JP2001105595A - Ink jet recording head and ink jet printer - Google Patents

Ink jet recording head and ink jet printer

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JP2001105595A
JP2001105595A JP29189999A JP29189999A JP2001105595A JP 2001105595 A JP2001105595 A JP 2001105595A JP 29189999 A JP29189999 A JP 29189999A JP 29189999 A JP29189999 A JP 29189999A JP 2001105595 A JP2001105595 A JP 2001105595A
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ink
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recording head
plate
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent destruction of a nozzle plate and a flow channel plate at their bonding surfaces caused by the temp. change. SOLUTION: A flow channel plate 4 being a silicon single crystal plate is bonded to a rolled plate made of stainless steel and a nozzle plate 6 is minimized in the quantity of linear expansion and contraction caused by a temp. change because the long side direction thereof crosses a rolling direction at a right angle. The pressure chamber 1 and reservoir chamber 2 of the flow channel plate 4 are connected by two-system flow channels formed to the front and rear surfaces of the flow channel plate 4 as grooves. When the ink in the pressure chamber 1 is frozen in low temp. environment, the ink corresponding to volumetric expansion due to freezing escapes from the pressure chamber 1 to the reservior chamber 2 easily through the two-system flow channels and the rise of the pressure in the pressure chamber 1 is suppressed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットプ
リンタの記録ヘッドの改良に関する。
The present invention relates to an improvement in a recording head of an ink jet printer.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェット記録ヘッド、例えば圧電
素子を用いてインク吐出の圧力を発生するタイプの記録
ヘッドは、用紙に面する前面に、多数のノズル孔が穿た
れたプレート(「ノズルプレート」という)を有し、こ
のノズルプレートの背面に、ノズル孔へインクを分配す
るためのインク流路をもった部品(「流路モジュール」
という)が接合されており、更に、この流路基板の背面
に、インク吐出圧を流路基板に印可するための圧電素子
が結合されている。
2. Description of the Related Art An ink jet recording head, for example, a recording head of the type that generates ink ejection pressure by using a piezoelectric element, has a plate (hereinafter referred to as a "nozzle plate") having a large number of nozzle holes formed on a front surface facing a sheet. ), And a component having an ink flow path for distributing ink to the nozzle holes (“flow path module”) on the back surface of the nozzle plate.
And a piezoelectric element for applying an ink discharge pressure to the flow path substrate is connected to the back surface of the flow path substrate.

【0003】さて、ノズルプレートは一般に金属製であ
り、典型的には、ステンレスティールの圧延プレートで
ある。また、その背面に接合されている流路モジュール
は、圧電素子からの強い衝撃に耐えられる高い剛性もつ
材料、典型的にはシリコンで作られている。
The nozzle plate is generally made of metal, and is typically a stainless steel rolled plate. The channel module bonded to the back surface is made of a material having high rigidity that can withstand a strong impact from the piezoelectric element, typically, silicon.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】記録ヘッドの製造工程
において、一般に、65℃のような高い温度雰囲気中
で、そのような高温で硬化する接着剤を用いて、ノズル
プレートと流路モジュールの接着などの作業が行われ
る。一方、記録ヘッドの動作保証が要求される使用環境
の温度域の低温側リミットは約−20℃である。そのた
め、記録ヘッドには、65℃〜−20℃という広い温度
域にわたって、故障しないことが要求される。
In the manufacturing process of a recording head, generally, in a high temperature atmosphere such as 65.degree. C., an adhesive which cures at such a high temperature is used to bond a nozzle plate and a flow path module. Work such as is performed. On the other hand, the lower limit of the temperature range of the operating environment where the operation of the recording head is required to be guaranteed is about -20 ° C. Therefore, it is required that the recording head does not fail over a wide temperature range of 65 ° C. to −20 ° C.

【0005】ここで第1に問題となることは、ノズルプ
レートと流路モジュールとの熱膨張率の違いによる記録
ヘッドの破壊の虞れである。ステンレススティール製の
ノズルプレートと、シリコン製の流路モジュールとで
は、線膨張係数がノズルプレートの方が遥かに大きい。
そのため、65℃の高温度雰囲気中で組み立てられた記
録ヘッドは、特に環境温度が低温になったときに、ノズ
ルプレートと流路モジュールの収縮量の違いにより、両
者の接着が壊れるおそれがある。
The first problem here is that the recording head may be destroyed due to the difference in the thermal expansion coefficient between the nozzle plate and the flow path module. In the nozzle plate made of stainless steel and the flow channel module made of silicon, the nozzle plate has a much larger linear expansion coefficient.
Therefore, in a print head assembled in a high-temperature atmosphere of 65 ° C., there is a possibility that the adhesion between the nozzle plate and the flow path module may be broken due to a difference in shrinkage between the nozzle plate and the flow path module, particularly when the environmental temperature is low.

【0006】また、第2の問題は、インクの凍結による
記録ヘッドの破壊の虞れである。プリンタ用のインクは
一般に、温度が−5℃位にまで下がるとシャーベット状
に凍結する。水性染料インクまたは水性顔料インクが使
用される流路モジュール内に溜まっているインクのう
ち、ノズルの直ぐ背後の場所に存在するインクが、外気
温度の影響を最も受け易いため、最初に凍結し始めると
推測される。このノズルの直ぐ背後の場所は、流路モジ
ュールがもつ「圧力室」と呼ばれる部屋の中にある。こ
の場所からインクの凍結が始まって圧力室内のインク凍
結が進んでいくと、凍結によってインクが体積膨張して
圧力室の壁を外側へ押し広げようとするため、圧力室の
壁とノズルプレートとの接着箇所が壊れてしまう虞れが
ある。
The second problem is that the recording head may be destroyed due to freezing of the ink. Generally, ink for printers freezes in a sherbet-like manner when the temperature drops to about -5 ° C. Among the inks stored in the flow channel module in which the aqueous dye ink or the aqueous pigment ink is used, the ink that is located immediately behind the nozzle is most susceptible to the outside air temperature, and thus starts to freeze first. It is presumed. The location directly behind this nozzle is in a chamber called "pressure chamber" of the flow channel module. When the freezing of the ink starts at this location and the freezing of the ink in the pressure chamber proceeds, the freezing causes the ink to expand in volume and push the wall of the pressure chamber outward, so that the pressure chamber wall and the nozzle plate May be broken.

【0007】従って、本発明の目的は、温度変化に起因
するインクジェット記録ヘッドの破壊を防止するするこ
とにある。
Accordingly, it is an object of the present invention to prevent the ink jet recording head from being destroyed due to a temperature change.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の第1の観点に従
うインクジェット記録ヘッドは、インク吐出用のノズル
を有したノズルプレートと、ノズルプレートに接着され
た、インク流路をもつ流路モジュールとを備え、ノズル
プレートは長短の外寸法をもつ平面形状を有する金属の
圧延プレートであり、ノズルプレートの平面形状の長い
方の外寸法の方向が圧延方向と略直交している。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an ink jet recording head comprising: a nozzle plate having nozzles for discharging ink; a channel module having an ink channel adhered to the nozzle plate. The nozzle plate is a metal rolling plate having a planar shape with long and short outer dimensions, and the direction of the longer outer dimension of the planar shape of the nozzle plate is substantially orthogonal to the rolling direction.

【0009】金属の圧延プレートの線膨張係数は、圧延
方向で最も大きく、圧延方向に直交する方向で最も小さ
い。そのため、ノズルプレートの平面形状がもつ長短の
外寸法のうち長い方の方向(典型的には、長方形のプレ
ートの長辺の方向)を圧延方向と直交させることによ
り、圧延プレートの温度変化による線膨張、収縮の量は
小さくなる。そのため、圧延プレートと、それより線膨
張係数の小さい材料製の流路モジュールとの接着面が、
両者の線膨張係数の違いにより壊れる虞が低減される。
[0009] The linear expansion coefficient of a metal rolled plate is largest in the rolling direction and smallest in a direction perpendicular to the rolling direction. Therefore, by making the longer direction (typically, the direction of the longer side of the rectangular plate) out of the longer and shorter outer dimensions of the planar shape of the nozzle plate orthogonal to the rolling direction, the line due to the temperature change of the rolled plate is obtained. The amount of expansion and contraction is reduced. Therefore, the bonding surface between the rolling plate and the channel module made of a material having a smaller linear expansion coefficient than the rolling plate,
The risk of breakage due to the difference between the two coefficients of linear expansion is reduced.

【0010】本発明の第2の観点に従うインクジェット
記録ヘッドは、前面と背面とをもち、圧力室と、リザー
バ室と、リザーバ室から圧力室へインクを供給するため
のインク供給路とを有する流路モジュールと、この記流
路モジュールの前面に接着され、圧力室に対応する位置
にインク吐出用のノズルを有したノズルプレートと、流
路モジュールの背面に接着された振動板と、この振動板
の背面の圧力室に対応する場所に当接した圧電振動子と
を備える。そして、圧力室は、流路モジュールを前面か
ら背面へ貫通した圧力室貫通部と、流路モジュールの背
面に、圧力室貫通部と連通した溝として形成された圧力
室背溝部とを有する。また、インク供給路は、流路モジ
ュールの背面に、圧力室背溝部とリザーバ室とを繋ぐ溝
として形成された背側インク供給路と、流路モジュール
の前面に、圧力室とリザーバ室とを繋ぐ溝として形成さ
れた前側インク供給路とを有する。背側インク供給路も
前側インク供給路も共に圧力室背溝部よりも細く、ま
た、前側インク供給路は背側インク供給路よりも長い。
An ink jet recording head according to a second aspect of the present invention has a front face and a back face, and has a flow chamber having a pressure chamber, a reservoir chamber, and an ink supply path for supplying ink from the reservoir chamber to the pressure chamber. A flow path module, a nozzle plate adhered to the front surface of the flow path module, and having a nozzle for discharging ink at a position corresponding to the pressure chamber, a vibration plate bonded to the back surface of the flow path module, and the vibration plate And a piezoelectric vibrator in contact with a place corresponding to the pressure chamber on the back of the piezoelectric vibrator. The pressure chamber has a pressure chamber penetrating portion penetrating the flow channel module from the front surface to the rear surface, and a pressure chamber back groove portion formed on the rear surface of the flow channel module as a groove communicating with the pressure chamber penetrating portion. In addition, the ink supply path includes a back side ink supply path formed as a groove connecting the pressure chamber back groove and the reservoir chamber on the back of the flow path module, and a pressure chamber and a reservoir chamber on the front of the flow path module. And a front ink supply path formed as a connecting groove. Both the back ink supply path and the front ink supply path are thinner than the pressure chamber back groove, and the front ink supply path is longer than the back ink supply path.

【0011】このインクジェット記録ヘッドによれば、
圧力室とリザーバ室とが、流路モジュールの前面と背面
に溝として形成された2系統の流路を通じて繋がってい
る。そのため、低温環境で圧力室内のインクが凍結して
いくとき、凍結によるインクの体積膨張分に相当するイ
ンクが、圧力室からリザーバ室へ、前面と背面の2系統
の流路を通って容易に逃げることができる。その結果、
インク凍結時の圧力室の内圧の上昇が抑制され、圧力室
周囲における流路モジュールとノズルプレートとの接着
面の破壊が防止される。
According to this ink jet recording head,
The pressure chamber and the reservoir chamber are connected through two channels formed as grooves on the front and back surfaces of the channel module. Therefore, when the ink in the pressure chamber freezes in a low-temperature environment, the ink corresponding to the volume expansion of the ink due to the freezing easily flows from the pressure chamber to the reservoir chamber through the two flow paths of the front surface and the back surface. You can escape. as a result,
An increase in the internal pressure of the pressure chamber when the ink is frozen is suppressed, and the destruction of the adhesive surface between the flow path module and the nozzle plate around the pressure chamber is prevented.

【0012】また、このインクジェット記録ヘッドで
は、圧力室とリザーバ室とを繋ぐインク供給路が、流路
モジュールの背面に溝として形成された背側インク供給
路と、流路モジュールの前面に溝として形成された前側
インク供給路とから構成される。背側インク供給路と前
側インク供給路は共に圧力室背溝部よりも細く、且つ、
前側インク供給路は背側インク供給路よりも長い。この
流路構成によれば、流路モジュールの背面と前面に2系
統の流路を設けてはいても、圧力室の体積が不必要に大
きくなることがないため、高速印刷に容易に対応でき、
また、特に気泡の停留し易い背面側の流路でのインクの
流れも良いため、気泡を除去できる能力も良好である。
In this ink jet recording head, the ink supply path connecting the pressure chamber and the reservoir chamber has a back side ink supply path formed as a groove on the back of the flow path module and a groove on the front side of the flow path module. And the formed front ink supply path. Both the back side ink supply path and the front side ink supply path are thinner than the pressure chamber back groove, and
The front ink supply path is longer than the back ink supply path. According to this flow path configuration, even if two flow paths are provided on the back and front of the flow path module, the volume of the pressure chamber does not become unnecessarily large, so that it is possible to easily cope with high-speed printing. ,
In addition, since the ink flow is particularly good in the flow path on the back side where bubbles are likely to stay, the ability to remove bubbles is also good.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】図1は、本発明の一実施形態にか
かるインクジェットプリンタで用いられる記録ヘッドの
全体構成を示す分解斜視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view showing the overall configuration of a recording head used in an ink jet printer according to an embodiment of the present invention.

【0014】なお、インクジェットプリンタは、記録ヘ
ッドのほかに、記録ヘッドを移動させるキャリッジ機
構、用紙を搬送する用紙搬送機構、これらの機構を駆動
する駆動回路、ホスト装置から印刷データを受けて印刷
イメージを作成し駆動回路を制御する制御回路などを備
えるが、これらの記録ヘッド以外の構成要素について
は、特に説明せずとも当業者は理解できるから、本明細
書では説明を省略する。
The ink jet printer includes a printhead, a carriage mechanism for moving the printhead, a paper transport mechanism for transporting paper, a drive circuit for driving these mechanisms, and a print image receiving print data from a host device. And a control circuit for controlling the drive circuit, etc., but the components other than these recording heads can be understood by those skilled in the art without particular description, and therefore, the description thereof is omitted in this specification.

【0015】図1に示す記録ヘッドは、合成樹脂製のヘ
ッドケース10を有する。このヘッドケース10の前面
13に、インク噴射ユニット9が接着剤などで固定され
る。インク噴射ユニット9は、ノズルプレート6と、プ
レート状の流路モジュール(以下、流路プレートとい
う)4と、可撓性の振動板8とが積層され接着剤などで
接着されたものである。
The recording head shown in FIG. 1 has a head case 10 made of synthetic resin. The ink jet unit 9 is fixed to the front surface 13 of the head case 10 with an adhesive or the like. The ink jet unit 9 includes a nozzle plate 6, a plate-shaped flow path module (hereinafter, referred to as a flow path plate) 4, and a flexible diaphragm 8, which are laminated and bonded with an adhesive or the like.

【0016】ノズルプレート6は、ステンレススティー
ルの圧延プレートである。ノズルプレート6には、多数
のノズル孔5が、複数の列(この例では5列)をなす配
列で穿たれている。流路プレート4は、シリコン単結晶
板から作られている。流路プレート4には、ノズルプレ
ート6の多数のノズル孔5にそれぞれ連通する多数の圧
力室1と、ヘッドケース10の方から供給されるインク
を一時的に蓄えるリザーバ室2と、リザーバ室2から圧
力室1へインクを送るインク供給路3とが、エッチング
によって形成されている。
The nozzle plate 6 is a stainless steel rolled plate. A large number of nozzle holes 5 are formed in the nozzle plate 6 in a plurality of rows (five rows in this example). The channel plate 4 is made of a silicon single crystal plate. The flow path plate 4 has a number of pressure chambers 1 communicating with a number of nozzle holes 5 of the nozzle plate 6, a reservoir chamber 2 for temporarily storing ink supplied from the head case 10, and a reservoir chamber 2. An ink supply path 3 for sending ink from the pressure chamber 1 to the pressure chamber 1 is formed by etching.

【0017】圧力室1は、ノズル孔5にそれぞれ対応す
る配置で複数列(この例では5列)に配列されている。
リザーバ室2は、圧力室1の各列に1室づつ、各列に沿
って細長く延びた形状に形成されている。後に図4を参
照して詳細に説明するように、リザーバ室2と圧力室1
の一部分は、フルエッチングにより流路プレート4を上
下に完全に貫通するよう形成されており、インク供給路
3と圧力室1の大部分は、ハーフエッチングにより流路
プレート4の上面と下面に浅い溝として形成されてい
る。流路プレート4には、さらに、向かい合う圧力室1
の列と列の間に、流路プレート4を上下に完全に貫通す
る細長いスリット11を有している。
The pressure chambers 1 are arranged in a plurality of rows (five rows in this example) in an arrangement corresponding to the nozzle holes 5, respectively.
The reservoir chamber 2 is formed in a shape elongated in each row of the pressure chambers 1, one chamber in each row. As described later in detail with reference to FIG. 4, the reservoir chamber 2 and the pressure chamber 1
Is formed so as to completely penetrate the flow path plate 4 up and down by full etching, and most of the ink supply path 3 and the pressure chamber 1 are shallow on the upper and lower surfaces of the flow path plate 4 by half etching. It is formed as a groove. The flow path plate 4 further includes the pressure chambers 1 facing each other.
The slits 11 which completely penetrate the flow path plate 4 up and down are provided between the rows.

【0018】振動板8は、薄い合成樹脂シートとステン
レススティールシートとの複合板であり、可撓性を有し
ている。振動板8には、リザーバ室2の中央に相当する
位置に、インク導入口12が穿たれている。
The diaphragm 8 is a composite plate of a thin synthetic resin sheet and a stainless steel sheet, and has flexibility. The diaphragm 8 is provided with an ink inlet 12 at a position corresponding to the center of the reservoir chamber 2.

【0019】ヘッドケース10は、熱硬化性樹脂や熱可
塑性樹脂の射出成形により作られたもので、その前面1
3のインク導入口12に対応した位置に、リザーバ室2
にインクを導入するためのインク供給管14の出口が設
けられている。また、リザーバ室2に対応する領域に、
リザーバ室2の形状と略一致する形状の凹部15が形成
されている。この凹部15の底面のインク供給管14の
両側には、ノズル孔5の列方向に延びた空気抜き孔17
が上記底面を貫通して穿たれている。凹部15は、リザ
ーバ室2の下側開口を封止する振動板8の変形空間であ
る。インク吐出時のリザーバ室2内の圧力変動は、振動
板8の変形によって吸収される。
The head case 10 is made by injection molding of a thermosetting resin or a thermoplastic resin.
The reservoir chamber 2 is located at a position corresponding to the ink introduction port 12 of the reservoir 3.
An outlet of the ink supply pipe 14 for introducing ink into the ink supply port is provided. In the area corresponding to the reservoir chamber 2,
A recess 15 having a shape substantially matching the shape of the reservoir chamber 2 is formed. Air vent holes 17 extending in the row direction of the nozzle holes 5 are provided on both sides of the ink supply pipe 14 on the bottom surface of the recess 15.
Are drilled through the bottom surface. The recess 15 is a deformation space of the diaphragm 8 that seals the lower opening of the reservoir chamber 2. The pressure fluctuation in the reservoir chamber 2 at the time of ink ejection is absorbed by the deformation of the diaphragm 8.

【0020】ヘッドケース10の前面13の圧力室1の
各列に対応する位置に、圧電振動子7の先端を前面13
に露呈させるための窓16が形成されている。圧電振動
子7はヘッドケース10の内部に固定されており、圧電
振動子7の先端が窓16を通って振動板8に接着されて
いる。
At the position corresponding to each row of the pressure chambers 1 on the front surface 13 of the head case 10, the front end of the piezoelectric vibrator 7 is
A window 16 for exposing to the outside is formed. The piezoelectric vibrator 7 is fixed inside the head case 10, and the tip of the piezoelectric vibrator 7 is bonded to the diaphragm 8 through the window 16.

【0021】図2はノズルプレート6の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the nozzle plate 6.

【0022】ノズルプレート6は、ステンレススティー
ルの圧延プレートであり、図示のように長方形の平面形
状をもち、その短辺の方向が圧延方向と一致している、
つまり、長辺の方向が圧延方向に直交している。金属の
圧延プレートの線膨張率は一般に、圧延方向で大きく、
それに直交行する方向で小さい。ゆえに、圧延方向を長
辺方向と直交させることにより、温度変化によるノズル
プレート6の線膨張、収縮の量は最小限に抑えられる。
そのため、ノズルプレート6と、それより遥かに小さい
線膨張率をもつシリコン製の流路プレート4との接着
が、温度変化による線膨張又は収縮により壊される虞が
最小限に抑えられる。
The nozzle plate 6 is a rolled plate of stainless steel, has a rectangular plane shape as shown in the drawing, and the direction of the short side thereof matches the rolling direction.
That is, the direction of the long side is orthogonal to the rolling direction. Generally, the linear expansion coefficient of a metal rolling plate is large in the rolling direction,
It is small in the direction perpendicular to it. Therefore, by making the rolling direction perpendicular to the long side direction, the amount of linear expansion and contraction of the nozzle plate 6 due to a temperature change can be minimized.
Therefore, the possibility that the adhesion between the nozzle plate 6 and the flow path plate 4 made of silicon having a much smaller linear expansion coefficient is broken by the linear expansion or contraction due to a temperature change can be minimized.

【0023】図3に示すように、ノズル孔5が本実施形
態とは異なる方向に並んでいるノズルプレート106に
おいても、ノズル孔5の配列方向とは関係無しに、圧延
方向と直交する方向に長辺方向が選ばれる。また、仮に
方形とは異なる平面形状をもつノズルプレートを用いる
場合には、上記の原理に従がい、ノズルプレートの平面
形状がもつ長短の外寸法のうち、長い方の外寸法(例え
ば、三角形や台形の底辺と高さのうち長い方、楕円の長
径など)の方向が圧延方向に直交するように選ばれる。
As shown in FIG. 3, even in the nozzle plate 106 in which the nozzle holes 5 are arranged in a direction different from that of the present embodiment, regardless of the arrangement direction of the nozzle holes 5, the nozzle plate 106 extends in a direction orthogonal to the rolling direction. The long side direction is selected. Further, if a nozzle plate having a plane shape different from a square is used, the longer one of the longer and shorter outer dimensions of the plane shape of the nozzle plate (for example, a triangle or The direction of the longer one of the base and height of the trapezoid, the major axis of the ellipse, etc.) is selected so as to be orthogonal to the rolling direction.

【0024】図4は、この記録ヘッドの流路プレート4
を中心とした部分の断面図である。図5は、図4のA−
A線に沿った断面図であり、図6は図4のB−B線に沿
った断面図である。尚、図4は、図5及び図6のC−C
線に沿った断面図である(流路に沿って切断したため、
図5と図6ではC−C切断ラインの位置が部分的に異っ
ていることに注意されたい)。
FIG. 4 shows the flow path plate 4 of the recording head.
It is sectional drawing of the part centering on FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view of FIG.
FIG. 6 is a sectional view taken along the line A, and FIG. 6 is a sectional view taken along the line BB in FIG. FIG. 4 is a sectional view taken along the line CC of FIGS. 5 and 6.
It is a cross-sectional view along the line (because it was cut along the flow path,
Note that the position of the CC cutting line is partially different between FIG. 5 and FIG. 6).

【0025】インクジェット記録ヘッドは、通常、図4
に示すように、ノズル孔5を下方に向けた姿勢で配置さ
れる。既に説明したように、流路プレート4には、圧力
室1と、リザーバ室2と、両者を結ぶインク供給路3と
が形成されている。
The ink-jet recording head is generally provided with a recording head shown in FIG.
As shown in the figure, the nozzle holes 5 are arranged in a posture facing downward. As described above, the pressure chamber 1, the reservoir chamber 2, and the ink supply path 3 connecting the pressure chamber 1 and the reservoir chamber 2 are formed in the flow path plate 4.

【0026】図4に示すように、圧力室1は、フルエッ
チングにより流路プレート4を貫通して形成された貫通
部1aと、ハーフエッチングにより流路プレート4の前
面(図中の下面)に浅い溝として形成された前溝部1b
と、ハーフエッチングにより流路プレート4の背面(図
中の上面)に浅い溝として形成された背溝部1cとから
構成される。貫通部1aは、ノズル孔5の背後に位置し
ている。この貫通部1aの背溝部1寄りの一部分と背溝
部1の大部分の背面に、振動板8を介して圧電振動子7
からの振動が加わるようになっている。
As shown in FIG. 4, the pressure chamber 1 has a penetrating portion 1a formed through the flow path plate 4 by full etching and a front surface (lower surface in the figure) of the flow path plate 4 by half etching. Front groove 1b formed as a shallow groove
And a back groove portion 1c formed as a shallow groove on the back surface (upper surface in the figure) of the flow path plate 4 by half etching. The through portion 1 a is located behind the nozzle hole 5. A piezoelectric vibrator 7 is provided on a portion of the through portion 1a near the back groove 1 and on the back of most of the back groove 1 via a diaphragm 8.
Vibration is applied.

【0027】図5及び図6に示すように、圧力室1はど
の部分も、圧電振動子7の前面の幅に見合う十分な幅W1
を有している。図6に示すように、背溝部1cは、圧電
振動子7の前面の長さに見合う十分な長さL1cを有
し、リザーバ室2の近くまで延びている。一方、図5に
示すように、前溝部1bの長さL1bは、背溝部1cに
比べて遥かに短く、圧力室1の前溝部1bの体積は、背
溝部1cや貫通部1aに比較して遥かに小さい。
As shown in FIGS. 5 and 6, each pressure chamber 1 has a width W1 sufficient to match the width of the front surface of the piezoelectric vibrator 7.
have. As shown in FIG. 6, the back groove 1 c has a sufficient length L 1 c corresponding to the length of the front surface of the piezoelectric vibrator 7 and extends near the reservoir chamber 2. On the other hand, as shown in FIG. 5, the length L1b of the front groove portion 1b is much shorter than the back groove portion 1c, and the volume of the front groove portion 1b of the pressure chamber 1 is smaller than that of the back groove portion 1c or the through portion 1a. Much smaller.

【0028】リザーバ室2はフルエッチングにより流路
プレート4を貫通して形成された貫通部2aと、ハーフ
エッチングにより流路プレート4の前面に浅いテラスの
ように形成された前庭部2bと、ハーフエッチングによ
り流路プレート4の背面に浅いテラスのように形成され
た背庭部2cとから構成される。
The reservoir chamber 2 has a penetrating portion 2a formed through the flow path plate 4 by full etching, a vestibular part 2b formed like a shallow terrace on the front surface of the flow path plate 4 by half etching, A back yard 2c formed as a shallow terrace on the back of the flow path plate 4 by etching.

【0029】インク供給路3は、圧力室1の前溝部1b
とリザーバ室2の前庭部2bとを繋ぐように、ハーフエ
ッチングにより流路プレート4の前面に浅い溝として形
成された前供給路3aと、圧力室1の背溝部1cとリザ
ーバ室2の背庭部2cとを繋ぐように、ハーフエッチン
グにより流路プレート4の背面に浅い溝として形成され
た背供給路3bとから構成される。図6に示すように、
背供給路3bは、極めて細く且つ短い2本の流路から成
り、その太さはこの2本の流路を足し合わせても圧力室
1の背溝部1cに比べて遥かに細い。図5に示すよう
に、前供給路3aは、細く且つ長い一本の流路であり、
その長さは背供給路3bより遥かに長く、また、その太
さは圧力室1の前溝部1aよりも遥かに細い。
The ink supply passage 3 is provided with a front groove 1 b of the pressure chamber 1.
The front supply path 3a formed as a shallow groove on the front surface of the flow path plate 4 by half-etching so as to connect the front chamber 2b of the reservoir chamber 2 with the front yard 2b of the reservoir chamber 2; And a back supply path 3b formed as a shallow groove on the back surface of the flow path plate 4 by half-etching so as to connect with the portion 2c. As shown in FIG.
The back supply path 3b is composed of two extremely thin and short flow paths, and the thickness thereof is much smaller than the back groove 1c of the pressure chamber 1 even when the two flow paths are added. As shown in FIG. 5, the front supply path 3a is a thin and long single flow path,
Its length is much longer than the back supply passage 3b, and its thickness is much thinner than the front groove 1a of the pressure chamber 1.

【0030】上記流路構成において、リザーバ2からノ
ズル孔5へ至るインク流れの経路には、流路プレート4
の前面側の溝を通る経路、つまり図5に示すように、リ
ザーバ2の前庭部2bから前供給路3aを通り圧力室1
の前溝部1bを経てノズル孔5へ至る前側経路と、流路
プレート4の背面側の溝を通る経路、つまり、図6に示
すように、リザーバ2の背庭部2cから背供給路3bを
通って圧力室1の背溝部1bには入り貫通部1を経てノ
ズル孔5へ至る背側経路とがある。この2つの経路は、
両者の流路抵抗(圧損)を比較した場合、前側経路の方
が背側経路より若干抵抗が大きくなるようになってい
る。つまり、前側経路の方が背側経路より若干インクが
流れ難くなっている。前側経路の流路抵抗を背側経路よ
り大きくするために、前側経路の前供給路3aの長さ
が、背側経路の背供給路3bより遥かに長くなってい
る。
In the above-described flow path configuration, the flow path of the ink from the reservoir 2 to the nozzle holes 5 includes a flow path plate 4
5, that is, as shown in FIG. 5, from the vestibular section 2 b of the reservoir 2 to the pressure chamber 1 through the front supply path 3 a.
The front path leading to the nozzle hole 5 through the front groove 1b and the path passing through the groove on the back side of the flow path plate 4, that is, as shown in FIG. 6, the back supply path 3b from the back yard 2c of the reservoir 2. The back groove 1b of the pressure chamber 1 has a back side path leading to the nozzle hole 5 through the penetrating portion 1 through the back groove 1b. These two routes are
When comparing the flow path resistance (pressure loss) of the two, the front path has a slightly higher resistance than the back path. In other words, the front path has a slightly lower flow of ink than the back path. In order to make the flow resistance of the front path larger than that of the back path, the length of the front supply path 3a of the front path is much longer than that of the back supply path 3b of the back path.

【0031】上述した流路構成によれば、インクが凍結
するような低温環境におかれた場合でも、インク凍結に
よる体積膨張分のインクを圧力室1から効果的に逃がし
て、圧力室1周囲における流路プレート4とノズルプレ
ート6の接着部の破壊を抑制することができる。すなわ
ち、インクの凍結は、外気温度の影響を最も受け易いノ
ズル孔5の直ぐ背後の付近から始まって圧力室1内に広
がっていくであろうが、その過程で、インク凍結によっ
て膨張した体積分のインクが、上述した前側経路と背側
経路の2つの経路を通じてリザーバ室2へ逃げる。その
ため、凍結が生じても圧力室1の内圧は上昇しにくく、
接着部に加わるストレスは過大になりにくい。
According to the above-described flow path configuration, even in a low-temperature environment where the ink freezes, the ink corresponding to the volume expansion due to the freezing of the ink is effectively released from the pressure chamber 1 and the surroundings of the pressure chamber 1 are reduced. The destruction of the bonded portion between the flow path plate 4 and the nozzle plate 6 can be suppressed. That is, the freezing of the ink will start near the nozzle hole 5 which is most susceptible to the outside air temperature, and will spread into the pressure chamber 1, but in the process, the volume expanded by the freezing of the ink will occur. Ink escapes to the reservoir chamber 2 through the two paths, the front path and the back path. Therefore, even if freezing occurs, the internal pressure of the pressure chamber 1 is unlikely to rise,
The stress applied to the bonded portion is unlikely to be excessive.

【0032】このように、上述した流路構成によれば、
流路プレート4に前側経路と背側経路の2つのインク流
路を設けることにより、凍結による接着部の破壊という
問題を解決している。ところが、流路プレート4に2つ
の流路を設けると、一般的には、次の2つの副作用の発
生が懸念される。第1は、圧力室1の体積が増大し、高
速印刷に対応することが難しくなる虞である。第2は、
流路内のインク流速が低下し、流路内から気泡を除去す
る能力が低下する虞である。
As described above, according to the above-described channel structure,
By providing two ink flow paths, a front side path and a back side path, in the flow path plate 4, the problem of breakage of the bonded portion due to freezing is solved. However, when two flow paths are provided in the flow path plate 4, generally, the following two side effects may occur. First, there is a possibility that the volume of the pressure chamber 1 increases and it is difficult to cope with high-speed printing. Second,
There is a possibility that the flow rate of the ink in the flow path decreases, and the ability to remove bubbles from the flow path decreases.

【0033】しかし、上述した流路構成によれば、上述
の副作用を最小限に抑えて、記録ヘッドの高い性能を維
持することが可能である。すなわち、まず第1の点につ
いては、高速印刷を実現するには、高い周波数で圧力室
1を駆動する必要があり、そのため、圧力室1の体積が
十分小さいことが必要である。一般に、圧力室1の貫通
部1aと背溝部1cは、そのサイズが圧電振動子7のサ
イズに依存して決まるので、与えられた圧電振動子のサ
イズの下で圧力室1がもち得る最小の体積は、貫通部1
aと背溝部1cを合わせた体積ということになる。上述
した流路構成によれば、圧力室1の前溝部1bの体積が
非常に小さいため、圧力室1全体の体積は、貫通部1a
と背溝部1cを合わせた体積に近い値となる。つまり、
圧力室1全体の体積は、与えられた圧電振動子のサイズ
の下での最小の体積に近い値となるので、高速駆動に対
応することが容易である。
However, according to the above-described flow path configuration, it is possible to maintain the high performance of the recording head while minimizing the above-mentioned side effects. That is, regarding the first point, in order to realize high-speed printing, it is necessary to drive the pressure chamber 1 at a high frequency, and therefore the volume of the pressure chamber 1 needs to be sufficiently small. Generally, since the size of the penetrating portion 1a and the back groove portion 1c of the pressure chamber 1 is determined depending on the size of the piezoelectric vibrator 7, the minimum size that the pressure chamber 1 can have under a given size of the piezoelectric vibrator is obtained. The volume is the penetration 1
a and the back groove 1c. According to the above-described flow path configuration, since the volume of the front groove 1b of the pressure chamber 1 is very small, the volume of the entire pressure chamber 1 is reduced by the penetration 1a.
It is a value close to the volume of the combination of the back groove 1c. That is,
Since the volume of the entire pressure chamber 1 is close to the minimum volume under the given size of the piezoelectric vibrator, it is easy to cope with high-speed driving.

【0034】次に、第2の副作用については、気泡は、
流路プレート4中では最も高い位置にある背側経路内に
溜まり易い。上述した流路構成によれば、背側流路の方
を前側流路よりインクが流れ易くしているので、気泡除
去の目的でノズル孔5からインク強制吸引などを行った
とき、背側流路内をインクが高速に流れるので、そこに
停留した気泡が効果的に除去することができる。
Next, regarding the second side effect, bubbles are
In the flow path plate 4, it is easy to accumulate in the dorsal path located at the highest position. According to the above-described flow path configuration, the ink flows more easily in the back flow path than in the front flow path. Since the ink flows at a high speed in the path, the air bubbles trapped therein can be effectively removed.

【0035】以上、本発明の一実施形態を説明したが、
これらの実施形態はあくまで本発明の説明のための例示
であり、本発明をこれら実施形態にのみ限定する趣旨で
はない。従って、本発明は、その要旨を逸脱することな
しに、上記実施形態以外の様々な形態でも実施すること
ができる。
As described above, one embodiment of the present invention has been described.
These embodiments are merely examples for describing the present invention, and are not intended to limit the present invention only to these embodiments. Therefore, the present invention can be implemented in various modes other than the above-described embodiment without departing from the gist thereof.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態にかかるインクジェットプ
リンタで用いられる記録ヘッドの全体構成を示す分解斜
視図。
FIG. 1 is an exploded perspective view showing the overall configuration of a recording head used in an inkjet printer according to an embodiment of the present invention.

【図2】同実施形態のノズルプレートの平面図。FIG. 2 is a plan view of the nozzle plate of the embodiment.

【図3】別のノズルプレートの平面図。FIG. 3 is a plan view of another nozzle plate.

【図4】同実施形態の記録ヘッドの流路プレート4を中
心とした部分の断面図。。
FIG. 4 is a sectional view of a portion centering on a flow path plate 4 of the recording head of the embodiment. .

【図5】図4のA−A線に沿った断面図。FIG. 5 is a sectional view taken along line AA of FIG. 4;

【図6】図4のB−B線に沿った断面図。FIG. 6 is a sectional view taken along the line BB of FIG. 4;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 圧力室 1a 圧力室の貫通部 1b 圧力室の前溝部 1c 圧力室の背溝部 2 リザーバ室 3 インク供給路 3a 前側インク供給路 3b 背側インク供給路 4 流路プレート(流路モジュール) 5 ノズル孔 6 ノズルプレート 7 圧電振動子 8 振動板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pressure chamber 1a Penetration part of pressure chamber 1b Front groove part of pressure chamber 1c Back groove part of pressure chamber 2 Reservoir chamber 3 Ink supply path 3a Front side ink supply path 3b Back side ink supply path 4 Flow path plate (flow path module) 5 nozzle Hole 6 nozzle plate 7 piezoelectric vibrator 8 diaphragm

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 インク吐出用のノズルを有したノズルプ
レートと、ノズルプレートに接着された、インク流路を
もつ流路モジュールとを備え、前記ノズルプレートは長
短の外寸法をもつ平面形状を有する金属の圧延プレート
であり、前記ノズルプレートの平面形状の長い方の外寸
法の方向が圧延方向と略直交しているインクジェット記
録ヘッド。
1. A nozzle plate having nozzles for ink discharge, and a flow path module having an ink flow path adhered to the nozzle plate, wherein the nozzle plate has a planar shape having long and short outer dimensions. An ink jet recording head, which is a metal rolling plate, wherein a direction of a longer outer dimension of a planar shape of the nozzle plate is substantially orthogonal to a rolling direction.
【請求項2】 前記流路モジュールがシリコン単結晶基
板で作られている請求項1記載のインクジェット記録ヘ
ッド。
2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein said flow channel module is made of a silicon single crystal substrate.
【請求項3】 インクジェット記録ヘッドと、前記記録
ヘッドを移動させるキャリッジ機構と、前記用紙を搬送
する用紙搬送機構と、これらの機構を駆動する駆動回路
と、ホスト装置から印刷データを受けて印刷イメージを
作成し前記駆動回路を制御する制御回路とを備え、 前記記録ヘッドは、インク吐出用のノズルを有したノズ
ルプレートと、ノズルプレートに接着された、インク流
路をもつ流路モジュールとを備え、前記ノズルプレート
は長短の外寸法をもつ平面形状を有する金属の圧延プレ
ートであり、前記ノズルプレートの平面形状の長い方の
外寸法の方向が圧延方向と略直交しているインクジェッ
トプリンタ。
3. An inkjet recording head, a carriage mechanism for moving the recording head, a paper transport mechanism for transporting the paper, a drive circuit for driving these mechanisms, and a print image receiving print data from a host device. And a control circuit for controlling the drive circuit.The recording head includes a nozzle plate having nozzles for ink ejection, and a flow path module having an ink flow path bonded to the nozzle plate. An ink jet printer in which the nozzle plate is a metal rolling plate having a planar shape with long and short outer dimensions, and the direction of the longer outer dimension of the planar shape of the nozzle plate is substantially orthogonal to the rolling direction.
【請求項4】 前記流路モジュールがシリコン単結晶基
板で作られている請求項3記載のインクジェットプリン
タ。
4. The ink jet printer according to claim 3, wherein said flow channel module is made of a silicon single crystal substrate.
【請求項5】 前面と背面とをもち、圧力室と、リザー
バ室と、前記リザーバ室から前記圧力室へインクを供給
するためのインク供給路とを有する流路モジュールと、 前記流路モジュールの前面に接着され、前記圧力室に対
応する位置にインク吐出用のノズルを有したノズルプレ
ートと、 前記流路モジュールの背面に接着された振動板と、 前記振動板の背面の前記圧力室に対応する場所に当接し
た圧電振動子とを備え、 前記圧力室が、 前記流路モジュールを前面から背面へ貫通した圧力室貫
通部と、 前記流路モジュールの背面に、前記圧力室貫通部と連通
した溝として形成された圧力室背溝部とを有し、 前記インク供給路が、 流路モジュールの背面に、前記圧力室背溝部と前記リザ
ーバ室とを繋ぐ溝として形成された、前記圧力室背溝部
よりも細い背側インク供給路と、 流路モジュールの前面に、前記圧力室と前記リザーバ室
とを繋ぐ溝として形成された、圧力室背溝部よりも細く
且つ前記背側インク供給路よりも長い前側インク供給路
とを有するインクジェット記録ヘッド。
5. A flow path module having a front surface and a back surface, having a pressure chamber, a reservoir chamber, and an ink supply path for supplying ink from the reservoir chamber to the pressure chamber, A nozzle plate adhered to the front surface and having an ink discharge nozzle at a position corresponding to the pressure chamber; a diaphragm adhered to the back surface of the flow path module; and a diaphragm corresponding to the pressure chamber on the back surface of the diaphragm. A piezoelectric vibrator in contact with a place where the pressure chamber penetrates, and the pressure chamber communicates with the pressure chamber penetrating part on the back side of the flow path module. A pressure chamber back groove formed as a groove formed in the pressure chamber, wherein the ink supply path is formed as a groove connecting the pressure chamber back groove and the reservoir chamber on a back surface of the flow path module. Groove A thinner back-side ink supply path, formed on the front face of the flow path module as a groove connecting the pressure chamber and the reservoir chamber, and thinner than the back-side ink supply path of the pressure chamber and longer than the back-side ink supply path. An ink jet recording head having a front ink supply path.
【請求項6】 インクジェット記録ヘッドと、前記記録
ヘッドを移動させるキャリッジ機構と、前記用紙を搬送
する用紙搬送機構と、これらの機構を駆動する駆動回路
と、ホスト装置から印刷データを受けて印刷イメージを
作成し前記駆動回路を制御する制御回路とを備え、 前記記録ヘッドは、 前面と背面とをもち、圧力室と、リザーバ室と、前記リ
ザーバ室から前記圧力室へインクを供給するためのイン
ク供給路とを有する流路モジュールと、 前記流路モジュールの前面に接着され、前記圧力室に対
応する位置にインク吐出用のノズルを有したノズルプレ
ートと、 前記流路モジュールの背面に接着された振動板と、 前記振動板の背面の前記圧力室に対応する場所に当接し
た圧電振動子とを備え、 前記圧力室が、 前記流路モジュールを前面から背面へ貫通した圧力室貫
通部と、 前記流路モジュールの背面に、前記圧力室貫通部と連通
した溝として形成された圧力室背溝部とを有し、 前記インク供給路が、 流路モジュールの背面に、前記圧力室背溝部と前記リザ
ーバ室とを繋ぐ溝として形成された、前記圧力室背溝部
よりも細い背側インク供給路と、 流路モジュールの前面に、前記圧力室と前記リザーバ室
とを繋ぐ溝として形成された、圧力室背溝部よりも細く
且つ前記背側インク供給路よりも長い前側インク供給路
とを有するインクジェットプリンタ。
6. An inkjet recording head, a carriage mechanism for moving the recording head, a paper transport mechanism for transporting the paper, a drive circuit for driving these mechanisms, and a print image receiving print data from a host device. And a control circuit for controlling the drive circuit, wherein the recording head has a front surface and a back surface, a pressure chamber, a reservoir chamber, and ink for supplying ink from the reservoir chamber to the pressure chamber. A flow path module having a supply path; a nozzle plate bonded to a front surface of the flow path module and having a nozzle for discharging ink at a position corresponding to the pressure chamber; and a flow path module bonded to a back surface of the flow path module. A vibration plate, and a piezoelectric vibrator in contact with a position corresponding to the pressure chamber on the back surface of the vibration plate, wherein the pressure chamber is in front of the flow path module. And a pressure chamber back groove formed as a groove communicating with the pressure chamber through section on the back of the flow path module, wherein the ink supply path is formed by a flow path module. A back side ink supply path formed as a groove connecting the pressure chamber back groove and the reservoir chamber on the back side of the pressure chamber; and a back side ink supply path smaller than the pressure chamber back groove, and the pressure chamber and the reservoir on the front side of the flow path module. An ink-jet printer having a front ink supply path formed as a groove connecting the chambers, the front ink supply path being thinner than the pressure chamber back groove and longer than the back ink supply path.
【請求項7】 前記記録ヘッドに使用するインクが水性
染料インクまたは水性顔料インクである請求項6記載の
インクジェットプリンタ。
7. The ink jet printer according to claim 6, wherein the ink used for the recording head is an aqueous dye ink or an aqueous pigment ink.
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