JP2003205612A - Ink-jet head - Google Patents

Ink-jet head

Info

Publication number
JP2003205612A
JP2003205612A JP2002007245A JP2002007245A JP2003205612A JP 2003205612 A JP2003205612 A JP 2003205612A JP 2002007245 A JP2002007245 A JP 2002007245A JP 2002007245 A JP2002007245 A JP 2002007245A JP 2003205612 A JP2003205612 A JP 2003205612A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink
frame
plate
flow path
jet head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002007245A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takayuki Hiyoshi
隆之 日吉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP2002007245A priority Critical patent/JP2003205612A/en
Publication of JP2003205612A publication Critical patent/JP2003205612A/en
Granted legal-status Critical Current

Links

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink-jet head having nozzles in high density at a low production cost. <P>SOLUTION: The ink-jet head 1 can be divided into a plurality of frame blocks 2a, 2b, elongating in the direction of the row of a plurality of nozzles, and arranged in the direction orthogonal to the nozzle row direction. In each frame blocks 2a, 2b, ink channels 11a, 11b and common liquid chambers 10a, 10b communicating with the ink channel 11a, 11b are formed. Thereby, the common liquid chambers 10a, 10b of the frame blocks 2a, 2b can be positioned easily and accurately with an ink supply path 13 of a vibration plate 3 or an ink supply path 14 of a channel plate 4 so that the ink-jet head 1 can be provided highly accurately at a low production cost by preventing leakage of the ink at an ink connection part appropriately and easily even in the case multiple nozzles 16 are provided in high density. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドに関し、詳細には、ノズルを高密度化した製造コス
トの安価なインクジェットヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet head, and more particularly, to an ink jet head having high density nozzles and a low manufacturing cost.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェットプリンタは、現像・定着
等のプロセスを必要とせず、非接触で記録を行うことが
できるために、記録時の騒音が極めて小さいこと、高速
印字が可能であること、インクの自由度が高く、安価な
普通紙を使用できることなど多くの利点を有している。
2. Description of the Related Art Ink jet printers are capable of non-contact recording without the need for processes such as development and fixing. Therefore, noise during recording is extremely low, high speed printing is possible, and ink It has many advantages such as high flexibility and the ability to use inexpensive plain paper.

【0003】また、最近のインクジェット記録装置に
は、高速・高印字品質が求められており、高速化・高印
字品質を達成するためには、ノズルをマルチ化、高密度
化する必要がある。
Further, recent ink jet recording apparatuses are required to have high speed and high print quality, and in order to achieve high speed and high print quality, it is necessary to use multiple nozzles and have a high density.

【0004】従来、インクジェットプリンタにおいて
は、ノズルを高密度化の達成手段として、ノズル列を複
数列形成して、当該各ノズル列のノズルを千鳥状に互い
違いに配置して、副走査方向の書き込み密度を高密度化
する方法がよく用いられている。
Conventionally, in an ink jet printer, as a means for achieving high density of nozzles, a plurality of nozzle rows are formed, and the nozzles of the respective nozzle rows are arranged in a staggered manner and writing in the sub-scanning direction is performed. A method of increasing the density is often used.

【0005】このような千鳥状にノズルを配設したイン
クジェットヘッドとしては、二列のノズル列を有する一
般的なインクジェットヘッドの場合、例えば、図6に示
すように、インクジェットヘッド100は、フレーム1
01上に振動板102、シリコン基板である流路板10
3及びノズル板104が順次積層され、フレーム101
内に、FPC105とPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)
アクチュエータ106の装備された金属基板107が挿
入され、また、ノズル板104上からノズルカバー10
8が装着される。
In the case of a general ink jet head having two rows of nozzles as the ink jet head in which the nozzles are arranged in a staggered manner, for example, as shown in FIG.
01 on the diaphragm 102, the flow path plate 10 which is a silicon substrate
3 and the nozzle plate 104 are sequentially stacked, and the frame 101
Inside, FPC105 and PZT (lead zirconate titanate)
The metal substrate 107 equipped with the actuator 106 is inserted, and the nozzle cover 10 is placed on the nozzle plate 104.
8 is attached.

【0006】フレーム101には、インク供給タンクま
たはインクカートリッジからのインクを供給するインク
流路109が形成されており、振動板102及び流路板
103には、このインク流路109に連通するインク供
給口110が形成されている。流路板103には、イン
ク供給路111と圧力室112が形成されており、ノズ
ル板104には、流路板103の各圧力室112に連通
するノズル113が、2列のノズル列として、また、相
互のノズル列の各ノズル113が互い違いとなる千鳥状
に形成されている。
An ink flow path 109 for supplying ink from an ink supply tank or an ink cartridge is formed in the frame 101, and an ink communicating with the ink flow path 109 is formed in the vibrating plate 102 and the flow path plate 103. The supply port 110 is formed. An ink supply path 111 and a pressure chamber 112 are formed in the flow path plate 103, and a nozzle 113 communicating with each pressure chamber 112 of the flow path plate 103 is formed in the nozzle plate 104 as two nozzle rows. In addition, the nozzles 113 of the mutual nozzle rows are formed in a staggered pattern that is staggered.

【0007】流路板103は、図7にその拡大平面図を
示すように、各ノズル113に連通する圧力室112は
インク供給路111を介して共通液室114に連通して
いる。インクは、共通液室114の一部にあけられたイ
ンク供給口111から共通液室114に供給され、共通
液室114からインク供給路111を介して各個別の圧
力室112に供給される。なお、図7において、実線
は、流路板103上のレイアウトパターンを示してお
り、破線は、ノズル113の位置を示している。
As shown in the enlarged plan view of FIG. 7, in the flow path plate 103, the pressure chamber 112 communicating with each nozzle 113 communicates with the common liquid chamber 114 via the ink supply passage 111. Ink is supplied to the common liquid chamber 114 from an ink supply port 111 formed in a part of the common liquid chamber 114, and is supplied from the common liquid chamber 114 to each individual pressure chamber 112 via the ink supply passage 111. In FIG. 7, the solid line shows the layout pattern on the flow path plate 103, and the broken line shows the position of the nozzle 113.

【0008】ところが、このような従来のインクジェッ
トヘッド100にあっては、シリコン基板である流路板
103上の共通液室114とインク供給路111及び圧
力室112を連続したパターンで作成しており、一方、
シリコン基板は、厚みを厚くすると、貫通加工の際の加
工時間が増加するため、通常、ハンドリングの際の割れ
を回避できるところまで薄くすることが望まれる。しか
し、共通液室114を流路板103に作成する場合、共
通液室114の高さはこのシリコン基板の厚さが上限と
なってしまうため、インク供給口111から各インク供
給路111への流体抵抗値を改善することが難しく、高
速化を図る上での問題となっていた。
However, in such a conventional ink jet head 100, the common liquid chamber 114, the ink supply passage 111 and the pressure chamber 112 on the flow passage plate 103 which is a silicon substrate are formed in a continuous pattern. ,on the other hand,
When the thickness of the silicon substrate is increased, the processing time at the time of penetration processing increases, so that it is usually desired to reduce the thickness to a point where cracking during handling can be avoided. However, when the common liquid chamber 114 is formed in the flow path plate 103, the height of the common liquid chamber 114 becomes the upper limit of the thickness of the silicon substrate, and therefore the ink supply port 111 to each ink supply passage 111 is formed. It is difficult to improve the fluid resistance value, which has been a problem in increasing the speed.

【0009】さらに、共通液室114全体の体積も、シ
リコン基板の厚さによって現実的には上限が決められて
しまい、共通液室114内の圧力変動を抑えるために必
要な体積を得ることが難しく、このため別の方法でコン
プライアンスを確保する必要があった。
Furthermore, the upper limit of the total volume of the common liquid chamber 114 is practically determined by the thickness of the silicon substrate, and the volume necessary to suppress the pressure fluctuation in the common liquid chamber 114 can be obtained. Difficult, which made it necessary to ensure compliance in another way.

【0010】そこで、従来、図8及び図9に示すような
インクジェットヘッド120が提案されている。このイ
ンクジェットヘッド120は、フレーム121に共通液
室122を設けて、共通液室122の体積を拡大してい
る。なお、図8及び図9において、図6及び図7と同様
の構成部分には、同一の符号を付している。
Therefore, conventionally, an ink jet head 120 as shown in FIGS. 8 and 9 has been proposed. In this inkjet head 120, a common liquid chamber 122 is provided in a frame 121 to expand the volume of the common liquid chamber 122. In FIGS. 8 and 9, the same components as those in FIGS. 6 and 7 are designated by the same reference numerals.

【0011】このインクジェットヘッド120は、フレ
ーム121上に振動板123、シリコン基板である流路
板124及びノズル板104が順次積層され、フレーム
121内に、FPC105とPZT(チタン酸ジルコン
酸鉛)アクチュエータ106の装備された金属基板10
7が挿入され、また、ノズル板104上からノズルカバ
ー108が装着される。
In this ink jet head 120, a vibrating plate 123, a flow path plate 124 which is a silicon substrate, and a nozzle plate 104 are sequentially laminated on a frame 121, and an FPC 105 and a PZT (lead zirconate titanate) actuator are provided in the frame 121. Metal board 10 equipped with 106
7 is inserted, and the nozzle cover 108 is attached from above the nozzle plate 104.

【0012】そして、図8及び図9に示すように、フレ
ーム121の振動板123側の面に、共通液室122が
形成されており、この共通液室122に連通するインク
流路125が形成されて、インク供給タンクまたはイン
クカートリッジからのインクをインク流路125から共
通液室122に供給する。
As shown in FIGS. 8 and 9, a common liquid chamber 122 is formed on the surface of the frame 121 on the side of the vibrating plate 123, and an ink flow path 125 communicating with the common liquid chamber 122 is formed. Then, the ink from the ink supply tank or the ink cartridge is supplied from the ink flow path 125 to the common liquid chamber 122.

【0013】振動板123には、フレーム121の共通
液室122に連通する複数のインク供給路126が形成
されており、流路板124には、インク供給路127と
圧力室128が形成されている。
A plurality of ink supply passages 126 communicating with the common liquid chamber 122 of the frame 121 are formed in the vibrating plate 123, and an ink supply passage 127 and a pressure chamber 128 are formed in the flow passage plate 124. There is.

【0014】このインクジェットヘッド120は、イン
クがインク流路125からフレーム121の共通液室1
22に供給され、共通液室122から振動板123に形
成されたインク供給路126を通して流路板124のイ
ンク供給路127に供給されて、さらに、インク供給路
127から各圧力室128に供給される。
In the ink jet head 120, the ink flows from the ink flow path 125 to the common liquid chamber 1 of the frame 121.
22 is supplied to the ink supply path 127 of the flow path plate 124 from the common liquid chamber 122 through the ink supply path 126 formed in the vibration plate 123, and further is supplied from the ink supply path 127 to each pressure chamber 128. It

【0015】[0015]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のインクジェットヘッドにあっては、フレーム
121に共通液室122を形成して、インクを、このフ
レーム121の共通液室122から振動板123に形成
されたインク供給路126を通して流路板124のイン
ク供給路127に供給し、さらに、インク供給路127
から各圧力室128に供給しているため、フレーム12
1からインク供給路126へのインク接続部が複数箇所
ある場合、フレーム121や振動板123、流路板12
4のインク供給路127の位置精度が高くないと、接続
位置がずれ、インク漏れを起こすおそれがあった。
However, in such a conventional ink jet head, the common liquid chamber 122 is formed in the frame 121, and the ink is supplied from the common liquid chamber 122 of the frame 121 to the diaphragm 123. Is supplied to the ink supply path 127 of the flow path plate 124 through the ink supply path 126 formed in
Since the pressure is supplied to each pressure chamber 128 from the frame 12,
When there are a plurality of ink connection parts from the ink supply path 126 to the ink supply path 126, the frame 121, the vibration plate 123, and the flow path plate 12
If the positional accuracy of the ink supply path 127 of No. 4 is not high, there is a risk that the connection position may shift and ink may leak.

【0016】また、フレーム121は、一般に樹脂製で
あり、ノズル板104のノズル列に対応した複数のイン
ク供給路127や共通液室122の間隔はある程度距離
があるため、間隔の精度向上が困難であり、接続部の位
置精度に直接影響する。
Further, the frame 121 is generally made of resin, and the plurality of ink supply passages 127 corresponding to the nozzle rows of the nozzle plate 104 and the common liquid chamber 122 are spaced to some extent, so that it is difficult to improve the accuracy of the spacing. Which directly affects the positional accuracy of the connection part.

【0017】さらに、ノズル板104は、流路板124
に接着されているが、その接着力はそれほど大きくな
く、ノズル端部にノズル表面を清掃するワイパブレード
や転写紙などが引っかかり、引き剥がし力が発生すると
簡単に剥がれてしまう。そのため、従来は、ノズル板1
04のノズル列を保護するために、ノズルカバー108
を設けているが、当然に、ノズルカバー108を設ける
ためにはコストがかかり、また、インクに対して溶解、
膨潤等の発生しない材料でなければならず、さらにノズ
ル113の表面面と転写紙との間は非常に近いため(約
1mm程度)、ノズルカバー108の材料の厚さの制約
があった。
Further, the nozzle plate 104 is a flow path plate 124.
However, the adhesive force is not so large that the wiper blade for cleaning the nozzle surface or the transfer paper is caught at the end of the nozzle and easily peels off when a peeling force is generated. Therefore, conventionally, the nozzle plate 1
In order to protect the 04 nozzle row, the nozzle cover 108
However, it is costly to provide the nozzle cover 108 and the ink is dissolved in the ink.
A material that does not cause swelling or the like must be used, and the surface of the nozzle 113 and the transfer paper are very close to each other (about 1 mm), so that the thickness of the material of the nozzle cover 108 is limited.

【0018】そこで、請求項1記載の発明は、フレーム
を、複数形成されているノズル列方向に延在するととも
に当該ノズル列方向と直交する方向に並んだ複数のフレ
ームブロックに分割し、各フレームブロックに、それぞ
れインク流路と当該インク流路に連通する共通液室を形
成することにより、各フレームブロックの共通液室をイ
ンク供給路に簡単かつ精度良く位置合わせし、ノズルを
マルチ化、高密度化してもインク接続部でのインク漏れ
を適切かつ簡単に防止して、高精度で製造コストの安価
なインクジェットヘッドを提供することを目的としてい
る。
Therefore, in the invention according to claim 1, the frame is divided into a plurality of frame blocks which extend in the direction of the plurality of formed nozzle rows and are arranged in a direction orthogonal to the direction of the nozzle rows. By forming an ink flow path and a common liquid chamber that communicates with the ink flow path in each block, the common liquid chamber of each frame block can be easily and accurately aligned with the ink supply path, and the nozzles can be multi-purposed and An object of the present invention is to provide an inkjet head with high accuracy and low manufacturing cost by appropriately and easily preventing ink leakage at the ink connection portion even if the density is increased.

【0019】請求項2記載の発明は、圧力室を、アクチ
ュエータにより変形される振動板と当該振動板に接合さ
れる流路板とにより形成し、当該振動板と当該流路板
を、フレーム上に順次積層し、各フレームブロックに、
当該振動板と当該流路板の積層される方向に所定高さで
延在するリブ部を外周端部に形成し、振動板の端面を当
該リブ部に突き当てて振動板を位置決めすることによ
り、各フレームブロックの共通液室をインク供給路によ
り一層簡単かつ精度良く位置合わせし、ノズルをマルチ
化、高密度化してもインク接続部でのインク漏れを適切
かつより一層簡単に防止して、高精度で製造コストの安
価なインクジェットヘッドを提供することを目的として
いる。
According to a second aspect of the present invention, the pressure chamber is formed by a vibrating plate that is deformed by an actuator and a flow channel plate joined to the vibrating plate, and the vibrating plate and the flow channel plate are mounted on a frame. Are sequentially laminated to each frame block,
By forming a rib portion that extends at a predetermined height in the stacking direction of the diaphragm and the flow path plate at the outer peripheral end and position the diaphragm by abutting the end surface of the diaphragm against the rib portion. , The common liquid chamber of each frame block is more easily and accurately aligned with the ink supply path, and even if the nozzles are multi-densified and the density is increased, the ink leakage at the ink connection portion can be appropriately and more easily prevented. It is an object of the present invention to provide an inkjet head with high accuracy and low manufacturing cost.

【0020】請求項3記載の発明は、圧力室を、アクチ
ュエータにより変形される振動板と当該振動板に接合さ
れる流路板とにより形成し、当該振動板と当該流路板
を、フレーム上に順次積層し、各フレームブロックに、
当該振動板と当該流路板の積層される方向に所定高さで
延在するリブ部を外周端部に形成し、振動板の端面を当
該リブ部に突き当てて振動板を位置決めすることによ
り、各フレームブロックの共通液室をインク供給路によ
り一層簡単かつ精度良く位置合わせし、ノズルをマルチ
化、高密度化してもインク接続部でのインク漏れを適切
かつより一層簡単に防止して、高精度で製造コストの安
価なインクジェットヘッドを提供することを目的として
いる。
According to a third aspect of the present invention, the pressure chamber is formed by a vibrating plate that is deformed by an actuator and a flow path plate that is joined to the vibrating plate. Are sequentially laminated to each frame block,
By forming a rib portion that extends at a predetermined height in the stacking direction of the diaphragm and the flow path plate at the outer peripheral end and position the diaphragm by abutting the end surface of the diaphragm against the rib portion. , The common liquid chamber of each frame block is more easily and accurately aligned with the ink supply path, and even if the nozzles are multi-densified and the density is increased, the ink leakage at the ink connection portion can be appropriately and more easily prevented. It is an object of the present invention to provide an inkjet head with high accuracy and low manufacturing cost.

【0021】請求項4記載の発明は、インク供給路また
は圧力室あるいはインク供給路と圧力室の双方を、アク
チュエータにより変形される振動板と当該振動板に接合
される流路板とにより形成し、当該振動板と当該流路板
を、フレーム上に順次積層し、各フレームブロックに、
当該振動板と当該流路板の積層される方向に所定高さで
延在するリブ部を外周端部に形成し、流路板の端面を当
該リブ部に突き当てて流路板を位置決めすることによ
り、各フレームブロックの共通液室をインク供給路によ
り一層簡単かつ精度良く位置合わせし、ノズルをマルチ
化、高密度化してもインク接続部でのインク漏れを適切
かつより一層簡単に防止して、高精度で製造コストの安
価なインクジェットヘッドを提供することを目的として
いる。
According to a fourth aspect of the present invention, the ink supply passage or the pressure chamber or both the ink supply passage and the pressure chamber are formed by a diaphragm deformed by an actuator and a passage plate joined to the diaphragm. , The vibration plate and the flow path plate are sequentially laminated on a frame, and each frame block is
A rib portion extending at a predetermined height in the stacking direction of the diaphragm and the flow path plate is formed at the outer peripheral end, and the end surface of the flow path plate is abutted against the rib portion to position the flow path plate. By doing so, the common liquid chamber of each frame block can be more easily and accurately aligned with the ink supply path, and ink leakage at the ink connection part can be appropriately and more easily prevented even if the nozzles are multi-sized and the density is increased. Therefore, it is an object of the present invention to provide an inkjet head with high accuracy and low manufacturing cost.

【0022】請求項5記載の発明は、リブ部を、ノズル
の形成されている面よりも高く突出させることにより、
ワイパブレードや転写紙からノズルの形成されている基
板端面を保護し、より一層高精度で製造コストの安価な
インクジェットヘッドを提供することを目的としてい
る。
According to the invention of claim 5, the rib portion is projected higher than the surface on which the nozzle is formed.
It is an object of the present invention to protect an end surface of a substrate on which nozzles are formed from a wiper blade or a transfer paper, and to provide an inkjet head with higher accuracy and lower manufacturing cost.

【0023】請求項6記載の発明は、フレームブロック
を、同一形状に形成することにより、フレームブロック
を安価なものとし、高精度でより一層製造コストの安価
なインクジェットヘッドを提供することを目的としてい
る。
According to a sixth aspect of the present invention, the frame block is formed in the same shape so that the frame block is inexpensive, and it is an object of the present invention to provide an ink jet head with high accuracy and a lower manufacturing cost. There is.

【0024】請求項7記載の発明は、フレームを、ポリ
フェニレンサルファイド樹脂または熱硬化性樹脂で形成
することにより、インク供給路等のインクジェットヘッ
ドを構成する部品精度を向上させ、より一層高精度で製
造コストの安価なインクジェットヘッドを提供すること
を目的としている。
According to a seventh aspect of the present invention, the frame is formed of polyphenylene sulfide resin or thermosetting resin, whereby the precision of parts constituting the ink jet head such as the ink supply path is improved, and the frame is manufactured with higher precision. An object is to provide an inexpensive inkjet head.

【0025】請求項8記載の発明は、アクチュエータと
して、圧電型アクチュエータを用いることにより、圧力
室に高い圧力を発生させ、より高粘度のインクの吐出を
行えるようにして、インク吐出性能のより一層良好で製
造コストの安価なインクジェットヘッドを提供すること
を目的としている。
According to the eighth aspect of the present invention, by using a piezoelectric actuator as the actuator, a high pressure is generated in the pressure chamber so that the ink having a higher viscosity can be ejected to further improve the ink ejection performance. It is an object of the present invention to provide an inkjet head that is good and has a low manufacturing cost.

【0026】請求項9記載の発明は、アクチュエータと
して、静電型アクチュエータを用いることにより、消費
電力を削減し、効率よくインクの吐出を行う製造コスト
の安価なインクジェットヘッドを提供することを目的と
している。
A ninth aspect of the present invention is intended to provide an ink jet head that uses an electrostatic actuator as an actuator, reduces power consumption, and efficiently ejects ink at a low manufacturing cost. There is.

【0027】[0027]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明のイ
ンクジェットヘッドは、インク滴を吐出する複数のノズ
ルと、前記各ノズルに連通し一部が変形することで収納
するインクに圧力を付与する複数の圧力室と、前記各圧
力室に連通し当該圧力室にインクを供給する複数のイン
ク供給路と、前記各インク供給路に連通し当該各インク
供給路にインクを供給する共通液室と、前記圧力室の一
部を変形させて当該圧力室内のインクを前記ノズルから
吐出させるアクチュエータと、前記共通液室または前記
インク供給路にインクを供給するインク流路の形成され
たフレームと、を備えたインクジェットヘッドであっ
て、前記複数のノズルは、複数のノズル列に分割されて
配設され、前記フレームは、前記ノズル列方向に延在す
るとともに当該ノズル列方向と直交する方向に並んだ複
数のフレームブロックに分割され、当該各フレームブロ
ックは、それぞれ前記インク流路と当該インク流路に連
通する前記共通液室が形成されていることにより、上記
目的を達成している。
According to another aspect of the present invention, there is provided an ink jet head, wherein a plurality of nozzles for ejecting ink droplets and a part of the nozzle communicating with each of the nozzles are deformed to apply pressure to the contained ink. A plurality of pressure chambers, a plurality of ink supply passages communicating with the pressure chambers and supplying ink to the pressure chambers, and a common liquid chamber communicating with the ink supply passages and supplying ink to the ink supply passages. An actuator for deforming a part of the pressure chamber to eject ink in the pressure chamber from the nozzle, and a frame in which an ink flow path for supplying ink to the common liquid chamber or the ink supply path is formed, An ink jet head including a plurality of nozzles, the plurality of nozzles being divided and arranged in a plurality of nozzle rows, the frame extending in the nozzle row direction, and the nozzles. It is divided into a plurality of frame blocks arranged in a direction orthogonal to the column direction, and each of the frame blocks is formed with the ink flow path and the common liquid chamber communicating with the ink flow path. Has been achieved.

【0028】上記構成によれば、フレームを、複数形成
されているノズル列方向に延在するとともに当該ノズル
列方向と直交する方向に並んだ複数のフレームブロック
に分割し、各フレームブロックに、それぞれインク流路
と当該インク流路に連通する共通液室を形成しているの
で、各フレームブロックの共通液室をインク供給路に簡
単かつ精度良く位置合わせすることができ、ノズルをマ
ルチ化、高密度化してもインク接続部でのインク漏れを
適切かつ簡単に防止して、インクジェットヘッドを高精
度で製造コストの安価なものとすることができる。
According to the above structure, the frame is divided into a plurality of frame blocks extending in the direction of the plurality of formed nozzle rows and arranged in the direction orthogonal to the direction of the nozzle rows. Since the ink flow path and the common liquid chamber that communicates with the ink flow path are formed, the common liquid chamber of each frame block can be easily and accurately aligned with the ink supply path. Even if the density is increased, it is possible to appropriately and easily prevent ink leakage at the ink connection portion, and to make the inkjet head highly accurate and inexpensive to manufacture.

【0029】この場合、例えば、請求項2に記載するよ
うに、前記ノズル列は2列形成され、前記フレームは、
2つの前記フレームブロックに分割されていてもよい。
In this case, for example, as described in claim 2, the nozzle rows are formed in two rows, and the frame is
It may be divided into two frame blocks.

【0030】上記構成によれば、圧力室を、アクチュエ
ータにより変形される振動板と当該振動板に接合される
流路板とにより形成し、当該振動板と当該流路板を、フ
レーム上に順次積層し、各フレームブロックに、当該振
動板と当該流路板の積層される方向に所定高さで延在す
るリブ部を外周端部に形成し、振動板の端面を当該リブ
部に突き当てて振動板を位置決めしているので、各フレ
ームブロックの共通液室をインク供給路により一層簡単
かつ精度良く位置合わせすることができ、ノズルをマル
チ化、高密度化してもインク接続部でのインク漏れを適
切かつより一層簡単に防止して、インクジェットヘッド
を高精度で製造コストの安価なものとすることができ
る。
According to the above structure, the pressure chamber is formed by the vibration plate deformed by the actuator and the flow path plate joined to the vibration plate, and the vibration plate and the flow path plate are sequentially arranged on the frame. Laminated layers, each frame block is formed with a rib portion extending at a predetermined height in the stacking direction of the diaphragm and the flow path plate at the outer peripheral end, and the end surface of the diaphragm is abutted against the rib portion. Since the vibrating plate is positioned by the ink, the common liquid chamber of each frame block can be more easily and accurately aligned with the ink supply path, and the ink at the ink connection part can be used even if the nozzles are multi-sized and the density is increased. Leakage can be appropriately and more easily prevented, and the inkjet head can be made highly accurate and inexpensive in manufacturing cost.

【0031】また、例えば、請求項3に記載するよう
に、前記圧力室は、前記アクチュエータにより変形され
る振動板と、当該振動板に接合される流路板と、により
形成され、当該振動板と当該流路板は、前記フレーム上
に順次積層され、前記各フレームブロックは、当該振動
板と当該流路板の積層される方向に所定高さで延在する
リブ部が外周端部に形成され、前記振動板は、その端面
が当該リブ部に突き当てられることで位置決めされてい
てもよい。
Further, for example, as described in claim 3, the pressure chamber is formed by a vibrating plate deformed by the actuator and a flow path plate joined to the vibrating plate. And the flow path plate are sequentially stacked on the frame, and in each frame block, a rib portion extending at a predetermined height in the stacking direction of the vibration plate and the flow path plate is formed at the outer peripheral end. The diaphragm may be positioned by abutting its end face against the rib portion.

【0032】上記構成によれば、圧力室を、アクチュエ
ータにより変形される振動板と当該振動板に接合される
流路板とにより形成し、当該振動板と当該流路板を、フ
レーム上に順次積層し、各フレームブロックに、当該振
動板と当該流路板の積層される方向に所定高さで延在す
るリブ部を外周端部に形成し、振動板の端面を当該リブ
部に突き当てて振動板を位置決めしているので、各フレ
ームブロックの共通液室をインク供給路により一層簡単
かつ精度良く位置合わせすることができ、ノズルをマル
チ化、高密度化してもインク接続部でのインク漏れを適
切かつより一層簡単に防止して、インクジェットヘッド
を高精度で製造コストの安価なものとすることができ
る。
According to the above structure, the pressure chamber is formed by the vibration plate deformed by the actuator and the flow path plate joined to the vibration plate, and the vibration plate and the flow path plate are sequentially arranged on the frame. Laminated layers, each frame block is formed with a rib portion extending at a predetermined height in the stacking direction of the diaphragm and the flow path plate at the outer peripheral end, and the end surface of the diaphragm is abutted against the rib portion. Since the vibrating plate is positioned by the ink, the common liquid chamber of each frame block can be more easily and accurately aligned with the ink supply path, and the ink at the ink connection part can be used even if the nozzles are multi-sized and the density is increased. Leakage can be appropriately and more easily prevented, and the inkjet head can be made highly accurate and inexpensive in manufacturing cost.

【0033】さらに、例えば、請求項4に記載するよう
に、前記インク供給路または前記圧力室あるいは前記イ
ンク供給路と前記圧力室の双方は、前記アクチュエータ
により変形される振動板と、当該振動板に接合される流
路板と、により形成され、当該振動板と当該流路板は、
前記フレーム上に順次積層され、前記各フレームブロッ
クは、当該振動板と当該流路板の積層される方向に所定
高さで延在するリブ部が外周端部に形成され、前記流路
板は、その端面が当該リブ部に突き当てられることで位
置決めされていてもよい。
Further, for example, as described in claim 4, the ink supply passage, the pressure chamber, or both the ink supply passage and the pressure chamber have a vibrating plate which is deformed by the actuator, and the vibrating plate. A flow channel plate joined to, and the vibration plate and the flow channel plate,
The frame blocks are sequentially stacked on each other, and each frame block has a rib portion formed at an outer peripheral end portion and extending at a predetermined height in a stacking direction of the vibration plate and the flow path plate. Alternatively, the end surface may be positioned by abutting against the rib portion.

【0034】上記構成によれば、インク供給路または圧
力室あるいはインク供給路と圧力室の双方を、アクチュ
エータにより変形される振動板と当該振動板に接合され
る流路板とにより形成し、当該振動板と当該流路板を、
フレーム上に順次積層し、各フレームブロックに、当該
振動板と当該流路板の積層される方向に所定高さで延在
するリブ部を外周端部に形成し、流路板の端面を当該リ
ブ部に突き当てて流路板を位置決めしているので、各フ
レームブロックの共通液室をインク供給路により一層簡
単かつ精度良く位置合わせすることができ、ノズルをマ
ルチ化、高密度化してもインク接続部でのインク漏れを
適切かつより一層簡単に防止して、インクジェットヘッ
ドを高精度で製造コストの安価なものとすることができ
る。
According to the above construction, the ink supply passage or the pressure chamber or both the ink supply passage and the pressure chamber are formed by the vibration plate deformed by the actuator and the flow passage plate joined to the vibration plate. The diaphragm and the flow path plate,
Laminated sequentially on the frame, each frame block is formed with a rib portion extending at a predetermined height in the stacking direction of the diaphragm and the flow channel plate at the outer peripheral end, and the end face of the flow channel plate is Since the flow path plate is positioned by abutting against the rib portion, the common liquid chamber of each frame block can be more easily and accurately aligned with the ink supply path, and even if the nozzles are made multi-density and high-density. It is possible to appropriately and more easily prevent ink leakage at the ink connection portion, and to make the inkjet head highly accurate and inexpensive to manufacture.

【0035】また、例えば、請求項5に記載するよう
に、前記リブ部は、前記ノズルの形成されている面より
も高く突出していてもよい。
Further, for example, as described in claim 5, the rib portion may protrude higher than a surface on which the nozzle is formed.

【0036】上記構成によれば、リブ部を、ノズルの形
成されている面よりも高く突出させているので、ワイパ
ブレードや転写紙からノズルの形成されている基板端面
を保護することができ、インクジェットヘッドをより一
層高精度で製造コストの安価なものとすることができ
る。
According to the above structure, since the rib portion is projected higher than the surface on which the nozzle is formed, the end surface of the substrate on which the nozzle is formed can be protected from the wiper blade or the transfer paper. The inkjet head can be made more highly accurate and the manufacturing cost can be reduced.

【0037】さらに、例えば、請求項6に記載するよう
に、前記フレームブロックは、同一形状に形成されてい
てもよい。
Further, for example, as described in claim 6, the frame blocks may be formed in the same shape.

【0038】上記構成によれば、フレームブロックを、
同一形状に形成しているので、フレームブロックを安価
なものとすることができ、インクジェットヘッドを高精
度でより一層製造コストの安価なものとすることができ
る。
According to the above arrangement, the frame block is
Since they are formed in the same shape, the frame block can be made inexpensive, and the inkjet head can be made highly accurate and the manufacturing cost can be made even cheaper.

【0039】また、例えば、請求項7に記載するよう
に、前記フレームは、ポリフェニレンサルファイド樹脂
または熱硬化性樹脂で形成されていてもよい。
Further, for example, as described in claim 7, the frame may be formed of a polyphenylene sulfide resin or a thermosetting resin.

【0040】上記構成によれば、フレームを、ポリフェ
ニレンサルファイド樹脂または熱硬化性樹脂で形成して
いるので、インク供給路等のインクジェットヘッドを構
成する部品精度を向上させることができ、インクジェッ
トヘッドをより一層高精度で製造コストの安価なものと
することができる。
According to the above construction, since the frame is made of polyphenylene sulfide resin or thermosetting resin, it is possible to improve the precision of the parts constituting the ink jet head such as the ink supply path, and to further improve the ink jet head. It is possible to make the manufacturing cost higher and the manufacturing cost lower.

【0041】さらに、例えば、請求項8に記載するよう
に、前記アクチュエータは、圧電型アクチュエータであ
ってもよい。
Further, for example, as described in claim 8, the actuator may be a piezoelectric type actuator.

【0042】上記構成によれば、アクチュエータとし
て、圧電型アクチュエータを用いているので、圧力室に
高い圧力を発生させることができ、より高粘度のインク
の吐出を行えるようにして、インクジェットヘッドをイ
ンク吐出性能がより一層良好で製造コストの安価なもの
とすることができる。
According to the above construction, since the piezoelectric type actuator is used as the actuator, a high pressure can be generated in the pressure chamber, so that the ink having a higher viscosity can be ejected and the ink jet head can be ejected. The discharge performance can be further improved and the manufacturing cost can be reduced.

【0043】また、例えば、請求項9に記載するよう
に、前記アクチュエータは、静電型アクチュエータであ
ってもよい。
Further, for example, as described in claim 9, the actuator may be an electrostatic actuator.

【0044】上記構成によれば、アクチュエータとし
て、静電型アクチュエータを用いているので、消費電力
を削減することができ、インクジェットヘッドを効率よ
くインクの吐出を行う製造コストの安価なものとするこ
とができる。
According to the above construction, since the electrostatic actuator is used as the actuator, the power consumption can be reduced and the ink jet head can be manufactured at a low manufacturing cost for efficiently ejecting ink. You can

【0045】[0045]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本
発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの態様に限られるもので
はない。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. The embodiments described below are preferred embodiments of the present invention, and therefore have various technically preferable limitations. However, the scope of the present invention refers to the present invention particularly in the following description. Unless otherwise stated, the present invention is not limited to these embodiments.

【0046】図1〜図3は、本発明のインクジェットヘ
ッドの第1の実施の形態を示す図であり、図1は、本発
明のインクジェットヘッドの第1の実施の形態を適用し
たインクジェットヘッド1の分解斜視図、図2は、図1
のインクジェットヘッド1の上面透視図、図3は、図2
のA−A矢視断面図である。
1 to 3 are views showing a first embodiment of an ink jet head of the present invention, and FIG. 1 is an ink jet head 1 to which the first embodiment of the ink jet head of the present invention is applied. 2 is an exploded perspective view of FIG.
2 is a top perspective view of the inkjet head 1 of FIG.
3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.

【0047】図1において、インクジェットヘッド1
は、フレーム2上に振動板3、シリコン基板である流路
板4及びノズル板5が順次積層され、フレーム2内に、
FPC6とPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)アクチュエ
ータ7の装備された金属基板8が挿入され、また、ノズ
ル板5上からノズルカバー9が装着される。
In FIG. 1, the ink jet head 1
The diaphragm 3, the flow path plate 4 which is a silicon substrate, and the nozzle plate 5 are sequentially laminated on the frame 2, and
A metal substrate 8 equipped with an FPC 6 and a PZT (lead zirconate titanate) actuator 7 is inserted, and a nozzle cover 9 is mounted on the nozzle plate 5.

【0048】フレーム2は、後述するノズル列の配列方
向と直交する方向の中央部でノズル列の配列方向の切断
線で分割されて、ノズル列と直交する方向の2つのフレ
ームブロック2a、2bに分割されており、フレーム2
の各フレームブロック2a、2bには、フレーム2の振
動板3側の面に、共通液室10a、10bが形成されて
いる。また、フレーム2の各フレームブロック2a、2
bには、各共通液室10a、10bに連通するインク流
路11a、11bがそれぞれ形成されており、インク供
給タンクまたはインクカートリッジからのインクを各イ
ンク流路11a、11bから各共通液室10a、10b
に供給する。
The frame 2 is divided into two frame blocks 2a and 2b in the direction orthogonal to the nozzle rows by being divided by a cutting line in the direction in which the nozzle rows are arranged, at a central portion in a direction orthogonal to the arrangement direction of the nozzle rows, which will be described later. It is divided into frames 2
In each of the frame blocks 2a, 2b, common liquid chambers 10a, 10b are formed on the surface of the frame 2 on the diaphragm 3 side. Also, each frame block 2a, 2 of the frame 2
In b, ink channels 11a and 11b communicating with the common liquid chambers 10a and 10b are formed, respectively, and ink from an ink supply tank or an ink cartridge is fed from the ink flow channels 11a and 11b to the common liquid chamber 10a. 10b
Supply to.

【0049】フレーム2の各フレームブロック2a、2
bの上面の外周部には、リブ(リブ部)12a、12b
が形成されており、リブ12a、12bと共通液室10
a、10bとの距離が短距離であるため、部品によって
精度良く作られている。
Each frame block 2a, 2 of frame 2
Ribs (rib portions) 12a, 12b are provided on the outer peripheral portion of the upper surface of b.
The ribs 12a and 12b and the common liquid chamber 10 are formed.
Since the distances to a and 10b are short, the parts are accurately manufactured.

【0050】リブ12a、12bは、フレーム2を振動
板3に接着する際、リブ12a、12bを振動板3の端
面または流路板4の端面に突き当てて接着することによ
り、共通液室10a、10bを振動板3または流路板4
のインク供給路14と精度よく位置決めすることができ
る。ここで、位置合わせはフレーム2と振動板3とで行
なえばよいのではあるが、振動板3は薄く(数十μm)
端面にリブ12a、12bを突き当てると、振動板3が
変形するおそれがあるため、振動板3と高精度に位置決
めされて貼り付けられている流路板4の端面に突き当て
るようにしてもよい。
When the frame 2 is bonded to the diaphragm 3, the ribs 12a and 12b are abutted against the end surface of the diaphragm 3 or the end surface of the flow path plate 4 to bond the ribs 12a and 12b to the common liquid chamber 10a. 10b is the vibration plate 3 or the flow path plate 4
It can be accurately positioned with respect to the ink supply path 14. Here, the alignment may be performed by the frame 2 and the diaphragm 3, but the diaphragm 3 is thin (several tens of μm).
If the ribs 12a and 12b are abutted against the end faces, the vibrating plate 3 may be deformed. Therefore, even if the ribs 12a and 12b are abutted against the end faces of the flow path plate 4 that is positioned and attached with high precision with the vibrating plate 3. Good.

【0051】そして、フレーム2は、部品自体の精度が
要求されるため、PPS(ポリフェニレンサルファイ
ド)樹脂やエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂で形成されて
いる。
The frame 2 is formed of a thermosetting resin such as PPS (polyphenylene sulfide) resin or epoxy resin because accuracy of the component itself is required.

【0052】また、リブ12a、12bは、図3に示す
ように、ノズル板5の上面よりも上方に突出しており、
ノズル板5の端面をリブ12a、12bによりワイパブ
レードや転写紙から保護することができる。
As shown in FIG. 3, the ribs 12a and 12b project above the upper surface of the nozzle plate 5,
The end surface of the nozzle plate 5 can be protected from the wiper blade and the transfer paper by the ribs 12a and 12b.

【0053】振動板3には、図1及び図2に示すよう
に、フレーム2の各フレームブロック2a、2bの共通
液室10a、10bに連通する複数のインク供給路13
が形成されており、流路板4には、インク供給路14と
圧力室15が連続したパターンで形成されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the vibrating plate 3 has a plurality of ink supply passages 13 communicating with the common liquid chambers 10a and 10b of the frame blocks 2a and 2b of the frame 2, respectively.
And the ink supply passage 14 and the pressure chamber 15 are formed in a continuous pattern on the flow path plate 4.

【0054】そして、ノズル板5には、各圧力室15に
連通するノズル16が2列形成されており、ノズル列の
ノズル16は、互い違いに千鳥状に形成されている。
The nozzle plate 5 is formed with two rows of nozzles 16 communicating with the respective pressure chambers 15, and the nozzles 16 in the nozzle rows are alternately formed in a staggered pattern.

【0055】上記金属基板8上に、2個のPZTアクチ
ュエータ7が接合され、各ノズル16に対応するように
加工溝20が施されており、加工溝20によって分離さ
れた各PZTアクチュエータ7の電極にFPC6を介し
て駆動電圧が供給される。
Two PZT actuators 7 are bonded on the metal substrate 8 and processed grooves 20 are provided so as to correspond to the nozzles 16. The electrodes of each PZT actuator 7 separated by the processed grooves 20. Is supplied with a drive voltage via the FPC 6.

【0056】流路板4には、上述のように、インク供給
流路14および圧力室15が連続したパターンで形成さ
れ、さらに、図3に示すように、連通管21を介してノ
ズル16に連通している。
As described above, the ink supply flow passages 14 and the pressure chambers 15 are formed in the flow passage plate 4 in a continuous pattern, and further, as shown in FIG. It is in communication.

【0057】振動板3は、図3に示すように、PZT連
結部22が接着層を介してPZTアクチュエータ7に接
合されており、PZT連結部22の周囲には、薄厚部2
3が形成されている。
As shown in FIG. 3, the vibrating plate 3 has a PZT connecting portion 22 joined to the PZT actuator 7 via an adhesive layer, and a thin portion 2 is formed around the PZT connecting portion 22.
3 is formed.

【0058】FPC6を介して駆動電圧が印加されて、
振動板3を振動させ、振動板3が振動することで、圧力
室15のインクがノズル16から吐出される。
A driving voltage is applied through the FPC 6,
By vibrating the vibrating plate 3 and vibrating the vibrating plate 3, the ink in the pressure chamber 15 is ejected from the nozzle 16.

【0059】次に、本実施の形態の作用を説明する。本
実施の形態のインクジェットヘッド1は、振動板3上に
流路板4及びノズル板5が接合された後、フレーム2の
リブ12a、12b内に挿入される状態で、金属基板8
の取り付けられたフレーム2上に取り付けられること
で、フレーム2上に、振動板3、流路板4及びノズル板
5が積層された状態となる。
Next, the operation of this embodiment will be described. In the inkjet head 1 of the present embodiment, after the flow path plate 4 and the nozzle plate 5 are joined on the vibrating plate 3, the metal substrate 8 is inserted in the ribs 12 a and 12 b of the frame 2.
By being mounted on the frame 2 to which is attached, the vibrating plate 3, the flow path plate 4, and the nozzle plate 5 are laminated on the frame 2.

【0060】そして、フレーム2がフレームブロック2
a、2bに分割されており、2つのフレームブロック2
a、2bを個別に動かすことができるため、フレーム2
の共通液室10a、10bと振動板3のインク供給路1
3または流路板4のインク供給路14とを高精度に位置
決めすることができ、位置決め作業を簡単にかつ高精度
に行うことができる。
Then, frame 2 is frame block 2
a and 2b are divided into two frame blocks 2
Since a and 2b can be moved individually, the frame 2
Common liquid chambers 10a, 10b and the ink supply path 1 of the vibrating plate 3
3 or the ink supply path 14 of the flow path plate 4 can be positioned with high accuracy, and the positioning work can be performed easily and with high accuracy.

【0061】また、フレーム2の外周縁に、リブ12
a、12bが形成されており、リブ12a、12bと共
通液室10a、10bとの距離が短距離であるため、部
品によって高精度に作成することができ、フレーム2を
振動板3に接着する際に、リブ12a、12bを振動板
3の端面または流路板4の端面につき当てて接着するこ
とで、共通液室10a、10bを振動板3のインク供給
路13または流路板4のインク供給路14と高精度に位
置決めすることができる。
The ribs 12 are provided on the outer peripheral edge of the frame 2.
Since a and 12b are formed and the distance between the ribs 12a and 12b and the common liquid chambers 10a and 10b is short, the ribs 12a and 12b can be formed with high precision by components, and the frame 2 is bonded to the diaphragm 3. At this time, the ribs 12a and 12b are applied to the end faces of the vibrating plate 3 or the end faces of the flow channel plate 4 so as to bond the common liquid chambers 10a and 10b to the ink supply path 13 of the vibrating plate 3 or the ink of the flow channel plate 4. It can be accurately positioned with respect to the supply passage 14.

【0062】さらに、振動板3が数十μmと薄いため、
振動板3に高精度に位置決めされて貼り付けられている
流路板4の端面にフレーム2のリブ12a、12bを突
き当てることで位置決めすると、振動板3に変形等を生
じさせることなく、高精度に位置決めすることができ
る。
Furthermore, since the diaphragm 3 is as thin as several tens of μm,
If the ribs 12a and 12b of the frame 2 are positioned by abutting the end faces of the flow path plate 4 that is positioned and adhered to the vibration plate 3 with high accuracy, the vibration plate 3 will not be deformed and the like It can be positioned with high precision.

【0063】また、リブ12a、12bが、図3に示し
たように、ノズル板5の上面よりも上方に突出している
ため、ノズル板5の端面をリブ12a、12bによりワ
イパブレードや転写紙から保護することができる。
Further, as shown in FIG. 3, the ribs 12a and 12b project above the upper surface of the nozzle plate 5, so that the end surface of the nozzle plate 5 is removed from the wiper blade or transfer paper by the ribs 12a and 12b. Can be protected.

【0064】さらに、フレームブロック2aとフレーム
ブロック2bとは、ノズル列の配列方向と直交する方向
の中央部でノズル列の配列方向の切断線で分割されてい
るため、同じ構成のものであり、一方を反転させて接合
することで、フレーム2を構成することができる。した
がって、部品の種類を削減することができ、部品型の作
成や部品管理を削減して、インクジェットヘッド1の製
造コストを削減することができる。
Further, since the frame block 2a and the frame block 2b are divided by the cutting line in the nozzle row arrangement direction at the central portion in the direction orthogonal to the nozzle row arrangement direction, they have the same structure. The frame 2 can be constructed by inverting and joining one side. Therefore, it is possible to reduce the number of types of components, reduce the production of component molds and component management, and reduce the manufacturing cost of the inkjet head 1.

【0065】また、金属基板8上に2個のPZTアクチ
ュエータ7が接合され、各ノズル16に対応するように
加工溝20が施されており、加工溝20によって分離さ
れた各PZTアクチュエータ7の電極にFPC6を介し
て駆動電圧が供給される。
Further, two PZT actuators 7 are bonded on the metal substrate 8 and the processing grooves 20 are formed so as to correspond to the respective nozzles 16, and the electrodes of each PZT actuator 7 separated by the processing grooves 20. Is supplied with a drive voltage via the FPC 6.

【0066】したがって、振動板3を適切に駆動して、
インクをノズル16から適切に噴出することができる。
Therefore, the diaphragm 3 is appropriately driven,
The ink can be appropriately ejected from the nozzle 16.

【0067】このように、本実施の形態のインクジェッ
トヘッド1は、フレーム2を、複数形成されているノズ
ル列方向に延在するとともに当該ノズル列方向と直交す
る方向に並んだ複数のフレームブロック2a、2bに分
割し、各フレームブロック2a、2bに、それぞれイン
ク流路11a、11bとインク流路11a、11bに連
通する共通液室10a、10bを形成している。
As described above, in the ink jet head 1 of this embodiment, a plurality of frame blocks 2a extending in the direction of the nozzle row in which a plurality of frames are formed and arranged in the direction orthogonal to the nozzle row direction are arranged. , 2b, and common flow chambers 10a, 10b communicating with the ink flow paths 11a, 11b and the ink flow paths 11a, 11b are formed in each of the frame blocks 2a, 2b.

【0068】したがって、各フレームブロック2a、2
bの共通液室10a、10bを振動板3のインク供給路
13または流路板4のインク供給路14に簡単かつ精度
良く位置合わせすることができ、ノズル16をマルチ
化、高密度化してもインク接続部でのインク漏れを適切
かつ簡単に防止して、インクジェットヘッド1を高精度
で製造コストの安価なものとすることができる。
Therefore, each frame block 2a, 2
The common liquid chambers 10a and 10b of b can be easily and accurately aligned with the ink supply path 13 of the vibrating plate 3 or the ink supply path 14 of the flow path plate 4, and even if the nozzles 16 are made multi-density and high-density. It is possible to appropriately and easily prevent ink from leaking at the ink connection portion, and to make the inkjet head 1 highly accurate and inexpensive to manufacture.

【0069】また、本実施の形態のインクジェットヘッ
ド1は、圧力室15を、PZTアクチュエータ7により
変形される振動板3と振動板3に接合される流路板4と
により形成し、振動板3と流路板4を、フレーム2上に
順次積層し、各フレームブロック2a、2bに、振動板
3と流路板4の積層される方向に所定高さで延在するリ
ブ12a、12bを外周端部に形成し、振動板3の端面
をリブ12a、12bに突き当てて振動板3を位置決め
している。
Further, in the ink jet head 1 of the present embodiment, the pressure chamber 15 is formed by the vibration plate 3 which is deformed by the PZT actuator 7 and the flow path plate 4 which is joined to the vibration plate 3, and the vibration plate 3 is formed. And the flow path plate 4 are sequentially stacked on the frame 2, and each frame block 2a, 2b is provided with ribs 12a, 12b extending at a predetermined height in the stacking direction of the vibration plate 3 and the flow path plate 4. The diaphragm 3 is formed at the end portion, and the diaphragm 3 is positioned by abutting the end surface of the diaphragm 3 against the ribs 12a and 12b.

【0070】したがって、各フレームブロック2a、2
bの共通液室10a、10bを振動板3のインク供給路
13または流路板4のインク供給路14により一層簡単
かつ精度良く位置合わせすることができ、ノズル16を
マルチ化、高密度化してもインク接続部でのインク漏れ
を適切かつより一層簡単に防止して、インクジェットヘ
ッド1を高精度で製造コストの安価なものとすることが
できる。
Therefore, each frame block 2a, 2
The common liquid chambers 10a and 10b of b can be more easily and accurately aligned by the ink supply passage 13 of the vibrating plate 3 or the ink supply passage 14 of the flow passage plate 4, and the nozzles 16 are made multi-density and high-density. In addition, it is possible to appropriately and more easily prevent ink leakage at the ink connection portion, and to make the inkjet head 1 highly accurate and inexpensive to manufacture.

【0071】さらに、本実施の形態のインクジェットヘ
ッド1は、圧力室15を、PZTアクチュエータ7によ
り変形される振動板3と振動板3に接合される流路板4
とにより形成し、振動板3と流路板4を、フレーム2上
に順次積層し、各フレームブロック2a、2bに、振動
板3と流路板4の積層される方向に所定高さで延在する
リブ12a、12bを外周端部に形成し、振動板4の端
面をリブ12a、12bに突き当てて振動板4を位置決
めしている。
Further, in the ink jet head 1 of the present embodiment, the pressure chamber 15 is vibrated by the PZT actuator 7 and the flow path plate 4 joined to the vibrating plate 3.
The vibrating plate 3 and the flow path plate 4 are sequentially stacked on the frame 2, and each frame block 2a, 2b is extended at a predetermined height in the stacking direction of the vibrating plate 3 and the flow path plate 4. The existing ribs 12a and 12b are formed at the outer peripheral ends, and the diaphragm 4 is positioned by abutting the end surface of the diaphragm 4 against the ribs 12a and 12b.

【0072】したがって、各フレームブロック2a、2
bの共通液室10a、10bを振動板3のインク供給路
13または流路板4のインク供給路14により一層簡単
かつ精度良く位置合わせすることができ、ノズル16を
マルチ化、高密度化してもインク接続部でのインク漏れ
を適切かつより一層簡単に防止して、インクジェットヘ
ッド1を高精度で製造コストの安価なものとすることが
できる。
Therefore, each frame block 2a, 2
The common liquid chambers 10a and 10b of b can be more easily and accurately aligned by the ink supply passage 13 of the vibrating plate 3 or the ink supply passage 14 of the flow passage plate 4, and the nozzles 16 are made multi-density and high-density. In addition, it is possible to prevent ink leakage at the ink connecting portion appropriately and more easily, and to make the inkjet head 1 highly accurate and inexpensive in manufacturing cost.

【0073】また、本実施の形態のインクジェットヘッ
ド1は、インク供給路13、14または圧力室15ある
いはインク供給路13、14と圧力室15の双方を、P
ZTアクチュエータ7により変形される振動板3と振動
板3に接合される流路板4とにより形成し、振動板3と
流路板4を、フレーム2上に順次積層し、各フレームブ
ロック2a、2bに、振動板3と流路板4の積層される
方向に所定高さで延在するリブ12a、12bを外周端
部に形成し、流路板4の端面をリブ12a、12bに突
き当てて流路板4を位置決めしている。
In the ink jet head 1 of this embodiment, the ink supply paths 13 and 14 or the pressure chamber 15 or both the ink supply paths 13 and 14 and the pressure chamber 15 are set to P
The vibration plate 3 is deformed by the ZT actuator 7 and the flow path plate 4 is joined to the vibration plate 3. The vibration plate 3 and the flow path plate 4 are sequentially laminated on the frame 2 to form each frame block 2a, 2b, ribs 12a and 12b extending at a predetermined height in the stacking direction of the vibration plate 3 and the flow path plate 4 are formed at the outer peripheral ends, and the end surface of the flow path plate 4 is abutted against the ribs 12a and 12b. The flow path plate 4 is positioned.

【0074】したがって、各フレームブロック2a、2
bの共通液室10a、10bを振動板3のインク供給路
13または流路板4のインク供給路14により一層簡単
かつ精度良く位置合わせすることができ、ノズル16を
マルチ化、高密度化してもインク接続部でのインク漏れ
を適切かつより一層簡単に防止して、インクジェットヘ
ッド1を高精度で製造コストの安価なものとすることが
できる。
Therefore, each frame block 2a, 2
The common liquid chambers 10a and 10b of b can be more easily and accurately aligned by the ink supply passage 13 of the vibrating plate 3 or the ink supply passage 14 of the flow passage plate 4, and the nozzles 16 are made multi-density and high-density. In addition, it is possible to prevent ink leakage at the ink connecting portion appropriately and more easily, and to make the inkjet head 1 highly accurate and inexpensive in manufacturing cost.

【0075】さらに、本実施の形態のインクジェットヘ
ッド1は、リブ12a、12bを、ノズル16の形成さ
れている面よりも高く突出させている。
Further, in the ink jet head 1 of this embodiment, the ribs 12a and 12b are projected higher than the surface on which the nozzle 16 is formed.

【0076】したがって、ワイパブレードや転写紙から
ノズル16の形成されているノズル板5の表面を保護す
ることができ、インクジェットヘッド1をより一層高精
度で製造コストの安価なものとすることができる。
Therefore, the surface of the nozzle plate 5 on which the nozzles 16 are formed can be protected from the wiper blade and the transfer paper, and the ink jet head 1 can be made more highly accurate and the manufacturing cost can be made low. .

【0077】また、本実施の形態のインクジェットヘッ
ド1は、フレームブロック2a、2bを、同一形状に形
成している。
Further, in the ink jet head 1 of this embodiment, the frame blocks 2a and 2b are formed in the same shape.

【0078】したがって、フレームブロック2a、2b
を安価なものとすることができ、インクジェットヘッド
1を高精度でより一層製造コストの安価なものとするこ
とができる。
Therefore, the frame blocks 2a, 2b
Can be made inexpensive, and the inkjet head 1 can be made highly accurate and the manufacturing cost can be further reduced.

【0079】さらに、本実施の形態のインクジェットヘ
ッド1は、フレーム2を、ポリフェニレンサルファイド
樹脂または熱硬化性樹脂で形成している。
Further, in the ink jet head 1 of the present embodiment, the frame 2 is made of polyphenylene sulfide resin or thermosetting resin.

【0080】したがって、インク流路11a、11bや
共通液室10a、10b等のインクジェットヘッド1を
構成する部品精度を向上させることができ、インクジェ
ットヘッド1をより一層高精度で製造コストの安価なも
のとすることができる。
Therefore, it is possible to improve the precision of the parts constituting the ink jet head 1 such as the ink flow paths 11a and 11b and the common liquid chambers 10a and 10b, and to make the ink jet head 1 more highly precise and cheap in manufacturing cost. Can be

【0081】また、本実施の形態のインクジェットヘッ
ド1は、アクチュエータとして、PZTアクチュエータ
(圧電型アクチュエータ)7を用いている。
Further, the ink jet head 1 of the present embodiment uses the PZT actuator (piezoelectric actuator) 7 as the actuator.

【0082】したがって、圧力室15に高い圧力を発生
させることができ、より高粘度のインクの吐出を行える
ようにして、インクジェットヘッド1をインク吐出性能
がより一層良好で製造コストの安価なものとすることが
できる。
Therefore, it is possible to generate a high pressure in the pressure chamber 15 so that the ink having a higher viscosity can be ejected, so that the ink jet head 1 has a better ink ejection performance and a lower manufacturing cost. can do.

【0083】図4及び図5は、本発明のインクジェット
ヘッドの第2の実施の形態を示す図であり、図4は、本
発明のインクジェットヘッドの第2の実施の形態を適用
したインクジェットヘッド30の平面透視図、図5は、
図4のA−A矢視断面図である。本実施の形態は、アク
チュエータとして、静電アクチュエータを用いたもので
ある。
4 and 5 are views showing the second embodiment of the ink jet head of the present invention, and FIG. 4 is an ink jet head 30 to which the second embodiment of the ink jet head of the present invention is applied. Is a plane perspective view of FIG.
FIG. 5 is a sectional view taken along the line AA of FIG. 4. In this embodiment, an electrostatic actuator is used as the actuator.

【0084】図4及び図5において、インクジェットヘ
ッド30は、フレーム31が2つのフレームブロック3
1a、31bに分割されており、各フレームブロック3
1a、31bの上端部には、それぞれ共通液室32a、
32bが形成されている。この各フレームブロック31
a、31bの上面には、主平面を有する(110)シリ
コン基板33が接合され、シリコン基板33上には、熱
酸化によって酸化膜34が形成されている。
In FIG. 4 and FIG. 5, the ink jet head 30 includes a frame block 3 having two frames 31.
Each frame block 3 is divided into 1a and 31b.
Common liquid chambers 32a,
32b is formed. Each frame block 31
A (110) silicon substrate 33 having a main plane is bonded to the upper surfaces of a and 31b, and an oxide film 34 is formed on the silicon substrate 33 by thermal oxidation.

【0085】この酸化膜34上にはエッチングによって
ギャップ35が形成されており、さらにそのギャップ3
5内には高融点金属、例えば、窒化チタン等によって個
別電極36が形成されている。個別電極36の表面は、
シリコン酸化膜などの絶縁層が形成されている。
A gap 35 is formed on the oxide film 34 by etching, and the gap 3 is formed.
An individual electrode 36 is made of a refractory metal, for example, titanium nitride or the like. The surface of the individual electrode 36 is
An insulating layer such as a silicon oxide film is formed.

【0086】酸化膜34の上面には、振動板基板37が
接合されており、振動板基板37には、KOH系のウェ
ットエッチャントによって異方性エッチングを行うこと
により、圧力室38と振動板39が形成されている。こ
の振動板基板37の厚さは、100〜200μm、振動
板39の厚さは、2μmから3μmである。
A vibrating plate substrate 37 is bonded to the upper surface of the oxide film 34. The vibrating plate substrate 37 is anisotropically etched by a KOH-based wet etchant to form a pressure chamber 38 and a vibrating plate 39. Are formed. The diaphragm substrate 37 has a thickness of 100 to 200 μm, and the diaphragm 39 has a thickness of 2 to 3 μm.

【0087】振動板基板37は、直接接合法によってシ
リコン基板33の絶縁層である酸化膜34に接合されて
いる。
The vibration plate substrate 37 is bonded to the oxide film 34 which is the insulating layer of the silicon substrate 33 by the direct bonding method.

【0088】振動板39と個別電極36の間隔は、電圧
を印加しない状態で約0.1〜0.3μmとなるように
設計されている。
The distance between the vibration plate 39 and the individual electrode 36 is designed to be about 0.1 to 0.3 μm when no voltage is applied.

【0089】振動板基板37上には、ノズル板40が接
合されており、ノズル板40には、圧力室38に連通す
るノズル41が形成されている。
A nozzle plate 40 is joined to the vibrating plate substrate 37, and a nozzle 41 communicating with the pressure chamber 38 is formed in the nozzle plate 40.

【0090】そして、上記フレーム31の各共通液室3
2a、32bは、シリコン基板33、酸化膜34及び振
動板基板37に形成されたインク供給路42により圧力
室38に連通されている。上記個別電極36には、FP
C43により駆動電圧が印加される。上記酸化膜34、
個別電極36、ギャップ35等は、振動板39を変形さ
せて圧力室38内のインクをノズル41から吐出させる
静電型アクチュエータとして機能している。
Then, each common liquid chamber 3 of the frame 31
The ink supply paths 42 formed in the silicon substrate 33, the oxide film 34, and the vibration plate substrate 37 communicate with the pressure chambers 2a and 32b. The individual electrode 36 has an FP
A drive voltage is applied by C43. The oxide film 34,
The individual electrode 36, the gap 35, and the like function as an electrostatic actuator that deforms the vibration plate 39 to eject the ink in the pressure chamber 38 from the nozzle 41.

【0091】そして、上記フレーム31の各フレームブ
ロック31a、31bの外周面には、上方に突出したリ
ブ44が形成されており、上記シリコン基板33は、こ
のリブ44内に形成されている。
Ribs 44 protruding upward are formed on the outer peripheral surfaces of the frame blocks 31a and 31b of the frame 31, and the silicon substrate 33 is formed in the ribs 44.

【0092】このように、本実施の形態のインクジェッ
トヘッド30は、アクチュエータとして、静電型アクチ
ュエータを用いている。
As described above, the ink jet head 30 of this embodiment uses the electrostatic actuator as the actuator.

【0093】したがって、消費電力を削減することがで
き、インクジェットヘッド30を効率よくインクの吐出
を行う製造コストの安価なものとすることができる。
Therefore, the power consumption can be reduced, and the ink jet head 30 can be manufactured at a low manufacturing cost for efficiently ejecting ink.

【0094】以上、本発明者によってなされた発明を好
適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
上記のものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。
Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the preferred embodiments, the present invention is not limited to the above, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. It goes without saying that it is possible.

【0095】[0095]

【発明の効果】請求項1記載の発明のインクジェットヘ
ッドによれば、フレームを、複数形成されているノズル
列方向に延在するとともに当該ノズル列方向と直交する
方向に並んだ複数のフレームブロックに分割し、各フレ
ームブロックに、それぞれインク流路と当該インク流路
に連通する共通液室を形成しているので、各フレームブ
ロックの共通液室をインク供給路に簡単かつ精度良く位
置合わせすることができ、ノズルをマルチ化、高密度化
してもインク接続部でのインク漏れを適切かつ簡単に防
止して、インクジェットヘッドを高精度で製造コストの
安価なものとすることができる。
According to the ink jet head of the first aspect of the present invention, the frame is divided into a plurality of frame blocks extending in the direction of the plurality of nozzle rows and arranged in a direction orthogonal to the direction of the nozzle rows. Since each frame block is divided and an ink flow path and a common liquid chamber communicating with the ink flow path are formed in each frame block, the common liquid chamber of each frame block can be easily and accurately aligned with the ink supply path. Therefore, even if the number of nozzles is increased and the density is increased, it is possible to appropriately and easily prevent ink leakage at the ink connection portion, and to make the inkjet head highly accurate and inexpensive to manufacture.

【0096】請求項2記載の発明のインクジェットヘッ
ドによれば、圧力室を、アクチュエータにより変形され
る振動板と当該振動板に接合される流路板とにより形成
し、当該振動板と当該流路板を、フレーム上に順次積層
し、各フレームブロックに、当該振動板と当該流路板の
積層される方向に所定高さで延在するリブ部を外周端部
に形成し、振動板の端面を当該リブ部に突き当てて振動
板を位置決めしているので、各フレームブロックの共通
液室をインク供給路により一層簡単かつ精度良く位置合
わせすることができ、ノズルをマルチ化、高密度化して
もインク接続部でのインク漏れを適切かつより一層簡単
に防止して、インクジェットヘッドを高精度で製造コス
トの安価なものとすることができる。
According to the ink jet head of the second aspect of the present invention, the pressure chamber is formed by the vibration plate deformed by the actuator and the flow path plate joined to the vibration plate, and the vibration plate and the flow path. The plates are sequentially stacked on the frame, and each frame block is formed with a rib portion extending at a predetermined height in the stacking direction of the diaphragm and the flow path plate at the outer peripheral end. Since the vibrating plate is positioned by abutting against the rib portion, the common liquid chamber of each frame block can be more easily and accurately aligned with the ink supply path, and the nozzles can be made multi-density and high-density. In addition, it is possible to prevent ink leakage at the ink connection portion appropriately and more easily, and to make the inkjet head highly accurate and inexpensive to manufacture.

【0097】請求項3記載の発明のインクジェットヘッ
ドによれば、圧力室を、アクチュエータにより変形され
る振動板と当該振動板に接合される流路板とにより形成
し、当該振動板と当該流路板を、フレーム上に順次積層
し、各フレームブロックに、当該振動板と当該流路板の
積層される方向に所定高さで延在するリブ部を外周端部
に形成し、振動板の端面を当該リブ部に突き当てて振動
板を位置決めしているので、各フレームブロックの共通
液室をインク供給路により一層簡単かつ精度良く位置合
わせすることができ、ノズルをマルチ化、高密度化して
もインク接続部でのインク漏れを適切かつより一層簡単
に防止して、インクジェットヘッドを高精度で製造コス
トの安価なものとすることができる。
According to the ink jet head of the third aspect of the present invention, the pressure chamber is formed by the vibration plate deformed by the actuator and the flow path plate joined to the vibration plate, and the vibration plate and the flow path. The plates are sequentially stacked on the frame, and each frame block is formed with a rib portion extending at a predetermined height in the stacking direction of the diaphragm and the flow path plate at the outer peripheral end. Since the vibrating plate is positioned by abutting against the rib portion, the common liquid chamber of each frame block can be more easily and accurately aligned with the ink supply path, and the nozzles can be made multi-density and high-density. In addition, it is possible to prevent ink leakage at the ink connection portion appropriately and more easily, and to make the inkjet head highly accurate and inexpensive to manufacture.

【0098】請求項4記載の発明のインクジェットヘッ
ドによれば、インク供給路または圧力室あるいはインク
供給路と圧力室の双方を、アクチュエータにより変形さ
れる振動板と当該振動板に接合される流路板とにより形
成し、当該振動板と当該流路板を、フレーム上に順次積
層し、各フレームブロックに、当該振動板と当該流路板
の積層される方向に所定高さで延在するリブ部を外周端
部に形成し、流路板の端面を当該リブ部に突き当てて流
路板を位置決めしているので、各フレームブロックの共
通液室をインク供給路により一層簡単かつ精度良く位置
合わせすることができ、ノズルをマルチ化、高密度化し
てもインク接続部でのインク漏れを適切かつより一層簡
単に防止して、インクジェットヘッドを高精度で製造コ
ストの安価なものとすることができる。
According to the ink jet head of the fourth aspect of the invention, the ink supply passage or the pressure chamber or both the ink supply passage and the pressure chamber are vibrated by the actuator and the flow passage is joined to the vibrating plate. Ribs formed of a plate, the vibration plate and the flow path plate are sequentially stacked on a frame, and each frame block has a predetermined height in the stacking direction of the vibration plate and the flow path plate. Since the portion is formed at the outer peripheral end and the flow path plate is positioned by abutting the end surface of the flow path plate against the rib portion, the common liquid chamber of each frame block can be more easily and accurately positioned by the ink supply path. It is possible to match the nozzles, and even if the number of nozzles is increased and the density is increased, it is possible to prevent ink leakage at the ink connection part more appropriately and more easily. It can be.

【0099】請求項5記載の発明のインクジェットヘッ
ドによれば、リブ部を、ノズルの形成されている面より
も高く突出させているので、ワイパブレードや転写紙か
らノズルの形成されている基板端面を保護することがで
き、インクジェットヘッドをより一層高精度で製造コス
トの安価なものとすることができる。
According to the ink jet head of the fifth aspect of the present invention, since the rib portion is projected higher than the surface on which the nozzle is formed, the end surface of the substrate on which the nozzle is formed is wiped from the wiper blade or the transfer paper. Can be protected, and the inkjet head can be made more highly accurate and the manufacturing cost can be reduced.

【0100】請求項6記載の発明のインクジェットヘッ
ドによれば、フレームブロックを、同一形状に形成して
いるので、フレームブロックを安価なものとすることが
でき、インクジェットヘッドを高精度でより一層製造コ
ストの安価なものとすることができる。
According to the ink jet head of the sixth aspect of the present invention, since the frame blocks are formed in the same shape, the frame block can be made inexpensive, and the ink jet head can be manufactured with higher accuracy. The cost can be low.

【0101】請求項7記載の発明のインクジェットヘッ
ドによれば、フレームを、ポリフェニレンサルファイド
樹脂または熱硬化性樹脂で形成しているので、インク供
給路等のインクジェットヘッドを構成する部品精度を向
上させることができ、インクジェットヘッドをより一層
高精度で製造コストの安価なものとすることができる。
According to the ink jet head of the seventh aspect of the present invention, since the frame is made of polyphenylene sulfide resin or thermosetting resin, it is possible to improve the accuracy of the parts constituting the ink jet head such as the ink supply path. Therefore, the inkjet head can be made more highly accurate and the manufacturing cost can be reduced.

【0102】請求項8記載の発明のインクジェットヘッ
ドによれば、アクチュエータとして、圧電型アクチュエ
ータを用いているので、圧力室に高い圧力を発生させる
ことができ、より高粘度のインクの吐出を行えるように
して、インクジェットヘッドをインク吐出性能がより一
層良好で製造コストの安価なものとすることができる。
According to the ink jet head of the eighth aspect of the present invention, since the piezoelectric type actuator is used as the actuator, it is possible to generate a high pressure in the pressure chamber, and it is possible to eject a higher viscosity ink. Thus, the ink jet head can be made to have a better ink ejection performance and a lower manufacturing cost.

【0103】請求項9記載の発明のインクジェットヘッ
ドによれば、アクチュエータとして、静電型アクチュエ
ータを用いているので、消費電力を削減することがで
き、インクジェットヘッドを効率よくインクの吐出を行
う製造コストの安価なものとすることができる。
According to the ink jet head of the ninth aspect of the present invention, since the electrostatic actuator is used as the actuator, it is possible to reduce the power consumption, and the manufacturing cost of the ink jet head for efficiently ejecting ink. Can be cheap.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のインクジェットヘッドの第1の実施の
形態を適用したインクジェットヘッドの分解斜視図。
FIG. 1 is an exploded perspective view of an inkjet head to which an inkjet head according to a first embodiment of the present invention is applied.

【図2】図1のインクジェットヘッドの上面透視図。FIG. 2 is a top perspective view of the inkjet head of FIG.

【図3】図2のA−A矢視断面図。3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.

【図4】本発明のインクジェットヘッドの第2の実施の
形態を適用したインクジェットヘッドの上面透視図。
FIG. 4 is a top perspective view of an inkjet head to which the second embodiment of the inkjet head of the present invention is applied.

【図5】図4のA−A矢視断面図。5 is a sectional view taken along the line AA of FIG.

【図6】従来のインクジェットヘッドの分解斜視図。FIG. 6 is an exploded perspective view of a conventional inkjet head.

【図7】図6のインクジェットヘッドの流路板の拡大平
面図。
7 is an enlarged plan view of a flow path plate of the inkjet head of FIG.

【図8】従来のインクジェットヘッドの他の例の分解斜
視図。
FIG. 8 is an exploded perspective view of another example of a conventional inkjet head.

【図9】図8のインクジェットヘッドの流路板の拡大平
面図。
9 is an enlarged plan view of a flow path plate of the inkjet head of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 インクジェットヘッド 2 フレーム 2a、2b フレームブロック 3 振動板 4 流路板 5 ノズル板 6 FPC 7 PZTアクチュエータ 8 金属基板 9 ノズルカバー 10a、10b 共通液室 11a、11b インク流路 12a、12b リブ 13 インク供給路 14 インク供給路 15 圧力室 16 ノズル 20 加工溝 21 連通管 22 PZT連結部 30 インクジェットヘッド 31 フレーム 31a、31b フレームブロック 32a、32b 共通液室 33 シリコン基板 34 酸化膜 35 ギャップ 36 個別電極 37 振動板基板 38 圧力室 39 振動板 40 ノズル板 41 ノズル 42 インク供給路 43 FPC 44 リブ 1 inkjet head 2 frames 2a, 2b frame block 3 diaphragm 4 flow board 5 nozzle plate 6 FPC 7 PZT actuator 8 metal substrates 9 nozzle cover 10a, 10b Common liquid chamber 11a, 11b ink flow path 12a, 12b rib 13 ink supply path 14 Ink supply path 15 Pressure chamber 16 nozzles 20 Processing groove 21 Communication pipe 22 PZT connection part 30 inkjet head 31 frames 31a, 31b frame block 32a, 32b Common liquid chamber 33 Silicon substrate 34 Oxide film 35 gap 36 individual electrodes 37 Vibration board 38 Pressure chamber 39 diaphragm 40 nozzle plate 41 nozzles 42 ink supply path 43 FPC 44 ribs

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】インク滴を吐出する複数のノズルと、前記
各ノズルに連通し一部が変形することで収納するインク
に圧力を付与する複数の圧力室と、前記各圧力室に連通
し当該圧力室にインクを供給する複数のインク供給路
と、前記各インク供給路に連通し当該各インク供給路に
インクを供給する共通液室と、前記圧力室の一部を変形
させて当該圧力室内のインクを前記ノズルから吐出させ
るアクチュエータと、前記共通液室または前記インク供
給路にインクを供給するインク流路の形成されたフレー
ムと、を備えたインクジェットヘッドであって、前記複
数のノズルは、複数のノズル列に分割されて配設され、
前記フレームは、前記ノズル列方向に延在するとともに
当該ノズル列方向と直交する方向に並んだ複数のフレー
ムブロックに分割され、当該各フレームブロックは、そ
れぞれ前記インク流路と当該インク流路に連通する前記
共通液室が形成されていることを特徴とするインクジェ
ットヘッド。
1. A plurality of nozzles for ejecting ink droplets, a plurality of pressure chambers communicating with each of the nozzles for applying a pressure to the stored ink when a part thereof is deformed, and a plurality of pressure chambers for communicating with each of the pressure chambers. A plurality of ink supply paths that supply ink to the pressure chambers, a common liquid chamber that communicates with the ink supply paths and supplies ink to the ink supply paths, and a portion of the pressure chambers that is deformed An ink jet head comprising an actuator for ejecting the ink from the nozzle, and a frame in which an ink flow path for supplying the ink to the common liquid chamber or the ink supply path is formed, wherein the plurality of nozzles are It is divided into multiple nozzle rows and arranged.
The frame is divided into a plurality of frame blocks that extend in the nozzle row direction and are arranged in a direction orthogonal to the nozzle row direction, and each frame block communicates with the ink flow path and the ink flow path. An ink jet head characterized in that the common liquid chamber is formed.
【請求項2】前記ノズル列は2列形成され、前記フレー
ムは、2つの前記フレームブロックに分割されているこ
とを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。
2. The ink jet head according to claim 1, wherein the nozzle row is formed in two rows, and the frame is divided into two frame blocks.
【請求項3】前記圧力室は、前記アクチュエータにより
変形される振動板と、当該振動板に接合される流路板
と、により形成され、当該振動板と当該流路板は、前記
フレーム上に順次積層され、前記各フレームブロック
は、当該振動板と当該流路板の積層される方向に所定高
さで延在するリブ部が外周端部に形成され、前記振動板
は、その端面が当該リブ部に突き当てられることで位置
決めされていることを特徴とする請求項1または請求項
2記載のインクジェットヘッド。
3. The pressure chamber is formed by a vibrating plate that is deformed by the actuator and a flow path plate joined to the vibrating plate, and the vibrating plate and the flow path plate are provided on the frame. The frame blocks are sequentially laminated, and a rib portion extending at a predetermined height in a laminating direction of the diaphragm and the flow path plate is formed at an outer peripheral end portion of each frame block. The inkjet head according to claim 1, wherein the inkjet head is positioned by abutting against a rib portion.
【請求項4】前記インク供給路または前記圧力室あるい
は前記インク供給路と前記圧力室の双方は、前記アクチ
ュエータにより変形される振動板と、当該振動板に接合
される流路板と、により形成され、当該振動板と当該流
路板は、前記フレーム上に順次積層され、前記各フレー
ムブロックは、当該振動板と当該流路板の積層される方
向に所定高さで延在するリブ部が外周端部に形成され、
前記流路板は、その端面が当該リブ部に突き当てられる
ことで位置決めされていることを特徴とする請求項1ま
たは請求項2記載のインクジェットヘッド。
4. The ink supply passage, the pressure chamber, or both the ink supply passage and the pressure chamber are formed by a vibrating plate deformed by the actuator and a flow passage plate joined to the vibrating plate. The vibrating plate and the flow path plate are sequentially stacked on the frame, and each frame block has a rib portion extending at a predetermined height in the stacking direction of the vibrating plate and the flow path plate. Formed on the outer peripheral edge,
The inkjet head according to claim 1 or 2, wherein the flow path plate is positioned by having its end face abut against the rib portion.
【請求項5】前記リブ部は、前記ノズルの形成されてい
る面よりも高く突出していることを特徴とする請求項3
または請求項4記載のインクジェットヘッド。
5. The rib portion projects higher than a surface on which the nozzle is formed.
Alternatively, the inkjet head according to claim 4.
【請求項6】前記フレームブロックは、同一形状に形成
されていることを特徴とする請求項2記載のインクジェ
ットヘッド。
6. The ink jet head according to claim 2, wherein the frame blocks have the same shape.
【請求項7】前記フレームは、ポリフェニレンサルファ
イド樹脂または熱硬化性樹脂で形成されていることを特
徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載のイン
クジェットヘッド。
7. The ink jet head according to any one of claims 1 to 6, wherein the frame is made of polyphenylene sulfide resin or thermosetting resin.
【請求項8】前記アクチュエータは、圧電型アクチュエ
ータであることを特徴とする請求項1から請求項7のい
ずれかに記載のインクジェットヘッド
8. The ink jet head according to claim 1, wherein the actuator is a piezoelectric type actuator.
【請求項9】前記アクチュエータは、静電型アクチュエ
ータであることを特徴とする請求項1から請求項6のい
ずれかに記載のインクジェットヘッド。
9. The ink jet head according to claim 1, wherein the actuator is an electrostatic actuator.
JP2002007245A 2002-01-16 2002-01-16 Ink-jet head Granted JP2003205612A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002007245A JP2003205612A (en) 2002-01-16 2002-01-16 Ink-jet head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002007245A JP2003205612A (en) 2002-01-16 2002-01-16 Ink-jet head

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003205612A true JP2003205612A (en) 2003-07-22

Family

ID=27645808

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002007245A Granted JP2003205612A (en) 2002-01-16 2002-01-16 Ink-jet head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003205612A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006051746A (en) * 2004-08-16 2006-02-23 Ricoh Co Ltd Liquid discharge head and image forming device
JP2013141762A (en) * 2012-01-10 2013-07-22 Ricoh Co Ltd Droplet ejection head and image forming apparatus

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006051746A (en) * 2004-08-16 2006-02-23 Ricoh Co Ltd Liquid discharge head and image forming device
JP4527466B2 (en) * 2004-08-16 2010-08-18 株式会社リコー Liquid ejection head and image forming apparatus
JP2013141762A (en) * 2012-01-10 2013-07-22 Ricoh Co Ltd Droplet ejection head and image forming apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1815991B1 (en) Piezoelectric inkjet printhead
US9937716B2 (en) Electronic device, liquid ejecting head, and electronic device manufacturing method
JP2007168319A (en) Droplet discharge head, droplet discharge device and process for manufacturing droplet discharge head
JP2007050687A (en) Ink jet head and ink jet recording apparatus
US9259928B2 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP4508595B2 (en) Liquid ejecting head, manufacturing method thereof, and liquid ejecting apparatus
KR100527221B1 (en) Inkjet head and inkjet printer
KR100481901B1 (en) Ink jet head and printer
JP5849131B1 (en) Ink jet head and manufacturing method thereof
JP6263871B2 (en) Flow path unit, liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus
JP6103209B2 (en) Method for manufacturing liquid jet head
JP4193890B2 (en) Inkjet head
US8998380B2 (en) Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus
JP2011037055A (en) Manufacturing method of liquid jet head, liquid jet head and liquid jet apparatus
JP2003205612A (en) Ink-jet head
JP2007168096A (en) Inkjet head
KR20070079296A (en) Piezoelectric inkjet printhead
JP4415385B2 (en) Liquid jet head and manufacturing method thereof
JP2007062251A (en) Liquid discharge head, manufacturing method of liquid discharge head, recording liquid cartridge, and, image forming device
JP3842120B2 (en) Droplet discharge head and inkjet recording apparatus
JP2002248774A (en) Ink-jet recording head and ink-jet recorder
JP7064648B1 (en) Head tip, liquid injection head and liquid injection recording device
JP2008080517A (en) Head for liquid droplet jet device and method for manufacturing the same
JP5007813B2 (en) Liquid ejecting head, manufacturing method thereof, and liquid ejecting apparatus
JP2004122422A (en) Process for manufacturing liquid ejection head, liquid ejection head and recorder equipped with it

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070531

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20070531

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20070531