JP2001099062A - クライオポンプの制御装置 - Google Patents
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- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
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- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S417/901—Cryogenic pumps
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- Thermal Sciences (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数台のクライオポンプを同時制御する際に
個々のクライオポンプに専用のプロセッサを設ける必要
をなくす。 【解決手段】 複数台のクライオポンプ１１a〜１１cを
同時に制御するに際して、１台のプロセッサ１２と夫々
のクライオポンプ１１a〜１１cの通信変換部１３a〜１
３cとを、通信ネットワーク１４で接続する。また、プ
ロセッサ１２とホストコンピュータ１５とは専用線１６
で接続する。プロセッサ１２は、通信ネットワーク１４
を介したパケット交換や回線交換等によって各クライオ
ポンプ１１a〜１１cの通信変換部１３a〜１３cとデータ
交換を行って、各クライオポンプ１１a〜１１cを時分割
で制御する。こうして、個々のクライオポンプ１１a〜
１１cに専用のプロセッサを設ける必要をなくし、大幅
なコストダウンと配線の単純化を図る。
個々のクライオポンプに専用のプロセッサを設ける必要
をなくす。 【解決手段】 複数台のクライオポンプ１１a〜１１cを
同時に制御するに際して、１台のプロセッサ１２と夫々
のクライオポンプ１１a〜１１cの通信変換部１３a〜１
３cとを、通信ネットワーク１４で接続する。また、プ
ロセッサ１２とホストコンピュータ１５とは専用線１６
で接続する。プロセッサ１２は、通信ネットワーク１４
を介したパケット交換や回線交換等によって各クライオ
ポンプ１１a〜１１cの通信変換部１３a〜１３cとデータ
交換を行って、各クライオポンプ１１a〜１１cを時分割
で制御する。こうして、個々のクライオポンプ１１a〜
１１cに専用のプロセッサを設ける必要をなくし、大幅
なコストダウンと配線の単純化を図る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、複数台のクライ
オポンプを制御するクライオポンプの制御装置に関す
る。
オポンプを制御するクライオポンプの制御装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、半導体製造装置等における真
空チャンバ内の真空排気にクライオポンプが用いられて
いる。このクライオポンプは、２段の膨張シリンダを備
えた２段膨張式冷凍機の１段目の第１膨張シリンダに第
１クライオパネルを取り付け、さらに２段目の第２膨張
シリンダに第２クライオパネルを取り付け、この第２ク
ライオパネルの内側に活性炭を張り付け、第１,第２ク
ライオパネル全体をケーシングで覆って形成されてい
る。
空チャンバ内の真空排気にクライオポンプが用いられて
いる。このクライオポンプは、２段の膨張シリンダを備
えた２段膨張式冷凍機の１段目の第１膨張シリンダに第
１クライオパネルを取り付け、さらに２段目の第２膨張
シリンダに第２クライオパネルを取り付け、この第２ク
ライオパネルの内側に活性炭を張り付け、第１,第２ク
ライオパネル全体をケーシングで覆って形成されてい
る。
【０００３】このような構成を有するクライオポンプ
は、ケーシング先端の開口部がゲートバルブを介して上
記真空チャンバの排気口に取り付けられる。そして、５
０Ｋ〜８０Ｋに冷却された第１クライオパネルで真空チ
ャンバ内の水蒸気を凍結捕集して排気し、１０Ｋ〜２０
Ｋに冷却された第２クライオパネルで上記真空チャンバ
内の窒素ガスや酸素ガスやアルゴンガス等を凝縮して排
気し、活性炭で上記真空チャンバ内の水素ガスを吸着し
て排気するのである。
は、ケーシング先端の開口部がゲートバルブを介して上
記真空チャンバの排気口に取り付けられる。そして、５
０Ｋ〜８０Ｋに冷却された第１クライオパネルで真空チ
ャンバ内の水蒸気を凍結捕集して排気し、１０Ｋ〜２０
Ｋに冷却された第２クライオパネルで上記真空チャンバ
内の窒素ガスや酸素ガスやアルゴンガス等を凝縮して排
気し、活性炭で上記真空チャンバ内の水素ガスを吸着し
て排気するのである。
【０００４】こうして、上記溜め込まれた水素や酸素や
窒素等の物質で第１,第２クライオパネルが一杯になる
と、第１,第２クライオパネルを昇温し、窒素パージバ
ルブを開放してケーシング内に窒素を導入して、捕集/
吸着されている物質を排出する再生処理が行われる。さ
らに、第１,第２クライオパネルを２０Ｋの低温まで冷
却するクールダウンが行われる。
窒素等の物質で第１,第２クライオパネルが一杯になる
と、第１,第２クライオパネルを昇温し、窒素パージバ
ルブを開放してケーシング内に窒素を導入して、捕集/
吸着されている物質を排出する再生処理が行われる。さ
らに、第１,第２クライオパネルを２０Ｋの低温まで冷
却するクールダウンが行われる。
【０００５】ここで、上記クライオポンプの排気処理や
再生処理やクールダウン処理は、上記２段膨張式冷凍機
に対するヘリウム圧縮機からの高圧ヘリウムガスの供給
/排気、上記第１,第２クライオパネルに取り付けられた
ヒータのオン/オフ、温度計や圧力計や真空計からの検
出信号の監視、各種バルブの開閉を、専用のプログラマ
ブルプロセッサ(以下、単にプロセッサと言う)によって
制御することによって行われる。
再生処理やクールダウン処理は、上記２段膨張式冷凍機
に対するヘリウム圧縮機からの高圧ヘリウムガスの供給
/排気、上記第１,第２クライオパネルに取り付けられた
ヒータのオン/オフ、温度計や圧力計や真空計からの検
出信号の監視、各種バルブの開閉を、専用のプログラマ
ブルプロセッサ(以下、単にプロセッサと言う)によって
制御することによって行われる。
【０００６】ところで、半導体製造工場において、半導
体ウェハに対してスパッタ処理やエッチング処理等の異
なる処理を順次行う場合には、例えば夫々のプロセスチ
ャンバを結合したクラスタツールが用いられる。そし
て、複数のチャンバは、夫々個別のクライオポンプで真
空排気されており、夫々のクライオポンプにおける排気
処理や再生処理やクールダウン処理は夫々のウェハ処理
に応じて、且つ、互いに関連を持って制御される必要が
ある。
体ウェハに対してスパッタ処理やエッチング処理等の異
なる処理を順次行う場合には、例えば夫々のプロセスチ
ャンバを結合したクラスタツールが用いられる。そし
て、複数のチャンバは、夫々個別のクライオポンプで真
空排気されており、夫々のクライオポンプにおける排気
処理や再生処理やクールダウン処理は夫々のウェハ処理
に応じて、且つ、互いに関連を持って制御される必要が
ある。
【０００７】そこで、従来のクライオポンプの制御装置
においては、以下のようにして複数台のクライオポンプ
を制御している。例えば、特許公報第２８７３０３１号
公報に開示されている電子制御クライオポンプでは、図
１０に示すように、複数台のクライオポンプ１a〜１cの
夫々に専用のプロセッサ２を設けている。そして、１台
のクライオポンプ１aのプロセッサ２aを、システム全体
を制御するホストコンピュータ３に専用線４で接続して
いる。さらに、クライオポンプ１bのプロセッサ２bを専
用線５でプロセッサ２aに接続し、クライオポンプ１cの
プロセッサ２cを専用線６でプロセッサ２bに接続してい
る。
においては、以下のようにして複数台のクライオポンプ
を制御している。例えば、特許公報第２８７３０３１号
公報に開示されている電子制御クライオポンプでは、図
１０に示すように、複数台のクライオポンプ１a〜１cの
夫々に専用のプロセッサ２を設けている。そして、１台
のクライオポンプ１aのプロセッサ２aを、システム全体
を制御するホストコンピュータ３に専用線４で接続して
いる。さらに、クライオポンプ１bのプロセッサ２bを専
用線５でプロセッサ２aに接続し、クライオポンプ１cの
プロセッサ２cを専用線６でプロセッサ２bに接続してい
る。
【０００８】上記構成において、上記ホストコンピュー
タ３から全クライオポンプ１a〜１cに対する制御命令
は、夫々のクライオポンプ１a〜１cのプロセッサ２a〜
２cに対して送出される。例えばライオポンプ１cのプロ
セッサ２cに対する命令は、プロセッサ２a,２bを介して
送出されるようになっているが、これはクライオポンプ
の増設を容易にするためであって、本質的にはホストコ
ンピュータ３から直接プロセッサ２cに送出されるのと
同じである。
タ３から全クライオポンプ１a〜１cに対する制御命令
は、夫々のクライオポンプ１a〜１cのプロセッサ２a〜
２cに対して送出される。例えばライオポンプ１cのプロ
セッサ２cに対する命令は、プロセッサ２a,２bを介して
送出されるようになっているが、これはクライオポンプ
の増設を容易にするためであって、本質的にはホストコ
ンピュータ３から直接プロセッサ２cに送出されるのと
同じである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の電子制御クライオポンプにおいては、以下のような
問題がある。すなわち、例えば、３台のクライオポンプ
１a〜１cを同時制御する場合には、夫々のクライオポン
プ１a〜１cに同じ機能を有する専用のプロセッサ２を設
ける必要があり、無駄であると共に、コストアップに繋
がるという問題がある。
来の電子制御クライオポンプにおいては、以下のような
問題がある。すなわち、例えば、３台のクライオポンプ
１a〜１cを同時制御する場合には、夫々のクライオポン
プ１a〜１cに同じ機能を有する専用のプロセッサ２を設
ける必要があり、無駄であると共に、コストアップに繋
がるという問題がある。
【００１０】また、例えば、１台のクライオポンプ１当
りの制御対象を、１つの電源スイッチ、２つの電動バル
ブ、１つのバルブモータ、２つのヒータ、１つの圧力
計、１つの真空計とした場合は、ホストコンピュータ３
と１台のクライオポンプ１とが８本の制御ラインで接続
されることになる。したがって、３台のクライオポンプ
１a〜１cを同時制御する場合には、ホストコンピュータ
３からは２４(＝８×３)本の制御ラインが配線されるこ
とになり、煩雑であるという問題もある。
りの制御対象を、１つの電源スイッチ、２つの電動バル
ブ、１つのバルブモータ、２つのヒータ、１つの圧力
計、１つの真空計とした場合は、ホストコンピュータ３
と１台のクライオポンプ１とが８本の制御ラインで接続
されることになる。したがって、３台のクライオポンプ
１a〜１cを同時制御する場合には、ホストコンピュータ
３からは２４(＝８×３)本の制御ラインが配線されるこ
とになり、煩雑であるという問題もある。
【００１１】そこで、この発明の目的は、複数台のクラ
イオポンプを制御する際に個々のクライオポンプに専用
のプロセッサを設ける必要が無く、コストダウンと配線
の単純化を図ることができるクライオポンプの制御装置
を提供することにある。
イオポンプを制御する際に個々のクライオポンプに専用
のプロセッサを設ける必要が無く、コストダウンと配線
の単純化を図ることができるクライオポンプの制御装置
を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に係る発明は、複数台のクライオポンプを
制御するクライオポンプの制御装置であって、上記複数
台のクライオポンプの夫々には通信変換部およびＩ/Ｏ
変換部が設けられており、上記複数台のクライオポンプ
を制御するプロセッサと、上記プロセッサと各クライオ
ポンプの通信変換部とを接続する通信ネットワークを備
えて、上記プロセッサは、上記通信ネットワークを介し
て各クライオポンプの通信変換部とデータ交換を行って
各クライオポンプを制御することを特徴としている。
め、請求項１に係る発明は、複数台のクライオポンプを
制御するクライオポンプの制御装置であって、上記複数
台のクライオポンプの夫々には通信変換部およびＩ/Ｏ
変換部が設けられており、上記複数台のクライオポンプ
を制御するプロセッサと、上記プロセッサと各クライオ
ポンプの通信変換部とを接続する通信ネットワークを備
えて、上記プロセッサは、上記通信ネットワークを介し
て各クライオポンプの通信変換部とデータ交換を行って
各クライオポンプを制御することを特徴としている。
【００１３】上記構成によれば、プロセッサによって、
通信ネットワークを介して複数台のクライオポンプの夫
々に設けられた通信変換部とデータ交換が行われて、上
記複数台のクライオポンプが制御される。こうして、夫
々のクライオポンプに専用のプロセッサを搭載すること
なく、１台のプロセッサによって複数台のクライオポン
プが制御される。
通信ネットワークを介して複数台のクライオポンプの夫
々に設けられた通信変換部とデータ交換が行われて、上
記複数台のクライオポンプが制御される。こうして、夫
々のクライオポンプに専用のプロセッサを搭載すること
なく、１台のプロセッサによって複数台のクライオポン
プが制御される。
【００１４】また、請求項２に係る発明は、請求項１に
係る発明のクライオポンプの制御装置において、上記通
信ネットワークは、階層構造に構成されていることを特
徴としている。
係る発明のクライオポンプの制御装置において、上記通
信ネットワークは、階層構造に構成されていることを特
徴としている。
【００１５】上記構成によれば、複数グループのクライ
オポンプを１台のプロセッサで制御する場合やクライオ
ポンプを増設する場合の通信ネットワークの構築が簡単
に行われる。
オポンプを１台のプロセッサで制御する場合やクライオ
ポンプを増設する場合の通信ネットワークの構築が簡単
に行われる。
【００１６】また、請求項３に係る発明は、請求項１に
係る発明のクライオポンプの制御装置において、通信変
換部およびＩ/Ｏ変換部が設けられると共に上記各クラ
イオポンプに圧縮冷媒を供給する圧縮機ユニットを備え
て、上記圧縮機ユニットの通信変換部は上記通信ネット
ワークに接続されていることを特徴としている。
係る発明のクライオポンプの制御装置において、通信変
換部およびＩ/Ｏ変換部が設けられると共に上記各クラ
イオポンプに圧縮冷媒を供給する圧縮機ユニットを備え
て、上記圧縮機ユニットの通信変換部は上記通信ネット
ワークに接続されていることを特徴としている。
【００１７】上記構成によれば、上記複数台のクライオ
ポンプに高圧冷媒ガスを供給する圧縮機ユニットも上記
通信ネットワークを介して制御され、上記プロセッサと
圧縮機ユニットとを接続する専用線をなくすことが可能
になる。
ポンプに高圧冷媒ガスを供給する圧縮機ユニットも上記
通信ネットワークを介して制御され、上記プロセッサと
圧縮機ユニットとを接続する専用線をなくすことが可能
になる。
【００１８】また、請求項４に係る発明は、請求項１に
係る発明のクライオポンプの制御装置において、上記通
信ネットワークは、ホストコンピュータに接続されてい
ることを特徴としている。
係る発明のクライオポンプの制御装置において、上記通
信ネットワークは、ホストコンピュータに接続されてい
ることを特徴としている。
【００１９】上記構成によれば、システム全体を制御す
るホストコンピュータによる上記プロセッサに関する制
御も上記通信ネットワークを介して行われ、上記ホスト
コンピュータとプロセッサとを接続する専用線をなくす
ことが可能になる。また、上記ホストコンピュータに近
いクライオポンプ,圧縮機ユニットあるいはプロセッサ
の順に上記通信ネットワークに接続することができ、上
記クライオポンプ,圧縮機ユニットおよびプロセッサに
対する配線がより単純化される。更に、上記クライオポ
ンプによる真空排気系を、ホストコンピュータが制御す
るシステムのネットワークに組み込むことが可能にな
る。
るホストコンピュータによる上記プロセッサに関する制
御も上記通信ネットワークを介して行われ、上記ホスト
コンピュータとプロセッサとを接続する専用線をなくす
ことが可能になる。また、上記ホストコンピュータに近
いクライオポンプ,圧縮機ユニットあるいはプロセッサ
の順に上記通信ネットワークに接続することができ、上
記クライオポンプ,圧縮機ユニットおよびプロセッサに
対する配線がより単純化される。更に、上記クライオポ
ンプによる真空排気系を、ホストコンピュータが制御す
るシステムのネットワークに組み込むことが可能にな
る。
【００２０】また、請求項５に係る発明は、請求項１に
係る発明のクライオポンプの制御装置において、上記各
クライオポンプには上記Ｉ/Ｏ変換部に接続された端末
端子が設けられており、上記端末端子に接続可能な手動
操作端末器を備えたことを特徴としている。
係る発明のクライオポンプの制御装置において、上記各
クライオポンプには上記Ｉ/Ｏ変換部に接続された端末
端子が設けられており、上記端末端子に接続可能な手動
操作端末器を備えたことを特徴としている。
【００２１】上記構成によれば、故障時等において、該
当するクライオポンプの運転状況を直接見ながら、該当
クライオポンプのみが手動操作端末からの命令に基づく
上記プロセッサの制御によって運転可能になる。
当するクライオポンプの運転状況を直接見ながら、該当
クライオポンプのみが手動操作端末からの命令に基づく
上記プロセッサの制御によって運転可能になる。
【００２２】また、請求項６に係る発明は、請求項１に
係る発明のクライオポンプの制御装置において、上記各
クライオポンプに、当該クライオポンプ自身のＩＤコー
ドが格納されたＩＤコード格納部を備えたことを特徴と
している。
係る発明のクライオポンプの制御装置において、上記各
クライオポンプに、当該クライオポンプ自身のＩＤコー
ドが格納されたＩＤコード格納部を備えたことを特徴と
している。
【００２３】上記構成によれば、特定の真空チャンバに
取り付けられている当該クライオポンプが他のクライオ
ポンプに交換された場合には、ＩＤコード格納部の内容
が交換後のクライオポンプに割り当てられたＩＤに変更
される。こうして、プロセッサと個々のクライオポンプ
とが専用線で直接接続されていないが故のプロセッサが
夫々のクライオポンプを特定できない問題が容易に解消
される。
取り付けられている当該クライオポンプが他のクライオ
ポンプに交換された場合には、ＩＤコード格納部の内容
が交換後のクライオポンプに割り当てられたＩＤに変更
される。こうして、プロセッサと個々のクライオポンプ
とが専用線で直接接続されていないが故のプロセッサが
夫々のクライオポンプを特定できない問題が容易に解消
される。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、この発明を図示の実施の形
態により詳細に説明する。図１は、本実施の形態のクラ
イオポンプの制御装置における全体構成を示す。本実施
の形態においては、複数台のクライオポンプ１１a〜１
１cを同時制御するに際して、全クライオポンプ１１a〜
１１cを制御する１台のプロセッサ１２を設けている。
そして、プロセッサ１２と各クライオポンプ１１a〜１
１cの通信変換部１３a〜１３cとを例えば同軸ケーブル
等で成る通信ネットワーク１４で接続する。さらに、プ
ロセッサ１２を、システム全体を制御するホストコンピ
ュータ１５に例えばＲＳ２３２Ｃ等の専用線１６で接続
している。
態により詳細に説明する。図１は、本実施の形態のクラ
イオポンプの制御装置における全体構成を示す。本実施
の形態においては、複数台のクライオポンプ１１a〜１
１cを同時制御するに際して、全クライオポンプ１１a〜
１１cを制御する１台のプロセッサ１２を設けている。
そして、プロセッサ１２と各クライオポンプ１１a〜１
１cの通信変換部１３a〜１３cとを例えば同軸ケーブル
等で成る通信ネットワーク１４で接続する。さらに、プ
ロセッサ１２を、システム全体を制御するホストコンピ
ュータ１５に例えばＲＳ２３２Ｃ等の専用線１６で接続
している。
【００２５】上記通信ネットワーク１４については特に
限定するものではないが、パケット通信を用いたＬＡＮ
(ローカルエリア・ネットワーク)等が代表的である。こ
のパケット通信を用いたＬＡＮにおいては、プロセッサ
１２は、ホストコンピュータ１５からの命令に基づい
て、各クライオポンプ１１a〜１１cの制御データの時系
列を一定の長さに区切って送出先のクライオポンプ１１
a〜１１cの通信ネットワーク１４上の位置を指定するＩ
Ｄ(以下、ネットＩＤと言う)等を記述したヘッダを付加
したパケットを、通信ネットワーク１４に出力する。
限定するものではないが、パケット通信を用いたＬＡＮ
(ローカルエリア・ネットワーク)等が代表的である。こ
のパケット通信を用いたＬＡＮにおいては、プロセッサ
１２は、ホストコンピュータ１５からの命令に基づい
て、各クライオポンプ１１a〜１１cの制御データの時系
列を一定の長さに区切って送出先のクライオポンプ１１
a〜１１cの通信ネットワーク１４上の位置を指定するＩ
Ｄ(以下、ネットＩＤと言う)等を記述したヘッダを付加
したパケットを、通信ネットワーク１４に出力する。
【００２６】そうすると、各クライオポンプ１１a〜１
１cの通信変換部１３a〜１３cは、通信ネットワーク１
４を介して送信されてくるパケットのヘッダを監視し、
当該クライオポンプ１１のネットＩＤが記述されたヘッ
ダが付加されたパケットを受信した場合には、そのパケ
ットを取り込む。以後、パケットを取り込んだ夫々のク
ライオポンプ１１によって、取り込まれたパケットの通
信データに基づいて、圧力計や真空計からの検出信号に
応じて、電動バルブの開閉やバルブモータの回転やヒー
タのオン/オフの制御を行うのである。
１cの通信変換部１３a〜１３cは、通信ネットワーク１
４を介して送信されてくるパケットのヘッダを監視し、
当該クライオポンプ１１のネットＩＤが記述されたヘッ
ダが付加されたパケットを受信した場合には、そのパケ
ットを取り込む。以後、パケットを取り込んだ夫々のク
ライオポンプ１１によって、取り込まれたパケットの通
信データに基づいて、圧力計や真空計からの検出信号に
応じて、電動バルブの開閉やバルブモータの回転やヒー
タのオン/オフの制御を行うのである。
【００２７】こうして、上記プロセッサ１２から順次各
クライオポンプ１１a〜１１cに対してパケットを送信す
ることによって、１台のプロセッサ１２によって複数台
のクライオポンプ１１a〜１１cを同時に制御できるので
ある。
クライオポンプ１１a〜１１cに対してパケットを送信す
ることによって、１台のプロセッサ１２によって複数台
のクライオポンプ１１a〜１１cを同時に制御できるので
ある。
【００２８】図２は、通信ネットワークを階層構造に構
成した変形例を示す。この場合、システム全体を制御す
るホストコンピュータ２６に専用線２９で接続されたプ
ロセッサ２５に、クライオポンプ２１a,２１bの通信変
換部２２a,２２bを通信ネットワーク２７で接続する。
さらに、通信ネットワーク２７には、クライオポンプ２
３a,２３bの通信変換部２４a,２４bが接続された通信ネ
ットワーク２８を接続している。こうすることによっ
て、例えば、異なる部屋に設置された複数グループのク
ライオポンプ２１,２２を１台のプロセッサ２５で制御
する場合や、クライオポンプを増設する場合の通信ネッ
トワークの構築が容易になる。
成した変形例を示す。この場合、システム全体を制御す
るホストコンピュータ２６に専用線２９で接続されたプ
ロセッサ２５に、クライオポンプ２１a,２１bの通信変
換部２２a,２２bを通信ネットワーク２７で接続する。
さらに、通信ネットワーク２７には、クライオポンプ２
３a,２３bの通信変換部２４a,２４bが接続された通信ネ
ットワーク２８を接続している。こうすることによっ
て、例えば、異なる部屋に設置された複数グループのク
ライオポンプ２１,２２を１台のプロセッサ２５で制御
する場合や、クライオポンプを増設する場合の通信ネッ
トワークの構築が容易になる。
【００２９】図３は、圧縮機ユニットも通信ネットワー
ク上に接続した変形例を示す。この場合、システム全体
を制御するホストコンピュータ３６に専用線３８で接続
されたプロセッサ３４に、クライオポンプ３１a〜３１c
の通信変換部３２a〜３２cを通信ネットワーク３７で接
続する。さらに、通信ネットワーク３７には、圧縮機ユ
ニット３３および圧縮機ユニット３３を制御するプロセ
ッサ３５を接続している。こうすることによって、各ク
ライオポンプ３１a〜３１cに圧縮ヘリウムガスを供給す
る圧縮機ユニット３３をも通信ネットワーク３７を介し
て制御可能になり、プロセッサ３４と圧縮機ユニット３
３とを接続する専用線をなくすことができるのである。
ク上に接続した変形例を示す。この場合、システム全体
を制御するホストコンピュータ３６に専用線３８で接続
されたプロセッサ３４に、クライオポンプ３１a〜３１c
の通信変換部３２a〜３２cを通信ネットワーク３７で接
続する。さらに、通信ネットワーク３７には、圧縮機ユ
ニット３３および圧縮機ユニット３３を制御するプロセ
ッサ３５を接続している。こうすることによって、各ク
ライオポンプ３１a〜３１cに圧縮ヘリウムガスを供給す
る圧縮機ユニット３３をも通信ネットワーク３７を介し
て制御可能になり、プロセッサ３４と圧縮機ユニット３
３とを接続する専用線をなくすことができるのである。
【００３０】上記通信ネットワーク３７に接続された圧
縮機ユニット３３制御用のプロセッサ３５は、プロセッ
サ３４の制御負荷を軽減するためのものであり、プロセ
ッサ３４の制御負荷に余力が在れば必要とはしない。ま
た、その場合に、図３に示すように、圧縮機ユニット３
３制御用のプロセッサ３５に、一部のクライオポンプ３
１cの制御を受け持たせても一向に差し支えない。
縮機ユニット３３制御用のプロセッサ３５は、プロセッ
サ３４の制御負荷を軽減するためのものであり、プロセ
ッサ３４の制御負荷に余力が在れば必要とはしない。ま
た、その場合に、図３に示すように、圧縮機ユニット３
３制御用のプロセッサ３５に、一部のクライオポンプ３
１cの制御を受け持たせても一向に差し支えない。
【００３１】図４は、システム全体を制御するホストコ
ンピュータも通信ネットワーク上に接続した変形例を示
す。この場合、上記ホストコンピュータ４６に、クライ
オポンプ４１a〜４１cの通信変換部４２a〜４２c、圧縮
機ユニット４３、プロセッサ４４、圧縮機ユニット４３
を制御するプロセッサ４５を、通信ネットワーク４７で
接続している。こうすることによって、システム全体を
制御するホストコンピュータ４６によるプロセッサ４
４,４５に関する制御も通信ネットワーク４７を介して
行うことが可能になり、ホストコンピュータ４６とプロ
セッサ４４とを接続する専用線をなくすことができる。
また、クライオポンプ４１a〜４１c,圧縮機ユニット４
３およびプロセッサ４４,４５を通信ネットワーク４７
に接続する場合には、ホストコンピュータ４６に近いク
ライオポンプ４１,圧縮機ユニット４３あるいはプロセ
ッサ４４,４５の順に接続することができるので、配線
をより単純化できる。また、クライオポンプ４１a〜４
１cによる真空排気系を、ホストコンピュータ４６が制
御するウェハ搬送系等を含む全システムのネットワーク
に組み込むことが可能になる。
ンピュータも通信ネットワーク上に接続した変形例を示
す。この場合、上記ホストコンピュータ４６に、クライ
オポンプ４１a〜４１cの通信変換部４２a〜４２c、圧縮
機ユニット４３、プロセッサ４４、圧縮機ユニット４３
を制御するプロセッサ４５を、通信ネットワーク４７で
接続している。こうすることによって、システム全体を
制御するホストコンピュータ４６によるプロセッサ４
４,４５に関する制御も通信ネットワーク４７を介して
行うことが可能になり、ホストコンピュータ４６とプロ
セッサ４４とを接続する専用線をなくすことができる。
また、クライオポンプ４１a〜４１c,圧縮機ユニット４
３およびプロセッサ４４,４５を通信ネットワーク４７
に接続する場合には、ホストコンピュータ４６に近いク
ライオポンプ４１,圧縮機ユニット４３あるいはプロセ
ッサ４４,４５の順に接続することができるので、配線
をより単純化できる。また、クライオポンプ４１a〜４
１cによる真空排気系を、ホストコンピュータ４６が制
御するウェハ搬送系等を含む全システムのネットワーク
に組み込むことが可能になる。
【００３２】本例の場合においても、上記圧縮機ユニッ
ト４３制御用のプロセッサ４５は、プロセッサ４４の制
御負荷に余力が在れば無くしても構わない。また、図４
に示すように、圧縮機ユニット４３制御用のプロセッサ
４５に、一部のクライオポンプ４１cの制御を受け持た
せても一向に差し支えない。
ト４３制御用のプロセッサ４５は、プロセッサ４４の制
御負荷に余力が在れば無くしても構わない。また、図４
に示すように、圧縮機ユニット４３制御用のプロセッサ
４５に、一部のクライオポンプ４１cの制御を受け持た
せても一向に差し支えない。
【００３３】上記各構成を有する通信ネットワークを介
したクライオポンプの制御装置においては、図５に示す
ように、プロセッサ５３にキーボード等の入力部５４を
設けて、この入力部５４からの手動操作によって、通信
ネットワーク５５を介して、クライオポンプ５１及び圧
縮機ユニット５２を手動制御可能になっている。こうす
ることによって、テスト運転等を容易にできる。全体の
システムがクライオポンプ５１a〜５１cによる真空排気
系のみである場合には、図５のみの構成で十分である。
したがって、その場合には、上記ホストコンピュータは
必要としない。さらに、図６に示すように、各クライオ
ポンプ５６a〜５６cには、操作端末器６０が接続可能に
なっており、操作端末器６０からの命令に基づいて、プ
ロセッサ５８によって、通信ネットワーク５９を介し
て、当該クライオポンプ５６および圧縮機ユニット５７
を手元操作可能になっている。こうすることによって、
故障時等において、該当するクライオポンプ５６の運転
状態を直接見ながら当該クライオポンプ５６のみを運転
することが可能になる。
したクライオポンプの制御装置においては、図５に示す
ように、プロセッサ５３にキーボード等の入力部５４を
設けて、この入力部５４からの手動操作によって、通信
ネットワーク５５を介して、クライオポンプ５１及び圧
縮機ユニット５２を手動制御可能になっている。こうす
ることによって、テスト運転等を容易にできる。全体の
システムがクライオポンプ５１a〜５１cによる真空排気
系のみである場合には、図５のみの構成で十分である。
したがって、その場合には、上記ホストコンピュータは
必要としない。さらに、図６に示すように、各クライオ
ポンプ５６a〜５６cには、操作端末器６０が接続可能に
なっており、操作端末器６０からの命令に基づいて、プ
ロセッサ５８によって、通信ネットワーク５９を介し
て、当該クライオポンプ５６および圧縮機ユニット５７
を手元操作可能になっている。こうすることによって、
故障時等において、該当するクライオポンプ５６の運転
状態を直接見ながら当該クライオポンプ５６のみを運転
することが可能になる。
【００３４】以下、上述のような通信ネットワークを介
した複数クライオポンプの同時制御を可能にするクライ
オポンプの構成について説明する。図７は、図３の要部
を示す概念図である。図７においてクライオポンプ３１
には、２段の膨張シリンダ６２,６３を備えた２段膨張
式冷凍機６１が用いられている。
した複数クライオポンプの同時制御を可能にするクライ
オポンプの構成について説明する。図７は、図３の要部
を示す概念図である。図７においてクライオポンプ３１
には、２段の膨張シリンダ６２,６３を備えた２段膨張
式冷凍機６１が用いられている。
【００３５】１段目の第１膨張シリンダ６２におけるヒ
ートステージ(第１ヒートステージ)には第１クライオパ
ネル６４を取り付けている。また、２段目の第２膨張シ
リンダ６３におけるヒートステージ(第２ヒートステー
ジ)には、第２クライオパネル６５を取り付けている。
ートステージ(第１ヒートステージ)には第１クライオパ
ネル６４を取り付けている。また、２段目の第２膨張シ
リンダ６３におけるヒートステージ(第２ヒートステー
ジ)には、第２クライオパネル６５を取り付けている。
【００３６】そして、上記第１クライオパネル６４やそ
の先端部に取り付けられたバッフル６６で、チャンバ
(図示せず)内の水蒸気を凍結捕集して排気する。一方、
第２クライオパネル６５によって、第１クライオパネル
６４で排気できない上記チャンバ内の酸素ガス,窒素ガ
スおよびアルゴンガス等を凍結捕集し、水素ガスは第２
クライオパネル６５に張り付けられた活性炭(図示せず)
に吸着して排気する。
の先端部に取り付けられたバッフル６６で、チャンバ
(図示せず)内の水蒸気を凍結捕集して排気する。一方、
第２クライオパネル６５によって、第１クライオパネル
６４で排気できない上記チャンバ内の酸素ガス,窒素ガ
スおよびアルゴンガス等を凍結捕集し、水素ガスは第２
クライオパネル６５に張り付けられた活性炭(図示せず)
に吸着して排気する。
【００３７】上記第１ヒートステージおよび第２ヒート
ステージには、再生処理時に、第１,第２クライオパネ
ル６４,６５を加熱して凍結補集されているガス分子を
蒸発させるための第１,第２ヒータ６７,６８が取り付け
られている。また、排気バルブ６９は、クライオパネル
６４,６５や上記活性炭から蒸発あるいは離脱した再生
ガスをクライオポンプ外に排気する場合に開放される。
粗引きバルブ７０は、上記再生処理が終了して上記クー
ルダウンに移行する場合に、ケーシング７１内を粗引き
する際に開放される。圧力計７２は、大気圧を検出して
大気圧信号を出力する。真空計７３は、ケーシング７１
内の真空圧を検出して真空圧信号を出力する。上記第
１,第２ヒートステージに取り付けられた温度計７４,７
５は、ヒートステージ温度を検出して温度信号を出力す
る。
ステージには、再生処理時に、第１,第２クライオパネ
ル６４,６５を加熱して凍結補集されているガス分子を
蒸発させるための第１,第２ヒータ６７,６８が取り付け
られている。また、排気バルブ６９は、クライオパネル
６４,６５や上記活性炭から蒸発あるいは離脱した再生
ガスをクライオポンプ外に排気する場合に開放される。
粗引きバルブ７０は、上記再生処理が終了して上記クー
ルダウンに移行する場合に、ケーシング７１内を粗引き
する際に開放される。圧力計７２は、大気圧を検出して
大気圧信号を出力する。真空計７３は、ケーシング７１
内の真空圧を検出して真空圧信号を出力する。上記第
１,第２ヒートステージに取り付けられた温度計７４,７
５は、ヒートステージ温度を検出して温度信号を出力す
る。
【００３８】Ｉ/Ｏ変換部７６は、上記通信変換部３２
によって受信され、処理可能なフォーマットに変換され
た制御データを受け取り、後に詳述するように、制御対
象に応じて制御部やリレー等に分配する。また、上記受
信した通信データがデータ要求である場合には、その要
求の内容に応じて、圧力計７２からの大気圧信号、真空
計７３からの真空圧信号、温度計７４,７５からの温度
信号の何れかを選択して、通信変換部３２に送出する。
そして、通信変換部３２によって、受け取った信号が伝
搬に適した信号フォーマットに変換され、通信ネットワ
ーク３７に送信される。
によって受信され、処理可能なフォーマットに変換され
た制御データを受け取り、後に詳述するように、制御対
象に応じて制御部やリレー等に分配する。また、上記受
信した通信データがデータ要求である場合には、その要
求の内容に応じて、圧力計７２からの大気圧信号、真空
計７３からの真空圧信号、温度計７４,７５からの温度
信号の何れかを選択して、通信変換部３２に送出する。
そして、通信変換部３２によって、受け取った信号が伝
搬に適した信号フォーマットに変換され、通信ネットワ
ーク３７に送信される。
【００３９】ここで、上記構成を有するクライオポンプ
３１の電源は、真空排気時に２段膨張式冷凍機６１に圧
縮機ユニット３３からの圧縮ヘリウムガスを給排するバ
ルブを制御するバルブモータ(図示せず)、および、Ｉ/
Ｏ変換部７６に対して、圧縮機ユニット３３から電源ラ
イン７７を介して供給されるようになっている。尚、７
８は、当該クライオポンプ３１の上記ネットＩＤが格納
されているネットＩＤ格納部である。また、圧縮機ユニ
ット３３にも、Ｉ/Ｏ変換部(図示せず)が搭載されてい
る。
３１の電源は、真空排気時に２段膨張式冷凍機６１に圧
縮機ユニット３３からの圧縮ヘリウムガスを給排するバ
ルブを制御するバルブモータ(図示せず)、および、Ｉ/
Ｏ変換部７６に対して、圧縮機ユニット３３から電源ラ
イン７７を介して供給されるようになっている。尚、７
８は、当該クライオポンプ３１の上記ネットＩＤが格納
されているネットＩＤ格納部である。また、圧縮機ユニ
ット３３にも、Ｉ/Ｏ変換部(図示せず)が搭載されてい
る。
【００４０】図８は、図７におけるクライオポンプ３１
およびプロセッサ３４の通信ネットワーク３７を介した
通信制御に関する部分の詳細ブロック図である。プロセ
ッサ３４のＲＯＭ(リード・オンリ・メモリ)８１には、各
クライオポンプ３１a〜３１c夫々のプロセス処理に応じ
た運転プログラム,再生プログラムおよびクールダウン
プログラムが格納されている。また、ＲＡＭ(ランダム・
アクセス・メモリ)８２には、外部から設定可能な運転条
件や再生条件、各クライオポンプ３１a〜３１cに関する
過去の運転履歴及び再生履歴等の記録、バッファ等が格
納されている。入力部５４はキーボード等で構成され
て、ＲＡＭ８２に対する条件の新規登録や更新等を行
う。出力表示部８４はディスプレイ等で構成されて、入
力部５４からの入力内容等が出力される。
およびプロセッサ３４の通信ネットワーク３７を介した
通信制御に関する部分の詳細ブロック図である。プロセ
ッサ３４のＲＯＭ(リード・オンリ・メモリ)８１には、各
クライオポンプ３１a〜３１c夫々のプロセス処理に応じ
た運転プログラム,再生プログラムおよびクールダウン
プログラムが格納されている。また、ＲＡＭ(ランダム・
アクセス・メモリ)８２には、外部から設定可能な運転条
件や再生条件、各クライオポンプ３１a〜３１cに関する
過去の運転履歴及び再生履歴等の記録、バッファ等が格
納されている。入力部５４はキーボード等で構成され
て、ＲＡＭ８２に対する条件の新規登録や更新等を行
う。出力表示部８４はディスプレイ等で構成されて、入
力部５４からの入力内容等が出力される。
【００４１】制御部８５は、上記ホストコンピュータか
らの指示を受けると、ＲＡＭ８２に格納された上記運転
履歴および再生履歴を参照しながら、ＲＯＭ８１から各
クライオポンプ３１a〜３１cの運転プログラム,再生プ
ログラムあるいはクールダウンプログラムを読み出し、
必要時応じてＲＡＭ８２から運転条件や再生条件を読み
出し、各クライオポンプ３１a〜３１cの制御データを生
成する。そして、生成した制御データを通信制御部８６
に送出する。通信制御部８６は、上記制御データの時系
列を一定の長さに区切り、送出先のクライオポンプ３１
a〜３１cを指定するネットＩＤ等を記述したヘッダを付
加してパケットを作成する。さらに、この作成したパケ
ットを通信ネットワーク３７を介した伝搬に適した信号
フォーマットに変換し、通信ネットワーク３７に出力す
る。
らの指示を受けると、ＲＡＭ８２に格納された上記運転
履歴および再生履歴を参照しながら、ＲＯＭ８１から各
クライオポンプ３１a〜３１cの運転プログラム,再生プ
ログラムあるいはクールダウンプログラムを読み出し、
必要時応じてＲＡＭ８２から運転条件や再生条件を読み
出し、各クライオポンプ３１a〜３１cの制御データを生
成する。そして、生成した制御データを通信制御部８６
に送出する。通信制御部８６は、上記制御データの時系
列を一定の長さに区切り、送出先のクライオポンプ３１
a〜３１cを指定するネットＩＤ等を記述したヘッダを付
加してパケットを作成する。さらに、この作成したパケ
ットを通信ネットワーク３７を介した伝搬に適した信号
フォーマットに変換し、通信ネットワーク３７に出力す
る。
【００４２】上記クライオポンプ３１の通信変換部３２
は、上述のごとく通信ネットワーク３７を介して送信さ
れてくるパケットのヘッダを監視し、ネットＩＤ格納部
７８に格納されたネットＩＤを参照して、当該クライオ
ポンプ３１に送信されたパケットを取り込む。そして、
上記パケットから通信データを読み出して処理可能なフ
ォーマットに変換し、Ｉ/Ｏ変換部７６に送出する。
は、上述のごとく通信ネットワーク３７を介して送信さ
れてくるパケットのヘッダを監視し、ネットＩＤ格納部
７８に格納されたネットＩＤを参照して、当該クライオ
ポンプ３１に送信されたパケットを取り込む。そして、
上記パケットから通信データを読み出して処理可能なフ
ォーマットに変換し、Ｉ/Ｏ変換部７６に送出する。
【００４３】上記Ｉ/Ｏ変換部７６は、受け取った通信
データを解析し、ヒータ６７,６８に対する制御データ
である場合には、ヒータ制御部８７に対して当該制御デ
ータに応じた指令を出力する。また、排気バルブ６９あ
るいは粗引きバルブ７０に対する制御データである場合
には、バルブ開閉リレー８８に対して当該制御データに
応じた指令を出力する。また、上記バルブモータ等に対
する制御データである場合には、その他制御部８９に対
して当該制御データに応じた指令を出力する。
データを解析し、ヒータ６７,６８に対する制御データ
である場合には、ヒータ制御部８７に対して当該制御デ
ータに応じた指令を出力する。また、排気バルブ６９あ
るいは粗引きバルブ７０に対する制御データである場合
には、バルブ開閉リレー８８に対して当該制御データに
応じた指令を出力する。また、上記バルブモータ等に対
する制御データである場合には、その他制御部８９に対
して当該制御データに応じた指令を出力する。
【００４４】さらに、上記温度計７４,７５の温度デー
タの送信要求である場合には、温度変換器９０からの当
該要求に応じた温度データを読み出す。また、真空圧デ
ータの送信要求である場合には、真空用の圧力変換器９
１からの真空圧データを読み出す。また、大気圧データ
の送信要求である場合には、大気用の圧力変換器９２か
らの大気圧データを読み出す。また、当該クライオポン
プ３１自身に割り当てられているＩＤデータの送信要求
である場合には、ＩＤコード格納部９３から当該クライ
オポンプ３１のＩＤコード・データを読み出す。そし
て、読み出した各データを通信変換部３２に送出する。
そうすると、通信変換部３２は、上記各データにプロセ
ッサ３４を指定するネットＩＤ等を記述したヘッダを付
加してパケットを作成し、通信ネットワーク３７を介し
た伝搬に適した信号フォーマットに変換し、通信ネット
ワーク３７に出力する。ここで、上記ＩＤコード格納部
９３には、詳述しないが、プロセッサ３４の制御部８５
によって、ＲＡＭ８２に格納されている当該クライオポ
ンプ３１の履歴の一部が、通信ネットワーク３７を介し
て書き込まれるようになっている。こうすることによっ
て、当該クライオポンプ３１がプロセッサ３４から切り
離された場合でも、当該クライオポンプ３１の必要な履
歴を保持しておくことができるのである。
タの送信要求である場合には、温度変換器９０からの当
該要求に応じた温度データを読み出す。また、真空圧デ
ータの送信要求である場合には、真空用の圧力変換器９
１からの真空圧データを読み出す。また、大気圧データ
の送信要求である場合には、大気用の圧力変換器９２か
らの大気圧データを読み出す。また、当該クライオポン
プ３１自身に割り当てられているＩＤデータの送信要求
である場合には、ＩＤコード格納部９３から当該クライ
オポンプ３１のＩＤコード・データを読み出す。そし
て、読み出した各データを通信変換部３２に送出する。
そうすると、通信変換部３２は、上記各データにプロセ
ッサ３４を指定するネットＩＤ等を記述したヘッダを付
加してパケットを作成し、通信ネットワーク３７を介し
た伝搬に適した信号フォーマットに変換し、通信ネット
ワーク３７に出力する。ここで、上記ＩＤコード格納部
９３には、詳述しないが、プロセッサ３４の制御部８５
によって、ＲＡＭ８２に格納されている当該クライオポ
ンプ３１の履歴の一部が、通信ネットワーク３７を介し
て書き込まれるようになっている。こうすることによっ
て、当該クライオポンプ３１がプロセッサ３４から切り
離された場合でも、当該クライオポンプ３１の必要な履
歴を保持しておくことができるのである。
【００４５】さらに、上記Ｉ/Ｏ変換部７６は、端末端
子９４から、この端末端子９４に接続された操作端末器
６０からの割り込み入力がある場合には、操作端末器６
０からの入力データを通信変換部３２に送出する。一
方、通信変換部３２から受け取った通信データが操作端
末器６０への出力データである場合には、端末端子９４
に出力するのである。
子９４から、この端末端子９４に接続された操作端末器
６０からの割り込み入力がある場合には、操作端末器６
０からの入力データを通信変換部３２に送出する。一
方、通信変換部３２から受け取った通信データが操作端
末器６０への出力データである場合には、端末端子９４
に出力するのである。
【００４６】上記構成を有するクライオポンプの制御装
置において、上記クライオポンプ３１は、通信変換部３
２およびＩ/Ｏ変換部７６の制御の下に、図９に示すフ
ローチャートに従って動作する。ここで、上述したよう
に、プロセッサ３４からの命令によって、圧縮機ユニッ
ト３３から電源ライン７７を介してクライオポンプ３１
に電源が供給されると、クライオポンプ制御処理動作が
スタートする。
置において、上記クライオポンプ３１は、通信変換部３
２およびＩ/Ｏ変換部７６の制御の下に、図９に示すフ
ローチャートに従って動作する。ここで、上述したよう
に、プロセッサ３４からの命令によって、圧縮機ユニッ
ト３３から電源ライン７７を介してクライオポンプ３１
に電源が供給されると、クライオポンプ制御処理動作が
スタートする。
【００４７】ステップＳ1で、上記通信変換部３２によ
って、通信ネットワーク３７を介してパケットを受信し
た場合にはステップＳ2に進む。ステップＳ2で、受信し
たパケットのヘッダには、自身のネットＩＤが記載され
ているか否かが判別される。その結果、自身のネットＩ
Ｄが記載されている場合にはステップＳ3に進む。ステ
ップＳ3で、当該パケットの通信データが読み込まれ
て、Ｉ/Ｏ変換部７６に渡される。以下、Ｉ/Ｏ変換部７
６による処理に移行する。
って、通信ネットワーク３７を介してパケットを受信し
た場合にはステップＳ2に進む。ステップＳ2で、受信し
たパケットのヘッダには、自身のネットＩＤが記載され
ているか否かが判別される。その結果、自身のネットＩ
Ｄが記載されている場合にはステップＳ3に進む。ステ
ップＳ3で、当該パケットの通信データが読み込まれ
て、Ｉ/Ｏ変換部７６に渡される。以下、Ｉ/Ｏ変換部７
６による処理に移行する。
【００４８】ここで、上記ネットＩＤとは、上述したよ
うに、通信ネットワーク３７上における当該クライオポ
ンプ３１の位置を指定するＩＤであり、特定の真空チャ
ンバに取り付けられているクライオポンプ３１を指定す
るＩＤである。したがって、当該クライオポンプ３１が
故障したために、他のクライオポンプ３１'と交換した
場合でも変更は無い。これに対して、ＩＤコード格納部
９３に格納されているＩＤは、当該クライオポンプ３１
自身に割り当てられているＩＤである。したがって、上
記特定の真空チャンバに取り付けられているクライオポ
ンプ３１が他のクライオポンプ３１'に交換された場合
には、当該ＩＤはクライオポンプ３１'に割り当てられ
たＩＤに変更されることになる。その結果、プロセッサ
３４のＲＡＭ８２に格納されている運転履歴や再生履歴
等のクライオポンプ３１自身の記録も初期値に設定され
るのである。
うに、通信ネットワーク３７上における当該クライオポ
ンプ３１の位置を指定するＩＤであり、特定の真空チャ
ンバに取り付けられているクライオポンプ３１を指定す
るＩＤである。したがって、当該クライオポンプ３１が
故障したために、他のクライオポンプ３１'と交換した
場合でも変更は無い。これに対して、ＩＤコード格納部
９３に格納されているＩＤは、当該クライオポンプ３１
自身に割り当てられているＩＤである。したがって、上
記特定の真空チャンバに取り付けられているクライオポ
ンプ３１が他のクライオポンプ３１'に交換された場合
には、当該ＩＤはクライオポンプ３１'に割り当てられ
たＩＤに変更されることになる。その結果、プロセッサ
３４のＲＡＭ８２に格納されている運転履歴や再生履歴
等のクライオポンプ３１自身の記録も初期値に設定され
るのである。
【００４９】ステップＳ4で、上記Ｉ/Ｏ変換部７６によ
って、通信変換部３２から受け取った通信データが解析
される。ステップＳ5で、解析の結果が制御データであ
る場合にはステップＳ6に進む。ステップＳ6で、当該制
御データで指定された制御部あるいはリレーに当該制御
データに応じた指令が出力される。ステップＳ7で、解
析の結果がデータの送信要求である場合にはステップＳ
8に進む。ステップＳ8で、当該通信データで指定された
変換器９０〜９２やＩＤコード格納部９３からデータが
読み出され、通信変換部３２に内蔵された出力バッファ
に送出されて格納される。
って、通信変換部３２から受け取った通信データが解析
される。ステップＳ5で、解析の結果が制御データであ
る場合にはステップＳ6に進む。ステップＳ6で、当該制
御データで指定された制御部あるいはリレーに当該制御
データに応じた指令が出力される。ステップＳ7で、解
析の結果がデータの送信要求である場合にはステップＳ
8に進む。ステップＳ8で、当該通信データで指定された
変換器９０〜９２やＩＤコード格納部９３からデータが
読み出され、通信変換部３２に内蔵された出力バッファ
に送出されて格納される。
【００５０】ステップＳ9で、解析の結果が、上記操作
端末器６０への出力データである場合にはステップＳ10
に進む。ステップＳ10で、当該出力データが端末端子９
４に送出される。ステップＳ11で、操作端末器６０から
割り込み入力があるか否かが判別される。その結果、割
り込み入力がある場合にはステップＳ12に進む一方、無
い場合にはステップＳ12をスキップする。ステップＳ12
で、端末端子９４からの端末データが通信変換部３２の
出力バッファに格納される。以下、通信変換部３２によ
る処理に移行する。
端末器６０への出力データである場合にはステップＳ10
に進む。ステップＳ10で、当該出力データが端末端子９
４に送出される。ステップＳ11で、操作端末器６０から
割り込み入力があるか否かが判別される。その結果、割
り込み入力がある場合にはステップＳ12に進む一方、無
い場合にはステップＳ12をスキップする。ステップＳ12
で、端末端子９４からの端末データが通信変換部３２の
出力バッファに格納される。以下、通信変換部３２によ
る処理に移行する。
【００５１】ステップＳ13で、上記通信変換部３２によ
って、出力バッファに出力データが格納されているか否
かが判別される。その結果、格納されている場合にはス
テップＳ14に進み、そうでなければ上記ステップＳ1に
戻って、次の受信パッケージの処理に移行する。ステッ
プＳ14で、上記出力データにプロセッサ３４のネットＩ
Ｄが記述されたヘッダが付加されたパケットが作成され
て、通信ネットワーク３７に送信される。そうした後、
上記ステップＳ1に戻って次の受信パッケージの処理に
移行する。
って、出力バッファに出力データが格納されているか否
かが判別される。その結果、格納されている場合にはス
テップＳ14に進み、そうでなければ上記ステップＳ1に
戻って、次の受信パッケージの処理に移行する。ステッ
プＳ14で、上記出力データにプロセッサ３４のネットＩ
Ｄが記述されたヘッダが付加されたパケットが作成され
て、通信ネットワーク３７に送信される。そうした後、
上記ステップＳ1に戻って次の受信パッケージの処理に
移行する。
【００５２】上述のように、本実施の形態においては、
複数台のクライオポンプ１１a〜１１cを同時に制御する
に際して、ホストコンピュータ１５の命令によって複数
台のクライオポンプ１１a〜１１cを制御する１台のプロ
セッサ１２と、各クライオポンプ１１a〜１１cの通信変
換部１３a〜１３cとを、通信ネットワーク１４で接続し
ている。そして、プロセッサ１２は、通信ネットワーク
１４を介したパケット交換や回線交換等によって各クラ
イオポンプ１１a〜１１cの通信変換部１３a〜１３cとデ
ータ交換を行って、各クライオポンプ１１a〜１１cを時
分割で制御するようにしている。
複数台のクライオポンプ１１a〜１１cを同時に制御する
に際して、ホストコンピュータ１５の命令によって複数
台のクライオポンプ１１a〜１１cを制御する１台のプロ
セッサ１２と、各クライオポンプ１１a〜１１cの通信変
換部１３a〜１３cとを、通信ネットワーク１４で接続し
ている。そして、プロセッサ１２は、通信ネットワーク
１４を介したパケット交換や回線交換等によって各クラ
イオポンプ１１a〜１１cの通信変換部１３a〜１３cとデ
ータ交換を行って、各クライオポンプ１１a〜１１cを時
分割で制御するようにしている。
【００５３】したがって、上記実施の形態によれば、複
数台のクライオポンプ１１a〜１１cを同時制御する際に
高価なプロセッサ１２を１台にできる。すなわち、個々
のクライオポンプ１１a〜１１cに専用のプロセッサを設
ける必要がなく、大幅なコストダウンを図ることができ
るのである。また、プロセッサ１２と各クライオポンプ
１１a〜１１cとは１回線の通信ネットワーク１４で接続
すればよい。したがって、ホストコンピュータ１５と夫
々のクライオポンプ１１a〜１１cとを専用線で接続する
必要がなく、回線数を少なくして配線の単純化を図るこ
とができる。
数台のクライオポンプ１１a〜１１cを同時制御する際に
高価なプロセッサ１２を１台にできる。すなわち、個々
のクライオポンプ１１a〜１１cに専用のプロセッサを設
ける必要がなく、大幅なコストダウンを図ることができ
るのである。また、プロセッサ１２と各クライオポンプ
１１a〜１１cとは１回線の通信ネットワーク１４で接続
すればよい。したがって、ホストコンピュータ１５と夫
々のクライオポンプ１１a〜１１cとを専用線で接続する
必要がなく、回線数を少なくして配線の単純化を図るこ
とができる。
【００５４】また、図２に示すように、通信ネットワー
ク２７,２８を階層構造に構成することによって、複数
グループのクライオポンプ２１,２３を１台のプロセッ
サ２５で制御する場合や、クライオポンプを増設する場
合の通信ネットワークの構築を容易にできる。さらに、
図３に示すように、圧縮機ユニット３３も通信ネットワ
ーク３７上に接続することによって、各クライオポンプ
３１a〜３１cに圧縮ヘリウムガスを供給する圧縮機ユニ
ット３３も通信ネットワーク３７を介して制御可能にな
る。したがって、プロセッサ３４と圧縮機ユニット３３
とを接続する専用線をなくすことができる。さらに、図
４に示すように、システム全体を制御するホストコンピ
ュータ４６も通信ネットワーク４７上に接続することに
よって、ホストコンピュータ４６とプロセッサ４４とを
接続する専用線をなくすことができる。また、クライオ
ポンプ４１a〜４１cによる真空排気系を、ホストコンピ
ュータ４６が制御するシステムのネットワークに含める
ことができる。
ク２７,２８を階層構造に構成することによって、複数
グループのクライオポンプ２１,２３を１台のプロセッ
サ２５で制御する場合や、クライオポンプを増設する場
合の通信ネットワークの構築を容易にできる。さらに、
図３に示すように、圧縮機ユニット３３も通信ネットワ
ーク３７上に接続することによって、各クライオポンプ
３１a〜３１cに圧縮ヘリウムガスを供給する圧縮機ユニ
ット３３も通信ネットワーク３７を介して制御可能にな
る。したがって、プロセッサ３４と圧縮機ユニット３３
とを接続する専用線をなくすことができる。さらに、図
４に示すように、システム全体を制御するホストコンピ
ュータ４６も通信ネットワーク４７上に接続することに
よって、ホストコンピュータ４６とプロセッサ４４とを
接続する専用線をなくすことができる。また、クライオ
ポンプ４１a〜４１cによる真空排気系を、ホストコンピ
ュータ４６が制御するシステムのネットワークに含める
ことができる。
【００５５】さらに、図６に示すように、各クライオポ
ンプ５６a〜５６cに操作端末器６０を接続可能にし、操
作端末器６０からの命令に基づいて、プロセッサ５８に
よって、通信ネットワーク５９を介して当該クライオポ
ンプ５６および圧縮機ユニット６２を手元操作可能にす
ることができる。こうすることによって、故障時等にお
いて、該当するクライオポンプ５６の運転状態を直接見
ながら当該クライオポンプ５６のみを運転することがで
きる。
ンプ５６a〜５６cに操作端末器６０を接続可能にし、操
作端末器６０からの命令に基づいて、プロセッサ５８に
よって、通信ネットワーク５９を介して当該クライオポ
ンプ５６および圧縮機ユニット６２を手元操作可能にす
ることができる。こうすることによって、故障時等にお
いて、該当するクライオポンプ５６の運転状態を直接見
ながら当該クライオポンプ５６のみを運転することがで
きる。
【００５６】さらに、上記各クライオポンプ３１にＩＤ
コード格納部９３を設け、当該クライオポンプ３１自身
に割り当てられているＩＤコードを格納している。そし
て、特定の真空チャンバに取り付けられている当該クラ
イオポンプ３１が他のクライオポンプ３１'に交換され
た場合には、ＩＤコード格納部９３の内容はクライオポ
ンプ３１'に割り当てられたＩＤに変更する。さらに、
プロセッサ３４のＲＡＭ８２に格納されている運転履歴
や再生履歴等の交換後のクライオポンプ３１'自身の記
録も初期値に設定するようにしている。したがって、プ
ロセッサ３４と個々のクライオポンプ３１a〜３１cとが
専用線で直接接続されていないが故のプロセッサ３４が
夫々のクライオポンプ３１a〜３１cを特定できない問題
を、容易に解消することができる。その結果、個々のク
ライオポンプ３１a〜３１cを、所定の計画に従って的確
に再生処理やオーバーホール等を行うことができるので
ある。
コード格納部９３を設け、当該クライオポンプ３１自身
に割り当てられているＩＤコードを格納している。そし
て、特定の真空チャンバに取り付けられている当該クラ
イオポンプ３１が他のクライオポンプ３１'に交換され
た場合には、ＩＤコード格納部９３の内容はクライオポ
ンプ３１'に割り当てられたＩＤに変更する。さらに、
プロセッサ３４のＲＡＭ８２に格納されている運転履歴
や再生履歴等の交換後のクライオポンプ３１'自身の記
録も初期値に設定するようにしている。したがって、プ
ロセッサ３４と個々のクライオポンプ３１a〜３１cとが
専用線で直接接続されていないが故のプロセッサ３４が
夫々のクライオポンプ３１a〜３１cを特定できない問題
を、容易に解消することができる。その結果、個々のク
ライオポンプ３１a〜３１cを、所定の計画に従って的確
に再生処理やオーバーホール等を行うことができるので
ある。
【００５７】上記実施の形態においては、通信ネットワ
ーク３７をパケット交換によるＬＡＮとして説明した
が、この発明の通信ネットワークは特にこれに限定され
るものではなく、無線のネットワーク等も含む概念であ
る。また、図７に示すクライオポンプ３１の構成は代表
的なものを上げたに過ぎず、実際にはもっと多くのバル
ブ等が備えられている。その場合でも、同様にして制御
される。また、上記実施の形態においては、ＲＡＭ８２
に上記運転条件や再生条件,運転履歴や再生履歴等を記
録しているが、ハードディスクやメモリカード等の外部
メモリに記録しても差し支えない。
ーク３７をパケット交換によるＬＡＮとして説明した
が、この発明の通信ネットワークは特にこれに限定され
るものではなく、無線のネットワーク等も含む概念であ
る。また、図７に示すクライオポンプ３１の構成は代表
的なものを上げたに過ぎず、実際にはもっと多くのバル
ブ等が備えられている。その場合でも、同様にして制御
される。また、上記実施の形態においては、ＲＡＭ８２
に上記運転条件や再生条件,運転履歴や再生履歴等を記
録しているが、ハードディスクやメモリカード等の外部
メモリに記録しても差し支えない。
【００５８】
【発明の効果】以上より明らかなように、請求項１にか
かる発明のクライオポンプの制御装置は、複数台のクラ
イオポンプの夫々には通信変換部およびＩ/Ｏ変換部を
設け、上記複数台のクライオポンプを制御するプロセッ
サと各クライオポンプの通信変換部とを通信ネットワー
クで接続し、上記プロセッサによって、上記通信ネット
ワークを介して各クライオポンプの通信変換部とデータ
交換を行って各クライオポンプを制御するので、１台の
プロセッサによって複数台のクライオポンプを制御でき
る。
かる発明のクライオポンプの制御装置は、複数台のクラ
イオポンプの夫々には通信変換部およびＩ/Ｏ変換部を
設け、上記複数台のクライオポンプを制御するプロセッ
サと各クライオポンプの通信変換部とを通信ネットワー
クで接続し、上記プロセッサによって、上記通信ネット
ワークを介して各クライオポンプの通信変換部とデータ
交換を行って各クライオポンプを制御するので、１台の
プロセッサによって複数台のクライオポンプを制御でき
る。
【００５９】したがって、この発明によれば、夫々のク
ライオポンプに専用のプロセッサを搭載する必要がな
く、コストダウンを図ることができる。また、上記プロ
セッサと各クライオポンプとは１回線の通信ネットワー
クで接続すればよく、上記ホストコンピュータと夫々の
クライオポンプとを専用線で接続する必要がない。した
がって、回線数を少なくして配線の単純化を図ることが
できる。
ライオポンプに専用のプロセッサを搭載する必要がな
く、コストダウンを図ることができる。また、上記プロ
セッサと各クライオポンプとは１回線の通信ネットワー
クで接続すればよく、上記ホストコンピュータと夫々の
クライオポンプとを専用線で接続する必要がない。した
がって、回線数を少なくして配線の単純化を図ることが
できる。
【００６０】また、請求項２に係る発明のクライオポン
プの制御装置における上記通信ネットワークは、階層構
造に構成されているので、複数グループのクライオポン
プを１台のプロセッサで制御する場合やクライオポンプ
を増設する場合の通信ネットワークの構築を容易にでき
る。
プの制御装置における上記通信ネットワークは、階層構
造に構成されているので、複数グループのクライオポン
プを１台のプロセッサで制御する場合やクライオポンプ
を増設する場合の通信ネットワークの構築を容易にでき
る。
【００６１】また、請求項３に係る発明のクライオポン
プの制御装置は、通信変換部およびＩ/Ｏ変換部が設け
られた圧縮機ユニットを備えて、上記圧縮機ユニットの
通信変換部を上記通信ネットワークに接続したので、上
記複数台のクライオポンプに高圧冷媒ガスを供給する圧
縮機ユニットも上記通信ネットワークを介して制御でき
る。したがって、上記プロセッサと圧縮機ユニットとを
接続する専用線をなくして、配線を容易にすることがで
きる。
プの制御装置は、通信変換部およびＩ/Ｏ変換部が設け
られた圧縮機ユニットを備えて、上記圧縮機ユニットの
通信変換部を上記通信ネットワークに接続したので、上
記複数台のクライオポンプに高圧冷媒ガスを供給する圧
縮機ユニットも上記通信ネットワークを介して制御でき
る。したがって、上記プロセッサと圧縮機ユニットとを
接続する専用線をなくして、配線を容易にすることがで
きる。
【００６２】また、請求項４に係る発明のクライオポン
プの制御装置における上記通信ネットワークは、ホスト
コンピュータに接続されているので、上記ホストコンピ
ュータとプロセッサとを接続する専用線をなくすことが
できる。また、上記ホストコンピュータに近いクライオ
ポンプ,圧縮機ユニットあるいはプロセッサの順に上記
通信ネットワークに接続することができ、上記クライオ
ポンプ,圧縮機ユニットおよびプロセッサに対する配線
をより単純化できる。更に、上記クライオポンプによる
真空排気系を、上記ホストコンピュータが制御するシス
テムのネットワークに組み込むことができる。
プの制御装置における上記通信ネットワークは、ホスト
コンピュータに接続されているので、上記ホストコンピ
ュータとプロセッサとを接続する専用線をなくすことが
できる。また、上記ホストコンピュータに近いクライオ
ポンプ,圧縮機ユニットあるいはプロセッサの順に上記
通信ネットワークに接続することができ、上記クライオ
ポンプ,圧縮機ユニットおよびプロセッサに対する配線
をより単純化できる。更に、上記クライオポンプによる
真空排気系を、上記ホストコンピュータが制御するシス
テムのネットワークに組み込むことができる。
【００６３】また、請求項５に係る発明のクライオポン
プの制御装置は、上記各クライオポンプに端末端子を設
け、この端末端子に接続可能な手動操作端末器を備えて
いるので、故障時等において、該当するクライオポンプ
の運転状況を直接見ながら、該当クライオポンプのみを
手動操作端末からの命令に基づく上記プロセッサの制御
によって運転可能になる。
プの制御装置は、上記各クライオポンプに端末端子を設
け、この端末端子に接続可能な手動操作端末器を備えて
いるので、故障時等において、該当するクライオポンプ
の運転状況を直接見ながら、該当クライオポンプのみを
手動操作端末からの命令に基づく上記プロセッサの制御
によって運転可能になる。
【００６４】また、請求項６に係る発明のクライオポン
プの制御装置は、上記各クライオポンプに、当該クライ
オポンプ自身のＩＤコードが格納されたＩＤコード格納
部を備えたので、特定の真空チャンバに取り付けられて
いるクライオポンプが他のクライオポンプに交換された
場合には、ＩＤコード格納部の内容を交換後のクライオ
ポンプに割り当てられたＩＤに変更できる。
プの制御装置は、上記各クライオポンプに、当該クライ
オポンプ自身のＩＤコードが格納されたＩＤコード格納
部を備えたので、特定の真空チャンバに取り付けられて
いるクライオポンプが他のクライオポンプに交換された
場合には、ＩＤコード格納部の内容を交換後のクライオ
ポンプに割り当てられたＩＤに変更できる。
【００６５】したがって、上記プロセッサと個々のクラ
イオポンプとが専用線で直接接続されていないが故のプ
ロセッサが夫々のクライオポンプを特定できない問題を
容易に解消でき、個々のクライオポンプを所定の計画に
従って的確に再生処理やオーバーホール等を行うことが
できる。
イオポンプとが専用線で直接接続されていないが故のプ
ロセッサが夫々のクライオポンプを特定できない問題を
容易に解消でき、個々のクライオポンプを所定の計画に
従って的確に再生処理やオーバーホール等を行うことが
できる。
【図１】 この発明のクライオポンプの制御装置におけ
る全体構成を示す図である。
る全体構成を示す図である。
【図２】 通信ネットワークを階層構造に構成したクラ
イオポンプの制御装置の全体構成を示す図である。
イオポンプの制御装置の全体構成を示す図である。
【図３】 圧縮機ユニットも通信ネットワーク上に接続
したクライオポンプの制御装置の全体構成を示す図であ
る。
したクライオポンプの制御装置の全体構成を示す図であ
る。
【図４】 ホストコンピュータも通信ネットワーク上に
接続したクライオポンプの制御装置の全体構成を示す図
である。
接続したクライオポンプの制御装置の全体構成を示す図
である。
【図５】 プロセッサからの手動操作によってクライオ
ポンプを手動制御するクライオポンプの制御装置の全体
構成を示す図である。
ポンプを手動制御するクライオポンプの制御装置の全体
構成を示す図である。
【図６】 操作端末器からクライオポンプを手元操作可
能なクライオポンプの制御装置の全体構成を示す図であ
る。
能なクライオポンプの制御装置の全体構成を示す図であ
る。
【図７】 図３の要部を示す概念図である。
【図８】 図７におけるクライオポンプおよびプロセッ
サの通信制御に関する部分の詳細ブロック図である。
サの通信制御に関する部分の詳細ブロック図である。
【図９】 図８における通信変換部およびＩ/Ｏ変換部
によって行われるクライオポンプ制御処理のフローチャ
ートである。
によって行われるクライオポンプ制御処理のフローチャ
ートである。
【図１０】 複数台のクライオポンプを制御可能な従来
のクライオポンプの制御装置の全体構成を示す図であ
る。
のクライオポンプの制御装置の全体構成を示す図であ
る。
１１,２１,２３,３１,４１,５１,５６…クライオポン
プ、１２,２５,３４,３５,４４,４５,５３,５８…プロ
セッサ、１３,２２,２４,３２,４２…通信変換部、１
４,２７,２８,３７,４７,５５,５９…通信ネットワー
ク、１５,２６,３６,４６…ホストコンピュータ、１６,
２９,３８…専用線、３３,４３,５２,５７…圧縮機ユニ
ット、５４…入力部、 ６０…操
作端末器、６１…２段膨張式冷凍機、 ６４
…第１クライオパネル、６５…第２クライオパネル、
６７,６８…ヒータ、６９…排気バルブ、
７０…粗引きバルブ、７２…圧力計、
７３…真空計、７４,７５…温度
計、 ７６…Ｉ/Ｏ変換部、７８…ネッ
トＩＤ格納部、 ８１…ＲＯＭ、８２…ＲＡ
Ｍ、 ８４…出力表示部、８５…
制御部、 ８６…通信制御部、８
７…ヒータ制御部、 ８８…バルブ開閉
リレー、８９…その他制御部、 ９０…
温度変換器、９１…圧力変換器(真空用)、 ９
２…圧力変換器(大気用)、９３…ＩＤコード格納部、
９４…端末端子。
プ、１２,２５,３４,３５,４４,４５,５３,５８…プロ
セッサ、１３,２２,２４,３２,４２…通信変換部、１
４,２７,２８,３７,４７,５５,５９…通信ネットワー
ク、１５,２６,３６,４６…ホストコンピュータ、１６,
２９,３８…専用線、３３,４３,５２,５７…圧縮機ユニ
ット、５４…入力部、 ６０…操
作端末器、６１…２段膨張式冷凍機、 ６４
…第１クライオパネル、６５…第２クライオパネル、
６７,６８…ヒータ、６９…排気バルブ、
７０…粗引きバルブ、７２…圧力計、
７３…真空計、７４,７５…温度
計、 ７６…Ｉ/Ｏ変換部、７８…ネッ
トＩＤ格納部、 ８１…ＲＯＭ、８２…ＲＡ
Ｍ、 ８４…出力表示部、８５…
制御部、 ８６…通信制御部、８
７…ヒータ制御部、 ８８…バルブ開閉
リレー、８９…その他制御部、 ９０…
温度変換器、９１…圧力変換器(真空用)、 ９
２…圧力変換器(大気用)、９３…ＩＤコード格納部、
９４…端末端子。
Claims (6)
- 【請求項１】 複数台のクライオポンプを制御するクラ
イオポンプの制御装置であって、 上記複数台のクライオポンプ(１１a〜１１c)の夫々に
は、通信変換部(１３a〜１３c)および入出力変換部(７
６)が設けられており、 上記複数台のクライオポンプ(１１a〜１１c)を制御する
プロセッサ(１２)と、上記プロセッサ(１２)と各クライ
オポンプ(１１a〜１１c)の通信変換部(１３a〜１３c)と
を接続する通信ネットワーク(１４)を備えて、 上記プロセッサ(１２)は、上記通信ネットワーク(１４)
を介して各クライオポンプ(１１a〜１１c)の通信変換部
(１３a〜１３c)とデータ交換を行って、各クライオポン
プ(１１a〜１１c)を制御することを特徴とするクライオ
ポンプの制御装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載のクライオポンプの制御
装置において、 上記通信ネットワーク(２７,２８)は、階層構造に構成
されていることを特徴とするクライオポンプの制御装
置。 - 【請求項３】 請求項１に記載のクライオポンプの制御
装置において、 通信変換部及び入出力変換部が設けられると共に、上記
各クライオポンプ(３１a〜３１c)に圧縮冷媒を供給する
圧縮機ユニット(３３)を備えて、 上記圧縮機ユニット(３３)の通信変換部は、上記通信ネ
ットワーク(３７)に接続されていることを特徴とするク
ライオポンプの制御装置。 - 【請求項４】 請求項１に記載のクライオポンプの制御
装置において、 上記通信ネットワーク(４７)は、ホストコンピュータ
(４６)に接続されていることを特徴とするクライオポン
プの制御装置。 - 【請求項５】 請求項１に記載のクライオポンプの制御
装置において、 上記各クライオポンプ(３１)には、上記入出力変換部
(７６)に接続された端末端子(９４)が設けられており、 上記端末端子(９４)に接続可能な手動操作端末器(６０)
を備えたことを特徴とするクライオポンプの制御装置。 - 【請求項６】 請求項１に記載のクライオポンプの制御
装置において、 上記各クライオポンプ(３１)には、当該クライオポンプ
(３１)自身のインデックスコードが格納されたインデッ
クスコード格納部(９３)を備えたことを特徴とするクラ
イオポンプの制御装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27646399A JP4274648B2 (ja) | 1999-09-29 | 1999-09-29 | クライオポンプの制御装置 |
| US09/504,385 US6233948B1 (en) | 1999-09-29 | 2000-02-15 | Control apparatus for a plurality of cryopumps |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27646399A JP4274648B2 (ja) | 1999-09-29 | 1999-09-29 | クライオポンプの制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001099062A true JP2001099062A (ja) | 2001-04-10 |
| JP4274648B2 JP4274648B2 (ja) | 2009-06-10 |
Family
ID=17569806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27646399A Expired - Fee Related JP4274648B2 (ja) | 1999-09-29 | 1999-09-29 | クライオポンプの制御装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6233948B1 (ja) |
| JP (1) | JP4274648B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008274865A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプシステム及びクライオポンプのメンテナンス方法 |
| KR100935646B1 (ko) * | 2001-07-20 | 2010-01-07 | 브룩스 오토메이션, 인크. | 헬륨 관리 제어 시스템 |
| JP2021028823A (ja) * | 2019-08-12 | 2021-02-25 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空システム及び真空システム内の電子モジュールを識別するための方法 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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