JP2001099160A - Sliding device - Google Patents
Sliding deviceInfo
- Publication number
- JP2001099160A JP2001099160A JP28013499A JP28013499A JP2001099160A JP 2001099160 A JP2001099160 A JP 2001099160A JP 28013499 A JP28013499 A JP 28013499A JP 28013499 A JP28013499 A JP 28013499A JP 2001099160 A JP2001099160 A JP 2001099160A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sliding
- sliding surface
- ceramics
- moisture
- amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、直動すべり案内、
ジャーナル軸受け、シールリング、あるいはレシプロ・
ロータリー圧縮ポンプや汲み上げポンプの摺動部など、
すべり摺動を利用した摺動装置に関するものである。The present invention relates to a linear slide guide,
Journal bearings, seal rings, or reciprocating
For example, sliding parts of rotary compression pumps and pumps
The present invention relates to a sliding device using sliding sliding.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、摺動装置の摺動機構には、すべり
摺動やころがり摺動を利用したものがあり、このうちす
べり摺動を利用したものは、ころがり摺動を利用したも
のに比べて部品点数が少なく、構造設計が比較的容易
で、負荷容量が高く耐久性に優れることから、直動すべ
り案内、ジャーナル軸受け、シールリング、あるいはレ
シプロ・ロータリー圧縮ポンプや汲み上げポンプの摺動
部などに幅広く使用されている。2. Description of the Related Art Conventionally, there are sliding mechanisms of a sliding device that utilize sliding sliding and rolling sliding. Of those, sliding sliding is replaced with rolling sliding sliding. The number of parts is relatively small, the structural design is relatively easy, the load capacity is high and the durability is excellent, so the linear sliding guides, journal bearings, seal rings, or sliding parts of reciprocating rotary compression pumps and pumps Widely used for such.
【０００３】ただし、すべり摺動は、ころがり摺動に比
べて摩擦係数が高く、ステイックスリップを起こした
り、高速摺動では焼き付きを起こすことが多いため、一
般的には、互いの摺動面間に潤滑油を介した流体潤滑状
態で使用されており、この場合、油溜まり等の潤滑油を
供給循環させるための機構が必要で構造が複雑となり易
く、また精密機器やクリ−ン環境下では周囲への汚染や
廃油処理等の環境問題があった。[0003] However, slip sliding, high friction coefficient than that of the rolling sliding, order or cause a stearyl Lee Kkusurippu, often cause a burn-in high-speed sliding, in general, each other of the sliding surface It is used in a state of fluid lubrication with lubricating oil in between. In this case, a mechanism for supplying and circulating lubricating oil such as an oil reservoir is required, and the structure tends to be complicated. There were environmental problems such as pollution to surroundings and waste oil treatment.
【０００４】そこで、セラミックス中に固体潤滑剤等を
含有させた摺動部材を用い、無潤滑状態ですべり摺動さ
せる摺動装置が提案されている。Therefore, there has been proposed a sliding device which uses a sliding member containing a solid lubricant or the like in ceramics and slides in a non-lubricated state.
【０００５】例えば、特公平４−１９４０５号公報や特
公平５−１７１９４号公報には、多孔質セラミック体中
に金属や樹脂等の潤滑材を含浸した摺動部材が開示され
ている。For example, Japanese Patent Publication Nos. 4-19405 and 5-17194 disclose a sliding member in which a porous ceramic body is impregnated with a lubricant such as metal or resin.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところが、特公平４−
１９４０５号公報や特公平５−１７１９４号公報に開示
されている摺動部材を用いても、摩擦係数のオ−ダ−が
流体潤滑状態に比べて１桁も大きく、滑らかな摺動特性
を得ることができなかった。その為、この摺動装置をス
テージ装置等の大型摺動部に用いた場合、高速移動させ
るためには大きな動力源が必要となるとともに、振動が
発生し易いものであった。[Problems to be solved by the invention]
Even with the use of the sliding members disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 19405 and Japanese Patent Publication No. 5-17194, the order of the coefficient of friction is one digit larger than that in the fluid lubrication state, and smooth sliding characteristics can be obtained. I couldn't do that. Therefore, when this sliding device is used for a large sliding portion such as a stage device, a large power source is required for high-speed movement, and vibration is easily generated.
【０００７】また、摺動部材を形成する基材が多孔質セ
ラミックスからなるために剛性が低く、高荷重が加わる
ような箇所には用いることができず、また、摺動面には
気孔が存在し、気孔のエッジが相手材との摺動によって
摩耗し易いため、緻密質セラミックスからなる摺動部材
と比較して寿命が短かった。Further, since the base material forming the sliding member is made of porous ceramics, the base member has low rigidity and cannot be used in places where a high load is applied, and pores exist on the sliding surface. However, since the edges of the pores are easily worn by sliding with the counterpart material, the service life is shorter than that of a sliding member made of dense ceramics.
【０００８】[0008]
【発明の目的】本発明の目的は、特別な潤滑手段を必要
とせず、簡単な構造でころがり摺動レベルと同等あるい
はそれ以上の小さな摩擦係数が得られ、かつ高荷重に対
応可能なすべり摺動を利用した摺動装置を提供すること
にある。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a sliding structure which does not require any special lubrication means, has a simple structure, has a friction coefficient equal to or higher than the rolling sliding level, and can cope with high loads. An object of the present invention is to provide a sliding device utilizing movement.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】そこで、本発明は上記課
題に鑑み、請求項１に係る発明は、互いの摺動面同士を
当接させた２つの摺動部材のうち、少なくとも一方の摺
動部材の摺動面をセラミックスにより形成するととも
に、該セラミックスからなる摺動面を冷却して大気中の
水分を付着させる冷却手段を設けて摺動装置を構成し、
前記摺動面を形成するセラミックスと摺動面に付着する
水分とのトライボケミカル反応による水和物の潤滑膜を
形成するようにしたことを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, the present invention is directed to a first aspect of the present invention, wherein at least one of two sliding members having two sliding surfaces abutting each other. The sliding surface of the moving member is formed of ceramics, and a sliding device is provided by providing cooling means for cooling the sliding surface made of the ceramics and attaching moisture in the atmosphere,
A lubricating film of a hydrate is formed by a tribochemical reaction between the ceramics forming the sliding surface and moisture adhering to the sliding surface.
【００１０】請求項２に係る発明は、前記セラミックス
を珪化物系セラミックスにより形成することで、トライ
ボケミカル反応によりシリカ水和物の潤滑膜を形成し、
摺動特性を高めたことを特徴とする。[0010] The invention according to claim 2 is to form a lubricating film of silica hydrate by a tribochemical reaction by forming the ceramics from silicide ceramics.
It is characterized by enhanced sliding characteristics.
【００１１】請求項３に係る発明は、前記冷却手段を、
熱電子冷却素子と、該熱電子冷却素子の放熱面に取着さ
れたヒ−トシンクとから構成したことを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, the cooling means includes:
It is characterized by comprising a thermoelectric cooling element and a heat sink attached to a heat radiation surface of the thermoelectric cooling element.
【００１２】請求項４に係る発明は、前記セラミックス
からなる摺動面に付着する水分量を測定する水分検出手
段を設けたことを特徴とする。The invention according to claim 4 is characterized in that a water detecting means for measuring the amount of water adhering to the sliding surface made of the ceramic is provided.
【００１３】請求項５に係る発明は、前記水分検出手段
からの信号を基に、前記冷却手段を制御することで、前
記セラミックスからなる摺動面に付着する水分量が７〜
１５ｍｇ／ｃｍ2となるようにしたことを特徴とする。According to a fifth aspect of the present invention, by controlling the cooling means based on a signal from the moisture detecting means, the amount of moisture adhering to the sliding surface made of the ceramic is reduced to 7 to 10%.
It is characterized by being adjusted to 15 mg / cm 2 .
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。Embodiments of the present invention will be described below.
【００１５】図１は本発明の摺動装置を備えるステージ
装置を示す図で、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は（ａ）の
Ｘ−Ｘ線断面図である。FIGS. 1A and 1B are views showing a stage device provided with a sliding device of the present invention, wherein FIG. 1A is a longitudinal sectional view, and FIG. 1B is a sectional view taken along line XX of FIG.
【００１６】このステージ装置は、ベース１上に一体的
に形成された２本のガイドレール２，４を有し、一方の
ガイドレール２には逆Ｖ字形状の摺動面３を備えるとと
もに、他方のガイドレール４にはフラット形状の摺動面
５を備え、２本のガイドレール２，４は互いに所定の間
隔をおいて平行に設置してある。This stage apparatus has two guide rails 2 and 4 integrally formed on a base 1, and one of the guide rails 2 has an inverted V-shaped sliding surface 3. The other guide rail 4 is provided with a flat sliding surface 5, and the two guide rails 2 and 4 are installed in parallel at a predetermined interval.
【００１７】また、ベース１上にはステージ６を対向配
置してあり、該ステージ６の下面には、前記ベース１上
のガイドレート２と対をなし、逆Ｖ字形状の摺動面３と
当接する逆Ｖ字形状の摺動面７と、前記ベース１上のガ
イドレール４と対をなし、フラット形状の摺動面５と当
接するフラット形状の摺動面９を形成してあり、ステー
ジ６側の摺動面７とベース１側の摺動面３とでＶ字型ガ
イド８を構成するとともに、ステージ６側の摺動面９と
ベース１側の摺動面５とで平型ガイド１０を構成し、こ
れらＶ字型ガイド８及び平型ガイド１０に沿ってステー
ジ６を直線的に案内するようになっている。A stage 6 is disposed on the base 1 so as to face the lower surface of the stage 6. The lower surface of the stage 6 is paired with the guide rate 2 on the base 1 and has an inverted V-shaped sliding surface 3. The stage has a flat V-shaped sliding surface 7 to be in contact with the guide rail 4 on the base 1, and a flat-shaped sliding surface 9 to be in contact with the flat-shaped sliding surface 5. The sliding surface 7 of the stage 6 and the sliding surface 3 of the base 1 constitute a V-shaped guide 8, and the sliding surface 9 of the stage 6 and the sliding surface 5 of the base 1 form a flat guide. The stage 6 is linearly guided along the V-shaped guide 8 and the flat guide 10.
【００１８】さらに、ベース１及びガイドレール２，４
は緻密なセラミックスにより形成するとともに、ガイド
レール２，４と対向するベース１下面に開口する凹部１
ａには、冷却手段１１を設けてあり、該冷却手段１１
は、各ガイドレール２，４の長手方向に沿って等間隔に
設置してある。冷却手段１１は、熱電子冷却素子１２
と、該熱電子冷却素子１２の放熱面に取着されたヒート
シンク１３とからなり、熱電子冷却素子１２の吸熱側を
ベース１の凹部１ａ底面に当接させ、熱電子冷却素子１
２に通電してセラミックスからなる摺動面３，５を冷却
するようになっている。なお、１４はヒートシンク１３
からの放熱性を強制的に高めるために設けたファンであ
る。Further, the base 1 and the guide rails 2 and 4
Is a concave portion 1 formed of dense ceramics and opened on the lower surface of the base 1 facing the guide rails 2 and 4.
a, a cooling means 11 is provided.
Are installed at equal intervals along the longitudinal direction of each guide rail 2, 4. The cooling means 11 includes a thermoelectric cooling element 12
And a heat sink 13 attached to the heat radiation surface of the thermoelectric cooling element 12. The heat absorbing side of the thermoelectric cooling element 12 is brought into contact with the bottom surface of the concave portion 1 a of the base 1,
2 is applied to cool the sliding surfaces 3 and 5 made of ceramics. 14 is a heat sink 13
It is a fan provided to forcibly increase the heat radiation from the fan.
【００１９】ベース１及びガイドレール２，４を形成す
る緻密なセラミックスとしては、アルミナ、ジルコニ
ア、炭化珪素、窒化珪素等を主成分とするセラミックス
を用いることができ、特に後述する理由により炭化珪素
や窒化珪素等の珪化物系セラミックスを用いることが好
ましい。As the dense ceramics forming the base 1 and the guide rails 2 and 4, ceramics containing alumina, zirconia, silicon carbide, silicon nitride, or the like as a main component can be used. It is preferable to use a silicide-based ceramic such as silicon nitride.
【００２０】一方、ステージ６を形成する材質は特に限
定するものではなく、樹脂、金属、セラミックスのいず
れの材質を用いることもできるが、経時変化がなく、軽
量、高剛性、耐摩耗性の点で優れるセラミックスにより
形成することが好ましく、セラミックスにより形成する
場合、ベース１及びガイドレール２，４と同様に、アル
ミナ、ジルコニア、炭化珪素、窒化珪素等を主成分とす
る緻密なセラミックスを用いれば良い。On the other hand, the material forming the stage 6 is not particularly limited, and any material such as resin, metal, and ceramics can be used. It is preferable to use dense ceramics containing alumina, zirconia, silicon carbide, silicon nitride, or the like as a main component, similarly to the base 1 and the guide rails 2 and 4. .
【００２１】そして、このステージ装置を駆動させるに
は、まず、冷却手段１１の熱電子冷却素子１２に通電す
るとともに、ファン１４を回転させてセラミックスから
なる摺動面３，５を強制的に冷却すると、大気中の水分
が前記摺動面３，５に付着する。この状態でステージ６
を不図示の駆動手段によって移動、案内させると、摺動
時の摩擦によって摺動面３，５を形成するセラミックス
と摺動面３，５に付着する水分とがトライボケミカル反
応し、この反応による水和物の潤滑膜を、Ｖ字型ガイド
８を構成するステージ６側の摺動面７とベース１側の摺
動面３との間、及び平型ガイド１０を構成するステージ
６側の摺動面９とベース１側の摺動面５との間にそれぞ
れ生成し、流体潤滑状態とすることができる。特に、摺
動面３，５を形成するセラミックスとして、炭化珪素や
窒化珪素等の珪化物系セラミックスを用いた場合、トラ
イボケミカル反応によってシリカ水和物の潤滑膜を生成
するのであるが、このシリカの水和物は、摺動面３，５
がアルミナセラミックスにて形成されている場合に生成
されるアルミナ水和物の潤滑膜より低摩擦化を実現で
き、摩擦係数を０．０３程度まで低減することができ
る。In order to drive this stage device, first, the thermoelectric cooling element 12 of the cooling means 11 is energized, and the fan 14 is rotated to forcibly cool the sliding surfaces 3, 5 made of ceramics. Then, moisture in the atmosphere adheres to the sliding surfaces 3 and 5. Stage 6 in this state
Is moved and guided by a drive means (not shown), the ceramics forming the sliding surfaces 3 and 5 and the moisture adhering to the sliding surfaces 3 and 5 cause a tribochemical reaction due to friction at the time of sliding. The lubricating film of hydrate is applied between the sliding surface 7 on the stage 6 side forming the V-shaped guide 8 and the sliding surface 3 on the base 1 side, and on the stage 6 side forming the flat guide 10. It is generated between the moving surface 9 and the sliding surface 5 on the base 1 side, and can be in a fluid lubricated state. In particular, when a silicide-based ceramic such as silicon carbide or silicon nitride is used as the ceramics forming the sliding surfaces 3 and 5, a lubricating film of silica hydrate is formed by a tribochemical reaction. Of the sliding surface 3,5
Can be realized with a lower friction than a lubricating film of alumina hydrate generated when is formed of alumina ceramics, and the friction coefficient can be reduced to about 0.03.
【００２２】このように、本発明によれば、すべり摺動
を形成する少なくとも一方の摺動面３，５をセラミック
スにより形成するとともに、このセラミックスからなる
摺動面３，５を冷却させて大気中の水分を吸着させる冷
却手段１１を設け、摩擦によって摺動面３，５に吸着さ
れた水分と摺動面３，５を形成するセラミックスとをト
ライボケミカル反応させ、この反応による水和物の潤滑
膜を生成させるようにしたことから、すべり摺動が持
つ、部品点数が少なく、高荷重に対応可能であるといっ
た優れた特性は維持したまま、従来のような油溜め等の
特別な潤滑手段を設けることなく簡単な構造で、ころが
り摺動レベルと同等あるいはそれ以上の低摩擦係数を実
現することができ、ステージ６を小さな駆動力で滑らか
に移動、案内させることができる。As described above, according to the present invention, at least one of the sliding surfaces 3 and 5 for forming sliding sliding is formed of ceramics, and the sliding surfaces 3 and 5 made of the ceramics are cooled to form an atmosphere. A cooling means 11 for adsorbing moisture in the water is provided, and a tribochemical reaction is caused between the water adsorbed on the sliding surfaces 3 and 5 by friction and the ceramics forming the sliding surfaces 3 and 5, and the hydrate formed by the reaction is formed. A special lubricating means such as oil sump as before, while maintaining the excellent characteristics of sliding sliding, small number of parts, and being able to cope with high loads, by forming a lubricating film. And a low friction coefficient equal to or higher than the rolling sliding level can be realized with a simple structure without providing the stage 6, and the stage 6 is smoothly moved and guided with a small driving force. Door can be.
【００２３】ところで、このような効果を得るために
は、セラミックスからなる摺動面３，５に吸着させる単
位面積当たりの水分量が重要であり、５ｍｇ／ｃｍ2以
上の水分を吸着させることが好ましい。即ち、摺動面
３，５に吸着させる水分量が５ｍｇ／ｃｍ2未満である
と、十分な水和物の潤滑膜を生成することができないか
らで、その結果、摩擦係数を低減することができず、ス
テイックスリップを起こしたり、高速摺動では焼き付き
を起こすからである。ただし、水分量が多くなり過ぎる
と、潤滑膜が摺動面３，５から流れ落ち、漏電等を発生
させる恐れがあり、特に１５ｍｇ／ｃｍ2を越えると顕
著で、拭き取り等のメンテナンスが必要となるため好ま
しくない。その為、セラミックスからなる摺動面３，５
に吸着させる水分量は５〜１５ｍｇ／ｃｍ2、好ましく
は７〜１５ｍｇ／ｃｍ2とすることが良い。By the way, in order to obtain such an effect, the water content per unit area to be adsorbed to the sliding surface 3 and 5 made of ceramic is important, be adsorbed 5 mg / cm 2 or more water preferable. That is, if the amount of water adsorbed on the sliding surfaces 3 and 5 is less than 5 mg / cm 2 , a sufficient hydrated lubricating film cannot be formed, and as a result, the friction coefficient can be reduced. can not, or cause a stearyl Lee Kkusurippu, because the cause of the seizure in a high-speed sliding. However, when the moisture content is too high, the lubricating film flows down from the sliding surface 3 and 5, there is a possibility of generating electric leakage, especially noticeable when it exceeds 15 mg / cm 2, it is necessary to maintain such wiping Therefore, it is not preferable. Therefore, sliding surfaces 3,5 made of ceramics
The amount of water to be adsorbed on the surface is preferably 5 to 15 mg / cm 2 , more preferably 7 to 15 mg / cm 2 .
【００２４】なお、摺動面３，５に付着する水分量を測
定するには、例えば水分を付着させる前後でベース１の
重量を電子天秤等にて測定し、その差を水分量とすれば
良い。In order to measure the amount of water adhering to the sliding surfaces 3 and 5, for example, the weight of the base 1 is measured by an electronic balance before and after the adhering of water, and the difference is defined as the amount of water. good.
【００２５】ただし、摺動面３，５に付着する水分量
は、湿度や駆動条件などの影響を受け易く、水分量が前
記範囲を外れると、ステイックスリップや焼き付きが発
生したり、あるいは漏電等の恐れがある。[0025] However, the amount of water adhering to the sliding surface 3 and 5, susceptible to humidity or the like and the driving conditions, the water content is outside the above range, or with stearyl Lee Kkusurippu and baked occurs, or leakage And so on.
【００２６】その為、ステージ装置の駆動中に湿度が変
化したり、駆動条件が大きく変わる時には、図２に示す
ように、セラミックスからなる摺動面５に付着する水分
量を測定する水分検出手段２１と、該水分検出手段２１
からの信号を基に熱電子冷却素子１２による冷却の度合
いを調整する制御部２２を設けるようにすれば良い。こ
こで、水分検出手段２１は、セラミックスからなるガイ
ドレール４中に埋設され、その一部を摺動面５に露出さ
せた２つの電極部材２１ａと、該電極部材２１ａ間の摺
動面５における単位長さ当たりの抵抗値（以下、単に抵
抗値と言う場合、単位長さ当たりの抵抗値を指すものと
する。）を測定する検出部２１ｂとから構成したもの
で、摺動面５に付着する水分量によって電極部材２１ａ
間の抵抗値が変化することに基づき水分量を測定するよ
うにしたものである。Therefore, when the humidity changes during driving of the stage device or the driving conditions change greatly, as shown in FIG. 2, a water detecting means for measuring the amount of water adhering to the sliding surface 5 made of ceramics. 21 and the moisture detecting means 21
A control unit 22 that adjusts the degree of cooling by the thermoelectric cooling element 12 based on the signal from the controller 22 may be provided. Here, the moisture detecting means 21 is buried in the guide rail 4 made of ceramics, and two electrode members 21a, a part of which is exposed on the sliding surface 5, and the sliding surface 5 between the electrode members 21a. And a detecting unit 21b for measuring a resistance value per unit length (hereinafter, simply referred to as a resistance value, the resistance value per unit length). Electrode member 21a depending on the amount of water
The amount of water is measured based on a change in the resistance value between them.
【００２７】ただし、この抵抗値は、摺動面５を形成す
るセラミックスにより異なるため、本件発明者らが実験
を繰り返した結果、摺動面５に付着する水分量を５ｍｇ
／ｃｍ2以上とするには、摺動面５を形成するセラミッ
クスが窒化珪素セラミックスである場合、抵抗値が４×
１０8Ω／ｃｍ以下、摺動面５を形成するセラミックス
が炭化珪素セラミックスである場合、抵抗値が２×１０
3Ω／ｃｍ以下、摺動面５を形成するセラミックスがア
ルミナセラミックスである場合、抵抗値が４×１０8Ω
／ｃｍ以下となるようにすれば良く、また、摺動面５に
付着する水分量を７ｍｇ／ｃｍ2以上とするには、摺動
面５を形成するセラミックスが窒化珪素セラミックスで
ある場合、抵抗値が２×１０7Ω／ｃｍ以下、摺動面５
を形成するセラミックスが炭化珪素セラミックスである
場合、抵抗値が５×１０2Ω／ｃｍ以下、摺動面５を形
成するセラミックスがアルミナセラミックスである場
合、抵抗値が２×１０7Ω／ｃｍ以下となるようにすれ
ば良く、さらに摺動面５に付着する水分量を１５ｍｇ／
ｃｍ2以下とするには、摺動面５を形成するセラミック
スが窒化珪素セラミックスである場合、抵抗値が１×１
０4Ω／ｃｍ以上、摺動面５を形成するセラミックスが
炭化珪素セラミックスである場合、抵抗値が１×１０2
Ω／ｃｍ以上、摺動面５を形成するセラミックスがアル
ミナセラミックスである場合、抵抗値が１×１０4Ω／
ｃｍ以上となるようにすれば良い。However, since this resistance value differs depending on the ceramics forming the sliding surface 5, the inventors of the present invention have repeated experiments and found that the amount of water adhering to the sliding surface 5 was 5 mg.
/ Cm 2 or more, when the ceramic forming the sliding surface 5 is a silicon nitride ceramic, the resistance value is 4 ×
When the ceramics forming the sliding surface 5 is 10 8 Ω / cm or less and silicon carbide ceramics, the resistance value is 2 × 10
3 Ω / cm or less, when the ceramics forming the sliding surface 5 is alumina ceramics, the resistance value is 4 × 10 8 Ω
/ Cm or less, and the amount of water adhering to the sliding surface 5 should be 7 mg / cm 2 or more if the ceramic forming the sliding surface 5 is silicon nitride ceramic. Value is 2 × 10 7 Ω / cm or less, sliding surface 5
When the ceramic forming the surface is silicon carbide ceramic, the resistance value is 5 × 10 2 Ω / cm or less, and when the ceramic forming the sliding surface 5 is alumina ceramic, the resistance value is 2 × 10 7 Ω / cm or less. And the amount of moisture adhering to the sliding surface 5 is 15 mg /
cm 2 or less, when the ceramic forming the sliding surface 5 is silicon nitride ceramic, the resistance value is 1 × 1
0 4 Ω / cm or more, when the ceramic forming the sliding surface 5 is a silicon carbide ceramic, the resistance value is 1 × 10 2
Ω / cm or more, when the ceramics forming the sliding surface 5 is alumina ceramics, the resistance value is 1 × 10 4 Ω / cm.
cm or more.
【００２８】かくして、湿度が低下したり、厳しい摺動
条件によって摺動面５に付着する水分量が足りなくなっ
た場合、摺動面５を形成するセラミックスに応じて、摺
動面５上の水分量が５ｍｇ／ｃｍ2以上となる抵抗値と
なるまで、制御部２２より熱電子冷却素子１２への印加
電力を高めれば良く、逆に摺動面５上の水分量が１５ｍ
ｇ／ｃｍ2を越える抵抗値となった時には、水分量が多
くなりすぎるため、制御部２２にて熱電子冷却素子１２
への通電を止め、摺動面５への余分な水分の付着を防止
するように制御部２２にて制御するようにすれば良い。Thus, when the humidity decreases or the amount of moisture adhering to the sliding surface 5 becomes insufficient due to severe sliding conditions, the moisture on the sliding surface 5 is changed according to the ceramics forming the sliding surface 5. The electric power applied to the thermoelectric cooling element 12 may be increased from the control unit 22 until the resistance value becomes 5 mg / cm 2 or more, and conversely, the water content on the sliding surface 5 becomes 15 m.
When the resistance value exceeds g / cm 2 , the amount of water becomes too large.
The control section 22 may control the power supply to the sliding surface 5 so as to prevent the adhesion of excess moisture to the sliding surface 5.
【００２９】このように、水分検出手段２１及び制御部
２２からなる水分量制御機構を設けることで、摺動面５
に付着する水分量を測定、監視し、最適値に制御できる
ため、環境や使用条件が変化しても摺動面には常に一定
量の水分量を存在させることができ、トライボケミカル
反応による水和物の潤滑膜によって常に滑らかな摺動性
を維持することができるとともに、無駄な電力消費を防
ぐことができる。As described above, by providing the water amount control mechanism including the water detecting means 21 and the control unit 22, the sliding surface 5 is provided.
The amount of water adhering to the surface can be measured, monitored, and controlled to an optimum value, so that a constant amount of water can always be present on the sliding surface even if the environment or operating conditions change, and water due to tribochemical reaction The lubricating film of the Japanese material can always maintain smooth slidability and prevent unnecessary power consumption.
【００３０】なお、本実施形態では、冷却手段１１とし
て、熱電子冷却素子１２とヒートシンク１３とからなる
ものを用いたが、ガイドレール２，４の内部に液冷配管
を設け、その配管内に水や液体を循環させて、セラミッ
クスからなる摺動面３，５を冷却するようにしても良
く、摺動面３，５を冷却できるものであればどのような
冷却手段を用いても構わない。また、水分検出手段２１
も本実施例で示したものだけに限らず、例えば赤外線吸
収湿度計を用いて吸湿状態を赤外線の吸収率で測定する
ようにしたり、露点計を用いて吸湿し始めるときの温度
（露点）を測定するようにしても良い。さらに、本実施
形態では、ガイドレール２，４を含むベース１全体をセ
ラミックスにより形成した例を示したが、少なくとも摺
動面がセラミックスで形成されていれば良い。In this embodiment, the cooling means 11 is composed of a thermoelectric cooling element 12 and a heat sink 13. However, a liquid cooling pipe is provided inside the guide rails 2 and 4, and the cooling means is provided in the pipe. The sliding surfaces 3 and 5 made of ceramics may be cooled by circulating water or liquid, and any cooling means that can cool the sliding surfaces 3 and 5 may be used. . Further, the moisture detecting means 21
The temperature is not limited to the one shown in the present embodiment. For example, a moisture absorption state is measured by an infrared absorption rate using an infrared absorption hygrometer, or a temperature (dew point) at which moisture absorption starts using a dew point meter is determined. You may make it measure. Further, in the present embodiment, an example is shown in which the entire base 1 including the guide rails 2 and 4 is formed of ceramics, but it is sufficient that at least the sliding surface is formed of ceramics.
【００３１】また、本実験形態は、本発明の摺動装置を
ステージ装置に用いた例を示したが、他にジャーナル軸
受けやシールリング、あるいはレシプロ・ロータリー圧
縮ポンプや汲み上げポンプの摺動部など、すべり摺動す
る装置に適用できることは言うまでもない。In this embodiment, an example in which the sliding device of the present invention is used for a stage device is shown. However, other examples include a journal bearing, a seal ring, and a sliding portion of a reciprocating rotary compression pump or a pump. Needless to say, the present invention can be applied to a device that slides and slides.
【００３２】[0032]
【実施例】（実施例１）本発明の摺動装置における摺動
特性を、図３に示す実験装置を用いて確認する実験を行
った。EXAMPLE 1 An experiment was conducted to confirm the sliding characteristics of the sliding device of the present invention using an experimental device shown in FIG.
【００３３】図３に示す実験装置は、回転するピン３０
にディスク３１を押し付けるPIN-on-Disk型摩擦実験機
で、ディスク３１は下方より空気圧にてピン３０に押し
付けることができるようになっており、空気圧を変化さ
せることで、押し付け荷重を５０Ｎまで変化させること
ができるとともに、ピン３０は０〜５００ｒｐｍの回転
数で回転させることができるものを用いた。The experimental apparatus shown in FIG.
Is a PIN-on-Disk type friction tester that presses the disc 31 against the pin 30 with air pressure from below, and the pressure is changed to 50 N by changing the air pressure. The pin 30 used was capable of rotating at a rotation speed of 0 to 500 rpm.
【００３４】ディスク３１の下面には、熱電子冷却素子
３２の吸熱面を密着させるとともに、熱電子冷却素子３
２の放熱面にはヒートシンク３３を取着して冷却手段を
構成してあり、前記ヒートシンク３３の放熱性をファン
３４にて強制的に高めるようにした。なお、熱電子冷却
素子３２には、最大吸熱量が１０Ｗ、△Ｔ６０℃の特性
を持ったものを用いるとともに、ピン３０及びディスク
３１はいずれも窒化珪素セラミックスにより形成し、ピ
ン３０は直径８ｍｍの円柱状体で、先端を曲面状とし、
ディスク３１は外径が２００ｍｍの円盤状体としたもの
を用い、ピン３０及びディスク３１の摺動面をいずれも
Ｒｙ＝０．０２μｍに仕上げた。On the lower surface of the disk 31, the heat absorbing surface of the thermoelectric cooling element 32 is brought into close contact.
A heat sink 33 is attached to the heat radiating surface of No. 2 to constitute cooling means, and the heat radiating property of the heat sink 33 is forcibly increased by the fan 34. The thermoelectric cooling element 32 has a maximum heat absorption of 10 W and a characteristic of ΔT60 ° C., and the pin 30 and the disk 31 are both formed of silicon nitride ceramics. The pin 30 has a diameter of 8 mm. A cylindrical body with a curved tip
The disk 31 used was a disk-shaped body having an outer diameter of 200 mm, and the sliding surfaces of the pin 30 and the disk 31 were both finished to Ry = 0.02 μm.
【００３５】そして、湿度３０％、２５℃の環境下で、
ディスク３１をピン３０に５Ｎの荷重で押圧させた状態
でピン３０を回転させるとともに、熱電子冷却素子３２
に通電してディスク３１の摺動面に付着させる水分量を
制御し、水分量と摩擦係数との関係について測定した。Then, in an environment of a humidity of 30% and 25 ° C.,
The pin 30 is rotated while the disc 31 is pressed against the pin 30 with a load of 5N, and the thermoelectric cooling element 32 is rotated.
To control the amount of water adhering to the sliding surface of the disk 31, and measured the relationship between the amount of water and the coefficient of friction.
【００３６】結果は図４に示す通りである。なお、摩擦
係数は、ディスク３１を支持するフレーム３５に取り付
けた軸３６を介してロードセル３７にて摩擦力を測定
し、この摩擦力をピン３０との押し付け荷重で割ること
で求め、ディスク３１の摺動面に付着する水分量は、小
数点以下４桁まで測定できる電子天秤で水分付着前後に
おけるディスク３１の重量を測定し、その差を水分量と
した。The results are as shown in FIG. The coefficient of friction is determined by measuring a frictional force with a load cell 37 via a shaft 36 attached to a frame 35 supporting the disk 31 and dividing the frictional force by a pressing load against the pin 30. The amount of water adhering to the sliding surface was determined by measuring the weight of the disk 31 before and after adhering water with an electronic balance capable of measuring up to four digits after the decimal point, and the difference was defined as the amount of water.
【００３７】この結果、ディスク３１の摺動面に付着す
る水分量が４ｍｇ／ｃｍ2までは摩擦係数に殆ど変化が
なく、摺動面に水分がない０ｍｇ／ｃｍ2の時と同レベ
ルで約０．７と摺動抵抗が大きいものであった。[0037] As a result, the amount of water adhering to the sliding surface of the disk 31 until 4 mg / cm 2 without substantial change in the coefficient of friction at the same level as for the 0 mg / cm 2 is not water sliding surface about The sliding resistance was as large as 0.7.
【００３８】これに対し、摺動面に付着する水分量が５
ｍｇ／ｃｍ2を越えたあたりから、摩擦係数が徐々に低
下し、７ｍｇ／ｃｍ2以上では０．０３まで小さくする
ことができ、これ以降は水分量が増加しても摩擦係数に
変化は見られなかった。また、摺動試験を終えたディス
ク３１の摺動面に存在する潤滑膜をオージェ電子分光法
にて測定したところ、シリカの水和物であった。On the other hand, the amount of water adhering to the sliding surface is 5
from around beyond the mg / cm 2, the coefficient of friction gradually decreases, 7 mg / cm can be reduced to 0.03 at 2 or more, the increased water content also observed changes in coefficient of friction after this I couldn't. When the lubricating film present on the sliding surface of the disk 31 after the sliding test was measured by Auger electron spectroscopy, it was found to be a hydrate of silica.
【００３９】このように、冷却手段にてセラミックスか
らなるディスクの摺動面に水分を付着させ、その水分量
を５ｍｇ／ｃｍ2以上とするとともに、トライボケミカ
ル反応による水和物の潤滑膜を生成させることで、摩擦
係数を小さくすることができ、水分量を７ｍｇ／ｃｍ2
以上とすることで摩擦係数を極めて小さくできることが
確認できた。 （実施例２）次に、湿度３０％、２５℃の環境下で、図
３に示すように、セラミックスからなるディスク３１中
に、２つの電極部材３８を５ｍｍ幅で埋め込むととも
に、これら電極部材３８間の摺動面における抵抗値を測
定する検出部３９を設けて水分検出手段４０を構成する
とともに、この水分検出手段４０からの信号を基に熱電
子冷却素子３２による冷却の度合いを調整する制御部４
１を設け、ピン３０を押し付けていない状態で、熱電子
冷却素子３２に通電してセラミックスからなるディスク
の摺動面に付着する水分量を異ならせ、水分量とその時
の電極部材３８間における単位長さ当たりの抵抗値との
関係について確認した。As described above, moisture is made to adhere to the sliding surface of the disk made of ceramics by the cooling means, the moisture amount is adjusted to 5 mg / cm 2 or more, and a lubricating film of a hydrate is formed by a tribochemical reaction. By doing so, the coefficient of friction can be reduced and the water content can be reduced to 7 mg / cm 2
It was confirmed that the friction coefficient can be extremely reduced by the above. (Embodiment 2) Next, in an environment of a humidity of 30% and 25 ° C., as shown in FIG. A detection unit 39 for measuring a resistance value on a sliding surface between the two is provided to constitute the moisture detecting means 40, and a control for adjusting a degree of cooling by the thermoelectric cooling element 32 based on a signal from the moisture detecting means 40 is provided. Part 4
In the state where the pin 30 is not pressed, the thermoelectric cooling element 32 is energized to vary the amount of moisture adhering to the sliding surface of the disk made of ceramics, and the unit between the amount of moisture and the electrode member 38 at that time. The relationship with the resistance value per length was confirmed.
【００４０】この結果は図５に示すように、水分量と抵
抗値との間には相関関係があることが判る。そして、デ
ィスク３１が窒化珪素セラミックスからなる場合、抵抗
値が４×１０8Ω／ｃｍの時、ディスク３１の摺動面に
付着する水分量が５ｍｇ／ｃｍ2であり、また抵抗値が
１×１０4Ω／ｃｍの時、水分量が１５ｍｇ／ｃｍ2であ
ることが確認できた。The results show that there is a correlation between the water content and the resistance value, as shown in FIG. When the disk 31 is made of silicon nitride ceramics, when the resistance value is 4 × 10 8 Ω / cm, the amount of water adhering to the sliding surface of the disk 31 is 5 mg / cm 2 and the resistance value is 1 × At 10 4 Ω / cm, it was confirmed that the water content was 15 mg / cm 2 .
【００４１】そこで、水分検出手段４０からの信号を基
に、ディスク３１の摺動面に付着する水分量が７ｍｇ／
ｃｍ2となるように制御部４１にて熱電子冷却素子３２
への印加電圧を制御するクローズドループを構成し、デ
ィスク３１をピン３０に押し付けてピン３０の速度を異
ならせることにより駆動条件を変化させた時の摩擦係数
の変化を確認する実験を行った。Therefore, based on the signal from the moisture detecting means 40, the amount of moisture adhering to the sliding surface of the disk 31 is 7 mg /
cm 2 in the thermoelectric cooling element 32 by the control unit 41.
An experiment was conducted in which a closed loop for controlling the voltage applied to the motor was formed, and the disc 31 was pressed against the pin 30 to change the speed of the pin 30 to change the friction coefficient when the driving conditions were changed.
【００４２】なお、比較例として、実験前にディスク３
１の摺動面に付着する水分量が７ｍｇ／ｃｍ2となるよ
うに調整し、水分検出手段４０等の水分制御機構を備え
ていない実験装置を用意し、同様に実験を行った。As a comparative example, the disk 3 was used before the experiment.
The amount of moisture adhering to the sliding surface of No. 1 was adjusted to be 7 mg / cm 2, and an experiment apparatus not provided with a moisture control mechanism such as the moisture detection means 40 was prepared, and an experiment was performed in the same manner.
【００４３】結果は図６に示すように、水分制御機構を
備えていない比較例の実験装置では、速度が上がるにつ
れて摩擦係数が上昇した。さらに速度が上がると潤滑膜
を形成する水分量が不足し、全く水分がない状態の時の
摩擦係数とほぼ同じ約０．８程度となった。このように
速度が変化して水分量が不足すると、摩擦係数を安定さ
せることが難しく、速度変化が少ない場合に低摩擦を維
持することができた。As shown in FIG. 6, in the experimental apparatus of the comparative example having no moisture control mechanism, the friction coefficient increased as the speed increased. When the speed was further increased, the amount of water forming the lubricating film became insufficient, and the friction coefficient was about 0.8, which was almost the same as when no water was present. Thus, when the speed changes and the amount of water is insufficient, it is difficult to stabilize the friction coefficient, and when the speed change is small, low friction can be maintained.
【００４４】これに対し、水分制御機構を備えた実験装
置は、速度が変動しても摩擦係数は常に一定に保たれて
いた。On the other hand, in the experimental apparatus provided with the moisture control mechanism, the friction coefficient was always kept constant even when the speed varied.
【００４５】このように、摺動条件が変化する場合、水
分制御機構を備えた実験装置を用いれば、予めディスク
３１を形成するセラミックスの種類と、水分検出手段４
０による抵抗値の関係を確認しておくことで、常に最適
な量の潤滑膜を生成させることができ、滑らかな摺動性
を長期間にわたって維持できることが確認できた。As described above, when the sliding condition is changed, the type of ceramics forming the disk 31 and the moisture detecting means 4 can be determined in advance by using an experimental device having a moisture control mechanism.
By confirming the relationship of the resistance value with 0, it was confirmed that an optimal amount of the lubricating film could always be generated, and that smooth slidability could be maintained for a long period of time.
【００４６】なお、本実施例では、ディスク３１を形成
するセラミックスに窒化珪素を用いた例についてのみ示
したが、炭化珪素を用いれば摩擦係数を０．０２にまで
低減でき、窒化珪素よりさらに低摩擦化を実現すること
ができた。In this embodiment, only the example in which silicon nitride is used for the ceramics forming the disk 31 is shown. However, if silicon carbide is used, the coefficient of friction can be reduced to 0.02, which is even lower than silicon nitride. Friction was able to be realized.
【００４７】[0047]
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、互いの
摺動面同士を当接させた２つの摺動部材のうち、少なく
とも一方の摺動部材の摺動面をセラミックスにより形成
するとともに、該セラミックスからなる摺動面を冷却し
て大気中の水分を付着させる冷却手段を設けて摺動装置
を構成し、前記セラミックスからなる摺動面にトライボ
ケミカル反応による水和物の潤滑膜を形成するようにし
たことから、すべり摺動が持つ、部品点数が少なく、高
荷重に対応可能であるといった優れた特性は維持したま
ま、従来のような油溜め等の特別な潤滑手段を設けるこ
となく簡単な構造で、ころがり摺動レベルと同等あるい
はそれ以上の優れた摩擦係数を得ることができる。As described above, according to the present invention, the sliding surface of at least one of the two sliding members whose sliding surfaces are in contact with each other is formed of ceramics. In addition, a sliding device is provided by providing a cooling means for cooling the sliding surface made of the ceramics and adhering moisture in the atmosphere, and a lubricating film of a hydrate by a tribochemical reaction on the sliding surface made of the ceramics Special lubrication means such as a conventional oil sump is provided while maintaining the excellent characteristics of sliding sliding, small number of parts, and being able to cope with high loads. An excellent coefficient of friction equal to or higher than the rolling sliding level can be obtained with a simple structure without any problems.
【００４８】また、本発明によれば、前記摺動面を形成
するセラミックスに珪化物系セラミックスを用いたこと
から、０．０３以下の摩擦係数を実現することができ
る。Further, according to the present invention, since a silicide-based ceramic is used as the ceramic forming the sliding surface, a friction coefficient of 0.03 or less can be realized.
【００４９】さらに、本発明によれば、前記冷却手段と
して、熱電子冷却素子と、該熱電子冷却素子の放熱面に
取着されたヒ−トシンクとから構成したことから、簡単
な構造でセラミックスからなる摺動面を効果的に冷却し
て水分を吸着させ、トライボケミカル反応による水和物
の潤滑膜を生成することができる。Further, according to the present invention, the cooling means comprises a thermoelectric cooling element and a heat sink attached to the heat radiation surface of the thermoelectric cooling element. The cooling surface can be effectively cooled to adsorb moisture, and a lubricating film of a hydrate can be formed by a tribochemical reaction.
【００５０】また、本発明によれば、前記セラミックス
からなる摺動面に付着する水分量を測定する水分検出手
段を設けるとともに、該水分検出手段からの信号をもと
に、前記冷却手段を制御することで、セラミックスから
なる摺動面に付着する水分量が７〜１５ｍｇ／ｃｍ2と
なるようにしたことから、摺動時に湿度や摺動条件が変
化しても常に最適な潤滑膜を生成させることができる。Further, according to the present invention, there is provided a water detecting means for measuring the amount of water adhering to the sliding surface made of ceramics, and the cooling means is controlled based on a signal from the water detecting means. By doing so, the amount of water adhering to the sliding surface made of ceramics is adjusted to 7 to 15 mg / cm 2 , so that an optimal lubricating film is always generated even if the humidity or sliding conditions change during sliding. Can be done.
【図１】本発明の摺動装置を備えるステージ装置を示す
図で、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線断
面図である。FIG. 1 is a view showing a stage device provided with a sliding device of the present invention, wherein (a) is a longitudinal sectional view, and (b) is a sectional view taken along line XX of (a).
【図２】本発明の他の摺動装置を備えるステージ装置を
示す縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing a stage device provided with another sliding device of the present invention.
【図３】実験装置を示す概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing an experimental apparatus.
【図４】セラミックスからなる摺動面に付着する水分量
と摩擦係数との関係を示すグラフである。FIG. 4 is a graph showing the relationship between the amount of moisture adhering to a sliding surface made of ceramics and the coefficient of friction.
【図５】セラミックスからなる摺動面に付着する水分量
と水分検出手段にて測定した単位長さ当たりの抵抗値と
の関係を示すグラフである。FIG. 5 is a graph showing the relationship between the amount of water adhering to a sliding surface made of ceramics and the resistance per unit length measured by a water detecting means.
【図６】水分制御機構を備えた実験装置と水分制御機構
を備えていない実験装置における摺動条件と摩擦係数と
の関係を示すグラフである。FIG. 6 is a graph showing a relationship between a sliding condition and a friction coefficient in an experimental device having a moisture control mechanism and an experimental device not having a moisture control mechanism.
１：ベース ２：ガイドレール ３：逆Ｖ字形状の摺動
面 ４：ガイドレール ５：フラット形状の摺動面 ６：ステージ ７：逆Ｖ字
形状の摺動面 ８：Ｖ字型ガイド ９：フラット形状の摺動面 １０：
平型ガイド １１：冷却手段 １２：熱電子冷却手段 １３：ヒート
シンク １４：ファン1: Base 2: Guide rail 3: Sliding surface of inverted V shape 4: Guide rail 5: Sliding surface of flat shape 6: Stage 7: Sliding surface of inverted V shape 8: V-shaped guide 9: Flat sliding surface 10:
Flat guide 11: Cooling means 12: Thermoelectric cooling means 13: Heat sink 14: Fan
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石峯 裕作 鹿児島県国分市山下町１番１号 京セラ株 式会社鹿児島国分工場内 Ｆターム(参考） 3J011 AA06 AA09 AA20 DA01 KA07 QA04 RA01 SD01 SD02 SD03 SD04 SE10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Yusaku Ishimine 1-1-1, Yamashita-cho, Kokubu-shi, Kagoshima F-term in the Kyocera Corporation Kagoshima Kokubu Plant (reference) 3J011 AA06 AA09 AA20 DA01 KA07 QA04 RA01 SD01 SD02 SD03 SD04 SE10
Claims (5)
部材のうち、少なくとも一方の摺動部材の摺動面をセラ
ミックスにより形成するとともに、該セラミックスから
なる摺動面を冷却して水分を付着させる冷却手段を具備
したことを特徴とする摺動装置。The sliding surface of at least one of the two sliding members in which the sliding surfaces are in contact with each other is formed of ceramic, and the sliding surface of the ceramic is cooled. A sliding device provided with cooling means for adhering moisture.
スであることを特徴とする請求項１に記載の摺動装置。2. The sliding device according to claim 1, wherein the ceramic is a silicide-based ceramic.
電子冷却素子の放熱面に取着されたヒ−トシンクとから
なることを特徴とする請求項１に記載の摺動装置。3. The sliding device according to claim 1, wherein said cooling means comprises a thermoelectric cooling element and a heat sink attached to a heat radiation surface of said thermoelectric cooling element.
る水分量を測定する水分検出手段を備えたことを特徴と
する請求項１に記載の摺動装置。4. The sliding device according to claim 1, further comprising a moisture detecting means for measuring an amount of moisture adhering to the sliding surface made of the ceramic.
冷却手段を制御し、前記セラミックスからなる摺動面に
付着する水分量を７〜１５ｍｇ／ｃｍ2とすることを特
徴とする請求項４に記載の摺動装置。5. The method according to claim 1, wherein said cooling means is controlled based on a signal from said moisture detecting means so that the amount of water adhering to said sliding surface made of ceramics is 7 to 15 mg / cm 2. Item 5. The sliding device according to Item 4.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28013499A JP4535534B2 (en) | 1999-09-30 | 1999-09-30 | Sliding device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28013499A JP4535534B2 (en) | 1999-09-30 | 1999-09-30 | Sliding device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001099160A true JP2001099160A (en) | 2001-04-10 |
| JP4535534B2 JP4535534B2 (en) | 2010-09-01 |
Family
ID=17620823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28013499A Expired - Fee Related JP4535534B2 (en) | 1999-09-30 | 1999-09-30 | Sliding device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4535534B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003183078A (en) * | 2001-12-17 | 2003-07-03 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Guide rail |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04347394A (en) * | 1991-05-24 | 1992-12-02 | Hitachi Ltd | Lubricating system |
| JPH07120426A (en) * | 1993-10-26 | 1995-05-12 | Tomohiko Akuta | Moisture content detecting device |
| JPH1053469A (en) * | 1996-08-05 | 1998-02-24 | Isuzu Ceramics Kenkyusho:Kk | Ceramic sliding material and cut-off valve for stopper for mixing hot water with water using the same material |
| JPH11325078A (en) * | 1998-05-13 | 1999-11-26 | Torishima Pump Mfg Co Ltd | Ceramic bearing device of pump |
-
1999
- 1999-09-30 JP JP28013499A patent/JP4535534B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04347394A (en) * | 1991-05-24 | 1992-12-02 | Hitachi Ltd | Lubricating system |
| JPH07120426A (en) * | 1993-10-26 | 1995-05-12 | Tomohiko Akuta | Moisture content detecting device |
| JPH1053469A (en) * | 1996-08-05 | 1998-02-24 | Isuzu Ceramics Kenkyusho:Kk | Ceramic sliding material and cut-off valve for stopper for mixing hot water with water using the same material |
| JPH11325078A (en) * | 1998-05-13 | 1999-11-26 | Torishima Pump Mfg Co Ltd | Ceramic bearing device of pump |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003183078A (en) * | 2001-12-17 | 2003-07-03 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Guide rail |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4535534B2 (en) | 2010-09-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Yu et al. | Frictional characteristics of mechanical seals with a laser-textured seal face | |
| US7736063B1 (en) | Bearing apparatus having electrorheological fluid lubricant | |
| WO2007023835A1 (en) | Air cycle refrigeration and cooling system, and turbine unit for the air cycle refrigeration and cooling | |
| Gardos | Anomalous wear behavior of MoS 2 films in moderate vacuum and dry nitrogen | |
| US6242831B1 (en) | Reduced stiction for disc drive hydrodynamic spindle motors | |
| JP2003294036A (en) | Linear slide rail structure | |
| CN109322924B (en) | Intelligent sliding bearing capable of automatically regulating and controlling oil film thickness and control method thereof | |
| JP2001099160A (en) | Sliding device | |
| JPH03172645A (en) | Damping control and apparatus of rotary substance | |
| US7387442B2 (en) | Bearing | |
| Mnatsakanov et al. | Lubricating properties of boundary films in tribosystems under critical operation conditions | |
| Buckley et al. | Gallium-rich films as boundary lubricants in air and in vacuum to 10− 9 mm Hg | |
| Smith et al. | Elastohydrodynamic traction characteristics of 5P4E polyphenyl ether | |
| JPS589705A (en) | Bearing-unit used for crankshaft of cold pilger rolling mill | |
| EP1203894A3 (en) | Bearing cooling device | |
| Jeng et al. | Predictions of temperature rise for ball bearings | |
| JPH10205537A (en) | Rotary hydrostatic bearing device | |
| JP2003247556A (en) | Multi-point contact ball bearing and pulley for automobiles | |
| Nan et al. | Observation of lubrication state and lubricant replenishment under sliding-rolling motions with single-charging amount | |
| JP2002367313A (en) | Magnetic disk unit | |
| JP2524527Y2 (en) | Rolling bearing | |
| JPH1197293A (en) | Vacuum capacitor | |
| JPH10324890A (en) | Lubricating resin composite and plain bearing apparatus prepared by using the same | |
| Itoigawa et al. | Starvation in ball bearing lubricated by oil and air lubrication system | |
| Wang et al. | Sliding Friction and Wear of Ceramics at Elevated Temperatures up to 1000 deg C |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060912 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090402 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091006 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091204 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100105 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100308 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100518 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100615 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130625 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |