JP2001099888A - Tuner for measuring load pull or source pull - Google Patents

Tuner for measuring load pull or source pull

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JP2001099888A
JP2001099888A JP27506399A JP27506399A JP2001099888A JP 2001099888 A JP2001099888 A JP 2001099888A JP 27506399 A JP27506399 A JP 27506399A JP 27506399 A JP27506399 A JP 27506399A JP 2001099888 A JP2001099888 A JP 2001099888A
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conductor
tuner
pull
measurement
rod
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Japanese (ja)
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Takatoshi Saito
崇利 斉藤
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Kyocera Corp
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  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem of a prior art tuner that an efficient measurement can not be expected through a triplexer when the VSWR thereof is low or a loss is present. SOLUTION: The tuner for measuring load pull or source pull comprises a tuner body section 13 comprising a rod-like central conductor 13a and a tubular ground conductor 13b including a large number of metal pieces 13c a part of which are movable perpendicularly to the central conductor 13a, and a impedance converting section 12 comprising a rod-like conductor 12a, an outer conductor 12b movable vertically and a metal piece 12c movable in the vertical and horizontal directions wherein the VSWR of an arbitrary phase can be increased with respect to the impedance viewed from a high frequency transistor 8 side toward the tuner body 13 side. Since the VSWR of an arbitrary phase can be increased without requiring a large number of phase regulation lines corresponding to the high frequency transistor 8, an efficient measurement can be expected easily.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は高周波用トランジス
タの特性評価方法であるロードプル測定およびソースプ
ル測定に使用するロードプルまたはソースプル測定用チ
ューナに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a load-pull or source-pull measurement tuner used for load-pull measurement and source-pull measurement as a method for evaluating characteristics of a high-frequency transistor.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、マイクロ波技術の分野においてマ
イクロ波半導体素子やデバイスならびにマイクロ波回路
についての測定あるいは設計技術が著しく進展してお
り、マイクロ波半導体素子やデバイスの特性を評価して
回路設計に有効に活用するために、これらの特性を精度
よく測定する技術がますます重要になっている。
2. Description of the Related Art In recent years, measurement or design techniques for microwave semiconductor devices and devices and microwave circuits have been remarkably advanced in the field of microwave technology, and circuit design has been carried out by evaluating the characteristics of microwave semiconductor devices and devices. In order to make effective use of such characteristics, techniques for accurately measuring these characteristics are becoming increasingly important.

【0003】従来より、マイクロ波半導体素子である高
出力デバイス、例えばマイクロ波用等の高周波用トラン
ジスタの電気的特性の測定として、その入出力端にチュ
ーナを接続し、そのチューナの負荷を変化させることに
よりその高周波用トランジスタの出力・効率・歪特性の
負荷依存性や入力電力依存性等の電気的特性を調べるロ
ードプル測定またはソースプル測定が行なわれている。
Conventionally, a tuner is connected to an input / output terminal of a high-output device as a microwave semiconductor element, for example, a high-frequency transistor for microwaves, for example, to change the load of the tuner. Accordingly, load-pull measurement or source-pull measurement for examining electrical characteristics such as load dependence and input power dependence of output, efficiency, and distortion characteristics of the high-frequency transistor is performed.

【0004】また、マイクロ波半導体素子やデバイスに
おいては、基本周波数のみならず基本周波数の2倍の周
波数(2次高調波)や3倍の周波数(3次高調波)など
の高次高調波に対する負荷を考慮することで電気的特性
が向上することが知られており、ロードプル測定または
ソースプル測定においても高次高調波を考慮した測定が
行なわれている。
In microwave semiconductor elements and devices, not only fundamental frequency but also higher harmonics such as twice (second harmonic) and triple (third harmonic) the fundamental frequency are used. It is known that the electrical characteristics are improved by taking into account the load. In load-pull measurement or source-pull measurement, measurements are also made in consideration of higher-order harmonics.

【0005】そのような3次高調波まで考慮した従来の
ロードプル測定の測定系を図3に概略構成図で示す。
FIG. 3 shows a schematic configuration diagram of a conventional load-pull measurement system considering such third harmonics.

【0006】図3において、21は入力信号源、22は入力
信号源21の信号を増幅する増幅器、23は入力信号の電力
を測定するためのパワーメータ、24はパワーメータ23を
信号系に接続するためのカプラ、25は入力信号源21側へ
の信号の反射・漏洩を防止するためのアイソレータ、26
は被測定デバイス28に電源を供給するためのバイアステ
ィ、27は信号系と被測定デバイス28の入力端子との間に
接続されるソースプル測定用チューナであり、被測定デ
バイス28からみた入力側のインピーダンスを測定の仕様
に応じて所望の値に設定、例えば高利得・低歪みとなる
ように最適化するものである。
In FIG. 3, 21 is an input signal source, 22 is an amplifier for amplifying the signal of the input signal source 21, 23 is a power meter for measuring the power of the input signal, and 24 is a power meter 23 connected to a signal system. 25 is an isolator for preventing signal reflection / leakage to the input signal source 21 side, 26
Is a bias tee for supplying power to the device under test 28, 27 is a tuner for source pull measurement connected between the signal system and the input terminal of the device under test 28, The impedance is set to a desired value in accordance with the specification of the measurement, for example, optimization is performed so as to obtain high gain and low distortion.

【0007】28は被測定デバイス(Device Under Test
、以下DUTという)としての、例えばGsAsFE
T等の高周波用トランジスタである。そして32はトリプ
レクサ29を介して、DUT28の出力端子と信号系との間
に接続される基本周波数に対するロードプル測定用チュ
ーナ、また30および31はそれぞれ2次高調波および3次
高調波に対するロードプル測定用チューナである。これ
らロードプル測定用チューナ30〜32により、DUT28の
出力端子から出力側を見た出力側のインピーダンスを測
定の仕様に応じて変化させて、所望の値、例えば高効率
・低歪みとなるように設定し最適化する。これにより、
DUT28である高周波用トランジスタの最大出力が得ら
れる負荷条件や最大効率でかつ低歪みが得られる負荷条
件などを求めるものである。
Reference numeral 28 denotes a device under test (Device Under Test).
, Hereinafter referred to as DUT), for example, GsAsFE.
It is a high-frequency transistor such as T. Numeral 32 is a load-pull measurement tuner for the fundamental frequency connected between the output terminal of the DUT 28 and the signal system via the triplexer 29, and numerals 30 and 31 are for the load-pull measurement for the second and third harmonics, respectively. Tuner. These load-pull measurement tuners 30 to 32 change the impedance of the output side when viewing the output side from the output terminal of the DUT 28 according to the specification of the measurement, and set it to a desired value, for example, high efficiency and low distortion. And optimize. This allows
The load conditions for obtaining the maximum output of the high-frequency transistor as the DUT 28 and the load conditions for obtaining the maximum efficiency and low distortion are obtained.

【0008】なお、ソースプル測定用チューナ27および
ロードプル測定用チューナ30〜32には、基本的に同じ構
成のチューナが用いられている。このチューナは、例え
ば断面がコの字形状の細長い筒状の外部導体と、その中
心に平行に配置された、外部導体と等しい長さを有する
棒状の中心導体と、外部導体と電気的に接続され、中心
導体と所定間隔で所定位置に設定される可動金属片とか
ら構成されている。そして、外部導体および可動金属片
は測定系のグランド系に接続され、中心導体は測定系の
信号系に接続されて、中心導体が特性インピーダンスが
50Ωの伝送線路とみなされる分布定数線路として機能
し、中心導体と可動金属片とが対向する部分の対向面積
および対向間隔によって定まる所定のキャパシタンス成
分と、中心導体の残りの部分により得られる伝送線路長
とを変化させることにより、所望の測定条件を得るもの
である。
The tuner 27 having the same configuration as the tuner 27 for measuring the source pull and the tuners 30 to 32 for measuring the load pull is basically used. This tuner has, for example, an elongated cylindrical outer conductor having a U-shaped cross section, a rod-shaped center conductor having a length equal to the length of the outer conductor, disposed in parallel with the center thereof, and electrically connected to the outer conductor. And a movable metal piece set at a predetermined position at a predetermined interval. The outer conductor and the movable metal piece are connected to the ground system of the measurement system, the center conductor is connected to the signal system of the measurement system, and the center conductor has a characteristic impedance.
A predetermined capacitance component that functions as a distributed constant line regarded as a 50Ω transmission line and is determined by the facing area and facing distance of the portion where the center conductor and the movable metal piece face each other, and the transmission line obtained by the remaining portion of the center conductor By changing the length, desired measurement conditions are obtained.

【0009】33はDUT28に電源を供給するためのバイ
アスティ、34は出力信号の電力を測定するためのパワー
メータ、35はパワーメータ34を信号系に接続するための
カプラ、36は出力信号の周波数成分を解析するためのス
ペクトラムアナライザである。
Reference numeral 33 denotes a bias tee for supplying power to the DUT 28; 34, a power meter for measuring the power of the output signal; 35, a coupler for connecting the power meter 34 to a signal system; This is a spectrum analyzer for analyzing frequency components.

【0010】また、ソースプル測定用チューナ27および
ロードプル測定用チューナ30〜32には、測定にあたって
チューナ本体を含めた測定系に用いるRFコンポーネン
トを、予めネットワークアナライザにより校正したデー
タを基に、これらを種々の位置(インピーダンス)に制
御するための制御機器として、例えばパーソナルコンピ
ュータ(図示せず)が接続されている。
The source-pull measurement tuner 27 and the load-pull measurement tuners 30 to 32 are provided with various types of RF components used in a measurement system including a tuner body based on data calibrated by a network analyzer in advance. For example, a personal computer (not shown) is connected as a control device for controlling the position (impedance).

【0011】しかしながら、上記のような構成の測定系
においては、トリプレクサ29のVSWR(Voltage Stand
ing Wave Ratio:電圧定在波比) が悪い場合や、トリプ
レクサ29が損失を持つような場合は、この測定系により
測定可能なVSWRがロードプル測定用チューナ30〜32
の持つVSWRよりも小さくなることがある。そのた
め、例えば携帯電話用の電力増幅器に用いられるFET
等の低インピーダンスのDUT28を測定しようとする場
合は、十分なVSWRが得られない場合があるという問
題点があった。
However, in the measurement system having the above configuration, the VSWR (Voltage Stand-Alone) of the triplexer 29 is used.
In the case where the ing wave ratio (voltage standing wave ratio) is bad or the triplexer 29 has a loss, the VSWR measurable by this measurement system is a load-pull measurement tuner 30 to 32.
May be smaller than VSWR. Therefore, for example, FETs used in power amplifiers for mobile phones
However, there is a problem that a sufficient VSWR may not be obtained when the DUT 28 having a low impedance is measured.

【0012】このような問題点に対しては、通常、図4
に示すような構成の測定系とすることにより所望のVS
WRを得ることが行なわれていた。図4において、図3
と同様の箇所には同じ符号を付してある。38はインピー
ダンス変換器であり、携帯電話用の電力増幅器に用いら
れるFET等の低インピーダンスのDUT28を測定しよ
うとするとき、基本周波数に対するロードプル測定用チ
ューナ32の中心導体による伝送線路の特性インピーダン
スが50Ωの場合に、例えば30Ωや20Ω等の50Ωより低い
インピーダンスに設定する。また、37は位相調整用のラ
イン、例えばエアラインであり、このライン37の長短に
より負荷の位相を所望の位置まで回転させる。このライ
ン37の特性インピーダンスは、チューナ32の伝送線路の
特性インピーダンスと同様の50Ωである。
In order to solve such a problem, FIG.
The desired VS can be obtained by using a measurement system having the configuration shown in FIG.
Getting the WR was going on. In FIG. 4, FIG.
The same parts as in are denoted by the same reference numerals. Reference numeral 38 denotes an impedance converter. When a low-impedance DUT 28 such as an FET used in a power amplifier for a mobile phone is to be measured, the characteristic impedance of the transmission line due to the center conductor of the load-pull measurement tuner 32 with respect to the fundamental frequency is 50Ω. In this case, the impedance is set to be lower than 50Ω, such as 30Ω or 20Ω. Reference numeral 37 denotes a phase adjustment line, for example, an air line. The length of the line 37 rotates the load phase to a desired position. The characteristic impedance of this line 37 is 50Ω which is the same as the characteristic impedance of the transmission line of the tuner 32.

【0013】このようにDUT28とチューナ32との間に
インピーダンス変換器38および位相調整用のライン37を
接続することにより、インピーダンス変換器により反射
係数の絶対値を大きくし(VSWRを大きくし)、位相
調整ラインでDUT28の性能が引き出せる位相に合わせ
られることから、十分なVSWRが得られ、低インピー
ダンスのDUT28についても適切な測定が行なえるよう
になる。
By connecting the impedance converter 38 and the phase adjusting line 37 between the DUT 28 and the tuner 32 as described above, the absolute value of the reflection coefficient is increased (the VSWR is increased) by the impedance converter. Since the phase of the DUT 28 is adjusted to a phase at which the performance of the DUT 28 can be extracted by the phase adjustment line, a sufficient VSWR can be obtained, and appropriate measurement can be performed for the DUT 28 having a low impedance.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図3の
ような従来の測定系においてトリプレクサ29のVSWR
が悪いために、あるいは損失を持つために十分な測定が
できないときに、図4のような測定系としてインピーダ
ンス変換器38と位相調整用のライン37とを用いて測定系
を構成するようにした場合には、DUT28やそのDUT
28の対象となるシステムが異なると必要な位相調整量
(位相回転量)が異なることから、その必要分だけ位相
調整用のライン37を用意しなければならないという問題
点があった。
However, the VSWR of the triplexer 29 in the conventional measurement system as shown in FIG.
When the measurement cannot be performed due to poor quality or loss, a measurement system is configured using an impedance converter 38 and a line 37 for phase adjustment as a measurement system as shown in FIG. In that case, DUT28 or its DUT
Since the required amount of phase adjustment (the amount of phase rotation) is different if the target system of 28 is different, there is a problem that a line 37 for phase adjustment must be prepared for the necessary amount.

【0015】そのため、測定系そのものがライン37の必
要数の増加に伴って高価になるばかりでなく、そのライ
ン37による位相の調整にも時間がかかり、わずらわしい
作業が必要であるという問題点があった。
Therefore, not only is the measuring system itself expensive as the number of lines 37 required is increased, but also it takes time to adjust the phase by the lines 37, which requires a troublesome operation. Was.

【0016】本発明は上記従来技術の問題点に鑑みてな
されたものであり、その目的は、被測定デバイスである
高周波用トランジスタの仕様に応じて必要な位相回転量
ごとに、従来のように多数の位相調整用ラインを用意す
ることなく容易に位相調整を行なうことができ、トリプ
レクサのVSWRが悪い場合やトリプレクサに損失があ
る場合でも低インピーダンスの高周波用トランジスタに
ついても適切な測定が行なえるロードプルまたはソース
プル測定用チューナを提供することにある。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and an object thereof is to provide a conventional method for each phase rotation amount required according to the specification of a high-frequency transistor as a device to be measured. A load pull that can easily perform phase adjustment without preparing a large number of phase adjustment lines, and can perform appropriate measurements on low-impedance high-frequency transistors even when the VSWR of the triplexer is bad or the triplexer has loss. Another object is to provide a tuner for measuring a source pull.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】本発明のロードプルまた
はソースプル測定用チューナは、高周波用トランジスタ
の入力側もしくは出力側に接続し、前記高周波用トラン
ジスタの電気的特性を評価するロードプルまたはソース
プル測定用チューナであって、棒状の中心導体と、この
中心導体の周囲に配された筒状の接地導体とから成り、
この接地導体の軸方向に沿った一部が前記中心導体に対
し垂直方向に可動とした多数枚の金属片により構成され
るチューナ本体と、棒状の導体と、この棒状の導体の周
囲にこの棒状の導体に対し垂直方向に可動自在に配置さ
れた溝状の外部導体と、この外部導体の開口に跨って前
記棒状の導体に対して垂直方向および平行方向に可動自
在に配置された金属片とから成り、前記棒状の導体の一
端が前記中心導体と端面同士で接続されるとともに前記
外部導体が前記接地導体と電気的に接続されるインピー
ダンス変換部とを具備することを特徴とするものであ
る。
A tuner for measuring a load pull or a source pull according to the present invention is connected to an input side or an output side of a high frequency transistor, and a load pull or a source pull measuring tuner for evaluating an electrical characteristic of the high frequency transistor. And comprises a rod-shaped center conductor and a cylindrical grounding conductor arranged around the center conductor,
A tuner body composed of a large number of metal pieces whose part along the axial direction of the ground conductor is movable in a direction perpendicular to the center conductor, a rod-shaped conductor, and a rod-shaped conductor around the rod-shaped conductor A groove-shaped external conductor movably disposed in a direction perpendicular to the conductor, and a metal piece movably disposed in a direction perpendicular and parallel to the rod-shaped conductor over the opening of the external conductor. And one end of the rod-shaped conductor is connected to the center conductor at an end face thereof, and the external conductor is provided with an impedance conversion unit electrically connected to the ground conductor. .

【0018】本発明のロードプルまたはソースプル測定
用チューナによれば、チューナ本体が高周波電気信号を
伝搬するための中心導体とその周囲に配された筒状の接
地導体とから成り、接地導体の軸方向に沿った一部が中
心導体に対し垂直方向に可動とした多数枚の金属片によ
り構成されていることから、これら多数枚の金属片を中
心導体に対して単独でまたは任意に組み合わせて垂直な
方向に動かすことによって、所望の位置で可変容量を形
成しスケーリングを行なって測定することができる。そ
のため、中心導体に曲がりがある場合や傾きがある場合
でも容量の可変範囲を広くして測定範囲を広くすること
ができ、広範囲の条件での測定が可能な、また測定の再
現性にも優れたロードプルまたはソースプル測定用チュ
ーナとなる。
According to the load-pull or source-pull measuring tuner of the present invention, the tuner main body is composed of the central conductor for transmitting the high-frequency electric signal and the cylindrical ground conductor disposed around the central conductor, and the axial direction of the ground conductor Is composed of a large number of metal pieces movable in the vertical direction with respect to the center conductor. By moving in the direction, a variable capacitance can be formed at a desired position, and scaling can be performed for measurement. Therefore, even when the center conductor is bent or inclined, the variable range of the capacitance can be widened and the measurement range can be widened, enabling measurement under a wide range of conditions and excellent reproducibility of measurement. It becomes a tuner for measuring load pull or source pull.

【0019】また、本発明のロードプルまたはソースプ
ル測定用チューナによれば、チューナ本体に加えて、チ
ューナ本体の中心導体に端面同士が接続された棒状の導
体と、この棒状の導体の周囲に配され、この棒状の導体
に対して垂直方向に可動自在に配置された溝状の外部導
体と、この外部導体の開口に跨って前記棒状の導体に対
して垂直方向および平行方向に可動自在に配置された金
属片とから成り、前記外部導体が前記接地導体と電気的
に接続されるインピーダンス変換部を具備していること
から、棒状の導体の周囲に配された接地導体が棒状の導
体に対し垂直方向に可動自在であるため、チューナ本体
の中心導体とは特性インピーダンスが異なることによ
り、VSWRを大きくすることができるインピーダンス
変換部として機能するとともに、棒状の導体と可動金属
片とが対向する部分の対向面積および対向間隔によって
定まるキャパシタンス成分と、棒状の残りの部分により
得られる伝送線路長とを変化させることによりインピー
ダンスの位相を任意に調整できる機能も併せ持っている
ことから、所望の位相でVSWRを大きくすることがで
きる。そのため、測定系に用いるトリプレクサのVSW
Rが悪い場合や損失がある場合でも、従来の測定系のよ
うにDUTやそのDUTの対象となるシステムによって
別個に位相調整用のラインを多数用意する必要がなく、
その位相調整用のラインによる煩雑な位相の調整が不要
となるとともに、測定システムそのものを安価に構成す
ることができる。
Further, according to the load pull or source pull measuring tuner of the present invention, in addition to the tuner main body, a rod-shaped conductor whose end faces are connected to a center conductor of the tuner main body, and a bar-shaped conductor arranged around the rod-shaped conductor are provided. A groove-shaped external conductor movably disposed in a direction perpendicular to the rod-shaped conductor, and movably disposed in a direction perpendicular and parallel to the rod-shaped conductor over the opening of the external conductor. Since the external conductor includes an impedance converter electrically connected to the ground conductor, the ground conductor disposed around the rod-shaped conductor is perpendicular to the rod-shaped conductor. Since it is movable in any direction, it has a characteristic impedance different from that of the center conductor of the tuner body, and thus functions as an impedance conversion unit that can increase the VSWR. In addition, the phase of the impedance can be arbitrarily adjusted by changing the capacitance component determined by the opposing area and opposing interval of the portion where the rod-shaped conductor and the movable metal piece oppose, and the transmission line length obtained by the remaining rod-shaped portion Since the VSWR also has a function that can be performed, the VSWR can be increased at a desired phase. Therefore, the VSW of the triplexer used in the measurement system
Even if R is bad or lossy, there is no need to prepare many separate lines for phase adjustment depending on the DUT and the system to be targeted by the DUT as in the conventional measurement system.
The complicated phase adjustment using the phase adjustment line is not required, and the measurement system itself can be configured at low cost.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明のロードプルまたは
ソースプル測定用チューナを添付の図面に基づいて説明
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a tuner for measuring a load pull or a source pull according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

【0021】図1は、本発明のロードプルまたはソース
プル測定用チューナを用いた、3次高調波まで考慮した
測定系の例を示す概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a measurement system using the load pull or source pull measurement tuner of the present invention and taking into account the third harmonic.

【0022】図1において、1は入力信号源、2は入力
信号源1からの信号を増幅する増幅器、3は入力信号の
電力を測定するためのパワーメータ、4はパワーメータ
3を信号系に接続するためのカプラ、5は入力信号源1
側へ信号が反射・漏洩するのを防止するためのアイソレ
ータ、6はDUT8に電源を供給するためのバイアステ
ィ、7は信号系とDUT8の入力端子との間に接続され
るソースプル測定用チューナであり、DUT8からみた
入力側のインピーダンスを測定の仕様に応じて所望の値
に設定、例えば高利得・低歪みとなるよう最適化するも
のである。
In FIG. 1, 1 is an input signal source, 2 is an amplifier for amplifying the signal from the input signal source 1, 3 is a power meter for measuring the power of the input signal, and 4 is a power meter for the power system. Coupler for connection, 5 is input signal source 1
6 is a bias tee for supplying power to the DUT 8, and 7 is a source pull measurement tuner connected between the signal system and the input terminal of the DUT 8. Yes, the impedance on the input side viewed from the DUT 8 is set to a desired value in accordance with the specification of the measurement, for example, optimization is performed to obtain high gain and low distortion.

【0023】8はDUTとしての例えばGaAsFET
等の高周波用トランジスタであり、9はトリプレクサで
ある。
Reference numeral 8 denotes a GaAs FET as a DUT, for example.
And 9 is a triplexer.

【0024】そして、14はトリプレクサ9を介してDU
T8の出力端子と信号系との間に接続される、基本周波
数に関する本発明のロードプル測定用チューナである。
この本発明のロードプル測定用チューナ14は、チューナ
本体13とインピーダンス変換部12とを具備している。ま
た、10および11はそれぞれ2次高調波および3次高調波
に対するロードプル測定用チューナであり、これらをそ
れぞれ独立にまたは組み合わせて調整することより、D
UT8の出力端子から出力側を見た出力側のインピーダ
ンスを測定の仕様に応じて最適化して、所望の値、例え
ば高効率・低歪みとなるような値に設定するものであ
る。
Then, 14 is a DU through the triplexer 9.
It is a load pull measurement tuner of the present invention relating to a fundamental frequency, which is connected between an output terminal of T8 and a signal system.
The load-pull measurement tuner 14 of the present invention includes a tuner body 13 and an impedance converter 12. Reference numerals 10 and 11 denote load-pull measurement tuners for the second harmonic and the third harmonic, respectively.
The impedance on the output side when the output side is viewed from the output terminal of the UT 8 is optimized according to the specification of the measurement, and is set to a desired value, for example, a value that provides high efficiency and low distortion.

【0025】15はDUT8に電源を供給するためのバイ
アスティ、16は出力信号の電力を測定するためのパワー
メータ、17はパワーメータ16を信号系に接続するための
カプラ、18は出力信号の周波数成分を解析するためのス
ペクトラムアナライザである。
Reference numeral 15 denotes a bias tee for supplying power to the DUT 8, 16 denotes a power meter for measuring the power of an output signal, 17 denotes a coupler for connecting the power meter 16 to a signal system, and 18 denotes an output signal. This is a spectrum analyzer for analyzing frequency components.

【0026】なお、測定にあたってソースプル測定用チ
ューナ7およびロードプル測定用チューナ10・11・14を
含めた測定に用いるRFコンポーネントを予めネットワ
ークアナライザにより校正したデータを基に種々の位置
(インピーダンス)に制御するための制御機器として、
例えばパーソナルコンピュータ(図示せず)が接続され
ている。
In measurement, RF components used for measurement including the source pull measurement tuner 7 and the load pull measurement tuners 10, 11, and 14 are controlled to various positions (impedance) based on data calibrated by a network analyzer in advance. Control equipment for
For example, a personal computer (not shown) is connected.

【0027】図1に示した本発明のロードプル測定用チ
ューナ14は、本例では基本周波数に対するチューナであ
る。このロードプル測定用チューナ14の実施の形態の一
例を、図2(a)に信号の伝送方向に沿った方向の断面
図で示す。また、図2(b)にはインピーダンス変換部
12における信号の伝送方向に垂直な方向の断面図を、図
2(c)にはチューナ本体13における信号の伝送方向に
垂直な方向の断面図を示す。
The load pull measurement tuner 14 of the present invention shown in FIG. 1 is a tuner for a fundamental frequency in this embodiment. An example of the embodiment of the load-pull measurement tuner 14 is shown in FIG. 2A in a cross-sectional view along a signal transmission direction. FIG. 2B shows an impedance conversion unit.
FIG. 2C is a cross-sectional view of the tuner body 13 in a direction perpendicular to the signal transmission direction, and FIG.

【0028】図1および図2に示すように、本発明のロ
ードプル測定用チューナ14はチューナ本体13とインピー
ダンス変換部12を具備している。この例では、これらを
共通の外部導体を構成する筐体14a中に構成している。
なお、14bおよび14cはそれぞれトリプレクサ9および
バイアスティ15に接続するためのコネクタである。
As shown in FIGS. 1 and 2, the load-pull measurement tuner 14 of the present invention includes a tuner body 13 and an impedance converter 12. In this example, they are configured in a housing 14a that forms a common external conductor.
14b and 14c are connectors for connecting to the triplexer 9 and the bias tee 15, respectively.

【0029】チューナ本体13は、棒状の中心導体13a
と、この中心導体13aの周囲に配された筒状の接地導
体、この例では断面がコの字形状をした細長い筒状の接
地導体13bと、この接地導体13bの開口部にあたる軸方
向に沿った一部に配設した、中心導体13aに対し垂直方
向に個別に可動とした多数枚の金属片13cとにより構成
されている。また、接地導体13bは中心導体13aに対し
て平行に配置され、接地導体13bの長さと金属片13cを
配設した長さとは、中心導体13aとほぼ等しい長さとさ
れている。なお、接地導体13bの断面形状はU字形状や
円形状であっても構わない。また、チューナ本体13の中
心導体13aは、通常は特性インピーダンスが50Ωの伝送
線路とみなされる分布定数線路として機能するように設
定される。
The tuner body 13 has a rod-shaped center conductor 13a.
And a cylindrical grounding conductor 13b arranged around the center conductor 13a, an elongated cylindrical grounding conductor 13b having a U-shaped cross section in this example, and an axial direction corresponding to an opening of the grounding conductor 13b. And a plurality of metal pieces 13c individually movable in a direction perpendicular to the center conductor 13a. The ground conductor 13b is arranged parallel to the center conductor 13a, and the length of the ground conductor 13b and the length of the metal piece 13c are substantially equal to the length of the center conductor 13a. The cross-sectional shape of the ground conductor 13b may be U-shaped or circular. The center conductor 13a of the tuner body 13 is set so as to function as a distributed constant line which is normally regarded as a transmission line having a characteristic impedance of 50Ω.

【0030】筒状の接地導体13bの一部を構成するよう
に配設された多数枚の金属片13cは、接地導体13bと電
気的に接続されつつ個々の金属片13cを中心導体13aに
対して所定間隔に設定できるように同図中において上下
方向すなわち中心導体13aに対し垂直方向に可動とした
状態で配置されており、同図においては多数枚の金属片
13cを中心導体13aに対して同じ間隔で配置した状態を
示している。
The plurality of metal pieces 13c arranged so as to constitute a part of the cylindrical ground conductor 13b are electrically connected to the ground conductor 13b and move the individual metal pieces 13c with respect to the center conductor 13a. In this figure, the metal pieces are arranged so as to be movable in the vertical direction, that is, in the direction perpendicular to the center conductor 13a.
13C shows a state in which 13c is arranged at the same interval with respect to the center conductor 13a.

【0031】このように配置された多数枚の金属片13c
によれば、これらを任意に組み合わせてかつ独立に制御
することができて、中心導体13aに対して所望の位置で
スケーリングを行なうことができる。それにより、任意
に組み合わせた金属片13cが中心導体13aと対向した位
置においてその対向面積と対向間隔によって定まる所定
のキャパシタンス成分が得られることとなり、そのキャ
パシタンス成分と中心導体13aの残りの部分により得ら
れる伝送線路とにより、DUT8の出力側のインピーダ
ンスを測定の仕様に応じて所望の条件に変化させること
ができる。その結果、測定可能なVSWRを大きくする
ことができて、測定範囲を広くすることができる。
A large number of metal pieces 13c arranged in this manner
According to the above, these can be arbitrarily combined and independently controlled, and scaling can be performed at a desired position with respect to the center conductor 13a. As a result, a predetermined capacitance component determined by the opposing area and opposing interval is obtained at a position where the metal piece 13c arbitrarily combined opposes the center conductor 13a, and is obtained by the capacitance component and the remaining portion of the center conductor 13a. With the transmission line used, the impedance on the output side of the DUT 8 can be changed to a desired condition according to the specification of the measurement. As a result, the measurable VSWR can be increased, and the measurement range can be widened.

【0032】また、多数枚の金属片13cのそれぞれは水
平方向には一定の位置で、垂直方向にのみ可動とされて
いるため、金属片13cの設定位置の再現性が高く、種々
の条件設定を繰り返して測定する場合に測定の再現性を
向上させることができる。
Further, since each of the large number of metal pieces 13c is fixed at a fixed position in the horizontal direction and movable only in the vertical direction, the reproducibility of the set position of the metal piece 13c is high, and various conditions can be set. When the measurement is repeated, the reproducibility of the measurement can be improved.

【0033】インピーダンス変換部12は、一端がチュー
ナ本体13の中心導体13aと端面同士で接続される棒状の
導体12aと、この棒状の導体12aの周囲に配され、棒状
の導体12aに対して垂直方向に対して可動する溝状の外
部導体12bと、この外部導体12bの開口に跨って棒状の
導体12aに対して垂直方向および平行方向に可動自在に
配置された金属片12aとから成り、外部導体12bと接地
導体13bはチューナ14の筐体14aを介して電気的に接続
されている。
The impedance conversion section 12 has a rod-shaped conductor 12a whose one end is connected to the center conductor 13a of the tuner body 13 at its end faces, and is disposed around the rod-shaped conductor 12a and is perpendicular to the rod-shaped conductor 12a. A groove-shaped outer conductor 12b movable in the direction, and a metal piece 12a movably arranged in a direction perpendicular and parallel to the rod-shaped conductor 12a across the opening of the outer conductor 12b. The conductor 12b and the ground conductor 13b are electrically connected via a housing 14a of the tuner 14.

【0034】なお、この外部導体12bの断面形状は、図
2に示すようにコの字形状とする他にも、U字形状であ
っても構わない。また、外部導体12bが中心導体12aに
対して垂直方向に可動であるため、チューナ本体13の中
心導体13aの特性インピーダンスが通常50Ωに対し、そ
れより低い特性インピーダンスを持つ伝送線路とみなさ
れる分布定数線路として設定され、低インピーダンスの
DUT8が測定できるようになる。
The cross-sectional shape of the outer conductor 12b may be a U-shape as well as a U-shape as shown in FIG. Further, since the outer conductor 12b is movable in the vertical direction with respect to the center conductor 12a, the characteristic impedance of the center conductor 13a of the tuner body 13 is normally 50Ω, and the distribution constant is regarded as a transmission line having a lower characteristic impedance. It is set as a line, and a low impedance DUT 8 can be measured.

【0035】溝状の接地導体12bの開口に跨って配置さ
れた金属片12cは、外部導体12bと電気的に接続されつ
つ金属片12cを中心導体12aに対して所定間隔に設定で
きるように同図中において上下方向あるいは左右方向す
なわち中心導体12aに対し垂直方向あるいは平行方向に
可動自在な状態で配置されている。
The metal piece 12c arranged across the opening of the groove-like ground conductor 12b is electrically connected to the external conductor 12b so that the metal piece 12c can be set at a predetermined distance from the center conductor 12a. In the figure, they are arranged so as to be movable vertically or horizontally, that is, vertically or parallel to the center conductor 12a.

【0036】このように配置された金属片12cによれ
ば、金属片12cが中心導体12aと対向した位置において
その対向面積と対向間隔によって定まる所定のキャパシ
タンス成分が得られることとなり、そのキャパシタンス
成分と中心導体12aの残りの部分により得られる伝送線
路とにより、DUT8の出力側のインピーダンスを測定
の仕様に応じて測定可能なVSWRを大きくすることが
できるとともに、必要な位相回転を得ることができるこ
とから、測定範囲を広くすることができる。これは、金
属片12cの中心導体12aに対する対向間隔を任意に決め
ることができるため、金属片12cと中心導体12aとから
なるキャパシタンス成分を任意に変えることができ、そ
れにより所望の位相回転が得られることによる。
According to the metal piece 12c arranged as described above, a predetermined capacitance component determined by the facing area and facing distance is obtained at the position where the metal piece 12c faces the center conductor 12a, and the capacitance component The transmission line obtained by the remaining portion of the center conductor 12a can increase the VSWR that can measure the impedance on the output side of the DUT 8 according to the measurement specification, and can obtain the necessary phase rotation. , The measurement range can be widened. This is because the distance between the metal piece 12c and the center conductor 12a can be arbitrarily determined, so that the capacitance component consisting of the metal piece 12c and the center conductor 12a can be changed arbitrarily, thereby obtaining a desired phase rotation. Depends on

【0037】以上のように、本発明のロードプルまたは
ソースプル測定用チューナ14によれば、上記のような構
成のインピーダンス変換部12をチューナ本体13に接続し
たことにより、携帯電話用の電力増幅器に用いられるF
ET等の低インピーダンスのDUT8を測定しようとす
るときに、チューナ本体13の中心導体13aの伝送線路の
特性インピーダンスが50Ωの場合に30Ωや20Ω等の50Ω
より低いインピーダンスに任意に設定できることによ
り、測定系に用いるトリプレクサ9のVSWRが悪い場
合や損失がある場合であっても、インピーダンス変換部
12によりそのDUT8の仕様に応じてそのDUT8の出
力端子から出力側を見たインピーダンスを所望の値、例
えばDUT8の特性を高利得・低歪みとなるような値に
最適化して設定することができる所望の位相でVSWR
を大きくすることができる。
As described above, according to the load-pull or source-pull measuring tuner 14 of the present invention, the impedance converter 12 having the above-described configuration is connected to the tuner body 13 so that it can be used as a power amplifier for a portable telephone. F
When measuring the low impedance DUT 8 such as ET, when the characteristic impedance of the transmission line of the center conductor 13a of the tuner body 13 is 50Ω, 50Ω such as 30Ω or 20Ω is used.
Since the impedance can be arbitrarily set to a lower impedance, even if the VSWR of the triplexer 9 used in the measurement system is bad or lossy, the impedance conversion unit can be used.
According to the specifications of the DUT 8, the impedance viewed from the output terminal of the DUT 8 to the output side can be optimized and set to a desired value, for example, a value that makes the characteristics of the DUT 8 high gain and low distortion according to the specifications of the DUT 8. VSWR at desired phase
Can be increased.

【0038】その結果、トリプレクサ9とチューナ14全
体を含めた損失を低く抑えつつVSWRを大きくするこ
とができる点で有利となることから、十分なVSWRを
得ながら低インピーダンスのDUT8について適切な測
定が行なえるようになる。
As a result, it is advantageous in that the VSWR can be increased while keeping the loss including the triplexer 9 and the tuner 14 as a whole low. Therefore, it is possible to appropriately measure the low impedance DUT 8 while obtaining a sufficient VSWR. Can do it.

【0039】本発明のロードプルまたはソースプル測定
用チューナ14におけるインピーダンス変換部12による位
相回転量は、例えば以下のような手順で決定される。ま
ず、パーソナルコンピュータなどのチューナ制御機器
(図示せず)に、VSWRを大きくしたい位相とそのV
SWRに対応する反射係数の絶対値を入力する。その
後、それらの値に従って、チューナ制御機器によってチ
ューナ本体13とインピーダンス変換部12のスケーリング
を行ない、インピーダンス変換部12による位相の調整値
を決める。そして、その位相の調整値に従って、実際に
ロードプル測定またはソースプル測定を行なうインピー
ダンスポイントをチューナ本体13の垂直方向に可動な多
数枚の金属片13cならびにインピーダンス変換部12の垂
直方向および平行方向に可動自在な金属片12cを所定間
隔・所定位置に設定し、また、垂直方向に可動な外部導
体12bを所定間隔に設定することにより、所望の位相回
転量が決定される。
The amount of phase rotation by the impedance converter 12 in the tuner 14 for measuring load pull or source pull of the present invention is determined by, for example, the following procedure. First, a tuner control device (not shown) such as a personal computer supplies a phase for which VSWR is to be increased and its V
The absolute value of the reflection coefficient corresponding to SWR is input. Thereafter, the tuner control device performs scaling of the tuner body 13 and the impedance conversion unit 12 according to the values, and determines a phase adjustment value by the impedance conversion unit 12. Then, according to the phase adjustment value, the impedance point for actually performing the load-pull measurement or the source-pull measurement can be freely moved in the vertical direction and the parallel direction of the many metal pieces 13 c movable in the vertical direction of the tuner body 13 and the impedance conversion unit 12. The desired amount of phase rotation is determined by setting the metal pieces 12c at predetermined intervals and predetermined positions and setting the vertically movable outer conductor 12b at predetermined intervals.

【0040】なお、本発明は以上の例に限定されるもの
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更
・改良を加えることは何ら差し支えない。例えば、以上
の例では本発明のロードプル測定用チューナとして基本
周波数に対するチューナを例にとって説明したが、DU
Tや測定の仕様によって、例えばインピーダンスポイン
トを決める際の周波数を2次あるいは3次高調波にする
ことにより2次高調波・3次高調波に対するチューナと
することや、DUTのソース側にソースプル測定用チュ
ーナとしても使用できることはいうまでもない。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described example, and that various changes and improvements can be made without departing from the scope of the present invention. For example, in the above example, the tuner for the fundamental frequency has been described as an example of the load pull measurement tuner of the present invention.
Depending on the specifications of T and measurement, for example, the frequency at which the impedance point is determined is set to the second or third harmonic to be used as a tuner for the second or third harmonic, or the source pull measurement on the source side of the DUT Needless to say, it can also be used as a tuner.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上のように、本発明のロードプルまた
はソースプル測定用チューナによれば、チューナ本体が
中心導体と筒状の接地導体とから成り、接地導体の軸方
向に沿った一部が中心導体に対し垂直方向に可動とした
多数枚の金属片により構成されていることから、これら
多数枚の金属片を中心導体に対して単独でまたは任意に
組み合わせて垂直な方向に動かすことによって、所望の
位置で可変容量を形成しスケーリングを行なって測定す
ることができる。そのため、容量の可変範囲を広くして
測定範囲を広くすることができ、広範囲の条件での測定
が可能な、また測定の再現性にも優れたロードプルまた
はソースプル測定用チューナとなる。
As described above, according to the load-pull or source-pull measuring tuner of the present invention, the tuner body is composed of the center conductor and the cylindrical grounding conductor, and a part of the grounding conductor along the axial direction is centered. Since it is constituted by a large number of metal pieces movable in the vertical direction with respect to the conductor, by moving these many metal pieces alone or in any combination with respect to the central conductor in the vertical direction, A variable capacitance is formed at the position of, and scaling is performed for measurement. Therefore, the variable range of the capacitance can be widened and the measurement range can be widened, so that a tuner for load-pull or source-pull measurement capable of performing measurement under a wide range of conditions and having excellent measurement reproducibility can be obtained.

【0042】また、本発明のロードプルまたはソースプ
ル測定用チューナによれば、チューナ本体に加えて、そ
の一端がチューナ本体の中心導体と端面同士で接続され
る棒状の導体と、この棒状の導体の周囲に配され、棒状
の導体に対して垂直方向に可動自在に配置された溝状の
外部導体と、この外部導体の開口に跨って棒状の導体に
対して垂直方向および水平方向に可動自在に配置された
金属片とから成るインピーダンス変換部を具備している
ことから、VSWRを大きくすることができるインピー
ダンス変換部として機能するとともに、インピーダンス
の位相を任意に調整できる機能も併せ持っていることか
ら、所望の位相でVSWRを大きくするとともに容易に
位相の調整を行なうことができる。そのため、測定系に
用いるトリプレクサのVSWRが悪い場合や損失がある
場合でも、従来の測定系のようにDUTやそのDUTの
対象となるシステムによって別個に位相調整用のライン
を多数用意する必要がなく、その位相調整用のラインに
よる煩雑な位相の調整が不要となるとともに位相調整用
ラインの調整・作製の時間短縮もでき、また、測定シス
テムそのものを安価に構成することができる。
According to the load-pull or source-pull measuring tuner of the present invention, in addition to the tuner body, a rod-shaped conductor whose one end is connected to the center conductor of the tuner body at its end faces, and a periphery of the rod-shaped conductor And a groove-shaped external conductor movably arranged in the vertical direction with respect to the rod-shaped conductor, and movably disposed in the vertical and horizontal directions with respect to the rod-shaped conductor over the opening of the external conductor. Since it is provided with an impedance conversion section composed of a metal piece that has been made, it functions as an impedance conversion section that can increase the VSWR and also has a function that can arbitrarily adjust the impedance phase. And the phase can be easily adjusted. Therefore, even when the VSWR of the triplexer used in the measurement system is bad or lossy, it is not necessary to prepare a large number of separate lines for phase adjustment depending on the DUT and the system to be subjected to the DUT unlike the conventional measurement system. This eliminates the need for complicated phase adjustment using the phase adjustment line, shortens the time required for adjustment and fabrication of the phase adjustment line, and allows the measurement system itself to be configured at low cost.

【0043】以上により、本発明によれば、被測定デバ
イスである高周波用トランジスタの仕様に応じて必要な
位相回転量ごとに、従来のように多数の位相調整用ライ
ンを用意することなく容易に位相調整を行なうことがで
き、トリプレクサのVSWRが悪い場合やトリプレクサ
に損失がある場合でも低インピーダンスの高周波用トラ
ンジスタについても適切な測定が行なえるロードプルま
たはソースプル測定用チューナを提供することができ
た。
As described above, according to the present invention, for each phase rotation amount required according to the specification of the high-frequency transistor as the device to be measured, it is easy to prepare a large number of phase adjustment lines unlike the related art. It is possible to provide a tuner for load-pull or source-pull measurement capable of performing phase adjustment and performing appropriate measurement even for a low-impedance high-frequency transistor even when the VSWR of the triplexer is bad or the triplexer has a loss.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のロードプルまたはソースプル測定用チ
ューナを用いた、3次高調波まで考慮した測定系の例を
示す概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a measurement system using a load-pull or source-pull measurement tuner of the present invention and considering up to the third harmonic.

【図2】(a)は本発明のロードプルまたはソースプル
測定用チューナの実施の形態の一例を示す信号の伝送方
向に沿った方向の断面図、(b)はインピーダンス変換
部における信号の伝送方向に垂直な方向の断面図、
(c)はチューナ本体における信号の伝送方向に垂直な
方向の断面図である。
2A is a cross-sectional view in a direction along a signal transmission direction showing an example of an embodiment of a load-pull or source-pull measurement tuner of the present invention, and FIG. 2B is a view in a signal transmission direction in an impedance conversion unit. Cross section in a vertical direction,
(C) is a sectional view of the tuner body in a direction perpendicular to the signal transmission direction.

【図3】従来のロードプルまたはソースプル測定用チュ
ーナを用いた、3次高調波まで考慮した測定系の例を示
す概略構成図である。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing an example of a measurement system using a conventional load-pull or source-pull measurement tuner and considering up to the third harmonic.

【図4】従来のロードプルまたはソースプル測定用チュ
ーナを用いた、3次高調波まで考慮した測定系の他の例
を示す概略構成図である。
FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing another example of a measurement system using a conventional load-pull or source-pull measurement tuner and considering up to the third harmonic.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

8・・・・・DUT(高周波用トランジスタ) 12・・・・・インピーダンス変換部 12a・・・・棒状の導体 12b・・・・外部導体 12c・・・・金属片 13・・・・・・チューナ本体 13a・・・・中心導体 13b・・・・接地導体 13c・・・・金属片 14・・・・・ロードプル測定用チューナ 8 DUT (high-frequency transistor) 12 Impedance converter 12a Bar-shaped conductor 12b External conductor 12c Metal piece 13 Tuner main body 13a Central conductor 13b Ground conductor 13c Metal piece Tuner for load pull measurement

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 高周波用トランジスタの入力側もしくは
出力側に接続し、前記高周波用トランジスタの電気的特
性を評価するロードプルまたはソースプル測定用チュー
ナであって、 棒状の中心導体と、該中心導体の周囲に配された筒状の
接地導体とから成り、該接地導体の軸方向に沿った一部
が前記中心導体に対し垂直方向に可動とした多数枚の金
属片により構成されるチューナ本体と、 棒状の導体と、該棒状の導体の周囲に該棒状の導体に対
し垂直方向に可動自在に配置された溝状の外部導体と、
該外部導体の開口に跨って前記棒状の導体に対して垂直
方向および平行方向に可動自在に配置された金属片とか
ら成り、前記棒状の導体の一端が前記中心導体と端面同
士で接続されるとともに前記外部導体が前記接地導体と
電気的に接続されるインピーダンス変換部とを具備する
ことを特徴とするロードプルまたはソースプル測定用チ
ューナ。
1. A load-pull or source-pull measuring tuner connected to an input side or an output side of a high-frequency transistor for evaluating electrical characteristics of the high-frequency transistor, comprising: a rod-shaped center conductor; A tuner body composed of a large number of metal pieces, a part of which in the axial direction of the ground conductor is movable in a direction perpendicular to the center conductor; A conductor, a groove-shaped outer conductor disposed around the rod-shaped conductor so as to be movable in a direction perpendicular to the rod-shaped conductor,
A metal piece movably disposed in a direction perpendicular and parallel to the rod-shaped conductor over the opening of the external conductor, and one end of the rod-shaped conductor is connected to the center conductor and end faces thereof. A load pull or source pull measurement tuner, further comprising: an impedance conversion section in which the external conductor is electrically connected to the ground conductor.
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