の間隔を有して複数取り付けられている。給電治具
１５の個数は、被表面処理材搬送用ベルト１４の搬送時
の湾曲を阻害しない程度であれば、出来るだけ多く取り
付けることが望ましい。
【００１４】また、給電治具１５の両側には、図２に示
すように屑受け皿１６がビス１７等によって取り付けら
れている。屑受け皿１６は、薄板の下端をビス止めし、
上に向かって開き、金属屑がこの上面に溜まるように形
成されている。更に、給電治具１６は、被表面処理材搬
送用ベルト１４の上端を両側から挟むようにボルト１８
等によって着脱可能に固定されている。したがって、給
電治具１５が磨滅した際には、このボルト１８を緩めて
新品と交換する事が出来る。このボルト１８は、屑受け
皿１６を固定するビス１７と兼用してもよい。
すように屑受け皿１６がビス１７等によって取り付けら
れている。屑受け皿１６は、薄板の下端をビス止めし、
上に向かって開き、金属屑がこの上面に溜まるように形
成されている。更に、給電治具１６は、被表面処理材搬
送用ベルト１４の上端を両側から挟むようにボルト１８
等によって着脱可能に固定されている。したがって、給
電治具１５が磨滅した際には、このボルト１８を緩めて
新品と交換する事が出来る。このボルト１８は、屑受け
皿１６を固定するビス１７と兼用してもよい。
【００１５】給電ブラシ１３は、給電治具１５と当接す
るようにバネ１２によってブスバー等適宜の電源手段に
よって弾持されている。つまり、給電ブラシ１３は、バ
ネ１２によって給電治具方向に常に付勢されている。し
たがって、給電ブラシ１３と給電治具１５とは、面接触
となり安定した給電が可能となる。
るようにバネ１２によってブスバー等適宜の電源手段に
よって弾持されている。つまり、給電ブラシ１３は、バ
ネ１２によって給電治具方向に常に付勢されている。し
たがって、給電ブラシ１３と給電治具１５とは、面接触
となり安定した給電が可能となる。
【００１６】次に、本発明の表面処理装置の実際の動作
を説明する。先ず、整流器１０からの所定の電圧を出力
する一方の端子を電気配線１１に接続させバネ１２と給
電ブラシ１３に所定の電圧が印加される。一方、整流器
１０の他方の端子は、薬液槽内の電極１２と接続されて
いる。給電ブラシ１３は、バネ１２によって給電治具１
５に押圧されている。給電治具１５は、被表面処理材搬
送用ベルト１４の頂部に複数個取り付けられており、被
表面処理材搬送用ベルト１４の下端には、被めっき物で
あるリードフレーム２が取り付けられている。
を説明する。先ず、整流器１０からの所定の電圧を出力
する一方の端子を電気配線１１に接続させバネ１２と給
電ブラシ１３に所定の電圧が印加される。一方、整流器
１０の他方の端子は、薬液槽内の電極１２と接続されて
いる。給電ブラシ１３は、バネ１２によって給電治具１
５に押圧されている。給電治具１５は、被表面処理材搬
送用ベルト１４の頂部に複数個取り付けられており、被
表面処理材搬送用ベルト１４の下端には、被めっき物で
あるリードフレーム２が取り付けられている。
【００１７】リードフレーム２は、薬液１９の満たされ
た薬液槽２０内に被表面処理材搬送用ベルト１４を介し
て吊り下げられている。また、整流器１０からの電流
は、電気配線１１を通じて給電ブラシ１３、給電治具１
５、リードフレーム２を通って、薬液槽２０内に前記リ
ードフレーム２と所定の間隔を有して配置された対向電
極２１に流れる。また、給電ブラシ１３が給電治具１５
と摺擦する事により生じる金属屑は、屑受け皿１６上に
落ち、薬液槽２０内に落ちる事がない。したがって、金
属屑によってリードフレーム２に半田屑が発生して半導
体端子同士の短絡が生じる虞がない。
た薬液槽２０内に被表面処理材搬送用ベルト１４を介し
て吊り下げられている。また、整流器１０からの電流
は、電気配線１１を通じて給電ブラシ１３、給電治具１
５、リードフレーム２を通って、薬液槽２０内に前記リ
ードフレーム２と所定の間隔を有して配置された対向電
極２１に流れる。また、給電ブラシ１３が給電治具１５
と摺擦する事により生じる金属屑は、屑受け皿１６上に
落ち、薬液槽２０内に落ちる事がない。したがって、金
属屑によってリードフレーム２に半田屑が発生して半導
体端子同士の短絡が生じる虞がない。
【００１８】図４は、本発明の表面処理装置の他の実施
例を示す概略構成図である。本実施例では、被表面処理
材搬送用ベルト１４の上端部に適宜間隔で配置された給
電治具１５を備え、該給電治具１５に弾性部材２２を介
して給電ブラシ２３を取り付け、この給電ブラシ２３に
対向してブスバー２４を装置の上方に固定的に配置した
ものである。また、給電治具１５には、前記実施例と同
様に屑受け皿１６が固定されている。
例を示す概略構成図である。本実施例では、被表面処理
材搬送用ベルト１４の上端部に適宜間隔で配置された給
電治具１５を備え、該給電治具１５に弾性部材２２を介
して給電ブラシ２３を取り付け、この給電ブラシ２３に
対向してブスバー２４を装置の上方に固定的に配置した
ものである。また、給電治具１５には、前記実施例と同
様に屑受け皿１６が固定されている。
【００１９】また、ブスバー２４は、磨耗し難い材質に
よって構成すれば、給電ブラシ２３の磨耗量のみを管理
すれば良く、装置のメンテナンスを著しく削減する事が
出来る。給電ブラシ２３とブスバー２４とは、面接触と
なり安定した給電が可能となる。
よって構成すれば、給電ブラシ２３の磨耗量のみを管理
すれば良く、装置のメンテナンスを著しく削減する事が
出来る。給電ブラシ２３とブスバー２４とは、面接触と
なり安定した給電が可能となる。
【００２０】尚、本発明は以上の実施例に限ることなく
本発明の技術思想に基づいて種々の設計変更が可能であ
る。
本発明の技術思想に基づいて種々の設計変更が可能であ
る。
【００２１】
【発明の効果】第一の効果は、リードフレームに安定し
た電気を供給することが出来る事である。その理由は、
給電ブラシが給電治具に押し当てる構造になっており従
来の点接触から面接触となりしかもその面接触を保てる
からである。
た電気を供給することが出来る事である。その理由は、
給電ブラシが給電治具に押し当てる構造になっており従
来の点接触から面接触となりしかもその面接触を保てる
からである。
【００２２】第二の効果は、被表面処理材搬送用ベルト
に電気を供給するときに発生する熱が表裏に均一に伝播
するので、被表面処理材搬送用ベルト表裏の熱の伝わり
方に差が生じる場合の被表面処理材搬送用ベルトの反り
を防ぐことが出来る。その理由は、給電治具が被表面処
理材搬送用ベルトを挟み込むように固定している為、被
表面処理材搬送用ベルト表裏の熱の伝播に差が生じにく
い構造になっているからである。第三の効果は、給電ブ
ラシと給電治具との摩擦によって生じる金属屑に起因す
る不具合（例えば半導体端子同士の短絡など）を阻止す
ることが出来る。その理由は、給電治具には金属屑受け
皿を有しており、給電ブラシと給電治具との摩擦によっ
て生じる金属屑を金属屑受け皿によって受け止めること
が出来るので金属屑が薬液槽に落下する事を防止する構
造になっているからである。
に電気を供給するときに発生する熱が表裏に均一に伝播
するので、被表面処理材搬送用ベルト表裏の熱の伝わり
方に差が生じる場合の被表面処理材搬送用ベルトの反り
を防ぐことが出来る。その理由は、給電治具が被表面処
理材搬送用ベルトを挟み込むように固定している為、被
表面処理材搬送用ベルト表裏の熱の伝播に差が生じにく
い構造になっているからである。第三の効果は、給電ブ
ラシと給電治具との摩擦によって生じる金属屑に起因す
る不具合（例えば半導体端子同士の短絡など）を阻止す
ることが出来る。その理由は、給電治具には金属屑受け
皿を有しており、給電ブラシと給電治具との摩擦によっ
て生じる金属屑を金属屑受け皿によって受け止めること
が出来るので金属屑が薬液槽に落下する事を防止する構
造になっているからである。
【図１】図１は、本発明に係る表面処理装置の概略構成
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図２】図２は、同表面処理装置の概略構成図である。
【図３】図３は、本発明の表面処理装置の概略構成図で
ある。
ある。
【図４】図４は、本発明の表面処理装置の他の実施例を
示す概略構成図である。
示す概略構成図である。
【図５】図５は、従来の表面処理装置の被表面処理材搬
送用ベルトとローラー及びブスバーとの関係を示す説明
図である。
送用ベルトとローラー及びブスバーとの関係を示す説明
図である。
１０ 整流器 １１ 電気配線 １２ バネ １３ 給電ブラシ １４ 被表面処理材搬送用ベルト １５ 給電治具 １６ 屑受け皿 １７ ビス １８ ボルト １９ 薬液 ２０ 薬液槽 ２１ 対向電極 ２２ 弾性部材 ２３ 給電ブラシ ２４ ブスバー
Claims (17)
- 【請求項１】 搬送用ベルト本体の上端部に適宜間隔で
配置された給電治具を備えたことを特徴とする被処理材
搬送用ベルト。 - 【請求項２】 前記給電治具は、搬送用ベルト本体の長
手方向の縁部に沿って所定の間隔を介して複数個設けら
れていることを特徴とする請求項１記載の被処理材搬送
用ベルト。 - 【請求項３】 前記給電治具には、金属屑受部が設けら
れていることを特徴とする請求項１または２記載の被処
理材搬送用ベルト。 - 【請求項４】 前記金属屑受部は、前記給電治具に当接
配置され、かつ搬送用ベルト本体の表面から突出するよ
うに形成されていることを特徴とする請求項１から３の
いずれかに記載の被処理材搬送用ベルト。 - 【請求項５】 前記搬送用ベルト本体は、導電性部材か
ら形成されたことを特徴とする請求項１から４のいずれ
かに記載の被処理材搬送用ベルト。 - 【請求項６】 前記給電治具は、搬送用ベルト本体に着
脱可能に固定されたことを特徴とする請求項１から５の
何れかに記載の被処理材搬送用ベルト。 - 【請求項７】 前記給電治具は、搬送用ベルト本体にボ
ルトによって固定されたことを特徴とする請求項１から
６の何れかに記載の被処理材搬送用ベルト。 - 【請求項８】 前記給電治具は、前記搬送用ベルト本体
の上端を両側から挟むように固定していることを特徴と
する請求項１から７の何れかに記載の被処理材搬送用ベ
ルト。 - 【請求項９】 当該給電治具は、給電ブラシ方向に付勢
される接触部が設けられていることを特徴とする請求項
１から８の何れかに記載の被処理材搬送用ベルト。 - 【請求項１０】 前記被処理材搬送用ベルトが薬液を含
む薬液槽内を移動可能に構成されたことを特徴とする表
面処理装置。 - 【請求項１１】 前記表面処理装置内には、当接被処理
材搬送用ベルトの移動通路に沿って１個または複数個の
給電ブラシが固定的に配置されていることを特徴とする
請求項１０記載の表面処理装置。 - 【請求項１２】 前記給電治具は、薬液面上の空間部を
移動するように構成されていることを特徴とする請求項
１０または１１記載の表面処理装置。 - 【請求項１３】 前記給電治具に当接するように弾持さ
れた給電ブラシを備えたことを特徴とする請求項１０か
ら１２の何れかに記載の表面処理装置。 - 【請求項１４】 前記給電ブラシは、バネ部材によって
給電治具方向に付勢されていることを特徴とする請求項
１０から１２の何れかに記載の表面処理装置。 - 【請求項１５】 当該給電ブラシと当該薬液槽内の電極
との間に所定の電圧が印加されることを特徴とする請求
項１０から１４の何れかに記載の表面処理装置。 - 【請求項１６】 前記被処理材搬送用ベルトを移動させ
る手段を有することを特徴とする請求項１０から１５の
何れかに記載の表面処理装置。 - 【請求項１７】 被処理材搬送用ベルトの上端部に適宜
間隔で配置された給電治具を備え、該給電治具に弾性部
材を介して給電ブラシを取り付け、前記給電ブラシに対
向してブスバーを配置したことを特徴とする表面処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27705099A JP3317938B2 (ja) | 1999-09-29 | 1999-09-29 | 被処理材搬送用ベルト及びそれを使用した表面処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27705099A JP3317938B2 (ja) | 1999-09-29 | 1999-09-29 | 被処理材搬送用ベルト及びそれを使用した表面処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001107299A true JP2001107299A (ja) | 2001-04-17 |
| JP3317938B2 JP3317938B2 (ja) | 2002-08-26 |
Family
ID=17578100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27705099A Expired - Fee Related JP3317938B2 (ja) | 1999-09-29 | 1999-09-29 | 被処理材搬送用ベルト及びそれを使用した表面処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3317938B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100936424B1 (ko) | 2007-08-06 | 2010-01-12 | 지에스티 반도체장비(주) | 도금장치용 이송벨트 |
| JP2015067854A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | 住友金属鉱山株式会社 | 化学処理装置 |
| JP2015067852A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | 住友金属鉱山株式会社 | 化学処理装置 |
-
1999
- 1999-09-29 JP JP27705099A patent/JP3317938B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100936424B1 (ko) | 2007-08-06 | 2010-01-12 | 지에스티 반도체장비(주) | 도금장치용 이송벨트 |
| JP2015067854A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | 住友金属鉱山株式会社 | 化学処理装置 |
| JP2015067852A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | 住友金属鉱山株式会社 | 化学処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3317938B2 (ja) | 2002-08-26 |
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